光栅尺

“影像谱王”系列光栅单色仪/光栅光谱仪“影像谱王”系列光栅单色仪/光栅光谱仪功能及特点：1.180mm，320mm，500mm等多种焦距可选，适应不同光谱带宽需求；2.光学结构采用经典的C-T结构和非球面影像校正技术，最大限度了抑制了像散，使得离轴信号能够在焦平面上汇聚于空间上的同一位置，获得了清晰的成像，从而提高 了信号强度，提升了光谱仪信号收集的能力；3.多光栅塔台设计，更好的发挥了仪器覆盖UV-VIS-IR全波段光谱范围的优势，并可根据需要更加灵活的选择光谱范围和分辨率；4.光栅采用40×40mm或68×68mm（68×84mm）大面积光栅，提高了光收集效率；5.适应不同光谱波段使用的光栅选择，覆盖UV-IR全波段范围；针对红外（1um）波段的最优化设计，光学镜片采用镀金膜设计，提高红外光反射效率；6.更好的杂散光抑制比，达到1×10-5；7.仪器的控制（如光栅转换、波长扫描等）全部由计算机控制，并用USB2.0接口取代传统的RS-232接口，不仅使仪器的连接更加简单化，更极大提高了通讯速率；8.采用DSP芯片控制设计使得多出入口的选择更加具有灵活性，可根据需要选择双入、出口；双入、出口的控制通过计算机软件自动控制，定位更精准；9.可灵活与卓立光源、探测器（单点探测器和阵列CCD等）组合搭建，实现任意光谱系统解决方案，如荧光、拉曼、透射/反射、吸收光谱及光源发射光谱系统等；10.电子快门可选；11.自动狭缝可选；规格参数表（@1200g/mm光栅条件下）：Omni-λ180iOmni-λ320iOmni-λ500iOmni-λ750i焦距(mm)180320500750相对孔径f/4f/4f/6.5f/9.7光学结构C-T机械扫描范围(nm)0-1200分辨率(nm)-PMT0.250.080.050.028分辨率(nm)-CCD(26μm)0.350.210.150.09倒线色散(nm/mm)3.72.31.71.1波长准确度(nm)±0.2±0.15±0.1波长重复性(nm)±0.1±0.08±0.01扫描步距(nm)0.010.0050.0025杂散光1×10-5焦面尺寸(mm)30(w)×10(h)30(w)×14(h)光轴高度(mm)146.5狭缝规格缝宽：0.01-3mm连续手动可调，可选配自动狭缝；缝高：2，4，10，14mm可选光栅尺寸(mm)40×4068×68光栅台双光栅三光栅通讯接口标配USB2.0，可选RS-232

谱王（ Omni- λ）系列为 2005 年推出的第三代光谱仪系列产品，保留了多光栅塔台的设计特点，同时采用全新的 DSP 芯片控制电路，使得仪器的控制更为简单，从而更好的发挥仪器覆盖 UV-VIS-IR 全波段光谱范围的优势，并可根据需要更加灵活的选择光谱范围和分辨率 ；USB2.0 接口取代传统的 RS-232 接口，不仅使光谱仪的连接更加简单化，更极大提高了光谱仪通讯速率 ；全新的 DSP 芯片设计使得光谱仪多出入口的选择更加具有灵活性，可根据需要选择自动双入、出口；与光源、探测器（单点探测器和阵列 CCD 等）的组合搭建，可实现任意光谱系统解决案，如荧光、拉曼、透射 / 反射、吸收光谱及光源发射光谱系统等 ；同时成功研发出双级联和三级联光谱仪，可应用于更微弱光谱探测领域。 “谱王”系列光栅单色仪 / 光谱仪功能及特点■ 150mm，300mm等多种焦距可选，适应不同光谱带宽需求；■ 光学结构采用经典的C-T结构■ 多光栅塔台设计，更好的发挥了仪器覆盖UV-VIS-IR全波段光谱范围的优势，并可根据需要更加灵活的选择光谱范围和分辨率；■ 光栅采用32×32mm或68×68mm大面积光栅，有效提高了收集光效率；■ 适应不同光谱波段使用的光栅选择，覆盖UV-IR全波段范围；■ 针对红外（1μm）波段的最优化设计，光学镜片采用镀金膜设计，提高红外光反射效率；■ 仪器的控制（如光栅转换、波长扫描等）全部由计算机控制，并用USB2.0接口取代传统的RS-232接口，设备连接更简单，同时提升通信效率；■ 采用DSP控制芯片设计使得多出入口的选择更加具有灵活性，可根据需要选择双入、出口；双入、出口的控制通过计算机软件自动控制，定位更精准；■ 可灵活与卓立光源、探测器（单点探测器和阵列CCD等）组合搭建，实现任意光谱系统解决方案，如荧光、拉曼、透射/反射、吸收光谱及光源发射光谱系统等。■ 自动滤光片轮可 “谱王”系列光栅单色仪 / 光谱仪规格参数表（ @1200g/mm 光栅条件下） Omni-λ150Omni-λ300焦距(mm)150300相对孔径(f/#)f/4.2f/3.9光学结构C-TC-T分辨率(nm)0.40.1倒线色散(nm/mm)5.42.7波长准确度(nm)±0.25±0.2波长重复性(nm)±0.1±0.1扫描步距(nm)0.010.005焦面尺寸(mm)25(w)×10(h)27(w)×14(h)光轴高度(mm)137.5137.5狭缝规格缝宽：0.01-3mm连续手动可调，可选配自动狭缝；缝高：2，4，14mm可选光栅尺寸(mm)32×3268×68光栅台双光栅三光栅外型尺寸(mm)212×200×207362×260×205重量(kg)515通讯接口标配USB2.0，可选RS-232

光谱仪、光栅光谱仪、单色仪-谱王系列(Omni-&lambda )Omni-&lambda 系列光谱仪/单色仪特点：◆ 150mm，300mm，500mm，750mm等多种焦距可选，适应不同光谱带宽需求◆ 光学结构采用经典的C-T结构◆ 多光栅塔台设计，更好的发挥了仪器覆盖UV-VIS-IR全波段光谱范围的优势，并可根据需要更加灵活的选择 光谱范围和分辨率◆ 光栅采用68× 68mm大面积光栅，有效提高了收集光效率◆ 多种光栅可以选择，适应不同光谱波段，覆盖UV-VIS-IR范围；◆ 针对红外（1&mu m）波段的最优化设计，光学镜片采用镀金膜设计，提高红外光反射效率◆ 仪器的控制（如光栅转换、波长扫描等）全部由计算机控制，并用USB2.0接口取代传统的RS-232接口，不仅使仪器的连接简单化，更极大提高了通讯速率◆ 全新的DSP芯片设计使得出入口的选择更加具有灵活性，可根据需要选择双入-出口；双入-出口的控制通过计算机软件自动控制，定位更精准◆ 可灵活与光源、探测器（单点探测器和阵列CCD等）组合搭建，实现任意光谱系统解决方案，如荧光、拉曼、透射/反射、吸收光谱及光源发射光谱系统等◆ 自动滤光片轮可选◆ 电子快门可选◆ 自动狭缝可选 技术参数表（@1200g/mm光栅条件下） Omni-&lambda 150Omni-&lambda 300Omni-&lambda 500Omni-&lambda 750焦距(mm)150300500750相对孔径f/4.2f/3.9f/6.5f/9.7光学结构C-T机械扫描范围(nm)0-9000-1200分辨率(nm)0.40.10.050.03倒线色散(nm/mm)5.42.71.71.1波长准确度(nm)± 0.25± 0.2波长重复性(nm)± 0.1± 0.1扫描步距(nm)0.010.005焦面尺寸(mm)25(W)× 10(H)25(W) × 14(H)光轴高度(mm)134狭缝规格缝宽：0.01-3mm连续手动可调，可选配自动狭缝；缝高：2，4，10，14mm可选光栅尺寸(mm)32× 3268× 68光栅台双光栅三光栅外型尺寸(mm)190× 200× 158360× 260× 195550× 288× 195800× 338× 195重量(kg)5152233通讯接口标配USB2.0，可选RS-232

“影像谱王”系列光栅单色仪/光谱仪功能及特点： 1.320mm，500mm等多种焦距可选，适应不同光谱带宽需求；2.光学结构采用经典的C-T结构和非球面影像校正技术，最大限度了抑制了像散，使得离轴信号能够在焦平面上汇聚于空间上的同一位置，获得了清晰的成像，从而提高 了信号强度，提升了光谱仪信号收集的能力；3.多光栅塔台设计，更好的发挥了仪器覆盖UV-VIS-IR全波段光谱范围的优势，并可根据需要更加灵活的选择光谱范围和分辨率；4.光栅采用68×68mm（68×84mm）大面积光栅，提高了光收集效率；5.适应不同光谱波段使用的光栅选择，覆盖UV-IR全波段范围；针对红外（1um）波段的最优化设计，光学镜片采用镀金膜设计，提高红外光反射效率；6.更好的杂散光抑制比，达到1×10-5；7.仪器的控制（如光栅转换、波长扫描等）全部由计算机控制，并用USB2.0接口取代传统的RS-232接口，不仅使仪器的连接更加简单化，更极大提高了通讯速率；8.采用DSP芯片控制设计使得多出入口的选择更加具有灵活性，可根据需要选择双入、出口；双入、出口的控制通过计算机软件自动控制，定位更精准；9.可灵活与卓立光源、探测器（单点探测器和阵列CCD等）组合搭建，实现任意光谱系统解决方案，如荧光、拉曼、透射/反射、吸收光谱及光源发射光谱系统等；10.电子快门可选；11.自动狭缝可选；“影像谱王”系列光栅光谱仪规格参数表（@1200g/mm光栅条件下）：　Omni-λ300iOmni-λ500iOmni-λ750i焦距(mm)320500750相对孔径f/4.2f/6.5f/9.7光学结构C-T光谱范围200nm-22um（根据合适的光栅）机械扫描范围(nm)0-1200分辨率(nm)-PMT0.080.050.028分辨率(nm)-CCD(26μm)0.210.150.09倒线色散(nm/mm)2.31.71.1波长准确度(nm)±0.15±0.1波长重复性(nm)±0.08±0.01扫描步距(nm)0.0050.0025杂散光1×10-5焦面尺寸(mm)30(w)×14(h)光轴高度(mm)146狭缝规格缝宽：0.01-3mm连续手动可调，可选配自动狭缝；缝高：2，4，14mm可选光栅尺寸(mm)68×68光栅台三光栅通讯接口标配USB2.0，可选RS-232

功能及特点● 180mm，320mm，500mm等多种焦距可选，适应不同光谱带宽需求；● 光学结构采用经典的C-T结构和非球面影像校正技术，最大限度了抑制了像散，使得离轴信号能够在焦平面上汇聚于空间上的同一位置，获得了清晰的成像，从而提高了信号强度，提升了光谱仪信号收集的能力；● 多光栅塔台设计，更好的发挥了仪器覆盖UV-VIS-IR全波段光谱范围的优势，并可根据需要更加灵活的选择光谱范围和分辨率；● 光栅采用40× 40mm或68× 68mm（68× 84mm）大面积光栅，提高了光收集效率；● 适应不同光谱波段使用的光栅选择，覆盖UV-IR全波段范围；针对红外（1um）波段的最优化设计，光学镜片采用镀金膜设计，提高红外光反射效率；● 更好的杂散光抑制比，达到1× 10-5；● 仪器的控制（如光栅转换、波长扫描等）全部由计算机控制，并用USB2.0接口取代传统的RS-232接口，不仅使仪器的连接更加简单化，更极大提高了通讯速率；● 采用DSP芯片控制设计使得多出入口的选择更加具有灵活性，可根据需要选择双入、出口；双入、出口的控制通过计算机软件自动控制，定位更精准；● 可灵活与卓立光源、探测器（单点探测器和阵列CCD等）组合搭建，实现任意光谱系统解决方案，如荧光、拉曼、透射/反射、吸收光谱及光源发射光谱系统等。● 电子快门可选● 自动狭缝可选 规格参数表（@1200g/mm光栅条件下） 　Omni-&lambda 180iOmni-&lambda 320iOmni-&lambda 500iOmni-&lambda 750i焦距(mm)180320500750相对孔径f/4f/4f/6.5f/9.7光学结构C-T机械扫描范围(nm)0-1200分辨率(nm)-PMT0.250.080.050.028分辨率(nm)-CCD(26&mu m)0.350.210.150.09倒线色散(nm/mm)3.72.31.71.1波长准确度(nm)± 0.2± 0.15± 0.1波长重复性(nm)± 0.1± 0.08± 0.01扫描步距(nm)0.010.0050.0025杂散光1× 10-5焦面尺寸(mm)30(w)× 10(h)30(w)× 14(h)光轴高度(mm)146.5狭缝规格缝宽：0.01-3mm连续手动可调，可选配自动狭缝；缝高：2，4，10，14mm可选光栅尺寸(mm)40× 4068× 68光栅台双光栅三光栅通讯接口标配USB2.0，可选RS-232

英国真尚有_光栅尺 | 微米级光栅尺 | AE0xAE0x微米级光栅尺设计用于测量和检查工程物体的位移、尺寸、跳动、表面轮廓和变形。主要特点：◇ 0.1 µm 分辨率◇ 最高±2 µm 精度◇ 测量范围从 3 到 55 mm◇ 可应用范围广，对被测物本身无限制（低反射率、镜面、透明… … 都不影响）◇ 绝对测量的创新技术◇ 增量编码器信号的仿真应用领域：技术规格：

在雷尼绍光栅尺里VIONiC是一款超高精度数字增量式光栅，其读数头内集成了雷尼绍经过市场检验的可靠光学滤波系统和先进的细分技术。VIONiC光栅系统具有多种速度和分辨率配置，并可配用一系列直线栅尺或圆光栅。这使其成为适合高精密反馈应用的功能最全面的光栅之一。此外，VIONiC读数头采用直观的自动校准模式设计，易于安装。在雷尼绍光栅尺里RTLC20是一款轻薄小巧的不锈钢钢带栅尺，其具有20 μm栅距的增量式刻线和用户可选择的IN-TRAC参考零位。精度达±5 μm/m，长度最大达10米。有两种安装选项可供选择，均具有独立热膨胀系数和钢带栅尺的便利性。RTLC20能够与创新的FASTRACK™ 栅尺导轨系统结合使用。该系统可快速轻松地安装导轨，而无需固定孔。移除一次性垫片，然后将钢带送入轨道。用背面自带的不干胶带将RTLC20-S粘贴到基体上。不干胶的作用是确保基体的热膨胀不会影响到栅尺。为了完成安装，两种类型的栅尺都用夹具夹在一个点上，从而提供基准位置。VIONiC将高速细分功能与优异的测量性能相结合，非常适合要求极为严苛的应用，因此是一款理想的光栅。它提供多种不同光栅配置，以便用户可根据他们的运动控制要求优化系统的速度和分辨率。此外，VIONiC读数头可与各种精度的直线栅尺和圆光栅配合使用。VIONiC光栅的校准简单快捷，因此非常适合用于大批量产线。搭配FASTRACK导轨系统的RTLC20栅尺非常适合需要将机器拆分进行运输或其他要求栅尺安装/拆卸转运的应用场合。栅尺可从导轨上拆下并快速重新装上，即使在空间狭小受限的场合也是如此，因此减少了机器停机时间。技术规格测量标准FASTRACK RTLC20：带导轨安装系统的不锈钢钢带栅尺RTLC20-S：背面自带不干胶带的不锈钢钢带栅尺，可直接安装至基体，无需FASTRACK导轨读数头尺寸 (LxHxW)35 mm x 13.5 mm x 10 mm栅距20 μm20 °C时的热膨胀系数10.1 ±0.2 μm/m/°C20 °C时的精度等级±5 μm/m参考零位IN-TRAC 参考零位直接嵌入RTLC20 / RTLC20-S选择器磁体用于识别一个或多个参考零位限位开关双限位栅尺长度FASTRACK：100 mm至25,000 mmRTLC20/RTLC20-S：20 mm至10,000 mm最高速度最高可达12 m/s（详见规格手册）电子细分误差 (SDE)典型值 ±15 nm*动态信号控制实时信号调节，包括自动增益控制 (AGC)、自动平衡控制 (ABC) 和自动偏置控制 (AOC)，整个工作条件范围内实现性能优化增量信号分辨率从5 μm至2.5 nm（详见规格手册）电气连接电缆长度为0.5 m、1 m、1.5 m、2 m和3 m，采用D型插头（9针和15针）或圆形同轴插头（12针）电源5 V -5%/+10%，完全端接通常200 mA振动（工作）55 Hz至2,000 Hz时100 m/s2（最大值）震动（非工作）500 m/s2，11 ms，?正弦，3轴工作温度0 °C至+70 °C防护等级IP40雷尼绍光栅尺，首选创盛世

• 这是一种可直接连接控制装置的细长、封闭、两相方波光栅尺。• 光栅尺报警显示功能易于维护。• 适于您应用的多种规格。• 适用于控制半导体制造系统和NC机床。型号AT211有效测量范围*100-1500mm(20型号)精度(20°O*(3+3Lo/1OOO)卩mLo:有效测量范围(mm)(2+2Lo/1OOO)pm(Lo^5OOmm)输出波形90唯位差二相方波信号最大峋应速度*5.4-120m/min（B分辨力及边缘距离而异）分辨力

阿米精控绝对式光栅位移传感器用于对指标有着极高要求的超精密测量应用及需要精确实时的运动系统。光栅位移传感器读数头通过感测光栅尺上均匀间隔的刻线来精确测量位置，并将位置实时数据以模拟或数字信号输出。高运动速度、抗干扰能力强，能提供可靠的直线、旋转和圆弧位置测量。技术特点：绝对式光栅尺自主知识产权芯片高运动速度测量长度支持6.7m定制防护等级IP53抗干扰能力强接受定制协议应用领域： 半导体与集成电路 精密制造 医疗器械 电子信息 科学仪器 航空航天规格参数：尺寸：36ｘ13.5ｘ10mm分辨率：12.5nm电子细分误差：＜25nm最大速度：50(直线系统) m/s重量(读数头)：10g重量(电缆)：18g电源：5V±10% 300mA输出接口：BISS C，ABZ（RS422)；可选LVDS差分或SPI串行通讯出线长度：2(可选5、10)m工作温度：-40~125℃工作湿度：小于95%相对湿度（非冷凝）栅尺材质：玻璃/钢尺 （栅尺长度可定制）栅尺类型：直线型

中图仪器Mars高分辨光栅尺高精度坐标测量机支持触发探测系统，能够对各种零部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测。采用的测量技术和精密的传感器，结合精密的机械结构和温度补偿系统，精度高、重复性优。不管是复杂的三维形状还是细微的尺寸差异，每一次测量都能达到微米级精度，实现对产品质量的严格把控。主要特点1.三轴均采用低热膨胀系数的花岗岩导轨，机器具有良好的温度适应性，抗时效变形能力。2.环抱式气浮布局，使机器在高效稳定运行的同时保持高精度。3.关键部件一体铸造成型，重量轻，强度高，提升机器精度及运动平稳性。4.Z轴采用柔性平衡系统，降低摩擦阻力，提高Z轴运动精度。5.采用高精度、高分辨光栅尺，确保机器高精度和长时间稳定。6.高刚性传动方式，保证机器传动的平稳性和刚性。7.开放式的工作台面，具备良好的承载能力，以及开阔的测量视野。8.气压检测安全装置，时刻监测Z轴不因断气而下坠，确保测座测头使用安全。中图仪器自主研发的专业三坐标测量软件，具有丰富的功能和直观的用户界面。用户可以轻松进行测量操作、数据分析和报告生成，提高工作效率和数据处理能力。国产三坐标测量机，控制器、测头测座、软件全自主研发，安全可控。测控部分Mars高分辨光栅尺高精度坐标测量机测控部分的配置可以根据需求进行选择不同的型号和品牌。1、控制器中图Alpha系列控制器，是中图自主研发的三坐标控制器，可以匹配中图自己研发的测头测座系统和主机系统。性能特点：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；固态电子开关设计，无大功率继电器，具有更小的体积和冲击电流，更高的可靠性；同步PWM控制技术和共模抑制设计，环路响应快，驱动效率高，发热低；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性；控制器符合I++标准，能兼容市面上的主流测量软件。2、测座ACH100T全自动旋转测座为中图仪器自主研发的自动旋转测座，可实现测头在A 轴和B 轴以7.5 度为增量移动，该测座具有720个可重复定位空间位置，可配置长达300mm 加长杆。精度超进口测座。性能特点：测座能实现A角度0-105°，B角度-180°-﹢180°的运动；测座采用精密的6点定位，实现测座的高定位精度；关键零部件采用复合材料、高强度材料；测座通过动态防撞、静态防撞设计，确保测座的使用安全。3、测头CP100T触发测头为中图仪器自主研发的机械式触发测头，可以在空间5个方向进行触发受力，经过长时间的反复对比测试，性能优于同类型进口测头。精度高，稳定性好。4、测量软件Power DMIS测量软件是中图仪器自主研发的三坐标测量分析软件，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB认证。中图仪器高分辨光栅尺高精度坐标测量机国产化品牌本地化生产和供应链管理降低了生产和运营成本，使产品价格更具竞争力，而且性能同样可靠，提供了高性价比的选择。由于不同行业和领域的测量需求各不相同，国产三坐标测量机功能的研发和应用也可以根据具体情况进行定制和改进，国产品牌也能够更快地响应客户需求，提供及时的售后服务。

RGS20-S&RGS40-S镀金栅尺 钢带式光栅尺雷尼绍的独特RGS镀金光栅尺具有20 μm或40 μm栅距，采用保护膜或聚酯涂层。RGS20-S光栅尺栅距的单位刻线为20 μm，刻划在6 mm宽的钢带上，光栅尺表面有一层可增强和稳定反射率的镀金薄层；一层保护膜不但增强了光栅尺使用的便捷性，而且还保护其不受污染；并采用背面自带特殊配方的不干胶带，安装简单快捷。RGS40-S光栅尺是栅距为40 μm的栅尺。为减少用户的库存需要并尽可能增强生产灵活性，光栅尺可以成卷供货，用户可在安装地点根据需要裁剪。20 μm栅距的光栅尺适合与雷尼绍的所有RG2系列读数头配合使用：RGH22、RGH24和RGH25F，而40 μm的RGS40-S光栅尺适合与RGH34和RGH41读数头配合使用。RGS20-S和RGS40-S光栅尺适合安装在金属、花岗岩、陶瓷和合成材料等大多数常见的工程材料上；雷尼绍RGS20-P和RGS40-P聚酯涂层选项增强了光栅尺抗溶剂和润滑剂的能力。可使用由环氧胶粘合的端压片将光栅尺端部牢牢固定在轴基体上，无需钻孔。由于光栅尺的截面尺寸非常小，因此可固定到基体上，并与基体的热膨胀系数保持一致。光栅尺与基体的移动差几乎为零，即使出现较大的温度波动也不受影响。雷尼绍RGSZ是新版的RGS镀金光栅尺，专为TONiC光栅尺所开发，该光栅尺具有备受推崇的用户自选IN-TRAC光学参考零位，直接嵌入增量码道通道中，并且只需按下按钮即可方便地实现自动电子调相。 栅尺 描述 线性度 微线性 RGS20-S 20 μm栅距，带保护膜的自贴式镀金钢带光栅尺 ±3 μm/m ±0.75 μm/60 mm了解更多产品信息及产品价格 请联系我们 联系方式： 毕先生 程女士

1、产品简介 荷兰TeraNova公司的光栅CD尺寸无损检测仪是一款针对工业客户的大范围、快速、无损光栅关键尺寸检测设备。该设备利用光的散射原理，可以无损、快速检测被测光栅的周期（pitch）、线高（Height）、占空比（DC）、侧壁角（Side-wall Angle）、残余层厚度（RLT）、折射率（Diffractive index）等尺寸参数。特别适合AR/VR光学镜头表面光栅图形的无损检测。可以解决传统采用电镜只能进行切割、局部检测、破坏性检测的缺点。2、检测原理 光源的入射光线在物镜（Objective lens）的后焦平面（Back-focal plane）聚焦，通过物镜后产生准直平行光（Collimated light）照射样品表面。通过调整入射光线在后焦平面的聚焦位置（Δ）来调整准直平行光照射样品表面的角度。照射样品表面的准直平行光发生衍射，形成不同光强的衍射级（Diffracted orders），收集不同入射角度（Incidence angle）对应产生的不同衍射级信号，与数据库信息进行拟合，就可以对被测样品进行评估并得到被测样品的几何参数信息。3、主要技术参数: 关键尺寸灵敏度：＜2nm； 空间分辨率：50μm； 每个点扫描时间：15s-30s； 照射角度范围：-40°～40°； 仪器尺寸（高度*长度*宽度）：1.8m*0.9m*0.5m； 最小晶圆厚度：0.3mm； 晶圆尺寸（直径）：最大300mm（12寸； 基底兼容性：透明或不透明； 晶圆装载方式：手动或自动；4、与扫描电镜（SEM）检测方法对比 待测样品由荷兰SCIL公司的AutoSCIL型纳米压印机加工，使用荷兰SCIL公司的NanoGlass无机光刻胶，光栅周期（Pitch）约为380nm，残余层厚度（RLT）约为47nm，线高（Height）约为102nm。通过将检测值与数据库信息拟合，得到样品几何参数。 测试结果对比：检测方法CD尺寸参数周期（Pitch）线高（Height）残余层厚度（RLT）占空比（DC） TeraNova光栅关键尺寸测量仪385nm102nm47nm42.5%SEM382nm97nm42nm43% 结论：通过两种不同检测方法测得的样品CD尺寸参数的对比可以看出，采用TeraNova光栅尺寸无损检测仪测得的数据与SEM无明显差异，但由于TeraNova光栅尺寸无损检测仪具有大范围、快速、无损检测的特点，使其更适合应用于工业领域。5、应用案例-光栅关键尺寸（CD尺寸）空间点阵扫描样品尺寸：25mm * 25mm光栅周期（Pitch）：380nm线高（Height）：96nm光栅制备方法：基底保形纳米压印（SCIL）1） 光学显微镜和电子显微镜下的被测样品2） 同一测量点，入射光TE方向偏振和TM方向偏振的入射角与对应光强分布的测量值与数据库拟合结果3） 光栅样品的线高和边缘角的数据及其分布情况6、应用领域：AR/VR/光栅

了解更多产品信息及价格请联系我们 联系方式： 毕先生 程女士雷尼绍光栅尺配件 原装 参考零点RGM22S/A-9531-0250 端压片 RGC-F/A-9523-4015 限位开关RGP22S A-9531-0251

了解更多产品信息及价格 请联系我们 联系方式： 毕先生 程女士雷尼绍提供品种齐全的、小巧的光栅测量系统以满足多种工业领域应用的需求。本产品样本精选了多种高速直线光栅、“安装简便”的平面光栅、圆光栅和系列细分卡加以介绍。雷尼绍光栅系统的成功开发是基于其创新的非接触式光学结构。这种设计在实现**测量、高分辨率和零机械磁滞的同时，有很强的抗污能力，如灰尘、轻度油渍和划痕而不影响信号的完整性。这些都确保了用户的机器运行可靠而不需过多的维护。不仅如此，雷尼绍的光栅系统还以其易于安装响誉业界。镀金的光栅尺可被灵活地剪至适宜的长度以适应不同的轴长（可达70m），其背面自粘的特别设计使得安装时无需钻孔和螺钉压紧，从而节省了时间和成本。所有读数头和接口都有获得**的LED 安装状态指示灯监控，而无需示波器及其它复杂的安装监控装置，这样也节省了时间和成本。雷尼绍光栅测量系统广泛应用于大多数工业领域，包括计量、运动系统、电子、半导体设备、医疗、扫描/ 印刷、科学仪器、空间测量、影像和专用机器。“无论何时何地，只要有精密运动控制，就需要精密光栅测量系统。” - - 雷尼绍就能满足这一需求。TI1000A10ATI1000A40ATI1000A00AT1000-30ATI0020A20ATI0020A21A

1、产品简介 荷兰TeraNova公司的光栅尺寸无损检测仪是一款针对工业客户的大范围、快速、无损光栅尺寸检测设备。该设备利用光的散射原理，可以无损、快速检测被测光栅的周期（pitch）、线高（Height）、占空比（DC）、边缘角（Side-wall Angle）、残余层厚度（RLT）、折射率（Diffractive index）等数据。特别适合AR/VR光学镜头表面光栅图形的无损检测。2、检测原理 光源的入射光线在物镜（Objective lens）的后焦平面（Back-focal plane）聚焦，通过物镜后产生准直平行光（Collimated light）照射样品表面。通过调整入射光线在后焦平面的聚焦位置（Δ）来调整准直平行光照射样品表面的角度。照射样品表面的准直平行光发生衍射，形成不同光强的衍射级（Diffracted orders），收集不同入射角度（Incidence angle）对应产生的不同衍射级信号，与数据库信息进行拟合，就可以对被测样品进行评估并得到被测样品的几何参数信息。3、主要技术参数n 关键尺寸灵敏度：＜2nm；n 空间分辨率：50μm；n 每个点扫描时间：15s-30s；n 照射角度范围：-40°-40°；n 仪器尺寸（高度-长度-宽度）：1.8mÍ 0.9mÍ 0.5m；n 最小晶圆厚度：0.3mm；n 晶圆尺寸（直径）：最大300mm；n 基底兼容性：透明或不透明；n 晶圆装载方式：手动或自动；4、与扫描电镜（SEM）检测方法对比 待测样品由荷兰SCIL公司的AutoSCIL型纳米压印系统加工，使用SCIL公司的NanoGlass&trade 无机光刻胶，光栅周期（Pitch）约为380nm，残余层厚度（RLT）约为47nm，线高（Height）约为102nm。通过将检测值与数据库信息拟合，得到样品几何参数。 测试结果对比：检测方法样品几何参数周期（Pitch）线高（Height）残余层厚度（RLT）占空比（DC）TeroNova光栅尺寸无损检测仪385nm102nm47nm42.5%SEM382nm97nm42nm43% 结论：通过两种不同检测方法测得的样品几何参数的对比可以看出，采用TeroNova光栅尺寸无损检测仪测得的数据与SEM无明显差异，但由于TeroNova光栅尺寸无损检测仪具有大范围、快速、无损检测的特点，使其更适合应用于工业领域。5、应用案例-光栅关键尺寸（CD）空间点阵扫描样品尺寸：25mmÍ 25mm光栅周期（Pitch）：380nm线高（Height）：96nm光栅制备方法：基底保形纳米压印（SCIL）1） 光学显微镜和电子显微镜下的被测样品2） 同一测量点，入射光TE方向偏振和TM方向偏振的入射角与对应光强分布的测量值与数据库拟合结果3） 光栅样品的线高和边缘角的数据及其分布情况

• 细长型外形适于节省空间设计的。• 高刚性ABSAT500-S系列具有抗振动、抗冲击和温度控制的特性，ABSAT500-H系列具有良好的温度控制特性和高精度。• 一旦光栅尺发出报警，接口单元的报警灯(红色)会亮起。• 支持多种制造商接口，允许多种系统配置。高刚性型高精度型型号ABSAT500-SCABSAT500-HCABSAT500-HL/HR分辨力0.005pm*V0.05pm最大响应速度150m/min(H系列分辨力为0.005pm的型号:72m/min)有效测量范围100-2200mm100-1000mm100-350mm

• ABSOLUTE线性编码器吸纳了我们独特的静电电容和光电技术。*ABSOLUTE光栅尺的详尽工作原理，详细信息参见H-30页“精密量仪量具的小知识”。• 无备用电源，因而大大降低了功耗。• 在启动或断电后不需要重新校准，因而易于操作。• 适用于需要高精度和高速度控制的机器的位置反馈。• 增强了防机械推动性能和抗噪音干扰性能。型号ABSAT353ABSAT343ABSAT343AABSAT303ABSAT303A适用系统FANUCLtd.NC控制装置三菱电器三菱CNC系列三菱电器MR-J3放大器支持三丰ENSIS接口分辨力

了解更多产品信息及产品价格 请联系我们联系方式： 毕先生 程女士英国renishaw雷尼绍光栅尺读数头RH100X30D05A RGH22D10D00A RGH22D10F00A RGH22X05D00A RGH22X10D00A RGH22X15D00A RGH22X30D00ARGH22Y05D61A RGH22Y30D61A RGH22Z30D00A RGH22Z50D00A RGH24B30F00A RGH24B30L00ARGH24X15A00A RGH24X15F00A RGH24Y30D31A RGH24Y50A30A RGH24Z15F00A RGH24Z30F00ARGH26Q05N00A RGH26R05N00A RGH40T05D05R RGH41B05L00A RGH41B05W00A RGH41D30D05ARGH41G30D05A RGH41G30F06A RGH41N15D63A RGH41T10D05A RGH41X15D05A RGH41X30D05ARGH41X50D05A RH100X30D05A RMM44A2C00 RGS20-S RGS40-S

雷尼绍原装 RENISHAW雷尼绍光栅尺读数头读取头 雷尼绍读数头RGH20B30L00A了解更多产品信息及产品价格 请联系我们 联系方式： 毕先生 程女士

雷尼绍RGH34系列是一种非接触式光栅系统，可提供高度可靠的位置反馈。该模块化微型光栅系统包含一个可读取刻划栅尺的RGH34读数头，以及一个可选择输出具有各种分辨率的行业标准1Vpp模拟信号或RS422数字信号的RGI34接口。它具备雷尼绍成熟光栅产品系列的全部优点，如可简化安装过程的LED安装指示灯，以及抗污能力优异的独特光学滤波系统。除了这些广受欢迎的特性外，RGH34还具有更高的工作速度、更大的安装公差和更小的尺寸，可提高生产效率并实现更大的安装灵活性。RGH34可读取栅距为40 μm的RGS40镀金钢带栅尺。RGS40适合安装在金属、花岗岩、陶瓷和复合材料等大多数常见的工程材料上。可使用特殊配方预涂不干胶和环氧胶粘合的“端压片”将栅尺固定在轴基体上。这种安装方式可确保栅尺与基体之间的移动差几乎为零，即使出现较大的温度波动也不受影响。RGH34读数头和RGI34接口：超小型组件式读数头开放式非接触光学系统行业标准数字和模拟信号输出选项分辨率从10 μm至50 nm可选参考零位或限位传感器集成LED安装指示灯RGS40栅尺： 应用灵活，可按需裁剪 长度从100 mm至50 m不等 保护膜或坚固的聚酯涂层选项，适用于使用强溶剂的应用场合 安装快捷、精准 可粘贴在大多数常见的工程材料上 背面自带不干胶带 安装工具可利用轴运动安装栅尺

型号AT116有效测量范围100-1500mm(共20种型号)精度(20°C)(5+5Lo/1000)pm输出波形90°相位差二相正弦波信号最大响应速度50m/min光栅刻度间距20pm栅尺原点50mm输出间距尘/水防护等级

RH100读数头的特性与优点 读数头小巧、坚固，采用内置细分电路，能够提供具有行业标准的模拟和数字输出提供高速、可靠的操作且摩擦和磨损均为零40 µ m栅距的栅尺提供了宽松的读数头安装公差内置LED安装指示灯简化了安装过程具有专利的光学滤波系统在大多数开放式光栅都不适用的条件下，仍具有优异的信号稳定性参考零位提供可重复的起始位置，而限位开关则指示轴行程的终点

雷尼绍RGH45读数头拥有已得到市场认可的RG4直线光栅系统的所有优点 — 提供非接触式的高速性能，并且拥有光学滤波系统，为防尘、防污染和防划痕提供了可靠的性能保证。RGH45读数头专门与雷尼绍的高精度RTLR40不锈钢带栅尺配用。读数头密封在坚固的压铸件外壳中，采用优质的固态元件，具有超凡的可靠性。双限位开关感应功能和重复性参考零位也属于标准配置，可提供轴两端各自的限位信号。安装快速简单，这得益于宽松的读数头安装公差和快速栅尺安装技术，该技术利用轴运动放置栅尺，然后通过用Loctite 固定的单个夹具锁定至基体。雷尼绍独特的LED安装指示灯指明何时达到最佳状态，无需复杂的示波器或安装设备。RGH45提供背面自带不干胶带的RTLR40-S钢带栅尺或带雷尼绍独特的 FASTRACK ™ 导轨系统的RTLR40，可轻松更换栅尺 — 非常适合安装在需要拆分运输的长型机床上。两种栅尺都具备高精度刻度，直接刻划在不锈钢带上，可防止强溶剂腐蚀。上述所有优点使得RGH45读数头具有更大的灵活性，因此成为各种应用的理想选择，包括直线电机、平面显示器制造、电子装置组装与测试、印刷机和各种高速运动控制系统。数字范围RGH45T - 10 μm分辨率RGH45D - 5 μm分辨率RGH45G - 2 μm分辨率RGH45X - 1 μm分辨率RGH45N - 0.4 μm分辨率RGH45W - 0.2 μm分辨率RGH45Y - 0.1 μm分辨率模拟范围RGH45A - 1 Vpp差分? 使用RTLR40和RTLR40-S高精度不锈钢带栅尺? 独特的光学滤波系统和直流光源伺服? 安装公差大? 优异的抗污能力? 高速运行，可达10 m/s? 行业标准数字和模拟信号输出选项? 分辨率从10 μm到0.1 μm? 内置参考零位和双限位传感器? 集成LED安装指示灯

RGH41读取RGS40镀金钢带栅尺的读数，提供了一个安装简便、性能可靠的直线光栅解决方案。 RGS40-S 40 μm栅距钢带栅尺，具有50 nm的分辨率 RGH41读数头的特性与优点：读数头小巧、坚固，采用内置细分电路，能够提供具有行业标准的模拟和数字输出提供高速、可靠的操作且摩擦和磨损均为零40 μm栅距的栅尺提供了宽松的读数头安装公差内置LED安装指示灯简化了安装过程具有专利的光学滤波系统在大多数开放式光栅都不适用的条件下，仍具有优异的信号稳定性参考零位提供可重复的起始位置，而限位开关则指示轴行程的终点RGH41系列型号： RGH41B05L00A RGH41B05W00A RGH41D30D05A RGH41G30D05A RGH41G30F06A RGH41N15D63A RGH41T10D05A RGH41X15D05A RGH41X30D05A RGH41X50D05A 所有读数头和接口都有获得专利的LED 安装状态指示灯监控，而无需示波器及其它复杂的安装监控装置，这样也节省了时间和成本。雷尼绍光栅测量系统广泛应用于大多数工业领域，包括计量、运动系统、电子、半导体设备、医疗、扫描/ 印刷、科学仪器、空间测量、影像和专用机器。 “无论何时何地，只要有精密运动控制，就需要精密光栅测量系统。” - - 雷尼绍就能满足这一需求。 了解更多产品信息及价格 请联系我们 联系方式： 毕先生 程女士

、型号AT112-F有效测量范围50-1020mm供19种型号)精度(20°C)(3+3LQ/1000)um输出波形90°相位差二相正弦波信号最大响应速度50m/min光栅刻度间距20pm栅尺原点50mm

RGH24直线光栅具有以下特性：坚固耐用、性能可靠、50 nm分辨率、配有内置LED安装指示灯和抗污能力光学滤波系统开放式、非接触RGH24读数头配有雷尼绍灵活的20 μm RGS20-S钢带栅尺，具有50 nm的分辨率。 RGH24读数头的特性与优点：超小型坚固外壳工业标准的数字和模拟信号输出内置细分卡和安装LED 指示灯分辨率从5μm，1μm，0.5μm，0.2μm，0.1μm 到50nm 不等参考零位或单限位开关传感器高柔性双屏蔽8 芯电缆三态低电平报警信号输出14.8mm ×36.0mm×13.5mm(H×L×W)可提供JST 连接器型产品RGH24系列型号：RGH24B30F00A RGH24B30L00A RGH24X15A00A RGH24X15F00A RGH24Y30D31A RGH24Y50A30A RGH24Z15F00A RGH24Z30F00A 所有读数头和接口都有获得专利的LED 安装状态指示灯监控，而无需示波器及其它复杂的安装监控装置，这样也节省了时间和成本。雷尼绍光栅测量系统广泛应用于大多数工业领域，包括计量、运动系统、电子、半导体设备、医疗、扫描/ 印刷、科学仪器、空间测量、影像和专用机器。 “无论何时何地，只要有精密运动控制，就需要精密光栅测量系统。” - - 雷尼绍就能满足这一需求。 了解更多产品信息及具体价格 请联系我们 联系方式： 毕先生 程女士

特点：A.增量式光电编码器B.分辨率0.1μm到0.5μm可选C.宽对准公差我们的产品可广泛应用于机床自动化、坐标测量、快速成型制造、比对测量、拉曼光谱分析、机器校准、位置反馈、牙科CAD/CAM、形状记忆合金、大尺寸范围测绘、立体定向神经外科和医学诊断等领域。目前公司的产品涵盖新加坡、以色列等一线工业控制产品，其中包括：直线电机、直线模组、高精密运动平台、DD马达、音圈电机、运动控制系统，除此以外公司擅长领域包括：★根据电机及推力需求提供选择规格；★电机设计； ★根据客户的需求设计特制平台；★机械结构的有限元分析（静态和动态）；★高精度大型平台(T-型驱动, H-型驱动, 主动协调偏航控制系统H-型驱动)；★高性能控制器的运动控制解决方案；★利用激光干涉与分析仪器分析平台的重复精度, 定位精度, 直线度, 平面度等资料；★自然频率震动分析，静压空气轴承平台；产品应用行业范围包括：★半导体制造业（光刻机,晶元检测, BGA 和 IC 检验, 金丝焊线机，固晶机，激光切割, 倒装焊接等）★手机制造（触摸屏，点胶、组装，测试，加工等）★硬盘（HGA，滑块制造，检验，构造盘媒介等）★电子零件制造及组装（汽车、航空电子）★生物医学（DNA /基因测序，微型排列，药物制造等）★机床（数控磨床、铣床， 车床、电火花加工等）★印刷（UV平板、喷墨印刷，3D打印）★检验系统（光子发射显微镜，视觉系统等）★OLED/LCD/TFT（G2.5/G6/G8.5/G10.5/G11.5产线的曝光，检验系统，激光标号，切割等）★其他（汽车零件检测，连接器制造，分配系统，物流分拣等）

TONiC&trade 是Renishaw推出的新款超小型非接触式光栅，在线性和旋转应用中均可达到10 m/s的速度和高至5 nm的分辨率。TONiC&trade 显著提高了Renishaw现有高速非接触式光栅的性能，同时进一步改善了信号稳定性和长期可靠性，产品拥有成本低，简便性无与伦比。 运动系统设计通常要在速度和精度之间取得一个平衡。TONiC&trade 光栅尺解决这一难题，即使在高至0.1 µ m的分辨率下采用各种直线光栅和圆光栅均可达到 3 m/s以上的速度。该产品包括一种新型Renishaw柔性镀金钢带光栅尺，光栅尺具有备受推崇的用户自选IN-TRAC&trade 光学参考零位，利用按钮即可自动调节相位。独特的IN-TRAC&trade 参考零位直接刻入增量信号通道中，这在最大程度上防止了扭摆引起的相位偏移，此外，确保了整个速度和温度范围内相位保持一致。 Renishaw的光栅系列产品因安装快捷简单而得到广泛认可。除了INTRAC&trade 双向参考标记之外，新型TONiC&trade 光栅还具有自动校正功能和一个包含两个内置诊断LED的读数头，将简便性提高至新的水平。 新型TONiC&trade 读数头体积虽小，但读数头内含动态信号处理功能，进一步提高了信号的纯度和稳定性，细分误误差小于± 30 nm。系统设计者可以使用读数头直接输出1 Vpp模拟信号，或从具有细分和诊断功能的15针D型插头输出数字信号。Renishaw 经过实践检验的光学滤波系统新增自动增益控制 (AGC)，可输出稳定的信号，具有极强的抗污能力，如灰尘、轻度油渍和划痕等，进一步确保了长期操作可靠性。 与所有Renishaw光栅一样，TONiC&trade 光栅系统还能够适应恶劣的操作环境，能够耐70 ° C的温度。此外，该产品符合最高的环境标准即WEEE和RoHS的要求。 进一步信息.请访问

中图仪器SJ5100系列高精度光栅式精密长度尺寸测长机采用的高精度光栅式大量程接触式测量方式，常用于工业生产中对物体长度、角度和位置等参数的精确测量。SJ5100系列高精度光栅式精密长度尺寸测长机具有高精度、高速度、非接触式测量等优点，广泛应用于机械加工、电子制造、半导体生产等领域。其测量精度通常可达到亚微米级别，可以满足大多数工业生产对尺寸精度的要求。工作原理其原理是利用光栅的干涉作用，通过光电检测器将光信号转化为电信号，并经过计算得出被测物体的尺寸。仪器主要功能1、标配功能：检测量块&块规：（0.1~300mm）；光滑环规：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞规：φ1~φ220mm； 螺纹环规：M5~M200（螺距0.8~4mm）螺纹塞规：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；光滑卡规：内卡5~200mm，外卡1~300mm千分尺校对杆：25~300mm；塞尺：0.02~1mm针规：φ0.1~φ10mm三针：0.118~6.585mm；两点内径千分尺：25~300mm；2、可选配功能：小型光滑环规：φ0.8~φ5mm；螺纹环规：规格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；光滑锥度环规：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；光滑锥度塞规：φ5~φ60mm（长度10~100mm）；φ60~φ200mm（长度≤50mm）；螺纹锥度环规：M5~M200mm（厚度≤50mm）；螺纹锥度塞规：M5~M60mm（长度10~100mm）；M60~M200mm（长度≤50mm）；锯齿螺纹、梯形螺纹：M3~M400（螺距0.5~6mm）；花键环塞规/花键及标准齿轮（跨棒距测量）：内φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模数0.8~6mm；外径千分尺示值误差手动校准：25~300mm； 数显及游标卡尺示值误差手动校准：75~300mm；深度千分尺示值误差手动校准：0~25、25~50、50~75mm；三爪内径千分尺手动校准：φ6~φ200mm；表类（百分表、千分表、杠杆表手动校准）；数显半径规手动校准：R5~R700mm；轴承内外圈锥度、沟槽底径内外径及沟槽宽度、精密零部件的长度尺寸，内外径尺寸测量；SJ5100系列高精度光栅式精密长度尺寸测长机采用进口高精度光栅测量系统、高精密研磨直线导轨、高精度温度补偿系统、双向恒测力系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种长度参数的高精度测量。整个测量过程不超过3分钟，结束后自动生成结果及记录报表。性能特点1. 全程直接测量：SJ5100系列高精度光栅测长机采用进口高精度长玻璃光栅尺作为长度方向定位，可进行高精度全行程直接测量。2. 高精度、高稳定性：1)高精度光栅测量系统，分辨力达到0.01μm，测量精度高；2)精密研磨导轨系统导轨直线度高，材料耐磨性好、保证系统高精度稳定可靠的工作；3)进口特殊材料制作的高刚性、无变形测杆，保证测试数据的高精度真实采集；4)采用大理石基座，通过有限元分析优化仪器基座结构保障几十年稳定不变形，高刚性大理石底座结构保证了仪器在头座及工作台在测量移动过程中几乎不产生变形，仪器受外界震动干扰小，保证仪器的长期稳定可靠性；5)采用紧凑型摩擦驱动结构，移动摩擦驱动力小，保证了头座移动过程中的稳定性。3. 双向恒测力：1) 特殊传感器双向恒测力系统，减小了测力对测量结果的影响，保证了高的系统测量精度；2) 测力较大范围的连续可调；3) 非砝码加载，测力传感器原理避免了仪器台面不水平及周围环境振动带来的测力误差。4. 智能化管理与检测软件系统：1)仪器操作界面友好，操作者很容易基本掌握仪器操作，使用十分简便；2)十多年积累的实用软件设计经验，向客户提供简洁、实用、便捷的操作体验；3)集成众多长度标准、规程，功能强大、自动处理数据、打印各种格式的检测报告，自动显示、打印、保存、查询检测记录；4)测量范围广，可满足绝大多数类型的量规、量块等长度参数测量；5)软件配备快速找拐点指示功能，方便客户快速便携地找到被测件的拐点；6)纯中文操作软件系统，更好的为国内用户服务；7)打印格式正规、美观。检定数据可存档，或集中打印，不占用检测操作时间；8)本仪器采用计算机大容量数据库储存，可自动记录保存所有检测结果。5. 方便快捷的仪器操作体验：1)测帽无需调节，高精度测帽加工保障测量精度，直接安装即可使用；2)螺纹塞规测量三针带支板，配合仪器测帽可快速的进行螺纹塞规的中径测量；3)支持客户使用模糊搜索量规标准，并支持用户特殊规格量规自动计算公差带。6. 高性能五轴工作台：1)X，Y，Z三轴采用高性能交叉滚子导轨：摩擦力小，稳定性好，承载高；2)Y轴平移、倾斜、水平旋转设计了高调节细度的结构，方便客户更好地找到三个轴的拐点；3)Z轴及Y轴可配置数显表，可将数据传输到电脑，可用于锥度量规测量及螺纹螺距观察。7. 高性能内尺寸测量装置：配置高性能环规内测装置，可测量小M3螺纹环规（根据选配测针），同时可完成小（φ0.8mm）光滑环规检测（选配测针）；测量力为电子测力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N，由软件选择测力大小（可根据客户需求定制更小测力）。产品应用测量及检定精密量具、精密量规，如块规、环塞规、卡规、螺纹规、花键规、表类、尺类。还可以检测各种精密工件内外尺寸，如齿轮、花键、校对棒、非标量规等，具有通用性强的特点。 部分技术规格型号SJ5100-Prec300（精密测量型）测量范围外尺寸直接测量：0~340mm内尺寸比较测量：5~200mm（配置比较测量环规）外尺寸示值误差≤±（0.2+L/1000）μm，其中：L为被测长度，单位：mm内尺寸重复性(2S或2δ)≤0.1μm内尺寸重复性(2S或2δ)≤0.2μm（使用测钩）≤0.3μm（使用内测装置）分辨力0.01μm（可选0.1μm、1μm）测力内测装置传感器测力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N、主测力1~10N手动连续可调测量直径环规200mm（标配） 、塞规250mm（标配）仪器尺寸1400*400*450mm仪器重量150kg五轴工作台型号ST-30.1(标配)Z轴0~50mmY轴±25mX轴浮动±10mmZ轴旋转±3°Y轴摆动±3°负载50kg台面尺寸350*25mm恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

中图仪器SJ5100精密长度尺寸光栅测长机采用的高精度光栅式大量程接触式测量是一种很好的长度测量方式。是一种通用长度计量仪器，既可以检定螺纹/光面量规、量块、外径千分尺、针规、指示表等各种量具又可以测量齿轮、花键、校对棒等精密工件，具有通用性强的特点。SJ5100精密长度尺寸光栅测长机整个测量过程不超过3分钟，结束后自动生成结果及记录报表。广泛应用于机械制造业、工具、量具制造业及仪器仪表制造业等企业的计量室和各级计量鉴定部门。仪器主要功能1、标配功能：检测量块&块规：（0.1~300mm）；光滑环规：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞规：φ1~φ220mm；螺纹环规：M5~M200（螺距0.8~4mm）螺纹塞规：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；光滑卡规：内卡5~200mm，外卡1~300mm千分尺校对杆：25~300mm；塞尺：0.02~1mm针规：φ0.1~φ10mm三针：0.118~6.585mm； 两点内径千分尺：25~300mm；2、可选配功能：小型光滑环规：φ0.8~φ5mm；螺纹环规：规格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；光滑锥度环规：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；光滑锥度塞规：φ5~φ60mm（长度10~100mm）；φ60~φ200mm（长度≤50mm）；螺纹锥度环规：M5~M200mm（厚度≤50mm）；螺纹锥度塞规：M5~M60mm（长度10~100mm）；M60~M200mm（长度≤50mm）；锯齿螺纹、梯形螺纹：M3~M400（螺距0.5~6mm）；花键环塞规/花键及标准齿轮（跨棒距测量）：内φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模数0.8~6mm；外径千分尺示值误差手动校准：25~300mm；数显及游标卡尺示值误差手动校准：75~300mm；深度千分尺示值误差手动校准：0~25、25~50、50~75mm；三爪内径千分尺手动校准：φ6~φ200mm；表类（百分表、千分表、杠杆表手动校准）；数显半径规手动校准：R5~R700mm；轴承内外圈锥度、沟槽底径内外径及沟槽宽度、精密零部件的长度尺寸，内外径尺寸测量； 性能特点1. 全程直接测量：SJ5100精密长度尺寸光栅测长机采用进口高精度长玻璃光栅尺作为长度方向定位，可进行高精度全行程直接测量。2. 高精度、高稳定性：1)高精度光栅测量系统，分辨力达到0.01μm，测量精度高；2)精密研磨导轨系统导轨直线度高，材料耐磨性好、保证系统高精度稳定可靠的工作；3)进口特殊材料制作的高刚性、无变形测杆，保证测试数据的高精度真实采集；4)采用大理石基座，通过有限元分析优化仪器基座结构保障几十年稳定不变形，高刚性大理石底座结构保证了仪器在头座及工作台在测量移动过程中几乎不产生变形，仪器受外界震动干扰小，保证仪器的长期稳定可靠性；5)采用紧凑型摩擦驱动结构，移动摩擦驱动力小，保证了头座移动过程中的稳定性。3. 双向恒测力：1) 特殊传感器双向恒测力系统，减小了测力对测量结果的影响，保证了高的系统测量精度；2) 测力较大范围的连续可调；3) 非砝码加载，测力传感器原理避免了仪器台面不水平及周围环境振动带来的测力误差。4. 智能化管理与检测软件系统： 1)仪器操作界面友好，操作者很容易基本掌握仪器操作，使用十分简便；2)十多年积累的实用软件设计经验，向客户提供简洁、实用、便捷的操作体验；3)集成众多长度标准、规程，功能强大、自动处理数据、打印各种格式的检测报告，自动显示、打印、保存、查询检测记录；4)测量范围广，可满足绝大多数类型的量规、量块等长度参数测量；5)软件配备快速找拐点指示功能，方便客户快速便携地找到被测件的拐点；6)纯中文操作软件系统，更好的为国内用户服务；7)打印格式正规、美观。检定数据可存档，或集中打印，不占用检测操作时间；8)本仪器采用计算机大容量数据库储存，可自动记录保存所有检测结果。5. 方便快捷的仪器操作体验：1)测帽无需调节，高精度测帽加工保障测量精度，直接安装即可使用；2)螺纹塞规测量三针带支板，配合仪器测帽可快速的进行螺纹塞规的中径测量；3)支持客户使用模糊搜索量规标准，并支持用户特殊规格量规自动计算公差带。6. 高性能五轴工作台：1)X，Y，Z三轴采用高性能交叉滚子导轨：摩擦力小，稳定性好，承载高；2)Y轴平移、倾斜、水平旋转设计了高调节细度的结构，方便客户更好地找到三个轴的拐点；3)Z轴及Y轴可配置数显表，可将数据传输到电脑，可用于锥度量规测量及螺纹螺距观察。7. 高性能内尺寸测量装置： SJ5100长度尺寸光栅测长机配置高性能环规内测装置，可测量小M3螺纹环规（根据选配测针），同时可完成小（φ0.8mm）光滑环规检测（选配测针）；测量力为电子测力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N，由软件选择测力大小（可根据客户需求定制更小测力）。主要技术指标型号SJ5100-Prec300（精密测量型）测量范围外尺寸直接测量：0~340mm内尺寸比较测量：5~200mm（配置比较测量环规）外尺寸示值误差≤±（0.2+L/1000）μm，其中：L为被测长度，单位：mm内尺寸重复性(2S或2δ)≤0.1μm内尺寸重复性(2S或2δ)≤0.2μm（使用测钩）≤0.3μm（使用内测装置）测力内测装置传感器测力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N、主测力1~10N手动连续可调测量直径环规200mm（标配） 、塞规250mm（标配）仪器尺寸1400*400*450mm仪器重量150kg五轴工作台型号ST-30.1(标配)Z轴0~50mmY轴±25mmX轴浮动±10mmZ轴旋转±3°Y轴摆动±3°负载50kg台面尺寸350*25mm环境条件参考校准/使用环境温湿度：温度：20±2℃，波动不超过0.5℃/小时相对湿度：10~70%。振动：按照三坐标振动要求标准，振动速度均方根≤5um/s，振动频率8~100Hz；校准室内应无影响测量的灰尘、震动、噪音、气流、腐蚀性气体和较强磁场。恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。