磁体探针台低温真空探针台加磁场

MPS-C-3X0磁体探针台系统是世界上第一个探针台，能够在被测试的器件上提供三维磁场控制。真正独特的专利设计使自旋电子器件的做晶圆级测试、纳米电子和许多其他材料和器件在所需磁场中准确的测试和测量。自旋流和自旋矩振荡器测试，磁模拟和识别复杂的多层结构的各向异性只是应用我们的MPS系统的几个案例。MPS系列磁体探针台特点：MPS系列磁体探针台是市场上唯一能提供在应用磁场中对任意两或三维定位的探针台，是自旋电子器件的特性和自旋电子学研究的一个最终的探针台解决方案。MPS系列磁探针台是唯一在市场上提供的晶圆级别的矢量磁场探测的探针台，特适合于在生产环境中自旋和磁电子器件测试。MPS系列磁体探针台完全可定制的，基于开源的LabVIEW的控制软件，很容易与最常见的测试和测量设备集成。高分辨率微定位器40、80、100和200tpi下探针的微米级定位螺钉。数据收集和/或分析与广泛的输出格式和选项可用。系统提供了三维霍尔探头，以提供无与伦比的稳定性和精度所施加的磁场通过闭环控制。可选项：升级为150mm或200mm晶圆。扩展磁场均匀性/稳定性。高分辨率显微镜。用于探测期间的域成像偏振显微镜。 升级射频探针 扩展温度范围探测 相机的广泛选择 晶片卡盘广泛的选择 对micropositioners广泛的选择，探针和探针尖端武器 超真空泵 受控环境测量........

Lake Shore的CPX-VF探针台增加了±2.5T的超导磁体，可以进行C-V、I-V、微波和电光探测，以及平面外垂直场超导磁测量。研究人员可以使用CPX-VF进行霍尔效应测量和测试磁输运参数。CPX-VF 是Lake Shore探针台中结合微波和磁场测量的优秀探针台之一。 CPX-VF在直径达51mm（2英寸）的晶圆上实现真正的90°晶圆探测。样品可在冷却过程中保持较高温度，降低了样品冷凝的可能性，这是测量有机材料的关键要求。 CPX-VF使用液氦或液氮进行连续流制冷（使用超导磁体时必须使用液氦），其操作温度范围为4.2 K到400 K，使用低温选件可将基础低温扩展到2 K。 主要特征： √ 温度范围4.3 K~400 K √ 可选低温1.9 K √ 垂直磁场±2.5 T √ 最大2英寸（51 mm）样品 √ 样品可面内±5°旋转 √ 样品振动＜30 nm可选 √ 90°探针样品测量 √ 霍尔效应测试选件 √ 超高真空选件 √ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境 设备参数： 磁场 磁体类型 超导螺线管 磁场方向 垂直方向（垂直于样品面） 磁场控制 电流控制 磁场大小 最大±25 KOe(±2.5 T) 磁场均匀性 0.5% 10 mm直径；1% 25 mm直径 探针针尖移动 5μm 整个磁场范围内 温度范围 最多配置6个探针臂 基础温度4.3 K，温度控制范围4.4 K ~ 400 K 安装PS-LT低温选件 基础温度1.9 K，温度控制范围2 K ~ 400 K 温度稳定性 液氦 基础温度 (无加热控制) ±15 mK 10 K ±50 mK 10 K ~ 100 K ±20 mK 101 K ~ 250 K ±15 mK 251 K ~ 350 K ±15 mK 351 K ~ 400 K ±50 mK 真空 以TPS-FRG分子泵为标准 PS-HV-CPX选件 抽真空时间 30 min (1 × 10-3 Torr) 10 min (1 × 10-3 Torr) 室温 5 × 10-4 Torr 5 × 10-6 Torr 基础温度 1 × 10-5 Torr 5 × 10-7 Torr 最高温度 5 × 10-5 Torr 5 × 10-7 Torr 循环时间 总循环 4 h 抽真空 0.5 h 探针台冷却 2 h 探针台升温 1.5 h 样品 最大尺寸 51 mm(2英寸) 样品背光接口 不可选 样品旋转 ±5°样品面内旋转 样品振动 ＜300 nm（标准），＜30 nm（配置减震选件PS-PVIS） 探针配置 最大探针数 6 探针臂温度计 用于监视探针臂的温度 冷却探针支架 ＜20 K(样品在基础温度下) 探针支架 连接磁体防辐射屏热沉 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 DC/RF探针 电绝缘100GΩ用于低漏电流测量 微波探针 频率范围从DC到67GHz 光纤探针 可用于电光测量 落针范围 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

Lake Shore的EMPX-H2探针台增加了一个±0.6 T水平方向磁场的电磁铁，所有标准的C-V、I-V、微波和电光探测，加上面内水平场电磁测量，都可以在EMPX-H2探针台上进行。研究人员可以使用EMPX-H2来测试磁输运参数，ST-FMR测试等。它是Lake Shore探针台中用于矢量相关磁输运测量的低温探针台。 为了最大限度地提高样品磁场，EMPX-H2的探针配置为30°倾角，用于探测直径达25mm（1英寸）的晶圆片。360°旋转样品台选项允许测量角度相关和各向异性的磁输运特性。EMPX-H2在4.5 K至400 K的温度范围内运行，配置低温选件可将基本温度扩展至3.2 K。EMPX-H2采用连续流制冷，可使用液氦或液氮进行冷却。 主要特征： √ 温度范围4.5 K~400 K √ 可选低温3.2 K √ 水平磁场±0.6 T √ 最大1英寸（25.4 mm）样品 √ 无需系统降温即可施加磁场 √ 样品360°旋转磁各向异性测试 设备参数： 磁场 磁体类型 电磁铁 磁场方向 水平方向（平行于样品面） 磁场控制 霍尔探头安装在探针台内用于磁场闭环控制 磁场大小 最大±6 kOe (±0.6 T) 磁场均匀性 0.6% 10 mm直径；2.6% 25 mm直径 探针针尖移动 5 μm 整个磁场范围内 温度范围 最多安装4个探针臂 基础温度4.5 K，控制温度范围5 K~400 K 安装PS-LT低温选件 基础温度3.2 K，控制温度范围3.3 K~400 K 温度稳定性 液氦 液氮 基础温度 (无加热控制) ±20 mK ±50 mK 10 K ±50 mK — 10 K ~ 100 K ±50 mK ±100 mK 101 K ~ 250 K ±50 mK ±100 mK 251 K ~ 400 K ±50 mK ±100 mK 真空 以TPS-FRG分子泵为标准 抽真空时间 30 min (1 × 10-3 Torr) 室温 5 × 10-4 Torr 基础温度 1 × 10-5 Torr 最高温度 5 × 10-3 Torr 循环时间 总循环 3 h 抽真空 0.5 h 探针台冷却 1.25 h 探针台升温 1.25 h 样品 最大尺寸 51 mm(2英寸) 样品背光接口 不可选 样品旋转 360°样品旋转选件(PS-360-EMPX) 样品振动 ＜300 nm 标准 探针配置 最大探针数 4 探针臂温度计 用于监视探针臂的温度 冷却探针支架 ＜20 K(样品在基础温度下) 探针支架 连接样品台热沉 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 DC/RF探针 电绝缘100GΩ用于低漏电流测量 微波探针 频率范围从DC到67GHz 光纤探针 可用于电光测量 落针范围 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

LH-CRPS-EMHF是一款无需消耗制冷剂，依靠制冷机提供冷源的闭循环低温磁场探针台，配1T 水平磁场，实现样品面内增加磁场。此款低温探针台设计的初衷就是多功能和卓越的 专业测量性能，为制冷剂获得比较困难和追求操作便利的客户提供了一个完美的解决方案。通 过闭循环制冷机降温，降温过程中不需要其它辅助设备，只需要很少的电能即可，也不需要科 研人员值守操作。丰富的选件和配置确保科研人员能够实施严苛的、富有挑战的测试测量。LH-CRPS-EMHF可实现最大面内磁场1T 的情况下，实施C-V 、I-V、微波、及磁输运等测量测试。多个温度传感器分布于探针台各个位置，确保温度监视和测量的准确性和重复性。由于是二级制冷平台制冷机提供冷源，这样能保证样品温度维持在相对较高的温度，同时样品处于真空环境中，减少了凝结的可能性，在一些有机材料的严格测试要求中这一点比较重要。LH-CRPS-EMHF 最大可安装样品台直径，25mm(1in), 在最低温度8K 时可实现样品台，360度旋转，可测量磁场相关的各项异性参数。

Avantgarde 室温永磁铁探针台为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。另外，可用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要的霍尔参数。在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。PSPM系列室温永磁体探针台是一款专门针对室温垂直磁场电测环境开发的探针台，提供0.5T垂直磁场，能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行重复性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。特点&bull 样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现最大X-Y轴±100mm的移动行程，并且样品座本身可以进行三维上的精细调节，使得样品测试 和换样更加便捷。&bull 探针臂底座采用磁铁吸附固定，可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到最大8英寸样品的任意位置&bull 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线&bull 探针采用针套固定，只有针尖裸露在外，减小漏电&bull 永磁铁采用电动控制，可以实现前进后退翻转运动&bull 永磁铁支架与探针台采用分体隔离支架，在磁体运动时避免振动传导到样品上&bull 样品固定方式采用多孔分区吸附，有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道，最小可吸附固定1mm*1mm样品型号分类：型号PSPM-2PSPM-4PSPM-6PSPM-8样品座尺寸2英寸4英寸6英寸8英寸参数和指标： 样品座卡盘尺寸：2/4/6/8英寸，可定制材质：无氧铜镀金样品固定方式：多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道滑台X-Y移动行程：2/4寸: X-Y轴±50mm；6/8寸: X-Y轴 ±100mm读数精度：10μm探针臂X-Y-Z移动行程：X-13mm，Y-13mm，Z-13mm旋转度：360度自由旋转移动精度：10μm探针臂数量：可安装6个探针臂（左右两边各3个）电学线缆：三同轴线缆漏电流：100fA探针类型：直流探针光学系统显微镜放大倍数：10-180倍显微镜工作距离：90-100mmCCD相机分辨率：3800万像素永磁铁组件磁场大小：0.5T磁铁间距：30mm磁铁极面尺寸：50mm可加选件 光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤

设备简介PS1DP-Cryo低温超导磁场探针台使用4K级GM制冷机作为冷源，通过柔性导冷链冷却待测样品和超导磁体，无需消耗液氦。样品温度最低可至4K，最大尺寸高达51mm，垂直磁场强度最高可达士3T。通过布置温度传感器、加热器和温控仪可实现样品温度的高精度控制。在样品和磁体外围布置有防热辐射屏，最外侧是真空罩，有效减少室温向样品的热辐射。使用PS1DP-Cryo低温超导磁场探针台磁电阻、霍尔系数、伏安特性、交流磁化率、磁滞回线等直流和微波测试。技术参数变温范围:4K-300 K磁场:超导磁体，垂直方向，土3T探针臂数量:4，最大6测量范围:DC-67 GHZ探针行程:X:50mm，Y:25 mm，Z:25 mm最大样品尺寸:直径51mm(2inch)样品振动:1 um设备特点PS1DP-Cryo低温超导磁场探针台采用GM制冷机作为冷源，无液氦消耗高精度温控仪和温度传感器精准控温综合运用多种减震方式降低样品震动集成化、智能化的控制和操作系统能够开展直流和微波测试

Lake Shore的CRX-EM-HF是一款无液氦闭循环制冷的探针台，它增加了一个±0.6 T水平方向磁场的电磁铁，所有标准的C-V、I-V、微波和电光探测，加上面内水平场电磁测量，都可以在CRX-EM-HF多功能探针台上进行。研究人员可以使用CRX-EM-HF来测试磁输运参数，ST-FMR等。它是Lake Shore众多探针台中可用于矢量相关磁输运测量的无液氦低温探针台。为了最大限度地提高样品的磁场，CRX-EM-HF的探针配置为30°倾角，用于探测直径达25mm（1英寸）的晶圆片。 CRX-EM-HF使用独立的闭循环制冷机，开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。360°旋转样品台选项允许测量角度相关和各向异性的磁输运特性。主要特征： √ 温度范围8 K~400 K√ 水平磁场±0.6 T√ 最大1英寸（25.4 mm）样品√ 无需系统降温即可施加磁场√ 样品360°旋转磁各向异性测试设备参数：磁场磁体类型电磁铁磁场方向水平方向（平行于样品面）磁场控制霍尔探头安装在探针台内用于磁场闭环控制磁场大小最大±6 kOe (±0.6 T)磁场均匀性0.6% 10 mm直径；2.6% 25 mm直径探针针尖移动5μm 整个磁场范围内温度范围最多安装4个探针臂基础温度8 K，控制温度范围10 K~400 K温度稳定性基础温度 (无加热控制)未说明10 K±50 mK10 K ~ 350 K±20 mK351 K ~ 400 K±50 mK真空以TPS-FRG分子泵为标准抽真空时间30 min (1 × 10-3 Torr)室温下5 × 10-4 Torr基础温度下1 × 10-5 Torr最高温度下5 × 10-4 Torr循环时间总循环4.5 h抽真空0.5 h探针台冷却2.25 h探针台升温1.75 h样品最大尺寸51 mm(2英寸)样品背光接口不可选样品旋转360°样品旋转选件(PS-360-EMPX)样品振动＜1 μm探针配置最大探针数4探针臂温度计用于监视探针臂的温度冷却探针支架＜20 K(样品在基础温度下)探针支架连接样品台热沉探针臂支架连接防辐射屏热沉DC/RF探针电绝缘100GΩ用于低漏电流测量微波探针频率范围从DC到67GHz光纤探针可用于电光测量落针范围所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

ARS超导磁体探针台用于强磁场条件下电子器件的非破坏性电学测试，系统高可获得9T垂直磁场，也可以加双轴矢量超导磁体。 超导磁体探针台是实验中理想的研究磁光和磁电性质的平台，它可以应用于各种不同的领域，如量子点、自旋电子器件、纳米电子学等等。ARS超导磁体探针台可以根据客户实际的实验需求进行定制。 ARS是专业的低温设备厂家，超导磁体探针台使用ARS的DE210及DE215系列制冷机，可在样品台获得低于4K的温度。ARS冷头性能优异，冷却速度快，制冷量大，冷头振动低，性能稳定，是适宜科研设备中使用的冷头。 ARS设备都采用高抛光不锈钢材料做真空罩，镀镍的无氧铜用作冷屏及其他导热材料，高质量的材料使系统可以获得更高的真空度等级以及洁净的样品环境。 ARS公司整体探针台及冷头的生产加工，确保产品性能的一致性，也利于系统的维护及售后服务。特点备注温度范围：5K-350K其他温区可选样品区3T垂直磁场可达6T样品区振动优于1微米11英寸不锈钢真空室9英寸镀镍无氧铜防热辐射屏1.75英寸镀金无氧铜样品台高纯石英观察窗蓝宝石防热辐射屏冷窗多至6个三维微操作探针臂可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源可升级16:1显微观察系统规格及技术参数制冷方式双冷头，闭循环制冷，无需液氦温度范围5K-350K（可选更高制冷量DE215冷头冷台温度4K,安装高温隔热台高温可达800K）磁场范围-3T至+3T （可选-6T至+6T，或矢量磁体）温度稳定性优于50mK泵抽真空时间约120分钟降温时间约5小时至10K（DE210S冷头）真空腔无磁不锈钢真空腔直径11英寸上盖安装高纯石英窗口防热辐射屏镀镍无氧铜防热辐射屏直径9英寸上盖蓝宝石冷窗热连接至1级冷头样品台镀金无氧铜样品台1.75英寸直径1英寸可测试范围安放2英寸样品（其他尺寸可接受定制）探针臂位移台手动驱动不锈钢焊接波纹管连接X方向（轴向）2英寸行程Y方向（横向）1英寸行程（标准）Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米振动三级减震，振动小于1微米温度计安装6个温度计，2套加热器6个温度计位置：1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温1个DT-670B-SD温度计安装于样品台底部用于控温1个DT-670B-SD温度计安装于冷头位置用于诊断1个校准型CX-1070-CU-4L温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温1个DT-670B-CU温度计安装在制冷机一级冷头用于诊断1个CX-1070-CU-4L温度计安装在磁体顶部用于检测磁体温度2套加热器位置：1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温显微观测系统标准7:1显微镜4.2毫米-0.61毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.024-0.08光源：环形光源分辨率：3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器可选16:1显微镜12.8毫米-0.8毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.0090-0.15光源：环形光源分辨率：2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器探针臂直流/低频探针臂微型同轴电缆接头：SMA或BNC频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆包含接地屏蔽接头三同轴电缆接头：三同轴接头频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆卡尔文探针电缆：同轴或三同轴接头：SMA/BNC/三同轴频率：0-100兆赫兹针尖材料：钨针（标准）镀金钨针（可选）铍铜镀金（可选）针尖半径：0.5微米（其他半径可选）GSG高频探针臂0-40GHz接头：K型接头电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-50GHz接头：2.4电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-67GHz接头：1.85电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖光纤探针臂紫外/可见 或 可见/红外接头：SMA905公头光纤样品端：抛光裸头尺寸：100微米-400微米单模或多模 案例PS-CC-SCMSuperconducting Magnet Probe Station with microscope and camera view of probe armsXYZ translation stages have hardened steel ball bearing for sooth and precise motion control, theta rotation for planarization

迈锐MPS系列磁探针站是目前市场上唯一能够提供任意二维或三维外加磁场方向的探针站，是自旋电子器件表征和自旋电子研究的终极解决方案。MPS系列磁探头站是市场上唯一提供晶圆级矢量磁场探测的探头站，使这些系统非常适合在生产环境中测试自旋电子和磁电子设备。完全可定制的、开源的、基于labview的控制软件，可轻松集成最常见的测试和测量设备。可提供高分辨率微定位器，配有40,80,100和200TPI螺钉，可用于微米级探针定位。收集和/或分析的数据具有广泛的输出格式和可用选项。系统提供三维霍尔探头，通过闭环控制提供无与伦比的稳定性和应用磁场的准确性。MPS-C-300和MPS-C-350磁探头系统是世界上第一个能够在被测设备周围提供三维磁场控制的探头站。MicroXact真正独特的正在申请专利的设计使自旋电子器件，纳米级电子器件以及许多其他需要磁场进行精确测试和测量的材料和器件的晶圆级测试成为可能。自旋电流和自旋转矩振荡器测试，磁模拟和复杂多层结构的各向异性识别只是我们的MPS系统应用的几个例子。磁场可以以三种模式被任意控制:固定的值, 线性扫描, 或者用户可以自定义。 Wafer size：10mm，可升到200mm 磁场：方向任意三维大6kOe (0.6T) 定向精度+/- 1.0 在10mm直径范围内的均匀性+/- 2% 稳定性优于0.1% 频率范围：DC to ~ 67GHz 分辨率：200mG CHUNK: Isolated, grounded or coaxial. 运动范围:100mm x 100mm 集成MPS系列软件，可在完全可控的三维磁场中快速、简便地捕获图像/视频。

设备简介使用4 K级GM制冷机作为冷源，通过柔性导冷链冷却待测样品无需消耗液氦。样品温度最低可至8K，最大尺寸25mm。外置电磁体线圈，磁场强度可达士0.65T。通过布置温度传感器、加热器和温控仪可实现样品温度的高精度控制。在样品和磁体外围布置有防热辐射屏，最外侧是真空罩，有效减少室温向样品的热辐射。使用该探针台可开展IV、RH等直流测试和ST-FMR、Spin-pumping等微波测试。配置低温旋转台，可实现样品士180°旋转，测量随角度变化的各向异性特性。技术参数变温范围:8K-420K磁场:电磁体，面内方向，士0.65T探针臂数量:4测量范围:DC-67 GHZ探针行程:X:50mm，Y:25mm，Z:25 mm最大样品尺寸:直径25 mm(1inch)样品振动:1 um设备特点采用GM制冷机作为冷源，无液氦消耗高精度温控仪和温度传感器精准控温综合运用多种减震方式降低样品震动集成化、智能化的控制和操作系统能够开展直流和微波测试

Lake Shore的CRX-VF是一款无液氦闭循环制冷的探针台，它增加了±2.5T的超导磁体，可以进行C-V、I-V、微波和电光探测，以及平面外垂直场超导磁测量。研究人员可以使用CRX-VF进行霍尔效应测量和测试磁输运参数。CRX-VF可在直径达51毫米（2英寸）的晶圆上实现真正的90°晶圆探测。样品可在冷却过程中保持较高温度，降低了样品冷凝的可能性，这是测量有机材料的关键要求。 CRX-VF可在10 K至500 K的温度范围内工作，它使用独立的闭循环制冷机，开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。该系统为寻求兼顾无液氦操作的便利性和Lake Shore产品可靠的测量性能的用户提供了完整的解决方案。 主要特征： √ 温度范围10 K~500 K √ 垂直磁场±2.5 T，可定制3T以上磁场 √ 最大2英寸（51 mm）样品 √ 90°探针样品测量 √ 霍尔效应测试选件 √ 超高真空选件 √ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境 设备参数： 磁场 磁体类型 超导螺线管 磁场方向 垂直方向（垂直于样品面） 磁场控制 电流控制 磁场大小 最大±25 KOe(±2.5 T) 磁场均匀性 0.5% 10 mm直径；1% 25 mm直径 探针针尖移动 5 μm 整个磁场范围内 温度范围 ±2.5 T 温度10 K ±2 T 温度范围11 K ~ 400 K ±1 T 温度范围401 K ~ 500 K 以上温度范围在最大安装6个探针臂情况下有效 温度稳定性 基础温度 (无加热控制) 未说明 10 K ±50 mK 10 K ~ 500 K ±10 mK 真空 以TPS-FRG分子泵为标准 PS-HV-CPX高真空选件 抽真空时间 90 min (1 × 10-3 Torr) 30 min (1 × 10-3 Torr) 室温下 5 × 10-4 Torr 5 × 10-6 Torr 基础温度下 1 × 10-5 Torr 5 × 10-7 Torr 最高温度下 5 × 10-5 Torr 5 × 10-7 Torr 循环时间 总循环 8.5 h 抽真空 1.5 h 探针台冷却 5 h 探针台升温 2 h 样品 最大尺寸 51 mm(2英寸) 样品背光接口 不可选 样品旋转 不可选 样品振动 ＜1 μm 探针配置 最大探针数 6 探针臂温度计 用于监视探针臂的温度 冷却探针支架 ＜50 K(样品在基础温度下) 探针支架 连接防辐射屏热沉 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 DC/RF探针 电绝缘100GΩ用于低漏电流测量 微波探针 频率范围从DC到67GHz 光纤探针 可用于电光测量 落针范围 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

半自动真空低温探针台使晶圆和器件在低温下9k(singleCCR系统)、4.5K(dualCCR系统)甚至低于4K(triple CCR系统)的情况下能够快速、经济地进行测试。低温探针台，设计用于支持在真空或气体环境中对高达100mm、150mm或高达300mm的晶圆进行自动动或半自动测试。 系统精度高、成本低、噪音低、使用方便。系统建立在一个振动补偿的多功能平台上，能够配置来各种测试应用程序。 可用于高达100mm、150mm和200mm的晶圆测试 可配置4或6个探针臂。 还可以选择探卡进行测试 显微镜选择包括7:1,12.5:1和16:1数码变焦显微镜 BNC, Triax, DC pin ａnd RF 可选 用于探针微米定位的高分辨率探针臂 Isolated, grounded, coaxial or triaxial chuck可选 RF选件包括可定制的RF探头、RFchunk和屏蔽罩系统 具有良好的隔振性能

Reys600真空探针台可实现高真空和高低温环境下对样品电学性能的测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到4K-873K(分段选配），低温部分采用液氮或液氦冷却组件，真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-6Pa。对于材料和仪器进行变温（和变气氛）的电学特性(如I-V)和光电特性测量、发光二极管（LED）、场效应晶体管（FET）等半导体器件的参数测量、材料介电特性以及RF特性测量等。适用的材料包括有机（和无机）半导体、纳米线（和纳米管）、量子点，分子电子材料、薄膜材料等。特别适合对微小（亚毫米-微米）器件和器件阵列样品进行快速、准确和无损的测量。 可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

产品概要:英铂磁场探针台为材料以及早期的电子器件的非破坏电学测量提供了精确的可控环境。可使物理科学家和研究员通过方便的，可重复的测量进行基础的科学研究并得到连续的结果。磁场探针台是一个多用的灵活的研究平台，可被用于专用的或者多用的团体研究资源。基本信息：1、 二维磁场2、磁场最大值10000Gs(可配置不同磁场)3、高分辨率CCD数字显微镜4、真空吸附样品台5、四个低频探针(可选配高达67GHz的GSG探针)6、四个三维高精度探针座，控制探针精确的移动(可选配增加探针座以及探针)7、磁场均匀区：中心区50毫米球体内1%8、先对电流和磁场的关系进行标定，然后通过给定电流值来得到磁场9、可选配高斯计10、高精度双极性电源技术优势：1、四个三维高精度探针座，控制探针精确的移动(可选配增加探针座以及探针)2、先对电流和磁场的关系进行标定，然后通过给定电流值来得到磁场3、高精度双极性电源4、提供了精确的可控环境应用方向：探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

产品概要：本磁场探针台采用无磁材料制成，一对类亥姆霍兹线圈水平放置，产生平面内水平磁场，线圈采用自然风冷结构，并且配备有线圈过热保护，因此磁场可以长时间稳定工作。根据出厂标定的电流磁场对应关系，通过电源前面板或者软件输入相应电流，已达到所要求磁场，也可选配高斯计实时监测磁场的大小。探针台配备有可移动样品台，可以实现水平方向二维移动和样品台360度旋转，便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。基本信息：1、一维水平磁场(可以选配二维磁场或者三维磁场)2、磁场最大值200Gs(可选配更高磁场)3、高分辨率CCD数字显微镜4、三维无磁可调样品台，实现水平二维移动和样品台自身转动5、四个低频探针(可选配高达67GHz的GSG探针)6、四个三维高精度探针座，控制探针精确的移动(可选配增加探针座以及探针)7、磁场均匀区：中心区50毫米球体内1%8、先对电流和磁场的关系进行标定，然后通过给定电流值来得到磁场9、可选配高斯计10、高精度双极性电源技术优势：1、线圈骨架采用优质铝合金制作，线圈内侧采用镂空结构，有利于线圈的散热2、线圈采用优质耐180℃高温定制线绕制3、线圈整体经过电磁仿真软件优化，最大化提高电流利用效率4、轻量化线圈，减少热量产生5、四个高精度探针座，分辨率20微米6、四个低频探针，频率高达1GHz7、CCD数字显微镜，放大倍数达到300倍8、9寸CCD显示器9、三维无磁样品台，实现水平二维移动和样品台自身旋转10、前面板同轴测量接口，方便连接测量引线11、整体无磁材料制作12、可定制样品台13、供电接口采用优质航空接头，方便易用14、表面进行氧化、喷塑等处理15、可长时间工作，不需要值守应用方向：探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。典型的应用包括样品的IV曲线测试，微波测试，光电测试，表征变磁环境下的磁输运特性，理解载流子浓度的霍尔效应测试，和其它材料的研究。

全自动磁场探针台-半导体磁性芯片测试可提供管理员、设备工程师、操作员三种用户权限、工艺配方可编辑,创建、删除、修改等操作由用户自定义、用户可以选择报警处理方式，并且可以对历史报警进行查询、系统自动记录工艺过程中的重要参数,并且可以生成可参考的记录、具备数据管理功能,可自动提取回线信息,如翻转磁场、翻转电压等、磁阻、RV特性测量功能。全自动磁场探针台-半导体磁性芯片测试具备脉冲幅值自动标定功能 SOT-MRAM器件翻转概率、误码率、循环特性测测量功能,可进行VCMA测试、系统具备翻转动态测量功能。全自动磁场探针台-半导体磁性芯片测试适用磁存储、磁传感等磁性芯片。 全自动磁场探针台-半导体磁性芯片测试样品兼容性高:最大12吋；精度:2 μm；样品台:X:200 mm/sY:200 mm/s Z轴全行程37mm,角度调整范围士5，满足高达150°C测试需求具备机械臂品圆转移组件具备空中对针与探卡支持功能，可自动清针。

IBEX-300晶圆超快三维磁场探针台法国Hprobe公司于2017年3月在法国格勒诺布尔地区成立，旨在为集成电路领域提供快速、准确和灵活的测试设备，主要应用方向为磁随机存取存储器(MRAM)。MRAM技术作为芯片上系统嵌入式内存(SoC)的替代技术，越来越多的微电子行业的主要厂商对MRAM技术感兴趣，相应的高端测试设备需求也随之增加，而Hprobe公司生产的IBEX-300晶圆超快三维磁场探针台为一个不错的选择。 Hprobe IBEX 300-1C Hprobe IBEX 300-2C 相比于其他的探针台， IBEX-300晶圆超快三维磁场探针台是专门用于晶圆片在磁场作用下的表征和测试的仪器，它使用的三维磁场发生器和先进的可定制硬件，为磁性器件（传感器和存储器）的开发、工艺和生产带来了完整的测试解决方案。主要特点： ■ 可以用于100~300mm晶圆■ 提供大的面内和垂直磁场■ 磁场定向和旋转的三维控制■ 快速扫描能力 ■ 嵌入式传感器校准■ 自动测试程序■ MRAM和传感器参数提取软件■ 与标准探针卡兼容 主要应用方向：■ 磁性隧道结■ 磁随机存取存储器■ 集成磁传感器(Hall, GMR, TMR)■ 智能传感器 技术原理：探针台采用特的三维磁场发生器，每个磁场空间轴立驱动。利用这3个自由度，用户可以在任意空间方向应用和控制场，也可以生成旋转场。三维磁场装置配备了所有相关配件，测试程序和磁铁校准工具包。三维磁发生器置于探针台部，并在晶圆上产生局部磁场。为了适应器件测试设计，探头被放置在晶圆片和发生器之间的间隙中。磁场发生器和晶圆托之间的Z方向距离一般可在500μm至5mm之间可调，取决于所使用的探针卡和探针。三维磁场装置 相关参数： 面内 (XY)垂直 (Z)大单轴磁场350 mT550 mT磁场均匀性@ +/1mm± 1%± 1%磁场分辨率0.05 mT0.02 mT角度分辨率0,02°-场扫描采样率 50 kHz 50 kHzR-H 回线测试时间 100 ms 100 ms快速扫场能力：仪器配置： Hprobe探针台配备整套仪器驱动和测量大多数磁性器件，如MRAM (STT、SOT、电压控制)、传感器(AMR、GMR、TMR)和磁性MEMS。仪器可以包括源表和测量单元（SMU）、数字万用表（DMM）、任意波形发生器（AWG）、脉冲发生器（PG）、交换矩阵、数据采集板等。其他仪器可根据要求提供，并且可以很容易地集成到工具的硬件和软件中。 任意波形发生器（AWG）■ 双通道, 带宽 40MHz■ 正弦波, 方波 & 脉冲 至30MHz■ 斜波 & 三角波 至 200kHz■ 任意波形 1M 采样/通道■ 大采样速率 250M 采样/秒 脉冲发生器（PG）■ 脉冲宽度小至 200 ps ■ 上升/下降时间 70 ps (20%-80%)■ 输出电压 10 mVpp 至 5 Vpp■ 大重复频率 500 MHz 每通道l■ 幅值 大至 5V 源表和测量单元（SMU）■ 电压小量程 20mV■ 电流小量程 1nA■ 3,000 读数 /秒数字万用表（DMM）■ 18 位, 小量程 100mV■ 分辨率 10nV■ 小积分时间 10μ秒 探针卡：Hprobe探针台使用非常灵活，用户可以使用标准的商用探针卡，也可以使用带有DC和RF探头的微操作器。测试程序：该测试程序包含了所有满足用户需求的功能，从器件表征到产品开发，以及转移至生产等。它以三种模式运行:■ 标定模式–设置磁场配置并创建用户定义的图形■ 工程模式 –运行预执行的测试图形或创建并运行完整的自定义特性和测试■ 产品模式 –从工程模式中设置具有优化测试时间的测试程序 预先实现的测试模式包括(有或没有磁场):■ 开路/短路 测试■ AC/DC I-V, R-V 测试■ AC/DC 击穿电压测试■ 读/写脉冲测试■ R-H 角度/幅值 回线测试■ 误码率测试■ 器件循环和稳定性测试

德国Attocube Systems AG公司成立于2002年，作为纳米科学领域年轻的仪器供应商，Attocube Systems AG以其掌握的纳米精度定位成果和强大的技术实力，在短短的几年中研制开发了低震动无液氦磁体与恒温器、多种低温磁场下工作的扫描探针显微镜、端环境应用纳米精度位移器、皮米精度位移激光干涉器等系列产品，深受用户赞誉。自成立以来，Attocube Systems AG已经获得了许多荣誉，包括Finalist for the 27th Innovation Award of the German Ecomomy 2007和 00 Innovation Award 2013 等。 无液氦低温强磁场扫描探针显微镜德国attocube公司推出的attoDRY Lab系列无液氦低温强磁场扫描探针显微镜系统基于attoDRY系列无液氦强磁场超低震动恒温器和多种扫描探针显微镜插件，特别适应于低温光学实验、扫描探针显微镜等应用，产品优异的稳定性为超高分辨率的表面表征研究奠定了坚实的基础。不止于此，产品还早集成了简单易用的触摸屏控制系统以方便自由控制温度大小与磁场强度的商业化恒温器。扫描探针显微镜插件包括：attoAFM/MFM/cAFM/PRFM原子力、磁力、导电力、压电力显微镜；attoCFM共聚焦显微镜；Raman与光致发光谱；atto3DR双轴旋转平台等。参数与技术特点： + 无液氦，闭路可循环系统+ 特设计，超低震动（0.12 nm RMS）+ 温度范围：1.5 K...300 K 或 4 K...300 K+ 磁场强度：高可达15T + 多功能测量平台：AFM/MFM/ct-AFM/PRFM/CFM/RAMAN+ 超高温度稳定性+ 全自动控制，触摸屏控制 + 快速冷却：1-2小时样品冷却相关阅读：1、无液氦低温强磁场共聚焦显微镜 - attoCFM2、低温强磁场原子力/磁力/扫描霍尔显微镜 - attoAFM/attoMFM/attoSHPM3、磁共振显微镜/低温强磁场磁共振显微镜 - attoCSFM4、低震动无液氦磁体与恒温器 - attoDRY系列5、atto3DR低温双轴旋转台部分发表文献：1. Chaoyang Lu et.al, Coherently driving a single quantum two-level system with dichromatic laser pulses, Nature Physics, 15,941-945,(2019)2. Chaoyang Lu et.al, Towards optimal single-photon sources from polarized microcavities. Nature Photonics, 13, 770–775 (2019)3. Yuanbo Zhang et. Al, “Signatures of tunable superconductivity in a trilayer graphene moiré superlattice”Nature, 572, 215-219 (2019)4. P. Maletinsky et. Al, Probing magnetism in 2D materials at the nanoscale with single-spin microscopy, Science, 364, 973 (2019)5. Haomin WANG et al, “Isolating hydrogen in hexagonal boron nitride bubbles by a plasma treatment”.Nature communications, 10, 2815 (2019)6. Mingyuan Huang et.al, Magnetic Order-Induced Polarization Anomaly of Raman Scattering in 2D Magnet CrI3, Nano Letters, 2020,20,1, 729-7347. Alexander H?gele et. al, Cavity-control of interlayer excitons in van der Waals heterostructures, Nature communications, 2019,10:3697.8. Hanxuan Lin, et al. Unexpected Intermediate State Photoinduced in the Metal-Insulator Transition of Submicrometer Phase-Separated Manganites. Phys. Rev. Lett. 120, 267202(2018)9. Chaoyang Lu et.al, High-efficiency multiphoton boson sampling. Nature Photonics, 11, 361-365, (2017)10. K. Yasuda, et al. Quantized chiral edge conduction on domain walls of a magnetic topological insulator. Science 2017, 358, 1311-131411. Zhu, Y. et al. Chemical ordering suppresses large-scale electronic phase separation in doped manganites. Nature communications, 2016,7:11260.12. Yang, W. et al. Electrically Tunable Valley-Light Emitting Diode (vLED) Based on CVD-Grown Monolayer WS2. Nano Letters 2016, 16, 1560-1567.13. Surajit Saha et al. Long-range magnetic coupling across a polar insulating layer, Nature communications, 2016,7:11015.14. He, Y. M. et al. Single quantum emitters in monolayer semiconductors. Nature Nanotechnology 2015, 10, 497-502.15. Nazin, G. et al. Visualization of charge transport through Landau levels in graphene. Nature Physics 2010, 6, 870-874.16. Proton magnetic resonance imaging using a nitrogen–vacancy spin sensor. Nature Nanotechnology, 2015,10,120-124.17. Nanoscale nuclear magnetic imaging with chemical contrast. Nature Nanotechnology, 2015, 10, 125-128.18. Observation of biexcitons in monolayer WSe2. Nature Physics, 2015, 11, 477-481.19. Visualization of a ferromagnetic metallic edge state in manganite strips. Nature Communications, 2015, 6:6179.20. Observation of Excitonic Fine Structure in a 2D Transition-Metal Dichalcogenide Semiconductor. ACS Nano, 2015, 9, 647-655.21. Energy losses of nanomechanical resonators induced by atomic force microscopy-controlled mechanical impedance mismatching. Nature Communications, 2014, 5:3345.22. Deterministic and electrically tunable bright single-photon source. Nature Communications, 2014, 5:3240.23. Dynamic Visualization of Nanoscale Vortex Orbits. ACS Nano, 2014, 8, 2782-2787.24. Transition from slow Abrikosov to fast moving Josephson vortices in iron pnictide superconductors. Nature Materials, 2013, 12, 134-138.25. Stray-field imaging of magnetic vortices with a single diamond spin. Nature Communications, 2013, 4:2279.26. Realization of pristine and locally tunable one-dimensional electron systems in carbon nanotubes. Nature Nanotechnology, 2013, 8, 569-574.27. Strong magnetophonon resonance induced triple G-mode splitting in graphene on graphite probed by micromagneto Raman spectroscopy. Physical Review B, 2013, 88, 165407.28. Origin of negative magnetoresistance of GaAs/(Ga,Mn)As core-shell nanowires. Physical Review B, 2013, 87, 245303.29. Magnetic Imaging on the Nanometer Scale Using Low-Temperature Scanning Probe Techniques. Microscopy Today, 2011, 19, 34-38.30. Visualization of charge transport through Landau levels in graphene. Nature Physics, 2010, 6, 870-874.部分用户列表 attocube公司产品以其稳定的性能、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎......北京大学清华大学中国科技大学南京大学中科院物理所中科院半导体所中科院武汉数学物理所上海同步辐射中心中科院上海应用技术物理研究所北京理工大学复旦大学哈尔滨工业大学中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所……

德国Attocube Systems AG公司成立于2002年，作为纳米科学领域年轻的仪器供应商，Attocube Systems AG以其掌握的纳米精度定位成果和强大的技术实力，在短短的几年中研制开发了低震动无液氦磁体与恒温器、多种低温磁场下工作的扫描探针显微镜、端环境应用纳米精度位移器、皮米精度位移激光干涉器等系列产品，深受用户赞誉。自成立以来，Attocube Systems AG已经获得了许多荣誉，包括Finalist for the 27th Innovation Award of the German Ecomomy 2007和 00 Innovation Award 2013 等。 无液氦低温强磁场扫描探针显微镜德国attocube公司推出的attoDRY Lab系列无液氦低温强磁场扫描探针显微镜系统基于attoDRY系列无液氦强磁场超低震动恒温器和多种扫描探针显微镜插件，特别适应于低温光学实验、扫描探针显微镜等应用，产品优异的稳定性为超高分辨率的表面表征研究奠定了坚实的基础。不止于此，产品还早集成了简单易用的触摸屏控制系统以方便自由控制温度大小与磁场强度的商业化恒温器。扫描探针显微镜插件包括：attoAFM/MFM/cAFM/PRFM原子力、磁力、导电力、压电力显微镜；attoCFM共聚焦显微镜；Raman与光致发光谱；atto3DR双轴旋转平台等。参数与技术特点： + 无液氦，闭路可循环系统+ 特设计，超低震动（0.12 nm RMS）+ 温度范围：1.5 K...300 K 或 4 K...300 K+ 磁场强度：高可达15T + 多功能测量平台：AFM/MFM/ct-AFM/PRFM/CFM/RAMAN+ 超高温度稳定性+ 全自动控制，触摸屏控制 + 快速冷却：1-2小时样品冷却相关阅读：1、无液氦低温强磁场共聚焦显微镜 - attoCFM2、低温强磁场原子力/磁力/扫描霍尔显微镜 - attoAFM/attoMFM/attoSHPM3、磁共振显微镜/低温强磁场磁共振显微镜 - attoCSFM4、低震动无液氦磁体与恒温器 - attoDRY系列5、atto3DR低温双轴旋转台部分发表文献：1. Chaoyang Lu et.al, Coherently driving a single quantum two-level system with dichromatic laser pulses, Nature Physics, 15,941-945,(2019)2. Chaoyang Lu et.al, Towards optimal single-photon sources from polarized microcavities. Nature Photonics, 13, 770–775 (2019)3. Yuanbo Zhang et. Al, “Signatures of tunable superconductivity in a trilayer graphene moiré superlattice”Nature, 572, 215-219 (2019)4. P. Maletinsky et. Al, Probing magnetism in 2D materials at the nanoscale with single-spin microscopy, Science, 364, 973 (2019)5. Haomin WANG et al, “Isolating hydrogen in hexagonal boron nitride bubbles by a plasma treatment”.Nature communications, 10, 2815 (2019)6. Mingyuan Huang et.al, Magnetic Order-Induced Polarization Anomaly of Raman Scattering in 2D Magnet CrI3, Nano Letters, 2020,20,1, 729-7347. Alexander H?gele et. al, Cavity-control of interlayer excitons in van der Waals heterostructures, Nature communications, 2019,10:3697.8. Hanxuan Lin, et al. Unexpected Intermediate State Photoinduced in the Metal-Insulator Transition of Submicrometer Phase-Separated Manganites. Phys. Rev. Lett. 120, 267202(2018)9. Chaoyang Lu et.al, High-efficiency multiphoton boson sampling. Nature Photonics, 11, 361-365, (2017)10. K. Yasuda, et al. Quantized chiral edge conduction on domain walls of a magnetic topological insulator. Science 2017, 358, 1311-131411. Zhu, Y. et al. Chemical ordering suppresses large-scale electronic phase separation in doped manganites. Nature communications, 2016,7:11260.12. Yang, W. et al. Electrically Tunable Valley-Light Emitting Diode (vLED) Based on CVD-Grown Monolayer WS2. Nano Letters 2016, 16, 1560-1567.13. Surajit Saha et al. Long-range magnetic coupling across a polar insulating layer, Nature communications, 2016,7:11015.14. He, Y. M. et al. Single quantum emitters in monolayer semiconductors. Nature Nanotechnology 2015, 10, 497-502.15. Nazin, G. et al. Visualization of charge transport through Landau levels in graphene. Nature Physics 2010, 6, 870-874.16. Proton magnetic resonance imaging using a nitrogen–vacancy spin sensor. Nature Nanotechnology, 2015,10,120-124.17. Nanoscale nuclear magnetic imaging with chemical contrast. Nature Nanotechnology, 2015, 10, 125-128.18. Observation of biexcitons in monolayer WSe2. Nature Physics, 2015, 11, 477-481.19. Visualization of a ferromagnetic metallic edge state in manganite strips. Nature Communications, 2015, 6:6179.20. Observation of Excitonic Fine Structure in a 2D Transition-Metal Dichalcogenide Semiconductor. ACS Nano, 2015, 9, 647-655.21. Energy losses of nanomechanical resonators induced by atomic force microscopy-controlled mechanical impedance mismatching. Nature Communications, 2014, 5:3345.22. Deterministic and electrically tunable bright single-photon source. Nature Communications, 2014, 5:3240.23. Dynamic Visualization of Nanoscale Vortex Orbits. ACS Nano, 2014, 8, 2782-2787.24. Transition from slow Abrikosov to fast moving Josephson vortices in iron pnictide superconductors. Nature Materials, 2013, 12, 134-138.25. Stray-field imaging of magnetic vortices with a single diamond spin. Nature Communications, 2013, 4:2279.26. Realization of pristine and locally tunable one-dimensional electron systems in carbon nanotubes. Nature Nanotechnology, 2013, 8, 569-574.27. Strong magnetophonon resonance induced triple G-mode splitting in graphene on graphite probed by micromagneto Raman spectroscopy. Physical Review B, 2013, 88, 165407.28. Origin of negative magnetoresistance of GaAs/(Ga,Mn)As core-shell nanowires. Physical Review B, 2013, 87, 245303.29. Magnetic Imaging on the Nanometer Scale Using Low-Temperature Scanning Probe Techniques. Microscopy Today, 2011, 19, 34-38.30. Visualization of charge transport through Landau levels in graphene. Nature Physics, 2010, 6, 870-874.部分用户列表 attocube公司产品以其稳定的性能、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎......北京大学清华大学中国科技大学南京大学中科院物理所中科院半导体所中科院武汉数学物理所上海同步辐射中心中科院上海应用技术物理研究所北京理工大学复旦大学哈尔滨工业大学中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所… …

产品简介磁场探针台主要用于半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件及相关技术领域的电、磁学特性测试,能够提供磁场或变温环境，并进行高精度的直流/射频测量。本公司产品设计和生产各类磁场探针台稳定性强、功能多样、可升级扩展,适用于各大高校、研究所及半导体行业的实验研究和生产。

室温电磁铁探针台不仅可以完成永磁铁探针台所能完成的测试，并且可以为样品测试提供一个可变磁场，磁场较强，磁场均匀区较大。此款探针台专门为在测量过程中需要连续磁场变化的实验设计，在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。 PSEM系列室温电磁体探针台是一款专门针对室温可变磁场电测环境开发的探针台，提供±0.6T垂直磁场或±0.3T水平磁场，能够对2寸、4寸晶圆片进行重复性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。特点&bull 样品座可以放置4英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±50mm的移动行程，并且样品座本身可以进行三维上的精细调节，使得样品测试和换样 更加便捷。&bull 探针臂底座采用磁铁吸附固定，可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到4英寸样品的任意位置（探针臂可安装6个，水平磁场电磁铁探针台可安装4个）&bull 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线&bull 探针采用针套固定，只有针尖裸露在外，减小漏电&bull 电磁铁支架与探针台采用分体隔离支架，在磁体运动时避免振动传导到样品上&bull 样品固定方式采用多孔分区吸附，有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道，可吸附固定1mm*1mm样品&bull CCD放大倍数为180倍，工作距离为100mm型号分类：型号 PSEM-2H(水平磁场) PSEM-2V(垂直磁场)PSEM-4V(垂直磁场)样品座尺寸2英寸2英寸4英寸参数和指标： 样品座卡盘尺寸：2/4英寸，可定制材质：无氧铜镀金样品固定方式：多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道滑台X-Y移动行程：2/4寸:±50mm（水平磁场探针台无滑台）移动精度：10μm探针臂X-Y-Z移动行程：X-13mm，Y-13mm，Z-13mm旋转度：360度自由旋转移动精度：10μm探针臂数量：垂直磁场电磁铁探针台可安装6个；水平磁场探针台可安装4个电学线缆：三同轴线缆漏电流：100fA探针类型：直流探针光学系统显微镜放大倍数：10-180倍显微镜工作距离：90-100mmCCD相机分辨率：3800万像素电磁铁组件（垂直磁场）磁铁型号：EM-60V磁场大小：±0.6T磁铁间距：30mm极柱：直径60mm，标配一副50mm纯铁极头循环水冷却电磁铁组件（水平磁场）磁铁型号：EM-30H磁场大小：±0.3T磁铁间距：60mm极柱：标配一副60mm纯铁极头循环水冷却可加选件光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤

PicoFemto 0.2T垂直磁场液氦闭循环变温探针台,物理实验室专用探针台,可定制探针台系统，整套系统包括探针台主体、垂直磁场、4K液氨制冷机、进口视频显微镜、针座、探针线缆、直流探针、温控仪、进口分子泵组配置如下：探针台主体- 样品台尺寸：50mm- 4个探针臂- 直流超低漏电底栅接口，标准Triax输出- 变温范围：10K~400K- 极限真空度优于5x10-3Pa垂直磁场- 使用6个不同大小的永磁体，- 提供从0.2T到0.03T的垂直磁场4K液氦制冷机- 住友液氦闭循环制冷机，含循环冷水机组- 一级冷头:35 W @ 50 K- 二级冷头:1.5 W@ 4.2 K- 降温时间：1个小时进口视频显微镜- Thorlabs 6.5X变焦镜头，LED环形照明- 物镜0.7~4.5倍连续变倍，- 工作距51mm，分辨率3.1um- 配高清HDMI摄像头，总放大倍率约700倍针座- XYZ移动范围：25mm- 移动分辨率优于10um- 标配4个探针线缆- 超低漏电探针设计，漏电流低于100fA- Triax标准接口输出- Keithley原装低噪声Triax线缆直流探针- 超低漏电探针设计，针尖直径标配10um，可选最小1um温控仪- PicoFemto SmartT温度控制仪- 测温分辨率1mK，- 最da加热功率50W- 温度稳定性：优于±0.01K- 触摸面板，USB接口进口分子泵组- Edwards T-Station 85 分子泵机组，含全量程真空规以上就是关于0.2T垂直磁场液氦闭循环变温探针台配置介绍，如果需要详细了解请致电： 源文地址：

除了我们众多的标准低温探针台产品线外，Lake Shore还可以与您合作设计定制探针台，以满足您的特定实验要求。有关定制产品的一些示例，请参见下文。联系我们讨论您的定制需求。设备型号：无液氦超导磁体探针台定制液氦/液氮冷却探针台√ 3T或5T垂直磁场√ 2 K至420 K（最大磁场降低至室温以上）√ 用于零场测量的可选6.5英寸直径样品座√ 样品阶段的振动小于1µ m√ 最多8个样品√ 高达3 kV电压测试√ ~3.5 K至475 K（675 K可选）√ 样品台处25 nm振动室温真空探针台微型可运送样品真空腔室√ 300 K至500 K（675 K可选）√ 直径2英寸的样品座，带标准探针臂和视觉选件Lake Shore还提供了一个微型、可运送样品的真空室，能够在通过大气环境运输的过程中保持样品处于真空状态。真空室可用于在真空下将晶圆片/衬底从具有特殊环境的手套箱转移到真空或低温微操作探针台（或转移到真空室），并在测试、测量或准备后返回手套箱。这种可运输的真空室在装载和卸载时保护晶片/基板免受大气污染。 与普通的真空Load Lock不同，该真空室具有以下特点和优点：√ 典型尺寸为直径50 mm、厚度25 mm寸√ 无需闸板阀√ 操作非常方便√ 低成本√ 在不增加低温探针台基础温度的情况下安装可运送样品支架

室温永磁铁探针台为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。另外，可用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要的霍尔参数。在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。 PSPM系列室温永磁体探针台是一款专门针对室温垂直磁场电测环境开发的探针台，提供0.5T垂直磁场，能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行重复性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。特点&bull 样品座可以放置8英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±100mm的移动行程，并且样品座本身可以进行三维上的精细调节，使得样品测试和换样更加便捷。&bull 探针臂底座采用磁铁吸附固定，可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到8英寸样品的任意位置&bull 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线&bull 探针采用针套固定，只有针尖裸露在外，减小漏电&bull 永磁铁采用电动控制，可以实现前进后退翻转运动&bull 永磁铁支架与探针台采用分体隔离支架，在磁体运动时避免振动传导到样品上&bull 样品固定方式采用多孔分区吸附，有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道，可吸附固定1mm*1mm样品型号分类：型号PSPM-2PSPM-4PSPM-6PSPM-8样品座尺寸2英寸4英寸6英寸8英寸参数和指标： 样品座卡盘尺寸：2/4/6/8英寸，可定制材质：无氧铜镀金样品固定方式：多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道滑台X-Y移动行程：2/4寸: X-Y轴±50mm；6/8寸: X-Y轴 ±100mm读数精度：10μm探针臂X-Y-Z移动行程：X-13mm，Y-13mm，Z-13mm旋转度：360度自由旋转移动精度：10μm探针臂数量：可安装6个探针臂（左右两边各3个）电学线缆：三同轴线缆漏电流：100fA探针类型：直流探针光学系统显微镜放大倍数：10-180倍显微镜工作距离：90-100mmCCD相机分辨率：3800万像素永磁铁组件磁场大小：0.5T磁铁间距：30mm磁铁极面尺寸：50mm可加选件 光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤

产品简介磁场探针台主要用于半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件及相关技术领域的电、磁学特性测试,能够提供磁场或变温环境，并进行高精度的直流/射频测量。本公司产品设计和生产各类磁场探针台稳定性强、功能多样、可升级扩展,适用于各大高校、研究所及半导体行业的实验研究和生产。

ARS 闭循环电磁铁探针台美国ARS 公司的PS-CC闭循环探针台用于样品的非破坏性检测，测试灵活，可提供0.6T的水平磁场并配备双极电源。该设备广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。 该款探针台使用DE204、DE210或DE215系列冷头，整个测试过程中无需使用任何制冷剂（液氦/液氮）。可根据不同测试要求，选用不同型号冷头，以便样品最低温度到达13K、10K、7K或 4K。所有的ARS闭式循冷头均采用高制冷量的一级冷头，该设计可使系统快速降温并最大程度降低系统热负载。气动驱动GM冷头一级制冷量高，固有振动小，是该领域的理想选择。 该系统配有硬涂层铝制真空罩和高抛光的无氧铜防热辐射屏。高质的真空器件至关重要，可以使样品获得更高的真空环境，更洁净的表面，更好的电接触。 ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了该产品的稳定性能，也利于系统的诊断和服务。 The above picture shows the 4 probes connected to the vacuum chamber.This is a side profile of the table top and does not show the cryocooler underneath.The above picture shows the sample space inside the probe station.应用案例：● 电磁特性● 微波特性● 低频，高频特性● MEMS● 纳米电子学● 超导特性● 纳米器件光电性能● 量子点及纳米线● 单电子● 低电流物理特性 特点备注温度范围： 7K-400K其他温区可选样品区0.6T水平磁场样品区振动优于 1微米12英寸×5英寸不锈钢真空室5.5英寸 × 2.875英寸镀镍无氧铜防热辐射屏1英寸方形镀金无氧铜样品台高纯石英观察窗蓝宝石防热辐射屏冷窗多至4个三维微操作探针臂可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器温度计安装位置：1、冷头温度计，用于诊断2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温3、样品温度计，用于精确测量样品温度4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源可升级16:1显微观察系统规格及技术参数制冷方式闭循环制冷，无需液氦温度范围7K-400K（可选更高制冷量DE215冷头冷台温度 4K,安装高温隔热台高温度可达800K）磁场范围-0.6T至+0.6T磁体型号GMW5403EG磁场方向水平方向极面76毫米水冷需求：2升/分钟，0.8bar电源：双极型电源电压±20V电流±40A高斯计：LS475DSP霍尔传感器LS HGCT-3020温度稳定性优于50mK泵抽真空时间机械泵约45分钟分子泵约10分钟降温时间约2.5小时至10K（DE204P冷头）真空腔无磁不锈钢真空腔12英寸×5英寸上盖安装高纯石英窗口防热辐射屏镀镍无氧铜防热辐射屏5.5英寸 × 2.875英寸上盖蓝宝石冷窗热连接至1级冷头样品台镀金无氧铜样品台1英寸方形接地（标准）绝缘（可选）偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选）偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选）探针臂位移台手动驱动不锈钢焊接波纹管连接X方向（轴向）2英寸行程Y方向（横向）1英寸行程（标准）Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米振动三级减震，振动小于1微米温度计安装4个温度计，2套加热器4个温度计位置：1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温1个DT-670B-SD温度计安装于样品台底部用于控温1个DT-670B-SD温度计安装于冷头位置用于诊断1个校准型CX-1070-CU-4L温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温2套加热器位置：1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温显微观测系统标准7:1显微镜4.2毫米-0.61毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.024-0.08光源：环形光源分辨率：3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器可选16:1显微镜12.8毫米-0.8毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.0090-0.15光源：环形光源分辨率：2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器探针臂直流/低频探针臂微型同轴电缆接头：SMA或BNC频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆包含接地屏蔽接头三同轴电缆接头：三同轴接头频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆卡尔文探针电缆：同轴或三同轴接头：SMA/BNC/三同轴频率：0-100兆赫兹针尖材料：钨针（标准）镀金钨针（可选）铍铜镀金（可选）针尖半径：0.5微米（其他半径可选）GSG高频探针臂0-40GHz接头：K型接头电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-50GHz接头：2.4电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-67GHz接头：1.85电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖光纤探针臂紫外/可见 或 可见/红外接头：SMA905公头光纤样品端：抛光裸头尺寸：100微米-400微米单模或多模

PicoFemto 0.5T水平磁场变温探针台 ,物理实验室专用探针台,可定制探针台系统，整套系统包括探针台主体、4K液氨制冷机、进口视频显微镜、针座、探针线缆、直流探针、射频探针、温控仪、7英寸电磁铁、双极性恒流电源、分体式循环水冷机、进口分子泵组的配置如下：探针台主体- 样品台尺寸：50mm- 4个探针臂：2个直流，2个10G射频- 直流超低漏电底栅接口，标准Triax输出- 变温范围：10K~400K- 极限真空度优于5E-3Pa4K液氦制冷机- 住友液氦闭循环制冷机，含循环冷水机组- 一级冷头:35 W @ 50 K- 二级冷头:1.5 W@ 4.2 K- 降温时间：1个小时进口视频显微镜- Thorlabs 6.5X变焦镜头，LED环形照明- 物镜0.7~4.5倍连续变倍- 工作距51mm，分辨率3.1um- 配高清HDMI摄像头，总放大倍率约700倍针座- XYZ移动范围：25mm- 移动分辨率优于10um- 标配4个探针线缆- 超低漏电探针设计，漏电流低于100fA- Triax标准接口输出- Keithley原装低噪声Triax线缆直流探针- 超低漏电探针设计，漏电流低于100fA- Triax标准接口输出- Keithley原装低噪声Triax线缆射频探针- GGP Picoprobe Model 10， 10GHz 射频探针温控仪- PicoFemto SmartT温度控制仪- 测温分辨率1mK- 最da加热功率50W- 温度稳定性：优于±0.01K- 触摸面板，USB接口7英寸电磁铁 - 极头76mm- 水平方向不低于0.5T磁场- 高纯优质铜线、铁芯，特殊设 计散热结构，适合长时间高场下 稳定工作- 水冷双极性恒流电源- 60V,90A- 水冷，稳定性50pp/h- 支持磁场模式和电流模式控制 输出- 带RS232通讯接口分体式循环水冷机- 7.2KW，水箱容积90L，出水口温 度5～35℃， 控温精度±1℃进口分子泵组- Edwards T-Station 85 分子泵机组，含全量程真空规以上就是关于 0.5T水平磁场变温探针台配置介绍，如果需要详细了解请致电：源文地址：

全自动磁场探针台Spin Tester M可提供管理员、设备工程师、操作员三种用户权限、工艺配方可编辑,创建、删除、修改等操作由用户自定义、用户可以选择报警处理方式，并且可以对历史报警进行查询、系统自动记录工艺过程中的重要参数,并且可以生成可参考的记录、具备数据管理功能,可自动提取回线信息,如翻转磁场、翻转电压等、磁阻、RV特性测量功能。具备脉冲幅值自动标定功能 SOT-MRAM器件翻转概率、误码率、循环特性测测量功能,可进行VCMA测试、系统具备翻转动态测量功能。适用磁存储、磁传感等磁性芯片。 样品兼容性高:最大12吋；精度:2 μm；样品台:X:200 mm/sY:200 mm/s Z轴全行程37mm,角度调整范围士5，满足高达150°C测试需求具备机械臂品圆转移组件具备空中对针与探卡支持功能，可自动清针。

产品简介二维磁场探针台PS2DY-MS主要用于半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件及相关技术领域的电、磁学特性测试,能够提供磁场或变温环境，并进行高精度的直流/射频测量。本公司产品设计和生产各类磁场探针台稳定性强、功能多样、可升级扩展,适用于各大高校、研究所及半导体行业的实验研究和生产。样品尺寸40mm*40mm(最大)探针类型及数量最多支持7组探针同时放置:直流探针(3组)+微波探针(4组)样品位移台参数XY轴位移行程士12.5 mm，位移调节精度1um T轴旋转士5°磁场方向及最大磁场强度面内磁场(X)：800 mT@12 mm垂直磁场(Z)：140 mT面内磁场单独施加时，磁场垂直分量优于 0.025 %产品简述二维磁场探针台，包含两组磁铁，可同时提供垂直与面内磁场，磁场均匀性士1%@Ф1lmm磁场强度实时监测反馈，监测精度优于1%，磁场分辨率优于0.02 mT面内磁铁极头间距可根据样品尺寸调整以获得最大磁场，兼容性强最多兼容7组探针同时使用(4组微波，3组直流)Y轴提供大行程位移装置，在不移动探针情况下快速抽拉更换样品配备样品台倾斜微调旋钮，确保样品平面平行于面内磁场方向

1、 低温探针台工作原理：低温探针台可用来测试芯片、晶圆片和封装器件应用领域包括半导体、MEMS、超导、铁电子学、材料科学以及物理和光学等探针可以施加直流、低频信号或微波信号等（可选一到八探针）高效率连续流低温恒温系统使用液氦或者液氮可使温度控制在3K到475K（可选600K）各类无制冷剂制冷系统（Basetemperature:5K,8K,10K等）可施加各类磁场（永磁体、电磁体和超导磁体）2、低温探针台型号及技术参数如下：CPS-25-CF-HV-10K无氦低温探测台用于10K到460K成本效益，稳定，可靠，使用方便 可达25mm直径的晶片- 温度范围从4.5K到470K（0.1K或更好的精度和稳定性）- 闭环循环制冷机 - 高达25mmx25mm样品表征- 选择DC至67GHz的测量与合适的探头- 4 微控探针臂（最多8个，可以在可选的配置），以高度准确的XYZ和任选θ调整，具有可达4英寸X，1.75英寸Y和0.5的英寸Z- 热锚定探针针尖- 温控辐射屏蔽- 改进真空等度的组件的- 方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）- 高频振动阻尼- 定制的高水平，以适应各种的探测需求详细参数可达25mm，50mm以上100毫米无液氦闭路循环制冷机，包括冷头，压缩机，制冷机和氦软管温度范围：低于10K到480K控温精度：0.1K温度分辨率：0.001K热锚探头武器和辐射屏蔽chuck温控（加热）盘变焦70系统（4UM分辨率）标准，缩小125或160变焦系统可作为选件，以及更便宜的解决方案同轴和环形照明LED照明数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力软件进行计算机控制和温度监控。几个温度测试序列是预编程和定制序列可以由最终用户很容易地编程 CPS-100-CF-77K无氦低温探针台对于晶圆级测试在77K至480K- 成本效益，稳定，可靠，方便使用可达100mm直径的晶片- 温度范围从4.5K到480K（0.1K精度）- 闭环循环制冷机- 高达2英寸直径的表征样品- 选择DC至67GHz的测量与适当的探头- 4 微控探针臂（最多8个，可以在可选的配置），以高度准确的XYZ和任选θ调整，具有最多4英寸X，1.75英寸Y和0.5英寸Z- 热锚定探针针尖- 温控辐射屏蔽方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）- 高频振动阻尼- 定制的高水平，以适应各种的探测需求详细参数可达25mm，50mm以上100毫米无液氦封闭循环制冷机包括冷头，压缩机，制冷机和氦要求软管低于77K到480K控温精度：0.1K温度分辨率：0.001K热锚探头武器和辐射屏蔽chuck温控（加热）盘窗口材料：熔融石英，定制材料和涂层可变焦70系统（4UM分辨率）标准，缩小125或160变焦系统可作为选件，以及更便宜的解决方案同轴和环形照明LED照明数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力软件进行计算机控制和温度监控。几个温度测试序列是预编程和定制序列可以由最终用户很容易地编程 CPS-150-LN2/LHe-HV液体低温探针台适合全片的测试在5K至460K范围 具有成本低，稳定，可靠，方便使用等特点可达150mm直径的晶片- 温度范围从4.5K到470K（0.1K或更好的精度和稳定性，优于在低于250K50mK稳定性）无论是用液氮或液氦冷却均可兼容- 选择DC到110GHz的测量与合适的探头- 4 微控探针臂（最多8个，可以在可选的配置），以高度准确的XYZ和任选θ调整，具有最多4英寸X，1.75英寸Y和0.5英寸Z- 热锚定探针针尖- 温控辐射屏蔽方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）- 高频振动阻尼- 定制的高水平，以适应各种的探测需求- 电动XY，XYZ或XYZ?夹头位置调整作为选项带有不同的范围和分辨率 详细参数175毫米D，最多3个辅助夹头可以安装液氮或液氦冷却温度范围：5K至480K可用控温精度：0.1K温度分辨率：0.001K热锚探头武器和辐射屏蔽窗口材料：熔融二氧化硅或石英，定制材料和涂层可同轴和环形照明LED照明数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力隔振- 空气减震系统隔振表- 无振动隔离波纹管- 在卡盘振动30nm CPS-CF无氦低温探针台CPS-CF成本低，稳定，可靠，方便在非常低的温度对器件和电路的探测。内置隔振，智能热管理和工程热补偿，使这个系统非常适用于广泛的纳米电子学，从跨越应用程序（石墨烯研究，分子电子学等）。该系统采用闭式循环制冷机和专有的热管理，具有经济快速的操作。内置隔振的振动最小化符合行业标准的水平。超稳定的微操纵阶段允许在设备功能的探针尖端的准确和可重复的接触。探头和硅片夹的多种选择允许应用程序超精密，FA-规模的测量，射频测量等等 具有成本低，稳定，可靠，方便的使用的优点- 温度范围从4.5K到480K（0.1K精度）- 闭环循环制冷机 成本低- 高达2英寸的直径样品- DC至67GHz的测量- 4 微控探头臂（最多8个提供选装配置），高度精确的XYZ和可选θ调整-热锚定探针针尖- 温控辐射屏蔽方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）- 高频振动阻尼- 定制的高水平，以适应各种的探测需求 详细参数可达50mm无液氦 封闭循环制冷机包括冷头，压缩机，制冷机和氦要求软管温度范围：4.5K到480K，6.5K至480K，10K到480K控温精度：0.1K热锚探头武器和辐射屏蔽chuck温控（加热）盘夹头和探针臂的温度监控窗口材料：熔融石英，定制材料和涂层变焦70系统（4UM分辨率）标准，缩小125或160变焦系统可作为选件，以及更便宜的解决方案同轴LED照明数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力基于LabVIEW的软件进行计算机控制和温度监控，可以由最终用户很容易地编程空气减震系统隔振表- 无振动隔离波纹管低温探针台的特点：全自动真空探针台由美国MicroXact公司生产，该探针台通过真空系统、气体压力系统及自动化软件实现对系统真空腔内真空度的精确控制，通过光学显微镜及搭配的数字成像系统实现对测试晶圆影像的捕捉及存储，并通过软件控制自动马达根据设定程序实现晶圆测试过程中的自动对准及移动测试功能。同时配置的变温载物台通过加热和冷却装置实现样品的变温测试目的