精度传感器

高精度测量气象六要素传感器气象观测是一项十分严谨又相当繁琐的工作，气象六要素传感器是基础的工作之一，但却是相当重要的，因为气象六要素传感器的质量直接影响气象预报的准确程度。对一定范围内的气象状况及变化进行观察和测定，然后把观测得到的数据结果进行采集和上传，为天气预 报、气候分析及气象研究提供依据，观测工作要系统和连续 地进行，对测得的数据要及时、准确上报。气象六要素传感器服务于多种生态和自然资源环境领域，可以监测和记录气象学、水文学和土壤与建筑活动、以及人为活动对自然的影响。传感器包括但不仅限于风速、风向、太阳辐射、空气温度、水温、土壤温度、相对湿度、降水、雪深、大气压力、土壤含水量、土壤电导率，以及土壤热通量。还可测量水环境因子，和空气环境因子。气象六要素传感器可观测温度、湿度、气压、风速、风向、降水等气象要素，并可获取实景观测图像。采用4G/LoRa/WiFi多种通信方式，保证气象与实景观测数据高频次上传云端。可通过手机APP、dashboard、API接口等方式提供多种形式的气象服务。可实现多设备组网联动，提供稳定可靠的气象数据采集及预报服务。[img=气象六要素传感器,400,400]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/04/202204280917012954_9705_4136176_3.jpg!w690x690.jpg[/img]气象六要素传感器是专门为农业、水文、气象、生态考察研究等开发生产的多要素气象六要素传感器。可测量雨量、风向、风速、温度、大气压力、湿度等常规气象要素，也可根据用户需求定制其它测量要素。气象六要素传感器系统特点：具有性能稳定，检测精度高，无人值守等特点。测量精度高，无须人工参与。节能设计，可选配太阳能电池板，适合无市电地区常年使用。监测要素：环境温度、相对湿度、风速、降水量、光照强度、土壤温度、土壤墒情、水面蒸发、大气压力、风向、太阳辐射。气象站信息处理软件介绍，气象六要素传感器信息处理软件，操作简单、管理方便、集成度高、实时显示，支持数据查询、曲线查询、校正时间等极大方便用户使用，使自动气象信息管理变的方便可靠。[img=气象六要素传感器,400,400]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/04/202204280917260421_6672_4136176_3.jpg!w690x690.jpg[/img]

热流传感器是测量热传递（热流密度或热通量）的基本工具，是构成热流计的最关键器件。热流传感器的性能和用途决定了热流计的性能和用途。热流计是指测定热流的仪表。热流是在单位时间内流经单位面积的热量，也可把热流理解为热能通过单位面积的速率。热流单位是W/m2。为测量某一局部的热辐射强度、热对流强度、热传导强度或总的传热速率，常采用热流计。[img=,690,389]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/12/201812100945267163_8586_3332482_3.jpg!w690x389.jpg[/img]热阻式（热电堆式热流传感器或称温度梯度型热流传感器）是应用最普遍的一类热流传感器。这类传感器的原理是：当有热流通过热流传感器时，在传感器的热阻层上产生了温度梯度，根据付立叶定律就可以得到通过传感器的热流密度，设热流矢量方向是与等温面垂直。为了提高热流传感器的灵敏度，需要加大传感器的输出信号，因此就需要将众多的热电偶串联起来形成热电堆，这样测量的热阻层两边的温度信号是串连的所有热电偶信号的逐个叠加，信号大能反映多个信号的平均特性。热电堆是热阻式热流传感器的核心元件，也是其他辐射式热流传感器的核心元件。[img=,394,383]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/12/201812100945512861_3850_3332482_3.jpg!w394x383.jpg[/img]热流传感器计作为热流计的关键性一次敏感元件，其测量结果的准确性是热流计可否信赖的关键。因此热流传感器在出厂前或使用一段时间后都要进行标定。另外，热流传感器在使用时，常常是粘贴在被测物体和表面或者埋没在被测物体的内部，这都会影响被测物体原有的传热状况，为了对这个影响有一个准确的估计，就必须知道热流传感器自身的热阻等性能，这也要在标定过程中加以确定。这里不得不提一下由工采网从国外进口的热流传感器 - MF180和热流传感器 - MF180M，这两款质量突出的热流传感器。这两款热流传感器适合材料内部的热流的直接测，也适合制冷剂的辐射流的测量 。测试原理 有三种热传导模式：热传导，热辐射和热流。如果热流传感器安置在材料的表面，它将测试这三种模式热 的总和。如果传感器安置在材料的内部，它直接测试由热传导产生的热传输。用热电偶测试温度的不同，穿过的热流能被直接测。[b]热流传感器与被测物粘贴紧密程度对热流测量精度的影响[/b]： 热流传感器与被测物粘贴的紧密程度，对热流的稳定时间有着非常大的影响。粘贴越紧密，稳定越快，测量偏差越小；反之，测量偏差越大。因此，在瞬态热流传感器的使用过程中，要尽量保证热流热流传感器能够紧密地粘贴被测物体，这样才能减少测量时间，提高测量精度。导热胶（导热硅脂）的应用，为解决这个问题提供了非常好的条件。[b]热流传感器厚度对热流测量精度的影响[/b]：当热流传感器厚度为0.1mm时，被测物表面热流稳定非常快，从开始到稳定只用了约0.5s的时间，通过热流传感器的热流值与实际值相差2.92%。当热流传感器厚度增加到1mm时，稳定时间达到了8s，为原来的16倍，热流值的偏差达到了6.26%。这主要是由于热流传感器厚度的增加，加大了热流传感器引入的热阻，使通过热流传感器的热流值产生了较大偏移。[b]热流传感器边长对热流测量精度的影响[/b]：热流传感器边长的改变并没有给热流的稳定时间造成太大影响，却给稳定值带来较大的偏差。边长从5mm变成10mm时，稳定热流值减小了8.4%，与实际值相差6.51%；边长从10mm变为20mm时，热流减小了4.3%，与实际值相差1.94%；边长从20mm变为30mm时，热流仅仅减小了0.4%，已经和真实值基本重合。这说明，热流传感器边长越长，稳定值越准确，且边长一定存在着一个最优值。这个最优值既能保证热流传感器尽可能小，又能保证所测热流的准确性。从本文的计算来看，这个最优值约为20mm。当被测物表面近似认为半无限大时，20mm可能是测量精度和热流传感器尺寸的最佳结合点。

http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/06/201506121116_549945_271_3.jpg在汽车衡购买决策过程中，有“五大牢记”能帮助您从眼花缭乱的市场中成为火眼金睛。那么，汽车衡的核心部件——传感器精度与汽车衡最小检定分度值之间的关系是怎样的呢？用一个公式可以说清楚： http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/06/201506121117_549947_271_3.png其中：Emin 指汽车衡的最小检定分度值；Emax 指汽车衡传感器的最大量程；Y指传感器的最小分度数；而n是使用的传感器数量。 从上面那个公式可以看出，同样规格的汽车衡，可能使用同样数量的传感器，甚至同样的传感器最大量程，这时候，最重要的指标就是传感器的最小分度数了。这个Y值，使不同汽车衡有了精度上的真正差异。Y值与Emin 成反比，也就是Y值越大，最后汽车衡可能达到的精度才越大！记住，只有最高精度，最佳设计的传感器，才能生产出最高精度的汽车衡！梅特勒-托利多汽车衡及解决方案：http://cn.mt.com/cn/zh/home/products/Transport_and_Logistics_Solutions/Truck_Scales.html继续阅读《选择汽车衡五大牢记》选择汽车衡五大牢记之轴载：http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20150612/5835681/选择汽车衡五大牢记之传感器量程：http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20150612/5835686/选择汽车衡五大牢记之传感器防雷能力：http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20150612/5835703/选择汽车衡五大牢记之传感器使用温度范围：http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20150612/5835710/http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/06/201506121117_549949_271_3.png

超低温、高精度型温度传感器是我们的强项，欢迎来电咨询，13585791751 .[sub]?[url=WWW.SENMATIC.COM]点击打开链接[/url][/sub][img=,268,232]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/01/202201121337188777_532_5521199_3.png!w268x232.jpg[/img]

[size=18px]浮球式水位传感器由干簧管开关，环形磁铁，以及浮子组成。环形磁铁置于浮球内，可随浮子的运动而移动。[/size][align=center][img=,468,378]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/08/202108271434487841_631_4008598_3.jpg!w468x378.jpg[/img][/align][size=18px] 浮子水位传感器的精度和可靠性容易受到外部因素的影响，容易出现精度差和可靠性低这是因为浮子液位开关是机械式的，其主要原理是当磁铁移动时，浮球和内部磁铁，随着水位的变化而变化，因其机械式工作原理以及结构设计，导致浮球式容易收到水位，水垢，杂物，物体粘度等影响。[/size][align=center][img=,690,321]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/08/202108271435046809_9201_4008598_3.jpg!w690x321.jpg[/img][/align][size=18px] 例如水垢是由于磁铁易吸收水中杂质导致的，且水垢的增加也会增加浮球的重量，影响精度，杂物和液体粘度会导致浮球卡住无法工作，温度也会影响浮球液位开关的工作，如果温度变低变硬，浮球可能卡住。 此外，市面上也有另外一种传感器——[url=http://www.eptsz.com][color=#000000]光电式水位传感器[/color][/url]，它利用光学原理，让头部暴露于空气（无液体状态）和液体（有液体状态）输出不同的信号，而且由于其结构简单，所以不易藏污垢，容易清洗，光电式水位传感器具有体积小、安装过程简单、安装空间小、定位精度准确等优点。[/size][align=center][img=,690,329]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/08/202108271435198007_7856_4008598_3.jpg!w690x329.jpg[/img][/align][size=18px][/size][align=right][size=18px]——深圳市能点科技有限公司[/size][/align]

[size=16px]　　食品快检设备如何校准高精度的传感器　　食品快检设备校准高精度的传感器的方法包括以下步骤：　　准备标准溶液：选择合适的标准溶液，如已知浓度的食品样品溶液或标准物质，用于校准高精度的传感器。　　插入电极：将用纯化水清洗过的电极插入标准溶液中，等待读数稳定。　　定位标定：在读数稳定后，按“定位”键(此时pH指示灯慢闪烁，表明仪器在定位标定状态)，使读数为该溶液当时温度下的pH值。　　确认标定：按“确认”键，仪器进入测量状态，pH指示灯停止闪烁。　　斜率标定(如果需要)：如果标准溶液的pH值不在仪器可测范围内，需要使用斜率标定功能。将电极插入另一个标准溶液中，待读数稳定后，按“斜率”键(此时pH指示灯闪烁，表明仪器在斜率标定状态)，使读数为该溶液当时温度下的pH值。然后按“确认”键，完成斜率标定。　　重复标定：根据需要，可以重复以上步骤，对多个标准溶液进行标定，以验证传感器的准确性和稳定性。　　数据记录与分析：记录每个标准溶液的标定结果，包括读数、温度和时间等信息。根据记录的数据进行分析，如计算误差、偏差等指标，以评估传感器的准确性和可靠性。　　校准证书：根据标定结果，可以生成校准证书或报告，用于记录传感器的校准结果和性能指标。　　维护与保养：定期对传感器进行维护和保养，如清洗、更换部件等，以保持其良好的性能和准确性。　　需要注意的是，具体的校准方法和步骤可能会因食品快检设备的型号、品牌和用途而有所不同。因此，在进行校准时，应遵循设备说明书或相关操作规程，以确保准确性和可靠性。[img=,690,690]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/11/202311201015280285_6173_6098850_3.jpg!w690x690.jpg[/img][/size]

[size=14px][color=#990000]摘要：为了保证科研生产中的安全运行和控制，针对一些对可靠性、安全性和产品价值要求较高的控制对象，往往要求传感器具有冗余设计。本文介绍了VPC 2021-1系列多功能超高精度PID控制器，主要介绍了此控制器的双传感器冗余功能及其使用方法。[/color][/size][size=14px][/size][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align][size=14px] 在各种工业和科研领域中，会采用大量各种传感器进行相应的过程参数测量和控制。在一些使用环境比较恶劣的条件下，如高低温、高压力、腐蚀、侵蚀、振动和强磁场等，传感器往往会受到损伤而发生故障，由此会在使用过程中给测量和控制带来严重影响，从而造成测量和控制效果降低，甚至造成产品报废和试验失败，更严重的还会造成控制失控而引发事故。特别是在一些高价值产品的长时间生产控制过程中，绝不允许期间出现中断而造成控制参数巨变造成高价值产品报废现象。[/size][size=14px] 为了解决上述运行过程中传感器损坏而带来的控制失效问题，最好的解决方法是进行冗余设计，即对工作用传感器进行备份。如图1所示，在被控对象中布置至少两个传感器，一个作为主传感器，另一个为备份传感器。当主传感器出现故障时，特别是主传感器出现断路时，控制器自动切换到备份传感器。[/size][align=center][size=14px][color=#990000][img=双传感器冗余示意图,500,294]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211161612313860_2879_3221506_3.jpg!w690x407.jpg[/img][/color][/size][/align][size=14px][/size][align=center][color=#990000]图1 冗余设计的双传感器（主传感器和备份传感器）[/color][/align][size=14px] 在控制过程和运行设备中配备双传感器比较容易实现，条件是主传感器和备份传感器的规格型号和量程要完全一致，但发挥这种冗余设计功效的关键是要求相应的PID控制器具有传感器断路自动监测能力，并同时要求能将控制回路自动切换到备份传感器。[/size][size=14px] 为了满足安全生产和控制需要，VPC2021-1系列多功能超高精度PID控制器配备这种双传感器冗余功能。如图2所示，此系列PID控制器具备万能型传感器输入功能，可连接的47种类型的输入信号，其中包括10种热电偶温度传感器、9种电阻型温度传感器、3种纯电阻、10种热敏电阻、3种模拟电流和12种模拟电压。在备份传感器的具体使用中，可以将两只完全相同的传感器分别接入主输入端和辅助输入端，并将辅助输入通道设置为双传感器冗余功能。开始运行后，控制器同时采集两只传感器信号，但采用主传感器信号进行控制。当主传感器开路时，当前测量自动转入辅助输入端（备份传感器）的测量值并继续进行控制。[/size][align=center][size=14px][color=#990000][img=具有双传感器冗余功能的多功能超高精度PID控制器,350,388]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211161614314227_180_3221506_3.jpg!w496x551.jpg[/img][/color][/size][/align][size=14px][/size][align=center][color=#990000]图2 具有双传感器冗余功能的PID控制器[/color][/align][size=14px] 这种双端口输入信号的功能还可以进行扩展，可以通过相应的设置用来进行加热器断丝报警、阀位反馈、远程设定、不同量程双传感器切换。[/size][size=14px] 总之，这种具体双传感器冗余功能的PID调节器完全可以满足安全控制的需要，功能十分强大，同时还保持了超高精度的测量控制能力。[/size][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align][size=14px][/size]

数字高精度太阳净辐射传感器太阳辐射是地球一大气系统重要的能量来源，也是产生大气运动的主要动力，它从根本上决定着地球一大气的热状况。太阳辐射在地球上的分布和变化，在气候变化及气候模式研究中有重要意义。太阳辐射的计算方法之一就是利用有限的地面辐射观测站资料与影响太阳辐射的各类因子建立统计模型来实现的。太阳总辐射与大气组成、气体吸收、分子和粒子散射以及辐射传输理论研究密切相关。世界气象组织《气象仪器和观测方法指南》给出了6种太阳净辐射传感器灵敏度的校准方法，用太阳或用实验室辐射源校准太阳净辐射传感器：①在直接太阳光束下，与标准直接辐射表（简称标准直表）比对和与有遮挡的总表进行散射部分的比较（简称成分和法）；②用太阳作为太阳净辐射传感器辐射源，与标准直表比对，此时太阳净辐射传感器应有一可移动的遮光盘（简称遮／不遮法）；③用太阳作为辐射源，使用标准直表和2台被校准的总表交替测量总辐射和散射辐射（简称迭代法）；[img=太阳净辐射传感器,400,400]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211150923452770_8442_4136176_3.jpg!w690x690.jpg[/img]④用太阳作为辐射源，在其他的自然的暴露状态下（例如，均匀的多云天空），与标准太阳净辐射传感器比较（简称平行比对法）；⑤在实验室中，在人造光源光台上，以垂直入射方式或以某特定的方位角和高度角入射的方式，与预先在室外检定过的相似的太阳净辐射传感器比对（简称太阳模拟器法）；⑥在实验室中，借助于一个模拟天空散射辐射的积分球腔体，与预先在室外检定过的相似的太阳净辐射传感器比对（简称积分球法）。太阳净辐射传感器的校准包括确定其灵敏度系数及其对环境条件的依从关系，如：温度、辐照度的强弱、光谱分布、角度分布、时间变化、仪器倾斜等。随着科学技术的发展，对太阳辐射测量数据准确度的要求也更加多样化，也就是说，不同的目的，对应着使用不同级别的太阳净辐射传感器，也就需要不同的量值传递方法。[img=太阳净辐射传感器,400,400]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211150924064203_4797_4136176_3.jpg!w690x690.jpg[/img]

[font='微软雅黑',sans-serif][color=#333333][back=white]光电液位传感器采用内置光学电子元件，具有体积小、功耗低的特点。这使得传感器可以轻松安装在各种狭小空间中，同时也能够节省能源，延长使用寿命。[/back][/color][/font][font='微软雅黑',sans-serif][color=#333333][back=white]光电液位传感器采用无机械运动的设计，不需要机械部件进行测量，因此具有更长的使用寿命和更高的可靠性。这种设计还能够减少维护和维修的成本，提高工作效率。[/back][/color][/font][align=center][img=光电液位传感器,690,206]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/08/202308121636305019_7788_4008598_3.jpg!w690x206.jpg[/img][/align][font='微软雅黑',sans-serif][color=#333333][back=white][url=https://www.eptsz.com]光电液位传感器[/url]具有IP68防水等级，能够在恶劣的环境中正常工作。无论是在水池、水箱还是其他液体容器中，传感器都能够准确地检测液位变化，确保设备的正常运行。[/back][/color][/font][font='微软雅黑',sans-serif][color=#333333][back=white]能点科技还支持个性化机型定制，根据客户的需求进行定制化设计。无论是特殊形状、特殊材质还是特殊功能，都能够提供满足客户需求的解决方案。[/back][/color][/font]

[align=left][font=宋体][color=#333333]在工业生产和日常生活中，液位传感器是一种常见的用于检测和测量液体位置的设备。根据检测原理的不同，液位传感器可以分为多种类型，如光电液位传感器和电容式液位传感器。本文将对光电液位传感器和电容式液位传感器进行对比分析，以便更好地了解它们的特性和应用。[/color][/font][/align][align=left][font=宋体][color=#333333]光电液位传感器利用光学原理来检测液位的存在。当光线通过液体时，光线的传播速度会因液体的存在而发生变化，从而改变反射光线的强度。通过检测反射光线的强度，可以确定液体的位置。因此，光电液位传感器不受液体的纯度、浓度或长期使用后沉淀的污垢的影响。相比之下，电容式液位传感器则是利用水位变化而产生的电容量不同来判定水位的高低。由于不同水质具有不同的电阻率，因此电容式液位传感器的准确性会受到水质的影响。此外，电容式液位传感器无法检测某些液体，如导电性较差的液体。[/color][/font][/align][align=left][font=宋体][color=#333333]在周边环境中，金属物体会对电容式液位传感器产生干扰，影响其正常工作。相反，光电液位传感器不受金属物体的影响。这使得光电液位传感器在某些应用场景中具有更好的适应性。[/color][/font][/align][align=center][img=光电液位传感器,600,449]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310211530394404_4872_4008598_3.jpg!w600x449.jpg[/img][/align][align=left][font=宋体][color=#333333][url=https://www.eptsz.com]光电液位传感器[/url]的水面精度为±[/color][/font][font='Tahoma',sans-serif][color=#333333]0.5mm[/color][/font][font=宋体][color=#333333]，而电容式液位传感器的水面精度为±[/color][/font][font='Tahoma',sans-serif][color=#333333]1.5 mm[/color][/font][font=宋体][color=#333333]。这意味着光电液位传感器在检测液体位置时具有更高的精度和更低的误差。[/color][/font][/align][align=left][font=宋体][color=#333333]光电液位传感器的安装方式更为灵活，可以在机器水箱的任意方位进行安装。而电容式液位传感器的安装方式相对局限，往往需要特定的安装位置和角度。这使得光电液位传感器的使用更加方便，适应性更广。[/color][/font][/align][align=left][font=宋体][color=#333333]光电液位传感器在多个方面相较于电容式液位传感器具有优势。它们对液体性质的要求较低，不受金属物体的干扰，具有更高的精度以及更灵活的安装方式。因此，在选择液位传感器时，光电液位传感器是一个值得考虑的选项。然而，根据具体应用场景的不同，电容式液位传感器也有其适用的场合，具体选用哪种传感器还需根据实际需求进行选择。[/color][/font][/align]

[size=18px]电容式水位传感器最重要的特点是非接触检测。由于浮球式液位传感器需要开孔，传感器必须与液体接触才能工作，可以应用于更广泛的领域，而电容式水位传感器的可靠性和精度要高于浮球式水位传感器。但对于精度要求高的设备，其可靠性和精度都达不到标准。例如，检测液体的医疗设备、高性能高端设备。电容式它还可以实现非接触式检测，分离式光电传感器其可靠性和准确度都高于电容式传感器。电容式是紧贴容器外壁进行检测。分离式光电传感器是将传感器部分与反射光的光锥分离，从而实现非接触检测，采用光反射原理工作，受外界因素影响较小。且可以达到±1mm 它具有控制精度高、重复精度高的特点。[/size][align=center][size=18px][img=,550,376]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/06/202106211450393303_2970_4008598_3.jpg!w550x376.jpg[/img][/size][/align][align=center][size=18px][img=,639,275]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/06/202106211450524316_5138_4008598_3.jpg!w639x275.jpg[/img][/size][/align][size=18px]通过调整软件或安装可避免水滴、水蒸气、红外线和水垢对分离式光电传感器的干扰。分离式光电传感器也可上下左右斜多方向安装，不会受到安装的干扰。[/size][align=right][/align]

[align=center][size=14px][img=双传感器自动切换PID控制器,690,426]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/07/202107281550092924_2978_3384_3.png!w690x426.jpg[/img][/size][/align][color=#990000]摘要：为了解决PID过程控制器中双传感器自动切换的难题，降低成本提高性价比，替代昂贵的英国欧陆公司2704系列产品，上海依阳实业有限公司推出了单通道和双通道系列的24位高精度PID过程控制器，每个通道都可以实现双传感器自动切换。采用双通道控制器还可以实现温度和真空度的同时测量和控制，温度和真空度测控都可以实现双通道自动切换。另外双传感器自动切换功能还可使备份传感器成为可能，可有效保证过程控制的连续性和安全性。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align][size=24px][color=#990000]1. 问题的提出[/color][/size][size=14px][/size]　　在许多工业控制领域中，如真空热处理、冷冻干燥机、高压釜、半导体加热炉、空间环境模拟室等，被控参数的量程往往会很宽泛，为了覆盖全量程范围内的准确测量和控制，往往需要两只不同量程的传感器。[size=14px][/size]　　如在温度测控过程中，往往在低温段采用热电偶温度传感器，在高温段采用红外测温仪，有时也会采用两种不同类型的热电偶温度传感器来覆盖宽的温度区间。[size=14px][/size]　　如在真空度测控过程中，往往会采用10Torr和1000Torr两只薄膜电容真空计来完成0.1~760Torr全量程范围的真空度准确测量和控制。[size=14px][/size]　　对于这种需要双传感器测量和控制的场合，目前普遍还是采用人工判断切换方式，这给实际应用带来很大不便。[size=14px][/size]　　国外著名厂商欧陆（EUROTHERM）公司针对上述应用，专门推出了2704系列PID过程控制器，但价格较贵。[size=14px][/size]　　为了解决PID过程控制器中双传感器自动切换的难题，降低成本提高性价比，替代昂贵的国外产品，上海依阳实业有限公司推出了单通道和双通道系列的24位高精度PID过程控制器，每个通道都可以实现双传感器自动切换，采用双通道控制器还可以实现温度和真空度的同时测量和控制，温度和真空度测控都可以实现双通道自动切换。另外双传感器自动切换功能还可以使备份传感器成为可能，有利于控制过程中若一只传感器出现故障而自动切换到第二只备份传感器，保证过程控制的连续性和安全性。[size=24px][color=#990000]2. 基本原理[/color][/size][size=14px][/size]　　双传感器自动切换的基本原理是在控制器主输入接口的基础上引入了一个辅助输入接口，如图2-1所示为两只传感器切换的情况。以温度传感器为例，高切换点（2-3）是第一只传感器工作的高点，低切换点（1-2）是第二只传感器工作的低点，在这两点之间控制器进行平滑计算。当主输入PV1和辅助输入PV2的测量值连续采样低于下切换点，切换到低温传感器。当主输入PV1和辅助输入PV2的测量值连续采样高于上切换点，则切换到高温传感器。[align=center][color=#990000][img=双传感器自动切换原理,690,452]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/07/202107281552543835_2273_3384_3.png!w690x452.jpg[/img][/color][/align][size=14px][/size][align=center][color=#990000]图2-1 双传感器自动切换原理图[/color][/align][size=24px][color=#990000]3. 控制器参数设置[/color][/size][size=14px][/size]　　双传感器高低量程的切换点数值判断以辅助输入测量值为判断依据，因此当系统采用双传感器测量和控制时，辅助输入接口做为高端量程传感器的信号输入源。[size=18px][color=#990000]3.1. 双传感器切换功能时，输入类型分辨率的设置[/color][/size][size=14px][/size]　　（1）主输入接口输入类型为热电偶或热电阻时[size=14px][/size]　　此时的温度单位“摄氏度”和“开尔文”设置为0.1度分辨率，温度单位“华氏度”为1度分辨率。即，主输入类型为热电偶或热电阻，温度单位为摄氏度或开尔文时，辅助输入通道小数点设置为1位小数。温度单位为华氏度时，小数点设置为0位小数。[size=14px][/size]　　（2）主输入通道的输入类型为模拟信号时（真空度测控情况）[size=14px][/size]　　根据小数点设定分辨率，两通道必须相同分辨率，即主输入和辅助输入保持相同小数位数，但相应的量程要根据传感器的实际量程进行设置。如对于10Torr和1000Torr两只真空计，其对应的模拟信号都是0~10V，但显示量程分别要设置为10和1000。[size=18px][color=#990000]3.2. 双传感器切换功能中的上下限切换点设置[/color][/size][size=14px][/size]　　在使用双传感器切换功能时，还需在控制器上进行相应子菜单设置，分别设置上限切换点和下限切换点，具体内容详见控制器使用说明书。[size=24px][color=#990000]4. 双传感器自动切换功能的应用[/color][/size][size=14px][/size]　　具有双传感器自动切换功能的PID过程控制器可应用于多种场合：[size=14px][/size]　　（1）由于双传感器功能能够同时从两个独立的传感器接收输入信号，这就使得控制器可用于测量两传感器之间的差值和平均值，如温差、平均温度、真空压力差和真空压力平均值。[size=14px][/size]　　（2）双传感器自动切换功能也可作为备份传感器切换功能使用，即在控制器上连接两只完全一样的传感器，当第一只传感器开路时，当前测量自动切换到第二只传感器测量值进行控制，由此对测量和控制起到保护和保险作用。[size=14px][/size]　　（3）由于上海依阳公司的VPC2021-2系列PID过程控制器具有双通道同时测控能力，而每一通道都配备了辅助输入端口，这样就可以同时连接4只传感器。这种4只传感器的接入能力，能带来非常多的组态形式，如同时进行两路不同变量（如温度和真空度）的测量和控制，其中2只传感器同时测控温度和真空度，其他2只传感器用来同时监测其他两个测量点处的测量值变化情况。[size=14px][/size]　　（4）在高真空工艺过程中，最常见的是使用扩散泵，并将扩散泵放置在真空炉膛和机械泵（粗真空）之间，而扩散泵和机械泵之间的区域称为前级室。机械泵将前级室气压降低到扩散泵的最大吸入压力以下，扩散泵才能开始正常运行。在典型的单室真空系统中，一般会配备三个真空计：在主真空室（或炉膛）中将安装两个真空计，一个用于低真空（皮拉尼真空计10-3 mbar），另一个用于高真空（有源倒磁控管AIM）仪表10-8mbar。而另一个皮拉真空计被视为单独的输入用来监控前级室气压。在实际应用中需要两个主真空室上的真空计进行自动切换，同时外加一个真空计监测前级室气压和一个温度传感器进行腔室温度测控。两种类型的真空计（每种都需要24V直流电源）提供2~10V直流对数输出，涵盖不同的真空范围。在实际控制过程中，两通道控制器将前级室与主真空室隔离并打开前级泵，当前级室达到设定的真空度时，控制器将改变其联锁装置，使扩散泵能够将炉子抽真空。同样，当炉子达到设定的真空度时，两通道控制器将控制执行设定的温度曲线，同时继续监测是否保持必要的真空度。[align=center]=======================================================================[/align][align=center][img=,690,349]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/07/202107281553360737_7536_3384_3.jpg!w690x349.jpg[/img][/align][size=14px][/size]

[color=#990000]摘要：为大幅度提高现有CMP工艺设备中压力控制的稳定性，在现有电气比例阀这种单回路PID压力调节技术的基础上，本文提出了升级改造方案，即采用串级控制法（双回路PID控制，也称级联控制），通过在现有电气比例阀回路中增加更高精度的压力传感器和PID控制器，可以将研磨抛光压力的稳定性提高一个数量级，从1~2%的稳定性提升到0.1~0.2%。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align] [size=18px][color=#990000][b]一、问题的提出[/b][/color][/size]在半导体制造过程中，化学机械抛光（CMP）是在半导体晶片上产生光滑、平坦表面的关键工艺。CMP工艺中的压力控制是决定最终产品质量的关键因素。如果压力过高，会损坏半导体材料；如果压力太低，会导致表面不平整。CMP系统中需要配置专用的压力调节装置，以确保压力保持在安全范围内。通过将压力保持在安全范围内，压力调节装置有助于确保半导体晶片在CMP过程中不被损坏。目前的CMP系统中普遍采用电气比例阀作为压力调节器，其典型结构如图1所示。在CMP中采用比例阀来控制抛光过程中施加在晶圆上的压力。由于比例阀是电子控制和压力值的模拟信号输出，因此可以通过控制系统（如PLC）对其进行动态编程和压力监控，这意味可以根据被抛光的特定晶片准确改变施加的压力。此外，由于电气比例阀作为压力调节器是一个闭环控制，即使在下游压力发生变化期间，施加在抛光垫上的压力也会保持不变，由此实现压力的自动调节。[align=center][img=常规研磨机电气比例阀压力控制系统结构,600,280]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209150917534790_1434_3221506_3.png!w690x322.jpg[/img][/align][align=center]图1 常规CMP系统中电气比例阀压力控制装置结构示意图[/align]在一些CMP工艺的实际应用中，要求抛光压力具有很高的稳定性，图1所示的常规压力调节装置则无法满足使用要求，这主要体现在以下几方面的不足：（1）电气比例阀的整体控制精度明显不足，其整体精度（包含线性度、迟滞和重复性）往往在1~2%范围内。这种精度水平主要受集成在比例阀内的压力传感器、高速电磁阀和PID控制器性能和体积等因素制约，而且进一步提高的空间非常有限。（2）电气比例阀安装位置与气缸有一定的距离，由此造成比例阀所检测到的压力值并不是气缸的真实压力，而且比例阀处压力与气缸压力之间有一定的时间滞后。为解决上述存在的问题，进一步提高现有CMP工艺设备中压力控制的稳定性，在现有电气比例阀这种单回路PID压力调节技术的基础上，本文将提出升级改造方案，即采用串级控制法（双回路PID控制，也称级联控制），通过在电气比例阀回路中增加更高精度的压力传感器和PID控制器，可以将研磨抛光压力的稳定性提高一个数量级，从1~2%的稳定性提升到0.1~0.2%。[size=18px][color=#990000][b]二、CMP设备压力控制的串级PID控制方案[/b][/color][/size]在传统的CMP设备压力调节过程中，采用电气比例阀进行压力调节的稳定性完全受集成在比例阀内的压力传感器、高速电磁阀和PID控制器性能和体积等因素制约。为了提高压力控制的稳定性，并充分发挥电气比例阀的自身优势，我们采用了一种串级控制技术，即在作为第一回路的电气比例阀中增加第二控制回路，其中第二控制回路由更高精度的压力传感器和PID控制器构成。串级PID控制方案的整体结构如图2所示。[align=center][img=03.超高精密研磨机电气比例阀压力串级控制系统结构,600,333]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209150918245058_1534_3221506_3.png!w690x384.jpg[/img][/align][align=center]图2 串级控制法CMP系统压力控制装置结构示意图[/align]在图2所示的串级控制法压力调节装置中，安装了一个外置压力传感器用于直接监测气缸内的气压，压力传感器检测到的气缸压力信号传输给外置的PID控制器，外置PID控制器根据设定值或设定程序将控制信号传送给电气比例阀，比例阀根据此控制信号再经其内部PID控制器来调节高速电磁阀的动作，使得电气比例阀输出到气缸的气体气压与设定值始终保持一致。从上述串级控制过程可以看出，串级控制是一个双控制回路，是两个独立的PID控制回路，电气比例阀起到的是一个执行器的作用。串级控制法（也称级联控制法）是一种有效提升控制精度的传统方法，但在具体实施过程中，需要满足的条件是：[color=#990000]第二回路的传感器和PID控制器（这里是外置压力传感器和PID控制器）精度一般要比第一回路的传感器（这里是电气比例阀内置的压力传感器和PID控制器）要高。[/color]为了实现更高稳定性的CMP系统压力控制，我们推荐的实施方案是采用0.05%精度的外置压力传感器和超高精度PID控制器（技术指标为24位ADC、16位DAC和双浮点运算的0.01%最小输出百分比）。此实施方案我们已经进行过大量考核试验，压力稳定性可以轻松达到0.1%。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]

[font=Helvetica][color=#212121][font=宋体]电容式水位传感器和光电水位传感器是常见的水位检测设备。它们都能够测量水的高度，但其工作原理和应用场景存在显著不同。[/font][/color][/font][font=Helvetica][color=#212121][/color][/font][font=Helvetica][color=#212121][font=宋体]电容式水位传感器通过电容变化来检测水位高度。电容是指两个导体之间的电荷储存能力，当水位变化时，传感器内部的电容会发生相应的变化。因此，电容式水位传感器适合于液体比较稳定的环境，如锅炉、储水池等场景。它具有灵敏度高、响应速度快、精度高等优点。[/font][/color][/font][align=center][img=水位传感器,690,334]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/05/202305181422138289_1096_4008598_3.jpg!w690x334.jpg[/img][/align][font=Helvetica][color=#212121][font=宋体]光电水位传感器则是通过光电反射原理测量水位高度。传感器发射红外线光束，当水面接近光束时，会反射出一部分光线，此时传感器接收到的光信号会发生变化从而测量水位高度。光电水位传感器适用于液体比较剧烈波动的环境，如水池、河流等场景。它具有高精度、可靠性强、抗干扰能力强等优点。[/font][/color][/font][font=Helvetica][color=#212121][/color][/font][font=Helvetica][color=#212121][font=宋体]综上所述，电容式[url=https://www.eptsz.com]水位传感器[/url]和光电水位传感器在工作原理和应用场景上存在显著的不同。选择合适的传感器类型应根据环境因素和需求来进行决策。[/font][/color][/font][font=Helvetica][color=#212121][/color][/font]

[align=center][/align]电流传感器具体的工作原理是：当主电路有大电流Ip流动时，导体周围会产生强磁场。该磁场由多磁环收集并作用于电流传感器器件以使其具有信号输出。该信号由放大器A放大并输入到功率放大器。此时，功率管的相应电压降变化以获得补偿电流Is。由于Is电流流过太多，绕组产生磁场Hs。 Hs与由主电流Ip产生的磁场Hp相反，由此补偿原始磁场，逐渐减小从霍尔器件输出的信号，最后乘以Is和匝数以产生磁场和磁场由Ip生成的字段。当它相等时，Is不再增加。此时，电流传感器达到零磁通量检测。如何选择当前电流传感器：霍尔电流传感器基于磁平衡霍尔原理。根据霍尔效应原理，从霍尔元件的控制电流端施加电流Ic，并且在霍尔元件平面的法线方向上施加具有B的磁场强度的磁场。然后，在垂直于电流和磁场的方向上（即，在霍尔输出端子之间），将产生电势VH，其被称为霍尔电势，其与控制电流I成比例。产品。即，其中K是霍尔系数，其由霍尔元件的材料确定 一，控制电流 B是磁场强度 VH是霍尔的潜力。电流传感器应用：电流传感器在许多领域都有应用，如电池监测，汽车，工业，铁路，机车，车载电力测试，能源和自动化等。电流传感器的主要特性参数：1、线性线性决定了电流传感器输出信号（次级电流IS）和输入信号（初级电流IP）与测量范围成正比的程度。2、温度漂移偏移电流ISO在25°C时计算。当霍尔电极周围的环境温度变化时，ISO会改变。因此，考虑偏移电流ISO的最大变化很重要，其中IOT指的是当前电流传感器性能表中的温度漂移值。3，偏移电流ISO偏移电流也被称为剩余电流或剩余电流。这主要是由霍尔元件或电子电路中的运算放大器不稳定造成的。当电流传感器在25°C和IP = 0下制造时，偏移电流会最小化，但传感器在离开生产线时会产生一定量的偏移电流。4、标准额定值IPN和额定输出电流ISNIPN是指电流传感器可以测试的标准额定值。它由有效值（A.r.m.s）表示。 IPN的大小与传感器产品的型号有关。 ISN是指电流传感器的额定输出电流，一般为10〜 400mA。当然，这可能会因型号而异。5、准确性霍尔效应电流传感器的精度取决于标准额定电流IPN。在+ 25°C时，传感器的测量精度对初级电流有一定的影响。同时，在评估电流传感器精度时，还必须考虑偏移电流，线性度和温度漂移的影响。电流传感器包含范围：[color=#333333]气体流量传感器丨微型压力传感器丨绝对压力变送器丨微量氧传感器丨[/color][color=#333333]数字温湿度[/color][color=#333333]传感器丨煤气检测传感器丨气压感应器丨一氧化碳传感器丨h2传感器丨压阻式压力变送器丨硫化氢传感器丨co2气体传感器丨光离子传感器丨ph3传感器丨百分氧传感器丨bm传感器[/color][color=#333333]丨超声波风速传感器[/color][color=#333333]丨氧气传感器丨电流传感器丨风速传感器丨voc传感器丨[/color][color=#333333]光纤应变传感器[/color][color=#333333]丨[url=http://mall.ofweek.com/category_63.html]电流传感器[/url]丨[/color][color=#333333]meas压力[/color][color=#333333]传感器丨位置传感器丨[/color][color=#333333]称重传感[/color][color=#333333]器丨甲烷传感器丨微流量传感器丨光纤应变传感器丨称重传感器丨三合一传感器丨sst传感器丨gss传感器丨ch4传感器丨氟利昂传感器丨硫化物传感器丨o3传感器丨双气传感器丨压电薄膜传感器丨一氧化氮传感器丨透明度传感器丨二氧化硫传感器丨氰化氢传感器丨煤气检测传感器丨燃气检测传感器丨电流氧传感器[/color]