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靶头等离子射频磁控溅射仪

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靶头等离子射频磁控溅射仪相关的资讯

  • 超亿采购中磁控溅射占主流——半导体仪器设备中标市场盘点系列之PVD篇
    p style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 28px "薄膜沉积是集成电路制造过程中必不可少的环节,传统的薄膜沉积工艺主要有物理气相沉积(/spanspan style="text-indent: 28px "PVD/spanspan style="text-indent: 28px ")、化学气相沉积(/spanspan style="text-indent: 28px "CVD/spanspan style="text-indent: 28px ")等气相沉积工艺。物理气相沉积/spanspan style="text-indent: 28px "(Physical Vapour Deposition/spanspan style="text-indent: 28px ",/spanspan style="text-indent: 28px "PVD)/spanspan style="text-indent: 28px "技术是在真空条件下,采用物理方法,将材料源/spanspan style="text-indent: 28px "——/spanspan style="text-indent: 28px "固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。/span/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "物理气相沉积技术工艺过程简单,对环境改善,无污染,耗材少,成膜均匀致密,与基体的结合力强。该技术广泛应用于航空航天、电子、光学、机械、建筑、轻工、冶金、材料等领域,可制备具有耐磨、耐腐蚀、装饰、导电、绝缘、光导、压电、磁性、润滑、超导等特性的膜层。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "仪器信息网近期特对一年内的spanPVD/span设备的中标讯息整理分析,供广大仪器用户参考。span style="color: rgb(127, 127, 127) font-size: 14px "(注:本文搜集信息全部来源于网络公开招投标平台,不完全统计分析仅供读者参考。)/span/pp style="text-align: center text-indent: 0em "span style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 240px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/a2ad4457-7ade-41a5-b0c8-6b0bfc0f3001.jpg" title="1.png" alt="1.png" width="400" height="240" border="0" vspace="0"/ /span/pp style="text-align: center "strongspan style="font-family:' 微软雅黑' ,sans-serif color:#444444"各月中标量占比/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "span2019/span年span10/span月至span2020/span年span9/span月,根据统计数据,spanPVD/span设备的总中标为span218/span台,涉及金额上亿元。span2019/span年span10/span月至span12/span月,平均中标量约span25/span台每月。span2020/span上半年,由于疫情影响,span1/span月至span4/span月中标市场持续低迷,平均中标量约span5/span台每月,其中二月份无成交量。随着国内疫情稳定以及企业复产复工和高校复学的逐步推进,spanPVD/span设备中标市场活力回升,从二月份到七月份中标量不断增长,其中span7/span月spanPVD/span中标量达span27/span台。第三季度的spanPVD/span设备采购基本恢复正常,平均中标量约span24/span台每月。/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 252px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/98f0aae5-cd0b-4c37-a638-6e07e56be8b6.jpg" title="2.png" alt="2.png" width="400" height="252" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strongspan style="font-family:' 微软雅黑' ,sans-serif color:#444444"采购单位性质分布/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "从spanPVD/span设备的招标采购单位来看,高校是采购的主力军,采购量占比高达span68%/span,而企业和科研院所的采购量分别占比span12%/span和span19%/span。值得注意的是,企业和科研院所采购设备的单价较高,集中于高端设备,高校采购低端设备比例略高。企业方面的采购单位主要为电子产业,高校方面的采购单位以大学为主。/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 265px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/16cf7cf8-1078-4811-92cb-06cb57740068.jpg" title="3.png" alt="3.png" width="400" height="265" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strongspan style="font-family:' 微软雅黑' ,sans-serif color:#444444"招标单位地区分布/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "本次盘点,招标单位地区分布共涉及span25/span个省份、自治区及直辖市。广东、北京、浙江、江苏和湖北为spanPVD/span设备采购排名前span5/span的地区,其中广东的采购量最大,达span32/span台。在这些地区中,上海、浙江和江苏的spanPVD/span设备采购以高校为主力,北京以科研院所和高校采购为主力,只有湖北以企业采购为主。这主要是因为湖北武汉聚集了国内一批半导体企业,如武汉天马微电子有限公司和湖北长江新型显示产业创新中心有限公司,致力于打造“中国光谷”。/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 233px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/35dfbb36-d83c-4bcf-894d-3a587cdd8da8.jpg" title="4.png" alt="4.png" width="400" height="233" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strongspan style="font-family:' 微软雅黑' ,sans-serif color:#444444"不同类型spanPVD/span设备占比/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "spanPVD/span设备种类繁多,包含了磁控溅射、蒸发镀膜、真空镀膜等类型。根据搜集到的中标数据可知,磁控溅射占据了中标spanPVD/span设备的主流、高达span72%/span的spanPVD/span设备采购为磁控溅射。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多种材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。上世纪span 70 /span年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "本次spanPVD/span设备中标盘点,涉及品牌有泰科诺、spanKurt J. Lesker/span、创世威纳、spanMoorfield/span、spanLeica/span、合肥科晶、spanVEECO Instruments Inc./span、spanTeer Coatings Ltd./span、spanQUORUM/span、span style="font-size:15px"Syskey/spanspan style="font-size:15px"、spanApplied Materials ,lnc./span、spanULVACInc/span、株式会社昭和真空/span等。/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px"其中,各品牌比较受欢迎的产品型号有:/span/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/08db5967-4529-4f60-88a7-518f97a384c8.jpg" title="5.jpg" alt="5.jpg"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspana href="https://www.instrument.com.cn/netshow/sh102205/C242800.htm"span style="font-size:15px"span三靶射频磁控溅射镀膜仪/span/span/a/span/strong/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px"这是一款小型台式span3/span靶等离子溅射仪span(/span射频磁控型span)/span,配有三个span1/span英寸的磁控等离子溅射头和射频(spanRF/span)等离子电源,此款设备主要用于制作非导电薄膜,特别是一些氧化物薄膜。对于新型非导电薄膜的探索,它是一款廉价并且高效的实验帮手。这款span1/span英寸的射频溅射镀膜仪主要是用于在单晶基片上制备氧化物膜,所以并不需要太高的真空度。/span/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/c7c1521d-c5b9-4668-b178-66ac2ce7cd98.jpg" title="6.jpg" alt="6.jpg"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspana href="https://www.instrument.com.cn/netshow/sh101374/C191053.htm"span style="font-size:15px"span双靶磁控溅射仪/span/span/a/span/strong/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px" /spanspan style="font-size: 15px "双靶磁控溅射仪是沈阳科晶自主新研制开发的一款高真空镀膜设备,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。/spanspan style="font-size: 15px "VTC-600-2HD/spanspan style="font-size: 15px "双靶磁控溅射仪配备有两个靶枪,一个弱磁靶用于非导电材料的溅射镀膜,一个强磁靶用于铁磁性材料的溅射镀膜。与同类设备相比,且具有体积小便于操作的优点,且可使用的材料范围广,是一款实验室制备各类材料薄膜的理想设备。/span/pp style="text-indent: 0em text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/2ed2b9b6-bb58-4779-ab5e-aa97cdaaaa2b.jpg" title="7.jpg" alt="7.jpg"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspana href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH104149/C283599.htm"span style="font-size:15px"span科特莱思科热阻蒸发镀膜系统/span/span/a/span/strong/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px"这款仪器由预真空进样室(可选)前开门蒸发腔体、冷凝泵和干泵、多个热阻蒸发源或spanOLED/span低温蒸发源、span6”/span基片、基片旋转、基片偏压(可选)、离子源清洗基片(可选)、基片加热span1000/span度span(/span可选span)/span等部分构成。晶振沉积速率及膜厚控制可选择系统手动或自动控制等方式,能够沉积金属、半导体和绝缘材料,还可沉积多层膜及合金薄膜。/spanspan style="font-size: 15px " /span/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px"点击此处进入/spanspana href="https://www.instrument.com.cn/list/sort/241.shtml"span style="font-size:15px"span【span半导体行业专用仪器span】/span/span/span/span/a/spanspan style="font-size:15px"专场,获取更多产品信息。/span/pp style="text-indent: 29px text-align: center "span style="font-size:15px"更多资讯请扫描下方二维码,关注【材料说】/span/pp style="text-indent: 28px text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/2a630f7c-a2f9-4376-bd8c-911592840aa9.jpg" title="材料说.jpg" alt="材料说.jpg"//p
  • 先导集团拟建半导体设备产业园,生产磁控溅射、离子蚀刻等设备
    据广州南沙发布消息,6月28日,广州市南沙区在明珠湾大桥桥面举办重大项目集中签约动工竣工(投产)暨明珠湾大桥通车活动。76个项目于当天集中签约、动工竣工(投产),涵盖新能源汽车、芯片等先进制造产业。在当天的签约仪式上,10个重点项目分两批进行现场签约,总投资额160亿元,达产产值796亿元,其中包括湾区半导体高端设备智造基地。据介绍,湾区半导体高端设备智造基地是先导集团拟在南沙投资建现代化的半导体设备产业园,项目建成后拥有生产各类镀膜沉积设备、磁控溅射设备、离子蚀刻设备及交钥匙工程的综合生产能力。先导集团目前已掌握核心专利和工艺技术,项目产品将拥有100%自主产权,满足半导体产业链国产化替代的需求。广州南沙发布消息指出,目前,南沙正积极促进第三代半导体与新能源汽车产业的融合创新,成立第三代半导体创新中心,形成以晶科电子、芯粤能、爱思威为代表,以联晶智能、芯聚能为龙头的从晶圆生产到芯片设计、封装及应用的第三代半导体全产业链,为将来三千亿级新能源汽车产业集群发展提供“芯”能量。
  • 既能蒸发又能溅射,nanoPVD磁控溅射系统,各种制备方式自由切换!
    自从2020年Quantum Design中国子公司将英国Moorfield nanotechnology公司生产的台式高精度薄膜制备与加工系统引进国内市场以来受到了国内科研工作者的广泛关注。Moorfield Nanotechnology推出的台式设备体积小巧但性能可以和大型设备相媲美,并且自动化程度高、操作简单、性能可靠、配置灵活。设备所具有的这些优点正是现代实验所需要的。Moorfield Nanotechnology长期收集用户的需求并对产品线进行不断的优化丰富,以满足各种个性化的实验需求。近年来,越来越多的前沿研究中需要用到多种薄膜制备手段,而传统的设备往往只有一种薄膜制备功能,制备一个样品就需要先后在不同的设备中进行操作,并且容易对样品的性质造成破坏。针对这样的需求,Moorfield Nanotechnology公司全新推出了台式高精度溅射与热蒸发系统——nanoPVD ST15A。该系统可以集成金属/绝缘体溅射、金属热蒸发、有机物蒸发功能,在同一台设备中可以实现多种制备手段的组合,将薄膜制备带入了新的高度。系统通过7英寸触摸屏控制,自动化程度高,各种制备方式可以自由切换,甚至可以同时进行。用户可以通过灵活的制备手段在在同一台设备中制备不同的薄膜或者是复合薄膜。nanoPVD ST15A外观图设备技术特点☛ 台式设备配置灵活☛ 磁控溅射、热蒸发、有机物蒸发☛ 三种制备手段可灵活组合☛ 可制备金属、有机物、电介质薄膜☛ 多达3个流量计控制过程气体☛ 高精度自动气压控制选件☛ 全自动触屏操作系统☛ 基片大至4英寸☛ 可选基片加热☛ 本底真空5 × 10-7 mbar☛ 可选共溅射(蒸发)功能☛ 可选晶振膜厚标定功能☛ 定义保存多个制备程序☛ 全面的安全性设计☛ 超净间兼容☛ 稳定的性能左:nanoPVD ST15A 双蒸发源与磁控溅射组合,右:系统的样品台与挡板背景介绍Moorfield Nanotechnology是英国材料科学领域高性能仪器研发公司,成立25年来专注于高质量的薄膜生长与加工技术,拥有雄厚的技术实力,推出的多种高性能设备受到科研与工业领域的广泛好评。Moorfield公司近十年来与曼彻斯特大学诺奖技术团队紧密合作,推出的台式高精度薄膜制备与加工系列产品由于其体积小巧、性能优异、易于操作更是受到很多科研单位的赞誉。这些设备已经进入了欧洲多所科研院所的实验室,诸如曼彻斯特大学、剑桥大学、帝国理工学院、诺森比亚大学、巴斯大学、埃克塞特大学、哈德斯菲尔德大学、莱顿大学、亚森工业大学、西班牙光子科学研究所、英国国家物理实验室等单位都是Moorfield Nanotechnology的用户和长期合作者。诸多的用户与合作者让产品的性能和设计理念得到了高速发展,并迈入全球化的进程。Quantum Design中国子公司与Moorfield Nanotechnology正式合作,作为中国的代理和战略合作伙伴,为中国用户提供高性能的设备与优质的服务。除了台式设备之外我们还提供多种大型设备和定制服务。目前国内已有包括清华大学、西湖大学、大连理工大学、广东工业大学、中科院等多个单位采购了不同型号的Moorfield高性能薄膜制备与加工设备。产品链接1、台式高性能多功能PVD薄膜制备系列—nanoPVD
  • 300万!上海期智研究院计划采购磁控溅射仪
    一、项目基本情况项目编号:0705-2240 02012003项目名称:上海期智研究院磁控溅射仪采购预算金额:300.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):300.0000000 万元(人民币)采购需求:包件号项目数量简要技术规格备注1磁控溅射仪1套配置304L不锈钢超高真空不锈钢反应腔体,预留RHEED、RGA等接口,后续可按需升级。沉积腔室可升级集成9个2英寸超高真空溅射靶枪。预算:人民币300万元。 合同履行期限:交货期:收到预付款后8到10个月内。本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求:1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;2.落实政府采购政策需满足的资格要求:(1) 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织;(2) 投标人应为投标产品的制造商或其合法代理商,代理商投标应提供投标产品的制造商针对本项目的唯一授权;(3) 投标人须在投标截止期之前在国家商务部认可的机电产品招标投标电子交易平台(以下简称机电产品交易平台,网址为:http://www.chinabidding.com)上完成有效注册;(4) 本项目不允许联合体投标;(5) 本项目不允许分包和转包(代理商中标后提供由其投标文件中承诺的投标产品制造商生产的产品不视为转包)。 3.本项目的特定资格要求:(1) 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织;(2) 投标人应为投标产品的制造商或其合法代理商,代理商投标应提供投标产品的制造商针对本项目的唯一授权;(3) 投标人须在投标截止期之前在国家商务部认可的机电产品招标投标电子交易平台(以下简称机电产品交易平台,网址为:http://www.chinabidding.com)上完成有效注册;(4) 本项目不允许联合体投标;(5) 本项目不允许分包和转包(代理商中标后提供由其投标文件中承诺的投标产品制造商生产的产品不视为转包)。三、获取招标文件时间:2022年08月02日 至 2022年08月09日,每天上午8:30至11:00,下午13:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外)地点:上海国际招标有限公司电子采购平台方式:电子发售售价:¥500.0 元,本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间:2022年08月31日 09点30分(北京时间)开标时间:2022年08月31日 09点30分(北京时间)地点:上海国际招标有限公司电子采购平台五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜供应商首次注册应按要求提供《供应商注册专用授权函和承诺书》(可从供应商注册页面下载)和营业执照等扫描件,供应商应当提前准备,尽早办理,以免影响领购招标文件。已注册的潜在投标人可从网站采购公告栏的相应公告或者网站上方“SITC电子采购平台”中进入在线领购招标文件流程。若公告要求提供其他领购资料的,潜在投标人应当上传相关资料的原件扫描件,否则招标代理有权拒绝向其出售招标文件。无需提供领购资料的项目,潜在投标人提交领购申请并支付费用到账后即可下载电子招标文件。项目经理会将纸质招标文件快递给潜在投标人,电子发票将发至投标人登记的邮箱。七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。1.采购人信息名 称:上海期智研究院     地址:上海市徐汇区云锦路701号40-41层        联系方式:徐瑞;021-54652653      2.采购代理机构信息名 称:上海国际招标有限公司            地 址:中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼            联系方式:胡羡聪、刘洲烨;86-21-32173682            3.项目联系方式项目联系人:胡羡聪、刘洲烨电 话:  86-21-32173682
  • 240万!成都大学附属医院红外光谱仪、磁控溅射镀膜机、X-射线衍射仪采购项目
    项目编号:N5101012023000011项目名称:红外光谱仪、磁控溅射镀膜机、X-射线衍射仪采购项目采购方式:公开招标预算金额:2,400,000.00元采购需求:详见采购需求附件合同履行期限:采购包1:自合同签订生效后起10日内采购包2:自合同签订生效后起10日内采购包3:自合同签订生效后起10日内本项目是否接受联合体投标:采购包1:不接受联合体投标采购包2:不接受联合体投标采购包3:不接受联合体投标8a69c98f85909e000185957d38207018.docx
  • 260万!东南大学计划采购磁控溅射镀膜仪
    一、项目基本情况项目编号:0664-2260SUMEC787D项目名称:东南大学微纳系统国际创新中心磁控溅射镀膜仪采购预算金额:260.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):260.0000000 万元(人民币)采购需求:东南大学微纳系统国际创新中心采购磁控溅射镀膜仪 一套本项目接受进口产品。合同履行期限:合同签约后12个月到货安装调试合格。本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求:1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;2.落实政府采购政策需满足的资格要求:本项目若符合扶持福利企业、促进残疾人就业、支持中小微企业、支持监狱和戒毒企业等政策, 将落实相关政策。3.本项目的特定资格要求:(1)供应商必须是所投产品的制造商或代理商,若投标人不是投标产品制造商的,投标人必须具有下列授权文件之一(本条只适用于进口产品):a.供应商必须提供制造商出具的授权函正本; b.制造商的国内全资子公司出具的授权函正本; c.制造商对授权的区域代理商出具的授权函复印件及该区域代理商出具的授权函正本; d.投标人取得的产品代理证书复印件(正本备查)。4.拒绝下述供应商参加本次采购活动:(1)供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得参加同一合同项下的政府采购活动。(2)凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商,不得再参加本项目的采购活动。(3)供应商被“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)、“中国政府采购网"(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。三、获取招标文件时间:2023年01月05日 至 2023年01月11日,每天上午9:00至11:00,下午14:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外)地点:线上方式:在线获取售价:¥600.0 元,本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间:2023年01月29日 09点30分(北京时间)开标时间:2023年01月29日 09点30分(北京时间)地点:南京市长江路198号苏美达大厦辅楼303会议室,五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜申请人的资格要求:1、满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定:(1)具有独立承担民事责任的能力(提供法人或者其他组织的营业执照,自然人的身份证明);(2)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度(提供参加本次政府采购活动前半年内(至少一个月)的会计报表或者上一年度的财务审计报告,成立不足一年的提供开标前六个月内的银行资信证明原件。);(3)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力(根据项目需求提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料); (4)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录(提供参加本次政府采购活动前半年内(至少一个月)依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料);(5)参加政府采购活动前三年内,在经营活动中没有重大违法记录(提供参加本次政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明)(格式见后附件)。(6)法律、行政法规规定的其他条件。2、凭以下材料获取:(1)获取采购文件材料:1、营业执照【复印件加盖公章,扫描件】2、介绍信或者法定代表人授权书【原件加盖公章,扫描件,开具日期不得早于公告日期】3、委托代理人身份证【复印件加盖公章,扫描件】4、采购文件获取登记表word版【详见招标公告附件】(2)凡有意参加本次采购活动的供应商必须提供第(1)条规定证件登记并获取,不按规定获取的视为获取失败。3、我司提供了在线获取采购文件服务,操作流程如下:(1)、用微信关注我司公众号“苏美达达天下”。(2)、进入公众号-“在线服务”-“在线购标”。(3)、输入本项目的项目编号,举例:0664-2260SUMEC787D,点击查询。添加您所要获取的采购文件到购物车,输入投标单位名称、领购人信息以及发票信息,提交订单并确认微信支付,支付完成后将报名材料扫描件和登记表word版一并发至采购代理机构联系人:焦立阳,邮箱:jiaoly_work@163.com 即可,我们将会把采购文件电子版发送到领购人的邮箱。注意事项:(1)确保领购人邮箱真实准确无误,电子版采购文件将发送到此邮箱。(2)目前标书费发票支持开标现场领取或者顺丰到付。(3)“苏美达达天下”付款平台填写的投标单位名称必须与开票信息一致。如不一致投标人自行承担后果。请认真填写领购人信息及发票信息。(4)非采购代理机构或平台公司原因,发票一经开具不予退换。4、疫情防控期间注意事项(本项目采取在线流程):在线流程:因疫情原因,本项目进行线上开标,请供应商尽量提前准备投标文件,以便及时送达代理机构指定的地点。供应商按照不见面开标通知(附件1)的要求参加开标会议。如因投标文件未及时送至代理机构造成的后果由供应商自负。七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。1.采购人信息名称:东南大学地址:南京市玄武区四牌楼2号联系方式:技术咨询:微纳系统国际创新中心:贺老师 电话:025-83792632 分机号8806; 实验室与设备管理处:刘加彬 电话:025-83792693。2.采购代理机构信息名称:苏美达国际技术贸易有限公司地址:南京市长江路198号苏美达大厦联系方式:项目联系人:杨 扬、焦立阳 电话:025-84532455、025-845324523.项目联系方式项目联系人:杨 扬、焦立阳电话:025-84532455、025-84532452
  • 中科院推出RFG系列射频电源与自动匹配器
    中国科学院微电子所射频电源(RFGenerator)课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz),1985年研制成功500W-10KW电子管射频电源,获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。  从2010年开始在极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)项目资金支持下,研发晶体管射频电源(13.56MHz),2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源,获得第七届国际发明展览会银奖。  经过二十多年的发展完善,产品的性能不断提高,规格齐全,目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有:300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。  目前射频电源组分为三个部门:产品研发部,产品生产部,产品推广与售后服务部。  产品研发部:有专业研发人员7人,其中硕士及以上比例100%,具有教授级职称2人,具有博士学历3人,从清华大学,中科院电工所,中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人,目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。  产品生产部:有专业技术工程师17人,具有500平方专业射频电源生产与测试车间(可以进行ESD,EMC等测试),年生产能力达3000台套,库房常年备有库存,可保证给客户随时发货。  产品推广与售后服务部:有专业推广销售人员4人,专业售后服务人员2人,其中硕士及以上比例100%。  射频电源广泛应用于等离子体研究,集成电路工艺设备,太阳能光伏工业,LED制程,薄膜生长,射频感应加热,医疗领域的消毒与理疗美容,常压等离子消毒清洗等领域。  中国科学院微电子研究所射频电源组网址:www.rf-power.net
  • 质谱仪器研制专辑分享二——用于低质荷比离子传输的射频四极杆导向装置的研制
    p style="text-indent: 2em text-align: justify line-height: 1.5em "近日,《质谱学报》出版了由复旦大学杨芃原教授组织,全国多家质谱研制相关课题组参与撰写的“质谱仪器研制专辑”,专辑主要包含四极杆的离子光学和串联振荡技术 四极杆的导向装置、四极杆质量分辨自动调节技术、三重四极杆仪器开发平台以及三重四极杆质谱分析软件等硬软件技术 双线形离子阱间离子传输技术和静电轨道离子阱离子切向引入技术 小型飞行时间质谱和离子束诊断飞行时间质谱 复合离子源技术和激光后电离技术 以及集成了质谱技术的超宽波段光解离光谱系统和调控纳微尺度分子组装装置的研制等内容。/pp style="text-align: justify line-height: 1.5em "  仪器信息网授权对本专辑内容进行转载,以下为系列分享第二期,题为“strong用于低质荷比离子传输的射频四极杆导向装置的研制”/strong的文章,作者贺飞耀,通讯作者为四川大学段忆翔教授。/pp style="text-align: justify line-height: 1.5em "  段忆翔教授,博士生导师,现任四川大学分析仪器研究中心主任,是四川大学分析仪器研究中心的创始人。科技部重大科学仪器设备开发专项项目负责人。自2010年8月回国至今,开发研制了系列激光诱导击穿光谱仪,基于等离子体的便携式光谱仪,质子转移反应质谱仪,离子迁移谱仪等多种分析测试仪器,已申请专利共计80余项,发表SCI论文200余篇。作为项目负责人承担多个国家、省部各种项目。/pp style="text-align: justify line-height: 1.5em "  其课题组主要的研究方向有: 新型质谱离子源与质谱技术、激光光谱分析技术、新型生物传感器及光纤传感技术、创新型分析仪器的研发等。/pp style="text-align: justify line-height: 1.5em "  离子传输系统是质谱仪的重要组成部分,主要作用是将离子高效率地传输到质量分析器。文章介绍课题组研制了一种用于质子转移反应飞行时间质谱(PTR-TOF-MS)系统的射频四极杆离子导向装置,四极杆长80mm,杆半径2.6mm,内切圆半径2.25mm,该装置可针对性地实现低质荷比挥发性有机化合物(VOC)离子的聚焦传输。利用SIMION8.1离子光学模拟平台对装置的运行环境进行仿真,然后在自行搭建的测试平台上对装置的工作条件,如气压、频率和电压幅值进行测试。结果表明,仿真和测试结果具有较好的一致性,装置的工作气压范围较宽,在0.2-0.3Pa时的传输效率最高;当频率为3-4MHz,电压幅值(Vp-p)为500V左右时,对丙酮、甲苯等低质荷比VOCs( m/z 100)的传输效率接近76%,且离子束直径≤0.7mm。该装置结构简单、成本低、传输效率高,具有潜在的实用价值,有望应用于PTR-TOF MS系统。/pp style="text-align: justify line-height: 1.5em text-indent: 2em "以下为全文:/pp style="text-align: center"img style="" src="https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/55294ba3-ee3b-4a51-81b4-b3374bbcc574.jpg" title="2-1.png"//pp style="text-align: center"img style="" src="https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/356e51c7-46c5-4f46-8b8a-736f2d0b82f9.jpg" title="2-2.png"//pp style="text-align: center"img style="" src="https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/e67497d5-d30a-4397-bd61-d9d94f224799.jpg" title="2-3.png"//pp style="text-align: center"img style="" src="https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/9ab83c14-288b-4340-af4f-8777b1bfc213.jpg" title="2-4.png"//pp style="text-align: center"img style="" src="https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/81272aa9-5927-41fa-859d-e931819754da.jpg" title="2-5.png"//pp style="text-align: center"img style="" src="https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/2bb18278-c628-4143-a84c-4b8d6e5caf15.jpg" title="2-6.png"//pp style="text-align: center"img style="" src="https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/78d1ba65-cb14-452c-90a7-bcf34602c317.jpg" title="2-7.png"//pp style="text-align: right "span style="font-size: 18px "strong来源:《质谱学报》/strong/spanbr//p
  • 中科院最新推出RFG系列高端2000W射频电源(3U风冷系列)
    为满足半导体设备客户的需求,中科院射频电源组(www.rf-power.net)经过2个月的设计研发,于2013年3月正式推出固态RFG-2000高端型射频电源(3U风冷系列),此型号适用于大腔室刻蚀等半导体设备。此型号带有RS232/RS485/USB通讯协议,模拟口通讯,脉冲调制,相位同步与移相等功能。固态RFG-2000高端型射频电源(3U风冷系列)  中国科学院微电子所射频电源(RF Generator)课题组从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz),1985年研制成功500W-10KW电子管射频电源,获得“ 六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。  从2010年开始在极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)项目资金支持下,研发晶体管射频电源(13.56MHz),2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源,获得第七届国际发明展览会银奖。  经过二十多年的发展完善,产品的性能不断提高,规格齐全, 目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有:300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。  年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。  目前射频电源组,实行组长负责制,下设三个部门:产品研发部,产品生产部,产品推广与售后服务部。  产品研发部:实行部长负责制,有专业研发人员7人,其中硕士及以上比例100%,具有教授级职称2人,具有博士学历3人,从清华大学,中科院电工所,中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人,目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。  产品生产部:实行部长负责制,有专业技术工程师17人,具有500平方专业射频电源生产与测试车间(可以进行ESD,EMC等测试),年生产能力达3000台套,库房常年备有库存,可保证给客户随时发货。  产品推广与售后服务部:实行部长负责制,有专业推广销售人员4人,专业售后服务人员2人,其中硕士及以上比例100%。  射频电源广泛应用于等离子体研究,集成电路工艺设备,太阳能光伏工业,LED制程,薄膜生长,射频感应加热,医疗领域的消毒与理疗美容,常压等离子体消毒清洗等领域。  中国科学院微电子研究所射频电源组网址:www.rf-power.net
  • 一次性使用压力监测磁定位射频消融导管获批上市
    近日,国家药品监督管理局经审查,批准了上海微创电生理医疗科技股份有限公司生产的“一次性使用压力监测磁定位射频消融导管”创新产品注册申请。该产品由射频消融导管、连接尾线和尾线连接盒组成。其中导管主体包含高扭矩管身和可弯曲的头部,头部装有铂铱电极,1个头端电极和3个环形电极。该产品在医疗机构中与上海微创电生理医疗科技股份有限公司生产的三维心脏电生理标测系统和心脏射频消融仪配合使用,用于药物难治性、复发性、症状性阵发性房颤的治疗。该产品采用了基于应变片原理压力传感技术、磁场定位技术、头端多孔盐水灌注技术与三维电生理标测系统,可为房颤患者的治疗提供整体解决方案,是国产首个具有压力感知功能的心脏射频消融导管。与传统心脏类射频消融导管相比,该产品可以实时测量导管头端和心壁之间触点压力值,更好的辅助术者完成手术,有效防止术中导管与组织贴靠力过大造成蒸汽爆裂或过小引起消融不完全,可缩短医生学习曲线,达到更优的远期治疗成功率。该产品获批上市有利于该技术的临床应用推广和降低临床治疗费用,使更多房颤患者受益。药品监督管理部门将加强该产品上市后监管,保护患者用械安全。
  • 2012年我国医用射频与核磁仪器市场规模119亿元
    近年来我国各级医院都在努力通过改造医院软硬件条件,不断更新医疗诊断设备以提高提高医疗服务收入,因此对质量好、多功能的大中型器械医疗设备的需求也在持续增长。根据驰昂咨询(Sinotes)最新统计数据显示,2012年我国医用射频与核磁仪器市场规模达119.8亿元人民币,同比增长21.1%。   图1. 2007至2012年我国医用射频与核磁仪器市场规模与增长  射频与核磁仪器主要包括X射线设备、CT设备、MRI设备等。X射线设备由于市场普及度较高,在射频与核磁仪器市场上占有较大比重,而CT及MRI设备则是增长较快的射频与核磁仪器类别。   图2. 2012年我国医用射频与核磁仪器市场份额
  • 99万!复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目
    项目编号:0705-224002028082项目名称:复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额:99.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):97.0000000 万元(人民币)采购需求:1、招标条件项目概况:电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件2、招标内容:招标项目编号:0705-224002028082招标项目名称:电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器,进样系统可耐高盐样品预算金额:人民币99万元 最高限价:人民币97万元 合同履行期限:签订合同后4个月内合同履行期限:签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。
  • 99万!复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标
    项目编号:0705-224002028082项目名称:复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额:99.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):97.0000000 万元(人民币)采购需求:1、招标条件项目概况:电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件2、招标内容:招标项目编号:0705-224002028082招标项目名称:电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器,进样系统可耐高盐样品预算金额:人民币99万元 最高限价:人民币97万元 合同履行期限:签订合同后4个月内合同履行期限:签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。
  • 197万!复旦大学和生态环境部电感耦合等离子体发射光谱仪采购
    一、项目编号:项目名称:电感耦合等离子体质谱仪采购项目预算金额:98.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):98.0000000 万元(人民币)采购需求:1. 标的名称:包组1:电感耦合等离子体质谱仪采购项目2. 标的数量:包组1:1套3. 简要技术需求或服务要求:(1) 项目编号: CLF22SH01QY17(2) 最高限价: 人民币 ¥ 980,000.00元(3) 交货期限: 采购合同签订之日起至1个月内。(4) 本项目只允许采购本国产品;(5) 简要技术要求: a) 电感耦合等离子体质谱仪具备可搭配LC、自动进样器、全自动石墨消解系统、全自动微波消解系统等连用技术。 b) 可广泛应用于水质、土壤、大气颗粒物、固废、食品、动植物、食品接触材料、化妆品、半导体、高纯材料、矿产、石油化工、工业品、纺织等领域,且符合相关国家标准分析方法的要求。具体详见采购需求。 合同履行期限:自合同签订之日起至2023年10月前本项目( 不接受 )联合体投标。二、项目编号:0705-224002028052项目名称:复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额:99.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):97.0000000 万元(人民币)采购需求:1、招标条件项目概况:电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件2、招标内容:招标项目编号:0705-224002028052招标项目名称:电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器,频率大于40MHz预算金额:人民币99万元 最高限价:人民币97万元 合同履行期限:签订合同后4个月内合同履行期限:签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。
  • 159万!复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪等采购项目
    一、项目编号:0705-224002028052项目名称:复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额:99.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):97.0000000 万元(人民币)采购需求:1、招标条件项目概况:电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件2、招标内容:招标项目编号:0705-224002028052招标项目名称:电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器,频率大于40MHz预算金额:人民币99万元 最高限价:人民币97万元 合同履行期限:签订合同后4个月内合同履行期限:签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。二、项目编号:0705-224002028053项目名称:复旦大学激光粒度分析仪采购国际招标预算金额:60.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):58.0000000 万元(人民币)采购需求:1、招标条件项目概况:激光粒度分析仪采购资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件2、招标内容:招标项目编号:0705-224002028053招标项目名称:激光粒度分析仪采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1激光粒度分析仪1套测量速度:扫描速度≥10KHz预算金额:人民币60万元 最高限价:人民币58万元 合同履行期限:签订合同后3个月内合同履行期限:签订合同后3个月内本项目( 不接受 )联合体投标。
  • CIF发布CIF扫描电镜等离子清洗机新品
    CIF扫描电镜等离子清洗机CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计,并可自动切换,一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。产品特点u 双等离子清洗源u 一机多用u 高效低损伤技术参数产品型号CIF-SEM法兰接口KF40工作气压0.3-3Pa等离子电源13.56MHz射频电源,射频功率5-100W可调,自动匹配器气体控制标配双路50毫升/分气体质量流量控制器(MFC),精确测量自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响气源选择根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择真空控制美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计, 测量范围1E-5Torr真空保证真空计和电磁阀安全互锁操控方式7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面电源/功率220V,50/60Hz,300W可选配件可选氧气、氮气、氢气发生器, 氢气纯度﹥99.999%,输出流量0-300ml/min 质量保证二年质保,终身维护创新点:CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用双等离子清洗源设计,自动切换,一机多用,清洗快速高效、低等离子体轰击损伤,核心部件采用国际一流品牌,保证设备优异的质量和稳定性。CIF扫描电镜等离子清洗机
  • 行业应用 | 射频导纳物位技术如何监控火电厂原煤仓料位?
    火力发电占中国超过70%的发电量,全国遍布了成千上百座火电厂,火力发电厂的安全运营对于电力生产商至关重要。在火电厂中,AMETEK DREXELBROOK的物位产品在静电除尘器、输煤程控、气力输送领域以及汽轮机油箱液位监控、润滑油含水测量等领域有非常成熟的应用方案。在输煤程控领域,AMETEK DREXELBROOK的射频导纳物位开关(杆式或平板式)安装在原煤仓上进行低位、高位和高高位料位报警,DR6400/6500系列26/80GHZ雷达料位计安装在罐顶对煤位进行连续监控。下面图片均为AMETEK DREXELBROOK物位产品在现场安装使用的工况照:图1上图1位在原煤仓上的低位报警开关,该工况选用的射频导纳平板开关,开关的安装形式巧妙避免了落煤对传感器的损害,完美的实现了低位报警功能。图2上图2为原煤仓连续煤位测量,采用AMETEK DREXELBROOK DR6500系列80Ghz高频雷达,精确的为客户计算煤位,和开关一起,双重保证原煤仓安全运作。以上用实际应用图片体现了AMETEK DREXELBROOK产品在电厂多个场合的应用,除以上图片所显示实际应用案例之外,还有其他诸多场合,总体火力电厂应用总结如下:AMETEK DREXELBROOK射频导纳产品在国内的火电厂应用非常多,目前开关的使用量累计超过20000台,见证了中国火电厂的发展历程,也维护了火电厂的安全运行。
  • 中科院RFG系列固态射频电源荣获“中国移动杯”暨第七届北京发明创新大赛金奖
    2013年5月20日,“中国移动杯”暨第七届北京发明创新大赛颁奖仪式在北京中国农业展览馆举行,微电子所受邀参加的成果“固态射频电源系统”获大赛组委会颁发的发明创新奖“金奖”。  此次大赛的颁奖仪式是在5月19日开幕的全国科技活动周暨北京科技周举办期间进行的。大赛以“弘扬北京精神科技改变生活”为主题,面向国内外征集科技发明项目。通过历时五个多月的参赛报名、网上公示和专家评审,经初赛、复赛和决赛三个阶段,大赛组委会最终在参赛的1272个项目中评选出特等奖1 项,金奖29项,银奖70项,铜奖100项,微电子所“固态射频电源系统” 和“45-22nm集成式光学临界尺度(OCD)在线检测设备”两项成果分获大赛组委会颁发的发明创新奖“金奖”和“铜奖”。  中国科学院微电子研究所射频电源课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz),1985年研制成功,获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。  从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)资金支持,研发晶体管射频电源,2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(13.56MHz),获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。  经过二十多年的发展完善,产品的性能不断提高,规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。  目前射频电源组分为三个部门:产品研发部,产品生产部,产品推广与售后服务部。  产品研发部:有专业研发人员7人,其中硕士及以上比例100%,具有教授级职称2人,具有博士学历3人,从清华大学,中科院电工所,中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人,目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。  产品生产部:有专业技术工程师17人,具有500平方专业射频电源生产与测试车间(可以进行ESD,EMC等测试),年生产能力达3000台套。  产品推广与售后服务部:有专业推广销售人员4人,专业售后服务人员2人,其中硕士及以上比例100%。  目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有:300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。  射频电源广泛应用于等离子体研究,集成电路工艺设备,太阳能光伏工业,LED制程,薄膜生长,感应加热,医疗领域的消毒与理疗,等离子清洗等领域。  产品现已售往北京、上海、杭州、苏州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的几十所高校、科研单位及半导体设备厂等高技术公司,得到用户的一致好评。  中科院射频电源组网址:www.rf-power.net
  • 将实验设备制成便携工具 杭电学生自研射频微波网络测量仪
    第八届浙江省国际“互联网+”大学生创新创业大赛决赛中获得“金钥匙奖”颁奖。 将一台手掌大小的长方形仪表盒子线头接上一段射频电路,仪表显示屏上随即出现电波图形… … 8月上旬,在杭州电子科技大学通信工程学院科协创新实验室内,一款由该院学生团队联合研发的便携式矢量网络分析仪进行应用演示。 “如果电波图形和被测试电路板上已绘制好的电波图形吻合,说明该射频电路发射性能优良,反之则说明该电路传输信号有问题。”该设备核心研发人员、杭电通信学院大三学生江逸宁介绍说,团队凭此在7月底落幕的第八届浙江省国际“互联网+”大学生创新创业大赛决赛中获得“金钥匙奖”,从而拿到这一赛事全国总决赛的入场券。 记者了解到,这一分析仪可用于检查信号发射状况,分析出基站天线、电缆接触状况等影响网络的变量,并进行修复,从而恢复基站正常功能。 射频电路的网络测试,具有广泛应用场景。比如当前在高校开展广泛的电子信息类学科竞赛,普遍要用到无线信号传递。通常智能车的通信模块、航模比赛的遥控装置等就要用到射频电路发射信号。 “在电子竞赛中深感现有市场上网络测试仪器使用起来不便或太贵,所以我们想自己研发性价比高、使用方便的网络测试仪,目标是使其成为射频微波领域的‘万用表’。”该项目主要负责人、杭电通信学院大三学生王来龙说。 “实验室用到的电子网络测试仪、基站维护领域的驻波仪等设备,通常价格不菲以及被国外垄断。”该团队指导老师、杭电通信学院教授张福洪说,他们鼓励学生研发推出具备类似功能甚至可实现部分替代的仪器。 据介绍,这一分析仪由学生团队通过自主设计核心电路优化仪器电路结构、使用国产全自主芯片以及提升机器学习方法研制而成,基于团队成员的快速锁相环、数模转换器等专利,使频率测量的效率大为提高,同时降低了生产成本。 “同学们从实践出发,学以致用,促进电子测试仪器的国有化,推动测量仪器进一步发展,是一次大胆而创新的尝试。”中国电子学会嵌入式系统专家委员会委员严义教授对此表示。
  • 新到货18年底仪器安捷伦ICP-OES 5110等离子体原子发射光谱仪
    新到货安捷伦ICP-OES 5110电感耦合等离子体原子发射光谱仪,时间为18年底仪器,准新机,基本没用,有兴趣的欢迎来谱标科技实验室看机试机。Agilent 5110同步垂直双向观测(SVDV) ICP-OES将速度与分析性能完美结合: 卓越的分析速度●独特的智能光谱组合(DSC)技术可实现同步水平和垂直信号测量,在zui低气体消耗条件下,实现zui快速的ICP-OES分析测量●高级阀系统(AVS)可降低每次分析成本并使分析效率提高一倍以上●一次读数完成高精度的同步双向全谱测量.无等待延时●VistaChipll 检测器全密封设计.无需气体吹扫,无需预热,即开即用,节省气体消耗 强大的性能●垂直炬管设计.适用于各种复杂样品类型一 无论高基质样品或挥发性有机溶剂均可轻松应对●通过分析过程中精准气泡注入控制,AVS能够有效缩短样品提升、稳定时间和清洗延时,从而实现高精度的分析●专利的冷锥接口(CCI)技术,zui大限度减少干扰.提升仪器性能●gao效稳定的RF射频发生器系统,采用固态电源的专利技术设计.确保仪器的高精度运行及优异的长期稳定性 卓越的简便易用性●InelliQuant模式使样品中的所有元素一目了然,大大简化了方法开发过程并实现了快速样品筛选●直观的ICP Expert 软件和专利的DSC技术.保证方法开发更为简洁流畅●完全集成式切换阀与即插即用式炬管极大程度减少了培训需求.确保实现快速启动●智能诊断功能简化了故障排除流程. 从而大大延长仪器正常运行时间 灵活的配置Agilent 5110提供三种配置:●同步垂直双向观测(SVDV)一zui高速的分析测量,zui低的气体消耗●垂直双向观测(VDV)一更高的样品测量通量,更高的分析效率.并可现场升级为SVDV zui高配置模式●垂直观测(RV)一高性能的垂直观测设计,适用于高产率,复杂基质样品的实验室需求 应用:5110 ICP-OES分析碳酸锂中14种杂质元素(K、 Na、Al、 Ca、Cd、Cu、Fe、Mg、Mn、 Ni、Pb、S、Zn和Si),可在1 min内完成对所有元素的准确测量。具有良好的准确度和稳定性,可有效应用于大规模碳酸锂纯度鉴定工作中。
  • 用户培训班预告——HORIBA射频辉光放电光谱仪(GD-OES)的应用(上海)
    尊敬的用户: 您好!感谢您一直以来对HORIBA的支持和关注。 射频辉光放光谱仪(GD-OES)是一款适用于材料表面分析和镀层界面元素分析的工具,它正被广泛应用于半导体、陶瓷/玻璃、镀膜钢铁、薄膜和粉末等样品的测试。 为了帮助HORIBA各系列GD-OES的用户提高仪器操作水平以及理论水平,以充分发挥仪器的性能,我公司将举办为期三天的GD-OES应用技术培训班。欢迎有培训需要的用户积报名。 主 办:HORIBA Scientific(Jobin Yvon光谱技术)培训时间:2013年11月20 日-22日培训地点:HORIBA Scientific上海应用中心 (上海市天山西路1068号联强国际广场A栋1层D单元,近2号线淞虹路地铁站)培训对象:HORIBA射频辉光放电光谱仪用户主 讲:Celia Olivero(法国应用实验室经理)、余卫华、武艳红(应用工程师)培训安排: 培训费用:1、1600元/人(保修期内可提供2人/次免费培训),请于11月12日前将费用转至HORIBA公司账户并予以确认。2、培训期间,我们将为您免费提供午餐,住宿、差旅等费用需贵单位自理。报名联系:联 系 人:Ms. Shen (沈小姐) 电 话:021-62896060-161 邮 箱:yilei.shen@horiba.com报名截止:2013年11月12日账户信息:公司名称:堀场(中国)贸易有限公司开户行:三菱东京日联银行(中国)有限公司上海分行账号:404029-00000308854(人民币) 关注我们:邮箱:info-sci.cn@horiba.com新浪官方微博:HORIBA Scientific微信二维码:
  • 谱育科技又一“国家重仪专项”通过验收:自激式全固态ICP射频源实现国产化
    p style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  2020年11月18日,国家重大仪器设备开发专项——“自激式全固态ICP射频源研制及产业化”(2016YFF0100200)综合验收会议在北京举行。该项目自2016年立项,致力于推动我国自激式全固态ICP射频源国产化进程。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/a3c2aaa3-acc8-4702-84f3-925895b44734.jpg" title="1111.jpg" alt="1111.jpg"//pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  验收会议由科技部科技评估中心主持,以刘淑芬教授为组长的综合验收专家组分别对项目验收材料、项目目标完成情况、项目考核指标完成情况、项目成果应用推广和发挥作用、工程化与产业化情况等进行了验收。/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  经过现场听取汇报、资料审查和质询,专家组就项目相关情况进行深入讨论,一致认为该项目整体符合验收要求,研究成果达到任务书中各项考核指标,完成工程化,实现了产业化,项目顺利通过综合验收。/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  strong项目背景/strong/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  本项目由聚光科技(杭州)股份有限公司牵头,旗下自孵化子公司杭州谱育科技发展有限公司(以下简称“谱育科技”)研发团队承担此次项目的仪器研发及产业化工作,该项目参与单位还有中国科学院微电子研究所、中国地质大学(武汉)、中国科学院上海硅酸盐研究所、北京海光仪器有限公司、北京普析通用仪器有限责任公司等。/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  目前,元素检测及元素检测设备的需求在不断增大 国际上ICP-MS、ICP-OES技术也已比较成熟,在核心部件ICP射频源的研究上正往自激式全固态射频电源技术方向发展。/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  国产相关仪器正处于起步阶段,在当前国际采用的主流核心技术上陷入瓶颈,竞争力较弱,导致国内高端的ICP-OES和ICP-MS设备基本依靠进口,面临进口设备价格昂贵、维护费用高、周期长等问题,亟待进一步改进以提升竞争力,实现国产化!/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/0a967953-509f-4428-84c7-5971722f92bc.jpg" title="222222.jpg" alt="222222.jpg"//pp style="text-align: center line-height: 1.75em text-indent: 0em "  具有自主知识产权的自激式全固态ICP射频源/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  本项目研制的具有我国自主知识产权的ICP射频源,将促进国产ICP-OES和ICP-MS在技术上成熟,达到国外同等先进水平 同时实现国产化应用、本土化维护和成本降低,实现替代进口。这不仅能促进仪器企业降低成本的同时提高产品竞争力,也帮助提高国产ICP类分析仪器在整个元素检测仪器市场竞争力。/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  strong课题内容/strong/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  1、本项目重点开展射频源功率放大及锁相环设计、高精度的阻抗匹配网络设计、ICP射频源的控制系统设计、射频功率检测装置等研究,攻克关键技术 基于ICP用射频电源研制、ICP射频源工程化开发,完成设备开发。/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  2、本项目基于ICP射频源,研制开发台式、在线、车载的ICP-OES和ICP-MS, 针对水、土壤环境质量检测、水质重金属污染突发事件和食品重金属检测领域等行业的需求,建立适应国内的成熟应用模式,并建立年产能500台套ICP射频源的生产线。/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  strong应用成果/strong/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  研发团队经过多年技术攻关与创新,进行技术研究、设备开发并完成应用,实现产业化。/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " strong 技术研究/strong/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  完成基于并行推挽的射频功率放大技术/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  完成基于数值寻优的自激式阻抗网络匹配/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  完成非定值阻抗下功率测量/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  完成基于复杂基质下快速匹配/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  … … /pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  strong产品开发/strong/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  完成具有自主知识产权的/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  自激式全固态ICP射频源仪器开发/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  strong应用示范及产业化/strong/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  在3个厂家4个型号国产ICP-OES、ICP-MS上进行应用/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  在环境水样、高盐、有机、地矿等样品进行应用验证并通过/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  形成1个自激式全固态ICP射频源的生产基地/pp style="text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "  年产能力达到500台套以上,已经形成批量生产/pp style="text-align: center"img style="width: 600px height: 415px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/b1e7d576-e68c-450b-bccc-b2095fa79713.jpg" title="44444444.jpg" width="600" height="415" border="0" vspace="0" alt="44444444.jpg"//pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 200px height: 200px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/71878879-5ea9-4a17-b8cc-4552ea90ea61.jpg" title="7000.jpg" alt="7000.jpg" width="200" height="200" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C319154.htm" target="_blank"span style="color: rgb(0, 112, 192) "strongspan style="text-align: center "谱育科技SUPEC 7000 电感耦合等离子体质谱仪/span/strong/span/a/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/55962fdc-ab82-4425-a5c5-f67a337f5762.jpg" title="6500.jpg" alt="6500.jpg"//pp style="text-align: center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C391682.htm" target="_blank"span style="color: rgb(0, 112, 192) "strongspan style="text-align: center "聚光科技 EXPEC 6500新一代全谱ICP-OES/span/strong/span/a/p
  • Nature|潘建伟、白春礼团队合作,首次实现利用射频场相干合成三原子分子
    中国科学技术大学潘建伟、赵博等与中国科学院化学所白春礼小组合作,在超冷原子双原子分子混合气中首次实现三原子分子的相干合成。在该研究中,他们在钾原子和钠钾基态分子的Feshbach共振附近利用射频场将原子和双原子分子相干地合成了超冷三原子分子,向基于超冷原子分子的量子模拟和超冷量子化学的研究迈出了重要一步。2月10日,这一重要研究成果发表在国际权威学术期刊《自然》杂志上。图:从超冷原子和双原子分子混合气中利用射频场合成三原子分子的示意图量子计算和量子模拟具有强大的并行计算和模拟能力,不仅能够解决经典计算机无法处理的计算难题,还能有效揭示复杂物理系统的规律,从而为新能源开发、新材料设计等提供指导。量子计算研究的终极目标是构建通用型量子计算机,但实现这一目标需要制备大规模的量子纠缠并进行容错计算,仍然需要长期不懈的努力。当前量子计算的短期目标是发展专用型量子计算机,即专用量子模拟机,它能够在某些特定的问题上解决现有经典计算机无法解决的问题。例如,超冷原子分子量子模拟,利用高度可控的超冷量子气体来模拟复杂的难于计算的物理系统,可以对复杂系统进行精确的全方位的研究,因而在化学反应和新型材料设计中具有广泛的应用前景。超冷分子将为实现量子计算打开新的思路,并为量子模拟提供理想平台。但由于分子内部的振动转动能级非常复杂,通过直接冷却的方法来制备超冷分子非常困难。超冷原子技术的发展为制备超冷分子提供了一条新的途径。人们可以绕开直接冷却分子的困难,从超冷原子气中利用激光、电磁场等来合成分子。利用光从原子气中合成分子的研究可以追溯到上世纪八十年代。激光冷却原子技术的出现使得光合成双原子分子得以快速的发展,并在高精度光谱测量中取得了广泛的应用。在光合成双原子分子取得成功之后,人们开始思考能否利用量子调控技术从原子和双原子分子的混合气中合成三原子分子。在2006年发表的综述文章[Rev. Mod. Phys. 78,483, (2006)]中,美国国家标准局的Paul Julienne教授等人回顾了光合成双原子分子过去二十年的发展历史,并指出从原子和双原子分子的混合气中合成三原子分子是未来合成分子领域的一个重要研究方向。由于光合成的双原子分子气存在密度低、温度高等缺点,一直无法用来研究三原子分子的合成。后来随着超冷原子气中Feshbach共振技术的发展,利用磁场或射频场合成分子成为制备超冷双原子分子的主要技术手段。从超冷原子中制备的双原子分子具有相空间密度高、温度低等优点,并且可以用激光将其相干地转移到振动转动的基态。自2008年美国科学院院士Deborah Jin和叶军的联合实验小组制备了铷钾超冷基态分子以来,多种碱金属原子的双原子分子先后在其他实验室中被制备出来,并被广泛地应用于超冷化学和量子模拟的研究中。超冷基态分子的成功制备重新唤起了人们对合成三原子分子的研究兴趣。2015年,法国国家科学研究中心的Olivier Dulieu教授等在理论上分析了从原子双原子分子混合气中合成三原子分子的可行性 [Phys. Rev. Lett. 115, 073201 (2015)]。 但由于三原子分子的相互作用极其复杂,无法精确计算,因而理论上无法预测三原子分子的束缚态的能量以及散射态和束缚态的耦合强度。中国科学技术大学的研究小组在2019年首次观测到超低温下原子和双原子分子的Feshbach共振,相关成果发表于《科学》杂志 [Science 363, 261 (2019)]。在Feshbach共振附近,三原子分子束缚态的能量和散射态的能量趋于一致,同时散射态和束缚态之间的耦合被大幅度地共振增强。原子分子Feshbach共振的成功观测为合成三原子分子提供了新的机遇。但由于原子和分子的Feshbach共振非常复杂,理论上难以理解,能否和如何利用Feshbach共振来合成三原子分子依然是实验上的巨大挑战。在该项研究中,中国科学技术大学的研究小组和中科院化学所的研究小组合作,首次成功实现了利用射频场相干合成三原子分子。在实验中,他们从接近绝对零度的超冷原子混合气出发,制备了处于单一超精细态的钠钾基态分子。在钾原子和钠钾分子的Feshbach共振附近,通过射频场将原子分子的散射态和三原子分子的束缚态耦合在一起。他们成功地在钠钾分子的射频损失谱上观测到了射频合成三原子分子的信号,并测量了Feshbach共振附近三原子分子的束缚能。这一工作为量子模拟和超冷化学的研究开辟了一条新的道路。超冷三原子分子是模拟量子力学下三体问题的理想研究平台。三体问题极其复杂,即使经典的三体问题由于存在混沌效应也无法精确求解。在量子力学的约束下,三体问题变得更加难以捉摸。如何理解和描述量子力学下的三体问题一直都是少体物理中的一个重要难题。此外,超冷三原子分子可以用来实现超高精度的光谱测量,这为刻画复杂的三体相互作用势能面提供了重要的基准。由于计算势能面需要高精度地求解多电子薛定谔方程,超冷三原子分子的势能面也为量子化学中的电子结构问题提供了重要的信息。该研究工作得到了科技部、自然科学基金委、中科院、安徽省、上海市等单位的支持。论文链接: https://www.nature.com/articles/s41586-021-04297-2
  • 75万!南平市产品质量检验所采购电感耦合等离子体发射光谱仪等设备
    项目概况 受南平市产品质量检验所委托,福建晖源工程咨询有限公司对[350700]fjhy[GK]2022001、南平市产品质量检验所省级建盏产品质量检验中心电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目货物类采购项目组织公开招标,现欢迎国内合格的供应商前来参加。 南平市产品质量检验所省级建盏产品质量检验中心电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目货物类采购项目的潜在投标人应在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目获取采购文件,并于2022-03-25 09:30(北京时间)前递交投标文件。一、项目基本情况 项目编号:[350700]fjhy[GK]2022001 项目名称:南平市产品质量检验所省级建盏产品质量检验中心电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目货物类采购项目 采购方式:公开招标 预算金额:750000元 包1: 合同包预算金额:750000元 投标保证金:7500元 采购需求:(包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等)品目号品目编码及品目名称采购标的数量(单位)允许进口简要需求或要求品目预算(元)1-1A02100404-光学式分析仪器电感耦合等离子体发射光谱仪1(套)否2技术参数部分2.1 光学系统▲2.1.1:整个中阶梯光学系统无任何移动部件,所有光学元件均密封于35℃恒温光室中,保证最低的检出限和优异的长期稳定运行。2.1.2:中阶梯光栅+CaF2棱镜交叉色散多色器系统,波长连续覆盖167?785nm,无任何波长断点。■2.1.3:光学系统需让每一个波长在通过这个独特的自由曲面镜时,让每一个波长都很完美的形成聚焦,使检测器边缘波长的边缘效应影响降到最低。2.1.4:测定方式:紫外和可见区由同一狭缝,同一检测器同时测定,一次分析测定全谱覆盖,真正的全谱直读,一个样品选择任意多的元素波长,测试时间都不变;■2.1.5: 波长校正: 采用氩的发射谱线自动进行周期性的波长校准, 保证分析波长的正确性,没有汞灯或氖灯校准的预热和耗材问题。每半年或需要的场合可采用15种元素标准混合溶液进行波长例行校核。2.1.6:吹扫型光室:对189nm以下波长测定,可选择氩气或者氮气进行光路吹扫。吹扫流量:标准的光室吹扫气体流量为0.7L/Min,测定低紫外波长谱线时,电脑控制,增加3L/min 的气体流量,所有光室吹扫气体流量均由质量流量计(MFC)控制。■2.1.7:分辨率:光学分辨率<0.007nm (在As 188.980nm 处实际测量半峰宽) 。2.1.8:杂散光:≤2.0mg/L(10000mg/L Ca溶液在As 188.980nm处测定)。2.2 检测器 2.2.1:需要检测器覆盖从167-785nm整个波长范围;整个波长范围内所有元素一次测定一次读出。 2.2.2:紫外区平均量子化效率:独特的背投照射技术,使平均量子化效率≥75%,检测器表面无任何光转换化学涂膜。 ▲2.2.3:检测器冷却:半导体制冷,-40℃,暗电流和背景噪音低。检测器充氮密封,无需气体吹扫,开机即可点火,提高分析效率,降低气体消耗。 2.2.4: 防饱和溢出:针对每一个像素进行防饱和溢出保护,彻底消除谱线饱和溢出问题。2.2.5:积分方式:智能化积分,同时以最佳信噪比获得高强度信号和弱信号,使高低含量元素可以同时检测。2.3 射频发生系统 ▲2.3.1: 自激式27.12MHz固态发生器,耦合效率大于75%。2.3.2: 功率范围:700?1500W,10W增量,连续可调,计算机控制进行功率调节。■2.3.3:高效强劲的自激式固态发生器轻松应对从无机到有机各种复杂基体的样品,快速的功率反馈速度确保样品基体变化时仍然获得稳定准确的结果。2.4 观测方式★2.4.1:垂直火炬双向观测方式;更快分析效率;更高样品分析通量▲2.4.2:尾焰去除:需要有能够高效去尾焰CCI冷锥接口。检出限较垂直观测提高5-10倍,具有高的分析灵敏度。2.4.3: 冷锥接口无切割气体的消耗,降低运行成本。2.4.4: 观测位置调节:等离子体观测位置由计算机控制。 2.5 样品导入系统■2.5.1:进样系统:标配双通道玻璃旋流雾化室和玻璃同心雾化器,其它多种类型的雾化器和雾化室可选。■2.5.2:炬管:标配一体化炬管,快速插拔式炬管,无需气体管路连接和炬管准直定位,便于安装和维护,其它多种类型的炬管可选,同时可配置中心管为陶瓷或者石英的可拆卸式炬管。▲2.5.3:气体控制:所有等离子体相关气体均为质量流量计(MFC)控制,软件在线调节:等离子体气:8?20L/min,增量0.1L/min;辅助气:0?2.0L/min,增量0.01L/min;雾化气0-1.5L/min,增量0.01L/min;补偿气(用于可选附件):0?2.0L/min,增量0.01L/min; ▲2.5.4:蠕动泵:5通道蠕动泵,转速0-80rpm可调,全计算机控制,具有快泵功能。2.5.5:雾化器压力可以由用户自己设定阈值,当压力低于阈值下限或超过阈值上限的时候,软件会弹框提示雾化器压力异常,需要用户去检查进样系统。3、软件性能:3.1:软件需易学易用,可快速进行方法的开发、顺序的编辑。 3.2:计算机全自动化控制,仪器设置和参数选择可自动完成,包括气体流量、功率、点火、诊断等。具有自动安全连锁系统。3.3: 背景校正功能:包含传统的单边、双边离峰法背景校正技术,同时,具备多点自动拟合法(FITTED)背景校正技术。 ▲3.4: 谱图自动解析功能:快速自动谱线拟合技术(FACT),在线校正基体谱线干扰。3.5: 多重检量限(Multical)功能:根据不同的元素含量范围选择不同的谱线,使仪器能够同时测定高低含量的元素,使仪器的动态线性范围得到扩展。3.6:提供多种光谱分析方法:如标准比较法、内标法、干扰元素校正系数法(IEC)、标准加入曲线法等,丰富了用户多种分析研究的手段。 ■3.7:软件系统需内置计数器,能够在系统需要维护时为用户提供指导,可以在方便的时间安排维护,而不必中断工作进程,最重要的是,它能够帮助您最大程度延长仪器正常运行时间。3.8:数据存取:所有结果、方法和顺序可以在同一工作页面一起保存和读取;谱图、结果和标准曲线同时显示;实时图形显示光谱信号、结果和曲线谱图;快速运行过往数据的编辑。3.9:数据输出:提供多种报告打印和数据输出格式。 3.10: 需有详尽的中文在线帮助功能和操作、维护录像。 3.11:远程诊断功能:远程诊断—Web连接使远端的技术服务部门和应用支持部门能够对仪器实现完全远程控制和维修诊断。3.12:符合电子签名管理的21 CFR Part 11管理法规。 3.13:需实现快速全谱扫描,对样品中所有元素进行定性和半定量分析,并且可以设定阈值,实现样品的快速筛选,并且可以跟样品定量分析在同一个工作列表中,实现每一个样品的全元素监测。▲3.14: 需有强大的开发工具,能够针对不同的基体样品,快速的实现全元素扫描,实时反馈,根据不同基体样品和不同元素波长的各种干扰判断,自动选择最佳元素波长,可以把选定的波长直接导入定量工作表开始定量分析,还可以针对不同基体和不同的标准创建模板,让结果更精确。3.15:需有内标监测图,可以更直观准确的监控做样过程,快速的做出响应。3.16:软件需支持集成的高级采集阀,该高级采集阀系统可以极大的提升样品通量,降低氩气消耗,延长进样系统(炬管,雾化器,雾化室,蠕动泵管)使用寿命,降低后期维护消耗。3.17:需有强大的诊断软件,支持简便的仪器诊断和仪器错误提示。清晰的“仪表盘”式仪器状态显示,以及自检功能,使可能维修费用大大降低,并使仪器正常运行时间最大化。4、仪器性能指标:■4.1: 长期稳定运行:8小时,RSD≤1%(不加内标,不采用基线飘移修正);4.2: 短期稳定运行:RSD≤0.5%;▲4.3:冷启动时间:从待机状态到等离子体点燃时间小于35分钟;▲4.4: 做样速度:60个元素或波长,每个元素或波长积分时间10秒,测试时间小于60秒,内标和待测元素必须同时积分;4.5: 测定谱线的线性动态范围:≥106(以Mn257.610nm 来测定,相关系数≥0.9996);4.6: Pb220.353nm 2ug/L,4ug/L,6ug/L,8ug/L,10ug/L 拟合曲线,线性相关系数999以上;5、工作条件:5.1环境温度: 10℃-30 ℃;5.2环境湿度:20%-80% (不冷凝);5.3 电源:仪器整体功率不大于2.9kVA, 电源: 220VAC+/-10% ,50 或60Hz+/-1Hz;5.4 通风系统:最小流量要求:2.5m3/min。6、仪器配置要求:1.仪器主机一台2.循环冷却水机一台3.气源一套4.输入输出设备一套5.仪器耗材包一套750000 合同履行期限: 按招标文件要求 本合同包:不接受联合体投标二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2.本项目的特定资格要求: 包1 (1)明细:招标文件规定的其他资格证明文件(若有) 描述:1、(强制类节能产品证明材料,若有,应在此处填写); 2、(按照政府采购法实施条例第17条除第“(一)-(四)”款外的其他条款规定填写投标人应提交的材料,如:采购人提出特定条件的证明材料、为落实政府采购政策需满足要求的证明材料(强制类)等,若有,应在此处填写)。 ※1上述材料中若有与“具备履行合同所必需设备和专业技术能力专项证明材料”有关的规定及内容在本表b1项下填写,不在此处填写。 ※2投标人应按照招标文件第七章规定提供。 (2)明细:具备履行合同所必需设备和专业技术能力专项证明材料(若有) 描述:1、招标文件要求投标人提供“具备履行合同所必需的设备和专业技术能力专项证明材料”的,投标人应按照招标文件规定在此项下提供相应证明材料复印件。 2、投标人提供的相应证明材料复印件均应符合:内容完整、清晰、整洁,并由投标人加盖其单位公章。(如项目接受联合体投标,对联合体应提出相关资格要求;如属于特定行业项目,供应商应当具备特定行业法定准入要求。) 三、采购项目需要落实的政府采购政策 进口产品,不适用于(本项目),节能产品,适用于(合同包1),按照财库[2019]19号文所附品目清单执行。环境标志产品,适用于(合同包1),按照财库[2019]18号文所附品目清单执行。信息安全产品,适用于(合同包1)。小型、微型企业符合财政部、工信部文件(财库〔2020〕46号),适用于(合同包1)。监狱企业,适用于(合同包1)。促进残疾人就业 ,适用于(合同包1)。信用记录,适用于(合同包1),按照下列规定执行:(1)投标人应在(填写招标文件要求的截止时点)前分别通过“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)查询并打印相应的信用记录(以下简称:“投标人提供的查询结果”),投标人提供的查询结果应为其通过上述网站获取的信用信息查询结果原始页面的打印件(或截图)。(2)查询结果的审查:①由资格审查小组通过上述网站查询并打印投标人信用记录(以下简称:“资格审查小组的查询结果”)。②投标人提供的查询结果与资格审查小组的查询结果不一致的,以资格审查小组的查询结果为准。③因上述网站原因导致资格审查小组无法查询投标人信用记录的(资格审查小组应将通过上述网站查询投标人信用记录时的原始页面打印后随采购文件一并存档),以投标人提供的查询结果为准。④查询结果存在投标人应被拒绝参与政府采购活动相关信息的,其资格审查不合格。四、获取招标文件 时间:2022-03-04 08:15至2022-03-19 23:59(提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日),每天上午00:00:00至11:59:59,下午12:00:00至23:59:59(北京时间,法定节假日除外) 地点:招标文件随同本项目招标公告一并发布;投标人应先在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目下载招标文件(请根据项目所在地,登录对应的(省本级/市级/区县))福建省政府采购网上公开信息系统操作),否则投标将被拒绝。 方式:在线获取 售价:免费五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 2022-03-25 09:30(北京时间)(自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止,不得少于20日) 地点:福建省南平市建阳市武夷新区建安大街318号赤岸统建房A区4号楼1104室晖源公司开标室六、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。七、其他补充事宜 无八、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:南平市产品质量检验所 地 址:南平市文体路203号 联系方式:0599-8830407 2.采购代理机构信息(如有) 名 称:福建晖源工程咨询有限公司 地  址:南平市延平区八一路73号延水大厦6楼 联系方式:0599-8314701 3.项目联系方式 项目联系人:小刘 电   话:0599-8314701 网址:zfcg.czt.fujian.gov.cn 开户名:福建晖源工程咨询有限公司 福建晖源工程咨询有限公司 2022-03-04
  • 用户动态|中科院上海硅酸盐所卓尚军、钱荣等人在《Analytical Chemistry》发表关于射频GDMS的文章
    最近,中科院上海硅酸盐研究所无机材料分析测试中心卓尚军、钱荣等人的课题组与英国质谱仪器公司(MSI)合作,将堆叠磁铁系统和辉光放电质谱仪(Autoconcept GD90-RF)的射频源耦合,在非导体样品中观察到了超过50%的信号强度增益。作者借助ANSYS,对这种显著信号增强现象的机理进行了分析,发现:振荡磁场的引入,扩展了电子的运动路径,增大了电子和中性粒子间的碰撞几率,从而提高了非导体样品的电离效率。同时,该现象在多种非导体样品中得以再现,表明该方法是一种简便、有效且具备一定普适性的方法。相关工作发表在国际权威学术期刊《Analytical Chemistry》上。 横向堆叠磁铁、横向块体磁铁、轴向块体磁铁耦合和无磁铁耦合情况下,Y2O3、BSO (Bi12SiO20)、BTN (Ba5.52La0.32Ti2Nb8O30)样品中的Y、Bi、Ba的射频放电信号对比。 用典型元素的信号强度表示的放电稳定性:采用经堆叠磁铁耦合的射频源,对(a)Y2O3、(b)BSO (Bi12SiO20)、(c)BTN (Ba5.52La0.32Ti2Nb8O30)样品进行溅射得到的测量结果。文章链接如下:http://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/acs.analchem.6b04884 文章摘要如下:A method for signal enhancement utilizing stacked magnets was introduced into high-resolution radio frequency glow discharge-mass spectrometry (rf-GD-MS) for significantly improved analysis of inorganic materials. Compared to the block magnet, the stacked magnets method was able to achieve 50–59% signal enhancement for typical elements in Y2O3, BSO, and BTN samples. The results indicated that signal was enhanced as the increase of discharge pressure from 1.3 to 8.0 mPa, the increase of rf-power from 10 to 50 W with a frequency of 13.56 MHz, the decrease of sample thickness, and the increase of number of stacked magnets. The possible mechanism for the signal enhancement was further probed using the software “Mechanical APDL (ANSYS) 14.0”. It was found that the distinct oscillated magnetic field distribution from the stacked magnets was responsible for signal enhancement, which could extend the movement trajectories of electrons and increase the collisions between the electrons and neutral particles to increase the ionization efficiency. Two NIST samples were used for the validation of the method, and the results suggested that relative errors were within 13% and detection limit for six transverse stacked magnets could reach as low as 0.0082 μg g–1. Additionally, the stability of the method was also studied. RSD within 15% of the elements in three nonconducting samples could be obtained during the sputtering process. Together, the results showed that the signal enhancement method with stacked magnets could offer great promises in providing a sensitive, stable, and facile solution for analyzing the nonconducting materials.
  • 广电计量将举办无线射频产品SRRC、FCC、R&TTE认证等研讨会
    依据《中华人民共和国无线电管理条例》,第五章第二十七条,生产的无线电发射设备,其工作频率、频段和有关技术指标应当符合国家有关无线电管理的规定,并报国家无线电管理机构或者地方无线电管理机构备案。无线射频产品型号核准制度在中国是强制的认证制度。  频谱资源属于国家资源,因此每个国家对于无线射频产品的管理,也是强制性要求,除中国SRRC认证外,美国FCC认证,欧盟的R&TTE认证,是全球针对无线射频的主要法规要求。  如何让您的产品更顺利,更快捷的满足这些技术壁垒,迅速占有市场,特举办该研讨会,与各厂家共同发展。  【主要内容】  l 《中国无线电管理条例》法规解读以及有关新规定  l 中国无线电发射设备型号核准(SRRC)及测试规范  l 无线射频产品的美国FCC认证  l 无线射频产品的欧盟R&TTE认证  l 无线射频产品的其他地区(如巴西,日本,韩国,东南亚等地)认证要求  l 无线射频产品的模块认证  l 无线射频产品在船用产品,车用产品,飞机产品,及军品中的特殊要求  【适合对象】  电子企业技术研发人员、检测人员、质量控制人员、采购人员,相关部门领导  【举办单位】  l 广州广电计量检测股份有限公司  【演讲嘉宾/议题】  演讲题目:  无线射频产品SRRC、FCC、R&TTE认证等多国要求  演讲嘉宾:  吴煜民:GRGT电磁兼容检测中心中心总监,从事产品检测认证工作十余年,精通通信行业检测及认证,  在无线通信产品性能测试,射频测试,EMC测试,多国认证等业务领域拥有丰富经验。  【会议安排】日期2012年 7月26日(星期四) 时间10:00-17:00地点成都市永丰路45号 长盛帝都国际酒店 3楼会议室议程9:30-10:00 签到10:00-12:00 无线电管理条例以及相关新规及中国无线电发射设备型号核准认证流程及测试要求12:00-13:30 午饭13:30-14:30 FCC认证及R&TTE认证等多国要求14:30-15:00 茶歇、互动交流、答疑15:00-15:30 无线射频产品的模块认证15:30-15:40 茶歇15:40-16:30 无线射频产品在船用产品,车用产品,飞机产品,及军品中的特殊要求16:30-17:00 互动交流、答疑、  【费用】 A、听课免费(不办理相关证件)        B、提供讲义教材      C、免费提供午餐  Registration form报名回执课程名称:《无线射频产品SRRC、FCC、R&TTE认证等多国要求》日期2012年7月26日公司名称: 公司地址: 联络人: 电话: 传真: E-mail: 参加人: 职位: 手机: E-mail: 参加人: 职位: 手机: E-mail: 请写下您感兴趣的问题,我们的专业讲师将在现场为您作详细解答问题1:问题2:温馨提示:* 请将以上报名表于2012年7月22日前回传到我司,以便为您预留座位。 * 为方便签到,请携带您的名片入场。 * 会务组联系方式:广州广电计量检测股份有限公司 成都分公司地址:成都市高新西区西芯大道4号创新中心A219室联系人: 曾永电话:028-66259369 传真:028-66259366手机:13882274060电邮:zengy@grg.net.cn  * 为方便签到,请携带您的名片入场。  * 会务组联系方式:广州广电计量检测股份有限公司 成都分公司  地址:成都市高新西区西芯大道4号创新中心A219室  联系人: 曾永  电话:028-66259369 传真:028-66259366  手机:13882274060  电邮:zengy@grg.net.cn  交通指引:成都市永丰路45号 长盛帝都国际酒店 3楼会议室  交通路线: 84路 52路 92路 28路 11路 51路 408路
  • 2276万!中国食品药品检定研究院电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目
    一、项目基本情况项目编号:CFTC-BJ01-2405058项目名称:中国食品药品检定研究院2024年专项设备购置项目第一批预算金额:2276.000000 万元(人民币)采购需求:预算金额:总预算:2276万元,其中05包预算金额:156万元采购需求:包号品目采购标的名称用途数量是否允许进口05包5-1电感耦合等离子体发射光谱仪用于国产和进口放射性药品注册检验中金属杂质检查项目测定1套否05包5-2电感耦合等离子体发射光谱仪对样品中的各个元素进行准确定量以及定性分析1套否 备注:具体产品技术参数见招标文件第八章。本项目按包公布分项控制预算。若投标人报价高于此分项控制预算,其投标将被作为无效投标处理。交货期:合同签订后60日内。合同履行期限:合同签订之日起至质保期结束本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取招标文件时间:2024年07月11日 至 2024年07月18日,每天上午9:00至12:00,下午12:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外)地点:网上获取方式:网上获取,详见其它补充事宜售价:¥500.0 元,本公告包含的招标文件售价总和
  • CIF发布CIF透射电镜样品杆清洗机新品
    CIF透射电镜样品杆清洗机CIF透射电镜(TEM)样品杆清洗机采用双等离子清洗源设计,自动切换,一机多用,清洗快速高效。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。产品特点u 双等离子清洗源u 一机多用u 快速高效低损伤 技术参数产品型号CIF-TEM真空泵Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泵入口压力1.0个大气压(0psig),出口压力1.4个大气压(6.5psig)抽速60L/min,极限真空3.3 x 10-1 mbarKF16入口接口等离子电源13.56MHz等离子射频电源,射频功率5-100W可调两种等离子体清洗源,原位等离子源和远程等离子源,自动匹配器清洗室清洗室尺寸(长X宽X高)150X150X150mm清洗数量可同时清洗3支TEM样品杆适配品牌THERMO FISHER(FEI)、日立HITACHI、捷欧路JEOL气体控制标配双路50毫升/分气体质量流量控制器(MFC),精确测量自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响气源选择根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择真空控制美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计, 测量范围1E-5Torr真空保证真空计和电磁阀安全互锁操控方式7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面电源220V,50/60Hz,300W质量保证二年质保,终身维护创新点:CIF透射电镜(TEM)样品杆清洗机采用双等离子清洗源设计,自动切换,一机多用,清洗快速高效、低等离子体轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。核心部件采用国际一流品牌,保证设备优异的质量和稳定性。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。CIF透射电镜样品杆清洗机
  • 毛军发院士任主任!深圳大学射频异质异构集成全国重点实验室获批
    据报道,近日,深圳大学2022年牵头或参与申报全国重点实验室6项,其中牵头组建申报的“射频异质异构集成全国重点实验室”已获批立项建设。该实验室系深圳大学建校以来的首个全国重点实验室,也实现了深圳本土高校“零的突破”。据介绍,射频异质异构集成重点实验室经国家有关部委批准立项,由深圳大学牵头建设,上海交通大学和中兴通讯股份有限公司参与共建。实验室主任为深大校长、中国科学院院士毛军发。实验室将围绕射频异质异构集成的关键科学技术问题,开展系统深入的原创性、前瞻性基础研究和核心技术攻关,认识基本原理,掌握理论方法与核心技术,形成射频异质异构集成能力、平台和标准,研制一系列面向国家重大需求的射频异质异构集成电路系统。实验室的研究方向与内容为:耦合多物理场理论与设计方法学、射频异质异构集成工艺、可测性与测试表征、射频异质异构集成电路研制与应用。
  • 十种物理气相沉积(PVD)技术盘点
    薄膜沉积是半导体制造工艺中的一个非常重要的技术,其是一连串涉及原子的吸附、吸附原子在表面扩散及在适当的位置下聚结,以渐渐形成薄膜并成长的过程。在一个新晶圆投资建设中,晶圆厂80%的投资用于购买设备。其中,薄膜沉积设备是晶圆制造的核心步骤之一,占据着约25%的比重。薄膜沉积工艺主要分为物理气相沉积和化学气相沉积两类。物理气相沉积(Physical Vapour Deposition,PVD)技术指在真空条件下,采用物理方法,将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。物理气相沉积原理可大致分为蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀,具体又包含有MBE等各种镀膜技术。发展到目前,物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等。随着技术的发展,PVD技术也不断推陈出新,出现了很多针对某几种用途的专门技术,在此特为大家盘点介绍各种PVD技术。真空蒸发镀膜技术真空蒸发(Vacuum Evaporation) 镀膜是在真空条件下,用蒸发器加热蒸发物质,使之升华,蒸发粒子流直接射向基片,并在基片上沉积形成固态薄膜,或加热蒸发镀膜材料的真空镀膜方法。其物理过程为:采用几种能源方式转换成热能,加热镀料使之蒸发或升华,成为具有一定能量(0.1~0.3eV) 的气态粒子(原子、分子或原子团);离开镀料表面,具有相当运动速度的气态粒子以基本上无碰撞的直线飞行输运到基体表面;到达基体表面的气态粒子凝聚形核生长成固相薄膜;组成薄膜的原子重组排列或产生化学键合。电子束蒸镀技术电子束蒸镀(Electron Beam Evaporation)是物理气相沉积的一种。与传统蒸镀方式不同,电子束蒸镀利用电磁场的配合可以精准地实现利用高能电子轰击坩埚内靶材,使之融化进而沉积在基片上。电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜,SiO2、ZrO2膜,抗腐蚀和耐高温氧化膜。电子束蒸镀与利用电阻进行蒸镀最大的优势在于:可以为待蒸发的物质提供更高的热量,因此蒸镀的速率也更快;电子束定位准确,可以避免坩埚材料的蒸发和污染。但是由于蒸镀过程中需要持续水冷,对能量的利用率不高;而且由于高能电子可能带来的二次电子可能使残余的气体分子电离,也有可能带来污染。此外,大多数的化合物薄膜在被高能电子轰击时会发生分解,这影响了薄膜的成分和结构溅射镀膜技术溅射镀膜技术是用离子轰击靶材表面,把靶材的原子被击出的现象称为溅射。溅射产生的原子沉积在基体表面成膜称为溅射镀膜。通常是利用气体放电产生气体电离,其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶体,击出阴极靶体原子或分子,飞向被镀基体表面沉积成薄膜。射频溅射技术射频溅射是溅射镀膜技术的一种。用交流电源代替直流电源就构成了交流溅射系统,由于常用的交流电源的频率在射频段,如13.56MHz,所以称为射频溅镀。在直流射频装置中,如果使用绝缘材料靶,轰击靶面的正离子会在靶面上累积,使其带正电,靶电位从而上升,使得电极间的电场逐渐变小,直至辉光放电熄灭和溅射停止。所以直流溅射装置不能用来溅射沉积绝缘介质薄膜。磁控溅射技术磁控溅射技术属于PVD(物理气相沉积)技术的一种,是制备薄膜材料的重要方法之一。它是利用带电荷的粒子在电场中加速后具有一定动能的特点,将离子引向被溅射的物质制成的靶电极(阴极),并将靶材原子溅射出来使其沿着一定的方向运动到衬底并在衬底上沉积成膜的方法。磁控溅射设备使得镀膜厚度及均匀性可控,且制备的薄膜致密性好、粘结力强及纯净度高。该技术已经成为制备各种功能薄膜的重要手段。离子镀膜技术离子镀是在真空蒸发镀和溅射镀膜的基础上发展起来的一种镀膜新技术,将各种气体放电方式引入到气相沉积领域,整个气相沉积过程都是在等离子体中进行,其中包括磁控溅射离子镀、反应离子镀、空心阴极放电离子镀(空心阴极蒸镀法)、多弧离子镀(阴极电弧离子镀)等。离子镀大大提高了膜层粒子能量,可以获得更优异性能的膜层,扩大了“薄膜”的应用领域。是一项发展迅速、受人青睐的新技术。广义来讲,离子镀膜的特点是:镀膜时,工件(基片)带负偏压,工件始终受高能离子的轰击。形成膜层的膜基结合力好、膜层的绕镀性好、膜层组织可控参数多、膜层粒子总体能量高,容易进行反应沉积,可以在较低温度下获得化合物膜层。多弧离子镀(MAIP)多弧离子镀是采用电弧放电的方法,在固体的阴极靶材上直接蒸发金属,蒸发物是从阴极弧光辉点放出的阴极物质的离子,从而在基材表面沉积成为薄膜的方法。多弧离子镀与一般的离子镀有着很大的区别。多弧离子镀采用的是弧光放电,而并不是传统离子镀的辉光放电进行沉积。简单的说,多弧离子镀的原理就是把阴极靶作为蒸发源,通过靶与阳极壳体之间的弧光放电,使靶材蒸发,从而在空间中形成等离子体,对基体进行沉积。分子束外延(MBE)分子束外延(MBE)是新发展起来的外延制膜方法,是一种在晶体基片上生长高质量的晶体薄膜的新技术。在超高真空条件下,由装有各种所需组分的炉子加热而产生的蒸气,经小孔准直后形成的分子束或原子束,直接喷射到适当温度的单晶基片上,同时控制分子束对衬底扫描,就可使分子或原子按晶体排列一层层地“长”在基片上形成薄膜。该技术的优点是:使用的衬底温度低,膜层生长速率慢,束流强度易于精确控制,膜层组分和掺杂浓度可随源的变化而迅速调整。用这种技术已能制备薄到几十个原子层的单晶薄膜,以及交替生长不同组分、不同掺杂的薄膜而形成的超薄层量子显微结构材料。分子束外延不仅可用来制备现有的大部分器件,而且也可以制备许多新器件,包括其它方法难以实现的,如借助原子尺度膜厚控制而制备的超晶格结构高电子迁移率晶体管和多量子阱型激光二极管等。我们在公车上看到的车站预告板,在体育场看到的超大显示屏,其发光元件就是由分子束外延制造的。脉冲激光沉积(PLD)脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition,PLD),也被称为脉冲激光烧蚀(pulsed laser ablation,PLA),是一种利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上,得到沉淀或者薄膜的一种手段。由脉冲激光沉积技术的原理、特点可知,它是一种极具发展潜力的薄膜制备技术。随着辅助设备和工艺的进一步优化,将在半导体薄膜、超晶格、超导、生物涂层等功能薄膜的制备方面发挥重要的作用;并能加快薄膜生长机理的研究和提高薄膜的应用水平,加速材料科学和凝聚态物理学的研究进程。同时也为新型薄膜的制备提供了一种行之有效的方法。激光分子束外延(L-MBE)激光分子束外延技术(L-MBE)是近年来发展起来的一项新型薄膜制备技术,是将分子束外延技术与脉冲激光沉积技术的有机结合,在分子束外延条件下激光蒸发镀膜的技术。L- MBE结合了PLD的高瞬时沉积速率(不需要考虑成分挥发时的热平衡问题等等)及MBE的实时检测功能,是一种改良的MBE方法。近年来,薄膜技术和薄膜材料的发展突飞猛进,成果显著,在原有基础上,相继出现了离子束增强沉积技术、电火花沉积技术、电子束物理气相沉积技术和多层喷射沉积技术等。目前,芯片制造过程中关键的PVD设备主要包括硬掩膜(Hard Mask )PVD设备、铜互联(CuBS)PVD 以及铝衬垫(Al PAD)PVD,主要使用溅射镀膜技术。目前,主流物理气相沉积厂商包括,北方华创、合肥科晶、中科科仪、SPTS、ULVAC、Applied Materials、Optorun、那诺-马斯特、IHI Corporation、Lam Research、Semicore Equipment、Veeco Instruments、Oerlikon Balzers、Mustang Vacuum Systems、Singulus Technologies、KurtJ.Lesker、博远微纳、汇成真空、佛欣真空、北京丹普、九鼎精密、意力博通、CHA Industries、Angstrom Engineering、Denton Vacuum、Mantis、沈阳科学仪器有限公司等。更多仪器请查看以下专场【物理气相沉积】、【激光脉冲沉积】、【分子束外延】。
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