三维测量机

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三维测量机相关的厂商

  • 青岛麦科三维测量设备有限公司,凭借多年测量领域丰富的制造经验,以及坚实的坐标测量应用技术基础,致力于在中国创办一个在测量领域能提供世界上最先进技术和产品的企业。研发生产高品质和高可靠性的三坐标测量机系统,设计和生产技术领先的坐标控制系统,配置具有国际强大功能的3D CAD测量软件并结合近20年的实践应用经验,带来的是产品杰出的实用性和稳定性。随着制造业技术的发展和现代化生产对品质要求的不断提升,三坐标测量机正发挥着“技术基础”和生产流程控制过程中不可缺少的重要作用!而今天,无论是在三坐标测量机的设计技术,制造生产技术,还是应用技术方面,青岛麦科三维测量设备有限公司,都表现出了“卓越不凡”的强劲能力。在设计技术方面以“致力于测量基准”的精确、精度的严谨和专注为本质;在制造生产过程中,以“致力于技术稳定”的精细、务实和专攻贯穿每一个工艺环节为中心;在应用技术方面,以致力于“创造客户的安心使用”的细致和负责为宗旨, 让用户“感受到”了实实在在的受益!短短的时间里,青岛麦科三维,在测量业界创造了一个又一个的佳话,得到了众多用户的青睐和一致赞誉!
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  • 新拓三维技术(深圳)有限公司,致力于先进三维光学测量技术研究和系列测量设备的研发、技术方案提供。公司总部位于深圳,在西安设立研发中心,核心团队为原西安交大三维技术团队,长期潜心于三维光学测量的基础及应用研究。团队多项研究成果及关键技术达到国际先进水平,制定了三维光学测量领域的第一个国家标准,项目技术获得国家技术发明二等奖一项,陕西省科学技术奖一等奖一项。团队以深圳为市场开拓桥头堡,将从基础研究转向应用研发和市场开拓,以三维工业测量检测、科研设备和教育三大板块主要业务方向。 公司拥有三维光学测量检测数款成熟产品,多项产品填补国内空白并成为国内唯一供应商。公司四大系列产品和技术:三维外形轮廓检测测量、三维应变测量、变形测量、三维动态和运动轨迹测量、教育文创及民用领域的外形测量,十多个三维光学测量系统产品,广泛应用于国内外研究机构、高校及企业的科研、生产和在线检测中,涉及消费电子、航天航空,汽车,重型机械,医疗等行业和机械、材料、力学、土木工程等10多个学科领域。 公司产品现分为三大系列。三维全场变形测量系列,XTDIC非接触全场应变测量,又称为数字散班应变测量分析系统,其中包括板材应变测量系统XTDIC-FLC,显微应变测量系统XTDIC-MICRO等;三维外形轮廓测量系列,其中包括工业用板块三维摄影测量系统XTDP,三维扫描仪XTOM,民用板块手持式三维扫描仪G200,人体扫描系统等; 关键点追踪系列,包括三维动态测量系统XTDA ,静态变形测量系统XTDP-DEF。
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  • HOLON华朗科技从事三维数字化扫描系统的公司,是专业三维结构光扫描系统运营企业。我们致力于先进制造技术领域内的高技术装备的研发生产和销售、数字化制造解决方案、三维技术支持、三维技术服务的专业公司,尤其精研三维非接触扫描、快速成型、逆向工程。HOLON华朗科技提供三维光栅(结构光)式扫描仪、拍照式三维扫描仪、三维摄影测量系统、三维人体扫描仪、三维手持式扫描仪等产品。提供三维数字化制造技术解决方案、逆向工程、模具设计、质量检测、人体扫描测量等领域的技术支持与服务。我们将不断研发先进的数字化设备,为发展民族高科技制造业做出贡献!公司理念: “科技报国,自强不息”我们坚持以科技报国为已任,自强不息,积极进行技术创新。为三维数字化制造技术的应用、传统产业的改造与生产力的提高做出贡献,竭诚为用户提供完善的产品,周到的服务。服务内容:“精益求精,永无止境”华朗科技提供三维光栅(结构光)式扫描仪、拍照式三维扫描仪、三维摄影测量系统、三维人体扫描仪等产品。提供三维数字化制造技术解决方案、逆向工程、模具设计、质量检测、人体测量等领域的技术支持与服务。成功案例:“立足中华,服务四海” 产品以其先进的技术、可靠的质量、优秀的技术支持与完善的服务,受到广大用户的好评与欢迎。我们为众多著名企业、大专院校及科研机构提供产品与服务。华朗三维科技供应:三维扫描仪,三维激光扫描仪,抄数机, ,拍照式三维扫描仪,三维立体扫描仪,三维光学扫描仪,三维人体扫描仪,逆向工程,抄数服务 ,手持式三维扫描仪华朗三维扫描仪应用行业:汽车、游艇行业,制鞋行业,玩具、手机、陶瓷、雕塑行业,人体测量领域,女士内衣及服装行业,彩色扫描,文物扫描领域,检测领域,模具设计
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三维测量机相关的仪器

  • 桥式三坐标测量机 400-860-5168转0730
    仪器简介:经济实用的高精度测量机高精度、固定桥式三坐标测量机 Micro Plus,采用先进的设计手段与方法,配备 LSP-X5 测头,使得整机具有 1 微米内的超高精度,可完成各种复杂形状工件的测量和轮廓外形的扫描任务。全花岗岩结构,配备陶瓷 Z 轴,完善的气动平衡和优化的气浮轴承分布,移动台结构能够最大限度减少移动部件的质量,中心驱动系统有效减少了阿贝误差,使得 Micro Plus坐标测量机成为最精密的坐标测量机之一。主要特点:关注设计中的每一个细节1. 封闭框架结构,全花岗石横梁、基座、立柱和工作平台,具备稳定、不易变形的特点,能够较好的适应温度变化而不会产生明显的变形。 2. 采用陶瓷Z 轴、铸造滑架,使X、Z 向运动部件的重量大大减轻,并降低了重心,提高了运行精度。 3. 具备自动温度补偿功能 4. 各轴均采用钢丝增强同步带传动,增强了运动刚性,克服了抖动、爬行等难题。 5. 全花岗石结构,整机稳定可靠的同时,可具有较长的使用寿命,并使客户得到较好的投资回报。 6. 采用大功率的电机和驱动器,大大改善了运动控制特性;启动、停止控制自如,并优化了整机的速度和加速度。 7. 先进的控制系统,具备连续运动轨迹插补技术,实现了真正的三维矢量功能(飞行特性)。在确保各轴高速运动的同时,提高了测量机的检测精度。 8. 采用高速、伺服测量控制系统,可支持各种类型的测头。 9. 功能完善的LSP 系列三维模拟扫描测头,能够携带超长探针,并具备自动更换探针功能和碰撞保护功能。
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  • 天准三坐标测量机天准坐标测量机是以超高精度0.3μm 国家专项复合测量机为技术基础研发的坐标测量设备,目前拥有CMZ/CMU/CME 三大系列。创新性地将高精密直线电机驱动技术及工业级的碳化硅陶瓷材料运用在高端系列机型上,与此同时搭载天准自主研发的测量软件(Vispec Pro)、电控系统(TCC)、测头测座(HSP\TR50)。天准坐标测量机以其优良的性能,为生产现场、研发中心、计量室提供高精度、高稳定性、高效率的测量解决方案,广泛应用于汽车、模具、机械加工、精密制造、计量院所、航空航天等领域。CMZ系列超高精度三坐标测量机是天准生产的高端计量设备,采用固定桥式结构形式,可满足复杂零部件的超高精度检测需求,具有亚微米精度、高效率及性能稳定等特点,帮助实现精密加工、装配和质量控制。CMZ产品特点 自主研发的软件、电控及探测系统,具有更好的适配性 自主研发的21项误差补偿算法,测量机可实现计量级精度 优化设计的主体结构和温度场分布,具有更好的精度稳定性和测量速度 各轴采用预载空气轴承,及环抱式布局,高刚性、无接触、低摩擦 采用固定桥式的高刚性机械结构, 使用花岗岩横梁、底座和立柱 采用零膨胀系数光栅尺,分辨率超高达到纳米级别,且不受外界温度影响,保证机器的高精度和稳定性 创新性地将直线电机技术运用到坐标测量机,更高的定位精度减少运动误差,更高的速度与加速度提高测量效率 工业级精密材料碳化硅陶瓷Z轴的组合,保证了机械结构的稳定性且抗外界干扰能力强CMU 系列高精度三坐标测量机是天准生产的高端测量设备,采用独特的单边高架结构形式,具备性能稳定可靠、高效率、高精度等特点,可覆盖绝大多数触发及扫描复杂测量的应用场景。CMU产品特点 自主研发的软件、电控及探测系统,具有更好的适配性 优化设计的主体结构和温度场分布,具有更好的精度稳定性和测量速度 创新性地将直线电机技术运用到坐标测量机,其良好的运动特性有效保证了机器测量精度,又提高了测量效率 关键结构部分采用高精密碳化硅陶瓷材料,移动桥在质量更轻的同时,具备更高刚性与更低温度线膨胀性能,极大 提高了精度与长期可靠性 单边高架移动桥式设计,移动质量更轻,驱动更接近移动质心,减小阿贝误差,有效提高了运动性能与精度稳定性 高刚性高性能气浮导向,无摩擦无磨损,三轴均采用四面环抱式设计,具备气浮压力监测功能,有效确保稳定性 三轴采用超低线温度线膨胀系数光栅尺,对温度变化不敏感,有效提高整机的精度 Z轴采用平衡气缸气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制,可在紧急情况下确保探测系统的安全CME 系列通用生产型三坐标测量设备,旨在满足用户三维尺寸的测量需求,具有精度高、通用性强、自动化、灵活性高等特点,为生产现场、研发中心提供了稳定、高效的测量解决方案。CME产品特点 自主研发的软件、电控及探测系统,具有更好的适配性 优化设计的主体结构和温度场分布,具有更好的精度稳定性和测量速度 经典的移动桥式设计,结构简单、紧凑、敞开性好、运动速度快,提供高效率、高精度的测量 采用独特的矩形横梁结构,增加结构的刚性,保证机器快速、平稳、精确 三轴采用高分辨率光栅尺,保证了良好的精度 三轴采用伺服电机驱动,并且电机安装在各轴的远端,有效的规避了电机工作产生的热量对测量机局部温度的影响
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  • 仪器简介:满足客户需要的超高精度测量机源自德国LEITZ品牌的REFERENCE 具备非常高的扫描效率,可以为具有最复杂几何形状的工件提供测量解决方案。采用LEITZ 的TRAX 测头技术,具备极高的测量精度、重复性好。配置当今功能最为完善的软件之一:QUINDOS,使得用户在完成箱体类工件测量的同时,还可完成包括多种曲面元素,诸如叶片、齿轮和压缩机螺杆以及轮廓、自由曲面等多种复杂几何形状的测量。三维扫描测头系统,显著提升了机器的性能 Reference 系列测量机是一款具备高性价比的扫描测量装置,可完成各种复杂的测量任务,配备由Leitz 研发并制造的三维测头系统。 Reference 既可执行单点测量来完成典型的测量任务,也可以高速扫描的方式轻松应对复杂的形状轮廓测量。 Reference 的测量精度和其通用性很大程度上取决于所配备的三维测头系统,在每次测量操作中,该测头系统都将在被测工件表面的法向量方位上,在XYZ 三个方向自动且同步地测量工件表面。测量中各轴不需锁定,这意味着测头将始终垂直于被测工件的表面,而工件表面法向量的实际方向根据每个测量点来决定,这样测头的偏移就可以计算出来并加以补偿。QUINDOS ,世界上功能最强大的计量软件之一与QUINDOS 软件联机后,Reference 不仅适于测量箱体类零件,也可快速方便地完成复杂几何量的测量,如蜗轮叶片,齿轮,螺杆,螺旋压缩机转子,步进齿轮等,快速而又精确。技术参数:reference 的技术参数:机型(x.y.z)(100mm) E(µ m)P(µ m)THP(µ m)Vmax(mm/sec)a max(mm/sec2) Reference10.7.60.9 + L / 350 1.01.9 / 45s 5203300 Reference15.9.70.9 + L / 350 1.01.9 / 45s5203300 Reference20.9.70.9 + L / 350 1.01.9 / 45s5203300 Reference22.12.91.5 + L / 350 1.52.1 / 45s5203300 Reference 30.12.9 1.7 + L / 350 1.52.1 / 45s5203300 Reference 45.12.9 1.7 + L / 350 1.52.1 / 45s5203300用LEITZ REFENCE进行齿轮检测--相关技术指标: Reference10.7.6 Reference15.9.7 20.9.7 Reference22.12.9 30.12.9 45.12.9 ModulRange[mm]0.5 - 100 0.5 - 100 0.5 - 100 Max. Gear Dia. - spur [mm]6508501150 Max. Gear Dia. - helical* [mm]450 600900 Max. Gear Width [mm]600700900 Max. Shaft Length [mm]1000 1500 / 2000 2000 / 3000 / 4500 主要特点:Reference 系列测量机集几代坐标测量机的先进技术优点于一身。 设计上更为简练,并经过验证,其零件数量较普通的测量机少20%。 因此: – 稳定性更高 – 维护减少 – 可操作时间更长 成本降低 基于计算机辅助设计,如有限元分析(FEA) 或模式分析,在偏差,振动影响以及机器动态性能方面加以优化。 通过TRICISION&trade 技术,降低了机器的重心,而同时轴承跨距相比传统测量机更宽。 因此: – 更好地控制各轴的运动,更好的测量精度,更佳的重复性 – 更高的加速度,更高的测量速度 Reference 测量机现有600, 700, 900三个系列,代表了Z 轴方向的行程。 1.全铝合金超强刚性的框架。 2.TRICISONTM 设计提供了极佳的刚性质量比,保证了高精密和长期稳定性。 3.质量很大稳固的花岗石工作台,削弱了振动带来的影响。 4.整个工作台完全由一块花岗石加工而成,并采用获得专利的内置一体式燕尾形导轨,因而5.可获得尽可能高的精度。 6.优化的弹性减振系统具有“可变硬度”,可把测量机从周围环境的振动中隔离出来。 7.驱动装置的工作点分布在移动部分的中心上。 8.高分辨率钢制光栅的位置靠近导轨,保证了尽可能高的测量复现性。 9.获得专利的重量补偿系统。 10.由于Reference 支撑较小,且台面高度较低,故在狭窄的空间内也可安装使用。 11.可无限制地接近测量空间。
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三维测量机相关的资讯

  • ​国产三坐标测量机产业走访第2站派姆特:自主创新精密测量技术,构建一体化三维测量平台
    近年来,我国高端制造业蓬勃发展,对高精度测量设备的需求持续攀升,极大地推动了以三坐标测量机为代表的精密测量仪器市场的迅猛增长。众多国内外知名品牌竞相涌入这一赛道,同时,也催生了一批崭露头角的国产新兴力量。在国产替代需求日益增长的趋势下,中国三坐标测量机企业迎来了前所未有的发展机遇。为深入了解中国三坐标测量机产业的发展态势,仪器信息网成立25周年之际,特别策划了“万里行”系列走访活动。该活动深入中国三坐标测量机代表性企业,与行业专家共同开展实地走访,探寻产业发展的最新进展和亮点,为发展新阶段赋能。走访第2站,由上海大学李明教授,仪器信息网产业研究部主任武自伟、营销服务中心经理韩永风、测量仪器编辑牛亚伟等组成的走访项目组走进派姆特科技(苏州)有限公司 (以下简称“派姆特”),派姆特华东区区域经理胡书飞、总裁助理Susan接待了走访一行人员。——企业发展进展派姆特成立于2019年,在中国、德国、日本均设有研发中心,并在苏州、西安建立了制造基地。得益于公司成立前的技术积累,派姆特在成立第一年即实现了盈利,且此后每年的收入都实现了翻倍增长。短短五年间,派姆特的团队规模已从最初的约30人发展壮大至现在的150余人。派姆特办公楼派姆特的创始人邰大勇,曾在德国马尔精密量仪和美国法如科技公司任职。他亲眼目睹了我国尺寸精密测量仪器市场几乎一度被国外品牌垄断的状况,这促使他萌生了创立一个拥有自主知识产权、受人尊重的国产高端品牌的念头。随着当前国内对供应链安全要求的日益提升,国产化替代需求旺盛,派姆特迎来了快速发展并受到了资本的青睐。2023年6月,公司获得了由中科创星独家投资的千万元级天使轮融资;同年11月,又获得了深圳高新投的第二轮融资;时隔不到一年,2024年5月,派姆特再次获得了卓远资本的第三轮融资。——产品技术与布局派姆特深耕便携式关节臂,拥有多项专利技术。其关节臂测量机涵盖6轴测量臂、7轴测量臂以及激光扫描臂,完美适应接触式与非接触式测量的多样化需求。设备内置平衡机构,采用等臂长设计,操作灵活自如,测量无死角。测量范围覆盖1.5-4.5米,可在5-45℃的全温度范围之内进行测量,内置温度传感器有效补偿温度变化带来的误差,确保测量精度位居国内顶尖水平,广泛应用于汽车、航空航天、国防军工、轨道交通、工程机械、教育等行业。胡书飞介绍道,为了向客户提供更多的测量方案,派姆特不断拓宽测量技术边界,致力于三坐标测量机的核心系统研发,包括测头、控制器和软件。去年,公司推出了FUTURE系列和PRIME系列桥式机型,以及SPACE车间型三坐标测量机。FUTURE系列采用矩形梁结构、气路分离独立控制等目前三坐标测量机的高端技术,可与进口品牌中高端计量设备相媲美。SPACE系列则专为加工现场设计,能够与机器人、自动上下料系统、机床系统等实现联机,为工业客户带来效率与质量的提升。CAM3软件作为派姆特产品矩阵的核心,是公司战略布局的重要一环。大部分三维测量硬件均需与CAM3软件配合使用,以发挥最大效能。胡书飞呼吁政府加大对软件国产化的支持力度,以便派姆特能够借此东风,打造出更加综合性的CAM3软件,以此为核心和平台,推动公司向更广阔的市场进军。目前,派姆特软件团队已超过20人,CAM3软件在上汽集团等企业中得到成功应用。派姆特的便携式测量臂由两个碳素纤维钢固定臂长和六到七个角度编码器组成。该编码器由派姆特自主研发和生产,可作为独立产品供应市场。派姆特产品矩阵市场调研数据显示,2022年全球三维尺寸测量仪器市场规模已突破100亿美元大关,预计未来将持续保持直线上升的增长态势。为了把握这一市场机遇,派姆特致力于打造一个集多场景应用、多测量精度需求的一体化三维测量平台。公司新推出的圆度仪、圆柱圆度仪和轮廓仪产品刚刚亮相市场,未来还将进一步拓展产品线,布局光笔测量仪和激光跟踪仪产品,以满足更广泛的市场需求。合影留念
  • 基于三坐标测量机测量双联行星轮对齿精度的方法探讨
    一、 前言根据自有设备情况选用公司齿轮测量机、三坐标测量机作为数字化设备,分别对双联行星轮对齿精度进行测量。通过分析测量过程及测量结果,对三坐标测量机间接测量法进行改进,即通过对大小齿轮轮廓进行扫描,构造虚拟量棒直径计算对齿角度偏差,并根据这种测量方法编制了三坐标自动测量程序,提高了检测效率及准确性,保证产品的合格率至98%以上。二、实施背景(一)背景近年来,为降低矿山运输行业成本,提高效率,大型工程运输车开始设计生产,其中轮式自卸车比较热门,一直占据市场主导地位。当前,全球每年轮式自卸车销售额高达100亿美元以上,并且连续6年保持30%的增长率,足以说明一个新兴品类正在崛起。(二)现状轮式自卸车电动轮组成的主要部件为双联行星轮。行星齿轮传动与普通齿轮传动相比,具有重量轻、体积小、传递功率大、结构紧凑、承载能力高等一系列优点,在工业领域应用广泛。在行星传动的各种型式中,NW、NN及WW三种型式的行星齿轮为双联齿轮,当前国内研制和承接的轮边减速器产品中,NW型双联行星轮组的制造工艺难度系数最大。目前,只有GE、西门子等极少数国际大公司具备制造高品质双联行星轮组的能力,形成市场垄断,利润高达500%。最近几年,国内研制了多种双联行星轮组对,但制造过程复杂,工艺和产线瓶颈较多。大多数公司只能选择自行配对组装,但却无法满足与客户整机零件的互换,与行业中成熟产品存在较大差距,产品的销价差别也很大。 (三)实施的紧迫性目前,中车戚墅堰所已涉及共计6款双联行星轮的研制,双联行星轮不仅可以作为零部件安装在总成上,还可以作为成品进行销售。通常双联行星轮需要经过热套、精磨轴承档、磨齿修正三个工序,每个工序都要检测对齿精度,只有保证每次检测的稳定和效率,才能使成品的对齿精度控制在顺逆30秒以内。为攻克目前产品中对齿精度检测的难点,本文对轮边减速器中的行星轮组对齿精度的相关工艺及检测要求进行了讨论分析,助力企业有效地提高生产效率,降低质量风险,固化生产周期并降低生产成本。三、测量方法及改进(一)间接测量方案及参数确定1.双联齿轮对齿技术简介行星齿轮机构传动是指二个或三个双联行星齿轮工作时与太阳轮、内齿轮同时啮合而形成的传动系统。双联行星齿轮对齿在技术条件上一般要求上下联的齿或槽中心对正,常用的对齿和测量方法是用插齿刀对齿,用圆柱棒进行偏差测量。2.测量设备配置检测设备配置如下表1所示,三坐标测量机是20世纪60年代发展起来的一种高效率的新型精密测量仪器。它的优点是:(1)通用性强,可实现空间坐标点的测量,方便地测量出各种零件的三维轮廓尺寸和位置精度;(2)测量精度可靠;(3)可方便地进行数据处理和过程控制。因此,它被纳入自动化生产线和柔性加工线中,并成为一个重要的组成部分。齿轮测量机主要用于测量齿轮的轮齿精度,包括齿形、齿向误差、周节累积误差、径向跳动误差等,测量精度高。表1 检测所用设备设备名称型号生产厂家三坐标测量机MMZ G 303020德国蔡司ZEISS齿轮测量机P65德国克林贝格3.测量参数的确定选用1Z057双联行星轮作为测量件,它是由小行星轮和大行星轮组合而成的。(如图1) 图1 1Z057双联行星轮选用三坐标测量机进行对齿精度测量时,首先要确定测量圆柱棒的直径。通过查阅1Z057 双联行星轮的设计蓝图,了解大小行星轮的参数,再根据参数信息计算最佳圆柱棒直径进行测量。为保证测量结果的准确性, 量棒直径不可太大, 也不可太小;若直径太大,与齿廓的接触点有可能超出大径,若直径太小, 则量棒外圆将与槽底接触。以上两种情况都无法得出正确的测量结果。为避免这些情况,选择量棒直径时,应使量棒外圆与齿廓的接触点落在分度圆及其附近的任意位置上,一般在距小径的(1/ 3~ 2/ 3 齿高之间为宜。当量棒外圆与齿廓的接触点落在分度圆上时,可通过公式1得出量棒直径。 公式(1)其中dp是量棒直径,db是分度圆直径,α是齿形角,Z为齿数,对于渐开线标准圆柱齿轮db=mz;小行星轮模数为8.367,齿数为17,齿形角为25度。经计算最佳量棒直径为φ16.771;大行星轮模数为8.175,齿数为72,齿形角为25度。经计算最佳量棒直径为φ15.797。4.间接测量方案根据公式(1)计算结果,我们选用φ16的量棒进行间接测量,测量方法如图2。 图2 测量小行星轮(左);测量大行星轮(右)先扫描上下两个轴承档连成公共轴线,确定轴线基准。将φ16的量棒卡入齿槽内,用探头确定量棒中心位置,建立坐标系,计算出上下中心的偏移量,得出对齿角度偏差。图3为测量数据报告,根据偏移量的正负值确定顺逆方向。 图3 测量数据5.数据验证选用齿轮测量机进行测量,首先找正双联齿轮的轴承档,输入大小行星轮参数,选择角度测量软件,自动扫描轴承档,确定基准中心线,然后扫描大小行星轮齿槽左右齿面的齿形轮廓和齿向轮廓,确定齿槽中心线,通过软件计算,得到偏转距离,从而得出对齿角度。测量过程如图4,数据报告如图5。 图4 测量小行星轮(左);测量大行星轮(右)图5 测量数据6.数据对比及测量存在的不足通过量棒间接测量的对齿角度为44秒,而齿轮测量机测量结果为1分05秒。以齿轮测量机测量结果为参考值,两次测量存在21秒偏差,偏差交大。对比两种测量方法,间接测量法以手动操作为主,人为不确定性较大;齿轮测量机通过扫描齿形轮廓和齿向轮廓确定齿槽中心线,得出对齿角度,数据精准性较高,但是起吊、找正及测量时间较长,效率低下,无法满足生产进度。(二)对齿精度检测工艺优化改善间接测量法测量结果偏差较大,特对其进行改进。首先选取小齿轮的上端面作为空转方向,小齿轮上端圆作为圆心,小齿轮两边对齿的中心点作为旋转方向建立初定位坐标系;通过初定位坐标系,三坐标测量机能够快速准确地扫描工件的上下两个轴承档并使其公共轴线成为基准;再通过三坐标测量机运用未知曲线扫描功能对上下齿轮中部(即齿向最高点)的齿槽两边进行扫描,得到2条V形曲线(如图6)。构造与V形曲线相切的两个虚拟圆形,小行星轮选择直径为φ16.771的圆,大行星轮选择直径为φ15.797的圆(如图7)。以轴线作为基准,小行星轮虚拟圆圆心到轴线的连线作为方向基准建立坐标轴。通过计算两个虚拟圆圆心到轴线连线的夹角得出对齿角度。 图6 扫描程序图7 小行星轮拟合圆(左);大行星轮拟合圆(右)表2 双联行星轮对齿角度数据序号改进前(三坐标)改进后(三坐标)(齿轮仪)方向10’40”0’22”0’20”顺时针20’38”0’18”0’20”顺时针30’42”0’23”0’20”逆时针40’20”0’13”0’10”逆时针50’15”0’36”0’35”逆时针60’40”0’51”0’50”逆时针70’28”0’9”0’12”顺时针80’30”0’13”0’13”顺时针90’5”0’21”0’20”顺时针100’13”0’35”0’35”顺时针110’30”0’15”0’12”顺时针120’28”0’10”0’12”逆时针130’5”0’24”0’20”顺时针140’45”0’24”0’25”顺时针150’5”0’25”0’23”顺时针160’10”0’30”0’29”顺时针170’5”0’20”0’20”顺时针180’30”0’10”0’5”逆时针190’24”0’23”0’25”逆时针200’19”0’40”0’38”顺时针210’28”0’14”0’10”顺时针220’13”0’32”0’30”顺时针230’10”0’30”0’32”顺时针240’40”0’25”0’25”顺时针250’15”0’33”0’30”顺时针260’29”0’22”0’20”逆时针270’42”0’22”0’25”顺时针280’8”0’29”0’28”逆时针290’28”0’16”0’12”逆时针300’40”0’20”0’21”顺时针平均偏差0’16”0’2”表2为30件工件的测量数据,以齿轮仪测量结果作为参考值。对比可见,改进前的数据平均偏差为16”,改进后的数据平均偏差为2”,表明改进后三坐标测量数据的稳定性及精确度都有了进一步提升,与齿轮仪的测量数据偏差较小,满足设计要求,提升测试效率,为双联行星轮的加工提供了强有力的数据支持,也为公司打破垄断走向市场提供了关键的检测技术支持。四、实施效果及意义通过对间接法进行改进优化,三坐标测量机适用于各类型双联行星轮组的对齿精度检测。对齿精度检测工艺的优化,也大大提升了产品合格率,取得了巨大成效,主要有以下4个方面。1.双联行星轮对齿精度合格率达98%;2.双联行星轮制造成本降低10%,产品质量和市场竞争力获得极大提高;3.双联行星轮的检测周期缩短20%,由以前的2天以上缩短至1天;4.双联行星轮可实现90%成品的对齿精度在正负30秒以内,媲美GE、西门子等公司同类产品要求。参考文献[1] 王兰群 张国建.渐开线花键M值得测量及量棒直径的选择 2005.9.1[2] 张志宏 张和平 双联行星齿轮模拟装配 2005.8.26[3] 郭海风 张丽 双联行星齿轮对齿技术 1994.1.1本文作者:中车戚墅堰机车车辆工艺研究所有限公司计量检测工程师 蒋瑞骐
  • 一文掌握我国三坐标测量机发展历史与市场现状
    三坐标测量机(Coordinate Measuring Machine,CMM)是指在一个六面体的空间范围内,能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器,又称为三坐标测量仪或三次元。回顾三坐标测量机发展史坐标测量机问世于19世纪60年代,最早的坐标测量机是一个仅仅配备X、Y、Z三轴数显的三维设备。据悉,第一台三坐标测量机由英国Ferranti开发。之后,英国LK公司宣称生产了第一台桥式测量机。1973年,蔡司成功制造出全球第一台CNC坐标测量机-UMM 500并首先使用计算机辅助工件坐标系代替机械对准,从此测量机具备了对工件基本几何元素尺寸、形位公差的检测功能。70年代中期,我国才开始三坐标测量机的研制,主要制造测量机的厂商有北京航空精密机械研究所(303所)、北京机床厂、上海机床厂、北京第二机床厂、天津大学、青岛前哨精密研究所、新天光学厂等等。由于当时测量机集成了光、机电一体化、补偿等技术因素,而国内水平有限,测量机的研制水平较低,主要以仿制外国产品为主,且没有成套的产品线。80年代,国内的生产厂商与国外生产厂商陆续合作,从国外引进生产许可证来生产,例如北京航空精密机械研究所和上海机床厂通过取得德国Leitz的生产许可证来生产测量机。1984年,青岛前哨精密研究所投入资金和科研团队研制测量机,并于1988年成功地制造出全花岗岩的高刚度高精度桥式固定测量机ZC8645,并在此基础上继续研发出多种不同尺寸、不同结构类型的测量机。到了90年代,青岛前哨精密研究所已经成为国内最主要的坐标测量机制造商。90年代,国内大型制造厂商的生产要求越来越高,对于测量机的需求越来越多,但其国内的生产和技术水平远达不到其测量标准。经过协商谈判,青岛前哨精密研究所与荷兰英狄沃斯公司成立了国内第一家测量机合资公司——青岛前哨英柯发设备有限公司,其技术水平与国际接轨。从1996年开始,青岛前哨英柯发设备有限公司产品稳坐国内第一宝座,并不断出口到国外多个地区。1999年,青岛前哨精密研究所与世界权威测量机制造厂商Brown&Sharp合资,成立了青岛前哨朗普测量技术有限公司(Brown&Sharp前哨)。之后,Brown&Sharp集团被海克斯康集团收购。2004年,青岛前哨朗普测量技术有限公司更名为海克斯康测量技术(青岛)有限公司。目前,我国测量机的主要生产厂商有303所、西安爱德华、青岛雷顿等,国际比较著名的测量机生产厂家主要有瑞典海克斯康、德国蔡司、德国温泽以及日本三丰等公司,其中计量型测量机市场主要被蔡司和海克斯康垄断。国内外三坐标测量机产品比较目前,国内与国外产品的差距主要体现在以下三个方面:从精度等级上看,进口精密计量型测量机能达到0.5微米以内的检测精度,而国产设备最高仅能达到0.8微米,且测量行程低于进口机型。进口机型从结构设计到材料呈现多方向发展状态,而国内多家厂商的产品在结构和材料上几乎完全相同,缺少创新能力。进口机型的控制系统、测头及测量软件等一般都具有自主知识产权,掌握全部或大部分核心技术;而国产机型除机械本体外,其余关键组成部分均采用国外品牌,自主研发能力较弱,缺少核心技术。国外计量型坐标测量机产品性能参数国内计量型坐标测量机产品性能参数注:表来自 王帼媛,张忠欣. 坐标测量系统精度提升技术研究. 2019航空装备服务保障与维修技术论坛暨中国航空工业技术装备工程协会年会论文集. 表中精度的计算公式中:L为所测长度尺寸值,单位mm。国内三坐标测量机的主要差距三坐标测量机主流厂商及其产品目前,我国市场上三坐标测量机的主要进口仪器供应商有:瑞典海克斯康、德国蔡司、德国温泽、日本三丰、日本东京精密等。国内厂商主要有:西安力德、西安爱德华、北京303所、深圳力合、青岛弗尔迪、青岛雷顿等。其中,海克斯康和蔡司产品在中国市场的占有量较大。另外,中国三坐标测量机厂商主要集中在西安和青岛两地。海克斯康自成立以来,已收购200余家公司,现有七个产业单元:智能制造、测量、PPM(工程类软件研发)、智慧方案、矿山、自主定位、农业。在中国,海克斯康集团拥有徕卡测量系统贸易(北京)有限公司、徕卡测量系统(上海)有限公司、海克斯康测绘与地理信息系统(青岛)有限公司、海克斯康测量系统(武汉)有限公司、台湾海克斯康测量仪器股份有限公司、思瑞测量技术(深圳)有限公司等各类经营实体。其中,海克斯康测量技术(青岛)有限公司是海克斯康计量产业集团的核心成员和九大测量机制造基地之一。海克斯康三坐标产品涵盖高、中、低端市场,且主要在中、低端市场,在中国测量机行业的市场占有率较高。海克斯康对外表示:其在中国测量机行业的市场占有率超过45%,客户广泛分布在汽车行业、航空航天、电子行业、模具工装、精密制造、国防军工、重工能源和家电等领域,尤其中国军工企业所使用的超高精度三坐标测量机,98%由海克斯康生产制造;其三坐标设备销售额位于全球前三。蔡司(ZEISS)是一家制造光学系统、工业测量仪器和医疗设备的德国企业。公司的名称来源于它的创始人之一——德国光学家卡尔蔡司。它由卡尔蔡司(Carl Zeiss)、恩斯特卡尔阿贝(Ernst Karl Abbe)和奥托肖特(Otto Schott)于1846年在耶拿(Jena)建立。卡尔.蔡司集团由六个独立运作的部门组成,即半导体技术、医疗系统、显微镜、工业测量技术、电子光学系统和消费光学产品。蔡司的三坐标测量机主要为技术型的中高端产品,在我国的市场占有率也较高。蔡司其客户主要集中在汽车、飞机、机械工程等行业。蔡司对外表示:几乎所有的组车厂都有蔡司的三坐标,如一汽大众,占据了其测量产品99.9%的份额;其三坐标设备总销售额位于全球前三。德国温泽集团(WENZEL)创立于1968年,是一家计量解决方案制造商,产品涵盖三坐标测量机、齿轮测量中心、工业CT、模具设计制造、高速测量和数字化系统以及逆向工程等领域。温泽现在全球范围拥有16家子公司,销售及服务伙伴遍及50多个国家和地区的跨国集团。2005年,温泽测量仪器(上海)有限公司在中国成立,主要负责中国及亚洲地区的标准三坐标测量机的组装生产以及温泽全系列产品的销售。温泽三坐标产品主要应用于汽车制造、机械工程、机电制造及其配套领域,在中国具有一定的销售额。日本三丰(Mitutoyo)成立于1934年,向全球范围的广大市场提供千分尺、卡尺等量具以及三坐标测量机、形状测量系统、视像测量系统及光学仪器等系统精密测量仪,是全球综合长度测量仪器的制造商巨头。于2001年成立了以销售服务为主的现地法人企业——三丰精密量仪(上海)有限公司(上海三丰),并以此为契机,于2004年成立了以华北地区为主的销售服务基地的现地法人,三丰精密量仪(天津)有限公司(天津三丰),包括合资的Leeport Metrology公司。2012年,上海三丰与天津三丰进行组织统合。目前,三丰公司在中国完成了华北、华中、华东、华南地区的销售和服务等统合,由三丰精密量仪(上海)有限公司统一管理。三丰产品主要应用于模具、电子、塑胶、五金机械、家居、汽车等领域,在中国市场具有一定的份额。东京精密(ACCRETECH)主要从事半导体加工制造设备及精密测量仪器,并在华成立全资子公司东精精密设备(上海)有限公司,主要生产销售三坐标测量仪、表面粗糙度、轮廓形状测量机、圆柱度测量机、光学测量机,以及半导体制造设备。东京精密三坐标主要应用于模具、车身等,其品牌影响力不如蔡司和海克斯康,在中国有一定的销售额。西安力德测量设备有限公司是一家中英合资的三坐标测量机制造商,2005年成立,位于国家级西安高新技术产业开发区。三坐标测量机产品有:EXPERT系列高精度移动桥式三坐标测量机、FLY系列移动桥式三坐标测量机、GREAT系列单边桥式三坐标测量机、GREAT-D系列超大量程龙门式三坐标测量机、S系列车间型超高速三坐标测量机、DRAGON系列手动三坐标测量机、TOP系列超高精度固定桥式三坐标测量机等。其产品主要应用于汽车、航空航天、船舶、电子、模具、教学等。爱德华是总部位于德国,在中国、德国和法国均设有研发与生产基地,横跨欧亚大陆的大型测量产业集团。西安爱德华测量设备股份有限公司,中外合资,自1997年成立,是中国较早从事坐标测量设备研发、生产与销售的企业之一。三坐标测量机产品有:Daisy系列移动桥式三坐标测量机、LEGEND系列桥式三坐标测量机、ML-III系列数控三坐标测量机、MGH系列高精度三坐标测量机、Dreamer系列复合式三坐标测量机、Perfect系列影像坐标测量仪、Perfect L系列影像坐标测量仪等。主要生产中小尺寸的生产型测量机,广泛应用于电子、汽摩、航空航天、船舶、高铁、模具、教育、国防安全等行业。中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所(北京303所)系中国航空工业集团公司所属的综合性基础技术研究所,成立于1961年,全国第一台激光陀螺、第一台电液伺服阀、第一台超精密车床、第一台三轴测试转台、第一台三坐标测量机、中华世纪坛旋转圆坛等均出自于该研究所。该研究所同时拥有测试技术及装备方向5个研究事业部及2个研究中心,分别从事惯性测试及装备、环境试验技术与设备、特种加工技术与设备、三坐标测量技术、精密导电滑环设计技术以及数字化检测技术等方向研究。三坐标测量机产品有:FUTURE系列三坐标测量机、GEM系列三坐标测量机、CENTURY系列三坐标测量机、LM 系列三坐标测量机、ORIENT 系列三坐标测量机等。北京303所是国内早期研究三坐标测量机的单位之一,国有研究所性质,具有硕士学位授予权。产品主要应用领域为航空航天、汽车、能源机械、模具、军工等。深圳力合精密装备科技有限公司成立于2017年,是由清华大学投资发展的国家高新技术企业,主要从事精密测量设备、卫星机电产品的研发和生产。三坐标测量机产品有:LIBRA固定桥系列、POLARIS移动桥系列、TAURUS龙门系列。目前业务分布于珠三角,长三角,北京、上海、天津、长春、成都、烟台及福州等地区。产品主要应用领域有模具、汽车、叶片、镜头、齿轮等。青岛弗尔迪测控有限公司于2011年01月28日成立,总部位于青岛市崂山区,是集研发、生产、销售为一体的专业三坐标测量机国家高新技术企业。青岛弗尔迪是青岛市质量技术监督局指定的三坐标检测基地、三坐标培训基地;是三坐标几何量行业内较早通过计量考核标准的企业;公司拥有多家分支机构,已具有年产500台三坐标测量机的生产能力;产品畅销国内外,出口量已达到销售总量的近50%。弗尔迪主要生产中小尺寸的CNC自动式和手动式测量机,在山东青岛地区有三坐标检测基地和三坐标培训基地。产品广泛应用于船舶制造、航空、航天、机械制造、汽车、精密制造、新能源制造、模具工装及高等院校等领域。公司具有年产500台三坐标测量机的生产能力。青岛雷顿数控测量设备有限公司成立于2006年,由位于美国马里兰州的Leader Metrology Inc 国际计量产业集团投资设立。Leader公司中国制造基地各类测量设备的生产能力已达每年1000台套。三坐标测量机产品有:Miracle系列三坐标测量机、Excellent系列三坐标测量机、Cruiser系列三坐标测量机、Metroking系列三坐标测量机、Navigator系列三坐标测量机、三维激光扫描测量机、Optek系列全自动三坐标影像测量仪、Tornado系列三坐标测量机等。广泛应用于汽车工业、航空航天、机床工具、国防军工、电子塑胶及模具等领域。

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  • 三坐标测量机测头的测球半径补偿误差的计算

    从 1950 年英国 FERRANTI 公司制造出第一台数字式测头移动型三坐标测量仪、 1973 年前西德OPTON 公司完成三维测头设计并与电子计算机配套推出第一个三坐标测量系统以来 , 经过几十年的快速发展 , 坐标测量技术已臻成熟 , 测量精度得到极大提高 , 测量软件功能更加强大 , 操作界面也日益完善 , 生产厂家遍布全球 , 开发出了适于不同用途的三坐标测量机型。几十年的发展充分证明 , 现代三坐标测量系统打破了传统的测量模式 , 具有通用、 灵活、 高效等特点 , 可以通过计算机控制完成各种复杂零件的测量 , 符合机械制造业中柔性自动化发展的需要 , 能够满足现代生产对测量技术提出的高精度、高效率要求 。除用于空间尺寸及形位误差的测量外 , 应用坐标测量机对未知数学模型的复杂曲面进行测量 , 提取复杂曲面的原始形状信息 , 重构被测曲面 , 实现被测曲面的数字化 , 不仅是坐标测量机应用的一个重要领域 , 也是反求工程中的关键技术之一 , 近年来也得到快速发展。

  • 【资料】工业应用中的三维几何测量仪器

    机床是制造业的母机,数控机床是机床产品的先进技术体现,特别是高档数控技术是装备制造业现代化的核心技术,是国家工业发展水平、综合国力的直接体现,此次展会汇集了当今世界机床发展和先进制造技术的最新成果,全面展示了我国数控机床产业近几年来高速发展的最新产品和技术。作为数控技术的重要环节——测量设备,在这次展会上展出了一批新技术、新产品,体现了当今测试计量技术发展动向和特点。 测量精度高  随着现代科技向高精度方向发展,机床作为装备工业的基础发展更应超前,而测量设备更由传统的微米、亚微米精度向着纳米量级精度方向发展。随着超精密加工技术的需要,数控精度愈来愈高,对测量设备的精度要求更高,这次展会展示了一批纳米量级的测量设备,除各种激光干涉仪外,光栅测量技术也达到纳米量级。如海德汉的LIP382超高精度直线光栅尺,其测量步距可以达到1nm。基于测量技术的发展,纳米量级的机床成为现实,如上海机床厂展出的纳米级精密微型数控磨床成为展会的一个亮点。测量速度高  现代制造业进行的是大规模、大批量、专业化生产,需要多参数、实时在线测量,故要求测试仪器的测量速度高、设备轻便、操作界面直观。如激光干涉测量技术作为精密测量的一种重要方法,各种激光干涉测量系统向着轻巧、便携、高测速的方向发展。雷尼绍XL-80干涉仪款型小巧,可提供4m/s最大的测量速度和50kHz记录速率,可实现1nm的分辨率;激光跟踪仪可实现快速数据采集与处理,有利于测量精度的提高。各种影像测量设备利用触摸屏可以方便直观地实现特征尺寸的测量。三维测量多样化  三维测量技术向着高精度、轻型化、现场化的方向发展。传统基于直角坐标的三坐标测量机经过50年的发展,其技术愈加成熟,测量更加快捷,功能更加强大。这次参展的国内外数十家坐标测量机生产厂商,各具特色,特别是国内很多厂家推出实用廉价的各种三坐标测量机,说明三坐标测量技术在我国已经走向全面实用化、特色化发展的道路。除直角坐标测量系统外,极坐标测量仪器体现出自身独特的优势,如FARO、ROMER等厂家生产的激光跟踪仪对大尺寸结构的装备现场具有方便灵活的特点。对于小尺寸测量,FARO、ROMER等生产的关节臂测量机因其低廉的成本、较高的精度、现场方便的操作等优势,在汽车等行业展现出广阔的应用前景。测量智能化  测量设备借助于计算机技术向着智能化、虚拟化的方向进一步发展。测量仪器的虚拟化、接口的标准化以及测量软件的模块化,加速了测量技术的发展,使测量仪器的应用更加方便、直观、智能。根据测量需求以及测量对象的不同,可基于同一软件平台使用不同的仪器协同工作,采用不同的测量软件模块,实现了广普测量仪器的网络化、协同化,提高了测量的自动化水平。在这次展会上,国内一些独立的测量软件公司进行了参展,对于测量设备的智能化、网络化具有推动作用。  这次展会展示了当今工业测量设备的新技术、新产品。但也同时看到,我国在测量仪器制造特别是高精度仪器制造方面缺乏自主创新的成果,一些高精度测量仪器在国内还没有相关单位能够生产。通过这次展会,对推动我国几何量测量设备的发展具有实际意义。

  • 【资料】三坐标测量机的日常保养及维护

    三坐标测量机的日常保养及维护三坐标测量机做为一种精密的测量仪器,如果维护及保养做得及时,就能延长机器的使用寿命,并使精度得到保障、故障率降低。为使客户更好地掌握和用好测量机,现列出测量机简单的维护及保养规程。如果要详细了解,一. 开机前的准备1. 三坐标测量机对环境要求比较严格,应按合同要求严格控制温度及湿度;2. 三坐标测量机使用气浮轴承,理论上是永不磨损结构,但是如果气源不干净,有油.水或杂质,就会造成气浮轴承阻塞,严重时会造成气浮轴承和气浮导轨划伤,后果严重。所以每天要检查机床气源,放水放油。定期清洗过滤器及油水分离器。还应注意机床气源前级空气来源,(空气压缩机或集中供气的储气罐)也要定期检查;3. 三坐标测量机的导轨加工精度很高,与空气轴承的间隙很小,如果导轨上面有灰尘或其它杂质,就容易造成气浮轴承和导轨划伤。所以每次开机前应清洁机器的导轨,金属导轨用航空汽油擦拭(120或180号汽油),花岗岩导轨用无水乙醇擦拭。4. 切记在保养过程中不能给任何导轨上任何性质的油脂;5. 定期给光杆、丝杆、齿条上少量防锈油;6. 在长时间没有使用三坐标测量机时,在开机前应做好准备工作:控制室内的温度和湿度(24小时以上),在南方湿润的环境中还应该定期把电控柜打开,使电路板也得到充分的干燥,避免电控系统由于受潮后突然加电后损坏。然后检查气源、电源是否正常;7. 开机前检查电源,如有条件应配置稳压电源,定期检查接地,接地电阻小于4欧姆。二. 工作过程中:1. 被测零件在放到工作台上检测之前,应先清洗去毛刺,防止在加工完成后零件表面残留的冷却液及加工残留物影响测量机的测量精度及测尖使用寿命;2. 被测零件在测量之前应在室内恒温,如果温度相差过大就会影响测量精度;3. 大型及重型零件在放置到工作台上的过程中应轻放,以避免造成剧烈碰撞,致使工作台或零件损伤。必要时可以在工作台上放置一块厚橡胶以防止碰撞;4. 小型及轻型零件放到工作台后,应紧固后再进行测量,否则会影响测量精度;5. 在工作过程中,测座在转动时(特别是带有加长杆的情况下)一定要远离零件,以避免碰撞;6. 在工作过程中如果发生异常响声或突然应急,切勿自行拆卸及维修,请及时与我公司联系,本公司会安排经过严格培训的人员前往,并承诺以最快的速度帮助客户解决问题。三、 操作结束后1. 请将Z轴移动到下方,但应避免测尖撞到工作台;2. 工作完成后要清洁工作台面;3. 检查导轨,如有水印请及时检查过滤器。如有划伤或碰伤也请及时与本公司联系,避免造成更大损失;4. 工作结束后将机器总气源关闭。

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    三维测量用探头,因具有测量装在活动部的Z向端部的触针和该活动部的坐标的测量构件,该活动部具有由空气轴承构成的能沿Z坐标方向移动的滑动部,能以低测量压力高精度地进行非球面透镜等的复杂曲面的形状测定、表面光洁度、级差方面等形状测定。
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    SA18-3A三维可微调拉曼/荧光测量平台 1 产品简介SA18-3A是一款紧凑型的三维可微调测量平台,适用于本公司的各系列拉曼探头和荧光探头。该产品可提供水平轴向60mm,水平纵向55mm的行程,读数精度1mm,同时竖直方向行程为100mm。 2 产品特性 ? 三维连续调节;? 快速定位;? 微调精度1mm。3 产品参数产品参数SA18-3A底座尺寸380×60×20mm水平平移台尺寸187×160mm竖杆高度300mm水平方向行程轴向60mm,纵向55mm竖直方向行程100mm读数精度1mm支架总重4kg适用产品RPB 拉曼探头系列/FPB 荧光探头系列4 使用示意图
  • 三维表面形貌仪配件
    三维表面形貌仪配件是德国进口的高精度多功能表面轮廓测量仪器,也是一款光学表面形貌仪,非常适合对表面几何形状和表面纹理分析。 三维表面形貌仪配件根据国际标准计算2D和3D参数,使用最新的ISO 25178 标准表面纹理分析,依靠最新的 ISO 16610 滤除技术进行计算,从而保证了国际公信力,以标准方案或定制性方案对二维形貌或三维形貌表面形貌和表面纹理,微米和纳米形状,圆盘,圆度,球度,台阶高度,距离,面积,角度和体积进行多范围测量,创造性地采用接触式和非接触式测量合并技术,一套表面形貌仪可同时具有接触式和非接触式测量的选择。 三维形貌仪配件参数: 定位台行程范围:X: 200 mm Y: 200 mm Z: 200 mm (电动) 接触式测量范围: 范围0.1mm, 分辨率2nm, 速度 3mm/s 范围2.5mm 分辨率40nm, 速度3mm/s 非接触式测量范围: 范围:300um, 分辨率2nm, 速度30mm/s 范围:480um, 分辨率2nm, 速度30mm/s 范围:1mm, 分辨率5nm, 速度30mm/s 范围:3.9mm , 分辨率15nm, 速度30mm/s 表面形貌仪配件应用:测量轮廓,台阶高度,表面形貌,距离,面积,体积 分析形态,粗糙度,波纹度,平整度,颗粒度 摩擦学研究,光谱分析 磨料磨具,航天,汽车,化妆品,能源,医疗,微机电系统,冶金,造纸和塑料等领域。
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