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做了氧化锌单晶0.3,0.8,2.5,3.0度的掠角入射XRD,主要是为了同处理后的氧化锌薄膜做比较,发现单晶掠角入射XRD的图谱非常奇怪,百思不得其解,求助牛人解答1。为什么掠入射角逐渐增大,氧化锌单晶的峰的位置向高角度方向移动?2。为什么掠入射角小的时候,氧化锌单晶的峰分裂成几个峰;入射角大的时候,如3.0,峰就变得比较规整了?[~71980~]
我的薄膜基底是单晶硅的,膜层是GeSbTe,之前在普通的xrd上做出来的上想去清华做xrd掠射,打电话问那边的老师说需要自己确定一个掠射角,说是和膜层成分还有厚度有关我在网上查,有人说掠射角是越小越好,想问一下大家做薄膜试样掠射角一般是如何确定的呢?谢谢!
一般来说,用掠角X射线衍射可以得到薄膜样品的信息,但不同的入射角会不会影响X射线的探测深度?比如,要想探测薄膜内部500纳米附近的材料信息,用掠角X射线衍射入射角2度可不可以?