充分利用SEM的高空间分辨率, 结合阴极发光对材料的官能表征, 实现纳米级光学性能和材料结构表征。 ARC(angle resolved cathodoluminescence)由FOM Institute of AMOLF的Albert Polman group 创新研发, 获得2014年MRS创新大奖。 后由荷兰Delmic公司重新设计并商用,它是一套高性能的阴极荧光检测系统。凭借独特的高精度镜面,SPARC开辟了新的研究途径,如电子束引起的纳米光子学。灵敏度和易用性,SPARC帮助科学家推动阴极荧光到更多和更高阶应用。