[size=16px][color=#339999]摘要：针对X射线窗口膜材料机械性能测试中对真空度和高压压力的准确控制需要，本文提出了相应的解决方案。解决方案中采用了薄膜电容真空计、压力传感器、电动针阀、压力调节阀和真空压力PID控制器，与真空泵和高压气源配合，可在膜材料样品两侧形成准确的真空压差、微压差和高压压差，由此为窗口膜材料的杨氏模量、破裂压力和压力循环测试提供所需的真空压力环境。控制器自带的计算机软件可独立进行上述真空压力控制操作，并可显示和存储整个控制过程中的多个参数随时间变化曲线。[/color][/size][align=center][size=16px][color=#339999]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/size][/align][size=18px][color=#339999][b]1. 问题的提出[/b][/color][/size][size=16px] 窗口膜是X射线探测器的核心组件之一，其具有真空密封、透过X射线的功能。窗口膜的机械强度和透过X射线能力是决定X射线探测器性能的重要因素。图1所示为X射线探测器结构示意图。[/size][align=center][size=16px][color=#339999][b][img=01.X射线探测器及其透射窗口,650,241]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304130946305619_2340_3221506_3.jpg!w690x256.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#339999][b]图1 X射线探测器及其机构示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 探测传感器的稳定及可靠运行需要金属外壳密封，外壳顶部的探测端需要集成化的高透过率窗口，此窗口在保证X射线高透射的前提下，还能保证传感器处于高真空环境。高真空环境下工作，传感器可以有效地被冷却到适宜的工作温度，同时能避免了空气对传感器表面污染。因此，端窗膜至少需要承受一个大气压的压力差，这要求膜具有高的机械强度和稳定性。目前常见的窗口膜材料主要有：铍膜、聚合物膜、金刚石膜、氮化硅膜和石墨化碳膜。[/size][size=16px] 为了测试评价窗口薄膜材料的机械强度和稳定性，需要在X光探测器内外真空压力的模拟环境下，测试膜材料的杨氏模量和爆裂强度，并进行多次压力循环考核试验。图2所示为薄膜材料机械性能测试时的真空压力环境示意图。[/size][align=center][size=16px][color=#339999][b][img=02.窗口膜机械性能测试真空压力分布示意图,500,171]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304130946532094_6847_3221506_3.jpg!w690x236.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#339999][b]图2 窗口膜性能测试时的真空压力环境示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 在图2所示测试环境中，薄膜样品片固定在一个金属盘上，金属盘上有一已知直径的小孔。将金属盘固定在真空室上，使样品膜的顶面暴露在大气或正压环境中，底面暴露在真空室的可变压力下，通过控制加载的正压和真空度，可在膜样品量程形成一定的压差。膜样品在不同条件下存在三种状态：无压差自然状态、微压差延展状态和高压耐压状态，三种状态如图3所示。[/size][align=center][size=16px][color=#339999][b][img=03.窗口膜压差变形示意图,500,166]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304130947126106_6551_3221506_3.jpg!w690x230.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#339999][b]图3 窗口膜压差变形示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 在不同的压差状态下，需要对X射线窗口膜材料进行以下三项机械性能测试：[/size][size=16px] （1）在微压差状态下，控制膜顶面上的压力为一个标准大气压，膜的底面为变真空状态，使用浅焦平面显微镜物镜或非接触激光位移探测器等装置测量不同真空度下膜样品中心偏差，根据压差和中心偏差所建立的函数，可以测量得到窗口膜的杨氏模量。[/size][size=16px] （2）机械性能测试的另一个重要指标是薄膜的破裂压力，此时需要将膜样品底面的真空控制为一个大气压，而膜样品顶面压力控制为线性变化高压正压。[/size][size=16px] （3）为了考核膜窗口材料的稳定性，还需要进行压力循环测试，即膜样品两侧压差经历循环变化（10000次，绝压101~103kPa）的考核试验。[/size][size=16px] 由此可以看出，在窗口膜机械性能测试中，需要在膜的两侧形成准确的真空压力及其动态变化控制，为此本文提出以下真空压力控制解决方案。[/size][size=16px] 在图2所示测试环境中，薄膜样品片固定在一个金属盘上，金属盘上有一已知直径的小孔。将金属盘固定在真空室上，使样品膜的顶面暴露在大气或正压环境中，底面暴露在真空室的可变压力下，通过控制加载的正压和真空度，可在膜样品量程形成一定的压差。膜样品在不同条件下存在三种状态：无压差自然状态、微压差延展状态和高压耐压状态，三种状态如图3所示。在不同的压差状态下，需要对X射线窗口膜材料进行以下三项机械性能测试：[/size][size=16px] （1）在微压差状态下，控制膜顶面上的压力为一个标准大气压，膜的底面为变真空状态，使用浅焦平面显微镜物镜或非接触激光位移探测器等装置测量不同真空度下膜样品中心偏差，根据压差和中心偏差所建立的函数，可以测量得到窗口膜的杨氏模量。[/size][size=16px] （2）机械性能测试的另一个重要指标是薄膜的破裂压力，此时需要将膜样品底面的真空控制为一个大气压，而膜样品顶面压力控制为线性变化高压正压。[/size][size=16px] （3）为了考核膜窗口材料的稳定性，还需要进行压力循环测试，即膜样品两侧压差经历循环变化（10000次，绝压101~103kPa）的考核试验。[/size][size=16px] 由此可以看出，在窗口膜机械性能测试中，需要在膜的两侧形成准确的真空压力及其动态变化控制，为此本文提出以下真空压力控制解决方案。[/size][size=18px][color=#339999][b]2. 解决方案[/b][/color][/size][size=16px] 根据上述X射线探测器窗口膜材料机械性能测试对真空压力的要求，所设计的真空压力控制系统结构如图4所示。[/size][align=center][size=16px][color=#339999][b][img=04.X射线探测器窗口膜机械性能测量装置真空压力控制系统结构示意图,690,236]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304130947316561_3586_3221506_3.jpg!w690x236.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#339999][b]图4 真空压力控制系统结构示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 在图4所示的真空压力控制系统中，采用了分体法兰对接密封结构，即顶部和底部法兰通过对接方式将被测窗口膜样品密封夹持在中间位置。其中，顶部法兰提供样品膜上方的高压空间，底部法兰提供样品膜下方的真空空间，并分别配置相应的真空和压力控制装置。通过真空压力控制装置可以精确控制膜样品两侧的压差，为膜样品的机械性能测量提供所需真空压力环境。[/size][size=16px] 真空压力控制系统包括两部分内容：[/size][size=16px] （1）底部法兰真空控制装置：在膜样品下方提供准确可控的真空环境，真空度变化控制范围为绝对压力10~760Torr。采用绝对压力1000Torr量程的薄膜电容真空计测量膜样品下方的真空度，两个电动针阀分别调节进气和排气流量，真空泵进行抽气。真空压力PID控制器采集真空计信号，并根据设定值进行PID比较计算后输出控制信号，由此来自动调节电动针阀使真空度快速达到设定值。[/size][size=16px] （2）顶部法兰高压控制装置：在膜样品上方提供准确可控的高压环境，高压变化控制范围为表压0~1MPa。采用1MPa量程的压力计测量膜样品上方气压，压力调节阀输出所需气压，高压气瓶提供高压气源。真空压力PID控制器采集压力计信号，并根据设定值进行PID比较计算后输出控制信号，由此来自动调节压力调节阀使气压快速达到设定值。[/size][size=16px] 图4所示的真空压力控制系统，可完成窗口膜机械性能测试中的以下三项压差变化控制：[/size][size=16px] （1）杨氏模量的微压差控制：顶部法兰膜样品上方空间保持常压，对底部法兰膜样品下方的空间进行真空度控制，由此在膜样品两侧形成微压差，使膜样品产生变形以提供变形量测量。[/size][size=16px] （2）破裂高压控制：底部法兰膜样品下方空间保持常压，对顶部法兰膜样品上方的空间进行线性高压控制，控制压力从常压开始按照设定速率进行线性升压，并同时记录压力变化曲线。一旦压力升到一定高压产生破裂，则压力测量值会产生突变，由此得到破裂压力值。[/size][size=16px] （3）压力循环控制：关闭进气针阀和全开排气针阀，使底部法兰膜样品下方空间的真空度达到真空泵的抽取极限（如绝对压力1Pa）。然后对顶部法兰膜样片上方空间进行压力交变控制，控制器通过可编程的设定压力程序，使得压力在绝对压力101~103kPa之间周期性交替变化，周期数值可任意设定，如一万次等。[/size][size=18px][color=#339999][b]3. 总结[/b][/color][/size][size=16px] 通过上述真空压力控制解决方案，可实现各种X射线探测器窗口材料机械性能测试中的真空压力准确控制，解决方案具有如下特点：[/size][size=16px] （1）为窗口膜材料多个机械性能参数测试提供相应真空度和高压的准确控制。[/size][size=16px] （2）真空压力控制的整个过程全部自动化，真空压力按照测试要求所输入的设定值进行全自动控制，且具有很高的测量和控制精度。[/size][size=16px] （3）所采用的电动针阀和压力调节阀都具有很高的响应速度，有效缩短了压差稳定时间。[/size][size=16px] （4）真空压力PID控制器配备有相应的计算机软件，通过计算机软件就可独立完成真空压力控制，其中包括参数设置、控制运行、以及控制参数及其随时间变化曲线的自动显示和存储。[/size][align=center][size=16px][color=#339999]~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/size][/align]
[font=等线]光电液位传感器是一种利用[/font][font=等线]光线在水中和空中折射的不同来判断液位的变化，内部无机械运动，[/font][font=等线]相比传统的浮球[/font][font=等线]开关[/font][font=等线]，光电液位传感器具有更强的稳定性和可靠性[/font][font=等线]。[/font][font=等线]光电液位传感器采用光电原理，内部没有任何机械运动部件，因此不会因为机械部件的损坏或卡死而导致传感器的故障。这种无机械运动的设计使得光电液位传感器在长时间运行中能够保持稳定的性能，减少了维护和更换零部件的频率，降低了使用成本。[/font][font=等线]光电液位传感器体积小巧，安装简便。相比之下，浮球式液位传感器通常需要较大的安装空间，并且安装过程中需要考虑浮球的浮动范围和机械部件的位置，安装相对复杂。而光电液位传感器可以根据实际需求选择不同尺寸和形状，灵活性更高，安装也更加方便快捷。[/font][font=等线][url=https://www.eptsz.com]光电液位传感器[/url]响应速度快，精度高。由于光电原理的特性，传感器可以快速准确地感知水位的变化，并及时输出相应的信号，可以满足对于水位变化监测精度要求较高的场景，如水池水位控制、流量监测等。[/font][font=等线]相比浮球式液位传感器在稳定性、可靠性、安装方便性和响应速度等方面都有明显优势，是一种更为先进和可靠的水位传感器技术。随着科技的不断进步和应用场景的不断拓展，光电液位传感器在工业自动化、环境监测等领域的应用前景广阔。[/font]
[align=left]光电液位传感器的原理是采用两种不同介质界面的光反射和折射原理。它是一种新型的接触点液位测量和控制装置，可以检测液位并将其转换为输出信号。当然光电液位传感器的应用也是很广泛的，它可以应用到石油化工、冶金、电力、制药、供排水、环保等领域，能够准确测量液体情况。OFweek Mall总结了光电液位传感器的一些优势：[/align]1、响应的时间比较短光的传播速度本身就很快，光的传播速度约为每秒钟300000千米，因此光电液位传感器的电路由电子元件组成，因此它不包含机械工作时间，响应时间非常短。2、高液位检测精度污垢、液体中的杂项、沉淀等不会影响光电液位传感器的检测精度，不像电容式浮球型液位开关的液位控制精度为±3mm，光电液位传感器可将液位精度控制在±0.5mm以内。3、可以检测多种类型的液体由于光电液位传感器具有光学反射原理而没有检测，因此不像浮子式液位开关那样受液体碎片、的粘度的限制。它可以用杂质、腐蚀污水、。液体、测试粘性柴油机油和其他液体。4、高可靠性光电液位传感器采用光学反射原理进行液位检测，因此受液体、液体中液体腐蚀性杂质等因素的影响较小。6、液位低，无极限浮球式液位开关通过液体的浮力向上和向下推动浮球，使内部簧片开关打开和关闭，因此浮子具有一定的水位，因此醉低液位将非常大。光电级开关的限制不存在。7、非接触式检测通过单独的光电液位传感器，液体容器可与机器分离，并可用于检测液位而不接触液体。可以移动水箱以便于清洁。正常情况下，OFweek Mall技术工程师推荐使用以下这款光电液位传感器：[b]英国SST 光电式液位传感器/光电液位开关-LLC200D3SH 特点[/b]1) M12或者1/2” SAE接口2) 三线电气接口3) 250mA输出4) 有常温和高温型两种版本可供选择（高温可达125摄氏度）光电式液位传感器/光电液位开关LLC200D3SH（工业级）典型应用:1.机器润滑油、散热剂、冷冻剂液位检测2.齿轮箱、传动箱油剂液位检测3.泵、变速箱液位检测[img=,299,258]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/11/201811061600389282_8779_3422752_3.png!w299x258.jpg[/img]光电液位传感器https://mall.ofweek.com/1854.html丨光电传感器丨液位传感器丨光电水位传感器丨水位传感器
[align=center][/align]力传感器在大家的生活中是无处不在的，力传感器是一种相对比较耐用的机电类产品，在使用力传感器的时候需要注意保证它的测试精度，如果这个没办法把握的话那测量的结果就不准确了，也没有可参考的价值，那么在使用力传感器的时候这个精度要怎么去注意呢？力传感器周围应尽量设置一些“挡板”，甚至用薄金属板把力传感器罩起来。这样可防止杂物玷污力传感器及某些可动部分，而这种“沾污”往往会使可动部分运动不爽，而影响称量精度。系统有无运动不爽现象，可以用以下方法判别。即在秤台上加或减大约千分之一额定负荷看看显示仪是否有反映，有反映，说明可动部分未受“沾污”。力传感器所有通向显示电路或从电路引出的导线，均应采用屏蔽电缆。屏蔽线的联接及接地点应合理。若未通过机械框架接地，则在外接地，但屏蔽线互相联接后未接地，是浮空的。注意：有3只力传感器是全并联接法，力传感器本身是4线制，但在接线盒内换成6线制接法。力传感器输出信号读出电路不应和能产生强烈干扰的设可”控硅，接触器等）及有可观热量产生的设备放在同一箱体中，若不能保证这一点，则应考虑在它们之间设置障板隔离之，并在箱体内安置风扇。用以测量力传感器输出信号的电子线路，应尽可能配置独立的供电变压器，而不要和接触器等设备共用同一主电源。力传感器应采用铰合铜线（截面积约50mm2）形成电气旁路，以保护它们免受电焊电流或雷击造成的危害。力传感器使用中，必须避免强烈的热辐射，尤其是单侧的强烈热辐射。力传感器电气连接方面备（如力传感器的信号电缆，不和强电电源线或控制线并行布置（例如不要把力传感器信号线和强电电源线及控制线置于同一管道内）。若它们必须并行放置，那么，它们之间的距离应保持在50CM以上，并把信号线用金属管套起来。尽量采用有自动定位（复位）作用的结构配件，如球形轴承、关节轴承、定位紧固器等。他们可以防止某些横向力作用在力传感器上。要说明的是：有些横向力并不是机械安装引起的，如热膨胀引起的横向力，风力引起的横向力，及某些容器类衡器上的搅拌器的振动引起的横向力即不是机械安装引起的。某些衡器上有些必须接到秤体上的附件（如容器秤的输料管道等），我们应让他们在力传感器加载主轴的方向上尽量柔软一些，以防止他们“吃掉”传感器的真实负荷合而引起误差。要轻拿轻放尤其是由合金铝制作弹性体的小容量力传感器，任何冲击、跌落，对其计量性能均可能造成极大损害。对于大容量的测力传感器，一般来说，它具有较大的自重，故而要求在搬运、安装时，尽可能使用适当的起吊设备（如手拉葫芦、电动葫芦等）。安装传感器的底座安装面应平整、清洁，无任何油膜，胶膜等存在。安装底座本身应有足够的强度和刚性，一般要求高于力传感器本身的强度和刚度。测力传感器虽然有一定的过载能力，但在测力系统安装过程中，仍应防止力传感器的超载。要注意的是，即使是短时间的超载，也可能会造成力传感器永久损坏。在安装过程中，若确有必要，可先用一个和力传感器等高度的垫块代替力传感器，到最后，再把力传感器换上。在正常工作时，力传感器一般均应设置过载保护的机械结构件。若用螺杆固定力传感器，要求有一定的紧固力矩，而且螺杆应有一定的旋入螺纹深度。一般而言，固定螺杆因采用高强度螺杆。力传感器包含范围：[color=#333333]气体流量传感器丨微型压力传感器丨绝对压力变送器丨微量氧传感器丨[/color][color=#333333]数字温湿度[/color][color=#333333]传感器丨[url=http://mall.ofweek.com/category_54.html]力传感器[/url]丨煤气检测传感器丨气压感应器丨一氧化碳传感器丨h2传感器丨压阻式压力变送器丨硫化氢传感器丨co2气体传感器丨光离子传感器丨ph3传感器丨百分氧传感器丨bm传感器[/color][color=#333333]丨[/color][color=#333333]风速传感器丨voc传感器丨[/color][color=#333333]光纤应变传感器[/color][color=#333333]丨位置传感器丨[/color][color=#333333]meas压力[/color][color=#333333]传感器丨[/color][color=#333333]称重传感[/color][color=#333333]器丨甲烷传感器丨微流量传感器丨光纤应变传感器丨称重传感器丨三合一传感器丨sst传感器丨gss传感器丨ch4传感器丨氟利昂传感器丨硫化物传感器丨o3传感器丨双气传感器丨压电薄膜传感器丨一氧化氮传感器丨透明度传感器丨二氧化硫传感器丨氰化氢传感器丨煤气检测传感器丨燃气检测传感器丨电流氧传感器[/color]
光电式水位传感器与浮球传感器的差异有哪些？其一首先是外表的不同，光电式是电子式，浮球是机械式。其二是浮球与光电的安装方式的区别，光电水位传感器因其体积小，所以相对安装空间也较小，它可安装在顶部、底部、侧面和倾斜方向。现有的浮球传感器，体积大，设计安装复杂，它是由液体浮力上下驱动，使得内簧片能开关，因此浮球有一定的水位限制。且只能安装在顶部和底部。[align=center][img=,706,]https://uploader.shimo.im/f/dPHFnTrqSEfRro11.jpg!thumbnail[/img][/align]其三检测精度的不同，现有浮子式液位开关精度为± 3.0毫米或更差。光电水位传感器具有较高的控制精度±1MM操作方面，光电水位传感器无摩擦，无机械运动部件，可靠性高。但现有浮球式容易卡住，导致性能较差。其四，使用寿命方面，光电寿命长，内置发光二极管和光电晶体管。浮子开关属于机械产品，其使用寿命不及光电开关，光电水位传感器带电部分与被测液体完全隔离，不存在安全隐患。
检测液位的方式有很多种，比如浮子开关、光电液位传感器、超声波液位检测、电容式液位传感器等多种液位检测，今天带大家了解一下光电液位传感器跟电容式液位传感器的区别。光学液位传感器通过光学原理来识别液位高低，这意味着液体的透明度、浓缩水平，甚至是长时间使用所造成的沉淀物累积，均不会对其检测性能造成任何干扰。而电容液位传感器的工作原理是基于水位变化引起的电容量差异来确定水位高度。因此，水的质量变化将导致电阻值的改变，直接影响到测量结果的准确性，并且对某些类型的液体无法进行有效检测。[align=center][img=光电液位传感器,600,449]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/02/202402191615019248_1155_4008598_3.jpg!w600x449.jpg[/img][/align]需要注意的是，电容液位传感器周围不能有金属存在，这可能会干扰其正常工作。而光学液位传感器则没有这样的限制。就精确度而言，[url=https://www.eptsz.com]光学液位传感器[/url]能够达到±0.5毫米的精准度，而电容液位传感器的精确度则为±1.5毫米。从安装便利性角度出发，光学液位传感器在机械水箱的安装设计上显示出显著的优势，它支持灵活多变的安装位置。相对而言，电容液位传感器的安装则显得更加受限。
[size=18px][font=宋体]浮球液位传感器是根据浮球在水里的浮力来控制开关的，当容器里的液位上升或下降时，浮球也会随之上下移动，把液面位置变化成电信号，通过显示仪表用数字显示液体的实际位置。[/font][font=宋体]光电液位开关内置红外发光二极管和光敏接收器，头部是棱镜结构。当水箱无水时，发光二极管所发出的光经过透明透镜后会折射回接收管，从而判断出水箱无水，提醒加水；当水箱有水时，则光折射到液体中，从而使接收器收不到或只能接收到少量光线。光电液位传感器既可以检测水箱缺水时提醒加水，也可以实现防溢出提醒。[/font][font=宋体]浮球液位传感器与光电液位传感器的区别在于：浮球开关是机械式容易产生水垢卡死；光电液位开关没有机械部件，光滑易清洗，测量精度高。 [img=,386,424]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206021039235772_1651_4008598_3.png!w386x424.jpg[/img] [img=,469,508]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206021039405086_7813_4008598_3.png!w469x508.jpg[/img][/font][/size]
[color=#990000]摘要：为大幅度提高现有CMP工艺设备中压力控制的稳定性，在现有电气比例阀这种单回路PID压力调节技术的基础上，本文提出了升级改造方案，即采用串级控制法（双回路PID控制，也称级联控制），通过在现有电气比例阀回路中增加更高精度的压力传感器和PID控制器，可以将研磨抛光压力的稳定性提高一个数量级，从1~2%的稳定性提升到0.1~0.2%。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align] [size=18px][color=#990000][b]一、问题的提出[/b][/color][/size]在半导体制造过程中，化学机械抛光（CMP）是在半导体晶片上产生光滑、平坦表面的关键工艺。CMP工艺中的压力控制是决定最终产品质量的关键因素。如果压力过高，会损坏半导体材料；如果压力太低，会导致表面不平整。CMP系统中需要配置专用的压力调节装置，以确保压力保持在安全范围内。通过将压力保持在安全范围内，压力调节装置有助于确保半导体晶片在CMP过程中不被损坏。目前的CMP系统中普遍采用电气比例阀作为压力调节器，其典型结构如图1所示。在CMP中采用比例阀来控制抛光过程中施加在晶圆上的压力。由于比例阀是电子控制和压力值的模拟信号输出，因此可以通过控制系统（如PLC）对其进行动态编程和压力监控，这意味可以根据被抛光的特定晶片准确改变施加的压力。此外，由于电气比例阀作为压力调节器是一个闭环控制，即使在下游压力发生变化期间，施加在抛光垫上的压力也会保持不变，由此实现压力的自动调节。[align=center][img=常规研磨机电气比例阀压力控制系统结构,600,280]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209150917534790_1434_3221506_3.png!w690x322.jpg[/img][/align][align=center]图1 常规CMP系统中电气比例阀压力控制装置结构示意图[/align]在一些CMP工艺的实际应用中，要求抛光压力具有很高的稳定性，图1所示的常规压力调节装置则无法满足使用要求，这主要体现在以下几方面的不足：（1）电气比例阀的整体控制精度明显不足，其整体精度（包含线性度、迟滞和重复性）往往在1~2%范围内。这种精度水平主要受集成在比例阀内的压力传感器、高速电磁阀和PID控制器性能和体积等因素制约，而且进一步提高的空间非常有限。（2）电气比例阀安装位置与气缸有一定的距离，由此造成比例阀所检测到的压力值并不是气缸的真实压力，而且比例阀处压力与气缸压力之间有一定的时间滞后。为解决上述存在的问题，进一步提高现有CMP工艺设备中压力控制的稳定性，在现有电气比例阀这种单回路PID压力调节技术的基础上，本文将提出升级改造方案，即采用串级控制法（双回路PID控制，也称级联控制），通过在电气比例阀回路中增加更高精度的压力传感器和PID控制器，可以将研磨抛光压力的稳定性提高一个数量级，从1~2%的稳定性提升到0.1~0.2%。[size=18px][color=#990000][b]二、CMP设备压力控制的串级PID控制方案[/b][/color][/size]在传统的CMP设备压力调节过程中，采用电气比例阀进行压力调节的稳定性完全受集成在比例阀内的压力传感器、高速电磁阀和PID控制器性能和体积等因素制约。为了提高压力控制的稳定性，并充分发挥电气比例阀的自身优势，我们采用了一种串级控制技术，即在作为第一回路的电气比例阀中增加第二控制回路，其中第二控制回路由更高精度的压力传感器和PID控制器构成。串级PID控制方案的整体结构如图2所示。[align=center][img=03.超高精密研磨机电气比例阀压力串级控制系统结构,600,333]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209150918245058_1534_3221506_3.png!w690x384.jpg[/img][/align][align=center]图2 串级控制法CMP系统压力控制装置结构示意图[/align]在图2所示的串级控制法压力调节装置中，安装了一个外置压力传感器用于直接监测气缸内的气压，压力传感器检测到的气缸压力信号传输给外置的PID控制器，外置PID控制器根据设定值或设定程序将控制信号传送给电气比例阀，比例阀根据此控制信号再经其内部PID控制器来调节高速电磁阀的动作，使得电气比例阀输出到气缸的气体气压与设定值始终保持一致。从上述串级控制过程可以看出，串级控制是一个双控制回路，是两个独立的PID控制回路，电气比例阀起到的是一个执行器的作用。串级控制法（也称级联控制法）是一种有效提升控制精度的传统方法，但在具体实施过程中，需要满足的条件是：[color=#990000]第二回路的传感器和PID控制器（这里是外置压力传感器和PID控制器）精度一般要比第一回路的传感器（这里是电气比例阀内置的压力传感器和PID控制器）要高。[/color]为了实现更高稳定性的CMP系统压力控制，我们推荐的实施方案是采用0.05%精度的外置压力传感器和超高精度PID控制器（技术指标为24位ADC、16位DAC和双浮点运算的0.01%最小输出百分比）。此实施方案我们已经进行过大量考核试验，压力稳定性可以轻松达到0.1%。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]
触觉传感器 tactile sensor 用于机器人中模仿触觉功能的传感器。触觉是人与外界环境直接接触时的重要感觉功能，研制满足要求的触觉传感器是机器人发展中的技术关键之一。随着微电子技术的发展和各种有机材料的出现，已经提出了多种多样的触觉传感器的研制方案，但目前大都属于实验室阶段，达到产品化的不多。触觉传感器按功能大致可分为接触觉传感器、力－力矩觉传感器、压觉传感器和滑觉传感器等。 接触觉传感器 用以判断机器人(主要指四肢)是否接触到外界物体或测量被接触物体的特征的传感器。接触觉传感器有微动开关、导电橡胶、含碳海绵、碳素纤维、气动复位式装置等类型。①微动开关：由弹簧和触头构成。触头接触外界物体后离开基板，造成信号通路断开，从而测到与外界物体的接触。这种常闭式（未接触时一直接通）微动开关的优点是使用方便、结构简单，缺点是易产生机械振荡和触头易氧化。②导电橡胶式：它以导电橡胶为敏感元件。当触头接触外界物体受压后，压迫导电橡胶，使它的电阻发生改变，从而使流经导电橡胶的电流发生变化。这种传感器的缺点是由于导电橡胶的材料配方存在差异，出现的漂移和滞后特性也不一致，优点是具有柔性。③含碳海绵式：它在基板上装有海绵构成的弹性体，在海绵中按阵列布以含碳海绵。接触物体受压后,含碳海绵的电阻减小,测量流经含碳海绵电流的大小，可确定受压程度。这种传感器也可用作压力觉传感器。优点是结构简单、弹性好、使用方便。缺点是碳素分布均匀性直接影响测量结果和受压后恢复能力较差。④碳素纤维式：以碳素纤维为上表层，下表层为基板，中间装以氨基甲酸酯和金属电极。接触外界物体时碳素纤维受压与电极接触导电。优点是柔性好，可装于机械手臂曲面处，但滞后较大。⑤气动复位式：它有柔性绝缘表面，受压时变形，脱离接触时则由压缩空气作为复位的动力。与外界物体接触时其内部的弹性圆泡(铍铜箔)与下部触点接触而导电。优点是柔性好、可靠性高，但需要压缩空气源。
触觉传感器 tactile sensor 用于机器人中模仿触觉功能的传感器。触觉是人与外界环境直接接触时的重要感觉功能，研制满足要求的触觉传感器是机器人发展中的技术关键之一。随着微电子技术的发展和各种有机材料的出现，已经提出了多种多样的触觉传感器的研制方案，但目前大都属于实验室阶段，达到产品化的不多。触觉传感器按功能大致可分为接触觉传感器、力－力矩觉传感器、压觉传感器和滑觉传感器等。 接触觉传感器 用以判断机器人(主要指四肢)是否接触到外界物体或测量被接触物体的特征的传感器。接触觉传感器有微动开关、导电橡胶、含碳海绵、碳素纤维、气动复位式装置等类型。①微动开关：由弹簧和触头构成。触头接触外界物体后离开基板，造成信号通路断开，从而测到与外界物体的接触。这种常闭式（未接触时一直接通）微动开关的优点是使用方便、结构简单，缺点是易产生机械振荡和触头易氧化。②导电橡胶式：它以导电橡胶为敏感元件。当触头接触外界物体受压后，压迫导电橡胶，使它的电阻发生改变，从而使流经导电橡胶的电流发生变化。这种传感器的缺点是由于导电橡胶的材料配方存在差异，出现的漂移和滞后特性也不一致，优点是具有柔性。③含碳海绵式：它在基板上装有海绵构成的弹性体，在海绵中按阵列布以含碳海绵。接触物体受压后,含碳海绵的电阻减小,测量流经含碳海绵电流的大小，可确定受压程度。这种传感器也可用作压力觉传感器。优点是结构简单、弹性好、使用方便。缺点是碳素分布均匀性直接影响测量结果和受压后恢复能力较差。④碳素纤维式：以碳素纤维为上表层，下表层为基板，中间装以氨基甲酸酯和金属电极。接触外界物体时碳素纤维受压与电极接触导电。优点是柔性好，可装于机械手臂曲面处，但滞后较大。⑤气动复位式：它有柔性绝缘表面，受压时变形，脱离接触时则由压缩空气作为复位的动力。与外界物体接触时其内部的弹性圆泡(铍铜箔)与下部触点接触而导电。优点是柔性好、可靠性高，但需要压缩空气源。
传感器广泛应用于社会发展及人类生活的各个领域，如工业自动化、农业现代化、航天技术、军事工程、机器人技术、资源开发、海洋探测、环境监测、安全保卫、医疗诊断、交通运输、家用电器等。近年来，国内传感器应用主要分布在机械设备制造、家用电器、科学仪器仪表、医疗卫生、通信电子以及汽车等领域。 人们为了从外界获取信息，必须借助于感觉器传感器传感器官。传感器汇总图片精选(6张)而单靠人们自身的感觉器官，在研究自然现象和规律以及生产活动中它们的功能就远远不够了。为适应这种情况，就需要传感器。因此可以说，传感器是人类五官的延长，又称之为电五官。新技术的到来，世界开始进入信息时代。在利用信息的过程中，首先要解决的就是要获取准确可靠的信息，而传感器是获取自然和生产领域中信息的主要途径与手段。的粒子世界，纵向上要观察长达数十万年的天体演化，短到 s的瞬间反应。此外，还出现了对深化物质认识、开拓新能源、新材料等具有重要作用的各种极端技术研究，如超高温、超低温、超高压、超高真空、超强磁场、超弱磁场等等。显然，要获取大量人类感官无法直接获取的信息，没有相适应的传感器是不可能的。许多基础科学研究的障碍，首先就在于对象信息的获取存在困难，而一些新机理和高灵敏度的检测传感器的出现，往往会导致该领域内的突破。一些传感器的发展，往往是一些边缘学科开发的先驱。 传感器早已渗透到诸如工业生产、宇宙开发、海洋探测、环境保护、资源调查、医学诊断、生物工程、甚至文物保护等等极其之泛的领域。可以毫不夸张地说，从茫茫的太空，到浩瀚的海洋，以至各种复杂的工程系统，几乎每一个现代化项目，都离不开各种各样的传感器。由此可见，传感器技术在发展经济、推动社会进步方面的重要作用，是十分明显的。世界各国都十分重视这一领域的发展。相信不久的将来，传感器技术将会出现一个飞跃，达到与其重要地位相称的新水平
[font=宋体][color=#333333][back=white]管道[url=https://www.eptsz.com]光电液位传感器[/url]是一种有效解决传统机械式传感器低精度和卡死失效问题的新型传感器。它也解决了电容式传感器感度衰减导致的不可控性失效问题。该传感器利用红外光学组件，通过设计形成感应线路，能够判断水与空气中的光折率差异，从而快速稳定地做出状态判断。[img=管道光电液位传感器,690,405]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/07/202307291415107717_2823_4008598_3.jpg!w690x405.jpg[/img][/back][/color][/font][font=宋体][color=#333333][back=white]管道光电液位传感器在许多领域得到广泛应用，特别是在扫地机器人、洗地机、拖把机、饮水机、加湿器、咖啡机、洗碗机等清水管道的缺水或满水检测中。传统的机械式传感器容易出现低精度和卡死失效的问题，像浮球传感器则容易出现感度衰减导致的不可控性失效。而光电管道传感器通过光学原理，能够快速准确地检测水位状态，避免了这些问题的发生。[/back][/color][/font]
国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会近日以2012年第28号公告批准发布了362项国家标准，其中有四项传感器标准获得批准发布，并将于2013年2月15日实施。四项国标为：GB/T28854—2012《硅电容式压力传感器》、GB/T28855—2012《硅基压力传感器》、GB/T28856—2012《硅压阻式压力敏感芯片》、GB/T28857—2012《直流差动位移传感器》。传感器作为沈阳仪表院的主导产品，做到了科研、生产及标准化同步进行。在标准的编制过程中，四位主编张治国、徐淑霞、唐慧、李永清，克服科研、生产任务重的困难，经常利用业余时间修改标准，还同检测中心沟通产品的试验方法，为四个标准的顺利完成付出了心血。传感器技术国标实施，将促进传感器产业转型和升级。沈阳仪表科学研究院始建于1961年5月5日，原名为沈阳仪器仪表工艺研究所，原隶属于机械工业部。是全国仪器仪表元器件和仪表工艺的归口单位。1999年7月1日改制为企业，现隶属于中国机械工业集团有限公司。自2003年以来，先后重组了杭州照相机械研究所、秦皇岛视听机械研究所、沈阳真空技术研究所，被中国机械工业集团公司确定为“核心业务企业”。
在现代化生活的各种应用中，缺水检测是一个常见的需求。尤其在清洁设备领域，如洗地机，缺水检测传感器更是不可或缺的组件。那么，适合洗地机缺水检测的传感器有哪些呢？缺水检测传感器需要在设备工作时持续监测水位或水量，一旦水量低于某个阈值，便向设备发送信号，以停止工作或进行相应的提醒。这就要求传感器必须具有高精度、稳定性以及耐用性。传统的机械式传感器由于其机械运动部分，容易受到磨损，寿命较短，且在长期使用下精度容易受到影响。而电容式传感器虽然无需机械运动，但因其工作原理，很容易受到环境温湿度的影响，从而导致不可控的失效问题。[align=center][img=管道光电液位传感器,500,322]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/01/202401171619236552_6568_4008598_3.jpg!w500x322.jpg[/img][/align][url=https://www.eptsz.com]管道光电液位传感器[/url]利用光学感应原理，通过红外光学组件和特殊设计的感应线路，快速稳定地判断水与空气中的光折率不同，从而做出状态判断。这种传感器无机械运动，寿命长，安装方便，且功耗极低。管道光电液位传感器不仅精度高，而且能有效避免传统机械式传感器的卡死失效问题，以及电容式传感器的感度衰减问题。这使得它在清水管道的缺水或满水检测中具有广泛的应用前景。以其高精度、长寿命、稳定性以及方便的安装和微功耗等特点，成为了洗地机等清洁设备进行缺水检测的理想选择。它的出现不仅提高了设备的智能化程度，也大大提升了用户体验。
[font=等线]如今随着液位监测技术的不断发展，液位监测的方法也越来越多，液位传感器类型也多样化，有光电液位传感器、电容式液位传感器、光电分离式液位传感器，那么它们之间区别有哪些，如何选择合适液位传感器型号？[/font][font=等线][/font][font=等线]光电一体式液位传感器头部光滑，不易藏污纳垢，相比浮球开关，精度更高，无机械运动部件，浮球开关内部是由浮球、干簧管、磁铁组成，它是通过水位的上升或下降而带动浮球和磁铁，当磁铁移动到干簧管位置时，驱动簧片开关打开或关闭。浮球开关是机械式工作原理，结构也很复杂松散，长时间使用容易产生水垢不易清洗，相比浮球开关，光电液位传感器更具有优势。[/font][font=等线][/font][font=等线]电容式液位传感器是通过感应有水和无水时的电容值差异判断水箱内部是否缺水。传感器可置于绝缘容器外壁，通过紧贴外壁的安装方式，精准感应到内部液体的变化，从而做出准确判断。但是电容式很容易受到温湿度影响，对安装环境比较高。[/font][align=center][img=水箱液位传感器,600,324]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/04/202404121436348716_1852_4008598_3.jpg!w600x324.jpg[/img][/align][font=等线]光电分离式液位传感器是在传统光学传感器的基础上，把菱鏡部分直接设计到用户水箱上，模具一体成型出来；光学组件分离出来，置于水箱外部感应。传感器独立于水箱外，中间可间隔空气，解决了水箱需移动加水的问题。用此方案的产品水位感应精准，水箱无外结构件干涉，更易清洁，避免传感器边角的细菌滋生。[/font][font=等线][/font][font=等线]选择水箱合适的[url=https://www.eptsz.com]液位传感器[/url]要根据实际应用环境选择，合适的液位传感器可以实现缺液提醒、满溢提醒功能，让我们的生活更加便利。[/font][font=&][/font]
[align=center][/align]风速传感器在我们的日常生活中的应用是非常广泛的，根据不同的应用环境，这个风速传感器也是有很多种类的，在不同的环境中需要使用风速传感器的的话一定要选用合适的才行，只有合适的才能够测量出想要的结果。今天OFweek Mall风速传感器商城网就来跟大家说说这个风速传感器的应用原理知识吧！首先风向传感器是以风向箭头的转动探测、感受外界的风向信息，并将其传递给同轴码盘，同时输出对应风向相关数值的一种物理装置。通常风向传感器主体都采用风向标的机械结构，当风吹向风向标的尾部的尾翼的时候，风向标的箭头就会指风吹过来的方向。为了保持对于方向的敏感性，同时还采用不同的内部机构来给风向传感器辨别方向。通常有以下三类：一、电磁式风向传感器：利用电磁原理设计，由于原理种类较多，所以结构与有所不同，目前部分此类传感器已经开始利用陀螺仪芯片或者电子罗盘作为基本元件，其测量精度得到了进一步的提高。二、光电式风向传感器：这种风向传感器采用绝对式格雷码盘作为基本元件，并且使用了特殊定制的编码编码，以光电信号转换原理，可以准确的输出相对应的风向信息。三、电阻式风向传感器：这种风向传感器采用类似滑动变阻器的结构，将产生的电阻值的最大值与最小值分别标成360°与0°，当风向标产生转动的时候，滑动变阻器的滑杆会随着顶部的风向标一起转动，而产生的不同的电压变化就可以计算出风向的角度或者方向了。风速传感器是一种可以连续测量风速和风量（风量=风速x横截面积）大小的常见传感器。风速传感器大体上分为机械式（主要有螺旋桨式、风杯式）风速传感器、热风式风速传感器、皮托管风速传感器和基于声学原理的超声波风速传感器。螺旋桨式风速传感器工作原理，我们知道电扇由电动机带动风扇叶片旋转，在叶片前后产生一个压力差，推动气流流动。螺旋浆式风速计的工作原理恰好与此相反，对准气流的叶片系统受到风压的作用，产生一定的扭力矩使叶片系统旋转。通常螺旋桨式速传感器通过一组三叶或四叶螺旋桨绕水平轴旋转来测量风速，螺旋桨一般装在一个风标的前部，使其旋转平面始终正对风的来向，它的转速正比于风速。示的风速一般是偏高的成为过高效应（产生的平均误差约为10%）1、风向风速传感器在空调及通风设备领域的应用变风量末端装置是变风量空调系统的主要设备之一。风速传感器又是变风量末端装置的关键部件，因此，风速传感器的类型与性能直接影响系统风量的检测和控制质量。目前，我国及欧美各厂家的变风量末端装置均采用皮托管式风速传感器，而日本各厂家多不采用皮托管式风速传感器。 2、风向风速传感器在航空领域的应用飞机上的“空速管”是一种典型的皮托管风速传感器，是飞机上极为重要的测量工具。它的安装位置一定要在飞机外面气流较少受到飞机影响的区域，一般在机头正前方，垂尾或翼尖前方。当飞机向前飞行时，气流便冲进空速管，在管子末端的感应器会感受到气流的冲击力量，即动压。飞机飞得越快，动压就越大。如果将空气静止时的压力即静压和动压相比就可以知道冲进来的空气有多快，也就是飞机飞得有多快。比较两种压力的工具是一个用上下两片很薄的金属片制成的表面带波纹的空心圆形盒子，称为膜盒。这盒子是密封的，但有一根管子与空速管相连。如果飞机速度快，动压便增大，膜盒内压力增加，膜盒会鼓起来。用一个由小杠杆和齿轮等组成的装置可以将膜盒的变形测量出来并用指针显示，这就是最简单的飞机空速表。风速传感器包含范围：[color=#333333]气体流量传感器丨微型压力传感器丨绝对压力变送器丨微量氧传感器丨[/color][color=#333333]数字温湿度[/color][color=#333333]传感器丨煤气检测传感器丨气压感应器丨一氧化碳传感器丨h2传感器丨压阻式压力变送器丨硫化氢传感器丨co2气体传感器丨光离子传感器丨ph3传感器丨百分氧传感器丨bm传感器[/color][color=#333333]丨[/color][color=#333333][url=http://mall.ofweek.com/category_44.html]风速传感器[/url]丨voc传感器丨[/color][color=#333333]光纤应变传感器[/color][color=#333333]丨位置传感器丨[/color][color=#333333]meas压力[/color][color=#333333]传感器丨[/color][color=#333333]称重传感[/color][color=#333333]器丨甲烷传感器丨微流量传感器丨光纤应变传感器丨称重传感器丨三合一传感器丨sst传感器丨gss传感器丨ch4传感器丨氟利昂传感器丨硫化物传感器丨o3传感器丨双气传感器丨一氧化氮传感器丨透明度传感器丨二氧化硫传感器丨氰化氢传感器丨煤气检测传感器丨燃气检测传感器丨电流氧传感器[/color]
在网上查了一下目前市场上氧气传感器的测试原理，主要有以下几种：电化学氧气分析仪—— 采用完全密封的燃料电池氧传感器是当前国际上最先进的测氧方法之一。燃料池氧传感器是由高活性的氧电极和铅电极构成，浸没在KOH的溶液中。在阴极氧被还原成氢氧根离子，而在阳极铅被氧化。 O2+2H2O+4e=4OH- 2Pb+4OH=2Pb(OH)2+4e KOH溶液与外界有一层高分子薄膜隔开，样气不直接进入传感器，因而溶液与铅电极不需定期清洗或更换。样气中的氧分子通过高分子薄膜扩散到氧电极中进行电化学反应，电化学反应中产生的电流决定于扩散到氧电极的氧分子数，而氧的扩散速率又正比于样气中的氧含量，这样，该传感器输出信号大小只与样气中的氧含量相关，而与通过传感器的气体总量无关。通过外部电路的连接，反应中的电荷转移即电流的大小与参加反应的氧成正比例关系。 采用此方法进行测氧，可以不受被测气体中还原性气体的影响，免去了许多的样气处理系统。它比老式“金网-铅”原电池测氧更快速，不需要漫长的开机吹除过程，“金网-铅”原电池样气直接进入溶液中，导致仪器的维护量很大，而燃料电池法样气不直接进入溶液中，传感器可以非常稳定可靠的工作很长时间。事实上， 燃料电池氧传感器是完全免维护的。磁氧分析仪—— 是利用常温下，氧气分子的顺磁性的原理，也就是可以被磁场吸引的原理制作的，这种仪器对氧气有独特的选择性，其他气体几乎没有干扰（NOx干扰，但不严重），它分为：1、热磁式，2、磁机械式－－两种基本结构。热磁式是利用被加热的氧气会失去顺磁性的原理制造的，由于冷的顺磁的氧气不断被吸引到磁场里，而热的反磁的氧气不断被挤出磁场，形成所谓的“氧风”，测定这个氧风的强度，就可以换算出氧的浓度。热磁式氧分析仪虽然具有结构简单、便于制造和调整等优点，但也具有反应速度慢、测量误差大、容易发生测量环室堵塞和热敏元件腐蚀严重等缺点。磁机械式的也是利用相似的原理制造的，空心的不含氧气的石英泡在强磁场附近，不会受到磁场的吸引，而当环境中有氧气存在时，氧被磁场吸引，它必然将石英泡向磁场外排挤，测定这个排挤的力的大小，就可以换算出氧的浓度。磁机械式的氧气分析仪的精度更高一些，它甚至可以测定PPM级的氧浓度，功耗小，耐腐蚀，但是怕震动，价格贵。 二氧化锆式氧传感器—— 多孔体固体电解质内。温度较高时，氧气发生电离。只要锆管内外侧氧含量不一样，存在氧浓度差，则在固体电解质内部氧离子从大气一侧向排气一侧扩散，使锆管形成微电池，在锆管铂极间产生电压。 当混合气体稀时，排气中氧含量多，两侧氧浓度差小，产生的电压小；当混合气体浓时，排气中氧含量少，CO、HC、H2的含量较多，这些成分在锆管外表面的铂的催化作用下，与氧发生反应，消耗废气中残余的氧，使锆管外表面氧浓度变成零，这样使得锆管内、外两侧的氧浓度差突然增大，两极间产生的电压也增大。二氧化钛式氧传感器—— 电控单元ECU将一个恒定的IV电压加在二氧化钛氧传感器的正极，并将传感器负极上的电压降与电控单元控制程序中设定的参考电压相比较。发动机混合气浓度变化时，排出的废气中的氧分子含量也发生变化，氧传感器的电阻也随之改变，使得与电控单元连接的氧传感器负极上的电压降也产生变化。 当发动机的可燃混合气浓（A／F14.7）时，排气中氧含量高，氧化钛管外表面氧浓度大，二氧化钛呈现高电阻。电阻在混合气空燃比理论空燃比14.7（过量空气系数约为1）时产生突变。通过这样的反馈控制，使混合器的浓度保持在理论空燃比附近的狭小范围内。铅氧电池的测试精度与铅的纯度关系密切，之前用过这种传感器，他们做标线的时候用两条直线近似替代对数曲线，其测量值与实际值差别比较大。[color=#DC143C]请教大家：这些传感器有没有特定的适用范围？哪些牌子和型号的传感器测试精度比较高，使用寿命比较长？[/color]
[size=24px][font=宋体]不同的水位传感器其应用也是不同的，比如电容式水位传感器常应用在洗手液机、宠物饮水机等，而光电水位传感器适用在洗地机、咖啡机等设备上。[/font][font=宋体]电容式水位传感器采用的是电容感应原理，当被测介质测量高度发生变化，引起电容变化，传感器则会发出信号给到控制系统。因其原理，[url=https://www.eptsz.cn/News_Details1/1597832355802980352.html][b]电容式水位传感器[/b][/url]对于水箱容器的材质有要求，不能使用金属材质的水箱。电容式水位传感器的安装非常方便，只需将传感器紧贴于水箱外壁，即可精准检测到内部液体的变化，从而做出准确判断。[/font][img=,690,431]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/12/202212071120077212_4575_4008598_3.png!w690x431.jpg[/img][font=宋体]光电水位传感器是利用的光学反射原理，通过内部的红外发光二极管和光敏接收器进行检测。传感器头部是棱镜结构，内部无机械部件、体积小、精度高、应用广泛、可靠性高。此类原理的传感器需避免在阳光直射下使用，以免造成干扰，解决方案是采用遮光罩进行规避。对于水珠、水雾、气泡等问题，可以提前通过软件调试。[img=,690,255]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/12/202212071120275339_9549_4008598_3.png!w690x255.jpg[/img][/font][/size]
[font=等线]如今随着科学技术的不断发展，液位检测方法也有很多，如[url=https://www.eptsz.com]光电液位传感器[/url]、电容式液位传感器、不锈钢液位传感器等液位传感器，不锈钢液位传感器材质比较特殊，价格也比较昂贵一些，不锈钢液位传感器有哪些特征？[/font][font=等线]不锈钢光电传感器采用光电液位开关技术，内置红外发射管和光敏接收器，检测部分采用玻璃棱镜结构。通过检测光线的折射情况，能够准确地判断液位高低，实现精准的液位测量和监控。[/font][font=等线] [/font][align=left][font=等线]安装非常简易，只需在水箱或机体上进行开孔安装即可。这种简便的安装方式使得用户能够快速、方便地部署传感器从而节省了大量的安装时间和人力成本。[/font][font=等线]不锈钢光电液位传感器具有低功耗的特性，这意味着在使用过程中能够有效地节约能源，延长设备的使用寿命，并且减少了能源成本。[/font][/align][font=等线][/font][align=center] [img=不锈钢液位传感器,690,400]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/04/202404031517296579_7623_4008598_3.jpg!w690x400.jpg[/img][/align][font=等线][font=等线]还具有耐强压、高耐腐蚀的特性，能够在恶劣的工作环境中稳定运行。其防水等级达到了[/font][font=等线]IP68，可以在水下长时间工作，保证了传感器的可靠性和耐用性。[/font][/font][font=等线]不锈钢光电液位传感器采用无机械运动部件的设计，使其具有较高的稳定性和可靠性，减少了因机械磨损而引起的故障和维护成本。[/font][font=等线]传感器支持个性化机型定制，可以根据用户的需求进行定制设计，满足不同应用场景的需求，提供更加灵活、多样化的解决方案。[/font][font=等线]适用于商用设备、工业设备、医疗设备以及高耐压或强腐蚀性液体设备等多个领域，广泛应用于液位检测、监控和控制领域。[/font]
[font='微软雅黑',sans-serif][color=#333333][back=white]光电液位传感器采用内置光学电子元件，具有体积小、功耗低的特点。这使得传感器可以轻松安装在各种狭小空间中，同时也能够节省能源，延长使用寿命。[/back][/color][/font][font='微软雅黑',sans-serif][color=#333333][back=white]光电液位传感器采用无机械运动的设计，不需要机械部件进行测量，因此具有更长的使用寿命和更高的可靠性。这种设计还能够减少维护和维修的成本，提高工作效率。[/back][/color][/font][align=center][img=光电液位传感器,690,206]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/08/202308121636305019_7788_4008598_3.jpg!w690x206.jpg[/img][/align][font='微软雅黑',sans-serif][color=#333333][back=white][url=https://www.eptsz.com]光电液位传感器[/url]具有IP68防水等级，能够在恶劣的环境中正常工作。无论是在水池、水箱还是其他液体容器中，传感器都能够准确地检测液位变化，确保设备的正常运行。[/back][/color][/font][font='微软雅黑',sans-serif][color=#333333][back=white]能点科技还支持个性化机型定制，根据客户的需求进行定制化设计。无论是特殊形状、特殊材质还是特殊功能，都能够提供满足客户需求的解决方案。[/back][/color][/font]
[img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2006/09/200609111657_26489_1618618_3.jpg[/img]微米纳米科学与技术丛书作者：《微传感器》章吉良等定价：每册39.00元2005年12月出版上海交通大学出版社传感技术是现代信息技术（IT）的三大基础之一。在《微传感器》一书中详细介绍了各类机构机械传感器、热微传感器，磁微传感器，辐射和光微传感器，声微传感器，化学和生物微传感器，集成、智能和灵巧传感器，微传感器阵列和微传感器网络的工作原理、制备技术和应用，重点介绍了各类传感器的最新发展动态。微执行器是现代自动控制技术的关键技术。近年来，随着微电子技术和微细加工工艺的书信速发展，特别是微纳米技术的蓬勃兴起，为微执行器的开发、研究提供了有力的技术支持。《微执行器》一书共分9章，系统阐述和介绍了微执行器中电磁型微马达、光学执行器、微阀门、微型泵的基本原理、技术基础、制造工艺和实用实例。
传感器是把非电物理量如温度、压力、液位、物料、气体特性等转换成电信号或把物理量如压力、液位等直接送到变送器。变送器则是把传感器采集到的微弱的电信号放大以便转送或启动控制元件。或将传感器输入的非电量转换成电信号同时放大以便供远方测量和控制的信号源。根据需要还可将模拟量变换为数字量。 传感器和变送器一同构成自动控制的监测信号源。不同的物理量需要不同的传感器和相应的变送器。还有一种变送器不是将物理量变换成电信号，如一种锅炉水位计的“差压变送器"，他是将液位传感器里的下部的水和上部蒸汽的冷凝水通过仪表管送到变送器的波纹管两侧，以波纹管两侧的差压带动机械放大装置用指针指示水位的一种远方仪表。当然还有把电气模拟量变换成数字量的也可以叫变送器。
[size=18px]许多医疗设备都需要使用传感器来实现检测缺液、满液等情况。一般采用的都是探针或者是浮子水位传感器等检测液位。但是使用探针式容易出现污染液体，而浮球式开关因其是机械式原理卡死的机率更大。光电式管道水位传感器是将水管卡在传感器上面，非接触检测，即可实现检测传感器位置水管内是否有水。[/size][align=center][img=,605,375]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/02/202202081540077556_1719_4008598_3.gif!w605x375.jpg[/img][/align][size=18px]非接触式光电管道液位传感器采用了光电原理，他与电容式管道液位传感器不一样，光电式的原理稳定性更高，精度更高。光电式管道传感器输出信号为数字信号，无水时疏忽从低电平，有水时输出高电平，在自己的设备上设置程序，接收到无水信号，即低电平时，判断为缺液。[/size]
[font=宋体][url=http://www.eptsz.com]管道光电液位传感器[/url]通常应用于扫地机器人、擦地机、拖把机、咖啡机、饮水机、加湿器等清水管道的水位检测。光电式管道液位传感器有效的解决了传统机械式的低精度、卡死失效的问题，也解决了电容式的感度衰减导致的不可控性失效。[/font][font=宋体]管道光电液位传感器的工作原理：传感器利用一组红外光学组件，通过精准结构处理后形成感应线路，通过判断水与空气中的光折率不同，快速稳定做出状态判断。[/font][font=宋体][url=http://www.eptsz.com]管道液位传感器[/url]特点：传感器内部没有机械运动部件，不需要调试，具有较强的防干扰能力，重复精度及可靠性高，不受温度、压力、液体颜色影响，耗电少，寿命长，兼容性设计多种应用。[/font]对比浮球液位开关：[img=,690,483]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206080945524061_2954_4008598_3.jpg!w690x483.jpg[/img][font=宋体]当电路连接，信号端将输出与水位状况一致的电压信号，此信号作为液位传感器高度控制信号接入[/font]MCU[font=宋体]（单片机）[/font][font=Calibri]A/D[/font][font=宋体]口，当液位超过[font=宋体][font=宋体]临界液位而淹没传感器本体时，此信号输出为低电压，当[/font][/font][font=宋体]液位低于临界液位而显露[url=http://www.eptsz.com]传感器[/url]本体时，此信号输出为高电压。[/font][img=,524,277]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206080946575966_5156_4008598_3.png!w524x277.jpg[/img][/font][font=宋体][/font]
来国内外研制和应用的一种新型传感器。他的基本原理是将载荷传递到一个轮辐式的弹性体上，通过测量轮辐上的剪应力来间接地测量载荷，故称为轮辐式剪切力传感器。他有着优良的性能价格比，因此无论是在测量领域的广度，还是在测量的准确度上他都有着很强的竞争力。 轮辐式传感器与传统的随着计算机技术和信息处理技术的不断发展和完善，作为提供信息的传感器，人们往往把他比作电脑的“五官”，即通过他来灵敏地采集各种信息，为电脑提供思维、判断和控制的基础。因而传感器的发展在测量与监控系统中就显得尤为重要。 轮辐式传感器是近年拉压式传感器相比，具有精度高、滞后小、重复性好、线性好、抗偏心载荷和侧向力的能力强、结构高度最小、重量轻等优点，因此这种传感器在大、中量程测量方面有着广泛的应用，并具有良好的市场前景。 轮辐式传感器结构设计的主要原则：第一，要有很好的刚性。为了使传感器工作状态保持稳定,减轻外界振动干扰的影响,应尽量使弹性体在负荷作用下的弹性位移减少,使之具有较高的固有频率。第二，要有简单合理的整体性结构。弹性体应尽量为一个整体,避免组合式结构。减少诸如紧固松动、焊接变形等带来的影响,并有利于简化加工工艺,降低成本。第三，对作用力位置的变化和干扰力的影响不敏感。弹性体应变敏感区的应力分布,希望只随作用力的大小而变化。第四，弹性体有效工作区应有良好的线性和最大应变值。第五，弹性体工作区的工艺性能好,包括机械加工、粘贴和密封安装工艺好。第六，具有低外形结构,安装方便,互换性好。低外形结构可以增强抗侧向力的能力,使工作状态稳定。 更多关于轮辐式传感器的相关资料请参考：http://www.dzsc.com/product/searchfile/3871.html
为什么电蒸锅需要水位检测呢？那是因为如果只靠人来检查水箱，很容易把机器烧干，所以需要水位传感器来检测液位。光电水位传感器可安装在蒸汽机水箱底部，用于液位检测。采用食品级一体式光电水位传感器，可实现低水位报警或缺液断电保护。[align=center][img=,1125,]https://uploader.shimo.im/f/gHCrD43RzO0oyxCS.jpg!thumbnail[/img][/align]光电式水位传感器结构简单，不需要机械零件和调试，灵敏度高，定位精度高，耐腐蚀，功耗低，体积小。它还具有耐高温、耐高压、耐腐蚀性强、化学稳定性好等特点，对被测介质影响小。具有液位检测准确、重复性高、响应速度快、液位控制精度高等优点。光电传感器所有内部元件均采用树脂封装，传感器内部无机械运动部件，具有可靠性高、使用寿命长、免维护等特点。
[align=left][url=http://www.eptsz.com/Products.aspx][color=#000000]液位传感器[/color][/url][color=#222222]是一种可以检测水位的传感器，主要应用于医疗、食品、化工行业中，进行水位控制、水位的检测。先介绍液位传感器的分类。[/color][/align][color=#222222] [/color][b][color=#222222]液位传感器的种类：[/color][/b][color=#222222]液位传感器种类很多，包括单法兰静压/双法兰差压液位传感器，浮球式液位传感器，磁性液位传感器，投入式液位传感器，电动内浮球液位传感器，电动浮筒液位传感器，电容式液位传感器，磁致伸缩液位传感器，伺服液位传感器等，超声波液位传感器，雷达液位传感器等。[/color][color=#222222]不同液位传感器的工作原理也不一样，适用的地方也不一样，简单介绍一下这几种液位传感器的原理[/color][color=#222222][/color][b][color=#222222]浮筒式液位传感器：[/color][/b][color=#222222]浮筒式水位变送器是将磁性浮球改为浮筒，液位传感器是根据阿基米德浮力原理设计的。浮筒式水位变送器是利用微小的金属膜应变传感技术来测量液体的水位、界位或密度的，它在工作时可以通过现场按键来进行常规的设定操作。[/color][b][color=#222222]浮球式液位传感器：[/color][/b][color=#222222]浮球式水位变送器由磁性浮球、测量导管、信号单元、电子单元、接线盒及安装件组成，一般磁性浮球的比重小于0.5，可漂于液面之上并沿测量导管上下移动，导管内装有测量元件，它可以在外磁作用下将被测水位信号转换成正比于水位变化的电阻信号，并将电子单元转换成信号输出。浮球开关因为是最简单、最古老的检测方式，有着检测水位不精确的缺点，浮子易卡死。[/color][b][color=#222222]静压式液位传感器：[/color][/b][color=#222222]该变送器利用液体静压力的测量原理工作，它一般选用硅压力测压传感器将测量到的压力转换成电信号，再经放大电路放大和补偿电路补偿，最后以4～20mA或0～10mA电流方式输出。[/color][b][color=#222222]超声波式液位传感器：[/color][/b][color=#222222]这是一种振动频率高于声波的机械波，由换能晶片在电压的激励下发生振动产生的超声波，超声波在碰到液体会产生显著反射形成反射成回波。因此以超声波作为检测手段，产生超声波和接收超声波。这就是超声波式的液位传感器工作原理。超声波式液位传感器特点：频率高、波长短、绕射现象小，特别是方向性好、能够成为射线而定向传播。[/color][b][color=#222222]光电式液位传感器：[/color][/b][color=#222222]光电液位传感器是利用光在两种不同介质界面发生反射折射原理而开发的新型接触式点液位测控装置。光电[/color]液位传感器[color=#222222]具有结构简单、定位精度高，没有机械部件，不需调试，灵敏度高及耐腐蚀、耗电少、体积小等诸多优点，还具有耐高温、耐高压、耐强腐蚀，化学性质稳定，对被测介质影响小等特征。[/color][color=#222222]光电式的液位传感器使用范围广，拥有检测精度高、寿命长、稳定性强等特点，因此适用于很多方面。下面来重点介绍一下光电式液位传感器。[/color][color=#222222]光电[/color]液位传感器[color=#222222]是利用光在两种不同介质界面发生反射折射原理而开发的新型接触式点水位测控装置。它具有结构简单，定位精度高；没有机械部件，不需调试；灵敏度高及耐腐蚀；耗电少；体积小等诸多优点而受到市场的逐渐认可。由于水位的输出只与光电探头是否接触液面有关，与介质的其它特性，如温度、压力、密度、电等参数无关，所以光电液位传感器检测准确、重复精度高；响应速度快，液面控制非常精确，并且不需调校，就可以直接安装使用。[/color][color=#222222]由于光电液位传感器探头体积相对小巧，可分开安装在狭小空间中适合特殊罐体或容器中使用。另外还可以在一个测量体上安装多个光电探头制成多点液位传感器。[/color][color=#222222]由于光电式液位传感器内部没有任何机械活动部件,因此光电液位传感器可靠性高、寿命长、免维护。且可以实现低液位检测、高液位检测、[/color][url=http://www.eptsz.com/Index.aspx][color=black]缺水保护[/color][/url][color=#222222]功能，[/color]
水位传感器用于水位控制、水位检测，先介绍水位传感器的分类。[b]水位传感器的种类：[/b]水位传感器种类很多，包括单法兰静压/双法兰差压水位传感器，浮球式水位传感器，磁性水位传感器，投入式水位传感器，电动内浮球水位传感器，电动浮筒水位传感器，电容式水位传感器，磁致伸缩水位传感器，伺服水位传感器等，超声波水位传感器，雷达水位传感器等。[img=,690,536]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/05/201805151523299345_7907_3397320_3.png!w690x536.jpg[/img]不同水位传感器的工作原理也不一样，适用的地方也不一样，简单介绍一下这几种水位传感器的原理浮筒式水位传感器：浮筒式水位变送器是将磁性浮球改为浮筒，水位传感器是根据阿基米德浮力原理设计的。浮筒式水位变送器是利用微小的金属膜应变传感技术来测量液体的水位、界位或密度的，它在工作时可以通过现场按键来进行常规的设定操作。[b]浮球式水位传感器：[/b]浮球式水位变送器由磁性浮球、测量导管、信号单元、电子单元、接线盒及安装件组成，一般磁性浮球的比重小于0.5，可漂于液面之上并沿测量导管上下移动，导管内装有测量元件，它可以在外磁作用下将被测水位信号转换成正比于水位变化的电阻信号，并将电子单元转换成信号输出。浮球开关因为是最简单、最古老的检测方式，有着检测水位不精确的缺点，浮子易卡死。特点：价格较便宜。[img=,600,449]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/05/201805151524165625_3685_3397320_3.jpg!w600x449.jpg[/img][img=,413,302]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/05/201805151527336054_4890_3397320_3.png!w413x302.jpg[/img][b]静压式水位传感器：[/b]该变送器利用液体静压力的测量原理工作，它一般选用硅压力测压传感器将测量到的压力转换成电信号，再经放大电路放大和补偿电路补偿，最后以4～20mA或0～10mA电流方式输出。[b]超声波式水位传感器：[/b]这是一种振动频率高于声波的机械波，由换能晶片在电压的激励下发生振动产生的超声波，超声波在碰到液体会产生显著反射形成反射成回波。因此以超声波作为检测手段，产生超声波和接收超声波。这就是超声波式的水位传感器工作原理。超声波式水位传感器特点：频率高、波长短、绕射现象小，特别是方向性好、能够成 为射线而定向传播，缺点是价格较贵。[img=,690,383]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/05/201805151524567854_8545_3397320_3.jpg!w690x383.jpg[/img][img=,200,217]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/05/201805151527132654_2430_3397320_3.png!w200x217.jpg[/img][b]光电式水位传感器：[/b]光电液位传感器是利用光在两种不同介质界面发生反射折射原理而开发的新型接触式点液位测控装置。光电水位传感器具有结构简单、定位精度高，没有机械部件，不需调试，灵敏度高及耐腐蚀、耗电少、体积小等诸多优点，还具有耐高温、耐高压、耐强腐蚀，化学性质稳定，对被测介质影响小等特征。[img=,690,465]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/05/201805151525527755_1345_3397320_3.jpg!w690x465.jpg[/img]光电式的水位传感使用范围广，拥有检测精度高、寿命长、稳定性强等特点，因此适用于很多方面。光电水位传感器是利用光在两种不同介质界面发生反射折射原理而开发的新型接触式点水位测控装置。它具有结构简单，定位精度高；没有机械部件，不需调试；灵敏度高及耐腐蚀；耗电少；体积小等诸多优点而受到市场的逐渐认可。[img=,513,238]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/05/201805151526306105_1327_3397320_3.gif!w513x238.jpg[/img]由于水位的输出只与光电探头是否接触液面有关，与介质的其它特性，如温度、压力、密度、电等参数无关，所以光电[url=http://www.eptsz.com][color=#000000]水位传感器[/color][/url]检测准确、重复精度高；响应速度快，液面控制非常精确，并且不需调校，就可以直接安装使用。由于光电水位传感器探头体积相对小巧，可分开安装在狭小空间中适合特殊罐体或容器中使用。另外还可以在一个测量体上安装多个光电探头制成多点水位传感器。由于光电式水位传感器内部没有任何机械活动部件,因此光电水位传感器可靠性高、寿命长、免维护。深圳市能点科技有限公司是一家专业的开关生产厂家，主要供应水位开关、倾倒开关、流量计、液位传感器、水位开关、直键开关、水箱控制开关等产品。http://www.eptsz.com
[font=宋体][back=white]管道光电液位传感器相比浮球开关，管道式液位传感器具有以下几个优势：[/back][/font][font=宋体][back=white]高精度：光电管道传感器采用红外光学组件进行感应，通过光折率的变化来判断液位状态，因此具有更高的精度。相比之下，浮球开关的精度较低，容易受到外界因素的干扰，导致误判或不准确的测量结果。[/back][/font][font=宋体][back=white]可靠性高：传统的机械式浮球开关容易出现卡死或失效的问题，而光电管道传感器采用光学原理，没有机械部件，因此不会出现卡死或失效的情况。同时，电容式传感器的感度会随着时间的推移而衰减，导致不可控性失效，而光电管道传感器不受感度衰减的影响，保持稳定的性能。[/back][/font][align=center] [img=管道光电液位传感器,600,400]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/08/202308221607330393_393_4008598_3.jpg!w600x400.jpg[/img][/align][font=宋体][back=white]应用广泛：光电管道传感器适用于各种清水管道的缺水或满水检测，如扫地机器人、洗地机、拖把机、饮水机、加湿器、咖啡机、洗碗机等。而浮球开关由于机械结构的限制，只能适用于特定的应用场景。[/back][/font][font=宋体][back=white]综上所述，[url=https://www.eptsz.com]管道式液位传感器[/url]相比浮球开关具有高精度、高可靠性和广泛的应用范围等优势。这些优势使得管道式液位传感器成为清水管道缺水或满水检测的理想选择。[/back][/font]
HZD-A振动速度传感器也称磁电式振动速度传感器主要安装在各种旋转机械装置的轴承盖上（如汽轮机、压缩机、电机、风机和泵等），可测量振动速度或者振动幅度。它是由运动线圈切割磁力线产生的信号，因此工作时无需电源，安装、维护容易等特点。已广范用于热电厂、水泥厂、水泵厂、磨机设备、造纸厂、机械厂、风机厂、煤矿机械等。 HZD-A系列主要用来提前诊断旋转机械的故障或实验室完善产品提供改善依据，为企业预先做好维护的准备，减少事故隐患的发生，提高工作效率！2、HZD-A振动速度传感器主要技术指标 * 灵 敏 度： 50mv/mm/s±5% * 频率响应： 5～1000Hz * 自振频率： 10Hz ±1Hz * 可测振幅： ≤2000μm（PP） * 最大加速度：10g * 质 量：约350g * 安装方式：垂直或水平安装于被测振动源上 * 安装螺纹：M5/M10×1.5螺纹或磁吸座 * 使用环境：温度 -40℃～95℃ 、相对湿度≤90%
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