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微波等离子化学气相沉积系统

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微波等离子化学气相沉积系统相关的方案

  • 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统中真空压力控制装置的国产化替代
    目前微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统中的真空压力控制装置普遍采用美国MKS公司的控制阀和控制器。本文介绍了采用MKS公司产品在实际应用中存在控制精度差和价格昂贵的现象,介绍了为解决这些问题的国产化替代方案,介绍了最新研发的真空压力控制装置国产化替代产品,并验证了国产化替代产品具有更高的控制精度和价格优势。
  • 等离子增强原子层沉积系统沉积高均匀性和高保型性介电薄膜
    ★超薄,纳米尺度介电薄膜与金属/金属性薄膜是MEMS/NEMS器件、其它IC部件,传感器,光学器件或催化剂关键部件★IC业中的高精度30器件, 如高深宽比沟槽与穿透性硅通孔, ALO工艺是唯可以在这些器件上实现高保形,平整,无缺陷,无针孔的薄膜材料。★可规模化生产的ALO工艺, 几种金属/金属性材料与介电材料: Pt, Ir, Ru, Cu, Ag, Au, TiN, AIN, TiAIN, ln203与Al203.★沉积工艺可选:传统热ALO或者等离子增强ALD。
  • 微波提取-固相萃取净化-气相质谱法测定土壤和沉积物中的多氯联苯
    多氯联苯,通常简称PCBs,是12种优先控制的有机污染物之一,曾在世界范围内被广泛生产和使用。由于多氯联苯的物理、化学性质比较稳定,在使用过程中不易分解,因此大多数都被排放到环境中,环境中残留的多氯联苯通过挥发、扩散质流产生转移,污染大气、地表水体和地下水,并可通过生物富集和食物链使其在人体内富集,最终危害人体健康。因此,建立完善的土壤中多氯联苯监测分析方法,对了解和治理多氯联苯的污染现状具有重要的意义。微波萃取技术通过微波反应器发射微波能,使原料中的化学成分迅速溶出的技术。与传统提取方法相比,具有节省溶剂、快速、回收率高、绿色环保、批处理量大等明显优势。本实验参考标准方法HJ743-2015、HJ922-2017,使用ETHOS UP微波萃取仪提取土壤和沉积物中的多氯联苯,可在40min内完成44个土壤样品的提取,SPE1000八通道全自动固相萃取净化,并用气质联用仪进行检测。
  • 沉积物元素测定的微波消解
    随着经济的发展,湖泊沉积物汇集了流域侵蚀、大气沉降及人为释放等多种来源的环境物质,沉积物中的重金属蓄积量也可反映沉积物对上覆水体影响的持久能力。湖泊沉积物作为水体中重金属污染物的载体,它是水中各种沉积物的源和汇,并记录着湖区环境变化的丰富信息,沉积物中重金属含量是评价水环境污染状况的重要指标。样品的前处理方法是土壤及沉积物中重金属含量准确测量的一个重要环节,它直接影响测定结果的准确性、平行性,微波消解法具有升温快,全密闭,污染小,消解彻底等优点,能够将样品彻底消解。
  • 微波消解技术在沉积物样品重金属元素分析中的应用2
    本文通过利用微波消解----原子吸收法测定标准河流沉积物样品中重金属铜、镍、锌、锰的含量,优化了微波消解的工作条件,并与电热板(湿法)消解法进行了比对实验。结果表明,微波消解法与传统的湿法相比无显著性差异且高效快速、试剂消耗量少、节约能源。
  • 微波消解技术在沉积物样品重金属元素分析中的应用1
    本文通过利用微波消解----原子吸收法测定标准河流沉积物样品中重金属铜、镍、锌、锰的含量,优化了微波消解的工作条件,并与电热板(湿法)消解法进行了比对实验。结果表明,微波消解法与传统的湿法相比无显著性差异且高效快速、试剂消耗量少、节约能源。
  • 微波消解技术在沉积物样品重金属元素分析中的应用3
    本文通过利用微波消解----原子吸收法测定标准河流沉积物样品中重金属铜、镍、锌、锰的含量,优化了微波消解的工作条件,并与电热板(湿法)消解法进行了比对实验。结果表明,微波消解法与传统的湿法相比无显著性差异且高效快速、试剂消耗量少、节约能源。
  • 微波消解-王水提取-电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)法检测土壤中的多种金属元素
    本实验参考方法HJ 803-2016 《土壤和沉积物 12 种金属元素的测定王水提取-电感耦合等离子体质谱法》 ,简要介绍了使用睿科集团股份有限公司微波消解仪(iMD24)对土壤样品使用王水消解,并用电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)对土壤样品中多种金属元素进行检测的一套解决方案。
  • 稀土La对化学沉积Co-Ni-B合金镀层的改性作用
    为了得到性能优良的钴基软磁薄膜,利用等离子发射光谱仪、电子能谱仪、显微硬度计等考察和分析了引入稀土金属La时化学沉积Co—Ni—B的合金镀层成分、显微硬度和磁性能。 只做学术交流,不做其他任何商业用途!版权归原作者所有!
  • 天津兰力科:稀土化学沉积数据库系统设计与应用研究
    在科技日新月异的今天,新材料的发展水平已经成为衡量一个国家高科技水平和综合国力强弱的重要标志,化学镀是在材料领域中发展起来的一类新兴技术,化学沉积钻基合金不需要电流,可在各种基体材料上沉积以及具有优异的磁学性能,但它存在镀液稳定性差、沉积速度和均镀能力不理想等问题。由于稀土元素在电镀、表面化学热处理中能有效提高镀液稳定性、沉积速度和渗速,可以改善材料的可焊性、硬度和耐磨性等功能特性作用,所以展开了稀土元素介入化学沉积钻基合金的尝试。稀土元素介入化学沉积钻基合金是一个具有良好发展前景的研究方向,为了加速其实际应用的步伐,对在试验过程中获得大量数据,以中文VisualFoxPro6.O为工具,开发出化学沉积数据库系统应用软件。该软件系统分别建立了镀覆工艺、显微硬度和磁学性能三个数据库。以此为基础,开发了六个应用模块,分别为文件管理模块、编辑处理模块、数据管理模块、图片管理模块、打印管理模块、退出系统模块。通过该软件,我们可以方便的管理所有的试验数据。根据试验数据,用数值分析的方法进行数据处理,拟合出试验数据的近似函数表达式。用正交表对基础配方进行分析,得到最佳配方,并进行相应方差分析 用样条函数和最小二乘法分析镀覆工艺试验数据,绘制出三次样条函数和三次近似多项式的图形,获得化学沉积速度最大时各因素浓度所在的区间。本文的研究是对试验数据处理的一种探讨,为稀土化学沉积数据库系统的建立探索出一条途径,为获得最佳的钻基合金镀层性能奠定了基础,具有较大的理论和现实意义。
  • 电化学原子力显微镜(EC-AFM)实时监测铜在金表面的电沉积
    近年来,对电化学过程的理解如电沉积(也称电镀)在各种科学技术中的作用变得非常凸显,包括括微电子、纳米生物系统、太阳能电池、化学等其他广泛应用。〔1,2〕电沉积是一种传统方法,利用电流通过一种称为电解质的溶液来改变表面特性,无论是化学的还是物理的,使得材料可适合于某些应用。基于电解原理,它是将直流电流施加到电解质溶液中,用来减少所需材料的阳离子,并将颗粒沉积到材料的导电衬底表面上的过程[3 ]。此项技术会普遍增强导电性,提高耐腐蚀性和耐热性,使产品更美观。良好的沉积主要取决于衬底表面形貌〔4〕。因此,一项可以在纳米等级上测量,表征和监测电沉积过程的技术是非常必要的。有几种方法被应用到了这种表面表征。例如像扫描电子显微镜(SEM)和扫描隧道显微镜(STM)。这些技术可以进行纳米级结构的测量,但是,其中一些为非实时下的,一些通常需要高真空,而另一些则由于其耗时的图像采集而不适用于监测不断变化的过程。[2,5] 为了克服这些缺点,电化学结合原子力显微镜(通常称为EC-AFM)被引入进来。 这种技术允许用户进行实时成像和样品表面形貌变化的观测,并可以在纳米级的特定的电化学环境下实现。[ 6 ]在此次研究中,成功地验证了铜颗粒在金表面的沉积和溶解。利用Park NX10 AFM在反应过程中观察铜颗粒的形态变化,并在实验过程中使用恒电位仪同时获得电流-电压(CV)曲线。
  • 使用 Agilent 4200 MP-AES 对河流沉积物进行元素分析
    河流沉积物的元素分布为河流及其周边环境的健康状况提供了有用信息。一些元素(如锰、铜和锌)在痕量水平下对河流生态必不可少,但在高浓度下可能有毒。传统上采用火焰原子吸收光谱法 (FAAS) 测定河流沉积物中元素的浓度。这项技术的缺点是需要使用乙炔和一氧化二氮等昂贵且危险的气体,还需要针对特定元素进行样品前处理,增加了分析的时间和成本。如果实验室寻求一种从 FAAS 转变到更高性能、更低成本和更安全的技术,新型 Agilent 4200 微波等离子体原子发射光谱仪 (MP-AES) 是理想的替代方案。MP-AES 是一种快速序列式多元素分析技术,采用微波诱导氮气型等离子体激发样品。所用的氮气可通过氮气发生器从周围空气中制得,无需使用乙炔和一氧化二氮。这使仪器运行更安全,可以无人值守运行,甚至过夜运行。本应用简报展示了一种分析河流沉积物中常量及微量元素的方法,该方法简单、快速、低成本且安全,无损数据质量或简便易用性。其介绍了一种简单的一步稀释样品前处理过程和一种分析方法,该方法使用 Agilent 4200 MP-AES 分析河流沉积物有证标准物质 (CRM) 中的常量元素 Ca、K、Mg、Na 和 Al 以及微量元素 Fe、Ze、Cu 和 Mn。
  • 微波等离子体原子发射光谱仪测定柴油和生物柴油中的硅
    本文采用 Agilent 4100 MP-AES 微波等离子体原子发射光谱仪对柴油和生物柴油样品中硅的分析方法进行了相关研究。仪器采用磁场耦合聚集微波能量,并激发氮气形成强健稳定的等离子体。氮气发生器作为连续工作气体供应,无需附加其他气源。从而显著降低了操作成本。
  • 离子色谱测定海洋沉积物孔隙水中氯离子含量
    海底沉积物孔隙水中阴阳离子浓度异常作为地球化学异常的一种,已经成为重要的天然气水合物勘查识别技术[1-31。大量研究表明,海洋沉积物孔隙水中ci一质量浓度异常和 S02一质量浓度梯度已成为两项最为重要的识别天然气水合物的地球化学指标〔4-61。目前,对海洋沉积物孔隙水中常见阴阳离子含量的分析已经作为一种常规方法,应用于中国海域天然气水合物的地球化学勘查与研究工作中
  • 北京英格海德:薄膜的磁控溅射沉积研究
    Hiden的EQP等离子体质量、能量分析仪在薄膜的磁控溅射沉积研究中可以提供残余气体分析、随磁控源开关产生的气体分析、离子能量分布、中性粒子分析等多种分析手段。
  • 利用原子层沉积系统ALD沉积不同薄膜材料获得周期有序微格结构
    通过高分子网状模板沉积不同薄膜材料(Au, Cu, Ni, SiO2, poly(C8H4F4))获得周期有序微格结构,其密度在0.5 mg/cm3 to 500 mg/cm3之间。以压力法测得杨氏模量和强度,并且进行了密度定标。在低相对密度的情况下,观察到与微格材料无关的50%或更高的压力应变恢复。一个分析模型的预测了在可恢复性“伪超弹性”与不可恢复塑性形变之间的转换关系,并适合所有研究材料。此次研究的材料在储能应用,可展开结构,声,冲击,振动阻尼研究方面有着很高的关注度。
  • 安捷伦 4100 微波等离子体原子发射光谱测定土壤中的金属元素
    众所周知,环境中金属元素(例如,砷、铬、铜、铅、镍和锌)含量的升高会严重影响人类健康,以及农业、畜牧业和水产行业。而某些金属(如铜和锌)也是 生物和人类健康必不可少的元素,因此对于金属元素的缺乏或毒性判定均有一个有效的阈值。环境中这些污染物的存在大多是由于中小企业废水排放、车辆尾气排放、农村生活污水排放、不加区别地使用化肥和含金属的农药,以及在无保护的场所处理固态垃圾。这些不同的污染源有可能污染农业和城市用地,并且污染用于农业和饮用的地表水和地下水。因此,监测土壤中的金属污染物显然对于环境监测和金属元素对人类健康影响的判定非常重要。本应用简报介绍了使用新颖、简单和相对经济实惠的微波等离子体原子发射光谱仪(MP-AES)对于土壤中金属元素测定的分析方法。安捷伦 4100 微波等离子体原子发射光谱仪,使用氮气和为 MP-AES 专门设计的炬管,可产生一种自持的常压微波等离子体(MP)。使用同心雾化器和旋流雾化室,样品气动式导入微波等离子体。仪器采用 CzernyTurner 单色仪和电荷耦合器件(CCD)检测器实现发射谱线的分离和全谱检测。4100MP-AES 微波等离子体原子发射光谱仪,可轻松应对无机或有机样品气溶胶,对无机和有机溶剂以及环境空气的耐受性明显高于其他分析等离子体。
  • 利用地蒽酚气相沉积法讨论MS成像在工业化产品领域的应用
    地蒽酚通过气相沉积法降低了杂质的影响,增强了染料的离子强度,同时提高了MS图像的对比度。通过这种方式也能够确认气相沉积法对地蒽酚的有效性,因此,将讨论在利用iMLayer实施的CHCA、DHB、9-AA 3种标准气相沉积方法中新追加地蒽酚气相沉积法。
  • KRi 射频离子源 IBSD 离子束溅射沉积应用
    上海伯东美国 KRi 考夫曼品牌 RF 射频离子源, 无需灯丝提供高能量, 低浓度的宽束离子束, 离子束轰击溅射目标, 溅射的原子(分子)沉积在衬底上形成薄膜, IBSD 离子束溅射沉积 和 IBD 离子束沉积是其典型的应用.
  • 微波消解电感耦合等离子体原子发射光谱法 测定煤中砷和磷
    利用硝酸和过氧化氢的混合体系于高压密闭微波消解仪中消解试样,采用电感耦合等离子体原子发射光谱法同时测定煤中的砷和磷。微波消解电感耦合等离子体原子发射光谱法的砷检出限为0.0054μ g/g、磷检出限为0.00034%。该方法操作简便、快速,通过测定标准物质,其检测值和标准值基本一致,测试相对标准偏差小于5%,可满足煤中砷和磷的准确测定。
  • 电泳沉积制备临床应用电极纳米涂层的机械稳定性
    涂层的机械稳定性对于医疗批准和临床应用至关重要。在这里,电泳沉积(EPD)是一种多用途的涂层技术,先前已显示其可显著降低脑刺激铂电极的术后阻抗。然而,前人很少系统地研究所得涂层的机械稳定性。在这项工作中,对Pt基底上由激光生成的铂纳米颗粒(PtNP)的脉冲直流电泳沉积,进行3D神经电极检测,并使用琼脂糖凝胶、胶带和基于超声的应力测试检查体外机械稳定性。EPD生成的涂层在琼脂糖凝胶测试以及体内刺激实验代表模拟大脑环境中高度的稳定。通过循环伏安法,对NP改性表面的电化学稳定性测试,多次扫描可以提高涂层稳定性,这可以通过高侵入性胶带应力测试后更高的信号稳定性来证明。通过激光剥蚀电感耦合等离子体质谱(LA-ICP-MS)分析大鼠神经刺激后的脑切片。测量显示,与未涂覆的对照相比,涂覆电极刺激区域附近的Pt水平更高。尽管植入电极附近的局部浓度升高,但发现的总铂质量低于系统毒理学相关浓度。大鼠脑内4周DBS后Pt的生物分布:a)用无涂层和PDC涂层电极刺激的脑切片的光学显微镜和LA-ICP-MS叠加图像;和b)注射Pt-NPs的脑切片的光学显微镜和LA-ICP-MS叠加图像。比例尺为2mm。在叠加图片中,红色信号表示磷的强度,绿色信号表示铂的浓度。
  • 氦质谱检漏仪脉冲激光沉积系统 PLD 检漏
    脉冲激光沉积系统 PLD脉冲激光沉积系统 Pulsed laser deposition 是制备高通量多晶薄膜, 外延薄膜和多层异质结构和超晶格结构的物理气相沉积设备, 通常需要保证本底真空度达到 10-8mbar, 同时高真空环境对系统配置的 RHEED 及温控系统等关键设备的寿命也至关重要.
  • 原子层沉积在微电子方面的应用
    自摩尔定律问世以来,微电子器件的特征尺寸一直在不断缩小,以提高集成电路的集成度和性能。由于短沟道效应的限制,鳍式场效应晶体管和环栅场效应晶体管等非平面型器件已逐渐被半导体行业所采用。为了满足制造具有这些复杂结构的芯片的要求,ALD因其可以在三维结构上生长高度均匀的保形薄膜的特点,已被广泛用于集成电路先进制程中的关键步骤。ALD技术在很大程度上依赖于所涉及的表面化学,它可以显著影响沉积膜的特性,如膜厚、形貌、组分和保形性。此外,ALD前驱体对薄膜沉积也起着至关重要的作用。ALD前驱体通常为金属有机化合物,前驱体的挥发性、热稳定性和自限制反应性会显著影响薄膜的ALD生长行为。因此,全面了解ALD的表面化学机制和前驱体化学结构设计是进一步开发和利用ALD技术的关键。在本文中,作者等人对原子层沉积的最新进展进行了详细介绍。
  • 微波等离子体高温热处理工艺中真空压力的下游控制技术方案和装置
    本文介绍了合肥等离子体所研发的微波等离子高温热处理装置,并针对热处理装置中真空压力精确控制这一关键技术,介绍了解决这一关键技术所采用的真空压力下游控制技术方案和相应装置,介绍了引入真空压力控制装置后微波等离子高温热处理过程中的真空压力控制实测结果,实现了等离子体热处理工艺参数的稳定控制,验证了替代进口真空控制装置的有效性。
  • 上海伯东普发涡轮分子泵组脉冲激光沉积系统应用
    脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition, PLD),是一种利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上, 得到沉淀或者薄膜的一种手段. PLD 系统由多个真空腔体组成,整个系统需要超高真空且不能引入任何杂质,对环境的清洁度要求较高,必须配备无油干泵和分子泵抽真空。由于各个辅助腔体体积较小, 因此特别适合使用 pfeiffer Hicube 系列分子泵组. 伯东公司销售维修的 Pfeiffer 分子泵组因其结构紧凑体积小,清洁无油(前级泵配备干泵)、抽速快、极限真空度高达10-11mbar等优点一经上市好评如潮。
  • 上海新仪:土壤和沉积物 有机物的提取
    背景土壤中许多有机污染化合物,具有生物积累性和三致(致癌、致畸、致突变)作用或慢性毒性,通过自然界的循环作用,进入生态环境体系中,使人类赖以生存的生态系统和人类自身的生态系统受到显著威胁,容易通过大气和地下水的扩散作用,影响我们的饮用水和空气。目前土壤和沉积物中的有机物主要提取方式是索氏提取法,该方法耗时长,耗能大,通量小且回收率及稳定性不好等缺点。本应用方案应对微波萃取土壤和沉积物中有机物新国标的要求,采用微波萃取作为提取方式,具有节能,省时,稳定性好等特点。
  • 稀土元素对钴-镍-硼合金化学沉积的影响
    研究了稀土元素铈、镧、钇对化学镀钴-镍-硼合金沉积速度的影响。稀土元素的加入增大了合金层的沉积速度,其中,钇的作用最为明显。 只做学术交流,不做其他任何商业用途,版权归原作者所有!
  • 使用 P&T-8890 GC/FID/5977 MSD 系统分析土壤和沉积物中的 VOCs 和石油烃 (C6–C9)
    中国的环境实验室主要使用 HJ 605-2011 分析土壤和沉积物中的挥发性有机化合物(VOCs),同时使用 HJ 1020-2019 测定同一基质中的石油烃 (C6–C9)。本应用简报适合同时分析土壤和沉积物中 VOCs 和石油烃 (C6–C9) 的实验室。Teledyne Tekmar Atomx XYZ 吹扫捕集 (P&T) 系统以及配置火焰离子化检测器 (FID) 和质谱检测器(MSD) 的 Agilent 8890 气相色谱仪 (GC) 可提供统一的气相色谱配置,实现在一台仪器上灵活运行 HJ 605 和 HJ 1020 方法。本应用简报的结果符合 HJ 605-2011 和 HJ 1020-2019 方法概述的所有性能标准。
  • 熔体淬火法和激光剥蚀质谱法测定沉积物中231Pa和230Th皮克每克浓度
    海洋沉积物中的铀、钍和镤放射性核素是了解地球环境演化的重要指标。传统的基于溶液的方法通常涉及同位素稀释制备、浓酸样品消解、柱层析分离和质谱分析,可以对核素浓度较低的同位素(如230,231Pa)进行精确测试分析耗时长、且价格昂贵。在这项工作中,我们建立了一种有效的方法,可以测量海洋沉积物的230,231?Pa,精确到皮克每克浓度的水平,无需净化和富集。我们的方法首先使用熔体淬火技术将少量热分解沉积物(约0.1 - 0.2 g)转化为均匀的硅酸盐玻璃,然后用激光剥蚀进样结合多收集电极电感耦合等离子体质谱法对玻璃进行分析。本研究中制备的同位素峰校准玻璃标准样品支架用于校正测量过程中的仪器分馏。结果表明,该方法能较准确地测定晚更新世典型海相沉积物中U - Th - Pa的浓度,精度可达几个百分点。与传统的基于溶液的方法相比,我们建立的方案大大缩短了样品制备和测量的周期,有利于未来U系列放射性核素在高效和空间分辨率的海洋环境演化过程重建中的应用。
  • 4200 微波等离子体原子发射光谱仪 (MP-AES) 测定米粉中的常量、微量和痕量元素
    在分析米粉等食品样品时,人们特别关注高浓度的营养元素以及痕量有毒元素( 如镉)。分析这些元素对于确保产品质量和安全,以及确定产品的来源极为重要。污染导致的食品安全恐慌不仅会威胁人类健康,还会打击消费者的信心,从而导致销量下降,收入受损,同时负面宣传还会令商家信誉扫地。食品中的元素分析通常采用火焰原子吸收光谱仪 (FAAS),但随着实验室预算面临的压力日益增大,并且当今市场倾向于采用具有较低使用和维护成本、出色性能、易于使用且安全的仪器,因此,许多 FAAS 用户期望能有更合适的技术来满足现在和未来的需求。安捷伦公司经过研发和创新,扩展了原子光谱产品系列,其中就包含微波等离子体原子发射光谱仪。Agilent 4200 MP-AES 是第二代微波等离子体原子发射光谱仪器,具有改良的波导设计,能够分析含有高总溶解态固体的样品,并且对检测限毫无影响。4200 MP AES 使用氮气作为等离子体气体,显著降低了运行成本。由于无需使用易燃气体,氮气的使用还增强了安全性,并且可实现无人值守的仪器运行。4200 MP-AES 易于使用,与传统 FAAS 相比,它的检测限更低,并且能够测定更多元素(如磷等非金属元素)。本应用简报将介绍使用 4200 MP-AES 分析米粉中的镉和其它常量、微量以及痕量元素。
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