分子泵

真空系统中，关泵时，头晕了一下，先关了机械泵，过了一会反应过来关错了，然后又开机械泵了，再按正常的步骤关了设备，结果再抽的时候，机械泵抽不出 好想是漏气似的，检查来检查去实在是不知道那里漏气。 机械泵是好的，分子泵会不会出问题？那地方会出问题呢？ 我也不太懂，是新设备上的。就是机械泵连在分子泵上。如果分子泵不开，机械泵抽一会，真空会上去，应该是负责分子泵前级和真空室预抽。 它这个是有保护功能，一般不是说分子泵是二级泵，必须在一定的的真空下才可以开吗？它这各可以同时开，只是在真空度不上去时，分子泵不工作而已。 抽的时候阀门没有动。 气路就是一个scroll pump 连在turbo pump 再接闸板阀，再接到腔。 现在的症状就是机械泵抽的声音很大，不断有气从排气孔出来，显然是漏气了。别的地方又没有动，分子泵内部是不是哪里破了，漏气呢？ 谢谢！

真空蒸镀机，普发分子泵转速只有1000左右，抽真空只能抽到2*10-1,，然后分子泵就会报错run up time error。监测机械泵能抽到10-2，分子泵的开关电源之前烧了，换了电源和保险丝后开机，就是这个样子了。

我在用分子泵抽真空时忘记开循环水了，结果抽了三小时至6.8*E-4Pa,分子泵开始报警，迅速将闸板阀关上了，因为此时分子泵的停止按钮无效，最后关掉了电源，请问这样后果是不是很严重？如果不关电源，而是直接把循环水打开，让它边转边冷下来，报警会消失吗？这样做是否可取？还望各位高手多多指点~~~

最近要评估GC/MS,厂家在分子涡轮泵这快有很大争议,请高手帮忙指点迷津!我们是做RoHS的实验室,有厂家说配制70L/S的分子涡轮泵就可以了,有厂家说要配制255L/S的分子涡轮泵,由于本身2种型号的分子涡轮泵价格差异不少,也想请问下各位你们在使用的仪器用的哪种分子涡轮泵呢?非常感谢

一台热电Trace1300 的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质联用仪[/color][/url]，分子涡轮泵坏了，坏的过程经历几个阶段，请大神解疑答惑。1. 第一次是做样分析的时候，质谱端Vacuum灯一直闪烁，发现分子涡轮泵和机械泵均停止了工作。然后我把质谱端电源断开后再通电，分子涡轮泵和机械泵均恢复正常，真空度一会就达到60mtor。2. 正常工作一个星期左右，质谱端Vacuum灯又一直闪烁，发现分子涡轮泵和机械泵再次停止了工作。这次我放空关机后，把机械泵泵油更换新的，换下来的泵油也就一点点黄。然后再正常开机，分子涡轮泵和机械泵均恢复正常，抽完真空后，真空度也达到约60mtor。3.正常工作约2天左右，质谱端Vacuum灯又一直闪烁，发现分子涡轮泵和机械泵还是停止了工作。这次没辙了，也不敢再断电重启MS，直接关机待修了。呼唤厂家工程师上门。昨天开机后，机械泵启动几分钟后停止工作，分子涡轮泵一直不工作了。请问，这个分子涡轮泵故障的原因有哪些？换一个新的要10多万大洋[img]https://simg.instrument.com.cn/bbs/images/default/em09509.gif[/img]急急急！

[em09] 分子泵在未点火的情况下自己停了,再抽真空时分子泵的转速到600左右时就再也上不去了,什么原因?谢谢各位了!

请问，我们的电镜想改装分子泵，该用什么规格的分子泵，目前进口产品的价格大约为多少？

涡轮分子泵是高或者超高真空泵，可以提供无油的超高真空度，因此是质谱仪的重要组成部分，想要更好的使用质谱仪，就不得不了解涡轮分子泵工作原理的基础及合适的（前级）泵的择。第一台涡轮分子泵是在1955年发明的。当时，Willi Becker博士在Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik GmbH（现在的Pfeiffer Vacuum）已经任职13年，担任技术实验室负责人。他关注的问题是如何防止扩散泵中的油回流到泵壳中。为此，他将一个旋转风扇轮作为挡板。通过这种方式，气体粒子沿压力梯度方向流动，没有明显的传导损失。在这相反方向，倒流的油分子被旋转的风扇轮反射。这阻止了分子到达高真空一侧。在进一步的研究中，贝克尔博士注意到，这种设计不仅减少了扩散泵油回流的问题，同时还产生了较低的总压力。然后，他应用了一个转子-定子组合和多个串联的泵级。在这种设计中，他使用了左右两侧对称流模式--一个由皮带驱动的转子，速度达到16,000转/分钟。该泵重62公斤，抽速为900立方米/小时，在1956年获得专利，是今天所有涡轮分子泵的先驱。1958年，在比利时纳穆尔举行的国际真空大会上，该泵首次被展示。如果没有这项发明，我们的现代生活将是不可想象的--因为没有涡轮分子泵，半导体生产的许多制造步骤以及无数的真空镀膜工艺将不可能实现。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323927.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]* 威利-贝克尔博士，1958年在阿瑟-普发真空技术有限公司（今天的普发真空）的实验室里[color=#222222]工作原理和压缩比[/color]涡轮分子泵是如何工作的？从快速旋转的叶片到被抽气的气体分子的动量转移是转子和定子叶片排列的泵送作用的基本原理，如图1。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323928.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img] 图1 涡轮分子泵的工作原理[color=#222222]撞击到叶片上的分子被吸附在那里，并在短时间内再次离开叶片。叶片速度v被叠加到分子热运动速度c。分子热运动速度c是分子离开泵的速度。分子流动必须在泵中占主导地位。否则，叶片传递的速度分量将通过与其他分子的碰撞而丢失。因此，平均自由路径T必须大于通道高度h。在泵送气体的过程中，动能泵中会出现背压，导致倒流。S[/color] [font=&][color=#222222]0 [/color][/font] [color=#222222]表示没有前级压力的抽速。它随着前级压力的增加而减少，在最大压缩比K时达到0值。[/color]压缩比K0，可以根据Gaede来估计。对于视觉密集型叶片结构，Gaede的公式适用。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323929.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图2 转子和定子叶片的排列方式Gaede的公式[align=center][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323930.png?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][/align]其中： p[size=11px]V[/size] = 前级真空压力 p[size=11px]A[/size] = 吸气压力 v = 叶片速度[font=微软雅黑, &][size=14px] = 平均分子热运动速度[/size][/font] L = 通道长度 h = 通道高度 g = 用于指定平均冲击距离的系数，是通道高度的倍数（1g3)在图中用v-cos α替换公式v，用b替换L，用t-sin α替换h，我们可以得到[font=微软雅黑, &][size=14px][size=18px] [/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px] [/size][/size][/font]根据Gaede的估计，假设叶片是视觉密集的，因此满足cos α = t/b的条件（见图1）。对于较大的叶片间距，这意味着压缩量减少。[font=微软雅黑, &][size=14px][size=18px] [/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px] [/size][/size][/font][font=微软雅黑, &][size=14px]几何比率取自图1。因子g在1到3之间[2]。K[size=11px]0 [/size]因此，随着叶片速度v和 [/size][/font][font=微软雅黑, &][size=14px] aaan的增加呈指数增长。[/size][/font][font=微软雅黑, &][size=14px][size=18px] [/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px] [/size][/size][/font]R 是通用气体常数。T 是热力学温度和。M 是分子质量。因此，氮气的压缩比要比氢气的压缩比高得多。抽气速度的计算抽气速度S [size=11px]0 [/size]与吸气面积A和叶片的平均圆周速度v，即旋转速度成正比。如果考虑到叶片角度α，就可以得到这个结果。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323931.png?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][font=微软雅黑, &][size=14px][color=#222222]图3 的Y轴上画出了以[/color][i]l[/i][color=#222222]s[/color][font=&]-1[/font][color=#222222] cm-2为单位的比抽速，X轴上画出了循环频率f和叶片的外半径（Ra）和内半径（Ri）的平均叶片速度v=π-f-（Ra+Ri） 。从X轴上的一个选定点垂直向上移动，与曲线的交点显示了该速度下泵SA的最大特征泵送速度。乘以输入盘的叶片面积：[i]A[/i]=（Ra2-Ri2）π ，就可以得到抽气速度。[/color][/size][/font][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323932.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图3 涡轮泵的具体泵送速度[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323933.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图4｜泵送速度是相对分子量的函数[color=#222222]图3中输入的点是根据所示的Pfeiffer Vacuum泵的测量值确定的。远高于曲线的点在实际上是不可能的。以这种方式确定的泵送速度还不能说明轻质气体的数值，例如氢气（图4）。如果涡轮分子泵是为低极限压力而设计的，就会使用不同叶片角度的泵级，并对氢气的最大泵速进行分级优化。这样就能同时为氢气（约1000）和氮气提供足够的压缩比的泵。由于空气中的氮气分压很高，压缩比应该在10的9次方左右。对于由转子和定子盘组成的纯涡轮分子泵，由于其分子流的要求，前级真空压力需要达到约10[/color][font=&][color=#222222]-2[/color][/font][color=#222222] hPa（图5）。[/color][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323934.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图5｜抽速与抽气压力的关系[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323935.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图6｜霍尔韦克级的工作原理[color=#222222]霍尔韦克级的特殊功能[/color]Holweck级（图6）是一个多级Gaede分子泵，有一个螺旋形的泵通道。由于转子的旋转，进入泵通道的气体分子在泵通道的牵引方向上得到一个速度。由于转子和分离分隔Holweck级的挡板之间存在间隙，因此会出现回流损失。为了尽量减少回流，间隙的宽度必须保持较小。圆柱形套筒（1）被用作霍尔韦克平台的转子，它在定子（2）的螺旋通道中旋转。如果定子被安排在转子的外部和内部，两个霍尔韦克级可以很容易地被整合到一个泵中。这样，被泵送的气体颗粒首先通过转子外侧的定子通道，然后再通过转子内侧的定子通道向上输送。从那里，它们通过一个收集通道，到达前级泵。现代涡轮分子泵有时有几个这样的"折叠式"霍尔韦克级，其泵送速度S [size=11px]0[/size]是相同的。[font=微软雅黑, &][size=14px] [/size][/font]这里，b - h是通道的横截面，v - cos α是通道方向的速度分量。随着通道长度L和速度v - cos α[align=center][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323936.png?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][/align]压缩比就会增加。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323937.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图7｜纯涡轮分子泵和涡轮拖动泵的压缩比今天，涡轮泵配备了Holweck级，是为了使极限压力在0.5-5hpa之间，以隔膜泵为前级建立起涡轮分子泵系统，这些被称为涡轮拖动泵。由于涡轮泵的高压缩比，只需要很小的泵送速度就可以为Holweck级产生低的本底压力。因此，排气通道--特别是通道高度和到转子的间隙--可以保持得非常小，分子流可以保持在1 hPa范围内。氮气的压缩比同时增加了所需的10的3次方数量级。在图9中，我们可以看到压缩比曲线向更高压力的方向移动了大约10的2次方。在为高气体吞吐量而设计的涡轮分子泵中，在气体吞吐量、前真空兼容性和颗粒容忍度之间做出了妥协。在这种情况下，Holweck级的间隙距离尺寸要大一些。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323938.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图9｜纯涡轮分子泵和涡轮拖动泵对氢气的压缩比[font=&]选择正确的前级泵[/font]涡轮分子泵和前级泵的压缩在获得最低的压力范围方面起着重要作用。这对于氢气等轻质气体来说尤其如此。在以前的超高真空应用中，前级泵已经能够提供10-2hPa左右的低压。涡轮分子泵的压缩比可以在此基础上确定。旋片泵、多级罗茨泵或泵站等前级泵可以提供这样的低前级压力。尽管旋片泵是比较经济的选择，但当涡轮泵关闭时，有油倒流的风险，特别是在错误操作的情况下。干式前级泵甚至泵站，能产生很低的前级真空，其价格要高得多，而且需要相对较大的空间，这在许多应用中是一个不利因素。这里最理想的解决方案是使用一个小型的、低成本的干式前级泵。大多数涡轮分子泵是全能型的。除了良好的压缩性能，它们还提供大的泵送速度和高的气体吞吐量。然而，在极少数超高真空应用中，高气体吞吐量根本没有发挥任何作用。相反，泵送速度和对轻质气体的出色压缩比才是最重要的。涡轮分子泵的霍尔韦克级为最大压缩值进行了优化，这不可避免地减少了泵的气体吞吐量。然而，这对上述应用来说是次要的。然而，备用泵和涡轮分子泵的总压缩比的很大一部分可以转移到涡轮泵上的事实是非常有利的。因此，带有压缩优化的霍尔韦克级的涡轮分子泵可以在明显高于前级压力的情况下排气，以达到相同的极限压力。因此，在使用带有压缩优化的霍尔韦克级的涡轮分子泵时，一个小型隔膜泵就足以产生超高真空（见图9，表1）。[font=微软雅黑, &][size=14px][font=&][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323939.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][/font][/size][/font][font=&][/font][font=微软雅黑, &][size=14px][font=&]表1｜使用Hipace300H和不同的前级泵所能达到的极限压力[/font][/size][/font] [img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323940.gif?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][align=left]这种优化的涡轮分子泵具有很高的真空兼容性，因此隔膜泵毫无疑问仍然可以在间歇模式下运行。只有当前级的真空压力达到一个不允许的高值时，才需要开启它。众多的应用表明，隔膜泵的运行时间不到总时间的10%。除了由此带来的能源节约外，前级泵较低的热辐射和最终在实验室中几乎无噪音的运行也不应被低估。[/align][align=left]此外，为了保持极低的压力（见图9和表1），通常连接在涡轮分子泵下游的离子捕集泵就不再需要了。[/align][align=left]因此，通过现代涡轮分子泵中Holweck级的智能互连，可以大大增加压缩比，特别是对轻质气体。简单、小型的前级泵可用于在低UHV范围内产生非常低的压力。与过去使用的选择相比，这是一个非常大的优势。然而，同样重要的是指出这些解决方案的局限性。高压缩比的涡轮泵不太适合大气体负荷。[/align]激光平衡技术[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323941.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]2021年，Pfeiffer真空公司已经推出了激光平衡技术。最后，小析姐分享给大家几个涡轮分子泵在使用小tips：1、为防止涡轮分子泵返油，开机前先将前级泵抽至2托，然后再启动涡轮分子泵。2、在涡轮分子泵与前级泵之间可串入一只挡油阱以防止机械泵油蒸汽的返油。3、不能在前级泵工作时（前级管路接通）和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。4、选择系统前级泵大小时，应使涡轮分子泵的前级泵保持在分子流状态下。5、不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运行。6、分子泵入口应装设防护网，以免异物进入泵内损坏转子和定子叶片。7、规范使用涡轮分子泵，可有效提升真空泵的使用效率，延长使用寿命

[color=#fe8637]￠[/color][color=black]涡轮分子泵的简介[/color][color=black]:[/color][color=black]1956[/color][color=black]年[/color][color=black],[/color][color=black]德国人贝克（[/color][color=black]W.Becker[/color]）发明了涡轮分子泵，以高速旋转的动叶片和静止的定叶片配合来实现抽气，极限压强可达[color=black]10[/color][color=black]-9[/color][color=black]Pa[/color][color=black]以下[/color][color=black]。[/color][color=#fe8637]￠[/color][color=black]轮轮分子泵的生产产家很多[/color][color=black],[/color][color=black]它用于高真空的设备。例如[/color][color=black]BOC [/color]Edwards,Leybold[color=black], [/color][color=black]Alcatel,Varian[/color][color=black](Merged by [/color][color=black]Aglient[/color]),Alcatel,Pfeiffer, Osaka, Shimadzu, Ebara[color=black]。等等。分子泵可分为磁悬浮轴承分子泵[/color][color=black],[/color]机械轴承分子泵[color=black],[/color][color=black]和半磁悬浮轴承分子泵[/color][color=black].[/color][color=#fe8637]￠[/color][color=black]气体分子理论[/color][color=black]:[/color][color=black]在正常的大气压力下[/color][color=black],[/color]也就是[color=black]760Torr,[/color][color=black]由于空间内的气体分子分布密集[/color][color=black],[/color][color=black]各气体分子的平均自由径仅为[/color][color=black]0.07[/color]微米[color=black],[/color][color=black]因而气体为粘滞流状态[/color][color=black],[/color]几乎是在原地振动。[color=#fe8637]￠[/color][color=black]随着真空度的提高[/color][color=black],[/color][color=black]单位体积内的气体分子数量逐渐减少。当真空度达到[/color][color=black]1x10-3Torr[/color][color=black]之後[/color],[color=black]其平均自由径为[/color][color=black]5cm,[/color]气体分子呈现出“分子流”的状态。这也是[color=black]Turbo Pump[/color][color=black]被称为分子泵的原因。[/color][color=#fe8637]￠[/color][color=black]磁悬浮轴承分子泵：泵的转动轴承以磁悬浮形式为主。当泵的主体通电后，首先是轴承部由电磁铁产生磁悬浮力，将泵的转子浮起。而后是转子部的回旋加速，直至额定转速。此类泵可以减少定期的维护保养的周期[/color][color=black]([/color][color=black]保养周期的决定主要是在于是用于哪一种[/color][color=black]Process)[/color][color=#fe8637]￠[/color][color=black]机械轴承分子泵：泵的转动轴承以陶瓷轴承为主。当泵的主体通电后，转子部即开始回旋加速，直至额定转速。此类泵因使用环境的不同，需要按一定的周期做维护保养，主要维护内容是轴承部的润滑和轴承的更换等。[/color][color=#fe8637]￠[/color][color=black]半磁悬浮轴承分子泵：[/color][color=black]在一个单一泵中使用两个轴承的概念[/color],[color=black]在这种情况下， 油润滑球轴承安装在前真空侧上轴的端部[/color].[color=black]且高真空侧配备了免维护和无磨损的永磁轴承，其将转子置于径向中心位置。正常工作期间，轴颈在该轴承仔由旋转。如果存在强劲的径向冲击，安全轴承则稳定转子并只在短时间转动。[/color][color=#fe8637]￠[/color][color=black]工作原理[/color][color=black]:[/color][align=left](1)[color=black]动量传输作用：碰撞于表面的分子离开表面时[/color],[color=black]获得与表面速率相近的切向速率。利用高速旋转的动轮叶将动量穿给气体分子[/color],[color=black]使气体产生定向流动而抽气。[/color][/align][align=left](2)[color=black]气体分子经过第一动轮叶作用後[/color],[color=black]除了少数未与叶片碰撞而直接飞过去以外[/color],[color=black]大部份与动轮叶碰撞并获得近乎动轮叶的切向速率[/color]…[color=black]然後接下来进入静轮叶[/color],[color=black]因为两者有相对速率[/color],[color=black]就能发生碰撞并有向下飞行的运动分量。[/color][/align][align=left][color=#fe8637]￠[/color][color=black]分子泵的优缺点[/color][color=#fe8637]￠[/color][color=black]优点[/color][color=black]:[/color][/align][align=left](1)[color=black]无油蒸气的污染[/color][color=black],[/color][color=black]能获得清洁的高真空[/color][/align][align=left](2)[color=black]启动快[/color][color=black],[/color][color=black]激活快。[/color][/align][align=left](3)[color=black]涡轮分子泵多占空间小[/color],[color=black]安装方向不受限制[/color]([color=black]油润滑轴承除外[/color][color=black]),[/color][color=black]可用于安装位置受限制的地方。[/color][/align][align=left](4)[color=black]气体输送能力强[/color][color=black],[/color][color=black]适用于气体负荷高的工艺过程[/color][color=black],[/color][color=black]如溅射[/color][color=black],[/color][color=black]蚀刻等。[/color][/align][align=left](5)[color=black]入口压力范围可在[/color]10x-1[color=black]～[/color][color=black]10x-3Torr[/color][color=black]之间运行[/color][color=black],[/color][color=black]在这个压力范围内[/color][color=black],[/color][color=black]离子泵不能应用[/color][color=black],[/color][color=black]对于低温泵需要节流抽速或经常再生[/color][color=black],[/color][color=black]对扩散泵的工作也会变得不稳定[/color][/align][align=left][color=#fe8637]￠[/color][color=black]缺点[/color][color=black]:[/color][/align][align=left](1)[color=black]价格高[/color][/align][align=left](2)[color=black]对颗粒物或沉积物敏感[/color][/align][align=left](3)[color=black]有的泵耐大气冲击能力不足[/color],[color=black]叶片会因共振弯曲相碰而损坏。[/color][/align][align=left][color=#ffffff]目前我在一家分子泵维修保养的公司担任销售的工作,欢迎进行分子泵的交流和讨论,如果有需求也可站内私信我...[/color][/align]

光谱仪也有分子泵？

如题。　　据我们目前所了解，扩散泵比分子泵在开关机时间上均要长上十分钟，需要水冷系统，但在可获得的真空度方面，却要高上一个数量级。　　如果仅是以上几个原因的话，那岂不是扩散泵比分子泵要更有优势啊，前后十多分钟，我们完全可以进行扫描前准备工作啊。

我的扫描电镜经常在开机抽真空或使用过程中分子泵的高压保险丝断丝，原因可能是电源不稳定（供应商说，我们还有UPS）或分子泵中有外物掉入，我用电镜也有4、5年头了，第二种可能性居多，但我自己从未拆过分子泵，也从未见过供应商拆过分子泵，请问谁有拆过分子泵的经验，能否将具体的细节告之，我知道各仪器不同会有所区别，我只要参考下，以及特别需要注意的环节。 希望有人能给予帮助！ 谢谢！ cz_sem@sohu.com

Varian Saturn 2000 系统，在运行样品的过程中，突然出现vacuum pump not ready的信息，然后说系统硬件出现问题。重启之后分子泵电流为480－500mA，但是速度只有8％，一直不增加。等待几分钟后，出现pump control error，泵速为0％，电流仅为10－20mA。不知道是什么问题？

5、操作程序　　由于涡轮分子泵的种类和型号是多种多样的，每种泵的操作方式由制造厂家提供，涡轮分子泵的操作最简单、最便宜的方法是同时启动涡轮分子泵和前级泵，当涡轮分子泵加速到正常转速时，同时也预抽完了该系统，在此初始高压强预抽阶段，油蒸汽的返流是不可能的。因为这时系统内气体处于粘滞流或层流状态，排出气体的密度大，可阻挡任何碳氢化合物的分子向涡轮分子泵方向返流。当达到分子流态时，涡轮分子泵已进入正常速度运转，在泵高压缩比的情况下运转时，就可防止了油蒸汽的返流。　　涡轮分子泵的前级泵由一个电纽开关控制，两泵可同时启动和停车。　　在某些快速循环的系统中，也没有足够的时间，使涡轮分子泵在每一个循环周期内，由于时间短来不及达到正常的运转速度。在这种情况下，就不能随工作循环去周期性地开启涡轮分子泵。此时涡轮分子泵就不得不连续的运转，前级泵粗抽真空室，很快就能达到涡轮分子泵的启动压力，就可以很快打开主阀，涡轮分子泵可以在相对高的压力下工作（节约了时间）也可使粗抽管道返流降到最低程度。

分子涡轮泵自动减速，停止。之前的征象是泵电流起初略高,～265mA，后来超高，～500mA,并停止工作。已经做过的诊断是diagnosis通过，前级泵无问题，风扇和电子元件除尘处理，仍无改善。我猜想会不会是泵自我保护？或是泵坏了（最好不是这样）请问高手：泵电流在哪些情况下会跑高？问题可能出在哪里？现在该做如何处理？谢谢！

在我们论坛上质谱综合版面专家的帖子里发现一大学网站里的这个资料，转来给我们[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/yp][color=#3333ff]ICP-MS[/color][/url]的版友分享。专家的分享，我已投票感谢了。还有，希望了解较多、懂行的版友能够跟帖，纠正错误，给广大版友带来方便。再次首先感谢您的支持^_^分子泵的作用利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器和高级电子器件制造等方面。1958年，联邦德国的W.贝克首次提出有实用价值的涡轮分子泵，以后相继出现了各种不同结构的分子泵，主要有立式和卧式两种,图1 为立式涡轮分子泵的结构图。涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、静叶轮和驱动系统等组成。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度（一般为150～400米／秒）。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。图2为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。分子泵的结构-涡轮分子泵在运动叶片两侧的气体分子呈漫散射。在叶轮左侧,当气体分子到达A点附近时，在角度α1内反射的气体分子回到左侧；在角度β1内反射的气体分子一部分回到左侧，另一部分穿过叶片到达右侧；在角度γ1内反射的气体分子将直接穿过叶片到达右侧。同理，在叶轮右侧（图3b）,当气体分子入射到B点附近时，在α2角度内反射的气体分子将返回右侧；在β2角度内反射的气体分子一部分到达左侧，另一部分返回右侧；在γ2角度内反射的气体分子穿过叶片到达左侧。倾斜叶片的运动使气体分子从左侧穿过叶片到达右侧，比从右侧穿过叶片到达左侧的几率大得多。叶轮连续旋转，气体分子便不断地由左侧流向右侧，从而产生抽气作用。 分子泵泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为108～109 对氢为102～104；对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限压力为10-9帕,工作压力范围为10-1～10-8帕,抽气速率为几十到几千升每秒（1升＝10-3米3）。涡轮分子泵必须在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态）下工作才能显示出它的优越性,因此要求配有工作压力为1～10-2帕的前级真空泵。分子泵本身由转速为10000～100000转／分的中频电动机直联驱动。 分子泵的维护一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其它的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下： 1.关掉分子泵，进行排气。2.从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。3.拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等4.拆掉润滑的油包5.将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。6.往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜。7.上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗，在无水酒精中浸泡大概5～10分钟。8.换掉无水酒精，加入新的无水酒精，重复前面的工作，最少要重复一次。9.拿出分子泵。10.将高真空接口朝上，从垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性轴承中的酒精。11.用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置，利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。12.接上前级真空泵，不要开分子泵，利用前级泵抽真空，达到大概10E－1左右，以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。13.更换真空泵中的真空油，接上分子泵开始工作。注意第一次抽真空时是比较慢，这是因为分子泵中有残留的酒精，属于正常情况。在分子泵中最容易损坏的就是轴承了，所以更换轴承是一个主要的工作。更换轴承需要爱一个干净的环境中更换，我们一般更换的是马达这边的轴承。更换轴承需要一些特殊的专用工具。值得注意的是，在每次更换轴承的时候，油包也一定要更换。参考资料Working with turbo pumps，Pfeiffer vacuum[color=#DC143C]我们不一定要自己拆卸真空系统清洗，资料也可能落后了，但是可以了解下。以下链接有版友回帖，并冒失的总结一句，最好不要自己动手拆洗还能用的分子泵，代价很大[/color]此贴中把图也附上了，可以一起学习。[URL=http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20090412/1834110/]http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20090412/1834110/[/URL][URL=http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20090412/1834157/]http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20090412/1834157/[/URL]

一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其它的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下： 关掉分子泵，进行排气。从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等拆掉润滑的油包将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜，如下图。上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗，在无水酒精中浸泡大概5～10分钟。换掉无水酒精，加入新的无水酒精，重复前面的工作，最少要重复一次。拿出分子泵。将高真空接口朝上，从垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性轴承中的酒精。用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置，利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。接上前级真空泵，不要开分子泵，利用前级泵抽真空，达到大概10E－1左右，以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。更换真空泵中的真空油，接上分子泵开始工作。注意第一次抽真空时是比较慢，这是因为分子泵中有残留的酒精，属于正常情况。在分子泵中最容易损坏的就是轴承了，所以更换轴承是一个主要的工作。更换轴承需要爱一个干净的环境中更换，我们一般更换的是马达这边的轴承。更换轴承需要一些特殊的专用工具。值得注意的是，在每次更换轴承的时候，油包也一定要更换。[color=#DC143C][size=4]以上内容来自网络，质谱工程师不建议自己对分子涡轮泵进行维护，工程师说他们只负责拆装，也不做维护，都是发回厂家维护的。[/size][/color]

[align=center][font=DengXian]涡轮分子泵的结构和工作原理是什么？分子涡轮泵使用有什么注意事项？[/font][/align][font=DengXian]涡轮分子泵的结构和工作原理是什么：分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子涡轮泵靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。[/font][font=DengXian]分子涡轮泵使用时候，确保前级真空泵运转正常得到足够的初级真空，不漏气。按照开机和关机程序来开关[/font][font='Aptos',sans-serif][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]GCMS[/color][/url][/font][font=DengXian]。不频繁启动。柱子穿过石墨密封垫后切割后进入离子源。应避免颗粒或其它杂物进入，叶片的间隙很长小，会高速运转生物损坏叶片。遇到突然停电，及时关闭电源，以防止突然来电，分子涡轮泵突然开启。尽量安装后备[/font][font='Aptos',sans-serif]UPS[/font][font=DengXian]电源或断电保护装置。注意观察分子涡轮泵的风扇是否运转正常。平时开关机多注意分子涡轮泵的速度变化和声音变化[/font]

专业维修所有进口品牌的分子泵，涡轮分子泵，高真空分子泵，磁悬浮分子泵，真空泵，油泵～有问题的可以联系我一起交流学习！[img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306200746344571_7322_5579689_3.png[/img]

摔了一颗分子泵

2、压缩比　　涡轮分子泵的压缩比是指前级管道（排气口处）的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同，泵对各种气体的压缩比也不同。泵对氢的压缩比很小，一般为1000 左右，这样一来如果前级管道中氢的压力为1×10- 7Torr（13.33 μPa），那么进气口处氢的压力则小1000倍，即为1×10- 10 Torr（13.33 nPa），由于氢是超高真空系统中主要的残余气体，所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。?　　涡轮分子泵对于大分子量的气体，如对那些碳氢化合物分子的压缩比是相当大的，一般高于1012。这个比值根据不同泵，以及不同分子量而不同，由于前级泵的不同和其它因素，涡轮分子泵的前级管道中的碳氢化合物的分压力在10- 4 Torr（13.33 mPa）～10- 6 Torr（133.3 μPa）之间，在这种条件下，在泵的入口处碳氢化合物的分压力将低了1012 倍，即为10- 16 Torr（13.33 fPa）或更低。这样几乎是无限小的压力，已超出了可测量的范围，即使最灵敏的质谱仪也难以测出。

1、返流　　涡轮分子泵具有提供超清洁、无碳氢化合物的真空环境的能力，故常被用户选用，然而，用户也偶尔会发现涡轮分子泵提供不了不含碳氢化合物的真空环境，经调查发现碳氢化合物的来源，50%是操作失误所带来的问题，如涡轮分子泵的前级泵为油封式旋片泵时，没有控制返流的安全阀，不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染。　　为了在系统中实现无碳氢化合物这一要求，在前级泵不是干式泵的情况下，有必要了解涡轮分子泵的压缩比及如何给泵充气的一些基本知识。

(3)在何处充气　　在涡轮分子泵的前级侧充气，能强制使碳氢化合物立刻通过涡轮分子泵流入真空室。另一方面，若在涡轮分子泵吸入侧充气，能达到以清洁气体覆盖表面的目的。并使气流流向涡轮分子泵（自上而下），能暂时阻止、延迟碳氢化合物的返流，也有些涡轮分子泵在压缩级之间进行中间充气，它和在吸入侧充气控制碳氢化合物返流几乎同样有效。在超高真空系统中，在压缩级充气尤其优越。因为中间充气不需要价格昂贵的金属密封的可烘烤的充气阀。

分子泵冷却装置是仅用压缩空气吗？冷凝水是做何用途的？

我这里是ARL9800型的，2001年使用，到现在差不多是平均每年要换个新的分子泵，听ARL工程师讲，其它地方的分子泵没有像我们这里坏的频率高。请各位讲讲引起分子泵坏的原因都会有哪些，我好对照看看，找找是什么原因造成的。

4、前级管道设安全阀　　如果不采用一个操作合理的前级管道安全阀，就有可能即污染涡轮分子泵又污染真空室。当前级泵断电停车时，前级泵就会给自己充气反向通到涡轮分子泵的排气口。这种前级泵充气会输送前级管道返流的泵油，之后通过涡轮分子泵进入真空室，这种现象称为油污染，被污染后涡轮分子泵的叶片就必须在厂家的指导下用氟利昂来清洗。　　在涡轮分子泵与前级泵之间装上一个真空阀，可以防止反向充气，当停电时立刻关上此阀。理想的情况是，它即能对前级泵入口充气又不致于使泵油返流浸入安全阀。另外，只有当它的压力基本均衡时才能打开安全阀，否则就有可能出现压力冲击前级管道的问题，例如，在断电瞬间前级泵压力将为大气压力，然而前级管道仍可能处于真空状态下。若阀门的两侧压力差很大，一旦通电阀门会立刻打开，含污染油的大气压下的气体将由前级泵冲向前级管道，从而会污染系统。所以安全阀需要一定的延迟开启的时间，以便让前级泵将阀门后的管道内抽成真空，阀前后的压差均衡时才可打开安全阀，总之采取办法来控制阀门的两侧的压力差，不使气流返冲。现在许多直联式旋片泵，在泵内装有安全阀，但阀门密封性能一定要保证，一旦阀门关不上后果相当严重，涡轮分子泵系统就会被油污染，这种问题是可能通过检测事先发现的。在运转的前级泵上安装一个前级真空规管，将泵关闭如果前级压力增加值在10～1000 μmHg （1×10- 2～1 torr 或1.333～133.3Pa）之间并不再增加，则阀门有效如果压力继续上升很快，直接达到大气压力说明阀门失效。如果阀门的密封良好，检查阀门是否立即开启还是等压力均衡后再开启，观察规管并开前级泵，如果规管马上就跳到几乎是大气压力，说明有返流的蒸汽的冲击。

看有版友的贴子说“AB的分子窝轮泵很容易坏的，一般用不了2年”，所以想知道它的涡轮分子泵是哪的。

菲尼根的質譜儀配的是德國的分子渦輪泵，而有的品牌的質譜儀則配的是擴散油泵，這兩者之間的性能如何？這兩者的價格如何？

[size=3][font=楷体_GB2312] 哪位高手能说一下分子涡轮泵的工作原理啊？谢谢拉！[/font][/size]