椭偏测试仪

膜厚测试仪椭偏仪应力双折射仪，能够快速、精准测量双折射相位差及其空间分布和方向。广泛应用于玻璃、晶体、聚合物薄膜、镜片、晶片等质量分析和控制领域。 日本Photonic-lattice公司成立于1996年，以日本东北大学的光子晶体的研究技术为核心，成立的合资公司，尤其是其光子晶体制造技术领先世界，并由此开发出的测量仪器。根据应用不同，我们特别开发出5款不同的的膜厚测试仪/椭偏仪，每一款产品各具不同的特点。PHL紧凑型桌面式椭偏仪 SE-101型号SE-101重复性厚度0.1nm,折射率0.001测量速度0.05秒/测量点光源636nm 半导体激光器测量点1mm入射角70度测量尺寸4英寸,仪器尺寸和重量250x175x218.3mm/4kg数据接口千兆以太网（摄像机信号），RS-232C功率AC100-240V（50/60Hz）软件SE-View凑型桌面式椭偏仪 SE-102型号SE-102重复性厚度0.1nm,折射率0.001测量速度0.05秒/测量点光源636nm 半导体激光器测量点1mm入射角70度测量尺寸4英寸,1轴自动，2轴手动仪器尺寸和重量300x235x218.3mm/4kg数据接口千兆以太网（摄像机信号），RS-232C功率AC100-240V（50/60Hz）软件SE-View快速映射椭偏仪 ME-110型号ME-110重复性厚度0.1nm,折射率0.001测量速度每分钟1000个点以上光源636nm 半导体激光器测量点0.5mm入射角70度测量尺寸6英寸仪器尺寸和重量650x650x1740mm/120kg数据接口千兆以太网（摄像机信号），RS-232C功率AC100-240V（50/60Hz）软件SE-View型号ME-110重复性厚度0.1nm,折射率0.001测量速度每分钟1000个点以上光源636nm 半导体激光器测量点0.0055-0.5mm入射角70度测量尺寸6英寸仪器尺寸和重量650x650x1740mm/120kg数据接口千兆以太网（摄像机信号），RS-232C功率AC100-240V（50/60Hz）软件SE-View允许厚度分布的测量，例如，透明电极膜和取向膜与基底玻璃的透明基板型号ME-110-T重复性厚度0.1nm,折射率0.001测量速度每分钟1000个点以上光源636nm 半导体激光器测量点0.5mm入射角70度测量尺寸6英寸仪器尺寸和重量650x650x1740mm/120kg数据接口千兆以太网（摄像机信号），RS-232C功率AC100-240V（50/60Hz）软件SE-View高速，高解析度的表面分布测量

椭偏仪（椭圆偏振光谱仪）是一种无损无接触的光学测量技术，基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改 变，通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等，可测厚度范围为几埃至几十微米。而且椭圆偏振光谱既能够实现在线监测又能进行原位测试，可根据各类不同的应用需要提供静态和动态测量模式，应用非常广泛。UNI椭偏仪（椭圆偏振光谱仪）是一种无损无接触的光学测量技术，基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改 变，通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等，可测厚度范围为几埃至几十微米。而且椭圆偏振光谱既能够实现在线监测又能进行原位测试，可根据各类不同的应用需要提供静态和动态测量模式，应用非常广泛。SEL 2是一款完全革新的全自动光谱型椭偏仪。在继承并发展了经典机型UVISEL的高准确性、高灵敏度和高稳定性等技术特点的同时，配备了革新的可视系统，多达8个尺寸微光斑选项，最小达35X85um。产品特点* 完全自动化设计，自动对焦、校正* 全新光路、电路设计、测量精度更高、速度更快* 双光栅光谱仪系统，杂散光抑制水平高* 8个尺寸微光斑、专利可视技术* 50KHz高频PEM相调制技术，测量光路中无运动部件* 自动平台样品扫描成像* 配置灵敏，测量范围可扩展至190-2100nm

产品简介：SE-PV光伏椭偏仪是一款光伏行业领域专用型光谱椭偏仪，针对光伏行业绒面单晶硅或多晶硅太阳能电池表面减反膜测量定制开发，快速实现薄膜物性表征分析。光伏椭偏仪广泛应用于光伏绒面单晶硅或多晶硅表面减反膜椭偏测量应用,实现单层到多层薄膜的薄膜、光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析。 产品型号SE-PV光伏椭偏仪主要特点1、光伏专用光谱椭偏测量技术，材料定制库，一键快速调用2、配置可倾斜、大角度样件台，调节绒面单晶硅最佳反射可测反射信息量3、配置进口高功率、高寿命光源，增加经减反绒面后的可测反射信息量4、光伏专用散射矩阵算法描述光与锥形表面的相互作用，保证数据的有效性技术参数1、自动化程度:支持自动化方案定制2、应用定位:光伏专用型3、基本功能:Psi/Delta、N/C/S等光谱4、分析光谱:380-1000nm,支持按需定制化5、单次测量时间:0.5-5s6、重复性测量精度:0.01nm

产品简介：光谱椭偏仪SE-Glass 是一款针对玻璃盖板行业定制的专用型光谱椭偏仪，针对玻璃盖板光学镀膜行业通过集成微光斑+可视化调平系统仪消除透明基底背反测量定制开发，快速实现玻璃盖板上多层薄膜物性表征分析。光谱椭偏仪SE-Glass 广泛应用于玻璃基底山减反膜、调光膜、导电膜等薄膜的膜厚，光学常数测量，完美适用于玻璃盖板、光学薄膜等镀膜检测应用。 产品型号SE-Glass光谱椭偏仪主要特点1、针对手机玻璃盖板光学镀膜工艺定制开发专用光谱椭偏仪2、行业领先的旋转补偿器测量技术和光学建模技术3、微光斑集成设计消除玻璃/膜片基底背反影响4、可视化样品台调平模块解决3D玻璃测量定位问题5、业内独创膜片镀膜处理算法直接测量PET膜片镀膜技术参数1、自动化程度：支持自动化方案定制2、应用定位：玻璃专用型3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S等光谱4、分析光谱：380-1000nm,支持按需定制化5、单次测量时间：0.5-5s6、重复性测量精度：0.01nm

产品简介：SE-Mapping光谱椭偏仪是一款可定制化Mapping绘制化测量光谱椭偏仪，采用行业前沿创新技术，配置全自动Mapping测量模块，通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实现薄膜全基片膜厚以及光学参数自定义绘制化测量表征分析。SE-Mapping光谱椭偏仪广泛应用OLED，LED，光伏，集成电路等工业应用中,实现大尺寸全基片膜厚、光学常数以及膜厚分布快速测量与表征。 产品型号SE-Mapping光谱椭偏仪主要特点1、全基片椭偏绘制化测量解决方案2、支持产品设计以及功能模块定制化，一键绘制测量3、配置Mapping模块，全基片自定义多点定位测量能力4、丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力5、采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)6、高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集7、具备全基片自定义多点自动定位测量能力，提供全面膜厚检测分析报告8、数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料技术参数1、自动化程度：固定角+ mapping2、应用定位：检測型3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R等光谱4、分析光谱：380-1000nm(可扩至193-2500nm)5、单次测量时间：0.5-5s6、重复性测量精度：0.01nm7、光斑大小：大光斑2-3mm,微光斑200um8、入射角调节方式：固定角9、入射角范围：65°10、找焦方式：手动找焦11、Mapping1程：300x300mm12、支持样件尺寸：最大至300mm可选配件3真空泵4透射吸附组件

椭偏仪是一种利用偏振态的变化 后光束探测样品反应技术。不像反射仪，椭偏仪参数（PSI和Del）是在非正常的入射角得到。改变入射角。可以得到更多的数据集，这将有助于精炼模型，减少不确定性和提高用户的数据信心。因此，可变角度椭偏仪比固定角度的椭偏仪系统具有更强大的功能 。目前有两种方法改变入射角，手动或自动模式。Ansgtrom Sun公司设计角度调整模型，通过5度间隔后精确预置槽移动手臂手动调节角度和电动精密测角0.01度分辨率两种模型。此外，测角垂直布局设计，样品可以水平放置，这是更安全的处理样品时。可靠的和足够的原始数据集，更多膜的性能参数，如薄膜或涂层 厚度，光学常数（折射率n，消光系数k指数）、接口、孔隙度甚至成分可以通过建模。在这个意义上，先进的软件是一个必须为高性能光谱椭偏仪（SE）工具。我们开发了TFprobe 3 x版软件的系统设置。仿真，测量，分析，数据管理和2D / 3D图形演示的一体机。 此外，SE200工具覆盖了很宽的波长范围内，从深紫外线（DUV）在可见光到近红外（250～1100nm），标准配置。DUV范围适合衡量超薄膜，如纳米厚度范围。一个例子是在硅晶片上的原生氧化层，这是典型的2nm厚的唯一。深紫外光谱椭偏仪也是必不可少的，用户需要测量多种材料的带隙。客户留言： “I want to thank Dr. Sun and his team at Angstrom Sun Technologies for all of their help with the purchasing of our Spectroscopic Ellipsometer. Dr. Sun and his team took the time to talk with us about our needs and what would best suit them. After we placed the order we experienced an exceptionally quick shipping timeframe (on site two weeks later). Once we received the well packaged ellipsometer, and with the help of one other person we were able to unbox and set up the ellipsometer. Following their well documented instructions, we had the ellipsometer ready to run. Dr. Sun answered our remaining questions and we were able to start taking measurements on our own. After we had worked with the program more, anytime a question would arise, Dr. Sun and his team’s prompt replies kept us working in the right direction into full functionality. Support included helping with the uploading of our own NK table as well as help with the modeling. Thank you Dr. Sun for taking the time to help us better understand Ellipsometry and for putting out an exceptional product”来自美国科罗拉多的 Benjamin SheppardSE系列型号：Spectroscopic Ellipsometer SE200BA-M300Spectroscopic Ellipsometer SE200BA-MSPSpectroscopic Ellipsometer SE200BM-M300Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-M450Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-SolarSpectroscopic Ellipsometer SE300BM Spectroscopic Ellipsometer SE500BA

产品简介：SE-L光谱椭偏仪是一款全自动高精度光谱椭偏仪，集众多科技专利技术，采用行业前沿创新技术，配置全自动测量模块。通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析。SE-L光谱椭偏仪广泛应用于半导体薄膜结构：介电薄膜、金属薄膜、高分子、光刻胶、硅、PZT膜，激光二极管GaN和AlGaN、透明的电子器件、平板显示、光伏太阳能、功能性涂料、生物和化学工程、块状材料分析等领域。 产品型号SE-L光谱椭偏仪主要特点1、高精度自动测量光学椭偏测量解决方案2、全自动变角、调焦等控制平台，一键快速测量3、软件交互式界面配合辅助向导式设计，易上手、操作便捷4、丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力5、采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)6、高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集7、全自动椭偏测量技术，基于行业领先电机控制技术，全自动调整测量角度，高精度控制样件台，实现样件快速自动对准找焦8、颐光专利技术确保在宽光谱范围内，提供优质稳定的各波段光谱9、数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料技术参数1、自动化程度：自动变角2、应用定位：自动型3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R/T等光谱4、分析光谱：380-1000nm(可扩至193-2500nm)5、单次测量时间：0.5-5s6、重复性测量精度：0.01nm7、光斑大小：大光斑2-3mm,微光斑200um8、入射角调节方式：自动变角9、入射角范围：45-90°10、找焦方式：自动找焦11、Mapping行程：支持100x100mm(可选配)12、支持样件尺寸：最大至200mm可选配置波段选择V:380-1000nmUV:245-1000nmXN:210-1650nmDN+:193-2500nm角度选择自动:45-90°其他选择Mapping选择:100×100mm(供参考,按需定制)温控台:室温一600℃(供参考,按需定制)可选配件1温控台2Mapping扩展模块3真空泵4透射吸附组件

SpecEl-2000-VIS椭偏仪通过测量基底反射的偏振光，进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。波长范围200-900nm。SpecEl通过PC控制来实现折射率，吸光率及膜厚的测量。集成的精确测量系统SpecEl由一个集成的光源，一个光谱仪及两个成70° 的偏光器构成，并配有一个32位操作系统的PC.该椭偏仪可测量0.1nm-5um厚的单膜，分辨率0.1nm，测量时间5-15秒，并且折射率测量可达0.005%。配置说明波长范围:380-780 nm (标准) 或450-900 nm (可选)光学分辨率:4.0 nm FWHM测量精度:厚度0.1 nm 折射率 0.005%入射角:70° 膜厚:单透明膜1-5000 nm光点尺寸:2 mm x 4 mm (标准) 或 200 µ m x 400 µ m (可选)采样时间:3-15s (最小)动态记录:3 seconds机械公差 (height):+/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0° 膜层数:至多32层参考:不用

产品简介：SE-VM 是一款高精度快速测量光谱椭偏仪。可通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析，适用于薄膜材料的快速测量表征。支持多角度，微光斑，可视化调平系统等高兼容性灵活配置，多功能模块定制化设计。高精度椭偏测量解决方案；超高精度、快速无损测量；支持多角度、微光斑、可视化调平系统功能模块灵活定制；丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力。广泛应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用,实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析。 产品型号SE-VM光谱椭偏仪主要特点1、采用高性能进口复合光源，光谱覆盖可见到近红外范围 (380-1000nm)2、高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集3、支持系列配置灵活，可根据不同应用场景支持多功能模块化定制4、数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料技术参数1、自动化程度：手动变角2、应用定位：通用型3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R/T等光谱4、分析光谱380-1000nm(可扩至210-1650nm)5、单次测量时间：0.5-5s6、重复性測量精度：0.01nm7、光斑大小：大光斑2-3mm,微光斑200μm8、入射角调节方式：手动变角9、入射角范围：55-75°(5°步进),90°10、找焦方式：手动找焦11、Mapping行程：不支持12、支持样件尺寸：最大至180mm可选配件1温控台2Mapping扩展模块3真空泵4透射吸附组件

Film Sense FS-1&trade 多波长椭偏仪 型号：Film Sense FS-1&trade Film Sense FS-1&trade 多波长椭偏仪采用寿命长 LED 光源和非移动 式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可 靠地薄膜测量。大多数厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要简单的 1 秒测量，就 可以获得非常精密和准确的数据。 Film Sense FS-1&trade 多波长椭偏仪采用寿命长 LED 光源和非移动 式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可 靠地薄膜测量。大多数厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要简单的 1 秒测量，就 可以获得非常精密和准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常 数和其他薄膜特性。Film Sense FS-1&trade 多波长椭偏仪 这款功能强大的多波长椭偏仪，售价只是单一波长椭偏仪和光谱椭偏仪的中等水平。FS-1 可应用于研究实验室，超净间，原位工艺腔体以及工业质量控制等诸多领域 主要特点n 4 个 LED 光源：蓝色（465nm），绿色（525nm）， 黄色（580nm），红色（635nm）n 椭偏仪探测器中无可移动部件n 膜厚精密性，大多数样品精密度优于 0.001nm（1 秒获取数据），对于亚单原子薄膜精密度等于0.001nmn 集成计算机，可实现对设备控制和数据分析，自带 浏览器界面，可兼容任何现代计算机，笔记本或平 板电脑 优势n 寿命长（长达 50,000 小时），更换 LED 灯便宜，校准时 间短或无需 PM 程序n 快速测量（10ms 内获得多波长数据）和长期性能稳定n 测量准确，只有椭偏仪可以实现n 软件设置和维护简单标准 FS-1 配置n 65°入射角n 手动放置样品和调节高度n 样品尺寸zui大直径 200mm 和厚度 23mmn 样品偏转范围+/-20n 样品上光束尺寸 5 x 12 mmn 结构紧凑(180 x 400 mm) 和轻巧(4.8 kg)性能FS-1 多波长椭偏仪擅长测量膜厚范围 0-1000nm 的透明单一薄 膜的厚度和折射率。下表列出的是针对各种不同样品，包括多 层膜样品，FS-1 获得的标准测量精密度和准确性数据。 应用领域n 半导体行业：二氧化硅和氮化物，高介电和低介电 材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻胶n 光学薄膜行业：高和低指数薄膜，如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2 等n 显示屏行业：TCO（如 ITO），非晶硅薄膜，有机薄 膜（OLED 技术）n 数据存储行业：宝石，如碳膜n 工艺研发：原位表征薄膜沉积（速率和光学常数） VS 工艺条件，可兼容 MBE, MOCVD, ALD 和磁控溅射 等设备n 化学和生物：在液体细胞实验中探测亚单原子层材 料吸附n 工业：在线监测和控制膜厚 In Situ 在线测量功能n 亚单原子膜厚精密度n 多工艺条件下测定薄膜光学常数 n&k 和沉积速率，不 会破坏真空n 监测和控制多层膜结构沉积n FS-API 界面，外置软件控制（兼容 LabVIEW&trade ）n 兼容大多数薄膜沉积技术：磁控溅射，ALD，MBE，MOCVD，电子束蒸发等In Situ 在线测量 产品包括 FS-1&trade 多波长椭偏仪，带紧凑自动 mapping 样品 台，可以实现快速，准确和可靠的薄膜均匀性测量。特点和参数n 4 段波长的椭偏数据（465, 525, 580, 635 nm），寿命长 的 LED 光源，探测器内无可移动部件n 可对 0-1000nm 透明薄膜进行准确的厚度测量n 标准浓厚重复性 0.015 nmn 集成聚焦探针，标准光斑尺寸 0.8 x 1.9 mm （其他尺寸 可选）n 电动 Z 轴样品台自动准直n 灵活扫描图案编辑器n 测量参数等值线绘制聚焦光束选件 样品上光束尺寸减小到 0.8 x 1.9 mm 或 0.3 x 0.7 mm 聚焦光束检测聚焦光束检测系统包括一个 FS-1 多波长椭偏仪，带光束聚焦光学器件和一个手动位移台。该系统 非常适合用于手动检测和在图案化半导体晶圆上 进行质量控制测量。 可进行科研测量，带小尺寸光斑和相机成像功能 手动位移台，可容纳 4’，5’，6’晶圆 样品上光束尺寸 0.3 x 0.7 mm 样品上光束位置视频图像 FS-XY150n 标准晶圆 map 时间：60s（150mm 晶圆上取 49 个点）n 结构紧凑：600x600 mm, 16 kgn 样品台行程（X,Y）：150 x 150 mm, 精度：5 μmFS-RT300n 标准晶圆 map 时间：90s（300mm 晶圆上取 49 个点）n 结构紧凑：400x500 mm, 22 kgn 样品台行程：R (线性) ：150 mm, 精度：12 μmn 角度（旋转）360°，精度：0.1°

AutoSE-一键式全自动快速椭偏仪全自动化&高集成度&可视化光斑操作简单，测试快速，为一般操作工人设计一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。采用工业化设计，操作简单，可在几秒钟内完成全自动测量和分析，并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。主要特点1. 液晶调制技术，无机械转动部件，重复性，信噪比高2. 技术成像系技术，所有样品均可成像，对于透明样品,自动去除样品的背反射信号,使得数据分析更简单.3. 反射式微光斑，覆盖全谱段，利于非均匀样品图案化样品测试4. 全自动集成度高，安装维护简便5. 一键式操作软件，快速简单6. 自动MAPPING扫描，分析样品镀膜均匀性 技术参数1. 光谱范围：450-1000 nm2. 多种微光斑自动选择3. 光斑可视技术，可观测任何样品表面4. 自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自动调节 Z轴高度35mm5. 70度角入射6. CCD探测器

产品简介：SE-VE 是一款超高性价比、快速测量光谱椭偏仪，紧凑集成设计，使用简便，可一键快速测量表征各式光学薄膜膜厚以及光学常数等信息。高性价比光学椭偏测量解决方案，紧凑集成化设计，极致用户操作体验，一键快速测量分析，人机交互设计，使用便捷，丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力，广泛应用于科研/企业中各种单层到多层薄膜膜厚以及光学常数等快速表征分析。 产品型号SE-VE光谱椭偏仪主要特点1、采用高性能进口复合光源，光谱覆盖可见到近红外范围 (400-800nm)2、高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集3、数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料技术参数1、自动化程度：固定角2、应用定位：经济型3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R等光谱4、分析光谱：400-800nm5、单次测量时间：0.5-5s6、重复性测量精度：0.05nm7、光斑大小：大光斑1-3mm8、入射角调节方式：固定角9、入射角范围：65°10、找焦方式：手动找焦11、Mapping行程：不支持12、支持样件尺寸：最大至160mm可选配件1温控台2真空泵3透射吸附组件

仪器简介：典型应用： Assessment of two dimensional morphologiesMicrocontact printingInvestigation of two dimentional surface pattern全自动扫描。 表面等离子共振（SPR） 测量时间在亚毫秒量级，可以灵敏地测量亚单分子层的厚度，光学常数，质量分布，是用来研究快速反应动力学的理想工具，它已成为生物传感领域的一种标准技术。 SPR实验简单，功能强大。 软件通过四种模块来实现功能： 1 角-角反射率扫描 2 动力学模块的快速角跟踪 3 反射率跟踪 4 数据处理 我们可以为用户提供SPR传感片。 波导模法 适合各向异性的介质薄膜的测量，它更适合用来描述厚度超过500 nm的薄膜，凭借它的高精度，其他技术还没办法与之竞争。对特定偏振态的测量要选择相应的折射率，再进行数据处理，这是与椭偏法最主要的不同，而且所有的折射率分量都要同时考虑。 布鲁斯特角显微镜法 清晰呈现分子方位，倾斜度，旋转度，典型的测量区域是20-200μm,反射率系数为10-6时就可以清晰成像。它比荧光显微镜方法更有优势，因为不需要作荧光标记，这样就会避免一些不必要的影响。 接触角法 可以获得关于表面成分的重要信息。在固相衬底上的液滴形状由表面张力和地球重力决定，通过分析三相线可以获得接触角。 软件可以自动区分液滴或平面，这与很多商用的程序不同，这就避免了繁杂的输入，使测量快速，精确，友好。技术参数：将多种表面测量方法组合在一起.包括:椭偏仪表面等离子体共振光谱分析仪波导模分析仪反射计分析仪布鲁斯特角显微镜分析仪表面等离子体共振显微成像光谱分析仪成像椭偏仪接触角分析仪主要特点：功能强大。多才多艺椭偏法： 可以获得： 精度在0.1nm的薄层厚度 衬底的光学常数 分子取向 表面质量分布 表面结构形态 快速获取数据功能使观测诸如腐蚀、吸附等过程成为可能，测量不具有破坏性，适合多种样品的测量，即使液－液界面也可以实现。 椭偏仪的应用十分广泛： Assessment of scaling lawsIon distributionPhotochemistyAdsorption isothermsCorrosionCharacterization of thin filmsGlass transition in confined geometriesDetermination of optical constantsSwelling experiment配用不同的测量模块,可以进行 多区域测量 椭偏反射扫描 动力学模块（可记录温度，表面张力，湿度，PH值） 所有的重要参数都可以在线控制，软件非常人性化，因为它是由在自身科研领域就用到椭偏仪的科学家设计的。 成像椭偏法 横向解析度为2μm, 纵向解析度为0.1nm,可以清晰呈现单分子层结构。

SEMILAB-SE2000 全光谱椭偏测试平台(Spectroscopic Ellipsometer Metrology Station)产品描述SE2000全光谱椭偏测试平台基于椭圆偏振测试技术，采用先进的旋转补偿器，结合光纤专li技术将偏振光信号传输至分段光谱优化的高分辨率单色仪或阵列式多通道摄谱仪，测得线偏振光经过样品反射后的偏振态变化情况，并通过样品光学模型的建立，计算出单层或多层薄膜结构的厚度、折射率和消光系数，实现精确、快速、稳定的宽光谱椭偏测试。 SE2000全光谱椭偏测试平台是Semilab针对产线和实验线推出的多功能高速测试平台。模块化的设计，可选配300mm样品台或350*450mm平板样品台，Robot上片系统，图形识别系统和数据通信系统，实现高速在线监控。在测试功能方面，可自由组合多种从190nm深紫外光谱至2400nm近红外光谱的探测器，并可拓展FTIR红外光谱测试模组、涡电流法非接触式或4PP接触式方块电阻测试模组、Mueller Matrix各项异性材料测试模组、Raman结晶率测试模组、电子迁移率表征模组、LBIC光诱导电流测试模组、反射干涉测试模组等多种功能，使SE2000成为光学和电学特性表征综合测试系统。产品特点业界第yi家光谱型椭偏仪测试设备厂商业界标准测试机构定标设备，参与发布中华人民共和国椭圆偏振测试技术标准业界最宽测试光谱范围，选配190nm-25um，并可自动切换快速探测模式和高精度探测模式配置实时对焦传感器，实现高速测量选配Robot上片系统，图形识别系统和数据通信系统，实现在线监控独特的样品台结构设计，优化固定大尺寸的柔性材料模块化设计，可综合监控样品光学和电学特性定期免费升级SOPRA材料数据库开放光学模型拟合分析过程，方便用户优化测试菜单主要应用光伏行业：薄膜电池透明导电膜、非晶硅微晶硅薄膜电池、CIGS薄膜电池、CdTe薄膜电池、有机电池、染剂敏感太阳能电池半导体行业：High-K、Low-K、金属、光刻工艺、半导体镀膜工艺、外延工艺平板显示行业：TFT、OLED、LTPS、IGZO、彩色滤光片光电行业：光波导、减反膜、III-V族器件、MEMS、溶胶凝胶主要技术指标测试速度：＜1 sec （快速测试模式） ＜120 sec （高分辨率测试模式）测量光谱分辨率：＜0.5nm@633nm （高分辨率测试模式） ＜0.8nm@633nm （快速测试模式）最大样品尺寸： 300mm厚度测量范围：0.01nm-50um厚度测试精度：0.02nm @120nm SiO2 on Si折射率测试精度：0.002 @120nm SiO2 on Si

一、概述SE-Vi 是一款集成式原位光谱椭偏仪，针对有机/无机镀膜工艺研究的需要开发的原位薄膜在线监测中的定制化开发，快速实现光学薄膜原位表征分析。二、测试案例成膜工艺监控膜厚表征三、产品应用广泛应用于金属薄膜、有机薄膜、无机薄膜的物理/化学气相沉积，ALD沉积等光学薄膜工艺过程中实际原位在线监测并实时反馈测量物性数据。技术参数

一、产品概述颐光科技椭偏检测机台作为一种小型椭偏集成机台，通过整体高度模块化，电、气路集成技术，实现不同椭偏测量模块在线/离线式整体椭偏测量解决方案。二、产品特点■ 支持实验室研究整体椭偏集成控制测量技术；■ 支持产线大基片离线自定义多点扫描测量并输出报告；■ 支持多椭偏方案，多组合集成■ 支持测头模块以及样件机台定制化三、应用场景 应用于科学研究中各种各向同性，异性薄膜材料的膜厚、光学常数以及一维、二维纳米光栅的结构表征；工业领域新型光电器件行业所涉及的薄膜（配向膜、光刻胶、ITO、发光薄膜、封装薄膜）全片离线化快速扫描测量。参考设计方案 高度整合椭偏技术方案技术参数

HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪仪器介绍：HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪是一款针对单层和多层薄膜进行简单，快速，精确表征和分析的工具。多功能性设计，配置灵活，具备多角度测量能力，可方便实现在线与离线配置切换。 技术参数：光谱范围：450-1000nm多种微光斑自动选择光斑可视技术，可观测任何样品表面CCD探测器自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自动调节 Z轴高度35mm 主要特点： 一键式操作，直接报告输出液晶调制技术，测量光路中无运动部件 CCD 探测系统，快速全谱输出 多个微光斑尺寸选择，可视技术 多角度测量 可实现在线测量配置

低成本高效益的光谱椭偏仪SENproSENpro椭偏仪是椭偏仪应用的智能解决方案。它具有角度计，入射角度步进值5°。操作简单，快速测量和直观的数据分析相结合，以低成本效益高的设计来测量单层和多层膜的厚度和光学常数。 成本效益SENpro是具成本效益的光谱椭偏仪，同时不影响先进测量性能。 可变入射角光谱椭偏仪SENpro包括可变入射角的角度计，40°—90°，步进值5°，用于优化椭偏测量。 步进扫描分析器SENpro具有独特的步进扫描分析器。在数据采集过程中，偏振器和补偿器固定，以提供高的椭偏测量精度。 光谱椭偏仪SENpro具有操作简单，测量速度快，能对不同入射角的椭偏测量数据进行组合分析等特点。光谱范围为370到1050 nm。SENpro的光谱范围与精密的SpectraRay/4软件相结合，可以轻易地确定单层膜和复合层叠膜的厚度和折射率。 具有成本效益的桌面式SENpro包括可见光到近红外椭偏仪光学，5°步进角度计，样品台、激光准直器、光纤耦合稳定光源和探测器单元。SENpro配备了用于系统控制和数据分析的光谱椭偏仪软件SpectraRay/4 ，用于包括建模，拟合和报告输出。即使对于初学者，该程序文件操作都非常容易。SpectraRay/4 支持计算机控制的用于均匀性测量的自动扫描。 SENpro专注于薄膜测量的速度和精度，不管是何种薄膜应用。测量范围从1 nm的极薄层膜到15 μm的厚层膜。 对于各种各样的应用，SpectraRay/4都提供了预定义的配方。

产品型号SE-i 光谱椭偏仪技术参数1、自动化程度：固定变角2、应用定位：原位定制型3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S等光谱4、分析光谱：380-1000nm，支持按需定制化5、单次测量时间：0.5-5s6、重复性测量精度：0.01nm7、入射角范围：65°（支持定制）

超快速光谱型椭偏式膜厚仪（Accurion Nanofilm_RSE） 椭偏技术对表界面非常敏感，百年来一直被用于各种薄膜的光学分析测量。它的基本原理是，当一束偏振光经过样品表界面反射之后偏振状态会发生变化。并且，如果样品表面是一层薄膜（或者多层薄膜堆叠），整个薄膜/基底的光学系统信息对反射光束的偏振状态都有影响。因此，通过椭偏方法可以对薄膜的厚度和其他光学性质进行分析。参比椭偏仪Nanofilm_RSE是一种超快速光谱型椭偏仪，它通过将参比样品被和测样品进行比较，测量它们之间的差异从而对被测样品进行椭偏分析。由于参比椭偏仪Nanofilm_RSE光学系统的精巧设计，在测量过程中没有任何需要转动或者调制的光学部件，并且可以在单次测量中获得完整的、高分辨率的光谱椭偏数据。通常每秒钟可以测量获得两百个光谱椭偏数据。通过配备自动样品台可以在数分钟内测量获得大面积样品的薄膜厚度分布图。 仪器特点：该仪器光路设计巧妙、稳定性好、测量精度高。测量速度超快，可快速测量大面积样品厚度分布，适用于质量检测等需要测量大批量样品的领域。参比样品更换简单。简单易用，使用者无需对椭偏技术有深入了解。适用于晶圆检测/太阳能电池组分析、缺陷检测/污染控制，均质石墨烯薄膜测量，薄膜生长过程控制/动态测量等等。 技术参数：仪器类型：光谱型椭偏仪入射角：60°光谱范围：450-900nm，光谱分辨率1.2nm数据速度：每秒200个全光谱椭偏数据，连续光谱光斑尺寸：25x40um，其他光斑尺寸可定制膜厚分辨率：典型值为0.1nm光源：110mW的超连续谱激光探测器：2048 通道光谱仪偏振光学器件： 高品质的格兰-汤普森棱镜两个，自动，分辨率0.001°对准：仪器头两轴对准，样品两轴水平对准XYZ样品台：电动样品台，300mm数据处理：基于LUT的数据处理模拟计算光学参数，如薄膜厚度和色散曲线软件：简便易用的控制软件，控制各种自动部件、光谱仪和所有的参数测量；建模软件

产品简介：椭偏在线监测装备针对LCD、OLED等新型平板显示量光学薄膜质量控制需要，专门设计的在线薄膜测量系统。可适用于空气、N2、真空等环境条件，自动实现玻璃基板上各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的全片快速扫描测量。椭偏在线监测装备广泛应用于工业中新型光电器件行业所涉及的PI配向膜、光刻胶薄膜、ITO薄膜、有机发光薄膜、有机/无机封装薄膜大基片各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的在线式全片快速扫描测量。 产品型号PMS 椭偏在线监测装备主要特点1、支持产线大基片自定义多点扫描测量并输出报告2、支持最大193-2500nm全波段分析测量3、支持多椭偏方案，多组合集成4、支持测头模块以及样件机台定制化技术参数测头规格穆勒矩阵椭偏测头光谱椭偏测头反射膜厚测头自动化程度可变/固定角+ mapping可变/固定角+ mapping垂直角+ mapping应用定位高阶高精度型高精度型通用型单次测量时间0.5-5s小于1s分析光谱380-1000m(支持扩展至193-2500nm)380-1100nmMapping行程支持行程定制化支持样件尺寸安需定制化

QUASAR-E100是一款桌面式光谱椭偏膜厚仪，它为客户提供更加准确、稳定的厚度和折射率测量，广泛应用于科研、半导体、液晶、太阳能制造等领域，适用于对厚度和折射率测量有更高精度要求的应用场景。产品特点 各种尺寸样品测量可测量如4-12英寸的晶圆及其他各种不规则形状样品 测量精度和稳定性高相对于反射仪，QUASAR-E100可提供更高精度的测量，且可提供极薄膜的测量 多参数测量可测量材料厚度、折射率和消光系数 操作简单且功能丰富用户无需过多培训即可轻松掌握测量流程及建立菜单，数据查看、统计和分析功能丰富 产品参数 ★Si基底上对厚度小于30nm的SiO2薄膜样品连续测量30次数据的标准偏差 定制功能 可根据客户需求配置不同的光源，以实现不同性能的测量可根据客户需求搭配自动运动平台可根据客户需求配置小光斑

光谱椭偏仪DUV-VIS-NIR光谱椭偏仪可配置从DUV到NIR的波长范围。DUV范围可用于测量超薄膜，如纳米厚度范围。比如硅晶片上的原生氧化物，其通常仅为约1至2nm厚。当用户需要测量许多材料的带隙时，深紫外光谱椭偏仪也是必不可少的。可见或近红外范围用于测量相对厚或非常厚的涂层。当然，如果必须确定光学常数，则应将工具的波长范围配置为该范围。其他配置，如波长分辨率，角度范围等，将根据所需的应用进行考虑。 光谱椭偏仪特征：• 基于Window软件，易于操作；• 先进的光学设计，实现zui佳系统性能；• 高功率DUV-VIS-NIR光源，适用于宽带应用；• 基于阵列的探测器系统，确保快速测量；• 用户可以根据需要定义任意数量的图层；• 能够用于实时或在线厚度，折射率监测；• 系统配有全面的光学常数数据库；• 高级TFProbe 3.3.X软件允许用户对每个胶片使用NK表，色散或有效介质近似（EMA）；• 三种不同的用户级别控制：工程师模式，系统服务模式和简易用户模式；• 灵活的工程模式，适用于各种配方设置和光学模型测试；• 强大的一键式按钮解决方案，用于快速和常规测量；• 可按照用户偏好配置测量参数，操作简便；• 系统全自动校准和初始化；• 直接从样品信号获得精确的样品对齐接口，无需外部光学元件；• 精确的高度和倾斜程度调整；• 适用于许多不同类型的不同厚度的基材；• 各种选项，附件可用于特殊配置，如绘图阶段，波长扩展，焦点等；• 2D和3D输出图形以及用户数据管理界面； 光谱椭偏仪应用：• 半导体制造（PR，氧化物，氮化物......）• 液晶显示器（ITO，PR，Cell gap ......）• 法医学，生物学材料• 油墨，矿物学，颜料，调色剂• 制药，医疗器械• 光学涂层，TiO2，SiO2，Ta2O5 ......• 半导体化合物• MEMS / MOEMS中的功能薄膜• 无定形，纳米和硅晶圆• 太阳能电池薄膜，CdTe，CdS，CIGS，AZO，CZTS .... 光谱椭偏仪技术参数： 型号 SE200 (DUV-Vis) SE300 (Vis) SE450 (Vis-Nir) SE500 (DUV-Vis-Nir)探测器类型CCD或CMOS阵列CCD或CMOS阵列CCD或CMOS和InGaAs阵列CCD或CMOS和InGaAs阵列波长范围（nm）190至1100370至1100370-1700190-1700波长点测量波长范围和波长数据点均在用户配方中自定义（数据点仅受分辨率限制）波长分辨率0.01 -3nm0.01 -3nm0.01至3nm0.01至3nm数据采集时间100毫秒到10秒，用户自定义入射角范围20至90度入射角分辨率带手动测角仪的5度预设步骤，用于SExxx-BM配置 程序控制0.001度分辨率，配有自动测角仪，适用于SExxx-BA配置偏光光学旋转偏振器，分析器和/或补偿器的组合光束尺寸准直光束，光束尺寸可在1至5mm范围内调节光圈 可选的聚焦光束模式（可拆卸）可用于减小光斑尺寸光源（D2 + TH）/氙THTH（D2 + TH）/氙其他型号：红外光谱椭偏仪TFProbe IRSE光谱椭偏仪显微分光光度计 SE-MSP光谱椭偏仪 SE-SOLAR太阳能光伏光谱椭偏仪带自动监测 SE200BM，SE300BM和SE500BM显微分光光度计DUV-VIS-NIR MSP100/MSP300/MSP400/MSP450/MSP500

多波长椭偏仪（仅需25万！）姓名：李工(William) 电话： 邮箱：AUTFS1椭偏仪是利用椭圆偏振的方法对样品进行光学表征。在该系统中由偏振态发生器（PSG）发射已知偏振态的光斜入射到样品上，然后偏振态检测器（PSD）检测反射光的偏振状态。如下图所示由样品引起的发射光偏振态的变化可以由P偏振光和S偏振光的反射率的比值决定。比值为复数，如下图所示： 其中tan（Y）定义了P偏振光和S偏振光反射率比值的大小，D定义了P偏振光和S偏振光的相位差。由于该方法测量的是一个比值，因此对光的强度的变化，以及样品缺陷造成的散射不敏感，并且在每个波长测量两个参量可获得两个常量例如：薄膜厚度和折射率，此外D对薄膜厚度非常敏感，可以使薄膜厚度测量精度到0埃。上海昊量光电推出的多波长椭偏仪采用长寿命的LED光源，可分别提供465nm、525nm、580nm和635nm四种不同波长，并使用无移动部件的椭圆偏振检测器，紧凑的系统提供快速可靠的薄膜测量。通过1秒的测量可以精确的测量0-1000nm的大多数透明薄膜的厚度。并可以获得n和k等光学常量。相比于单波长椭偏仪，多波长椭偏仪可测定薄膜厚度，对于透明薄膜测量厚度至少可达1μm，不存在厚度周期性问题；可确定样品其它其它参数特性例如薄膜粗糙度、多层膜厚度等；对数据分析提供检测依据，一个良好的分析模型应该适用于不同波长的数据；对于非常薄的薄膜（20nm）多波长椭偏仪提供的数据信息量可以与光谱椭偏仪相媲美。 应用案例：原位测量： AUTFS-1 Mounted on Kurt Lesker ALD Chamber AUT FS-1 Mounted on AJA Sputter Chamber选配件：1、聚焦选项：将样品上的光束缩小至0.8 x 1.9 mm 或0.3 x 0.7 mm2、聚焦束检验选项 3、自动成像系统产品特点： 多波长椭偏检测器中无移动部件优异的测量精度（优于0.001nm）可原位测量

SE 800 PV 激光椭偏仪 SENTECH设计了SE 800 PV，用于表征由SiNx/SiO2、SiNx/SiNy或SiNx/Al2O3组成的多层钝化膜和防反射涂层。分析了单晶和多晶硅太阳电池的折射率指数、吸收和膜厚。在配方模式下进行复杂的测量，速度快，操作容易。 纹路晶片防反射涂层和钝化层可以在单晶和多晶硅晶片上测量。 叠层防反射涂层可以分析SiO2/SiNx、Al2O3/SiNx和SiNx1/SiNx2的涂层。 操作简单 不管是专家还是初学者，光谱椭偏仪SE 800 PV都提供了简单的操作。配方模式特别适合质量控制所需的常规应用。 光谱椭偏仪SE 800 PV是分析结晶和多晶硅太阳能电池防反射膜的理想工具。可以测量单层薄膜(SiNx、SiO2、TiO2、Al2O3)和多层叠层膜(SiNX/SiO2、SiNx1/SiNx2、SiNx/Al2O3)。 SE 800 PV是基于步进扫描分析器测量模式。步进扫描分析器模式允许将测量参数匹配到粗糙的样本表面，同时所有光学部件都处于静止状态。SE 800 PV的光源、光学部件和检测器进行了优化，以符合SENTECH的目标，即快速、准确地测量PV应用的折射率指数、吸收和膜厚。 高测量灵敏度、去偏振校正和特殊的集光光学使SE 800 PV成为在粗糙样品表面进行光伏应用的理想仪器。 光谱椭偏仪SE 800 PV具有操作简单的特点、便于研发应用。SpectraRay/4，SENTECH专有的椭偏仪软件，包括两种操作模式。配方模式允许在质量控制中轻松执行常规应用程序。交互模式具有指导性的图形用户界面，适合于研发应用和新配方的开发。 此外，SE 800 PV满足SENresearch光谱椭偏仪系列的所有要求。

一、概述 ME-Mapping 光谱椭偏仪是一款可定制化Mapping绘制化测量光谱椭偏仪，配置全自动Mapping测量模块，通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实现薄膜全基片膜厚以及光学参数自定义绘制化测量表征和分析。■ 全基片椭偏绘制化测量解决方案；■ 支持产品设计以及功能模块定制化，一键绘制测量；■ 配置Mapping模块，全基片自定义多点定位测量能力；■ 丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力。二、产品特点■ 采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)；■ 高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集；■ 具备全基片自定义多点自动定位测量能力，提供全面膜厚检测分析报告；■ 数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料。三、产品应用 ME-Mapping广泛应用OLED，LED，光伏，集成电路等工业应用中,实现大尺寸全基片膜厚、光学常数以及膜厚分布快速测量与表征。可选配件真空泵透射吸附组件技术参数

新一代的超薄膜、表界面和材料分析测试平台，结合自动消光椭偏技术和传统光学显微镜技术。横向（XY方向）分辨率小于1um。新一代激光成像椭偏仪具有多种独特功能，实现对超薄膜的实时可视化分析测试。你将实时看到样品微观尺度上的结构。可以测量诸如薄膜厚度、折射率和吸收系数等参数。也可以对薄膜进行区域化（选区）分析，获得所选区域的成像分析图。还可以结合其他分析测试技术对样品进行联合分析从而从样品中获取更多的信息，联用技术如原子力显微镜（AFM）、石英晶体微天平（QCMD）、反射光谱仪和拉曼光谱仪。成像椭偏仪Nanofilm_EP4是模块化薄膜分析测试平台，可根据您具体的应用方向进行差异化配置，从而实现不同的分析测试功能。技术优势：优秀的椭偏横向分辨率：可分辨超1um的微小区域，实现微结构试样和微小试样的椭偏分析经典消光法成像椭偏仪，灵敏度高，准确性好，Δ和Ψ全范围测量无死角；采用四区域平均椭偏法（4-zone nulling）可消除系统误差，是精确的椭偏分析方法完备的液态薄膜分析系统，实现气/液界面、液/液界面、液/固界面和气/固界面薄膜分析。是自组装单分子薄膜、乳化和液相沉积原位分析重要工具。实时的椭偏对比度图像，对样品表面进行实时视频图像分析。样品的所有微结构、缺陷、污染和动态变化过程都将一览无余选区分析技术实现区域化的椭偏成像分析测试。平行化分析技术让您对多个区域进行同步分析成像椭偏分析集成平台，实现多种测量技术的联用。从而从样品中获得更多的信息全画幅聚焦技术可选，完美解决由于椭偏仪斜角入射，物镜焦平面和样品表面相交只能线聚焦样品，因此需要物镜扫描获取全画幅聚焦照片的难题。适用于动态样品的原位分析测试，如自组装单分子层的生长和移动、蛋白质相互作用和水面单分子层的漂移等等光斑切割技术，真正实现超薄透明基底上薄膜的无背底反射椭偏测试多种功能拓展附件实现成像椭偏技术在不同应用领域内的多种实用功能，如表面等离子共振（SPR）单元，固/液界面分析单元，光导液/液界面分析单元，微流控分析单元，温度控制单元，电化学分析单元等等模块化设计，可升级到新一代光谱成像椭偏仪

激光椭偏仪SE 500adv，结合椭偏反射CER的SE 500adv 椭偏仪SE 500adv将激光椭偏仪和反射仪结合在一个系统中。这种组合允许零度反射法用于快速薄膜分析，并且允许透明膜以激光椭偏仪的亚埃精度将可测量的厚度范围扩展到25埃米，从而明确地确定厚度。高性能、高可靠性，拥有业内最高测量精度。可测量两层膜厚度，或一层膜厚度和折射率。CER模式，可结合反射式膜厚仪和激光椭偏仪，给出测量数据。选件与SE400选件相同 迄今为止最简单易用的椭偏仪 &bull SE 500adv结合椭偏测量和反射测量 &bull 可消除椭偏测量对透明膜厚度的周期不确定性 &bull 膜厚测量范围可扩展至25000 nm. &bull 激光波长632.8 nm &bull 反射计光谱范围450 nm-920 nm &bull 光斑直径80 μm &bull 150 mm (z-tilt)样品台 &bull 角度计，可变入射角度，步进5° &bull LAN连接电脑 　　CER组合椭偏仪SE 500advanced可作为激光椭偏仪，CER组合式椭偏仪或反射膜厚仪FTPadvanced操作。比常规激光椭偏仪有更好的适应性。 作为椭偏仪操作 　　单角度和多角度测量，可测量最多三层膜的厚度和光学参数，测量波长632.8nm，有最高的测量精度。 作为反射式膜厚仪FTPadvanced操作 　　白光正入射测量，可测量透明膜或弱吸收薄膜，厚度最大可达25μm。配置更先进的软件FTPexpert后能够测量多层膜。 作为CER组合椭偏仪操作 　　解决了透明膜的周期不确定性问题，并由于确定的膜厚周期，折射率测量精度显著增加。可测量透明膜的Cauchy系数。 技术指标: Ψ,Δ精度，90°位置透射测量:δ(Ψ)=0.002°, δ(Δ)=0.002°长时稳定性:δ(Ψ)=±0.01°, δ(Δ)=±0.1°膜厚精度:0.1 &angst for 100 nm SiO2 on Si折射率精度:5×10-4 for 100 nm SiO2 on Si精度定义为30次测量的标准差 长时稳定性为90°位置时24小时内测量的差值 选项 &bull 手动x-y样品台，行程50 mm &bull Mapping地貌图扫描 (x-y, 最大200 mm, 真空吸附) &bull 摄像选项，用于样品校准和表面监视 &bull 30 μm微细光斑 &bull 第二激光波长1550 &bull 自动对焦 &bull SIMULATION软件 厚度确定椭偏测量和反射测量的结合允许通过自动识别循环厚度周期来快速且明确地确定透明膜的厚度。 宽的测量范围激光椭偏仪和反射仪的结合将透明薄膜的厚度范围扩展到25μm，更多地取决于光度计的选项。 扩展激光椭偏仪的极限性能优异的多角度手动角度计和角度精度优越的激光椭偏仪允许测量单层薄膜和层叠膜的折射率、消光系数和膜厚。 SE 500adv结合了椭偏仪和反射仪，除了测量透明膜层厚度的模糊性。它把可测量的厚度扩展到25m，因此SE 500adv扩展了标准激光椭偏仪SE 400adv的能力，特别适用于分析较厚的介质膜、有机材料、光阻、硅和多晶硅薄膜。 SE 500adv可作为激光椭偏仪、膜厚探针和CER椭偏仪使用。因此，它提供了标准激光椭偏仪从未达到的大灵活性。作为椭偏仪，可以进行单角度和多角度测量。当用作膜厚探针时，在正常入射下测量透明或弱吸收膜的厚度。 SE 500adv中的椭偏测量和反射测量的组合包括椭圆测量光学部件、角度计、组合反射测量头和自动准直透镜、样品台、氦氖激光光源、激光检测单元和光度计。 SE 500adv的选项支持在微电子、微系统技术、显示技术、光伏、化学等领域的应用。

一、概述 SE-VE 是一款超高性价比、快速测量光谱椭偏仪，紧凑集成设计，使用简便，可一键快速测量表征各式光学薄膜膜厚以及光学常数等信息。■ 超高性价比光学椭偏测量解决方案；■ 紧凑集成化设计，极致用户操作体验；■ 一键快速测量分析，人机交互设计，使用便捷；■ 丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力。二、产品特点■ 采用高性能进口复合光源，光谱覆盖可见到近红外范围 (400-800nm)；■ 高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集；■ 数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料。三、产品应用SE-VE光谱椭偏仪广泛应用于科研/企业中各种单层到多层薄膜膜厚以及光学常数等快速表征分析。可选配件温控台真空泵透射吸附组件技术参数

SENDURO 全自动光谱椭偏仪,SENDURO 全自动光谱椭偏仪包括基于测量处方的仅在几秒钟内即可完成的快速数据分析。椭圆仪的设计是为了便于操作：放置样品，自动样品对准，自动测量和分析结果。在全自动模式下使用光谱椭偏仪非常适合于质量控制和研发中的常规应用。 自动对准光谱椭偏仪SENDURO 所特有的全自动光谱椭偏免除了用户根据高度和倾斜度手动地对准样品的麻烦，这对于高精度和可重复的光谱椭偏是必需的。该专利的自动对准传感器大大减少了操作误差，适用于透明和反射样品，即使在弯曲的样品上也可实现自动扫描。 操作简单配方模式非常适合于生产，工艺监控以及研发的常规应用。该光谱椭偏仪带有随机可的配方数据库，可以根据您的具体需要对其进行修改。 步进扫描分析器步进扫描分析器SSA是SENTECH光谱椭偏技术的一个独有特征。分析样品的总时间只需几秒钟。 SENDURO 可测量透明和反射基片上单层薄膜和层叠膜的折射率和厚度。SENDURO 自动扫描则实现了较高的样品速度，化安装工作量和低的维护成本。该光谱椭偏仪的自动扫描具有预定义或用户定义的模式、允许广泛的统计特性和数据图形显示。 SENDURO 是SENTECH自动化，占地面积小，设计紧凑的椭偏仪的代表。测量台包括椭偏仪光学部件、自动倾斜和高度传感器、电动样品台和控制器电子设备，它们全部紧凑的组合。为了达到更高产量的要求，我们的光谱椭偏仪也提供了片盒站装载尺寸到300 mm的大晶片。 SENDURO 以其高样品测量速度，易于操作和自动对准在工业应用中表现出色。应用范围从半导体上的介质膜到玻璃上的多层光学涂层。 SENDURO 优异的光谱椭偏软件具有配方模式和工程模式。配方模式致力于重复应用程序的简单执行。密码控制的用户登录允许不同级别的用户登录。在交互模式下，椭偏测量通过交互式的，指导性的图形用户界面得到增强。此外，可以使用材料数据库和散射模型修改已经存在的配方或建立新的配方。 [RETURN]