耐腐蚀型在线酸碱浓度检测系统

[url=https://www.instrument.com.cn/netshow/SH101036/][b]盐雾腐蚀试验箱[/b][/url]主要用来检测试验产品的抗腐蚀性，广泛应用于电工技术、数字配件、塑料制品、航空工业产品等制造行业，检测产品的耐腐蚀性，模拟极端运行环境，主要用于掌握各试验产品的性能指标。[align=center][img=,450,450]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/12/202212201723311119_3201_5295056_3.jpg!w450x450.jpg[/img][/align]　　该设备的基本工作原理相对简单。关键是使用腐蚀性气体喷雾对试验产品进行喷射，并以喷射腐蚀性喷雾的长度作为指标，直到试验产品开始出现腐蚀性状态。试验产品的耐腐蚀性越长，试验产品的耐腐蚀性越好。　　一般来说，检测中使用的腐蚀性溶液主要是浓度为5%的氯化钠溶液，或在氯化钠溶液中加入0.26克氯化铜作为盐雾检测中的腐蚀性水溶液。此外，盐雾腐蚀试验箱可独立控制盐雾试验的沉降和喷射，保证试验工作温度稳定平衡，使用方便快捷，检测环境稳定性高。因此，常用于检测生活必需品或工业产品的耐腐蚀性。　　让我们了解操作过程：　　1.先接入设备主机电源和空压机主机电源，再接入空压气管。　　2.将纯水加入箱体和箱体后面的入口，直到控制面板上的低水位灯熄灭，否则无法正常工作。　　3.将水槽加水到垫块位置，防止盐雾试验泄漏。将湿球杯加水，用纱布覆盖湿球温度表，将纱布末端放入湿球杯中。　　4.将试验箱的盐水倒入盐液供应瓶中，将盐水自动填充到试验室的喷雾塔中，促进药水流入盐水喷雾塔。　　盐雾腐蚀试验箱检测完成后，用流水轻轻清洗试验表面的盐沉积物，然后浸泡在纯水中。清洗温度不得高于35℃，然后在室内大气环境中恢复2小时。对恢复后的试验产品进行盐雾试验判断。优质产品应无腐蚀、气泡、裂缝和腐蚀，相反，应为劣质产品。

[b][url=http://www.linpin.com/]盐雾试验箱[/url][/b]主要用于检测试验产品的耐腐蚀性，广泛应用于电工技术、数字配件、塑料制品、航空工业产品等制造行业，检测产品的耐腐蚀性，模拟极端运行环境，主要用于掌握各试验产品的性能指标。　　该设备的基本工作原理相对简单。关键是使用腐蚀性气体喷雾对试验产品进行喷射，并以喷射腐蚀性喷雾的长度作为指标，直到试验产品开始出现腐蚀性状态。试验产品的耐腐蚀性越长，试验产品的耐腐蚀性越好。[align=center][img=,450,450]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/05/202205311601137999_6062_1037_3.jpg!w450x450.jpg[/img][/align]　　一般来说，检测中使用的腐蚀性溶液主要是浓度为5%的氯化钠溶液，或在氯化钠溶液中加入0.26克氯化铜作为盐雾检测中的腐蚀性水溶液。此外，盐雾试验箱可独立控制盐雾试验的沉降和喷射，保证试验工作温度稳定平衡，使用方便快捷，检测环境稳定性高。因此，常用于检测生活必需品或工业产品的耐腐蚀性。　　让我们了解操作过程：　　1.先接入设备主机电源和空压机主机电源，再接入空压气管。　　2.将纯水加入箱体和箱体后面的入口，直到控制面板上的低水位灯熄灭，否则无法正常工作。　　3.将水槽加水到垫块位置，防止盐雾试验泄漏。将湿球杯加水，用纱布覆盖湿球温度表，将纱布末端放入湿球杯中。　　4.将试验箱的盐水倒入盐液供应瓶中，将盐水自动填充到试验室的喷雾塔中，促进药水流入盐水喷雾塔。　　盐雾试验箱检测完成后，用流水轻轻清洗试验表面的盐沉积物，然后浸泡在纯水中，清洗温度不得高于35℃，然后在室内大气环境中恢复2小时，对恢复后的试验产品进行盐雾试验判断，优质产品应无腐蚀、气泡、裂缝和腐蚀，相反，应为劣质产品。

在工业生产和流体处理过程中，液体的腐蚀性对设备的可靠性和使用寿命提出了严峻挑战。为了应对这一挑战，耐腐蚀液位传感器应运而生。这种传感器采用特殊的材质，具备出色的耐腐蚀性能，能够适应各种强腐蚀性液体的检测。耐腐蚀液位传感器的材质经过精心选择和加工，以确保其在强腐蚀环境下仍能保持稳定性能。与普通传感器相比，其材质更加特殊，通常采用不锈钢或其他具有优异耐腐蚀性能的材料。这种材质的选择使得传感器能够在酸碱溶液、香薰液、消毒液等高腐蚀性液体中长时间工作，而不会受到腐蚀或性能下降的影响。除了材质的特殊性，耐腐蚀液位传感器还具有其他一系列优势。例如，它安装简易，功耗低，能够适应各种安装环境。传感器采用无机械运动部件的设计，稳定性高，减少了维护和更换的频率。此外，它的防水等级达到IP68，即使在潮湿或水下环境中也能正常工作。[align=center][img=耐腐蚀液位传感器,644,291]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/01/202401041612493704_7895_4008598_3.png!w644x291.jpg[/img][/align]耐腐蚀液位传感器的型号丰富多样，以满足不同应用的需求。例如，FS-IR2003D、MIFS-IR2140D和MIFS-IR2102D等型号的液位传感器具有不同的结构，适用于不同的设备和液体。安装时，通常需要在水箱或设备机体上开孔安装，以确保传感器能够准确检测液体的位置或高度。[url=https://www.eptsz.com]耐腐蚀液位传感器[/url]的应用范围广泛，涵盖商用设备、工业设备、医疗设备等各个领域。无论是高耐压还是强腐蚀性液体设备，这种传感器都能胜任。它可以检测水、汽油、刹车油、酸碱溶液、香薰液、消毒液、饮料、植物营养液、海水等各种液体。

在工业生产和流体处理过程中，液体的腐蚀性对设备的可靠性和使用寿命提出了严峻挑战。为了应对这一挑战，耐腐蚀液位传感器应运而生。这种传感器采用特殊的材质，具备出色的耐腐蚀性能，能够适应各种强腐蚀性液体的检测。耐腐蚀液位传感器的材质经过精心选择和加工，以确保其在强腐蚀环境下仍能保持稳定性能。与普通传感器相比，其材质更加特殊，通常采用不锈钢或其他具有优异耐腐蚀性能的材料。这种材质的选择使得传感器能够在酸碱溶液、香薰液、消毒液等高腐蚀性液体中长时间工作，而不会受到腐蚀或性能下降的影响。除了材质的特殊性，耐腐蚀液位传感器还具有其他一系列优势。例如，它安装简易，功耗低，能够适应各种安装环境。传感器采用无机械运动部件的设计，稳定性高，减少了维护和更换的频率。此外，它的防水等级达到IP68，即使在潮湿或水下环境中也能正常工作。[align=center][img=耐腐蚀液位传感器,644,291]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/01/202401041547166566_9707_4008598_3.png!w644x291.jpg[/img][/align][url=https://www.eptsz.com]耐腐蚀液位传感器[/url]的型号丰富多样，以满足不同应用的需求。例如，FS-IR2003D、MIFS-IR2140D和MIFS-IR2102D等型号的液位传感器具有不同的结构，适用于不同的设备和液体。安装时，通常需要在水箱或设备机体上开孔安装，以确保传感器能够准确检测液体的位置或高度。

[font=宋体][back=white]随着科学技术的不断发展，需要用到液位传感器的场景也越来越多，今天小编带大家了解一下工业级耐腐蚀传感器有哪些。[/back][/font][font=宋体]工业级耐腐蚀传感器具有体积小、耐高温、耐腐蚀、耐强压功耗低等特点，需要在水箱上开孔安装。[/font][font=宋体]光电液位开关内置红外发射管和光敏接收器，检测部分是玻璃棱镜结构。[/font][font=宋体]无水状态时，发射管所发出的光经过玻璃透镜之后折射回接收管；[/font][font=宋体]有水状态时，则光折射到液体中，从而使接收器收不到或只能接收到少量光线。[/font][align=center][img=光电液位传感器,644,291]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309091349536462_6385_4008598_3.png!w644x291.jpg[/img][/align][font=宋体]工业级[url=https://www.eptsz.com]不锈钢传感器[/url]有三种型号：[/font]FS-IR2003D-KIC[font=宋体]、[/font]MIFS-IR2140D 316L [font=宋体]、[/font]WIFS-IR2102D，[font=宋体]当然也可以根据您需求定制一款。[/font][align=left][font=宋体]需要在水箱上或者机体上开孔安装，适合用于水箱不需移动的设备。多应用于商用设备、工业设备、医疗设备以及高耐压或者强腐蚀性液体设备。可检测水、汽油、刹车油、酸碱溶液、香薰液、消毒液、饮料、植物营养液、海水等液体。[/font][/align]

液位传感器在不同的应用环境中有着不同的要求，特别是在需要耐腐蚀性液体的环境中，选择合适的传感器至关重要。对于这种情况，一种常见且有效的选择是不锈钢液位传感器。不锈钢液位传感器具有耐腐蚀性好、安装简便、功耗低、耐压性强等优点。相比传统的浮球液位传感器，不锈钢液位传感器没有机械运动部件，不易出现卡死现象，从而保持了高稳定性。这种传感器采用不锈钢材质制成，能够有效抵御腐蚀性液体的侵蚀，确保传感器长期稳定可靠地工作。[align=center][img=耐腐蚀液位传感器,355,127]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/02/202402231451463850_636_4008598_3.png!w355x127.jpg[/img][/align]不锈钢液位传感器不仅适用于有腐蚀性液体的环境，还可以广泛用于其他需要精准液位检测的场合。该传感器具有多种尺寸规格可供选择，以满足不同客户的需求。用户只需将传感器安装在水箱或机体上的开口处，即可实现方便的安装和使用。这种传感器特别适合于那些水箱不需要频繁移动的设备，为用户提供了一个可靠、稳定的液位检测解决方案。[url=https://www.eptsz.com]不锈钢液位传感器[/url]是一种优秀的选择，它具有耐腐蚀、稳定性高、安装简便等优点，为各种液体环境下的液位检测提供了可靠的技术支持。

盐雾试验箱作为一种对交通工具进行重要的检测设备，为其安全性做出了巨大贡献，除了车辆的外观外，表面涂层的质量也是对车辆质量的直观评价，然而，汽车也处于各种腐蚀环境中，如北美、西欧等。这些北方国家冬天会在路上撒盐撒沙，主要是为了防止雪后路面结冰，这些盐是对以金属为主体结构的车身的一大考验，几个月后涂层会出现腐蚀穿孔，随着环境的恶化，汽车涂层的耐腐蚀性越来越强；因此，提高汽车的耐腐蚀性是众多汽车厂商面临的重要课题之一。[align=center][img=,450,450]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309041419161373_161_5295056_3.jpg!w450x450.jpg[/img][/align]　　在汽车行业，通过[url=http://www.shshangyu.net/][b]盐雾试验箱[/b][/url]对汽车各部位进行加速盐雾试验，获得不同部位的抗盐雾加速试验能力，识别、分析和采取保护措施。　　汽车制造技术包括涂装技术，其主要作用是防腐、装饰，是整个汽车防锈的主要工程。涂层方法为：采用高耐腐蚀涂层，提高电泳透气性，增加各涂层厚度，在焊缝处涂密封、喷涂防锈蜡等技术保护车身，但车身结构、设计、制造等缺陷或不足仍会导致汽车部分比其他部位更容易腐蚀。因此，找出涂层易腐蚀的部位，分析原因，并采取相应的保护措施。　　盐雾试验箱主要应用于这些易腐蚀部件新车型的开发，即SE分析可以及时发现和解决设计阶段可能出现的问题，从根本上提高整车的防腐能力，采用科学方法模拟电泳漆膜恶劣的大气环境，得到不同厚度、不同位置、不同结构的电泳漆膜，利用盐雾试验箱进行加速盐雾试验，改进其薄弱部位。

[color=#990000]摘要：目前亚硫酸法澄清工艺中普遍采用调节阀来控制磷酸液体的流量，但调节阀普遍存在耐腐蚀性差、响应速度慢和自动化水平低的问题。本文介绍了一种基于针型阀的新型耐腐蚀电动调节阀，采用了步进电机推进和FFKM全氟醚橡胶密封技术，具有可用于真空下的良好密封性能和微秒量级的响应速度，可采用直流电压信号或RS 485直接驱动，并已在蔗糖生产线得到了应用。[/color][size=18px][color=#990000]一、问题的提出[/color][/size]目前的蔗糖生产过程中普遍采用亚硫酸法澄清工艺，其中的磷酸自动控制系统要求能够进行磷酸的自动配比，并根据蔗汁流量实时连续自动调节磷酸添加量以保证磷酸添加的准确性。磷酸添加量控制是通过对浓度85%磷酸液体的流量进行调节，但存在以下迫切需要解决的难题：（1）耐腐蚀性差：85%浓度的磷酸液是一种无机中强酸，具有一定的腐蚀性，而目前绝大多数电动流量调节阀的耐腐蚀性普遍较差，无法用于硫酸流量调节。（2）自动化水平低：目前磷酸流量调节中大多还采用耐腐蚀的手动调节阀，磷酸添加准确性和及时性差影响产品质量，无法准确掌握磷酸使用情况。（3）精度差和响应速度慢：尽管也有用于流量调节电/气动球阀和蝶阀，但普遍口径太大，调节精度差，响应速度慢，无法满足磷酸流量ppm级调节精度要求。[size=18px][color=#990000]二、耐腐蚀精密电动调节阀[/color][/size]上海依阳实业有限公司开发的NCNV系列耐腐蚀数控电动针阀是一种灵巧型的电子式双向计量针阀，采用高精度直线步进电机驱动阀轴。[align=center][img=耐腐蚀电动调节阀,400,297]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112281632323226_702_3384_3.png!w603x449.jpg[/img][/align]主要技术指标如下：（1）接触材料：不锈钢；（2）密封材料：全氟醚橡胶（FFKM）；（3）响应时间：0.8s（全关到全开）；（4）流体：气体和液体；（5）压力范围：-1~7bar；（6）阀芯节流内径：0.9~4.1mm；（7）流量范围：0.1~2000L/m；（8）线性度：±0.1~±11%（9）重复精度：±0.1%（全量程）；（10）使用温度范围：0~84℃；（11）控制信号：0~10VDC或RS485；（12）工作电源：24V（≤12W）。[align=center][/align][align=center]=======================================================================[/align]

[size=16px][color=#339999][b]摘要：次氯酸作为是一种新型消毒剂，近年来广泛应用于医疗卫生机构、公共卫生场所和家庭的一般物体表面、医疗器械、医疗废物等。由于次氯酸的酸性和强氧化性，使得次氯酸生产制备过程中会给流量调节阀门带来腐蚀并影响寿命和控制精度，而且生产过程中的pH值及有效氯浓度较难准确控制。本文提出的解决方案一是采用强耐腐蚀的高速电动阀门来调节混合液体流量，二是采用具有混合控制功能的专用PID调节器，可实现直接根据测量的pH值或氯浓度来调节液体混合比例。[/b][/color][/size][align=center][size=16px][img=次氯酸消毒剂制备中的全氟醚橡胶密封耐腐蚀电动阀门解决方案,550,363]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/05/202305241459043007_6590_3221506_3.jpg!w690x456.jpg[/img][/size][/align][b][size=18px][color=#339999]1. 问题的提出[/color][/size][/b][size=16px] 次氯酸作为一种新型的消毒剂，不但能杀灭冠状病毒，还被推荐为广谱消毒剂，广泛用于物体表面、织物，空气，二次供水等污染物品的消毒，其主要特点如下：[/size][size=16px] （1）杀菌率高达99.999%：杀菌速度达到了含氯类产品的80倍，低浓度高活性，浓度为100ppm时就可以达到理想的灭菌目的。[/size][size=16px] （2）安全性高：入口无毒，不伤粘膜，可以用于食品卫生，儿童接触也很安全，又因为无残留，使用后也无需用清水冲洗。[/size][size=16px] （3）清除异味：属于氧化分解臭气，能瞬间分解氨气、硫化氢等恶臭气体，快速分解垃圾臭味，去除甲醛，尼古丁等。[/size][size=16px] （4）环保：无残留物产生，对环境无负荷，排放无污染。[/size][size=16px] （5）可大面积喷雾使用。[/size][size=16px] 目前次氯酸的生产主要有电解法、混合法、合成法和非电解法这四种方法，但无论采用哪种方法，都会涉及到几种液体的混合，需要控制消毒剂的pH值及有效氯浓度。由此在次氯酸消毒剂生产过程中面临着以下两方面的挑战：[/size][size=16px] （1）所用液体带有较强的腐蚀性，会对管路特别是流量控制调节阀门带来严重的腐蚀。[/size][size=16px] （2）至少需要两种液体以上液体原料进行混合，使得制备过程不易控制，特别是较难精准控制所制备的次氯酸消毒剂的pH值及有效氯的浓度。[/size][size=16px] 为了解决上述问题，本文提出了一种新型解决方案，解决方案的核心一是采用强耐腐蚀的高速电动阀门来调节混合液体流量，二是采用具有混合控制功能的专用PID调节器，直接根据pH值或氯浓度来调节液体混合比例。[/size][size=18px][color=#339999][b]2. 解决方案[/b][/color][/size][size=16px] 目前制备次氯酸消毒液有多种方法，我们以较典型的电解法为例详细介绍解决方案如何解决流量调节阀门的耐腐蚀和液体混合比例控制问题。电解法次氯酸制备系统的结构如图1所示。[/size][align=center][size=16px][color=#339999][b][img=01.电解法次氯酸制备系统结构示意图,660,379]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/05/202305241501060247_7652_3221506_3.jpg!w690x397.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#339999][b]图1 电解法次氯酸制备系统结构示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 如图1所示的全自动次氯酸发生器和次氯酸消毒剂制备装置仅需向电解装置内内分别注入食盐水和水这两种原料就可以制得次氯酸消毒剂，制备过程比较简单容易控制次氯酸消毒剂的pH值及有效氯的浓度。从图中可以看出，次氯酸制备的关键是控制水与盐水的混合比例，即需要精确调节储水罐和储盐罐的液体流量。在解决方案中采用了两个PID控制回路，功能如下：[/size][size=16px] （1）第一回路由PID控制器、流量计和电动调节阀构成闭环控制回路，PID控制器根据设定值和流量计检测值，通过自动驱动电动调节阀开度变化，将水流量精确控制在设定值上。[/size][size=16px] （2）第二回路由PID控制器、pH值或氯浓度检测仪和电动调节阀构成闭环控制回路，PID控制器根据pH值设定值，即以pH值或氯浓度为控制参数，而不是现有技术采用盐水流量作为控制参数。这样，通过自动驱动电动调节阀开度变化以改变盐水流量，使得最终出产的次氯酸pH值或有效氯的浓度始终保持在设定值上，从而更能实现精准控制次氯酸pH值及有效氯的浓度。[/size][size=16px] 解决方案的关键是对现有技术做了以下两方面的技术改进：[/size][size=16px] （1）采用了具有混合功能的PID调节器，此控制器是一种双通道的高精度PID调节器，具有24位AD、16位DA和0.01%最小输出百分比，结合流量计和pH值检测仪可实现双路液体流量的精密控制。此PID调节器具有RS485通过接口和标准的MODBUS通讯协议，可与上位机连接，并且自带计算机软件便于进行前期工艺调试。[/size][size=16px] （2）采用了高速电动调节阀，密封件采用FFKM全氟醚橡胶，具有超强耐腐蚀性。调节阀采用步进电机驱动，具有很高的精度和线性度，且低的真空漏率，全程开启时间仅为0.8秒。[/size][size=18px][color=#339999][b]3. 总结[/b][/color][/size][size=16px] 通过上述的解决方案，采用耐腐蚀高速电动调节阀和混合功能高精度PID调节器，可满足各种方法的次氯酸消毒液生产制备。通过增加PID调节器，也可实现次氯酸生产制备中多种流体介质的精密混合和次氯酸pH值及有效氯浓度的准确控制。[/size][align=center][size=16px][color=#339999][b][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#339999][b]~~~~~~~~~~~~~~~~~[/b][/color][/size][/align]

[align=center][b]SGS解析盐雾试验：检测汽车零部件耐腐蚀性能的利器[/b][/align][align=center][b]作者：张志松[/b][/align]盐雾对金属材料表面的腐蚀是由于大气中含有的氯离子穿透金属表面的氧化层和防护层与内部金属发生电化学反应引起的。常用的盐雾标准包括ISO 9227:2017，GB/T10125:2012等，这些盐雾试验标准是对盐雾试验条件，如温度、纯水等级、氯化钠浓度、溶液pH值等作出了明确规定，另外还对盐雾试验箱性能提出技术要求，国际上常用的盐雾试验箱品牌包括ASCOTT，Q-FOG，WEISS/VOETCH，ATLAS，KOEHLER，LIEBISCH等。盐雾试验是一种主要利用盐雾试验设备所创造的人工模拟盐雾环境条件来考核产品或金属材料耐腐蚀性能的环境试验，主要分为中性盐雾（NSS）、乙酸盐雾（AASS）、铜离子加速乙酸盐雾（CASS），CASS试验主要考核汽车零部件中铝基材带涂层的零件，如行李架支架、遮阳帘支架等；以及汽车产品中的电镀件，如车标、装饰条等。除此之外，各个车企会根据不同情况制定适用自身的循环盐雾试验（CCT），例如戴姆勒循环盐雾试验引用的ISO 11997-1 cycle B，大众循环盐雾PV1210，通用循环盐雾GMW14872等。下面以某主机厂循环盐雾为例，介绍试验前中后的处理过程。首先，ISO11997-1:2017这一标准中要求的纯水等级为Grade 2，电导率要求≤1 μS/cm，远远小于ISO 9227中要求的纯水电导率20 μS/cm；如果样件尺寸允许的情况下，试验前需要对样品表面预处理一条1mm宽，12cm长的线，需划破涂层刚刚好到基材，然后经过若干循环结束后，评价这条线两边的腐蚀宽度，ISO 4628-8介绍了两种评价项目，delamination和corrosion，均需要手动计算（如图1所示），首末两端1cm位置处不评价[align=center]U/2 = (d-d[sub]0[/sub]) / 2[/align][align=center]d= (d1+d2+d3+……+d10) / 10[/align][align=center][img=,290,388]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/07/201807021617148692_6470_2883703_3.png!w290x388.jpg[/img][img=,226,302]http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif[/img][/align][align=center]图1[/align]试验中需定期检查每个循环的盐水和盐雾箱的指标，即沉降量、pH值、盐浓度、盐雾箱温度、湿度等，确保试验过程中的参数符合标准要求，对于长周期（6个循环或10个循环）的试验，根据不同标准的要求会涉及中间查样，但查样时间应尽可能短，样件尽可能不从盐雾箱中拿出，更不能将表面沉积的盐洗掉；试验后根据不同标准的要求对样件进行评价，例如表面腐蚀、边缘腐蚀、焊接腐蚀、空腔评价以及划格、耐刮擦等。

[font=宋体]不锈钢光电液位传感器的安装过程简单方便，不需要复杂的操作。传感器的功耗较低，能够有效节省能源。传感器具有较高的耐压能力，能够适应高压环境。[/font][font=宋体]传感器采用不锈钢材质制作，具有较高的耐腐蚀性能，能够在强腐蚀性液体环境下长时间稳定工作。传感器具有较高的防水等级，能够在潮湿环境下正常工作。[/font][font=宋体]传感器没有机械运动部件，减少了故障发生的可能性，提高了稳定性。升泽传感科技可以根据用户的需求进行个性化定制，满足不同应用场景的需求。[/font][align=center][img=光电液位传感器,644,291]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309041753590001_2486_4008598_3.png!w644x291.jpg[/img][/align][font=宋体]不锈钢[url=https://www.eptsz.com]光电液位传感器[/url]适用于商用设备、工业设备、医疗设备以及高耐压或者强腐蚀性液体设备。同时，该传感器可以测量多种液体，包括水、汽油、刹车油、酸碱溶液、香薰液、消毒液、饮料、植物营养液、海水等。因此，不锈钢光电液位传感器是一种适合检测有腐蚀性液体的传感器。[/font]

[size=16px][color=#339999][b]摘要：化学药液流量的精密控制是半导体湿法清洗工艺中的一项关键技术，流量控制要求所用调节针阀一是开度电动可调、二是具有不同的口径型号、三是高的响应速度，四是具有很好的耐腐蚀性，这些都是目前提升半导体清洗设备性能需要解决的问题。为此，本文提出了相应的解决方案，解决方案的核心是采用具有系列口径的高速和耐腐蚀的电动针阀。[/b][/color][/size][align=center][size=16px][img=高速耐腐蚀电动针阀流量控制在前道化学清洗机中的应用,550,271]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304261136485023_8685_3221506_3.jpg!w690x341.jpg[/img][/size][/align][size=18px][color=#339999][b]1. 问题的提出[/b][/color][/size][size=16px] 湿法蚀刻清洗工艺（如RCA清洗）是半导体制造工艺步骤中数量最多的工艺，湿法清洗的目的是去除晶圆上前一道工序的残留或者副产物，使之不进入后续工序。一般通过化学药液与晶圆表面去除物的反应，或改变不同特性化学清洗液处理以后的晶圆表面亲水性，达到去除残留物的目的。其中，化学反应强烈程度与温度、浓度、化学药液的反应量密切相关，而蚀刻量是检测此化学反应强烈程度的重要手段。因此，刻蚀量是湿法刻蚀工艺中最重要的工艺控制参数之一，而影响蚀刻量的三大因素分别是化学药液温度、化学药液浓度和化学药液流量，其中药液浓度和流量都与流量控制密切相关。典型的化学药液循环系统结构如图1所示。[/size][align=center][size=16px][color=#339999][b][img=01.化学药液循环系统结构示意图,690,247]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304261138411498_3193_3221506_3.jpg!w690x247.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#339999][b]图1 化学药液循环系统结构示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 针对当前和未来的湿法刻蚀清洗工艺，用于药液流量控制的针阀需要满足以下几方面要求：[/size][size=16px] （1）首先针阀要求是可电控针阀，如图1所示，由电动针阀、流量计和PID控制器可组成闭环控制回路，通过电动针阀的开度精细变化，可极大保证药液流量控制的精度。[/size][size=16px] （2）制程工艺中对药液流量有不同的要求，所以电子针阀需具有不同口径和流量范围。[/size][size=16px] （3）电动针阀要求具有极快的响应速度，能实现快速的打开和闭合，以减少初段流量稳定时间和末端流量控制时的“水锤效应”影响。[/size][size=16px] （4）在清洗过程中所采用的化学药液，往往具有很强的腐蚀性。尽管管路和阀门所采用的不锈钢材料具有很好的抗腐蚀性，但各种阀门密封件往往抗腐蚀性很差，所以要求电动针阀的接液密封件也需要具有很强的耐腐蚀性。[/size][size=16px] 药液流量控制中上述对调节阀的要求，都是目前半导体清洗设备中需要解决的问题。为此，本文提出了相应的解决方案，解决方案的核心是采用具有系列口径的高速和耐腐蚀的电动针阀。[/size][size=18px][color=#339999][b]2. 解决方案[/b][/color][/size][size=16px] 为了满足上述湿法清洗工艺化学药液流量控制对调节阀的需要，本文提出的解决方案是采用具有一系列不同口径、高速和耐腐蚀的电动针阀。系列电动针阀如图2所示。[/size][align=center][size=16px][color=#339999][b][img=02.强耐腐蚀性的高速电动针阀,450,385]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304261139215269_3851_3221506_3.png!w599x513.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#339999][b]图2 NCNV系列耐腐蚀高速电动针阀[/b][/color][/size][/align][size=16px] 用于流量调节的NCNV系列数控电动针阀将步进电机的精度和可重复性优势与针阀的线性和分辨率相结合，其结果是具有1s以内的开闭合时间，小于2%滞后、2%线性、1%重复性和0.2%分辨率的可调流量控制，是目前常用电磁比例阀的升级产品。电动针阀直接用模拟电压信号控制，与PID控制器和流量计相结合，可构成快速准确的闭环控制系统。[/size][size=16px] NCNV系列数控电动针阀的其他技术特点如下：[/size][size=16px] （1）多规格节流面积：具有从低流量的直径0.9mm到高流量的直径4.10mm的多种规格针阀节流面积，可满足不同的流量控制需要。[/size][size=16px] （2）宽压力范围：入口环境可覆盖宽泛的压力范围（5或7bar）。步进电机的刚度和功率确保针阀在相同的输入指令下打开，与压力无关。[/size][size=16px] （3）快速响应：整个行程时间小于1秒，可提供及时快速的流量调节和控制。[/size][size=16px] （4）耐腐蚀性：阀体采用不锈钢，密封件采用FFKM全氟醚橡胶，超强的耐腐蚀性，可用于各种腐蚀性气体和液体。[/size][size=16px] （5）电源电压为24V，控制信号为0~10V模拟电压，也可采用RS485直接控制。[/size][b][size=18px][color=#339999]3. 总结[/color][/size][/b][size=16px] 综上所述，通过采用上述系列的电动针阀，可以很好的实现湿法清洗中化学药液流量的精密调节。特别是与相应的流量计、压力传感器和具有串级和比值控制功能的高精度PID控制器相结合组成闭环控制系统，可实现各种药液配比流量的高精度控制。[/size][size=16px][/size][align=center][b][color=#339999]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/b][/align][align=center][/align][align=center][b][color=#339999][/color][/b][/align]