超高真空残余气体分析四极质谱仪

APIX超高纯电子气质谱分析仪 结合了工艺先进的电子电路和功能强大的过程分析软件的、性能卓越 的大气压离子化质谱仪 (API-MS)使得 Thermo Scientific APIX 生产线提供的分析仪系统成为半导体和电子工业大宗气体连续质量控制的选择。 API-MS 为传统质量控制技术提供了一个成本-效益的替代方案，允许每种大宗气体中一系列潜在污染物浓度监测能够达到很低的测量下限；相较于其他技术，甚至能够优于100倍。 APIX产品线提供了更多完整的杂质分析，包括： H2、CO、CO2、H2O、O2、CH4 、Kr和 Xe ，以及其他需要测量的杂质。随着 300 mm 晶圆生产者发布更严格污染物控制气体质量标准，这种技术将持续的成为ppt级杂质测量下限的首选技术。 特点： 快速在线测量（典型＜5秒）确保 了立即响应供气的波动状况 完全集成的多分析器分析方案提 供了污染物的快速检测 超高的灵敏度和10ppm的测量下限满足当下以及未来的严格的气体分析要求 备份能力在单个大气压离子化分 析器（API）在维护时，允许每 一台大气压离子化质谱仪（APIMS）支持多流路分析 针对于工厂控制和数据集中的标准 化工业通讯协议 (OPC, DDE, Modbus, Siemens 3964R, PROFIBUS, 等等)应用 超高纯氮气（UHP N2） 超高纯氩气（UHP Ar） 超高纯氦气（UHP He） 超高纯氢气（UHP H2） 运行原理APIX δQ 和APIX Quattro 采用阳离子大气压离子化质谱仪 （ API-MS）技术, 该技术被电子工业广泛用于检测超纯气体中的污染物。进样时，样气以大气压或略高于大气压的压力进入离子源。 金属针设置在靠近由孔板行成的通向棱镜组的入口附近。它带有高的电压，能够产生电晕放电。这就产生了从孔板到针头的电子流。电子与离子源中 大量样气发生反应，从而导致大量样气气体分子的电离。 幸运的是，相对于氮气、氢气、氦气和氩气而言，这些出现在样气中浓度很低的污染物需要很少的能量就可以产生 电离。正是因为如此，任何污染物分子出现在样气中，它们与样气离子发生反应的几率就非常高。 这种反应发生时，电荷转移至污染物气体分子，这就形成了再次电离。 这个电荷转移导致非常高比例的污染物气体分子被电离。 事实上，这个效率比其他使用真空腔电离技术的质谱仪， 其效率要高1000倍。 部份样品、完全电离的污染物，经过一系列的减压透镜后，进入三重四级杆质谱仪。一个测量质量数达到300道尔顿（原子质量单位）三重四级杆能够确保实现所有污染物的精确测量。脉冲计数放大器的噪声等级仅为10个脉冲，每106个脉冲, 与大气压离子源配合后, 能够确保12数量级的测量下限，它可以低1012之一 (即1 ppt). 配置：APIX δQ的标准配置为一个单一机箱，它里面配置了1个大气压离子化质谱仪（API-MS）和 一个Air Liquide 气体处理单元，它能够用于ppb或ppt级自动校准。标准机箱是为 相对空气洁净且有温度控制的环境而配置；如果需要，一定数量的冷却降温和吹扫选项也可以满足更多环境需求。 APIX Quattro 标准配置使用了三个机箱，两个配置了4 个大气压离子化质谱仪（API-MS）独立机箱，和第三个装有一个Air Liquide 气体处理单元机箱。 四个质谱仪中的每一个都安装在滑轨上，以便向前拖出，便于维护。 顶部安装的机箱盖包含流路切换阀组， 用于采样气体连接。它允许多个流路连接到每个独立的 散装气体分析器。这种流路选择可以是手动或完全自动完成。每一个大气压离子化质谱仪（ API-MS ）都是独立的，并且都具备多流路切换功能。当一台质谱仪进行年度固定维护时，可以使用其余三台质谱仪监测四个散装气体。 在这两种配置的机箱盖组件包含一个氢安全系统，以确保质谱仪在氢气泄漏时安全关闭。这个安全设备使用独立于质谱仪供电。如果需要有限的机动性，可以提供一组车轮，使该质谱仪能够安全地从一个测试点推送到另一个测试点。 每一个质谱仪通过使用后备电池闪存、运行实时的操作系统的处理器控制。这个处理器作为一系列内部控制器的主人，它们之间的通过以太电缆实现互联。 这些微处理器中的每一个都能作为一个独立部件单独运行，例如气体处理器和多流路进样系统。气体处理器仅需要一个单独的校准气瓶并结合了来自渗透管装置的湿度校准。 内部配电装置通过内部分析仪网络进行监测和控制。 这一设计拓展了 GasWorks 软件的诊断能力。每一个多处理器网络提供了冗余的通讯渠道，允许质谱仪可靠、不需要电脑工作站独立运行，直接传送样品流路数据和诊断信息至DCS或SCADA系统。每一个通讯渠道都可被配置为点对点的 光纤通讯或是硬接线的电流回路、多点连接 。每个分析器都可以配置一个嵌入式opc服务器，与 Microsoft 主机或多种工艺网关协议(Modbus, Siemens, Allen-Bradley, 等.)实现无缝通信 。如果需要质谱仪提供硬接线模拟检测和数字报警输出， OPTO 22 SNAP 和 OPTOMIX 协议将被完全支持，一系列硬件卡件能够使用。 Thermo Scientific GasWorks 软件 Thermo Scientific GasWorks 软件包为质谱仪操作提供了一个直观的、信息丰富且灵活的窗口。使用安装了Gasworks软件的一台电脑可以完成初始设置，过程数据和诊断信息的显示。我们也可以断开电脑与APIX的连接；APIX能够脱离与电脑的连接而独立运行于无人值守模式。 从设计概念到数代产品，完全认可的ISO 9001质量程序得到了软件团队的严格执行。 软件安装可以随时检查，以确保其可验证的完整性和正确性。软件更新可以远程上传。 技术参数测量方式APIX δQ: 1x 三重四级杆质谱分析器 APIX Quattro: 4x 三重四级杆质谱分析器质量范围1-300 AMU离子源类型大气压离子化离子源背景＜1 ppt放大器和动态测量范围100 MHz脉冲计数型检测器脉冲计数通道电子倍增器检测噪声每106 有10个数检测下限 10 ppt (根据组份变化)分析时间（典型） 1s每个组份流路切换时间（典型）15分钟至 1 ppb适合的大宗气体H2 , N2 , Ar, He串口连接类型RS232, RS422, RS485检测的污染物H02 , He, CO, CO2 , O2 , CH4 , Kr 和 Xe (其他污染物也可检测)外形尺寸APIX δQ: 1.9 m (H) x 0.7 m (W) x 0.65 m (D) APIX Quattro: 1.9 m (H) x 2.1 m (W) x 0.65 m (D)

基于20多年稀有气体质谱仪的经验，Thermo Scientific开发了系列新一代多接收稀有气体质谱仪。它结合创造性的新特征和经过实践验证的成熟的同位素质谱技术，开发了Helix MC Plus、Helix SFT和ARGUS VI三款先进的静态真空稀有气体质谱仪，是多接收静态惰性气体质谱迈进的重要一步。Thermo Scientific HELIX SFT质谱是为氦同位素同时分析及高精度跳峰分析而设计的高分辨、多接收系统，可以同时测定3He和4He，也可以用跳峰模式测量任何稀有气体同位素。 主要特点 该系统可同时测量氦同位素，无需跳峰扫描，减少了分析时间，获得了更高的精度和产出效率； 丰度灵敏度：由于HELIX SFT独特的设计，质量4对质量3的贡献小于1ppb； 体积：HELIX SFT的内部体积约1400cc，这是当前技术的重要提升； 分辨率：低质量数接收器，通常用来测定3He，其分辨率大于700，这保证了3He 能够和两个干扰峰HD和H分开； 1010Ω/1011Ω/1012Ω/1013Ω放大器拥有不同的动态范围范围使大部分分析都能在长寿命的法拉第接收器上进行。

产品简介：NGX-600是一台全自动、高精度的质谱仪，具有全面的多接收能力，可以高分辨率地测量稀有气体同位素比率。它配备有高灵敏度的“Nier”型气源和小体积静态真空计。探测阵列由可以定制组合的法拉第杯和离子计数电子倍增器组成。NGX标配了ATONA放大器。设计特点：- 紧凑设计- 大半径的磁场确保其有更佳的离子传送、质量分辨率和稳定性- 可旋转离子焦平面使接收器焦平面和离子轨迹垂直，不论接收器和离子焦平面的初始相对位置如何，均可确保更佳的峰平坦度- 专利（专利号GB2552233）的新一代电子校正ATONA放大器，用于全部法拉第杯- 小体积设计- 新一代高灵敏度离子源- 高质量分辨率，可以排除有机物基质干扰，从HD中分辨3He，从双电荷40Ar中分辨20Ne。- 全面的多接收能力，可选配置实现同时测定氙的9种同位素。一台仪器适用于多种稀有气体。应用领域：地质年代学、天体化学和热年代学等研究领域中稀有气体 He、Ne、Ar、Kr 和 Xe 的同位素分析。

基于20多年稀有气体质谱仪的经验，Thermo Scientific开发了系列新一代多接收稀有气体质谱仪。它结合创造性的新特征和经过实践验证的成熟的同位素质谱技术，开发了Helix MC Plus、Helix SFT和ARGUS VI三款先进的静态真空稀有气体质谱仪，是多接收静态惰性气体质谱迈进的重要一步。Thermo Scientific Helix MC Plus质谱是专为微量样品稀有气体分析而设计的高分辨磁质谱，可实现氖、氩、氪、氙惰性气体中任何五个同位素的同时检测。主要特点： 该系统可测量氖、氩、氪和氙的同位素。同时多达5个同位素的多接收测量无需跳峰，减少了分析时间，获得了更高的精度和产出效率； 可以进行跳峰测量，如氦同位素； 接收器动态范围：考虑到CFM接收器结合了法拉第和CCD，能够获得更大样品浓度范围的测量能力； 分辨率：标准分辨率接收器750(10%峰谷)能够解决标准碳水化合物干扰，而 1500（10%峰谷）分辨的高分辨接收器能够使得很多科学问题得到解决； 1010Ω/1011Ω/1012Ω/1013Ω 放大器拥有不同的动态范围范围使大部分分析都能在长寿命的法拉第接收器上进行。

Thermo Scientific™ TSQ Fortis™ 三重四极杆质谱仪以其可靠性和耐用性提高了目标定量实验室的分析效率。该系统能够可靠地解答每个样品更为复杂的问题，同时取得可重现的结果，这使得其更容易满足当今的需求。TSQ Fortis 质谱仪能够与行业领先的定量软件、高效液相色谱仪、超高效液相色谱仪以及样品制备系统实现无缝集成 它还能为各种分子形态的目标物定量流程实现更高的效率。其他优点包括：每天进一步分析每个样品中的化合物，在驻留时间较短时具有出色的定量性能。具有超高的耐用性，延长了仪器运行时间，从而提高了数据的可靠性。简单易用，能帮助不同专业级水平的用户获得高质量的数据，并提高分析结果的可靠性。Thermo Scientific™ TraceFinder™ 软件简单易用（从方法开发到报告生成），因此专业水准的用户能获得高质量的数据。

仪器简介 英国Hiden公司的HAL 201 RC超高真空残余气体分析四极质谱仪专为检测超高真空容器中的存在组分而设计，针对真空诊断进行精确的分析。 离子源为镀金离子源，适合应用在总压小于5 x 10-10mbar的领域，其系统与EPIC离子/分子分析质谱仪完全兼容。 主要特点：镀金离子源，以减少离子源脱气 氧化物涂层双铱丝的离子源 双法拉第/ Channeltron电子倍增器检测器 技术规格：质量数范围： 200，300 amu扫描速度： 100amu/s 最小扫描步阶：0.01amu 灵敏度： 0.1 ppm～1ppm 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5% 最小检测分压：5 x 10-14 mbar 最大工作压力：1 x 10-4 mbar

仪器简介：HALO 201 MBE 分子束外延残余气体分析四极质谱仪用于泄漏探测、趋势分析、真空诊断的过程监测和残余气体的精确分析。该分子束外延特定分析质谱仪由兼容性材料组成，并能在分子束外延环境中长期使用。 主要特点：钼铜布线增加MBE环境下系统的寿命 抗污染离子源护罩 双法拉第/ channelplate电子倍增器 技术规格：质量数范围： 1～300 amu 扫描速度： 100amu/s 最小扫描步阶：0.01amu 灵敏度： 0.1 ppm～1ppm 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5% 最小检测分压：2 x 10-13 mbar 最大工作压力：1 x 10-4 mbar Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)

残余气体分析仪四极杆质谱仪是用于在真空系统中评估残余气体成分的经典测量仪。质谱仪为气体成分质量 - 电荷比供应的离子电流提供有关真空系统在多个操作阶段有用的信息，无论是用于确定安装后的气密性和无污染性还是在操作真空处理时用于其特性。根据真空室和抽气系统的设计，在真空系统中获得的压力范围决定了质谱仪对检测器的选择。在高真空中，通常一个法拉第检测器就足够了，而在高真空中检测非常低的气体密度时，一个二级电子倍增器是必要的。另一个重要标准则是待检测的质量范围。在传统的真空系统中，大气中的气体，例如氮气、氧气、氩气、水蒸汽等，通常受到轻烃污染是重点。为了检测这些气体，范围在 1 至 100 原子质量单位 (amu) 之间的四极杆质谱仪是理想的，因为在该范围内显示了良好的质量分离。若较重的气体及其组成成分也须检测出来，如长链烃，普发真空也为此提供了范围在 1?200 amu 或 1?300 amu 之间的质量过滤器。开放的离子源在大多数残余气体分析任务中是最佳选择，因为它们将稳健的设计与较高的检测灵敏度相结合。凭借封闭或交叉束离子源，可有利地掌握必须分析气体喷流或气体流的任务。对于超高真空范围，也可提供具有极低释气率的栅网离子源。由于有大量的部件可供选择，且得益于普发真空四极杆质谱仪的精确配置，质谱仪可作为所有测量任务的最佳选择。我们的产品和应用专家拥有多年的经验，将十分乐意为您提供有关残余气体分析仪配置方面的一些建议。PrismaPlust四极质谱仪：PrismaPlusTM是新型定量定性气体分析和检漏的质谱仪。该四极质谱仪积累了丰富的应用经验，高灵敏度，高稳定性和智慧化操作的完美结合是 PrismaPlusTM 四极质谱仪新的优点。在适用中客户将感受到它坚固，紧凑的设计和简单的系统集成，并从中受益。通过可选择质量数范围，检测器、离子源和介面介面等，该四极质谱仪可以应用于多个领域，例如：工业和分析领域、研发、检漏、半导体生产以及镀膜工艺等。PrismaPlusTM 四极质谱仪是从品质保证，残气分析直至综合的定量分析工作等应用领域的最佳方案。PrismaPlusTM 四极质谱仪可 以在三个不同的质量数范围（1-100，1-200，1-300 amu）内，下至检测极限1*10-14 mbar 情况下给出精确的检测结果。在真空系统中，配合有效的法拉, 第和电子倍增检测仪，即使很低程度的污染也可以被快速地识别出来。除显示可选择的分压外，直接增加一个压力量规，PrismaPlusTM 四极质谱仪就可以作为一个精确的全压监控器使用。Quadera 软件不仅操作简单，它还提供了捕获和观察所有测试资料以及参数记录的易读平台。结合多种可供选择的介面介面，例如乙太网，数位式和类比式输入输出，可以方便地集成到各种系统中去。轻点滑鼠就可以启动预设的功能。Hiquad700是一款高分辨率的四极质谱议质量范围选择为 1-2048 amu超过九个数量级的动态量程极快的测量速度：0.125 ms/amu最小可检分压 10E-16 mbar极高的分辨能力，可以分析小分子气体同位素分压比0.3ppb超过 10 个不同的离子源和离子光学组合离散或连续倍增电极电子倍增器选件用于正负离子以及中性粒子分析的离子计数前置放大器IO 选项：8 个模拟输入/输出和 32 个数字输入/输出软件功能强大，灵活实用且具友好的用户界面

仪器简介：HIDEN RGA/3F/PIC 系列残余气体分析四极质谱仪(Residual Gas Analysers)，检测容器中的存在组分，或进行过程中产生气体的分析。针对真空诊断的精确分析。1-50amu高分辨四极杆质谱。 残余气体或泄漏检测 实际泄漏或脱附分析 除气研究 烘烤周期 泵效能 腔室/过程气体污染物主要特点： 灵敏度PPM,质量数至300amu 稳定性（24小时以上，峰高变化小于±0.5%） MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制 阈值离子化模式分析D2/He 快速显示柱状图、趋势分析和信号峰 混合模式扫描－多个windows窗口显示信息，例如趋势、柱状图和信号峰 同步显示数据图，列表 同步背景扣除，自动质量数列表 数据输出为ASCII格式，至windows设备 即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件，例如 Excel、SPC-IV统计过程控制软件等

仪器简介：3F 1000/2000 Series三级过滤高分辨四极质谱仪(Triple Filter Quadrupole Mass Spectrometers)用于精密气体分析和研究应用。 三级过滤高分辨四极杆最大限度地减少不需要的离子污染，预四极杆、主四极杆和后四极杆工作时有不同频率的选择，有6、9、12mm直径的四级杆可选，因此可以增加质量分辨率，离子灵敏度，高精度残余气体测量的稳定性。主要特点：灵敏度高，检测范围从5ppb至100% 离子源控制用于软离子化和表观电势质谱 灵敏度增强有利于质量数较大离子传送 6、9、12 mm直径的四极杆可选 多种离子源配置供选择 在一级滤过处增加射频，抗污染物 升温脱附实验时，温度数值同步显示 SEM或PIC检测器，可选双Faraday/ SEM或Faraday/ PIC模式 通过RS232、USB或Ethernet连接计算机，MASsoft软件控制 0～150eV全电子能量控制，与TIMS模式互补技术规格：质量数范围： 1～300 amu（标准配置） 500、1000、2500 amu（选配） 测量速度： 500 points/s 分辨率： 0.1% Valley、1% Valley 动态范围： 107 最低检测分压：2 x 10-14 mbar 软离子化： 0～150eV 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5%

仪器简介：qRGA托卡马克装置残余气体分析质谱仪专为阈值电离质谱(TIMS)模式下操作，核聚变系统燃料输送进行分析而设计的质谱仪。 通过控制TIMS模式提供的电子发射能量，能对D2 和4He的同位素进行分析检测。 主要特点：实时定量分析 ppm级检测水平 在常规质量分析和TIMS模式下操作 电子能量分辨率为0.1 eV 辐射屏蔽和磁屏蔽，低耗费运行 技术规格：质量数范围：1～200 amu 软离子化： 0～150eV 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5%

因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准 残余气体分析仪 Hicube RGA 上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA. 四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube 涡轮分子泵组的搭配, 质量数范围 1-300, 高分辨率和灵敏度. 适用于残余气体分析, 过程监测, 泄漏检测.残余气体分析仪 Hicube RGA 优势残余气体分析和氦气泄漏检测模式可用于从大气压至高真空环境高分辨率和灵敏度通过真空压力监测保护灯丝进气系统带集成式切断阀Pfeiffer 残余气体分析仪 Hicube RGA 技术规格 涡轮分子泵组HiCube&trade Eco功耗170W电压（范围）110 - 240 V 50 / 60 Hz氮气抽速67 l/s前级泵在 50 Hz 时的泵送速度1 m3/h极限真空1X10-7 hPa真空计PKR 361测量范围1X10-9 至 1X103 hPa阀门EVN 116气体流量可调整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s进气口DN 16 ISO-KF PrismaProQMG 250 F1QMG 250 F2QMG 250 F3QMG 250 M1QMG 250 M2QMG 250 M3检测器法拉第 Faraday (F)电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)质量数 amu1–1001–2001–3001–1001–2001–300四极杆直径／长度6 /125 mm最小检测极限 F hPa *1,24X10-135X10-137X10-13---最小检测极限 M hPa *1,2---3X10-154X10-155X10-15对Ar的灵敏度 F A/hPa*35X10-44X10-43X10-45X10-44X10-43X10-4最大工作压力 F hPa5X10-4最大工作压力 M hPa---5X10-55X10-55X10-5对临近质量数的影响*1 10 ppm 20 ppm 50 ppm 10 ppm 20 ppm 50 ppm操作温度 分析200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)操作温度 电子5 – 50 °C烘烤温度 分析300 °C连接法兰DN 40 CF-F保压时间1 ms – 16 s/amu峰比值可重复性± 0.5 %接口以太网电源电压100–240 V AC，50/60 HzHiCube&trade RGA重量25.5 - 26.2 kg 残余气体分析仪 Hicube RGA 典型应用 残余气体分析: 对真空系统中残余气体的分析, 可以获知在达到所需的最终压力或调节要求时, 残余物质的组成. 由此可以得出各种有关系统表面性质, 脱附行为, 纯度和密封性以及工艺气体成分的结论. 这将为您提供有关真空室或真空组件状态的重要信息.泄漏检测: 上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA 具有氦气泄漏检测模式, 可以通过软件控制激活. 此功能可以方便您发现真空系统中的任何泄漏.过程监控: HiCube RGA 可以在最大 300u 的测量范围内随时间观察任意数量的选定质量强度, 并可对选定的各质量分配警报循环阈值. 如果它们高于或低于所需极限, 则可以通过数字输出将信号提供给更高级别的控制系统. 因此残余气体分析仪 HiCube RGA 能够提供实时过程观察和控制功能. EVN 116 气体计量阀还可以使真空系统中的压力适应相应过程需求, 此外, 集成式切断阀还允许对泄漏设定点进行快速开/关控制.质量保证和过程优化: 诸如提供气体成分定量测定, 确定过程气体纯度, 以及监测真空镀膜过程相关气体成分等能力, 残余气体分析仪 HiCube RGA 是过程记录和质量保证中的重要工具. 即使测量正在执行, 所有测量值也会得到存储, 并且可以在不停止测量的情况下追踪. 即使仍在执行测量, 也可以导出测量结果以进行进一步分析.若您需要进一步的了解残余气体分析仪详细信息或讨论, 请联络：上海伯东: 叶女士 上海伯东版权所有, 翻拷必究！

价格货期电议残余气体分析仪应用于电化学反应研究电池反应过程上海伯东客户南京某大学经过伯东推荐, 采购 Pfeiffer PrismaPro 残余气体分析仪搭建分析系统, 检测电池充放电过程中的逸出气体如 H2, CO, CO2, N2 等, 用于研究锂电池 (三元材料, 磷酸铁锂之类的) 反应过程, 解决电池使用过程中的鼓包, 衰减等问题, 从而开发动力性高比能量电池.残余气体分析系统主要配置: 根据课题组实际需求, 上海伯东推荐配置包括: Pfeiffer PrismaPro 四级杆检测器 QMG 250 M1, 分子泵组 Hicube 80, 四通腔体, 全量程真空计 PKR 251等.残余气体分析系统搭建好后, 通过分子泵组对腔体进行抽真空, 真空计读取真空度, 当腔体真空度达到10-4mbar以下后, 开启四级杆质谱仪进行残余气体分析, 如果真空计监测到真空度在10-4mbar以上, 则不允许开启四级杆质谱仪. 通过分析仪毛细管直接进样, 配置新一代的操作软件 PV MassSpec, 可定量定性评估真空系统中的残余气体成分!该系统具有灵活, 经济, 性价比高的特点, 特别适合一些特殊的反应场景. 用户可根据自己的实际应用自由选择不同型号的模块, 灵活搭建出更适合自己的检测手段. 总成本上既比整机采购节省了将近一半, 也创造出了一套适用自己的研究方案, 特别适合分析锂电池 (三元材料, 磷酸铁锂之类的) 电化学反应.若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请联络上海伯东叶女士

完整设计的 QMS 403 A?olos Quadro 可与 TGA、STA、DSC、DIL 系统联用QMS 403 A?olos Quadro 四级杆质谱是一款紧凑型的新型质谱仪，带有可加热的毛细管入口系统，既可用于常规气体分析，更是特别适合于热分析挥发性分解产物的分析。这套系统的优化设计使其可以连接到不同仪器，如 DSC、TGA、DIL。优化的气流设计有利于联用• 单步减压• 300°C 加热（可选350°C）可以有效降低整个气体传输管线上的局部“冷点”• 加热腔体，可以便捷、精确调节石英玻璃毛细管入口到 QMS 的距离• 设计灵活，可以进行标准热分析测量，也可以与 TGA、MS（GC-MS）、MS-FTIR 同步测量• 结实耐用、维护便捷，具有高灵敏度（可检测 μg 级别失重）• TGA-MS 可以在湿度气氛下测试• 带有预过滤器的双曲面四级杆系统可以改进高质量数（大分子）的传输，也有利于改进低质量数（如 H2、He）的检测灵敏度• 配备分立二发射极和集成式法拉第杯的 SEM 具有高的动态范围，和长的使用寿命• 可以三维形式呈现 MS 信号和热分析数据• 通过 Proteus 软件进行操作和数据分析 完善的加热传输系统和单步减压设计，可以实现无冷凝的气体传输加热至较高温度的气体传输系统，以及无减压孔的设计，可以有效避免分解产物的冷凝，保证了高的检测灵敏度，便于定量分析所识别的气体。带毛细管的入口系统还可以用于其他来源的气体（非热分析系统产生的逸出气体）分析。NETZSCH 热分析设计NETZSCH 热分析设备在设计阶段就考虑到了联用分析的可行性，在过去 40 多年中，每一次开发新产品都会考虑并优化气体传输路径：从炉体出气口、到适配器和毛细管、再到达 QMS 进气口。如今，由于冷凝导致的气体损失几乎完全被消除，只需很小的载气流量就可以将气体产物完全带出，对样品释放的挥发产物稀释程度最小，从而可以确保 TGA/STA/DIL- QMS 403 A?olos Quadro 联用系统具有高的检测灵敏度。 QMS 403 A?olos Quadro 联用的应用分解 ①脱水 ②稳定性 ③残余 ④溶剂热解气固反应 ①燃烧 ②氧化 ③ 腐蚀 ④吸附 ⑤ 脱附 ⑥催化组分分析 ①聚合物含量 ②成分计算 ③粘结剂烧失 ④脱蜡 ⑤灰分蒸发 ①蒸气压 ②升华QMS 403 A?olos Quadro - 技术参数（持续更新中）质量范围：1u ～ 300u, 可选配 512u，带自动调谐功能离子源：Cross beam El阴极/灯丝：两个涂覆 Y2O3 的铱阴极检测器：带分立二次发射极和集成式法拉第杯的 SEM真空系统：带 4 级隔膜泵的涡轮分子泵（无油）毛细管：石英玻璃（最高 300°C），可选不锈钢（最高 350°C），带加热线圈，方便更换可控温度的适配连接头：毛细管与 QMS 入口系统加热最高温度 300°C（可选350°C）减压方式：单级，从 103mbar 到 5x10-6mbar，无孔锥QMS 测量模式：模拟扫描、柱状图扫描、多离子跟踪QMS 403 A?olos Quadro - 软件功能Proteus 软件能够控制 QMS 403 A?olos Quadro 和热分析仪，这两种方法的操作控制和数据采集都通过同一个软件实现。单独编辑定义热分析相关参数（如温度程序、升温速率等）和质谱相关参数（如质量数范围、扫描方式等）同步开始或停止联用测试在 Proteus 软件中分析 MS 结果以 3D 图形式显示温度、TGA/DSC 曲线、质量数轨迹图之间的关系，包括峰值确定、不同配色主题与表面视角质谱数据可导出成 NIST 格式，便于在 NIST 数据库进行检索识别QMS 403 A?olos Quadro - 应用实例Nd2(SO4)3*5H2O 逸出气体分析29.53 mg 的 Nd2(SO4)3*5H2O 在氮气气氛、10 K/min 升温速率下加热至 1400°C。MID 曲线包括水、氧与二氧化硫三种气态产物，与 TG 曲线上的相应失重台阶对应的很好。硅晶 - 有机污染下图实例使用综合热分析仪 STA449F1 Jupiter 与四极质谱仪 QMS 403 D A?olos 相联用，对硅晶片上的微量有机污染物进行了鉴定。测量使用 1.6g 的大体积样品，放到氧化铝坩埚（5ml）中，在混合空气气氛下、以 10K/min 的升温速率加热至 800°C。由于有机成分的释放，使得样品在 700°C 之前出现了两个非常小的质量失重台阶（0.002% 和 0.008%）。作为演示，下图仅示出核质比 m/z 15, 51 和 78。硅晶的 STA-MS 测量：500-800℃之间的失重台阶产生 m/z 15, 78, 51钴酸锂正极材料 -- 热稳定性（QMS）钴酸锂被广泛地用作锂离子电池的正极材料。在设计内在更安全、更高效的电池系统时，该正极材料的热稳定性也是一个重要因素。在本例中，经过脱锂的钴酸锂材料从纽扣电池中取出，放入 NETZSCH STA449F1 Jupiter 与 QMS 403 Aeolos Quadro 联用设备中进行分析。正极材料在升温过程中显示有几个离散的分解台阶。在联用质谱的帮助下，可以很容易地理解材料的分解路径，以及正极材料经过循环后的深层结构变化。

MS GAS-100气体分析质谱仪用于对气体和挥发物质，包括同位素、溶剂和可挥发有机物进行复杂的精确分析。 系统组成：质谱分析模块：由开放/封闭版电子碰撞离子源，两个独立灯丝和一个四级质朴分析器组成。质量范围分为1-100、1-200和1-300 amu。系统中应用两种检测器：法拉第检测器：灵敏度低于10ppm次级电子倍增检测器（SEM）：灵敏度低于100ppb高效真空泵系统：真空室内置加热元件；专用汽水分离模块；双泵抽真空模块，包括前级隔膜泵和涡轮分子泵。恒温加热元件可以去除真空室中的杂质。汽水分离模块中的电子控制斯特林制冷器可以高效抑制水分子背景，从而显著提高离子源寿命。这一模块可以连续运行数周。温度可以由用户自定义，从而监测特定的挥发物质，如乙醇等。进样单元：模块化设计，可互换渗透膜探头或针阀进样器。渗透膜探头允许溶解物质通过，既可以测量液态样品，也可以测量环境气体。针阀进样器适用于直接测量气态样品中的挥发物质。真空压传感器：测量真空室中的总压力和进样单元中的压力，确保不会损坏质谱分析器。集成触屏监控器：可手动控制加热/制冷温度，开闭进样器、分流阀和安全阀。可通过预设程序进行自动测量。控制软件：操作设定质谱仪、获取测量数据、编写用户自定义测量程序用于测量特定的物质。应用领域： 气体和液体样品的气体交换，如藻类光合作用（CO2、O2）、生物燃料研究（H2、乙醇、烃类）一台仪器即可进行多种气体和挥发物质的长期监测两种进样单元，即可测量气体也可测量液体模块进样设计，多种接口可选，可以进行整株植物或细胞悬液的气体交换分析固氮生物研究（N2）18O2标记光呼吸研究同位素分布分析气体污染研究（CH4，H2S，NOx，SO2，CS2，CO等）水污染研究（可溶性有害气体、挥发性有机物等） 技术参数：分析气体种类：气体：CO2、O2、H2、N2、C2H4、CH4、H2S、NOx、SO2、CS2、CO等挥发性有机物：乙醇、烃类、苯、甲苯、丙酮等 质谱分析器：残余气体分析器（RGA）质量范围：1-100 amu、1-200 amu、1-300 amu离子源：开放或封闭版电子碰撞离子源，两个独立灯丝（灯丝材料：yttriated iridium）检测器：法拉第检测器：灵敏度10ppm次级电子倍增检测器（SEM）：灵敏度100ppb响应时间：20秒真空系统：前级隔膜泵和涡轮分子泵进样器：渗透膜探头（PDMS）或针阀进样器加热系统：100W恒温加热元件，最高温度90℃制冷系统：电子控制内置斯特林制冷汽水分离模块，最低温度-80压力传感器：高真空压传感器用于测量真空室中总压力；进样器压力传感器用于保护质谱分析器触控屏：系统控制并显示实际读数BIOS：可升级固件通讯端口：千兆以太网，TCP/IP协议外部工作站：预装专用软件，操作设定质谱仪、获取测量数据、编写用户自定义测量程序用于测量特定的物质尺寸：54.5×72×45.5cm重量：65kg供电：110-230V交流电应用案例：配合FMT150藻类培养与在线监测系统测量蓝藻Synechocystis 6803光补偿点（测量O2）。配合专用测量室和FluorCam便携式叶绿素荧光成像系统，测量整株番茄的光合作用（测量CO2），同时与Li6400测量数据进行对比，可见MS GAS-100的稳定性和重复性要远远高于Li6400。 产地：欧洲 参考文献：1. Zav?el T. et al, 2016, A quantitative evaluation of ethylene production in the recombinant cyanobacterium Synechocystis sp. PCC 6803 harboring the ethylene-forming enzyme by membrane inlet mass spectrometry. Bioresource Technology, 202:142-1512. Zav?el T., ?erveny J., Knoop H., Steuer R., 2016, Optimizing cyanobacterial product synthesis: Meeting the challenges. Bioengineered, 7(6): 490-496.

RGA系列残余气体分析仪可以定量和定性分析出真空腔中残余气体的浓度和成分。RGA系列残余气体分析仪特点◇100，200，和300amu ◇优于1amu的分辨率◇6个量级的动态范围 ◇可检测5 x 10-14Torr◇实时RGA Windows和LabVIEW软件 ◇质谱，泄漏检测和压力对时间方式 ◇现场可更换的电子倍增器和灯丝 ◇RS232计算机接口RGA系列残余气体分析仪选型表残余气体分析仪（RGA）划分为100、200、300amu三种型号，其优异的性能使其成为真空分析仪中领先产品。每一个RGA系统都由一个四级杆探针和电子控制单元组成，实时分析windows软件包可以更方便用于数据采集和分析，并可进行远程控制。探测器类型 标准法拉第杯(FC), 可选电子倍增 (EM)分辨率 优于0.5amu灵敏度(A/Torr) 2 × 10?4 (FC), 200 (EM).探测极限 5 × 10?11 Torr (FC), 5 × 10?14 Torr (EM)测试范围 10?4 Torr to UHV (FC) 10?6 Torr to UHV (EM)操作温度 70 °C (max.)工作温度 300 °C (without ECU)

价格电议Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro上海伯东德国 Pfeiffer 残余气体分析仪(四级杆质谱仪)集高灵敏度, 高稳定性和智能操作于一体, 配置新一代的操作软件 PV MassSpec, 可定量定性评估真空系统中的残余气体成分. 最低可检测分压 3 X10-15 hPa.Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 特性:模块化设计保证兼容性, JSON 编程界面和多种接口易于系统集成 分析仪器和电子单元可灵活互换 双灯丝延长工作时间 最低可检测分压 3 X10-15 hPa可直接连接真空计, 方便测量压力 Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 技术参数:型号QMG 250 F1QMG 250 F2QMG 250 F3QMG 250 M1QMG 250 M2QMG 250 M3检测器法拉第 Faraday (F)电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)质量数 amu1–1001–2001–3001–1001–2001–300四极杆直径／长度6 /125 mm最小检测极限 F hPa *1,24X10-135X10-13 7X10-13---最小检测极限 M hPa *1,2---3X10-154X10-15 5X10-15对Ar的灵敏度 F A/hPa*35X10-4 4X10-43X10-45X10-44X10-43X10-4工作压力 F hPa5X10-4 工作压力 M hPa---5X10-5 5X10-55X10-5对临近质量数的影响*1 10 ppm 20 ppm 50 ppm 10 ppm 20 ppm 50 ppm操作温度 分析200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)操作温度 电子5 – 50 °C烘烤温度 分析300 °C连接法兰DN 40 CF-F保压时间1 ms – 16 s/amu重量2.5 kg3.2 kg* 1 开放式离子源,* 2 停留时间 4秒*3 与C-SEM相比, 具有较高的灵敏度Pfeiffer 残余气体分析仪结构视频若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请联络上海伯东罗先生

仪器简介：先锋公司代理美国SRS公司的RGA100残余气体分析仪是一种可用于在线监测的真空设备，主要用来检测真空腔中的气体成分和气体浓度。其残余气体分析仪可以达到百万量级的动态范围，优于1amu的分辨率，5× 10-4Torr的探测极限，带有分析软件和RS232接口。优异的性能，超高的性价比，完全满足您真空方面的科研实验。技术参数：RGA残余气体分析仪主要参数如下： &bull 100, 200 and 300 amu systems &bull Better than 1 amu resolution &bull 6 decades of dynamic range &bull 5 × 10&minus 14 Torr detection limit &bull RGA Windows & LabVIEW software &bull Field-replaceable electron multiplier and filament &bull RS-232 interface主要特点：在真空腔内RGA离子分化器将气体分子电离，电离后的带电粒子进入四极杆产生的偏转电场内，由于不同的粒子质量数不一样，在一定的电场作用下所形成的偏转半径就不一样。相当于我们在四极杆上加特定的电场就会有特定质量数的离子打到探测器阳极上，探测器所产生的电流正比于气体分子的浓度。进一步改变电场，就可以检测到不同质量数离子的浓度。之后我们再做电场扫描，就可以计算出真空腔中所含气体的成分。

微分电化学质谱（Differential Electrochemical Mass Spectrometry DEMS）是将电化学和质谱技术相结合而发展起来的一种现代电化学现场测试手段；它可现场检测电化学反应中的挥发性气体产物及动力学参数，中间体及其结构的性质等；当电极反应产物为共析出时，DEMS技术可同时确定每种产物的法拉第电流随电极电位或时间的变化。 Hiden现在发布了世界上首款商业化的电化学质谱仪DEMS，结合了电化学半电池实验和四极质谱仪的差分电化学质谱（DEMS），可以进行实时原位分析电化学反应中的挥发性反应物、中间体、反应产物。当电极反应产物为共析出时，该质谱DEMS可同时确定每种产物的含量随电极电位或时间的变化。DEMS质谱仪是带有一个电化学半电池、气体过滤膜系统、快速隔离阀系统、真空系统的四极质谱仪。 特点：1.商业化电化学质谱仪2.实时原位分析3.定性和定量分析 参数：1. 质量数范围：50，200 ，300 amu2. 分辨率： 1 amu3. 灵敏度：0.1 ppm 或者5 ppb（三重过滤四极杆）4. 用户可涂覆的铂碳电极，额外的4个电极接口，可更换的纳米膜5. 软离子化技术

新一代紧凑型质谱仪——PrismaPro模块化设计。强大的软件支持。低检测限。PrismaPro 集高灵敏度、高稳定性和智能操作于一体，是质谱技术的完美解决方案。用途广泛其模块化设计为您提供多种应用选项，可用于工业和分析仪器、研发、半导体生产和真空镀膜领域。PrismaPro 是一种理想的解决方案，可用于从质量控制、泄漏检测和对复杂的残余气体的分析定性定量的工作。新一代软件新开发的 PV MassSpec 软件是另外一个加分项。除了特别易于操作，它还可以用作转移所有测量数据的易于读取的平台。开放式编程界面除了 PV MassSpec，已经发布的 PrismaPro 的 JSON 编程界面也可以直接访问。通过多种选择的接口，如数字和模拟输入和输出或以太网，可以轻松地集成到您的系统。我们遍布全球的产品和服务专家随时准备着为您提供 PrismaPro方面的应用服务。普发真空拥有十多年的客户积淀和应用经验，是您理想的合作伙伴。应用领域加速器 真空镀膜 工业应用 产品优势一览尺寸紧凑性能卓越多种接口易于系统集成可通过以太网进行联网高测量速度、稳定性和高分辨率分析仪器和电子单元可灵活互换双灯丝延长工作时间最低可检测分压 3 10-15 hPa (mbar)可直接连接真空计，易于测量总压力PV MassSpec 软件操作直观，节省时间一流的的技术支持和全球统一的现场服务JSON 编程界面易于系统集成PV MassSpec – 用于 PrismaPro 的新软件PV MassSpec 软件专门为 PrismaPro 开发，为测量数据和参数记录的获取和可视化提供了一种易于读取、用户友好的平台。可以对全套测量程序进行编程。图片说明：PV MassSpec 测量程序■ 用户友好、操作直观■ 通过内置程序自动进行测量■ 只需单击即可进行泄漏检测和真空诊断■ 自动校准和调整■ 简单定义的测量方式■ 质谱仪数据可以链接外部信号■ 与 PrismaPlus 兼容技术概述偏压电离腔电离腔上加偏压可以大大的降低噪音信号。发射电子的灯丝相对于地面是正电位。这种设计避免了气体粒子从壁室的脱附，因此避免了电子诱导脱附产生不需要的背景信号。场轴技术质谱仪一个很重要的性能是离子从离子源到四极杆的透过率。通过场轴线技术的辅助，离子能够穿过分离系统的边缘领域而不引起任何的干扰。这样能够不需要前置过滤器和后置过滤器即实现高灵敏度 (A/hPa) 。尺寸QMG 250 F 0° (Faraday)QMG 250 M 0° (C-SEM/Faraday)连接选项标准扩展

Protea公司是一家专注于傅里叶红外气体分析仪和四极杆质谱仪等高端分析仪器研发、生产、销售为一体的高科技公司，总部位于英国伦敦。ProMass系列质谱仪是结构紧凑、坚固的四极杆质谱（QMS）仪，融合了所有的质谱和真空泵技术。QMS技术是环境空气或过程应用中气体分析的一种有效机制，能够检测和测量几乎所有气体，且检测限值低、响应速度快。【产品描述】ProMassD台式质谱仪是一款结构紧凑、设计坚固的四极质谱仪器，融合了所有的质谱仪和真空泵技术。ProMassD适用于水平垂直方向，非常适合实验室实验测量。QMS技术是环境空气或过程应用中气体分析的一种有效机制，能够检测和测量几乎所有气体，且检测限值低，相应速度快。质谱仪通过收集和分析测量样品中分子的质荷比，我们可以根据质谱信息识别和量化存在的分子。 ProMassD台式质谱仪中的 QMS 包含一个由4个平行圆棒组成的质量过滤器，因此称为四极杆。它具有0-100amu、0-200amu或0-300amu的可变质量范围。（三重四极版本）【典型应用】l 氢(H2)燃料分析；l TGA-MS分析；l 环境分析；l 发酵；l 催化。 【特 点】l 根据不同的具体应用预置质谱库，单台仪器可以测量几乎所有气体，应用领域十分广泛；l 毛细管直接进样，测量气体简便快捷，无需复杂的制样设备和繁琐的制样过程，即可实现单独测量；l 快速测量，毫秒级响应速度；l 法拉第杯和二次电子倍增器联用，既可快速扫描，又可以精确测量；l 强大的PC端专业质谱分析软件；l 简单易用，无需精通质谱专业知识，即可上手测量。

HPR60 常压分子束取样质谱(Molecular Beam Sampling Mass Spectrometer)是完备的气体分析质谱仪系统，监测复杂反应过程。用于大气压下的高速度、无碰撞的分子束分析。 自由基通过多级采样差式泵进入分离器入口并无碰撞的转移到质谱仪的离子源。可定制的接口允许连接到许多不同的反应器系统，包括大气等离子体、分离器系统，结合三重过滤四极质谱仪提供了超快速响应和高精度的采样系统。 常压分子束取样 低、高能量分析选项，分析中性粒子、离子、自由基 软离子化技术，分析复杂有机物、表观电势MS 内置断路器，信号选通1μs，用于质量或能量的时间分辨分析 Penning规和互锁装置可提供过压保护 内置真空歧管, 附独立泵，便于经轴向排列孔直接取样，可以使离子、自由基的扰动降至最小 离子源液氮低温板，可使真空最优化和图谱干扰的最小化水冷的、低温面板可选 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件MASsoft控制 质量数范围： 1～2500 amu 响应速度： 300毫秒内对于气体浓度的变化做出反映 取样压力： 20mbar～1bar 检测浓度： 5ppb～100% 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5% 测量速度： 500点/秒 电子能量： 100eV～1000eV 脉冲离子记数器，可检测连续7个数量级的动态范围 HPR-60 Molecular Beam Mass Spectrometer (670 KB) Mass Spectrometers for Gas Analysis Applications (2.79 MB)

仪器简介：IDP离子/分子分析质谱仪(Ion Desorption Probe)用于研究ESD，PSD 或 UHV-TPD研究中释放出的低能量核素。IDP是电子、光子激发脱附研究中，唯一进行离子、中性粒子、自由基的质量、能量分析的三级过滤四极质谱仪。 IDP 离子/分子分析质谱仪除具有高性能RGA所有功能外，还带脉冲离子计数和四级杆偏压，是杰出的研究级质谱仪。 主要特点：脉冲离子计数检测器，连续7个数量级的动态范围 直接观测阴阳离子、自由基、中性粒子的质量和产生 4 离子透镜，内置电子离子源和兼容的UHV罩 ±100 V离子能量分布，±1000eV可选 高灵敏度三级过滤四极杆，质量数范围至2500amu 信号选通分辨率0.1μs，用于能量、质量分布随时间变化或TOF研究中 升温脱附操作中，温度数值同步显示 通过RS232、USB或Ethernet连接计算机，MASsoft专业软件控制 技术规格：质量数范围： 1～300 amu（标准配置） 500、1000、2500amu（选配） 测量速度： 500 points/s 分辨率： 0.1% Valley、1% Valley 动态范围： 10-7 检测浓度： 5ppb～100% 离子能量： ±100eV（标准配置） ±1000eV（选配） 信号选通分辨率：0.1μs 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5%

仪器简介：EPIC离子/分子分析质谱仪(EPIC Systems with Pulse Ion Counting and Pole Bias Control)是带脉冲离子计数和四级杆偏压控制的三级过滤四极质谱仪，用于高精密科学分析，过程研究以及中性粒子、自由基、正负离子的UHV分析。 EPIC离子/分子分析质谱仪可增加能量过滤器、Bessel Box能量分析器或45°扇形能量分析器，升级至Hiden的Plasma/ SIMS系列EQP，EQS，PSM 和Maxim。 主要特点：6、9、12 mm 直径的四极杆可选 ±100 eV离子能量分布，1000 eV可选 离子源控制，以实现软离子化及表观电势质谱 脉冲离子计数器，连续7个数量级动态范围，Faraday 选项为5x1010 一级过滤处增加射频，增强抗污染物能力 信号选通分辨率0.1μs，用于能量、质量分布随时间变化或TOF研究中 程序升温脱附时，温度数值同步显示 标配UHV罩，液氮冷却罩可选 MASsoft专业软件控制 可升级至Plasma/ SIMS 配置 技术规格： 质量数范围： 1～300 amu（标准配置） 500、1000、2500 amu（选配） 测量速度： 500 points/s 分辨率： 0.1% Valley、1% Valley 动态范围： 107 最低检测分压： 5 X 10-15 mbar ，1X10-16 mbar 离子能量： ±100eV（标准配置） ±1000eV（选配） 信号选通分辨率：0.1μs 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5% 3F Series Mass Spectrometers (0.68MB) Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)

HPR20 QIC TMS瞬变过程气体分析质谱仪是为在常压附近快速反应的气体分析而设计的系统。配置0.9m长度的石英毛细进样管，是理想的气体瞬变过程分析质谱仪。0.9m长的高效、柔韧、加热(直到200℃)石英惰性毛细管（QIC) APSI-MS 软离子化技术，选择性分析复杂气体和蒸汽 多离子源选择和快速响应的优化泵结构 脉冲离子记数器，可检测连续7个数量级的动态范围 ppm,%定量分析方法 提供两组外部参数显示信号；可选配16组 扩展余地宽 质量数范围： 1～50、100、200 、300、500、1000amu 响应速度： ＜150ms，200毫秒内对于5个数量级气体组成变化做出反映 扫描速度： 100amu/s 取样压力： 100mbar～2bar 标准配置 1mbar～30bar 选配 检测浓度： 5ppb～100% 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5% 测量速度： 500点/秒

英福康残余气体分析仪（RGAs）用作诊断工具，帮助工艺工程师持续监测制造过程中存在的污染气体并检验预期工艺气体的存在。残余气体分析仪（RGAs）的Transpector家族Transpector气体分析仪为真空过程监控、过程诊断和检漏提供精确、可靠的数据。

TPD Workstation超高真空TPD工作站是专为超高真空热脱附研究而设计的。 带有观测窗和样品加热台的真空泵 工作站含有操作软件，可自动控制样品温度 TPD常规分析，包括质谱峰的积分和反褶积计算等 密闭、自动装样器 智能操作软件控制实验操作带脉冲离子技术检测器的三级过滤四极质谱仪（Hiden 3F/PIC） 质量数范围： 1~300、510、1000amu 快速质谱数据采集： ＞500数据点/秒 样品可加热到1000℃

英国Hiden公司的QGA定量气体分析质谱仪是为在常压附近连续定量分析气体/蒸气的而设计。QGA配有专业版定量气体分析软件，提供了多种气体实时定量分析的功能。操作界面简单方便，使得用户非常容易去设置，减少了编辑程序的麻烦。设置简单、操作方便 图形、数据实时显示 本底自动校正 16种气体的定量分析 数据以原始数据、%或ppm形式输出 智能谱库扫描功能 准确的碎片峰形记录 自动减去重叠谱 数据输入外部气体分析器，例如一个CO分析器，能自动积分分析质谱数据 多路气体分析可自动顺序测量能连接多达80路气流（需选配多路取样阀）

在线质谱仪 参数如下：配置包括：1 减压装置：1米长不锈钢取样毛细管，外置加热套，最高加热温度200℃可调，双级降压；2 真空系统：涡轮分子泵作为主抽泵，前级泵为无油隔膜干泵，配全量程真空计检测真空度，真空系统由液晶显示屏显示和控制，真空度可以在液晶显示屏上显示；3 质谱室：不锈钢材质，外配加热套，最大可烘烤温度为200℃；4 质量分析器：开放式离子源，配双灯丝，可检测1-100/1-200/1-300质量数气体；5 软件：多通道检测气体，可实现定性和定量分析，适用于Windows 7/10系统；6 两个独立显示温控仪，控制取样管和质谱室的加热；技术参数：1 质量数范围： 1-100/1-200/1-300；2 离子源：开放式离子源，含2根灯丝；3 最大测量通道：128个；4 最小检测极限: 优于1ppm5 检测器最大烘烤温度：300℃6 质谱仪响应时间：小于200ms7 扫描时间：1ms-16s/amu8 通讯方式：TCP/IP Ethernet；9 腔体烘烤最大温度： 200℃10 高真空泵：涡轮分子泵，抽速67L/S11前级泵：无油隔膜干泵，抽速1m3/h12真空计：皮拉尼和冷阴极复合真空规，测量范围大气压到5x10-9hPa13 主机尺寸不大于400mmX 620mmX400mm

SHP8400PMS-I 防爆型过程气体质谱分析仪，将前沿的在线质谱分析技术与针对性的行业解决方案相结合，实现过程气体的实时、在线分析。通过多通道采样实现多点监测，提供多组分、多流路同时分析。该款质谱分析仪适用于易燃易爆环境和复杂工况环境下的过程气体多组分同时分析，满足长期不间断在线分析和多路不同样品监测的需求。设备简介： SHP8400PMS-I防爆型在线工业质谱仪可用于危险及复杂工况环境下的气体成分快速在线分析，具有防爆、防水、防尘等防护功能。仪器可实现高精度多组分同时检测，提供精准的定性定量测试，并可与生产反应调控过程关联。高精度流体控制◆仪器内置温度补偿型全自动高精度电子流体控制系统，当样气状态改变时，自动进行流量调节，避免了样气压力、温度波动对数据准确性的影响，保证长期连续监测过程中数据的一致性。高稳定质量分析◆72小时内质量轴偏差优于0.1amu，是连续稳定监测的可靠保证。可靠的长期稳定性◆连续36天监测空气中Ar的含量，大标准偏差优于0.4，满足长期连续监测的实际需要。智能在线监控◆在线监控真空度、气路温度、分子泵状态等系统运行参数，如有异常情况出现，立即报警或停机，大程度保障运行安全。精益管理解决方案降低投资成本◆单台质谱仪轻松取代多台气相色谱仪，不仅降低设备投资费用，减少了占地面积，也节省了分析小屋的成本。◆多个工艺气流的各种气体分析数据由一台质谱仪提供，简化了与控制系统的连接，也更为高效。减少运行成本◆质谱仪运行无需载气、助燃气、色谱柱等，避免了气相色谱仪的高维护成本和气体消耗。 在线质谱分析控制原理示意图