三甲基硅烷噻唑

产品简介　　可挥发性低沸点和高沸点碳氢化合物是臭氧前驱体的主要成份，也是造成光化学烟雾的主要原因之一。臭氧前驱体分析仪是应用于环境空气中C6-C12高沸点碳氢化合物和C2-C5低沸点碳氢化合物实时在线监测的仪器，能够监测的项目包括2-甲基戊烷，正己烷，苯，正庚烷，甲苯，正辛烷，乙苯，间,对-二甲苯，邻-二甲苯，1,3,5-三甲苯，1,2,4-三甲苯，1,2,3-三甲苯，乙烷，乙烯，丙烷，丙稀，异丁烷，正丁烷，异戊烷，正戊烷，反式-2-丁烯，1-丁烯，顺式-2-丁烯，1,3-丁二烯，反式-2-戊烯，1-戊烯，异戊二烯，2,2,4-三甲基戊烷等。多达几十种，沸点的跨度达300K。性能特点　　采用PID和FID双检测器，确保高灵敏度和高分辨率；　　内置Tenax预浓缩管或带冷却预浓缩系统，热解析或低温热解析，标准毛细预分离柱和分析柱，两台色谱的完美结合使C2-C12范围的碳氢化合物得到良好分离；　　采用内置步进式采样活塞作为采样动力系统，可精确测量采样量，并可根据采样温度、压力的变化自动修正采样量，具有自动线性化功能；　　电子自动控制十通阀，和气动阀比较，控制更精确灵活；　　双色谱柱构成二维色谱分析系统，节省分析时间，并延长其使用寿命；　　内置标准工控机，可自动控制仪器各运行参数，自动存储和处理数据结果；　　人性化色谱工作站，自动控制仪器各运行参数，自动保存仪器任何时刻的重要参数信息，可随时追溯故障发生原因和发生部位，方便解决问题；　　多种数据通讯协议，包括Ethernet，COM，USB及模拟和数字输入输出选项。

三甲基氯硅烷工艺装置主要由溶解釜、加料釜、反应釜、接收罐、碱液釜和渣浆釜等组成。 其主要仪表及管阀件均采用高性能产品，装置非标采用耐腐蚀材质。PLC 系统采集确保操作人员安全。 装置的整体水平要求自动化程度高，数据精确度及重复性好，安全可靠 并能长周期稳定运行

我公司为国内生产异辛烷产品服务商年销售异辛烷产品超过五千吨我们将为您提供优质的商品和满意的服务！2,2,4-三甲基戊烷，是一种有机化合物，化学式为C8H18，主要用于有机合成，也可用作溶剂及气相色谱的对比样品。理化性质熔点：-107.4º C沸点：98-99º C密度：0.691（20℃）闪点：4.5℃（OC）折射率：1.391（20℃）饱和蒸气压：5.1kPa（20º C）临界压力：2.57MPa引燃温度：417º C爆炸上限（V/V）：6.0%爆炸下限（V/V）：1.1%外观：无色透明液体溶解性：不溶于水，混溶于庚烷、丙酮，溶于乙醚、苯、甲苯、二甲苯、氯仿、二硫化碳、四氯化碳等用途主要用于有机合成，也可用作溶剂及气相色谱的对比样品。储存方法储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过37℃，保持容器密封。应与氧化剂分开存放，切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。山东强森化工有限公司，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。公司是集研究、生产、加工、销售为一体的制品企业，工厂占地面积大，公司具有较强的自助研发能力，拥有多项国家发明专利超强的品质保障，专业生产，多年行业经验，出厂严格把关，公司与中国石化、齐鲁石化、东岳集团、内蒙远兴集团、兖矿集团、海力集团、金岭集团丶华鲁恒升、万华集团等大型上市公司建立了长期稳固的合作关系，能够为客户提供优质的产品和服务，在行业中树立了良好的商业信誉，赢得了国内外众多客户的信赖与支持。 公司发扬“诚信、专业、团结、拼搏”的企业精神，秉承“以信为本，以诚待人，以稳求实，优质服务”的经营理念，愿与各界朋友及客户精诚合作，共创辉煌。

四氯硅烷分析氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市成果转化A级项目。硅(SiHCl3)含量（体积分数）/l0-6 ≤40025二氯硅烷(SiH2Cl2)含量（体积分数）/l0-6 ≤40025甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量（体积分数）/l0-6 ≤20050金属元素及其他元素含量（硼+铝）（B+Al）含量/（μg/kg） ≤——0.1（磷+砷）（P+As）含量/（μg/kg） ≤——0.3镓（Ga）含量/（μg/kg） ≤——0.5锑（Sb）含量/（μg/kg） ≤——0.5铟（In）含量/（μg/kg） ≤——0.5钙（Ca）含量/（μg/kg） ≤10.5铬（Cr）含量/（μg/kg） ≤10.5铁（Fe）含量/（μg/kg） ≤10.5钾（K）含量/（μg/kg） ≤10.5钠（Na）含量/（μg/kg） ≤10.5镍（Ni）含量/（μg/kg） ≤10.5钼（Mo）含量/（μg/kg） ≤10.5锰（Mn） 含量/（μg/kg） ≤10.5铜（Cu）含量/（μg/kg） ≤10.5镉（Cd） 含量/（μg/kg） ≤10.5钴（Co）含量/（μg/kg） ≤10.5锌（Zn）含量/（μg/kg） ≤10.5钒（V）含量/（μg/kg） ≤10.5

T-BD5-PID2290 –TVOC在线管道式有机气体检测仪 原理： PID电离势10.6eV 的所有有机化合物探测 在线管道式有机气体检测仪应用：环境督察、环境指标 VOC、VOCs or TVOC医院垃圾、医疗废弃物、工业恶臭味检测、污染源/排放口监测含磷毒剂,战剂探测、炸药、推进剂等探测、刺激性化学物质探测人类动物呼吸及排泄气体检测、农药、杀虫剂等探测、实验室烟雾探测泄露探测、毒气探测、气体安全探测、残余气体探测、毒榀等危险品探测制冷剂、灭火剂、绝缘介质挥发物检测、可燃气检测工作环境达标、有机毒气探测、劳动安全检测在线管道式有机气体检测仪用途： 各种气体泄露探测空气背景单一的多种有机物单气浓度测试个别无机物气体浓度测试TVOC分析主要探测气体：异 丁 烯: 5ppb~50/1000ppm；100ppb~500/6000ppm；甲 苯: 10ppb~100/2000ppm；200ppb~1000/12000ppm；其他气体： 乙醛，丙酮，氨，苯，丁二烯，柴油，乙醇，乙烯，汽油，己烷，喷气机燃料(JP8)，煤油，甲基乙基酮，萘，苯乙烯，甲苯，松节油，氯乙烯，二甲苯等。在线管道式有机气体检测仪技术参数：灵 敏 度: 100 ppb(异丁烯)线性范围: 0~300 ppm重复精度: ±5%相对零点漂移: 50%(可调零消除) 蕞大零点漂移预热时间: 5 min温度范围: -40~40°C(本安)；40~60°C(非本安)湿度范围: 0~95%,非结露响应时间： T90：3secs在线管道式有机气体检测仪检测气体： 氢气氨气氧气氟气丁硫醇溴气氢化锗酯酸乙烯酯乙炔乙醇乙烯丙烯磷酰氯丁胺异丙胺1-3-丁二烯二甲胺三甲胺二乙胺乙硫醇乙硼烷甲醇异丙醇二甲基硫醚砷化硼硫化氢氰化氢溴化氢氯化氢氯气磷化氢二甲基乙胺乙烯基氯一氧化氮一氧化碳二氯硅烷二氧化氯乙醛二氧化硫环氧乙烷异丙硫醇三氯化硼三氯化磷三氯硅烷三甲硼烷甲醛四氯化锡四氯化钛一甲胺四氯化硅四氢噻吩过氧化氢n-丙基硫醇硅烷二氧化氮亚硫酰二氯五氯化锑环氧丙烷甲硫醇吗啉三乙胺氢化硒甲苯二甲苯乙基丙烯酸酯1-氯-2.3-环氧丙烷甲基丙烯酸甲酯二乙胺基乙醇

PECVD沉积Minilock-Orion III是一套最先进的等离子增强型化学汽相沉积(PECVD)系统。 系统的下电极尺寸可为200mm或300mm，且根据电极配置，可以处理单个基片或带承片盘的基片(3”- 300mm尺寸)，或者多尺寸批处理基片(4x3” 3x4” 7x2”)。Minilock-Orion III用于有毒/发火PECVD工艺。沉积薄膜：氧化物、氮氧化物、氮化物、无定形硅和碳化硅。工艺气体：100%硅烷、氨、TEOS、二乙基硅烷、氧化亚氮、氧、氮、三甲基硅烷和甲烷。该系统可选配一个三极管（Triode）或电感耦合等离子(ICP)源。三极管源使得用户可以创建高密度等离子，从而控制薄膜应力。基片通过预真空室装入工艺室，其避免了与工艺室以及任意残余沉积副产品接触，从而提高了用户的安全性。预真空室还使得工艺室始终保持在真空下，从而保持反应室与大气隔绝。

GC-9280型硅烷分析氦离子化气相色谱仪适用于高纯气体和电子工业用气体中痕量杂质的检测，仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用普瑞公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，保证不同底气的样品的进样量。 硅烷是重要的新材料产品，广泛应用于LCD平板显示、半导体、太阳能等行业，随着中国半导体等行业的发展，国内对硅烷的需求与日俱增，但是由于国内硅烷生产的技术处于起步阶段，如何对硅烷的纯度进行分析是各个生产厂商需要面临的一个课题 众所周知，高纯气体的分析是一个复杂的过程，也是色谱分析的难点之一；硅烷由于其物理性质的特殊性，其分析的难度可谓难上加难，不仅需要高灵敏的检测器，还要解决硅烷遇氧燃烧的问题。GC-9280氦离子化气相色谱仪克服了硅烷分析过程中的众多技术难点，采用高灵敏度的氦离子化检测器，配备专用的硅烷取样系统，很好的完成了硅烷中痕量的ppb级杂质的分析。 适用的标准：GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》 GC-9280硅烷分析氦离子化气相色谱仪适用于高纯气体和电子工业用气体中痕量杂质的检测，最小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用普瑞公司中心切割技术，所配备的进样阀均为带有吹扫保护气路的进口阀；整机采用多柱箱设计，不同色谱柱可单独控温，优化了分离条件，并且方便对不同色谱柱分别进行老化处理，方便仪器的维护；仪器配备进样压力自动校正系统，克服了不同底气因分子量不同而造成的进样量多导致的分析误差。 GC-9280硅烷分析氦离子化气相色谱仪的性能优势： 气体工业是国民经济的基础行业，是工业生产的“血液”，随着国民经济的快速发展，对高纯气体和电子工业用气体的需求量也快速增长。痕量杂质的检测是生产高纯气体和电子工业用气的关键环节，而痕量杂质的分析一直是色谱分析的难点，传统的热导等色谱检测器均无法胜任高纯的气体分析。 脉冲放电氦离子化检测器（PDHID）是一种灵敏度极高的通用型检测器，对几乎所有无机和有机化合物均有很高的响应，特别适合高纯气体的分析，能够检测至ng/g（ppb）级的检测器。 仪器的应用范围：本仪器主要应用于高纯硅烷气体中微量杂质的分析，具体内容详见下表： 气体种类需分析的杂质种类HeH2O2ArN2COCH4CO2C2C3SimHn仪器的检测限（PPb）153010501010303050 系统依据的相关标准: 1、电子气标准GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》2.仪器的详细配置（供货明细）：仪器名称型号规格厂家单位数量备注氦离子化气相色谱仪GC-9280PDD北京普瑞仪器台1配备PDHID氦离子化检测器多柱箱系统北京普瑞仪器套1可以根据分析的需要设置不同的柱箱温度，以满足样品分离的需要中心切割与反吹系统:吹扫十通阀2只 吹扫六通阀3只. VALCO 套 1配备3个带吹扫保护气路的原装进口阀：一次进样，无需更换色谱柱即可完成对氢、氧、氮、氩、一氧化碳、甲烷、二氧化碳等多种样品中痕量杂质的分析。专用毛细管色谱分离系统VALCO套1用于分离硅烷中的微量：甲硅醚；甲基硅烷；乙硅烷色谱柱:Hayesep -QHayesep -DB5A 硅烷毛细管柱VALCO根61.可分离样品中的H2、O2(Ar)、N2、CO、CO2、CH4等杂质2.CO拖尾处理技术硅烷取样系统普瑞仪器套1专为高纯硅烷色谱分析设计含吹扫气路与取样气路。载气(He)纯化器:HP-2VALCO台1He中杂质含量≤10ppb载气过滤器VALCO个12μm孔径样品过滤器VALCO个12μm孔径标准气体:(10PPM)普瑞仪器套1含: H2, O2, Ar, N2,CO, CH4, CO2高纯氦气:40L用户自备瓶1+1纯度不低于99.999%高纯氮气:40L用户自备瓶1作为VALCO吹扫阀的保护及驱动气使用无死体积专用取样阀带吹扫1/8”口普瑞仪器个4取样时防止空气渗入，带放空结构设计载气专用两级不锈钢减压阀1/16”口HORO个2配:进口载气四通切换阀1/16”口只1配:进口高纯气专用色谱工作站普瑞仪器套1自动控制切割、反吹、进样等过程；并实现对色谱主机的操作控制电脑与打印机联想/HP台1可另选配安装调试费：免费技术服务及培训费：免费(1.发货前 2.安装调试中 3.公司定期办培训班时.)随机备品、备件、工具、材料费（附件四）：随机 GC-9280氦离子化气相色谱仪仪器特点 中心切割技术，实现气体全分析： GC-9280氦离子化气相色谱仪采用多阀多柱的中心切割与反吹技术，该系统由多个吹扫型十通阀及多根色谱联合组成，通过工作站设置的时间程序自动控制其进样、切换、切割与反吹等过程。 吹扫型十通阀 GC-9280-HG所配备的均为原装进口VICI生产的带保护气路的吹扫型十通阀，阀平面始终处于载气的氛围中，避免进样和切换时空气渗透到样品之中，大大提高检测灵敏度和准确性。 经特殊加工的色谱柱技术（1）色谱柱管材采用316L不锈钢材料，且管材内壁均经过钝化处理，防止吸附和一氧化碳拖尾等问题的产生（2）色谱柱担体均经过特殊处理，避免氧吸附等问题的产生（3）预切柱采用微型填充柱技术，全面改善样品的分离，兼顾分离、稳定与快速 多柱箱分离系统 气体样品的形式多种多样，同时杂质种类繁多，需要多根不同的色谱柱联用来完成气体样品中的所有杂质的分离。由于不同色谱柱的最佳工作温度不尽相同，在同一个柱箱中很难找到同时适合不同色谱柱工作的工作温度。GC-9280采用多柱箱设计，有效解决了不同色谱柱需要不同工作温度的难题。 在仪器的日常维护中，由于5A分子筛等不同担体的色谱柱的活化温度各不相同，如果在同一柱箱中进行老化需要将不耐受高温的色谱柱拆下来，然后分别进行活化。GC-9280的多柱箱设计可以有效解决上述问题，不同的色谱柱可以在不同柱箱中分别活化，避免了日常仪器维护工作中需要拆装色谱柱的问题。 HP-2氦气纯化器： GC-9280采用高纯氦气为载气，氦气的纯度直接影响到整个仪器对杂质的检测灵敏度。试验证明，高纯气体分析所用载气的纯度至少比气体样品的本底纯度高一个数量级。 HP-2型氦气纯化器是VICI公司生产的一款专载气纯化器，其纯化基质是一种无挥发性的吸附性合金，吸附剂粒子表面有一层氧化膜需通过加热活化，活化过程必须在真空或惰性气体环境下完成，这样可允许氦气在其间自由扩散，防止氧气纯化层的形成，又可以进行杂质气体的吸附。HP的吸附剂材料具有良好的热稳定性，包括两个温度控制范围。可纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn最大操作压力：1000Psi去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等残留浓度：≤10ppb 进样压力校正系统 传统的色谱仪采用在进样阀出口处控制流量的办法来控制定量管内的进样体积，试验证明这种方法有着很大的分析误差 以分析高纯氢气为例：标准气是配置在氦气中的六种杂质，而样品气是在氢气中的六种杂质；由于氦气和氢气的分子量不同，从而造成了在相同流量下的进样量是不的情况 GC-9280配备压力校正系统，克服因底气不同造成的进样量不的问题，确保数据的准确性。 无死体积取样阀 GC-9280配备了无死体积的专用取样阀，采用带吹扫保护的取样方式，有效的避免了空气残留的问题，将取样过程对分析的影响降至低的水平。 载气专用减压阀 普通减压阀由于大量死体积的存在，直接影响到经减压阀输出后的载气纯度，造成载气中的本底杂质浓度很高，从而影响到整个系统的检测限。 GC-9280氦离子化气相色谱仪配备具有两级稳压功能的全不锈钢载气减压阀，大大提高了压力稳定性，确保基线的稳定，同时也降低了阀体内的死体积，进一步提高检测灵敏度。

北斗星在线式NOX氮氧化物监测系统CPT2610-AA-NOX氮氧化物监测报警器采用进口高精度电化学传感器,具有高响应度,重复性,高精确度和操作简便等优点,符合国家相关标准要求。先进的气体检测技术,加之多路双显示声光报警功能, 可满足用户对氮氧化物气体排放实时监控的需求,同时为环境治理政策的制定提供有力的数据支持及预警等服务。北斗星在线式NOX氮氧化物监测系统配置参数：1、1个NO检测探头，电化学式测量原理，测量范围0 ' 300ppm精度土1.5%F.S.响应时间30s输出4-20mA, 24VDC供电IP65防护，带墙装支架 2、1个NO2检测探头，电化学式测量原理，测量范围0~30ppm, 精度士1.5%F.s响应时间30s,输出4-20mA, 24VDC供电，IP65防护，带墙装支架: 3、1台2通道控制器,用于连接上述2个检测探头信号，为检测探头提供24VDC电源，带现场显示屏幕，输入:两路4-20mA， 输出:4-20mA两路超限继电器报警1路故障继电器报警，供电电源220VAC, IP65防护，带墙装支架，带2根5m与探头连接的电缆。4、XS3.5-2 双路双显示报警，报警器有数字显示和声光报警功能,也可以驱动其他报警 氮氧化物监测报警系统应用：矿井，煤井，输气燃气、能源、石油、化工、冶金甲烷，乙烷，天然气，设备泄露监测食品冷藏氨气、佛里昂泄露，臭氧，过氧化氢；PCBs，油脂，纸浆和造纸厂变压器等存在易燃、易爆、毒性气体的危险场所海运，空运，车辆物流安全，钻井，输油，炼油厂，石化厂和化工厂、发电厂含磷毒剂，战剂探测，炸药，推进剂等探测石油石化、化工厂、冶炼厂、钢铁厂、煤炭厂、热电厂、自来水厂、医药车间、烟草公司、大气环境监测、科研院校、楼宇建设、消防报警、污水处理、工业过程化控制、锅炉房、垃圾处理厂、地下隧道、输油管道、加气站、地下管网检修、室内空气质量检测、食品加工、杀菌消毒、冷冻仓库、农药化肥、杀虫剂生产等。北斗星在线式NOX氮氧化物监测系统技术参数：采样方式： 自然扩散式环境湿度： ≤95%RH相对湿度（无冷凝）防爆等级： 防爆等级EXdⅡCT6，防护等级IP65 电源电压： DC12V、24V，220V AC可选模拟输出： 4~2mA /0~20mA、0~2.5V可选仪器重量： 300~500g安装方式： 壁挂式安装或螺纹安装安装螺纹： T型变送器带G1”连接口使用电缆： 四线制/三线制，0.2mm2以上铜线屏蔽电缆环境温度： CPT2610/20：-20~50℃；CPT2312/2410：-30~70℃；GD2290/4100：-10~45℃电流输出蕞大负载： RL=(Vs-2.7V)/0.020mA其他可检测气体： 氢气氨气氧气氟气丁硫醇溴气氢化锗酯酸乙烯酯乙炔乙醇乙烯丙烯磷酰氯丁胺异丙胺1-3-丁二烯二甲胺三甲胺二乙胺乙硫醇乙硼烷甲醇异丙醇二甲基硫醚砷化硼硫化氢氰化氢溴化氢氯化氢氯气磷化氢二甲基乙胺乙烯基氯一氧化氮一氧化碳二氯硅烷二氧化氯乙醛二氧化硫环氧乙烷异丙硫醇三氯化硼三氯化磷三氯硅烷三甲硼烷甲醛四氯化锡四氯化钛一甲胺四氯化硅四氢噻吩过氧化氢n-丙基硫醇硅烷二氧化氮亚硫酰二氯五氯化锑环氧丙烷甲硫醇吗啉三乙胺氢化硒甲苯二甲苯

什么是硅烷气体硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更**的硅氢化合物。目前应用**多的是甲硅烷。一般把甲硅烷简称做硅烷。硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业， 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层， 并且是迄今世界上**的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的高科技应用还在不断出现, 包括用于制造**陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成为许多新技术、新材料、新器件的基础。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著称。硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体。主要是针对化工厂、实验室，危化品仓库等有限空间研发检测气体进行优化后的一款专用的在线固定式检测仪。它能将现场检测到的有毒有害气体浓度，转换为对应的标准信号（标准信号种类选择请参考技术参数表），然后将信号传输到 PLC、DCS、报警控制主机等上位机进行统一显示、管理和控制，从而组成功能强大的智能化气体检测报警控制系统。该设备内置继电器，可控制外围声光报警器、风机、电磁阀等设备。如该设备连入我司服务器，可实现远程设置报警值和远程标定等功能，节省后期维护成本。广州市诺达电子有限公司以专业、负责的态度致力于为客户提供与环境匹配的检测产品和服务。 主要特点：★速核系统：采用高精度32位高速微处理器，**Epsion数据处理系统，速测危害气体，高效预警毒气泄漏； ★多级标定：业内智能化多级校准技术，多重滤波技术，更精准更快速地反馈现场浓度值；★自动标定：通入实际标气，无需标定员操作，**智能识别标定；★稳定性超强：经过严格的进料筛选工序，及行业经验十几年的研发人员匠心打造，抗EMC、EMI干扰，大幅度提高**侦察兵的可靠性；★多结构的通讯方式：支持4-20mA与RS485单路或多路同时通讯，有线与内置无线433M/GPRS等无线多路通讯（选配）；★规范标准：JJF 1363-2012,JJF 1368-2012,JJF 1421-2013,JJF 1364-2012 GB3836-2010,GB 12476.5-2013 技术规格参数及气体种类：检测气体硅烷量 程0-10PPM/0-50PPM/0-100PPM（更多量程可以来电咨询）；分 辨 率0.01PPM检测原理电化学原理精 度≤±3F.S显示方式320*240 高清彩屏响应时间T90＜30S恢复时间≤30S（T90-T10)使用寿命传感器2-3年检测方式扩散式重 复 性≤±1 %F.S继 电 器容量 220VAC **/24VDC ** 无线输出（选配）433M（≤无障碍3公里 ） （定制）GPRS（无距离限制） （定制）WIFI/zigbee/LORA （定制） 有线输出（选配） 485+开关量输出 （标配）4-20mA+RS485+开关量报警输出 （定制）以上任选一种防护等级 IP66防爆等级隔爆型：ExdⅡCT6 Gb 尺 寸205*140*92mm(L×W×H)探头材质铝合金、不锈钢（可选）安装方式壁挂式、杆装式、管道式重 量1KG工作电压12－35VDC，常用 12VDC、24VDC电气接口接线口尺寸：内螺牙 M20*1.5（ G1/2 内螺牙、G3/4 内螺牙、 1/2NPT标准配件探测器、说明书、红外遥控器、厂家出厂检测报告选 配 件防爆声光报警、安装支架、管道式安装配件等工作环境温度：催化燃烧：-40~+70℃；电化学：-20~+50℃；PID：-20~+50℃；红外：-20~+50℃； 荧光法：-20~+50℃； 氧化锆:-40℃~+700℃压力：86-110Kpa；（氧化锆：≤0.6Mpa)湿度：15%RH~95%RH（无凝露）产品功耗电化学传感器：P ≤ 1.2W 红外传感器：P ≤ 2.0W普通催化传感器 ：P ≤ 2.6W 低功耗催化传感器 ：P ≤ 1.5W 热导传感器 ：P ≤ 2.0W 执行标准GB15311.1-2003； GB3836.1-2010； GB3836.2-2010； GB3836.4-2010；气体选型O30-100%LELCH2O0-10,50,100PPMCO0-100,1000,2000,10000PPMO30-1,10,50,100%VOLH2S0-50,100,1000,2000PPMCH40-1,10,50,100%VOLO20-30,100%VOLPH30-10,100,1000,5000PPMNH30-50,100,1000,2000PPMH20-100,1000,5000,40000PPM,100%VOLO30-5,10,50,100,1000,5000,10000PPMN20-100%VOLCL20-10,20PPMHCL0-10,100,500,1000PPMNO0-100,500,1000,5000PPMSO20-10,20，100,500,1000,5000,40000PPM

一、智能硅烷气体检测简要介绍：ETA－SIH4是我公司最新推出的一种智能硅烷检测仪，同时可以检测硅烷浓度、温度和湿度。仪器带有数据储存256组，通过USB接口，可以连接电脑。具有非常清晰的彩色触摸屏，声光报警提示，带内置泵，智能硅烷气体检测仪广泛用于公共场所、卫生监督、环境监测、等气体的检测与监测。 二、智能硅烷气体检测仪特点：1、检测空气中的硅烷气体，同时可以检测该环境的温度和湿度。2、仪器自带数据存储，储存数据可达256组。带有USB数据接口3、自带吸气泵可将数十米距离外气体吸入仪器进行测定。4、具有超大彩色触摸屏、操作方便快捷。5、仪器显示有ppm和mg/m3两种显示数据，可以自动转换。 6、开机或需要时对显示、电池、传感器、声光报警功能自检。 三、智能硅烷气体检测仪技术参数： l检测原理：电化学式l检测气体：空气中的硅烷（SIH4）l检测方式：泵吸式 ★ 测量范围：（同时显示ppm、mg/m3）硅烷：0-5ppm（0-20ppm） 分辨率：0.3ppm（0.1ppm）0-50ppm 或0-100ppm分辨率：0.2ppm温度：-20∽60℃。湿度：10-95%RHl基本误差：＜±5%（F.S） l最小读数：0.01ppm、响应时间：≤30秒★同时显示硅烷浓度：ppm、mg/m3,温度、湿度。★彩色触摸显示屏，时间日期记忆功能。★有数据查询功能，数据存储256组，有USB接口。 l传感器寿命：24个月 l报警：声、光报警 l外形尺寸：205x180x98 mm l工作温度：-10∽45℃ 湿度：5-90%RHl内置充电电池，可以220V交流或者直流供电 四、智能硅烷气体检测仪配置:(1)仪器主机(含内置电池) 一台 (2)充电器 一只(3)采样杆 一套 (4)采样软管 一根(5)铝合金携带箱 一只 (6)操作手册和合格证 一份

、格雷沃夫硅烷检测仪_主要特点：1. 检测硅烷（SIH）气体浓度。2. 用户可选单气体探头，也可选多气体探头，便于以后扩展检测其它气体。2. 气体浓度单位可选：mg/m3、μg/m3、ppm、ppb、%。3. 探头自带温度传感器。4. 主机内置Windows操作系统+格雷沃夫专业软件，功能强大：数据显示直观；参考资料丰富；数据的存储、组织、分析、报告能力超强；检测过程中可随时通过掌上电脑做各种格式的现场注释（文字、声音、图片等）。5. 同一台主机可同时连接其它格雷沃夫探头（TVOC、其它有毒气体、甲醛、颗粒物、风速风量、温湿度、压差、皮托管、热电偶温度），易于扩展，便于维护，具有极高的性价比。6. 小巧便捷、易于使用；响应迅速，适于现场及应急检测。二、格雷沃夫硅烷检测仪_产品架构：格雷沃夫主机或用户自己的笔记本电脑、掌上电脑、平板电脑（内置Windows系统+格雷沃夫软件）+探头（内装硅烷传感器）三、格雷沃夫硅烷检测仪_检测参数：1. 硅烷（SIH）气体浓度。2. 温度。四、格雷沃夫硅烷检测仪_软件功能1、直观显示各参数读数。2、对检测数据的存储、组织、分析、报告；可导出文本、表格、图表等各种格式的数据文件。3、检测过程中，随时在主机上做各种格式的注释，包括：文字、声音、图片等。4、随时查阅各种相关参数的资料文件。

MS104K便携式硅烷气体测试仪是一款移动式快速检测硅烷气体浓度的复合型气体检测仪，最多可以同时检测1～4种气体，具有大容量数据存储功能。MS104K便携式硅烷气体测试仪采用2.31寸高清彩屏实时显示浓度，选用知名品牌的气体传感器，主要检测原理有：电化学、红外、催化燃烧、热导、PID光离子。　　MS104K便携式硅烷气体测试仪特点：　　●防水溅、防尘、防爆、防震，本安电路设计，抗静电，抗电磁干扰，通过国标测试和CPA计量器具型式认证　　●2.31寸高清彩屏显示实时浓度、报警、时间、温度、湿度、存储、通信、电量、 充电状态等信息，菜单界面采用高清仿真图标显示各个菜单的功能名称　　●数据存储功能，容量10万条。支持实时存储、定时存储，或只存报警浓度数据和时间、支持本机查看、删除数据，也可通过USB接口将数据上传到电脑，用上位机软件分析数据和存储、打印。　　●USB充电接口，过充、过放、过压、短路、过热保护，5级精准电量显示　　●采用2100mAh可充电高分子聚合物电池，可长时间连续工作　　●声光报警、振动报警、视觉报警、欠压报警、故障报警、关闭报警。　　●报警值可设，报警方式可选低报警、高报警、区间报警　　●可以选配同时检测1～4种气体，单位自由切换单位可选：PPM、mg/m3、Vol%、LEL%、PPHM、ppb、mg/L　　●三种显示模式可切换：同时显示四种气体浓度、大字体循环显示单通道气体的浓度、实时曲线，各通道之间自动循环或手动循环可切换，可设置是否显示最大值、最小值、气体名称，可查看历史记录。　　●数据恢复功能　　●零点自动跟踪，长期使用不受零点漂移影响。　　●多级校准　　●浓度校准误操作自动识别并阻止。　　●支持OEM或ODM订制，可以选配RS485通讯　　●选配环境温湿度测量功能，更多其他功能或通讯接口可订制。　　MS104K便携式硅烷气体测试仪技术参数：　　检测气体：硅烷SiH4 ，选配：同时检测1～4种气体浓度，视传感器和现场环境而定　　检测范围：0-10、100ppm，其他量程可定制　　分 辨 率：0.01ppm更高分辨率可定制　　检测原理：电化学，其他原理可选，根据气体类型、量程、现场环境和用户需求而定　　传感器寿命：2-3年　　检测方式：扩散式测量　　显示方式：2.31寸320X240高清彩屏显示,4按键操作　　检测精度：≤±3%(F.S)　　报警方式：声光报警、振动报警、视觉报警、声光+振动+视觉报警、关闭报警可选　　响应时间：T90≤30秒　　恢复时间：≤30秒　　工作电源：DC3.7V　　电池容量：2100mAH 大容量可充电高分子聚合物电池　　使用环境：温度-40℃~+70℃ 相对湿度≤0~95%RH(非凝露场合)　　温度检测：-40℃~+70℃，精度±0.5℃，选配功能　　湿度检测：0~100%RH，精度±3%RH，选配功能　　数据存储：标配10万条数据容量，支持本机查看、删除或数据导出，存储时间间隔任意设置　　通讯接口：USB(充电与通讯)，选配RS485通讯接口　　界面语言：中文或英文可设置，默认中文界面　　防爆类型：本质安全型　　防爆标志：Exia II CT4 Ga　　防护等级：IP65，防尘、防水溅　　外型尺寸：130×68×34mm(L×W×H)　　重 量：200g　　标准附件：说明书、合格证、保修卡、USB充电器(含数据线)、彩色纸质包装盒 、背夹　　选配附件：高档铝合金仪器箱 、外置手持式采样泵(含0.4米不锈钢采样手柄或0.9m可伸缩采样手柄)　　应用场合：石油、化工、医药、环保、仓储、烟气分析、空气治理等所有需要检测气体浓度的场合

土壤和沉积物 挥发性有机物的测定-顶空气相色谱质谱法——北分三谱为贯彻落实《中华人民共和国环境保护法》，保护环境，保障人体健康，规范环境监测工作，北分三谱推出《土壤和沉积物 挥发性有机物的测定 顶空/气相色谱-质谱法》系统解决方案一、原理在一定的温度条件下，顶空瓶内样品中挥发性组分向液上空间挥发，产生蒸气压，在气液固三相达到热力学动态平衡，气相中挥发性有机物进入气相色谱分离后，用质谱进行检测，通过与标准物质保留时间和质谱图相比较进行定性，内标法定量。二、仪器2.1 气相色谱仪：具有毛细管分流/不分流进样口，可程序升温；2.2 质谱仪：具70eV的电子轰击（EI）电离源，具NIST质谱图库、手动/自动调谐、数据采集、定量分析及谱库检索等功能；2.3 毛细管柱：60m×0.25mm×1.4um(6%腈丙苯基、94%二甲基聚硅氧烷固定液）；2.4 北分三谱AHS-20A plus顶空进样器：带顶空瓶、PTFE隔垫、瓶盖2.5 其他相关仪器三、典型谱图： SCAN模式下的总离子流图：图1 100 ng/L 35种挥发性有机物在SCAN模式下的总离子图 1. 氯乙烯；2. 1，1-二氯乙烯；3. 二氯甲烷；4. 反-1，2-二氯乙烯；5. 1，1-二氯乙烷；6. 顺-1，2-二氯乙烯；7. 氯仿；8. 1，1，1-三氯乙烷；9. 四氯化碳；10. 1，2-二氯乙烷；11. 苯；12. 氟苯；13.三氯乙烯；14. 1，2-二氯丙烷；15. 一溴二氯甲烷；16. 甲苯-D8；17. 甲苯；18. 1，1，2-三氯乙烷；19. 四氯乙烯；20. 二溴氯甲烷；21. 1，2-二溴乙烷；22. 氯苯-D5；23. 氯苯；24. 1，1，1，2-四氯乙烷；25. 乙苯；26. 间，对-二甲苯；27. 邻二甲苯；28. 苯乙烯；29. 溴仿；30. 4-溴氟苯；31. 1，1，2，2-四氯乙烷；32. 1，2，3-三氯丙烷；33. 1，3，5-三甲基苯；34. 1，2，4-三甲基苯；35. 1，3-二氯苯；36. 1，4-二氯苯-D4；37. 1，4-二氯苯；38. 1，2-二氯苯；39. 1，2，4-三氯苯；40. 六氯丁二烯。 SIM图： 图2 100 ng/L 35种挥发性有机物的SIM图 1. 氯乙烯；2. 1，1-二氯乙烯；3. 二氯甲烷；4. 反-1，2-二氯乙烯；5. 1，1-二氯乙烷；6. 顺-1，2-二氯乙烯；7. 氯仿；8. 1，1，1-三氯乙烷；9. 四氯化碳；10. 1，2-二氯乙烷；11. 苯；12. 氟苯；13.三氯乙烯；14. 1，2-二氯丙烷；15. 一溴二氯甲烷；16. 甲苯-D8；17. 甲苯；18. 1，1，2-三氯乙烷；19. 四氯乙烯；20. 二溴氯甲烷；21. 1，2-二溴乙烷；22. 氯苯-D5；23. 氯苯；24. 1，1，1，2-四氯乙烷；25. 乙苯；26. 间，对-二甲苯；27. 邻二甲苯；28. 苯乙烯；29. 溴仿；30. 4-溴氟苯；31. 1，1，2，2-四氯乙烷；32. 1，2，3-三氯丙烷；33. 1，3，5-三甲基苯；34. 1，2，4-三甲基苯；35. 1，3-二氯苯；36. 1，4-二氯苯-D4；37. 1，4-二氯苯；38. 1，2-二氯苯；39. 1，2，4-三氯苯；40. 六氯丁二烯。 　　北京北分三谱仪器有限责任公司是一家集研发、生产、销售和服务于一体的专业分析仪器生产厂家。主要生产:气相色谱仪、顶空进样器、热解析仪、解析管老化仪、电子皂膜流量计、氢气发生器、空气发生器、氮气发生器等产品。公司拥有一批长期从事色谱仪开发及分析应用、维修经验丰富的工cheng师，在色谱类仪器的维护、维修、和调试等方面的技术力量雄厚。近年来，我们已为国内著ming高等院校、科研单位、生产企业及检验检测机构提供了大量的分析仪器和设备及完整的系统解决方案。正是因为高品质的产品、专业的应用及完善的售前售后服务，我们赢得了广大用户的支持与信赖，具有良好的声誉。 北京北分三谱仪器有限责任公司技术部

MIC-600固定式硅烷检测仪应用于现场硅烷气体浓度24小时连续在线监测及温湿度的测量，现场显示浓度和超标声光报警，远程数据传输。采用2.5寸高清彩屏实时显示浓度，根据不同的检测气体选用当前行业内最好品牌的电化学、红外、催化燃烧、热导、PID光离子原理的气体传感器、瑞士高精度电容式数字温湿度传感器，MIC-600先进的电路设计、成熟的内核算法处理，取得了多项软件著作专利和外观专利，从而诞生了目前行业内领先的新一代多功能型固定式复合气体检测报警仪。MIC-600可以检测管道中或受限空间、大气环境中的气体浓度也可以检测气体泄漏，还可以检测高浓度单一气体的纯度。坚固耐用的防爆外壳和氟碳漆表面处理工艺适用于各种危险场所和强酸强碱的腐蚀性环境，耐磨损，10年内不褪色和掉漆。　　MIC-600固定式硅烷检测仪特点：　　●本安电路设计，防爆认证，二级防雷、防静电，防雷和防静电能力超过国家标准，抗高强度脉冲浪涌电流冲击。高可靠性和稳定性。防反接设计，任意形式的反接都不会损坏仪器　　●符合EMI、EMC标准，通过国标测试及CMC计量器具许可认证。　　执行标准：GB15322.1-2003　　GB 3836.1—2010 《爆炸性气体环境用电气设备 通用要求》　　GB 3836.2—2010 《爆炸性气体环境用电气设备 隔爆型“d”》　　GB 3836.4—2010 《爆炸性气体环境用电气设备 本质安全型“i”》　　●标准总线RS485(RTU)和4～20mA标准信号同时输出，3组继电器开关量输出，现场声光报警(选配)。可选频率输出 200-1000Hz 、Hart协议信号、1～5V输出、无线传输(2～5公里或不限距离)。可以有线或无线远程实时监控，将数据上传到手机或通过局域网、互联网传输到环保局、其他监控中心、监控设备、监控电脑，通过免费上位机软件或气体报警控制器实时监控现场的浓度。　　●兼容各种二次表、数据采集模块、PLC、DCS系统，可直接驱动电磁阀、风机、报警器等设备，也可以通过驱动中间继电器来驱动大功率设备。选配MIC2000控制器可以同时监控1000台检测仪。　　●大容量数据存储功能，可以记录实时浓度值、温湿度、或只记录报警值及时间。支持本机存储或SD卡存储，本机存储标配容量为10万条记录，需更大容量订货时要注明。SD卡存储的容量可订制。通过免费上位机软件进行数据导出和分析，支持在本机上查看数据或删除数据，可设置在容量不够的时候自动覆盖数据或不覆盖数据，自动停止记录功能。　　●标配红外遥控器，可以实现在危险场合免开盖操作，比如：修改报警点、浓度校准、零点校准、消音、恢复出厂、进入菜单、查看记录、4mA输出、20mA输出(校准其他采集设备需用这个功能)。　　●中英文界面可选择，默认中文界面，支持气体浓度单位自由切换，常规气体不需要输入分子量，特殊气体输入分子量就自动计算并切换，单位可选：PPM、mg/m3、Vol%、LEL%、PPHM、ppb、mg/L　　●2.5寸高清彩屏(LCM)显示实时浓度、时间、温度、湿度、存储状态等信息，可同时检测1-～6种气体浓度和温湿度，菜单界面采用高清仿真图标来显示各个菜单的功能名称，简明中文或英文操作提示。　　●三种显示模式可切换：同时显示多种气体浓度、大字体循环显示单通道气体浓度、实时曲线，各通道之间自动或手动循环可切换，可设置是否显示最大值、最小值、气体名称，可查看历史记录曲线图。　　●自动跟踪零点防止漂移，温度补偿、多级校准，能同时符合国标和各个地区的地方、省级计量局标准　　●数据恢复功能、浓度校准误操作自动识别并阻止，可以避免由于操作不当引起的不良。　　●可记录校准日志、维修日志、故障解决对策，传感器寿命到期提醒，下次浓度校准时间提醒功能　　MIC-600固定式硅烷检测仪参数：　　检测气体：硅烷(SiH4)，选配：最多可同时检测4～6种气体浓度和温湿度　　检测原理：电化学、红外、热导、PID光离子、催化燃烧，根据气体类型、量程、现场环境和用户需求而定　　传感器寿命：电化学原理2～3年，氧气2年或6年可选，红外5～10年，催化燃烧3年，热导5年，PID2年　　检测范围：0～1ppm、10、50、100、200ppm、100%LEL可选，其他量程可订制　　分 辨 率：0.01ppm或0.001ppm(0～10 ppm) 0.01ppm(0～100 ppm)，0.1ppm(0～1000 ppm)，1ppm(0～1000 ppm以上)，0.1%LEL(0～100%LEL)、0.01%Vol或0.001%Vol(0～99.999%Vol)　　温度检测：-40℃~+120℃(选配)，湿度检测：0～100%RH (选配)，分辨率：温度0.1℃，湿度：1%RH　　检测精度：≤±2%F.S(全量程内2%)，温度0.5℃，湿度：3%RH，更高精度可订制　　检测方式：固定式安装，在线检测，扩散式测量，管道式(M45X1.5外螺纹)、流通式、泵吸式可选　　安装方式：管道式、壁挂式。管道式的工作压力为大气压±30%，超出范围需降压处理　　响应时间：T90≤20秒　　恢复时间：≤30秒　　输出信号：总线制RS485(RTU)、三(四)线制4～20mA、可选0～20mA、1～5V、0～5V、0～10V、无线传输　　报警方式：现场声光报警(选配)，默认1路，可选3路无源触点(干节点)输出，三级报警，报警点可设置　　工作环境：-40℃～+70℃　　样气温度：-40℃～+70℃(常规)，选配：-40℃～+400℃、-40℃～+800℃ (最高1300℃)　　相对湿度：≤10-95%RH (常规)非凝露场合，选配：10-99%RH 用于高温高湿度场合，订货时　　需注明，需配预处理系统)　　工作电压：12~36V(DC直流，单台设备的标准电源为24V，1A或大于1A 的直流开关电源)　　电源参考：24V，2.1A 的开关电源可以带动40台有毒气体检测仪，或15台可燃、红外气体检测仪　　防爆形式：隔爆型 ExdⅡCT6　　连接电缆：4~20mA选三芯屏蔽电缆，RS485选四芯，距离超1000米时单根线径≥1.5mm 屏蔽层接大地　　电气接口：3/4NPT，可选M20X1.5内螺纹、1/2NPT　　防护等级：IP66 防水溅和短时间雨淋，长时间雨淋需选配防雨罩或选择不带显示的外壳或订货时注明　　外形尺寸：　　260×180×90mm(L×H×W)大气室　　260×230×90mm(L×H×W)大气室带灯　　240×180×90mm(L×H×W)常规气室　　240×230×90mm(L×H×W)常规带灯　　重 量：1.8Kg　　选配附件：墙壁安装支架、固定在管道上的安装支架(四分、六分管)、DN50法兰管道安装或不锈钢螺纹焊座(需注明管道尺寸，如DN50、DN15...)、常温高湿预处理系统、高温高湿度预处理系统、高温高湿高粉尘预处理系统、减压阀、流量计、温湿度测量、大容量SD存储卡、防雨罩、24VDC或220AC采样泵(采样距离10米)、真空泵(采样距离大于40米)、24V开关电源。　　连电脑监控需要的配件：免费上位机软件、RS485/RS232转换器、无RS232接口的笔记本电脑还需USB/RS232 转换连接线，如果要网络传输还需 TCP/IP转换器　　应用场合：石油、化工、医药、环保、烟气分析、空气治理等所有需要固定安装，在线检测气体浓度的场合

H6型便携式恶臭分析仪 产品介绍： 利用先进的传感器技术、互联网技术、无线通信技术、计算机网络技术、电子地理信息技术等，对颗粒物、气态污染物等排放实现监测的综合实时监控系统。 监测因子包括：标准污染物OU、CS2、NH3、H2S、TVOC、三甲胺、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫醚、苯乙烯；可选配颗粒物、噪声、温度、湿度、大气压等，支持上传云平台。主要特点：&bull 触摸式显示屏，人性化设计，更方便于客户使用；&bull 可用于在线监测、车载监测、走航及应急等多种工作模式，监测数据上传至数据平台，实现对空气质量的监控、追踪及溯源；&bull 设备采用便携式设计，体积小、重量轻、方便移动，可手提或背包使用；&bull 气态污染物采样流量采用单独独立的泵吸式控制。长寿命采样动力系统，安静，高效；&bull 气态污染物监测选用四电极高精度进口定电位电解传感器；&bull 设备可适用于各种严苛的室外环境，电路采用工业级嵌入式处理器，工作环境温度范围（-30~70）℃；&bull 采用工业级数据传输模块，数据传输稳定可靠，3G/4G/5G、RS485、RS232等多样的通信方式供客户选择，支持同时传输多达8个云平台，并具有GPS定位功能；&bull 终端设备可通过FTP服务器，远程升级终端的应用程序，实现远程维护，保证用户可以使用最新的应用程序，及时更新系统功能；&bull 电池具有过充/过流/短路保护，使用更安全；&bull 可采用市电、电池及车载应急充电的多种供电方式。技术参数：气体因子化学式原理测量范围分辨率臭气OUMOS0-100/1000 ou0.1/1 ou氨气NH3电化学0-100 ppm0.01 ppm硫化氢H2S电化学0-100 ppm1 ppb三甲胺C3H9NMOS0-10 ppm10 ppb甲硫醇CH4S电化学0-10 ppm10 ppb甲硫醚C2SH6电化学0-10 ppm10 ppb二甲二硫醚C2H6S2电化学0-10 ppm10 ppb苯乙烯C8H8电化学0-10 ppm10 ppb二硫化碳CS2电化学0-10 ppm10 ppb氯化氢HCL电化学0-100 ppm0.1ppm氯气CL2电化学0-20 ppm0.02ppm二氧化氮NO2电化学0-1000 ppm1ppb二氧化硫SO2电化学0-1000 ppm1ppb总挥发性有机化合物TVOCPID0-10 ppm10 ppb

PTM600手提式硅烷气体分析仪特点：● 防水溅、防尘、防爆、防震，本安电路设计，抗静电，抗电磁干扰，通过国标测试和CMC计量器具生产许可认证●防护级别IP66，内置水汽、粉尘过滤器，防止因水汽和粉尘损坏传感器和仪器●内置泵吸式测量，集成水汽、粉尘过滤器，可选配专业配件用于高温、高湿、高粉尘环境，响应迅速 特殊路设计，采样距高大于10米。●3.5寸高清彩屏显示实时浓度、报警、时间、温度、湿度、存储、通信、打印、电量、充电状态等信息，菜单界面采用高清仿真图标显示各个菜单的功能名称●大容量数据存储功能，标配10万条数据存储容量，更大容量可订制。可选配U盘存储或SD卡存储功能，支持实时存储、定时存储或只存报警浓度数据和时间、支持本机查看、删除数据，也可通过USB、红外通信、RS232 接口将数据上传到电脑，用上位机软件分析数据和存储、打印。●蓝牙通信接口、USB接口、RS232接口自动识别，可选配内置打印机或外置无线蓝牙打印机打印内容：公司名称、气体名称、日期时间、环境温湿度、浓度数据、检测结果(是否合格)●USB充电接口，可用电脑或充电宝充电，兼容手机充电器，过充、过放、过压、短路、过热保护，5级精准电量显示，支持USB热插拔，检测仪在充电时可正常工作●采用10800mAH大容量可充电高分子聚合物电池，可长时间连续工作●声光报警、视觉报警、欠压报警、故障报警，报警时多方位立体显示报警状态。●报警值可设，报警方式可选低报警、高报警、区间报警、加权平均值报警●高精度温湿度测量(选配)，同时对传感器进行温度补偿，仪器使用温度范围-40～70度，可检测1300度的气体(选配高温采样降温过滤手柄或高温高湿预处理系统)●最低可以检测到0.001PPM，最高可检测99.999%Vol，支持高低量程自动切换(订货时需注明)。●可以实时检测或定时检测(针对被测气体的量比较小的情况)，不检测时可以把泵关闭以延长开机时间。●可以同时检测1～6种气体，最多可扩展到24种气体，单位自由切换，常规气体不需要输入分子量，特殊气体需要输入分子量就自动计算并切换，单位可选：PPM、mg/m3、Vol%、LEL%、PPHM、ppb、mg/L●三种显示模式可切换：同时显示四种气体浓度、大字体循环显示单通道气体的浓度、实时曲线，各通道之间自动循环或手动循环可切换，可设置是否显示最大值、最小值、气体名称，可查看历史记录曲线图。●中英文界面可选择，默认中文界面，简明中文或英文操作提示，各个年龄阶段的使用者都可以轻松操作●数据恢复功能，可以选择性恢复或全部恢复，浓度校准误操作自动识别并阻止，避免人为因素造成的不良●零点自动跟踪，目标点多级校准，保证测量的线性度和精度，能同时符合国家标准和地方计量局标准。●可记录校准日志、维修日志、故障解决对策，传感器寿命到期提醒，下次浓度校准时间提醒功能PTM600手提式硅烷气体分析仪用于移动式需要精确检测分析硅烷气体浓度、温湿度测量的场合，PTM600六合一气体分析仪采用3.5寸高清彩屏实时显示浓度，采用的是当前行业内最好品牌的电化学或红外、催化燃烧、热导、PID光离子原理的气体传感器、瑞士高精度电容式数字温湿度传感器。PTM600先进的电路设计、成熟的内核算法处理，取得了多项软件著作专利和外观专利。PTM600可以检测分析管道中或受限空间、大气环境中的气体浓度也可以检测气体泄漏，检测气体种类超过500种，还可以检测分析各种背景气体为氮气或氧气的高浓度单一气体纯度。

北斗星仪器有毒气体报警器，气体探测器，气体传感器CPT2000系列测试的气体主要有：氢化物、丙烯氰、砷烷、硼烷、甲烷、丙烷、有机气体、可燃气、溴气、乙炔、甲醇、乙醇、甲醛、环氧乙烷、氯乙烯、三氯乙烯、氯甲酸乙酯、氯气、二氧化氯、一氧化碳、光气、二氧化碳、氟、锗烷、氢气、氘气、溴化氢、氢氰酸、氯化氢、氟化氢、氟化物、H2O、硫化氢、三氟化氮、氨、含磷毒剂、甲氨、二甲、氨、三甲氨、过氧化氢、肼、二氧化氮、氧化氮、氮氧化物、氧、溴氧、过氧乙酸、磷化氢/磷烷、二氯化二硅、四氯化硅、硅烷、灭火剂,制冷剂,碳氟化合物、碳氯化合物、碳溴化合物, 氟氯碳化物、二氧化硫、四氢噻吩、乙醛、三氯化砷、三氟化砷/五氟化砷、六氟化钨、六氟化钨、三氟化硼、三氯化硼、三溴化硼、甲硫醇、硫醇、硫醚、芥子气、丁硫醇、三氟化氯、三氟化氯、四氯硅锗、十氟化二硫、二氯化二硫、甲酸、锡化氢、碘、异丁醇、甲醇、二氯化磷、五氯化磷、磷酰氯、四氯化硅、锑化(三)氢、氟化硫磺、硫酰氟、六氟化硫、噻吩、四溴化锡、四氯化锡、四氯化钛、四氟化锡、三氯硅烷、三氯三(二氮陆圜)、三氟三(二氮陆圜)、溴甲烷、二硫化碳、二甲基硫醚、二甲基二硫、甲基黄酰氯等。具体测试参数指标请咨询北斗星仪器工程师。气体报警系统常识安静实验室环境：　选择智能变送器蜂鸣器报警即可无机械噪音车间：10米以内：变送器电压信号 ? 100 dB 声光报警器10-1000米: 变送器电流信号 ? 100 dB 声光报警器注意: 易燃易爆气体环境,必须选择符合等级的防爆器件、供电和安装系统重型机械，室外：10-1000米: 变送器电流信号 ? 100 dB 声报警器防爆/防尘/防水 Safety规 格防爆等级易燃易爆安全粉尘安全易燃易爆飘尘安全CPT2610AAIntrinsically Safe,T6Class I,Group A,B,C,DClass II, D1Class III,D1CPT2620AAIntrinsically Safe,T6CPT2620AExIntrinsically Safe,T6CPT2620AWEEx d IIC T3变送器性能 Specifications： l CPT2000型, 专业变送器电路。三/四线制。l 电流信号输出:0-2.5V,0/4-20mA，电流输出Z大负载RL=(Vs-2.7V)/0.020mA。l 2610/2620耗电约50mA*5V，为本安型，可直接用于1，2，3 Class。专门定制，方可用于“0”区。防爆区域使用，注意防爆安全要求以及相应的供电、接线、作业等规范。l 2310/2410类耗电功率 650mA*5V，只有定制隔爆型,方可用于1,2,3类防爆场所。 l 电路测试精度0.05%FS。l 测试种类和准确度由所配探头决定。一般探头理论精度1.5%。由于飘逸，污染，成分干扰等因素实际正常使用相对准确度只能可达到1.5-10%左右。l 外接电源DC 12-24V, 功率:1.40 W, 基本测试功耗100mW。l 工作温度: 一般直接测试 0-50 ℃ (由具体探头之性能决定)。l 压力: 一般直接测试 0-0.7kgf/cm2 (由具体探头之性能决定)。仪器维护:l 保持变送器表面干净,不能有明显的污垢吸着于表面。建议根据现场情况制定定期检查和清理计划；l 变送器每年标定或校准1次，2610系列1-2年定期更换探头；2310/2410系列5-10年更换一次。具体维护周期依所选探头确定。选型常识：l 本系列变送器不是都可以达到分析仪的水平 2610有线性输出,但是普遍受干扰气体影响,只有特定背景气体中,才能达到定量测试要求 l 2310系列只能作为报警器使用,信号输出与浓度的平方根成比例 要求定量时必须选择BD5智能型产品或配套我所其他显示报警器。l 车间报警器布置:1) 巨毒气体或其它危险气体每隔1.5-3米空间距离布置一个变送器；不是非常危险的气体，可以隔7-10米布置；重点保障泄露源附近按规定布置。2) 空气流动性较好的情况下可以适当减少布点，注意将变送器布置在有代表性的气流区域---下风口。3) 装有风扇等临时启动排风装置：基本按空间概念布置；4) 常通风的车间: 一般出风口附近2米左右处安装一个探测器，如果有死角，也应该合理布置探头；另外潜在泄露点下风位置合理布置探头。5) 探头安装高度：相对与空气，特别轻的气体，例如氢气，应该将变送器装在较高的位置；比重比空气重的气体， 则装在泄露点以下位置。一般毒性气体探头装在人头高度（1.3-1.8米空间高度）。l 室外罐区等布置：首先考虑地方各季节的风向特点，确保下风位置有探头；其次考虑具有可能泄露点布置探测，探头仍应装在相对的下风口方位。室外安装高度，一般应该与可能的泄露点位置平行。但是比重轻的气体探头仍应考虑偏上方安装，重的气体则在下方安装。常年风力较大的地方，主要与泄露点平行安装。l 易燃易爆车间，尽量不要采用变送器直接报警，而是通过安装在仪表室的控制器连接报警系统，这样工厂安装容易达到具体工业安全标准要求。0区报警系统应特别订货。

MS400便携式硅烷检测报警仪用于便携式快速检测硅烷气体浓度、温湿度测量并超标报警的场合。MS400复合式四合一气体检测仪采用2.31寸高清彩屏实时显示浓度，选用知名品牌的气体传感器，主要检测原理有：电化学、红外、催化燃烧、热导、PID光离子。先进的电路设计、成熟的内核算法处理，取得了多项软件著作专利和外观专利。MS400可以检测管道中或受限空间、大气环境中的气体浓度，可以检测气体泄漏或各种背景气体为氮气或氧气的高浓度单一气体纯度，检测气体种类超过500种。　　MS400便携式硅烷检测报警仪特点：　　● 防水溅、防尘、防爆、防震，本安电路设计，抗静电，抗电磁干扰，通过国标测试和CMC计量器具生产许可认证　　●防护级别IP65，内置水汽、粉尘过滤器，防止因水汽和粉尘损坏传感器和仪器　　●内置泵吸式测量，集成水汽、粉尘过滤器，可选配专业配件用于高温、高湿、高粉尘环境，响应迅速 特殊路设计，采样距高大于10米。　　●2.31寸高清彩屏显示实时浓度、报警、时间、温度、湿度、存储、通信、电量、充电状态等信息，菜单界面采用高清仿真图标显示各个菜单的功能名称　　●大容量数据存储功能，支持10万条数据存储容量，更大容量可订制。支持实时存储、定时存储，或只存报警浓度数据和时间、支持本机查看、删除数据，也可通过USB接口将数据上传到电脑，用上位机软件分析数据和存储、打印。　　●USB充电接口，可用电脑或充电宝充电，兼容手机充电器，过充、过放、过压、短路、过热保护，5级精准电量显示，支持USB热插拔，检测仪在充电时可正常工作，选配RS485通讯　　●采用4600mAH大容量可充电高分子聚合物电池，可长时间连续工作　　●声光报警、振动报警、视觉报警、欠压报警、故障报警，报警时多方位立体显示报警状态。　　●报警值可设，报警方式可选低报警、高报警、区间报警、加权平均值报警　　●高精度温湿度测量(选配)，同时对传感器进行温度补偿，仪器使用温度范围-40～70度，可检测400度的气体，更高温度的气体检测可订制(选配高温采样降温过滤手柄或高温高湿预处理系统)　　●可以选配同时检测1～4种气体，单位自由切换，常规气体不需要输入分子量，特殊气体需要输入分子量就自动计算并切换，单位可选：PPM、mg/m3、Vol%、LEL%、PPHM、ppb、mg/L　　●三种显示模式可切换：同时显示四种气体浓度、大字体循环显示单通道气体的浓度、实时曲线，各通道之间自动循环或手动循环可切换，可设置是否显示最大值、最小值、气体名称，可查看历史记录曲线图。　　●中英文界面可选择，默认中文界面，简明中文或英文操作提示　　●数据恢复功能，可以选择性恢复或全部恢复，免去误操作引起的后顾之忧　　●零点自动跟踪，长期使用不受零点漂移影响。　　●目标点三级校准，保证测量的线性度和精度，能同时符合国家标准和地方计量局标准。　　●浓度校准误操作自动识别并阻止，能避免人为因素造成的不良。　　●可以实时检测或定时检测(针对被测气体的量比较小的情况)，不检测时可以把泵关闭以延长开机时间。　　●可记录校准日志、维修日志、故障解决对策，传感器寿命到期提醒，下次浓度校准时间提醒功能　　MS400便携式硅烷检测报警仪技术参数：　　检测气体：硅烷SiH4 ，选配：同时检测1～4种气体浓度和温湿度测量，视传感器和现场环境而定　　检测范围：0～10ppm、100、1000ppm、100%LEL可选，其他量程可订制　　分 辨 率：0.01ppm或0.001ppm(0～10 ppm) 0.01ppm(0～100 ppm)，0.1ppm(0～1000 ppm)，1ppm(0～1000 ppm以上)，0.1%LEL(0～100%LEL)、0.01%Vol或0.001%Vol(0～99.999%Vol)　　检测原理：电化学、红外、热导、PID光离子、催化燃烧，根据气体类型、量程、现场环境和用户需求而定　　传感器寿命：电化学原理2～3年，氧气2年或6年，红外5～10年，催化燃烧3年、热导5年，PID2年　　检测方式：内置泵吸式，流量500毫升/分钟　　显示方式：2.31寸320X240高清彩屏显示,5按键操作　　检测精度：≤±3%(F.S)(更高精度可定制)　　线 性 度：≤±2%　　重 复 性：≤±2%　　报警方式：声光报警、振动报警、视觉报警、声光+振动+视觉报警、关闭报警可选　　响应时间：T90≤20秒　　恢复时间：≤30秒　　工作电源：DC3.7V　　电池容量：3.7VDC，4600mAH大容量可充电高分子聚合物电池 ,带过充、过放、过压、过热、短路保护功能　　使用环境：温度-40℃~+70℃ 相对湿度≤0-99%RH(内置过滤器可在高湿度或高粉尘环境使用)　　样气温度：-40℃~+70℃ ，选配高温采样降温过滤手柄，可检测400度或更高温度的烟气浓度　　温度测量：-40℃~+70℃(选配) 精度0.5℃　　湿度测量：0-100%RH(选配) 精度3%RH　　数据存储：标配10万条数据容量，支持本机查看、删除或数据导出，免费上位机通讯软件　　存储功能默认为关闭状态，可设置为开启状态，存储时间间隔任意设置　　通讯接口：USB(充电与通讯)，选配RS485通讯接口　　界面语言：中文或英文可设置，默认中文界面　　防爆类型：本质安全型　　防爆标志：Exia II CT4　　防护等级：IP65，防尘、防水溅　　外型尺寸：178×70×40mm(L×W×H)　　重 量：300g　　标准附件：说明书、合格证、保修卡、USB充电器(含数据线)、高档铝合金仪器箱 、鳄鱼夹、光盘(上位机通讯软件)、湿度粉尘过滤器1个　　选配附件：温湿度测量功能、0.9 m 可伸缩采样手柄(1-10米软管，标准长度1米)、高温采样降温过滤手柄、高温高湿预处理系统、湿度粉尘过滤器多个、挂绳　　应用场合：石油、化工、医药、环保、烟气分析、空气治理等所有需要检测气体浓度的场合

PTM600手提式硅烷气体分析仪用于移动式需要精确检测分析硅烷气体浓度、温湿度测量的场合，PTM600六合一气体分析仪采用3.5寸高清彩屏实时显示浓度，采用的是当前行业内最好品牌的电化学或红外、催化燃烧、热导、PID光离子原理的气体传感器、瑞士高精度电容式数字温湿度传感器。PTM600先进的电路设计、成熟的内核算法处理，取得了多项软件著作专利和外观专利。PTM600可以检测分析管道中或受限空间、大气环境中的气体浓度也可以检测气体泄漏，检测气体种类超过500种，还可以检测分析各种背景气体为氮气或氧气的高浓度单一气体纯度。　　PTM600手提式硅烷气体分析仪特点：　　● 防水溅、防尘、防爆、防震，本安电路设计，抗静电，抗电磁干扰，通过国标测试和CMC计量器具生产许可认证　　●防护级别IP66，内置水汽、粉尘过滤器，防止因水汽和粉尘损坏传感器和仪器　　●内置泵吸式测量，集成水汽、粉尘过滤器，可选配专业配件用于高温、高湿、高粉尘环境，响应迅速 特殊路设计，采样距高大于10米。　　●3.5寸高清彩屏显示实时浓度、报警、时间、温度、湿度、存储、通信、打印、电量、充电状态等信息，菜单界面采用高清仿真图标显示各个菜单的功能名称　　●大容量数据存储功能，标配10万条数据存储容量，更大容量可订制。可选配U盘存储或SD卡存储功能，支持实时存储、定时存储或只存报警浓度数据和时间、支持本机查看、删除数据，也可通过USB、红外通信、RS232 接口将数据上传到电脑，用上位机软件分析数据和存储、打印。　　●蓝牙通信接口、USB接口、RS232接口自动识别，可选配内置打印机或外置无线蓝牙打印机打印内容：公司名称、气体名称、日期时间、环境温湿度、浓度数据、检测结果(是否合格)　　●USB充电接口，可用电脑或充电宝充电，兼容手机充电器，过充、过放、过压、短路、过热保护，5级精准电量显示，支持USB热插拔，检测仪在充电时可正常工作　　●采用10800mAH大容量可充电高分子聚合物电池，可长时间连续工作　　●声光报警、视觉报警、欠压报警、故障报警，报警时多方位立体显示报警状态。　　●报警值可设，报警方式可选低报警、高报警、区间报警、加权平均值报警　　●高精度温湿度测量(选配)，同时对传感器进行温度补偿，仪器使用温度范围-40～70度，可检测1300度的气体(选配高温采样降温过滤手柄或高温高湿预处理系统)　　●最低可以检测到0.001PPM，最高可检测99.999%Vol，支持高低量程自动切换(订货时需注明)。　　●可以实时检测或定时检测(针对被测气体的量比较小的情况)，不检测时可以把泵关闭以延长开机时间。　　●可以同时检测1～6种气体，最多可扩展到24种气体，单位自由切换，常规气体不需要输入分子量，特殊气体需要输入分子量就自动计算并切换，单位可选：PPM、mg/m3、Vol%、LEL%、PPHM、ppb、mg/L　　●三种显示模式可切换：同时显示四种气体浓度、大字体循环显示单通道气体的浓度、实时曲线，各通道之间自动循环或手动循环可切换，可设置是否显示最大值、最小值、气体名称，可查看历史记录曲线图。　　●中英文界面可选择，默认中文界面，简明中文或英文操作提示，各个年龄阶段的使用者都可以轻松操作　　●数据恢复功能，可以选择性恢复或全部恢复，浓度校准误操作自动识别并阻止，避免人为因素造成的不良　　●零点自动跟踪，目标点多级校准，保证测量的线性度和精度，能同时符合国家标准和地方计量局标准。　　●可记录校准日志、维修日志、故障解决对策，传感器寿命到期提醒，下次浓度校准时间提醒功能　　PTM600手提式硅烷气体分析仪技术参数：　　检测气体：硅烷SiH4 ，选配：同时检测1～6种，最多18种气体和温湿度测量，视传感器和现场环境而定　　检测范围：0～1ppm、10、50、100、200ppm、100%LEL可选，其他量程可订制　　分 辨 率：0.01ppm或0.001ppm(0～10 ppm) 0.01ppm(0～100 ppm)，0.1ppm(0～1000 ppm)，1ppm(0～1000 ppm以上)，0.1%LEL(0～100%LEL)、0.01%Vol或0.001%Vol(0～99.999%Vol)　　检测原理：电化学、红外、热导、PID光离子、催化燃烧，根据气体类型、量程、现场环境和用户需求而定　　传感器寿命：电化学原理3年，氧气2年或6年，红外5～10年，催化燃烧3年、热导5年，PID2年　　检测方式：内置泵吸式，流量800毫升/分钟　　显示方式：3.5寸320X240分辨率的大屏幕高清彩屏显示　　检测精度：≤±2%(F.S)(更高精度可定制)　　线 性 度：≤±2%　　重 复 性：≤±2%　　不确定度：≤±2%　　报警方式：声光报警、视觉报警、声光+视觉报警、关闭报警　　响应时间：T90≤20秒　　恢复时间：≤30秒　　工作电源：DC3.7V　　使用环境：温度-40℃~+70℃ 相对湿度≤0-99%RH　　样气温度：-40℃~+70℃ ，选配高温采样降温过滤手柄或高温高湿度预处理系统可检测1300℃的烟气浓度　　温度显示：-40℃~+70℃(选配) 精度0.5℃　　湿度显示：0-100%RH (选配)精度3%RH　　电池容量：3.7VDC，10800mAH可充电的高分子聚合物电池 ,带过充、过放、过压、短路保护功能　　数据存储：标准容量10万条数据，选配SD卡、U盘存储，容量不限，支持本机查看、删除或数据导出，免费上位机通讯软件，存储功能默认为关闭状态，可设置为开启状态，存储时间间隔任意设置　　通讯接口：蓝牙、USB、RS232 自动识别　　打 印 机：选配，内置微型打印机或外置微型无线蓝牙打印机　　无线传输：选配，可以把数据无线传输到手机、远程监控中心、监控电脑等监控设备，利用上位机在电脑上　　进行数据分析、存储、打印等功能　　防爆类型：本质安全型　　防爆标志：Exia II CT4　　防护等级：IP66，防雨淋与水溅、防尘　　外型尺寸：255×210×125mm(L×H×W)　　重 量：2.5Kg　　标准附件：说明书、合格证、保修卡、USB充电器(含数据线)、高档铝合金仪器箱、光盘(上位机通讯软件) 、40cm不锈钢采样手柄(1米软管)　　选配附件：内置微型打印机、外置微型无线蓝牙打印机、温湿度测量功能、U盘存储、无线数据通讯功能、高温采样降温过滤手柄、高温高湿预处理系统、外置远距离采样泵、湿度粉尘过滤器多个、0.9m 可伸缩采样手柄(1米软管)　　应用场合：石油、化工、医药、环保、烟气分析、空气治理等所有需要检测分析气体浓度的场合

仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统 二氯硅烷氦离子色谱仪仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市成果转化A级项目、上海市重点新产品、上海市火炬计划和2009科学仪器产品等称号。 项目名称指标三氯氢硅(SiHCl3 )含量（体积分数）/l0-6 ≤ 10(一氯硅烷+氯化氢)含量（SiH3Cl+HCl）含量”，以氯化氢计（体积分数）/l0-6 ≤50氮（N2）含量（体积分数）/l0-6 ≤1（氧+氩）（O2+Ar）含量（体积分数）/l0-6 ≤1一氧化碳（CO）含量（体积分数）/l0-6 ≤1氢（H2）含量（体积分数）/l0-6 ≤10二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/l0-6 ≤1总烃（THC）含量，以甲烷（CH4）计（体积分数）/l0-6 ≤1金属元素及其他元素含量（硼+铝）（B+Al）含量/（μg/kg） ≤0.1（磷+砷）（P+As）含量/（μg/kg） ≤0.3镓（Ga）含量/（μg/kg） ≤0.1锑（Sb）含量/（μg/kg） ≤0.1铟（In）含量/（μg/kg） ≤0.1钙（Ca）含量/（μg/kg） ≤1铬（Cr）含量/（μg/kg） ≤1铁（Fe）含量/（μg/kg） ≤5钾（K）含量/（μg/kg） ≤1钠（Na）含量/（μg/kg） ≤0.2镍（Ni）含量/（μg/kg） ≤1钼（Mo）含量/（μg/kg） ≤0.1锰（Mn） 含量/（μg/kg） ≤0.2铜（Cu）含量/（μg/kg） ≤0.2镉（Cd） 含量/（μg/kg） ≤0.5钴（Co）含量/（μg/kg） ≤0.5锌（Zn）含量/（μg/kg） ≤0.1

InertSi 硅烷化不锈钢苏玛罐功能：采集环境空气样，用于分析低浓度挥发性有机化合物。原理：采样前罐清洗干净并抽真空，采样时打开阀门，气体样品因罐内真空流入采样罐，关上阀门，待测。材质：316 不锈钢，阀门及内表面惰硅处理。特点：1）主要用于采集环境空气中低浓度VOCs，高纯氮气清洗，可循环利用；2）阀门及罐体内表面惰硅（InertSi） 钝化，有效降低分析物的吸附；3）真空无动力采样，便于外业实验进行；4）自带压力表，真实准确反映罐内压力状态，防止漏气；（压力表选配）5）采样速度可调，可用于瞬时采样、平均采样等多种采样状态；6）拥有1L、3L、6L、15L 多种规格采样罐，满足不同采样体积要求。表1 环境空气采样罐信息型号容积（mL）规格（cm）附件净重(kg)YW-500500 ±20圆柱形真空压力复合表、惰硅采样阀YW-10001000 ±20圆柱形，柱体直径9.0, 柱高 15.7真空压力复合表、惰硅采样阀0.708YW-30003000 ±30球形，球体直径17.9真空压力复合表、惰硅采样阀1.755YW-60006005 ± 50球形，球体直径22.5真空压力复合表、惰硅采样阀2.047YW-1500015008 ± 110圆柱形，柱体直径27.2，柱高 18.0真空压力复合表、惰硅采样阀5.496订货信息：InertSi 硅烷化苏玛罐一：配置硅烷化膜片阀（TOV）产品名称货号惰硅 0.5-L 不锈钢苏玛罐（不含压力表）YW-500-B0-V1惰硅 1-L 不锈钢苏玛罐（不含压力表）YW-1000-B0-V1惰硅 3-L 不锈钢苏玛罐（不含压力表）YW-3000-B0-V1惰硅 6-L 不锈钢苏玛罐（不含压力表）YW-6000-B0-V1惰硅 15-L 不锈钢苏玛罐（不含压力表）YW-15000-B0-V1备注：1. 所有采样罐内表面均经硅烷化钝化处理。2. 采样罐阀门配置美国Gentec 硅烷化膜片阀（TOV）。3. 配置的是德国产AB 真空压力复合表（真空0-30"Hg 压力0-30 psi)。4.压力表选配。

产品概述凭借其可配置的大容量腔室，手动加载的EcoCoat硅烷气相沉积系统旨在满足您的工艺开发和批量生产要求。 三条独立的蒸汽输送管线，出色的热均匀性和原位气体等离子体为系统提供了工艺灵活性，同时为晶圆，载玻片或热塑性表面保持了优异的硅烷单层沉积均匀性。&bull 表面改性以促进/防止粘附&bull 用于NIL，MEMS，AR/VR的防粘膜&bull 生物分子与玻璃，塑料或硅的共价键合&bull 等离子清洁和活化表面，控制疏水性灵活的化学蒸汽输送系统可与多种有机硅烷兼容。 可以使用小型测试瓶或大型安瓿瓶，从而实现从研究到低成本的大批量生产的过渡。 三个独立的蒸汽输送管线可容纳多种前体或水，以实现表面水合，从而实现最佳的硅烷与底物的结合。 集成的等离子体功能通过三个独立的MFC控制的过程气体输入来实现。 灵活的腔室搁板/电极允许从晶片（200/300 mm）到载玻片和3D热塑设备使用各种各样的基板形状因子。技术参数射频等离子体频率/功率：40 kHz，100-1000瓦工作温度：环境温度205°C温度均匀度：稳定后±1.5％腔室压力控制：100 mT-100 T化学用量：0.1 – 3.0 mL（典型过程）化学分配量：增加0.1 mL化学物数量：最多三种排气量：平均10 SCF运行箱体材质：316L不锈钢腔室尺寸：40.6厘米（宽）x 46厘米（深）x 40.6厘米（高）（16“ x 18” x 16“）系统整体尺寸：116厘米（宽）x 98.4厘米（深）x 112.73厘米（高）（46英寸x 38.75英寸x 44.38英寸）灯塔增加了30厘米装载：12个可移动的不锈钢架子可实现灵活的基板装载和多种等离子体操作模式，包括有源，下游，RIE和离子阱晶圆容量：8盒100毫米-150毫米晶圆/ 2盒200毫米晶圆/ 1盒300毫米晶圆滑轨容量：使用定制机架最多可容纳2,000个蒸汽输送线：三条，具有独立的过程和温度控制

在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。产品型号：HMDS-6210 产品名称：真空烘箱（带基片预处理系统）电源电压：AC 380V± 10%/50Hz± 2%输入功率：4000W控温范围：室温+10℃-250℃温度分辨率：0.1℃温度波动度：± 0.5℃达到真空度：133Pa容积：210L工作室尺寸（mm）：560*640*600外形尺寸（mm）：720*820*1750载物托架：3块时间单位：分钟真空泵：国内好品牌，上海慕鸿型号：DM-4，旋片式油泵。产品特点：1、机外壳采用医用级不锈钢316L材质制造，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。2、箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。3、微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。4、智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。5、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。6、整个系统采用优质材料制造，无发尘材料，适用100 级光刻间净化环境。 HMDS预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。HMDS-6000系列预处理系统的原理： HMDS-6000 预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。HMDS-6000系列预处理系统的一般工作流程：首先确定烘箱工作温度。典型的预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真牢度达到某一高真空度后，开始充人氮气，充到达到某低真空度后，冉次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应。当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。HMDS与硅片反应机理如图：首先加热到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表而生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。尾气排放：多余的HMDS蒸汽（尾气）将由真空泵抽出，排放到专用废气收集管道。在无专用废气收集管道时需做专门处理。

在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。产品技术参数：电源电压：AC 380V± 10%/50Hz± 2%输入功率：3000W控温范围：室温+10℃-250℃温度分辨率：0.1℃温度波动度：0.5℃达到真空度：133Pa容积：90L工作室尺寸（mm）：450*450*450外形尺寸（mm）：615*590*1470载物托架：2块时间单位：分钟真空泵：国内品牌上海慕鸿型号：DM-4，旋片式油泵。 产品特点：1、机外壳采用医用级不锈钢316L材质制造，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。2、箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。3、微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。4、智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。5、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。6、整个系统采用优质材料制造，无发尘材料，适用100 级光刻间净化环境。 HMDS预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。HMDS-6000系列预处理系统的原理： HMDS-6000 预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。HMDS-6000系列预处理系统的一般工作流程：首先确定烘箱工作温度。典型的预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真牢度达到某一高真空度后，开始充人氮气，充到达到某低真空度后，冉次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应。当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。HMDS与硅片反应机理如图：首先加热到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表而生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。尾气排放：多余的HMDS蒸汽（尾气）将由真空泵抽出，排放到专用废气收集管道。在无专用废气收集管道时需做专门处理。

在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。产品技术参数：电源电压：AC 380V± 10%/50Hz± 2%输入功率：4000W控温范围：室温+10℃-250℃温度分辨率：0.1℃温度波动度：± 0.5℃达到真空度：133Pa容积：210L工作室尺寸（mm）：560*640*600外形尺寸（mm）：720*820*1750载物托架：3块时间单位：分钟真空泵：国内品牌，上海慕鸿型号：DM-4，旋片式油泵。 产品特点：1、机外壳采用医用级不锈钢316L材质制造，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。2、箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。3、微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。4、智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。5、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。6、整个系统采用优质材料制造，无发尘材料，适用100 级光刻间净化环境。 HMDS预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。HMDS-6000系列预处理系统的原理： HMDS-6000 预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。HMDS-6000系列预处理系统的一般工作流程：首先确定烘箱工作温度。典型的预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真牢度达到某一高真空度后，开始充人氮气，充到达到某低真空度后，冉次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应。当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。HMDS与硅片反应机理如图：首先加热到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表而生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。尾气排放：多余的HMDS蒸汽（尾气）将由真空泵抽出，排放到专用废气收集管道。在无专用废气收集管道时需做专门处理。

在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。产品技术参数：电源电压：AC 380V± 10%/50Hz± 2%输入功率：3000W控温范围：室温+10℃-250℃温度分辨率：0.1℃温度波动度：± 0.5℃达到真空度：133Pa容积：90L工作室尺寸（mm）：450*450*450外形尺寸（mm）：615*590*1470载物托架：2块时间单位：分钟真空泵：国内品牌上海慕鸿型号：DM-4，旋片式油泵。 产品特点：1、机外壳采用医用级不锈钢316L材质制造，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。2、箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。3、微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。4、智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。5、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。6、整个系统采用优质材料制造，无发尘材料，适用100 级光刻间净化环境。 HMDS预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。HMDS-6000系列预处理系统的原理： HMDS-6000 预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。HMDS-6000系列预处理系统的一般工作流程：首先确定烘箱工作温度。典型的预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真牢度达到某一高真空度后，开始充人氮气，充到达到某低真空度后，冉次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应。当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。HMDS与硅片反应机理如图：首先加热到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表而生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。尾气排放：多余的HMDS蒸汽（尾气）将由真空泵抽出，排放到专用废气收集管道。在无专用废气收集管道时需做专门处理。

在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。产品技术参数：电源电压：AC 380V± 10%/50Hz± 2%输入功率：3000W控温范围：室温+10℃-250℃温度分辨率：0.1℃温度波动度：± 0.5℃达到真空度：133Pa容积：90L工作室尺寸（mm）：450*450*450外形尺寸（mm）：615*590*1470载物托架：2块时间单位：分钟真空泵：国内品牌上海慕鸿型号：DM-4，旋片式油泵。 产品特点：1、机外壳采用医用级不锈钢316L材质制造，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。2、箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。3、微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。4、智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。5、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。6、整个系统采用优质材料制造，无发尘材料，适用100 级光刻间净化环境。 HMDS预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。HMDS-6000系列预处理系统的原理： HMDS-6000 预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。HMDS-6000系列预处理系统的一般工作流程：首先确定烘箱工作温度。典型的预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真牢度达到某一高真空度后，开始充人氮气，充到达到某低真空度后，冉次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应。当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。HMDS与硅片反应机理如图：首先加热到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表而生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。尾气排放：多余的HMDS蒸汽（尾气）将由真空泵抽出，排放到专用废气收集管道。在无专用废气收集管道时需做专门处理。

产品介绍：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。产品特点：1、机外壳采用不锈钢SUS304材质制造，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。2、箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。3、微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。4、智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。5、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封，确保HMDS气体无外漏顾虑。6、整个系统采用材料制造，无发尘材料，适用100级光刻间净化环境。产品参数：型号HMDS-20HMDS-90HMDS-210容积20L90L210L电源电压AC220V±10%/50Hz±2%AC380V±10%/50Hz±2%输入功率1500W3000W4000W控温范围室温+10℃-250℃温度分辨率0.1℃温度波动度±0.5℃达到真空度133Pa工作室尺寸（mm）300*300*275450*450*450560*640*600外形尺寸（mm）465*465*725850*700*1400720*820*1050载物托架1块2快3块时间单位分钟选配件真空泵：德国品牌，莱宝“DC”双极系列旋片式油泵，真空高，噪音低，运行稳定。连接管：不锈钢波纹管，完全密封将真空泵与烘箱连接。HMDS预处理的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。真空镀膜机的原理：HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。真空镀膜机的一般工作流程：先确定烘箱工作温度。典型的预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真空度达到某一高真空度后，开始充人氮气，充到达到某低真空度后，再次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应。当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。HMDS与硅片反应机理如图：先加热到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表而生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。尾气排放等：多余的HMDS蒸汽（尾气）将由真空泵抽出，排放到专用废气收集管道。在无专用废气收集管道时需做专门处理。

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