温控探针台杠杆式探针支架

Instec来自液晶先驱院校美国科罗拉多大学的精密温控装置与液晶检测设备" _ue_custom_node_="true" 功能特点 可编程精密控温。可独立控制，也可从上位机软件控制软件可拓展性强，可提供LabView等语言的SDK#温度# 可选100℃ /200℃ / 400℃ / 600℃#温度# 可选 -190℃ / -40℃ / 常温 / 其他#腔体密封性# 可选 气密腔室 / 真空腔室#样品观察# 可选 透射光观察 / 反射光观察 / 无#样品区# 可选22x22mm / 35x35mm / 其他#台面电位# 可选 电接地 / 电悬空#电测试接口# 可选 BNC/电悬空BNC/Triaxial三同轴#探针类型# 可选 弯针探针 / 直针探针#探针支架# 可选 杠杆式 / 磁吸式#探针移动性# 可选 探针外部移动 / 探针开盖移动#霍尔效应测试# 可用非磁性材料制作，用于霍尔测试可做改动或定制，详询上海恒商另有可升至1000℃以上的超高温探针台，详询上海恒商 " _ue_custom_node_="true" 技术参数 通用性能温度分辨率0.001℃温度稳定性±0.05℃(at 100℃) 可提升稳定性控温速度±0.1℃/小时温度传感器100Ω铂质RTD温控方式开关式PID 可升级为LVDC式PID结构尺寸物镜距离8 mm样品腔高度2.5 mm 具体由探针决定样品观察范围26.5 mm 反光孔径腔室接口快速接头 (气密型号)KF16 (真空型号)*其他技术参数请参考 具体型号的彩页介绍 " _ue_custom_node_="true" 配置列表 标准温控探针台√mK2000温度控制器 软件免费，控制线有多种接口供选√选配件液氮制冷系统 包含液氮泵与液氮罐，使样品降至负温外壳水冷配件 用常温水或冰水循环防止外壳过热安装支架 把台体固定在使用平台上，防止滑动温控联动显微镜相机 温度-图像联动工作，附软件线性可变直流电源(LVDC) 装在温控器里，抑制电噪音 真空系统(真空腔型号适用) 真空泵、真空计、真空管路*注：产品有多种配置变化，详询上海恒商 " _ue_custom_node_="true" 杠杆式探针支架.vs.磁吸式探针座 杠杆式探针支架，对样品点针更准确，点针力度更大，电接触性更好。磁铁吸式探针座则通过底部的磁铁吸附于探针台外壳底座上，探针移操作方便。 欲咨询产品请访问本公司官网联系我们 本公司为美国Instec中国区总代理、瑞典FLCE(FLC Electronics)中国区代理，不经过中间商直接与原厂接触，能提供优惠的价格。

产品简介 HCP621G-PM可单独使用，也可搭配显微镜/光谱仪使用。其可在 -190℃ ~ 600℃ 范围内控温，同时允许探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个气密腔，可往内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。此外另有真空腔型号HCP421V-PM提供。功能特点 迷你温控探针台，可用于 显微镜/光谱仪-190℃~600℃ 可编程控温（负温需配液氮制冷系统）28 mm x 30 mm加热区可充入保护气体的气密腔（另有真空腔型号）BNC接口四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于pA级测试可选增设腔内接线柱（样品接电引线）可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK*可做定制或改动，详询上海恒商温控参数 温度范围-190℃ ~ 600℃（负温需配液氮制冷系统）传感器/温控方式100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）加热/制冷速度+80℃/min （100℃时），-50℃/min （100℃时）加热/制冷速度±0.01℃/min温度分辨率0.01℃温度稳定性±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）软件功能可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数 探针默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针探针座杠杆式探针支架，点针力度更大，电接触性更好点针手动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置探针接口默认为BNC接头，可选三同轴接口*可增设腔内接线柱（样品接电引线）样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口非磁性改造台体可改用非磁性材质制造，用于变温霍尔效应探针测试光学参数 适用光路反射光路 *另有透射光路型号窗片可拆卸与更替的窗片物镜工作距离8.5 mm *截面图中WD透光孔台面默认无通光孔，可增设通光孔以支持透射光路上盖窗片观察窗片范围φ38mm，大视角±60.7° *截面图中θ1负温下窗片除霜吹气除霜管路

产品简介 TP102SG-PM可单独使用，也可搭配显微镜/光谱仪使用，是一款基于帕尔贴半导体温控片（TEC）的温控探针台，无需液氮制冷耗材即可达到 -30℃，同时允许光学观察和样品气体环境控制。热台上盖与底壳构成一个气密腔，可往内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜。此外另有真空腔型号TP102V-PM提供。功能特点 迷你温控探针台，可用于 显微镜/光谱仪TEC半导体温控片，降温时无需液氮制冷耗材，适合长时间实验-30℃~160℃ 可编程控温（无需制冷耗材）40 mm x 40 mm加热区可充入保护气体的气密腔（另有真空腔型号）BNC接口四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于pA级测试可选增设腔内接线柱（样品接电引线）可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK*可做定制或改动，详询上海恒商温控参数 温度范围-30℃ ~ 160℃传感器/温控方式100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）加热/制冷速度±0.01℃/min~+60℃/min (37℃时),~+60℃/min (37℃时)温度分辨率0.01℃温度稳定性±0.05℃软件功能可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数 探针默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针探针座杠杆式探针支架，点针力度更大，电接触性更好点针手动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置探针接口默认为BNC接头，可选三同轴接口*可增设腔内接线柱（样品接电引线）样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口光学参数 适用光路反射光路 *另有透射光路型号窗片可拆卸与更替的窗片物镜工作距离8.5 mm *截面图中WD透光孔台面默认无通光孔，可增设通光孔以支持透射光路上盖窗片观察窗片范围φ38mm，视角±60.7° *截面图中θ1负温下窗片除霜吹气除霜管路结构参数 加热区/样品区40 mm x 40 mm样品腔高6.3 mm *样品厚度由探针决定放样打开上盖后置入样品再点针，关上盖后无法移动探针气氛控制气密腔，可充入保护气体 *另有真空腔型号外壳冷却通循环水，以维持外壳温度在常温附近安装方式水平安装 或 垂直安装台体尺寸/重量200 mm x 145 mm x 30 mm / 1500g

产品简介 HCP621G-PMH专为变温霍尔效应测试测试。探针台的台体全部由非磁性材料制作。其可在 -190℃ ~ 600℃ 范围内控温，同时允许探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个气密腔，可往内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。功能特点 非磁性材料制作的探针台，专为变温霍尔效应测试设计-190℃~600℃ 可编程控温（负温需配液氮制冷系统）28 mm x 30 mm加热区可充入保护气体的气密腔BNC接口四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于pA级测试可选增设腔内接线柱（样品接电引线）可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK*可做定制或改动，详询上海恒商温控参数 温度范围-190℃ ~ 600℃（负温需配液氮制冷系统）传感器/温控方式100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）加热/制冷速度+80℃/min （100℃时）-50℃/min （100℃时）加热/制冷速度±0.01℃/min温度分辨率0.01℃温度稳定性±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）软件功能可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数 探针默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针探针座杠杆式探针支架，点针力度更大，电接触性更好点针手动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置探针接口默认为BNC接头，可选三同轴接口*可增设腔内接线柱（样品接电引线）样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口霍尔测试台体为非磁性材料制作，可用于变温霍尔效应测试光学参数 适用光路反射光路 *另有透射光路型号窗片可拆卸与更替的窗片最小物镜工作距离8.5 mm *截面图中WD上盖窗片观察窗片范围φ38mm，大视角±60.7° *截面图中θ1负温下窗片除霜吹气除霜管路

产品简介INSTEC HP1000V-PM 超高温探针台可单独使用，也可搭配显微镜/光谱仪使用。其可在 30℃ ~ 1000℃ 范围内控温，同时允许探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个真空腔，可往内充入氮气等保护气体，来防止样品高温下氧化，也可通入不同气氛进行气敏性测试。功能特点INSTEC HP1000V-PM 超高温探针台可独立使用，可用于显微镜/光谱仪下，30℃~1000℃ 可编程控温25 mm x 25 mm加热区，可充入保护气体的气密腔，BNC接口四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于pA级测试，可选增设腔内接线柱（样品接电引线），可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK。温控参数&bull 温度范围：30℃ ~ 1000℃&bull 传感器/温控方式：K型热电偶 / PID控制&bull 最大加热：+200℃/min （＜850℃时）&bull 最小加热：±0.5℃/min&bull 温度分辨率：0.1℃&bull 温度稳定性：±0.1℃&bull 软件功能：可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数&bull 探针：默认为铼钨材质的弯针探针&bull 探针座：杠杆式探针支架，点针力度更大，电接触性更好&bull 点针：手动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置&bull 探针接口：默认为BNC接头，可选三同轴接口 *可增设腔内接线柱（样品接电引线）&bull 样品台面电位：默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口&bull 非磁性改造：台体可改用非磁性材质制造，用于变温霍尔效应探针测试光学参数适用光路：反射光路 *另有透射光路型号最小物镜工作距离：8.8 mm上盖窗片观察：窗片范围φ38mm，最大视角±60°底部窗片观察：最大视角±11.3°结构参数&bull 加热区/样品区：25 mm x 25 mm&bull 样品腔高：7.6 mm *样品最大厚度由探针决定&bull 放样：打开上盖后置入样品再点针，关上盖后无法移动探针&bull 气氛控制：气密腔，可充入保护气体&bull 外壳冷却：通循环水，以维持外壳温度在常温附近&bull 窗片与物镜冷却：吹气降温管路&bull 安装方式：水平安装 或 垂直安装

产品简介INSTEC HP1000V-PM 超高温探针台可单独使用，也可搭配显微镜/光谱仪使用。其可在 30℃ ~ 1000℃ 范围内控温，同时允许探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个真空腔，可往内充入氮气等保护气体，来防止样品高温下氧化，也可通入不同气氛进行气敏性测试。功能特点INSTEC HP1000V-PM 超高温探针台可独立使用，可用于显微镜/光谱仪下，30℃~1000℃ 可编程控温25 mm x 25 mm加热区，可充入保护气体的气密腔，BNC接口四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于pA级测试，可选增设腔内接线柱（样品接电引线），可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK。温控参数&bull 温度范围：30℃ ~ 1000℃&bull 传感器/温控方式：K型热电偶 / PID控制&bull 最大加热：+200℃/min （＜850℃时）&bull 最小加热：±0.5℃/min&bull 温度分辨率：0.1℃&bull 温度稳定性：±0.1℃&bull 软件功能：可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数&bull 探针：默认为铼钨材质的弯针探针&bull 探针座：杠杆式探针支架，点针力度更大，电接触性更好&bull 点针：手动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置&bull 探针接口：默认为BNC接头，可选三同轴接口 *可增设腔内接线柱（样品接电引线）&bull 样品台面电位：默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口&bull 非磁性改造：台体可改用非磁性材质制造，用于变温霍尔效应探针测试光学参数适用光路：反射光路 *另有透射光路型号最小物镜工作距离：8.8 mm上盖窗片观察：窗片范围φ38mm，最大视角±60°底部窗片观察：最大视角±11.3°结构参数&bull 加热区/样品区：25 mm x 25 mm&bull 样品腔高：7.6 mm *样品最大厚度由探针决定&bull 放样：打开上盖后置入样品再点针，关上盖后无法移动探针&bull 气氛控制：气密腔，可充入保护气体&bull 外壳冷却：通循环水，以维持外壳温度在常温附近&bull 窗片与物镜冷却：吹气降温管路&bull 安装方式：水平安装 或 垂直安装

带有冷却风扇的强制空气冷却，可快速降低温度! 耐热性达到300°C，带有耐热探针，可使用30分钟。MTP-100是一台带有温控平台的双针探针机。样品可以在不同的温度下通电和测量。安全罩的上部有一个耐热的玻璃窗。样品也可以在显微镜下观察。特点。带有温控台通过改变样品的温度来实现载流的测量。在安全罩的上部装有一个耐热玻璃窗。样品也可以在显微镜下观察，等等。由于温度的变化，涂在玻璃基底上的有机材料的电阻变化。测量基本信息[规格。温控板尺寸：110 x 110毫米。温度控制范围：室温+10℃至350.0℃。温升率：0.05-3℃/秒。降温速度：0.05-1.5℃/秒。冷却系统：通过冷却风扇强制空气冷却。探头部分：用于高温的开放式探头（耐高温300℃30分钟）。安全罩：穿孔金属，开孔率为40%或以上。机身尺寸：W440 x D200 x H230毫米。■温度控制电脑：操作系统：Windows 10，1个USB接口。电源：AC100V 50/60Hz

PXB-S系列探针台 PXB-S系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜和体式显微镜●载物台可Z轴升降●载物台Theta可粗调360°, 微调±7 °●载物台XY移动分辨率为1um。●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●显微镜支架万向杆PXB-S系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-M系列探针台 PXB-M系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台可Z轴升降●载物台Theta可粗调360°, 微调±7 °●载物台XY移动分辨率为1um●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降PXB-M系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-E系列探针台 PXB-E系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台气浮快速移动●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降●Platen 三阶抬杆， 微调移动行程为40mm，抬杆重复性精度为2umPXB-E系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-BE系列探针台PXB-BE系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台气浮快速移动， 三档控制，X轴独立控制，Y轴独立控制，XY同步控制，XY同步控制●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降●Platen 二阶抬杆， 微调移动行程为60mm，抬杆重复性精度为1um●配置独立控制压力阀PXB-BE系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-BET系列探针台 PXB-BET系列高低温探针台主要特点●搭配高低温系统， 最大范围-65℃到300℃●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台气浮快速移动， 三档控制，X轴独立控制，Y轴独立控制，XY同步控制，XY同步控制●可选配高压高流测试环境●装片拉出装置， 定位锁住●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降●Platen 二阶抬杆， 一次性行程为6mm， 抬杆重复性精度为1um， 四点同步●配置独立控制气流阀PXB-BET系列高低温探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-D系列探针台PXB-D系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜，体式显微镜 ●载物台气浮快速移动 ●可选配高压高流测试环境●platen上下结构，可正反面同时扎针 ●载物台双面镂空，可替换，一个镂空夹具，一个 载物台（两个吸附孔）●背置式直筒显微镜，zoom为0.58-7.5x ●Platen 微调行程为40mm，移动分辨率为1um， 四点同步PXB-D系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●PCB领域检测分析 PXB-W系列探针台PXB-W系列探针台主要特点●可选配110Ghz，220Ghz等测试环境 ●搭配高低温系统，最大范围-65℃到300℃ ●可选直筒显微镜，体式显微镜或金相显微镜 ●载物台气浮快速移动，三档控制，X轴独立控制， Y轴独立控制，XY同步控制，XY同步控制 ●装片拉出装置，定位锁住 ●稳定型显微镜桥架，移动分辨率为2um，显微镜 气动升降 ●Platen 二阶抬杆，一次性行程为6mm，抬杆重复 性精度为1um，四点同步 ●配置独立控制气流阀PXB-W系列探针台应用领域●Microwave probing 微波量测(高频测试)PXB-PL系列探针台 PXB-PL系列探针台(定制型)针对PCB&LCD&OLED&MINI-LED研发的测试探针台主要客户：英业达，沪利，深南电路，美维，奥克斯，大金，龙腾光电，群策等PXB-VL系列探针台 PXB-VL系列探针台产品简介PXB- VL高低温真空探针台是我司自主研发的一款在极端环境下给样品加载电学信号的设备。可以实现器件及材料表征的IV/CV特性测试，射频测试 ，光电测试等。通过液氮或者压缩机制冷 ，可以在防辐射屏内营造一个稳定的测试环境。在特殊材料 ，半导体器件等研究方向具有广泛运用。一般用于相关单位实验室。PXB-SA系列探针台PXB-SA系列探针台产品简介PXB-SA 系列探针台是一款在非真空条件下实现高低温环境的测试探针台。该产品采用气冷制冷 ，自动控温 ，设备配置非常丰富。自带屏蔽暗室 ，一方面可以屏蔽无线电磁干扰 ，另外一方面也可以保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜。该产品多数用于相关单位实验室。PXB-SA系列探针台产品优势可搭配高低温温控系统,温度范围为-60-300℃可实现半自动测试微腔屏蔽

产品简介 Instec的真空型台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。功能特点 桌上型温控探针台，占地面积小可编程控温，涵盖-190℃~1000℃（具体由型号而定）适用 10 mm ~ 300 mm 晶圆和器件可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK*可做定制或改动，详询上海恒商温控参数 温度范围涵盖 -190℃~1000℃（具体由型号而定）加热块材质铝合金 或 银 或 陶瓷传感器/温控方式100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）最小加热/制冷速度±0.01℃/min温度分辨率0.01℃ RTD传感器0.1℃ 热电偶传感器温度稳定性±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）软件功能可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数 探针默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针探针座可从外部XYZ移动的探针臂粗调模式+微调模式，微调行程20mm点针从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置探针接口默认为BNC接头，可选三同轴接口样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口光学参数 适用光路反射光路窗片可拆卸与更替的窗片最小物镜工作距离25 mm *截面图中WD上盖窗片观察窗片范围φ50mm，大视角±40° *截面图中θ1负温下窗片除霜吹气除霜管路结构参数 适用样品10 mm ~ 50 mm 直径 （标准）*可定至300mm的样品台面样品腔高6 mm探针座可从外部XYZ移动的探针臂粗调模式+微调模式，微调行程20mm气氛控制气密腔，可充入保护气体 *另有真空腔型号外壳冷却可通循环水，以维持外壳温度在常温附近台体尺寸/重量1060 mm x 600 mm x 213.2 mm / 20kg选型表 TP102SV-PS温度范围 -40℃ ~ 180℃，真空腔HCP422V-PS温度范围 -190℃ ~ 600℃（负温需配液氮制冷系统），真空腔HP1000V-PS温度范围 35℃ ~ 1000℃，真空腔定制型号按客户需求定制，适用300mm晶圆样品

产品简介INSTEC HCP421V-MPS 通用迷你温控探针台真空型mini台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。功能特点mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备，可编程控温，涵盖-190℃~400℃，适用 10 mm ~30 mm 晶圆和器件，可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用，独立的四个探针（可升级至七个臂），可从设备外部移动探针进行点针，可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK，模块化设计，可自由组合。温控参数&bull 温度范围：-190℃~400℃（负温需配液氮制冷）&bull 加热块材质：银&bull 传感器/温控方式：100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）&bull 最大升温速率：30℃/min&bull 最小温控速度：±0.01℃/min&bull 温度分辨率：0.01℃ RTD传感器&bull 温度稳定性：±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）&bull 软件功能：可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数&bull 探针：默认为铼钨材质的弯针探针&bull 探针座：可从外部XYZ移动的探针臂&bull 点针：从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置&bull 探针接口：标准BNC接头，可选三同轴接口&bull 样品台面电位：标准电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口光学参数适用光路：反射光路窗片：可拆卸与更替的窗片最小物镜工作距离：12 mm上盖窗片观察：窗片范围φ50mm，最大视角±50°负温下窗片除霜：吹气除霜管路结构参数&bull 适用样品：30 mm&bull 样品腔高：8 mm&bull 探针座：可从外部XYZ移动的探针臂&bull 调节精度 ：10um&bull 气氛控制：真空腔，也可充入保护气体&bull 外壳冷却：可通循环水，以维持外壳温度在常温附近

产品简介INSTEC HCP421V-MPS 通用迷你温控探针台真空型mini台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。功能特点mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备，可编程控温，涵盖-190℃~400℃，适用 10 mm ~30 mm 晶圆和器件，可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用，独立的四个探针（可升级至七个臂），可从设备外部移动探针进行点针，可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK，模块化设计，可自由组合。温控参数&bull 温度范围：-190℃~400℃（负温需配液氮制冷）&bull 加热块材质：银&bull 传感器/温控方式：100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）&bull 最大升温速率：30℃/min&bull 最小温控速度：±0.01℃/min&bull 温度分辨率：0.01℃ RTD传感器&bull 温度稳定性：±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）&bull 软件功能：可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数&bull 探针：默认为铼钨材质的弯针探针&bull 探针座：可从外部XYZ移动的探针臂&bull 点针：从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置&bull 探针接口：标准BNC接头，可选三同轴接口&bull 样品台面电位：标准电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口光学参数适用光路：反射光路窗片：可拆卸与更替的窗片最小物镜工作距离：12 mm上盖窗片观察：窗片范围φ50mm，最大视角±50°负温下窗片除霜：吹气除霜管路结构参数&bull 适用样品：30 mm&bull 样品腔高：8 mm&bull 探针座：可从外部XYZ移动的探针臂&bull 调节精度 ：10um&bull 气氛控制：真空腔，也可充入保护气体&bull 外壳冷却：可通循环水，以维持外壳温度在常温附近

公司主要经营产品：霍尔效应测试仪、探针台系列、显微镜系列：三维视频显微镜、超长工作距离视频显微镜、测量显微镜、红外/近红外显微镜、传统光学显微镜(体式、生物、偏光、荧光、金相、相衬、比对等常用教学及教研类显微镜)、光学产品组件、工业科研无损检测设备及光学自动一体化系统集成项目。测试噪声小于5E-13A 可扩展上下双透视窗口用于光电测试 可扩展凹视镜 。观察窗口可下凹，使物镜离样品更近，方便观察。 加热台材质纯银块，导热更好，不易氧化专业检测设备生产研发经验，实力见证品牌国内家专业研发探针台设备厂家，有强大技术研发实力已与国内2000多所高校和研究院合作，为您提供*价值的技术解决方案*信赖的检测设备服务商涉及光学、电学、电子、材料、生物、医学等各检测领域拥有国内专业的技术研发团队在探针台电学量测方面拥有近十年的经验小型真空探针台KT-Z4019MRL4T小型真空探针台KT-Z4019MRL4T参数真空腔体类型高温型室温到350℃高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 最大值 低温7℃/min温控仪温度显示7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

MPI TS 2000(8寸)Wafer 测试系统 MPI TS2000 是全球范围内成熟的探头系统的自然演变, 具有满足高级半导体测试市场要求的专用设计。该系统与所有 MPI 系统附件完全兼容, 主要用于解决故障分析、设计验证、IC工程、晶圆级可靠性以及 MEMS、高功率、射频和 mmW 设备测试的特殊要求. 可用于环境和/或仅高温运行模式的 TS2000 速度快, 速度高达 10 Dies/second (取决于最终配置), 这使得它成为在离散 rf 器件上进行预生产电气测试的理想选择, 例如。 探针座放置平台 TS 2000 系列提供大型、易于访问的探针平台, 可容纳多达 12x DC 或4倍射频微定位器。负载拉调谐器或更大面积的微定位器的集成使 TS 2000 系统成为射频和 mmW 测量的理想选择。 样品chuck快速移动、装载 较大的前门通道可方便地装载/卸载100、150、200 mm Wafer、晶圆碎片, 甚至小至 5x5 mm IC。 AUX 卡盘都位于前面, 可以非常方便地加载/卸载。允许使用简单的射频校准和探头卡清洗自动化方法。 测试控制面板 智能硬件控制面板完全集成到探头系统中, 并基于数十年的经验和客户互动进行设计, 以提供更快、更安全、更方便的系统控制和测试操作。键盘和鼠标的位置, 以控制软件, 如有必要, 还将控制基于 windows的检测。真空控制面板的晶片和 AUX 卡盘可以找到在右侧的前面, 以便于访问在装卸过程中。 温控系统 热卡盘 (从20°C 或环境到 300°C) 可通过使用完全集成的触摸屏显示屏进行操作, 该触摸屏放置在操作员前面的方便位置, 可实现快速操作和即时反馈。 探头卡和微型定位器– 同时多探头、4.5 "x 11" 探头卡的低姿态支架和较低的卡盘到卡盘距离是使用有源探头，是同时探测的理想选择, 使系统成为设计验证和/或故障分析工作的理想选择。 屏蔽系统? TS 2000-D 是简单的 TS 2000 与已经集成的暗盒! 该系统的占地面积、嵌入式联锁、Led 照明和各种测量仪器的标准化接口面板而设计, 是照明和激光安全防护测试环境的优先选择。 从后面板轻松访问, 使重新配置或初始设置快速和非常方便。?? 仪器集成 可选的仪器架减少了电缆长度, 并提高了射频和 mmW 应用中的测量动态和方向性。 周边附件： CCD、防震平台、屏蔽罩、Laser mark、探针卡、BNC转接头、RF探针、有源探针、高压探针、真空泵

MPI TS200- 半自动探针台产品描述：1. 单机多应用设计适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP) 2. 工效学设计 方便单手操作的快速释放拖移气浮载物台设计坚固可承载多达10根DC 或4根RF微定们器在工作台三段式工作台快升把手设计 (contact - separation- loading)，实现高重现性3. 弹性选配与升级性 另有多种晶圆载物台可做升级，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、影像镜头、电磁屏蔽箱等可搭载，以完全支援您的应用需求MPI探针台系统是由来自于Cascade和安捷伦等公司的专家们研发和设计，专业提供探针台及所有相关直流/射频附件以及相关半导体测试整体解决方案。得益于其极高的性价比，广受国内外用户的好评。TS150,TS200,TS300是常用的手动式探针台，简单，直观，方便， 并确保 高度准确的测量。以下是MPI探针台的特点： Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用新的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动（其他品牌无法同时X/Y移动，只能选一个方向移动）。b. Platen Lift技术-三段平面式升降及下针：影响探针台测试结果很大程度上取决于探针与样品的接触。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁（其他厂家是两段），不仅实现了1um重复性，同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验，方便了用户的操作。c.温控触屏设计：MPI手动探针台可以选配各类样品台，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸样品台，及加热样品台（200℃/300℃）。并且配备智能化触摸屏，可以随时快速调节样品台加热问题，实时显示温度变化。高精度、便捷的温度控制功能，便于客户进行实验设计和测试。d. Microscope bridge mount：MPI探针台具备了Microscope bridge mount，方便用户自行购置并升级显微镜。这点也是其他探针台所不具备的。对于这类的用户而言，如果今后要升级显微镜，只能从探针台原厂购买。但是其实探针台厂家往往并不制造光学显微镜。而MPI则更多的为客户考虑，把显微镜的选择权交在客户手里。这也是MPI设计了Microscope bridge mount的初衷。 e. 所有核心部件均自行生产：诸如主机台，直流/射频探针座，直流/射频线缆及探针等核心部件均为MPI公司自行生产。很多探针台厂商的射频探针也都是从MPI购买的。此外，MPI探针台的产品线也非常丰富，拥有手动、半自动、全自动、射频/微波、高功能等所有探针台系列。

Alpha-Step D-300 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。 探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行测量。通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。 二、 功能 设备特点台阶高度：几纳米至1000μm低触力：0.5至15mg视频：500万像素率彩色摄像头梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差紧凑尺寸：小占地面积的台式探针式轮廓仪 主要应用台阶高度：2D台阶高度纹理：2D粗糙度和波纹度形式：2D翘曲和形状应力：2D薄膜应力 应用领域半导体和复合半导体SIMS：二次离子质谱LED：发光二极管太阳能MEMS：微电子机械系统汽车医疗设备 三、应用案例 台阶高度 Alpha-Step D-300 探针式轮廓仪能够测量从几个纳米到1000μm的2D台阶高度。 这使其可以量化在蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP 和其他工艺期间沉积或去除的材料。 Alpha-Step系列具有低触力功能，可以测量如光刻胶的软性材料。 纹理：粗糙度和波纹度 Alpha-Step D-300 测量 2D 纹理，量化样品的粗糙度和波纹度。 软件过滤功能将测量值分离为粗糙度和波纹度的部分，并计算诸如均方根（RMS）粗糙度之类的参数。 外形：翘曲和形状 Alpha-Step D-300 可以测量表面的2D形状或翘曲。 这包括对晶圆翘曲的测量，例如在半导体或化合物半导体器件生产过程中，多层沉积层结构中层间不匹配是导致这类翘曲产生的原因。Alpha-Step 还可以量化包括透镜在内的结构高度和曲率半径。 应力：2D薄膜应力 Alpha-Step D-300 能够测量在生产包含多个工艺层的半导体或化合物半导体器件期间所产生的应力。 使用应力卡盘将样品支撑在中性位置测量样品翘曲。 然后通过应用Stoney方程，利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力。

科研小型气敏测试真空探针台高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户，可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度，从而减少设备的配置预算。对于真空度有更高要求的用户，可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配更高真空度的泵组，以满足测试要求。 为了减少泵组的振动，我们还专门为用户设计了隔振器，地衰减泵组工作时产生的振动，以确保系统的稳定，减少探针的漂移。度科研小型气敏测试真空探针台真空腔体类型高温型室温到350℃高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 低温7℃/min温控仪温度显示7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用非常新的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动（其他品牌无法同时X/Y移动，只能选一个方向移动）。Platen Lift技术-三段平面式升降及下针：影响探针台测试结果很大程度上取决于探针与样品的接触。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁（其他厂家是两段），不仅实现了1um重复性，同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验，方便了用户的操作。温控触屏设计：MPI手动探针台可以选配各类样品台，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸样品台，及加热样品台（200℃/300℃）。并且配备智能化触摸屏，可以随时快速调节样品台加热问题，实时显示温度变化。高精度、便捷的温度控制功能，便于客户进行实验设计和测试。Microscope bridge mount：MPI探针台具备了Microscope bridge mount，方便用户自行购置并升级显微镜。这点也是其他探针台所不具备的。对于这类的用户而言，如果今后要升级显微镜，只能从探针台原厂购买。但是其实探针台厂家往往并不制造光学显微镜。而MPI则更多的为客户考虑，把显微镜的选择权交在客户手里。这也是MPI设计了Microscope bridge mount的初衷。 所有核心部件均自行生产：诸如主机台，直流/射频探针座，直流/射频线缆及探针等核心部件均为MPI公司自行生产。很多探针台厂商的射频探针也都是从MPI购买的。此外，MPI探针台的产品线也非常丰富，拥有手动、半自动、全自动、射频/微波、高功能等所有探针台系列。

CT-6高低温探针台 最大可用于12英寸以内样品测试采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜 CINDBEST CT-6 | 6"~12" 高低温探针台测试系统 特点/应用 ◆ 最大可用于12英寸以内样品测试◆ 采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜◆ 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量◆ 可升降调节适合加装探针卡◆ 可搭配多种类型显微镜◆ 结构模块化设计，可无缝升级◆ 探针台可根据客户要求定制。 高低温探针台 ◆ 台体规格： 型号：CT-6/CT-8/CT-12 样品台尺寸：6英寸/8英寸/12英寸 水平旋转：可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 X-Y移动行程：6英寸*6英寸/8英寸*8英寸/12英寸*12英寸 X-Y移动精度：10微米/1微米 样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 针座平台：U型针座平台，最多可放置6~12个探针座 平台升降：可快速升降10mm/可微调升降10mm 背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 温度范围：负80°到正400° 温控精度：0.01°/0.1°/1° 重量：约120千克/150千克 ◆ 光学系统： 显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 放大倍率：16X-200X/20X-4000X 移动行程：水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸，Z轴行程50.8mm 光源：外置LED环形光源/同轴光源 CCD：200万像素/500万像素/1200万像素 ◆ 定位器： X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm 移动精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 吸附方式：磁力吸附/真空吸附 线缆：同轴线/三轴线 漏电精度：10pA/100fA/10fA 固定探针：弹簧固定/管状固定 接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 针尖材质：钨钢/铍铜 ◆ 可选附件 加热台、显示器、转接头、射频测试配件、屏蔽箱、光学平台、镀金卡盘、光电测试配件、高压测试配件、显微镜快速倾仰装置、激光系统、探针卡夹具。

一、多功能手动探针台应用原理： （1）KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节。 （2）其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。 二、技术组织规格： 1．腔体材质：304不锈钢 2．上盖开启：铰链侧开 3．加热台材质：304不锈钢 4．内腔体尺寸：φ160x90mm 5．观察窗尺寸：Φ70mm 6．加热台尺寸：φ60mm 7．观察窗热台间距：75mm 8．加热台温度：-196-350℃ 9．加热台温控误差：±1℃ 10．真空度：机械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa 11．允许正压：≤0.1MPa 12．真空抽气口：KF25真空法兰 13．气体进气口：3mm-6mm卡套接头 14．电信号接头：SMA转BNCX4 15．电学性能：绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤500V漏电流≤-10次方安培 16．探针数量：4探针 17．探针材质：镀金钨针 18．探针尖：10μm 19．X轴移动行程：30mm±15mm 20．X轴控制精度：≤0.01mm 21．Y轴移动行程：13mm±12.5mm 22．Y轴控制精度：≤0.01mm 23．Z轴移动行程：13mm±12.5mm 24．Z轴控制精度：≤0.01mm 25．显微镜类别：物镜 26．物镜倍数：0.7-4.5倍 27．工作间距：90mm 28．相机：sony高清 29．像素：1920※1080像素 三、企业概括： （1）郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室及科学院校，科探仪器已经成为老师同学欢迎和信任的品牌之一。 （2）公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！ （3）目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉CVD供气系统等离子清洗机小型离子溅射仪小型蒸镀仪石英管真空封口多功能手动探针台半导体检测等。主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。 （4）公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

一、多功能手动探针台应用原理： （1）KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节。 （2）其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。 二、技术组织规格： 1．腔体材质：304不锈钢 2．上盖开启：铰链侧开 3．加热台材质：304不锈钢 4．内腔体尺寸：φ160x90mm 5．观察窗尺寸：Φ70mm 6．加热台尺寸：φ60mm 7．观察窗热台间距：75mm 8．加热台温度：-196-350℃ 9．加热台温控误差：±1℃ 10．真空度：机械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa 11．允许正压：≤0.1MPa 12．真空抽气口：KF25真空法兰 13．气体进气口：3mm-6mm卡套接头 14．电信号接头：SMA转BNCX4 15．电学性能：绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤500V漏电流≤-10次方安培 16．探针数量：4探针 17．探针材质：镀金钨针 18．探针尖：10μm 19．X轴移动行程：30mm±15mm 20．X轴控制精度：≤0.01mm 21．Y轴移动行程：13mm±12.5mm 22．Y轴控制精度：≤0.01mm 23．Z轴移动行程：13mm±12.5mm 24．Z轴控制精度：≤0.01mm 25．显微镜类别：物镜 26．物镜倍数：0.7-4.5倍 27．工作间距：90mm 28．相机：sony高清 29．像素：1920※1080像素 三、企业概括： （1）郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室及科学院校，科探仪器已经成为老师同学欢迎和信任的品牌之一。 （2）公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！ （3）目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉CVD供气系统等离子清洗机小型离子溅射仪小型蒸镀仪石英管真空封口多功能手动探针台半导体检测等。主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。 （4）公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

桌面式小型探针台 ， 高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户，可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度，从而减少设备的配置预算。对于真空度有更高要求的用户，可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配更高真空度的泵组，以满足测试要求。桌面式小型探针台 参数真空腔体类型加热型350℃ 或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃腔体材质304不锈钢腔体内尺寸φ90x40mm腔体上视窗尺寸Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）腔体抽气口KF16腔体进气口公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选腔体出气口公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质304不锈钢样品台尺寸26X26mm样品台-视窗 距离30mm（可选凹视窗间距15mm）样品台测温传感器A 级PT100铂电阻样品台温度室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃）样品台测温误差±0.2℃样品台变温速率高温10℃/min 低温5℃/min 最大值温控仪温度显示7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温）温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100热电阻 （可选 K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可定做6探针）探针材质镀金钨针探针尖10μm探针移动平台X轴移动行程12mm ±6mmX轴控制精度≤5μmY轴移动行程12mm ±6mmY轴控制精度≤5μmZ轴移动行程12mm ±6mmZ轴控制精度≤5μm数码显微镜显微镜类别物镜放大+电子放大显微镜放大倍数100倍显微镜工作间距50-150mm相机分辨率1080P 60帧 相机信号输出HDMI输出+USB输出LED可调光源LED光源显示屏5寸 屏幕一体机

除了我们众多的标准低温探针台产品线外，Lake Shore还可以与您合作设计定制探针台，以满足您的特定实验要求。有关定制产品的一些示例，请参见下文。联系我们讨论您的定制需求。设备型号：无液氦超导磁体探针台定制液氦/液氮冷却探针台√ 3T或5T垂直磁场√ 2 K至420 K（最大磁场降低至室温以上）√ 用于零场测量的可选6.5英寸直径样品座√ 样品阶段的振动小于1µ m√ 最多8个样品√ 高达3 kV电压测试√ ~3.5 K至475 K（675 K可选）√ 样品台处25 nm振动室温真空探针台微型可运送样品真空腔室√ 300 K至500 K（675 K可选）√ 直径2英寸的样品座，带标准探针臂和视觉选件Lake Shore还提供了一个微型、可运送样品的真空室，能够在通过大气环境运输的过程中保持样品处于真空状态。真空室可用于在真空下将晶圆片/衬底从具有特殊环境的手套箱转移到真空或低温微操作探针台（或转移到真空室），并在测试、测量或准备后返回手套箱。这种可运输的真空室在装载和卸载时保护晶片/基板免受大气污染。 与普通的真空Load Lock不同，该真空室具有以下特点和优点：√ 典型尺寸为直径50 mm、厚度25 mm寸√ 无需闸板阀√ 操作非常方便√ 低成本√ 在不增加低温探针台基础温度的情况下安装可运送样品支架

Alpha-Step D-600探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D及3D测量，以及翘曲度和应力的2D测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。 可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。 通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。主要功能 台阶高度：几纳米至1200μm 低触力：0.03至15mg 视频：500万像素高分辨率彩色摄像头 梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差 紧凑尺寸：最小占地面积的台式探针式轮廓仪 软件：用户友好的软件界面主要应用 台阶高度：2D台阶高度和3D台阶高度 纹理：2D粗糙度和波纹度 形式：2D翘曲和形状 应力：2D薄膜应力工业应用 大学，研究实验室和研究所 半导体和复合半导体 SIMS：二次离子质谱 LED：发光二极管 太阳能 MEMS：微电子机械系统 汽车 医疗设备 还有更多：请与我们联系并探讨您的要求

Alpha-Step D-500探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。 可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。 通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。主要功能 台阶高度：几纳米至1200μm 低触力：0.03至15mg 视频：500万像素高分辨率彩色摄像头 梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差 紧凑尺寸：最小占地面积的台式探针式轮廓仪 软件：用户友好的软件界面主要应用 台阶高度：2D台阶高度 纹理：2D粗糙度和波纹度 形式：2D翘曲和形状 应力：2D薄膜应力工业应用 大学，研究实验室和研究所 半导体和复合半导体 SIMS：二次离子质谱 LED：发光二极管 太阳能 MEMS：微电子机械系统 汽车 医疗设备 还有更多：请与我们联系并探讨您的要求

Lake Shore的TTPX探针台是一款经济的、入门级的探针台，能够进行各种非破坏性的标准电子器件测量。紧凑的桌面设计非常适合学术和实验室研究环境。 TTPX探针台通过使用液氦或液氮的连续流制冷系统提供高效的低温操作和控制，系统在4.2 K至475 K的温度范围内运行，可扩展低至3.2 K或高至20 K~675 K的范围。该系统可容纳直径达51 mm（2英寸）的完整和部分晶圆片。各种探针、测试电缆、样品支架和选件使其能够满足多种特定的测量应用。 TTPX探针台是Lake Shore为光电材料表征而设计的高端产品，它具有背面光学接入选件和兼容的光学样品座。I-V、C-V和微波测量是TTPX的标准选件。TTPX的多功能性和经济性使其成为世界各地许多研究人员的首选工具。 主要特征： √ 温度范围4.3 K~475 K √ 可选低温3.2 K，可选高温675 K √ 标准2英寸（51 mm）样品 √ 紧凑型桌面设计 √ 样品振动＜30 nm可选 √ 环形磁体选件最大0.19T √ 允许样品背光接入 设备参数： 温度范围 安装2个探针臂 基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K 安装4个探针臂 基础温度4.325 K，控制范围4.4 K ~ 475 K 安装6个探针臂 基础温度4.35 K，控制范围4.4 K ~ 475 K 安装PS-LT低温选件 基础温度3.2 K，控制范围3.3 K ~ 475 K 安装PS-HTSTAGE高温选件 基础温度20 K，控制范围20 K ~ 675 K 温度稳定性 液氦 液氮 基础温度 (无加热控制) ±15 mK ±20 mK 10 K ±50 mK — 10 K ~ 100 K ±20 mK ±50 mK 101 K ~ 250 K ±15 mK ±50 mK 251 K ~ 350 K ±15 mK ±100 mK 351 K ~ 675 K ±50 mK ±100 mK 真空 以TPS-FRG分子泵组为标准 抽真空时间 15 min (1 × 10-3 Torr) 室温 5 × 10-4 Torr 基础温度 1 × 10-5 Torr 最高温度 5 × 10-3 Torr 循环时间 总循环 2 h 抽真空 15 min 探针台冷却 45 min 探针台升温 60 min 样品 最大尺寸 51 mm(2英寸)标准 样品背光接口 5 mm (0.2 in) 直径 样品旋转 无 样品振动 ＜300 nm标准，＜30 nm选配PS-PVIS减震选件 探针配置 最大探针数 6 探针臂温度计 用于监视探针臂的温度 冷却探针支架 ＜35 K(样品在基础温度下) 探针支架 连接样品台热沉 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 DC/RF探针 电绝缘100GΩ用于低漏电流测量 微波探针 频率范围从DC到67GHz 光纤探针 可用于电光测量 落针范围 所有探针均可在直径为25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求，是Lake Shore功能最多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层，以实现优异的低温性能，其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。 由于采用了分流设计，样品可在防辐射屏冷却时保持温度，与高真空选件，最大限度地减少了冷却过程中的样品冷凝，这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外，CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm（2英寸）的晶圆（最多102 mm[4英寸]可选）。该系统使用液氦或液氮运行。主要特征： √ 温度范围4.3 K~475 K√ 可选低温1.9 K/1.6 K√ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102 mm）可定制√ 样品可面内±5°旋转√ 样品振动＜30 nm可选√ 超高真空选件√ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境√ 环形磁体选件最大0.19T设备参数：温度范围最多安装6个探针臂基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K安装PS-LT低温选件基础温度1.9 K，控制范围2 K ~ 475 K安装PS-VLT-CPX极低温选件基础温度1.6 K，控制范围1.65 K ~ 400 K安装PS-LL-CPX选件（Load Lock）基础温度10 K，控制范围10 K ~ 400 K温度稳定性液氦液氮基础温度 (无加热控制)±15 mK±20 mK10 K±50 mK—10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK101 K ~ 250 K±15 mK±50 mK251 K ~ 350 K±15 mK±100 mK351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK真空以TPS-FRG分子泵组为标准PS-HV-CPX高真空选件抽真空时间30 min (1 × 10-3 Torr)10 min (1 × 10-3 Torr)室温5 × 10-4 Torr5 × 10-6 Torr基础温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr最高温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr循环时间总循环3 h抽真空0.5 h探针台冷却1.25 h探针台升温2 hLoad Lock样品更换时间1小时（配有PS-LL-CPX选件）样品最大尺寸51 mm（2英寸）标准25.4 mm（1英寸）安装PS-VLT-CPX高真空选件25.4 mm（1英寸）安装PS-LL-CPX Load Lock选件样品背光接口不可选样品旋转±5°面内旋转样品振动＜300 nm标准，＜30 nm配有PS-PVIS减震选件探针配置最大探针数6探针臂温度计用于监视探针臂的温度冷却探针支架＜20 K(样品在基础温度下)探针支架连接样品台或4K防辐射屏热沉探针臂支架连接防辐射屏热沉DC/RF探针电绝缘100GΩ用于低漏电流测量微波探针频率范围从DC到67GHz光纤探针可用于电光测量落针范围所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

第1部分：系统及指标描述1、总体规格尺寸：650mmW*650mmD*1500mmH（含支架）自重：约80Kg2、结构与特点（1）真空腔体：真空度优于6×10-4Pa。降温后优于6×10-5Pa。留有2个用户法兰接口（可接入气体或者额外的电缆）（2）探针控制：标配4个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节精度优于10um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆（3）显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：1.4X~9X（使用1X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦（4）变温样品台：50mm直径。变温范围：80K~400K。控温稳定性优于±0.02K（5）可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤（6）系统直流漏电低于1pA3、含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪4、设备照片（因配置不同，照片仅供参考） 第2部分：真空低温探针台系统配置- 探针台真空腔主体（50mm，4探针臂，含流量调节杜瓦）- 铁制抗震支架- 进口分子泵机组（Edwards T-Station 85，含全量程真空规、隔震块）- 视频显微镜（含LED光源、调节支架、高清摄像头与高清显示器）- Triax低噪声线缆- 10um探针- 智能温控仪PicoFemto SmartT- 备用各规格螺丝（套）- 安装与现场培训以上就是关于真空低温探针台配置介绍，如果需要详细了解请致电：源文地址：

室温真空探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个室温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于室温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。 PSV系列室温真空探针台是一款专门针对室温真空电测环境开发的探针台，能够对2寸、4寸晶圆片进行重复非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量和RF测量。特点&bull 真空腔极限真空度能够达到5E-4 mbar，通过真空泵连接KF25法兰抽真空。&bull 样品座可以放置4英寸的晶圆样品，探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。探针臂可在X-Y-Z-R范围内进行四维调节，能满足4英寸范围内全部位置的扎针测试。&bull 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性。&bull 直流探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，使用4200实测漏电流小于100fA @1V。&bull 独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏。&bull 可选微波探针臂，频率可达到110GHz。型号分类：型号样品座尺寸PSV-22英寸PSV-44英寸参数和指标： 样品座样品座类型及材质：无氧铜接地样品座尺寸：2/4英寸可选配置：接地样品座、绝缘样品座、同轴样品座、三同轴样品座探针臂组件类型：直流探针臂数量：4个接头和线缆：三同轴接头漏电流：100fA@1V真空环境信号频率：直流~50MHz 交流匹配阻抗：50 Ω探针针尖直径：100μm铍铜探针位移行程：X-±35mm，Y-±12.5mm,Z-±6.5mm ，R-±10°读数精度：10μm光学系统显微镜放大倍数：10~180 倍分辨率：3μm视野范围：可到 22mm显微镜工作距离：90~100mm显微镜支架升级行程：65mm真空腔体材料：铝合金腔体容积：4/6L外形尺寸：800*800*600腔体入口尺寸：Ø 124mm可视窗口尺寸：50mm真空度：5E-4 torr真空抽口：KF25法兰真空腔体窗片：红外绝热材质防辐射屏窗片：石英材质充气阀接口：Ø 8 快拆接头预留接口：2个探针臂接口，2个电学接口减振支架（选件）尺寸（mm）：800×800×870；桌脚：有固定脚和滚轮可调换

XYZ三方向移动可调；磁性底座； 镀金探针holder；

主要应用薄膜／厚膜台阶的精准量测 蚀刻深度星测柔性薄膜表面粗糙度／平整度表征薄膜2D应力量测表面起伏度／弯曲度表面3D结构分析与表征(D-600) 其他多种表面分析功能KLA是全球半导体在线检测设备市场最大的供应商， 在半导体 数据存储 MEMS 太阳能 光电子以及其他领域中有着极高的市占率。 Alpha-Step"探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D及3D(D-600)轮廓扫描， 以及翘曲度和应力的2D测呈。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测呈，大垂直范围和低触力测量功能。探针测猛技术的 个优点是它是 种直接测猛， 与材料特性无关。 可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测噩。 通过测昼粗糙度和应力， 可以对工艺进行星化， 确定添加或去除的材料噩， 以及结构的任何变化。D-500/D-600提供最高12DOµ m垂直星测距离， 亚埃分辨率以及0.03-15毫克的针压控制范围。 具有广泛的应用范围， 包括从纳米级到毫米级的台阶高度， 高分辨率的粗糙度， 软材料和薄膜应力等， 使其能够服务于研发和生产环境中的各个行业。D-500配有740毫米的手动载台。 D-600配有200毫米的自动载台，有手动deskew对齐和多达7000个昼测位置的可编写序列软件功能。