颗粒计数器在电子级硫酸中颗粒管控方案
为什么要对电子级硫酸进行颗粒管控:电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元的件成品率、电性能及可靠性有着重要 的影响。电子级硫酸是芯片制造工艺中用量最大的电子化学品,主要用于去除晶圆片上残留的金属和有机物杂质,质量要求高,产品中金属离子须达到 ppt 级目前,我国电子级硫酸产品完全依赖德国 BASF 等外企进口,严重制约我国芯片产业发展,是主要“卡脖子”产品之一。近两年,我国电子级硫酸制备技术取得突破,产品质量显著提高,电子级硫 酸产品中金属离子浓度均小于 10ppt,超越了国际 SEMI-C12(金属离子 100ppt) 级别,与国际电子化学品供应量最大、品质最好的巴斯夫电子级硫酸品质处同一级(金属离子