AccuTemp(In-Situ 4000)工艺监控仪可以闭环监控与控制多层薄膜生长。用于MBE、MOCVD以及CIGS等系统中。AccuTemp提供实时、准确的工艺信息,包括衬底温度、薄膜厚度、生长速率。该仪器放置在一个观察窗上。采用双色红外高温测量仪测量温度,该测量仪对观察窗口的附着物不敏感,还可以校准误差。另一部件辐射仪,用来补偿发射率的变化,纠正高温测量仪的温度测量值。Bandgap模块可选,它可以监控很低的衬底温度,还可以进行高温测量仪的简单校准。两个独立的光学反射信号用于分析并实时提供厚度、生长速率及折射系数。 典型应用AccuTemp典型应用于 GaN,GaAs,ZnO,CIGS,Si, ZnTe,SiC,MCT以及STO。AccuTemp 既可用于研究型设备也可用于生产型设备。Bandgap模块可以使IS4K测量低于高温计范围的材料温度,例如在生长GaAs、GaSb及Si材料时可以使用。 特点● 一个窗口就可以同时、实时测量温度和厚度● 采用双波长用于穿过窗口涂层,进行透明度补偿● 采用发射率补偿,提供真实温度● 闭环控制● Bandgap模块用于低温测量和校准高温仪温度范围 450oC - 1,300oC Bandgap模块 室温 - 700oC 衬底材料 Si, GaAs, InP, 蓝宝石,STO,Gasb,MCT等 辐射仪波长 950,850nm噪声等效温差 0.5oC 反射仪波长 950,470nm 噪音等效厚度差1nm @ film100nm靶距离范围7mmΦ 测量斑点大小 1KW-5KW观察窗2.75' ' CF(4.5' ' CF如果带边)尺寸100×140×130mm对正方法 视频监控器计算机要求Windows XP, 序列端口界面
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