三次元探针

三次元旋振筛工作原理三次元旋振筛，由直立式电机作激振源，电机上端安装偏心重锤（基准块），下端安装可调节偏心块，如下图所示，当两侧偏心块向中间合拢，振幅变小；当偏心块向两侧分离，振幅变大。通过调节偏心块的位置将电机的旋转运动转变为水平、垂直、倾斜的三次元运动，通过调整下端两偏心块的夹角大小来控制振幅，把这个运动传递给筛面调节下端偏心块的相位角，可以改变物料在筛面上的运动轨迹。 三次元旋振筛外观结构 三次元旋振筛动画演示 三次元旋振筛特点 1.筛分过程全封闭，粉末不飞扬、液体不泄露、改善生产环境，筛分细可达500目（28微米）过滤细可达5微米。2.独特网架设计（子母式）、筛网使用长久、换网方便、仅需3-5分钟、操作简单、清洗方便。3.杂质、粗料自动排出，可以连续作业。 4.效率高、设计精巧耐用，任何粉类、粘液均可筛分5.筛机高可以达到五层，建议使用三层。三次元旋振筛适用行业化工行业：树脂、涂料、工业药品、化妆品、油漆、中药粉等。食品行业：糖粉、淀粉、食盐、米粉、奶粉、豆浆、蛋粉、酱油、果汁等。金属、冶金矿业：铝粉、铅粉、铜粉、矿石、合金粉、焊条粉末、二氧化锰、电解铜粉、电磁性材料、研磨粉、耐火材料、高岭土、石灰、氧化铝、重质碳酸钙、石英砂等。公害处理：废油、废水、染整废水、助剂、活性碳等。 医药行业： 中西药粉、中药药液、工业药液、工业药品、医药中间体、纤维素等陶瓷：泥浆、釉料、陶瓷原料三次元振动筛性能参数筛分物料材质比重筛网规格筛框面积干湿程度筛分重量（Kg)电玉粉0.840-801500-2s干2000Kg/h高岭土0.41001000-1s干200Kg/h研磨粉料1.540,60,2001000-3s干式1000Kg/h口服液12501000-1s湿2000L/h黑米10.168,10,14,16800-2s颗粒500L/h油漆1.1-1.2325450-1s液式1200L/h碳化硅1.73251000-1s干170Kg/h叶绿素0.448,200800-2s干100Kg/h中药液1180目800-1s湿1550L/h西药粉0.618,4001200-2s干400Kg/h医药中间体0.6120800-2s干150Kg/h镁1.74240,4001000-2s干粉式80Kg/h三次元振动筛技术参数设备型号电机功率（KW）筛面直径(mm)外形尺寸 (mm)筛网层数有效直径(mm)有效筛分面积 (㎡)JXSF-T600A0.55560760*760*63515300.2206JXSF-T600B760*760*7402JXSF-T600C760*760*8453JXSF-T800A0.757601000*100*77017300.4185JXSF-T800B1000*100*9102JXSF-T800C1000*100*10503JXSF-T1000A1.19351200*1200*89019250.5945JXSF-T1000B1200*1200*10302JXSF-T1000C1200*1200*11703JXSF-T1200A1.511301528*1528*945111000.8892JXSF-T1200B1528*1528*10052JXSF-T1200C1528*1528*11653JXSF-T1500A1.7514301758*1758*1120114001.4741JXSF-T1500B1758*1758*13102JXSF-T1500C1758*1758*15003JXSF-T1800A2.217302137*2137*1265117002.2698JXSF-T1800B2137*2137*14552JXSF-T1800C2137*2137*16453 三次元旋振筛日常维护1、旋振筛需要定期检查筛网的表面是否有破损，如果有破损需要及时更换，以免造成产品的筛分不合格；2、旋振筛要检查弹簧部件是否有松动，如果有松动需要用扳手上紧，以达到较好的筛分效果；3、检查旋振筛的筛框的V型圈是否有破损，如果有破损需要及时修补，防止物料泄露；4、检查旋振筛的电机，定期从黄油嘴处加注黄油。常见堵网原因及解决方法1、筛分时产生静电出现堵网问题，对于该问题我们可以选择特殊的超声波清网装置；2、含水量过高出现堵网问题，当物料含水量大于5%是应对其进行干燥处理，如无条件可对筛网、筛孔进行选择；3、不规则物料较多会引起堵网问题，对于该问题可以对物料进行破碎后再进行筛分工作或使用针对性的设备进行分级；4、筛网丝经过粗也会引起堵网问题，所以在选购时请选择正规筛网供应商。产品配置有多种参数规格可选，欢迎详询。

IBEX-300晶圆超快三维磁场探针台法国Hprobe公司于2017年3月在法国格勒诺布尔地区成立，旨在为集成电路领域提供快速、准确和灵活的测试设备，主要应用方向为磁随机存取存储器(MRAM)。MRAM技术作为芯片上系统嵌入式内存(SoC)的替代技术，越来越多的微电子行业的主要厂商对MRAM技术感兴趣，相应的高端测试设备需求也随之增加，而Hprobe公司生产的IBEX-300晶圆超快三维磁场探针台为一个不错的选择。 Hprobe IBEX 300-1C Hprobe IBEX 300-2C 相比于其他的探针台， IBEX-300晶圆超快三维磁场探针台是专门用于晶圆片在磁场作用下的表征和测试的仪器，它使用的三维磁场发生器和先进的可定制硬件，为磁性器件（传感器和存储器）的开发、工艺和生产带来了完整的测试解决方案。主要特点： ■ 可以用于100~300mm晶圆■ 提供大的面内和垂直磁场■ 磁场定向和旋转的三维控制■ 快速扫描能力 ■ 嵌入式传感器校准■ 自动测试程序■ MRAM和传感器参数提取软件■ 与标准探针卡兼容 主要应用方向：■ 磁性隧道结■ 磁随机存取存储器■ 集成磁传感器(Hall, GMR, TMR)■ 智能传感器 技术原理：探针台采用特的三维磁场发生器，每个磁场空间轴立驱动。利用这3个自由度，用户可以在任意空间方向应用和控制场，也可以生成旋转场。三维磁场装置配备了所有相关配件，测试程序和磁铁校准工具包。三维磁发生器置于探针台部，并在晶圆上产生局部磁场。为了适应器件测试设计，探头被放置在晶圆片和发生器之间的间隙中。磁场发生器和晶圆托之间的Z方向距离一般可在500μm至5mm之间可调，取决于所使用的探针卡和探针。三维磁场装置 相关参数： 面内 (XY)垂直 (Z)大单轴磁场350 mT550 mT磁场均匀性@ +/1mm± 1%± 1%磁场分辨率0.05 mT0.02 mT角度分辨率0,02°-场扫描采样率 50 kHz 50 kHzR-H 回线测试时间 100 ms 100 ms快速扫场能力：仪器配置： Hprobe探针台配备整套仪器驱动和测量大多数磁性器件，如MRAM (STT、SOT、电压控制)、传感器(AMR、GMR、TMR)和磁性MEMS。仪器可以包括源表和测量单元（SMU）、数字万用表（DMM）、任意波形发生器（AWG）、脉冲发生器（PG）、交换矩阵、数据采集板等。其他仪器可根据要求提供，并且可以很容易地集成到工具的硬件和软件中。 任意波形发生器（AWG）■ 双通道, 带宽 40MHz■ 正弦波, 方波 & 脉冲 至30MHz■ 斜波 & 三角波 至 200kHz■ 任意波形 1M 采样/通道■ 大采样速率 250M 采样/秒 脉冲发生器（PG）■ 脉冲宽度小至 200 ps ■ 上升/下降时间 70 ps (20%-80%)■ 输出电压 10 mVpp 至 5 Vpp■ 大重复频率 500 MHz 每通道l■ 幅值 大至 5V 源表和测量单元（SMU）■ 电压小量程 20mV■ 电流小量程 1nA■ 3,000 读数 /秒数字万用表（DMM）■ 18 位, 小量程 100mV■ 分辨率 10nV■ 小积分时间 10μ秒 探针卡：Hprobe探针台使用非常灵活，用户可以使用标准的商用探针卡，也可以使用带有DC和RF探头的微操作器。测试程序：该测试程序包含了所有满足用户需求的功能，从器件表征到产品开发，以及转移至生产等。它以三种模式运行:■ 标定模式–设置磁场配置并创建用户定义的图形■ 工程模式 –运行预执行的测试图形或创建并运行完整的自定义特性和测试■ 产品模式 –从工程模式中设置具有优化测试时间的测试程序 预先实现的测试模式包括(有或没有磁场):■ 开路/短路 测试■ AC/DC I-V, R-V 测试■ AC/DC 击穿电压测试■ 读/写脉冲测试■ R-H 角度/幅值 回线测试■ 误码率测试■ 器件循环和稳定性测试

测量器具（也称计量器具）是测量仪器和测量工具的总称。通常把没有传动放大系统的测量工具成为量具，如游标卡尺、直角尺和量规等；把具有传动放大系统的测量器具成为量仪，如机械式比较仪、测量仪、投影仪和影像测量仪。接下来妙机小编就和大家浅谈一下量具、量仪和三次元测量仪的相关知识。　　按照结构和工作原理划分，计量器具又分为机械式、光学式、气动式、电动式、光电式计量器具。　　光电式计量器具是利用光学方法放大或瞄准，通过光电元件再转换为电量急性检测，以实现几何量测量的计量器具，如光电显微镜、光电测长仪等，三次元测量仪器也是属于这一类。　　三次元测量仪是现代光电技术发展的结晶，在量具量仪等诸多计量器具的种类之中，三次元测量仪因为自动化的坐标测量方式使得综合测量在精益制造领域得以施展。配合ＯＧＰ的SmartPorfile综合测量评价软件,更可以跨越不同量仪的测量方式的限制而达到产品尺寸的全方位评价。　　综合上三次元测量仪厂家小编给大家讲的知识，相信大家对这方面的资讯已经非常了解，如有疑惑可以关注我们妙机科技的咨询了解，我们将竭诚为您服务。妙机科技采用创新性的SIC（SysteminCase）设计理念，将全自动测量仪常用的各种电路模块整合在一个盒子里，解决了过去板卡组件的系统繁杂，接线复杂，性能低下，故障率高的问题，使得全自动测量仪功能强大，结构简洁，高效可靠，易于接线和维护，从而率先推出龙门式全自动影像测量仪、一体式影像测量仪等高端重磅级测量设备，在全国乃至全球处于领先水平。

二次元测量仪、三次元同时作为两项光学测量仪的新型技术产品，按常理来讲，二次元影像测量仪在应用方面确实比三次元要低些。必竟，三次元是在二次元影像测量仪的基础上进行改良的。但是这样是不是意味着，二次元的市场将要被三次元取代呢？下面妙机专业人士给大家解答一下这个问题。有很多的客户在选购时，也经常问到：我们该买哪一款好呢？在这里，我们妙机二次元测量仪生产商可以很负责任的跟您讲，二次元和三次元都有各自的应用领域。并不一定是二次元能用到的地方，三次元测量仪就一定能用上。在这里我们还是再次澄清一下它们两者之间的区别和用途。通常，在测量体积不太，而且只需二维平面测量的，二次元测量仪厂家建议使用二次元影像测量仪。二次元固名思义，它能解决是二维测量问题。对三维的轮廓扫描是没有办法做得到的。因此通过二次元扫描成影的图像也只能生成CAD图纸。另外，二次元还有一显著特点：它是属于非接触型测量。这跟三次元是本质上的区别。所以二次元在测量平面的工件较适合了。例如：PCB板，手机平板，薄膜等。三次元测量仪主要是用在三维测量领域。主要针对的是立体的工件。并且扫描后的数据可以直接生成三维图纸。它可以对立体工件任何角度，任何部位进行测量。从而迷补了二次元的立体测量的空缺。它主要是用在五金模具，机械零件，自由曲面等领域。所以，我们的客户选购时，要根据他们本公司的需要，适当的选择合适他们的仪器。并不是三次元测量仪的功能多就一定要选。综合上影像测量仪厂家小编给大家讲的知识，相信大家对这方面的资讯已经非常了解，如有疑惑可以关注我们妙机科技的咨询了解，我们将竭诚为您服务。妙机科技达到高要求生产和测试标准，生产设备齐全先进，目前在国内外占有一定的市场并享有较高的品牌知名度，未来将持续朝更高速、更高精度测量产品方向发展。

中图仪器Mars国产三坐标三次元测量仪采用的测量技术和精密的传感器，结合精密的机械结构和温度补偿系统，精度高、重复性优。在连续生产过程中，中图仪器三坐标测量机在连续测量过程中能够提供一致的结果，通过确保每次测量的准确性，帮助企业减少材料浪费和相关成本。高精度：精密制造的核心1、精密的光栅系统：采用高分辨率金属光栅尺，确保机器在使用过程中具有高精度和长时间的稳定性。2、高精度测头：接触式或非接触式测头均经过精确校准，以捕捉细微的几何特征。3、测量分析软件：PowerDMIS三坐标测量软件是中图仪器自主研发，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB最小二乘法和最小区域法的双认证。高重复性：持续稳定的质量保障1、稳定的机械结构：关键部件一体铸造成型，结构紧凑、重量轻、强度高，运行更为快速平稳。2、精确的控制系统：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性。3、校准和维护：定期的校准和专业维护确保设备长期保持最佳状态。 Mars国产三坐标三次元测量仪支持触发探测系统，能够对各种零部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测。可用于机械制造、汽车工业、电子工业、航空航天工业以及计量检测等领域。主要特点1.三轴均采用低热膨胀系数的花岗岩导轨，机器具有良好的温度适应性，抗时效变形能力。2.环抱式气浮布局，使机器在高效稳定运行的同时保持高精度。3.关键部件一体铸造成型，重量轻，强度高，提升机器精度及运动平稳性。4.Z轴采用柔性平衡系统，降低摩擦阻力，提高Z轴运动精度。5.采用高精度、高分辨光栅尺，确保机器高精度和长时间稳定。6.高刚性传动方式，保证机器传动的平稳性和刚性。7.开放式的工作台面，具备良好的承载能力，以及开阔的测量视野。8.气压检测安全装置，时刻监测Z轴不因断气而下坠，确保测座测头使用安全。多种型号和配置的设备，满足客户的不同需求。设备操作简便，具有高速和高精度的测量功能，能够帮助客户有效提高工作效率和产品质量。还提供完善的售后服务，保障客户的设备操作顺利，降低客户的使用成本。国产化品牌本地化生产和供应链管理降低了生产和运营成本，使产品价格更具竞争力，而且性能同样可靠，提供了高性价比的选择。由于不同行业和领域的测量需求各不相同，国产三坐标测量机功能的研发和应用也可以根据具体情况进行定制和改进，国产品牌也能够更快地响应客户需求，提供及时的售后服务。Mars国产三坐标三次元测量仪更经济的价格获得高性能的测量设备，同时减少长期的维护和运营开支。

迈锐MPS系列磁探针站是目前市场上唯一能够提供任意二维或三维外加磁场方向的探针站，是自旋电子器件表征和自旋电子研究的终极解决方案。MPS系列磁探头站是市场上唯一提供晶圆级矢量磁场探测的探头站，使这些系统非常适合在生产环境中测试自旋电子和磁电子设备。完全可定制的、开源的、基于labview的控制软件，可轻松集成最常见的测试和测量设备。可提供高分辨率微定位器，配有40,80,100和200TPI螺钉，可用于微米级探针定位。收集和/或分析的数据具有广泛的输出格式和可用选项。系统提供三维霍尔探头，通过闭环控制提供无与伦比的稳定性和应用磁场的准确性。MPS-C-300和MPS-C-350磁探头系统是世界上第一个能够在被测设备周围提供三维磁场控制的探头站。MicroXact真正独特的正在申请专利的设计使自旋电子器件，纳米级电子器件以及许多其他需要磁场进行精确测试和测量的材料和器件的晶圆级测试成为可能。自旋电流和自旋转矩振荡器测试，磁模拟和复杂多层结构的各向异性识别只是我们的MPS系统应用的几个例子。磁场可以以三种模式被任意控制:固定的值, 线性扫描, 或者用户可以自定义。 Wafer size：10mm，可升到200mm 磁场：方向任意三维大6kOe (0.6T) 定向精度+/- 1.0 在10mm直径范围内的均匀性+/- 2% 稳定性优于0.1% 频率范围：DC to ~ 67GHz 分辨率：200mG CHUNK: Isolated, grounded or coaxial. 运动范围:100mm x 100mm 集成MPS系列软件，可在完全可控的三维磁场中快速、简便地捕获图像/视频。

在连续生产过程中，高重复性的三坐标测量机在连续测量过程中能够提供一致的结果，通过确保每次测量的准确性，帮助企业减少材料浪费和相关成本。中图仪器Mars精密三次元三坐标测量仪器采用的测量技术和精密的传感器，结合精密的机械结构和温度补偿系统，精度高、重复性优。不管是复杂的三维形状还是细微的尺寸差异，每一次测量都能达到微米级精度，实现对产品质量的严格把控。高精度：精密制造的核心1、精密的光栅系统：采用高分辨率金属光栅尺，确保机器在使用过程中具有高精度和长时间的稳定性。2、高精度测头：接触式或非接触式测头均经过精确校准，以捕捉细微的几何特征。3、测量分析软件：PowerDMIS三坐标测量软件是中图仪器自主研发，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB最小二乘法和最小区域法的双认证。高重复性：持续稳定的质量保障1、稳定的机械结构：关键部件一体铸造成型，结构紧凑、重量轻、强度高，运行更为快速平稳。2、精确的控制系统：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性。3、校准和维护：定期的校准和专业维护确保设备长期保持最佳状态。精密三次元三坐标测量仪器支持触发探测系统，能够对各种零部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测。可用于机械制造、汽车工业、电子工业、航空航天工业以及计量检测等领域，是现代工业检测和质量控制的检测设备。主要特点1.三轴均采用低热膨胀系数的花岗岩导轨，机器具有良好的温度适应性，抗时效变形能力。2.环抱式气浮布局，使机器在高效稳定运行的同时保持高精度。3.关键部件一体铸造成型，重量轻，强度高，提升机器精度及运动平稳性。4.Z轴采用柔性平衡系统，降低摩擦阻力，提高Z轴运动精度。5.精密三次元三坐标测量仪器采用高精度、高分辨光栅尺，确保机器高精度和长时间稳定。6.高刚性传动方式，保证机器传动的平稳性和刚性。7.开放式的工作台面，具备良好的承载能力，以及开阔的测量视野。8.气压检测安全装置，时刻监测Z轴不因断气而下坠，确保测座测头使用安全。 由于不同行业和领域的测量需求各不相同，国产三坐标测量机功能的研发和应用也可以根据具体情况进行定制和改进，国产品牌也能够更快地响应客户需求，提供及时的售后服务。测控部分测控部分的配置可以根据需求进行选择不同的型号和品牌。1、控制器中图Alpha系列控制器，是中图自主研发的三坐标控制器，可以匹配中图自己研发的测头测座系统和主机系统。性能特点：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；固态电子开关设计，无大功率继电器，具有更小的体积和冲击电流，更高的可靠性；同步PWM控制技术和共模抑制设计，环路响应快，驱动效率高，发热低；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性；控制器符合I++标准，能兼容市面上的主流测量软件。 2、测座ACH100T全自动旋转测座为中图仪器自主研发的自动旋转测座，可实现测头在A 轴和B 轴以7.5 度为增量移动，该测座具有720个可重复定位空间位置，可配置长达300mm 加长杆。精度超进口测座。性能特点：测座能实现A角度0-105°，B角度-180°-﹢180°的运动；测座采用精密的6点定位，实现测座的高定位精度；关键零部件采用复合材料、高强度材料；测座通过动态防撞、静态防撞设计，确保测座的使用安全。3、测头CP100T触发测头为中图仪器自主研发的机械式触发测头，可以在空间5个方向进行触发受力，经过长时间的反复对比测试，性能优于同类型进口测头。精度高，稳定性好。4、测量软件Power DMIS测量软件是中图仪器自主研发的三坐标测量分析软件，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB认证。

中图仪器Mars高精度桥式三坐标三次元测量机支持触发探测系统，能够对各种零部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测。支持中图Power DMIS、Rational DMIS、ARCOCAD等测量软件，支持中图Alpha系列控制器、Pantec控制器、雷尼绍UCC控制器等。在连续生产过程中，高重复性的三坐标测量机在连续测量过程中能够提供一致的结果，通过确保每次测量的准确性，帮助企业减少材料浪费和相关成本。Mars高精度桥式三坐标三次元测量机采用的测量技术和精密的传感器，结合精密的机械结构和温度补偿系统，精度高、重复性优；且国产化品牌本地化生产和供应链管理降低了生产和运营成本，使产品价格更具竞争力，而且性能同样可靠，提供了高性价比的选择。高精度：精密制造的核心1、精密的光栅系统：采用高分辨率金属光栅尺，确保机器在使用过程中具有高精度和长时间的稳定性。2、高精度测头：接触式或非接触式测头均经过精确校准，以捕捉细微的几何特征。3、测量分析软件：PowerDMIS三坐标测量软件是中图仪器自主研发，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB最小二乘法和最小区域法的双认证。高重复性：持续稳定的质量保障 1、稳定的机械结构：关键部件一体铸造成型，结构紧凑、重量轻、强度高，运行更为快速平稳。2、精确的控制系统：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性。3、校准和维护：定期的校准和专业维护确保设备长期保持最佳状态。测控部分1、全自主化运动控制器-ALPHA4中图Alpha系列控制器，是中图自主研发的三坐标控制器，可以匹配中图自己研发的测头测座系统和主机系统。性能特点：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；固态电子开关设计，无大功率继电器，具有更小的体积和冲击电流，更高的可靠性；同步PWM控制技术和共模抑制设计，环路响应快，驱动效率高，发热低；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性；控制器符合I++标准，能兼容市面上的主流测量软件。 2、全自主化测头测座系统测座ACH100T全自动旋转测座为中图仪器自主研发的自动旋转测座，可实现测头在A 轴和B 轴以7.5 度为增量移动，该测座具有720个可重复定位空间位置，可配置长达300mm 加长杆。精度超进口测座。性能特点：测座能实现A角度0-105°，B角度-180°-﹢180°的运动；测座采用精密的6点定位，实现测座的高定位精度；关键零部件采用复合材料、高强度材料；测座通过动态防撞、静态防撞设计，确保测座的使用安全。测头CP100T触发测头为中图仪器自主研发的机械式触发测头，可以在空间5个方向进行触发受力，经过长时间的反复对比测试，性能优于同类型进口测头。精度高，稳定性好。3、自主化三坐标测量软件-Power DMISPower DMIS测量软件是中图仪器自主研发的三坐标测量分析软件，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB认证。由于不同行业和领域的测量需求各不相同，国产三坐标测量机功能的研发和应用也可以根据具体情况进行定制和改进，国产品牌也能够更快地响应客户需求，提供及时的售后服务。Mars高精度桥式三坐标三次元测量机以更经济的价格获得高性能的测量设备，同时减少长期的维护和运营开支。

中图仪器Mars国产精密三次元座标测量机支持触发探测系统，能够对各种零部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测。它采用的测量技术和精密的传感器，结合精密的机械结构和温度补偿系统，精度高、重复性优。不管是复杂的三维形状还是细微的尺寸差异，每一次测量都能达到微米级精度，实现对产品质量的严格把控。高精度：精密制造的核心1、精密的光栅系统：采用高分辨率金属光栅尺，确保机器在使用过程中具有高精度和长时间的稳定性。2、高精度测头：接触式或非接触式测头均经过精确校准，以捕捉细微的几何特征。3、测量分析软件：PowerDMIS三坐标测量软件是中图仪器自主研发，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB最小二乘法和最小区域法的双认证。高重复性：持续稳定的质量保障1、稳定的机械结构：关键部件一体铸造成型，结构紧凑、重量轻、强度高，运行更为快速平稳。2、精确的控制系统：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性。3、校准和维护：定期的校准和专业维护确保设备长期保持最佳状态。Mars国产精密三次元座标测量机支持中图Power DMIS、Rational DMIS、ARCOCAD等测量软件，支持中图Alpha系列控制器、Pantec控制器、雷尼绍UCC控制器等；可用于机械制造、汽车工业、电子工业、航空航天工业以及计量检测等领域，是现代工业检测和质量控制的检测设备。主要特点1.三轴均采用低热膨胀系数的花岗岩导轨，机器具有良好的温度适应性，抗时效变形能力。2.环抱式气浮布局，使机器在高效稳定运行的同时保持高精度。3.关键部件一体铸造成型，重量轻，强度高，提升机器精度及运动平稳性。4.Z轴采用柔性平衡系统，降低摩擦阻力，提高Z轴运动精度。5.采用高精度、高分辨光栅尺，确保机器高精度和长时间稳定。6.高刚性传动方式，保证机器传动的平稳性和刚性。7.开放式的工作台面，具备良好的承载能力，以及开阔的测量视野。8.气压检测安全装置，时刻监测Z轴不因断气而下坠，确保测座测头使用安全。测控部分 测控部分的配置可以根据需求进行选择不同的型号和品牌。1、控制器中图Alpha系列控制器，是中图自主研发的三坐标控制器，可以匹配中图自己研发的测头测座系统和主机系统。性能特点：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；固态电子开关设计，无大功率继电器，具有更小的体积和冲击电流，更高的可靠性；同步PWM控制技术和共模抑制设计，环路响应快，驱动效率高，发热低；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性；控制器符合I++标准，能兼容市面上的主流测量软件。2、测座ACH100T全自动旋转测座为中图仪器自主研发的自动旋转测座，可实现测头在A 轴和B 轴以7.5 度为增量移动，该测座具有720个可重复定位空间位置，可配置长达300mm 加长杆。精度超进口测座。性能特点：测座能实现A角度0-105°，B角度-180°-﹢180°的运动；测座采用精密的6点定位，实现测座的高定位精度；关键零部件采用复合材料、高强度材料；测座通过动态防撞、静态防撞设计，确保测座的使用安全。3、测头CP100T触发测头为中图仪器自主研发的机械式触发测头，可以在空间5个方向进行触发受力，经过长时间的反复对比测试，性能优于同类型进口测头。精度高，稳定性好。4、测量软件Power DMIS测量软件是中图仪器自主研发的三坐标测量分析软件，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB认证。 国产化品牌本地化生产和供应链管理降低了生产和运营成本，使产品价格更具竞争力，而且性能同样可靠，提供了高性价比的选择。由于不同行业和领域的测量需求各不相同，国产三坐标测量机功能的研发和应用也可以根据具体情况进行定制和改进，国产品牌也能够更快地响应客户需求，提供及时的售后服务。Mars国产精密三次元座标测量机以更经济的价格获得高性能的测量设备，同时减少长期的维护和运营开支。

Mars通用型三次元高精度坐标测量机是国产三坐标测量机品牌。它支持触发探测系统，能够对各种零部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测。支持中图Power DMIS、Rational DMIS、ARCOCAD等测量软件，支持中图Alpha系列控制器、Pantec控制器、雷尼绍UCC控制器等。主要特点1.三轴均采用低热膨胀系数的花岗岩导轨，机器具有良好的温度适应性，抗时效变形能力。2.环抱式气浮布局，使机器在高效稳定运行的同时保持高精度。3.关键部件一体铸造成型，重量轻，强度高，提升机器精度及运动平稳性。4.Z轴采用柔性平衡系统，降低摩擦阻力，提高Z轴运动精度。5.采用高精度、高分辨光栅尺，确保机器高精度和长时间稳定。6.高刚性传动方式，保证机器传动的平稳性和刚性。7.开放式的工作台面，具备良好的承载能力，以及开阔的测量视野。8.气压检测安全装置，时刻监测Z轴不因断气而下坠，确保测座测头使用安全。Mars通用型三次元高精度坐标测量机采用的测量技术和精密的传感器，结合精密的机械结构和温度补偿系统，精度高、重复性优。不管是复杂的三维形状还是细微的尺寸差异，每一次测量都能达到微米级精度，实现对产品质量的严格把控。国产化品牌本地化生产和供应链管理降低了生产和运营成本，使产品价格更具竞争力，而且性能同样可靠，提供了高性价比的选择。国产三坐标测量机，控制器、测头测座、软件全自主研发，安全可控。测控部分1、全自主化运动控制器-ALPHA4中图Alpha系列控制器，是中图自主研发的三坐标控制器，可以匹配中图自己研发的测头测座系统和主机系统。性能特点：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；固态电子开关设计，无大功率继电器，具有更小的体积和冲击电流，更高的可靠性；同步PWM控制技术和共模抑制设计，环路响应快，驱动效率高，发热低；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性；控制器符合I++标准，能兼容市面上的主流测量软件。2、全自主化测头测座系统测座ACH100T全自动旋转测座为中图仪器自主研发的自动旋转测座，可实现测头在A 轴和B 轴以7.5 度为增量移动，该测座具有720个可重复定位空间位置，可配置长达300mm 加长杆。精度超进口测座。性能特点：测座能实现A角度0-105°，B角度-180°-﹢180°的运动；测座采用精密的6点定位，实现测座的高定位精度；关键零部件采用复合材料、高强度材料；测座通过动态防撞、静态防撞设计，确保测座的使用安全。 测头CP100T触发测头为中图仪器自主研发的机械式触发测头，可以在空间5个方向进行触发受力，经过长时间的反复对比测试，性能优于同类型进口测头。精度高，稳定性好。3、自主化三坐标测量软件-Power DMISPower DMIS测量软件是中图仪器自主研发的三坐标测量分析软件，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB认证。通用型三次元高精度坐标测量机适用于各种工业领域，包括汽车、航空、电子、机械等等。多种型号和配置的设备，满足客户的不同需求。设备操作简便，具有高速和高精度的测量功能，能够帮助客户有效提高工作效率和产品质量。还提供完善的售后服务，保障客户的设备操作顺利，降低客户的使用成本。

中图仪器Mars高精度国产桥式三次元坐标测量仪支持触发探测系统，能够对各种零部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测。仪器采用的测量技术和精密的传感器，结合精密的机械结构和温度补偿系统，精度高、重复性优。不管是复杂的三维形状还是细微的尺寸差异，每一次测量都能达到微米级精度，实现对产品质量的严格把控。主要特点1.三轴均采用低热膨胀系数的花岗岩导轨，机器具有良好的温度适应性，抗时效变形能力。2.环抱式气浮布局，使机器在高效稳定运行的同时保持高精度。3.关键部件一体铸造成型，重量轻，强度高，提升机器精度及运动平稳性。4.Z轴采用柔性平衡系统，降低摩擦阻力，提高Z轴运动精度。5.采用高精度、高分辨光栅尺，确保机器高精度和长时间稳定。6.高刚性传动方式，保证机器传动的平稳性和刚性。7.开放式的工作台面，具备良好的承载能力，以及开阔的测量视野。8.气压检测安全装置，时刻监测Z轴不因断气而下坠，确保测座测头使用安全。高精度：精密制造的核心 1、精密的光栅系统：采用高分辨率金属光栅尺，确保机器在使用过程中具有高精度和长时间的稳定性。2、高精度测头：接触式或非接触式测头均经过精确校准，以捕捉细微的几何特征。3、测量分析软件：PowerDMIS三坐标测量软件是中图仪器自主研发，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB最小二乘法和最小区域法的双认证。高重复性：持续稳定的质量保障1、稳定的机械结构：关键部件一体铸造成型，结构紧凑、重量轻、强度高，运行更为快速平稳。2、精确的控制系统：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性。3、校准和维护：定期的校准和专业维护确保设备长期保持最佳状态。Mars高精度国产桥式三次元坐标测量仪国产化品牌本地化生产和供应链管理降低了生产和运营成本，使产品价格更具竞争力，而且性能同样可靠，提供了高性价比的选择。由于不同行业和领域的测量需求各不相同，国产三坐标测量机功能的研发和应用也可以根据具体情况进行定制和改进，国产品牌也能够更快地响应客户需求，提供及时的售后服务。测控部分测控部分的配置可以根据需求进行选择不同的型号和品牌。1、控制器 中图Alpha系列控制器，是中图自主研发的三坐标控制器，可以匹配中图自己研发的测头测座系统和主机系统。性能特点：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；固态电子开关设计，无大功率继电器，具有更小的体积和冲击电流，更高的可靠性；同步PWM控制技术和共模抑制设计，环路响应快，驱动效率高，发热低；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性；控制器符合I++标准，能兼容市面上的主流测量软件。2、测座ACH100T全自动旋转测座为中图仪器自主研发的自动旋转测座，可实现测头在A 轴和B 轴以7.5 度为增量移动，该测座具有720个可重复定位空间位置，可配置长达300mm 加长杆。精度超进口测座。性能特点：测座能实现A角度0-105°，B角度-180°-﹢180°的运动；测座采用精密的6点定位，实现测座的高定位精度； 关键零部件采用复合材料、高强度材料；测座通过动态防撞、静态防撞设计，确保测座的使用安全。3、测头CP100T触发测头为中图仪器自主研发的机械式触发测头，可以在空间5个方向进行触发受力，经过长时间的反复对比测试，性能优于同类型进口测头。精度高，稳定性好。4、测量软件Power DMIS测量软件是中图仪器自主研发的三坐标测量分析软件，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB认证。Mars高精度国产桥式三次元坐标测量仪设计了多种型号，覆盖了不同尺寸的工作空间和测量范围，可以适应不同规模和类型的工件测量需求。无论是小型零部件还是大型结构，都能提供合适的测量解决方案。

自进入信息时代以来，科技发展越发迅速，三次元测量仪也已得到了广泛应用，妙机三次元测量仪检测精度高，效率也不断提升，选妙机仪器，无担忧！下面妙机小编就来给大家介绍一下关于妙机三次元测量仪的功能性。　　1.效率高　　坐标测量机用于自动测量，对于大宗工件的测量，与传统的测量方法相比，提高了50-100倍的测量效率，是工件测量的性变化，传统的测量方法远远落后。　　2.精度高　　毫无疑问，三次元测量仪设备拥有者比肉眼观察到的测量精度要高得多，目前设备已基本能够满足1μm测量精度要求，切割不同型号的产品以适应不同的环境，不同的精度需求的测量需求。　　3.功能强大　　对于传统的测量方法，测量表面测量，轮廓测量，复杂的几何部件测量等是困难的或不可能的。坐标测量机可以配备触发，扫描，光学或激光测量系统，并配备功能强大的测量软件(如AC-DIMS)，以满足任何几何测量要求的几何。　　4.种类繁多　　从桥式坐标测量机(如EdwardDaisy系列三次元测量仪)到龙门坐标测量机(如EdwardAtlas系列坐标测量机) 从地板到地面测量系统到实验测量系统 从静止测量系统复合图像测量系统，便携式测量系统，坐标测量机可用于航空航天，汽车制造，轨道交通，医疗设备，运动器材，能源，电子，模具，机械制造，标准件制造，教育等。所有的行业，制造业。　　以上为东莞三次元测量仪厂家给大家讲解的内容，希望能帮助到大家，如有意向想要购买或者想了解更多关于这方面的知识的朋友们，欢迎关注妙机科技网站或者致电联系，我们妙机科技公司是一家致力于生产、销售为一体的测量厂家，值得信赖！

中图仪器MarsCMM高精度三次元坐标测量机采用的测量技术和精密的传感器，具有高精度和优秀的重复性，设计了多种型号，覆盖了不同尺寸的工作空间和测量范围，能够满足各种精密测量需求。高精度：精密制造的核心1、精密的光栅系统：采用高分辨率金属光栅尺，确保机器在使用过程中具有高精度和长时间的稳定性。2、高精度测头：接触式或非接触式测头均经过精确校准，以捕捉细微的几何特征。3、测量分析软件：PowerDMIS三坐标测量软件是中图仪器自主研发，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB最小二乘法和最小区域法的双认证。高重复性：持续稳定的质量保障1、稳定的机械结构：关键部件一体铸造成型，结构紧凑、重量轻、强度高，运行更为快速平稳。2、精确的控制系统：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性。3、校准和维护：定期的校准和专业维护确保设备长期保持最佳状态。 MarsCMM高精度三次元坐标测量机国产三坐标测量机，控制器、测头测座、软件全自主研发，安全可控。以更经济的价格获得高性能的测量设备，同时减少长期的维护和运营开支。测控部分1、全自主化运动控制器-ALPHA4中图Alpha系列控制器，是中图自主研发的三坐标控制器，可以匹配中图自己研发的测头测座系统和主机系统。性能特点：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；固态电子开关设计，无大功率继电器，具有更小的体积和冲击电流，更高的可靠性；同步PWM控制技术和共模抑制设计，环路响应快，驱动效率高，发热低；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性；控制器符合I++标准，能兼容市面上的主流测量软件。 2、全自主化测头测座系统测座 ACH100T全自动旋转测座为中图仪器自主研发的自动旋转测座，可实现测头在A 轴和B 轴以7.5 度为增量移动，该测座具有720个可重复定位空间位置，可配置长达300mm 加长杆。精度超进口测座。性能特点：测座能实现A角度0-105°，B角度-180°-﹢180°的运动；测座采用精密的6点定位，实现测座的高定位精度；关键零部件采用复合材料、高强度材料；测座通过动态防撞、静态防撞设计，确保测座的使用安全。测头 CP100T触发测头为中图仪器自主研发的机械式触发测头，可以在空间5个方向进行触发受力，经过长时间的反复对比测试，性能优于同类型进口测头。精度高，稳定性好。3、自主化三坐标测量软件-Power DMISPower DMIS测量软件是中图仪器自主研发的三坐标测量分析软件，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB认证。国产化品牌：创新与成本效益的平衡国产化品牌本地化生产和供应链管理降低了生产和运营成本，使产品价格更具竞争力，而且性能同样可靠，提供了高性价比的选择。由于不同行业和领域的测量需求各不相同，国产三坐标测量机功能的研发和应用也可以根据具体情况进行定制和改进，国产品牌也能够更快地响应客户需求，提供及时的售后服务。MarsCMM高精度三次元坐标测量机适用于各种工业领域，包括汽车、航空、电子、机械等等。设备操作简便，具有高速和高精度的测量功能，能够帮助客户有效提高工作效率和产品质量。还提供完善的售后服务，保障客户的设备操作顺利，降低客户的使用成本。

MPS-C-3X0磁体探针台系统是世界上第一个探针台，能够在被测试的器件上提供三维磁场控制。真正独特的专利设计使自旋电子器件的做晶圆级测试、纳米电子和许多其他材料和器件在所需磁场中准确的测试和测量。自旋流和自旋矩振荡器测试，磁模拟和识别复杂的多层结构的各向异性只是应用我们的MPS系统的几个案例。MPS系列磁体探针台特点：MPS系列磁体探针台是市场上唯一能提供在应用磁场中对任意两或三维定位的探针台，是自旋电子器件的特性和自旋电子学研究的一个最终的探针台解决方案。MPS系列磁探针台是唯一在市场上提供的晶圆级别的矢量磁场探测的探针台，特适合于在生产环境中自旋和磁电子器件测试。MPS系列磁体探针台完全可定制的，基于开源的LabVIEW的控制软件，很容易与最常见的测试和测量设备集成。高分辨率微定位器40、80、100和200tpi下探针的微米级定位螺钉。数据收集和/或分析与广泛的输出格式和选项可用。系统提供了三维霍尔探头，以提供无与伦比的稳定性和精度所施加的磁场通过闭环控制。可选项：升级为150mm或200mm晶圆。扩展磁场均匀性/稳定性。高分辨率显微镜。用于探测期间的域成像偏振显微镜。 升级射频探针 扩展温度范围探测 相机的广泛选择 晶片卡盘广泛的选择 对micropositioners广泛的选择，探针和探针尖端武器 超真空泵 受控环境测量........

中图Mars三次元尺寸坐标测量机采用的测量技术和精密的传感器，结合精密的机械结构和温度补偿系统，精度高、重复性优。不管是复杂的三维形状还是细微的尺寸差异，每一次测量都能达到微米级精度，实现对产品质量的严格把控。主要特点1.三轴均采用低热膨胀系数的花岗岩导轨，机器具有良好的温度适应性，抗时效变形能力。2.环抱式气浮布局，使机器在高效稳定运行的同时保持高精度。3.关键部件一体铸造成型，重量轻，强度高，提升机器精度及运动平稳性。4.Z轴采用柔性平衡系统，降低摩擦阻力，提高Z轴运动精度。5.采用高精度、高分辨光栅尺，确保机器高精度和长时间稳定。6.高刚性传动方式，保证机器传动的平稳性和刚性。7.开放式的工作台面，具备良好的承载能力，以及开阔的测量视野。8.气压检测安全装置，时刻监测Z轴不因断气而下坠，确保测座测头使用安全。高精度：精密制造的核心1、精密的光栅系统：采用高分辨率金属光栅尺，确保机器在使用过程中具有高精度和长时间的稳定性。2、高精度测头：接触式或非接触式测头均经过精确校准，以捕捉细微的几何特征。3、测量分析软件：PowerDMIS三坐标测量软件是中图仪器自主研发，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB最小二乘法和最小区域法的双认证。高重复性：持续稳定的质量保障1、稳定的机械结构：关键部件一体铸造成型，结构紧凑、重量轻、强度高，运行更为快速平稳。2、精确的控制系统：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性。3、校准和维护：定期的校准和专业维护确保设备长期保持最佳状态。中图Mars三次元尺寸坐标测量机设计了多种型号，覆盖了不同尺寸的工作空间和测量范围，可以适应不同规模和类型的工件测量需求。无论是小型零部件还是大型结构，都能提供合适的测量解决方案。中图Mars三次元尺寸坐标测量机自主研发的专业三坐标测量软件，具有丰富的功能和直观的用户界面。用户可以轻松进行测量操作、数据分析和报告生成，提高工作效率和数据处理能力。

室温电磁铁探针台不仅可以完成永磁铁探针台所能完成的测试，并且可以为样品测试提供一个可变磁场，磁场较强，磁场均匀区较大。此款探针台专门为在测量过程中需要连续磁场变化的实验设计，在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。 PSEM系列室温电磁体探针台是一款专门针对室温可变磁场电测环境开发的探针台，提供±0.6T垂直磁场或±0.3T水平磁场，能够对2寸、4寸晶圆片进行重复性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。特点&bull 样品座可以放置4英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±50mm的移动行程，并且样品座本身可以进行三维上的精细调节，使得样品测试和换样 更加便捷。&bull 探针臂底座采用磁铁吸附固定，可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到4英寸样品的任意位置（探针臂可安装6个，水平磁场电磁铁探针台可安装4个）&bull 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线&bull 探针采用针套固定，只有针尖裸露在外，减小漏电&bull 电磁铁支架与探针台采用分体隔离支架，在磁体运动时避免振动传导到样品上&bull 样品固定方式采用多孔分区吸附，有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道，可吸附固定1mm*1mm样品&bull CCD放大倍数为180倍，工作距离为100mm型号分类：型号 PSEM-2H(水平磁场) PSEM-2V(垂直磁场)PSEM-4V(垂直磁场)样品座尺寸2英寸2英寸4英寸参数和指标： 样品座卡盘尺寸：2/4英寸，可定制材质：无氧铜镀金样品固定方式：多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道滑台X-Y移动行程：2/4寸:±50mm（水平磁场探针台无滑台）移动精度：10μm探针臂X-Y-Z移动行程：X-13mm，Y-13mm，Z-13mm旋转度：360度自由旋转移动精度：10μm探针臂数量：垂直磁场电磁铁探针台可安装6个；水平磁场探针台可安装4个电学线缆：三同轴线缆漏电流：100fA探针类型：直流探针光学系统显微镜放大倍数：10-180倍显微镜工作距离：90-100mmCCD相机分辨率：3800万像素电磁铁组件（垂直磁场）磁铁型号：EM-60V磁场大小：±0.6T磁铁间距：30mm极柱：直径60mm，标配一副50mm纯铁极头循环水冷却电磁铁组件（水平磁场）磁铁型号：EM-30H磁场大小：±0.3T磁铁间距：60mm极柱：标配一副60mm纯铁极头循环水冷却可加选件光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤

中图仪器Mars高效率高精度通用型三次元坐标测量仪移动桥式结构提高运动性能，确保测量精度及稳定性。支持触发探测系统，能够对各种零部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测，是现代工业检测和质量控制的检测设备。主要特点1.三轴均采用低热膨胀系数的花岗岩导轨，机器具有良好的温度适应性，抗时效变形能力。2.环抱式气浮布局，使机器在高效稳定运行的同时保持高精度。3.关键部件一体铸造成型，重量轻，强度高，提升机器精度及运动平稳性。4.Z轴采用柔性平衡系统，降低摩擦阻力，提高Z轴运动精度。5.采用高精度、高分辨光栅尺，确保机器高精度和长时间稳定。6.高刚性传动方式，保证机器传动的平稳性和刚性。7.开放式的工作台面，具备良好的承载能力，以及开阔的测量视野。8.气压检测安全装置，时刻监测Z轴不因断气而下坠，确保测座测头使用安全。Mars高效率高精度通用型三次元坐标测量仪控制器、测头测座、软件全自主研发，安全可控。采用自主研发的设计与测量系统，提供了测量机的高精度性能，结合多样化配置，可满足不同的测量需求。 测控部分1、全自主化运动控制器-ALPHA4中图Alpha系列控制器，是中图自主研发的三坐标控制器，可以匹配中图自己研发的测头测座系统和主机系统。2、全自主化测头测座系统测座 ACH100T全自动旋转测座为中图仪器自主研发的自动旋转测座，可实现测头在A 轴和B 轴以7.5 度为增量移动，该测座具有720个可重复定位空间位置，可配置长达300mm 加长杆。精度超进口测座。测头 CP100T触发测头为中图仪器自主研发的机械式触发测头，可以在空间5个方向进行触发受力，经过长时间的反复对比测试，性能优于同类型进口测头。精度高，稳定性好。 3、自主化三坐标测量软件-Power DMISPower DMIS测量软件是中图仪器自主研发的三坐标测量分析软件，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB认证。国产化品牌本地化生产和供应链管理降低了生产和运营成本，使产品价格更具竞争力，而且性能同样可靠，提供了高性价比的选择。由于不同行业和领域的测量需求各不相同，国产三坐标测量机功能的研发和应用也可以根据具体情况进行定制和改进，国产品牌也能够更快地响应客户需求，提供及时的售后服务。Mars高效率高精度通用型三次元坐标测量仪以更经济的价格获得高性能的测量设备，同时减少长期的维护和运营开支。

室温永磁铁探针台为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。另外，可用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要的霍尔参数。在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。 PSPM系列室温永磁体探针台是一款专门针对室温垂直磁场电测环境开发的探针台，提供0.5T垂直磁场，能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行重复性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。特点&bull 样品座可以放置8英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±100mm的移动行程，并且样品座本身可以进行三维上的精细调节，使得样品测试和换样更加便捷。&bull 探针臂底座采用磁铁吸附固定，可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到8英寸样品的任意位置&bull 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线&bull 探针采用针套固定，只有针尖裸露在外，减小漏电&bull 永磁铁采用电动控制，可以实现前进后退翻转运动&bull 永磁铁支架与探针台采用分体隔离支架，在磁体运动时避免振动传导到样品上&bull 样品固定方式采用多孔分区吸附，有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道，可吸附固定1mm*1mm样品型号分类：型号PSPM-2PSPM-4PSPM-6PSPM-8样品座尺寸2英寸4英寸6英寸8英寸参数和指标： 样品座卡盘尺寸：2/4/6/8英寸，可定制材质：无氧铜镀金样品固定方式：多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道滑台X-Y移动行程：2/4寸: X-Y轴±50mm；6/8寸: X-Y轴 ±100mm读数精度：10μm探针臂X-Y-Z移动行程：X-13mm，Y-13mm，Z-13mm旋转度：360度自由旋转移动精度：10μm探针臂数量：可安装6个探针臂（左右两边各3个）电学线缆：三同轴线缆漏电流：100fA探针类型：直流探针光学系统显微镜放大倍数：10-180倍显微镜工作距离：90-100mmCCD相机分辨率：3800万像素永磁铁组件磁场大小：0.5T磁铁间距：30mm磁铁极面尺寸：50mm可加选件 光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤

Avantgarde 室温永磁铁探针台为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。另外，可用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要的霍尔参数。在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。PSPM系列室温永磁体探针台是一款专门针对室温垂直磁场电测环境开发的探针台，提供0.5T垂直磁场，能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行重复性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。特点&bull 样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现最大X-Y轴±100mm的移动行程，并且样品座本身可以进行三维上的精细调节，使得样品测试 和换样更加便捷。&bull 探针臂底座采用磁铁吸附固定，可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到最大8英寸样品的任意位置&bull 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线&bull 探针采用针套固定，只有针尖裸露在外，减小漏电&bull 永磁铁采用电动控制，可以实现前进后退翻转运动&bull 永磁铁支架与探针台采用分体隔离支架，在磁体运动时避免振动传导到样品上&bull 样品固定方式采用多孔分区吸附，有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道，最小可吸附固定1mm*1mm样品型号分类：型号PSPM-2PSPM-4PSPM-6PSPM-8样品座尺寸2英寸4英寸6英寸8英寸参数和指标： 样品座卡盘尺寸：2/4/6/8英寸，可定制材质：无氧铜镀金样品固定方式：多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道滑台X-Y移动行程：2/4寸: X-Y轴±50mm；6/8寸: X-Y轴 ±100mm读数精度：10μm探针臂X-Y-Z移动行程：X-13mm，Y-13mm，Z-13mm旋转度：360度自由旋转移动精度：10μm探针臂数量：可安装6个探针臂（左右两边各3个）电学线缆：三同轴线缆漏电流：100fA探针类型：直流探针光学系统显微镜放大倍数：10-180倍显微镜工作距离：90-100mmCCD相机分辨率：3800万像素永磁铁组件磁场大小：0.5T磁铁间距：30mm磁铁极面尺寸：50mm可加选件 光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤

中图仪器Mars超高精度国产三次元3D坐标测量仪器集光、电、气、机械与计算机技术为一体，是在三维空间上通过采集点的三维坐标来评定物体几何形状。支持触发探测系统，能够对各种零部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测。Mars超高精度国产三次元3D坐标测量仪器采用的测量技术和精密的传感器，结合精密的机械结构和温度补偿系统，精度高、重复性优。不管是复杂的三维形状还是细微的尺寸差异，每一次测量都能达到微米级精度，实现对产品质量的严格把控。高精度：精密制造的核心1、精密的光栅系统：采用高分辨率金属光栅尺，确保机器在使用过程中具有高精度和长时间的稳定性。2、高精度测头：接触式或非接触式测头均经过精确校准，以捕捉细微的几何特征。3、测量分析软件：PowerDMIS三坐标测量软件是中图仪器自主研发，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB最小二乘法和最小区域法的双认证。高重复性：持续稳定的质量保障1、稳定的机械结构：关键部件一体铸造成型，结构紧凑、重量轻、强度高，运行更为快速平稳。 2、精确的控制系统：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性。3、校准和维护：定期的校准和专业维护确保设备长期保持最佳状态。国产化品牌本地化生产和供应链管理降低了生产和运营成本，使产品价格更具竞争力，而且性能同样可靠，提供了高性价比的选择。以更经济的价格获得高性能的测量设备，同时减少长期的维护和运营开支。测控部分测控部分的配置可以根据需求进行选择不同的型号和品牌。1、控制器中图Alpha系列控制器，是中图自主研发的三坐标控制器，可以匹配中图自己研发的测头测座系统和主机系统。性能特点：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力； 固态电子开关设计，无大功率继电器，具有更小的体积和冲击电流，更高的可靠性；同步PWM控制技术和共模抑制设计，环路响应快，驱动效率高，发热低；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性；控制器符合I++标准，能兼容市面上的主流测量软件。2、测座ACH100T全自动旋转测座为中图仪器自主研发的自动旋转测座，可实现测头在A 轴和B 轴以7.5 度为增量移动，该测座具有720个可重复定位空间位置，可配置长达300mm 加长杆。精度超进口测座。性能特点：测座能实现A角度0-105°，B角度-180°-﹢180°的运动；测座采用精密的6点定位，实现测座的高定位精度；关键零部件采用复合材料、高强度材料；测座通过动态防撞、静态防撞设计，确保测座的使用安全。3、测头CP100T触发测头为中图仪器自主研发的机械式触发测头，可以在空间5个方向进行触发受力，经过长时间的反复对比测试，性能优于同类型进口测头。精度高，稳定性好。4、测量软件Power DMIS测量软件是中图仪器自主研发的三坐标测量分析软件，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB认证。由于不同行业和领域的测量需求各不相同，Mars超高精度国产三次元3D坐标测量仪器功能的研发和应用也可以根据具体情况进行定制和改进，国产品牌也能够更快地响应客户需求，提供及时的售后服务。

IBEX-300晶圆超快三维磁场探针台主要特点： ■ 可以用于100~300mm晶圆■ 提供大的面内和垂直磁场■ 磁场定向和旋转的三维控制■ 快速扫描能力 ■ 嵌入式传感器校准■ 自动测试程序■ MRAM和传感器参数提取软件■ 与标准探针卡兼容

四探针三维样品台，主要用于搭载测试样品，可以三维移动、电性能测试、光电性能测试、光化学测试等。在进行太阳能光电转换实验时， 为了测试实验样品的转化效率，需要在照射的同时测定样品的各项参数，因为常规的万用表测量自身测量原理的局限性，在对半导体材料测量时不能够得到准确的数据。而采用四探针法测量时，配合相应的光电测试系统，得出的、稳定、准确的测试数据。探针平台技术参数平台型号AULTT-FTVMAULTT-FTVAAULTT-FTLMAULTT-FTLM样品放置面垂直垂直水平水平操作模式手动电动，PC控制手动电动，PC控制位移距离50mm50mm50mm50mm平台规格220*190*328mm210*210*278mm166*166*108mm210*210*120mm应用样品垂直放置光束水平照射样品垂直放置光束水平照射样品水平放置，光束由上向下照射样品水平放置，光束由上向下照射 1.AULTT-FTVM手动平台此款探针平台分为手动平台和自动平台，手动平台采用微分头进行手动调整操作。A.三维平台为三个位移平台及直角固定块组合而成，用于接收水平光源照射。B.每个位移台面可移动±25mm的距离，移动精度为0.02mm，可精确对准光源发射点。C.位移台采用丝杆传动，并用2根优质钢导轨作为稳定装置，移动稳定无颤动。D.探针组件固定后可调节位置，可适应边长25mm-45mm的被测样本。E.探针固定到绝缘针套内，保证“被测样本-探针-数据收集”整个测量环节内没有外部干扰，测量信号纯净。F.探针与针套不采用粘合剂固定，如需更换探针简单方便。G.采用正规厂商生产的尖头弹簧探针，表面镀铜工艺，确保接触信号良使用长久。 2.AULTT-FTVA自动平台适用于水平光束照射的自动平台采用步进电机作为驱动，除拥有手动平台的特点外还有以下特点。A.采用步进电机驱动，步进角为1.8°，保证了位移的精确度。B.拥有单独的控制器与位移平台连接，控制平台的运动，并可根据使用需要变更运动速度，最大速度可达到10mm/s。C.采用半闭环控制系统，可根据电机运动状态计算位移状态，可实现较精确的位移操作，重复定位精度可达到±5μ。D.拥有上位机软件，可在PC端对平台进行远距离控制。 3.AULTT-FTLM手动平台适用于光束垂直照射的探针平台同样分为手动平台和自动平台，手动平台的X、Y轴平移采用微分头进行精细调整，升降台采用螺杆调整。A.三维平台为两个位移平台及一个垂直升降台组成，用于接收垂直光源照射。B.每个位移台面可移动60mm的距离，移动精度为0.02mm，可精确对准光源发射点。C.垂直升降台行程为60mm-120mm，采用剪形支撑结构，可承载较大载荷，使用安全可靠。D.位移台采用丝杆传动，并用2根优质钢导轨作为稳定装置，移动稳定无颤动。E.探针组件固定后可调节位置，可适应边长25mm-45mm的被测样本。F.探针固定到绝缘针套内，保证“被测样本-探针-数据收集”整个测量环节内没有外部干扰，测量信号纯净。G.探针与针套不采用粘合剂固定，如需更换探针简单方便。H.采用正规厂商生产的尖头弹簧探针，表面镀铜工艺，确保接触信号良使用长久。 4.AULTT-FTLM自动平台适用于垂直光源的自动平台采用步进电机进行驱动，除拥有手动平台的特点外还有以下特点。A.位移平台采用步进电机驱动，步进角为1.8°，保证了位移的精确度，可达到±10μ。B.垂直升降台由原来的手动升降方式也更改为电机驱动的升降方式，可精确的调整升降高度，精度为5μ，重复定位精度可达到±10μ。C.拥有单独的控制器与位移平台连接，控制平台的运动，并可根据使用需要变更运动速度，最大速度可达到10mm/s。D.采用半闭环控制系统，可根据电机运动状态计算位移状态，可实现较精确的位移操作，重复定位精度可达到±5μ。E.拥有上位机软件，可在PC端对平台进行远距离控制。

产品概要：MPS-C-350探针台可以完全将样品放在可控三维磁场进行测试。MicroXact独特的设计使自旋电子器件、纳米电子器件和许多其他材料和器件的晶圆级测试成为可能。基本信息：1、磁场可以以三种模式被任意控制:固定的值, 线性扫描, 或者用户可以自定义2、Wafer size：10mm，可升级到200mm3、磁场：方向任意三维大至6kOe (0.6T)4、定向精度+/- 1.05、在10mm直径范围内的均匀性+/- 2%6、稳定性优于0.1%7、频率范围：DC to ~ 67GHz8、分辨率：200mG9、CHUNK: Isolated, grounded or coaxial.10、运动范围:100mm x 100mm技术优势：1、磁场可以以三种模式被任意控制:固定的值, 线性扫描, 或者用户可以自定义。2、定向精度+/- 1.03、在10mm直径范围内的均匀性+/- 2%4、稳定性优于0.1%5、频率范围：DC to ~ 67GHz6、分辨率：200mG7、集成MPS系列软件，可在完全可控的三维磁场中快速、简便地捕获图像/视频应用方向：广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。

产品简介磁场探针台主要用于半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件及相关技术领域的电、磁学特性测试,能够提供磁场或变温环境，并进行高精度的直流/射频测量。本公司产品设计和生产各类磁场探针台稳定性强、功能多样、可升级扩展,适用于各大高校、研究所及半导体行业的实验研究和生产。

LH-CRPS-EMHF是一款无需消耗制冷剂，依靠制冷机提供冷源的闭循环低温磁场探针台，配1T 水平磁场，实现样品面内增加磁场。此款低温探针台设计的初衷就是多功能和卓越的 专业测量性能，为制冷剂获得比较困难和追求操作便利的客户提供了一个完美的解决方案。通 过闭循环制冷机降温，降温过程中不需要其它辅助设备，只需要很少的电能即可，也不需要科 研人员值守操作。丰富的选件和配置确保科研人员能够实施严苛的、富有挑战的测试测量。LH-CRPS-EMHF可实现最大面内磁场1T 的情况下，实施C-V 、I-V、微波、及磁输运等测量测试。多个温度传感器分布于探针台各个位置，确保温度监视和测量的准确性和重复性。由于是二级制冷平台制冷机提供冷源，这样能保证样品温度维持在相对较高的温度，同时样品处于真空环境中，减少了凝结的可能性，在一些有机材料的严格测试要求中这一点比较重要。LH-CRPS-EMHF 最大可安装样品台直径，25mm(1in), 在最低温度8K 时可实现样品台，360度旋转，可测量磁场相关的各项异性参数。

中图品牌三次元测量仪三坐标Mars575采用的测量技术和精密的传感器，结合精密的机械结构和温度补偿系统，精度高、重复性优。不管是复杂的三维形状还是细微的尺寸差异，每一次测量都能达到微米级精度，实现对产品质量的严格把控。中图品牌三次元测量仪三坐标Mars575多种型号和配置的设备，满足客户的不同需求。设备操作简便，具有高速和高精度的测量功能，能够帮助客户有效提高工作效率和产品质量。还提供完善的售后服务，保障客户的设备操作顺利，降低客户的使用成本。主要特点1.三轴均采用低热膨胀系数的花岗岩导轨，机器具有良好的温度适应性，抗时效变形能力。2.环抱式气浮布局，使机器在高效稳定运行的同时保持高精度。3.关键部件一体铸造成型，重量轻，强度高，提升机器精度及运动平稳性。4.Z轴采用柔性平衡系统，降低摩擦阻力，提高Z轴运动精度。 5.采用高精度、高分辨光栅尺，确保机器高精度和长时间稳定。6.高刚性传动方式，保证机器传动的平稳性和刚性。7.开放式的工作台面，具备良好的承载能力，以及开阔的测量视野。8.气压检测安全装置，时刻监测Z轴不因断气而下坠，确保测座测头使用安全。相比于国外品牌，国产化三坐标测量机价格更具竞争力。国产化品牌本地化生产和供应链管理降低了生产和运营成本，使产品价格更具竞争力，而且性能同样可靠。以合理的价格为客户提供高品质的产品，为客户节约成本，提升竞争优势。测控部分1、全自主化运动控制器-ALPHA4中图Alpha系列控制器，是中图自主研发的三坐标控制器，可以匹配中图自己研发的测头测座系统和主机系统。 性能特点：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；固态电子开关设计，无大功率继电器，具有更小的体积和冲击电流，更高的可靠性；同步PWM控制技术和共模抑制设计，环路响应快，驱动效率高，发热低；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性；控制器符合I++标准，能兼容市面上的主流测量软件。2、全自主化测头测座系统测座ACH100T全自动旋转测座为中图仪器自主研发的自动旋转测座，可实现测头在A 轴和B 轴以7.5 度为增量移动，该测座具有720个可重复定位空间位置，可配置长达300mm 加长杆。精度超进口测座。性能特点：测座能实现A角度0-105°，B角度-180°-﹢180°的运动；测座采用精密的6点定位，实现测座的高定位精度；关键零部件采用复合材料、高强度材料；测座通过动态防撞、静态防撞设计，确保测座的使用安全。测头CP100T触发测头为中图仪器自主研发的机械式触发测头，可以在空间5个方向进行触发受力，经过长时间的反复对比测试，性能优于同类型进口测头。精度高，稳定性好。3、自主化三坐标测量软件-Power DMISPower DMIS测量软件是中图仪器自主研发的三坐标测量分析软件，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB认证。由于不同行业和领域的测量需求各不相同，中图品牌三次元测量仪三坐标Mars575功能的研发和应用也可以根据具体情况进行定制和改进，国产品牌也能够更快地响应客户需求，提供及时的售后服务。

chotest中图三坐标三次元测量仪高精度高重复性采用的测量技术和精密的传感器，结合精密的机械结构和温度补偿系统，精度高、重复性优。多种型号和配置的设备，覆盖了不同尺寸的工作空间和测量范围，可以适应不同规模和类型的工件测量需求。设备操作简便，具有高速和高精度的测量功能，能够帮助客户有效提高工作效率和产品质量。主要特点1.三轴均采用低热膨胀系数的花岗岩导轨，机器具有良好的温度适应性，抗时效变形能力。2.环抱式气浮布局，使机器在高效稳定运行的同时保持高精度。3.关键部件一体铸造成型，重量轻，强度高，提升机器精度及运动平稳性。4.Z轴采用柔性平衡系统，降低摩擦阻力，提高Z轴运动精度。5.采用高精度、高分辨光栅尺，确保机器高精度和长时间稳定。6.高刚性传动方式，保证机器传动的平稳性和刚性。7.开放式的工作台面，具备良好的承载能力，以及开阔的测量视野。8.气压检测安全装置，时刻监测Z轴不因断气而下坠，确保测座测头使用安全。高精度：精密制造的核心1、精密的光栅系统：采用高分辨率金属光栅尺，确保机器在使用过程中具有高精度和长时间的稳定性。2、高精度测头：接触式或非接触式测头均经过精确校准，以捕捉细微的几何特征。3、测量分析软件：PowerDMIS三坐标测量软件是中图仪器自主研发，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB最小二乘法和最小区域法的双认证。高重复性：持续稳定的质量保障1、稳定的机械结构：关键部件一体铸造成型，结构紧凑、重量轻、强度高，运行更为快速平稳。2、精确的控制系统：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性。3、校准和维护：定期的校准和专业维护确保设备长期保持最佳状态。chotest中图三坐标三次元测量仪高精度高重复性国产化品牌本地化生产和供应链管理降低了生产和运营成本，使产品价格更具竞争力，而且性能同样可靠，提供了高性价比的选择。由于不同行业和领域的测量需求各不相同，国产三坐标测量机功能的研发和应用也可以根据具体情况进行定制和改进，国产品牌也能够更快地响应客户需求，提供及时的售后服务。测控部分测控部分的配置可以根据需求进行选择不同的型号和品牌。1、控制器中图Alpha系列控制器，是中图自主研发的三坐标控制器，可以匹配中图自己研发的测头测座系统和主机系统。性能特点：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；固态电子开关设计，无大功率继电器，具有更小的体积和冲击电流，更高的可靠性；同步PWM控制技术和共模抑制设计，环路响应快，驱动效率高，发热低；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性；控制器符合I++标准，能兼容市面上的主流测量软件。2、测座ACH100T全自动旋转测座为中图仪器自主研发的自动旋转测座，可实现测头在A 轴和B 轴以7.5 度为增量移动，该测座具有720个可重复定位空间位置，可配置长达300mm 加长杆。精度超进口测座。性能特点：测座能实现A角度0-105°，B角度-180°-﹢180°的运动；测座采用精密的6点定位，实现测座的高定位精度；关键零部件采用复合材料、高强度材料；测座通过动态防撞、静态防撞设计，确保测座的使用安全。3、测头CP100T触发测头为中图仪器自主研发的机械式触发测头，可以在空间5个方向进行触发受力，经过长时间的反复对比测试，性能优于同类型进口测头。精度高，稳定性好。4、测量软件Power DMIS测量软件是中图仪器自主研发的三坐标测量分析软件，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB认证。

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