倾斜仪

8月12日，北京安洲科技有限公司对中国林业科学研究院的410-Shark机载高光谱、Lidar50机载激光雷达以及AZ3D-2机载倾斜摄影进行了设备验收，在同一地块分别进行了不同传感器的影像数据飞行实验，并进行了高光谱与激光雷达的数据融合处理，实验结果得到了用户的一致好评。410 Shark机载高光谱Lidar 50机载激光雷达AZ 3D-2 机载倾斜摄影410 Shark机载高光谱处理结果ENVI中打开高光谱影像数据高光谱3D Cube归一化植被指数NDVILidar 50机载激光雷达处理结果Lidar 50点云实时预览Lidar 50样区正摄影像图Lidar 50解算完成点云图AZ 3D-2 机载倾斜摄影处理结果角度1 观测角度2 观测410 Shark机载高光谱与Lidar 50激光雷达 数据融合结果RGB与lidar点云融合结果CIR与lidar点云融合结果NDVI与lidar点云融合结果

美国国家标准与技术研究院 （NIST） 和半导体及相关行业检测和测量系统提供商 KLA Corporation 的研究人员提高了扫描电子显微镜 （SEM） 测量的准确性。SEM用于半导体制造中的过程控制应用，有助于确保高产量生产功能性高性能芯片。SEM使用聚焦电子束对小至1纳米的特征进行成像，使其成为表征半导体器件结构的重要仪器。在芯片制造过程中，高分辨率 SEM 用于许多检测和计量应用，包括检测非常小的缺陷、识别和分类光学检测员发现的缺陷、图案特征的关键尺寸测量、覆盖测量等。这些信息有助于芯片工程师表征和微调其制造工艺。当电子束通过SEM时，它会受到仔细控制。电子束与理想路径的轻微偏差或电子束撞击芯片表面的角度的微小错位都会使生成的 SEM 图像失真并歪曲器件的结构。NIST和KLA通过考虑电子束的这些角度错位，提高了SEM的精度。该联合研究项目测量光束倾斜的精度小于一毫弧度，即百分之五度，这需要在角分辨率和测量验证方面取得进步。为了测量光束倾斜，NIST和KLA创建了电子显微镜的原型标准，并以一种新的方式分析了所得的电子显微照片。原型标准由一系列锥形硅柱组成，称为锥形视锥体，形成对光束倾斜高度敏感的图像。倾斜表现为视锥体顶部边缘和底部边缘图像中心之间的偏移。利用他们在模拟电子-物质相互作用方面的专业知识，研究人员使用模拟来展示亚毫弧度精度的潜力，指导他们正在进行的标准工件的设计和制造。已知位置的锥形视锥体阵列有可能测量 SEM 扫描和成像的区域内光束倾斜的任何变化。这些测量可以进一步校准电子显微镜的放大倍率和畸变。此外，新标准还适用于芯片制造中使用的其他显微镜方法，包括原子力和超分辨率光学显微镜。比较不同显微镜方法结果的能力有助于在不同方法之间可靠且可重复地传输信息，并提高测量模型的准确性。锥形视锥体阵列的模型“电子束倾斜会改变器件特征的表观位置，降低SEM测量的准确性，”NIST研究员兼涵盖这项研究的行业论文的第一作者Andrew C. Madison说。“我们的新标准和分析方法可以检测电子束位移，因为它在整个成像场中变化。“有了这些数据，SEM制造商可以实施校准和校正，以提高图像质量和测量精度，”NIST研究员兼首席研究员Samuel M. Stavis说。“作为半导体检测和计量领域的专家，我们不断探索可以扩展当前测量极限的新技术，”KLA公司高级副总裁兼总经理Yalin Xiong说。“与研究机构的合作在发现有助于推进芯片行业过程控制的创新方面发挥着重要作用。我们与NIST的联合研究旨在提高用于表征芯片制造工艺的基本测量的准确性。

p　　美国仪器仪表行业产值占工业总产值4%，拉动相关经济产值却达66%。与之形成的对比是，我国科研仪器市场长期以来为进口仪器占据，2014年，国产仪器与进口仪器之间的贸易逆差高达177亿美元。/pp　　“孱弱的国产科研仪器装备产业链，是导致市场竞争失利的根本原因。”全国政协委员、中国科学院生物物理所所长徐涛列举的一组数字，让现场话题的讨论戛然而止。/pp　　徐涛顿了顿，继续抛出数据说，发达国家一方面在研制环节通过国家投入资助仪器装备的原始创新，如美国国家科学基金会的主要科学仪器设备计划，每年投入上亿美元支持仪器开发 另一方面，国外通过政府采购等形式保护本国产品，如美国规定政府采购要优先购买“在美国生产或者制造的零部件的成本要超过所有零部件成本的50%”的“美国产品”等。/pp　　“我国在采购环节的相关规定不够完善，导致进口仪器装备占据大部市场。”徐涛说，“十一五”规划纲要中，我国就把政府采购作为宏观经济调控手段，有效果但不明显。/pp　　一直沉默的中国科学技术大学常务副校长潘建伟院士开始频频点头，徐涛接着说，在国内供给侧改革深入推进的大背景下，政府采购理应成为像西方发达国家一样，拉动我国科研仪器装备产业发展的“第四驾马车”。/pp　　“希望能细化落实国产科研仪器装备同等条件下优先采购机制，对自主创新的高科技产品实行加分和优先采购机制??”徐涛话音未落，隔壁委员就插了一句，“附议徐涛委员的提案，一点小意见是：条件稍微差点也要向国产仪器倾斜”。/pp　　值得关注的是，相关部门对国产产品价值缺乏科学的评价体系，创新产品和仿制产品并没价格区别，最简单直接的方法是按产地原则(进口和国产)进行价格分类。/pp　　“这种简单的分类法无视高端及先进产业创新技术的价值，歧视自主创新品牌。”在徐涛看来，要建立对自主创新产品的科学定价机制，以鼓励和支持企业加大对科研创新投入，促进仪器装备的自主创新。/p