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靶头等离子射频磁控溅射仪

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靶头等离子射频磁控溅射仪相关的论坛

  • 【原创大赛】磁控溅射原理及TEM样品的制备

    当前,制备非晶的方法主要有淬火法和气相沉积法。快冷法又分为铸膜法和甩带法,适合于制备大块非晶。气相沉积法分为真空蒸发法、化学气相沉积法、脉冲激光沉积法和磁控溅射法。~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~磁控溅射法制备非晶样品有其独特的有点,下面主要介绍下磁控溅射制备非晶样品的原理。电子在电场E的作用下,在飞向基板的过程中与氩气原子发生碰撞,使其电离出氩离子和一个新的电子,电子飞向基片,氩离子在电场作用下飞向阴极靶,并以高能量轰击靶的表面,使靶材发生溅射。在溅射的过程中,溅射离子,中性的靶原子或分子即可在基片上沉积形成膜。综上所述,磁控溅射的基本原理就是以磁场来改变原子的运动状态,并束缚和延长原子的运动轨迹,从而提高电子对工作气体的电离几率和有效地运用了电子的能量。这也体现了磁控溅射低温、高效的原理。常用的TEM样品以TEM载网为基片。TEM载网是直径为3nm,厚为20μm,网格间距为80μm,最底下一层铜或者钼,上面覆盖一层约为5nm厚的无定形碳作为支撑膜。利用磁控溅射法制备沉积的薄膜就沉积在这种TEM载网的无定形碳的支撑膜上,为了减少非弹性散射对衍射数据的影响,在实验过程中尽可能制备厚度比较小的薄膜厚度,约为15nm-20nm,这样制得的样品就可以直接在透射电子显微镜中进行直接的表征。

  • 出售磁控溅射仪(私聊)

    出售磁控溅射仪(私聊)

    磁控溅射仪(2019下半年购入,9成9新)[img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310091529314999_3303_5829706_3.jpg!w690x920.jpg[/img][img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310091529317199_6660_5829706_3.jpg!w690x920.jpg[/img][img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310091529323410_1965_5829706_3.jpg!w690x920.jpg[/img][img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310091529325843_2573_5829706_3.jpg!w690x920.jpg[/img]设备技术要求 1.样品基台:直径 6 英寸样品2.反应腔室:304 不锈钢材质3.靶座系统:3 英寸圆形靶座 4 个,位于腔室上部;靶与样品的距离90~110mm 可调4.真空系统:分子泵,机械泵5.真空测量:薄膜规(进口),全量程规(进口)6.气路系统:标配 2 路进气,种类和流量可定制;管路配件(进口)7.电源系统:500W/13.56MHz 自动匹配射频源 1 套(进口);500W 直流电源 2 套(进口)8.样品载台:自转旋转 5-30rpm 可调;加热温度 300℃;可加射频偏压200V 预清洗基片9.真空性能:本底真空优于 6.67x10-5Pa10.控制系统:工控机;触摸屏,菜单自动/手动操作11.安全控制:异常报警12.工艺应用:金属薄膜和介质薄膜沉积13.不均匀性:≤±5%@6 英寸14.设备尺寸:一体型设备;占地面价(参考)1.0m*1.50m。[img=,554,628]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310091529103198_4423_5829706_3.png!w554x628.jpg[/img]运行需求:供电需求: 380V、三相五线制;设备总功率需求约为 15KW冷却水:>1.5L/min压缩空气: 0.4~0.6Mpa

  • 射频溅射陶瓷靶表面有金属颗粒?

    本人是研一新生,使用氧化饵陶瓷靶射频溅射氧化饵薄膜,但是溅射之后靶的表面有很多金属颗粒状物体于靶材表面,原因无从而知,希望大佬们能给些意见,谢谢你们![img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006151317575201_8602_4204633_3.png[/img][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006151317576246_7946_4204633_3.png[/img]

  • 扫描电镜不导电样品磁控溅射镀膜仪常见问题解决

    随着电镜技术和应用快速发展,越来越多电镜用户对样品前处理提出了更高的要求。其中磁控溅射镀膜仪就专用来给场发射扫描电镜不导电样品进行喷金镀膜。本作品主要从两大方面介绍磁控溅射镀膜仪。1.简易演示真空磁控

  • 【原创大赛】薄膜的物理气相沉积——溅射法

    【原创大赛】薄膜的物理气相沉积——溅射法

    溅射制膜的过程:气体辉光放电、等离子体、靶、溅射、沉积到衬底(一)与蒸发法相比,溅射沉积的主要特点:①沉积原子能量高,因此薄膜的组织更致密,附着力也可以得到明显改善;②制备合金膜时,其成分的控制性能好;③靶材可以是极难熔的材料;④可利用反应溅射技术,从金属无素靶材制备化合物薄膜;⑤由于被沉积的原子均携带有一定的能量,因而有助于改善薄膜对于复杂形状表面的覆盖能力,降低薄膜表面的粗糙度。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507151100_555534_2989334_3.jpghttp://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif(二)溅射沉积分类主要的溅射方式可以根据其特征分为四种:(1)直流溅射;(2)射频溅射;(3)磁控溅射;(4)反应溅射。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507151102_555536_2989334_3.jpg图1 不同溅射方法的靶电流密度和靶电压的比较http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif(1)直流溅射直流溅射又称为阴极溅射或二极溅射图2直流溅射沉积装置示意图,其典型的溅射条件为:工作气压10Pa,溅射电压3000V,靶电流密度0.5mA/cm2,薄膜的沉积速率低于0.1μm/min直流溅射过程中常用Ar作为工作气体。工作气压是一个重要参数,它对溅射速率以及薄膜的质量都有很大影响直流溅射设备的优点和缺点:优点:简单缺点:使用的气体压力高,溅射速率较低,这不利于减小气氛中的杂质对薄膜的污染以及溅射效率的提高。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507151105_555538_2989334_3.jpg图2直流溅射沉积装置示意图http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif(2 )射频溅射直流溅射要求靶材有较好的导电性,可以很大方便地沉积各类合金膜。对于导电性很差的非金属材料的溅射,我们需要一种新的溅射方法—射频溅射。射频溅射是适于各种金属和非金属材料的一种溅射沉积方法射频场对于靶材的自偏压效应。在衬底或薄膜本身是绝缘体的情况下,采取对其施加一个射频电压的方法,也可以起到对其施加负偏压的作用。(3)磁控溅射相对于蒸发沉积来说,一般的溅射沉积方法具有两个缺点。第一,溅射方法沉积薄膜的沉积速度较低;第二,溅射所需的工作气压较高 这两个缺点的综合效果是气体分子对薄膜产生污染的可能性较高。而磁控溅射技术:沉积速度较高,工作气体压力较低。工作原理:磁场对电弧运动有一定的约束作用(绕磁场螺旋前进);(1)电子的电离效率高,有效提高了靶电流密度和溅射效率,(2)较低气压下溅射原子被气体分子散射的几率较小(三)气体放电是离子溅射过程的基础(1)首先介绍直流电场作用下的物质的溅射现象预抽真空,充入适当压力的惰性气体,如Ar气,10-1~10Pa;在正负电极间外加电压的作用下,电极间的气体原子将被大量电离;Ar—→Ar++e,Ar+被电场加速后射向靶材,撞击出靶材原子(分子),靶材原子脱离靶时仍具有一定能量,飞向衬底,电子被电场加速飞向阳极;http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507151107_555542_2989334_3.jpg图3直流气体放电体系模型及伏安特性曲线http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif电压进一步增大,发生极板两端电压突然降低,电流突然增大,并同时出现带有颜色的辉光,此过程称为气体的击穿;击穿后气体的发光放电称为辉光放电;这时电子和正离子是来源于电子的碰撞和正离子的轰击,即使自然游离源不存大,放电也将继续下去。而且维持辉光放电的电压较低,且不变,此时电流的增大显然与电压无关,而只与阴极板上产生辉光的表面积有关;正常辉光放电的电流密度与阴极材料和形状、气体种类和压强有关;由于正常辉光放电时的电流密度仍比较小,所以在溅射方面均是选择在非正常辉光放电区工作。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507151110_555543_2989334_3.jpg图4示意性地画出了在离子轰击条件下,固体表面可能发生的物理过程http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507151111_555544_2989334_3.jpg图5所示,不同能量离子与固体表面相互作用的过程不同当离子入射到靶材上时,对于溅射过程来说,比较重要的过程有两个:其一是物质的溅射;其二是二次电子发射:二次发射电子在电场作用下获得能量,进而参与气体分子的碰撞,并维持气体的辉光放电过程。http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gifhttp://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif (四)合金的溅射和沉积用溅射法沉积合金膜,比蒸发法易于保证薄膜的化学配比;溅射过程中入射离子与靶材之间有很大的能量传递。因此,溅射出的原子将从溅射过程中获得很大的动能,其数值一般可以达到5~20eV;一方面,溅射原子具有很宽的能量分布范围,其平均能量约为10eV左右;另一方面,随着入射离子能量的增加,溅射离子的平均能量也有上升的趋势;溅射过程还会产生很少的溅射离子,它们具有比溅射出来的原子更高的能量。能量较低的溅射离子不易逃脱靶表面的鞘层电位的束缚,将被靶表面所俘获而不能脱离靶材;由蒸发法获得的原子动能一般只有0.1eV,两者相差两个数量级;在溅射沉积中,高能量的原子对于衬底的撞击一方面提高了原子自身在薄膜表面的扩散能力,另一方面也会引起衬底温度的升高。

  • 【讨论】等离子体应用相关仪器

    这些是不是算作等离子体还请高手指正!1、等离子体清洗机/刻蚀/灰化/减薄 通过等离子体与固体表面的相互作用,消除固体表面的有机污染物,或者与样品表面的材料反应生成相应的气体,由真空系统排出反应腔,整个过程在样品表面不产生残留物,固体如: 金属、陶瓷、玻璃、硅片等等,同时可以用等离子处理系统对样品表面进行 处理,改善样品表面的特性,如亲水/疏水特性,表面自由能,以及表面的 吸附/粘附特性等等。 2、离子溅射:氩气充入已被低真空泵抽真空的样品室里。多次充入氩气,使不需要的气体排出,特别是水蒸汽。这样,样品室内充满了尽可能多的纯的氩气。然后调节样品室内工作压力为0.05-0.1mbar,这样就可以开始溅射了。 开始溅射时,在靶(阴极)加上高压,在靶和样品台(阳极)之间产生了一个高压区。空间内的自由电子在磁场作用下进入旋转轨道,与空间内的氩原子碰撞。每次碰撞把氩原子外层中的一个电子撞出,使中性的氩原子带正电。这个雪崩效应激发了辉光放电。 带正电的氩离子被阴极吸引撞向阴极靶,撞出阴极靶上的金属原子。释放的金属原子之间以及金属原子与真空室内的其它气体分子之间的碰撞使金属原子四处发散,形成雾状。这样金属原子从各个方向撞击样品表面然后均匀地凝聚在样品表面,在即使是非常多裂缝的样品表面也能覆盖一层均匀的、有足够导电性的金属薄膜。 由于金和银原子表面的高度扩散性,它们容易在样品表面形成岛状,这样,除非金属镀层有10nm厚,否则达不到所需导电性。白金能产生最细腻的镀层。 溅射镀层的细腻程度取决于靶材、工作距离、气体压力和溅射电流以及反应持续时间3、磁控溅射:电子枪发射的电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和电子,电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响,被束缚在靠近靶面的等离子体区域内,该区域内等离子体密度很高,二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动,该电子的运动路径很长,在运动过程中不断的与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材,经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低,摆脱磁力线的束缚,远离靶材,最终沉积在基片上。4、等离子切割机:等离子切割是利用高温等离子电弧的热量使工件切口处的金属  等离子切割机标准图片部份局熔化(和蒸发),并借高速等离子的动量排除熔融金属以形成切口的一种加工方法。等离子切割机配合不同的工作气体可以切割各种氧气切割难以切割的金属,尤其是对于有色金属(不锈钢、铝、铜、钛、镍)切割效果更佳;其主要优点在于切割厚度不大的金属的时候,等离子切割速度快,尤其在切割普通碳素钢薄板时,速度可达氧切割法的5~6倍、切割面光洁、热变形小、几乎没有热影响区。

  • 【原创大赛】射频加热的应用

    [align=center]射频加热的应用[/align][align=center]西安国联质量检测技术股份有限公司[/align][align=center]安评中心:张倩茹[/align]尽管世界上有50多个国家种植大豆,但美国、巴西、阿根廷和中国是四大主要大豆生产商,占世界上大豆总产量的90%以上。目前世界大豆产量远超过其他任何可食用油籽,世界上的大豆约85%加工成正餐和植物油。在中国过去的二十年,大豆消费连续快速增长,从1996年到2013年,油产品增加了600%,可食用或者工业消费增长了78%。昆虫侵扰通过其代谢活动引起的微生物腐败和污染可能使大豆完全不能食用。另一个与大豆储存有关的问题是由真菌引起的霉烂,会导致严重的质量损失和食品安全问题。因此,为了符合国际贸易植物检疫条例,开发干燥大豆的非化学采后害虫防治方法,控制内部昆虫和减少大豆中的真菌菌落数量是确保保存期长、保证食品安全的重要措施。已经开发了几种方法来控制隐藏的昆虫和减少食品中真菌菌落的数量,如常规热处理,化学熏蒸,辐照。然而,所有这些方法都显示出不同的消费者接受程度是由于在它们的应用过程中,较长的处理时间降低了质量、消极的环境污染和对人类健康造成的有害影响。因此,迫切需要开发新颖、有效的能够控制昆虫和真菌且产品无不利的物理或化学变化的技术。射频(RF)能量是频率为1-300 MHz的电磁波,提供快速、容积式加热并被作为干燥产品如紫花苜蓿种子,谷物, 豆类,小扁豆,大米,胡桃和小麦的采后害虫控制的非化学选择来研究。RF的相对较长的波长通常导致较深的穿透深度和食物中可预测的温度分布。但是,不均匀加热仍然是食品行业的射频加热技术的一个问题。由于角落和边缘过热,和中心部分的欠热,产品中间和内部的不同的温度分布可能导致质量损失或昆虫生存,尤其是在中、高水分含量的食物中。理解射频加热的复杂机制和提高射频处理产品的加热均匀性,以确保在整个产品体积内完成昆虫死亡率和维持产品质量是至关重要的。计算机模拟和数学建模为不需要在实验中耗费大量时间的射频加热过程的快速分析起到有价值的工具作用。计算机模拟旨在研究各种食品材料,如苜蓿和萝卜籽,1%的羧甲基纤维素溶液,圆柱形肉压条,肉、新鲜水果,马铃薯浆,小麦粉,和葡萄干的射频加热均匀性。Neophytou 和 Metaxas通过求解耦合拉普拉斯方程和波动方程,试图为工业规模的射频加热系统的电场进行建模。成熟的计算机模拟模型使从各种农业产品获得准确的结果成为可能。不同的标准和索引已经被用来研究,评估,比较射频功率和食品样品的温度均匀性,如正常功率密度,加热均匀性指数,射频功率均匀度指数,和温度均匀度指数。因为样品温度是适合于灭虫法或巴氏灭菌法和质量评估的射频加热的主要目标。

  • 射频导纳液位计的原理与特点

    WT-LWY物位控制器为通用型物位计用于连续物位的测量,产品应用于工矿现场,适用于大多数应用场合,仪表由一个电路单元一套防爆外壳和杆式或缆式传感元件组成,传感器有多种型号可选,仪表可选整体或分体安装。    1.射频导纳物位计的测量原理    射频导纳是一种从电容式发展起来的、防挂料、更可靠、更准确、适用性更广的新型物位控制技术,是电容式物位技术的升级。所谓射频导纳,导纳的含义为电学中阻抗的倒数,它由电阻性成分、电容性成分、感性成分综合而成,而射频即高频无线电波谱,所以射频导纳可以理解为用高频无线电波测量导纳。仪表工作时,仪表的传感器与灌壁及被测介质形成导纳值,物位变化时,导纳值相应变化,电路单元将测量导纳值转换成物位信号输出,实现物位测量。    对于连续测量,射频导纳技术与传统电容技术的区别除了上述讲过的以外,还增加了两个很重要的电路,这是根据导电挂料实践中的一个很重要的发现改进而成的。上述技术在这时同样解决了连接电缆问题,也解决了垂直安装的传感器根部挂料问题。锁增加的两个电路是振荡器缓冲器和交流变换斩波器驱动器。    对一个强导电性被测介质的容器,由于被测介质是导电的,接地点可以被认为在探头绝缘层的表面,对变送器来说仅表现为一个纯电容。随着容器排料,探杆上产生挂料,而挂料是具有阻抗的。这样以前的纯电容现在变成了由电容和电阻组成的复阻抗,从而引起两个问题。    第一个问题是液位本身对探头相当于一个电容,它不消耗变送器的能量,(纯电容不耗能)。但挂料对探头等效电路中含有电阻,则挂料的阻抗会消耗能量,从而将振荡器电压拉下来,导致桥路输出改变,产生测量误差。我们在振荡器与电桥之间增加了一个缓冲放大器,使消耗的能量得到补充,因而不会降低加在探头的振荡电压。    第二个问题是对于导电被测介质,探头绝缘层表面的接地点覆盖了整个被测介质及挂料区,使有效测量电容扩展到挂料的顶端。这样便产生挂料误差,且导电性越强误差越大。但任何被测介质都不是完全导电的。从电学角度来看,挂料层相当于一个电阻,传感元件被挂料覆盖的部分相当于一条由无数个无穷小的电容和电阻元件组成的传输线。根据数学理论,如果挂料足够长,则挂料的电容和电阻部分的阻抗相等。因此根据对挂料阻抗所产生的误差研究,又增加一个交流驱动器电路。该电路与交流变换器或同步检测器一起就可以分别测量电容和电阻,从而排除挂料的影响。    这些,多参量的测量,是必须得基础,交流鉴相采样器是实现的手段。由于使用了上述三项技术,使得射频导纳技术在现场应用中展现出非凡的生命力。    2.射频导纳物位计的特点    通用性强:可测量液位及料位,可满足不同温度、压力、介质的测量要求,并可应用于腐蚀、冲击等恶劣场合    防挂料:独特的电路设计和传感器结构,使其测量可以不受传感器挂料影响,无需定期清洁,避免误测量。    免维护:测量过程无可动部件,不存在机械部件损坏问题,无须维护。    抗干扰:接触式测量,抗干扰能力强,可克服蒸汽、泡沫及搅拌对测量的影响。    准确可靠:测量量多样化,使测量更加准确,泽良不受环境变化影响,稳定性高,使用寿命长。

  • 等离子体发射光谱仪分类与“全谱直读”一词

    等离子体发射光谱仪分类与“全谱直读”一词陆文伟上海交通大学分析测试中心, 上海 200030摘 要 本文从仪器结构原理上讨论了当前国内在新型等离子体发射光谱仪分类命名上的问题。指出“全谱直读”一词用于仪器分类的不严谨性。提仪使用固态检测器等离子体发射光谱仪作为分类词。主题词 等离子体发射光谱仪 中阶梯光栅 固态检测器 全谱直读中图分类号:O657131   文献标识码:B   文章编号:100020593 (2002) 0220348202 收稿日期:2000208205 ,修订日期:2000212212 作者简介:陆文伟,1951 年生,上海交通大学分析测试中心高级工程师  早期国外把等离子体发射光谱仪( ICP2OES) 仪器分成同时型(Simultanous) 和顺序型(Sequential) 二类。国内把色散系统区分为多色器(Polychromator) 、单色器(Monochromator) ,仪器则从检测器来区分,命名为多通道型(多道) ,顺序型(单道扫描) 仪器[ 1 ,2 ] 。其仪器的分类命名与仪器功能,仪器结构基本一致,与国外的仪器分类也一致。ICP2OES 仪器在其发展期间,又有N + 1 的单道与多道结合型仪器出现,以及有入射狭逢能沿罗兰圈光学平面移动,完成1~2 nm 内扫描,能获得谱图的多道仪器出现,但总体上仍没动摇仪器的原始分类。1991 年新的中阶梯光栅固态检测器ICP2OES 仪器问世,新的仪器把中阶梯光栅等光学元件形成的二维谱图投影到平面固态检测器的感光点上,使仪器同时具有同时型和顺序型仪器的功能,这样形成了新一类的仪器。从它的信号检出来看,它与同时型仪器很接近,故有的国外文献仍把它简单归为同时型(Simultaneous) 仪器。但更多的是从仪器的硬件结构上出发,采用中阶梯光栅固态检测器等离子体发射光谱仪“Echelle grating solid state detector ICP2OES”的命名。1993 年该类仪器进入中国市场,国内仪器广告上出现“全谱直读”一新名词。随着该类仪器的推广使用,该名词逐渐渗入期刊杂志,教科书,学术界,甚至作为仪器分类词出现在《现代分析仪器分析方法通则及计量检定规程》[ 3 ]中。纵观国外涉及到中阶梯光栅固态检测器等离子体发射光谱仪的期刊杂志,书籍和文献均未使用到该词或与之意思相近的词。甚至各仪器厂家的英文样本中也无该词出现。实际上“全谱直读”是中文广告词,它不严谨,并含糊地影射二方面意思:11 光谱谱线的全部覆盖性和全部可利用性 21 全部谱线的总体信号同时采集读出。从中阶梯光栅固态检测器等离子体发射光谱仪的光谱范围(英文常采用Wavelength coverage range) 来看,一般仪器都在160~800 nm 左右。如有的仪器在167~782 nm ,有的在165~800 nm ,有的在175~900 nm ,有的在165~1 000 nm ,有的是在122~466 nm 基础上另加590 ,670 ,766 nm 的额外单个检测器。有的在超纯Ar 装置下短波段区扩展至134nm ,其长波段区能扩展至1 050 nm。很明显所有此类仪器的光谱范围目前离“全谱”还是有距离的,而且仪器厂家还在扩大其光谱范围。再说此类仪器的“光谱范围”,实际上更确切的意思是指可利用的分析谱线波长跨度范围!实际上中阶梯光栅和棱镜所形成的二维光谱图在目前固态检测器芯片匹配过程中,高级次光谱区可以说是波长连续的,不同级次的光谱波长区甚至重迭。而低级次光谱区级次与级次之间的波长区并不衔接,最大可以有20 nm 以上的间隙,其间隙随着级数增大而变小,严格地说也就是仪器的光谱不连续性存在,尽管对有用谱线影响并不太大。另外中阶梯光栅多色器系统产生的二维谱图闪烁区与检测器芯片匹配的边缘效应,固态检测器的分段或分个处理,都会造成使用全部谱线的困难,甚至发生有用谱线的丢失。大面积的固态检测器芯片可望用于光谱仪,光谱级次间波长区的连续性会进一步改善,其波长区复盖也会增大。但仪器制造成本及芯片因光谱级次间波长过多重叠显得利用效率不高,都会形成其发展的阻力。从仪器可利用谱线上看,目前中阶梯光栅固态检测器等离子体发射光谱仪还只能是多谱线同时分析仪器。当然它可利用的谱线要比以前多道发射光谱仪器的谱线(最多六十多条) 多得多。如目前仪器有6 000 多条的,有2 万7 千条的,有在2 万4 千条的基础上再可由使用者在仪器波长区任意定址添加的等等。但这与“全谱”给人的含糊概念,与数十万以上的全部谱线概念相差甚远。就是从全部可利用谱线讲,该类仪器在定量分析时也不等于纪录全部谱线。有的仪器是在定性分析时能纪录所有覆盖谱线。“全谱直读”一词还常常被沿伸到一次曝光像摄谱仪一样工作。直读一词(Direct reading) 出现在摄谱仪之后、光电倍© 1995-2005 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved.增管用于发射光谱仪之时。是相对摄片2读片过程变成一步而言。多道发射光谱仪采用该词较多。目前中阶梯光栅固态检测器等离子体发射光谱仪还没有完全达到全部谱线的总体信号同时采集读出的水平。有的仪器分检测器读出,有的仪器分波长区读出,有的仪器分波长区检测器再加几个单个波长检测器读出。固态检测器的曝光与摄片又不同,固态检测器比照相底片更灵活,为了适应样品分析元素高低浓度大小信号的要求,固态检测器灵活处理,有的分区曝光,有的分级扫描曝光,有的级中分二段控制曝光,有的检测器分子阵列(Subarray) 控制曝光,有的从其检测器机理出发分每个感光点(Pixel) 控制曝光。“全谱直读”给人是含糊的印象,不能正确反映仪器的特点。当前新的仪器还在不断涌现,有分级扫描式中阶梯光栅固态检测器等离子体发射光谱仪,有新的多个固态检测器在罗兰圈排列使用的仪器,从检测器硬件结构分类,它们都能方便地归入中阶梯光栅固态检测器等离子体发射光谱仪,或固态检测器等离子体发射光谱仪类别里。而“全谱直读”则明显不能适应。新名词会受到实践和事实的考验。国外文献中名词也有变化的,如电感耦合等离子体原子发射光谱仪的ICP2AES 英文缩写名词,因AES 含义面广,易与俄歇电子光谱[ 4 ]混淆,现在逐渐被ICP2OES 取代。切入实际的名词才会在发展中生存。参考文献 [ 1 ]  化学试剂电感耦合等离子体原子发射光谱方法通则,中华人民共和国国家标准GB10725289. [ 2 ]  发射光谱仪检定规程,中华人民共和国国家计量检定规程J TG768294. [ 3 ]  感耦等离子体原子发射光谱方法通则 感耦等离子体原子发射光谱仪检定规程,1997. (第一版) 科学技术文献出版社,现代分析仪器分析方法通则及计量检定规程. [ 4 ]  英汉仪器仪表词汇,科学出版社,1987 (第一版) .

  • 【求助】离子溅射仪的金靶不能用了

    今天发现我们的离子溅射仪的金靶掉了,其实也只是一圈很窄的地方都被烧没了,剩下了很多也不能用了打算买一个,人家说纯度5个9的金450元1克……感觉剩了很多就不能用了挺可惜的有没有什么方法可以让这个不总是这样消耗呢?

  • 射频发生器

    l射频发生器1. 电路类型:电感反馈式自激振荡电路,同轴电缆输出,匹配调谐,取功率反馈进行 闭环自动控制。2. 工作频率:40MHz 3. 频率稳定性:<0.1% 4. 输出功率:800W—1200W5. 输出功率稳定性:≤ 0.2%6. 电磁场泄漏辐射强度:距机箱30cm处 电场强度E:<2V/m 磁场强度H:<射0.2A/m 7. 电源:交流220V 25A

  • 射频导纳液位计的原理

    射频导纳物位控制技术是一种从电容式物位控制技术发展起来的,防挂料性能更好,工作更可靠,测量更准确,适用性更广的物位控制技术,“射频导纳”中“导纳”的含义为电学中阻抗的倒数,它由阻抗成份,容性成份,感性成份综合而成,而“射频”即高频,所以射频导纳技术可以理解为用高频电流测量导纳的方法。高频正铉振荡器输出一个稳定的测量信号源,利用电桥原理,以精确测量安装在待测量容器中的传感器上的导纳,在直接作用模式下,仪表的输出随物位的升高而增加。   射频导纳技术与传统电容技术的区别在于测量参量的多样性,三端驱动屏蔽技术和增加的两个重要电路,这些是根据在实践中的宝贵经验改进而成的。上述技术不但解决了连接电缆屏蔽和温漂问题,也解决了垂直安装的传感器根部挂料问题。所增加的两个电路是高精度振荡驱动器和交流鉴相采样器。   对一个强导电性物料的容器,由于物料是导电的,接地点可以被认为在传感器绝缘层的表面,对仪表传感器来说仅表现为一个电容和电阻组成的复阻抗,从而引起两个问题。   第一个问题是物料本身对传感器相当于一个电容,它不消耗变送器的能量,(纯电容不耗能),但挂料对传感器等效电路中含有电阻,则挂料的阻抗会消耗能量,从而将振荡器电压拉下来,导致桥路输出改变,产生测量误差。我们在振荡器与电桥之间增加了一个驱动器,使消耗的能量得到补充因而会稳定加在传感器的振荡电压。   第二个问题是对于导电物料,传感器绝缘层表面的接地点覆盖了整个物料及挂料区,使有效测量电容扩展到挂料的顶端,这样便产生挂料误差,且导电性越强误差越大。   但任何物料都不是完全导电的。从电学角度来看,挂料层相当于一个电阻,传感器被挂料覆盖的部分相当于一条由无数个无穷小的电容和电阻元件组成的传输线。根据数学理论,如果挂料足够长,则挂料的电容和电阻部分的阻抗和容抗数值相等,因此用交流鉴相采样器可以分别测量电容和电阻。测量的总电容相当于C + C 在减去与C 相等的电阻R,就可以获得物位真实值,从而排除挂料的影响。   即C测量=C物位+C挂料   C物位=C测量-C挂料   =C测量-R   这些多参量的测量,是测量的基础,交流鉴相采样器是实现的手段。由于使用了上述三项技术,使得射频导纳技术在现场应用中展现出非凡的生命力。射频导纳料位开关 http://www.yhck8888.com阻旋料位开关 http://www.yhck888.com音叉料位开关 http://www.yhck6666.com射频导纳物位开关 http://www.yhck666.com

  • 射频连接器的主要指标

    1、特性阻抗 与其他微波器件一样,特性阻抗是一项非常重要的指标,它直接影响驻波比,工作频率和插入损耗。常见的连接器特性阻抗有50Ω和75Ω。 2、工作频率范围 射频同轴连接器的下限截止频率是零,其上限工作频率是截止频率的95%。工作频率取决于连接器的结构。一般来说,外导体的尺寸越小,连接器的工作频率越高:填充介质的介电常数越低,工作频率越高,插入损耗越低。同轴连接器的最高工作频率可以达到110GHz。 3、VSWR (驻波比) VSWR定义为传输线上电压的最大和最小值之比。VSWR是连接器最重要的指标之一,通常用VSWR指标来衡量—个连接器的优劣。作为与电缆配接的连接器,一个直型的N型连接器在端接RG223电缆时,其VSWR为1.15+0.01//GHz;同样情况下,直角型的N型连接器的VSWR为1.15+0.02f/GHz。而作为转接器,一个N-N转接器在18GHz时的VSWR可做到1.06。 4、接触电阻 顾名思义,射频连接器的接触电阻是指其接触点的电阻,分别指内导体和外导体的接触电阻。显然这个值越小越好,通常为mΩ级,外异体的接触电阻要小于内导体。 5、绝缘电阻 绝缘电阻指绝缘材料的电阻,它取决于接头内的绝缘材料,如聚四氟乙烯。绝缘电阻的典型值大于5GΩ (N型)。这项指标不好时会产生漏电流。 6、连接器的耐久性(插拔寿命) 当连接器与其配接的标准连接器完成一次完全啮合和完全分离的循环时,就算一次插拔。在MIL_C-39012标准中,对射频连接器的插拔寿命做了规定。如N型连接器,在每分钟插拔12次的前提下,插拔寿命应不小于500次,插拔500次后,连接器应无明显的机械损伤现象,各项配合功能保持不变, 对于测试电缆组件而言,连接器的寿命意味着在完成规定次数的插拔后,电缆组件的VSWR和插入损耗仍然应保持在产品手册中规定的范围内。 6、连接器的连接力矩 有关连接器的配接力矩,不同制造商所给出的指标并不完全一致,这是因为各自选用的材料不同的缘故。不锈钢材料连接器的配接力矩要大于铜材的连接器。配接力矩越大,意味着连接器的使用耐久性越高,下表中列举了几种常用连接器的推荐力矩:[url=http://www.hyxyyq.com][color=#ffffff]射频连接器[/color][/url][url=http://www.hyxyyq.com][color=#ffffff]http://www.hyxyyq.com[/color][/url][align=center][img=gooxian-连接器的连接力矩]http://www.gooxian.com/Storage/master/gallery/201711/20171115155901_7770.jpg[/img][/align]

  • 【问】关于溅射理论?

    用Ar等离子体溅射碳靶后,被溅射出来的碳主要以何种形式存在?是碳离子,碳原子还是碳分子?谢谢!

  • 【实战宝典】什么是ICP?什么是射频?射频发生器起什么作用,对ICP有什么影响?

    【实战宝典】什么是ICP?什么是射频?射频发生器起什么作用,对ICP有什么影响?

    问题描述:什么是ICP?什么是射频?射频发生器起什么作用,对ICP有什么影响?解答:[font='Times New Roman','serif'][color=black]ICP[/color][/font][font=宋体][color=black]是[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]Inductively Coupled Plasma[/color][/font][font=宋体][color=black]的缩写,代表着电感耦合等离子体,如下图所示。[/color][/font][align=center][img=,690,454]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206211116527891_1843_3389662_3.jpg!w690x454.jpg[/img][/align][font=宋体][color=black]前一个是做水溶液样品的等离子体照片,后一个是做有机物直接进样的等离子体照片。(图片由谱育科技[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]EXPEC 7350[/color][/font][font=宋体][color=black]型三重四极杆[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/yp][color=#3333ff]ICP-MS[/color][/url][/color][/font][font=宋体][color=black]上标配的摄像头拍摄)[/color][/font][font=宋体][color=black]射频([/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]RF[/color][/font][font=宋体][color=black])是[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]Radio Frequency[/color][/font][font=宋体][color=black]的缩写。[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]Radio[/color][/font][font=宋体][color=black]是无线电广播和收音机的意思,在[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]Carpenters([/color][/font][font=宋体][color=black]木匠兄妹[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black])[/color][/font][font=宋体][color=black]的名曲《[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]Yesterday Once More[/color][/font][font=宋体][color=black]》中,[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]Karen Carpenter[/color][/font][font=宋体][color=black]用优美而略带伤感的嗓音唱到:[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]When I was youngI’d listen to the radio, waitingfor my favorite songs. When they played I’d sing along, it made me smile.[/color][/font][font=宋体][color=black]可惜的是,[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]Karen Carpenter[/color][/font][font=宋体][color=black]是个减肥不要命的主,唱这首《昨日重现》的[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]10[/color][/font][font=宋体][color=black]年后,她死在父母怀中,就像她出生时躺在父母怀中一样安详,这就是昨日重现。她为什么这么痴迷于减肥呢?其实她也不胖,她表面上是减肥,实际上她是希望永远苗条,永远年轻,她希望吃唐僧肉长生不老,吃别的都没啥意思,于是她死于神经性厌食症。所以说呀,啥胖不胖的,哥们弟兄姐妹们,吃着喝着先,来,干一杯。[/color][/font][font=宋体][color=black]扯远了。射频([/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]RF[/color][/font][font=宋体][color=black])[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]Radio Frequency[/color][/font][font=宋体][color=black]就是广播频率,这个频率的电磁波可以在空气中传播,并经大气层外缘的电离层反射,形成远距离传输能力,其频率范围是[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]300K-300 GHz[/color][/font][font=宋体][color=black],[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/yp][color=#3333ff]ICP-MS[/color][/url][/color][/font][font=宋体][color=black]和[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]ICP-OES[/color][/font][font=宋体][color=black]上用的[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]27.12 MHz[/color][/font][font=宋体][color=black]和[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]40.68 MHz[/color][/font][font=宋体][color=black],以及家用微波炉、微波消解仪和超级微波消解仪用的[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]2450 MHz[/color][/font][font=宋体][color=black],都属于射频。[/color][/font][font=宋体][color=black]小伙伴不禁要问,为什么非得是[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]27.12 MHz[/color][/font][font=宋体][color=black]、[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]40.68 MHz[/color][/font][font=宋体][color=black]和[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]2450 MHz[/color][/font][font=宋体][color=black]这几个数呢?好像各个[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/yp][color=#3333ff]ICP-MS[/color][/url][/color][/font][font=宋体][color=black]和微波厂家都商量好似的,郭德纲说得好啊,同行之间是赤裸裸的仇恨,难道说如今同行也可以达成共识啦?[/color][/font][font=宋体][color=black]首先同行之间可以有共识,国外的行业协会非常多,行业协会可以制定标准,规范行业行为,我国也有仪器仪表协会。同行有竞争是正常的,良性竞争可以促进行业的发展。如果同行的竞争发展到仇恨,那已经到了恶性竞争的程度,说明这个行业需要进行整顿了。[/color][/font][font=宋体][color=black]其次,射频是可以在空中到处跑的,会串台,为了防止民用射频发射点对无线电通讯、广播、电视和雷达等造成干扰,国际组织规定了工业、科学研究、医学及家用等民用射频的频率,请看下面两条:[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]ISO/IEC TR 18047-3-2011[/color][/font][font=宋体][color=black]信息技术[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black].[/color][/font][font=宋体][color=black]射频识别装置合格试验方法[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black].[/color][/font][font=宋体][color=black]第[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]3[/color][/font][font=宋体][color=black]部分[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]:13.56 MHz[/color][/font][font=宋体][color=black]空中接口通信的试验方法[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]ISO/IEC TR 18047-4-2004[/color][/font][font=宋体][color=black]信息技术[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black].[/color][/font][font=宋体][color=black]射频识别装置合格试验方法[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black].[/color][/font][font=宋体][color=black]第[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]4[/color][/font][font=宋体][color=black]部分[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]:2.45 GHz[/color][/font][font=宋体][color=black]空中接口通信的试验方法[/color][/font][font=宋体][color=black]小伙伴不禁又问了,这里面也没有[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]27.12 MHz[/color][/font][font=宋体][color=black]和[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]40.68 MHz[/color][/font][font=宋体][color=black]呀?[/color][/font][font=宋体][color=black]好吧,[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]13.56[/color][/font][font=宋体][color=black]×[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]2=27.12[/color][/font][font=宋体][color=black],[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]13.56[/color][/font][font=宋体][color=black]×[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]3=40.68[/color][/font][font=宋体][color=black]。这是倍频。电脑的[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]CPU[/color][/font][font=宋体][color=black]就常常采用倍频技术。[/color][/font][font=宋体][color=black]小伙伴不禁再问,那[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]PerkinElmer[/color][/font][font=宋体][color=black]新出的[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/yp][color=#3333ff]ICP-MS[/color][/url][/color][/font][font=宋体][color=black],射频发生器既不是[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]27.12 MHz[/color][/font][font=宋体][color=black],也[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]40.68 MHz[/color][/font][font=宋体][color=black],这是怎么回事?[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]13.56[/color][/font][font=宋体][color=black]×[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]2.5=33.90[/color][/font][font=宋体][color=black],理论上倍频是从[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]1.5[/color][/font][font=宋体][color=black]一直到无限的,但需要注意的是,倍频是以[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]0.5[/color][/font][font=宋体][color=black]为一个间隔单位。[/color][/font][font=宋体][color=black]射频发生器([/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]RF[/color][/font][font=宋体][color=black]发生器)就是产生射频的装置。[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/yp][color=#3333ff]ICP-MS[/color][/url][/color][/font][font=宋体][color=black]的研发和生产非常难,难在哪呢?难在高频([/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]RF[/color][/font][font=宋体][color=black]发生器、四极杆驱动器)、高电流([/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black]RF[/color][/font][font=宋体][color=black]发生器)、高电压(点火针)、高精度(四极杆、锥、炬管准直)、高温(等离子体)、高腐蚀性(进样系统),其中高频、高压、高电流不仅做起来难,使用起来还容易坏,[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/yp][color=#3333ff]ICP-MS[/color][/url][/color][/font][font=宋体][color=black]中的故障,一半以上来自射频发生器。[/color][/font][font=宋体][color=black]射频发生器之于[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/yp][color=#3333ff]ICP-MS[/color][/url][/color][/font][font=宋体][color=black],就像心脏之于人。心脏坏了,不跳了,人也就歇菜了。射频发生器坏了,不工作了,[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/yp][color=#3333ff]ICP-MS[/color][/url][/color][/font][font=宋体][color=black]也就废了。所以[/color][/font][font='Times New Roman','serif'][color=black][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/yp][color=#3333ff]ICP-MS[/color][/url][/color][/font][font=宋体][color=black]只要能把等离子体点着,有问题也是小毛病,点不着了,基本都是大问题。[/color][/font] [img=,470,350]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206211117156383_3669_3389662_3.jpg!w470x350.jpg[/img][align=center][font=宋体]谱育科技厂房内装配好的射频发生器。[/font][/align][align=left][font=宋体]以上内容来自仪器信息网《ICP-MS实战宝典》[/font][/align]

  • 溅射氧化铝薄膜的XRDf衍射峰分析?

    溅射氧化铝薄膜的XRDf衍射峰分析?

    http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2011/08/201108112134_309901_2355867_3.jpg这是磁控溅射制备的氧化铝薄膜,厚度30-50nm, S1是制备样品,P1是经过750度处理后的样品,想对比变化,可是峰位怎么都对不上啊?? 基底材料用的是氧化硅wafer, 请这里的大师兄们给帮忙分析一下吧??? 急啊,老板要我解释呢 小师妹先在这里谢谢大家了!!

  • 北京市发布《射频电磁辐射车载巡测技术规范》(DB11/T 2017-2022)

    022年9月29日,经北京市市场监督管理局批准我市发布《射频电磁辐射车载巡测技术规范》(DB11/T 2017-2022),标准将于2023年1月1日起实施。  该标准规定了100 kHz~6 GHz频段内的电磁辐射车载巡测的监测系统、监测设备、监测条件、监测方法、质量保证等技术要求。适用于城市区域电磁环境质量车载巡测,其他射频电磁场车载巡测可参照执行。  附件:[url=http://sthjj.beijing.gov.cn/bjhrb/index/xxgk69/sthjlyzwg/jczf/325958775/2022101008583884282.pdf]《射频电磁辐射车载巡测技术规范》(DB11/T 2017-2022)[/url]

  • 【原创】回旋加速器射频系统

    【原创】回旋加速器射频系统

    [center]二、射频系统[/center]射频系统(RF System)产生回旋加速器的高频振荡加速高电压,它有二个主要的功能:在回旋加速器中被加速的束流每旋转一次给于离子两次能量增益;从离子源中拉出离子(RF提取)。RF系统主要由高频加速电极(D电极)、高频共振线[RF谐振腔(RF Cavity RCAV)]和高频功率源这三部分构成。这是回旋加速器中最基本的组成部分之一。它的工作状况对于加速器的性能有很大的影响,一个好的高频系统应该是工作频率可调,并且在工作负载等条件变化的情况下具有高度的稳定性,包括高达10-6量级的频率稳定度和10-3以上的电压稳定度。[center][img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2009/11/200911021217_179811_1623423_3.jpg[/img][img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2009/11/200911021218_179812_1623423_3.jpg[/img][img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2009/11/200911021219_179813_1623423_3.jpg[/img][img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2009/11/200911021221_179814_1623423_3.jpg[/img][img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2009/11/200911021222_179815_1623423_3.jpg[/img][/center]

  • 【原创大赛】两款“低运行成本”的等离子体发射光谱仪“新品”

    【原创大赛】两款“低运行成本”的等离子体发射光谱仪“新品”

    ICP发射光谱仪具有灵敏度高、多元素同时测量的优点,但是其应用中氩气消耗量很大,此问题也是一直困扰用户的问题。通常一钢瓶氩气价格在200-300元之间,ICP仪器正常开机的话能够使用4小时左右。传统ICP仪器的氩气消耗量在15-18L/min,那么一年下来,氩气成本也是一笔不菲的费用。尤其是,对于偏远地区的实验室来说,氩气的购买和使用更加具有困难。  所以,“降低运行成本理念,节能环保”理念的分析仪器成为了现今仪器公司研发的目标。2011年,发射光谱仪新品中有两款仪器的设计中体现了此理念。  一是珀金埃尔默推出的ICP发射光谱仪Optima 8000。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2011/12/201112301148_342765_1755058_3.jpg  珀金埃尔默公司ICP-AES的工厂一直设在纽约近郊的Shelton,主要的技术研发人员在此工作了20余年,产品生产质量稳定,技术基础雄厚。自1978年推出5000型以来,先后经历了5500型、6500型、P II 型、P1000 型、P2000 型、P40 型、P400 型的不断改进。1993年推出的Optima 3000型是世界上第一台全谱直读ICP-AES,1994年推出专利的双向观测技术,使ICP-AES的性能进入了一个全新的阶段。2008年完善并推出的Optima 7000DV和Optima 7300DV是珀金埃尔默公司的第十三代产品,2011年7月推出的Optima 8000系列采用了全新的射频发生器技术,是珀金埃尔默公司的第十四代产品。  Optima 8000采用了平板等离子体技术,减少了三分之一的氩气消耗量,并且不需要冷却水,运行成本大大降低。在Optima 8x00ICP光谱仪采用了平板等离子体技术,专利的RF 发生器采用免维护的等离子感应板,取代了传统的螺旋负载线圈。由于无需冷却、减少了氩气的消耗量,运行成本也大大降低。传统仪器的氩气消耗量在15-18L/min,而采用平板等离子体技术只要8-10L/min的氩气消耗量就能达到同样的效果。对于一些样品量比较大的实验室来说,每年在氩气消耗方面大概可以节约10万元,这样每三四年节省的费用都可以买一台新的仪器。  另一是安捷伦推出的1000W微波等离子体原子发射光谱仪4100 MP-AES。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2011/12/201112301148_342766_1755058_3.jpg    微波等离子体原子发射光谱仪并不是一个新鲜的技术,很早以前就已经出现了,但是多为实验室研究用的仪器,并且功率最高不过几百瓦,因其等离子体光源的温度低、电磁辐射高、金属元素分析灵敏度弱等原因,一直没有真正的商品化。  所以,安捷伦推出的这款1000W的4100 MP-AES也可以说是全球首款大功率微波等离子体原子发射光谱仪。微波发生器采用了日用微波炉的发生器,在人们日常生活中已经普遍使用,安全无泄漏。分光系统采用的是平面光栅的扫描式单色器,532*128pixels、6万多像素的CCD检测器。其工作温度达5000K,只有原子谱线,干扰简单。  并且采用气体冷却的方式代替水冷,绿色环保。  最为重要的是,4100 MP-AES可直接使用氮气或空气作为工作气体,无需使用易燃或昂贵气体,提高了安全性,大大降低运行成本。4100 MP-AES的价格比原子吸收光谱高,但比单道扫描型ICP-AES低,更是远远低于全谱直读型ICP-AES;而4100 MP-AES在灵敏度、线性动态范围、检测限和分析速度等性能上均优于火焰原子吸收光谱,与扫描型ICP-AES的分析性能相近。据安捷伦公司自己介绍,使用4100 MP-AES取代火焰原子吸收光谱仪能够显著解决分析费用。例如,在100个样品中分析9个元素,每周工作3天,则在五个月就开始省钱,18个月将会解决运营成本40000多美元。

  • 【参数解读】解读电感耦合等离子体发射光谱仪及检出限分享(ICP)(7月)

    【参数解读】解读电感耦合等离子体发射光谱仪及检出限分享(ICP)(7月)

    电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP)参数解读及检出限分享============================================================================http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/07/201207041559_375731_2000796_3.jpg研究领域:分析化学 主要用途: 可用于地质、环保、化工、生物、医药、食品、冶金、农业等方面样品中元素的定性、定量分析。 工作原理 感耦等离子体原子发射光谱分析是以射频发生器提供的高频能量加到感应耦合线圈上,并将等离子炬管置于该线圈中心,因而在炬管中产生高频电磁场,用微电火花引燃,使通入炬管中的氩气电离,产生电子和离子而导电,导电的气体受高频电磁场作用,形成与耦合线圈同心的涡流区,强大的电流产生的高热,从而形成火炬形状的并可以自持的等离子体,由于高频电流的趋肤效应及内管载气的作用,使等离子体呈环状结构。 样品由载气(氩)带入雾化系统进行雾化后,以气溶胶形式进入等离子体的轴向通道,在高温和惰性气氛中被充分蒸发、原子化、电离和激发,发射出所含元素的特征谱线。根据特征谱线的存在与否,鉴别样品中是否含有某种元素(定性分析);根据特征谱线强度确定样品中相应元素的含量(定量分析)。工作模式:通过一次测定,同时记录样品中待测元素的所有发射谱线,不管这些谱线是在紫外区,还是在可见区,也不论这些待测元素是高浓度或是低浓度,多能同时完成测定。ICP炬形成过程1)Tesla线圈—高频交变电流—交变感应磁场;2)火花—氩气—气体电离—少量电荷—互相碰撞—雪崩现象—大量载流子;3)数百安极高感应电流(涡电流,Eddy current) —瞬间加热—到10000K—等离子体—内管通入氩气形成环状结构样品通道—样品蒸发、原子化、激发。ICP光源特点1)低检测限:蒸发和激发温度高;2)稳定,精度高:高频电流—趋肤效应(skin effect) —涡流表面电流密度大—环壮结构—样品导入通道—不受样品引入影响—高稳定性3)基体效应小(matrix effect):样品处于化学惰性环境的高温分析区—待测物难生成氧化物—停留时间长(ms级)、化学干扰小,样品处于中心通道,其加热是间接的—样品性质(基体性质,如:样品组成、溶液粘度、样品分散度等)对ICP影响小。4)背景小:通过选择分析高度,避开涡流区。5)自吸效应小:样品不扩散到ICP周围的冷气层,只处于中心通道,即是处于非局部力学系统平衡;6)分析线性范围宽:ICP在分析区温度均匀,自吸收、自蚀效应小7)众多元素同时测定:激发温度高(70多种)不足:对非金属测定的灵敏度低,仪器贵,维护费用高。===========分==============割==============线================== 分析技术比较http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/07/201207051253_375984_2000796_3.jpg主要特点 1.同时读出、无任何谱线缺失的全谱直读等离子体发射光谱仪,快速、线性范围宽所以,可以通过选择合适的谱线,有效避免光谱干扰;2.无任何可移动部件,长期稳定性极好;3. CCD检测器,灵敏度高且防电子溢流;4、同一元素,具有很多分析谱线,不同元素具有不同的灵敏度,高灵敏度谱线检测低含量的样品,低灵敏度谱线检测高浓度样品,所以有效地拓宽了分析的浓度范围;5、分析速度极快;6、同时记录样品的背景信号,有效扣除背景影响,大大改善分析精度。7.高效稳定 可以连续快速多元素测定 精确度高。8.中心气化温度高达10000K可以使样品充分气化 有很高的准确度。9.工作曲线具有很好的线性关系 并且线性范围广。10.与计算机软件结合全谱直读结果,方便快捷。===========分==============割==============线================== 技术参数进样系统: 1、雾化器、标准—石英同心雾化器、雾室、标准—石英旋流雾室、炬管、可拆卸,低气流,低功率石英炬管、蠕动泵。2、计算机控制,双道12滚柱,精确控制流速,保证测定精度。 3、氩气: 计算机控制流速,采用质量流速控制,可准确到0.001L/min。使得日常分析可获得优于0.5%的精度。4、等离子体气:0~16L/min 辅助气:0~2L/min 雾化气:0~2L/min5、波长范围:175-785nm波长连续覆盖,完全无断点 6、焦距焦距 0.0004(mm),中阶梯光栅刻线97.4线/mm 7、信号稳定性:≤1.0%RSD(4小时) 8、RF发生器频率:40.68MHz 9、等离子体输出功率700~1700瓦 10、等离子体冷却气0~22.5L/min可调 11、检出限:多数元素能达到0.00xppm级===========分==============割==============线==================以下为自己做出来的检出限,仅供参考。。。。。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/07/201207091121_376622_2000796_3.jpghttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/07/201207091121_376623_2000796_3.jpg

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