划痕检测仪

注塑汽车部件的耐划伤性在保持汽车原有的漂亮外观方面起着非常重要的作用。添加剂可以提高注塑材料的耐划伤性能，而共聚焦显微镜可以快速对添加剂增强耐划伤性的效果进行非常精确的量化分析。Croda International（克罗达国际公司）的研究科学家们使用奥林巴斯的LEXT OLS5000共聚焦显微镜完成了一些标准化划痕检测，以证明其所生产的添加剂在提高耐划伤性方面具有积极的作用。结果表明，这种检测方法不仅可以消除操作人员在技能上的差异，而且还显著提高了检测的精确性和速度。塑料由于具有用途广泛、寿命较长且成本较低的特性，而被用于生产多种汽车部件。聚合物材料在性能上的提高，加上汽车制造业追求更轻便材料的动力，促使汽车制造业中所使用的塑料呈现出更为多样化的发展趋势。汽车上的很多塑料部件都暴露在外，清楚可见，这就意味着这些部件的外观在保持汽车的美观和价值方面起着举足轻重的作用。具有耐划伤性的材料可以减少汽车外观受到磨损的情况，从而有助于汽车在长期使用后仍然保持原有的价值。构成材料的精确成分可以决定材料的耐划伤性能，而对某种特定材料进行的详细检测可以表明其耐划伤性的水平。在克罗达公司完成的划痕检测作为耐划伤性添加剂的供应商，克罗达公司会定期进行划痕检测，以证明他们的添加剂产品对提高塑料性能所起到的积极作用。Martin Read是克罗达公司聚合物添加剂应用团队的领导，也是抗划伤项目的首席科学家。在谈到可检测的材料范围时，Martin解释说：“我们可以检测汽车上的所有材料，从透明材料，如：手势控制装置中使用的材料以及用于隐藏传感器的表面材料，到具有高光泽度的所谓的“钢琴黑”表面。在对这些表面进行清洁和抛光时，非常容易留下细微的划痕。为了证明添加剂可以提高耐划伤性能，研究人员制造了一些由不同成分构成的板子，并使用一种标准化工具，以规定的1–20N力量在板子上留下划痕。Martin说：“在检测之前，要在聚合物板上制造划痕，划痕的两侧各有两行凸起，类似于犁过的田地。” 然后，要对划痕的深度、宽度和轮廓进行测量，通过对不同材料成分的聚合物板进行同类的测量，可以确定不同材料成分在耐划伤性方面的差异。克罗达公司最初的设置是使用宽场材料显微镜测量划痕的宽度，再使用白光干涉仪显示划痕轮廓的方法确定划痕的深度。然而，这种方法极为耗时，特别是因为设置干涉仪和分析其结果的过程非常复杂。此外，在使用干涉测量法时，测量结果还会因操作人员较大的技能差异而有所不同，并会因表面轮廓上出现的伪影而有失准确。为了获得更精确的数据，并加快工作流程，研究人员对奥林巴斯的LEXT OLS5000共聚焦显微镜进行了测试（图3），以确认是否可以通过使用一台仪器测量所有相关的参数。LEXT OLS5000显微镜既可以快速完成扫描，又可以为创建宽范围的3D样品图像提供可量化的详细数据。通过使用LEXT OLS5000显微镜，克罗达公司的研究人员将测量结果的精度提高了一个以上的量级。在评估划痕的深度和轮廓方面，精度的改进表现得最为明显：测量精度接近于10纳米。Martin评论道：“由于LEXT系统可以在3D图像中进行准确的测量，我们只需观察划痕的一个切片图像，即可对划痕的深度进行测量，这种方法简单多了”。使用干涉测量法测量划痕的深度和轮廓所面临的关键性挑战，是聚丙烯等材料的轮廓会显示为尖状凸起的边缘。这些伪影是干涉仪未能探测到表面的结果，而且会影响测量的效果。Martin解释说：“由于聚丙烯材料具有多孔结构，因此干涉仪可能没有探测到表面，而是通过空隙看到了材料的内部。”在使用LEXT显微镜测量相同的样品时，研究人员可以获得划伤表面的更平滑的图像。这种图形可以准确地呈现划痕的轮廓，从而有助于进行精确的测量。在成像、测量和分析的速度方面，LEXT OLS5000显微镜的优势甚至表现得更加明显。克罗达公司的研究人员发现使用LEXT OLS5000显微镜对划痕的宽度和深度进行测量，可以使检测速度高出干涉测量法的10到100倍。“要测量划痕，我们必须尽量对干涉仪进行较为粗糙的设置，”Martin说，“而进行这种设置极为困难。进行一次测量，需要花费约1小时的时间。而使用共聚焦显微镜，我们可以在2分钟内测量和处理塑料表面上的10个划痕。”耐划伤性添加剂可以提升汽车外观的审美性，并确保汽车在更长的时间内保持其自身的价值。在划痕检测中完成的精确测量，可以可靠地验证添加剂对加强注塑部件的耐划伤性所起到的积极作用。克罗达公司最初使用的测量划痕的方法基于光学显微镜和干涉测量法。这个方案不仅非常耗时，而且还会使表面轮廓出现伪影。在购买了奥林巴斯的LEXT OLS5000共聚焦显微镜之后，克罗达公司的研究人员就可以完成比光学显微镜和干涉测量法更精确的测量，而且还可以避免因操作人员在技能水平上的差异而对测量结果产生的影响。他们还设法以快于原先方法10到100倍的速度完成测量，从而可以说明LEXT显微镜不仅可以改善数据质量，还可以提高检测效率。

如果是黄金交易商或典当行老板，就需要适当的工具来确保您提供给客户的是纯金、白银和其他贵金属。有几种方法可以用来检测黄金和其他贵金属的纯度和真伪。这些方法包括电导率测量、酸划痕试验，以及X射线荧光（XRF）检测。这篇文章将详细介绍每一种黄金检测方法，并对它们进行比较，以便您利用正确的技术帮助实现贵金属真伪判断。电导率测量电导率测量涉及到使用电子设备来测量金属的导电性。不同的金属有独特的电导率水平，所以这种方法可以用来识别某一金属类型。然而，这种方法并不总是准确的，因为一些合金和混合金属可能有类似的电导率水平。实际上，样品的温度也会影响测试结果。酸划痕试验酸划痕试验涉及到在金属的一小块区域滴上一小滴酸，并观察其反应。不同的酸被用来测试不同的金属，如用盐酸测试金，用硝酸测试银。如果金属是真的，酸不会对其表面造成明显的影响。如果金属不纯或为合金，酸会与其发生反应，金属表面会出现划痕或变色。尽管这种方法快速且容易执行，但可能得到主观的结果。此外，通常认为酸划痕试验的准确度很低。因此，酸划痕试验不能被认为是一种定量方法。XRF检测XRF检测是一种更加准确和全面的测试贵金属含量和贵金属纯度的方法。X射线荧光分析仪向金属发射X射线，测量受激电子释放的能量以确定样品的成分，并在几秒钟内提供结果。这种检测方法不仅快速简单，而且X射线荧光分析仪通常被认为是测试金属的较为可靠的方法。下表显示了X射线荧光分析仪的准确度和精度，该表将贵金属X射线荧光分析仪的检测结果（测试样品中元素的百分比）与黄金珠宝合金的认定参考标准进行了比较。XRF检测也是一种无损贵金属分析方法。换句话说，XRF检测不会对被评估的金属（而酸划痕试验可能会在金属上面留下痕迹）造成损害。为了提高灵活性，X射线荧光分析仪有坚固耐用的手持式版本，用于在现场测试金属，也有为展厅环境设计的台式版本。介绍一种检测金银珠宝的更简单的方法全新Vanta GX贵金属分析仪可满足此需求，这是一种台式X射线荧光分析仪，易于使用且价格合理。只需按下一个按钮就能证实金、银、白金、钯和其他贵金属的纯度和百分比。该分析仪还提供内容全面的成分结果，以便您能准确地为物品定价。检测多达27种化学元素，包括有害元素（铅或镉）和低价元素。有了这些可操作的检测结果，一旦出现镀金警报，我们就能很容易地识别出赝品。Vanta GX贵金属分析仪使用贵金属X射线荧光分析仪来验证贵金属，可以保证您向客户提供的是正品。您可以对产品的纯度充满信心。您的客户也可以在现场测试自己的贵金属。这对那些从其他矿场或经销商处购买贵金属的人来说特别有用。有了贵金属X射线荧光分析仪，贸易商可以对他们所销售产品的纯度充满信心。例如，如果一件物品被认为是纯金，但实际上是一种合金，卖方可能会错误地将其作为纯金定价，进而导致交易亏损。同样，如果一件物品被认为是低档次金属，但实际上是一种贵价金属，买方可能会大大低估该物品的价格，并错过一次高回报的投资机会。使用Vanta GX贵金属分析仪，黄金交易商和他们的客户可以充满信心地确定珠宝的成分，从纯金物品中识别出镀金物品，并做出明智的购买决定。

摩擦学和划痕测试你已经知道如何使用我们的摩擦测试仪了，但你想了解滑动速度和接触压力等测试参数是如何影响摩擦系数和磨损吗？或者您已经熟悉划痕测试，但想知道如何评估划痕抗力和优化薄膜涂层附着力测试的测试参数？请加入我们的摩擦学和划痕测试高级数字研讨会。研讨会分为四部分：第1课时中，我们将着重讲解不同测试参数对刹车片摩擦系数和磨损的影响，解释使用TRB3线性模块时获得的数据。第2-4课时重点介绍划痕测试：第2课时中，将学习如何对薄膜涂层进行附着力测试，以NST3测试聚酰亚胺涂层ITO玻璃为例；我们将在网络研讨会的最后两个课时上重点介绍MCT3，我们将首先简要介绍汽车透明涂层的耐擦伤性，然后介绍三种木材涂料的弹性恢复测定示例。在研讨会的最后一节中，我们将演示划痕法，以及更精确地确定锂离子电池阳极涂层的附着力。内容第1课时：15：00-15：45使用TRB3研究刹车片的摩擦磨损性能第2课时：15：45-16：15光学聚合物薄膜的附着力评估第3课时：16：15-16：35木材上油漆的耐刮擦性的测试第4课时：16：35-17：00锂离子电池涂层的附着力时间/报名时间： 2022-05-23, 15:00 - 17:00语言：English主讲人：Jiří Nohava, PhD., Mihaela Dubuisson, Maryam Bahrami, PhD.报名方式：点击“阅读原文”!注册：iphone手机需复制链接，浏览器打开安东帕中国总部销售热线：+86 4008202259售后热线：+86 4008203230官网：www.anton-paar.cn在线商城：shop.anton-paar.cn

RTEC参加2023国际表面科学技术与应用大会，携三维划痕仪荣获电视台报道，并受到表面工程研究领域专家学者普遍关注。这次大会吸引了600多名国际行业人士参与，共同交流表面科学领域的前沿技术和行业趋势。作为活动参展商，RTEC展示了最新的三维划痕仪，该仪器可用于材料表面性能评估，能够提供高精度、高分辨率、高自动化和高效率的表面质量评估解决方案。电视台特写镜头-三维划痕仪/压痕仪此次大会主题为“聚焦表面科学技术，推进创新驱动发展"，邀请了潘复生院士担任主席。通过举办大会报告、主题学术论坛等活动，参与者可以搭建起学术交流、科技成果转化、前沿技术展示的国际平台，聚焦海内外高层次人才服务重庆市，促进海内外高质量科技创新成果在重庆市的转化。Rtec参展仪器受到电视台和专家学者围观专家们一致认为，表面科学技术在工业制造领域应用广泛，例如，跨海大桥的耐腐蚀性能和汽车的车漆的耐腐蚀和抗疲劳特性，都离不开表面科学技术的应用。在表面科学方面，重庆市在理论研究方面已累积了一定影响力，特别是在自修复涂层的研究方面进展较为迅速，多款应用产品已经推出。这些涂层具有30分钟内能够修复到损伤之前的形状的能力，是专业研发的解决方案之一。会议现场本次大会历时4天，由西南技术工程研究所、北京工业大学、哈尔滨工业大学、郑州大学、西南交通大学、国家镁合金材料工程技术研究中心、重庆科技学院等国内研究所和高校共同组织策划，吸引了来自全球14位院士和250位专家的学术团队，参会代表超过600位。RTEC作为本次大会的参展商，展示了最新的表面测量评估解决方案，受到了广泛的关注和认可。

总磷: 操作步骤说明: 1预估水样总磷含量，选择合适量程。2.按照对应量程加入水样和试剂:★水样总磷含量为0-2mg/L时: ①吸取5ml纯净水加入到一支空试剂管中(调零管)、 ②吸取5ml水样加入到另一空试剂管中。 ★水样总磷含量为0-20mg/L时: ①吸取5ml纯净水加入到一支空试剂管中(调零管)。 ②吸取0.5ml水样和4.5ml纯净水加入到另一空试剂管中。 3.向试剂管中各加入一包试剂1，拧紧试剂管盖子，上下用力摇晃约5秒(试剂未完全溶解不影响检测)。 4，将试剂管放入消解仪中，在150°C下消解15分钟。消解完成后，将试剂管取出放在试管架上冷却至80C左右( 手能承受)，再次摇匀试剂管中液体。 5.待试剂管冷却至室温后，打开调零管瓶盖，加入1包试剂2，摇晃使其完全溶解，再加入7滴总磷激活剂P，拧紧试剂管盖子，摇晃5秒，放入检测仪中1分钟后，调零。 6.打开待测水样试剂管,加入1包试剂2，摇晃使其完全溶解，再加入7滴总磷激活剂P ,拧紧试剂管盖子，摇晃5秒，放入检测仪，1分钟后，显示检测结果。 注意事项: 1总磷测定时加入激活剂之后，必须在10分钟之内完成检测。 2试剂管表面不能有水渍、划痕、灰尘、指纹等。 3.试剂包装袋属于易撕袋，任何面都可以撕开注意试剂添加顺序。 4.调零试剂管在10分钟内可重复使用。干扰因素: 砷及砷酸盐、硫化物、重金属、亚硝酸盐有干扰作用。总氮: 操作步骤说明: 试剂1取一 包试剂1(1)粉包，溶于5mI试剂1(2)中，完全溶解后即为试剂1 ( 10次用量)。若未完全溶解，可于25~40C水浴加热溶解，2~8C冷藏保存一周内可用。 (危险:配套试剂均有腐蚀性，操作时请佩戴手套，如不慎接触到皮肤，请立即用大量清水冲洗。) 1打开消解仪电源，设定温度为125C，设定时间为30分钟，并进行预热。 2.准备三只空试管，标明A/B/C。 3.向试管A中加入1mL水样，再加入0. 5mL总氮试剂1 ,盖上盖子，上下颠倒混匀5次。 4将试管A插入已加热至125C的消解仪中，盖上盖子，加热消解30min。 5消解结束后，立即将试管A取出，放入15-20C水中冷却5min (冷水液面需高于试管内液面)。6.从冷却后的试管A中取0.25mL消解液加入到试管C中，向试管C中加入2滴试剂2，然后加入0.6mi试剂3，盖上盖子左右摇匀10下，计时5min。用移液器再加入5ml试剂4，加盖上下颠倒混匀5下后于15-30C水浴冷却5min。 7.调零管:向试管B中加入5mL纯净水。 8.将试管B擦拭干净，放入检测仪中，调零。9.将试管C擦拭干净，放入检测仪中，读数。注意事项: 1.试剂1 ( 1)需完全溶解于试剂1 (2)中，2~8C冷藏保存- -周内可用。 2.试剂2需要避光保存，须沿着试管中央处加入，避免沾附管壁。 3.试剂4需要缓慢加入试管，防止溅出。加入试剂4冷却完毕后、测定前勿打开试管盖。 4.试剂管表面不能有水渍、划痕、灰尘、指纹等。创新点：1.整体设计美观，彩色大屏操作，方便快捷。2.COD检测稳定性可达± 3％，国标范围为正负％5。3.标配16孔石墨消解仪，可以同时操作不同的项目，节省时间。陆恒总磷总氮检测仪LH-T725

p style="text-indent: 2em "span style="text-align: justify text-indent: 28px font-family: 宋体 font-size: 14px "近日，/spanspan style="text-align: justify text-indent: 28px font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0px font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254) "南方科技大学/spanspan style="text-align: justify text-indent: 28px font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0px font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254) "发布公告招标“/spanspan style="text-align: justify text-indent: 28px font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0px font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254) "材料原位真空微纳表征系统/spanspan style="text-align: justify text-indent: 28px font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0px font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254) "”，/spanspan style="text-align: justify text-indent: 28px font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0px font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254) "填补学校科研仪器设备的空白，总招标金额高达750万。/span/pp style="text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"据南方科技大学介绍，该校招标的/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"材料原位真空微纳表征系统是按需搭建的一套开放式系统/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"，/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"用于/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"材料表征和开发、材料性能评价、化学反应性能研究等/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"。/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"该/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"材料原位真空微纳表征系统/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"中所涉及的仪器类型包括/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"场发射扫描电镜/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"、/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"离子溅射仪/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"、/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"能谱仪/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"-/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"电子背散射衍射仪/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"、/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"原位定量纳米力学测试仪/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"、/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"阴极荧光光谱仪/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"等，项目招标所有仪器都接受进口。/span/span/pp style="text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"据南方科技大学介绍，学校/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"2/3院系的科研工作中都会对扫描电子显微镜、能谱表征、原位力学、表面光谱等表面分析测试有需求，其中材料科学与工程系、化学系、电子与电气工程系、环境科学与工程系的需求量最大。/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"而南方科技大学/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"还没有全面进行此类分析的综合分析平台/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"，/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"尤其较为/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"缺乏关于/span10nm以下超高分辨率的样品表面细节表征、原位力学性能测试分析手段/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"。/span/span/pp style="text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"项目名称：/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"材料原位真空微纳表征系统/span/span/pp style="text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"采购编号：/span/spanspan style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"PLAN-2020-0108016001-01166/span/pp style="text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"预算：/span750万元/span/pp style="text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"采购单位：南方科技大学/span/span/pp style="text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)"span style="font-family:宋体"采购详情：/span/span/ptable border="1" cellspacing="1" style="margin-left: 6px background: rgb(204, 204, 204) border-width: 1px border-style: solid border-color: windowtext " width="646"tbodytr class="firstRow"td valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="53"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"序号/span/p/tdtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="68"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"货物名称/span/p/tdtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"招标技术要求/span/p/td/trtrtd valign="center" rowspan="34" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="53"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1/span/p/tdtd valign="center" rowspan="34" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="68"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"场发射扫描电镜/span/p/tdtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.1 运行环境：/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.1.1 房间温度：15 ~ 25℃/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.1.2 相对湿度：小于60%/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.1.3 适用电源：单相，220V± 10%，50/60Hz，4kVA，要求连续供电/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.1.4 地线：接地电阻范围40 ~100/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.2电子光学系统：/span/pp style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"★1.2.1 分辨率： 0.6nm@15kV； 0.7nm@1kV/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.2.2 加速电压：最低 0.5kV； 最高 30kV；0.1kV/步/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.2.3着陆电压：0.01 -20kV（减速模式）/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.2.4 放大倍数：最小 20倍； 最大 200万倍（底片模式）/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲1.2.5电子枪：冷场发射电子枪/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲1.2.6 配备10年场发射灯丝耗材/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"★1.2.7最大电子束流： ≦20nA，且连续可变/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲1.2.8物镜光栏：内外加热自清洁式，四孔，可移动物镜光栏/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.3样品室：/span/pp style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.3.1 样品台： 5轴自动马达驱动，机械优中心/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.3.2样品移动：X 0-110mm；Y 0-110mm；Z 1.5-40mm；R = 360 连续旋转，T -5～ +70/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.3.3样品防撞警报装置：有/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.3.4容纳样品尺寸： 150mm直径/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.3.5样品换样方式/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲1.3.5.1配备交换仓，交换仓端面透明，可观察到样品交换过程/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲1.3.5.2交换仓能容纳 150mm的样品/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.3.5.3具有样品安装到位提示，避免样品在安装时脱落/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.3.6检测器： 配有顶位、高位以及低位二次电子探测器，顶位探测器可选择接收二次电子像或背散射电子信号，高位探测器可选择接收二次电子或背散射电子信号，并以任意比例混合。在低压下（2kV）可以得到背散射电子图像/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.4 真空系统：/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲1.4.1真空泵:/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"机械泵:135L/s/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"涡轮分子泵（磁悬浮型）:300L/s/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3级离子泵:60L/s 1, 20L/s 2/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.4.2 真空度：电子枪部分优于10-7Pa；样品室部分优于10-4Pa/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.4.3 保护：自动真空抽气及诊断系统,具有断电、缺水、失真空保护系统/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.4.4样品更换抽真空时间： 1分钟/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.5 图像处理软件：可以进行图像的处理、测量和编排实验报告/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.6 数据记录：照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.7图像显示：不低于1280 960像素/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.8图像储存：640 480，1280 960，2560 1920，5120 3840像素，照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等信息/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.9图像类型： TIFF, BMP或JPEG/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.10 信号/图像处理功能：/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"像素积分改善S/N，框架积分，彩色图像显示，2色合成图像显示（保存图像），伪彩色图像显示（保存图像），针对保存图片的图像处理（灰阶变换，伽马调整，各种空间过滤处理）/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.11 保存图像处理：/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"可以进行图像的处理、测量和编排实验报告，捕捉的图片可存储在临时图片栏内，可选择单张存储或批量存储，可自动连续命名/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.12 用户可自行完成红烘烤维护和镜筒合轴维护/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1.13 防污染措施：防污染冷阱/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲1.14订制样品台：包含一个电流电压测试单元；电流测量范围：1nA-30mA，9个量程；电流分辨率：优于100fA/span/p/td/trtrtd valign="center" rowspan="6" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="53"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"2/span/p/tdtd valign="center" rowspan="6" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="68"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"离子溅射仪/span/p/tdtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲2.1与电镜同一精度配套型号/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"2.2含镀金镀碳2种功能/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"2.3最大样品尺寸：直径60mm，高度20mm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"2.4溅射电流：0-40mA/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"2.5溅射时间：0~999s/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"2.6靶材：PT靶材/span/p/td/trtrtd valign="center" rowspan="11" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="53"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3/span/p/tdtd valign="center" rowspan="11" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="68"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"能谱仪 电子背散射衍射仪/span/p/tdtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3.1探测器：硅漂移（SDD）电制冷探测器探头系统，采用场效应管（FET）一体化集成设计的高速SDD芯片，探测器具有60mm2有效活区面积，超薄窗设计，独立真空/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3.2能量分辨率：在双探测器总100,000CPS条件下Mn Ka保证优于129eV，轻元素分辨率：C-K/57eV, F-K/67eV/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3.3采用纤细化等技术提高固体角，单个探指直径仅18.2mm，改善系统分析效率/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲3.4能谱仪处理单元与计算机采用分立式设计，单探测器输出最大计数率优于600,000CPS，可处理最大计数率优于1,500,000CPS/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲3.5配备完善而精准的原子数据库，包含所有的分析线系(K, L, M 和 N线系)，实现1-30kv精确定量/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3.6定量分析：标配P/B-ZAF以及XPP修正的PhiRhoZ定量方法，可对抛光表面或粗糙表面定量分析。采用定量修正技术，可对倾斜样品进行修正，并增强对轻元素的修正；可以得到归一化和非归一化定量结果，可以用化学配位法得到非归一化结果/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3.7高速高灵敏CCD相机：高端16bitCCD相机， 640 480像素，在10pA下可采集到清晰菊池花样/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3.8花样采集速度：945花样/秒@8 8binning 630花样/秒@4 4binning，并且在低至4kV时可采集到清晰菊池花样，角分辨率达到0.1/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3.9原位EBSD 探测器倾斜角度调节：可在原位进行垂直方向+/-4.5 度角倾斜，电子传感器自动读取倾斜角/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3.10标配两个磷荧光屏/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"3.11可实现EDS谱图采集与EBSD花样采集同步，同步采集速度可达170p/s，*衍射花样的再处理不低于54,000p/s；/span/p/td/trtrtd valign="center" rowspan="29" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="53"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4/span/p/tdtd valign="center" rowspan="29" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="68"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"原位定量纳米力学测试仪/span/p/tdtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.1测试系统的本征控制模式必须是本征位置控制，不允许通过反馈来实现位置控制/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲4.2采用压电陶瓷来实现驱动施加载荷，采用电容式位置传感器和基于 MEMS 的电容式力传感 器/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.3最大载荷： 200 mN/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲4.4纵向载荷背景噪音（10 Hz 下测量） 0.5nN/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.5最大压痕深度： 25 m/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲4.6位移背景噪音（10 Hz 下测量） 0.05 nm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.7通过内置的压电陶瓷控制样品的精准定位/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.8样品台可移动范围：X 12 mm，Y 12mm，Z 21mm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.9 X/Y/Z 定位分辨率： 1 nm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.10具有旋转轴，样品能围绕测量方向旋转/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.11样品台旋转范围： 360/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.12样品台旋转分辨率： 0.000035/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.13样品转轮能在不更换样品的情况下实现至少 3 个直径不小于 12 mm 样品的原位力学测试/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.14具有纳米划痕模块，通过两个独立的压电陶瓷来实现驱动，采用独立的电容式位置传感器 和一个电容式二维力传感器/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.15纳米划痕实验的最大横向力: 20mN/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.16纳米划痕实验的最大横向位移： 20 um/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.17纳米划痕实验的横向载荷背景噪声（10 Hz 下测量）： 100 nN/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.18纳米划痕实验的横向位移背景噪音（10 Hz 下测量） 0.05 nm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.19具有连续的载荷、位移数据随时间变化的实时数据的功能/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.20具有载荷控制功能以及位置控制功能/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style="margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.21可以在 SEM 内控制原位拉伸、压缩、断裂、疲劳、蠕变、纳米压痕（含 CSM）、 纳米划痕、 纳米摩损等力学测试/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.22可与 SEM分析部件联用，可在力学测试同时通过 SE、EBSD、TKD、STEM等探头进行原位观察/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.23具备原位 SPM 成像功能，可以对样品进行连续不间断的 3D 原位扫描成像/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.24 提供硬件级别传感器保护模式，防止微力传感探针的力学过载/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.25 包含基于Windows操作系统的微力测试软件、微操作软件；允许用户生成自定义的微力测试 程序/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.26 软件使测量数据(比如力和位移、力和时间数据等)可视化，可记录和导出数据(.txt 或.xls)/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.27 连续刚度测量(CSM)频率: 500 Hz/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.28 最大疲劳测试频率: 500 Hz/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"4.29 数据采集率: 96000Hz/span/p/td/trtrtd valign="center" rowspan="12" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="53"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5/span/p/tdtd valign="center" rowspan="12" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="68"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"阴极荧光光谱仪/span/p/tdtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.1具有阴极荧光全谱成像、单谱成像和单光谱分析功能/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲5.2配置自动切换三光栅谱仪，谱仪焦距320mm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲5.3光栅台为3光栅台，谱仪安装3块光栅，软件控制切换：/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"150gr/mm光栅，闪耀波长500nm/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"300gr/mm光栅，闪耀波长500nm/span/pp style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"1200gr/mm光栅，闪耀波长400nm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"▲5.4六档滤光片轮，装配有RGB滤光片，软件控制/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.5光谱探测范围300-900nm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.6 光谱仪入口和出口狭缝宽度可调，可调范围0-3mm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.7椭球镜工作距离可低于12mm/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.8具有电子束扫描控制及电镜图像采集功能/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.9具有阴极荧光光谱线/面分布功能/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.10软件自动控制荧光收集装置伸缩，伸缩尺寸满足电镜样品室要求/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.11荧光收集装置预对中调整/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.12高性能椭球反射镜，理想荧光收集效率大于90%/span/p/td/trtrtd valign="center" style="background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width="524"p style=" text-indent: 28px"span style="font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px"5.13光纤传导，光纤长度大于3m/span/p/td/tr/tbody/table

【云唐仪器知识讲解】农药残留快速检测仪如何修改数据以及放置比色皿农药残留快速检测仪的数据修改方法可能因仪器品牌和型号而有所不同，但通常可以按照以下步骤进行：进入设置页面：找到仪器上的菜单键或设置选项，点击进入设置页面。选择数据修改选项：在设置页面中，寻找并选择数据修改选项。修改数据：在数据修改选项中，选择需要修改的数据项，并进行修改。修改时需注意区分大小写，并确保数据的真实性和准确性。保存修改：完成数据修改后，点击保存选项以保存修改结果。退出设置：退出设置页面，回到主界面或正常使用状态。至于如何放置比色皿，以下提供一种通用方法供参考：准备比色皿：选择适当规格的比色皿，确保其干净、无划痕、无残留物。放置比色皿：将比色皿放置在仪器的比色皿槽中，确保其平稳、无倾斜。调整位置：根据仪器说明说调整比色皿的位置，确保其与检测光路对齐。关闭盖子：如有盖子，关闭仪器盖子，确保其紧固、无漏光。【云唐提醒】请注意，具体操作步骤可能会因仪器品牌和型号的不同而有所差异。建议在使用农药残留快速检测仪时，仔细阅读仪器说明书，了解正确的操作步骤和注意事项，以确保数据的准确性和可靠性。

为了迎合客户的需求特推出日本Kikkoman公司的新一代洁净度荧光检测仪，ATP荧光检测仪PD-30. 利用专利检测方法A3法（ATP循环转换法）同时检测ATP，ADP和AMP 。ATP在细菌、食物残渣等物质中同时存在，是最适合衡量污垢存在多少的判断标准。但是，根据被测物质不同，ADP、AMP占有较多比例时有可能会被忽略。A3法不仅能检测ATP,ADP和AMP也能同时被检测出来，是一种高灵敏度的检测方法。 ATP+ADP+AMP 拭取检测（A3法）无论何时、何地、何人，只需10秒就可简单地测试出肉眼看不见的污垢！测定对象：ATP在细菌、食物残渣等物质中同时存在，是最适合衡量污垢存在多少的判断标准。但是，根据被测物质不同，ADP、AMP占有较多比例时有可能会被忽略。A3法不仅能检测ATP,ADP和AMP也能同时被检测出来，是一种高灵敏度的检测方法。 何谓ATP、ADP、AMP：ATP（三磷酸腺苷）是体内组织细胞一切生命活动所需能量的直接来源。ADP（二磷酸腺苷）和AMP（一磷酸腺苷）是由ATP经过加热、发酵或酶反应等变化而来的物质。ATP循环转换法：对龟甲万独创技术[ATP循环转换法]不仅能检测出ATP，ADP和AMP也能同时被检测出来，是一种高灵敏度的检测方法（申请专利中）。PK（丙酮酸激酶）：把ADP转换成ATPPPDK（丙酮酸磷酸双激酶）：把AMP转换成ATP荧光素酶：与ATP反应后生成光PD-30的测定方法：管理基准值及擦拭方法：＞根据待测物体的材质、形状等因素决定其固定取样方法，从而减少误差。＞最初并不一定要设定非常严格的管理基准值，可以先设定一个目前可达到的管理基准值，然后运用此检测方法慢慢降低管理基准值才是其意义所在。平滑物体：不锈钢、玻璃等200RLU以下凹凸不平的物体：易留划痕的物体（例如树脂制品等）500RLU以下拭取面积较大的物体：任意中心点250px×250px区域内横竖各十次进行拭取拭取面积较小的物体：仔细拭取整个物体请参考下面的表格 手部：推荐管理基准值是2,000RLU。请对手掌的纵向、横向、指缝、指尖等处进行拭取检测。运用方法（举例）：合格与否判断标准的设定管理基准值以下 -------- 判断 合格管理基准值的2倍以上 -- 判断 不合格两者之间 -------------- 判断 注意请参考下面的表格应用：餐厅.食堂：掌握现场清洗状况，防止二次污染.现场判断清洗不足之处，即刻进行再次清洗防止事故发生。.检测结果通过数值进行管理，轻松掌握各个店铺/生产现场的清洁状况。食品工厂：对生产线的清洗度进行评价.不仅可对每天的清洗程度进行评比，亦可在紧急状况时查找污垢来源。.通过消除残留污垢，降低过敏源残存的可能性。环境卫生：食品领域以外的卫生管理.对公众浴室、酒店、温泉等沐浴设施中浴池水的清洁度及浴室中卫生状况进行管理。.对于部分需要确认电子部件的清洗水状况的工业领域，可进行快速清洁度确认。卫生教育：对员工及在教育机关进行卫生教育.由于当场可得到测试结果，作为卫生教育的工具拥有超群的说服力。医院管理：医院环境、医疗器具卫生评定.对病房，护士站进行有效的卫生评定。.对循环使用的医疗器具进行卫生评定，减少感染的风险。酒店管理：酒店内环境的卫生评定.对房间的被单、门把等设备，进行有效的卫生评定。博物馆管理：文物保护.及时发现微生物对文物的侵害，制定解决问题措施。清洁评定：清洁效果的检查和评定.公共交通工具（飞机、火车、长途客车、客船）舱内的清洁、消毒后的清洁度检测。.按程序清洁后，检测清洁效果，可有效改善清洁方法。检测物体表面使用含棉棒的一体成型检测棒，检测液体部分使用含取样棒的成型检测棒，检测细长狭窄场所使用专用长轴棉棒。创新点：为了迎合客户的需求特推出日本Kikkoman公司的新一代洁净度荧光检测仪，ATP荧光检测仪PD-30. 利用专利检测方法A3法（ATP循环转换法）同时检测ATP，ADP和AMP 。ATP在细菌、食物残渣等物质中同时存在，是最适合衡量污垢存在多少的判断标准。但是，根据被测物质不同，ADP、AMP占有较多比例时有可能会被忽略。A3法不仅能检测ATP,ADP和AMP也能同时被检测出来，是一种高灵敏度的检测方法。Kikkoman新一代ATP荧光检测仪PD30

齿轮视觉检测仪器与技术研究进展石照耀 1*，方一鸣 1，王笑一 2 1 北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心，北京 100124； 2 河南科技大学河南省机械设计及传动系统重点实验室，河南 洛阳 471003摘要：相对于接触式测量，机器视觉检测这种非接触式测量具有效率高、信息全、稳定性好、可识别缺陷等优点，在齿轮检测领域得到越来越广泛的应用。近十年来出现了影像仪、闪测仪、CVGM仪器、在线检测设备等多种基于机器视觉技术的齿轮检测仪器，它们既可以实现齿轮综合式测量，又可以实现齿轮分析式测量。回顾了齿轮视觉检测仪器的发展历程和特点，分析了齿轮视觉检测中边缘检测、亚像素定位、特征提取和模式识别等算法的研究和应用进展，总结了机器视觉在齿轮精度测量和齿轮缺陷检测两个方面的技术发展，并指明了齿轮视觉检测仪器与技术的发展前景。关键词：机器视觉；齿轮测量；齿轮视觉检测仪器；齿轮精度测量；齿轮缺陷检测1 引言齿轮是应用广泛的基础件，其质量直接影响齿轮传动系统的承载能力和寿命等。齿轮检测是分析齿轮加工误差来源、提高齿轮加工精度、保证齿轮产品质量的必备手段。齿轮测量可分为接触式测量和非接触式测量。由于齿轮形状复杂，精度要求高，传统的非接触式测量方法难以满足齿轮测量精度要求，因此传统的齿轮检测设备通常采用接触式测量方式。应用广泛的齿轮测量中心和齿轮双啮检查仪分别是齿轮分析式测量设备和综合式测量设备，均为接触式测量方式。随着计算机技术和视觉测量技术的进步，机器视觉测量精度逐渐提高，在一些场合已经可以满足齿轮检测的需求。相对于接触式测量，机器视觉测量具有效率高、信息全、稳定性好、可识别缺陷等优点，在齿轮测量领域应用越来越广泛。近年来出现了影像仪、闪测仪、computer vision gear measurement（CVGM）仪器、在线检测设备等多种基于机器视觉技术的齿轮检测仪器，它们既可以实现齿轮综合式检测，又可以实现齿轮分析式测量，更能进行齿轮缺陷检测。接触式测量属于串联测量模式，通过测量齿面上一系列点来完成某种测量目标，测量效率较低，大批量齿轮的在线全检是个挑战。此外，接触式测量方法只能测量齿轮的尺寸和精度，难以进行齿轮缺陷检测。目前齿轮产品的外观缺陷主要依靠肉眼筛查，一些细微缺陷还要借助放大镜、工具显微镜等辅助设备进行识别，这些设备检测效率低、误检率高，且无法对缺陷进行准确分类和溯源。齿轮视觉检测属于并联测量模式，一次测量可获取整个区域内的几何要素和外观缺陷数据，检测速度得到极大提升，可以用于大批量齿轮的全检；更重要的是能同时进行齿轮精度测量和齿轮缺陷在线检测。基于视觉的齿轮精度测量是齿轮精度理论与机器视觉技术的有机结合，作者将我国首创的齿轮整体误差理论融入齿轮视觉检测技术中，大大拓展了对齿轮误差的分析能力。齿轮缺陷在线视觉检测技术可实现对大批量齿轮的100% 全检，柔性和自动化程度高，既能实时反映生产状态，及时预警，也方便管理者掌控一定周期内产品质量变化，还可以根据大数据做进一步的质量评估、产能分析和工艺优化。2 齿轮视觉检测仪器如图1 所示，齿轮视觉检测仪器由工业相机、镜头、光源、计算机等几个主要部分组成。常用两种照明方式：图1（a）采用背光光源从待测齿轮下方照明，采集到的是齿轮投影图像，齿轮边缘锐度高、噪声小，此方式适用于齿轮精度测量；图1（b）采用正光光源从待测齿轮上方照明，采集到的是齿轮端面图像，能够凸显齿轮表面缺陷特征，此方式适用于齿轮表面缺陷检测。图1 齿轮视觉检测仪器构成（a）齿轮精度测量系统；（b）齿轮缺陷检测系统几十年来，齿轮视觉检测仪器经历了从只能“离线抽检”齿轮的“个别尺寸”，到结合齿轮精度理论做出齿轮“精度评定”，再到可以在生产现场“在线检测”的越，从通用仪器演变为专用仪器。常见的通用仪器有影像仪、闪测仪等，专用仪器有CVGM 仪器、齿轮在线检测设备等。2.1 影像仪影像仪（VMM）是小零件行业应用广泛的通用视觉检测仪器，可用于测量齿轮外径、孔径等几何尺寸。影像仪有手动式和自动式之分。手动式影像仪的成本较低，但调光、对焦、选点、修正等都依赖人工操作；测量齿轮时，需要人工取点来拟合齿顶圆、齿根圆等几何要素。世界上第一台由电机驱动的自动影像测量系统是1977 年由美国View Engineering 公司研发的“RB-1”系统。目前，国内外有众多企业生产自动式影像仪，典型有瑞典海克斯康、德国蔡司、日本三丰、深圳中图仪器、贵阳新天光电、苏州天准科技等。自动式影像仪在工作台的X、Y 和Z 轴方向可以精确移动，能够实现自动对焦，测量精度更高。通过示教或编程可以实现齿轮测量中的自动取点，但操作过程较为复杂，对操作人员要求高。自动式影像仪一般没有齿轮测量专用软件，能够测量的齿轮指标不全，不能进行精度评价和分析。传统影像仪视场一般较小，为了获取整个齿轮端面轮廓，需要进行图像拼接。手动式影像仪进行图像拼接时效率低、难度大，精度也较差。自动式影像仪可以实现图像的自动拼接，效率较高，但拼接成的图像存在亮度、对比度不均匀的现象，尺寸测量精度同样受到影响。2.2 闪测仪近年来，市面上出现一种新型的一键式影像测量仪（闪测仪），视场范围大，可以一次测量多个零件。日本基恩士的IM-8000 闪测仪可在数秒内同时完成最多100 个目标物、300 个部位的测量，可以任意摆放工件，一键自动识别，自动匹配测量。独特的亚像素处理技术可使图像分辨率达0. 01 pixel，测量精度达±2 μm。深圳中图仪器的VX8000 系列闪测仪也可实现同等级的测量精度。此外，闪测仪还可导入CAD 图，通过“比较测量”识别缺陷，如将实际齿廓图像与标准CAD 图的齿廓对比，可以得到缺齿、断齿等缺陷信息。闪测仪的测量效率相比传统影像仪显著提升，但价格昂贵，同样缺少齿轮精度评价专门功能。2.3 CVGM 仪器1980年代，日本和我国开始了齿轮激光全息测量技术研究。基本原理如图9所示，以单频的氦氖激光器为光源，首先在干涉测量系统获得参考标准齿面的全息图像，然后将标准齿面替换为被测齿面放置于干涉测量系统中，同时将已经拍摄到的全息图像置于系统中。测量时，激光经分光棱镜分光扩束后分为了测量光路和参考光路，其中测量光照射到被测齿面上。两束光线同时照射在全息图上，形成了被测齿面和参考齿面间的干涉条纹，并投影在接收屏幕上。在对条纹图像进行数据处理后，可以得到被测齿面相对于标准齿面的形状误差。在测量光与全息图像之间放入平行平晶，用来调整测量光的相位。对于模数0. 2 mm 以下的小模数齿轮，难以使用接触式方法测量齿廓、齿距、公法线长度等关键参数；现有影像式测量设备不能给出齿轮精度评价报告。如图2所示，CVGM 仪器专用于解决小模数齿轮测量难题，可在1 s内自动计算出齿廓、齿距、径向跳动、公法线长度、齿厚变动量、内孔尺寸、实际压力角等关键精度信息，自动根据齿轮精度标准ISO-1328对齿轮误差进行评级，输出完整的齿轮精度检测报告，并做出OK/NG 判断。CVGM 仪器的齿廓偏差测量精度为±3 μm，齿距偏差测量精度为±2 μm，具有强大的分析功能，可测量双向截面整体误差曲线（SJZ 曲线）。图2 CVGM 小模数齿轮测量系统（a）CVGM 软件；（b）CVGM 系统如图3 所示，CVGM 仪器使用齿轮整体误差曲线作为齿轮单项误差计算的中间体，即先由齿轮轮廓生成齿轮整体误差曲线，再由齿轮整体误差曲线计算出各单项误差；并以SJZ 曲线方式表达测量结果，大大提升了齿轮误差分析能力。图3 基于视觉的齿轮整体误差分析2.4 齿轮在线检测设备齿轮视觉在线检测设备一般都具有分选功能，根据检测结果把被测产品分成合格品、不合格品，或按齿轮精度等级分类，或按缺陷类型分类。该类设备结构形式有三种：直接集成在齿轮产品传送带上方，结构较简单；使用专用上下料机械手和其他辅助机构，结构最复杂；采用玻璃转盘式结构，应用最广泛。图4位于传送带上方的齿轮视觉在线检测设备，优点是占用空间小，但传送带运动不平稳和易磨损，产品摆放角度不固定，导致检测精度难以提高。由于传送带不透光，该设备无法获取齿轮与传送带接触面的图像，不能实现双面测量。图4 传送带式齿轮视觉检测系统图5 所示设备采用了机械手、导轨、转盘等部件，结合专门设计的自动检测装置完成齿轮上下料、检测、分选和摆盘等一系列操作。这类检测设备功能较强，但结构复杂，成本较高。图5 使用机械手和自动装置的齿轮视觉检测设备本团队研制了玻璃转盘式的注塑齿轮在线检测分选系统，如图6 所示，该系统已应用于注塑齿轮生产线，工作稳定，取得了突出的使用效果。玻璃转盘由伺服电机和精密减速器驱动，带动待检齿轮通过视觉检测工位，可保证图像采集过程中齿轮匀速平稳运动。转盘采用高透明玻璃材质，不需翻转就可得到产品底部的检测图像。由光电传感器定位齿轮在转盘上的位置，使用气动执行器将OK/NG 的齿轮吹入相应的存储盒实现自动分拣。该系统能够实现注塑齿轮黑点、毛刺、缺齿、断齿、翘曲变形等外观缺陷检测，也能完成常规几何尺寸和形位误差的测量，并能根据缺陷阈值、尺寸公差实时分选出合格品和不合格品，且具备报警功能。该系统对齿轮端面的检测时间小于0. 3 s，满足生产节拍的需求，特别是具有齿轮轴向测量功能。图6 玻璃转盘式齿轮视觉检测分选系统图7 为注塑齿轮在线检测分选系统软件界面。该软件具有自主知识产权，在软件数据库中贮存了常见齿轮型号及对应的尺寸公差和配置参数，包括CPK 分析和XR 图分析，提高了参数输入效率。注塑齿轮在线检测分选系统兼具精密测量与缺陷检测功能，包括齿轮轴向高度、齿距、公法线、同心度等与齿轮精度相关的检测，齿轮外观缺陷识别准确率能满足注塑齿轮大批量在机检测需求。图7 注塑齿轮在线检测分选系统软件界面3 齿轮视觉检测技术齿轮视觉检测技术是齿轮视觉检测仪器的核心，涉及光学、电子学、计算机图形学、齿轮几何学等多个学科，内容覆盖光学成像、图像处理、软件工程、工业控制、传感器、齿轮精度理论等。近几年，与齿轮视觉检测技术相关的新技术、新理论、新方法大量出现，在多个核心问题上取得了重要的研究进展。齿轮视觉检测技术既有一般视觉检测的共性问题，又有齿轮视觉检测中的特殊问题。齿轮视觉检测的工作流程包括图像采集、图像预处理、边缘检测、齿轮精度评定或齿轮缺陷分析等，其中图像采集、图像预处理、特征提取、图像分割、边缘检测、亚像素算法等属于通用的视觉检测技术，而齿轮精度评定和齿轮缺陷识别属于齿轮视觉检测技术的个性问题。这里先从图像采集系统（硬件）和图像处理算法（软件）两个方面综述与齿轮视觉检测技术相关的共性问题的研究进展，然后从齿轮精度测量和齿轮缺陷检测两个方面介绍齿轮视觉检测技术中个性问题的研究进展。3.1 图像采集系统图像采集系统一般由计算机（主机）、图像采集卡、工业相机、镜头、光源等组成。工业相机按照传感器芯片种类可分为CCD 相机和CMOS 相机两种，传统上CCD 相机效果更好，但随着技术的发展，目前在一般应用场合CMOS 相机基本已经取代了CCD 相机。相机数据接口常见的有GigE 接口、USB 接口（USB2. 0和USB3. 0）、Cameralink 接口等。其中采用GigE 或USB 接口的工业相机可以直接通过线缆与主机通讯，不需要数据采集卡；而其他接口如Camerlink 接口的相机则需要配备图像采集卡才能与主机通讯。常用的工业镜头按等效焦距分类主要有广角、长焦、中焦、远心、微距镜头等。一般远心镜头的畸变更小，景深更大，可以消除“近大远小”的测量误差，更适合进行高精度的尺寸测量，因此在齿轮视觉检测领域使用最多的镜头为远心镜头。但远心镜头通常价格较高，对精度测量要求不高时，可用普通镜头替代。视觉检测领域常用的光源有点光源、面光源、条形光源、环形光源、穹顶光源、同轴光源等类型，其作用主要有强化特征和弱化背景、突出测量特征、提高图像信息、简化算法、降低系统设计的复杂度、提高系统的检查精度和效率。在齿轮精度测量领域常用的光源主要是面光源，面光源的光线具有更好的方向性，均匀性更好，齿廓更清晰；在齿轮缺陷检测领域主要使用穹顶光源、环形光源和同轴光源等，这些光源可使整个齿轮端面图像的照度十分均匀，突出缺陷特征。齿轮视觉检测的核心问题是测量精度和检测效率，这两个问题都与图像采集系统密切相关。为了提高测量精度，应当选用分辨率更高的相机；为了提高检测效率，需要选择分辨率低的相机，以减少需要处理的数据量，提高软件计算速度。精度和效率是一对矛盾，通过选用运算能力更强的计算机和改进图像处理算法的效率，可以部分地解决精度和效率的矛盾问题。无论是为了提高检测精度还是为了提高检测效率，选用精度更好的镜头和更加稳定的光源都可以改善整体的性能指标。3.2 图像处理算法齿轮视觉检测技术中用到的图像处理算法有图像预处理、边缘检测、亚像素定位、特征提取和模式识别等。其中图像预处理方法与机器视觉其他应用场合的预处理方法基本相同。3.2.1 边缘检测算法齿轮视觉检测中常采用的边缘检测方法有经典微分算子、小波变换和数学形态学。边缘检测算法能够把齿轮二维端面图像中的关键轮廓提取出来，得到轮廓像素点的坐标集合。根据轮廓点的坐标信息和相机标定参数就可以精确计算出齿轮的特征尺寸，包括齿顶圆直径、齿根圆直径、内孔直径、齿高、齿厚和齿距等。1）经典微分算子图像边缘一般是图像灰度变化率最大的位置，因此可用一阶/二阶导数来检测边缘，由此诞生了一系列经典微分算子。根据微分的阶数可以将经典微分算子分为两类：一类是通过寻找图像灰度值的一阶导数极值点来确定边界的一阶微分算子，有Roberts 算子、Prewitt 算子、Sobel 算子、Canny 算子；另一类是根据图像二阶导数的零点来寻找边界的二阶微分算子，有Laplacian 算子、LoG（Laplacian-of-Gaussian）算子、DoG（Difference-of-Gaussian）算子。对这些经典微分算子在齿轮边缘检测中的性能进行了比较，如表1 所示。表1 经典微分算子在齿轮边缘检测中的性能比较Canny 算子采用双阈值和非极大值抑制策略提升对噪声的抗干扰性，具有滤波、增强、检测多个阶段的优化，是性能最优良的微分算子。对于齿轮图像，采用Canny 算子提取的齿廓信息最完整，最接近实际齿廓，如图8 所示。图8 基于Canny 算子的齿廓提取2）小波变换小波变换具有良好的时频局部化特性和多尺度特性。良好的时频局部化特性使其特别适用于检测突变信号，而图像中的突变信号对应边缘，因此小波变换也适用于图像边缘检测。利用Harr 小波函数对齿轮图像进行重构，再结合Canny 算子提取重构图像的齿廓，比单独采用Canny 算子有更优的效果。多尺度特性使其能很好地抑制噪声。图像中的噪声和边缘都属于高频分量，经典微分算子引入各种形式的微分运算后必然对噪声较为敏感，而随着尺度的增加，噪声引起的小波变换的模的极大值迅速减小，而边缘的模值不变，这一特性可以很好地抑制图像噪声。提出一种基于Curvelet 变换的尺度与方向相关性联合降噪方法，该方法对齿轮图像进行降噪处理，在继承小波变换多尺度降噪的基础上，同时进行尺度内方向相关性降噪，可以为齿轮边缘检测提供高质量的输入图像。因此，小波变换是一种齿轮图像边缘提取的有效方法。3）数学形态学数学形态学是基于积分几何和几何概率理论建立的关于图像形状和尺寸的研究方法，其实质是一种非线性滤波方法，通过物体形状集合与结构元素之间的相互作用对图像进行非线性滤波。由于数学形态学提取边缘时容易造成间距小的低灰度轮廓的错位和合并，因此常将其与微分算子提取出的轮廓加权融合。相关文献就提出了一种融合Canny 算子和数学形态学的含噪声齿轮图像边缘检测算法，分别采用改进的Canny 算子和多尺度多结构元素灰度形态学边缘检测算子提取边缘；然后对两幅边缘图像进行了小波分解，得到各层子图像；最后对子图像进行自适应加权融合，并使用小波逆变换重构图像得到最终的边缘检测图像。相关文献采用数学形态学中的四邻域腐蚀法提取出边缘宽度，并将其作为单个像素的轮廓，测量分度圆直径为5 mm 以下的齿轮的齿顶圆直径和齿根圆直径，与千分尺测量结果差值的绝对值在2 μm 以内。3.2.2 亚像素定位算法数字图像是以离散化的像素形式存在的，传统边缘检测算法的测量分辨率只能达到一个像素级，提取出的边缘由像素块构成，边缘定位精度不高，如图9（c）所示。亚像素定位算法是在像素级边缘检测的基础上逐渐发展而来的，首先需要经过像素级边缘检测粗定位，然后利用粗定位边缘点周围邻域内的像素数据进行边缘点的亚像素级精确定位，如图9（d）所示。图9 亚像素边缘处理亚像素定位算法主要有三类：矩方法、插值法和拟合法。1）矩方法矩方法计算简便，应用于齿轮边缘检测可以减小测量误差。相关文献提出一种利用前三阶灰度矩进行亚像素边缘定位的算法，这是文献中最早提出的矩方法。随后基于空间矩、Zernike 正交矩的方法也相继被提出。相关文献利用基于Zernike 矩的齿廓边缘检测算法，对齿顶圆直径为49. 751 mm、齿数为23 的齿轮测得的齿顶圆直径、齿根圆直径的相对误差在0. 02% 以内，齿距累积总偏差的相对误差约5. 15%。相关文献提出一种基于灰度矩的亚像素边缘检测算法，该算法以邻域窗口的灰度均方差积表示边缘强度，灰度重心所在的方向表示灰度变化的方向，在初始边缘的基础上按求取的灰度变化方向划分为八个区域，构建一维灰度矩模型解算亚像素边缘位置，对于噪声系数为0. 005 的模拟图像，该算法的绝对定位误差为0. 013 pixel。相关文献提出了一种复合亚像素边缘检测方法，该方法基于orthogonal Fourier-Mellin moment（OFMM），可为后续齿廓缺陷检测提供精确的齿廓形状。2）插值法插值法运算速度快，应用于齿轮在线检测设备能够满足生产节拍的要求。插值法的核心是对像素点的灰度值或灰度值的导数进行插值，以增加信息。德国MVtec 公司开发的著名机器视觉算法包Halcon 在工业领域应用广泛，其中的亚像素边缘检测算子采用的就是插值法。相关文献基于Halcon 算法包中的亚像素边缘检测算子，开发了一套齿轮测量应用程序，可以得到齿廓亚像素点集合，并设定条件剔除假边缘，最终得到齿顶圆直径等参数。3）拟合法拟合法对噪声不敏感，适用于噪声较多的齿轮图像，但求解速度较慢。拟合法是通过对像素坐标和灰度值进行理想边缘模型拟合来获得亚像素边缘的。相关文献提出一种基于高斯积分曲面拟合的亚像素边缘定位算法，可最大限度地消除噪声的影响，与原有高斯拟合算法相比，该算法通过坐标变换简化了曲面拟合问题，计算速度提高1 倍，可以满足五级精度的渐开线直齿圆柱齿轮的齿廓偏差测量要求。3.2.3 特征提取和模式识别算法缺陷检测算法一般由图像预处理、图像分割、特征提取和模式识别等步骤组成，其中特征提取和模式识别是缺陷检测的关键环节。特征提取的有效性对后续目标缺陷识别精度、计算复杂度、检测鲁棒性等均有重大影响。常用的特征提取算法可以分为三种，分别是基于纹理、颜色和形状的特征提取算法。提取完特征后，还需采用模式识别算法对缺陷进行区分。模式识别算法主要有匹配识别和分类识别两类。齿轮缺陷检测常用的匹配识别算法有FAST 和SIFT 算法等，常用的分类识别算法有基于人工神经网络或支持向量机的算法。相关文献提出了一种基于FAST-Unoriented-SIFT 提取算法和BoW（Bag-of-Words）模型的行星齿轮故障识别方法，该方法将原始振动信号转换为灰度图像后，通过FAST-Unoriented-SIFT 算法直接提取灰度图像中的特征。FAST-Unoriented-SIFT 算法结合了FAST 和SIFT 算法的优点，忽略了特征的方向。最后在提取的特征的基础上建立BoW 模型，该方法对齿轮故障的整体识别率达98. 67%。相关文献提出了一种改进的GA-PSO 算法，称为SHGAPSO算法，先经过图像分割算法提取齿轮的几何形状、纹理和颜色特征，再重建BP 神经网络，并使用SHGA-PSO 算法优化结构和权重。SHGA-PSO 算法对坏齿、划痕、磨损和裂纹4 种不同的齿轮缺陷样本的识别正确率在94% 以上。相关文献基于YOLO-v3 网络实现了对金属齿轮端面凸起、凹陷和划痕三种缺陷的快速检测和定位，对每幅图像的平均检测时间为77 ms，对三种缺陷的平均精确度（AP）和平均召回率（mean recall）分别为93% 和91%，检测效果如图10 所示。图10 齿轮缺陷特征提取与模式识别3.3 齿轮精度测量齿轮形状复杂，精度要求高。为保证齿轮产品质量，需要控制的齿轮精度指标有齿距偏差、齿廓偏差、螺旋线偏差、齿厚、齿圈跳动等，其中除螺旋线偏差外，其他精度指标都可以用齿轮端截面轮廓数据进行计算。齿轮精度测量主要有两个问题需要解决，一是通过图像处理获得被测齿轮的精确的端面轮廓信息，二是根据齿轮精度理论和相关齿轮精度标准计算齿轮各项偏差值并给出齿轮精度评定结果。通过齿轮精度等级，可以确定对视觉检测系统的测量精度要求。以齿数20、模数1 mm、5 级精度的直齿圆柱齿轮为例，其齿距累积总偏差为11 μm，齿廓总偏差为4. 6 μm。按测量仪器精度为被测指标允差的1/3~1/5 估算，测量5 级精度齿轮的测量仪的精度应优于1. 6 μm。这对视觉测量而言，是非常困难的。齿轮视觉测量精度依赖于测量系统的硬件和数据处理算法。由于所用相机、镜头等图像采集系统硬件和图像处理算法等软件的不同，以及被测对象齿轮的尺寸参数和精度要求不同，齿轮视觉检测系统的测量精度的差异很大，但在齿轮被测项目评定方面，都是根据齿轮精度相关标准进行的。相关文献依据齿轮精度标准ISO1328-1，给出了视觉测量齿距偏差和齿廓偏差的评定方法，对模数为0. 5 mm 的8 级精度直齿轮测得的齿距偏差、齿廓偏差与齿轮测量中心的测量结果差值最大为4 μm。相关文献采用视觉测量方法测量模数为2 mm、齿数为90的齿轮，齿廓总偏差5 次测量的标准差为0. 028 μm，取得了很好的测量重复性。相关文献提出了视觉测量齿轮的公法线长度的方法，其测量精度能够满足工程应用要求。齿轮精度视觉测量方面，国外研究进展与国内基本相当，研究内容类似。值得指出，Werth 公司推出的基于光纤测头的微小模数齿轮测量设备采用了接触式测量和视觉检测技术相结合的方法，该方法既具有视觉测量的特点，可借助视觉引导实现对微小齿槽的测量；又具有接触式测量的特点，需要用光纤测球扫描齿轮轮廓，测量精度较高但效率较低。由于仪器价格高，这种基于光纤测头的齿轮测量仪器实际应用较少。除了齿廓偏差、齿距偏差、齿厚等轮齿精度指标外，齿轮视觉测量技术还可以获得齿轮的形位误差。GB/T 1182—2018 规定齿轮图纸中通常要标注内孔圆度、端面跳动或垂直度、分度圆跳动等的形位公差，这些都可以通过视觉测量完成。此外，近年来出现了基于视觉方法的齿轮表面粗糙度测量研究。有文献提出一种基于卷积神经网络（CNN）建立粗糙度参数Ra 与处理后的齿轮感兴趣区域（ROI）图像之间关系的方法，该方法可以在无需人工参与的情况下自动检测齿轮表面粗糙度，平均测量时间约为0. 5 s，比使用接触探针测量齿面粗糙度的方法快40 倍。我国科技工作者在1970 年前后首创的齿轮整体误差测量技术可快速获取包含被测齿轮全部齿廓误差信息的双向截面整体误差曲线（SJZ），进而方便地分析出齿廓偏差、齿距偏差、齿厚变动量等齿轮误差项目，可以直观地对齿轮加工质量和使用性能进行分析和评价，具有测量效率高、信息全的优点。但由于作为测量元件的跳牙蜗杆制造困难、通用性不好，传统上齿轮整体误差测量技术通常只适用于大批量生产的齿轮产品。与齿轮整体误差测量技术类似，齿轮视觉测量技术也可以快速获得被测齿轮的全部齿廓信息，因此也可以使用齿轮整体误差曲线进行测量结果的表达、分析与处理。CVGM 视觉齿轮测量软件中就采用双向截面整体误差曲线作为全部齿廓测量结果的表达方式。图11 为CVGM 获取的SJZ 曲线，其中最外圈为左齿面整体误差曲线，其次为右齿面整体误差曲线，最内圈为齿轮内孔圆度误差曲线。图中可见被测齿轮具有中凸齿廓，整体几何精度较好，但在个别轮齿交替时（左齿面2-3 齿交替、3-4 齿交替）会产生较为明显的啮合冲击。其中，该被测齿轮作为被动齿轮在左齿面2 齿、3 齿啮入时会产生刚性冲击，作为主动齿轮在左齿面2 齿、3 齿啮出时会产生柔性冲击。从双向截面齿轮整体误差曲线还可以看出各轮齿齿距、齿厚的变化规律［9］。通过与齿轮视觉检测技术相结合，齿轮整体误差测量技术和齿轮整体误差理论又获得了新的发展机会。图11 CVGM 获取的双向截面整体误差曲线为提高测量精度，CVGM 创新性地提出了基于“ 虚拟样板”的齿轮测量软件精度标定方法。在CVGM 系统中，测量精度是分为两个环节进行保证‍‍‍的：首先通过测量标定片对图像采集系统的精度进行标定；其次使用虚拟齿轮样板对测量软件算法的精度进行标定。图12（a）为对标定片进行测量的结果，标定片上各个圆点的直径理论值为0. 5 mm，标定片的图形制造误差小于等于1 μm，CVGM 计算出的各个圆点的直径误差均在1 μm 以下。图12（b）为采用CAD 软件绘制的无误差的标准齿轮图像，图片像素大小与实际图像采集系统CVGM-12H 的像素大小相同，均为3. 668 μm。CVGM 对无误差齿轮图像进行测量时，由图像处理算法和齿轮精度评定算法引入的齿廓偏差小于等于2 μm，齿距偏差小于等于1 μm。试验中CVGM 系统测量重复性误差为±1μm，可以满足齿数为20、模数为1 mm、5 级精度的直齿圆柱齿轮的精度测量要求。此外，CVGM 软件还可以自动计算内孔圆度、齿圈跳动、公法线长度等误差项目。图12 CVGM 图像采集系统标定和“虚拟齿轮样板”图（a）标定片；（b）虚拟齿轮样板3.4 齿轮精度测量制造过程中由于材料、设备和工艺等问题，会产生齿轮缺陷。齿轮缺陷视觉检测技术的关键指标是缺陷识别的准确率和效率。图13 为齿轮的常见缺陷，包括毛刺（披锋）、缺料、裂纹、收缩、变形、穿孔、流纹、烧胶、凹痕、色差、坏齿、凸起、气泡和溢边等。齿轮视觉检测系统采集并处理齿轮表面图像，利用图像分割、特征提取和模式识别等算法获取缺陷的特征信息，实现对缺陷的定位、识别、分类和统计。图13 齿轮缺陷种类1）齿廓缺陷检测齿廓缺陷检测是齿轮缺陷检测研究中的重点，齿廓好坏与齿轮传动性能密切相关。齿廓具有固定的形状特征，一旦出现缺陷就意味着形状改变。因此，齿廓缺陷检测通常需要先用边缘检测算法提取齿廓边缘，再利用基于局部灰度特征统计或形状特征提取的方法对齿廓边缘的每个亚像素点进行几何特征分析来识别齿廓缺陷。相关文献通过连通域标记算法对每个连通域进行细分区域灰度值分析，对灰度值分析结果进行阈值判别从而提取齿轮缺角、缺齿缺陷。相关文献针对彩色塑料齿轮图像，采用基于决策树的局部阈值方法对图像进行分割来检测齿轮的缺齿情况。有文献提出“虚拟圆扫描法”，通过对一系列相关交点之间的距离比值与设定的比值系数进行比较，确定齿廓是否合格。当齿廓缺陷随机性较强时，可采用机器学习算法来提高识别的正确率。相关文献采用支持向量机来构造齿轮缺陷识别模型，模型识别齿廓缺陷的正确率达97. 8%。2）毛刺检测毛刺是齿轮在生产过程中出现的一些飞边、棱边、尖角等，是齿轮最为常见的缺陷。齿轮毛刺是齿轮制造工艺不当引起的，尺寸细小，肉眼难以发现，出现位置随机，较为频发，是齿轮缺陷检测中的必检项。由于毛刺常出现于齿轮轮廓边缘，因此通常需要进行边缘检测，再根据齿轮的几何特征来判别和定位毛刺。本团队针对注塑齿轮的中孔披锋（毛刺）缺陷，先采用亚像素定位算法精确定位中孔轮廓，再计算轮廓上各点到齿轮中心的径向距离，根据径向距离的异常值判定是否存在中孔披锋。3）表面异物检测齿轮的表面异物缺陷包括油污、黑点、材料中的杂质等。这类缺陷通常会构成图像上的连通域，通过图像分割、Blob 分析等方法可以得到连通域的质心坐标、面积、圆形度、凹凸度和惯量比等几何形状特征，从而获取表面异物的个数、位置和大小等信息。4）裂纹与流纹检测裂纹是金属齿轮的一种外观缺陷，与裂纹类似，流纹是注塑齿轮特有的一种外观缺陷。针对这两种缺陷的检测方法一般分为两个步骤：一是检测齿轮表面是否存在裂纹/流纹；二是提取裂纹/流纹。合格的齿轮产品表面较为光滑，灰度变化均匀；裂纹/流纹则与周围灰度值有明显差异，具有明显的纹理特征，因此常采用基于统计的灰度特征或阈值分割法进行提取。5）翘曲变形检测翘曲变形是注塑齿轮的常见缺陷类型，体现为塑料齿轮的几何形状与模具型腔的形状发生了偏离，超出了公差范围。通常可以通过测量塑料齿轮的特征尺寸（如齿距、齿厚）来识别。本团队选取斜齿轮齿厚标准差或直齿轮齿厚最小值作为特征值，利用支持向量机分类器进行翘曲变形缺陷判别，成功检测出200 个样品中的19 个存在翘曲变形缺陷的齿轮。6）多缺陷融合检测当齿轮表面缺陷特征较多时，通常要通过基于机器学习的目标分类算法来进行判别。如有文献提出一种改进的YOLO-v3 网络，用DenseNet 代替YOLOv3网络中的DarkNet-53 网络，对塑料齿轮的污痕和缺齿缺陷进行检测，误检率为1. 3%。相关文献采用基于CNN 的两种分类方法Naïve 法和fine-grained 法对齿轮的划痕、凸起、孔蚀、块状不对称缺陷进行识别，Naïve 法处理时间更少，平均时间为0. 09 s，准确率为92%，而fine-grained 方法在准确性方面更好，准确率为96. 5%，平均时间为0. 67 s。本团队研制的注塑齿轮在线检测分选系统能够实现对注塑齿轮材料杂质、黑点、油污、烧胶、毛刺、气泡、水口穿孔、缺齿、断齿、收缩、翘曲变形等多缺陷的融合检测，还可以测量齿轮几何尺寸和形位误差，特别是具有齿轮轴向测量功能，可实时分选出合格品和不合格品，具备报警功能，检测效率高、功能全，是目前注塑齿轮视觉在线检测专用设备。4 结束语特大齿轮(直径大于3000mm)测量和微小齿轮（直径小于2mm或模数小于0.1mm）测量属于“绝端测量”范畴。过去20年，对齿轮极端测量技术的研究取得了系列成果，有些已应用于实际齿轮测量中。随着齿轮视觉检测技术的发展，齿轮视觉检测仪器已经可以实现齿轮精度评价和齿轮缺陷检测，已在众多小模数齿轮生产企业得到应用，可以有效地管控产品质量、改进加工工艺、提高产能，取得了较好的使用效果。在齿轮视觉检测技术发展过程中，软件算法是技术壁垒和核心竞争力的集中体现。相对于齿轮精度测量，面向齿轮缺陷检测的技术较为成熟。目前，齿轮机器视觉测量仪器和技术的研究和应用主要集中在小模数齿轮领域的原因如下：在机器视觉测量中，测量精度和测量范围（视场范围）是一对矛盾，现有的机器视觉测量仪器难以同时满足中、大模数齿轮对视场范围和测量精度的要求；小模数齿轮的齿槽宽度小、轮齿刚性差，常规的接触式测量仪在测量小模数齿轮时效率低、测量困难，不能满足小模数齿轮的测量需求。但齿轮机器视觉测量技术也有不足。除了固有的测量精度相对较低的缺点外，由于轮齿遮挡问题，齿轮机器视觉测量技术目前不能实现对圆柱齿轮的螺旋线测量和对锥齿轮、斜齿内齿轮等特殊齿轮的测量，限制了齿轮机器视觉测量技术的推广和应用。在齿轮精度测量研究方面，提高视觉测量精度仍将是难点和着力重点；在齿轮缺陷检测研究方面，目前对齿轮缺陷检测的研究不够深入，可检的缺陷种类不全，提高缺陷识别准确率和效率是着力重点。随着人工成本的增加和产业升级需求的提升，在大规模齿轮生产过程中齿轮视觉在线检测设备的应用越来越多。齿轮视觉在线检测设备的特点有：耦合于生产线上，可高效测量批量齿轮的尺寸精度，实时监测齿轮质量，自动剔除不合格品，形成“生产-检测-分选”自动化流水线；对齿轮外观缺陷进行识别和分类，实现大批量齿轮的“应检尽检”，用“大数据”手段分析齿轮工艺问题，与生产管控系统互联，及时调整工艺参数，减少损失；实现齿轮质量长期监测，及时发现齿轮质量的异常变化；可实现网络化监管和远程监控，即使在千里之外也可以监控整个生产过程，把握生产动态。在未来，齿轮视觉检测技术必将纳入更多先进的科学技术，齿轮视觉检测仪器也将集成更多新技术，并充分发挥各项技术的优点，提升检测效率和精度。三维视觉检测技术、视觉检测设备的复合化、微型化和智能化将是齿轮视觉检测技术的发展趋势。未来每条齿轮产线的生产动态都可以集成到一个软件中进行分析，检测数据实时存储到云端，长期积累的庞大数据将为齿轮生产工艺带来巨大的变革。毫不夸张地说，视觉检测技术将会带来齿轮检测领域的革命，现在还仅仅处于入门口。（省略参考文献51篇）

COD: 操作步骤说明: 1预估水样COD值，选择合适量程。2按照对应量程选取试剂并加入水样:★水样COD值为0- 150mg/L时 ①吸取2ml纯净水加入到一支L R试剂管中(调零管) 0 ②吸取2ml待测水样加入到另一L R试剂管中。 ★水样COD值为100- 1 500mg/L时: ①吸取2mI纯净水加入到一支HR试剂管中(调零管) o ②吸取2ml水样加入到另一支HR试剂管中。 ★水样COD值为1000- 15000mg/L时: ①吸取2mI纯净水加入到一支HR试剂管中(调零管)。 ②另吸取1.8ml纯净水加入到另一HR试剂管，再加入0.2ml水样。(危险: L R和HR预置试剂管中均含有浓硫酸，操作时请佩戴手套，如不慎接触到皮肤，请立即用大量清水冲洗。) 3.拧紧试剂管盖子，上下颠倒摇匀。将试剂管放入消解仪中，在165C下消解20分钟。 (警告:加入水样时试剂管内温度急剧升高，操作时，手拿盖子处，以免烫伤。) 4.消解完成后，将试剂管取出放在试管架上冷却至80C左右(手能承受)，再次摇匀试剂管中液体。 5.将试剂管放在试管架上继续冷却至室温，此时禁止摇晃试剂管。 6.将对应量程的L R或HR调零管，放入仪器中调零。 7.取出调零管，放入待测水样试剂管，读数。注意事项: 1.COD试剂管中有沉淀为正常现象。 2试剂管表面不能有水渍、划痕、灰尘、指纹等。干扰因素:1氯离子含量高于1500mg/L的样品会使测定结果不准，应先做定量稀释，使氯离子含量降低至1500mg/L以下，再测定。2.含芳香族有机物、吡啶、挥发性直链脂肪族化合物、苯等有机物，可能不会被完全氧化，使测定结果偏低。3.Mn( II )、Mn(VI)、Mn(VI)形成红色物质，使测定结果偏高。创新点：1.整体设计美观，彩色大屏操作，方便快捷。2.COD检测稳定性可达± 3％，国标范围为正负％5。3.标配16孔石墨消解仪，可以同时操作不同的项目，节省时间。陆恒COD检测仪LH-T725

激光痕量气体监测仪的新进展：性能和噪音分析（Recent progress in laser?based trace gas instruments: performance and noise analysis ，J. B. McManus M. S. Zahniser D. D. Nelson J. H. Shorter S. C. Herndon D. Jervis M. Agnese R. McGovern T. I. Yacovitch J. R. Roscioli， Appl. Phys. B (2015) 119:203–218）摘要我们用一些近来的数据回顾了使用中红外量子级联激光器，带间级联激光器和锑化二极管激光器的发展。这种监测仪主要用于高精度和高灵敏度测量大气中的痕量气体。在高性能软件的控制下，利用吸收光谱进行快速扫描，集成和高精度拟合。通过中红外波段，实现了出色的灵敏度。Aerodyne监测仪证明了在自然情况下痕量气体的测量精度达到1012级别，可实时测量CO2，CO，CH4，N2O和H2O的同位素。我们还描述信号处理方法，以识别和降低测量噪音。光谱信息分析的原理是将光谱加载到数组中并利用滤波片，傅立叶分析，多元拟合和成分分析进行处理。我们提供一个仪器噪音分析的实例，噪音是由电子信号与光干涉条纹混合形成。引言随着各种中红外单片固态激光器的问世，使用基于中红外激光仪器，对大气痕量气体的高精度测量已经成为常规，包括量子级联激光器（QCL），带间级联激光器（ICL）和基于锑化物的二极管激光器（TDL）。在3μm附近的波长范围内有缺口，但现在，设计人员有更多选择，在3μm附近的波长区域频率使用混合技术。在本文中，我们回顾Aerodyne Research，Inc.（下称ARI）公司使用中红外激光监测仪测量不同的痕量气体，并达到高灵敏度和/或高精度水平。这些仪器基于快速扫描和精确光谱拟合的直接吸收光谱，在高性能软件的控制下，在中红外波段，利用长光程，在减压情况下，通过热电冷却的激光和探测器实现出色的灵敏度。这里介绍了两种仪器：单激光仪器，光程长度最大为76 米；双激光仪器，光程长度最大为210 米。通过仔细选择波长，我们可以用单激光器同时测量多种气体。根据吸收率来说，仪器噪音在1 s的平均值为?5×106，可以测量1012级别大气中的气体]。这些仪器可以在多种环境中使用，包括实验室，偏远现场和移动平台（如卡车，轮船和飞机）。ARI公司仪器介绍及其性能一般来说，对于高浓度气体，几毫米的测量光程可能就足够了；但对于痕量气体来说，则需要数百米光程。Aerodyne气体监测仪仪器使用中红外快速频率扫描，直接吸收光谱并进行精确光谱拟合。仪器在减压池中利用较长吸收光程的新型红外激光源，对多种气态分子提供灵活而直接的高精度测量。光谱仪的基本配置比较简单：首先是激光源，然后是多反腔，最后是探测器。图1显示了这种装置。多反腔有确定的路径长度，符合标准的激光可以传输到检测器，对样品气体的测量基于比尔-兰伯特定律。在许多情况下，激光扫描气体出现多个吸收峰，从而测量多个不同气体。让两道或更多激光通过吸收室，或者使用单个检测器时分复用，可以测量更多的气体。Aerodyne监测仪尽可能使用反射光学元件，光学系统几乎没有色散。通过选择不同波段激光和激光驱动，选择峰值灵敏度不同的检测器来匹配，测量给定单一气体或一组气体。对于不同的测量目的，选择不同的吸收光程。一般多反腔的光程为7–76 米，一般使用宽带透镜；对于浓度非常低的气体，210米光程的窄带高反射率透镜可以提高灵敏度。仪器的优化在过去的几年中，我们持续对仪器进行了改进，比如使用了新型的电流驱动器，它提供了QCL高顺从电压情况下的低噪音电流。我们还设计了低噪音激光驱动和其他电子设备，降低整个系统的噪音。使得平均1s采样情况下，吸收噪音为?5×106，在均时100 s具有更高的精度，这相当于约5×10-7的最终吸收噪音。很多因素使得噪音超过检测器限度，特别是窄带电子噪音和光学干涉条纹。中红外激光微量气体仪器由Aerodyne Research，Inc.生产的操作软件“ TDLWintel”控制，让每条激光可以设置为时分复用。TDLWintel可控制监测仪的操作并实时处理数据。两种激光电流斜率由TDLWintel定义，然后对检测到的信号采样（16位A / D在?1-1.5 MHz下运行），同步求平均，基于HITRAN参数以及测得的温度和压力的曲线，与计算出的吸收值拟合，可以对多达16种气体混合比实时记录。数据可以以10 Hz采样频率记录，最大有效数据率由泵抽速和吸收池的大小决定。实验过程中一些情况，比如阀门开关或背景消减，也可由TDLWintel软件控制。我们展示了单激光（76米光程）和双激光监测仪（76米或者210米光程）的气体测量噪音结果（平均1s），分别在表1和表2中，测量噪音为以空气中的混合比表示，同时提供了噪音的不确定性。根据不同的吸收路径和测量情况，吸收噪音最佳的结果在1s内约为?5×106。仪器适用在各种环境中，无论是在实验室还是在野外实验中。野外现场包括偏远位置或在移动平台（例如轮船，卡车和飞机）上。我们在最近20年在许多野外现场使用过这些仪器。在过去的几年中，Aerodyne “移动实验室”已配备了多种气相仪器（单激光和双激光监测仪）以及测量颗粒物和较重的有机化合物配套仪器。如测量天然气中的甲烷排放，或者测量两种气体示踪物（例如，亚硝酸盐氧化物和乙炔），移动实验室可以直接开到附近，测量示踪气体以及甲烷。另外，通过测量乙烷（常见天然气的成分），我们可以区分来自天然气设施的甲烷和来自生物来源的甲烷。仪器的噪音分析 了解测量噪音源对于保持仪器性能水平至关重要，通常将重点放在最终的噪音源分析和讨论上，例如探测器噪音，激光噪音或散射噪音。其他噪音源，统称为“技术噪音”，可能来自光学和电子方面，并可能是噪音的主要来源。而在在短时间尺度上的噪音可能是更长的时间范围的漂移。不同的噪音源可能表现出不同的功率谱密度（PSD），例如检测器噪音，而Johnson噪音通常具有平坦的PSD（即白噪音），而激光噪音会表现出闪烁噪音（1 / f PSD）。噪音可能会在频谱中产生随机波动，或者它可能具有窄带频率。另一个复杂因素是信号处理算法对噪音信号的响应。对于Aerodyne，混合比噪音是对噪音信号，以及压力和温度变量中多元拟合的结果。了解和减少噪音的第一步是使用Allan–Werle方差工具分析混合比噪音图（方差作为平均时间的函数）以及功率谱，并将噪音划分类型。Allan-Werle方差工具是一种通用工具，可以评估短时噪音和平均时间极限。按类型划分噪音有助于指示其来源。三种常用噪音包括是暗噪音，轻噪音和成比例噪音。 “暗噪音”（即，在检测器被堵塞的情况下报告的混合比）包括检测器噪音，基本电子（Johnson）噪音以及其他多余的电子噪音。“轻噪音”（正常光照水平但吸收深度很小）包括所有暗噪音加激光噪音（1/f，即闪烁噪音和散射噪音），激光驱动电流噪音（产生幅度波动）和干涉条纹的变化。 “比例噪音”（吸收深度较大时看到的多余噪音）包括激光驱动电流噪音，压力和温度噪音以及峰值位置运动结合调谐率误差。频谱数组处理将频谱分解为许多部分，并显示出较多变量。通常应用于频谱数组的处理工具包括减去偏移量，平均值，拟合度，统计量度，变量[p]，[q]或这两者的傅立叶变换，相关性，和主成分分析。尽管有很多处理的实例，但是很难提出一个通用的分析方法，帮助我们了解所看到的一切。即使我们“解剖”光谱并找到大的干涉条纹，这不一定意味着干涉条纹是多余噪音的来源，比如干涉条纹不动或它们的频率太高而无法影响拟合。为了确定，我们需要确定导致多余的噪音因素，该因素的短期波动应与混合比的波动匹配。我们通过一个噪音分析的例子说明了分析过程。结果表明，多余噪音是由两种波的混合，即光学干涉条纹和电子信号混合导致的，产生的低频成分，明显影响混合比的测定，而任一单一波则对结果几乎没有影响。结论 我们对当前Aerodyne Research，Inc.生产的微量气体激光测量仪器进行了综述。提供了一组气体，以及同位素比的测量结果。仪器在性能上的改进包括降低了电源和激光驱动噪音。另外，制造工序变得更加精简。目前吸收噪音在1s内达到?5×106。然而，为获得最佳性能，仍然需要对噪音做进一步的探索。本文中的实例显示，多余噪音是由两种波的混合，由光学干涉条纹和电子信号混合导致。仪器的相关优势1. 持续对仪器的改进及噪音的分析，测量痕量气体的精度更高，测量气体达到ppt级别，甚至在10Hz的频率仍然保持极高的精度；2. 一次同时测量多种气体，消除了多台仪器测量时气体产生的系统误差并大大提高效率；3. 仪器适用于多种环境，满足实验室测量，野外远程测量和移动测量需求。 欲了解该产品的更多特点，欢迎咨询联系澳作生态仪器有限公司

云端智能手持核爆化一体机 T1 集核爆化检测于一体，结合云网端架构，利用核探测和荧光淬灭技术实现对人流、物流的核筛查和痕量爆炸物筛查，进一步利用拉曼技术对筛查出的可疑物进行定性检测。 核：采用闪烁晶体探测器，探测灵敏度高，响应速度快，剂量测量准确度高， 2秒就可以检出移动放射性物质并报警。配合后端定制化软件，可以实现测量阀值设置，累积剂量统计，历史记录追踪。 爆：采用荧光技术对爆炸物实现痕量检测，且检测黑火药等易燃物无风险。 对可疑包裹及无主物可通过对其外部擦拭或吸气进行检查，无需打开包裹，可第 一时间现场处理，保护了检查人员的人身安全。 化：采用高灵敏度拉曼技术独创的深度学习算法，可快速检测各类化学物质， 支持混合物的成分分析，数据库物质种类超过8000种。云端检测架构：设备具有云端强大的计算分析能力。多种检测功能和云端架构极大的丰富了设备使用场景，对比现有检测设备有着质的飞跃。创新点：该产品具有三种测量模式，在单点手持拉曼检测仪的基础上结合了MEMS高频可控面扫技术，增加了高频面扫及点阵测量两种模式，同时兼具拉曼成像功能。 该产品在公安、海关、安防和食品药监等领域均得到高度认可，在病毒检测方面也有了新的突破，不久后即可投入使用，弥补了传统拉曼检测设备的短板，实现了高效便捷与智能检测的统一。云端智能手持核爆化检测仪

5月21日下午，第四届纳米压痕国际研讨会在西安交通大学圆满结束。本届研讨会由西安交通大学金属材料强度国家重点实验室及材料学院微纳尺度材料行为研究中心主办，美国Hysitron（海思创）公司和德祥科技有限公司支持。大会分为5个单元，从19日至21日，历时三天，包含26个大会报告。来自美国、韩国、日本、新西兰等国内外的多位知名纳米材料专家分别介绍并讨论了各自的研究成果，大家总结已有研究成果，分析存在问题，此次会议为国内外材料科学工作者提供了一次宝贵的学习、交流平台，取得了良好的效果。　　 　　参会者合影　　本届会议的中方主席是西安交大“千人计划”入选者、金属材料强度国家重点实验室副主任、Hysitron(海思创)中国应用研究中心主任单智伟教授，外方主席为美国南卡罗来纳大学的李晓东教授。　　会上，西安交大金属材料强度国家重点实验室主任、材料学院院长孙军教授及李晓东教授致开幕词。Hysitron(海思创)公司总裁Thomas Wyrobek 先生作了题为“Beyond nanoindentation”的开场报告，介绍了近年来纳米压痕设备的相关成就并跟大家分享了他对纳米尺度材料优异性能研究的前景展望。来自麻省理工学院的Ming Dao教授、日本东北大学陈明伟教授、Hysitron(海思创)公司副总裁兼首席技术官Oden Warren博士等专家学者担任大会相关单元的主席。　　美国约翰霍普金斯大学Evan Ma教授、匹斯堡大学Scott Mao教授、日本京都大学Nobuhiro Tsuji教授、大阪大学Shigenobu Ogata教授、新西兰奥克兰大学Michelle Dickinson教授、韩国科技学院纳米压痕测试和先进材料专家Seung Min Han教授、中科院金属所张广平教授、力学所魏悦广教授、南京航空航天大学航郭万林教授等国内外纳米材料领域的专家学者也都做介绍了自己最新的研究成果，并回答了大家的疑问。Hysitron(海思创)应用科学家宋双喜博士为大家做了《在室温条件下金属玻璃产生形变后的电阻率》的报告。　　 　　Hysitron总裁Thomas Wyrobek为会议展板比赛获奖者颁奖　　20日下午，与会人员参观了金属材料强度国家重点实验室及微纳尺度材料行为研究中心，观看了Hysitron(海思创)纳米力学测试设备的样品测试过程，对Hysitron(海思创)技术有了更深入的了解。Hysitron(海思创)公司是*的纳米力学检测仪器的设计和制造商，其TI-750、TI-950纳米力学测试系统及配合原子力显微镜的TS 75纳米压痕仪具有压痕测试、划痕测试、模量成像、动态力学分析、声发射检测、接触电阻测量等功能，检测准确，重复性好 另外Hysitron(海思创)公司还开发了针对扫描电镜的PI 85纳米压痕仪、针对透射电镜的PI 95纳米压痕仪，可在电镜下实时观测压痕过程，进行纳米尺度的压痕、压缩、弯曲和拉伸测试，Hysitron(海思创)仪器采用三板电容传感器，大大降低了仪器热漂移，是认识和探索材料的微纳米尺度结构、形貌和性能的重要工具。报告人及报告主题（节录） 报告人报告人单位报告主题Thomas WyrobekHysitron（海思创）公司Beyond nanoindentationMichelle Dickinson新西兰奥克兰大学Of Mice and Men-Advances in nanoindentation testing for biological materialsMing Dao美国麻省理工学院Quantifying size-dependent nanoscale heterogeneity of bone through nanoindentationGuangpin Zhang张广平中科院金属所Detecting mechanical behavior of nanoscale metallic multilayers by instrumented-indentationK.Ting台湾成功大学The measurements of nanomechanical properties and vibration modal analysis of dragonfly wingEvan Ma美国约翰霍普金斯大学Size matters for deformation twinning in single crystalsOden WarrenHysitron（海思创）公司The often overlooked time domain in small-scale mechanical property measurementsXiaodong Li李晓东美国南卡罗来纳大学Environmental effects on the mechanical behavior and function performance of nanostructures魏悦广中科院力学所A kind of trans-scale mechanics model and physical representation of materiallength scaleSeung Min Han韩国科技学院Size dependent strength and plasticity of vanadium nanopillars: Ex-situ and In-situ TEM studiesMin-Wei Chen陈明伟日本东北大学Experimental characterization of shear transformation zones for plastic deformation of metallic glassesScott Mao美国匹斯堡大学In situ TEM on discrete plasticity in metallic nanowiresShigenobu Ogata日本大阪大学First-principles modeling of deformation and diffusion at nano-scaleWanlin Guo郭万林南京航空航天大学Mechanical-Electronic-Magnetic coupling effects in nanomaterials 德祥科技有限公司作为Hysitron（海思创）产品在中国的独家供应商，愿为您提供周到细致的售前、售后服务，帮助广大科研工作者实现精确、可靠、方便的微纳尺度力学分析测试，详细信息欢迎您登陆德祥网站（http://www.tegent.com.cn/）了解相关信息，欲获得此次会议的报告资料，欢迎您跟我们联系，德祥客服热线：4008 822 822。

拉曼光谱分析法是基于印度科学家C.V.拉曼(Raman)所发现的拉曼散射效应，根据每种分子如人类指纹一样，都有其独特的光谱指纹，可以很好的识别分子物质，当前，随着拉曼光谱技术的发展，各样式拉曼检测仪不断涌现，如便携式科研拉曼检测仪、手持式拉曼检测仪等。它们为拉曼技术的推广提供了条件。　　普识纳米在现有常规拉曼技术研究的基础之上，针对不同拉曼检测仪性能不同导致的采集拉曼谱图与比对标准谱图差异大，拉曼检测仪物质识别能力不强、检测限等问题，设计并开发了通用拉曼智能识别模块，解决了拉曼谱图的自适应采集、多维度校准和多核加速技术等问题，提高了谱图识别的准确性和速度。　　拉曼智能模块对常规拉曼升级包括以下几点：　　(1)针对信号强度不确定性样品，设计了拉曼自动积分控制算法，通过实时评价拉曼信号的信噪比或峰强，自动控制拉曼积分时间、激光功率等参数，使得针对不同的样品，不同性能的拉曼信号采集模块都能自动获得高质量的拉曼谱图数据。　　(2)为提高拉曼谱图智能识别算法的通用性和准确度，设计了多维度的拉曼谱图校准算法，在对拉曼谱图进行滤波去噪的基础上，设计了基于多物质的标定的拉曼位移校准方法和相对强度校准方法，改进了不同性能拉曼信号采集模块获得的拉曼谱图的特征信息差异，从而提高了谱图识别的准确性。　　(3)基于嵌入式系统，实现了智能识别算法的并行加速。通过采用多核多线程并行处理、哈希表数据库检索方法等，提高了拉曼谱图智能识别算法的计算速度，大幅提高了智能识别模块的性能。　　(4)同时还开发了基于串口通讯的通信桥，实现了基于http通讯的前后端程序在串口下的通信。 本文开发设计了微型的拉曼智能识别模块，编写了算法和控制程序，进行了实验分析和算法验证，表明了拉曼智能识别模块能适配不同性能的拉曼光谱检测模块，可以提供离线式和在线式的拉曼谱图快速识别服务。　　根据以上四大方面升级，解决了不同厂家常规拉曼的数据匹配问题，结合普识纳米SERS增强技术，完美实现了常规拉曼毒品痕量检测难题。　　例如第三代毒品“芬太尼”，常规拉曼是无法检测芬太尼类强荧光干扰和低浓度的两大核心问题，集合普识纳米SERS智能处理器，升级后灵敏度可达ppb级别(可以在毒贩或者吸毒人员摸过的纸币上面采样)。基于拉曼光谱SERS原理，采用独特的便携设计，具有简单、精准、高效、便携等特点。满足现场使用需求，并可根据要求支持扩容升级万条数据库，还可以随时自建谱图库，检测新出现的芬太尼。

细胞迁移，指的是细胞在接收到迁移信号或感受到某些物质的浓度梯度后而产生的移动。移动过程中，细胞不断重复着向前方伸出突触/伪足，然后牵拉后方胞体的循环过程。细胞骨架和其结合蛋白，还有细胞间质是这个过程的物质基础，另外还有多种物质会对之进行精密调节。细胞的运动有很多种，有生理性运动，如发育过程中的细胞运动，生殖细胞、干细胞的成熟过程中的位置变化。也有病理性变化，如肿瘤的迁移和侵袭。从癌症的产生到转移，血管供给以及分裂增殖都一直是医学和生物学研究的热点。癌症细胞增殖失控，短时间内可以繁殖出大量后代，这样首先会造成生长空间的局促和养分，如氧气的紧张。这样恶性肿瘤内会形成一片坏死区，正如上面在组织损伤里面提到的，机体会尝试“修复”这些损伤。坏死组织会释放出一系列促血管生成因子，如血管内皮生长因子以及各种免疫细胞，如巨噬细胞。巨噬细胞也会释放大量促血管生成细胞因子和生长因子。因此肿瘤的研究伴随着复杂的细胞运动，如肿瘤细胞沿着循环系统的运动，血管内皮细胞和免疫细胞进入肿瘤实体的运动。划痕法是经典的细胞行为学检测方法。在平铺的细胞单层上划出一条痕迹，然后清洗更换培养液后，细胞会从原有位置向划痕处迁移。统计划痕宽度和面积的变化就可以监控细胞迁移的速度和细胞迁移的能力。以前在做划痕实验的时候受到诸多限制：首先微孔板的孔不能太小，孔越小，枪头越难伸进去；其次划出的痕迹边缘歪斜，无法形成一条直线；孔与孔之间的划痕宽度也不均一。这给划痕这个时间梯度的实验带来了很大的困扰。在多次的拍照过程中，由于划痕宽度的差异性对于划痕拍照位置的复位要求甚高。然而随着细胞迁移的发生，细胞的原位的形态和分布也发生的动态变化。所以复位划痕的拍照位置成为就成为了一个力气活：既然无法准确找到，那就全部拍下；既然每个位置宽度不一，那就全部统计。借助MuviCyte™ 长时间活细胞成像系统的划痕套装。轻轻一划，解决全部困扰。借助Scratcher整齐的96针，可以在96孔微孔板底面整齐的划出宽度均一的划痕。借助MuviCyte™ 长时间活细胞成像系统可以盯住一个视野不停的拍。然后生成无抖动的视频。借助专业的划痕分析软件，对划痕宽度、面积、愈合速度进行分析，可以获取的参数包括：划痕面积划痕的覆盖度划痕的宽度划痕的愈合速度相对划痕密度对于原始细胞区域、原始划痕区域、划痕分界线、迁移后细胞的区域进行精准的划分，保证分析结果的精确。轻松的完成整个实验，再也不用熬夜拍划痕了。MuviCyte™ 已于2020年1月1日全新上线，借助它的多荧光通道和多种物镜选择，可以完成多种复杂的复杂细胞模型的拍摄和观察，在肿瘤免疫、干细胞等多个领域都有重要的应用。扫描下方二维码或点击下载链接，即可下载珀金埃尔默MuviCyte™ 活细胞成像系统相关资料。下载链接: http://hyw3rjq7ezkfsnvu.mikecrm.com/naj9QZD

p　　关于进行高温纳米压痕试验的最佳方法一直存在争议，其中热漂移、尖端腐蚀和噪声基底是阻碍此类试验的主要问题。安东帕TriTec高温超纳米压痕测试仪(UNHTsup3/sup HTV) 能够解决800℃下进行纳米压痕测试的问题。/pp　　前期工作已经证明，除了氧化之外，热漂移是导致高温试验误差的关键问题之一，随着温度的升高，漂移率趋于增加。在UNHTsup3/sup HTV中解决这个问题是一个重要的发展，需要很多修改来适应所有可能的变量。/pp　　基于安东帕尔在纳米压痕方面的长期经验，UNHTsup3/sup HTV的核心是基于非常成功和获得专利的超纳米压痕测试仪(UNHTsup3/sup)。/pp style="text-align: center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C181962.htm" target="_self"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202005/uepic/3bb9ac89-63a9-4c57-bf69-dffef04b3b04.jpg" title="安东帕高温高真空超纳米压痕仪 UNHT³ HTV.jpg" alt="安东帕高温高真空超纳米压痕仪 UNHT³ HTV.jpg"//a/pp style="text-align: center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C181962.htm" target="_self"strong安东帕高温高真空超纳米压痕仪 UNHTsup3/sup HTV/strong/a/pp　　其测量探头经过优化，能在高温下运作，并与正在申请专利的样品台结合，使测量能够在工作范围内的任何温度下进行，具有极高的热稳定性。/pp style="text-align: center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C181962.htm" target="_self"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 522px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202005/uepic/eb5e286c-e5b5-417b-afa9-c9d654bdaeda.jpg" title="UNHT3 HTV系统的示意图.jpg" alt="UNHT3 HTV系统的示意图.jpg" width="500" height="522" border="0" vspace="0"//a/pp style="text-align: center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C181962.htm" target="_self"strongUNHT3 HTV系统的示意图/strong/a/pp　　如示意图所示，测量探头、光学视频显微镜和样品台安装在高真空腔室中，使用涡轮分子二次泵和一次泵抽至10sup-7/sup mbar。/pp　　真空操作的两个主要优点是：/pp　　(i) 去除氧化的影响，这意味着可以在试样材料的表面力学性能不因氧化物而改变的情况下进行试验。此外，也可以使用不适应氧化环境的压头材料：例如，金刚石是在室温下可选择的压头材料，但它在约400° C以上会氧化，然后软化并容易钝化，从而使其实际上无法用于纳米压痕。/pp　　(ii)通过腔内对流减少热损失，从而大大有助于热稳定。/pp　　真空操作的主要缺点是，阀门和泵的运行将在测量中引入额外的机械噪声，因此，已采取具体措施以尽可能减少这种噪声，包括：/pp　　(a) 材料选择：框架的内部构架已经通过使用铝、铸铁和不锈钢的混合物进行了优化，从而实现了最佳的机械阻尼。/pp　　(b) 在背压阀和二次泵之间连接一个真空缓冲器，允许在不需要一次泵的情况下运行数小时。这可以保持10sup-6/sup mbar真空超过10小时。/pp　　(c) 采用低摩擦轴承的5轴磁悬浮涡轮分子泵，将机械振动降到最低。/pp　　(d) 防振：整个真空室安装在4点防振台上，采用有效的压缩空气使真空室“浮”起来，消除了大部分振动噪声。/pp　　(e)提供6 Nmmsup-1/sup的弹簧常数的弹簧，加强了UNHTsup3/sup HTV测量探头的弹簧 (与标准UNHTsup3/sup的3 Nmmsup-1/sup相比)，从而保持可接受的噪底，并补偿压头和基准的额外质量。/pp　　a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH101011/" target="_self"strong关于安东帕/strong/a/pp　　安东帕成立于1922年，如今，全世界已经有超过3200名员工从事开发、生产和销售高精度的实验室仪器和过程测量系统，并提供定制的自动化和机器人解决方案。/pp　　安东帕提供从原子到宏观范围内测试各种材料的材料特性的全套仪器。除光谱、X射线等结构分析外，还提供了仪器压痕、摩擦学、划痕试验、涂层厚度测定和原子力显微镜等。此外，安东帕还提供采用化学和电化学方法用于表面电荷测定、流变学研究、粘度测定、颗粒表征等仪器。/ppstrongspan　　/spana href="https://www.instrument.com.cn/zc/956.html" target="_self"关于span纳米压痕仪、划痕仪/span/a/strong/ptable border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" style="" align="center"colgroupcol width="95" style=" width:95px"/col width="288" style=" width:288px"//colgrouptbodytr height="18" style="height:18px" class="firstRow"td height="18" width="222" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"仪器专场/tdtd width="280" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle"a href="https://www.instrument.com.cn/zc/956.html?AgentSortId=11017&SampleId=&IMShowBigMode=&IMCityID=&IMShowBCharacter=&SidStr=" target="_self"安东帕纳米压痕仪、划痕仪/a/td/trtr height="18" style="height:18px"td rowspan="6" height="108" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle" width="213"a href="https://www.instrument.com.cn/zc/956.html" target="_self"纳米压痕仪、划痕仪/a/tdtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle" width="280"a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C181962.htm" target="_self"安东帕高温高真空超纳米压痕仪UNHT³ HTV/a/td/trtr height="18" style="height:18px"td height="18" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle" width="334"a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C59621.htm" target="_self"安东帕纳米划痕仪NST³ /a/td/trtr height="18" style="height:18px"td height="18" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle" width="127"a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C179250.htm" target="_self"安东帕生物纳米压痕仪UNHT³ Bio/a/td/trtr height="18" style="height:18px"td height="18" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle" width="127"a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C59577.htm" target="_self"安东帕微米压痕仪MHT³ /a/td/trtr height="18" style="height:18px"td height="18" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle" width="127"a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C59622.htm" target="_self"安东帕微米划痕仪MST³ /a/td/trtr height="18" style="height:18px"td height="18" style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align="center" valign="middle" width="127"a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C59623.htm" target="_self"安东帕大载荷划痕仪RST³ /a/td/tr/tbody/tablepbr//p

便携式显微镜之所以在工业检测、科研和考古等领域得到广泛应用，主要是因为它克服了传统显微镜笨重、不易移动、操作繁琐等缺点。便携式显微镜设计紧凑，重量轻，携带方便，可以随时随地进行检测。便携式显微镜的几个典型的应用场景如下：一、表面检测在制造业中，产品的表面质量对其性能和使用寿命至关重要。便携式显微镜可以快速准确地检测产品表面的微观缺陷，如划痕、凹坑等。便携式自动对焦显微镜MSBTVTY检测喷漆划痕二、电子行业在电子行业中，对元器件的检测要求非常高。便携式显微镜可以用于观察、检测电路板、芯片等元器件的微观结构，确保其质量。同轴光金相显微镜检测晶圆示意图三、金属加工金属加工过程中，常常需要对工件进行无损检测。便携式显微镜可以通过观察金属的微观结构和质量，以及焊接点的连接质量等，检测其内部缺陷，提高工件的质量和可靠性。便携式显微镜MSA600S检测刀具划痕四、纺织行业纺织品的纤维结构和品质对其性能和外观至关重要。便携式显微镜可以用于观察纺织品的纤维结构，检测其质量和均匀性。五、考古行业便携式显微镜是分析鉴定和保护文物工作最常用的分析工具之一。由于其小巧便携、价格便宜、实用性强、操作简单等特点，越来越多的博物馆、科研机构的科技考古实验室都配备了便携式显微镜。便携式显微镜多用于观察纸张、织物、陶瓷、青铜器、石器等各类文物，也可以在考古现场对土壤等进行微观观察，是考古时最常用的工具之一。便携式显微镜看古玩六、生命科学研究在细胞生物学和解剖学研究中，便携式显微镜有助于观察细胞、组织、器官的超微结构和形态特征，以及病理变化等问题。在医学诊断中，它能够帮助医生对皮肤、黏膜等部位进行快速、准确的检测和诊断，例如用于鉴别癌细胞、真菌感染、精子计数等。随着科技的不断进步，便携式显微镜的性能和应用领域还将继续拓展，为科研和实际应用带来更多可能性。

履约造就检测仪器产业大市场 POPs减排已经成了国际话题，为了实现减排目标，各国相继开展研究。 “不论是基础研究还是替代试点，这个产业的发展已经到了非常好的时机。”清华大学环境与工程系主任余刚说。 以仪器厂商为例，POPs之一的二恶英是公认毒性最大、最不易消除的，针对二恶英的检测仪器，目前世界上只有3家公司可以做出来，沃特世、赛默飞世尔和日本电子。也就是说，如果想要进行二恶英的分析检测，只有从这3家公司中进行仪器选购。 POPs的检测给分析仪器带来了新的挑战，要求仪器具有更高的灵敏度，能分析痕量的POPs，如二恶英等；也要求仪器具有更完善的谱库，为快速筛查大量的POPs提供条件，同时要具备更强的对未知化合物的探查能力。 “不过，一套二恶英分析检测仪器的价格非常高，要数百万元人民币。”沃特世公司市场发展总监舒放认为，从世界各国拥有的二恶英分析检测仪器情况来看，中国的仪器市场前景非常好，“因为中国目前POPs减排的任务还很艰巨，需要的仪器数量肯定还要增加”。 其实，很多仪器生产厂商都认为中国是一个非常有潜力的大市场。 赛默飞世尔公司的产品专家陈宇东认为，化学工业发展的过程中不可避免地会遇到一些环境问题，中国政府在发展经济的同时也注重环境监测和治理。政府加强环境投资，不断完善检测手段和管理体制，与环境密不可分的化学分析仪器行业发展迅猛，特别是2000年以来，中国环境仪器市场就一直保持着两位数的增长。 加入《斯德哥尔摩公约》后，中国在积极地开展履约工作，由于POPs具有长距离迁移的特性，环境介质中POPs采样与前处理非常复杂。 “如二恶英和多溴联苯醚分析等，属于超痕量分析，对分析仪器选择性和灵敏度的要求极高，这些污染物的污染状况已经成为环境科学工作者关注的热点之一。”陈宇东说。 不仅是二恶英分析仪器，涉及各类POPs监测、分析的工具，在仪器厂商眼中都成为一个“大蛋糕”。 也正因此，中国的环境政策是仪器厂商尤为关心的，政策的一举一动都与产品销售产生着直接或者间接的关联。舒放说：“最关心的就是履约进展和未来的计划，了解了这些，可以提早为市场作准备。” 安捷伦科技公司市场部环境行业经理洪靖说：“这些政策的出台将促使环境监测系统增加投入，提高自身的能力。对仪器生产商而言，自然会带来机会，而且这个市场需求将是持续增加的。” 事实上，不仅仅是仪器产业因其受益，样本分析、替代技术和产品都是我国尚处于萌芽阶段的朝阳产业。 我国目前具备二恶英分析监测能力的实验室约有20家左右，但许多城市和地区还没有这样条件的实验室。 “因为履约的要求，需要进行研究分析的样本有很多，如果能在样本分析行业建立起相关产业，一方面可以解决科研问题，另一方面价值不菲的仪器也物有所值。”余刚说。 此外，像钢铁、金属再生、造纸等各种行业里面都需要一些减排措施。产业的市场非常巨大。“法国目前就有这样的产业，比如开发垃圾焚烧中对二恶英的控制技术、对农药处置的技术，靠这些技术，完全可以在市场中立足。”余刚说。 其实，在POPs问题上，我国整体的研究方向比前几年明确了很多，研究的角度也多样化了。余刚认为，特别是很多年轻学者的加入，也显示出这个行业未来的深度发展。 不过，从研究到实际应用仍需要一个复杂的过程。“涉及产学研如何结合，当然也与政府观念有一定关系。现在很多研究机构和高校还主要是基础研究、申请专利，而不是很好地和企业相联系。”余刚认为，企业其实很需要技术上的支持，如果国家能够提供有利的政策，产业的发展也会反过来支撑国家的履约事业。

p　　记者7月17日从中国工程物理研究院核物理与化学研究所获悉，我国首台可移动式中子成像检测仪日前由该所研制成功。这种能够在集装箱货车中运输的中子检测设备，可实现待检对象的现场或在线检测，未来在我国航空航天领域重大装备制造中将发挥重要作用。/pp　　可用于裂痕探测、材料性能分析等领域的中子成像检测，由于弥补了X射线等其他无损检测方式的不足，正广泛用于重大装备制造领域。但由于传统的中子成像检测设备自身体积较大，难以对大型、超大型装备进行现场检测。/pp　　在国家重大科学仪器设备开发专项支持下，中物院核物理与化学研究所龚建研究员率领团队研发的可移动式中子成像检测仪，由小型加速器中子源、准直屏蔽系统、样品承载系统、成像系统、控制系统、数据采集处理系统及氚净化处理系统等组成。设备长6米，占地面积20平方米，仅一个房间大小 总重3.5吨，可以装在一到两辆集装箱货车中运输。对核心的小型加速器中子源，研究团队采用整体小型化和集成化设计思路，对离子源、高压电源及加速管等关键部件进行了特殊设计、验证和研制，满足了中子成像检测对加速器中子源小型化和高产额的应用需求。/pp　　“该仪器的成功研制，带动了高产额小型加速器设计制造、中子探测技术，及航空发动机空心涡轮叶片、航天火工品的检测技术进步，打破了国外对这种广泛用于核能、航空航天等高端领域特种检测设备的封锁。”研究团队相关负责人表示，目前该设备已在航空发动机空心涡轮叶片残余型芯检测及航天火工品系列产品质量检测中得到了成功应用。/p

摘要随着对性能优于硅基器件的碳化硅（SiC）功率器件的需求不断增长，碳化硅制造工艺的高成本和低良率是尚待解决的最紧迫问题。研究表明，SiC器件的性能很大程度上受到晶体生长过程中形成的所谓杀手缺陷（影响良率的缺陷）的影响。在改进降低缺陷密度的生长技术的同时，能够识别和定位缺陷的生长后检测技术已成为制造过程的关键必要条件。在这篇综述文章中，我们对碳化硅缺陷检测技术以及缺陷对碳化硅器件的影响进行了展望。本文还讨论了改进现有检测技术和降低缺陷密度的方法的潜在解决方案，这些解决方案有利于高质量SiC器件的大规模生产。前言由于电力电子市场的快速增长，碳化硅（SiC，一种宽禁带半导体）成为开发用于电动汽车、航空航天和功率转换器的下一代功率器件的有前途的候选者。与由硅或砷化镓（GaAs）制成的传统器件相比，基于碳化硅的电力电子器件具有多项优势。表1显示了SiC、Si、GaAs以及其他宽禁带材料（如GaN和金刚石）的物理性能的比较。由于具有宽禁带（4H-SiC为~3.26eV），基于SiC器件可以在更高的电场和更高的温度下工作，并且比基于Si的电力电子器件具有更好的可靠性。SiC还具有优异的导热性（约为Si的三倍），这使得SiC器件具有更高的功率密度封装，具有更好的散热性。与硅基功率器件相比，其优异的饱和电子速度（约为硅的两倍）允许更高的工作频率和更低的开关损耗。SiC优异的物理特性使其非常有前途地用于开发各种电子设备，例如具有高阻断电压和低导通电阻的功率MOSFET，以及可以承受大击穿场和小反向漏电流的肖特基势垒二极管（SBD）。性质Si3C-SiC4H-SiCGaAsGaN金刚石带隙能量（eV）1.12.23.261.433.455.45击穿场（106Vcm−1)0.31.33.20.43.05.7导热系数（Wcm−1K−1)1.54.94.90.461.322饱和电子速度（107cms−1)1.02.22.01.02.22.7电子迁移率（cm2V−1s−1)150010001140850012502200熔点（°C）142028302830124025004000表1电力电子用宽禁带半导体与传统半导体材料的物理特性（室温值）对比提高碳化硅晶圆质量对制造商来说很重要，因为它直接决定了碳化硅器件的性能，从而决定了生产成本。然而，低缺陷密度的SiC晶圆的生长仍然非常具有挑战性。最近，碳化硅晶圆制造的发展已经完成了从100mm（4英寸）到150mm（6英寸）晶圆的艰难过渡。SiC需要在高温环境中生长，同时具有高刚性和化学稳定性，这导致生长的SiC晶片中存在高密度的晶体和表面缺陷，导致衬底和随后制造的外延层质量差。图1总结了SiC中的各种缺陷以及这些缺陷的工艺步骤，下一节将进一步讨论。图1SiC生长过程示意图及各步骤引起的各种缺陷各种类型的缺陷会导致设备性能不同程度的劣化，甚至可能导致设备完全失效。为了提高良率和性能，在设备制造之前检测缺陷的技术变得非常重要。因此，快速、高精度、无损的检测技术在碳化硅生产线中发挥着重要作用。在本文中，我们将说明每种类型的缺陷及其对设备性能的影响。我们还对不同检测技术的优缺点进行了深入的讨论。这篇综述文章中的分析不仅概述了可用于SiC的各种缺陷检测技术，还帮助研究人员在工业应用中在这些技术中做出明智的选择（图2）。表2列出了图2中检测技术和缺陷的首字母缩写。图2可用于碳化硅的缺陷检测技术表2检测技术和缺陷的首字母缩写见图SEM：扫描电子显微镜OM：光学显微镜BPD：基面位错DIC：微分干涉对比PL：光致发光TED：螺纹刃位错OCT：光学相干断层扫描CL：阴极发光TSD：螺纹位错XRT：X射线形貌术拉曼：拉曼光谱SF：堆垛层错碳化硅的缺陷碳化硅晶圆中的缺陷通常分为两大类：（1）晶圆内的晶体缺陷和（2）晶圆表面处或附近的表面缺陷。正如我们在本节中进一步讨论的那样，晶体学缺陷包括基面位错（BPDs）、堆垛层错（SFs）、螺纹刃位错（TEDs）、螺纹位错（TSDs）、微管和晶界等，横截面示意图如图3（a）所示。SiC的外延层生长参数对晶圆的质量至关重要。生长过程中的晶体缺陷和污染可能会延伸到外延层和晶圆表面，形成各种表面缺陷，包括胡萝卜缺陷、多型夹杂物、划痕等，甚至转化为产生其他缺陷，从而对器件性能产生不利影响。图3SiC晶圆中出现的各种缺陷。（a）碳化硅缺陷的横截面示意图和（b）TEDs和TSDs、（c）BPDs、（d）微管、（e）SFs、（f）胡萝卜缺陷、（g）多型夹杂物、（h）划痕的图像生长在4°偏角4H-SiC衬底上的SiC外延层是当今用于各种器件应用的最常见的晶片类型。在4°偏角4H-SiC衬底上生长的SiC外延层是当今各种器件应用中最常用的晶圆类型。众所周知，大多数缺陷的取向与生长方向平行，因此，SiC在SiC衬底上以4°偏角外延生长不仅保留了下面的4H-SiC晶体，而且使缺陷具有可预测的取向。此外，可以从单个晶圆上切成薄片的晶圆总数增加。然而，较低的偏角可能会产生其他类型的缺陷，如3C夹杂物和向内生长的SFs。在接下来的小节中，我们将讨论每种缺陷类型的详细信息。晶体缺陷螺纹刃位错（TEDs）、螺纹位错（TSDs）SiC中的位错是电子设备劣化和失效的主要来源。螺纹刃位错（TSDs）和螺纹位错（TEDs）都沿生长轴运行，Burgers向量分别为0001和1/311–20。TSDs和TEDs都可以从衬底延伸到晶圆表面，并带来小的凹坑状表面特征，如图3b所示。通常，TEDs的密度约为8000-10,0001/cm2，几乎是TSDs的10倍。扩展的TSDs，即TSDs从衬底延伸到外延层，可能在SiC外延生长过程中转化为基底平面上的其他缺陷，并沿生长轴传播。Harada等人表明，在SiC外延生长过程中，TSDs被转化为基底平面上的堆垛层错（SFs）或胡萝卜缺陷，而外延层中的TEDs则被证明是在外延生长过程中从基底继承的BPDs转化而来的。基面位错（BPDs）另一种类型的位错是基面位错（BPDs），它位于SiC晶体的平面上，Burgers矢量为1/311–20。BPDs很少出现在SiC晶圆表面。它们通常集中在衬底上，密度为15001/cm2，而它们在外延层中的密度仅为约101/cm2。Kamei等人报道，BPDs的密度随着SiC衬底厚度的增加而降低。BPDs在使用光致发光（PL）检测时显示出线形特征，如图3c所示。在SiC外延生长过程中，扩展的BPDs可能转化为SFs或TEDs。微管在SiC中观察到的常见位错是所谓的微管，它是沿生长轴传播的空心螺纹位错，具有较大的Burgers矢量0001分量。微管的直径范围从几分之一微米到几十微米。微管在SiC晶片表面显示出大的坑状表面特征。从微管发出的螺旋，表现为螺旋位错。通常，微管的密度约为0.1–11/cm2，并且在商业晶片中持续下降。堆垛层错（SFs）堆垛层错(SFs)是SiC基底平面中堆垛顺序混乱的缺陷。SFs可能通过继承衬底中的SFs而出现在外延层内部，或者与扩展BPDs和扩展TSDs的变换有关。通常，SFs的密度低于每平方厘米1个，并且通过使用PL检测显示出三角形特征,如图3e所示。然而，在SiC中可以形成各种类型的SFs，例如Shockley型SFs和Frank型SFs等，因为晶面之间只要有少量的堆叠能量无序可能导致堆叠顺序的相当大的不规则性。点缺陷点缺陷是由单个晶格点或几个晶格点的空位或间隙形成的，它没有空间扩展。点缺陷可能发生在每个生产过程中，特别是在离子注入中。然而，它们很难被检测到，并且点缺陷与其他缺陷的转换之间的相互关系也是相当的复杂，这超出了本文综述的范围。其他晶体缺陷除了上述各小节所述的缺陷外，还存在一些其他类型的缺陷。晶界是两种不同的SiC晶体类型在相交时晶格失配引起的明显边界。六边形空洞是一种晶体缺陷，在SiC晶片内有一个六边形空腔，它已被证明是导致高压SiC器件失效的微管缺陷的来源之一。颗粒夹杂物是由生长过程中下落的颗粒引起的，通过适当的清洁、仔细的泵送操作和气流程序的控制，它们的密度可以大大降低。表面缺陷胡萝卜缺陷通常，表面缺陷是由扩展的晶体缺陷和污染形成的。胡萝卜缺陷是一种堆垛层错复合体，其长度表示两端的TSD和SFs在基底平面上的位置。基底断层以Frank部分位错终止，胡萝卜缺陷的大小与棱柱形层错有关。这些特征的组合形成了胡萝卜缺陷的表面形貌，其外观类似于胡萝卜的形状，密度小于每平方厘米1个，如图3f所示。胡萝卜缺陷很容易在抛光划痕、TSD或基材缺陷处形成。多型夹杂物多型夹杂物，通常称为三角形缺陷，是一种3C-SiC多型夹杂物，沿基底平面方向延伸至SiC外延层表面，如图3g所示。它可能是由外延生长过程中SiC外延层表面上的下坠颗粒产生的。颗粒嵌入外延层并干扰生长过程，产生了3C-SiC多型夹杂物，该夹杂物显示出锐角三角形表面特征，颗粒位于三角形区域的顶点。许多研究还将多型夹杂物的起源归因于表面划痕、微管和生长过程的不当参数。划痕划痕是在生产过程中形成的SiC晶片表面的机械损伤，如图3h所示。裸SiC衬底上的划痕可能会干扰外延层的生长，在外延层内产生一排高密度位错，称为划痕，或者划痕可能成为胡萝卜缺陷形成的基础。因此，正确抛光SiC晶圆至关重要，因为当这些划痕出现在器件的有源区时，会对器件性能产生重大影响。其他表面缺陷台阶聚束是SiC外延生长过程中形成的表面缺陷，在SiC外延层表面产生钝角三角形或梯形特征。还有许多其他的表面缺陷，如表面凹坑、凹凸和污点。这些缺陷通常是由未优化的生长工艺和不完全去除抛光损伤造成的，从而对器件性能造成重大不利影响。检测技术量化SiC衬底质量是外延层沉积和器件制造之前必不可少的一步。外延层形成后，应再次进行晶圆检查，以确保缺陷的位置已知，并且其数量在控制之下。检测技术可分为表面检测和亚表面检测，这取决于它们能够有效地提取样品表面上方或下方的结构信息。正如我们在本节中进一步讨论的那样，为了准确识别表面缺陷的类型，通常使用KOH（氢氧化钾）通过在光学显微镜下将其蚀刻成可见尺寸来可视化表面缺陷。然而，这是一种破坏性的方法，不能用于在线大规模生产。对于在线检测，需要高分辨率的无损表面检测技术。常见的表面检测技术包括扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、光学显微镜（OM）和共聚焦微分干涉对比显微镜（CDIC）等。对于亚表面检测，常用的技术包括光致发光（PL）、X射线形貌术（XRT）、镜面投影电子显微镜（MPJ）、光学相干断层扫描（OCT）和拉曼光谱等。在这篇综述中，我们将碳化硅检测技术分为光学方法和非光学方法，并在以下各节中对每种技术进行讨论。非光学缺陷检测技术非光学检测技术，即不涉及任何光学探测的技术，如KOH蚀刻和TEM，已被广泛用于表征SiC晶圆的质量。这些方法在检测SiC晶圆上的缺陷方面相对成熟和精确。然而，这些方法会对样品造成不可逆转的损坏，因此不适合在生产线中使用。虽然存在其他非破坏性的检测方法，如SEM、CL、AFM和MPJ，但这些方法的通量较低，只能用作评估工具。接下来，我们简要介绍上述非光学技术的原理。还讨论了每种技术的优缺点。透射电子显微镜（TEM）透射电子显微镜（TEM）可用于以纳米级分辨率观察样品的亚表面结构。透射电镜利用入射到碳化硅样品上的加速电子束。具有超短波长和高能量的电子穿过样品表面，从亚表面结构弹性散射。SiC中的晶体缺陷，如BPDs、TSDs和SFs，可以通过TEM观察。扫描透射电子显微镜（STEM）是一种透射电子显微镜，可以通过高角度环形暗场成像（HAADF）获得原子级分辨率。通过TEM和HAADF-STEM获得的图像如图4a所示。TEM图像清晰地显示了梯形SF和部分位错，而HAADF-STEM图像则显示了在3C-SiC中观察到的三种SFs。这些SFs由1、2或3个断层原子层组成，用黄色箭头表示。虽然透射电镜是一种有用的缺陷检测工具，但它一次只能提供一个横截面视图，因此如果需要检测整个碳化硅晶圆，则需要花费大量时间。此外，透射电镜的机理要求样品必须非常薄，厚度小于1μm，这使得样品的制备相当复杂和耗时。总体而言，透射电镜用于了解缺陷的基本晶体学，但它不是大规模或在线检测的实用工具。图4不同的缺陷检测方法和获得的缺陷图像。（a）SFs的TEM和HAADF图像；（b）KOH蚀刻后的光学显微照片图像；（c）带和不带SF的PL光谱，而插图显示了波长为480nm的单色micro-PL映射；（d）室温下SF的真彩CLSEM图像；（e）各种缺陷的拉曼光谱；（f）微管相关缺陷204cm−1峰的微拉曼强度图KOH蚀刻KOH蚀刻是另一种非光学技术，用于检测多种缺陷，例如微管、TSDs、TEDs、BDPs和晶界。KOH蚀刻后形成的图案取决于蚀刻持续时间和蚀刻剂温度等实验条件。当将约500°C的熔融KOH添加到SiC样品中时，在约5min内，SiC样品在有缺陷区域和无缺陷区域之间表现出选择性蚀刻。冷却并去除SiC样品中的KOH后，存在许多具有不同形貌的蚀刻坑，这些蚀刻坑与不同类型的缺陷有关。如图4b所示，位错产生的大型六边形蚀刻凹坑对应于微管，中型凹坑对应于TSDs，小型凹坑对应于TEDs。KOH刻蚀的优点是可以一次性检测SiC样品表面下的所有缺陷，制备SiC样品容易，成本低。然而，KOH蚀刻是一个不可逆的过程，会对样品造成永久性损坏。在KOH蚀刻后，需要对样品进行进一步抛光以获得光滑的表面。镜面投影电子显微镜（MPJ）镜面投影电子显微镜（MPJ）是另一种很有前途的表面下检测技术，它允许开发能够检测纳米级缺陷的高通量检测系统。由于MPJ反映了SiC晶圆上表面的等电位图像，因此带电缺陷引起的电位畸变分布在比实际缺陷尺寸更宽的区域上。因此，即使工具的空间分辨率为微米级，也可以检测纳米级缺陷。来自电子枪的电子束穿过聚焦系统，均匀而正常地照射到SiC晶圆上。值得注意的是，碳化硅晶圆受到紫外光的照射，因此激发的电子被碳化硅晶圆中存在的缺陷捕获。此外，SiC晶圆带负电，几乎等于电子束的加速电压，使入射电子束在到达晶圆表面之前减速并反射。这种现象类似于镜子对光的反射，因此反射的电子束被称为“镜面电子”。当入射电子束照射到携带缺陷的SiC晶片时，缺陷的带负电状态会改变等电位表面，导致反射电子束的不均匀性。MPJ是一种无损检测技术，能够对SiC晶圆上的静电势形貌进行高灵敏度成像。Isshiki等人使用MPJ在KOH蚀刻后清楚地识别BPDs、TSDs和TEDs。Hasegawa等人展示了使用MPJ检查的BPDs、划痕、SFs、TSDs和TEDs的图像，并讨论了潜在划痕与台阶聚束之间的关系。原子力显微镜（AFM）原子力显微镜（AFM）通常用于测量SiC晶圆的表面粗糙度，并在原子尺度上显示出分辨率。AFM与其他表面检测方法的主要区别在于，它不会受到光束衍射极限或透镜像差的影响。AFM利用悬臂上的探针尖端与SiC晶圆表面之间的相互作用力来测量悬臂的挠度，然后将其转化为与表面缺陷特征外观成正比的电信号。AFM可以形成表面缺陷的三维图像，但仅限于解析表面的拓扑结构，而且耗时长，因此通量低。扫描电子显微镜（SEM）扫描电子显微镜（SEM）是另一种广泛用于碳化硅晶圆缺陷分析的非光学技术。SEM具有纳米量级的高空间分辨率。加速器产生的聚焦电子束扫描SiC晶圆表面，与SiC原子相互作用，产生二次电子、背散射电子和X射线等各种类型的信号。输出信号对应的SEM图像显示了表面缺陷的特征外观，有助于理解SiC晶体的结构信息。但是，SEM仅限于表面检测，不提供有关亚表面缺陷的任何信息。阴极发光（CL）阴极发光（CL）光谱利用聚焦电子束来探测固体中的电子跃迁，从而发射特征光。CL设备通常带有SEM，因为电子束源是这两种技术的共同特征。加速电子束撞击碳化硅晶圆并产生激发电子。激发电子的辐射复合发射波长在可见光谱中的光子。通过结合结构信息和功能分析，CL给出了样品的完整描述，并直接将样品的形状、大小、结晶度或成分与其光学特性相关联。Maximenko等人显示了SFs在室温下的全彩CL图像，如图4d所示。不同波长对应的SFs种类明显，CL发现了一种常见的单层Shockley型堆垛层错，其蓝色发射在~422nm，TSD在~540nm处。虽然SEM和CL由于电子束源而具有高分辨率，但高能电子束可能会对样品表面造成损伤。基于光学的缺陷检测技术为了在不损失检测精度的情况下实现高吞吐量的在线批量生产，基于光学的检测方法很有前途，因为它们可以保存样品，并且大多数可以提供快速扫描能力。表面检测方法可以列为OM、OCT和DIC，而拉曼、XRT和PL是表面下检测方法。在本节中，我们将介绍每种检测方法的原理，这些方法如何应用于检测缺陷，以及每种方法的优缺点。光学显微镜（OM）光学显微镜（OM）最初是为使用光学和光学放大元件近距离观察样品而开发的，可用于检查表面缺陷。该技术能够在暗场模式、明场模式和相位模式下生成图像，每种模式都提供特定的缺陷信息，并且这些图像的组合提供了识别大多数表面缺陷的能力。当检测灯照射在SiC晶圆表面时，暗场模式通过表面缺陷捕获散射光，因此图像具有深色背景，排除了未散射的光以及指示缺陷位置的明亮物体。另一方面，明场模式捕获未散射的光，由于缺陷的散射，显示带有深色物体的白色背景图像。相位模式捕获相移图像，这些图像由SiC晶圆表面的污染积累，显示相差图像。OM的散射图像在横向分辨率上具有优势，而相差图像主要针对检查晶圆表面的光滑度。一些研究已经有效地利用光学显微镜来表征表面缺陷。PeiMa等人发现，非常薄的胡萝卜缺陷或微管缺陷太小，无法通过光学相干断层扫描（OCT）进行检查，但由于其在横向分辨率方面的优势，可以通过光学显微镜进行检查。Zhao等利用OM研究了多型夹杂物、表面凹坑和台阶聚束的成因。光学相干断层扫描（OCT）光学相干断层扫描（OCT）是一种光学检测技术，可以提供所研究样品的快速、无损和3D地下图像。由于OCT最初用于诊断许多疾病，因此其大部分应用都是解析生物和临床生物医学样本的图像。然而，由于可见光和红外波长的先进光学元件的发展，OCT的分辨率已提高到亚微米级，因此人们对应用OCT检测SiC晶圆缺陷的兴趣日益浓厚。OCT中使用的光源具有宽带光谱，由可见光和红外区域的宽范围频率组成，因此相干长度很小，这意味着轴向分辨率可以非常高，而横向分辨率取决于光学器件的功能。OCT的原理基于低相干干涉测量，这通常是迈克尔逊型设置。OCT的光源分为两个臂，一个参考臂和一个检查臂。照射到参考臂的光束被反射镜反射，而照射到检测臂的光束被碳化硅晶圆反射。通过在参考臂中移动反射镜，两束光束的组合会产生干涉，但前提是两束光束之间的光程差小于相干长度。因此，探测器获取的干涉信号包含SiC晶圆的横截面信息，通过横向组合这些横截面检测，可以实现OCT的3D图像。然而，OCT的检测速度和横向分辨率仍无法与其他二维检测技术相媲美，工作光谱范围内表面散射和吸收损耗的干扰是OCT成像的主要局限性。PeiMa等人使用OCT分析胡萝卜缺陷、多型夹杂物、晶界和六边形空隙。Duncan等人应用OCT研究了单晶SiC的内部结构。微分干涉对比（DIC）微分干涉对比（DIC）是一种将相差引入表面缺陷图像的显微镜技术。与OM相比，使用DIC的优点是DIC的分辨率远高于OM的相位模式，因为DIC中的图像形成不受孔径的限制，并且DIC可以通过采用共聚焦扫描系统产生三维缺陷图像。DIC的光源通过偏振片进行线偏振，然后通过沃拉斯顿棱镜分成两个正交偏振子光束，即参考光束和检查光束。参考光束撞击碳化硅晶圆的正常表面，而检测光束撞击有缺陷的碳化硅晶圆表面，产生与缺陷几何形状和光程长度改变相对应的相位延迟。由于两个子光束是正交偏振的，因此在检测过程中它们不会相互干扰，直到它们再次通过沃拉斯顿棱镜并进入分析仪以生成特定于缺陷的干涉图案。然后，处理器接收缺陷信号，形成二维微分干涉对比图像。为了生成三维图像，可以使用共聚焦扫描系统来关闭偏离系统焦点的两个子光束，以避免错误检测。因此，通过使共聚焦系统的焦点沿光轴方向移动，可以获得SiC晶圆表面的三维缺陷图像。Sako等人表明，使用CDIC在SiC外延层上观察到具有刮刀形表面轮廓的表面缺陷。Kitabatake等人建立了使用CDIC的综合评估平台，以检查SiC晶圆和外延薄膜上的表面缺陷。X射线衍射形貌（XRT）X射线衍射形貌（XRT）是一种强大的亚表面检测技术，可以帮助研究SiC晶片的晶体结构，因为X射线的波长与SiC晶体原子间平面之间的距离相当。它用于通过测量由于缺陷引起的应变场引起的衍射强度变化来评估SiC晶圆的结构特性。这意味着晶体缺陷会导致晶格间距的变化或晶格周围的旋转，从而形成应变场。XRT常用于高通量、足分辨率的生产线；然而，它需要一个大规模的X射线发射装置，其缺陷映射能力仍然需要改进。XRT的图像形成机理基于劳厄条件（动量守恒），当加热灯丝产生的电子束被准直并通过高电势加速以获得足够的能量时，会产生一束准直的X射线，然后将其引导到金属阳极。当X射线照射到SiC晶片上时，由于X射线从SiC的原子间平面以特定角度散射的相长干涉和相消干涉，形成具有几个狭窄而尖锐峰的独特衍射图，并由探测器进行检查。因此，晶体缺陷可以通过衍射峰展宽分析来表征，如果不存在缺陷，衍射光谱又窄又尖锐 否则，如果存在缺陷引起的应变场，则光谱会变宽或偏移。XRT的检测机理是基于X射线衍射而不是电子散射，因此XRT被归类为光学技术，而SEM是一种非光学技术。Chikvaidze等人使用XRT来确认SiC样品中具有不同堆叠顺序的缺陷。Senzaki等人表明，扩展BPDs到TED的转变是在电流应力测试下使用XRT检测的三角形单个Shockley型堆垛层错（1SSF）的起源。当前的在线XRT通常用于识别缺陷结构，而没有来自其他检测技术（如PL和OM）的可识别检测信号。光致发光（PL）光致发光（PL）是用于检测晶体缺陷的最常用的亚表面检测技术之一。PL的高产量使其适用于在线批量生产。SiC是一种间接带隙半导体，在约380nm波长的近带边缘发射处显示PL。SiC晶片中在贯穿缺陷水平的重组可能是辐射性的。基于UV激发的PL技术已被开发用于识别SiC晶片内部存在的缺陷，如BPDs和SFs。然而，没有特征PL特征或相对于无缺陷SiC区域具有弱PL对比度的缺陷，如划痕和螺纹位错，应通过其他检查方法进行评估。由于发射能量根据缺陷的陷阱能级而变化，因此可以使用具有光谱分辨率的PL图像来区分每种类型的缺陷并对其进行映射。由于SF诱导的量子阱状能带结构，多型SF的PL光谱在350–550nm的波长范围内表现出多峰光谱。每种类型的SF都可以通过使用带通滤光片检查它们的发射光谱来区分，该滤光片滤除单个光谱，如图4c所示。Berwian等人构建了一种基于UV-PL的缺陷发光扫描仪，以清楚地检测BPDs、SFs和多型夹杂物。Tajima等人使用具有从深紫外到可见光和近红外等各种激发波长的PL来检测TEDs、TSDs、SFs，并检查PL与蚀刻凹坑图案之间的相关性。然而，一些缺陷的PL图像是相似的，如BPDs和胡萝卜缺陷，它们都表现出线状特征，使得PL难以区分它们，因此其他结构分析工具，如XRT或拉曼光谱，通常与PL并行使用，以准确区分这些缺陷。拉曼光谱拉曼光谱在生物学、化学和纳米技术中具有广泛的应用，用于识别分子、化学键和纳米结构的特征。拉曼光谱是一种无损的亚表面检测方法，可以验证SiC晶片中不同的晶体结构和晶体缺陷。通常，SiC晶圆由激光照射，激光与SiC中的分子振动或声子相互作用，使分子进入虚拟能量状态，导致被检测光子的波长向上或向下移动，分别称为斯托克斯拉曼散射或反斯托克斯拉曼散射。波长的偏移提供了有关SiC振动模式的信息，对应于不同的多型结构。研究表明，在实测的拉曼光谱中，200和780cm−1处的特征峰表示SiC的4H-多型，而160、700和780cm−1处的特征峰表示SiC的6H-多型。Chikvaidze等人使用拉曼光谱证实了2C-SiC样品中存在拉曼峰约为796和971cm−1的3H-SiC多型。Hundhausen等人利用拉曼光谱研究了高温退火过程中3C-SiC的多型转化。Feng等人发现了微管、TSDs和TEDs的峰值中心偏移和强度变化，如图4e所示。对于空间信息，拉曼映射的图像如图4f所示。通常，拉曼散射信号非常微弱，因此拉曼光谱需要很长时间才能收集到足够的信号。该技术可用于缺陷物理的详细分析，但由于信号微弱和电流技术的限制，它不适合在线检测。缺陷对设备的影响每种类型的缺陷都会对晶圆的质量产生不利影响，并使随后在其上制造的器件失效。缺陷和设备故障之间的劣化与杀伤率有关，杀伤率定义为估计导致设备故障的缺陷比例。每种缺陷类型的杀伤率因最终应用而异。具体而言，那些对器件造成重大影响的缺陷被称为杀手缺陷。先前的研究表明，缺陷与器件性能之间存在相关性。在本节中，我们将讨论不同缺陷对不同设备的影响。在MOSFET中，BPDs会增加导通电阻并降低栅极氧化层的可靠性。微管限制了运行电流并增加了泄漏电流，而SFs，胡萝卜和多型夹杂物等缺陷降低了阻断电压，表面上的划痕会导致可靠性问题。Isshiki等人发现，SiC衬底下存在潜在的划痕，包括复杂的堆垛层错和位错环，导致SiC-MOSFET中氧化膜的台阶聚束和介电强度下降。其他表面缺陷（如梯形特征）可能会对SiCMOSFET的沟道迁移率或氧化物击穿特性产生重大影响。在肖特基势垒二极管中，BPDs、TSDs和TEDs增加了反向漏电流，而微管和SFs降低了阻断电压。胡萝卜缺陷和多型夹杂物都会降低阻断电压并增加泄漏电流，而划痕会导致屏障高度不均匀。在p-n二极管中，BPD增加了导通电阻和漏电流，而TSDs和TEDs降低了阻断电压。微管限制了工作电流并增加了泄漏电流，而SF增加了正向电压。胡萝卜和多型夹杂物会降低阻断电压并增加漏电流，而表面上的划痕对p-n二极管没有直接影响。Skowronski等人表明，在二极管工作期间，SiC外延层内的BPDs转化为SFs，或者允许SFs通过导电沿着BPDs延伸，导致电流退化，从而增加SiCp-n二极管的电阻。研究还证明，SFs可能产生3C-SiC多型，导致SiCp-n二极管的少数载流子寿命缩短，因为3C-SiC多型的带隙低于4H-SiC多型，因此SFs充当量子阱，提高了复合率。此外，在PL表征下，单个Shockley型SFs膨胀，导致结电位发生变化，进而降低SiCp-n二极管的导通电阻。此外，TSDs会导致阻断电压下降，TEDs会降低SiCp-n二极管的少数载流子寿命。在双极器件中，BPD会降低栅极氧化层的可靠性，而TSD和TED会降低载流子寿命。微管限制了工作电流，而SF缩短了载流子寿命。胡萝卜和多型夹杂物会降低阻断电压，增加泄漏电流，并缩短载流子寿命。SiC中的点缺陷（空位）会缩短器件的载流子寿命，导致结漏电流并导致击穿电压降低。尽管点缺陷对电子设备有负面影响，但它们也有一些有用的应用，例如在量子计算中。Lukin等人发现，SiC中的点缺陷，如硅空位和碳空位，可以产生具有合适自旋轨道属性的稳定束缚态，作为量子计算的硬件平台选择。缺陷对不同器件的影响如图5所示。可以看出，缺陷会以多种方式恶化器件特性。虽然可以通过设计不同的设备结构来抵消缺陷的负面影响，但迫切需要建立一个快速准确的缺陷检测系统，以帮助人们观察缺陷并进一步优化过程以减少缺陷。请注意，分析SiC器件的特性以识别缺陷的类型和存在可能被用作缺陷检查方法（图6、7）。图5缺陷对不同设备的影响图6人工智能辅助的缺陷检测和设备性能评估图7利用激光减少制造过程中缺陷的方法高效的缺陷检测系统需要能够同时识别表面缺陷和晶体缺陷，将所有缺陷归入正确的类别，然后利用多通道机器学习算法显示整个晶圆的缺陷分布数据映射。Kawata等人设计了一种双折射图像中n型SiC晶圆位错对比度的自动检测算法，并以较高的精度和灵敏度成功检测了XRT图像位错对比度的位置。Leonard等人使用深度卷积神经网络（DCNN）机器学习进行自动缺陷检测和分类，方法是使用未蚀刻晶圆的PL图像和相应蚀刻晶圆的自动标记图像作为训练集。DCNN确定的缺陷位置和分类与随后刻蚀刻的特征密切相关。Monno等人提出了一种深度学习系统，该系统通过SEM检查SiC衬底上的缺陷，并以70%的准确率对其进行分类。该方法可以在不出现线性缺陷不一致的情况下组合多个瓦片，并能对126个缺陷进行检测和分类，具有很好的精度。除了检测缺陷外，降低缺陷密度也是提高SiC器件质量和良率的有用方法。通过使用无微管种子或基于溶液的生长，可以降低微管和TSD的密度。为了减少机械过程引起的表面缺陷，一些研究指出，飞秒激光可用于提高化学-机械平坦化的效率和切割质量。飞秒激光退火还可以提高Ni和SiC之间的欧姆接触质量，增加器件的导电性。除了飞秒激光的应用外，其他一些团队还发现，使用激光诱导液相掺杂（LILPD）可以有效减少过程中产生的损伤。结论在这篇综述文章中，我们描述了缺陷检测在碳化硅行业中的重要性，尤其是那些被称为杀手级缺陷的缺陷。本文全面综述了SiC晶圆生产过程中经常出现的晶体学和表面缺陷的细节，以及这些缺陷在不同器件中引起的劣化性质。表面缺陷对大多数器件都是有害的，而晶体缺陷则对缺陷转化和晶圆质量有风险。在了解了缺陷的影响之后，我们总结了常见的表面和亚表面检测技术的原理，这些技术在缺陷检测中的应用，以及每种方法的优缺点。破坏性检测技术可以提供可观察、可靠和定量的信息 然而，这些不能满足在线批量生产的要求，因为它们非常耗时，并且对样品的质量产生不利影响。另一方面，无损检测技术，尤其是基于光学的技术，在生产线上更适用、更高效。请注意，不同的检测技术是相辅相成的。检测技术的组合使用可能会在吞吐量、分辨率和设备复杂性之间取得平衡。未来，有望将具有高分辨率和快速扫描能力的无损检测方法集成到能够同时检测表面缺陷和晶体缺陷的完美缺陷检测系统中，然后使用多通道机器学习算法将所有缺陷分配到正确的类别，并将缺陷分布数据的映射图像显示到整个SiC晶圆上。原文链接：Defect Inspection Techniques in SiC | Discover Nano (springer.com)

小型化SPRi原型机　　新闻背景　　当前，我国已由毒品过境为主转变为过境与国内消费并存，2008年我国在册吸毒人数累计已达112.67万人。近年来，设计型毒品也在不断出现，对毒品检测鉴定提出了更高要求。然而国内对毒品及代谢物的快速分析，主要利用进口的免疫试剂盒，此方法干扰因素多，经常出现假阳性，因此必须结合案情或其他分析才能准确得出结果。另外，常规仪器分析检测技术每次只能对一个样品或一种毒品成分进行检测鉴定，在遇到严打专项斗争和发生突发事件，成百上千样本测定和几十种毒品需要定性筛查时，现有技术便显出通量小、速度慢的缺陷，严重制约了对毒品犯罪的严厉打击。　　该组合技术为公安机关打击毒品犯罪提供了快速筛选分析的专业设备，具有快速、准确、不消耗检材的特点　　微全分析系统是世界前沿研究领域，尽管现在还没有真正意义上的微全分析系统出现，但它代表了分析科学发展的趋势。“组合型常见毒品快速检测仪技术”是“十一五”国家科技支撑计划项目课题，包括“表面等离子体共振及高通量分析仪器在毒品分析中的应用”、“高通量毒品、毒物快速检测系统——生物芯片的研究”、“毒品微流控芯片研究”三个子课题。课题组在表面等离子体共振技术的基础上，研制开发了基于两瓣电流式光电位置测定技术的现场毒品检测系统，现场一次性高通量检测多种毒品成分的生物芯片系统，窄缝进样高灵敏微流控电泳芯片等，力求在微全分析系统研究有所突破，并运用到毒品的快速检测中。　　SPR现场毒品检测系统：替代进口金标免疫试剂盒　　目前，在国际上对毒品的分析方法主要是利用气相色谱—质谱联机法、气相色谱法、高效液相色谱法和红外光谱法等常规方法，对液体中痕量毒品的监测主要采用进口金标免疫试剂盒进行初选，利用气相色谱—质谱联机法进行确认分析。对现场查获的可疑毒品吸食人员的体液主要采用点滴试验和金标免疫试剂盒进行初选，对预试验呈阳性的样品还需送实验室进行确认。刚刚通过公安部科技信息化局组织验收的，高灵敏度的表面等离子体共振及高通量分析仪器，是在纳米技术的基础上结合膜修饰技术的一种新的检测方法，在国内外毒品检测领域中尚未见到相关报道。　　表面等离子体共振(SPR)及高通量分析仪器采取化学修饰离子选择性渗透的方式，对体液中常见毒品进行快速筛选分析。此项研究主要是建立对苯丙胺类常见毒品及其代谢物的系统分析。通过目的物离子的选择性渗透、与底物的化学反应和电极电位的三次分离，提高定性分析的准确度，同时通过内置工作曲线法对待测目的物进行定量分析，可代替国内普遍使用的进口试剂盒。　　课题组自主研发了基于时间分辨测量技术的SPR仪器，并将其用于吗啡、苯丙胺、氯胺酮及大麻等组合型毒品的检测，该方法具有高灵敏度、检测限低和抗干扰能力强等优点，其检测限可以到达100微克/毫升。　　课题组在吉林省公主岭市安康医院进行了阴性、阳性实验样品测试，实际样品为精神类药物或者吸毒后人尿液，得到较好结果。测试表明，对服用精神类药物的样品无干扰信号出现，对吸毒人员尿样检测全部出现阳性信号。　　专家圈点：　　课题负责人、吉林省公安厅物证鉴定中心高级工程师谢文林：　　这个课题研究主要技术特点在于从多个不同方面，如离子选择性电位检测、电催化氧化安培检测及基于生物传感器的分析等，综合评估筛选对安非他命类分子具有高选择性的传感器材料，使其能够真正应用到实际样品的分析检测中，并将这一方法及电极传感器等部件仪器化，从而实现现场的快速分析。　　课题组完成了便携式微机版多通道电位仪的研制，采用USB供电，无需任何外接电源。同时研制的常见毒品及其衍生物的选择性膜，与电位仪联用，可以快捷、灵敏的检测溶液中的安非他命及其衍生物。　　生物芯片：多种毒物快速检测 解决批间差难题　　修改后的《刑法》和《刑事诉讼法》对案件检测鉴定提出了更高、更新、更严的要求，送检的毒品检材日益增多，在数量和种类上都比以往明显增加。　　目前，在检验鉴定中国内外均没有高通量快速检验鉴定毒品及其体内代谢物的方法，而常规仪器分析检验技术存在检测通量低，每次只能对一个样品或一种毒品成分进行检验的不足，不能满足成百上千样本测定和几十种毒品需要定性筛查的需求，同时，现有检测速度慢，分析操作周期长，一个样品的检测时间约需几个小时，难以在广大基层单位推广，严重影响了办案进度。　　目前，分子生物学领域用于高通量定性筛查的方法首推生物芯片。生物芯片的特点是将所涉及的样品反应、检测、分析等过程连续化、集成化、微型化。由于其检测信号的高通量、良好的检测灵敏度和数据回收率，生物芯片技术迅速成为生命科学研究领域发展最快的技术之一。　　生物芯片基于抗原和抗体专一性结合原理，将多种蛋白质结合在固相基质上，检测生物样品中可与之专一性结合的对应蛋白质。课题组利用免疫竞争原理，将多种毒品的抗体结合在固相基质上，通过酶标记的抗原和化学发光底物所发出信号，可以在短时间内定性、定量检测几百个样品中多种物质的成分和含量。　　据子课题负责人、上海市公安局刑事侦查总队曾立波主任法医师介绍，课题组制备了9种毒品完全抗原和5种毒品单克隆抗体，该生物芯片可以检测我国9种常见毒品种类。在同步测量体液中可卡因类、苯丙胺类、吗啡类、氯胺酮、大麻类毒品时，最低检测限均在100微克/毫升，误报率小于3%。　　值得一提的是，课题组解决了制备生物芯片批间差这一国际难题，实现了生物芯片无批间差的愿望。此项技术具有自主知识产权，国内外无相关报道。课题组选择氧化铝陶瓷基片制备生物芯片，氧化铝基片发生散射后，会导致基片产生批间差，他们使用Kubelk-Munk定律的矫正散射系数有效矫正其散射，其他基片均难以矫正。　　专家圈点：　　公安部物证鉴定中心研究员于忠山：　　本项目研发的生物芯片实现了我国可以一次性高通量快速检测吗啡、苯丙胺、甲基苯丙胺、氯胺酮、大麻、丁丙喏啡、可卡因、美沙酮等十类毒品成分的愿望，这些检测指标基本涵盖了国内外的常见毒品成分。将生物芯片应用于刑事技术领域，属国内外首创。　　就目前仪器市场而言，分离分析设备几乎完全被国外产品垄断，国家每年要花费数亿元人民币来进口仪器。进口质谱仪器的平均价格一般在2万美元，其昂贵的价格使众多潜在用户望而却步，不仅影响了分离仪器在国内各行业的广泛应用，也给以分离检测和快速检测为主的公安和环保等行业执法带来巨大影响。课题组研制的微流控检测设备和生物芯片检测技术将填补国内外空白，解决战斗在禁毒斗争一线的公、检、法、司、社区、戒毒所和有关医院等广大基层单位无法对毒品成分及其代谢物进行高通量快速检测的难题。　　■技术动态　　微流控电泳芯片检测仪：少量毒品快速分离　　常用毒品微流控芯片检测仪是采用毛管电泳、芯片集成检测方法研制的毒品分离检测设备，对现场收缴的可疑毒品和体液中常见毒品进行分离检测。　　课题组基于现有微流控芯片的优缺点，考虑到毒品、毒物检测现场、快速、一次性使用、便携以及高效的要求，结合石英芯片和聚二甲基硅氧烷(PDMS)芯片的优点，设计并制作了一种以PDMS材料为基体，基于窄通道进样的一次性石英毛细管微流控电泳芯片。窄通道进样可以有效防止样品分离管道的泄露，无需一般微流芯片所需的防泄露高压电源，简化了仪器和操作，同时，可以大大缩短进样时间，利于降低样品区带展宽，提高分离效率，减少样品消耗量，大大降低了假阳性率。　　■延伸阅读　　社会效益不可估量　　“组合型常见毒品快速检测仪技术”主要是为公安机关打击毒品犯罪提供了一套对可疑毒品和吸毒人员体液中毒品及其代谢物进行快速筛选分析的专业设备，具有快速、准确、不消耗检材的特点。为打击与毒品犯罪相关案件提供科学证据，具有不可估量的社会效益。　　同时，此项技术不需要消耗其他材料，仅需要少量电能，在使用过程中不会污染环境，于目前使用的进口金标免疫试剂盒互补，可以满足不同层次执法人员的需求。更重要的是，此项研究所提供的各种方法具有操作简便、成本低，不需进行后处理的优点，所以可以降低使用单位的检验鉴定费用和能源消耗，无疑将具有广阔市场。

根据中国政府采购网的消息，由于项目需要，3月19日，北京海光仪器有限公司的对&ldquo 首都科技条件平台痕量砷、汞及其有毒化合物形态检测仪的完善和产业化培育项目所需的设备和服务&rdquo 招标。4月8日发布中标结果，中标单位为北京创新通恒科技有限公司，中标金额为￥534310.00。　　具体的中标公告如下：北京海光仪器有限公司首都科技条件平台痕量砷、汞及其有毒化合物形态检测仪的完善和产业化培育政府采购项目中标公告　　项目名称：首都科技条件平台痕量砷、汞及其有毒化合物形态检测仪的完善和产业化培育政府采购项目　　项目编号：BKBJ(Z)-ZY-1507　　采购人名称：北京海光仪器有限公司　　采购人地址：北京市朝阳区酒仙桥东路1号M3座　　采购人联系方式：010-64357412/64351054　　采购代理机构全称：北京北科博佳招标代理有限公司　　采购代理机构地址：北京市朝阳区北苑路28号院北科创业大厦8层808室　　联系方式：电话：010-84949146 传真：010-84949792　　采购内容：首都科技条件平台痕量砷、汞及其有毒化合物形态检测仪的完善和产业化培育项目所需的设备和服务　　采购用途：项目需要　　合同签订日期：按甲方要求　　定标日期：2015年4月8日　　招标公告日期：2015年3月19日　　招标方式：公开招标　　确定中标的方法和标准：综合打分法　　中标单位名称： 北京创新通恒科技有限公司　　中标单位地址： 北京市海淀区上地七街1号汇众大厦401室　　中标金额：￥534310.00 大写：伍拾叁万肆仟叁佰壹拾元整　　中标单位联系人： 杨剑　　评标委员会成员名单： 张德添、党建伟、逯玉凤　　项目联系人：张先生、史女士　　联系方式：010-84949146　　备注：无　　北京北科博佳招标代理有限公司　　2015年4月8日

先进纳米压痕技术交流研讨会时间：2019.6.27-28地点：上海市合川路2570号科技绿洲三期2号楼11层虽然上周会议已经结束，没有来到现场的老师，也不用遗憾，让我们一起回顾下安东帕先进纳米压痕技术交流研讨会的精彩一刻！纳米压痕已被证明是最实用和有效的小体积机械测试方法之一。Oliver和Pharr理论已成为纳米压痕数据分析基本理论方法。Anton Paar一直努力为其提供最可靠和最具有创新性的测量设备，在这次研讨会上，我们介绍了最前沿的商品化的高温超纳米压痕仪， 同时国外同事还针对纳米压痕的各种不同应用进行讲解与展示。公司介绍奥地利安东帕始建于 1922 年，在全球有 32 家销售分公司，全球业务分为三大部分：表征业务、测量业务和解决方案。其中，表征业务主要包含材料表征仪器，即流变测量、颗粒特性分析、材料表面力学特征、纳米表面特性/原子力显微镜等。安东帕TriTec前身为瑞士微电子研究中心（CSEM），2013 年被安东帕收购，目前在世界各地有超过 5000 台的仪器。现场报道安东帕中国表面力学产品专家为现场参会人员带来“安东帕表面力学产品”和“纳米压痕测试基本原理”的精彩报告先进的表面力学测试涉及压痕测试，划痕测试，摩擦磨损测试等，通过以上测试我们可以获得材料表面机械性能：硬度、弹性模量、断裂韧性、涂层结合力以及表面的摩擦磨损性能。安东帕提供丰富的测试可能性，既有多模块设计组合，也有专用的定制化设备，用户可以获得最完整的表面力学解决方案。安东帕中国原子力显微镜产品经理 为现场参会人员带来“基于原子力显微技术的纳米力学测量”的精彩报告原子力显微镜始于1985年，由Binning等人在IBM和斯坦福大学发明。原子力显微镜利用纳米尺度的针尖扫描样品表面，与其他显微镜，如光学显微镜、电子显微镜等相比，原子力显微镜能够实现三维成像，在横向和纵向均具有较高的分辨率。现场介绍了力曲线，力曲线测量过程，力曲线解读，力曲线应用实例等。其中，Force-Dist曲线代表力和扫描器伸长量的关系，Force-Sep曲线代表力和探针-样品表面相对位置的关系，两者可以转化。原子力显微镜：Tosca 系列使用原子力显微镜进行纳米压痕测量，首先要进行探针选择。其中，长悬臂探针具有较低的弹性系数，因此对大部分样品有更好的测量灵敏度；短悬臂探针在黏附力影响下相对能有更好的控制；尖锐的探针相比钝探针而言，更容易是样品产生塑性形变，并不容易受黏附干扰。原子力显微镜纳米压痕测试具有微区测量定位精准、操作灵活的优点，同时也有测量稳定性相对偏弱、硬质材料测量受限的缺点。安东帕表面力学（划痕）产品经理（国外同事）远程连线带来关于“纳米压痕动态力学分析原理及典型应用”的精彩报告，涵盖动态测量原理和不同针尖类型的使用及标定的先进压痕理论，聚合物快速点阵模式等典型应用等。安东帕深入浅出的报告丰富的内容使现场参会人员受益匪浅现场讨论环节解开了技术人员的诸多疑问仪器参观活动让参会人员更直观深入的了解纳米压痕测试仪和原子力显微镜没有来参会的老师，也无需遗憾，可报名参与2019.09.18-20 安东帕纳米压痕、划痕 （兰州站）技术交流研讨会

项目编号：LNZB02-ZBR2022-152项目名称：中国科学院金属研究所纳米压痕仪采购预算金额：190.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：190.0000000 万元（人民币）采购需求：本次招标货物分为1 个包，投标人须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。（1）设备名称：纳米压痕仪；（2）数量：1套；（3）简要要求：可以完成微纳米尺度上材料力学性能测试和表征。可以用于金属材料、聚合物材料、无机非金属材料、膜材料及复合材料等的纳米压/划痕、纳米磨损等力学特性测试，获得相关条件下的硬度、模量、蠕变、屈服、纳米磨损性能、粘结失效、断裂韧性、应力松弛、疲劳等性能。（4）交货方式与地点：CIP沈阳机场，中国科学院金属研究所指定地点；（5）本项目允许采购进口产品。合同履行期限：合同生效后8个月本项目( 不接受 )联合体投标。

2018年3月22日至今，中美贸易战已延续4年多，以美国为首的美西方有关国家对我国高科技技术、产业围堵、封杀，意图让中国只能沦为它们廉价低端产品的生产基地，只能重复陷入高消耗资源，破坏环境的低端产业，低利润值的黄昏行业。检测仪器作为发现数据的眼睛，执行操作的手脚，在工业控制领域在生活当中其重要性不言而喻，为突破封锁，国家层面两大顶层纲领性文件接踵而来！双重利好政策助力国产仪器仪表发展，国产仪器仪表将迎来发展的“春天"！——《中华人民共和国科学技术进步法》与《“十四五"智能制造发展规划》。为打破这一现状，突破检测仪器被进口垄断的局面，国产检测仪器在面对挑战情况下，将加大检测仪器的研发投入，追求技术创新，突破技术壁垒，掌握核心技术，打造出稳定可靠的检测仪器，减少对进口产品的依赖、降低进口技术掣肘。勇踏潮头搏风浪厦门赛纳斯科技有限公司作为一家集研发、生产、销售、服务为一体的科技型企业，坚持自主研发和产业深耕，基于壳层隔绝纳米粒子增强拉曼光谱技术为核心，为政府和行业客户不断提供创新应用开发及解决方案。为公安系统、海事系统、应急系统、海关稽查系统、卫生系统、渔业系统、食药系统、农业系统等提供高科技的现场快速检测执法设备及监管平台、检测服务等整体解决方案。尽管面对着来自进口品牌巨大压力，面对同行竞争的挑战。厦门赛纳斯对标国际领先，秉持“质量就是核心，创新就是灵魂”的理念，在质量和创新的道路上从未停止前进。坚持自主创新研发、独立知识产权赛纳斯科技与嘉庚创新实验室开展产学研合作，成立嘉庚创新实验室公共安全联合研究中心，并与国家毒 品实验室、福建省公安厅等部门建立联合实验室，通过便携式光谱仪和拉曼增强芯片的研发，将其应用在毒 品现场检测。截至到目前为止申请国际PCT发明专利、国家发明专利和实用新型专利达10余项，并承接多项国家重点研发计划。国产拉曼检测仪新征程赛纳斯科技2013年作为产业化单位，切入拉曼检测仪行业，依托核心自主技术，逐渐开创便携检测、在线检测、移动检测、实验室自动化等项目，对标国际巨头助力国产化。目前针对传统毒 品、新精活类物质、麻醉类药品、精神类药品、危化品、爆炸物等检测，公司形成一系列快速检测产品。手持式痕量毒 品拉曼光谱仪SHINS-P700T手持式拉曼光谱仪SHINS-P1000手持式拉曼检测仪SHINS-785-Pro 科研型电化学拉曼光谱仪系统EC-Raman科技自立自强是国家发展的战略支撑，国产仪器肩负着高端科学仪器国产化，推动科技进步的重任。赛纳斯科技作为一家植根于厦门的高科技企业，以国家战略需求为己任，重视履行社会责任，立足厦门大学深厚文化底蕴，继承中华民族优良文化传统，吸收借鉴先进企业优秀文化理念，将持续加大研发技术投入，保持创新动力，抓质量促生产，不断拓展创新应用与解决方案，用卓越的技术和严格的标准为行业、社会、国家创造价值，共同鉴证拉曼检测仪器国产化的新时代这一伟大进程。

日前，由河北先河环保科技股份有限公司承担的国家国际科技合作项目&ldquo 大气复合污染高精度自动检测仪及系统集成联合研发&rdquo 顺利通过了受科技部国际合作司委托，河北省科技厅组织的专家组的验收，并得到了省内外技术专家的高度评价。　　针对近年来我国雾霾天气日趋严重，而国内大气复合污染监测技术相对落后的现状，河北先河环保科技股份有限公司与澳大利亚ECOTECH公司开展国际科技合作，引进了外方大气复合污染自动监测技术，经过消化吸收，研制开发了适合我国国情的各种大气复合污染物自动监测仪器，包括痕量气体自动监测仪(高精度二氧化硫监测仪、高精度氮氧化物监测仪、高精度一氧化碳监测仪)、温室气体自动监测仪(二氧化碳监测仪、甲烷监测仪)和霾的光散射特性监测仪浊度仪。大气复合污染物自动监测仪已经通过河北计量院的检测，各项指标达到国际同类产品的先进水平。仪器经成都市环境监测中心站等国内6个站点长期试运行，系统运行稳定，无人值守时间长，维护量小，操作简单，可以全面反映当地大气复合污染状况。　　通过本次国际科技合作，先河公司还开发了大气复合污染监测平台软件，可以通过集成PM2.5、PM10、能见度、臭氧监测仪等环境监测仪器，形成完整的大气污染监测平台，可实现对以灰霾为主的区域大气复合污染进行及时、准确的监测和预测预报，为环境管理达到&ldquo 测得准、说得清、管得好&rdquo 的目标提供技术支持，促进我国环境管理水平的提升。

《产品外观缺陷机器视觉在线检测技术及设备开发》一文由合肥工业大学仪器科学与光电工程学院卢荣胜教授投稿分享，包括自序、研究背景、典型系统组成、成像技术及实现策略、关键核心单元部件、缺陷识别与分类、结束语、致谢几个部分。由于篇幅较长分为四篇发布，以下为第一部分：自序、研究背景、典型系统组成。1．自序本人1985年大学毕业后在量仪厂从事量具、刃具、工装、专机与机加工工艺开发等技术工作，于1992年从师费业泰教授攻读硕士与博士学位，从事精密机械热变形误差、精密仪器精度理论方面研究， 1998年末博士毕业后又拜师天津大学叶声华教授，从事机器视觉在线检测方面的博士后研究，研究方向随之聚焦于机器视觉与光学精密测量领域。之后在香港城市大学、英国帝国理工学院和哈德斯菲尔德大学进行了为期6年的三维机器视觉、自动光学检测和光学测量技术研发工作，于2006年5月返回母校合肥工业大学任教。回国后继续从事机器视觉与光学测量方面的研究，坚持面向平板显示、新能源、软性电路板、半导体等先进制造产业，注重技术的应用开发。先后主持了国家自然科学基金项目3项、863专项1项、国家科技支撑项目1项、国家重大科学仪器设备开发专项1项、国家重点研发课题1项、以及其它省部级项目和产学研合作项目10余项，在机器视觉与光学测量领域已培养硕士和博士研究生100余人。鉴于在机器视觉技术研究及应用开发方面20余年的研究积累，2021年无锡市锡山区政府与我们科研团队合作，联合创立了一个新型科技研发机构——无锡维度机器视觉产业技术研究院，采用实体化运营模式，面向先进制造产业链，从事机器视觉与光学精密测量方面产业共性关键技术研究与产业化开发。研究内容与产业化业务范围涉及机器视觉缺陷在线检测、三维机器视觉精密测量、机器人视觉引导、半导体检测、机器视觉关键零部件开发等。开发的视觉系统与仪器已经在平板显示、光伏、锂电池、软性电路板、半导体等行业得到成功应用。鉴于篇幅问题，本文重点聚焦于产品外观缺陷视觉在线检测技术，归纳了我20多年来在这些方面的科学研究与产业化开发的进展情况与心得体会。2．研究背景在产品制造过程中，由于生产环境不理想、制造工艺不规范等各种原因，零部件和产品外观难免会含有多种缺陷，如印制电路板上出现孔位、划伤、断路、短路和污染，液晶面板的基板玻璃和滤光片表面含有针孔、划痕、颗粒，带钢表面产生裂纹、辊印、孔洞和麻点，铁路钢轨出现凹坑、鼓包、划痕、擦伤、色斑和锈蚀，等等。这些缺陷不仅影响产品外观，更重要的是影响产品性能，严重时甚至危害生命安全，对用户造成巨大经济损失，因此，现代制造业对产品的表面质量控制非常重视。产品外观缺陷在线检测最传统的方法就是采用人工目视检测法，目前高端制造工厂大部分都采用自动化生产，但人工目视检测岗位仍占据工厂整体人员的15%-30%。鉴于人工目视检测存在对人眼伤害大、主观性强、准确率低、不确定性大、易产生歧义和效率低下等缺点，已很难满足现代工业对产品质量及外观越来越高的严格要求。随着电子技术、图像传感技术和计算机技术的快速发展，利用基于图像传感技术的视觉在线检测方法已逐渐成为外观缺陷检测的重要手段，因为这种方法具有自动化、非接触、速度快、准确度高等优点。目前，外观缺陷视觉在线检测技术已经广泛应用于工业、农业、生物医疗等行业，尤其在现代制造业，如平板显示、光伏、锂电池、半导体、汽车、3C电子（计算机、通讯和消费电子产品）等领域，对能够实现机器换人的外观缺陷视觉检测技术需求越来越旺盛。3．典型系统组成产品外观缺陷机器视觉检测是基于人眼视觉成像与人脑智能判断的原理，采用图像传感技术获取被测对象的信息，通过数字图像处理增强缺陷目标特征，再通过Blob(Binary large object)分析、模板匹配或深度学习等算法从背景图像中提取缺陷特征信息，并进行分类与表征。在工业应用领域，外观缺陷视觉检测系统实际上是一种智能化的数字成像与处理系统，即采用各种成像技术（如光学成像）模拟人眼的视觉成像功能，用计算机处理系统代替人脑执行实时图像处理、特征识别与分类等任务，最后把结果反馈给执行机构，代替人手进行操作，执行产品的分类、分组或分选、生产过程中的质量控制等任务。（左）6代线液晶阵列和彩色滤光片缺陷检测仪 （中）8.5代线玻璃基板缺陷检测仪 （右）ITO导电膜表面缺陷检测仪图 1 高世代液晶面板关键工艺节点缺陷视觉在线检测系统图 2 表面缺陷视觉在线检测系统组成原理图图1为我们在国家重大科学仪器设备开发专项的资助下，针对6代线和8.5代线液晶面板显示器制程中关键工艺节点，开发的三种缺陷视觉在线检测系统。该系统能很好地揭示一个视觉在线检测系统的各个组成部分、关键技术难点，以及所需的关键零部件。主要技术参数为：待测幅面大小≤1800x2200mm, 快速发现缺陷分辨率10μm, 复检显微分辨率0.5μm， 并行图像处理与缺陷识别系统采用CPU+FPA+GPU 主从分布式异构并行处理架构，检测时间节拍20s。系统组成与关键零部件单元可用图2示意图来清晰地描述，它由精密传输机构、光源、相机阵列、显微复检、并行处理、控制、主控计算机、服务器等单元模块，以及与工厂数据中心互联的工业局域网组成。图 3 展示了我们开发的手机液晶显示屏背光源模组缺陷转盘式多工位视觉在线检测系统的结构组成，该检测系统包括自动上料、编码、对准、检测、分选、返修识别等几个部分。图 3 背光源模组在线自动光学检测系统3.1 自动上料机构自动上料机构包括装配线上传输来的背光源模组位姿探测、电动与气动机构抓取、位置校正、送料等部分组成。工作原理如下：1. 在装配线传输带工位（1）的上方放入一个监视相机，当前道工序组装系统装配好背光源模组传输到工位（1）后，监视相机拾取到有待测模组时，计算模组在工位（1）处的位置与模组姿态信息，并发出工作同步指令给后续上料与检测系统。2. 监视相机发出工作同步指令后，气动与电动缸组成的送料系统把工位（1）处的背光源模组从传输带上吸起来，然后在气动滑台的带动下，把工位（1）处的背光源模组搬运到工位（2）处。在放到工位（2）上之前，计算机根据工位（1）上方的相机拍摄到的模组位置与姿态，发出指令给真空抓取吸盘角度校正电缸，初步校正背光源模组在空间的角度。当背光源模组运送到工位（2）后，模组在工位（2）处由4个气动滑缸从四边向中间对中，校正模组的位置，然后背光源模组下方的相机，对模组成像，识别待检背光源模组喷码序列号，作为有缺陷模组在返修过程中，从缺陷数据库中自动调出缺陷信息，指导返修任务。3. 在工位（1）处吸盘抓取背光源模组的同时，右边的吸盘在工位（2）处把已经校正好的模组吸起来，然后在气动滑台的带动下，把校正后的模组输送检测转盘工位（3）处。至此，一个上料循环完成。3.2 检测机构检测机构由间隙转动工位转盘、上料位置对准探测、异常检测、画面检测和外观检测工位组成。工作原理如下：1. 背光源模组被自动送料机构传输到工位（3）后，转盘在控制系统的控制下，转到工位（4）。在工位（4）的上方安装一个相机，检测背光源模组定位是否正常，模组LED灯工作是否正常，并把信息传给主控计算机。如果一切正常，则后续检测工位按预定的方案进行检测；如果不正常，后续检测对该模组不检测，然后传送到工位（9），由分选机构抓取，传送到不良品传输带上。2. 当模组转到工位（5）~（8）处后，缺陷扫描成像系统对画面缺陷进行扫描检测，缺陷扫描成像系统由高速扫描相机、一维滑动台、光栅、伺服系统、调整机构组成。由于外观检测项目较多，一个工位难以不够，故把工位（7）和（8）两个工位作为外观检测机构。3.3 分选机构分选机构由良品与不良品气动抓取机构、间隙运动传输带组成。结构布局参看图 3 所示，其工作原理如下：1. 如图 3 所示，画面（外观、异常等）缺陷检测完毕后，模组继续向下道工位转动，当模组运动到工位（9）后：分选机构左边的气动吸盘抓取工位（9）上的模组，传输到工位（11）处。2. 如果该模组是不良品，在分选机构向工位（9）移动的过程中，不良品传输带向前移动一个工位，把工位（11）清空，等待放置下个模组。3. 如果是良品，在下一个时刻分选机构抓取工位（9）上的模组时，右边的吸盘同时抓取工位（11）上的模组，在分选机构左吸盘把模组放到工位（11）处时，右吸盘把良品模组放置到良品传输带上工位（12）处，然后良品传输带向前移动一个工位，清空工位（12）等待放置下个模组。传输带之所以作间隙运动，一方面可以节省空间，另一方面考虑到不良品只是少数，这样可以让不良品按顺序一个一个经凑地排列在传输带上，不需要有人监视，返修人员只要传输带上放满了不良品后取走返修。3.4 复检与不良品返修对于检测到的不良品，再采用人工目视复检，并对不良品进行返修。在返修工作台上放置一个电脑，并安装一台成像系统，拾取不良品背面的编码。返修显示电脑通过工业以太网与缺陷数据库服务器相连，相机在电脑的控制下，获得带返修的不良品编码后，根据编码从服务器中调用缺陷信息，显示在屏幕上，导引返修人员对不良品进行合理的返修。

将一个实验室"浓缩"在一台仪器上，仪器又像鼻子一样能"嗅"出各种危险气息，不到10秒钟就能使炸药等危险品现原形。昨天，记者在浙大苏州工研院产业化公司"微木智能"看到，这里已成功研制出全球首批通用型痕量危险品检测仪。上周部分样机已送公安部检测中心进行综合性认证。　　"如果把摄像头比作眼睛，麦克风比作耳朵，我们做的检测仪就是鼻子。人的鼻子闻不出危险品，仪器可以敏锐地捕捉到危险品的味道，检测仪就可发挥类似鼻子的功能。"该公司董事长李鹏比喻。　　"眼下检测方法主要有两种，一种是使用传感器，一种是使用分析仪。传感器虽小，但单一 分析仪虽精确，但体型庞大。能不能将一个实验室功能浓缩在一台仪器上呢?于是，我们就研发出了全球首台通用型痕量危险品检测仪。这里面包含10多项发明，其中5项已获授权。"技术总监汪小知博士告诉记者。　　在实验室，记者看到了这台外形酷似打印机的安检仪。实验室人员告诉记者，传统安检仪一般通过X光看物，检测技术有限。他们的安检仪几乎是全功能的，用"嗅"代替"看"，马上可知你携带是什么东西。除了检测爆炸物等外，还可检测农药、汽油、酒精、丙酮及煤气等危险品，能有效弥补传统安检仪的不足。　　当一条试纸在微量TNT样本上轻轻划过，将试纸放进安检仪，不到10秒钟，安检仪就读出这是"铵T"。而如果是液体，只要给安检仪的"鼻孔"闻一闻，马上知道这液体是何种成分。　　记者了解到，李鹏和汪小知都毕业于海外名校。前年两人一起回国在高新区创业。目前李鹏已获评姑苏创业领军人才、省创新创业领军人才等，今年还申报了国家"千人计划"。眼下该公司已完成了痕量气体配置系统及危险品检测等多项国内领先的创新性产品开发，并已进入公安、企业、运动场馆等检测，在公共安全、食品、化工、环境和医疗等领域具有较广的应用前景。　　检测软件还可升级，当检测到新的危险品，仪器可进行识别记录，下次遇到就会敏锐捕捉到。"安检仪核心部件是微型离子迁移谱传感器，公司拥有完全自主知识产权。其核心芯片体积仅有硬币大小，检测灵敏度超过了现有大型实验室检测设备。"李鹏说。　　据悉，目前这样一台安检仪价格还较贵，要三五十万元一台。"我们非常有信心在三五年内向微型化发展，实现每台万元以下的目标，这样就可进入家庭了。可根据人们的需要，将有害东西&lsquo 挡&rsquo 在门外。"

日前，由厦门大学海洋与环境学院承担的环境雌激素污染一体化检测技术通过有关部门验收。 据介绍，该项目开展了海洋环境介质(海水、沉积物等)中有机氯农药、多环芳烃、多氯联苯、酚类等典型有机化合物的前处理和分析方法研究，在国内首次研发出多个典型痕量海洋环境雌激素的灵敏、高效的前处理与分析检测仪，其分析精度较现有同体积仪器提高2个数量级。

全功能食品安全检测仪在智能化方面表现出色，具备多个智能化特点。首先，该设备采用安卓智能操作系统，拥有人性化操作界面，使得操作变得简单易懂，不需要过多的专业技能和经验。这使得即使没有专业背景的用户也能轻松上手，完成检测任务。其次，全功能食品安全检测仪具备高度智能化的自检功能，包括开机自检、调零功能和自动检测重复功能。这些功能能够确保设备在每次使用前都处于最佳状态，提高检测的准确性和可靠性。此外，该设备还具备强大的数据传输能力，支持wifi联网上传、4G联网传输、GPRS无线远传以及网线连接功能。这使得检测结果可以迅速传输到云监控平台或相关部门，为食品安全监管提供及时、可靠的数据支持。在检测能力方面，全功能食品安全检测仪能够实现多参数一体化检测，包括微生物、重金属、有害添加物、农药残留等。这些参数都是保障食品安全的重要指标，一次性检测多个参数可以大大提高检测效率。最后，该设备还具备智能分析与报告生成功能。通过对检测数据的智能分析，设备可以生成详细的报告，帮助用户更好地理解检测数据，从而做出更准确的食品安全判断。总之，全功能食品安全检测仪在智能化方面表现出色，具备多项智能化特点和功能，为食品安全监管提供了强有力的技术支持。