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  • 应用 | 可喷涂超疏水牙齿保护剂:具有光敏抗菌、耐酸、防污功能
    KRÜSS于1796年诞生于德国汉堡,是表面科学仪器领域的全球领导品牌。先后研发了世界上第一台商用全自动表面张力仪和第一台全自动接触角测量仪,荣获多次国际工业设计大奖和德国中小企业最具创新能力TOP100荣誉。其它产品还包括各类动态表面张力仪、泡沫分析仪、界面流变仪和墨滴形状分析仪等。KRÜSS研究背景世界卫生组织(WHO)提出了“8020”的目标,即在80岁时保留20颗功能性牙齿。由于牙齿没有任何再生功能,如何确保牙齿健康长寿成为了备受关注的问题。目前的牙齿护理方法(刷牙、漱口、使用牙线、使用牙签等)只是将沉积在牙齿表面的污垢清理干净,然后让它们直接接触新出现的复杂刺激。护理工具的延误或不当使用不仅不能消除外界的不良刺激,有时甚至会导致牙齿损伤。因此,一种更可靠、更有效的日常牙科护理策略正处于迫切需要的阶段。近年来,耐用且生物相容的超疏水材料在生物医学应用中显示出巨大的潜力。然而,据我们所知,目前还没有可用的“添加剂”保护牙齿的方法伴随我们的生活,更不用说将超疏水材料应用于常规牙科护理策略。因此,本文首次提出的由ZnO、FSNs和PDMS(简称ZFP)组成的保护剂可以喷涂在牙齿表面形成具有优异超疏水特性的透明膜,这种安全、方便、高效的牙齿保护策略将超疏水性与光动力学相结合,通过简单的喷涂实现对牙齿的抗粘连、抗菌、抗酸和防污等多种保护作用。图1 ZFP喷涂膜多重防护效果示意图实验方法将上述三种保护剂喷洒在制备的牙片上,干燥后分别得到T-P、T-FP和T-ZFP。采用KRÜSS DSA100 (Germany)液滴形状分析仪测定了不同齿片的水滴角。结果与讨论超疏水性和自清洁性分析为了检测ZFP在牙齿表面的疏水行为,将上述三种保护剂(P、FP和ZFP)喷洒在制备的牙齿切片上以获得T-P、T-FP 和T-ZFP。T-ZFP 的水滴角为 151.00°±0.63°,滚动角为 1.95°±0.25°(图2(a)和2(b))。此外,图2(c)说明了T-ZFP表面和水滴之间的低粘度,这进一步证明了ZFP的超疏水效应。此外,TZFP对不同的液体表现出自清洁效果,而在此期间保持牙齿表面清洁(图3)。我们还惊喜地发现TZFP对血液也表现出出色的超疏水性。上述数据表明,ZFP的超疏水自洁特性可有效防止食物残渣粘附,确保应用于牙齿时的抗污能力。图2 T-ZFP的超疏水性。(a)不同齿片的水滴角。(b) T-ZFP的滚动角。(c) T-ZFP与水滴之间的低粘度。(d)刷洗循环、(e)温度循环和(f) pH值变化处理后水滴角的变化图3 T-ZFP对不同液体的自清洁效果生理稳定性分析与人体接触的牙科材料也应具有生理稳定性。考虑到这一点,测量了T-ZFP在刷涂(每10次为一个循环)、温度循环(4和60°C)和酸处理(pH = 3和7)下的水滴角变化,以验证ZFP保护剂的稳定性。图 2(d) 显示T-ZFP 的接触角随着刷牙次数增加而逐渐减小,但在 100 次后仍保持在 145.0° ± 0.6°。这一现象也说明ZFP可以通过一定时间的刷牙有效去除,促进了其在日常生活中的周期性应用。ZFP的生理稳定性通过在温度循环(4到60 °C之间)和pH变化(从3到7)期间超过150°的稳定接触角得到证明(图2(e)和 2(f))。综上所述,ZFP能够适应口腔内的温度变化,对酸刺激具有稳定的耐受性,从而有效地保护牙齿免受腐蚀。小结本工作针对食物残渣黏附、细菌侵入、酸腐蚀、色素沉着等一系列口腔问题,以及公众难以及时标准地刷牙和使用牙线,研制了一种专为日常牙齿保护的可见光响应型抗菌超疏水剂。ZFP保护剂有效地将超疏水性与光动力学相结合,通过简单的喷涂即可发挥抗粘附、抗菌、耐酸、防污等多种功能。因此,这种增材喷涂ZFP护甲有望成为日常生活中的一种新型牙齿保健策略,为牙齿的健康和美观提供有利保障,适应老龄化社会的发展。本文有删减,详细请参考原文S. Zhao, X. Yang, Y. Xu, et al. A sprayable superhydrophobic dental protectant with photo-responsive anti-bacterial, acid-resistant, and anti-fouling functions. Nano Research.
  • 综述:超微量紫外可见分光光度计仪器及应用现状分析
    李昌厚(中国科学院上海生物工程研究中心上海 200233)  摘要  本文对超微量UVS仪器发展的重要性、超微量UVS仪器的基本原理、发展的必然性、使用者对超微量UVS的基本要求,以及超微量UVS在生命科学中的应用等作了简单论述。文中对国内外的几种主要超微量UVS仪器的特点、主要技术指标等作了简单介绍。同时,对如何重视和开展我国超微量UVS仪器及其应用研究、如何开展技术攻关、如何正确对待进口和国产仪器等等的有关问题进行了讨论。  一、前言  紫外可见分光光度计[1](UVS)在现代分析测试工作中使用非常广泛,而带有各类微量比色皿的UVS应用更加广泛。目前,国外发达国家生产的UVS很多都带有微量比色皿,国内外很多厂商还推出了专用的微量UVS或超微量UVS,给使用者带来很多方便。我国生产UVS的企业很多,但是真正带有实用微量比色皿的仪器不是很多。 (这里是指常规UVS,国内的UVS大多数仪器也带有微量紫外比色皿,但是不好用或者不能用。而国外的常规紫外也带有微量紫外比色皿,基本上都能满足使用要求,如PE、岛津公司等等。)由于制造难度较大和重视不够,我国目前专用的微量UVS或超微量UVS还相对较少,应该引起高度重视。  目前,微量UVS和超微量UVS已成为现代分子生物学、药物学、食品科学等领域的常用仪器。目前很多微量UVS和超微量UVS,都具有样品用量少、无需比色皿、全波长扫描、检测速度快、无需预热、样品无需稀释、直接显示浓度值、专用软件齐全、操作简便等优点。大多数超微量紫外可见分光光度计检测样品的量一般都在0.5μL~2μL左右,样品直接滴在样品台上,无需比色皿。  本文将根据仪器学理论、分析化学理论和作者长期研发和使用各类分析仪器的实践,简单介绍超微量UVS仪器及其应用情况,同时对有关问题进行了讨论,可供有关分析仪器和仪器分析的管理者和广大科技工作者参考。  二、微量UVS和超微量UVS发展的重要性和必然趋势  微量UVS和超微量UVS,目前在我国的科研和工农业生产工作中使用已经非常广泛,很多科研领域,特别是生物技术领域和样品量非常少的分析检测工作,几乎都离不开微量和超微量UVS,它已经成为现代生物检测技术和微量分析检测工作中必备的仪器。其主要原因如下:  1、现代生物技术实验环节中,微量DNA、RNA、Protein及细菌生物密度的快速、准确定量检测需求大大促进了微量和超微量UVS的发展;  2、基本上绝大多数DNA、RNA、Protein及细菌生物都对紫外光或可见光有吸收,微量、超微量UVS仪器的光源比较容易得到;  3、微量UVS和超微量UVS之所以发展很快,还因为目前很多分析检测工作的样品量非常少、而且非常昂贵。  所以,超微量UVS仪器及应用的大发展是目前的必然趋势。  三、微量UVS超微量UVS的基本原理和要求  从仪器学理论[2]来看,与传统的UVS一样,微量UVS及超微量UVS都是根据比耳定律(物质对光的吸收)制造的。在传统UVS中,样品通常装在玻璃或石英制的比色杯内,置于光路内测试样品的吸光度,然后与有关标准物质比对,通过比较计算浓度得到测试结果。微量UVS和超微量UVS也是同样测试样品的吸光度,然后与有关标准物质比对,通过比较计算浓度得到分析测试结果。但是,当样品量有限或高度浓缩时,需要花费时间稀释或使用超低容积的比色杯,容易产生误差,并且比色皿难于清洗干净。所以,微量UVS和超微量UVS制造难度增大,成本大大增加。  在超微量UVS中,一般样品体积为0.5~2.0 μL,往往将样品移至一个疏水性平面上,然后将测样头降低至样品顶端形成一个长度为0.2 mm或0.5 mm的极短光程区。我们之所以要求光路的光程长度短,主要是希望仪器能够检测体积小、浓度大或吸光度值高的样品。  现代分析检测技术工作,对微量UVS或微量UVS的要求主要有以下几个方面:  1、从仪器学理论和应用实践的角度来讲,对超微量UVS最重要的要求是可靠性好。而影响其可靠性的主要关键是四项性能技术指标,它们是制造者和使用者必须高度重视的四个问题[4]、[2]。  (1)波长(波长范围和波长准确度):因为生物样品中绝大多数吸收峰都在紫外区。例如:亮氨酸吸收峰在230nm左右、核酸的吸收峰在260nm、蛋白的吸收峰在280nm等,所以超微量UVS的波长范围,一定要涵盖紫外区。而超微量UVS一般是直接测量吸光度A,根据比耳定律,A=εbc,即吸光度与摩尔吸光系数ε、光程b和样品浓度c成正比。而ε与波长有关,不同的物质吸收波长不同,就会有不同的ε,不同的ε有不同的分析检测误差。所以,波长范围和波长准确度就直接影响分析检测误差,直接影响分析检测数据的可靠性。目前国内外的超微量UVS的波长范围一般是200-800nm,波长准确度一般要求±1nm。这个波长范围都覆盖了紫外光和可见光的区域,波长准确度都能满足使用要求。  (2)灵敏度:因为是微量或超微量检测,所以要求仪器的灵敏度很高,否则没有办法做微量或超微量检测。根据仪器学理论,影响超微量UVS仪器灵敏度的因素很多,如果用以下数学表达式描述,至少有式中所述的很多个方面,即灵敏度S=f(ε.b.c.Ф.K.D./N),式中ε为摩尔吸光系数、b为光程(一般国内外的超微量UVS的光程为0.2mm左右)、c为被检测样品浓度、Ф为光源强度(一般使用氙灯)、K为电子学放大器的放大倍数、D为光电转换器或称之为光检测器(很多超微量UVS采用光电二极管或CCD),超微量UVS的灵敏度S与这些指标成正比。N为光噪声(取决于光源的稳定性)和电噪声(包括电子学系统、光电转换系统等)。灵敏度S与噪声N成反比。所以,研发者、制造者和使用者都应该特别注意这些因素带来的各种问题。  (3)稳定性(包括重复性和漂移):重复性是影响稳定性的两个主要因素之一,如果超微量仪器重复性差,广大使用者肯定不会欢迎。尤其是在用超微量UVS检测时,因为样品量少,如果仪器的重复性差,你做、我做、他做、今天做、明天做结果都不一样。或者同一台仪器,这个实验室和那个实验室做的检测结果不同,都不可能得到准确可靠的分析检测结果。使用者是不欢迎这种仪器的。不过,需要指出的是,因为超微量UVS的检测速度一般都很快,所以漂移不是最重要的指标。  (4)分析误差:用户买仪器的目的是做分析检测,分析检测的目的是得到一个数据,对数据要求的关键是准确,也就是说要求分析检测误差尽量小。因为微量和超微量UVS的样品量少,所以分析检测的相对误差就会大,因此,使用者要求超微量UVS的分析误差相对小者为好,这是超微量UVS使用者最基本的要求,也是最根本的要求。一般超微量UVS的分析误差,大概要求在1.0%左右。目前,国产超微量UVS基本上都给出相对分析检测误差(1.0%;有厂商用吸光度准确度表示,并给出误差为±0.0003Abs),而进口的超微量UVS基本上都不给出仪器分析检测的相对误差。  四、微量UVS和超微量UVS在生命科学中的应用[3]  1、核酸定量分析(核酸的吸收波长为260nm)  如质粒DNA (双链DNA, ds DNA)测定、基因组DNA测定、PCR引物(Oligo DNA)测定 总RNA、mRNA、 microRNA测定等。  核酸浓度=Abs 260×浓度系数(dsDNA 50µg/µl, ssDNA 37µg/µl, RNA 40 ng/µl, Oligo 33 ng/µl)。  2、核酸纯度分析检测  A260/A280的比值:由于蛋白吸收峰为280nm,纯净的样品比值应为1.8(DNA)或者2.0(RNA)左右。如果比值低于1.8 或者2.0,表示存在蛋白质或者酚类物质的影响。  A260/A230的比值:A230表示样品中存在一些污染物,如碳水化合物、多肽、苯酚等,较纯净的核酸A260/A230的比值大于2.0。  A320表示检测溶液的混浊度和其他干扰因子,纯样品的A320一般是0。(A320表示在波长为320nm处,吸光度值的大小 其余类推)  下图是一个典型的多聚物核酸纯度分析结果:核酸吸光度为0.7Abs;而蛋白的吸光度为0.383Abs。  3、蛋白质定量分析(蛋白质的吸收波长为280nm)  A. 直接定量法  A280(适用于高浓度的纯蛋白)  蛋白质(µg/µl) = 1.55 × Abs280 – 0.76 × Abs260(A320表示的意义同上 µg/µl表示浓度 每µL样品中含有蛋白的µg数量)  测试波长:苯丙氨酸257nm;色氨酸280nm;酪氨酸275nm  B. 间接定量法  Bradford法 (595nm),双缩脲法(546nm),BCA法(562nm) 与 Lowry法(750nm) 定量蛋白质  Bradford法通过在595nm处测量结合于样品蛋白的考马斯亮蓝染料的数量,和一个已知浓度的作为标准参照的蛋白结合的染料量进行比较,最后得到蛋白质的浓度。通常用小牛血清蛋白(BSA)作为参照。  双缩脲法 (546nm), BCA法(562nm) 与 Lowry法 (750nm)法均依靠碱性溶液中二价铜离子和肽键的反应生成在相应波长处有吸收值的复合物测定蛋白的浓度。  4、其它方面的应用  微量UVS的应用非常广泛,特别在生物工程研究及一些生物检测技术工作中都是必不可少的分析检测仪器。例如:生物克隆技术、PCR技术、基因工程技术等等工作中,超微量UVS是必不可少的工具。  五、目前市场上主要的超微量UVS仪器简介  1、使用者对超微量UVS的最基本要求  (1)适用于超微量样本的检测(一般能检测0.5-2μL样品)   (2)操作简单(直接使用加样器将待检测样本加在检测表面,无需使用比色皿和毛细管设备,每个样品检测时间10s)   (3)不浪费样品,节省消耗品费用   (4)样品无需进行稀释,即可进行快速、简便的检测,检测范围宽   (5)仪器空间体积小(最好仪器体积30×30×10cm)。  2、国外几种常用的超微量UVS仪器的比较  (资料主要来自有关公司的产品样本,及相关网络)  3、几种国产微量和超微量UVS的有关情况  (主要数据来自有关公司样本和有关仪器网络)  随着科学技术的发展,我国分析测试仪器也正在突飞猛进的发展,微量UVS和超微量UVS的发展也是如此。我国有不少仪器厂商,已经推出或正在研发不同类型的微量和超微量UVS。例如:杭州奥盛仪器公司、上海金鹏仪器公司、杭州佑宁仪器公司等都已经推出了多种成熟的微量和超微量UVS产品,并且受到了很多使用者的青睐,值得国人骄傲和自豪。  国产微量和超微量UVS的有关情况简单介绍如下:  1)杭州奥盛仪器公司推出了多款自主研发生产的超微量UVS仪器(Nano-100/Nano-300/Nano-500 Nano-400A 系列微量UVS)  (1)Nano系列产品的外观  (2)Nano系列产品的共同特点  ①软件界面友好,简单易用,图形软件操作,界面更为直观,结果可直接导出,便于数据保存、查看和输出。  ②微量检测,每次检测仅需0.5μl~2μl样品。测量后还可以回收样品,可放心的对珍贵样品进行研究。  ③检测快速,检测过程中无需稀释,无需比色皿,5s即可完成检测,直接显示结果。  ④长寿命光源,开机无需预热,氙闪光灯寿命可达10年,开机无需预热,直接使用,可随时检测。  ⑤检测浓度高,可测样品最高浓度为12000ng/μl,样品基本上不用稀释。  ⑥将样品直接点于样品板上,无需稀释,无需比色皿,可测样品浓度为常规紫外-可见光光度计的50倍,结果直接输出为样品浓度。  (3)Nano系列产品的各自特点  Nano系列产品,除上述共同特点外,还具有如下独自特点  ①Nano-500新增荧光计模式,精确定量核酸浓度,对于浓度低于2 ng/μl的样品,可选用荧光计模式,最低检测限可达0.5pg/μl,单机操作方便快捷。  ②Nano-100/Nano-300/Nano-500 为全波长的微量分光光度计, Nano-400A为固定波长的超微量核酸分析仪。  ③Nano-300,Nano-400A,Nano-500可实现单机操作,方便快捷。  (4)Nano系列产品的主要技术指标型号Nano-100Nano-300Nano-400波长范围200-800nm200-800nm230mn 260nm, 280nm样本体积要求0.5-2.0pl0.5-2.0pl0.5-2.0pl光程0.2mm腐浓度测量) 度测聲0.2mm 砌度测聲 1.0mm(削浓度测02mm(S浓度测D LOmm潛通浓度测最光源筑闪灯光氤闪灯光氤闪灯光检测器3864单元线性CCD阵列3864单元线性CCD阵列麟光电二极管波长精度InmInm—波长分辨率V 3nm (FWHM at Hg546ujtn)3nm (FWHM at Hg546nm)—吸光度精确度0.003Abs0.003Abs0.003Abs吸光度准确度1% (7.332Absat260nm)1% (7.332Absat260nm)1% (7.332Absat260nm)吸光率范围(等效于lOmtn)0.02 - 90A0.02 -100A0.02 - 80A核酸检测范围2-4500ng/pl (dsDNA)2-5000ng/pl (dsDNA)10-4000ng/pl (dsDNA)检测时间5S5S15S数据输出方式连接电脑保存数据USBUSB样品基座材质石英光纤和高硬质铝石英光纤和高硬质铝石英光纤和高剛铝电源适配器DC 24V 2ADC 24V 2ADC 24V 4A功耗20W40W25W待机时功耗5W5W5W尺寸(WXDXH) mm200 X 250X166210X268X181208 X 280X186重量2.6kg2.8kg3.6kg软件操作平台WinXP, Win7, Win8安卓系统安卓系统比典模式(OD600) 光源—LED发光二极管LED波长范围—600 ± 8nm600±8nm吸光度范围—0-4A0-4A J  2)杭州佑宁仪器公司自主研发生产的Nano One微量UVS  (1)Nano One微量UVS的外观  (2)Nano One微量UVS产品特点:  ◆智能安卓操作系统,7寸电容触摸屏,多点触控,专用 APP软件,界面更为直观。  ◆比色皿插槽,可对细菌/微生物等培养液浓度的检测。更为得心应手。  ◆每次检测仅需0.5~2μl样品。测量结束后,还可以回收样品,可以放心地进行珍贵样品的研究。  ◆样品直接加于样品检测平台,无需稀释,8s即可完成检测、显示结果,结果直接输出为样品浓度。  ◆氙闪光灯,寿命可达10年。开机无需预热,直接使用,可随时检测。  ◆将样品直接点于加样平台上,无需稀释,可测样品浓度为常规紫外-可见分光光度计的50倍,检测结果直接输出为样品浓度,无需额外计算。  ◆稳定可靠、快速的USB数据输出方式,方便导出数据进行相应分析。  ◆仪器不需电脑联机,单机即完成样品检测和数据的存储。  ◆图像和表格存储格式,表格兼容Excel,方便后续数据处理,支持JPG图像导出。  ◆采用高精度直线电机驱动,使光程的精度达到0.001mm,吸光度检测重复性高。  (3)NanoOne微量UVS的主要技术指标:型号NanoOne波长范围200 ~ 800nm;比色皿模式 (OD600 测量 ):600±8nm样本体积要求0.5 ~ 2.0ul光程0.2mm( 高浓度测量 ) 1.0mm( 普通浓度测量 )光源氙闪光灯检测器2048 单元线性 CCD 阵列波长精度1nm波长分辨率≤ 3nm(FWHM at Hg 546nm)吸光度精确度0.003Abs吸光度准确度1%(7.332 Abs at 260nm)吸光度范围 ( 等效于 10mm)0.02-100A 比色皿模式 (OD600 测量 ):0~4A测试时间< 8S核酸检测范围2 ~ 5000ng /ul(dsDNA)数据输出方式USB样品基座材质石英光纤和高硬质铝电源适配器12V 4A功耗48W待机时功耗5W软件操作平安卓系统尺寸(mm)270*210*196重量3.5kg  3)上海金鹏仪器公司推出了自主研发生产的Nano-600超微量UVS  Nano-600超微量UVS(核酸蛋白测定仪),作为一款高再现性的全波长分光光度计,采用基座和比色皿上样双检测模式, 适用于更宽浓度范围的样品检测,操作简便,不仅可用于测量DNA,RNA纯度、浓度,测量蛋白质浓度,也可用于一般物质分析中的吸光度检测。  (1)Nano-600超微量UVS的外观  (2)Nano-600超微量UVS产品的主要特点:  采用7寸电容触摸屏,优化设计的APP软件;无需预热,4秒即可完成检测;结果直接输出为样品浓度;5分钟内无操作将自动关闭光源以延长使用寿命;软件图形界面简单明了,操作更为直观,结果可直接导出;仅需0.5~2ul的微量样品即可进行纯度与浓度测量 样品可回收。  (3)Nano-600超微量UVS的主要技术指标软件操作平台:7寸电容触摸屏,安卓系统波长范围:185-910nm;比色皿模式( OD600):600±8nm样本体积要求:0.5-2.0ul光程:0.2mm(高浓度测量) 1.0mm(普通浓度测量)光源 :氙闪光灯(寿命可达10年)检测器 :3648像素线性CCD阵列波长精度 :1nm波长分辨率≤3nm(FWHM at Hg 546nm)吸光度精准度 :0.002Abs吸光度准确度 :1%(7.332 Abs at 260nm)吸光度范围(等效于10mm):0.02-300A比色皿模式(oD600测量):0~4A测试时间 :<5S核酸检测范围 :2-17500ng/ul(dsDNA)数据输出方式:USB、SD-RAM卡样品基座材质 :石英光纤和高硬质铝  4)上海元析仪器公司自主研发的B500型超微量UVS  仪器特点:可用于DNA、RNA、蛋白样品无稀释的快速检测  (1)检测量1μl~21μl,适用于极微量样品的检测  (2)采用长寿命进口紫外光源(氙灯)  (3)无需开机预热  (4)样品无需进行稀释,可进行快速、简便的检测,检测范围宽  仪器指标参数  波长范围:全光谱测量,190nm~850nm。  波长精度:1nm  分辨率:1.8nm  检测下限约:2ng/μl(双链DNA)  检测上限:≥15000ng/μl(双链DNA)  蛋白质测量范围:0.1~100mg/ml  最小吸光度:0.002(1nm光程时)  吸光度准确度:2%(257nm)  吸光度范围:0.02~300(相当10nm光程)  样品检测速度:2秒~5秒/个  软件:配有数据分析软件,一次测量可记录≥1000个样品数据 可实现全波段光谱扫描。  在国产超微量UVS中,本文只选择了上述几家,实际上还有北京Kaiao公司、南京Wins公司、上海的BIO-DL等多家公司在生产、组装、或代销超微量UVS。初步估计全国总共约有十几家厂商从事超微量紫外仪器的生产、销售。因篇幅所限,本文不能全面详细介绍了。请有关厂商谅解,请广大使用者自己从网上或实地查找。  六、几个有关问题的探讨  1、带微量比色皿的紫外可见分光光度计和超微量紫外可见分光光度计是科研、生产工作中使用非常广泛的一种分析检测仪器,并且是生命科学、食品科学、药品检验等领域必不可少的分析检测工具。我国目前有数十家企业生产紫外可见分光光度计仪器,但是对微量UVS和超微量UVS重视不够,同时因为微量UVS和超微量UVS制造难度较大,我国至今生产真正的、成熟的微量UVS和超微量UVS厂商不多。  我国微量UVS和超微量UVS仪器需求量很大,年需求量大约为3000-4000台,但是,我国这方面的主市场仍被国外产品占领。为此,作者呼吁我国的UVS仪器生产厂商,应该站在民族的高度,对此引起高度重视。作者建议:  1)目前国内的广大生产UVS仪器的厂商,尽快力争在常规的UVS上,开发优质微量比色皿的附件,以满足我国广大分析检测工作者的需求。  2)我国有条件的厂商,应该尽快开展微量UVS或超微量UVS仪器研发生产,尽快推出能满足使用要求的微量UVS或超微量UVS,以满足我国市场的需求,改变或打破国外产品占领我国主市场的局面,尽快赶超微量UVS和超微量UVS仪器及其应用的国际先进水平。  2、因为微量UVS或超微量UVS仪器一般制造难度大、要求较高。所以,作者建议或希望我国有关的广大科技工作者,都要关心或重视对微量UVS或超微量UVS仪器及其应用的研究开发工作,对此开展攻关。希望微量和超微量UVS的制造者和使用者紧密结合,从仪器学理论[2]和分析检测工作实践的需要,共同攻关,为研发优质的、稳定可靠的微量UVS或超微量UVS而努力。  3、加强行业内部团结,政府大力支持国产仪器、不打价格战、不随便对产品降价。目前,国内已经推出的微量和超微量UVS,质量都能满足使用要求,与国外产品相差无几,比如国产奥盛的Nano系列产品的质量、性价比等都很好(主要指仪器的波长范围、灵敏度、噪声、分析检测误差、性价比等)。但是价格上要比国外产品便宜很多,有的相差一倍以上,这是一种不正常的现象。寻其根,大致有以下原因:  1)政府招标时拨款太多,一台超微量UVS拨款15万RMB以上,同时规定用不完要求上交,而国外的超微量UVS,一般每台15万RMB左右,这就等于要求使用者买进口产品。所以,招标者就很自然的购买了同档次、同质量的进口产品。  2)再加上,有些科技工作者受崇洋媚外思想的毒害较深,即使国内同类同档次的超微量UVS的质量与国外产品相当,尽管一般国产超微量UVS约6万RMB左右,价格仅约进口的一半,但是他们还是认为进口产品总比国产的好,甚至从思想上排斥国产仪器。特别值得提出的是,我国有些微量或超微量UVS生产的厂商(其它仪器也有 例如原子吸收、紫外可见分光光度计、高效液相色谱等等),为了蝇头小利,自己生产的、质量很好的超微量UVS,让国外大企业贴牌,让那些国外企业拿着我们国产的仪器,冒充国外企业的产品在世界各地销售。有的甚至在我国国内销售,假冒充进口产品,欺骗中国的科技工作者。这个问题,一方面说明中国的仪器质量不差,至少可以与国外产品质量相当,达到了可以以假乱真的地步。另一方面也说明我们国家的仪器厂商和使用者崇洋媚外思想非常严重。自己的产品质量很好,但是不敢用自己的名义去与国外厂商抗衡。国产的仪器产品很好,还是迷信进口产品,这是不正常的现象,希望行业内的有关人员应该引起高度重视。  这里作者想对在国外有关仪器公司工作的中国员工们说一声,为了生存,你们去国外公司打工,无可非议。但是,希望你们一定要实事求是的向中国科技工作者介绍产品、尽量把国外好的、中国还不能生产的优质产品卖到中国来。当然,如果某些国产超微量UVS还不够完善、不够理想,还不能满足某些高要求使用者的要求,你们向有关科技工作者推荐国外产品,或者这些使用者购买进口超微量UVS仪器是可以理解的。我们既不能盲目崇洋媚外,也不能盲目排外。作者认为,我们的国产仪器,完全可以实事求是的与进口仪器共舞,盲目崇洋媚外和盲目排外都是不对的。  3)国内仪器行业内的厂商,为了多卖产品,纷纷降价,相互竞争  这类事情经常发生,特别是为了招标,为了出口,国内企业打价格战的事屡见不鲜。所以,作者希望广大生产超微量UVS或生产各类分析仪器的企业,应该站在民族的高度,加强团结、不打价格战。作者希望大家团结一致,努力进一步提高产品质量,以质量求生存、以自己的产品质量与国内外同行或同类产品竞争,力争尽快改变国外微量UVS占领我国主市场的局面而共同努力。  主要参考文献  [1]李昌厚著,《紫外可见分光光度计》,北京:化学工业出版社,2005.  [2]李昌厚著,《仪器学理论与实践》(仪器学理论与光学类分析仪器.  整机及关键核心部件的设计、制造、测试、使用和维修),北京:科学出版社,2008.  [3]李红亮,《微量紫外分光光度計及在現代生物技術中的應用》(学术报告).  [4]李昌厚,略论UV/UVS光度准确度的测试,光学仪器,N0.5-6,41,1994.  作者简介  李昌厚,男,中国科学院上海生物工程研究中心原仪器分析室主任、兼生命科学仪器及其应用研究室主任、教授、博士生导师、华东理工大学兼职教授,终身享受国务院政府特殊津贴。  主要研究方向:分析仪器及其应用研究。长期从事光谱仪器(紫外吸收光谱、原子吸收光谱、旋光光谱、分子荧光光谱、原子荧光、拉曼光谱等)、色谱仪器(液相色谱、气相色谱等)及其应用研究 特别对《仪器学理论》等有精深研究 以第一完成者身份,完成科研成果15项,由中科院组织专家鉴定,其中13项达到鉴定时国际上同类仪器的先进水平,2项填补国内空白 以第一完成者身份获得国家级和省部级科技成果奖5项(含国家发明奖1项) 发表论文183篇,出版专著5本 现任中国仪器仪表学会理事、《生命科学仪器》副主编 曾任中国仪器仪表学会分析仪器分会第五届、第六届副理事长 国家认监委计量认证/审查认可国家级常任评审员、国家科技部“十五”、“十一五”、“十二五”和“十三五”重大仪器及其应用专项的技术专家组成员或组长、上海市科学仪器专家组成员、《光学仪器》副主编、《光谱仪器与分析》副主编、上海化工研院院士专家工作站成员等十多个学术团体和专家委员会成员等职务。
  • 超43亿美元!SK Hynix 与 ASML 签署五年EUV光刻机采购合同
    据路透社报道,全球第二大内存芯片制造商SK Hynix周三表示,已与ASML控股公司(ASML Holding N.V.)达成一份为期5年的采购合同,价值4.8万亿韩元($43.4亿美元),以确保用于制造芯片的极紫外(EUV)扫描光刻机的供应安全。SK Hynix在一份监管文件中称,这笔交易是为应对芯片制造商通过下一代工艺大规模生产芯片的。据了解,SK Hynix(海力士),源于韩国品牌英文缩写"HY"。海力士即原现代内存,2001年更名为海力士。海力士即原现代内存,2001年更名为海力士。海力士半导体是世界第三大DRAM制造商,也在整个半导体公司中占第九位。其以超卓的技术和持续不断的研究投资为基础,每年都在开辟已步入纳米级超微细技术领域的半导体技术的崭新领域。另外,海力士半导体不仅标榜行业最高水平的投资效率,2006年更创下半导体行业世界第七位,步入纯利润2万亿韩元的集团等,正在展现意义非凡的增长势力。ASML是一家总部设在荷兰艾恩德霍芬(Veldhoven)的全球最大的半导体设备制造商之一,向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。2020年10月,阿斯麦光刻机在中国大陆地区大大小小装机有700台,2020年第二、第三季度,公司发往中国大陆地区的光刻机台数超过了全球总台数的20%。
  • 谷超豪:人言数无味 我道味无穷——2009年度获奖人
    2010年10月20日,谷超豪在“谷超豪星”命名仪式上。摄影 刘畅  1月11日下午,谷超豪缺席了国家科技奖获奖者与记者的见面会。  “因为谷老年事已高,医生建议他下午不要进行活动。”科技部官员宣布说。  今年的最高科技奖再次颁给了两位80岁以上的老人。  学生陈晓漫认为,无论从学术上还是为人上,谷超豪老师都是实至名归。  “他身上有科学家的本色,是在那一代科学家身上常见的。”陈晓漫说,而如今许多做学问的人却贪图高官享受。  谷超豪,84岁,前几年的摔跤又令他行走不便。时间的流逝,令“那个年代”科学家已越来越少。  最无悔  少年请缨革命  与谷超豪同时代的科学家大都是一批饱尝国家命运的人。他们生于“九一八”前后,成长在日军侵华的战乱中,将最富有活力和才华的青年时代献给新中国的建设。  1926年,谷超豪出生于温州城高盈的一座老式庭院。温州有着“数学之乡”的美誉,谷超豪的老师苏步青就是温州人。  谷家在温州是大户人家,谷超豪自幼受到良好的教育。他念小学时,日寇正加紧对华侵略。爱国救亡是整个时代的主题。  谷超豪说:“我记得小学高年级语文课,选用的教本是一本《给年少者》的文集,里面都是进步作家的著作,呼吁团结抗日,人民奋起。”  1938年,日军轰炸温州,整个城市瘫痪。学校也被炸毁,全校师生逃难到青田。谷超豪立下两个志向:一是当科学家,二是做革命者。这两种身份,成了谷超豪人生历程中相互交叉的两条线。  在哥哥的影响下,谷超豪阅读《大众哲学》等进步书籍,加入学校的进步组织,写文章、贴标语,为抗日宣传做后勤工作。1940年,年仅14岁的谷超豪加入中国共产党。  在进入浙江大学龙泉分校后,谷超豪参与了不少学生运动,并高票当选学生会主要负责人之一。在大学,他成为数学家苏步青先生最看重的弟子。临近解放,他跑遍杭州大街小巷,挽留更多的科学家留下来。  谷超豪一直视那段“革命岁月”为一个地下党人的责任,“是应该做的”,“不后悔投入很大精力”。  谷超豪曾用两句旧体诗总结青少年的岁月:“稚年知国恨,投笔欲请缨。”  “这几乎是他们那一代科技人的相似经历。”谷超豪的学生洪家兴院士说。  最自豪  三次转型三受瞩目  谷超豪曾将自己的三大研究领域———微分几何、偏微分方程和数学物理,亲昵地称为“金三角”。而他的这几次转型都是为了“国家的需要”。  1956年,国家制定“10年科学规划”,提出要在计算数学、概率论、偏微分方程等方面有所突破。  此时苏联发射了第一颗人造卫星。正在苏联进修的谷超豪,主动学习空气动力学,归国后随即主攻偏微分方程,提出要以高速飞行器为实际背景,以超音速绕流问题作为一个模型开展研究。  转型前,谷超豪在微分几何方面的成就已经很引人瞩目。  “在一个领域做到了顺风顺水,但却放弃这些从零开始,投入一个不知能取得什么成就的未知领域。”谷超豪的学生李大潜院士说,这考验的不仅是一个人的科学能力,而且还有他的学术追求。  “文革”期间,谷超豪加入一个卫星研究小组,将自己的理论应用于实际中。  上世纪70年代初,谷超豪已经在超音速绕流问题上取得了世界先进的成就,他再次转变研究方向,与杨振宁先生就“规范场理论”的数学结构开展合作,并取得世界瞩目。  关于谷超豪的“转向”,洪家兴院士打了个比方:“他带队找到一条通往金矿的路后,就把金矿让给跟随他的年轻人去续开掘,自己则带另一批年轻人去寻找另一个金矿。”  “这也是他们这一代科学家的特点:永远把国家的需要放在自己的发展之前。他们那一代之后,很少有人能做到这一点了。”洪家兴说。  微分几何、偏微分方程和数学物理,是当今核心数学的最活跃的三个分支,谷超豪在这三个方向上均获得国际认可的突破性成果。  “这在全世界的华人学者里都非常少见。”洪家兴说。  国际行星命名委员会还曾将紫金山天文台于2007年9月11日发现的小行星命名为“谷超豪星”。  最厌恶  以“学术”之名赚钱  谷超豪带出来的学生中已经有三位院士,分别是李大潜、洪家兴和穆穆,而受他指导的学生中,还有7位院士和大批高级数学人才。  在学生们的印象中,谷超豪从未在背后评论过任何人的人品,只有一次,谷超豪对一位四处兼职的同行非常反感,厌恶地说“人也是会变的。”  这是学生们听到过谷超豪最严厉的批评。  将学术作为工具赚钱是谷超豪最无法容忍的学界风气。  “而对大量发同质的论文,争取资金和职称,谷超豪老师也有自己的看法。”洪家兴说。  洪家兴院士曾经统计过,中国数学界论文发表数量是世界第二,仅次于美国,但论文被引用的数量却在世界排100多位。  谷超豪听到这个统计后,很久没有说话。在2009年的数学院学科建设讨论会上,谷超豪一口气讲了半个多小时,拿自己当年写论文做例子,强调现在治学需要使命感,强调创新。  “现在科研工作是在别人论文中找问题,而谷先生他们当年的研究室从国家需要找问题,所以他们当年的研究走的比美国人早。”洪家兴说。  国家分配给谷超豪的社会工作,他会全力做好。调任中科大当校长时,他曾犹豫会耽误自己的学术研究,但“革命者”的信仰再次起了作用,他担起了这个重担,而将学术研究放在了休息的时候。  李大潜和洪家兴有时候忍不住感慨自己的老师是“神人”,70岁前担任那么多行政工作,每个月往北京跑好几次,仍能做出这么大的成绩,他是把业余时间都用在数学上面了。谷超豪最后一篇论文发表于他80岁那年,是关于广义相对论的。  最惜字  除了数学,很少聊其他  2009年12月25日,复旦大学组织记者集体采访学校数学研究所名誉所长谷超豪教授。谷超豪系着一条红黑格子围巾,笑眯眯地坐在桌子后面。  “这是为了中国最高科技奖来采访您的记者们。”复旦大学宣传部的方明大声告诉谷超豪。  “啊?”谷超豪没有听清,笑着望向方明。  这位83岁的老人听力已经不佳。  “评价一下您自己的一生吧。”  “一直在努力工作。”  获得科技奖后您未来打算呢?  我要努力再做些事情。  如何处理500万奖金?  我没想过。  您现在想一下呢。  我想不出。  “谷先生每次的回答都不超过10个字。”一位记者随后向洪家兴抱怨。  “谷先生很少聊天,除了聊聊数学。”洪家兴说,“我每次去他家汇报工作,一二三说完,就完全没话了,两个人面面相觑,只有立刻走人。”  谷超豪的学生忻元龙教授也曾领教过他的惜字如金。他说,谷超豪每天吃午饭晚饭都很沉默,除了学术和国内大事,绝不多说。  唯一一次破戒是忻元龙做了道鱼,谷超豪皱眉头吃完,告诉忻元龙:鱼的味道太怪,他吃不惯。  “我们都笑他是搞地下党工作出身,所以嘴很紧。”忻元龙说。  最痴爱  95%时间计算数学  数学成就了谷超豪的辉煌人生,同时也成就了他的爱情与家庭。  谷超豪的夫人胡和生是我国数学界唯一的女院士,也是第一位走上国际数学家大会NOETHER讲台的中国女性。  她和谷超豪同为苏步青的学生,相识于图书馆,相恋在同样的数学世界,1957年结婚。  很多院士都记得往年,谷超豪和胡和生手挽手去食堂吃饭的情景。1992年,胡和生成为女院士后,谷超豪作诗一首,写道“学苑有令名,共赏艳阳天。”  “除了国家给他的任务,他生命剩下的95%时间都给了数学。所以他的生活看起来很单调。”洪家兴说。  谷超豪曾为母校温州中学90周年校庆作了首诗抒发对数学之爱,“人言数无味,我道味无穷。良师多启发,珍本富精蕴。解题岂一法,寻思求百通。幸得桑梓教,终生为动容。”  如今,谷超豪仍然保持着每天7点起床的习惯,一天大部分时间花在研究广义相对论上,这是他最近转向的领域。  每周二,谷超豪会到单位一次,除了参加年轻教师的“讨论班”,他就在办公室呆着,面前一本书一张白纸,一支粗水笔慢慢计算着。  “我有好几次忍不住想上前跟他说,你已经德高望重了,做不做都是一样的。”洪家兴最无法忘记的景象就是:老人俯首凝神的消瘦侧影和桌上算的密密麻麻的纸张。  “但这个话最终也没说,因为后来有人告诉我,你不能劝他停止对数学的追求,因为那正是他生命所在啊。”白发苍苍的洪家兴说。
  • 上海光机所在特殊波长的飞秒超快光纤激光器研制方面获进展
    近期,中国科学院上海光学精密机械研究所高功率光纤激光技术实验室在特殊波长的飞秒超快光纤激光器研制方向取得重要进展。该团队首次报道了一种基于色散管理、全保偏九字腔的978 nm飞秒掺镱光纤激光器。相关研究成果以Generation of 978 nm dispersion-managed solitons from a polarization-maintaining Yb-doped figure-of-9 fiber laser为题,发表在《光学快报》(Optics Letters)上。978 nm掺镱飞秒锁模光纤激光器因独特的应用价值而备受关注。然而,由于Yb3+在978 nm波长附近的吸收截面近似等于发射截面,为了在这个波长获得高性能激光输出,必须克服978 nm处的激光自吸收和1030 nm附近的放大自发辐射(ASE)等问题。此外,Yb3+在978 nm附近的增益带宽相对较窄,这进一步增加了在该波长下获得飞秒激光脉冲的难度。因此,与1 μm以上的传统掺镱锁模光纤激光器相比,实现这种978 nm的飞秒光纤激光器面临着更大挑战。针对上述问题,研究团队采用基于九字腔结构的非线性放大环镜(NALM)技术实现了978 nm处色散管理孤子的稳定输出。实验中,通过控制激光腔内各色散元件的参数有效地管理了腔内总色散,并引入滤波器来抑制1030 nm的ASE,最终获得了具有14.4 nm光谱带宽和175 fs的高相干激光脉冲。此外,激光腔由全保偏光纤器件组成,能够有效抗温度、震动等环境扰动,确保了锁模脉冲的长期稳定性。数值模拟结果表明,978 nm色散管理孤子的光谱宽度主要受限于Yb3+在相关波长附近的增益带宽。未来,可以利用非线性效应在腔外进一步展宽光谱,从而在这个特殊波长实现更窄脉宽的激光输出。该研究实现的978 nm锁模脉冲是迄今为止报道的相关波长超快光纤激光器中能够输出的最短脉冲,在水下通信和太赫兹波产生等领域具有良好的应用前景。图1.978 nm九字腔色散管理孤子光纤激光器实验装置图图2. 978 nm九字腔光纤激光器输出脉冲参数。(a)光谱,(b)脉冲序列,(c)射频谱,(d)自相关信号,(e) 腔外压缩后的频谱和(f)自相关信号。图3. 数值模拟结果。(a、b)输出色散管理孤子的光谱和时间特性;(c、d)腔内脉冲的时频演化过程。
  • 迅数发布迅数HD5000 多谱超分辨菌落成像系统新品
    HD5000 多谱超分辨菌落成像系统HD5000多谱超分辨菌落成像系统是迅数科技2020出品、软硬件顶级配置的旗舰机型,符合人体工学的全金属机箱设计,精致、坚固。独特设计的平皿莱因伯格照明系统,具有156种组合照明模式,可为平皿、多孔板菌落、细胞克隆、病毒蚀斑拍摄华美的影像,是图像数据保存、文献发表的有力工具。4/3英寸超大面阵CMOS传感器与大视场高清定焦镜头搭配,菌落影像通透、色彩细腻,完美展现培养基深层微小菌落,抑菌圈轮廓清晰、锐利,保证了图像分割的精度和重现性。软件功能丰富、易用,融菌落计数、抑菌圈测量、菌种筛选三大功能于一体。可实现:快速统计、多算法高级统计、网格滤膜、3M测试片、典型菌筛选、菌株特性描述、双圈分析、抑菌圈测量。。。 微生物平皿成像的“数字影棚” l “数字影棚”的光源控制 专业设计的平皿载样舱,可实现培养皿的雾光漫反射照明、悬浮暗视野照明、彩色凌透背光照明、多谱莱茵伯格照明,紫外激发照明,拍出不同寻常的科研级精美照片。 光源控制器采用隐藏式吸弹门设计,具6路照明选择开关、4通道无级亮度调节、双通道色温调节、12路彩色背景选择、12路莱因伯格光选择。 l 多谱莱因伯格照明多谱莱因伯格照明是迅数独创的平皿大视场暗域照明技术,12通道不同波长的可见激发光以环幕逆透射聚光照明菌落,辅以不同的彩色凌透光,可构成156种组合照明模式,使培养基形成均匀的背景色,菌落勾勒出鲜亮的自然色泽与轮廓。无需化学染色,即可使菌落或细胞克隆实现无损光着色,便于观察细微结构,识别、计数。莱因伯格照明实际样张: l 悬浮式暗视野照明 悬浮式暗视野由暗域轮廓光与黑色背景构成。柔和的白色LED轮廓光,使平皿中央到边缘的菌落得到均匀的照明,而光线几乎穿透培养基,形成黑色背景下的亮色菌落,菌落与培养基形成高反差,可清晰勾勒菌落轮廓。超分辨率 锐利展现菌落细节1.1英寸大视场高清定焦镜头,通过较大程度地控制多种像差,无论是暗视野照明、雾光漫反射照明、莱因伯格照明,都能呈现高分辨力、高对比度的画质。 2100万像素 4/3英寸超大面阵彩色SONY CMOS 传感器,采用双层降噪技术,具有极高的灵敏度以及超低噪声,能以无损图像品质呈现细微的色差和丰富的细节信息。 高保真镜头与大面阵相机的完美搭配,更能区分不同菌落、菌落与杂质、菌落与培养基之间的差异,从而提高菌落计数、筛选的精度。 更多图像算法 提高菌落计数精度 迅数创造性地研究出适合复杂菌落分割计数的快速活动轮廓模型、多相水平集活动轮廓模型等先进的图像分割技术,实现了复杂菌落、高难度平皿的准确计数。 (a) 水平集函数示意 (b) 曲线演化过程水平集活动轮廓模型的基本原理图像识别分割案例:多粘连细菌菌落计数 微小菌的识别计数:适合支原体、AMES 、嗜冷菌分析 真菌菌落计数滤膜菌落的识别计数 显色菌落的识别计数 高效、精确 菌种数字化筛选l 无损伤的多谱光学染色识别技术 通过多光谱莱茵伯格照明的光学染色技术,让菌落或克隆形成鲜艳的颜色,便于观察、辨别菌落的色彩和纹理细节,结合染色抗干扰精密统计技术,可以提高不同菌落识别的精度,减少培养基不平整、杂质干扰的影响。 l 不同菌群自动分类识别 微生物研究中有时需要在多菌混杂情况下把目标菌分类统计出来。不同菌种菌落的色泽、大小、轮廓存在微小特征差异。HD5000的“单色分类统计、指定多色筛选、多色自动聚类”工具可实现高精度识别某一类菌落,或自动聚类区分不同颜色的菌落。 l 双圈分析通过精确测量透明外圈直径和菌落直径,自动计算二者面积比和直径比,并根据比值的大小自动排序,定位出相应的菌落。适用于“抑菌圈、透明圈、变色圈、生长圈、水解圈、溶磷圈、排油圈、溶钙圈、溶血圈”分析,辅助抗生素、酶制剂、有机酸产生菌和石油、农药降解菌的高效筛选。 l 病毒滴度分析-蚀斑/噬菌斑计数 悬浮式暗视野照明使得敏感细菌菌层为白色,烈性噬菌斑形成的透明斑为黑色;莱茵伯格照明可让结晶紫或中性红染色的细胞层着色明艳,病毒空斑更易观察。影像的锐度与反差,帮助实现蚀斑/噬菌斑的准确分割和精确计数。 l 菌丝生长速率分析工具 菌丝生长速率、菌丝生长抑制率、对峙培养分析、室内毒力测定等实验常采用十字交叉法测量菌落直径。由于多数霉菌菌落蔓延、疏松、边缘发散不规则,测量的人为误差大,效率低。迅数“霉菌一键测量”模块,只需用“魔棒”在菌落边缘点击一次,即可瞬间测出大霉菌的面积、周长、长径、短径。 l 免疫学研究 迅数-多区域统计算法可以轻松实现任意多个区域的同步一键计数,可用于肺炎链球菌荚膜多糖特异性抗体调理吞噬杀菌试验(OPKA)和抗体依赖补体介导的体外血清杀菌试验(SBA) l 多孔板克隆计数 高分辨率的HD5000还可用于多孔板的克隆成像。莱茵伯格照明能使结晶紫染色的肿瘤或干细胞克隆鲜艳明亮;悬浮式暗视野照明,可使软琼脂克隆形成高反差的图像,自动计数大于50um的克隆或细胞团。 l Spot assay 点阵分析 Spot assay常用于检测不同培养液中细菌或酵母的生长率、培养液的连续梯度稀释或某个菌株基因突变型的高通量筛选 。“多区域动态调节统计”适用于此类分析。 抑菌圈自动测量l Szone 抑菌圈多模式测量技术抑菌圈测量常采用钢圈双碟法、纸片法、琼脂打孔法,由于试验环节诸多因素,如:抗生素溶液浓度、培养基质量、PH值、试验菌菌龄、培养时间等,使得最后形成的抑菌圈有些轮廓清晰,有些边缘模糊或不整齐并伴有破裂现象。 迅数“自动检测、拟圆逼近、三点定圆”三种算法,可适应不同类型抑菌圈的测量。 l 高对比、高分辨成像---保证测量精度 抑菌圈测量的关键是准确找到透明圈与底层菌的“边界线”。迅数专利设计的悬浮式暗视野,使得透明的抑菌圈构成“黑背景”,与周边灰白色的菌层形成高反差。 测量精度取决于数字影像画质,而镜头与相机的组合对画质至关重要。HD5000采用光学分辨率达150LP/mm的大靶面定焦镜头,将通透无畸变的光信号通过4/3英寸大面阵CMOS芯片相机,转为高清细腻的抑菌圈数字图像。 l 抗生素效价测定 提供一剂量法、二剂量法、三剂量法及合并计算。一剂量法符合美国药典,二剂量法和三剂量法符合中国药典2020版。仪器重复性自检,测量相对误差≤0.002mm;均匀性自检,相对误差≤0.1%。主要功能与技术指标一、 照明系统? 全封闭钢铝合金机箱(32×34×46cm):精密、坚固,确保光密闭? 平皿载样舱:下拉式铝合金隔断窗,消除环境杂散光干扰,阻断紫外泄露、避免灰尘进入? 雾光漫反射照明1) 96颗LED列阵与纳米反射材料构成嵌入式雾光系统, 360°连续漫反射,凸显菌落色泽和纹理,消除玻璃培养皿折射形成的光斑、光环。2) 色温变化范围:3100K-5800K 照度范围 50-—7000 Lux 3) LED寿命≧20000 小时? 悬浮暗视野照明白色LED光源,照度范围 100—5500 Lux 显色指数74%? 彩色(12色)凌透背光照明1) 可调式LED导光列阵,形成均匀、高亮的12种色彩透射光2) 照度均匀度大于90%,确保培养皿边缘与中间得到均匀照明? 多谱莱茵伯格照明1) 12通道可见激发光、环幕逆透射,与凌透背光可构成156种组合照明模式2) 多光谱模式可降低培养基不平整、色变的影响,减少琼脂杂质的干扰3) 无损光着色技术与抗干扰精密统计技术结合,增强菌落之间细微颜色差异辨别,显著提高菌落识别、筛选的精度? 紫外反射光源:254nm用于腔体消毒、紫外诱变 ;366nm 可用于荧光激发? 光源控制器1) 隐形弹吸式控制面板,6路照明选择开关、4通道无级亮度调节、双通道色温调节2) 照明组合 自由切换 二、 数字成像? 1.1英寸大靶面高清工业定焦镜头,镜头中央与边缘都保持150 lp/mm的分辨率? 超大面阵CMOS相机: SONY 4/3英寸彩色CMOS 传感器, 分辨率:2100万像素 单像素尺寸:4.54X4.54um三、 菌落分析模块1. 基本菌落计数功能? 平皿类型:倾注、涂布、膜滤、螺旋平皿、3M纸片 ? 全皿菌落统计:菌落总数统计,并按25档尺寸分类显示? 区域选择统计:可选择圆形、矩形、任意圈定区域进行统计? 多域平行统计:一次性多区域同步统计;多区域“镂空”统计? 直径分类统计:设置直径范围,统计特定大小的菌落? 鼠标点击统计:快速标记、添加菌落,适合培养皿边缘菌落的计数? 菌落粘连分割:自动分割相互粘连的菌落,链状菌落由用户选择分割或不分割2. 快速菌落统计? 滚轮参数调节统计(4种):均质平皿、背景不均、微小菌落、彩色背景? 一键响应统计(3种):单色统计、霉菌统计、反式统计3. 高级菌落统计? 动态调节统计:可对统计结果进行动态调节修正,快速获取最佳统计效果。? 偏差预估统计:适用于菌落颜色多且复杂的情况。? 水平集多模型算法:搜索运算,获取最佳图像分割效果,适应培养基背景变换? 特定菌落统计:根据菌落色泽、大小、轮廓特征,识别特定菌落? 反式统计:适合菌落类型极其复杂而培养基背景均匀? 高粘连菌统计:适合多重粘连菌的分割计算? 杂菌、杂质剔除:根据形态、尺寸、颜色的区别,进行自动杂菌、杂质剔除? 螺旋菌落统计:根据FDA标准自动计数螺旋平板,支持指数模式、缓慢指数模式、均一模式、比例模式、草坪模式等。兼容美国SBI、西班牙IUL螺旋接种仪。 4. 网格滤膜与3M测试片? 黑色实线网格一键统计? 3M细菌总数测试片、3M金黄色葡萄球菌测试片:一键统计? 3M大肠菌群测试片、3M大肠杆菌/大肠菌群快速测试片:一键统计+人工选择5. 典型菌筛选? 单色分类统计:根据颜色精度、扩散度和菌落大小、轮廓特征,筛选特定菌落? 多色自动聚类:根据颜色聚类精度,自动区分24种不同颜色的菌落? 指定多色筛选:一次筛选1-8种指定颜色菌落? 透明圈特性分析:适用于抑菌圈、水解圈、变色圈、溶钙圈、溶血圈、排油圈、溶磷圈分析? 双色圈自动筛选6. 菌落特征描述? 细菌、酵母:颜色、大小、形状、表面形态、边缘、光泽、透明度等特征,智能描述和排序? 霉菌、放线菌:正面颜色、反面颜色、大小、表面形态、边缘、质地等特征,智能描述和排序7. 微生物限度分析工具? 培养基适用性检查? 控制菌检查-菌落形态8. 专项分析? 防霉检测:定量分析防霉等级? 多区域串联统计:适合培养基背景不均匀的复杂菌落? 多区域并联统计:适合多孔板、OPKA、SBA分析9. 高级工具? 网格清除:消除滤膜网格背景干扰? 人工计数修正:添加或删除菌落? 排除污染区域:鼠标勾勒任意污染区域,自动剔除污染区域的菌落数? 背景文字清除:自动消除记号笔干扰? 人工粘连分割:手动分割多重粘连菌落? 参数自动换算:培养皿直径、样本稀释度输入,实现自动换算? 文字、图形标注:各类绘图工具和中英文文字嵌入10. 标定与测量? 仪器标定:仪器自带标定、人工修正标定? 一键式快速测量:一键测定大菌落,适合真菌、放线菌的单菌落分析? 全皿自动测量:全皿菌落的等效直径、面积、长短径、周长、圆度分析? 多向标尺测量、手动精确测量:长度、角度、弧度、面积、弧线、任意曲线11. 图像处理? 图像调节:灰度图、负相图转换;亮度、对比度、饱和度调节;RGB调节? 图像增强:锐化、自适应增强? 图像滤波:中值滤波、高通滤波、高斯滤波、低通滤波、队列滤波、高通高斯? 边缘检测:Sobel算子、Robert算子、Laplace算子、垂直检测、水平检测? 形态学运算:腐蚀、膨胀、开运算、闭运算四、 数据安全与管理1. “系统、数据、操作、复核”四重系统架构,分设职能与权限,确保数据信息的安全、完整和真实? 系统管理员(最高层):负责创建、管理所有操作员与审核员的账户和登入密码。确保操作员与操作员之间、操作员与审核员之间的账户隔离与数据隔离。? 数据管理员(副高层):负责全部测试数据的档案管理、以及计算机的数据库管理。封存所有审核通过的测试报告或将原始图片、测试数据备份、导出,保证了数据的完整性、安全性。? 操作员:负责培养皿菌落的测试、自检、修正、形成电子报告、递交审核、对审核通过后的文件进行报告打印。? 复核员:负责对操作员递交的测试报告进行审核。核查数据输入与处理过程,但无权修改;对存疑报告作“审核退回”处理,要求操作员重新测试;对“审核通过”的报告将永久性存档,无论审核员还是操作员都无权再删除,以确保数据的原始性和真实性。2. 数据存储与导出? 以电子数据为主,记录:样本来源、编号、稀释度、平皿图片、识别效果、计数值、所用统计工具、参数设置、修正情况,确保记录信息完整。? 满足质量审计,存储的电子数据能以PDF或Excell格式打印输出3. 水印签章技术、防篡改技术、测试流程智能重构技术,实现有效的审计追踪? 防篡改技术1) 采用多用户登入管理,所有操作员、审核员的名字,被系统自动记录在操作流程和测试报告中;所有操作日期、审核日期,由计算机自动生成,避免错填或伪造。2) 全部操作流程,包括:菌落图片、培养皿尺寸、样本稀释度、统计工具、所用参数、测试所得的菌落总数、自检修正后的菌落总数等,由计算机自动记录在数据库中,操作员无法进行改动,为后续审计提供全部真实数据。? 水印签章技术“审核通过”的测试报告会自动生成操作员和审核员的账户电子签名,并在报告上加印防伪的“审核通过”水印签章。? 测试流程的智能重构技术1) “复核员”打开“等待审核”的测试记录,计算机自动复原操作员的全部流程和测试环境,包括:当时所测的培养皿图片、测试结果、培养皿尺寸、样本稀释度、采用的统计工具及所用参数、测试所得的菌落总数、修正情况… … 2) 通过测试环境和测试流程的重现,复核员可以追溯操作员的全部操作,复核测试结果的准确性,达到审计追踪目的。五、 抑菌圈分析模块1. Szone 抑菌圈多模式测量技术? 自动检测:基于抑菌圈轮廓的精确边缘检测,适合边缘清晰、圆形抑菌圈? 拟圆逼近:基于抑菌圈轮廓的圆形拟合逼近,适合边缘破裂、非标准圆形抑菌圈 ? 人工检测:鼠标点击抑菌圈边缘上三点成圆,适合边缘模糊的抑菌圈2. 抗生素效价测定? 一剂量法效价检测:适合美国药典? 二剂量法、三剂量法及合并计算:适合中国药典2020版? 重复性自检:相对误差≤0.01%、重复测量精度 ≤0.002mm ? 均匀性自检:相对误差≤0.05%? 台间测量差异≤0.2%3. 舒巴坦敏感β-内酰胺酶检验? 纯水验证:根据(A)、(B)、(D)产生抑菌圈,D-C≧3, B-A≦3 ,判定系统成立? 自动检测三个平行样本的(A)、(B)、(C)、(D)抑菌圈,并数据导入? 自动计算平行试验平均值,智能判别结果的阴阳性。? 无效报告自动预警六、 仪器规格与配置? 多谱超分辨菌落成像系统主机1台? 菌落分析软件、自动抑菌圈测量软件、抗生素效价测定软件、舒巴坦敏感β-内酰胺酶检验软件? 高端一体电脑::双核四线程CPU/4G内存/1T硬盘/23"高清屏,Windows 10系统 杭州迅数科技有限公司 浙江省杭州市西湖区西湖科技园西园八路11号B座405室 邮编:310030 联系电话:0571-85125132、85020452、85124851 网址:www.shineso.com E-mail:shineso@shineso.com创新点:?全球首创的平皿大视场多光谱莱因伯格照明系统?具有156种组合照明模式?2100万像素4/3英寸超大面阵CMOS传感器与1.1英寸大靶面高清定焦镜头搭配,画质惊人迅数HD5000 多谱超分辨菌落成像系统
  • 国产进入新一轮研发潮:电子束曝光机市场与企业盘点
    电子束曝光机概述电子束曝光(EBL,也称之为电子束光刻)始于上世纪60年代,是在电子显微镜的基础上发展起来的用于微电路研究和制造的曝光技术,是半导体微电子制造及纳米科技的关键设备、基础设备。电子束曝光是由高能量电子束和光刻胶相互作用,使胶由长(短)链变成断(长)链,实现曝光,相比于光刻机具有更高的分辨率,主要用于制作光刻掩模版、硅片直写和纳米科学技术研究。目前,活跃在科研和产业界的电子束光刻设备主要是高斯束、变形束和多束电子束,其中高斯束设备相对门槛较低,能够灵活曝光任意图形,被广泛应用于基础科学研究中,而后两者则主要服务于工业界的掩模制备中。电子束光刻的主要优点是可以绘制低于10nm分辨率的定制图案(直接写入)。这种形式的无掩模光刻技术具有高分辨率和低产量的特点,将其用途限制在光掩模制造,半导体器件的小批量生产以及研究和开发中。我国电子束曝光技术是六十年代后期开始发展起来的,到七十年代,近十家从事电子束曝光技术研究的单位,在北京、上海、南京分别以大会战的方式组织了较强力量的工厂、研究所和高等院校研制。当时由于国内缺乏基础,而电子束曝光本身又是一种多学科的综合性技术,几年之后,许多单位因任务改变而结束了此项工作。在2000年后电子束光刻设备研发热度逐渐降低甚至一度搁置。在《瓦森纳协定》禁止向中国提供高性能电子束光刻设备后,国内电子束光刻设备研发才重新被提起。在此之前,国内从事和引导电子束光刻设备研发的单位主要有中国科学院电工研究所、中国电子科技集团有限公司第四十八研究所、哈尔滨工业大学和山东大学等。目前性能最优的国产化电子束光刻设备包括中国电子科技集团有限公司第四十八研究所在2005年通过验收的DB-8型号电子束曝光设备,对应0.13μm的半导体制程;中国科学院电工研究所2000年完成的DY-7 0.1μm电子束曝光系统可加工80 nm的间隙,在2005年交付的基于扫描电镜改装的新型纳米级电子束曝光系统,其系统分辨率可达30 nm,束斑直径6 nm。国内电子束光刻研究主要类型为高斯束,上述提及的设备均为高斯束类型,而在变形束方面主要有电工所DJ-2 μm级可变矩形电子束曝光机的研究成果,可实现最小1 μm的线宽,束斑尺寸0.5~12.5 μm区间内可调。而在多束方面在过去并无相关研究,仅有电工所开展了多束的前身技术——投影电子束曝光的研究,设备代号为EPLDI。在中国科学院电工研究所和中国电子科技集团有限公司第四十八研究所的牵头下,研发过程中将整机拆分为多个关键零部件和技术进行阶段性攻关,包括精密工件台、真空系统、图形发生器、偏转和束闸等。国内研发设备的加速电压停留在30 kV以下,扫描速度普遍不超过10 MHz,相应的拼接套刻精度均在亚微米量级,而电子束束斑在整机自主化研发设备中由于热发射钨电子枪和LaB6的限制停留在几十纳米量级,整体设备性能与国外顶尖设备有较大的差距。市场概况根据QYResearch研究团队调研统计,2022年全球电子束光刻系统(EBL)市场销售额达到了13亿元,预计2029年将达到22亿元,年复合增长率(CAGR)为6.9%(2023-2029)。电子束曝光(electron beam lithography)指使用电子束在表面上制造图样的工艺,是光刻技术的延伸应用。电子束光刻系统(EBL)即用于实现电子束曝光的系统。全球电子束光刻系统(Electron Beam Lithography System (EBL))的主要参与者包括Raith、Vistec、JEOL、Elionix和Crestec。全球前三大制造商的份额超过70%。日本是最大的市场,占有率约为48%,其次是欧洲和北美,占有率分别约为34%和12%。就产品而言,高斯光束EBL系统是最大的细分市场,占有率超过70%。在应用方面,应用最多的是工业领域,其次是学术领域。国外主流企业及进展RaithRaith是纳米制造、电子束光刻、FIB SEM纳米制造、纳米工程和逆向工程应用的先进精密技术制造商。客户包括参与纳米技术研究和材料科学各个领域的大学和其他组织,以及将纳米技术用于特定产品应用或生产复合半导体的工业和中型企业。Raith成立于1980年,总部位于德国多特蒙德,拥有超过250名员工。公司通过在荷兰、美国和亚洲的子公司,以及广泛的合作伙伴和服务网络,与全球重要市场的客户密切合作。Raith主要有五款EBL产品,EBPG Plus、Voyager、RAITH150 Two、eLINE Plus和PIONEER Two。EBPG Plus是一种超高性能电子束光刻系统。100kv写入模式和5 nm以下的高分辨率光刻,涵盖了各种纳米制造设备中直接写入纳米光刻、工业研发和批量生产的广泛前沿应用。新系统集稳定性,保真度和精度于一体,确保最佳的高分辨率光刻结果的所有性能参数之间的完美交互。Raith VOYAGER 光刻系统使用场发射电子源,具有可变的 10-50 keV 加速电位,50 兆赫兹偏转系统具有实时动态校正和单级静电偏转功能,可在小至 8 nm 的光刻胶中定义单线图案。激光控制平台能够加载1厘米见方的化合物半导体芯片,最大直径为200毫米(8英寸)的硅衬底。Raith150-two是可以应用于晶片级电子曝光同时拥有极高分辨率的电子束光刻设备。并是纳米技术研究中心理想的电子束直写工具。并可设定为自动光刻流程并具有mix&match曝光功能。Raith150-two应用在半导体工业的新器件生产和新流程工艺中。作为专业的光刻系统,Raith150-two包括了所有例如高度感应和晶片高度测量等相应功能。强大的晶片自动化曝光管理功能可以使所有必要的校准和曝光方案互相配合广泛使用的eLINE Plus系统是大学和研究中心寻求通过单一多功能电子束光刻(EBL)系统访问纳米制造应用宽带的最佳系统。eLINE Plus的先进光刻基础设施支持超高分辨率电子束光刻和大面积纳米加工。此外,eLINE Plus的多功能性结合了电子束光刻,纳米工程,超高分辨率和大面积SEM成像的世界,包括用于计量和过程控制的专用功能。PIONEER TWO 集成了电子束曝光及成像分析双功能,是高校和科研人员的理想选择。从理念上,PIONEER Two是一个全新的独特的设备,真正意义上实现了电子束曝光和成像的EBL/SEM结合。PIONEER Two将专业电子束曝光设备和电子成像系统所有的功能融合成一套独立的成套系统。多功能性、稳定性、用户友好性操作,使PIONEER Two系统适合于不仅追求纳米结构的制作及再观察功能,且需要材料及生命科学领域中对化学成分及结构进行分析的所有用户。NBL(Nanobeam)NanoBeam是一家英国公司,成立于2002年,主要生产高性能和高性价比的电子束光刻工具。据媒体报道,2016年,徐州博康收购了NBL落户徐州经济技术开发区,并将在园区内主要生产电子束光刻机、扫描电镜、高压电源以及电子束枪、无磁电机等高科技产品。NBL的电子束光刻机线宽小于8nm的工艺,相关产品已销往因英、美、德、法、瑞典、韩国等国家,中国的中科院微电子所、13所、55所、北京大学等单位已引进15台。Nanobeam 推出的NB5型电子束光刻机依靠特有双偏转系统和共轭关闸,实现在8英寸晶圆(兼容更小尺寸,任意形状样品)的样品单次曝光制备5nm图形结构。电子束加速电压20-100kV连续可调,束流0.2-120nA,写场拼接精度≤10nm,套刻精度≤10nm。3nm束斑直径时,束流可达到2nA。JEOL日本电子株式会社(JEOL Ltd., 董事长:栗原 权右卫门) 是世界顶级科学仪器制造商,成立于1949 年,总部设在日本东京都昭岛市武藏野3丁目1番2号,其事业范围主要有电子光学仪器、分析仪器、测试检查仪器、半导体设备、工业设备、医疗仪器等制造、销售和研发。JEOL集团的业务包括三个部分:科学/计量仪器、工业设备以及医疗器械。JEOL的电子束曝光机产品主要有电子束光刻系统(可变矩形束电子束光刻)、电子束光刻系统(圆形电子束光刻)等 。1967年,JEOL完成JBX-2A 电子束光刻系统;1998年,JBX-9000MV 电子束光刻系统完成;2002年,JBX-3030 系列电子束光刻系统完成;2017年,与IMS共同发布世界首台量产化电子束光刻机并投入市场。目前,JEOL的电子束曝光机产品主要包括JBX-8100FS 圆形电子束光刻系统、JBX-3050MV 电子束光刻系统、JBX-3200MV电子束光刻系统、JBX-9500FS电子束光刻系统和JBX-6300FS电子束光刻系统。JBX-8100FS 圆形电子束光刻系统JBX-8100FS圆形电子束光刻系统,具备高分辨率和高速两种刻写模式,非常适用于超微细加工以及批量生产。该设备减少了刻写过程中的无谓耗时,并将扫描频率提升至业界高水准的125MHz (以往机型的1.25~2.5倍),使其具备更高的生产能力。JBX-9500FS是一款100kV圆形束电子束光刻系统,兼具高水平的产出量和定位精度,最大能容纳300mmφ的晶圆片和6英寸的掩模版,适合纳米压印、光子器件、通信设备等多个领域的研发及生产。JBX-6300FS的电子光学系统在100kV的加速电压下能自动调整直径为(计算值)2.1nm的电子束,简便地描画出线宽在8nm以下(实际可达5nm)的图形。 此外,该光刻系统还实现了9nm以下的场拼接精度和套刻精度,性能比优越。利用最细电子束束斑(实测值直径≦2.9nm)可以描画8nm以下(实际可达5nm)极为精细的图形。JBX-3200MV是用于制作28nm~22/20nm节点的掩模版/中间掩模版(mask/reticle)的可变矩形电子束光刻系统。是基于加速电压50 kV的可变矩形电子束和步进重复式的光刻系统。利用步进重复式曝光的优点,结合曝光剂量调整功能及重叠曝光等功能,能支持下一代掩模版/中间掩模版(mask/reticle)图形制作所需要的多种补偿。JBX-3050MV 是用于制作45nm~32nm 节点的掩模版/中间掩模版(mask/reticle)的可变矩形电子束光刻系统。Hitachi日立(HITACHI)是来自日本的全球500强综合跨国集团,1979年便在北京成立了第一家日资企业的事务所。日立在中国已经发展成为拥有约150家公司的企业集团。为更好地解决邻近效应和高加速压电子对器件的损伤问题,低能微阵列平行电子束直写系统将有希望成为纳米光刻的最好选择。开展这方面研发有代表性的是美国 ETEC 公司和日本的日立公司。日立推出的50 kV 电子束 (EB) 写入系统HL-800M,为 0.25 - 0.18 微米设计规则掩模制造而开发,并得到了广泛的应用。 HL-800M1999年12月,日立公司宣布推出HL-900M系列电子束光掩模写入系统,该系统是为满足用户对高精度掩模的需求而开发的。该系统基于HL-800M系列,引入了新的电子光学、低失真级和并行处理功能,用于处理大量数据,以实现更高的精度和更高的吞吐量。书写系统并不是实现高级掩模的唯一因素;制造工艺也很重要,并且在掩模制造工艺中使用化学放大抗蚀剂方面正在取得进展。HL-900M系列以150纳米或更高分辨率的高精度标线片制造为目标。该系统基于HL-800M,为了提高精度,引入了(1)高精度电子光学,(2)低失真载物台,(3)高精度温度控制系统,以及(4)用于处理大体积图案数据的并行处理功能。ElionixELIONIX成立于1975年,是一家从事纳米级加工与检测的中小企业。ELIONIX拥有资本金2亿7000万日元,目前共有员工100名。成立40余年,ELIONIX专注于电子束光刻、电子束硬盘刻蚀、超微材料分析等技术的研发,获奖无数,并成为以上技术市场中的隐形冠军。2004年以后,ELIONIX积极进军海外市场,目前客户遍布于美国,欧洲,中国等知名大学(哈佛、麻省理工学院,清华、北大等)和公共研究所。ELIONIX的电子光刻装置能够稳定且精准地控制电子束,同时将震动和磁场等外部干扰因素降到最低,电子束最细可达5纳米。ELIONIX的电子光刻装置拥有着世界顶级水平,目前占有50%以上的世界市场份额。ELS-F125是Elionix推出的世界上首台加速电压达125KV的电子束曝光系统,其可加工线宽下限为5nm的精细图形。ELIONIX的电子束光刻ELS系列可应用于光集成电路、SAW元器件以及其他各种传感器上。除了电子束,ELIONIX还有离子束光刻装置。2023年,ELIONIX发布了电子束光刻系统“ELS-HAYATE”。这是最新型号,具有业界最快的 400MHz 扫描频率和业界最大的 5mm 视场尺寸。ADVANTESTAdvantest(ADVANTEST CORPORATION)是一家日本半导体设备公司,专门提供广泛的半导体设备测试解决方案。该公司成立于1954年,现已成为半导体行业的领先企业之一。爱德万测试(ADVANTEST)的F7000 电子束光刻系统具有高通量和卓越的分辨率,并能够在1X-nm技术节点的晶圆上创建非常精确和平滑的纳米图案。其字符投影、直接写入技术使其非常适合作为研发和原型设计的设计工具,以及生产小批量多类型设备的 LSI 生产线的解决方案。F7000 支持各种材料、尺寸和形状的基板,包括纳米压印模板和晶圆,并针对各种应用进行了优化,例如高级 LSIs、光子学、MEMS 和其他纳米工艺。此外,用户还可以选择最适合其需求的配置,无论是独立配置还是在线配置,使 F7000 能够支持从研发到批量生产的各种应用。IMS NanofabricationIMS成立于1985年,位于奥地利维也纳,在2009年获得了英特尔的投资,并在2015年最终被英特尔收购。自从被英特尔收购以后,IMS在 2016 年发布了第一款商用多束掩模写入器MBMW-101,该产品比 EUV光刻工具精度更高,但速度非常慢,这是它们仅用于制造掩模版的一个重要原因。IMS Nanofabrication是NuFlare(东芝)的竞争对手,但东芝的工具不太精确,而且速度较慢。此外,NuFlare的多束掩模写入器在IMS Nanofabrication研发多年后才开始进入市场。超过90%的生产EUV掩模是使用IMS Nanofabrication 的多光束掩模写入器制造的。如果没有IMS Nanofabrication的掩模写入器,所有EUV工艺技术都将陷入停顿。EUV工艺技术被用于7nm以来的所有台积电、英特尔的工艺节点。2023年,英特尔公司宣布出售其旗下子公司IMS Nanofabrication 20%的股权,交易金额为8.6亿美元。此次交易将使英特尔公司减少对该公司的控制权,但仍将继续与IMS Nanofabrication保持合作关系。台积电在9月12日的临时董事会上宣布,拟不超4.328亿美元收购英特尔手中IMS Nanofabrication约10%股权。MBMW-101完全开发的多束掩模写入器(MBMW)为28至5nm的掩模技术节点提供精度和极高的生产率。2014年2月,世界上第一台用于6英寸光掩模的多束掩模写入器 MBMW Alpha工具问世。2016年,MBMW的数据速率提高了10倍,达到120 Gbit/s。截至2016 年,IMS 一直为掩模行业提供MBMW-101掩模写入器生产工具,用于 7 纳米技术节点。CRESTEC株式会社CRESTEC于1995年在东京成立以来一直专注于EBL技术。作为世界上为数不多的EBL设备专业制造商之一,在世界范围内EBL光刻机的销售实绩已经超过100台。其制造的电子束光刻机以其独特的专业技术,超高的电子束稳定性,电子束定位精度以及拼接套刻精度赢得了世界上著名科研机构以及半导体公司的青睐。其中 CABL 系列更是世界上仅有的产品之一。通过日本丰港株式会社在东亚及北美地区国家开展业务,实现产品知名度提升也会用户解决了实际需求。CRESTEC CABL 系列采用专业的恒温控制系统,使得整个主系统的温度保持恒定,再加上主系统内部精密传感装置,使得电子束电流稳定性,电子束定位稳定性,电子束电流分布均一性都得到了极大的提高,其性能指标远远高于其它厂家的同类产品,在长达5小时的时间内,电子束电流和电子束定位非常稳定,电子束电流分布也非常均一。由于EBL刻写精度很高,因此写满整个 Wafer 需要比较长的时间,因此电子束电流,电子束定位, 电子束电流分布均一性在长时间内的稳定性就显得尤为重要,这对大范围内的图形制备非常关键。CRESTEC CABL 系列采用其独有的技术使其具有极高的电子束稳定性以及电子束定位精度,在大范围内可以实现图形的高精度拼接和套刻。VistecVistec Electron Beam集团是设计、生产电子束光刻系统的国际顶级企业,为前沿电子束光刻领域提供尖端技术解决方案。Vistec集团在德国和美国拥有生产基地,在美国、欧洲、中国、日本、台湾和韩国设有技术服务中心。集团包括两部分,德国耶拿的Vistec电子束有限公司主要生产成形电子束光刻系统。美国纽约密执安的Vistec光刻公司主要生产高斯圆形束电子束光刻系统。Vistec的光刻系统是以可变形状光束(VSB)原理为主,其中使用强度均匀分布的可变形状和尺寸的电子束在基材上光刻光阻图案(也称为曝光或写入)。此外可使用更复杂的电子束形状即客制固定形状进行曝光,特别是使用这些技术能加快电子束的写入速度。基于可变异形光束(VSB)的原理,这些系统可用于各种直接结构化,例如在硅和化合物半导体晶圆上直接生成结构,用于光掩模的生产以及集成光学和光子学的应用。可变形状光束光刻系统主要用于应用研究、掩模和玻璃基板市场以及半导体行业。Vistec的电子束光刻系统在半导体制造中被广泛应用,用于芯片的制备和加工,包括先进的逻辑芯片、存储芯片、传感器芯片等。目前主要型号包括VISTEC SB3050-2和SB254。Vistec SB3050-2 是一款基于可变形状光束的高分辨率电子束光刻系统,可实现 300 mm 晶圆和 9 英寸掩模的完全曝光。Vistec SB254是一款通用的 VSB 电子束光刻系统,可完全曝光最大200 mm晶圆和 7”掩模。NuflareNuFlare(中文:株式会社紐富来科技)在2002年8月成立,是从东芝机械剥离出来的企业,2018年, 他们的销售额为587亿日元,员工人数为626人。NuFlare位于日本的神奈川线,主要的产品是半导体生产设备。其中掩膜光刻设备(40-45亿日元/台)占销售额的90%。1976年12月,以电子束掩膜光刻设备为中心的半导体制造设备业务的技术从株式会社东芝移交给东芝机械株式会社。1984年6月,公司与株式会社东芝综合研究所联合完成Variable Shaped Beam(可变形电子光束)型首台机——电子束掩膜光刻设备“EBM-130V”。1998年,通过与株式会社东芝的联合项目,开发Variable Shaped Beam(可变形电子光束)型电子束掩膜光刻设备EBM-3000,并进行产品化,成为了首台商用机,对应电路线宽为180 nm-150nm。开发并投产能够应对90nm制程的电子束掩膜光刻设备EBM-4000,并进行产品化(至此为东芝机械株式会社半导体设备事业部)。2002年,株式会社紐富来科技全面继承东芝机械株式会社半导体设备事业部的业务,并开始开展业务。2004年,NuFlare开发应对电路线宽65nm的“EBM-5000”,并进行产品化。2008年,开发并投产EBM-7000(应对32nmhp制程)。2011年,开发并投产EBM-8000(应对14nmTN/22nmhp制程)。2013年,开发并投产EBM-9000(应对10nmTN制程)。2019年,开发并投产EBM-9500PLUS(应对TN5nm/7nm+制程),并开发EBM-8000P(应对14/16nm、22-45nmhp制程)。2022年,开发并投产MBM™-2000(应对3nmTN制程)。NuFlare主要是由东芝机械与东芝合资成立的半导体先进制程设备,主要产品线是光罩微显影及缺陷检测。Nuflare原本是于1997年作为生产和销售印刷设备、造纸设备的东芝机械冲压工程设备公司成立,2002年从东芝机械继承了半导体生产设备业务,并开始了事业。与东芝集团的资本关系始于2002年东芝收购Nuflare的普通股份,后来慢慢提高出资比例,到2012年成为东芝的关联子公司。早前,东芝宣布要将NuFlare全盘拿下,但却半路杀出了个程咬金HOYA。HOYA在半导体制程中所使用的光罩基板拥有 7 成以上市占,另外该公司也有提供光罩解决方案。若HOYA能取得NuFlare Technology的经营权,将为该公司带来强大助力。因此自 2017 年之后,HOYA 就曾经多次向NuFlare Technology敲门,希望获得合作机会。为此在东芝于2019 年 11 月 13 日时宣布,要以每股 1.19 万日圆的价格来公开收购子公司 NuFlare Technology 的股票,但HOYA 在股票收购价格的设定上,硬是比东芝所开出的条件高出了 1 千日圆。这就给东芝的收购带来阻碍。在经过了几个月的拉锯战之后,东芝终于将这家制造企业收归囊中。MultibeamMultibeam Corporation总部位于加利福尼亚州圣克拉拉,是领先的Multicolumn电子束光刻技术(MEBL)开发商。Multibeam开发了微型全静电柱,用于电子束光刻。电子束柱阵列同时并行工作,可以提高晶圆加工速度。Multibeam在紧凑的模块中以阵列的形式排列其微型柱。阵列中的每一个小列产生一束电子束,控制其形状和轨迹,并将其聚焦到晶圆上以写入电路图案。阵列中的所有列都独立并行写入,以在生产环境中实现前所未有的电子束写入速度。MEBL的快速,可扩展的直写是由一个专有的数据准备系统。由于MEBL是无掩模的,DPS将行业标准GDSII或Oasis格式的数据库(其中存储了每层和所有层的IC布局数据)连接到所有MEBL列控制器。每一个MEBL列控制器分别指导其电子束在晶圆上书写图案,所有这些都是同时进行的。每个模块包括多列阵列、精密晶圆台和高精度反馈控制,这些高精度反馈控制与高精度光刻所需的其他传感器和子系统无缝集成。小型MEBL设备模组占地面积(约2英尺×2.5英尺)约为等离子蚀刻设备模组的大小,使其与商用晶圆处理大型机台兼容,并简化了多个模组的集。JC Nabity自上世纪八十年代成立以来,美国JC Nabity Lithography Systems公司一直致力于基于商品SEM、STEM或FIB的电子束光刻装置的研制,其研发的纳米图形发生器系统(Nanometer Pattern Generation System纳米图形发生系统,简称NPGS,又称电子束微影系统)技术在全球同类系统中属于翘楚之作,世界各地越来越多的用户包括大学、科研机构及政府实验室在使用NPGS进行EBL研究工作. 为满足纳米级电子束曝光要求,JC Nabity出品的NPGS系统设计了一个纳米图形发生器和数模转换电路,并采用电脑控制。电脑通过图形发生器和数模转换电路驱动SEM等仪器的扫描线圈,从而使电子束偏转并控制束闸的开关。通过NPGS可以对标准样片进行图像采集及扫描场的校正。配合精密定位的工件台,还可以实现曝光场的拼接和套刻。利用配套软件也可以新建或导入多种通用格式的曝光图形。NPGS技术以电子显微镜为基础,提供了一个功能强大且操作简便的电子束曝光系统。事实上,NPGS可以应用到任何SEM, STEM或FIB以实现电子束光刻技术作为基础研究及技术开发。市场上还没有其他扫描电镜电子束曝光系统可以像NPGS一样提供既快速且高精度的电子束光刻技术,并且使用成本有了很大程度的降低。Mapper2019年1月28日,荷兰光刻机制造商ASML官方宣布,收购其竞争对手荷兰代尔夫特的光刻机制造商Mapper的知识产权资产。同时,ASML的官方声明中还写到,将为Mapper在研发和产品装配方面的高技能员工提供合适的职位。作为ASML的竞争对手,Mapper在2018年12月份被证实正式宣布破产,公司拥有270名员工和众多电子束光刻机相关的IP。Mapper曾经以为自己找到了半导体制造行业的痛点,无奈研发能力跟不上,最终错过了好时机。Mapper为了降低芯片制造商在掩模上的高昂费用,以及让光刻突破光波长的限制,选择使用电子束替代光源。电子束具有很高的分辨率、较大的焦深与灵活性。Mapper设备通过使用电子束书写而不再需要掩模,让芯片成本有望实现明显下降。但是,电子束也有自身的缺陷,就是速度比光源光刻要慢很多,Mapper通过大量增加电子束的数量来解决这个难题。但随着ASML在EUV光刻技术上的成功,以及Mapper电子束光刻的研发遇到了困境,ASML拿到了高端光刻机市场的绝大部分份额。Mapper一蹶不振以至于破产被收购资产。IBM20世纪70年代,单点高斯束电子束光刻系统开始逐渐替代缓慢的光机械图形发生器,成为半导体工业掩模制备的首选技术。同一时期,IBM公司开创了形状束的概念,后续进一步提出并实现了目前广泛应用于产业界的变形束电子束光刻技术,使得电子束光刻的加工效率得到极大的提高。但是由于电子之间的库伦相互作用使得电子束束斑模糊,限制了电子束束流和加工效率的进一步提高。因此为了减少库伦相互作用,后续20世纪90年代IBM与尼康合作提出了基于掩模的多束平行电子束投影曝光方案:PREVAIL(具有可变轴浸没透镜的电子束缩小成像技术)。该技术由IBM的Hans Pfeiffer领导的电子束研究团队最早研究开发,与尼康的合作旨在用这项技术研制高分辨率与高生产率统一的电子束步进机。在PREVAIL样机上,电子轰击钽单晶形成电子束,在中间掩模上形成1mm2子场,经电子透镜产生4∶1缩小图像;在片子上形成250μm2图形,电子束经曲线可变轴电子透镜(CVAL)在掩模平面上可偏移±10mm,在片子上则为±2.5mm,而掩模和片子同时连续移动,形成整个电路图形的曝光。在PREVAIL样机上用75 KV加速电压,用700nm厚的光胶,做80nm间隔线条,束偏移±2.5mm,曝光结果证实:偏移束和不偏移束形成的图像很少有差异,进一步证明了这种原理的可行性。Nikon的Kazuya Okamoto指出:现在光胶和掩模已不是主要问题,当前在致力于大的发射源、均匀的掩模照明和具有大子场、大偏移、对掩模热负荷小的低畸变透镜,这种电子束步进机将用于100nm曝光,并可延伸到50nm,产量20片/时(300mm片)。2003年,尼康向Selete交付了第一台基于PREVAIL技术的NCR-EB1A电子束步进器。它在单次拍摄中曝光了包含 1000 万像素的图案片段,并代表了大规模并行像素投影的首次成功演示。然而,随着浸没式光刻的快速实施,电子投影光刻(EPL)的机会之窗已经关闭,行业的兴趣已经转移到无掩模光刻(ML2)上。Zyvex LabZyvex Corporation 由 Jim Von Ehr 于 1997 年创立,旨在开发和商业化原子精密制造 (APM) 技术,以制造具有原子精密度的产品。2007 年 4 月,Zyvex Corporation 重组为三个独立的公司,以确保持续专注于产品:Zyvex Performance Materials LLC、Zyvex Instruments LLC 和 Zyvex Labs LLC。资产在三个公司之间分配,并为材料和仪器业务聘请了专门的管理人员。Zyvex Labs 有两个目标:1) 开发 APM;2) 开发微细加工和 3D 微组装技术。该公司的 MEMS 技术是在 Zyvex 为期 5 年、耗资 2500 万美元的 NIST ATP 项目期间开发的,目前正用于制造微型科学仪器,例如微型扫描电子显微镜和微型原子力显微镜,以及下一代纳米探测系统。2022年,Zyvex Labs宣称推出世界上最高分辨率的光刻系统 — ZyvexLitho1,该工具使用量子物理技术来实现原子精度图案化和亚纳米(768 皮米——Si (100) 2 x 1 二聚体行的宽度)分辨率。ZyvexLitho1 是一款基于扫描隧道显微镜 (STM:Scanning Tunneling Microscopy) 仪器,Zyvex Labs 自 2007 年以来一直在改进该仪器。ZyvexLitho1 包含许多商业扫描隧道显微镜所不具备的自动化特性和功能。ZyvexLitho1所采用的电子束光刻(EBL)技术核心是使用氢去钝化光刻(HDL)从Si(100) 2×1二聚体列(dimer row)重建表面去除氢(H)原子,氢去钝化光刻是电子束光刻(EBL)的一种形式。该机器的用途包括为基于量子点的量子比特制作极其精确的结构,以实现最高的量子比特质量。该产品可用于其他非量子相关应用,例如构建用于生物医学和其他化学分离技术的纳米孔膜。不过该产品的缺点是吞吐量非常低,它可能更适合制造小批量的量子处理器芯片。KLA-TencorKLA-Tencor 拥有一种他们称之为 REBL 的技术:反射电子束光刻。该技术最初由DARPA资助。但目前在多电子束直写领域,多个消息来源表明,KLA-Tencor正在退出该市场,专注于其核心检测和计量工具业务。REBL系统示意图。电子源通过磁性棱镜照亮数字模式发生器(DPG)。来自DPG的反射电子定义了要曝光的图案,它们再次穿过磁性棱镜,从而将它们与照明束分离。然后将DPG图像缩小并投影到晶片上。贝尔实验室上世纪90年代,除了IBM与尼康合作分别提出了PREVAIL的基于掩模的多束平行电子束投影曝光方案外,贝尔实验室也提出了SCALPEL(具有角度限制的投影式电子束光刻技术)方案。1999年,一群半导体器件和设备制造商宣布了一项联合协议,旨在加速将SCALPEL技术开发为生产光刻解决方案,以构建下一代集成电路。该计划的参与者包括ATMT和ASML的合资企业eLithTM LLC;朗讯科技公司;摩托罗拉半导体产品部门;三星电子有限公司和德州仪器(TI)。但在两年后,ATMT 和 ASML决定解散eLith LLC(成立14个月,旨在SCALPEL技术商业化),急剧转向极紫外技术(EUV)作为下一代光刻解决方案。国内企业及进展中国科学院电工研究所由中国科学院电工研究所承担的中科院知识创新工程重大项目——“纳米级电子束曝光系统实用化”在2005年通过了专家验收。该项目瞄准国内急需的电子束曝光设备,在攻克实用化样机关键技术基础上,研制了3台以扫描电镜(SEM)为基础,配备以激光定位精密工件台、DSP为核心的多功能图形发生器、控制用微型计算机、真空系统、控制软件和自动输片机构的新型纳米级电子束曝光系统,供科研单位用于纳米科技和半导体前沿研究,满足我国科研机构和国防建设需要。 在该项目在研究过程中,科研人员们还开发了3项具有自主知识产权的创新性关键技术。其中,开发的核心部件——以数字信号处理器(DSP)为核心,以Windows2000为操作系统的通用图形发生器,在自主研制数字信号处理和软件系统方面取得了重大突破。该图形发生器可接收GDSII、CIF、DXF图形数据,并可与SEM、扫描探针显微镜(SPM)、聚焦离子束(FIB)连接,实施曝光或加工,实现高精度图形拼接和套刻。在完成过程中,已将纳米通用图形发生器推向了市场,为我国纳米科技研究做出了重要贡献。此外,电工所微纳加工技术与智能电气设备研究部自行研制了国内首台圆形电子束曝光系统、微米级可变矩形电子束曝光系统和缩小投影电子束曝光系统;研制的纳米级实用化电子束曝光系统和图形发生器在国家纳米科学技术中心、清华大学、台湾大学等三十余家科研机构得到应用。中国科学院电工研究所还和北京中科科仪股份有限公司合作研制了小型电子束曝光机DY-2000A。中国电子科技集团公司第四十八研究所中国电子科技集团公司第四十八研究所(简称48所),成立于1964年,隶属于中国电子科技集团有限公司。48所的电子束曝光技术,是在1969年北京696工程会战的基础上,内迁长沙而发展起来的。建所以来,一直发展以三束(电子束、离子束、分子束)为主的微细加工技术,研制束加工技术、薄膜技术、热工技术等设备和研究有关应用工艺。电子束曝光机,在1975年研制出第一代实用产品,1982年研制出第二代实用产品。这两代产品都于1975年、1982年先后交给电子部13所使用,为该所制作微波器件、GaAs场效应器件及其它微细线条图形起到了重要作用。而四十八所2005年通过验收的DB-8型号电子束曝光设备,对应0.13μm的半导体制程,处于国内先进水平。深圳量子科学与工程研究院深圳量子科学与工程研究院(以下简称深圳量子院)前身是于 2016 年成立的南方科技大学量子科学与工程研究所,该研究所 2017 年升格为南方科技大学量子科学与工程研究院。研究院于 2018 年 1 月 19 日挂牌成立,由深圳市科创委专项支持、依托南方科技大学建设,院长为中国科学院院士俞大鹏教授。据了解,围绕核心关键技术研发,研究院先后承担了多项关键科研装备的研制攻关任务,五年来总计申请国内外专利超 120 项,其中 34 项已获得授权。其中,电子束曝光机研发团队联合北京大学和中科科仪等单位,先后研制成功三套 30kV 电子束曝光机试验样机。泽攸科技近日,松山湖材料实验室精密仪器联合工程中心产业化项目研发再获新突破:项目团队成功研制出电子束光刻系统,在全自主电子束光刻机整机的开发与产业化过程中取得阶段性进展,初步实现了电子束光刻机整机的自主可控,标志着国产电子束光刻机研发与产业化迈出关键一步。为了研制具有自主知识产权的电子束光刻机整机,精密仪器研发团队在松山湖材料实验室完成一期项目研发并成立产业化公司后,带资回到实验室进入“滚动发展”模式:产业化公司东莞泽攸精密仪器有限公司与实验室共同投资2400万元进行第二阶段研发,目标是打造集科研与产业化为一体的电子束装备技术创新基地。通过深入开展电子束与新材料交叉领域的前沿技术研发,实现关键装备和共性技术的自主可控,切实提升我国在电子束加工与制备领域的整体创新能力和产业竞争力。目前,东莞泽攸精密仪器有限公司已基于自主研制的扫描电镜主机,完成电子束光刻机工程样机研制,并开展功能验证工作。通过对测试样片的曝光生产,可以绘制出高分辨率的复杂图形。下一步,团队及产业化公司将持续完善电子束光刻机的性能指标,使其达到批量应用及产业化的要求。电子束曝光机是半导体制造的基础设备,虽然市场较小,但各大半导体设备巨头纷纷通过收购等方式布局,其重要性不言而喻。随着最新的电子束曝光机的禁运,国产突破刻不容缓。据了解,目前国内还有多家科研院所和电镜企业正在布局研发电子束曝光机。整体来看,国际龙头企业在技术和市场上都处于主导地位,甚至进入产业化阶段,行业也已经经历了多轮的整合收购,技术成熟且先进,国产替代难度大。而国内电子束曝光机技术路线比较单一,研发断代严重,与产业应用差距较大,仍主要面向科研市场。当前,最新一轮的国产电子束曝光机研发潮已经来临,研发态势也由过去的科研院所大会战模式转向企业联合科研院所的市场竞争模式。但参与的企业普遍成立较晚,出货的产品不多,大部分仍处于早期研发阶段,但国产破局曙光初现。
  • 铝表面超疏水涂层的疏冰性研究
    在低温条件下,室外设备的冻结已经成为一个严重的问题。特别是电路线、道路、飞机机翼、风力涡轮机等基础设施部件结冰对经济和生命安全造成了严重影响。铝(Al)及其合金具有重量轻、稳定性好、韧性高等优点,广泛应用于各个工业领域。然而,酸雨会腐蚀金属基底,冰雨会对铝结构造成严重的冰积。疏冰性被认为是通过保持基底表面尽可能无水和降低冰晶与基底之间的粘附力来延缓或减少冰在表面的积累。超疏水(SHP)表面由于其拒水和自清洁特性而具有疏冰性。Tan等通过水热反应在Al表面形成机械坚固的微纳结构,然后用十六烷基三甲氧基硅烷修饰形成SHP表面。其中水接触角(WCA)和滑动角(SA)采用光学接触角仪进行测量,水滴为10µ L。该SHP表面在酸性和碱性环境中都表现出令人印象深刻的疏水性,并表现出显著的自清洁和疏冰性能。图1. (a)裸铝、(b)铝表面微纳和(c)十六烷基三甲氧基硅烷改性SiO2微纳表面的WCA值。(d)不同酸碱溶液在SHP表面静置1min后的静态接触角。(e)在SHP表面静置30min后的水滴(红色1.0,透明7.0,黑色14.0,附有pH试纸)图片。(f)在不同溶液中浸泡30min后的耐酸碱性测试(左)和静态WCA(右):水(上),0.1 M HCl(中),0.1 M NaOH(下)涂层的润湿性主要受两个因素的影响:表面粗糙度和表面能,润湿性可以通过静态WCA可视化。裸铝(图1(a))、具有微纳米SiO2表面的氧化铝(图1(b))和SHP表面(图1(c))的WCA值分别为87°、134°和158°。WCA值的显著变化说明了微纳结构和十六烷基三甲氧基硅烷对SHP表面的重要性。同时,SHP表面的SA值小于5°。SHP表面也采用不锈钢和合金材料(Supplementary Movie 1)。根据Nakajima等人的报道,大的WCA和低的SA预计会导致液滴从表面滚落。图1(d)为pH 1.0 ~ 14.0溶液在SHP表面的静态WCA: WCA在148°~ 158°之间,当pH值接近7.0时,WCA值较大。图1(e)为SHP表面水滴形状(体积约60 μL, pH 1.0 ~ 14.0)。30分钟后形状没有变化。这显示出良好的耐酸性或碱性溶液。图1(f)进一步说明了SHP涂层的耐酸碱性能。左图为实验方法,右图为水(154°)、0.10 M HCl(142°)、0.10 M NaOH(143°)浸泡30 min后的WCA。这些结果表明,SHP涂层在各种酸性/碱性环境下都具有良好的性能。图2. 裸铝和SHP Al的WCA和SA在结冰状态下,进一步测量5次重复实验的WCA和SA,结果如图2所示。SHP表面的WCA约为154°,SA小于8°,而裸露Al表面的WCA约为85°,SA大于10°。因此,在SHP铝表面获得了良好的疏冰性。参考文献:[1] Tan, X., Wang, M., Tu, Y., Xiao, T., Alzuabi, S., Xiang, P., Chen, X., Icephobicity studies of superhydrophobic coating on aluminium[J]. Surface Engineering, 2020, 37(10), 1239–1245.
  • “数”风流人物,还看今朝——再战2018
    1月24-26日,海能、新仪、GAS全体销售精英齐聚山东海能科学仪器产业园, 共同开启一年一度的销售年会。既是经验的总结:各位精英书写实力篇章,战果累累,见证销售实力!又是来年的规划:大家在此凝聚士气,汲取动力,个人与团队实力猛进!本次销售年会由总经理张振方、营销总监金辉以及上海新仪执行董事徐渊共同主持。现场气氛热烈,参会精英通过各自的心得分享,相互借鉴和学习,以期共同提高。 首先是营销总监金辉对2017年工作进行总结。详述了2017年目标达成情况与分析、产品在市场中的表现及趋势分析等。并提出大家在工作中的优缺点,明确指出哪些需要继续保持,哪些务必解决和突破。随后,上海新仪执行董事徐渊对2017年新仪微波各方面工作做了总结发言,并提出2018新目标。 本次会议中,总经理张振方从大家关心的六个问题入手,一一进行解答,阐明了未来公司发展方向,并表明未来所需人才应在细节、学习力和专业度上有所体现,同时参会人员对自己发展空间也有了更为深刻的理解。会中,张振方总经理还强调了未来发展要更加以客户为中心,持续改善质量管理体系,不断提高客户满意度。 成为世界一流的分析仪器制造商一直以来都是海能的不懈追求。崭新的2018年刚刚到来,新的一年,海能军团更当齐心协力,继往开来,朝着目标更进一步!
  • 【综述】超声红外热成像技术国内研究现状与进展
    超声红外热成像技术具有选择性加热、可检测复杂工件裂纹缺陷的优点,是一种具有很大研究价值的无损检测方法。近期,南京诺威尔光电系统有限公司和上海复合材料科技有限公司的科研团队在《红外技术》期刊上发表了以“超声红外热成像技术国内研究现状与进展”为主题的文章。该文章第一作者和通讯作者为江海军,主要从事红外无损检测技术及图像处理方面的研究工作。本文介绍了超声红外热成像技术原理与系统组成,并对国内的发展历程、发展现状进行了回顾和总结。重点针对仿真研究、复合材料损伤、疲劳裂纹、金属构件裂纹、混凝土零件裂纹应用领域的研究现状进行了详细论述,最后展望了超声红外热成像技术的未来发展趋势。超声激励系统装置超声红外热成像系统一般包括超声激励源、红外图像采集系统、红外图像处理系统;超声激励源包括超声电源、超声换能器、超声枪,红外采集系统主要使用红外热像仪采集红外图像,超声红外热成像系统原理如图1所示。红外图像采集和超声激励之间需要同步,当超声枪头能量注入到试件表面时,红外热像仪开始采集图像,采集红外图像包括缺陷升温过程和降温过程。图1 超声红外热成像技术原理超声红外热成像检测技术最早由美国弗吉尼亚大学于1979年开始研究,2000年,美国韦恩州立大学的Lawrence Dale Favro等人首先使用超声波焊接发生器作为超声激发源进行金属疲劳裂纹检测。2003年,南京大学张淑仪等采用超声红外热成像技术对铝合金板疲劳裂纹进行了检测研究。近年来,国内有很多团队对超声红外热成像技术进行研究,研究重点包括理论仿真、金属裂纹检测、疲劳裂纹检测、航空发动机叶片裂纹检测、复合材料冲击损伤。北京航空航天大学研究人员主要研究复合材料脱粘/冲击缺陷;哈尔滨工业大学研究人员主要研究金属表面裂纹以及超声锁相红外热成像技术;陆军装甲兵学院研究人员主要研究仿真、超声激励参数(预紧力,夹具,激励方式,激励位置)对检测结果的影响,并将该技术引入到装甲设备缺陷检测;湖南大学研究人员主要对复合材料平底孔缺陷以及冲击损伤缺陷进行研究;火箭军工程大学主要研究合金钢裂纹缺陷、复杂型面裂纹缺陷、复合材料冲击损伤;福州大学研究人员主要研究超声激励参数(不同方向、频率、幅值)对金属焊缝裂纹缺陷的影响;西南交通大学研究人员主要研究超声激励对混凝土板裂纹的检测;南京水利科学研究院研究人员主要研究激发频率、功率、预紧力、声波吸收能力对混凝土裂纹检测的影响;中国南方航空工业有限公司和南京诺威尔光电系统有限公司研究人员主要研究航空发动机喷涂前和喷涂后叶片裂纹检测;武汉理工大学研究人员主要研究复合材料的螺栓连接件裂纹缺陷和分层缺陷的检测。超声红外热成像系统的核心是预紧力单元和夹具单元,预紧力单元一般靠机械弹簧或者气动系统产生预紧力;夹具单元需要根据检测试件的结构进行优化设计,夹具单元采用医用胶带或者刚性耦合方式把超声耦合进试件中,从而会使得各研究机构的系统装置有所差异,图2展示了部分研究机构的超声红外热成像系统装置。图2 超声红外热成像系统装置主要应用领域仿真研究金国锋对不同曲率复合材料裂纹缺陷进行仿真,仿真结果表明构件曲率越大,温升阶段斜率越大,缺陷信号越容易被激化。田干等用数值仿真方式研究了多模式超声激励形态,仿真结果表明多模式激励方法对于消除驻波非常有效,同时产生更为丰富的次谐波和高次谐波,可有效提高超声激励红外热成像技术的检测能力。徐欢等采用ANSYS和ABAOUS仿真软件对裂纹进行三维仿真,结合模态和谐响应分析手段,可以获取裂纹试件固有频率,对超声激励频率和裂纹生热提供了相关理论依据。郭怡等对宽度为10 μm钛合金裂纹进行了检测,并采用ANSYS模拟数值分析,与试验数据基本一致。蒋雅君采用ANSYS对混凝土板裂纹进行仿真,为混凝土裂纹检测提供了理论依据。复合材料损伤复合材料具有高比强度、高比刚度、耐腐蚀、耐老化、耐热性的优点,广泛应用在航空航天、新能源、建筑、汽车、体育等领域。复合材料在低速冲击下,承载能力弱、抗冲击性能差,容易出现基体开裂、分层、断裂等。J. Rantala、G. Busse等最早采用超声红外热成像技术检测复合材料内部缺陷。田干等采用超声红外热成像技术对航空复合材料进行数值仿真研究,建立含裂纹缺陷复合材料的有限元模型。金国锋、张炜等通过数值计算和试验研究了超声红外热成像技术对复合材料冲击损伤检测的适用性;吴昊等对复合材料螺栓连接件损伤检测,分析了螺栓预紧力对螺栓孔损伤生热特性的影响。李胤等研究了复合材料在不同冲击能量(24 J和29 J)的冲击损伤情况,检测结果与C扫进行对比,实验结果表明超声红外热成像技术具有检测速度快、检测精度高、结果直观的优点。杨正伟等研究复合材料在不同冲击能量(15 J和30 J)冲击下,复合材料分层损伤情况,检测结果与超声C扫进行对比,试验结果表明超声C扫损伤检测误差在30%,超声红外热成像损伤检测误差在5%。图3为作者采用超声红外热成像系统在不同低速冲击能量(10~50 J)下,复合材料冲击损伤检测图像,从图中可以看出冲击能量越大,损伤区域面积越大,且对于编织型复合材料,损伤裂纹具有延展性。图3 不同冲击能量试件检测图像疲劳裂纹闵庆旭等验证了超声红外热成像技术可用于金属疲劳裂纹的检测;高治峰等对航空航天7075铝合金疲劳裂纹进行检测,模拟和试验研究了激励参数和生热关系,并研究了检测参数对检测效果的影响;激励源距离裂纹15 mm时,检测效果最佳,侧面激励和正面激励都可以检测出7075铝合金疲劳裂纹,但侧面激励效果好于正面激励。郭伟等对喷涂层下基体疲劳裂纹进行检测研究,涂层厚度为300~400 μm,该方式可用于拉-拉疲劳载荷的二次拉伸制备的疲劳裂纹。韩梦等模拟裂纹开口宽度(5~30 μm)对激励后最高温度影响,开口宽度增加导致裂纹面接触降低和摩擦作用的减弱,导致开口宽度越大,最高温度反而越低,最后通过试验进行验证,如图4所示制作的宽度为20 μm疲劳裂纹以及检测结果。图4 金属疲劳裂纹检测金属构件裂纹金属构件,特别是异形结构的金属构件,其内部或者表面裂纹缺陷采用光激励红外热成像技术检测都难以实现检测。Guo等检测重型铝制飞机结构裂纹,发现该技术对闭合裂纹的探测效果良好。李赞等对金属构件裂纹发热情况开展研究,研究表明当激励于最佳位置时,裂纹发热最高。江涛等对汽车轮毂裂纹进行了检测,同时采用磁粉检测技术进行对比研究,对比研究发现超声红外热成像技术可以更好检测出轮毂内部裂纹以及看出裂纹延伸方向。敬甫盛等对35 kg重量的铁路机车钩舌进行裂纹检测,检测出中部L型裂纹和角端裂纹。冯辅周等对装甲车底板裂纹展开研究,表明该技术能够在3.5 s内实现对装甲车底板裂纹快速检测。作者采用超声红外热成像系统对8 kg锻钢块进行裂纹检测,裂纹位于试件端面,如图5所示,图5(a)为试件整体外观,图5(b)为试件端面图像,可以看出有一条无分叉的裂纹;检测结果如图6所示,展示了激励前后检测到图像的变化,对比激励前后图像可知,有一条裂纹信息,并且裂纹分叉了,存在一条隐裂纹,图6(c)中圈出部分,表明该技术可以探测到人眼看不见的裂纹信息。图5 锻钢块试件图6 锻钢块试件检测结果航空发动机叶片裂纹航空发动机叶片在交变拉应力、热腐蚀、扭转应力、高速冲击等复杂载荷的作用下,叶片容易生成裂纹。服役过程中,叶片裂纹在大应力作用下,小裂纹会扩展为大裂纹从而危害飞行安全。航空发动机叶片复杂,传统无损检测在复杂叶片时有各自的局限。借助超声红外热成像对试件形状不敏感的特点,国内外学者广泛开展了研究工作。Bolu等采用超声红外热成像技术对60个涡轮叶片进行检测,评估该技术对叶片裂纹检测的可靠性。寇光杰等采用ANSYS仿真模拟了合金钢叶片裂纹生热过程,采用激光切割预制裂纹进行检测,并分析了预紧力对检测效果的影响。苏清风对导向叶片和工作叶片服役过程中产生的裂纹进行检测,并测试预紧力对检测结果的影响。习小文等对航空发动机工作叶片进行研究,同时采用渗透检测进行比对,试验结果表明超声激励红外热成像可以检测出裂纹宽度为0.5 μm的裂纹信息,渗透检测无法检出,表明该技术对微小裂纹检测有优势。袁雅妮等针对2块无涂覆层和3块带涂覆层空腔叶片进行检测,并用荧光检测进行对比,结果发现荧光检测对于涂覆层空腔叶片容易出现漏检,表明超声红外热成像技术对受到叶片结构及涂覆层影响更小,能够检测含涂覆层空腔叶片裂纹。图 7为作者采用超声红外热成像系统对航空发动机工作叶片进行检测,同时采用渗透检测进行对比,图7(a)为工作叶片光学图像,图7(c)为超声红外热成像检测结果,可以看到叶片中部有一个裂纹,图7(b)为渗透检测结果,除了叶片中部裂纹,在叶片四周由于清洗渗透剂不干净,导致叶片边缘也会出现零星亮点区域。图7 工作叶片裂纹检测混凝土零件裂纹混凝土结构常见的缺陷是混凝土裂纹,裂纹严重削弱了混凝土结构的承载水平,加速了结构的老化程度,并严重影响了结构的安全性和耐久性。裂纹很难避免。一般来说,这项工作的主要目的是检测和处理裂纹。谢春霞等基于红外热像检测方法推导出了混凝土缺陷深度的定量计算公式;胡振华等以混凝土结构缺陷为检测目标,采用超声红外热成像检测技术对其进行了检测分析,证明了超声红外热成像缺陷检测技术对混凝土试件中肉眼不能发现的微小裂纹或隐裂纹的检测能力。Jia Yu等使用振动热成像技术检测混凝土零件中的裂缝,开发了声激励设备(声波和超声以及低功率和高功率激发设备),并研究了激发频率,功率和预紧力对声吸收能力的影响。Jia Yu等预制了充满标准微裂纹的预裂混凝土标本,以量化裂纹的可检测性,结果表明,超声激发热成像可以有效地检测出宽度为0.01~0.09 mm的混凝土裂缝。任荣采用ANSYS仿真研究V形裂缝混凝土板裂纹生热机理,并对激励位置、激励时间、激励频率等影响因素进行了模拟分析,图8所示为混凝土裂纹检测图像,圈出部分为裂纹区域。图8 混凝土裂纹检测发展趋势超声红外热成像技术在金属材料中可识别0.5 μm宽度的裂纹,在复合材料中可识别1.0 μm的裂纹,在混凝土材料中可识别10 μm量级的裂纹。超声红外热成像技术具有选择性加热的特点,仅对裂纹区域加热,正常区域不加热,可检测复杂结构试件,非常适合于金属裂纹、混凝土裂纹、航空航天叶片裂纹、复合材料损伤等材料的检测。超声激励方式与光激励方式不同,光激励方式系统比较统一;超声激励方式由于试件结构复杂,同时需要夹具固定试件并对激励头施加预紧力,例如金属疲劳裂纹夹具、航空发动机工作叶片夹具、航空发动机导向叶片夹具都不同,需要根据试件制作各自合适的夹具,系统比较复杂与多样,但如果针对同一类型的试件,可以制作统一的夹具、形成标准化的检测流程,因此超声红外热成像技术具有广阔发展前景,未来的研究重点包括以下3个方向:1)激励装置的优化。激励装置需要具备夹具单元和预紧力单元,夹具单元需要根据检测试件单独设计,预紧力单元有机械结构和气动结构。机械结构体积小、设计简单,但施加/释放预紧力需要手动旋转手柄;气动结构体积大、设计复杂,但可设计为自动施加预紧力和释放预紧力,从而可以实现集超声激励、自动装配、红外图像采集、红外图像处理一体化集成的超声红外热成像系统,以便适用于工业领域裂纹检测。2)检测标准化。超声激励与光激励具有很大不同,超声激励与检测人员经验有关,超声激励位置、超声激励时间、超声耦合效率都会影响检测结果。因此针对该技术形成统一检测规范和技术,可以加速该技术工程实践应用。3)缺陷检测自动化识别。超声红外热成像需要采集数百帧序列图像,从采集数百帧序列图像中识别出缺陷信息,相比于自动视觉检测,该方式需要人工判断、准确度依赖于检测人员主动判断,容易导致缺陷识别出现误检、漏检等情况。随着人工智能深度学习的兴起,深度学习模型具有图像特征信息感知能力,在大量数据训练的基础上,更容易实现缺陷的自动检测。结语与展望超声红外热成像技术经过几十年的发展,在生热特性、仿真研究、缺陷可检测性和检测材料应用领域取得了突出进展,但是在工业应用方面落后于光激励红外热成像技术;闪光灯红外热成像技术已形成国家标准,应用在飞机复合材料胶接质量、航天飞机耐热保护层脱粘检测、热障涂层缺陷检测等,并且有成熟的工业检测设备。目前超声红外热成像技术还基本处于实验室阶段,随着科学技术的发展,工业特别是航空航天对裂纹检测需求的提高,超声红外热成像技术也会从实验室逐步进入到工业、航天航天应用领域。论文链接:http://hwjs.nvir.c n /cn/article/id/6e1aff8c-e3f5-4c4d-aedd-d6074696f17a
  • 设备更新选型指南丨超快荧光三维成像技术推荐
    市面绝大多数共聚焦显微镜采用点扫描式激光共聚焦技术,成像速度较慢,难以满足活细胞动态观测、大视野快速扫描等成像需求。长光辰英的S3000转盘共聚焦显微镜采用三条纹转盘共聚焦成像技术,配合电动Z轴快速扫描,将成像速度提高至少二十倍。同时采用LED面光源激发光线更均匀,光毒性、光漂白性大大降低,适合连续观测。作为超快荧光三维成像的革新者,长光辰英的成像产品为活细胞,细胞生物学、微生物学、发育生物学、神经生物学及植物学等领域研究提供快速三维荧光成像的有力工具。推荐产品 S3000超快三维荧光成像系统S3000 超快三维荧光成像系统 (qq.com) PRECI SCS-F荧光单细胞分选仪PRECI SCS 微生物单细胞分选仪 (qq.com) RAColony菌落原位多表型检测与挑取工作站RAcolony 菌落原位多表型检测与挑取工作站 (qq.com) SC-catcher单细胞光镊操纵与分选系统SC-catcher单细胞光镊操纵与分选系统 (qq.com)应用案例Daphnia活体内纳米塑料颗粒排出过程的动态成像Daphnia吃到肠道内的纳米塑料颗粒会产生红色荧光,用共聚焦模式进行拍摄随着Daphnia肠道蠕动,纳米塑料颗粒排出的全部过程。此动图由10min的实际时间缩时到12s。传统点扫描激光共聚焦显微镜很难对动态过程实现拍摄,S3000转盘共聚焦成像系统可以很好地捕捉活体样本的动态变化。斑马鱼活体全鱼3D荧光成像神经细胞转入GFP基因的3d日龄斑马鱼,在镜下进行长达2h的活体动态荧光扫描,整张图由8个视野,每个视野17层进行逐层扫描成像,可以在2分钟内进行斑马鱼活体全鱼的荧光扫描,实现了激光点扫描共聚焦无法达到的速度,更好的保持斑马鱼的活性,提供长时间拍摄的条件。肺组织切片的超大视野快速成像对小鼠肺叶组织切片进行共聚焦切片扫描,在其中橙色标明的气管ROI区域进行更大放大倍数的细节扫描。对常规荧光切片扫描仪难以捕捉及判断的信号进行高清成像。肠道微生物高分辨成像利用能够代谢标记肽聚糖的D型氨基酸荧光探针(FDAA)作为工具,通过使用红绿两种FDAA探针对小鼠进行序贯在体标记,随后,对肠道微生物进行取样,并使用S3000转盘共聚焦显微镜观察双色荧光在细菌上的分布,进而推测其增殖分裂模式。【文章链接:《mLife》丨基于共聚焦荧光成像的单细胞分选测序技术揭示肠道菌群中细菌的分裂模式及种属分类 (qq.com)】【拓展阅读:想知道共聚焦显微镜下的昆虫什么样子吗?(qq.com)】【拓展阅读:HOOKE S3000转盘共聚焦显微镜下的微观世界掠影 第二篇--植物系列 (qq.com)】【拓展阅读:共聚焦显微镜下掠影 第三篇《动物组织系列》 (qq.com)如果您对我们的产品和服务感兴趣,请随时联系我们
  • 仿生超疏液涂层可解决5G天线罩“雨衰效应”
    记者从中国科学院兰州化学物理研究所获悉,该所环境材料与生态化学研究发展中心硅基功能材料组与山东鑫纳超疏新材料有限公司合作,研发出了兼具优异耐压性、机械稳定性和耐候性的5G天线罩、雷达罩超疏液防雨衰涂层,能有效解决5G信号在降雨时的“雨衰效应”。相关研究论文近日发表于《自然通讯》。5G天线罩是5G基站的重要组成部分,用来保护天线系统免受外界复杂环境干扰,提高天线精度和使用寿命。但是,雨水会在5G天线罩表面形成水滴或水膜产生“雨衰效应”,即水的介电常数很高,会吸收、反射大量电磁波,导致5G信号严重衰减。“避免雨水在5G天线罩表面形成水滴或水膜是解决‘雨衰效应’的关键。”中国科学院兰州化学物理研究所环境材料与生态化学研究发展中心副主任、研究员张俊平介绍,仿生超疏液涂层(超疏水、超双疏涂层)具有液滴接触角高(大于150°)、滚动角低(小于10°)等特点,液滴易从表面滚落,在自清洁表面、抗液体黏附、防液体铺展等领域具有广阔的应用前景,有望用于5G天线罩表面,解决其“雨衰效应”。然而,采用仿生超疏液涂层解决5G天线罩“雨衰效应”尚需突破涂层不能同时具有优异的耐压性、机械稳定性及耐候性的技术瓶颈。张俊平团队与山东鑫纳超疏新材料有限公司合作,研发了一种兼具优异耐压性、机械稳定性和耐候性的5G天线罩、雷达罩超疏液防雨衰涂层,该涂层能够避免雨滴在5G天线罩、雷达罩表面黏附,有效解决了其“雨衰效应”,并在全国多地5G天线罩、雷达罩上进行了实际应用。张俊平介绍,黏结剂的引入虽然能够提升涂层的机械稳定性,但也同时将低表面能纳米粒子包埋,导致涂层具有较高的表面能,进而使得涂层的超疏水性和耐压性较差。通过调研大量文献,并结合此前的研究经验,该团队对涂层进行了系统设计,成功制得兼具优异耐压性、机械稳定性和耐候性的仿生超疏液涂层。“首先,涂层的三级微/微/纳米结构以及致密的纳米结构,使其具有优异的耐压性。其次,涂层的近似各向同性结构及黏结剂的黏结作用,使其具有优异的机械稳定性。同时,我们选用具有化学惰性的原材料制备涂层,使其具有优异的耐候性。”张俊平说。此外,5G天线罩、雷达罩基材大多为ABS塑料。“这类基材具有较低的表面能,导致涂层与基材的黏结强度较弱。”张俊平说,团队通过对黏结剂的种类进行优化,筛选出与ABS等基材具有优异黏结强度的黏结剂来制备涂层,成功克服了涂层与ABS等基材黏结强度弱的缺陷。经过3年的研发、产业化和规模化应用,该涂层性能已取得大幅提升。张俊平告诉记者,未来,团队将探索更多仿生超疏液涂层的潜在应用领域,实现其在高压输电线路、桥梁、隧道防结冰,5G天线罩、雷达罩防雨衰,抗危化液体黏附,电子产品防水防油膜,自清洁市政工程等方面的工程化应用。
  • 应用 | 一种具有防冰性能的超疏水表面的制备与研究
    研究背景凛冬将至,寒潮来袭,结冰是造成许多安全事故的重要原因。飞机防冰/除冰技术一直是航空工业的一个重要研究领域。飞机积冰主要发生在平尾、垂尾和发动机真空罩等外露表面,已成为威胁飞行安全和稳定性的严重问题。研究表明,飞机表面结冰主要是由于大量过冷水滴聚集和冻结造成的,特别是当飞机穿越过冷云层时。本文报告了通过光刻结合化学刻蚀方法制备了稳定的纳米片-微坑结构的超疏水表面,表面的防冰性和超疏水性均优于单一结构表面,且超疏水等级结构表面具有较高的非润湿性,接触角高达173°,滚动角低至4.5°,具有优异的超疏水性能和抗结冰性能,为航空工业的应用提供了一个理想的平台。实验仪器润湿性实验,使用KRÜ SS DSA100接触角分析仪。在样品表面滴落4 μl液滴测试接触角和滚动角。重复3次,计算平均值来保证接触角的准确性。为了进一步检验低温润湿性,在-18℃条件下放置样品和去离子水,直到去离子水变成过冷。然后,我们尝试通过在不同样品的表面喷洒过冷的水滴来模拟冻雨的条件。使用高速的相机拍摄,快速比较这些样品的不同润湿性。KRÜ SS DSA100接触角分析仪TC40温控腔箱:温控范围-30℃到160°C结论与讨论表面形貌在本节中,我们通过三种不同的处理方法构建了三个超疏水结构表面,目的是分析和研究表面形貌、润湿性和抗冰性能之间的相关性。此外,我们还制备了一个光滑的疏水铝表面作为标准对照,并与三种超疏水表面的抗冰性能进行了比较。三种结构形态的FESEM图像如图1所示。四种类型的表面处理如下:使用FAS-17改性的铝衬底表面(样品1),带有微坑结构FAS-17改性的铝衬底表面(样品2),带有纳米片FAS-17改性的铝衬底表面(样品3),具有分层结构(微坑规则阵列和纳米片)FAS-17改性的铝衬底表面(样品4)。 图1. 通过三种不同的处理获得的分层形态的扫描电镜图像:(a)微坑结构表面(样品2);(b)纳米片结构表面(样品3);(c)微/纳米分层结构表面(样品4)。常温和低温下的润湿性测试如图2所示,通过比较相同样品FAS-17修饰前后的接触角,改性后样品疏水性大幅提高。在光滑的衬底表面(样品1),通过降低表面自由能,液滴接触角可以增加到大约120°。这也证明了通过引入规则排列的CF3基团可以建立超疏水表面,此时表面能最低,为6.7 mJ/m2。样品3和样品4具有良好的超疏水性,使得水滴很容易从这些表面滚落,这可以用Cassie-Baxter模型来详细解释,说明表面的微观结构在提高超疏水性方面起着关键作用。超疏水纳米分层结构表面(样品4)具有较高的非润湿性,接触角高达约173°,滚动角仅仅为4.5°。与其他单结构表面相比,纳米片-微坑分层结构表面的超疏水性优于任何单结构表面,微尺度和纳米尺度结构的结合明显地捕获了更多的空气,导致在液滴下存在一个由无数空气袋构成的密封空气层。 图2. FAS-17改性前后4种表面结果的接触角和滚动角考虑到飞机的实际使用条件,将过冷水滴喷洒在低温下的测试超疏水性和防冰性能,结果表明,样品3和样品4可以防止过冷水滴的积累,表现出良好的超疏水性。相反,喷在样品1和样品2上的过冷水滴则表现出一定程度的亲水性。显然,研究结果证明,具有微/纳米结构的超疏水表面有效地排斥了被喷洒的冷冻水。结论综上所述,我们结合光刻工艺和化学蚀刻方法,巧妙地设计和制备了一种具有抗冰性能的超疏水分层结构表面。超疏水表面比其他单结构表面具有更强的非润湿性,并且具有优异的防冰性能,防止了过冷水滴的积累。因此,具有微/纳米结构的超疏水表面在航空工业中更具有作为飞机防冰材料的潜力。本文有删减,详细请参考原文。G.Wang, Y. Shen, J. Tao, X. Luo, L. Zhang and Y. Xia, Fabrication of a superhydrophobic surface with a hierarchical nanoflake–micropit structure and its anti-icing properties, RSC Adv., 2017, 7, 9981DOI: 10.1039/C6RA28298A
  • 福建物构所等发表超分子分析化学研究综述
    将超分子化学和分析化学完美结合起来的超分子分析化学近年来备受关注。该领域研究受体和分析物的作用、组装以及分析物诱导的信号传导和调控,在环境监测、疾病诊断、药物筛选、手性分析分离等方面具有重要应用前景。  在国家青年千人计划、国家自然科学基金和福建省自然科学基金等资助下,中国科学院福建物质结构研究所结构化学国家重点实验室尤磊课题组与美国德克萨斯大学奥斯汀分校教授Eric Anslyn合作,受邀在美国化学会旗舰刊物《化学评论》发表了题为Recent Advances in Supramolecular Analytical Chemistry Using Optical Sensing 的综述论文(Chem. Rev., 2015, DOI: 10.1021/cr5005524)。该综述结合当前超分子化学和动态共价化学最新研究动态,拓展了&ldquo 超分子作用&rdquo 的范围,以&ldquo 动态作用&rdquo 为基石重新定义了&ldquo 超分子分析化学&rdquo 的概念和范畴,以受体和分析物的动态作用和信号传导机理为切入点,结合光学传感系统阐述了这一研究领域的单分析物传感、差分传感和手性传感等三个分支的最新研究进展,并对未来研究方向和发展趋势进行了展望。  尤磊在有机化学、超分子化学和化学生物学的交叉领域开展研究,重点研究新型动态作用和组装及其在传感、标记等方面的应用,包括动态共价化学、刺激响应多组分组装、手性识别和放大、有机和生物分析等,相关研究成果发表在Nat. Chem. (2011, 3, 943), J. Am. Chem. Soc. (2012, 134, 7117 2012, 134, 7126), Chem. Sci. (2015, 6, 158), Chem. Eur. J. (2012, 18, 7068 2012, 18, 1102), J. Org. Chem. (2015, DOI: 10.1021/jo502801g)等国际知名期刊上。福建物构所等发表超分子分析化学研究综述
  • 大昌华嘉全新推出英国Biochrom公司超微量-双光束紫外/可见分光光度计
    大昌华嘉最新推出:英国Biochrom公司Libra-S60-Biodrop超微量双光束紫外/可见分光光度计,该仪器是为高性能方法开发、质量控制、分析和研究实验室设计的一款高端分析仪器,完全符合欧洲药典要求Resolution软件的自定义计算工具支持方法开发。配合BioDrop超微量比色皿,组成一套完整的超微量专业分析仪器,最小使用体积仅0.6ul。专门设计用于DNA,RNA或蛋白质样品检测,它可以达到超微量样品的精确测量和非凡重复性。样品的吸光度通过透射直接测量,无光纤能量损失。仪器特点:&bull 更宽的测量范围,无需改变光程,最大DNA、RNA检测浓度12000ng/ul&bull 样品无需稀释&bull 样品使用量最少仅0.6ul&bull 抗磨损设计,满足大量长时的使用&bull 使用、清洁简单&bull 双光束、1nm带宽,高性能检测不易测定的样本&bull 完全符合欧洲药典要求&bull 密码保护方法&bull 使用Resolution软件自定义计算工具进行方法开发&bull 彩色触摸屏界面,操作更简单(单机版)&bull 内置应用软件,包括波长扫描、标准曲线、酶动力学和其他预设方法&bull Resolution软件可自定义应用于测量数据的计算,软件完全符合21CFR part 11 法规&bull 支持多用户分析,具有安全登录可保护方法&bull 可连接USB进行数据存储或与电脑连接&bull 提供单机版或PC版可选&bull 高性能,小带宽,分析精确(甲苯己烷比值2.0)&bull 选配IQ/OQ/PQ 确认文件 &bull PC版配有Resolution ,单机版含PVC软件,数据可以导入电脑分析&bull 提供广泛的附件&bull 提供广泛的附件和选件,包括比色杯架、恒温器、吸液器、内置打印机、Bluetooth和Resolution软件选项。超微量核酸蛋白专用比色皿Bio DropBioDrop由2个精确半片,通过磁力结合在一起。当它们装配在一起时,具有和标准比色皿同样的尺寸,因而可用于标准的分光光度计,光照射并通过该设备,测量区域的光程由精密加工的间隔圈定义,间隔圈置于薄膜上。当两件半片结合在一起,薄膜会提供足够的压力来克服样品表面张力,确保样品填满间隙及多余的样品被挤出。该设计实际的光程准确至几微米的误差。这种简单的光路设计可获得高光通量,有助于确保实现高准确的测量。公司介绍:英国Biochrom 是光谱分析专家,拥有40 多年的高质量科学仪器制造历史,Biochrom于1982年就发布了Ultrospec产品系列,也就是后来的GeneQuant系列。 Biochrom的产品闻名于全球各大医院、大学和工业实验室。所有Biochrom产品都带有CE标志,并遵循严格质量体系生产。 大昌华嘉商业(中国)有限公司仪器部专业提供分析仪器及设备,独家代理众多欧美先进仪器,产品范围包括:颗粒,物理,化学,生化,通用实验室的各类分析仪器以及流程仪表设备,在中国的石化,化工,制药,食品,饮料,农业科技等诸多领域拥有大量用户,具有良好的市场声誉。我们的业务逐年增加,市场不断扩大。大昌华嘉公司在中国设有多个销售,服务网点,旨在为客户提供全方位的产品和服务。
  • 新芝生物丨超声技术在脂质体制备中的应用研究
    01研究背景1.1脂质体脂质体是一种微型泡囊体,能将药物包封于脂质双分子层内,具有靶向、缓释、降低药物毒性等诸多优点,迄今已经在制药、医疗、生物化学、食品科学、化妆品等多领域广泛应用。评价脂质体质量的指标有外观、粒径分布和包封率等,制备方法不同,脂质体的粒径、结构都不尽相同。脂质体在不同领域应用,粒径是衡量脂质体内在质量的一个重要指标,探头式超声由于操作简便,已成为制备脂质体主要制备方法之一,但是由于超声条件的不同,制备的脂质体没有很好的重现性。影响超声效果因素包括输入功率、作用时间、超声频率等,通过控制这些因素,可以控制脂质体粒径的变化,从而得到理想大小的脂质体。02实验方法2.1脂质体的制备采用逆向蒸发法制备脂质体,精密称取一定量的卵磷脂、胆固醇、α-生育酚适量混合溶于一定量氯仿中,将脂质溶液移入250mL圆底瓶中,氮气中45℃恒温水浴减压去除有机溶剂,直至形成干燥脂质薄膜,待有机溶剂完全去除,停止旋转,从水浴中提起圆底瓶,加入一定浓度的PBS(pH6.5)溶液旋转洗膜,在45℃水浴中水合2h即形成乳白色脂质体混悬液。2.2脂质体溶液的超声方法图1为本实验所用超声装置,钛探针直径为1.5cm,反应池为一个开放的玻璃烧杯(直径3cm,高度7.5cm),冰水浴超声。实验设置20%、30%和40%三个功率百分比,超声处理脂质体,超声仪探针距杯底深度分别设置为1.5和3.0cm。15ml脂质体按上述条件针式冰水浴超声,超声5次,每次时间为4mim(单次超声30s,间隔30s)。超声完成后,关闭超声使容器冷却,用0.22μm微孔滤膜过滤除去钛颗粒杂质。激光粒度仪分析超声对脂质体粒径分布及对分散系数的影响。a:钛探针(直径1.50cm);b:烧杯(直径3cm,高7.5cm);c:大烧杯(直径7cm,高90cm);d:脂质体混悬液;e:冰水浴;x:探针与烧杯底部距离03实验结果3.1超声功率对脂质体粒径的影响不同输入功率,超声时间为20min,脂质体超声后平均粒径及粒径范围分布见附表。结果表明,随着超声功率的增加,脂质体粒径变小,粒径分布范围变窄,说明高功率超声得到的脂质体粒径更均匀。图2为磷脂含量为10mmol/L脂质体超声前后粒径图,超声之前(图2A)脂质体粒径呈单峰分布,平均粒径为300nm左右,随着超声时间的增加,超声20min后能明显观察到粒径变小,粒径分布变窄,见图2B,超声功率为40%时,20min后获得粒径约为70nm左右的单峰分布的脂质体。附表超声输入功率对脂质体粒径及粒径分布影响A:超声前脂质体粒径分布图;B:超声20min后脂质体粒径分布图,输入功率40%;超声时间20min;磷脂含量10mmol/L3.2超声时间对脂质体粒径的影响如图3所示,超声功率分别为20%、25%、30%、35%、40%,增加超声时间,磷脂含量为10mmol/L的脂质体粒径变化,结果显示,随着超声时间的增加,脂质体粒径减小,直到20min时得到一个稳定的脂质体粒径,不再发生变化。为了证实超声时间足够形成稳定的脂质体粒径,增加超声时间到25min,考察脂质体的粒径分布。3.3超声时间对脂质体粒径的影响设定中高低三个超声输入功率20%、30%和40%,烧杯底部和探头的距离分别为10和15mm。在不同的超声功率和深度下,超声时间不同,得到不同粒径的脂质体。图4显示的是磷脂含量为10mmol/L的脂质体,应用超声功率分别为20%、30%和40%,粒径随超声时间的变化图,结果表明,随着超声时间的延长,脂质体粒径降低,直到超声时间为20min,脂质体粒径不在变化,从图中还可以看出,随着超声功率的增加,脂质体粒径降低。应用不同的超声时间和不同的深度,获得的脂质体粒径也不同。考虑到连续的超声时间和功率,深度为15mm时,获得的脂质体粒径更佳。15mm与10mm探针深度获得的脂质体粒径并没有明显区别,然而在10mm时,脂质体空化现象更为明显,促进羟基自由基的形成,造成脂质体成分中磷脂的氧化。15mm深度时磷脂发生氧化的机率更低。这点在应用不饱和磷脂制备脂质体时尤其重要,因为不饱和磷脂容易氧化。从图中可以看出,功率越高,超声得到的脂质体分散系分散得越均匀,随着功率的增加,粒径和分散率降低,但超声时间过长,超声探头会释放更多钛颗粒杂质,造成污染。因此,超声条件为探针深度为15mm、超声功率为40%,超声时间为20min时,得到的脂质体粒径和分散度最好。A:磷脂含量为10mmol/L,超声功率分别为20%、30%和40%时粒径及分散性随超声时间的变化(探头深度10mm);B:磷脂含量为10mmol/L,超声功率分别为20%、30%和40%时粒径及分散性随超声时间的变化(探头深度15mm)04讨论4.1新芝生物全球样品制备专家超声波是由一系列疏密相间的纵波构成的,并通过液体介质向四周传播。通过研究脂质体制备过程中超声对其影响,来达到控制脂质体性质的目的,实验结果表明,影响脂质体粒径分布范围和zeta电位的三个超声参数分别为:超声深度、功率输入和超声时间。因此,为获得的均一性较好的脂质体应该从此三方面进行探索。新芝生物作为全球样品制备专家,深耕超声技术多年,产品功能齐全,超声产品具有功率调控、时间调控和超声深度调控等多方面功能。从用户实际需求出发,能够为用户提供高效率、高性价比的产品和解决方案。
  • 综述:太赫兹近场超分辨成像,不断突破衍射极限
    太赫兹(THz)辐射频率处于电子学和光学频率之间,因此具备多种光电子特性。THz成像作为THz辐射最重要的应用方面,在国防、通信、生物、医学和材料有着巨大应用潜力。THz 时域光谱系统(THz-TDS)被广泛用于角膜含水量测量、角膜瘢痕成像、蛋白浓度检测和细胞标志物检测等。然而受限于衍射极限存在,THz成像分辨率一般被限制在毫米量级。近场光学成像技术使用空间尺度极小探针直接探测样品表面亚波长尺度细节,可有效突破衍射极限,是实现THz超分辨成像的重要路径。目前,根据探针工作方式的区别,THz近场成像技术可分为孔径探针THz近场成像和散射探针THz近场成像。孔径探针THz近场成像方案需要平衡空间分辨率、截至频率和近场耦合效率之间关系,其成像分辨率仍无法突破至nm量级。散射探针THz近场成像分辨率与探针几何结构和探针-样品表面距离有关,截至目前其成像分辨率可以突破至0.3 nm。本文综述了THz超分辨成像的基本原理及最新进展,围绕孔径探针和散射探针两种主流的THz近场成像技术,详述其在成像原理、成像质量与成像分辨率等方面的突破,并对THz超分辨成像做出总结与展望。图1 THz近场成像及其应用场景孔径探针孔径探针THz近场成像主要利用亚波长结构形成THz辐射源或THz探测器在近场范围内扫描样品表面提升成像空间分辨率。依据孔径类型分类,孔径探针THz近场成像共有四种技术路线,分别是物理孔径、动态孔径、人工表面等离子激元和近场天线。物理孔径探针通常为锥形波导,可以将THz辐射局域成亚波长THz辐射源并扫描样品,提升空间分辨率。其优势在于:结构简单制备容易,可根据THz源设计波导几何结构提升THz耦合效率。图2 锥形物理孔径THz近场成像示意图动态孔径THz成像系统主要有两种实现方式。一种是基于光泵浦方案,该方案激发半导体材料形成特定分布的载流子,进而调制THz空间分布。另一种是基于飞秒激光成丝方案,该方案应用光丝对THz辐射强束缚作用,或是应用交叉光丝,形成动态微孔调制THz空间分布。动态孔径技术优势在于,一方面可以和压缩感知技术结合在保证空间分辨率情况下极大提升成像速度,另一方面基于飞秒激光光丝可以进一步提升成像分辨率至20 μm。图3 交叉光丝形成动态孔径实现THz近场成像人工表面等离子激元器件表面具有周期结构,通过改变材料表面等效介电常数实现THz波近场聚焦。常规调制方案包括金属锥形结构聚焦探针、金属周期结构THz超透镜和石墨烯THz超透镜等;其适用波长范围广、聚焦效率高具有一定的应用前景,尽管目前还处于实验室阶段,但是随着THz器件加工技术逐渐发展,相信在不久的将来其实用性会得到提升。图4 人工表面等离子激元器件实现THz近场成像近场THz天线这是一种微型近场THz探测器,优势为在提升空间分辨率同时能够保证时间分辨率,另一方面THz近场天线可以被集成至片上,拓宽了其使用场景。 图5 近场天线实现THz近场成像散射探针散射探针THz近场成像系统,是通过测量探针与样品表面在外场作用下的近场耦合效应反映样品表面信息。其适用于宽谱THz光源,成像空间分辨率与探针几何结构和探针-样品表面间距有关最高可以达到0.3 nm量级。由于背景散射信号强度远大于近场散射信号强度,散射探针THz近场成像系统主要技术难点在于信号收集与提取。目前,较为成熟的近场散射信号提取技术包括:自零差方案、正交零差方案、伪外差方案和合成光学全息方案等。在保障扫描时间的前提下,伪外差方案成像对比度高且具备相位分辨能力,因此被广泛采用。散射探针THz近场成像系统通常使用扫描隧道显微镜或者原子力显微镜作为提供近场条件的媒介,可将探针针尖与样品表面间距精确控制在20 nm范围内。基于扫描隧道显微镜的散射THz近场成像系统优势:1)其空间分辨率最高可以提升至0.3 nm;2)基于扫描隧道显微镜增强隧穿电流原理,可以增强近场散射信号。缺点:扫描隧道显微镜是通过测量针尖与样品表面隧穿电流实时反馈控制针尖与样品表面间距,故此种方案不适用于不导电样品。图6 基于扫描隧道显微镜搭建的近场成像系统及其一维扫描结果图基于原子力显微镜的散射THz近场成像系统原子力显微镜,因其和扫描隧道显微镜类似,具有卓越的空间分辨能力,是搭建散射探针THz近场成像系统的主力设备,同时能够通过检测针尖与样品之间相互作用反馈控制针尖和样品间距,故该系统可以适用于多种样品。图7 基于原子力显微镜搭建的近场成像系统及其扫描结果图散射探针THz近场成像不仅可以将THz成像分辨率提升至nm量级,还可以被应用于检测样品表面载流子运动。与光学波段和红外波段成像技术相比,有掺杂的半导体或者半金属材料对THz波段更加敏感,因此散射探针THz近场成像技术还被应用在nm量级表征载流子数目和分布情况。 总结与展望随着强THz产生技术和高灵敏THz探测技术的不断发展,超分辨THz成像技术得到了长足发展。孔径探针和散射探针THz成像方案各有侧重,在不同领域得到广泛应用。根据以上总结,从应用角度出发对近场THz成像技术作出展望:(1)成像速度。目前大多数超分辨THz成像方案都是采用逐点扫描模式,尽管成像分辨率得到很大提升,但是成像速度较慢。(2)装置集成化与轻量化。高效的桌面式近场THz成像系统能够助力此项技术得以推广。(3)样品多样性。目前,nm量级THz近场成像技术主要被应用于材料学研究,未来可以充分发挥THz辐射优势,将检测样品扩展至生物大分子甚至活体。(4)大范围成像。未来可以在平衡成像质量与成像速度前提下,实现nm量级大范围样品成像。综上所述,本文概括了超分辨近场成像技术的多个技术指标,分别是空间分辨率、时间分辨率、相位分辨能力、成像速度、成像对比度和装置复杂性。在保证空间分辨率的前提下,提升其他技术指标仍然任重而道远。
  • 朝阳人才党委领导莅临我公司赠书并参观指导
    10月31日,朝阳人才党委副书记丁明元、综合科科长张雷等一行莅临公司参观并指导工作。领导们给我们带来了格外的惊喜----多本优秀图书!在我公司会议室举行了简短的赠书仪式,吉天公司党支部书记、副总黄荣代表我们支部19名党员,对人才党委在喜迎党的十八大召开时之际给我们送来的精神文化食粮表示万分地感谢! 同时,领导就我公司的党建工作等话题进行了亲切交谈。黄书记首先向领导们介绍了我们企业发展经营状况,汇报了党务工作在企业经济工作中发挥的积极作用及支部党员们的精神面貌,并表示了我们对今后党建工作的信心。随后,黄书记以及党支部宣传委员、进出口部经理李利利等的陪同下,对我们企业的市场部、销售部、生产部、研发部、实验室等进行了参观,增加了对我们企业支部党员情况的了解。朝阳人才党委副书记丁明元等领导在交谈中,对我公司近年来党支部的工作给予了充分的肯定,看到我公司党支部在党委的领导下日益壮大,党支部活动举办得丰富多彩,给予了高度的肯定和鼓励,希望我们支部在今后的发展中能够继续努力,认真做好服务党员和联系群众的工作,加强学习和改进党员教育管理。 朝阳人才党委向我公司赠送的图书包括:政治、历史、哲学、文学、生活等种类繁多、涉及面广,将对我支部今后的党建工作以及党员自身修养的提高起到积极的作用,我们会制定妥善保管及图书借阅规定,使得这些图书能长期在党建工作中发挥应有的作用。 我们衷心地希望在今后能够得到朝阳人才党委的更多指导,使公司党支部建设的越来越好,党员队伍更加壮大!
  • 盛瀚商城丨助力返工,超多折扣,等你来GO
    做任务赢好礼任务1:微信搜索“盛瀚商城”小程序,添加到我的小程序(要求 截图 已添加页面) 任务2:完成“助力返工 超多折扣”活动页面浏览(要求 录屏 浏览路径) 完成任务后,将截图及视频发送给客服,客服核实后会在活动结束后统一邮寄奖品助力返工 超多折扣诚意满满 爆款直降2月活动 来喽~别眨眼活动福利多多 礼品热浪来袭~
  • 综述:锑化物超晶格红外探测器研究进展与发展趋势
    锑化物超晶格红外探测器具有均匀性好、暗电流低和量子效率较高等优点,其探测波长灵活可调,可以覆盖短波至甚长波整个红外谱段,是实现高均匀大面阵、长波、甚长波及双色红外探测器的优选技术,得到了国内外相关研究机构的关注和重视,近年来取得了突破性的进展。中国科学院上海技术物理研究所科研团队介绍了InAs/GaSb超晶格红外探测器的技术特点和发展历程,并对后续发展趋势作了初步的展望和探讨。相关研究内容以“锑化物超晶格红外探测器研究进展与发展趋势”为题发表在《红外与激光工程》期刊上。InAs/GaSb超晶格红外探测器的技术原理和特点超晶格是由两种晶格匹配良好的半导体材料交替重复生长而形成的周期性结构,每一层的厚度通常在纳米尺度。根据组成材料相互间能带排列特点,超晶格一般分为I类超晶格和II类超晶格。在III-V族化合物半导体中,InAs、GaSb、AlSb之间可组成不同类别的能带排列,GaSb/AlSb组成I类能带排列,InAs/GaSb、InAs/AlSb组成II类能带排列。特别的,InAs导带底能量比GaSb价带顶能量低约150 meV,当InAs和GaSb结合时,两者形成“破隙型”II类能带排列,电子被限制在InAs层中,而空穴被限制在GaSb层中。当两者组成超晶格时,相邻InAs和GaSb层中电子和空穴会由于相互作用分别形成电子微带和空穴微带,如图1所示。图1 InAs/GaSb超晶格能带简图电子微带与空穴微带的能量差即为超晶格的有效禁带宽度,随着InAs层和GaSb层厚度的改变而改变。对InAs/GaSb II类超晶格的能带结构进行计算和模拟,可以获得超晶格材料光电特性等信息。图2是InAs/GaSb超晶格的截止波长随InAs厚度变化关系,通过改变InAs层的厚度,可以调节超晶格的截止波长,实现短波红外、中波红外和长波红外等不同谱段的红外探测。图2 InAs/GaSb II类超晶格截止波长随InAs厚度变化关系(GaSb厚度为2.1 nm)总体来说,InAs/GaSb超晶格红外探测技术具有如下特点:1)改变周期厚度可以调节InAs/GaSb超晶格的禁带宽带(响应截止波长),因此,可以通过结构设计来灵活调节超晶格探测器的光电响应特性,响应波段可以覆盖短波至甚长波的整个红外谱段,并实现多色探测。2)InAs/GaSb超晶格结构可以吸收垂直入射光。理论计算表明,InAs/GaSb超晶格可达到与HgCdTe材料相当的吸收系数,因此具有较高的量子效率。3)在InAs/GaSb超晶格结构中,由于轻、重空穴带的分离,抑制了Auger复合速率。在理论上,InAs/GaSb超晶格比HgCdTe具有更高的探测率。4)相比HgCdTe材料,InAs/GaSb超晶格有更大的有效质量,有助于抑制长波探测器的隧穿暗电流。5)现代材料生长技术,如分子束外延技术,可以在单原子层精度上控制材料的生长,十分有利于材料性能的可控性、稳定性和可重复性。6)InAs/GaSb超晶格是III-V族化合物半导体材料,材料生长与器件工艺较为成熟,有利于实现大规格、高均匀性焦平面器件。锑化物超晶格焦平面探测器发展历程技术孕育阶段(20世纪80年代—21世纪初)该阶段主要是超晶格红外探测技术概念的提出、超晶格探测器性能的理论计算分析、超晶格材料外延生长和基本光电特性研究,初步证实了超晶格材料具有优良的红外探测性能。超晶格概念是20世纪70年代美国国际商用机器(IBM)公司的江琦、朱兆详等人提出的,指出电子在沿超晶格材料生长方向运动将受到超晶格周期势的影响,形成与自然界材料性能迥异的特性,分子束外延技术的发展又允许人们生长出高质量的超晶格材料。1977年,江琦、朱兆祥等人又提出了锑化物(InAs/GaSb)II类超晶格的概念。技术突破阶段(21世纪初—2010年)该阶段主要聚焦于突破高性能焦平面器件制备的关键技术。采用先进的异质结构抑制超晶格长波探测器的暗电流;研究超晶格材料的刻蚀和侧壁钝化技术,制备出超晶格面阵器件。长波探测是超晶格技术发展的一个重要方向,而降低暗电流是长波红外探测器研究工作的一个重要内容。对于锑化物超晶格探测器,利用其灵活的能带结构调节能力以及分子束外延低维材料生长能力,国外各研究机构设计、制备出了多种宽禁带势垒的探测器结构来抑制暗电流,如pπMn结构、CBIRD结构、nBn结构等。上述不同结构的基本思想是利用宽禁带势垒层与吸收区形成异质结,从而达到抑制产生-复合电流的效果。像元台面刻蚀与侧壁钝化是超晶格焦平面制备研究的一个重要内容。在台面侧壁,由于半导体周期性晶格结构的突然中断,会引起能带在表面的弯曲,从而使得接近表面的半导体层内形成电荷累积,甚至引起表面反型,这会导致在表面形成导电通道。另外,在刻蚀等工艺过程中产生的损伤、沾污或者氧化物等也可能引起表面势能的变化,在带隙内形成载流子陷阱,增加隧穿电流。随着超晶格探测器结构的不断优化,器件制备工艺水平的提升,基于高质量分子束外延超晶格材料,结合前期建立的红外焦平面技术(如读出电路、铟柱混成互联等),相关研究机构相继研制出了320×256、640×512、1024×1024等不同规格的超晶格红外焦平面。双色或多色探测器具备多谱段探测能力,可显著提升识别距离、抗红外干扰与抗伪装能力,是新一代焦平面探测器重点发展方向之一。锑化物超晶格材料能带灵活可调及宽谱响应的特性,使得其成为制备双色、多色探测领域的优选技术。各研究机构先后报道了基于该材料体系的中/中波、中/长波、长/长波双色焦平面探测器。技术发展阶段(2010年—至今)超晶格焦平面制备能力的提升在相关政府机构的支持下,西方技术先进国家突破了超晶格结构设计、材料生长、芯片制备工艺等关键技术,多家研发机构先后获得高性能的超晶格长波大面阵器件和双色焦平面器件。这些成果的取得也使人们充分认识到超晶格技术在红外探测领域的意义和价值。在此基础上,2011年,美国启动了“重要红外传感器技术加速计划(VISTA)”,这是一个由政府主导的,包括JPL、MIT林肯实验室、Sandia国家实验室、海军实验室等研究结构,以及休斯实验室、洛克-马丁公司、L3辛辛那提电子公司等行业领先公司的联合体,技术链涵盖了衬底制备、超晶格材料外延生长、焦平面芯片制备工艺、读出电路设计、超晶格组件集成等。在5年时间内,VISTA计划在高性能长波、中长波双色、超大面阵焦平面、高温工作(HOT)焦平面器件等多方面获得了进一步的发展。图3 (a)超晶格5 μm像元尺寸的SEM照片,(b)超晶格中波红外焦平面在160 K和170 K工作温度下成像示意图,(c)超晶格中长波双色野外成像图超晶格焦平面的工程应用随着制备能力和探测器性能的不断提高,超晶格红外焦平面开始了应用试验。2005年,德国IAF和AIM公司研制的中/中波超晶格双色焦平面探测器应用于欧洲大型运输机Airbus A400 M的多色红外预警系统(MIRAS)。图4 非洲某地区的可见(来源谷歌地图)和CTI红外成像图片(来自美国NASA国际空间站拍摄),Band 1为中波红外图像,Band 2为长波红外图像锑化物超晶格探测器的展望与思考碲镉汞是当前最成功的红外探测材料,其响应波段可以覆盖短波至甚长波的整个红外谱段,具有高的吸收系数和量子效率。由于碲镉汞非常低的肖特基-里德-霍尔(SRH)复合速率,少子寿命长,暗电流低,可以实现高性能红外探测器。碲镉汞的挑战主要来自于材料生长、芯片制备工艺等方面难度大及由此而带来的成品率和制备成本等问题。InAs/GaSb超晶格在谱段覆盖性方面和碲镉汞一样可以在短波至甚长波整个红外谱段内调节。与碲镉汞相比,超晶格红外探测器在量子效率和少子寿命还需要进一步的提升。但另一方面,InAs/GaSb超晶格属于III-V族化合物半导体,其物理化学性质较为稳定,超晶格焦平面在空间均匀性、时间稳定性等方面具有优势,同时,超晶格在材料、芯片的制备技术方面也具备更好的可控性。近年来,InAs/GaSb超晶格红外探测器取得了飞速的发展。在国外,超大规格、高像元密度、高温工作中波焦平面、高性能长波红外焦平面及双色焦平面等已先后获得突破,超晶格探测器也已初步获得航天应用。国内自“十二五”布局开展锑化物超晶格红外探测技术研究,相关研究单位先后在超晶格长波焦平面技术、双色焦平面技术等方面取得突破,初步形成了超晶格材料外延生长、芯片制备等技术能力和平台。后续,超晶格红外探测技术将在进一步提升材料基本性能(量子效率、少子寿命)的基础上,发展大规格和超大规格红外焦平面,高像元密度焦平面,甚长波和双色、多色探测器,高工作温度红外焦平面等。提升超晶格材料基本性能在少子寿命方面,在超晶格中,轻、重空穴带的分离抑制了俄歇复合过程,因此,理论上超晶格的少子寿命可以比碲镉汞更长。但目前InAs/GaSb超晶格的少子寿命一般小于100 ns,与碲镉汞相比有很大的差距,这主要是由于超晶格材料存在较强的SRH复合。InAs/InAsSb超晶格因表现出了更长的载流子寿命而颇受关注,但对于相同的探测波长,InAs/InAsSb超晶格的吸收系数较小;同时,InAs/InAsSb超晶格的空穴迁移率和扩散长度也较小。另一种新型超晶格材料——晶格匹配 InAs/GaAsSb超晶格展现出了优良的光电性能,计算表明,对于相同的探测波长,InAs/GaAsSb超晶格具有与InAs/GaSb超晶格相似的吸收系数。在量子效率方面,由于在超晶格中电子和空穴分别位于InAs和GaSb层中,吸收系数的大小与电子波函数和空穴波函数的交叠积分相关,从而导致器件的量子效率随波长增大而下降。目前中波红外超晶格探测器的量子效率可以实现70%~80%,长波器件的量子效率约30%~40%。提升长波、甚长波超晶格焦平面器件的量子效率是一个重要的研究课题。近年来,采用超表面微纳光子结构提升器件量子效率成为一个有效途径。与探测器集成的微纳光子结构主要包括一维、二维光子晶体、光栅、汇聚透镜、微腔结构等。近年来,美国麻省理工学院、空军实验室、JPL等在该方面开展研究并取得了较好的成果。超晶格红外焦平面发展趋势展望在焦平面器件发展趋势方面,将充分利用超晶格自身技术优势,发展高像元密度大面阵探测器、甚长波探测器、双色和多色探测器、高工作温度探测器及新型雪崩探测器等。在高像元密度大面阵器件发展方面,国际上超晶格外延材料尺寸已经达到6 in(1 in=2.54 cm),正向更大晶圆发展;像元尺寸已缩小至5 μm,最大规格达到6 K×4 K。国内已具备4~6 in超晶格外延材料生长和锑化物半导体探测器芯片制备能力,在小像元尺寸的台面芯片制备方面也具有技术基础。在甚长波红外探测器方面,关键在于降低器件暗电流,红外探测器的暗电流与少子寿命密切相关。因此,提升超晶格材料的少子寿命是一个重要的研究课题。晶格匹配InAs/GaAsSb新型超晶格材料有助于降低材料的深能级缺陷,从而提升少子寿命。降低器件暗电流的另一途径是运用InAs、GaSb、AlSb等材料间多样的能带排列方式,灵活设计出先进的抑制暗电流器件结构。最近,国外报道了14 μm超晶格甚长波焦平面探测器,采用先进势垒设计结构,大大地抑制了器件的暗电流。在实现高温工作超晶格红外探测器的研究方面,主要集中在设计和制备各种具有暗电流抑制功能的异质势垒结构器件。国外研究机构采用nBn等异质势垒结构,很好地将超晶格中波红外探测器的工作温度提升至150 K以上。在国外,高温工作的超晶格中波红外焦平面已经显示出了替代传统InSb器件的趋势。实现双色或多色探测是超晶格发展的一个重要发展方向。超晶格主要采用改变材料周期厚度来调节响应波长,采用分子束外延技术,只要改变InAs、GaSb单层的生长时间(改变层厚)就可以获得不同响应波长的超晶格材料,因此非常容易在一次外延生长过程中集成两个甚至多个响应不同波长的探测器材料结构。近期研究结果也表明,超晶格是实现双色或多色探测的优先技术。在新型探测器方面,锑化物超晶格雪崩探测器(APD)近年来也备受关注。美国伊利诺斯大学研究发现,InAs/GaSb超晶格的空穴/电子碰撞电离系数比可以近似为零,研制的电子雪崩型器件的增益为300时,过剩噪声因子小于1.2。该团队与美国雷神公司合作研制的电子雪崩型超晶格APD,在增益为500时,过剩噪声因子仍旧保持在接近于1的水平,表现出了极低的雪崩噪声特性。结论这项研究简要介绍了锑化物超晶格红外探测技术的技术特点、发展历程及其发展趋势。自InAs/GaSb超晶格红外探测器的设想被提出后,30多年来,通过结构设计优化和制备技术提升,国内外研究结构先后获得了一系列的大面阵、高温工作、长波、多色红外探测器,超晶格红外焦平面也表现出了高均匀性、高稳定性、高制备可控性等优势,并且在红外遥感成像等航空航天领域得到应用。今后,超晶格红外焦平面将向着更高的像素密度、更大的规格、更高的工作温度、甚长波、双色(多色)、雪崩器件等方向发展。
  • 室内太潮湿怎么除湿?室内除湿机效果好
    室内太潮湿怎么除湿?室内除湿机效果好【新闻导读】在我们的日常生活中,如果室内环境湿度比较高的话,室内的各种家具、被褥以及衣物等就会因为潮湿而发霉变质,影响美观,甚至不能使用。家里的电视机、电脑等家用电器也会因为潮湿而发生短路、漏电等现象。还有的家庭铺的地毯也是很容易受潮发霉滋生细菌,散发出一股股的霉味。 特别是在梅雨天,很多家庭的室内环境就比较潮湿了,不仅会出现上面所说的这些问题,而且还会对您和家人的健康造成很大损害,在空气潮湿的环境中是最容易引起皮肤,呼吸以及风湿等方面的疾病;因此,为了你和家人的身心健康,室内环境的防潮除湿工作是必不可少的;最简捷有效的方法就是使用正岛ZD系列室内除湿机,可以为你提供一个相对干爽舒适的室内环境! 而对于工业生产来说,这样潮湿的天气也是让不少工厂企业吃尽了苦头,无孔不入的湿气进入到车间,仓库等室内环境中导致湿度超标是再所难免的,不仅会影响车间内的机械设备正常运转,以及生产效率和产品的品质;而且还会对工人的身体上造成损害; 同时存放在仓库中的加工原材料及其制成品也会因此而受潮,这都会给工厂或企业造成经济上的损失。因此,工业生产车间,储存仓库等室内环境的防潮除湿更是不可小视,也是需要使用正岛ZD系列室内除湿机这样专业的设备,通过严格控制室内环境湿度的方式,可以为你达到最佳的防潮除湿效果! 正岛ZD系列室内除湿机具有智能湿度恒定控制系统,用户可根据生产的需要,自动控制除湿机的工作及停机,通过自动控制实现最有效的除湿效果,降低整机运行成本。 正岛电器生产的ZD系列室内除湿机严格采用专业的技术和精湛的工艺制造出高效、节能、环保的除湿机产品,是国内最优秀的除湿机品牌之一。 被广泛应用于企业仓储,车间生产,商务办公,科研实验,家居生活,资料档案,文物古迹,生物制药,食品加工,消费餐饮,休闲娱乐等场所,得到众多用户好评,在市场上享有美誉。 点击此处查看室内太潮湿怎么除湿?室内除湿机效果好全部新闻图片 电话:0571- 8673 1596 139 5811 5553 欢迎您来电咨询室内太潮湿怎么除湿?室内除湿机效果好的详细信息!工业除湿机的种类有很多,不同品牌的工业除湿机价格及应用范围也会有细微的差别,而我们将会为您提供优质的产品和全方位的售后服务。 正岛ZD系列室内除湿机选型,技术参数和配置方案参考: 正岛ZD系列室内除湿机选型参考对照表 (标准层高:2.8m)产品型号除湿量(L/D)适用面积(m2)功率(W)电源(V/HZ)尺寸(mm)净重(kg)ZD-228LB2810-30420220V~50Hz290X345X58415ZD-558LB5830-60670220V~50Hz350X455X60325ZD-890C9060-901500220V~50Hz480X430X97050ZD-8138C138100-1502000220V~50Hz480X430X1100 58ZD-8168C168130-1802800380V~50Hz605X410X1650126ZD-8240C240180-2404900380V~50Hz770X470X1650 160ZD-8360C360240-3607000380V~50Hz1240X460X1700255ZD-8480C480360-4809900380V~50Hz1240X460X1750300■室内除湿机选型注意事项--除湿机的除湿量和型号的选择,主要根据使用环境空间的体积、新风量的大小、空间环境所需的湿度要求等具体数值来科学计算。 查看更多室内太潮湿怎么除湿?室内除湿机效果好的详细信息尽在:正岛电器 正岛ZD系列室内除湿机产品六大核心配置优势: 优势一:【整机内结构精巧】 优势二:【高效节能压缩机】 优势三:【配套内螺纹铜管】 优势四:【大风量高效风机】 优势五:【微电脑自动控制】 优势六:【配多重安全保护】 工业除湿机厂家记者核心提示:在日常生活中,工作中以及工业生产中,很多人对于室内湿度的大小并不是很敏感,觉得潮湿一下问题不是很大,忍忍就过去了;再说,空调也有除湿的功能,感觉太潮湿了就用空调来除除湿,没必要再去买除湿机,而且除湿机价钱也不便宜,花那多钱买一个不太实用的东西,感觉不划算,很多人就不愿意花钱买除湿机了。 其实并非如此,正所谓术业有专攻,空调的主要功能是控制温度,除湿功能只是附带的,所起到的效果并不好,可以说是微乎其微;特别是在梅雨天,使用空调来除湿反而会越除越湿,而且还浪费电,到最后往往是得不偿失。而正岛ZD系列室内除湿机的主要功能就是除湿防潮,控制室内环境湿度; 因此,如果想让家具生活环境更舒适一些,工作环境更干爽一些,以及工业生产储存环境湿度控度更精确一些,建议你还是购买正岛ZD系列室内除湿机更好一些;现在,在很多家庭,办公场所,地下车库以及工厂企业的车间、仓库等场所中随处都能看到它的身影,同时也取得了很好的防潮除湿效果和经济效益。以上关于室内太潮湿怎么除湿?室内除湿机效果好的最新相关新闻资讯是正岛电器为大家提供的!
  • 超小角X射线散射仪丨让微粒测量不是问题
    近几十年来最伟大的技术成就离不开纳米材料。它们为医学、可再生能源、化妆品、建筑材料、电子设备等领域的突破性改进奠定了基础。纳米材料具有形成新材料的潜力,因此人们对它们的性能和相互作用有很大的研究兴趣。各种纳米结构材料在现代材料中起着至关重要的作用。然而,这种体系通常与较大的结构共存,仅分析纳米级或微米级并不能完全表征样品。小角X射线散射 (SAXS)是表征纳米结构材料的标准方法之一,因为其广泛的适用性和原位测试的可能性。“经典”小角散射被限制在大约300 nm的最大尺寸范围内,当涉及到大尺寸范围的体系时,限制了SAXS的使用。USAXS (ultra-small angle X-ray scattering) 可以通过测量极小的散射角,将X射线散射实验的可探测尺度范围扩展到微米范围。通过这种方式,可以在单个装置中测量微米和纳米尺度,使得SAXS成为纳米颗粒分析中最通用的表征方法之一。本文我们展示了USAXS测量二氧化硅微球,作为该方法概念的证明。使用Anton Paar SAXSpoint 5.0小角X射线散射仪配备了可选的USAXS模块。安装这个USAXS模块后,X射线散射实验的最小q值 (qmin) 可达0.0012 nm-1(0.00012 Å)。这对应的实空间颗粒尺寸可达2.6 µm。SAXSpoint 5.0这种扩展的超小q范围可通过使用所谓的Bonse-Hart设置来实现,其中两块对齐和精确切割出Si 220通道切割组件。在测量中,主通道切口(位于样品前)用于进一步准直光束并进一步减小光束发散。次级CC用作分析晶体,以极小的角度增量扫描散射光子,以记录USAXS曲线。图 1: 安装在SAXSpoint 5.0系统内的 Anton Paar USAXS 模块在实验中,通道切割组件可以移入和移出光束。这允许测量大q范围内连续散射曲线(高达四十多),涵盖USAXS、SAXS和WAXS区域。SAXSpoint的USAXS模块是集成到SAXSdrive数据采集软件中并可实现自动测量实验为了证明Anton Paar USAXS模块的潜力,购买了一种经验证直径为 (1.53 ± 0.02) µm颗粒的水溶液。对该实验,系统配备了Primux 100 Cu Kα( λ = 0.154 nm)的微焦斑X射线管,Anton Paar USAXS 模块,和Dectris的EIGER2R 1M探测器。USAXS数据是在透射模式下采集q范围从0.0012 nm-1到0.04 nm-1。 为了防止测量过程中出现沉淀Primux 100 Cu Kα( λ = 0.154 nm),测量是在连续流动的情况下进行的,同时不断搅拌储液罐中的溶液。图 2: USAXS测量数据和1.53 µm特定直径的二氧化硅颗粒分散体的拟合数据。使用简单的IFT(反傅里叶变换)拟合来分析数据。图2显示了IFT拟合曲线与数据点。可以看出,拟合完美的与测量数据吻合。图 3: 拟合的 p(r) 曲线。根据对称的 p(r) 曲线,计算出球的直径为1.515 µm。图3显示通过拟合得到的相应的对距离分布函数(PDDF或p(r)),用于拟合的最大尺寸为1600 nm。PDDF的对称形状证实了是球形颗粒 ,通过p(r) 计算均匀球体的直径,得出Dmax 为1.515 µm。这与标称粒径1.530 µm 完全一致。由于不需要多分散性来模拟数据,因此也就证明了样品的单分散性。结论这个研究可以证明,在带有微焦斑X射线管的SAXSpoint 5.0 系统上,qmin 为0.0012 nm-1 的超小角X射线散射是可行的。这使得USAXS也可以在实验室使用,减少了对同步加速器线站实验的需求。成功测量和评估了标称直径为1.53 µm的SiO2球体的数据。散射数据的评估结果是颗粒直径为1.515 µm,与标称粒径非常一致。此外,还证明了样品的单分散性。安东帕中国总部销售热线:+86 4008202259售后热线:+86 4008203230官网:www.anton-paar.cn在线商城:shop.anton-paar.cn
  • 中科院理化所王树涛教授团队/北航刘欢教授团队:仿松塔超慢运动
    大自然为人类社会的进步和发展提供了源源不断的灵感和动力。向自然学习,有所发现,有所发明,有所创造,有所进步,是科学发展的一条行之有效的途径。松塔的吸湿运动为人工驱动器的设计和制造提供了许多灵感。目前认为,松塔的开合是由鳞片外层的“肉”(石细胞,sclerids)比内层的“筋”(维管束,vascular bundle)的收缩膨胀更大引起的。但以往的研究只专注于研究松塔的弯曲机制,而忽略了弯曲过程和原本的功能特点。松塔为了让风和动物把种子传播到远离母树的地方繁衍,只有在长期干燥的环境下才会打开。对于松塔的超慢运动,目前的机理还无法给出相应的解释,并且这一机制也很难解释单独的维管束也具有湿度响应特征。因此,松塔的超慢湿度响应机制目前仍然是不清楚的。最近,中国科学院理化技术研究所王树涛研究员团队和北京航空航天大学刘欢教授团队合作,重新审视松塔的吸湿运动,揭示了松塔湿度响应的超慢运动的奥秘,并受此启发研发了具有类松塔湿度响应的超慢运动的人工驱动装置,其运动速度比现有的湿度响应驱动器低两个数量级,其整个运动过程难以察觉。相关工作以“Unperceivable motion mimicking hygroscopic geometric reshaping of pine cones”为题发表在Nature Materials杂志上。该工作得到了国家自然科学基金项目的大力支持。文章第一作者是张飞龙博士和杨曼博士,通讯作者为王树涛研究员和刘欢教授,徐雪涛和刘熹博士共同参与本研究,江雷院士为本研究提供了专业的指导。现象与发现1.松塔的吸湿变形是一个超慢的过程松塔完全打开需要相当长的时间,约24小时(图1a)。在具有吸湿变形能力的植物组织中,松塔鳞片的厚度归一化的形变速度是最小的(图1b),这与其长距离种子传播的功能是一致的。2.维管束本身也能够吸湿变形研究发现,维管束(VB)本身就可以吸湿变形,且具有比外层的“肉”(skin)更大的变形能力和运动速度(图1c, d),表明VB在鳞片的湿度响应运动中起关键作用。而“肉”和整个鳞片的运动速度都远低于骨架(skeletons)和VBs。同样,与骨架和VBs相比,浸水的鳞片和“肉”的含水量更高,脱水速度更慢。因此,可以得出结论,VBs驱动鳞片的吸湿变形,而保水性好的“肉”减缓形变速度。图1. 松塔、鳞片及其各组成部分的吸湿运动。维管束(VB)的变形机制1.弹簧状微管和方形微管的异质结构为了探究VBs的弯曲机理,作者对VB的微观结构及各组成的吸湿膨胀行为进行了研究。从横断面扫描电镜图可以看出,VB具有典型的异质结构,包含两种管状的细胞壁,且两者边界清晰(图2a-d)。重构的微管三维结构图和纵向截面图进一步证实了,维管束是由平行排列的弹簧状微管和方形微管组成的典型的异质结构 (图2 e-g)。2.弹簧状微管和方形微管的吸湿膨胀行为不同通过机械剥离的方法,作者得到了弹簧状微管/方形微管对,并利用环境扫描电镜(ESEM)对其吸湿运动进行了原位观察(图2h)。随着相对湿度的增加,弹簧状微管伸长,微管对向方形微管侧弯曲(图3c)。相反,随着湿度的降低,微管对向弹簧状微管侧弯曲。根据上述结果,作者提出了一维弹簧状微管/方形微管异质结构的简化模型以解释VB的吸湿形变(图2i)。图2. 维管束的异质结构和弯曲机制仿松塔的超慢运动驱动器受此启发,研究人员利用双组份3D打印技术制备了由弹簧状管和方形管构成的异质结构的基本单元,在管中填充吸湿聚合物,以模拟鳞片中的“肉”增加吸湿路径,降低膨胀速度 (图3a, b)。打印出的弹簧状管/方形管展现出类似于松塔的吸湿变形性能(图3c)。利用简化模型与3d打印技术的可编辑性和兼容性,仅通过调节结构就可以实现各种精细的形状转变调控(图3d)。利用打印出的弹簧状管/方形管对,作者制作了一个可移动工作台,实现对上面的物体的超慢运输,不会周围的环境水造成干扰 (图3e-g)。利用打印出的弹簧状管/方形管对作为支架,探测器也可以在超慢运动的情况下增大监测范围(图3h)。图3. 仿松塔结构的超慢驱动装置该工作为理解松塔和其他植物组织的湿度响应形变提供了新的思路和结构基础,也为开发刺激响应驱动器提供了新的物理模型。该工作被新加坡国立大学(NUS)的Cecilia Laschi教授和意大利理工学院(IIT)的Barbara Mazzolai教授在《Nature Materials》杂志同期的News & Views专栏以“Move imperceptibly”为题,进行了专题报道。摩方精密简介摩方精密作为微纳3D打印的先行者和领导者,拥有全球领先的超高精度打印系统,其面投影微立体光刻(PμSL)技术可应用于精密电子器件、医疗器械、微流控、微机械等众多科研领域。在三维复杂结构微加工领域,摩方团队拥有超过二十年的科研及工程实践经验。针对客户在新产品开发中可能出现的工艺和材料难题,摩方将持续提供简易高效的技术支持方案。原文链接:https://doi.org/10.1038/s41563-022-01391-2来源:材料科学前沿官网:https://www.bmftec.cn/links/7
  • 石照耀教授牵头的重大科研仪器项目“小模数齿轮超精密测量仪器研制”正式启动
    2023年3月18日,由北京工业大学牵头,湖南科技大学、河南科技大学、湖南理工学院、温州大学和中国计量科学研究院共同承担的国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目“小模数齿轮超精密测量仪器研制”(52227809)启动会在湖南科技大学召开。会议承办单位湖南科技大学王卫军副校长、科技处万文处长、机电学院领导,北京工业大学科技发展研究院刘占省副院长,项目负责人北京工业大学石照耀教授,参加单位的项目负责人湖南科技大学赵前程教授、河南科技大学王笑一副教授、湖南理工学院张晓红教授、温州大学周宏明教授、中国计量科学研究院林虎副研究员,以及项目组骨干成员、研究生、来宾等,约40余人出席会议。石照耀教授主持会议。刘占省副院长和王卫军副校长分别致词,充分肯定了本项目的研发价值和对小模数齿轮行业发展的促进作用。石照耀教授做了项目主题报告,围绕研究背景、主要研发内容和技术方案展开,从“为什么”、“做什么”和“怎么做”的角度详细介绍了项目的总体情况。小模数齿轮(模数≤1mm)既是重大装备的核心件,又是民生产品的基础件;然而世界范围内,小模数齿轮基准级检测仪器及样板缺失。本项目将小模数齿轮超精密测量仪器的研制从“可测性”、“精度获取”和“量值传递”三方面展开,解决高精度小模数齿轮测量、量值传递和仪器校准难题,实现超精密测量仪器核心技术自主可控,对推动我国小模数齿轮产业升级意义重大。项目牵头单位骨干成员宋辉旭博士做了“项目任务分解与进度安排”报告,就项目的8大任务(下设42项二级子任务和134项三级子任务)进行了详细讲解,明确了各参加单位的任务,提出了具体的工作要求、考核指标和完成时间节点。同时,宋博士解读了与国家重大科研仪器研制项目相关的项目管理文件和财务管理制度文件,并汇报了项目组制定的相关管理办法。启动会安排了学术交流,中国计量科学研究院林虎副研究员做了“齿轮量值传递与溯源体系”的学术报告。报告从中国计量科学研究院情况介绍、齿轮量值传递与溯源体系、未来的发展与挑战三个方面详细介绍了我国计量体系、量值传递的模式与发展。大会最后,石照耀教授与各参加单位项目负责人共同签署了项目合作协议。项目启动会的正式启动标志着项目已进入到全面执行阶段。
  • 上海交大:通过3D打印实现刚柔复合超疏水界面的制备
    近日,上海交大机械与动力工程学院胡松涛副教授课题组提出了刚柔微结构复合的超疏水界面设计思想,解决了冲击定位要求苛刻的难题,相关研究成果在机械装备抗液防冰等领域具有重要的应用前景。瑞士苏黎世联邦理工学院Andrew J. deMello教授课题组和英国帝国理工学院Daniele Dini教授课题组为合作单位。该成果以“Flexibility-Patterned Liquid-Repelling Surfaces”为题作为封面论文发表于ACS Applied Materials & Interfaces期刊。原文链接:https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsami.1c05243。刚柔复合界面设计与制备(杆径10μm的柔性网格结构及刚性支柱)面向低温冲击液滴的超疏水界面需要递进满足两个条件:1)基于微纳几何结构和低能化学修饰的抗刺穿性以反弹冲击液滴;2)极短的固液接触时间以避免液滴在界面成核结冰。现有的相关界面设计工作遵循刚性和柔性两类策略,可有效缩短固液接触时间,但受限于苛刻的固液冲击定位要求。研究团队借鉴蹦床公园,提出了刚柔微结构相结合的超疏水界面设计,通过融合刚性和柔性设计策略,期望消除界面润湿性能对固液冲击定位的依赖。研究团队采用面投影微立体光刻3D打印技术(nanoArch S140,摩方精密)高效、精准地实现了上述刚柔复合界面设计的样机制备。液滴冲击行为 研究团队利用高速相机记录液滴在冲击不同界面以及界面内不同局部区域的动力学行为,证明可以利用刚柔复合界面设计来调整液滴冲击行为。固液接触时间液滴冲击实验进一步表明,当液滴冲击柔性界面区域时,将触发结构振动来缩短固液接触时间;而当液滴冲击刚性界面区域时,将触发液滴的非对称再分布来缩短固液接触时间。官网:https://www.bmftec.cn/links/10
  • 上海交大:通过3D打印实现刚柔复合超疏水界面的制备
    近日,上海交大机械与动力工程学院胡松涛副教授课题组提出了刚柔微结构复合的超疏水界面设计思想,解决了冲击定位要求苛刻的难题,相关研究成果在机械装备抗液防冰等领域具有重要的应用前景。瑞士苏黎世联邦理工学院Andrew J. deMello教授课题组和英国帝国理工学院Daniele Dini教授课题组为合作单位。该成果以“Flexibility-Patterned Liquid-Repelling Surfaces”为题作为封面论文发表于ACS Applied Materials & Interfaces期刊。刚柔复合界面设计与制备(杆径10μm的柔性网格结构及刚性支柱)面向低温冲击液滴的超疏水界面需要递进满足两个条件:1)基于微纳几何结构和低能化学修饰的抗刺穿性以反弹冲击液滴;2)极短的固液接触时间以避免液滴在界面成核结冰。现有的相关界面设计工作遵循刚性和柔性两类策略,可有效缩短固液接触时间,但受限于苛刻的固液冲击定位要求。研究团队借鉴蹦床公园,提出了刚柔微结构相结合的超疏水界面设计,通过融合刚性和柔性设计策略,期望消除界面润湿性能对固液冲击定位的依赖。研究团队采用面投影微立体光刻3D打印技术(nanoArch S140,摩方精密)高效、精准地实现了上述刚柔复合界面设计的样机制备。液滴冲击行为 研究团队利用高速相机记录液滴在冲击不同界面以及界面内不同局部区域的动力学行为,证明可以利用刚柔复合界面设计来调整液滴冲击行为。固液接触时间液滴冲击实验进一步表明,当液滴冲击柔性界面区域时,将触发结构振动来缩短固液接触时间;而当液滴冲击刚性界面区域时,将触发液滴的非对称再分布来缩短固液接触时间。官网:https://www.bmftec.cn/links/10
  • 上海交大:通过3D打印实现刚柔复合超疏水界面的制备
    近日,上海交大机械与动力工程学院胡松涛副教授课题组提出了刚柔微结构复合的超疏水界面设计思想,解决了冲击定位要求苛刻的难题,相关研究成果在机械装备抗液防冰等领域具有重要的应用前景。瑞士苏黎世联邦理工学院Andrew J. deMello教授课题组和英国帝国理工学院Daniele Dini教授课题组为合作单位。该成果以“Flexibility-Patterned Liquid-Repelling Surfaces”为题作为封面论文发表于ACS Applied Materials & Interfaces期刊。原文链接:https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsami.1c05243。刚柔复合界面设计与制备(杆径10μm的柔性网格结构及刚性支柱)面向低温冲击液滴的超疏水界面需要递进满足两个条件:1)基于微纳几何结构和低能化学修饰的抗刺穿性以反弹冲击液滴;2)极短的固液接触时间以避免液滴在界面成核结冰。现有的相关界面设计工作遵循刚性和柔性两类策略,可有效缩短固液接触时间,但受限于苛刻的固液冲击定位要求。研究团队借鉴蹦床公园,提出了刚柔微结构相结合的超疏水界面设计,通过融合刚性和柔性设计策略,期望消除界面润湿性能对固液冲击定位的依赖。研究团队采用面投影微立体光刻3D打印技术(nanoArch S140,摩方精密)高效、精准地实现了上述刚柔复合界面设计的样机制备。液滴冲击行为 研究团队利用高速相机记录液滴在冲击不同界面以及界面内不同局部区域的动力学行为,证明可以利用刚柔复合界面设计来调整液滴冲击行为。固液接触时间液滴冲击实验进一步表明,当液滴冲击柔性界面区域时,将触发结构振动来缩短固液接触时间;而当液滴冲击刚性界面区域时,将触发液滴的非对称再分布来缩短固液接触时间。
  • 超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器
    超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器 杨宏兴 1,2,付海金 1,2,胡鹏程 1,2*,杨睿韬 1,2,邢旭 1,2,于亮 1,2,常笛 1,2,谭久彬 1,2 1 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,黑龙江 哈尔滨 150080; 2 哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室,黑龙江 哈尔滨 150080 摘要 针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求,哈尔滨工业大学深入探索了传统的共 光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法,并在高精度激光稳频、光学非线性误差 精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破,研制了系列超精密高速激光干涉仪,激 光真空波长相对准确度最高达 9. 6×10-10,位移分辨力为 0. 077 nm,光学非线性误差最低为 13 pm,最大测量速度 为 5. 37 m/s。目前该系列仪器已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测 试领域,为我国光刻机等高端装备发展提供了关键技术支撑和重要测量手段。 关键词 光学设计与制造;激光干涉;超精密高速位移测量引 言 激光干涉位移测量(DMLI)技术是一种以激光 波长为标尺,通过干涉光斑的频率、相位变化来感知位移信息的测量技术。因具有非接触、高精度、高动 态、测量结果可直接溯源等特点,DMLI 技术和仪器被广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、 精密运动测试与高端装备集成等场合。特别是在微电子光刻机等高端装备中嵌入的超精密高速激光干涉仪,已成为支撑装备达成极限工作精度和工作效率的前提条件和重要保障。以目前的主流光刻机为例,其内部通常集成有 6 轴至 22 轴以上的超精密高速激光干涉仪,来实时测量高速运动的掩模工件台、 硅片工件台的 6 自由度位置和姿态信息。根据光刻机套刻精度、产率等不同特性要求,目前对激光干涉的位移测量精度需求从数十纳米至数纳米,并将进一步突破至原子尺度即亚纳米量级;而位移测量速度需求,则从数百毫米每秒到数米每秒。 对 DMLI 技术和仪器而言,影响其测量精度和测量速度提升的主要瓶颈包括激光干涉测量的方法原理、干涉光源/干涉镜组/干涉信号处理卡等仪器关键单元特性以及实际测量环境的稳定性。围绕光刻机等高端装备提出的超精密高速测量需求,以美国 Keysight 公司(原 Agilent 公司)和 Zygo 公司为代表的国际激光干涉仪企业和研发机构,长期在高精度激光稳频、高精度多轴干涉镜组、高速高分辨力干涉信号处理等方面持续攻关并取得不断突破, 已可满足当前主流光刻机的位移测量需求。然而, 一方面,上述超精密高速激光干涉测量技术和仪器 已被列入有关国家的出口管制清单,不能广泛地支撑我国当前的光刻机研发生产需求;另一方面,上述技术和仪器并不能完全满足国内外下一代光刻机研 发所提出的更精准、更高速的位移测量需求。 针对我国光刻机等高端装备研发的迫切需求, 哈尔滨工业大学先后探索了传统的共光路双频激光干涉测量方法和新一代的非共光路双频激光干涉测量方法,并在高精度激光稳频、光学非线性误差精 准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等关键技术方 面取得持续突破,研制了系列超精密高速激光干涉 仪,可在数米每秒的高测速下实现亚纳米级的高分辨力高精度位移测量,已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域。该技术和仪器不仅直接为我国当前微电子光刻机研发生产提供了关键技术支撑和核心 测量手段,而且还可为我国 7 nm 及以下节点光刻机研发提供重要的共性技术储备。高精度干涉镜组设计与研制 高精度干涉镜组的 3 个核心指标包括光学非线性、热稳定性和光轴平行性,本课题组围绕这 3 个核心指标(特别是光学非线性)设计并研制了前后两代镜组。 共光路多轴干涉镜组共光路多轴干涉镜组由双频激光共轴输入,具备抗环境干扰能力强的优点,是空间约束前提下用于被测目标位置/姿态同步精准测量不可或缺的技术途径,并且是光刻机定位系统精度的保证。该类干涉镜组设计难点在于,通过复杂光路中测量臂和参考臂的光路平衡设计保证干涉镜组的热稳定性,并通过无偏分光技术和自主设计的光束平行性测量系统,保证偏振正交的双频激光在入射分光及多次反射/折射后的高度平行性[19- 20]。目前本课题组研制的 5 轴干涉镜组(图 11) 可实现热稳定性小于 10 nm/K、光学非线性误差小于 1 nm 以及任意两束光的平行性小于 8″,与国 际主流商品安捷伦 Agilent、Zygo 两束光的平行性 5″~10″相当。 图 11. 自主研制的共光路多轴干涉镜组。(a)典型镜组的3D设计图;(b)实物图非共光路干涉镜组 非共光路干涉镜组在传统共光路镜组的基础上, 通过双频激光非共轴传输避免了双频激光的频率混叠,优化了纳米量级的光学非线性误差。2014 年,本课题组提出了一种非共光路干涉镜组结构[2,21],具体结构如图 12 所示,测试可得该干涉镜组的光学非 线性误差为 33 pm。并进一步发现基于多阶多普勒 虚反射的光学非线性误差源,建立了基于虚反射光迹精准规划的干涉镜组光学非线性优化算法,改进并设计了光学非线性误差小于 13 pm 的非共光路干涉镜组[2-3],并通过双层干涉光路结构对称设计保证热稳定性小于 2 nm/K[22- 25]。同时,本课题组也采用多光纤高精度平行分光,突破了共光路多轴干涉镜组棱镜组逐级多轴平行分光,致使光轴之间的平行度误差 逐级累加的固有问题,保证多光纤准直器输出光任意 两个光束之间的平行度均小于 5″。 图 12. 自主设计的非共光路多轴干涉镜组。(a)典型镜组的3D设计图;(b)实物图基于上述高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技 术,本课题组研制了系列超精密高速激光干涉仪 (图 17),其激光真空波长准确度最高达 9. 6×10-10 (k=3),位移分辨力为 0. 077 nm,最低光学非线性误差为 13 pm,最大测量速度为 5. 37 m/s(表 2)。并成功应用于上海微电子装备(集团)股份有限公司 (SMEE)、中国计量科学研究院(NIM)、德国联邦物理技术研究院(PTB)等十余家单位 ,在国产光刻机、国家级计量基准装置等高端装备的研制中发挥了关键作用。 图 17. 自主研制的系列超精密高速激光干涉仪实物图。(a)20轴以上超精密高速激光干涉仪;(b)单轴亚纳米级激光干涉仪;(c)三轴亚纳米级激光干涉仪超精密激光干涉仪在精密工程中的实际测量, 不仅考验仪器的研制水平,更考验仪器的应用水 平,如复杂系统中的多轴同步测量,亚纳米乃至皮 米量级新误差源的发现与处理,高水平的温控与隔 振环境等。下面主要介绍超精密激光干涉仪的几 个典型应用。 国产光刻机研制:多轴高速超精密激光干涉仪 在国产光刻机研制方面,多轴高速超精密激光 干涉仪是嵌入光刻机并决定其光刻精度的核心单元之一。但是,一方面欧美国家在瓦森纳协定中明确规定了该类干涉仪产品对我国严格禁运;另一方面该类仪器技术复杂、难度极大,我国一直未能完整掌握,这严重制约了国产光刻机的研制和生产。 为此,本课题组研制了系列超精密高速激光干涉测量系统,已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域,典型应用如图 18 所示,其各项关键指标均满足国产先进光刻机研发需求,打破了国外相关产品对我国 的禁运封锁,在国产光刻机研制中发挥了重要作用。在所应用的光刻机中,干涉仪的测量轴数可达 22 轴以上,最大测量速度可达 5. 37 m/s,激光真空 波 长/频 率 准 确 度 最 高 可 达 9. 6×10−10(k=3),位 移 分 辨 力 可 达 0. 077 nm,光 学 非 线 性 误 差 最 低 为 13 pm。 配 合 超 稳 定 的 恒 温 气 浴(3~5 mK@ 10 min)和隔振环境,可以对光刻机中双工件台的多维运动进行线位移、角位移同步测量与解耦,以满足掩模工件台、硅片工件台和投影物镜之间日益复杂的相对位置/姿态测量需求,进而保证光刻机整体套刻精度。图 18. 超精密高速激光干涉测量系统在光刻机中的应用原理及现场照片国家级计量基准装置研制:亚纳米精度激光干涉仪 在国家级计量基准装置研制方面,如何利用基本物理常数对质量单位千克进行重新定义,被国际知名学术期刊《Nature》评为近年来世界六大科学难题之一。在中国计量科学研究院张钟华院士提出的“能量天平”方案中,关键点之一便是利用超精密激光干涉仪实现高准确度的长度测量,其要求绝对测量精度达到 1 nm 以内。为此,本课题组研制了国内首套亚纳米激光干涉仪,并成功应用于我国首套量子化质量基准装置(图 19),在量子化质量基准中 国方案的实施中起到了关键作用,并推动我国成为首批成功参加千克复现国际比对的六个国家之一[30- 32]。为达到亚纳米级测量精度,除了精密的隔振与温控环境以外,该激光干涉仪必须在真空环境 下进行测量以排除空气折射率对激光波长的影响, 其测量不确定度可达 0. 54 nm @100 mm。此外,为了实现对被测对象的姿态监测,该干涉仪的测量轴 数达到了 9 轴。图 19. 国家量子化质量基准及其中集成的亚纳米激光干涉仪 结论 近年来,随着高端装备制造、精密计量和大科学装置等精密工程领域技术的迅猛发展,光刻机等高端制造装备、能量天平等量子化计量基准装置、 空间引力波探测等重大科学工程对激光干涉测量技术提出了从纳米到亚纳米甚至皮米量级精度的 重大挑战。对此,本课题组在超精密激光干涉测量方法、关键技术和仪器工程方面取得了系列突破性进展,下一步的研究重点主要包括以下 3 个方面: 1)围绕下一代极紫外光刻机的超精密高速激光干涉仪的研制与应用。在下一代极紫外光刻机中,其移动工件台运动范围、运动精度和运动速度将进一步提升,将要求在大量程、6 自由度复杂耦合、高速运动条件下实现 0. 1 nm 及以下的位移测量精度,对激光干涉仪的研发提出严峻挑战;极紫外光刻机采用真空工作环境,可减小空气气流波动和空气折射率引入的测量误差,同时也使整个测量系统结构针对空气- 真空适应性设计的复杂性大幅度增加。2)皮米激光干涉仪的研制与国际比对。2021年, 国家自然科学基金委员会(NSFC)联合德国科学基 金会(DFG)共同批准了中德合作项目“皮米级多轴 超精密激光测量方法、关键技术与比对测试”(2021 至 2023 年)。该项目由本课题组与德国联邦物理技术研究院(PTB)合作完成,预计将分别研制下一代皮米级精度激光干涉仪,并进行国际范围内的直接 比对。3)空间引力波探测。继 2017 年美国 LIGO 地面引力波探测获诺贝尔物理学奖后,各国纷纷开展了空间引力波探测计划,这些引力波探测器实质上就是巨型的超精密激光干涉仪。其中,中国的空间引力波探测计划,将借助激光干涉仪在数百万公里距离尺度上,实现皮米精度的超精密测量,本课题组在引力波国家重点研发技术项目的支持下,将陆 续开展卫星- 卫星之间和卫星- 平台质量块之间皮米级激光干涉仪的设计和研究,特别是皮米级非线性实现和皮米干涉仪测试比对的工作,预期可对空间引力波探测起到积极的支撑作用。本课题组在超精密激光干涉测量技术与仪器领域有超过 20 年的研究基础,建成了一支能够完全自主开发全部激光干涉仪核心部件、拥有完整自主知识产权的研究团队,并且在研究过程中得到了 12 项国家自然科学基金、2 项国家科技重大专项、2 项 国家重点研发计划等项目的支持,建成了超精密激光测量仪器技术研发平台和产业化平台,开发了系列超精密激光干涉测量仪,在国产先进光刻机研发、我国量子化质量基准装置等场合成功应用,推动了我国微电子光刻机等高端装备领域的发展,并将通过进一步研发,为我国下一代极紫外光刻机研 发、空间引力波探测、皮米激光干涉仪国际比对提供支撑。全文详见:超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器.pdf
  • 当超声“碰到”神经元,脑科学有了新工具——记国家重大科研仪器研制项目“基于超声辐射力的深部脑刺激与神经调控仪器”
    项目组科研人员与同行专家交流合影。 研究团队供图中国科学院深圳先进技术研究院(以下简称深圳先进院)实验室里,一台高精尖仪器一排排控制灯交替闪烁。一万多个探头发出超声波形成的操控声场,如同“上帝之手”穿过实验动物的颅骨,直抵大脑深处,精准“触碰”一些神经元,产生仅仅几微米的细微形变,被磁共振仪敏锐捕捉到。“亮了!亮了!”深圳先进院研究员郑海荣看到,磁共振图像上黑漆漆的实验动物大脑中间出现白色的小亮点,犹如在脑科学的未知宇宙中点亮一颗新的星球。2019年初,郑海荣团队迎来里程碑式的一天,这也是他们在国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目支持下开发“基于超声辐射力的深部脑刺激与神经调控仪器”的第4年。如今项目顺利结题,这台原创的高端科研仪器已进入产业化阶段。“科研需要一股不服输的韧劲!”回首研发历程,郑海荣向《中国科学报》表示,“6年来,一步步攻克科学难题、一个个突破工程难关,离不开整个团队攀登科学高峰的坚定信念和持久韧劲。”解脑科学“刚需”之急近年来,帕金森病、阿尔茨海默氏症、抑郁症、癫痫等脑疾病得到越来越多的关注,患者数量剧增,脑疾病带来的经济负担和社会负担越发严重,已成为我国人口老龄化面临的重要社会问题之一。然而,从科学上看,脑疾病发病机制仍不清晰,其诊治仍然是重大医学难题。“国际上脑科学研究者已经认识到,帕金森病、抑郁症等疾病多与深部脑区核团病变有关,对核团及其所在环路的神经调控是疾病治疗和科学研究的基本途径之一。”郑海荣表示。多年来,科学家将电、磁、光等技术与神经科学相结合,产生了脑深部电刺激、磁刺激、光遗传学等神经刺激与调控技术。但是,由于各自物理属性的不同,如何实现无创、精准对大脑深部进行有效调控仍面临严峻挑战。因此,脑科学面临的“刚需”是开发出一种适用于灵长类动物和人类、可无创到达大脑深部的刺激与调控工具。2013年前后,从事物理医学成像研究的郑海荣开始思考,有没有可能利用超声波来操控神经元活动。这个想法并不是天方夜谭。据了解,超声是一种机械波,医学上利用超声波在人体组织中的波散射来成像,就是大家熟悉的B超。早在几十年前,科学家曾观察到,超声波能够通过“声辐射力”让声场中的微小颗粒产生移动。不过,从来没有人尝试过专门设计一台这样的仪器,用超声波辐射力实现对大脑中神经元的“隔空探物”。基于此前对超声辐射力的研究,郑海荣团队下决心对“基于超声辐射力的深部脑刺激与神经调控仪器”进行自主研发,经多轮严格论证,2015年获得国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目支持。啃原创仪器“硬骨头”“虽然我们之前做过体量小一些的成像仪器,但这个项目从科学验证到工程实践面临的挑战非常大,刚开始心里也不太有底。”郑海荣坦承。一开始,他们就做好了啃“硬骨头”的打算。这台仪器共有4个关键部件,包括超声面阵辐射力产生与发射部件、超声电子指向与时间反演控制部件、磁共振导航超声刺激定位部件和多模态刺激反应监测部件。其中,超声面阵辐射力产生与发射部件中包含16384个阵元的面阵列超声辐射力发生器。“我们做的是原创仪器,不仅仪器国际上没有,连其器件和部件在国际市场上也买不到现成的,只能利用基础材料、元器件和芯片,在深圳自主设计、自主加工、自主调试和验证。”郑海荣介绍。更大的困难还在科学和工程上。他们遇到的第一道难题便是如何让超声波安全“穿过”颅骨。在体外实验阶段,研究人员已经实现了用面阵列超声换能器发射的声辐射力“点亮”神经元。为模拟动物体内环境,仪器部件被置于水中,如果跨过颅骨能“击出”水花则代表超声辐射力发挥作用。“外边(超声)打得挺激烈,(颅骨)里边却没丝毫动静、一点水花都没有,超声波几乎完全被颅骨散射和吸收了。”在前期屡败屡战的实验中,大家互相鼓励坚持下去。郑海荣说:“就像在挖一条隧道,没挖通之前总是黑暗笼罩,谁也不知道已经挖了多少,但只要确定大概的方向,坚持下去,终究会看到光明。”为打通这条“隧道”,他们回到科学理论中,引入非均匀多层介质中的“时间反演”理论,对每一个声信号通道的时空传播特征进行模拟、计算、调控与调试,实现各通道间纳秒级高精度控制,最终成功让上万个超声通道协同工作,“齐心协力”安全地穿过颅骨,精准聚焦在预定靶点,而且不引起脑组织损伤。一个通俗的解释是,就像北京2022年冬奥会开幕式《雪花》节目中,从节目结束时每位小演员的站位开始,通过“倒放”的方式确认每位小演员的出发时间、地点和行走路径。第二道难题是如何用核磁共振成像灵敏地检测到超声辐射力给神经元带来的4~5微米的精细变化。这事关刺激的精准,但超声本身“看不到”颅内自己的轨迹。为此,在项目支持下,他们坚持不懈开展攻关,发挥磁/声兼容的优势,创造性地研制了“快速磁共振射频激发与梯度编码成像技术、磁共振声辐射力成像技术”,用于监测超声辐射力刺激引起的微形变,有效地提高磁共振成像的时空分辨率和灵敏度,实现磁共振对于声波轨迹和靶点的敏感捕捉和可视化。2019年初,项目进行到第4年,研究团队终于解决这个问题,在“隧道”中迎来一束光明。合作才能融通高端科研仪器的研制不仅需要开创前沿科学理论,也要挑战诸多工程技术极限,只有团队相互协作、密切配合,才能实现共同的目标。该项目汇集了来自多家科研机构、不同学科背景的多个团队,70多位研究人员在统一的目标下开展分工合作。据郑海荣介绍,由他带领的深圳先进院团队主要承担超声辐射力高密度面阵辐射力发生器、万通道电子控制系统及实时磁共振刺激定位成像部件等仪器主体部分研制。强梯度声场设计工作主要由中国科学院声学研究所团队承担,刺激效果对标与标定工作由清华大学团队承担,神经生物学基础机制工作由浙江大学等团队承担,刺激的应用效果工作由首都医科大学、苏州大学团队承担。几年实践下来,多学科交叉团队形成了一套行之有效的工作机制和组织模式。“我们整个大仪器团队划分为12个小组,每周召开一次小组会,每月召开一次大组会,会议纪要有厚厚的几大本。”郑海荣介绍。研究成员表示,这样的机制形成了不同学科背景研究人员之间相互交流和学习、围绕同一目标共同攻关的良好氛围,为高效解决问题奠定了基础。如今,这台由中国科学家独创的高端仪器已经成为脑科学研究领域的“抢手货”。团队核心成员之一、深圳先进院研究员牛丽丽告诉《中国科学报》,目前已经有超过40家国内外科研机构使用了超声刺激仪器,主要应用在有癫痫、帕金森病、抑郁症、成瘾等疾病的小动物和非人灵长类大动物实验中,其有效性和安全性得到了验证。面向未来,让更多科学家用上这种仪器、助力人类脑疾病诊疗,是团队成员共同的期待。
  • 李春明秘书长:我国试验机行业发展概述
    仪器信息网讯 为提高广大试验机用户的应用水平,并促进用专家、用户、厂商之间的相互交流,2012年5月16日,在CISILE 2012召开期间,由中国仪器仪表行业协会试验机分会与仪器信息网主办、北京材料分析测试服务联盟与我要测网协办的“第一届中国试验机技术论坛”在中国国际展览中心综合楼二楼204会议室成功举办。  如下为中国仪器仪表行业协会试验仪器分会李春明秘书长所作报告的精彩内容:中国仪器仪表行业协会试验仪器分会李春明秘书长报告题目:我国试验机行业发展概述  对于我国试验机行业发展历程,李春明秘书长介绍到,从解放前几乎没有生产试验机产品的企业到计划经济体制下长春、天水等成为试验机主要的生产区域,初步开始形成一个小的试验机制造行业,再到改革开放30年我国试验机行业获得了快速发展,产品的品种、技术和品质都得到了快速发展,而且产品的应用几乎覆盖了现代工程科学理论研究和工程性能试验的各个领域;另外,还简要分析了国内试验机市场发展态势以及所面临的历史机遇、国际试验机技术的挑战等。  关于试验机行业的未来发展趋势,李春明秘书长指出,一方面朝着功能模块化、系列化、共用化(多功能)方向发展,一方面朝着特种、专业化方向发展;朝着准确模拟各种特殊环境、模拟实际工况的方向发展,以提供更接近特殊环境和实际工况的综合、复杂的试验条件;朝着自动化、智能化、网络化的方向发展;试验机自身的控制软件对其自身的技术水平和可靠性影响极大,而尽可能满足用户个性化要求的功能丰富、可扩展、可方便升级的应用软件已成为试验系统的重要品质。在一定意义上说,未来试验系统功能的优劣会在其系统的应用软件方面更多的表现出来。  李春明秘书长还分析了2011-2020年期间试验机的发展目标和关键技术突破,也详细指出了力学性能试验机、试验台、无损检测仪和零部件、整车、整机性能试验装置需要突破的关键技术;同时,应该积极探索试验机行业技术发展的创新机制:探索将国内国防工业、航天航空领域中的先进的测量、试验技术转移到试验机行业的模式或途经,探索利用市场机制加快企业重组兼并的力度,加快领军企业的形成,实际说明没有较大规模的企业实现企业的自主创新比较困难,探索工科院校和大企业联合研发关键技术和产品的机制,以及重视行业共性技术的研发模式或途径等。  最后,李春明秘书长还就十二五仪器仪表行业中的试验机行业发展规划作了相关解读。会议现场
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