定位平台

LS-1730产品描述 LS-1730的尺寸为30 x 17 x 8.5mm，行程范围为21mm。概观运动行程[mm]21尺寸[mm]30 x 17 x 8.5重量[g]21力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1740产品描述 LS-1740的尺寸为40 x 17 x 8.5mm，行程范围为26mm。概观运动行程[mm]26尺寸[mm]40 x 17 x 8.5重量[g]26力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1720产品描述 LS-1720的尺寸为20 x 17 x 8.5mm，行程范围为12mm。概观运动行程[mm]12尺寸[mm]20 x 17 x 8.5重量[g]13力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

技术特点：超高定位精度高动态多运动模式：定位/扫描兼容超高真空运动行程：50~200um 应用领域：超分辨显微成像表面微纳结构光学检测 规格参数：型号NP-OL-Z-100运动轴Z传感器类型电容式位移传感器行程 (um)100闭环分辨率 (nm)0.35空载谐振频率 (Hz)900最大负载 (kg)2材料铝合金尺寸 (mm)75X95X80纳米定位平台

MLS-1730系列 MLS-1730系列产品由预堆叠的LS-1730系列纳米马达组成，即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。Nators可提供预装配多轴纳米定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。MLS-1730-2D产品描述 MLS-1730-2D所用定位台为LS-1730，运动为21x21mm。概观轴数2所用的定位台LS-1730运动行程[mm]21x21XY 负载[N]10靠板安装尺寸[mm]60x60x25 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]30x30x20 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

MLS-1730系列 MLS-1730系列产品由预堆叠的LS-1730系列纳米马达组成，即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。Nators可提供预装配多轴纳米定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。MLS-1730-3D产品描述 MLS-1730-3D所用定位台为LS-1730，运动为21x21x21mm。概观轴数3所用的定位台LS-1730运动行程[mm]21x21x21XY 负载[N]10Z 负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x59 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]30.75x30x54 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1780产品描述 LS-1780的尺寸为80 x 17 x 10mm，行程范围为51mm。概观运动行程[mm]51尺寸[mm]80 x 17 x 10重量[g]51力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS-1750产品描述 LS-1750的尺寸为50 x 17 x 8.5mm，行程范围为31mm。概观运动行程[mm]31尺寸[mm]50 x 17 x 8.5重量[g]32力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1780产品描述 LS-1780的尺寸为80 x 17 x 8.5mm，行程范围为51mm。概观运动行程[mm]51尺寸[mm]80 x 17 x 8.5重量[g]51力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1770产品描述 LS-1770的尺寸为70 x 17 x 8.5mm，行程范围为46mm。概观运动行程[mm]46尺寸[mm]70 x 17 x 8.5重量[g]46力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1760产品描述 LS-1760的尺寸为60 x 17 x 8.5mm，行程范围为41mm。概观运动行程[mm]41尺寸[mm]60 x 17 x 8.5重量[g]41力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

P-752高精度纳米定位平台P-752高精度纳米定位平台应用领域扫描显微镜测量技术测试程序和质量保证光子光纤定位带电容式传感器，实现亚纳米分辨率电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。自动配置和快速部件更换机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。零间隙柔性铰链导向带来高导向精度柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对振动和冲击不敏感。它们真空兼容，可在很广的温度范围内工作。直接位置测量带来最大精度运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现优异的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1750产品描述 LS-1750的尺寸为50 x 17 x 10mm，行程范围为31mm。概观运动行程[mm]31尺寸[mm]50 x 17 x 10重量[g]32力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

MLS-1720-4D产品描述 MLS-1720-4D所用定位台为LS-1720，运动为12x12x12x12mm。概观轴数4所用的定位台LS-1720运动行程[mm]12x12x12x12XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x48.5 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]40.5x41.5x43.5 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1740-3D产品描述 MLS-1740-3D所用定位台为LS-1740，运动为26x26x26mm。概观轴数3所用的定位台LS-1740运动行程[mm]26x26x26XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x68 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]40x40x63 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1720-3D产品描述 MLS-1720-3D所用定位台为LS-1720，运动为12x12x12mm。概观轴数3所用的定位台LS-1720运动行程[mm]12x12x12XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x48.5 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]28x22x43.5 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1720-2D产品描述 MLS-1720-2D所用定位台为LS-1720，运动为12x12mm。概观轴数2所用的定位台LS-1720运动行程[mm]12x12XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x25 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]28x22x20 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1740-2D产品描述 MLS-1740-2D所用定位台为LS-1740，运动为26x26mm。概观轴数2所用的定位台LS-1740运动行程[mm]26x26XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x25 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]40x40x20 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1730-3D产品描述 MLS-1730-3D所用定位台为LS-1730，运动为21x21x21mm。概观轴数3所用的定位台LS-1730运动行程[mm]21x21x21XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x59 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]30.75x30x54 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1740-4D产品描述 MLS-1740-4D所用定位台为LS-1740，运动为26x26x26x26mm。概观轴数4所用的定位台LS-1740运动行程[mm]26x26x26x26XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x73x68 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]43.25x63x63 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1730-4D产品描述 MLS-1730-4D所用定位台为LS-1730，运动为21x21x21x21mm。概观轴数4所用的定位台LS-1730运动行程[mm]21x21x21x21XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x66x59 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]43.25x51x54 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座(-ST)、钛基(-TI) 均黑色阳极氧化(-BK)真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容(1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

5kg承载级 迷你六自由度并联定位平台 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91 参考级六轴定位系统：5kg承载级 迷你六自由度并联定位平台六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小真空兼容型可达10-6百帕 无刷直流电机(BLDC)无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触，可无磨损地平稳运行， 因此能够实现较长的使用寿命。 应用领域科研和工业，标准和真空环境。用于微制造、医药技术、刀具检查。 规格运动和定位H-811.I2 / .I2V**单位公差主动轴X，Y，Z，θX，θY，θZX、Y向上的行程*±17, ±16毫米Z向上的行程*±6.5毫米θX、θY向上的行程*±10, ±10°θZ向上的行程*±21°促动器设计分辨率5纳米X、Y向上的最小位移0.2微米典型值Z向上的最小位移0.08微米典型值θX、θY向上的最小位移2.5微弧度典型值θZ向上的最小位移5微弧度典型值X、Y向上的空回0.2微米典型值Z向上的空回0.06微米典型值θX、θY向上的空回2微弧度典型值θZ向上的空回4微弧度典型值X、Y向上的重复精度±0.15微米典型值Z向上的重复精度±0.06微米典型值θX、θY向上的重复精度±2微弧度典型值θZ向上的重复精度±3微弧度典型值X、Y和Z向上的最大速度20 / 10毫米/秒θX、θY、θZ向上的最大速度500 / 250毫弧度/秒Typ. X、Y和Z向上的典型速度10 / 5毫米/秒Typ. θX、θY、θZ向上的速度240 / 120毫弧度/秒 机械特性H-811.I2 / .I2V**单位公差X、Y向上的刚性0.7牛/微米Z向上的刚性8牛/微米负载能力（底板为水平方向）5千克最大负载能力（底板为任意方向）2.5千克最大保持力（断电、底板为水平方向）15牛最大保持力（断电、底板为任意方向）2.5牛最大电机类型BLDC电机 其他H-811.I2 / .I2V**单位公差工作温度范围0 到 50°C材料不锈钢，铝质量2.2千克±5 %电缆长度0.5+3/3（空气）+2（真空）米±10 毫米推荐控制器C-887.5x 技术参数为 20±3°C下的数值。* 单个坐标（X、Y、Z、θX、θY和θZ）的行程相互依赖。本表中各轴对应的数值为其最大行程，此时其他轴和枢轴点位于参考位置。**对于真空连续操作，由于发热，可能需要对运行参数进行限制。询问定制版本。 图纸/图片 H-811.I2, 尺寸单位为毫米 订购信息H-811.I2小型六足位移台微型机器人，无刷直流电机，5千克负载容量，20毫米/秒速度，0.5米电缆长度，含3米成套电缆H-811.I2V小型六足位移台微型机器人，无刷直流电机，真空兼容至10-6 百帕，5 公斤负载容量，10毫米/秒速度，2米电缆长度，含3米成套电缆和引线

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1740产品描述 LS-1740的尺寸为40 x 17 x 10mm，行程范围为26mm。概观运动行程[mm]26尺寸[mm]40 x 17 x 10重量[g]26力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1720产品描述 LS-1720的尺寸为20 x 17 x 10mm，行程范围为12mm。概观运动行程[mm]12尺寸[mm]20 x 17 x 10重量[g]13力特性推力[N]≤2负载[N]≤10升力[N]≤1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1730产品描述 LS-1730的尺寸为30 x 17 x 10mm，行程范围为21mm。概观运动行程[mm]21尺寸[mm]30 x 17 x 10重量[g]21力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1770产品描述 LS-1770的尺寸为70 x 17 x 10mm，行程范围为46mm。概观运动行程[mm]46尺寸[mm]70 x 17 x 10重量[g]46力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1760产品描述 LS-1760的尺寸为60 x 17 x 10mm，行程范围为41mm。概观运动行程[mm]41尺寸[mm]60 x 17 x 10重量[g]41力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

TMC 数字精密电子定位系统光学平台数字精密电子定位系统peps® II是在TMC的专利peps® (精密电子定位系统)基础上建立的并进行了改善。通过添加一个新的数字控制器使pep® II的使用更简单，提供了更多的功能，并且具有改进的用户界面。peps® II是用于TMC气浮隔振系统的数字式非接触高度控制系统。这种系统通常包含机械高度阀和机械高度传感装置，其应用范围从用于半导体制造设备提高沉降时间和增加产量，到要求噪声性能和稳定的平台的精密实验室环境。 特性和好处?数字控制，用户友好的LCD接口?用于Gimbal Piston，CSP和Maxdamp的非接触式电动气浮高度控制隔振系统?z轴位置重复性:10微米?通过消除常规机械高度控制系统的杠杆接触点改善隔振性能?气浮前馈功能使z轴对x - y轴运动的反应达到zui 小化?可选“VX”功能集成惯性传感器，用于垂直隔离器共振主动阻尼?比例电子阀。通过使用“开关”或传统电子阀门无脉冲噪声引入Specifications-Physical DimensionsPEPS® II Controller 1.72" (43.7mm) H x 8.0" (203mm) W x 9.4" (240 mm) DWeightsPEPS® II Controller: approximately 3.0 lb (1.2 kg)Environmental(refer to EN 61010-1: 1993,EN 61010-1/A2: 1995)For indoor use only, up to an elevation of 2,000 m (6560 ft.)Maximum allowable temperature range: 5° C to 35° CMaximum allowable humidity: 80% up to 31° C, decreasing linearly to 50% relative humidity at 40° CTolerance in main supply voltage: 85 VAC - 240 VACOver voltage category: 2Pollution degree (IEC 664): 2Ventilation requirements: 25 mm clearance on sides, 0 mm top and bottomPower RequirementsPower input voltage range: 90-230 VACInput frequency range: 50-60 HzPEPS® II User Interface (Front Panel)Power switch4 menu buttons LCD display 20 x 2 characters 2 diagnostic sockets (BNC-type) Three-color status LED USB portPEPS® II Interface(Rear Panel)AC power entry with EMI filter1 air INPUT snap-in port for 1/4" O.D. tubing 1 air OUTPUT (Exhaust) snap-in port for 1/4" O.D. tubing 4 air snap-in ports for 1/4" O.D. tubing (one per isolator) DB-25 male inputs-outputs and feedforward socket1 Phoenix 0.2" pitch 6 pins GREEN header (vertical proximity sensors) 1 Phoenix 3.5 mm pitch 6 pins BLACK header(horizontal proximity sensors) Grounding threaded stud (#10-32 thread) DB-25 F socket: 1x digital Input, 3x geophone sensorsinterface (“-VX” option) DB-25 F socket: 1x digital input, 3x current output proximity sensors (optional)PEPS® IIPerformance SpecificationsAnalog inputs (unipolar): 8 x 12 bit (16 bit using over sampling), 0…3.0 V full scaleAnalog inputs (feedforward): 5 x 12 bit (16 bit using over sampling), ±9 V full scaleAnalog inputs (unipolar) protection: +5 Volts, -0.5 V clippingAnalog input (feedforward) protection: ±15 Volts clippingAnalog outputs: 4 x 12 bit (16 bit with over sampling), 0…3.0 V full scaleAnalog outputs (OPTIONAL): 8 x 16 bit, 0…3.0 V full scaleAnalog output protection: indefinite short circuit protection, +5 Volts clippingDigital input voltage rating: 0…+3.3 V, +5 V tolerant (+5 Volts clipping)Digital output rating: 0…+3.3 V, 20 mA max.Digital I/O protection: +5 Volts, -0.5 Volts clippingExternal available power: +5 VDC, 2.0 A max +15 VDC, 1.0 A max. (20 Watt max)Communication port: USB, appears as RS-232 on PCProcessor: ARM7TDMI / 41.78 MHzControl loop rate: 100 Hz - 2.0 KHzProximity sensors: 3x vertical, (3x horizontal optional) Eddy current, NAMUR 0-20 mA outputVelocity sensors - geophones (“-VX” option): 3x vertical, current outputPneumatic SpecificationsLong-term height stability: ±50 micronsLong-term tilt stability: ±50 micro radiansServo valves: 4 x 2-way variable-orifice proportional servo valvesValving technique: pure class-A Maximum input pressure: 120 PSI or 8.3 Bar or 830 KPaNominal air consumption: 60 slpm (2 scfm)Air requirements: clean, dry air, filtered to 20 microns or betterFail safe: isolators deflate on power failure or power offPneumatic fittings: 'one touch' quick fittings for 1/4" O.D. hose

40kg承载级六自由度并联定位平台无刷直流电机(BLDC)无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触，可无磨损地平稳运行， 因此能够实现较长的使用寿命。绝对编码器绝对编码器提供明确的位置信息，帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位，提高了操作过程中的效率和安全性。应用领域科研和工业. 用于运动仿真（CIPA认证）、工具检查、生命科学、微型制造。40kg承载级六自由度并联定位平台规格H-840.D2AH-840.G2IH-840.D2I单位公差带绝对编码器的无刷直流齿轮电机带绝对编码器的无刷直流电机带旋转编码器的无刷直流齿轮电机带旋转编码器的无刷直流电机主动轴X，Y，Z，θX，θY，θZX，Y，Z，θX，θY，θZX，Y，Z，θX，θY，θZX，Y，Z，θX，θY，θZX、Y向上的行程*±50±50±50±50毫米Z向上的行程*±25±25±25±25毫米θX、θY向上的行程*±15±15±15±15°θZ向上的行程*±30±30±30±30°促动器设计分辨率0.00850.250.0050.037微米X、Y向上的最小位移0.32.50.250.5微米典型值Z向上的最小位移0.210.150.25微米典型值θX、θY、θZ向上的最小位移3 3 515 15 404 4 64.5 4.5 8.5微弧度典型值X、Y向上的空回10.510.5微米典型值Z向上的空回0.30.50.30.5微米典型值θX、θY向上的空回5858微弧度典型值θZ向上的空回105105微弧度典型值X、Y向上的重复精度±0.3±0.4±0.3±0.4微米典型值Z向上的重复精度±0.15±0.1±0.15±0.1微米典型值θX、θY向上的重复精度±2.5±1.5±2.5±1.5微弧度典型值θZ向上的重复精度±3±4±3±4微弧度典型值X、Y和Z向上的最大速度2.5602.560毫米/秒θX、θY和θZ向上的最大速度3070030700毫弧度/秒Typ. X、Y和Z向上的典型速度240240毫米/秒Typ. θX、θY、θZ向上的典型速度2548025480毫弧度/秒40kg承载级六自由度并联定位平台 特性H-840.G2AH-840.D2AH-840.G2IH-840.D2I单位公差负载能力（底板为水平方向/任意方向）30 / 1010 / 330 / 1010 / 3千克最大保持力，断电（底板为水平方向/任意方向）100 / 2515 / 5100 / 2515 / 5牛最大 其他H-840.G2AH-840.D2AH-840.G2IH-840.D2I单位公差工作温度范围-10 到 50-10 到 50-10 到 50-10 到 50°C材料铝/钢铝/钢铝/钢铝/钢质量12121212千克±10 %电缆长度3333米±10 毫米 技术参数为 20±3 °C下的数值。* 单个坐标（X、Y、Z、θX、θY和θZ）的行程相互依赖。本表中各轴对应的数值为其最大行程，此时其他轴和枢轴点位于参考位置。询问定制版本。40kg承载级六自由度并联定位平台图纸/图片 H-840.x2A/x2I，尺寸单位为毫米 订购信息H-840.D2A运动六足位移台微型机器人，无刷直流电机，绝对编码器，负载容量为10公斤，速度，含3米电缆为60毫米/秒H-840.G2A运动六足位移台微型机器人，无刷直流齿轮电机，绝对编码器，负载容量为30公斤，速度，含3米电缆为2.5毫米/秒

技术特点：超高定位精度多轴高动态协同联动无摩擦、零间隙、免装配高刚度、高负载紧凑型结构设计轴间运动学解耦设计多运动模式:定位/扫描可实现正置、倒置的灵活应用真空兼容性，温度使用范围广应用领域：扫描电子显微镜同步辐射光源显微操作双光子聚合规格参数：型号NP-ST-XYZ-100运动轴X，Y，Z行程（um）100/X轴，100/Y轴，50/Z轴闭环分辨率（nm）0.35传感器类型电容式传感器X/Y/Z向上的空载谐振频率（Hz）600/600/550负载（g）200工作温度范围（℃）0~80材料铝合金、钛合金外形尺寸（mm）40x40x41质量（g）150