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超高真空多功能薄膜制备系统

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  • 高性能台式设备喊你快上车 ——小、快、灵,薄膜制备与加工的首选
    随着材料科学的蓬勃发展,尤其是高水平的量子材料研究与应用对薄膜材料、二维材料的制备和高精度加工要求越来越高。一套完整流程的薄膜制备与加工设备购置成本通常要在几百万到上千万元。此外,大型设备操作繁复,存放空间大、日常维护成本高,给科研人员带来了很大挑战。依赖于共享方案的科研平台由于设备预约周期长,会大大减慢科研进度。为了快速、低成本的实现高质量的材料制备与加工,让科研计划进入快车道。英国Moorfield Nanotechnology公司与多所名校以及获得诺贝尔奖的课题组长期合作,推出了一系列高性能台式设备, 专门用于各种薄膜材料的高质量制备和加工。该系列产品具有体积小巧、快速制备样品、灵活配置方案等特点,一经推出即受到包括剑桥大学、帝国理工、英国物理实验室等科研单位的青睐。从多功能金属、缘材料溅射到有机物、金属热蒸发;从高质量石墨烯CVD快速制备到高质量碳纳米管CVD趋向生长;从样品、衬底的热处理到单层二维材料的软刻蚀与缺陷加工。Moorfield系列产品已经获得欧洲用户的广泛认可,产品质量与性能完全可以媲美大型设备,一些方面甚至远超大型设备。台式高性能多功能PVD薄膜制备系列—nanoPVD专为高水平学术研究研发的小型物理气相沉积设备。该系列产品包含磁控溅射、金属/有机物热蒸发系统。这些设备不仅体积小巧而且性能,能够快速实现高质量纳米薄膜、异质结的制备,通常在大型设备中才有的共溅射、反应溅射、共蒸发功能也可在该系列产品上实现。台式高性能多功能PVD薄膜制备系列—nanoPVD台式高性能CVD石墨烯/碳纳米管快速制备系列—nanoCVD系统采用低热容的样品台可在2分钟内升温至1000℃并控温,该装置采用了冷壁技术,样品生长完毕后可以快速降温,正是因为这些条件可以让用户在30分钟内即可获得高质量的石墨烯。nanoCVD具有压强自动控制系统,可以的控制石墨烯生长过程中的气氛条件。用户通过触屏进行操作,更有内置的标准石墨烯生长示例程序供用户参考。非常适合需要持续快速获取高质量石墨烯用于高质量学术研究的团队。目前,埃克塞特大学、哈德斯菲尔德大学、莱顿大学、亚森工业大学等很多全球著名的高校都是该系统的用户。台式高性能CVD石墨烯/碳纳米管快速制备系列—nanoCVD台式超二维材料等离子软刻蚀系统—nanoETCH石墨烯等二维材料的微纳加工与刻蚀需要很高的精度,而目前传统半导体刻蚀系统在面对单层材料的高精度刻蚀需求时显得力不从心。为了解决目前微纳加工中常用的刻蚀系统功率较大、难以精细控制的问题,nanoETCH系统对输出功率的分辨率可达毫瓦量,可实现二维材料超逐层刻蚀、层内缺陷制造,以及对石墨基材或衬底等的表面处理。台式超二维材料等离子软刻蚀系统—nanoETCH台式气氛\压力控制高温退火系统—ANNEALMoorfield专门为制备高质量的样品而推出的台式气氛\压力控制高温退火系统,不仅可以满足从高真空到各种气氛的退火需求,还能对气压和温度进行控制,从而为二维材料、基片等进行可控热处理提供重要保障。该系统颠覆了传统箱式、管式炉的粗放退火方式,开创了退火的新篇章。台式气氛\压力控制高温退火系统—ANNEAL多功能高磁控溅射喷金仪—nanoEMnanoEM是Moorfield Nanotechnology为SEM、TEM样品的表面导电处理以及普通样品的高质量电生长而设计的金属溅射系统。系统配备SEM样品托、TEM样品网、普通薄膜样品等多种专用样品台。虽然该系统主要为溅射金属而设计,但是该设备的性能已经达到了高质量薄膜样品的制备标准。通过选择不同的配置可以兼顾样品的表面导电处理、电制备与学术研究型薄膜样品的制备。多功能高磁控溅射喷金仪—nanoEMMoorfield高性能台式薄膜制备与加工设备以超高质量、亲民的价格快速实现您的科研方案,想获取更多详细信息吗?还等什么,现在就联系我们吧!
  • 纳米薄膜材料制备技术新进展!——牛津大学也在用的薄膜沉积系统,有什么独特之处?
    一、纳米颗粒膜制备日前,由英国著名的薄膜沉积设备制造商Moorfield Nanotechnology公司生产的套纳米颗粒与磁控溅射综合系统在奥地利的莱奥本矿业大学Christian Mitterer教授课题组安装并交付使用。该设备由MiniLab125型磁控溅射系统与纳米颗粒溅射源共同组成,可以同时满足用户对普通薄膜和纳米颗粒膜制备的需求。集成了纳米颗粒源的MiniLab125磁控溅射系统 传统薄膜材料的研究专注于制备表面平整、质地致密、晶格缺陷少的薄膜,很多时候更是需要制备沿衬底外延生长的薄膜。然而随着研究的深入,不同的应用方向对薄膜的需求是截然不同。在表面催化、过滤等研究方向,需要超大比表面积的纳米薄膜。在这种情况下,纳米颗粒膜具有不可比拟的优势。而传统的磁控溅射在制备纯颗粒膜方面对于粒径尺寸,颗粒均匀性方面无法实现控制。气相沉积法、电弧放电法、水热合成法等在适用性、操作便捷性、与传统样品处理的兼容性等方面不友好。在此情况下,Moorfield Nanotechnology推出了与传统磁控溅射和真空设备兼容的纳米颗粒制备系统。不同条件制备的颗粒粒径分布(厂家测试数据)不同颗粒密度样品(厂家测试数据)纳米颗粒制备技术特点:▪ 纳米颗粒的大小1 nm-20 nm可调;▪ 多可达3重金属,可共沉积,可制备纯/合金颗粒;▪ 材料范围广泛,包括Au、Ag、Cu、Pt、Ir、Ni、Ti、Zr等▪ 拥有通过控制气氛制造复合纳米粒子的可能性(类似于反应溅射)▪ 的纳米颗粒层厚度控制,从亚单层到三维纳米孔▪ 纳米颗粒结构——结晶或非晶、形状可控纳米颗粒膜的应用方向:▪ 生命科学和纳米医学: 癌症治疗、药物传输、抗菌、抗病毒、生物膜▪ 石墨烯研究方向:电子器件、能源、复合材料、传感器▪ 光电研究:光伏研究、光子俘获、表面增强拉曼▪ 催化:燃料电池、光催化、电化学、水/空气净化▪ 传感器:生物传感器、光学传感器、电学传感器、电化学传感器 二、无机无铅光伏材料下一代太阳能电池的大部分研究都与铅-卤化物钙钛矿混合材料有关。然而,人们正不断努力寻找具有类似或更好特性的替代化合物,想要消除铅对环境的影响,而迄今为止,这种化合物一直难以获得。因此寻找具有适当带隙范围的无铅材料是很重要的,如果将它们结合起来,就可以利用太阳光谱的不同波长进行发电。这将是提高未来太阳能电池效率降低成本的关键。近期,牛津大学的光电与光伏器件研究组的Henry Snaith教授与Benjamin Putland博士研究了具有A2BB’X6双钙钛矿结构的新型无机无铅光伏材料。经过计算该材料具有2 eV的带隙,可用做光伏电池的层吸光材料与传统Si基光伏材料很好的结合,使光电转换效率达到30%。与有机钙钛矿材料相比,无机钙钛矿材料具有结构稳定使用寿命更长的优势。而这种新材料的制备存在一个问题,由于前驱体组分的不溶性和复杂的结晶过程容易导致非目标性的晶体生长,因此难以通过传统的水溶液法制备均匀的薄膜。Benjamin Putland博士采用真空蒸发使这些问题得以解决。使用Moorfield Nanotechnology的高质量金属\有机物热蒸发系统,通过真空蒸发三种不同的前驱体,研究人员成功沉积制备出了所需要的薄膜。真空蒸发具有较高的控制水平和可扩展性,使得材料的工业化制备成为可能。所制备的薄膜在150℃退火后,XRD图。所制备的薄膜在150℃退火后,表面SEM图 三、Moorfield 薄膜制备与加工系统简介Moorfield Nanotechnology是英国材料科学领域高性能仪器研发公司,成立二十多年来专注于高质量的薄膜生长与加工技术,拥有雄厚的技术实力,推出的多种高性能设备受到科研与工业领域的广泛好评。高精度薄膜制备与加工系统 – MiniLab旗舰系列和nanoPVD台式系列是英国Moorfield Nanotechnology公司经过多年技术积累与改进的结晶。产品的定位是配置灵活、模块化设计的PVD系统,可用于高质量的科学研究和中试生产。设备的功能和特点:▪ 蒸发设备:热蒸发(金属)、低温热蒸发(有机物)、电子束蒸发▪ 磁控溅射:直流&射频溅射、共溅射、反应溅射▪ 兼容性:可与手套箱集成、满足特殊样品制备▪ 其他功能设备:二维材料软刻蚀、样品热处理▪ 设备的控制:触屏编程式全自动控制
  • 高通量组合薄膜制备及原位表征系统
    table border="1" cellspacing="0" cellpadding="0" width="600"tbodytrtd width="122"p style="line-height: 1.75em "成果名称/p/tdtd width="526" colspan="3"p style="line-height: 1.75em "高通量组合薄膜制备及原位表征系统/p/td/trtrtd width="122"p style="line-height: 1.75em "单位名称/p/tdtd width="526" colspan="3"p style="line-height: 1.75em "中科院物理研究所/p/td/trtrtd width="122"p style="line-height: 1.75em "联系人/p/tdtd width="175"p style="line-height: 1.75em "郇庆/p/tdtd width="159"p style="line-height: 1.75em "联系邮箱/p/tdtd width="192"p style="line-height: 1.75em "qhuan_uci@yahoo.com/p/td/trtrtd width="122"p style="line-height: 1.75em "成果成熟度/p/tdtd width="526" colspan="3"p style="line-height: 1.75em "√正在研发 □已有样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产/p/td/trtrtd width="122"p style="line-height: 1.75em "合作方式/p/tdtd width="526" colspan="3"p style="line-height: 1.75em "√技术转让 √技术入股 □合作开发 √其他/p/td/trtrtd width="648" colspan="4"p style="line-height: 1.75em "strong成果简介: /strongbr/ /pp style="text-align:center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201603/insimg/981cbfad-b9ec-4aa9-875a-12197e3c1fb1.jpg" title="LIBE-STM.jpg" width="350" height="321" border="0" hspace="0" vspace="0" style="width: 350px height: 321px "//pp style="line-height: 1.75em " br//pp style="line-height: 1.75em " 随着“材料基因组计划”的兴起,人们对新的实验手段,特别是高通量高空间分辨率的材料制备和性能测试方法提出了迫切的要求。正是针对于此,我们开发了这套“高通量组合薄膜制备及原位表征系统”,基于完全自主知识产权的新型生长机理制备高通量组合薄膜。同时,通过结合特殊设计的扫描隧道显微镜,可实现对所制备薄膜的原位超高分辨表征。尚在研发中,主要技术指标待测。/p/td/trtrtd width="648" colspan="4"p style="line-height: 1.75em "strong应用前景: /strongbr/ 应用前景尚不明确。/p/td/trtrtd width="648" colspan="4"p style="line-height: 1.75em "strong知识产权及项目获奖情况: /strongbr/ 发明专利:201510446068.7、201510524841.7/p/td/tr/tbody/tablepbr//p
  • 行业解决方案 | 布劳恩赋能钙钛矿薄膜制备
    钙钛矿(Perovskite)是具有特定晶体结构的材料,晶体结构中可以嵌入许多不同的阳离子,从而可以开发多种工程材料。在过去几年中,这种材料已被广泛用于钙钛矿太阳能电池(PSC)的研发。钙钛矿太阳能电池是一类以金属卤化物钙钛矿材料作为吸光层的太阳能电池。作为第三代新型太阳能电池,在过去的几年里发展极为迅速。单节钙钛矿太阳能电池的转换效率已经从 2009年的3.8%上升到2023年的26.1%。钙钛矿/晶硅叠层太阳能电池转换效率已达到33.7%,超过了单节晶硅太阳能电池所达到的最高转换效率。相比于晶硅电池,钙钛矿电池具有原料成本低、生产工艺简单,极限转换效率高、高柔性等优势,可以应用于光伏发电、LED等领域,发展前景广阔。作为光伏行业的重要参与者,MBRAUN在钙钛矿薄膜制备应用方面具备丰富的研发和产业经验。可结合客户需求,为客户提供从研发、中试到量产级别的设备,系统和半自动/自动化整体解决方案。以下是MBRAUN部分相关产品概览:01物理气相沉积钙钛矿材料具有蒸发温度低,腐蚀性强,难以共蒸等特点,从而影响工艺的可重复性和稳定性。MBRAUN专门设计了拥有专利技术的真空镀膜系统用于蒸镀低沸点钙钛矿材料。该系统的核心理念是对整个系统进行温度控制,以防止出现沉积后的二次蒸发现象。所有部件均均采用耐腐蚀材料和易于清洁维护的特殊设计,特别适用于具有腐蚀性和毒性的钙钛矿材料。目前该系统已被多个知名学府和研究机构应用,2022年12月,德国HZB使用PEROvap蒸镀系统制备的钙钛矿/晶硅叠层太阳能电池的转换效率达到32.5%。02旋涂在实验室级别的钙钛矿研究中,旋涂法是最被广泛应用的一种方法。尽管这种方法材料利用率很低,且随着基底面积增大,中心和其辐射边缘成膜不再均匀,但是对于优化薄膜厚度,研究钙钛矿结晶及其分解机理有极大的方便之处。MBRAUN提供的旋涂设备具有可编程功能,能够编辑储存包括速度、加速度和旋涂时间在内的多个参数,方便用户灵活地开展前沿研究,尤其是研究对空气敏感的材料。同时可提供各种可选配件,如半自动注液系统、脚踏开关和内衬(便于清洁)等。全系列标准的和定制的真空吸盘,带有快速更换装置,使旋涂功能变得更加全面完善。03狭缝涂布狭缝涂布机的设备造价显著低于真空镀膜设备,却可以达到很高的材料利用率(高达95%)。狭缝涂布技术广泛应用于许多前沿高科技领域,可以将液体材料涂布到刚性或柔性基板上以制备功能膜层。特别是在大尺寸大容量薄膜太阳能电池的生产制造上,狭缝涂布技术不断获得业界关注并被普遍认为具备产业化潜力。在狭缝涂布技术应用中应特别注意环境中粉尘对涂布工艺的影响。在不合格的无尘环境下进行狭缝涂布工艺,纳米级薄膜(干膜厚度)将被完全破坏。为了避免这个问题,MBRAUN开发了小型洁净系统,可以在惰性气体环境下运行,并在该环境内同时实现ISO1的洁净等级。04热板湿法制膜设备需要经过良好的固化后才能形成均匀的薄膜,以制备高效率的器件。热板是MBRAUN工艺设备系列中的最新设计之一,用于在可控条件下固化在刚性基片上沉积的有机薄膜。具有非常好的温度均匀性、温控精度、工艺稳定性、可重复性,以及高度的灵活性,应用范围覆盖基础研究到复杂的制造工艺。05自动化当用户开始关注如何消除人为失误、增加产能以及提高工艺重复性和稳定性时,就一定会需要自动化解决方案。MBRAUN作为钙钛矿电池领域的整体方案头部厂商,在超净生产环境管控(无水、无氧、无尘),自动化物流,工艺生产和检测设备集成整合,生产安全管理,生产信息记录等领域具备丰富的技术和经验储备。多年来,MBRAUN设计并交付了一系列从半自动化到全自动化范围的高度集成的系统,为客户量身定制解决方案,充分满足客户的每个特定需求,在行业内获得高度好评。如果您有相关需求,欢迎致电布劳恩!
  • 国内首套超高真空无液氦低温STM与样品制备联合系统成功落户复旦大学物理学院
    近日,由美国RHK公司研发的超高真空无液氦低温STM系统与样品制备联合系统在复旦大学物理学院顺利完成安装使用。 图1 RHK超高真空无液氦低温STM系统该多功能联合系统兼备了样品制备、处理与表征于一体,同时配有高精度的原为CCD,可实现2um的空间分辨,满足特殊用户对二维材料等体系的原位快速寻找和测试。除此之外,该联合系统中的样品制备与处理部分,可实现样品原位高温烘烤,电子束轰击(配有Ar枪),可配备XPS、LEED等表征测量选件,同时Manipulator可原位加热(高于1000K)和低温(低于100K)处理样品,并配有使用不同构型的多个sample holders。该系统样品生长部分可以扩展多个生长源,可实现MBE 分子束蒸发,热蒸发等多种模式选择。 该联合制备表征系统中STM表征部分,除兼具RHK PanScan Freedom-LT之前已有的优异的隔振性能和无液氦制冷的操作简便性外,还新研发推出了可在低温扫描头温度屏蔽罩外侧加装原位低温样品储藏架,可长时间不间断低温(低于40K)存储特殊低温需要的样品。图2 超高真空无液氦低温STM与样品制备联合系统现场安装调试图3 RHK公司 Adam先生向用户现场介绍并进行讨论RHK公司产品以其技术创性和稳定性、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多表面科学、低温、真空等研究领域著名科学家和研究组的认可和青睐。相关产品及链接:1、 RHK无液氦UHV LT STM/ AFM-qPlus系统:http://www.instrument.com.cn/netshow/C205015.htm2、 RHK 超高真空扫描探针显微镜系统:http://www.instrument.com.cn/netshow/C44442.htm3、 UHV PAN式低温扫描探针显微镜系统:http://www.instrument.com.cn/netshow/C159540.htm4、 R9扫描探针显微镜控制器:http://www.instrument.com.cn/netshow/C159539.htm5、 R9plus扫描探针显微镜控制器:http://www.instrument.com.cn/netshow/C44532.htm
  • 多功能MgB2超导样品制备仪
    成果名称多功能MgB2超导样品制备仪单位名称北京大学联系人马靖联系邮箱mj@labpku.com成果成熟度□研发阶段 &radic 原理样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产成果简介:由于传统的低温超导Nb3Sn带材和NbTi线材的超导转变温度分别只有18K和9K,因此这两种超导材料需要工作于液氦温度(4.2K),这导致此类研究的价格昂贵,操作复杂。2001年出现了一种新型超导体MgB2,其超导转变温度为40K,成为一种可以替代目前国内外广泛应用的低温超导Nb3Sn带材和NbTi线材的&ldquo 中温&rdquo 超导材料,从而使此类工作能够摆脱对液氦制冷的依赖。但是,由于现在通用的MgB2超导线中的超导材料是用普通镁粉和硼粉混合烧结而成,因此MgB2超导成分中有较多的空隙,导致载流能力尚有欠缺。针对这一问题,北京大学物理学院王越副教授课题组采用全新的溶液法制备MgB2,其超导块材和粉体材料中则空隙很少,可以达到高载流能力的超导线的要求。研制基于这种原理的MgB2超导样品制备仪将极大简化制备金属衬底MgB2超导厚膜的工艺和成本,并对未来制备弱电应用的MgB2超导器件起重要的推动作用。2009年,王越副教授申请的&ldquo 多功能MgB2超导样品制备仪&rdquo 得到第二期&ldquo 仪器创制与关键技术研发&rdquo 基金的支持。该项目利用我校化学学院李星国教授开发的有机溶液法制备MgB2超导粉体技术和物理学院冯庆荣教授搭建的热丝辅助混合物理化学气相沉积法实验装置,构建了一套能够制备包括块材、粉末、超薄膜、薄膜、厚膜、多层膜、晶须、纤维和纳米线等多种不同形态MgB2超导样品的实验装置。作为该项目的&ldquo 育苗&rdquo 基金,&ldquo 仪器创制与关键技术研发&rdquo 基金对该项工作的开展提供了有力的帮助。在基金的支持下,通过关键部件的购置和主要模块的试制,该课题组实现了对溶液法制备MgB2超导样品设备的优化、对热丝辅助混合物理化学气相沉积法实验装置的改进和系统的集成,顺利地完成了研制工作。应用前景:未来,该项工作可以推广到MgB2超导材料(粉体和块材)厂家进行大规模生产,目前相关成果正在进一步优化和成果转化阶段。
  • 材料基因研究仪器——高通量连续组分外延薄膜制备及原位局域电子态表征系统
    p  strong仪器信息网讯/strong 材料对于推动生产力发展和社会进步起着举足轻重的作用。关键材料的研发周期更是直接决定了相关领域的发展进程。材料基因组技术的出现为快速构建精确的材料相图,缩短材料的研发周期带来了希望。/pp  中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家研究中心技术部电子学仪器部郇庆/刘利团队一直致力于科研仪器装备的自主研发 超导国家重点实验室金魁/袁洁团队专注于基于高通量组合薄膜技术的新超导体探索和物理研究。两团队经多年合作成功研制并搭建了一台高通量连续组分外延薄膜制备及原位局域电子态表征系统。作为目前国际上最先进的第四代高通量实验设备,审稿人和项目验收专家组均给予了高度评价,认为该设备实现了研究应用和核心技术上的创新突破,解决了现有技术的诸多缺陷和不足,将成为材料基因研究的重要工具,并有望在推动多个领域的前沿研究中发挥重要作用。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/042ce1da-8ab9-46b9-8bb1-eb602327463f.jpg" title="组合激光分子束外延-扫描隧道显微镜联合系统:(a)三维设计图;(b) 实物照片.jpg" alt="组合激光分子束外延-扫描隧道显微镜联合系统:(a)三维设计图;(b) 实物照片.jpg"//pp style="text-align: center "组合激光分子束外延-扫描隧道显微镜联合系统:(a)三维设计图;(b) 实物照片/pp  该系统采用的关键技术为研发团队首次提出,核心部件均自主研发,具备多项独特优点:/pp  1)采用专利的旋转掩膜板设计,避免累积误差和往复运动的问题,大大提高了系统运行精度和稳定性 /pp  2)特殊设计的STM扫描头能够实现大范围XY移动( 10 mm)和高精度定位(定位精度优于 1 μm) 3)完备的传递设计可实现样品、针尖、靶材的高效传递,并易于未来功能扩展。/pp  该仪器研发历时4年多,设计版本多达50多个,并完成了全面的性能测试。他们利用自研系统制备了高质量的梯度厚度FeSe样品,得到可靠的超导转变温度随厚度的演变关系。在HOPG样品、金单晶样品、BSCCO样品以及原位生长FeSe样品表面均获得了高清原子分辨图像,并测量了BSCCO样品局域超导能隙扫描隧道谱。目前,该系统已用于研究高温超导机理问题和新型超导材料探索。/pp  组合薄膜制备技术作为材料基因组核心技术之一经历了三个发展阶段,即共磁控溅射技术、阵列掩膜板技术和组合激光分子束外延技术。目前,组合薄膜生长往往采用往复平行位移掩膜板的方式,这样不可避免造成累积误差,直接影响到薄膜制备过程中组分控制的精度。此外线性掩膜板反复变向及加减速操作也会加速机械部分磨损,降低系统稳定性。另一方面,目前对组合薄膜高通量快速表征技术也存在不足,很多传统方法无法直接用于组合薄膜表征。以扫描隧道显微镜(STM)为例,其对样品表面清洁度具有很高的要求,通常需要原位解理或制备样品 此外,有限的样品移动范围和不具备精确定位功能限制了STM在组合薄膜表征上的应用:大多数商业化STM样品移动范围一般仅为数毫米且不具备定位功能。对于连续组分薄膜性质的研究来说,实际的测量位置与样品组分是一一对应的,失去了位置坐标就失去了组分的信息。因此,发展更加精确的高通量薄膜制备和原位表征手段十分必要,并对包括超导材料在内的多个前沿研究领域具有重要意义。/pp  /ppbr//p
  • 宁波材料所在sp2c-COFs薄膜制备及海洋能源器件方面取得进展
    共价有机框架(COFs)材料是一类由重复有机单元通过共价键连接具有二维拓展结构的多孔晶体材料。该类材料具有高结晶度、均一孔径分布和高比表面积等特点,因此广泛应用在气体储存和分离、能源储存、光电催化等领域。   其中二维sp2碳共轭共价有机框架(sp2c-COFs)具有有序π堆叠、丰富活性位点、可调谐开放纳米孔道结构、可定制化分子构筑基元与强共价连接键等特点。并且得益于碳碳双键增强的π共轭电子跃迁、超高的化学/热稳定性及高电子迁移率等特性,sp2c-COFs的高效构建是半导体器件、能源催化、选择性分离膜等前瞻性新兴技术及苛刻环境领域内研究的热点。   然而,sp2c-COFs的构筑受阻于高度不可逆的C=C成键过程;此外,目前报道的sp2c-COFs都是以粉末形式存在的,粉末的不溶性和共价有机薄膜制备困难的问题,阻碍了这些材料在相关分离膜、能源或光电器件中的应用。   中国科学院宁波材料技术与工程研究所界面功能高分子材料团队在张涛研究员的带领下对二维sp2碳共轭共价有机框架材料可控构筑及前沿基础应用进行了深入研究。该团队前期提出多种可靠新型单体、碳碳双键构筑路径及含有稳定性增强效应sp2c-COFs的设计策略(J. Am. Chem. Soc. 2022, 144, 13953 ACS Catal. 2023, 13, 1089 Chem. Mater. 2023, 10.1021/acs.chemmater.2c03083),突破了当前缩聚策略和单体种类的局限性,实现数类高度共轭sp2c-COFs的制备。   近期,该团队提出一种表面自组装单分子层(SAM)辅助的表面引发席夫碱介导羟醛缩合反应(SI-SBMAP)技术,实现sp2c-COF薄膜(命名为TFPT-TMT和TB-TMT)在多种基底上的可控构筑(图1)。并且得益于均匀的氨基单分子层提供的反应成核位点,通过SI-SBMAP合成的sp2c-COF薄膜展现了连续均匀的形貌和高度有序的晶体结构,并拥有高的比表面积和均一的孔径分布等结构特征(图2和3)。这些优点使得该薄膜材料在海洋渗透发电装置中展现出极高功率密度和稳定性。   为了解sp2c-COF薄膜的形态演变,进一步收集了不同反应时间的样品,并通过扫描电镜对其进行了分析。已知2D COFs中的平面三嗪基团由于强的π-π相互作用有助于促进COF层沿z轴的垂直堆叠,从而导致结晶度增强并形成棒状或带状形态。   因此,与三嗪基团较少的TB-TMT薄膜相比,TFPT-TMT薄膜中大量的三嗪基团倾向于形成更长的纤维。得益于表面引发技术可适用于多种基底的优势,sp2c-COF薄膜也可以在NH2-SAM修饰的其他各种基材上制备,包括聚丙烯腈(PAN)膜、玻璃纤维、铝片等。并且在PAN基底上制备的sp2c-COF薄膜尺寸可达18cm×7cm,为大面积制备sp2c-COF薄膜提供了新的途径(图4)。   在进一步的实验中,利用TFPT-TMT薄膜高化学稳定性、明确的准一维通道、高孔隙密度的优点,将其集成到海洋渗透发电装置中。该设备在50倍盐度梯度(pH=14恶劣条件)下输出功率密度高达14.1 Wm-2,中间电阻低至17.74 kΩ,优于大多数报道的COF膜,达到商业基准(5 Wm-2)的近3倍(图5)。这项工作为sp2c-COF薄膜的合成提供了一种新型、可靠的方法,并证明了其具有在极端酸碱条件下能源相关器件中的巨大应用潜力。   该工作近期以“Monolayer-Assisted Surface-Initiated Schiff-Base-Mediated Aldol Polycondensation for the Synthesis of Crystalline sp2 Carbon-Conjugated Covalent Organic Framework Thin Films”为题发表在Journal of the American Chemical Society期刊上,本研究得到了浙江省自然科学基金(LR21E030001)、国家自然科学基金(52003279)、浙江省创新创业领军团队引进项目(2021R01005)、宁波市重点研发计划(2022ZDYF020023)的支持。
  • 全球最大纳米真空实验站落户苏州 集器材制备和测试功能于一体
    世界首个集材料生长、器件制备、测试分析为一体的纳米领域大科学装置——纳米真空互联综合实验站正在我国江苏苏州工业园区建设。实验站一期于2014年开始建设,预计2018年建成,建设经费3.2亿元,整个实验站的总预算为15亿元。  正在建设中的这个纳米实验站是目前世界上最大的真空互联科研装置。其总体方案是:用总长近500米的超高真空管道,将上百台用于材料生长、器件制备、测试分析的大型仪器设备互联,实现样品在不同设备之间传送时其表面不被氧化、沾污,不被外界大气环境所破坏。中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究员、纳米真空互联实验站常务副总指挥丁孙安说,实验站通过超高空间分辨、时间分辨、能量分辨、质量分辨等的高端能力仪器设备,对物质的“本征性质”进行研究,从而实现量子材料的设计、制备和表征,后摩尔时代器件加工和测试分析,同时开展新材料、新工艺、新结构和新功能的开发和研究,以及形成第三代半导体工艺包。 科研人员在建设中的纳米真空互联综合实验站调试设备  纳米真空互联实验站是依托中科院苏州纳米所,联合清华大学薛其坤院士团队、中科院大连化学物理研究所包信和院士团队建设的。一期建设由中科院、江苏省、苏州市和苏州工业园区共建,从2014年开始建设,预计2018年建成,建设经费3.2亿元。一期建成后将连接30多台设备,形成100米的真空管道。整个实验站的总预算是15亿元。  丁孙安指出,实验站力图通过超高真空条件下的互联集成和若干重大项目验证,突破现有仪器设备的功能限制,实现材料制备、测试分析与微纳加工工艺等方面协同效应,为科研和战略性新兴产业发展提供先进的开放平台。  “这个实验装置是在类似太空的全真空环境下的纳米器件研发平台,相当于把现有的加工设备统一搬到太空。”丁孙安说。  “未来电子元器件将发展到纳米级,也就是纳电子,器件尺寸越来越小,集成度越来越高,可以提高器件性能。但是那么小的器件以目前的工艺还有很多效应无法解决,不能完成新型器件的制造。所以未来生产纳米甚至以下级别的器件需要一种全新的技术路线。”丁孙安说。  “在纳米科学技术研究中许多问题不能只靠一种手段解决,需要多种手段、多台设备联合解决。同一个材料样品在不同设备之间转换,暴露在空气中,性能就会发生变化,纳米真空互联装置把很多设备都集中在同一个平台上,减少了很多影响器件的因素,并且能省去很多不必要的工艺环节,从而节约成本,器件质量也会大大提高。”丁孙安说。  他表示,纳米真空互联实验站不仅可以开展硬件研制,也能开发新的工艺,超导器件、半导体器件等对表面敏感的材料器件都可以在这里制造,可实现量子材料的设计、制备,这样就可以用于制造强大的量子计算机。科学家可以利用这套装置,生产很多更智能化、更可靠、更小型的器件,可应用于通讯、信息、人工智能等领域。由于降低了成本,未来普通人也可以使用更高端小巧的设备。  实验站建成后将形成一个国际顶尖纳米科技人才的聚集高地,对地方经济、科技具有很强的带动与辐射作用 实验站设备大多数需要自主研发和设计改造集成,可大大提升中国重大仪器设备的研制水平。  中科院纳米所所长杨辉说,在此建设纳米真空互联实验站,是力图通过真空条件下的互联集成和若干重大项目验证,突破现有仪器设备的功能限制,实现材料制备、测试分析与微纳加工工艺等方面协同效应,为科研和战略性新兴产业发展提供先进的、开放性的平台。
  • 既能蒸发又能溅射,nanoPVD磁控溅射系统,各种制备方式自由切换!
    自从2020年Quantum Design中国子公司将英国Moorfield nanotechnology公司生产的台式高精度薄膜制备与加工系统引进国内市场以来受到了国内科研工作者的广泛关注。Moorfield Nanotechnology推出的台式设备体积小巧但性能可以和大型设备相媲美,并且自动化程度高、操作简单、性能可靠、配置灵活。设备所具有的这些优点正是现代实验所需要的。Moorfield Nanotechnology长期收集用户的需求并对产品线进行不断的优化丰富,以满足各种个性化的实验需求。近年来,越来越多的前沿研究中需要用到多种薄膜制备手段,而传统的设备往往只有一种薄膜制备功能,制备一个样品就需要先后在不同的设备中进行操作,并且容易对样品的性质造成破坏。针对这样的需求,Moorfield Nanotechnology公司全新推出了台式高精度溅射与热蒸发系统——nanoPVD ST15A。该系统可以集成金属/绝缘体溅射、金属热蒸发、有机物蒸发功能,在同一台设备中可以实现多种制备手段的组合,将薄膜制备带入了新的高度。系统通过7英寸触摸屏控制,自动化程度高,各种制备方式可以自由切换,甚至可以同时进行。用户可以通过灵活的制备手段在在同一台设备中制备不同的薄膜或者是复合薄膜。nanoPVD ST15A外观图设备技术特点☛ 台式设备配置灵活☛ 磁控溅射、热蒸发、有机物蒸发☛ 三种制备手段可灵活组合☛ 可制备金属、有机物、电介质薄膜☛ 多达3个流量计控制过程气体☛ 高精度自动气压控制选件☛ 全自动触屏操作系统☛ 基片大至4英寸☛ 可选基片加热☛ 本底真空5 × 10-7 mbar☛ 可选共溅射(蒸发)功能☛ 可选晶振膜厚标定功能☛ 定义保存多个制备程序☛ 全面的安全性设计☛ 超净间兼容☛ 稳定的性能左:nanoPVD ST15A 双蒸发源与磁控溅射组合,右:系统的样品台与挡板背景介绍Moorfield Nanotechnology是英国材料科学领域高性能仪器研发公司,成立25年来专注于高质量的薄膜生长与加工技术,拥有雄厚的技术实力,推出的多种高性能设备受到科研与工业领域的广泛好评。Moorfield公司近十年来与曼彻斯特大学诺奖技术团队紧密合作,推出的台式高精度薄膜制备与加工系列产品由于其体积小巧、性能优异、易于操作更是受到很多科研单位的赞誉。这些设备已经进入了欧洲多所科研院所的实验室,诸如曼彻斯特大学、剑桥大学、帝国理工学院、诺森比亚大学、巴斯大学、埃克塞特大学、哈德斯菲尔德大学、莱顿大学、亚森工业大学、西班牙光子科学研究所、英国国家物理实验室等单位都是Moorfield Nanotechnology的用户和长期合作者。诸多的用户与合作者让产品的性能和设计理念得到了高速发展,并迈入全球化的进程。Quantum Design中国子公司与Moorfield Nanotechnology正式合作,作为中国的代理和战略合作伙伴,为中国用户提供高性能的设备与优质的服务。除了台式设备之外我们还提供多种大型设备和定制服务。目前国内已有包括清华大学、西湖大学、大连理工大学、广东工业大学、中科院等多个单位采购了不同型号的Moorfield高性能薄膜制备与加工设备。产品链接1、台式高性能多功能PVD薄膜制备系列—nanoPVD
  • 中科院物理所|新一代高通量薄膜制备及原位表征技术获进展!
    p style="text-align: justify text-indent: 2em "近日,中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家研究中心技术部电子学仪器部郇庆/刘利团队和超导国家重点实验室金魁/袁洁团队,在新一代高通量薄膜制备及原位表征技术研发获得重大进展,该成果发表于近期的《科学仪器评论》杂志上span style="color: rgb(0, 0, 0) "【Review of Scientific Instruments 91, 013904 (2020) doi: 10.1063/1.5119686】/spana href="http://www.iop.cas.cn/xwzx/kydt/202002/P020200212416644690060.pdf" target="_self"span style="color: rgb(0, 112, 192) "(文章链接)/span/a。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/e637a6c9-3502-4446-8d0c-ea9fb16b6e59.jpg" title="图片4.png" alt="图片4.png"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家研究中心技术部电子学仪器部郇庆/刘利团队一直致力于科研仪器装备的自主研发;超导国家重点实验室金魁/袁洁团队专注于基于高通量组合薄膜技术的新超导体探索和物理研究。近些年来,两个团队密切合作、联合攻关,共同指导SC2组博士生何格(目前在德国做洪堡学者)、魏忠旭、冯中沛等同学strongspan style="color: rgb(0, 0, 0) "成功研制并搭建了一台高通量连续组分外延薄膜制备及原位局域电子态表征系统。/span/strong该系统采用的关键技术为研发团队首次提出,核心部件均自主研发,具备多项独特优点:strong1)/strong采用专利的旋转掩膜板设计,避免累积误差和往复运动的问题,大大提高了系统运行精度和稳定性;strong2)/strong特殊设计的STM扫描头能够实现大范围XY移动( 10 mm)和高精度定位(定位精度优于 1 μm);strong3)/strong完备的传递设计可实现样品、针尖、靶材的高效传递,并易于未来功能扩展。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "该研发团队对系统进行了反复地设计优化和改进(研发历时4年多,设计版本多达50多个),并完成了全面的性能测试。他们利用自研系统制备了高质量的梯度厚度FeSe样品,得到可靠的超导转变温度随厚度的演变关系。在HOPG样品、金单晶样品、BSCCO样品以及原位生长FeSe样品表面均获得了高清原子分辨图像,并测量了BSCCO样品局域超导能隙扫描隧道谱。strong目前,该系统已用于研究高温超导机理问题和新型超导材料探索。/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "作为目前国际上最先进的第四代高通量实验设备,审稿人和项目验收专家组均给予了高度评价,认为该设备实现了研究应用和核心技术上的创新突破,解决了现有技术的诸多缺陷和不足,将成为材料基因研究的重要工具,并有望在推动多个领域的前沿研究中发挥重要作用。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/7b2acf06-1ac6-465d-ad0a-d76ef6f1406c.jpg" title="图1 :组合激光分子束外延-扫描隧道显微镜联合系统:(a)三维设计图;(b) 实物照片.jpg" alt="图1 :组合激光分子束外延-扫描隧道显微镜联合系统:(a)三维设计图;(b) 实物照片.jpg"//pp style="text-indent: 0em text-align: center "span style="font-family: 微软雅黑, verdana, sans-serif, tahoma, arial font-size: 14px text-align: -webkit-center "图1 :组合激光分子束外延-扫描隧道显微镜联合系统:(a)三维设计图;(b) 实物照片/span/pp style="text-indent: 0em text-align: center "span style="font-family: 微软雅黑, verdana, sans-serif, tahoma, arial font-size: 14px text-align: -webkit-center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/bb46dd89-0b72-4f5e-a7d6-dd88e1baa05c.jpg" title="图2:梯度厚度FeSe薄膜温度依赖电阻(a)及厚度依赖Tc (b).jpg" alt="图2:梯度厚度FeSe薄膜温度依赖电阻(a)及厚度依赖Tc (b).jpg"//span/pp style="text-indent: 0em text-align: center "span style="font-family: 微软雅黑, verdana, sans-serif, tahoma, arial font-size: 14px text-align: -webkit-center "span style="font-family: 微软雅黑, verdana, sans-serif, tahoma, arial font-size: 14px text-align: -webkit-center "图2:梯度厚度FeSe薄膜温度依赖电阻(a)及厚度依赖Tc (b)/span/span/pp style="text-indent: 0em text-align: center "span style="font-family: 微软雅黑, verdana, sans-serif, tahoma, arial font-size: 14px text-align: -webkit-center "span style="font-family: 微软雅黑, verdana, sans-serif, tahoma, arial font-size: 14px text-align: -webkit-center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/ca707a08-a9a8-4ef2-8798-23266bfbc9df.jpg" title="图3:STM系统表征数据:(a) HOPG原子分辨图; (b) Au(111)原子分辨图;(c) BSCCO表面超结构;(d) BSCCO隧道谱;(e) 原位生长FeSe大尺度形貌图;(f) 原位生长FeSe原子分辨图.png" alt="图3:STM系统表征数据:(a) HOPG原子分辨图; (b) Au(111)原子分辨图;(c) BSCCO表面超结构;(d) BSCCO隧道谱;(e) 原位生长FeSe大尺度形貌图;(f) 原位生长FeSe原子分辨图.png"//span/span/pp style="text-indent: 0em text-align: center "span style="font-family: 微软雅黑, verdana, sans-serif, tahoma, arial font-size: 14px text-align: -webkit-center "span style="font-family: 微软雅黑, verdana, sans-serif, tahoma, arial font-size: 14px text-align: -webkit-center "span style="font-family: 微软雅黑, verdana, sans-serif, tahoma, arial font-size: 13.3333px text-align: -webkit-center "图3:STM系统表征数据:(a) HOPG原子分辨图; (b) Au(111)原子分辨图;(c) BSCCO表面超结构;(d) BSCCO隧道谱;(e) 原位生长FeSe大尺度形貌图;(f) 原位生长FeSe原子分辨图/span/span/span/p
  • 莱伯泰科Astation多功能样品制备进样平台应用方案集,助您轻松应对饮用水检测
    近年来,生活饮用水的质量越来越受到国民关注,国民对生活饮用水的需求也从干净饮用水逐渐过渡到安全饮用水及可口饮用水。生活饮用水的质量直接关系我国国民的日常用水安全,相关水质检测在保证生活饮用水的质量和饮水安全方面具有至关重要的现实意义,主要涉及到生活污水、饮用水中有机物检测。(来源:国家饮用水产品质量检验检测中心)在饮用水水质检测过程中,样品前处理过程至关重要,它将直接影响到分析结果的准确性和重现性。目前,水质检测的难点主要还是集中在前处理过程中。饮用水中有机物检测种类繁多,前处理过程步骤繁杂且接触大量有机试剂,严重影响实验操作人员的实验结果准确性和健康安全。 采用近年来发展成熟且先进的全自动多功能在线样品前处理技术和设备。例如,采用在线全自动化顶空和吹扫捕集设备分析挥发性有机物 (VOC)、用 SPME 技术分析嗅味化合物、用 μSPE 技术分析半挥发性有机物 (SVOC) 等,不但操作简单、效率更高,而且避免了使用大量有毒有害的有机试剂。 高通量、智能化、准确化检测是未来饮用水检测的趋势。莱伯泰科Astation全自动多功能样品制备进样平台将常规液体进样、微凝胶净化、微固相萃取、吹扫捕集、静态顶空、动态顶空、多次顶空等功能跟样品稀释、标液配制、涡旋混合、振荡、液液萃取、衍生、开盖关盖、移液枪取液等样品前处理步骤集合在一个平台上,实现从样品制备到进样分析的一体化操作,同时各功能模块可自动切换,实现多种制备方式灵活搭配,大大提高了分析效率、准确度和实验员健康安全,且降低了分析成本。Astation 全自动多功能样品制备进样平台Astation 技术特点,化繁为简,一站式全自动多功能样品制备进样平台Astation 功能Astation全自动多功能样品制备进样平台可搭载各大品牌的GC、GC-MS、GC-MS/MS、LC、LC-MS、LC-MS/MS等仪器,可为它们提供更加完善的样品前处理和进样服务。相比于常规进样器,Astation全自动多功能样品制备进样平台具有节省溶剂、效率高、省人工等多种特点,已经被广泛应用于食品、疾控、环境、化工、制药、生物等行业。饮用水有机物检测对于饮用水水质的检测,莱伯泰科参考相关标准,结合Astation全自动多功能样品制备进样平台,为客户提供《全自动固相微萃取测定水中臭味物质》、《固相微萃取SPME Arrow对水中16种多环芳烃的定量分析》、《吹扫捕集气相色谱质谱法测定水中54种VOC》和《Astation-CDS 7000C 吹扫捕集系统在 US EPA 8260C 方法中的应用》等解决方案。同时我们与多家科研机构、高校、第三方检测单位积极合作,在水中农药残留、二恶烷、亚硝胺等其他污染物的检测中,也提供了准确、便捷、可靠的前处理解决方案。 莱伯泰科近年来开发出多样化的饮用水中异味物质分析解决方案供您选择,助您省力、省时地获得可靠的分析结果。其中包括: ✦生活饮用水土臭素和2-甲基异莰醇的自动SPME Arrow气质分析方案基于GB/T 5750.8-XXXX 中方法75.1的全自动化解决方案,适用于分析生活饮用水的土臭素和2-甲基异莰醇;✦生活饮用水二甲基二硫醚和二甲基三硫醚的自动吹扫捕集气质分析方案 基于GB/T 5750.8-XXXX中方法85.1的全自动化解决方案,适用于分析生活饮用水中二甲基二硫醚和二甲基三硫醚;✦自动SPME Arrow-GC/MS/MS异味物质筛查分析方案✦固相微萃取SPME Arrow对水中16种多环芳烃的定量分析解决方案✦Astation-CDS 7000C吹扫捕集系统在US EPA 8260C 方法中的应用✦吹扫捕集气相色谱质谱法测定水中54种VOC解决方案一 全自动固相萃取测定水中臭味物质近年来,国民对水中异味的投诉比较高,土臭素、2-甲基异茨醇作为最常见的两种异味物质,一直受到人们的关注。我国大多数饮用水为地下水,存在土臭素和2-甲基异崁醇的几率非常高,因此对水体中这些物质含量进行测定极为重要。Astation 全自动多功能样品制备进样平台SPME萃取流程:测定结果:土臭素和2-甲基异莰醇(含内标)总离子流图2-甲基异莰醇重叠色谱图(10ng/L)土臭素重叠色谱图(10ng/L)加标回收率:土臭素和2-甲基异莰醇加标回收率结果(纯水)土臭素和2-甲基异莰醇加标回收率结果(自来水)参考标准:《GB/T 32470-2016 生活饮用水臭味物质 土臭素和2-甲基异莰醇检验方法》《GB 5749-2022 生活饮用水卫生标准》 GB 5750.8《生活应用水标准检验方法 第8部分:有机物指标》征求意见稿解决方案二 固相微萃取SPME Arrow对水中16种多环芳烃的定量分析多环芳烃(PAHs)是一类持久性有机污染物,具有较强的致癌、致畸、致突变性,普遍存在于大气、土壤、水体、沉积物等环境介质中。水体中的悬浮颗粒物对PAHs具有强烈的吸附作用,因此PAHs能够在沉积物中不断富集,对水体造成污染。PAHs最终可通过食物链在动物和人体中发生生物蓄积,对生态系统和人类健康造成潜在的威胁。Astation 全自动多功能样品制备进样平台SPME萃取流程:测定结果:多环芳烃色谱图固相萃取进样色谱图解决方案三 Astation CDS 7000C吹扫捕集系统在US EPA 8260C方法中的应用美国环保局8260C方法利用气相色谱质谱联用仪(GC/MS)方法测定挥发性有机物(VOCs)是GC/MS在环境领域的重要之一,检测对象包括各种固体废物、地表水、地下水、土壤、沉积物等基质中的VOCs。在测定水样品中的VOCs时,吹扫捕集是主要的水中分析物提取和向GC/MS上样的工具。当样品量较大时,往往需要自动化样品处理平台作为辅助工具来替代大量的人工操作。Astation-CDS 7000C系统将Astation强大而丰富的自动化样品制备功能和CDS历经数十年考验的稳定可靠的吹扫捕集技术结合在一起,在水质VOCs检测中起到良好的作用。Astation-CDS 7000C 吹扫捕集系统吹扫捕集条件:吹扫捕集系统条件测定结果:65种VOCs总离子流色谱图1µg/L标样多次重复进样谱图参考标准:US EPA 8260C 采用气相色谱法质谱分析法(GCMS)测定挥发性有机化合物解决方案四 吹扫捕集气相色谱法测定水中54种VOC挥发性有机物(VOCs)主要为烃类、芳香烃类、氮烃及硫烃类化合物,广泛分布于空气、水、土壤及其他介质中。由于VOCs沸点低、易挥发、种类繁多,而且在水中浓度通常为痕量级别,因此,在分析测定水中VOCs时,前处理技术和检测方法显得尤其重要。LabTech AStation全自动多功能样品制备进样平台与CDS7000C全自动吹扫捕集联用,具有取样量少、富集效率高、受基体干扰小,容易实现在线检测的特点,可以将被测物进行富集,从而大大提高方法的灵敏度。Astation-CDS 7000C 吹扫捕集系统吹扫捕集条件:吹扫温度:室温;吹扫流速:40ml/min;吹扫时间:11min;干吹扫时间:1min;吸附温度:40℃,预脱附温度:190℃;脱附温度:200℃;脱附时间:2min;烘烤温度:250℃;烘烤时间:5min;除湿阱就绪温度:50℃;除湿阱烘烤温度:260℃;阀箱温度:130℃;GC传输线:130℃。测定结果:54种目标物和3种内标物的混标SCAN色谱图自来水的检测色谱图桶装水的检测色谱图参考标准:《HJ 639-2012 水质 挥发性有机物的测定吹扫捕集/气相色谱-质谱法》
  • 大连化物所卿光焱团队制备出新型手性光子防伪薄膜
    近日,中国科学院大连化学物理研究所生物分离与界面分子机制创新特区研究组(18T7组)卿光焱研究员团队设计并制备了一种环境友好、多模式、可转换的手性光子薄膜。该研究为先进防伪材料的设计提供了新思路。早在中国古代,防伪标签(如水印、指纹和笔迹)就已广泛应用于文化、经济和军事等领域。创新的防伪技术对于市场的稳定、医疗健康和社会可持续发展等具有重要意义。目前,防伪标签主要使用发光或结构色材料,例如荧光染料、量子点、钙钛矿、室温磷光、纳米印迹光子阵列等,通过物理化学刺激、多色组合、利用复杂图案等实现编码安全。然而,由于自身的空间结构限制,这些防伪编码仅仅停留在一维或者二维的信息传递。相比之下,利用偏振衍生的手性发光材料,将大量有关视觉特征和空间结构的信息整合到一种复合材料中,可实现对每种信息进行编码或集成,从而大大提高防伪水平。纤维素纳米晶体(CNC)是一种来源丰富、绿色可持续的天然多糖聚合物,它可以进行自组装形成手性向列结构。本工作中,该团队将强手性的CNC系统与强发光的稀土配合物进行结合,制备出携带四种光学信息的手性光子复合膜。所获得的薄膜同时携带结构色、荧光、手性光和右旋圆偏振发光(CPL)信息,彼此之间可相互切换。基于这些多模式光学状态、湿度响应荧光或可调结构色、柔韧性和耐用性的综合特性,该光学系统在钞票防伪中表现出先进的应用潜力。同时,该材料还具有强CPL发射(不对称因子高达–0.36)、高绝对量子产率(66.7%)和偏振敏感的手性光学特性,这些研究将推动CNC光子材料在手性光学器件、光学探测器、视觉保护和手性传感等方面的应用。相关研究成果以“Multimodal, Convertible, and Chiral Optical Films for Anti-Counterfeiting Labels”为题,于近日发表在Advanced Functional Materials上。该工作的第一作者是大连化物所18T7组和二十八室博士研究生张福生。上述工作得到国家自然科学基金、我所创新基金、兴辽英才计划等项目的支持。(文/图 张福生、李琼雅)文章链接:https://doi.org/10.1002/adfm.202204487
  • 新品 | 全自动无人值守完成样品制备全流程-ISP600多功能样品制备工作站
    在人类享受科技带来的快速发展的同时,也同样面临着其带来的惩罚,越来越严峻的环境问题,以及频繁的食品安全问题。严峻的势态,人们的忧虑及国家的重视,导致需要监控、分析的样品种类及数量迅速增加,对分析实验室的要求也越来越高。样品制备是现代色谱分析中最重要的过程,这一过程占据了整个色谱分析61%的时间以及30%的误差来源。另外,操作人员技术水平的参差不齐让分析结果的准确性与精密度无法得到保证,随着样品数量的增加,操作人员的作业负荷也随之增加,并且长时间接触有机溶剂也危害着实验人员的健康。安全隐患及人力成本的增加,未来分析实验室势必朝着自动化、信息化、智能化方向发展,如何让样品前处理更加自动化,信息化,智能化是睿科一直在努力的。此次由睿科研究院产学研研制出的新品-ISP600多功能样品制备工作站就能全自动的完成QuEChERS方法样品制备全流程,实验室实现无人值守不再是梦想。点击在线观看ISP600在:北京BCEIA展会现场操作视频睿科ISP系列多功能样品制备工作站建立在六轴机械手平台上,集合样品管理,液体处理,开关盖,震荡提取,离心分离等五大模块,使其达到样品制备过程无人化,而人工只需承担简单的制样与称样的工作,大大减少了样品制备过程中人工操作带来的影响,解放实验人员劳动力及提高分析结果准确度。高通量每批次六个样品同时运行,批次间步骤交叠运行,一天最少处理120个样品全自动完全无人化工作,人工只需完成样品称量以及色谱上样的工作精确性机械化运行,无人工干扰,保证处理过程一致性以及数据的精密性与准确性安全性节约溶剂,避免实验人员与溶剂接触应用领域农业:植物源性食品中以农残为主的农药检测应用举例GB23200.108-2018 植物源性食品中草铵膦残留量的测定 液相色谱-质谱联用法GB23200.109-2018 植物源性食品中二氯吡啶酸残留量的测定 液相色谱-质谱联用法GB23200.110-2018 植物源性食品中氯吡脲残留量的测定 液相色谱-质谱联用法GB23200.111-2018 植物源性食品中唑嘧磺草胺残留量的测定 液相色谱-质谱联用法GB23200.112-2018 植物源性食品中9种氨基甲酸酯类农药及其代谢物残留量的测定 液相色谱-柱后衍生法GB23200.113-2018 植物源性食品中208种农药及其代谢物残留量的测定气相色谱-质谱联用法GB23200.115-2018 鸡蛋中氟虫腈及其代谢物残留量的测定 液相色谱-质谱联用法
  • 莱伯泰科Astation多功能样品制备进样平台--点亮自动进样器的高光时刻
    十几年前自动进样器的出现,解放了大批分析测试实验人员的双手,不用再时刻盯着仪器及时手动进样,也不用再担心手动进样引起的误差。如今没有人再去质疑购买自动进样器的重要性,手动进样早已退出实验室。随着分析技术尤其是进样技术的不断发展,单纯的液体自动进样器已无法满足日常检测工作,将常规液体进样、微凝胶净化、固相微萃取、吹扫捕集、静态顶空、动态顶空等特殊方式和前处理功能融合在一起的Astation全自动多功能样品制备进样平台,给自动进样器注入了新的活力,点亮了属于自动进样器的高光时刻。 莱伯泰科Astation全自动多功能样品制备进样平台将常规液体进样、微凝胶净化、微固相萃取、吹扫捕集、静态顶空、动态顶空、多次顶空等功能和样品稀释、标液配制、涡旋混合、振荡、液液萃取、衍生、开盖关盖、移液枪取液等样品前处理步骤集合在一个平台上,各功能可以自由组合,可自动更换不同的规格或类型进样器适配模组,从而使不同样品制备方式自动转换,实现从样品制备到进样分析的一体化操作,大大提高了分析效率,降低了分析成本。 Astation全自动多功能样品制备进样平台可搭载各大品牌的GC、GC-MS、GC-MS/MS、LC、LC-MS、LC-MS/MS等仪器,可为它们提供更加完善的样品前处理和进样服务。相比于常规进样器,Astation全自动多功能样品制备进样平台具有节省溶剂、效率高、省人工等多种特点,已经被广泛应用于食品、疾控、环境、化工、制药、生物等行业。
  • 加拿大OCI公司推出新型多功能分子束外延生长装置IMBE300
    加拿大OCI公司推出新型多功能分子束外延生长装置IMBE300 我司全权代理的加拿大OCI公司近期首次推出世界上最新型多功能分子束外延生长装置IMBE300。该装置在一台装置上同时可集成如下6大技术使之尤为引人瞩目。1. 带有7个蒸发源的MBE2. 低能电子衍射仪3. 俄歇电子能谱仪4. X射线光电子能谱仪5. 反射高能电子衍射仪6. 热脱附质谱仪 该装置实现了如下的设计制造目标:在一个超高真空腔体上完成外延生长过程集成监控,2-D结晶状态跟踪以及原位成分/电子能带分析。具体说来有如下特点。1. 在薄膜生长后无需传送到另外的超高真空室进行分析。2. 在蒸发和表面分析之间只需很短的切换时间。3. 具有传送臂和试样存储机构的样品室。4. 试样传送机构和其他系统兼容,SPM和SEM。敬请国内材料工作者来电咨询合作。参见下面图片说明。
  • 元素测定、薄膜分析、样品制备,巧用GDS实现多方位分析【GDS微课堂-8】
    运营一个公司需要不同部门的合作,打好一场胜仗,需要不同的兵种配合。在分析仪器世界里,如果将仪器巧妙组合,让它们充分发挥各自特长,也会事半功倍。因为各种仪器的侧重点不同,单一技术只能得到表面某一方面的信息,但不同仪器亲密合作,就可以对样品进行多方位、多角度、多层次的检测,终得到全面准确、甚至超出预期的科研结果。那你知道GDS都有哪些小伙伴吗?他们怎么相互合作呢?今天我们请了三位小伙伴,来认识一下他们吧!01拉曼光谱仪GDS可以获取不同深度处元素的含量分布信息,结合拉曼光谱仪能够进一步得到物质的化学结构信息。接下来,让我们一起看下两者是如何配合的。GDS和小曼今天收到了一份委托,需要测定不同实验条件下产物是什么,以及怎样分布。实验条件如下:采用阳溅射法在含氟乙二醇溶液中制备了具有纳米孔结构的氧化铁薄膜。在不同的温度(350℃、400℃、450℃)下进行退火。GDS和小曼分别对三份实验产物进行了检测,结果如下:GDS我测定了不同深度处实验产物的元素浓度变化,以350℃退火温度下的实验结果为例,可以明显看出:随着溅射时间的增加,不同深度处(X轴)Fe元素的浓度不断变化,其他元素亦是。综合400℃和450℃退火温度下的实验结果,元素浓度(谱峰强度)相近,可见实验产物较为类似。但产物是什么?还需让小曼揭晓。GDS分析图拉曼光谱仪将不同退火温度下强拉曼峰与拉曼谱图库做对比,我发现:350℃退火温度下主要产物是磁铁矿,400℃和450℃退火温度下是赤铁矿,与上图GDS的结果吻合。拉曼光谱图综合上述结果,我们获取了Fe、C等元素随深度改变的浓度变化信息,并在此基础上,进一步测得不同退火温度下产物分别为磁铁矿和赤铁矿。02椭圆偏振光谱仪由上文我们知道GDS能够得到薄膜在不同厚度的元素含量分布,此外,GDS还能从元素深度的变化来获取镀层的结构、均一性、厚度等信息。结合椭偏仪擅长解析薄膜厚度和其光学常数的优势,两者合作就能够准确获得镀层的结构,并对镀层光学特性有更全面的了解。椭圆偏振光谱仪Hi,我是椭小偏,做表面分析的同学应该对我很熟悉吧!我和GDS是老朋友了,我们经常协作完成测试。近我们对薄膜太阳能电池进行了分析,下面一起看下实验结果。GDS先来说说我的发现,下图我们可以看到电池镀层不同深度处各元素的含量变化,并且我发现Mo基底表面还有两层镀层:层主要含Cu、Se、Sn,而第二层含S、Zn,由此我得到了镀层的元素分布信息。椭圆偏振光谱仪我测试的是一款Cu2ZnSnS4太阳能光伏电池。下图张是电池的光学常数折射率n和消光系数k随波长的变化曲线;第二张图是我模拟出的镀层模型,由图可知:底层为Mo基底;中间是Cu2ZnSnS4层,厚度1472nm;上层厚度为227nm且镀层内存在孔隙,从上往下孔隙率从95%下降到6.8%。Cu2ZnSnS4太阳能电池的折射率n和消光系数k随波长的变化各镀层的厚度和表层孔隙率模型综合上面两种太阳能电池的实验结果,可知GDS能够测得镀层元素分布,椭偏仪可测得光学常数和镀层结构,两者合作为我们进一步解析材料提供了更为丰富的信息。03能谱仪(EDS)能谱仪(EDS)主要是利用不同元素X射线光子特征能量不同,来获取材料的元素种类以及含量等信息,如材料表面微区成分的定性和定量分析、固体材料的表面涂层分析等等,常和SEM扫描电镜、GDS等合作,来获取更为全面的镀层信息。EDS能谱仪大家好,我能够分析材料元素组成和含量等信息,但我获取的是镀层表面信息,无法探测较深的镀层,SEM姐姐推荐我来找GDS帮忙。GDS没问题,快将测定样品告诉我,我来帮你把表层剥蚀掉,你再分析~让我们来见证一下当GDS遇到EDS后产生的花火吧:GDS测试结果从上图的GDS结果可以看出,0~5.8μm为纯锌层,5.8~7.8μm为含有锌、铁和铝的合金层。为了方便能谱仪对合金层进行测试,GDS剥蚀掉了表面的纯锌层,露出铁铝合金层,以便EDS进一步剖析该层元素分布,结果图如下:EDS在GDS剥蚀后测试的结果从测试结果可以看出,在合金层中,Al、Fe、Zn元素的浓度比例分别为3.64%、71.32%和25.05%。铁铝合金层电镜图由上述实验结果可知,GDS能够帮助EDS和SEM剥蚀表面,制作可供分析的合格样品,全面立体地展示出样品结构信息和元素分布,并得到元素随深度变化的分布曲线,为进一步解析镀层提供了更为全面的信息。今天的测试结果到这里就结束了,至此我们知道GDS跟拉曼光谱仪、椭圆偏振光谱仪、EDS能谱仪合作,能够对物质进行全面表征,综合获得材料的化学结构、元素分布、光学常数等信息,这也为深入剖析材料提供了可供参考的方式。通过上面的几个例子,大家是不是对GDS与其他分析技术的合作有了更直观的认识呢?如果还有别的联用方式,也欢迎大家跟我们分享~至此,GDS微课堂全部结束啦!在这个系列里,我带大家了解了GDS的基本原理、基本功能、常用概念、应用范围,并详细讲解了GDS在钢铁、锂电池、太阳能电池以及LED行业中的应用,后,还和大家分享了GDS与其它表面分析技术是如何协作的。不知道同学们掌握的如何了?可以点击往期回顾,再复习一遍。不仅限于GDS,之后我们还将带来一系列其他光谱技术,请一直关注我们哟!往期回顾【GDS微课堂-1】随Dr.JY掀起GDS神秘面纱【GDS微课堂-2】七问七答,掌握GDS常用概念【GDS微课堂-3】GDS解密:如何打造钢铁侠的战衣盔甲?【GDS微课堂-4】锂电池研发的“秘密武器”【GDS微课堂-5】“钢铁侠”背后的清洁能源之梦【GDS微课堂-6】看GDS如何助力“灯厂”奥迪独领风骚?【GDS微课堂-7】超快速表面处理,几秒获取高质量界面HORIBA光谱入门手册自2014推出以来备受好评,为了帮助大家更好地理解,我们发布了GDS微课堂系列文章。除了GDS,光谱入门手册还包括拉曼、辉光放电、椭圆偏振光谱等系列合集。您可点击阅读原文进行浏览,还可分享至朋友圈让更多科研工作者看到。 HORIBA Optical SchoolHORIBA一直致力于为用户普及光谱基础知识,旗下的JobinYvon更有着200年的光学、光谱经验,HORIBA非常乐意与大家分享这些经验,为此特创立Optical School(光谱学院)。无论是刚接触光谱的学生,还是希望有所建树的研究者,都能在这里找到适合的资料及课程。 HORIBA希望通过这种分享方式,使您对光学及光谱技术有更系统、全面的了解,不断提高仪器使用水平,解决应用中的问题,进而提升科研水平,更好地探索未知世界。点击阅读原文,查看更多光谱入门手册。
  • 363万!中国海洋大学多功能酶标仪、单细胞悬液制备仪等设备采购项目
    项目编号:SDSHZB2023-058项目名称:中国海洋大学多功能酶标仪、单细胞悬液制备仪等设备采购项目预算金额:363.0000000 万元(人民币)采购需求:本项目预算总金额为363万元,共分为5个包,其中:A1包:多功能酶标仪等设备(接受进口产品),预算金额:109万元;A2包:移动式小动物麻醉机等设备(接受进口产品),预算金额:51.5万元;A3包:全自动无创血压测量系统等设备(接受进口产品),预算金额:72万元;A4包:液晶数码生物显微镜等设备(接受进口产品),预算金额:44万元;A5包:冷冻切片机等设备采购(接受进口产品),预算金额:86.5万元。合同履行期限:详见附件本项目( 不接受 )联合体投标。获取招标文件时间:2023年03月18日 至 2023年03月24日,每天上午8:00至11:30,下午13:00至16:00。(北京时间,法定节假日除外)地点:青岛市市北区敦化路138号甲西王大厦24楼23A01室或者邮件报名方式:以下方式二选一:(1)现场报名:须携带加盖单位公章的营业执照副本复印件及现金,按照上述时间、地点获取招标文件。(2)邮件报名:有意参加本次采购活动的投标人填写项目名称、项目编号、包号、公司名称、联系人、联系电话、邮箱、营业执照扫描件及标书费汇款底单发送至shzbqdb@163.com,邮件名称命名为:中国海洋大学多功能酶标仪、单细胞悬液制备仪等设备采购项目-“投标单位名称”。未按规定报名的投标人其报名无效。开户银行:兴业银行青岛市北支行,开户名:山东盛和招标代理有限公司,银行账号:522130100100053768,提交标书费须从投标人基本账户或一般账户转出,电汇时须备注2023-058-包号、资金用途注明标书费。未按规定报名的投标人其报名无效,本项目实行资格后审,获取招标文件成功不代表资格后审通过,招标文件售后不退。售价:¥300.0 元,本公告包含的招标文件售价总和对本次招标提出询问,请按以下方式联系。1.采购人信息名称:中国海洋大学地址:青岛市崂山区松岭路238号联系方式:崔老师 0532-667819792.采购代理机构信息名称:山东盛和招标代理有限公司地址:青岛市市北区敦化路138号甲西王大厦24楼23A01室联系方式:孙萌、张蕾、肖颖梦 0532-67737979 3.项目联系方式项目联系人:孙萌、张蕾、肖颖梦电话:0532-67737979
  • 睿科集团发布Raykol ISP600 多功能样品制备工作站新品
    样品制备是现代色谱分析中最重要的过程,这一过程占据了整个色谱分析61%的时间以及30%的误差来源[1]。另外,操作人员技术水平的参差不齐让分析结果的准确性与精密度无法得到保证。随着样品数量的增加,操作人员的作业负荷也随之增加,并且长时间接触有机溶剂也危害着实验人员的健康。睿科ISP系列多功能样品制备工作站建立在六轴机械手平台上,集合样品管理,液体处理,开关盖,震荡提取,离心分离等五大模块,使其达到样品制备过程无人化,而人工只需承担简单的制样与称样的工作,大大减少了样品制备过程中人工操作带来的影响,解放实验人员劳动力。高通量 每批次六个样品同时运行,批次间步骤交叠运行,一天最少处理120个样品全自动 完全无人化工作,人工只需完成样品称量以及色谱上样的工作精确性 机械化运行,无人工干扰,保证处理过程一致性以及数据的精密性与准确性安全性 节约溶剂,避免实验人员与溶剂接触应用领域农业:植物源性食品中以农残为主的农药检测应用举例GB23200.108-2018 植物源性食品中草铵膦残留量的测定 液相色谱-质谱联用法GB23200.109-2018 植物源性食品中二氯吡啶酸残留量的测定 液相色谱-质谱联用法GB23200.110-2018 植物源性食品中氯吡脲残留量的测定 液相色谱-质谱联用法GB23200.111-2018 植物源性食品中唑嘧磺草胺残留量的测定 液相色谱-质谱联用法GB23200.112-2018 植物源性食品中9种氨基甲酸酯类农药及其代谢物残留量的测定 液相色谱-柱后衍生法GB23200.113-2018 植物源性食品中208种农药及其代谢物残留量的测定气相色谱-质谱联用法GB23200.115-2018 鸡蛋中氟虫腈及其代谢物残留量的测定 液相色谱-质谱联用法参考文献[1] Majors R E. LC-GC Intl., 1991, 4(2): 10创新点:1.通过六轴机械手平台,加入检测过程中各步骤所需的模块,可达到全流程完全无人值守,使实验过程能够进行全自动化流水线生产;2. 将QuEChERS方法流程所需的模块加入到ISP600平台中,能够连续处理100个以上的样品3.六个样品同时处理,通量高,极大增加了实验的效率4.加入大型离心模块,多样品同时离心,转速要求与离心效果都能满足标准Raykol ISP600 多功能样品制备工作站
  • 睿科仪器发布Raykol ISP600 多功能样品制备工作站新品
    样品制备是现代色谱分析中最重要的过程,这一过程占据了整个色谱分析61%的时间以及30%的误差来源[1]。另外,操作人员技术水平的参差不齐让分析结果的准确性与精密度无法得到保证。随着样品数量的增加,操作人员的作业负荷也随之增加,并且长时间接触有机溶剂也危害着实验人员的健康。睿科ISP系列多功能样品制备工作站建立在六轴机械手平台上,集合样品管理,液体处理,开关盖,震荡提取,离心分离等五大模块,使其达到样品制备过程无人化,而人工只需承担简单的制样与称样的工作,大大减少了样品制备过程中人工操作带来的影响,解放实验人员劳动力。高通量 每批次六个样品同时运行,批次间步骤交叠运行,一天最少处理120个样品全自动 完全无人化工作,人工只需完成样品称量以及色谱上样的工作精确性 机械化运行,无人工干扰,保证处理过程一致性以及数据的精密性与准确性安全性 节约溶剂,避免实验人员与溶剂接触应用领域农业:植物源性食品中以农残为主的农药检测应用举例GB23200.108-2018 植物源性食品中草铵膦残留量的测定 液相色谱-质谱联用法GB23200.109-2018 植物源性食品中二氯吡啶酸残留量的测定 液相色谱-质谱联用法GB23200.110-2018 植物源性食品中氯吡脲残留量的测定 液相色谱-质谱联用法GB23200.111-2018 植物源性食品中唑嘧磺草胺残留量的测定 液相色谱-质谱联用法GB23200.112-2018 植物源性食品中9种氨基甲酸酯类农药及其代谢物残留量的测定 液相色谱-柱后衍生法GB23200.113-2018 植物源性食品中208种农药及其代谢物残留量的测定气相色谱-质谱联用法GB23200.115-2018 鸡蛋中氟虫腈及其代谢物残留量的测定 液相色谱-质谱联用法参考文献[1] Majors R E. LC-GC Intl., 1991, 4(2): 10创新点:1.通过六轴机械手平台,加入检测过程中各步骤所需的模块,可达到全流程完全无人值守,使实验过程能够进行全自动化流水线生产;2. 将QuEChERS方法流程所需的模块加入到ISP平台中,能够连续处理100个以上的样品3.六个样品同时处理,通量高,极大增加了实验的效率4.加入大型离心模块,多样品同时离心,转速要求与离心效果都能满足标准Raykol ISP600 多功能样品制备工作站
  • 薄膜沉积工艺和设备简述
    薄膜沉积(Thin Film Deposition)是在基材上沉积一层纳米级的薄膜,再配合蚀刻和抛光等工艺的反复进行,就做出了很多堆叠起来的导电或绝缘层,而且每一层都具有设计好的线路图案。这样半导体元件和线路就被集成为具有复杂结构的芯片了。化学气相沉积(CVD)化学气相沉积(CVD)通过热分解和/或气体化合物的反应在衬底表面形成薄膜。CVD法可以制作的薄膜层材料包括碳化物、氮化物、硼化物、氧化物、硫化物、硒化物、碲化物,以及一些金属化合物、合金等。化学气相沉积是目前很重要的微观制造方法,因为它有如下的这些特点:1. 沉积物种类多: 可以沉积金属薄膜、非金属薄膜,也可以按要求制备多组分合金的薄膜,以及陶瓷或化合物层。2. CVD反应在常压或低真空进行,镀膜的绕射性好,对于形状复杂的表面或工件的深孔、细孔都能均匀镀覆。3. 能得到纯度高、致密性好、残余应力小、结晶良好的薄膜镀层。由于反应气体、反应产物和基材的相互扩散,可以得到附着力好的膜层,这对表面钝化、抗蚀及耐磨等表面增强膜是很重要的。4. 由于薄膜生长的温度比膜材料的熔点低得多,由此可以得到纯度高、结晶完全的膜层,这是有些半导体膜层所必须的。5. 利用调节沉积的参数,可以有效地控制覆层的化学成分、形貌、晶体结构和晶粒度等。6. 设备简单、操作维修方便。7. 反应温度太高,一般要850~ 1100℃下进行,许多基体材料都耐受不住CVD的高温。采用等离子或激光辅助技术可以降低沉积温度。化学气相沉积过程分为三个重要阶段:1、反应气体向基体表面扩散2、反应气体吸附于基体表面3、在基体表面发生化学反应形成固态沉积物及产生的气相副产物脱离基体表面CVD的主要有下面几种反应过程:i). 多晶硅 PolysiliconSiH4 — Si + 2h2 (600℃)沉积速度 100 - 200 nm /min可添加磷(磷化氢)、硼(二硼烷)或砷气体。多晶硅也可以在沉积后用扩散气体掺杂。ii). 二氧化硅 DioxideSiH4 + O2→SiO2 + 2h2 (300 - 500℃)SiO2用作绝缘体或钝化层。通常添加磷是为了获得更好的电子流动性能。当硅在氧气中存在时,SiO2会热生长。氧气来自氧气或水蒸气。环境温度要求为900 ~ 1200℃。氧气和水都会通过现有的SiO2扩散,并与Si结合形成额外的SiO2。水(蒸汽)比氧气更容易扩散,因此使用蒸汽的生长速度要快得多。氧化物用于提供绝缘和钝化层,形成晶体管栅极。干氧用于形成栅极和薄氧化层。蒸汽被用来形成厚厚的氧化层。绝缘氧化层通常在1500nm左右,栅极层通常在200nm到500nm间。iii). 氮化硅 Siicon Nitride3SiH4 + 4NH3 — Si3N4 + 12H2(硅烷) (氨) (氮化物)化学气相沉积CVD 设备CVD反应器有三种基本类型:◈ 大气化学气相沉积(APCVD: Atmospheric pressure CVD)◈ 低压CVD (LPCVD:Low pressure CVD,LPCVD)◈ 超高真空化学气相沉积(UHVCVD: Ultrahigh vacuum CVD)◈ 激光化学气相沉积(LCVD: Laser CVD,)◈ 金属有机物化学气相沉积(MOCVD:Metal-organic CVD)◈ 等离子增强CVD (PECVD)物理气相沉积(PVD)在真空条件下,采用物理方法,将材料源(固体或液体) 表面材料气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。物理气相沉积不仅可沉积金属膜、合金膜, 还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等。物理气相沉积技术基本原理可分三个工艺步骤:(1)镀料的气化:即使镀料蒸发,升华或被溅射,也就是通过镀料的气化源。(2)镀料原子、分子或离子的迁移:由气化源供出原子、分子或离子经过碰撞后,产生多种反应。(3)镀料原子、分子或离子在基体上沉积。物理气相沉积技术工艺过程无污染,耗材少。成膜均匀致密,与基体的结合力强。该技术广泛应用于航空航天、电子、光学、机械、建筑、轻工、冶金、材料等领域,可制备具有耐磨、耐腐蚀、装饰、导电、绝缘、光导、压电、磁性、润滑、超导等特性的膜层 。物理气相沉积也有多种工艺方法:◈ 真空蒸度 Thin Film Vacuum Coating◈ 溅射镀膜 PVD-Sputtering◈ 离子镀膜 Ion-Coating
  • 光学薄膜的真空镀膜设备
    光学薄膜的真空镀膜设备 型号:BMC1100DS,带Windows软件自动控制系统(SDC)/日本 制造时间:2003年 状态:运行极好 生产厂家:Shincron (http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html) 技术规格: 真空腔体尺寸: &phi 1100mmxH 1600mm 衬底圆顶尺寸: &phi 950 (3~30rpm) 耐加热系统: &phi 20mm 4kw 蒸发源: 2 EB Guns (JEOL)  JEBG-102UHO(&phi 35ccx20) JST-16F (16kw)  IAD 系统: 无 光学厚度监控器: OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器: 无 真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统: 最大350℃± 10℃(36kw) 型号:RMC1100,带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间:2003年8月 状态:运行极好 生产厂家:Rock Giken Inc (http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html) 技术规格: 真空腔体尺寸: &phi 1150mmxH 1500mm 衬底圆顶尺寸: &phi 950 (3~30rpm) 耐加热系统: &phi 20mm 4kw 蒸发源: 2EB Guns (Plasma System)  G-12100(&phi 35ccx20) D-10001 (10kw)  IAD 系统: 无 光学厚度监控器: 380~1500nm(波长) (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器: XTC-2(Inficon) 真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统: 300℃± 10℃(21kw) 光学薄膜的真空镀膜设备 型号:BMC1100DS,带Windows软件自动控制系统(SDC)/日本 制造时间:2003年 状态:运行极好 生产厂家:Shincron (http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html) 技术规格: 真空腔体尺寸: &phi 1100mmxH 1600mm 衬底圆顶尺寸: &phi 950 (3~30rpm) 耐加热系统: &phi 20mm 4kw 蒸发源: 2 EB Guns (JEOL)  JEBG-102UHO(&phi 35ccx20) JST-16F (16kw)  IAD 系统: 无 光学厚度监控器: OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器: 无 真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统: 最大350℃± 10℃(36kw) 型号:RMC1100,带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间:2003年8月 状态:运行极好 生产厂家:Rock Giken Inc (http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html) 技术规格: 真空腔体尺寸: &phi 1150mmxH 1500mm 衬底圆顶尺寸: &phi 950 (3~30rpm) 耐加热系统: &phi 20mm 4kw 蒸发源: 2EB Guns (Plasma System)  G-12100(&phi 35ccx20) D-10001 (10kw)  IAD 系统: 无 光学厚度监控器: 380~1500nm(波长) (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器: XTC-2(Inficon) 真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统: 300℃± 10℃(21kw) 光学薄膜的真空镀膜设备 型号:BMC1100DS,带Windows软件自动控制系统(SDC)/日本 制造时间:2003年 状态:运行极好 生产厂家:Shincron (http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html) 技术规格: 真空腔体尺寸: &phi 1100mmxH 1600mm 衬底圆顶尺寸: &phi 950 (3~30rpm) 耐加热系统: &phi 20mm 4kw 蒸发源: 2 EB Guns (JEOL)  JEBG-102UHO(&phi 35ccx20) JST-16F (16kw)  IAD 系统: 无 光学厚度监控器: OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器: 无 真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统: 最大350℃± 10℃(36kw) 型号:RMC1100,带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间:2003年8月 状态:运行极好 生产厂家:Rock Giken Inc (http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html) 技术规格: 真空腔体尺寸: &phi 1150mmxH 1500mm 衬底圆顶尺寸: &phi 950 (3~30rpm) 耐加热系统: &phi 20mm 4kw 蒸发源: 2EB Guns (Plasma System)  G-12100(&phi 35ccx20) D-10001 (10kw)  IAD 系统: 无 光学厚度监控器: 380~1500nm(波长) (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器: XTC-2(Inficon) 真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统: 300℃± 10℃(21kw) 光学薄膜的真空镀膜设备 型号:BMC1100DS,带Windows软件自动控制系统(SDC)/日本 制造时间:2003年 状态:运行极好 生产厂家:Shincron (http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html) 技术规格: 真空腔体尺寸: &phi 1100mmxH 1600mm 衬底圆顶尺寸: &phi 950 (3~30rpm) 耐加热系统: &phi 20mm 4kw 蒸发源: 2 EB Guns (JEOL)  JEBG-102UHO(&phi 35ccx20) JST-16F (16kw)  IAD 系统: 无 光学厚度监控器: OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器: 无 真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统: 最大350℃± 10℃(36kw) 型号:RMC1100,带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间:2003年8月 状态:运行极好 生产厂家:Rock Giken Inc (http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html) 技术规格: 真空腔体尺寸: &phi 1150mmxH 1500mm 衬底圆顶尺寸: &phi 950 (3~30rpm) 耐加热系统: &phi 20mm 4kw 蒸发源: 2EB Guns (Plasma System)  G-12100(&phi 35ccx20) D-10001 (10kw)  IAD 系统: 无 光学厚度监控器: 380~1500nm(波长) (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器: XTC-2(Inficon) 真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统: 300℃± 10℃(21kw) 光学薄膜的真空镀膜设备 型号:BMC1100DS,带Windows软件自动控制系统(SDC)/日本 制造时间:2003年 状态:运行极好 生产厂家:Shincron (http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html) 技术规格: 真空腔体尺寸: &phi 1100mmxH 1600mm 衬底圆顶尺寸: &phi 950 (3~30rpm) 耐加热系统: &phi 20mm 4kw 蒸发源: 2 EB Guns (JEOL)  JEBG-102UHO(&phi 35ccx20) JST-16F (16kw)  IAD 系统: 无 光学厚度监控器: OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器: 无 真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统: 最大350℃± 10℃(36kw) 型号:RMC1100,带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间:2003年8月 状态:运行极好 生产厂家:Rock Giken Inc (http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html) 技术规格: 真空腔体尺寸: &phi 1150mmxH 1500mm 衬底圆顶尺寸: &phi 950 (3~30rpm) 耐加热系统: &phi 20mm 4kw 蒸发源: 2EB Guns (Plasma System)  G-12100(&phi 35ccx20) D-10001 (10kw)  IAD 系统: 无 光学厚度监控器: 380~1500nm(波长) (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器: XTC-2(Inficon) 真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统: 300℃± 10℃(21kw) 光学薄膜的真空镀膜设备 型号:BMC1100DS,带Windows软件自动控制系统(SDC)/日本 制造时间:2003年 状态:运行极好 生产厂家:Shincron (http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html) 技术规格: 真空腔体尺寸: &phi 1100mmxH 1600mm 衬底圆顶尺寸: &phi 950 (3~30rpm) 耐加热系统: &phi 20mm 4kw 蒸发源: 2 EB Guns (JEOL)  JEBG-102UHO(&phi 35ccx20) JST-16F (16kw)  IAD 系统: 无 光学厚度监控器: OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器: 无 真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统: 最大350℃± 10℃(36kw) 型号:RMC1100,带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间:2003年8月 状态:运行极好 生产厂家:Rock Giken Inc (http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html) 技术规格: 真空腔体尺寸: &phi 1150mmxH 1500mm 衬底圆顶尺寸: &phi 950 (3~30rpm) 耐加热系统: &phi 20mm 4kw 蒸发源: 2EB Guns (Plasma System)  G-12100(&phi 35ccx20) D-10001 (10kw)  IAD 系统: 无 光学厚度监控器: 380~1500nm(波长) (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器: XTC-2(Inficon) 真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统: 300℃± 10℃(21kw) 光学薄膜的真空镀膜设备 型号:BMC1100DS,带Windows软件自动控制系统(SDC)/日本 制造时间:2003年 状态:运行极好 生产厂家:Shincron (http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html) 技术规格: 真空腔体尺寸: &phi 1100mmxH 1600mm 衬底圆顶尺寸: &phi 950 (3~30rpm) 耐加热系统: &phi 20mm 4kw 蒸发源: 2 EB Guns (JEOL)  JEBG-102UHO(&phi 35ccx20) JST-16F (16kw)  IAD 系统: 无 光学厚度监控器: OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器: 无 真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统: 最大350℃± 10℃(36kw) 型号:RMC1100,带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间:2003年8月 状态:运行极好 生产厂家:Rock Giken Inc (http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html) 技术规格: 真空腔体尺寸: &phi 1150mmxH 1500mm 衬底圆顶尺寸: &phi 950 (3~30rpm) 耐加热系统: &phi 20mm 4kw 蒸发源: 2EB Guns (Plasma System)  G-12100(&phi 35ccx20) D-10001 (10kw)  IAD 系统: 无 光学厚度监控器: 380~1500nm(波长) (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器: XTC-2(Inficon) 真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统: 300℃± 10℃(21kw)光学薄膜的真空镀膜设备 型号:BMC1100DS,带Windows软件自动控制系统(SDC)/日本 制造时间:2003年 状态:运行极好 生产厂家:Shincron (http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html) 技术规格: 真空腔体尺寸: &phi 1100mmxH 1600mm 衬底圆顶尺寸: &phi 950 (3~30rpm) 耐加热系统: &phi 20mm 4kw 蒸发源: 2 EB Guns (JEOL)  JEBG-102UHO(&phi 35ccx20) JST-16F (16kw)  IAD 系统: 无 光学厚度监控器: OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器: 无 真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统: 最大350℃± 10℃(36kw) 型号:RMC1100,带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间:2003年8月 状态:运行极好 生产厂家:Rock Giken Inc (http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html) 技术规格: 真空腔体尺寸: &phi 1150mmxH 1500mm 衬底圆顶尺寸: &phi 950 (3~30rpm) 耐加热系统: &phi 20mm 4kw 蒸发源: 2EB Guns (Plasma System)  G-12100(&phi 35ccx20) D-10001 (10kw)  IAD 系统: 无 光学厚度监控器: 380~1500nm(波长) (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器: XTC-2(Inficon) 真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统: 300℃± 10℃(21kw)光学薄膜的真空镀膜设备 型号:BMC1100DS,带Windows软件自动控制系统(SDC)/日本 制造时间:2003年 状态:运行极好 生产厂家:Shincron (http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html) 技术规格: 真空腔体尺寸: &phi 1100mmxH 1600mm 衬底圆顶尺寸: &phi 950 (3~30rpm) 耐加热系统: &phi 20mm 4kw 蒸发源: 2 EB Guns (JEOL)  JEBG-102UHO(&phi 35ccx20) JST-16F (16kw)  IAD 系统: 无 光学厚度监控器: OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器: 无 真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统: 最大350℃± 10℃(36kw) 型号:RMC1100,带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间:2003年8月 状态:运行极好 生产厂家:Rock Giken Inc (http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html) 技术规格: 真空腔体尺寸: &phi 1150mmxH 1500mm 衬底圆顶尺寸: &phi 950 (3~30rpm) 耐加热系统: &phi 20mm 4kw 蒸发源: 2EB Guns (Plasma System)  G-12100(&phi 35ccx20) D-10001 (10kw)  IAD 系统: 无 光学厚度监控器: 380~1500nm(波长) (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器: XTC-2(Inficon) 真空泵单元: MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统: 300℃± 10℃(21kw)
  • 密理博专为超高压液相色谱推出样品制备装置
    超高压液相色谱(ultra-high pressure liquid chromatography, UHPLC)是近年来兴起的一种新分析方法,较传统高效液相(HPLC)具有更高的分辨率。为了充分发挥UHPLC的高分辨率优势,分析前样品、流动相和缓冲液的预处理工作就更为重要。密理博为能充分表现UHPLC的优越性能,专为其设计和生产了多种针头式过滤器、过滤膜和支架等一系列产品。这些产品可以将样品对柱子的堵塞程度降到最低,并且样品结合率低、损耗小,所以可以最大程度的优化UHPLC结果。实验室超纯水系统同样可以用于流动相制备,标准品、空白对照和样品的制备。一套完整的UHPLC样品处理产品包括:Millex针头式过滤器:该种滤器可以将噪音信号降到最小并保持基线稳定,而且具有很好的化学兼容性和较小的滞留体积,所以是一种使用方便的用于UHPLC样品澄清和去除小颗粒物质的预处理方法。Millipore Express PES微孔滤膜:Millipore Express Plus膜是第一款不对称PES膜,用于实验室超高通量的筛选。由于材质为聚醚砜(polyethersulfone,PES),所以可以用于添加剂、缓冲液和其他水溶性溶剂的高通量筛选。Millipore Express Plus膜产品包括直径从25mm至47mm不等的滤膜(滤膜孔径0.22µ m),Steritop真空过滤器和针头滤器装置。Milli-Q Advantage A10和Q-POD取水器:该纯水器可以方便的获得高质量的超纯水,产水主机结构小巧紧凑,可以放置于凳子上或长凳下方,而Q-POD取水器可以置于您取水方便的地方。多达3个取水器可以连接在同一台产水主机上,放在实验室的不同地方。MultiScreen Solvinert板:这些板专为药物研发应用设计,可以进行完整的药物分析。Solvinert板具有较深的小孔和标准的体积,而且可以选择化学疏水性膜或亲水性PTFE膜。经实验证明,该系列产品具有低样品结合率、低样品损耗和高复性率。密理博生命科学部提供革新的研发工具、技术服务和生物试剂,让您从事的生命科学研究和药物研发工作更加完美出色。自从2006年收购Chemicon、Upstate和Linco品牌后,产品线迅速拓宽,使密理博成为当今市场上产品种类最齐全的策略性供应商。了解密理博更多针对UHPLC应用的灭菌和超滤产品信息,请登陆密理博全球官方网站:www.millipore.com,或拨打密理博中国客服热线:800-820-0865。
  • Quantum Design中国合作引进 多功能高分辨率磁光克尔显微成像系统
    磁畴是铁磁体材料在自发磁化的过程中,为降低静磁能而产生分化的方向各异的小型磁化区域。它的研究可将材料的基本物理性质、宏观性质和应用联系起来。近年来,由于材料的日益完善和器件的小型化,人们对磁畴分析的兴趣与日俱增。目前市面上主要的磁畴观测设备有磁光克尔显微镜、磁力显微镜、洛伦兹电镜、以及近兴起的NV色心超分辨磁学显微镜等,其中,磁光克尔显微镜可以灵活的结合外加磁场、电流及温度环境等来对材料进行面内、面外的动态磁畴观测,成为目前常用的磁畴观测设备,可用于多种磁性材料的研究,如铁磁或亚铁磁薄膜、钕铁硼等硬磁材料、硅钢等软磁材料。 2020年11月,Quantum Design中国与致真精密仪器(青岛)有限公司签署了中国区战略合作协议,合作推出多功能高分辨率磁光克尔显微成像系统。通过此次战略合作,Quantum Design中国希望能够为磁学及自旋电子学等领域的研究提供更多的可能。图1 多功能高分辨率磁光克尔显微成像系统 多功能高分辨率磁光克尔显微成像系统由北京航空航天大学集成电路学院张学莹老师带领团队,根据多年的磁畴动力学实验技巧积累和新的磁学及自旋电子学领域的热点课题研究需求研发。它采用先进的点阵LED光源技术,能够在不切换机械结构的情况下,同时进行向和纵向克尔成像,不仅能同时检测样品垂直方向和面内方向的磁性,成像分辨率还能够达到270 nm,逼近光学衍射限。与传统的磁光克尔显微镜相比,多功能高分辨率磁光克尔显微成像系统配置了多功能磁铁探针台,能够在保证450 nm高分辨率的前提下,向被测样品同时施加面磁场、垂直磁场、电流和微波信号。 此外,多功能高分辨率磁光克尔显微成像系统拥有专门的智能控制系统,用户界面友好,无需复杂设置,一键触发既能实现多维度磁场、电学信号与克尔图像的同步操控。该系统的另一亮点是配置了反应速度高达1 μs的超快磁场,为微米器件中磁畴的产生、磁畴的高速运动捕捉等提供了可能。 张学莹老师师从北航赵巍胜教授和法国巴黎萨克雷大学Nicolas Vernier教授,从2015年开始研究磁光克尔成像技术和磁畴动力学,其有关磁性材料性质的论文获得北京航空航天大学博士学位论文。经过3年潜心研究,该团队于2018年完成了台克尔显微镜样机的集成,并创立致真精密仪器(青岛)有限公司。至2020年初,在北航青岛研究院和北航集成电路学院经过两轮迭代和打磨,已经完成了产品的稳定性验证,目前,该设备已经被清华大学、中科院物理所、北京工业大学等多家单位采购。 产品磁畴成像照片案例图2 CoFeB(1.3 nm)/W(0.2)/CoFeB(0.5)薄膜中的迷宫畴图3 斯格明子磁畴观测 多重信号的叠加,能够满足客户多种前沿课题的实验需求面内磁场和垂直磁场的叠加可以进行Dzyaloshinskii-Moriya作用(DMI)的测试[1,2]图4 样品Pt(4 nm)/Co(1 nm)/MgO(t nm)/Pt(4 nm)DMI作用测量[1] 自旋轨道矩(spin-orbit torque,简称SOT)是近年来发展起来的新一代电流驱动磁化翻转技术,如何更好的表征SOT翻转,在当今自旋电子学领域具有重要的理论和应用价值。 多功能高分辨率磁光克尔显微成像系统配置的面内磁场和电学测试系统,不但可以实现这个过程的电学测试,还可以利用相机与信号采集卡同步的功能,逐点解析翻转曲线对应的磁畴状态 [3,4]。图5 面内磁场和电流的叠加用于sot驱动的磁性变化过程研究 在某些材料中,无法观测到纯电流驱动的磁畴壁运动。这时,可以利用多功能高分辨率磁光克尔显微成像系统微秒别的超快磁场脉冲与电流同步,观测垂直磁场与电流共同驱动的畴壁运动,从而解析多种物理效应,如重金属/ 铁磁体系的自旋化率由于自旋散射降低的效应 [5]。图6 垂直磁场和电流的叠加可用于观测单磁场或者电流无法驱动的磁性动力学过程 克尔成像下磁场和微波的叠加则能够为自旋波和磁畴壁的相互作用研究提供可能 [6]。图7 自旋波驱动的磁畴壁运动[6] 多功能高分辨率磁光克尔显微成像系统还可进行多种磁性参数的微区测量局部饱和磁化强度Ms表征[7]由于偶作用,磁畴壁在靠近时会相互排斥。通过观察不同磁场下磁畴壁的距离,可以提取局部区域的饱和磁化强度Ms。此方法由巴黎- 萨克雷大学Nicolas Vernier 教授(致真技术顾问)在2014 年先提出并验证,与VSM测量结果得到良好吻合。图8 局部饱和磁化强度Ms表征及与其他测试方法Ms结果对比 海森堡交换作用刚度[8]采用系统的磁场“自定义波形”功能,将样品震荡退磁,再将得到的迷宫畴图片进行傅里叶变换,能够得知磁畴宽度,从而提取海森堡交换作用刚度Aex。图9 海森堡交换作用刚度提取 自旋电子薄膜质量的表征、自旋电子器件的损坏检测等[9]图10 磁性薄膜质量检测 除此之外,该系统还开发了性价比超高的变温系统。针对永磁材料研究的用户,开发了能够兼容克尔成像的高温强磁场模块。针对硅钢等软磁材料研究用户,开发了大视野面内克尔显微镜。 动态磁畴成像案例图11 cofeb薄膜动态磁畴图12 sot磁场+电流驱动磁畴翻转图13 钕铁硼永磁动态磁畴观测图14 磁性材料内钉扎点的观测,可与巴克豪森噪声同步匹配 产品基本参数✔ 向和纵向克尔成像分辨率可达300 nm;✔ 配置二维磁场探针台,面内磁场高达1 t,垂直磁场高达0.3 t(配置磁场增强模块后可达1.5 t);✔ 快速磁场选件磁场反应速度可达1 μs;✔ 可根据需要选配直流/ 高频探针座及探针;✔ 可选配二次谐波、铁磁共振等输运测试;✔ 配置智能控制和图像处理系统,可同时施加面内磁场、垂直磁场和电学信号同步观测磁畴翻转;✔ 4k~800k,80k~500k 变温选件可选。 小结多功能高分辨率磁光克尔显微成像系统除了拥有超高分辨的动态磁畴观测能力外,还能结合多功能磁场探针台提供的外加电流、面内/面外磁场等对多种磁学参数进行提取。 样机体验目前,致真精密仪器(青岛)有限公司可对相关领域感兴趣的科学工作者提供了测样体验,欢迎感兴趣的老师或同学拨打电话010-85120280或发送邮件至info@qd-china.com体验磁光克尔显微成像全新技术! 参考文献[1] A. Cao et al., Nanoscale 10, 12062 (2018).[2] A. Cao et al., Nanotechnology 31, 155705 (2020).[3] X. Zhao et al., Appl. Phys. Lett. 116, 242401 (2020).[4] G. Wang et al., IEEE Trans. Circuits Syst. I Regul. Pap. 66, 215 (2019).[5] X. Zhang et al., Phys. Rev. Appl. 11, 054041 (2019).[6] J. Han et al., Science (80-. ). 366, 1121 (2019).[7] N. Vernier et al., Appl. Phys. Lett. 104, 122404 (2014).[8] M. Yamanouchi et al., IEEE Magn. Lett. 2, 3000304 (2011).[9] Y. Zhang et al., Phys. Rev. Appl. 9, 064027 (2018).
  • 岩相样品切片、减薄的制备技术交流之二 ——岩相样品制备SOP
    岩相样品切片、减薄的制备技术交流之二——岩相样品制备SOP 一、岩相样品的粘结 ● 用MetLab的中型METCUT-10或大型METCUT-12A,甚至20A的砂轮切割机,将大尺寸的岩相样品统一切割至适合载玻片的长、宽、厚度。 ● 或者,用MetLab的岩相精密切割&研磨一体机METCUT-10GEO,将真空卡盘换装机械夹具(工作台的T型槽是8mm,所以夹具的T型一定要配8mm的),固定好岩相样品后,摇动切割手轮,沿Y轴(纵向)进行切割,切割出想要的薄片。 ● 在合适材质(如,氧化铝,碳化硅,金刚石等)的平面研磨磨石、或磨盘、或薄膜、或砂纸上,将切好的岩相样品的非研究面预磨出一个哑光表面,以此创建一个与载玻片粘合的表面。 ● 在工作台上铺一张油脂薄膜或纸。取出载玻片。如果同时制备多个样品,则将长、宽、厚度相同的载玻片排列开来。载玻片的尺寸较多,常用尺寸为27x46mm,这个尺寸是和岩相精密切割&研磨一体机的真空卡盘尺寸相匹配的。 ● 建议使用QMAXIS(可脉)的环氧树脂和固化剂作为粘结剂——其中,无孔隙的岩相样品,用EpoQuick系列;而有孔隙样品,则选用EpoFlow系列——按标签提示的比例混合,倒入混合蜡纸杯中,用搅拌棒缓慢地搅拌约2分钟。 ● 首例描述无孔隙的岩相样品。将混合好的EpoQuick环氧树脂和固化剂均匀地涂抹在岩相样品的非研究面,反过来放在载玻片上,轻轻地前后移动压挤,去除所有气泡。用搅拌棒刮掉载玻片上挤压出的环氧树脂。 ● 将粘结好的岩相样品放在薄片样品粘结台METBOND GEO上,利用压簧压实后静置约2小时。METBOND GEO是带加热板的薄片样品粘结台,为了加快树脂固化的速度,可以打开加热开关,在控制面板上设定温度即可。如果没有配置MetLab的METBOND GEO——也就是没有加热板的薄片粘结台——可以将薄片样品粘结台放置在60°C左右的热板上加热,或者在室温条件下自然固化。 ● 当然,粘结剂也可以选用QMAXIS(可脉)的Mounting Adhesive热熔胶。将载玻片和岩相样品(非研究面朝上)放在加热台上,加热到100-120℃时,用热熔胶棒均匀地涂抹岩相样品的非研究面和载玻片,观察热熔胶完全熔化后,将岩相样品的非研究面粘到载玻片上,移至薄片样品粘结台,压实后静置至完全冷却。 ● 注意,薄片粘结台是选配件,需要单独购买。它不仅可以压实样品,而且可以精确地控制样品与载玻片之间粘结剂的厚度,这为消除样品和载玻片的公差,使多片样品制备一致提供了基础。 ● 第二例描述的是更普遍存在的多孔隙的岩相样品,这时必须调整粘结技术。选择合适尺寸的橡胶注模杯,将岩相样品研究面朝下放入橡胶注模杯中,将EpoFlow环氧树脂和固化剂按标签所示比例倒入混合蜡纸杯中,用搅拌棒缓慢搅拌约2分钟后,把蜡纸杯放入QMAXIS(可脉)的Air-Out真空系统,抽真空——放气——抽真空,循环操作3-4次。最后一次放气后,打开Air-Out穹顶盖,将蜡纸杯中的混合液倒入橡胶注模杯中。再把橡胶注模杯放入Air-Out腔体内,同样地抽真空——放气——抽真空,循环操作3-4次,最后一次抽完真空后,关闭真空泵,保持真空静置8-10小时。上述两轮操作,使树脂液和样品中的空气被彻底排除。树脂液浸渗至岩相样品的孔隙中,支撑样品结构,使下一步切片和研磨减薄操作不会损伤样品的结构。 ● 当环氧树脂完全固化后,从橡胶注模杯中取出镶嵌块,对镶嵌块的非研究面进行研磨找平。然后按EpoQuick的同样步骤,将镶嵌块的非研究面粘到载玻片上。 ● 如果镶嵌块的长、宽、厚度超出载玻片,可以对镶嵌块进行切割、研磨整理。 二、岩相样品的切片 MetLab的岩相精密切割&研磨一体机METCUT-10GEO的切割和研磨分列于设备的两侧,一个电机,两侧同轴,保持切割、研磨的平行性高度一致。 ● 未开机前,先安装金刚石切割片。将METCUT-10GEO左侧切割室的透明防护罩向上开启——这种开启方式的设计节省了空间,方便使用者进行操作。取出10in(254mm)的金刚石切割片,其轴心孔径1.25in(31.75mm)。用随机工具卸下切割侧主轴上的法兰,按切割片顺时针的旋转方向(QMAXIS的Logo朝外即可),套入切割片。扣上法兰,锁紧螺母。 ● 打开METCUT-10GEO主开关。触摸屏首页出现MetLab的Logo时,触摸屏幕任意位置,进入操作主菜单页面。 ● 装上样品。点击主菜单上切割侧的真空开关(2),将粘结好岩相样品的载玻片的一面贴到真空卡盘表面,真空卡盘吸住载玻片。小尺寸的真空卡盘,有三个突出螺钉辅助将较小尺寸的载玻片进行位置确认。 ● 定位切割位置。切割侧的真空卡盘安装在工作台上的卡盘座上,利用测微计旋钮驱动工作台沿X轴(横向)左右移动。测微计旋钮一个刻度是0.005mm,旋转一圈移动1mm。X轴总行程是20mm,满足任何薄片样品的厚度调节。通过测微计旋钮,使样品与切割片保持正确的左右距离,即找准想要的切割位置。 ● 关闭切割室防护罩。防护罩的磁性安全开关锁闭防护罩。 ● 在触摸屏控制面板设置切割片转速(4)。转速100-3000rpm/min,增量1rpm/min。既可以点击箭头调升、调降,也可以用数字键盘输入转数值。点击切割侧的冷却水开关(5),冷却水流出,按下切割/研磨开关键(1),电机驱动金刚石切割片旋转。 ● 手动控制切割。匀速地顺时针摇动切割手轮,整个工作台沿Y轴(纵向)方向逐渐靠近切割片,开始切割。Y轴的总行程224mm,满足所有标准载玻片尺寸的长度方向通过。手动控制的优势是使用者操控的自由度大,不同材料、不同制备要求的薄片切割都可以自主调节。 ● 样品切割的保留厚度最薄约0.5mm。 ● 切割完成后,再次点击切割/研磨开关(1)、切割侧冷却水开关(5),切割电机停止旋转,冷却水关闭。逆时针摇动手轮,将样品离开金刚石切割片。 ● 开启切割室仓门,点击切割侧的真空开关(2),真空泵被关闭,从真空卡盘处取下载玻片,并从切割室工作台上取出被切割掉的样品。 ● 用水清洗载玻片及样品,准备研磨。 三、岩相样品的研磨 ● 同样地,开机前先安装金刚石杯形砂轮。金刚石杯形砂轮直径10in(250mm),轴心孔径1.25in(31.75mm)。标准配置的金刚石杯形砂轮是70μm的和30μm的。通常由粗到细研磨,先安装去除量较大的70μm的。将METCUT-10GEO右侧研磨室的防护罩向上开启。用随机工具卸下主轴的法兰,套入金刚石杯形砂轮(金刚石研磨面朝外),重新扣上法兰,锁紧螺母。 ● 打开METCUT-10GEO的主开关。同样地,触摸Logo页面的任意位置进入操作主菜单页面。 ● 装上样品。研磨侧的真空卡盘固定在研磨操作手柄同轴的研磨臂上。研磨手柄在研磨室的外面,研磨臂在研磨室内。点击研磨侧真空开关(3),将已经切割好的样品载玻片的一面贴到研磨侧真空卡盘表面。真空卡盘吸附住载玻片。 ● 定位研磨起始位置。调整研磨操作手柄的位置,使样品与金刚石杯形砂轮的金刚石表面相对应。逆时针旋转研磨手柄末端的测微计(数字千分尺),当样品表面接触到金刚石杯形砂轮的表面时,按下千分尺的清零键。向后拉下研磨操作手柄,使样品离开金刚石砂轮的表面。 ● 关闭研磨室防护罩。该防护罩也有磁性安全开关装置,锁闭防护罩。 ● 在触摸屏面板设置金刚石杯形砂轮的转速(4)。转速的设定同切割侧。点击研磨侧冷却水开关(6),冷却水流出。点击切割/研磨开关键(1),电机驱动金刚石杯形砂轮旋转。 ● 握住研磨操作手柄前后韵律地移动,使样品的表面均匀地摩擦旋转的金刚石杯形砂轮,随着样品被磨削减薄,用手逆时针旋转千分尺,使样品持续贴近金刚石杯形砂轮。在千分尺数显200μm之前,千分尺的每次进给10-20μm即可;在千分尺数显200μm后,进给调整为5-10μm,直至千分尺数显为70μm。 ● 当达到70μm厚度时(扣除粘结的树脂厚度,样品实际厚度约60μm),停止手柄的研磨操作。点击切割/研磨开关(1)、研磨侧冷却水开关(6),金刚石杯形砂轮停止旋转,研磨侧冷水停止流出。将研磨手柄向身体侧拉,是样品离开金刚石杯形砂轮。 ● 打开研磨室防护罩,点击研磨侧真空开关(3),关闭真空泵,取下样品。 ● 从上述第一步开始,重复实施30μm的金刚石杯形砂轮研磨减薄动作。有时,观察需要更好的表面性,则停止了70μm的研磨后,转至磨抛机进行研磨、抛光。 ● 样品研磨减薄的保留厚度取决于研究目的,最薄约0.03mm。
  • 睿科“自动化,信息化,智能化”新品-ISP600多功能样品制备工作站亮相BCEIA
    2019年10月23日-26日,第十八届北京分析测试学术报告会暨展览会(BCEIA2019)在北京国家会议中心隆重开幕。本届会议共吸引了国内外500瑜伽参展企业,展出数千项新的产品和技术。睿科携公司数十款明星产品亮相此次展会。值得注意的是,此次展出的还有一款“自动化,信息化,智能化”新品——ISP600多功能样品制备工作站。首先,中国科学院张玉奎院士和睿科总经理林志杰共同为这台新品进行揭幕,这台1.8*1.8*2米的新品作为首次亮相,现场吸引了众多参展用户的驻足观看。张玉奎院士和睿科总经理林志杰为新品ISP600多功能样品制备工作站揭幕接下来,睿科高级产品经理戴相辉和研发团队现场为大家带来QuEChERS方法整体解决方案介绍及实机演示。 QuEChERS方法整体解决方案介绍及实机演示 ISP600多功能样品制备工作站是一款建立在六轴机械手平台上,集合样品管理,液体处理,开关盖,振荡提取,离心分离等五大模块,使QuEChERS方法样品制备过程无人化产品。它具备高效与高通量的特点,ISP600相对于其他同类型的产品来说,因为采用六通道批量处理,处理通量与效率有了显著的提升,一天24小时,至少能够处理180个以上的样品 可自动化无人值守完成QuEChERS方法全流程,人工只需完成样品称量以及色谱上样的工作,极大减少了样品制备过程中人工操作带来的影响。按照程序设定的命令执行,不会出现人为造成的误差,极大的提高了数据的精确度与准确度。现场,很多参展用户都对这台新品产生了浓厚的兴趣,都纷纷走到仪器前观看演示过程,向睿科技术人员询问关于仪器的应用和功能性问题。睿科展台,人气满满
  • 新型薄膜半导体?电子迁移速度约为传统半导体的7倍
    来自美国麻省理工学院、加拿大渥太华大学等机构的科学家,利用一种名为三元碲铋矿(ternary tetradymite)的晶体材料研制出一种新型超薄晶体薄膜半导体。据介绍,这种“薄膜”厚度仅 100 纳米,其中电子的迁移速度约为传统半导体的 7 倍从而创下新纪录。这一成果有助科学家研发出新型高效电子设备。相关论文已经发表于《今日材料物理学》杂志。据介绍,这种“薄膜”主要是通过“分子束外延技术”精细控制分子束并“逐个原子”构建而来的材料。这种工艺可以制造出几乎没有缺陷的材料,从而实现更高的电子迁移率(即电子在电场作用下穿过材料的难易程度)。简单来说,当科学家向“薄膜”施加电流时,他们记录到了电子以 10000 cm² /V-s 的速度发生移动。相比之下,电子在“硅半导体”中的移动速度约为 1400 cm² /V-s,而在传统铜线中则要更慢。这种超高的电子迁移率意味着更好的导电性。这反过来又为更高效、更强大的电子设备铺平了道路,这些设备产生的热量更少,浪费的能量更少。研究人员将这种“薄膜”的特性比喻成“不会堵车的高速公路”,他们表示这种材料“对于更高效、更省电的电子设备至关重要,可以用更少的电力完成更多的工作”。科学家们表示,潜在的应用包括将“废热”转换成电能的可穿戴式热电设备,以及利用电子自旋而不是电荷来处理信息的“自旋电子”设备。科学家们通过将“薄膜”置于极寒磁场环境中来测量材料中的电子迁移率,然后通过对薄膜通电测量“量子振荡”。当然,这种材料即使只有微小的缺陷也会影响电子迁移率,因此科学家们希望通过改进薄膜的制备工艺来取得更好的结果。麻省理工学院物理学家 Jagadeesh Moodera 表示:“这表明,只要能够适当控制这些复杂系统,我们就可以实现巨大进步。我们正朝着正确的方向前进,我们将进一步研究、不断改进这种材料,希望使其变得更薄,并用于未来的自旋电子学和可穿戴式热电设备。”
  • 睿科“自动化,信息化,智能化”新品-ISP600多功能样品制备工作站亮相BCEIA
    p  2019年10月23-26日,第十八届北京分析测试学术报告会暨展览会(BCEIA2019)在北京国家会议中心隆重开幕。本届会议共吸引了国内外500余家参展企业展出数千项新的产品和技术。睿科携公司数十款明星产品亮相此次展会。值得注意的是,此次展出的还有一款 “自动化,信息化,智能化”新品——ISP600多功能样品制备工作站。/pp  首先,中国科学院张玉奎院士和睿科总经理林志杰共同为这台新品进行揭幕,这台1.8*1.8*2米的新品作为首次亮相,现场吸引了众多参展用户的驻足观看。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201910/uepic/f7340547-1046-4b00-91ce-76540dc832e8.jpg" title="图1.jpg" alt="图1.jpg"//pp style="text-align: center "  strongspan style="color: rgb(0, 112, 192) "张玉奎院士和睿科总经理林志杰为新品ISP600多功能样品制备工作站揭幕/span/strong/pp  接下来,睿科高级产品经理戴相辉和研发团队现场为大家带来QuEChERS方法整体解决方案介绍及实机演示。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201910/uepic/227cd7dc-1cab-4ada-bbfe-54baa537fa75.jpg" title="图2.jpg" alt="图2.jpg"//pp style="text-align: center "  strongspan style="color: rgb(0, 112, 192) "QuEChERS方法整体解决方案介绍及实机演示/span/strong/pp  ISP600多功能样品制备工作站是一款建立在六轴机械手平台上,集合样品管理,液体处理,开关盖,振荡提取,离心分离等五大模块,使QuEChERS方法样品制备过程无人化产品。它具备高效与高通量的特点,ISP600相对于其他同类型的产品来说,因为采用六通道批量处理,处理通量与效率有了显著的提升,一天24小时,至少能够处理180个以上的样品 可自动化无人值守完成QuEChERS方法全流程,人工只需完成样品称量以及色谱上样的工作,极大减少了样品制备过程中人工操作带来的影响。按照程序设定的命令执行,不会出现人为造成的误差,极大的提高了数据的精确度与准确度。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201910/uepic/b523e0d3-7ab5-4f97-9d0a-f3cb6a29f2ba.jpg" title="图3.jpg" alt="图3.jpg"//pp  现场,很多参展用户都对这台新品产生了浓厚的兴趣,都纷纷走到仪器前观看演示过程,向睿科技术人员询问关于仪器的应用和功能性问题。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201910/uepic/429543e9-0e5c-490f-bfef-2b9ded713401.jpg" title="图4.jpg" alt="图4.jpg"//pp style="text-align: center "  strongspan style="color: rgb(0, 112, 192) "睿科展台,人气满满/span/strong/p
  • 1045万!中国科学院八英寸晶圆级氮化硅低压化学气相沉积设备和紧凑型多功能介质薄膜快速沉积设备采购项目
    一、项目基本情况项目编号:OITC-G240261656-1项目名称:中国科学院2024年仪器设备部门批量集中采购项目预算金额:1045.000000 万元(人民币)最高限价(如有):1045.000000 万元(人民币)采购需求:1、采购项目的名称、数量:包号货物名称数量(台/套)用户单位采购预算(人民币)最高限价(人民币)是否允许采购进口产品6八英寸晶圆级氮化硅低压化学气相沉积设备1套中国科学院微电子研究所780万元780万元是包号货物名称数量(台/套)用户单位是否允许采购进口产品7紧凑型多功能介质薄膜快速沉积设备1中国科学院半导体研究所是投标人须以包为单位对包中全部内容进行投标,不得拆分,评标、授标以包为单位。2、技术要求详见公告附件。合同履行期限:详见项目需求本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取招标文件时间:2024年07月25日 至 2024年08月01日,每天上午9:00至11:00,下午13:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外)地点:www.oitccas.com;北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层方式:登录“东方招标”平台www.oitccas.com注册并购买。售价:¥600.0 元,本公告包含的招标文件售价总和三、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。1.采购人信息名 称:中国科学院微电子研究所     地址:北京市朝阳区北土城西路3号        联系方式:王老师 010-82995516      2.采购代理机构信息名 称:东方国际招标有限责任公司            地 址:北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层            联系方式:迟兆洋、叶明、芮虎峥、荀笑尘 010-68290583/0589 hzrui@oitc.com.cn 、xcxun@oitc.com.cn            3.项目联系方式项目联系人:迟兆洋、叶明、芮虎峥、荀笑尘电 话:  010-68290583/0548
  • SPP超高压循环样品制备系统入围“2008年科学仪器新品”
    2009年3月底, 在仪器信息网举办的&ldquo 2009年科学仪器新品&ldquo 评选活动中,培安公司的SPP超高压循环样品制备系统入围&ldquo 2008年科学仪器新品&rdquo 。 SPP超高压循环样品制备系统采用全新的超高压循环专利技术,能够更快、更安全、更有效的从多种样品中提取蛋白、脂质和核酸等生物分子,并从细胞及组织中分离完整的线粒体、叶绿体、细胞核等细胞器。作为一项全新的技术,它广泛应用于Biotechnology 生物技术、Antibioterrorism 生物反恐、Drug Discovery 药物发明、 Agriculture 农业、Aquaculture 水产业、 Environmental Science 环境科学、Paleobiology 古生物学、Genomics 基因组学、Transcriptomics 转录组学、Proteomics 蛋白质组学等。 相比较传统的超声波、研磨、高压匀浆等一些样品前处理方法,SPP超高压循环样品制备系统技术具有无可比拟的优点: 1.相比较高压匀浆法: SPP的压力平均、稳定,能量可以均匀分布在样品中,以降低剪切力, 提高均质效果,对提取细胞器官和高脂含量的细胞生物分子效果显著。 2.与超声破碎法相比:SPP处理样品过程能够控制温度,确保处理样品过程中不会产热,不会破坏大分子(蛋白质)的活性。 3.与高速珠磨法相比:SPP无需昂贵研磨剂,成本低且不存在分离困难的情形。 4.与酶溶法相比:SPP是利用物理方法(压力循环)把细胞破碎, 因此不受样品状态(固态、液态、气态)影响, 其通用性很高。 SPP不存在交叉污染,对于珍贵样品来说很重要,因为SPP是在一个完全密闭的系统内来完成样品制备,同类其他产品会有交叉污染的风险。SPP通过调整压力,循环次数,和温度等各种参数,达到对目标分子的最佳提取方案。与其它方法相比,SPP可以处理各种形态的样品, 如: 液体、固体,气体 而同类产品处理样品状态有限,大部分只能处理液体样品。 有关详情请浏览培安公司的网站www.pynnco.com电子邮件:sales@pynnco.com, 电话:010-65528800。 SPP超高压循环样品制备系统
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