相位干涉直接电场重构系统

直接激光干涉图形（DLIP）加工器一．直接激光干涉图形加工技术 在传统加工中，很少有技术能够大面积产生微纳米结构。相比于激光干涉光刻技术（LIL）的复杂步骤以及约束条件，DLIP激光加工 器可以利用脉冲激光简便地、高速地在大范围区域形成周期性几何形状从而直接烧蚀材料表面。 二．直接激光干涉图形加工器技术应用方向 在航空航天方面，为了防止飞行过程中空气动力表面结冰，目前一般会使用大量的化学产品进行加热，仅德国一年在这一领域的投入就高达10亿欧元。 同时，利用DLIP加工器对机翼材料进行的干涉图形加工，也已被证实可以大量减少冰的形成和诱导冰的脱落，使热功率降低60%-80%。 这项技术目前已被运用于飞机除冰、生物医药、高新电子产品等不同工业领域，为疏水表面、微沟槽、网格结构等不同周期性表面结构的生产提供助力。 该项技术的应用前景包括但不限于 1.改善连接器件的电子传导能力、热传导能力 2.改善材料表面疏水结构，提高自清洁能力 3.改善医疗植入物与植入表面的粘附结合度 4.制造各类表面抗菌纹理 5.增加材料表面抗反射性能 6.各类涂料工程项目 三．直接激光干涉图形加工器产品概述 DLIP加工器可以根据使用的激光束数量和它们的几何排列，利用两个或多个激光束交叉处的干涉现象在材料表面产生不同的周期性几何形状。例如，双光束设置会产生线状干涉图案，而三光束则会产生点状干涉图案。同时，DLIP加工器可以利用配套软件自动控制两束激光之间的拦截角度，从而产生不同的空间周期。 本产品适用于脉冲宽度低至1ps的超快激光 加工，并且与众多厂商的超短脉冲激光器 进行了兼容性测试，具有非常高的兼容性。四．直接激光干涉图形加工器产品特点 1.不与材料直接接触，非接触式加工模式 2.对于材料表面以及几何形状有着高适用性 3.加工过程中具有高加工速度(理想情况可达 3 m² /min) 4.加工过程中精确的激光沉积能量控制 5.非化学反应加工模式，无需额外净室空间 6.一体式紧凑设计，便于安装五．直接激光干涉图形加工器基本参数 固定型加工器 扫描型加工器 更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学 、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息，或直接来电咨询4006-888-532。

仪器简介：Artium科技引入了下一代相位多普勒干涉仪——模块化PDI-X00MD系列，PDI——X00SC系列以及飞行探头测量系统PDI-FP。这是目前为止商业化仪器中最为先进的、最易调节的激光多普勒测量系统。产品研发理念,重点关注于准确性和可靠性，可获得极高的动态分辨率：可达1：1000μm易用性，通过自动化参数设置，使得用户开机即可进行自动的测量集成了先进的固态激光器，避免使用易于造成测量问题的光纤扩展了仪器应用范围和其本身的测量能力采用了不同层次的信号验证算法，保证了测量结果的可靠性目前提供的系统包含：PDI-X00MD：模块化系统，对不同的应用提供灵活的配置；可以提供1维，2维和三维的速度测量系统；PDI-X00SC：固定光路布置的独立系统，非常方便进行不同应用下的开发和测试PDI-Comp SC：简洁独立系统，用于对喷雾器、吸入器等小的喷流应用的测量研究PDI-FP：设计简洁、对外界严酷环境有强大的适应性的系统，用于大型风洞或者直接装载在飞行器上对外界环境进行测量为用户定制的光学系统：以适应不同的应用环境和测量条件Artium PDI 系统在每一个测量点都可以对系统进行自动设置和操作强健简洁的光路系统设计没有复杂难用的光纤光路基于不同的喷流环境对采样体进行自动优化选择可以通过对坐标架实现自动控制实现对喷流流场的整体测量先进的信号有效性检测和分析系统（专利申请中）远程多用户数据操作和系统控制内置MATLABTM数据交换软件包自动设备管理系统管理和控制设备运行中参数设置和仪器操作的每一个方面。它既可以在Windows（Xp/2000）环境下运行，也可以在Linux（2.4版本内核）环境下运行。基于客户端/服务器模式的系统设计软件使得整个系统可以通过局域网或者直接通过互联网进行远程多用户操作。系统采用专用算法对实验中的测量参数进行自动设置，并且可以提供主要测量条件下参数的在线设置和调节。系统提供的外部信号输入功能可以使PDI系统的信号测量与其他外部事件实现同步，如旋转轴的轴编码信号输出或者突发事件的时间同步。系统可以实现长时间不间断的数据采集、处理、显示及存储。在长时间的数据采集过程中，得到的数据可以被储存在不同的数据文件中，以方便数据的输出和管理。数据的分析和显示功能可以由用户根据需要自行灵活扩展，数据同时提供Microsoft Excel及MATLABTM格式的输出，便于进一步的作图和分析。先进信号分析系统（ASA）— ASA是目前PDI（LDV/PDPA）系统中最为先进的信号处理系统。它是基于傅利叶变换的多普勒信号处理器，为了使其对复杂的多普勒信号处理进行优化，系统采用了很多的创新算法。系统先通过PMT/预置放大系统将PDI光路采集到的光信号转换成电信号，然后经过高通滤波和放大再进入ASA模拟信号处理环节。在模拟信号处理过程中，信号先和一个软件可选频率的信号进行混频，然后经过低通滤波器以增加信号的信噪比。系统然后对模拟电路的输出信号在软件选择的采样频率下进行采样和数字化。数字化后的信号在相位域内进行检测，系统将相位域检测输出的信号和模拟脉冲检测输出的信号进行对比，其输出信号输入到自适应采样频率的电路中进行采样。采样所得到的每一个多普勒脉冲信号打包后成为一个单独的数据包。这个数据包和其他相关的信号数据（数据采集的时间信号、渡越时间信号以及其他外部输入数据）一起通过高速PCI采集卡被传输到计算机中。Artium公司的历史沿革，概貌和专长1998年由原Aerometrics公司主要及关键人员创建在激光测量仪器、流体力学以及喷流系统特征研究方面建树卓越的专家组成的团队。在美国Navy ONR及NASA GRC支持下研发用于碳烟特性测量的激光诱导白炽光系统（Laser Induced Incandescence-LII） 研究开发用于测量云雾行为以及飞行器结冰问题的商用系统在NASA SBIR基金支持下开发先进的测量仪器在技术开发和市场方面和Spraying System公司紧密合作在气象学研究中与California 大学和Santa Cruz紧密合作在NIH NIDDK支持下进行胰岛胶囊和1型糖尿病的研究技术参数：PDI系统主要技术指标测量液滴的粒径尺寸范围：0.5-2000μm粒径测量准确度：0.5μm粒径测量分辨率：0.5μm速度测量范围：-100至300m/s速度测量准确度：1%体积流率测量准确度：15%处理器带宽：5-150MHz最小渡越时间：100ns最大采样频率：积分，320MHz最小信噪比：-6dB最大数据率：每秒100，000主要特点：相位多普勒干涉仪 — 主要技术优势不需要假设分布函数就可以得到液滴大小的分布和均值测量基于激光波长，所以可以达到极高的测量精度测量不需要标定颗粒粒径测量结果与颗粒所在位置的激光光强无关，所以激光能量衰减及任何光路传播中对光强造成的损失影响非常小空间采样体的大小可以根据颗粒浓度简便调节通过对颗粒速度的测量可以同时研究颗粒的动力学特性、体积流率以及颗粒数密度特性可以通过计算得到速度-粒径相关结果，这对于研究液滴颗粒之间的相互影响及湍流结构的相互作用非常有帮助粒径测量在具有高动态范围的同时还具有极高的测量分辨率

中图仪器SJ6000机床校准激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。测量原理SJ6000机床校准激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。产品应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过SJ6000机床校准激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

SJ6000中图高精度单频激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。测量原理激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。高精度性能特点SJ6000中图高精度单频激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。SJ6000中图高精度单频激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。在机床领域的应用激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

SJ6000国产激光干涉仪品牌集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。SJ6000国产激光干涉仪品牌结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。在测量机床领域，它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。测量原理激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。产品应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿SJ6000国产激光干涉仪品牌非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

SJ6000高灵敏度超精密激光干涉仪是利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。它集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。测量软件（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。SJ6000高灵敏度超精密激光干涉仪在机床加工领域有着广泛的应用。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。测量原理激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。产品应用激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

VIL系列纳米图形系统（激光干涉光刻机）具有快速可重构光束传输、主动图形稳定和精确样品定位等强大功能。该系统可以通过使用标准2cm×2cm正方形或用户定义形状的图案场进行重复曝光，在8英寸大面积上产生各种纳米结构，例如1D光栅线和2D柱/孔图案，周期从240 nm到1500 nm。1、 可实现同一晶圆上不同纳米结构的分区光刻；2、 制作各种一维、二维纳米图案；3、 最小线宽低于50nm；4、 与其他同类设备的功能对比图如下： 电子束直写激光直写紫外光刻机激光干涉光刻机设备示例 代表厂商德国的Raith和Vistec, 日本的JEOL和Elionix海德堡和RaithEulithaInterLitho代表性产品型号RaithEBPG Plus海德堡DWL 66+EulithaPhableR 100VIL1000 主要用途高分辨率掩模版制造和纳米结构的制备对分辨率要求不高的掩模版制造和纳米结构制备分辨率适中的纳米结构制备大面积、低成本、高通量制备高分辨率周期性纳米结构，用于微纳光学、生物芯片等新兴应用 刻写的最小物理线宽10nm~300nm60nm40nm价格和维护成本高中中较低自动化程度全自动全自动部分手动全自动设备效率低低高高需要掩模否否是否特征尺寸调制难度难，样品需要重新刻写难，样品需要重新刻写难，需要重新刻写模板容易，几分钟可实现

仪器简介：复旦大学研究中心利用&ldquo 全光纤白光干涉技术&rdquo ，在5项专利技术的基础上，成功研制出多功能光纤教学实验仪。其核心在于采用标准化、模块化的组合架构，通过共享主机、根据不同实验要求选用不同功能模块，灵活搭配，组装出不同功能的教学实验。系统的开放性特点还意味着易于拓展功能，便于将来升级。同时，系统还配备专门利用LABVIEW软件开发平台和数据采集卡开发的信号处理软件，结合物理量，提供强大的数据采集、存储、分析能力。 通过变换组件开发的实验均属于光纤应用技术范畴，覆盖了目前先进的光纤通信、传感技术。测试的物理内容在20项以上，一套综合实验系统的功能与20套分散的实验仪器实现的功能相当。此外，仪器还具有稳定光源、光电转换电信号放大器等独立功能。利用多功能光纤干涉教学实验仪主机，并配置相应配件，可实现下列实验功能： 1. 全光纤音频信号录入、传输、解调功能； 2. 双向音频传输系统（光纤电话） 3. 激光外调制、解调技术； 4. 光在介质中传播速度的测量； 5. 光纤长度测量； 6. 光纤定点应变测量； 7. 全光纤声纳测试实验 8. 全光纤振动测试实验 实验教学内容包括 （1） 光纤传感器的特性及其应用；光纤通讯；声光调试；迈克尔逊干涉仪 （2） 速度、加速度测定；力学传感器（位移、应力速度、加速度&hellip ）与其应用；振动模式研究；傅里叶频率合成；电信号的傅里叶分析 （3） 声光调试； （4） 激光在实时测量中的应用；激光的倍频与混频 （5） 纳米材料制备与测量；光纤应用；仿真物理仪器。 （6） 半导体激光器特性的研究；光的色度研究；虚拟仪器在物理实验的应用 （7） 声速的测定；激光在实时测量中的应用； （8） 光纤通讯（全光通信）；声光调试；白光干涉仪 提供完整的实验解决方案 利用&ldquo 多功能光纤干涉实验教学仪&rdquo 和辅件，能够完成以上八个实验的实验教学功能。完整的实验解决方案包括以下实验配置： 编 号 设 备 名 称 功 能 1 多功能光纤干涉实验教学仪（2台） 全光纤白光干涉 2 光纤光功率分配器（4支） 光功率分配 3 光纤跳线（6条） 光路连接 4 光纤准直器（1支） 光发射、接收 5 标准振动台(1台) 提供标准振动源 6 声源（2个） 提供声音 7 放音器（2套） 播放声音 8 声光调制器（1支） 光纤外调制 9 数据采集卡（1张） 信号采集 10 信号处理软件平台（1套） 分析信号测试特征 11 全光纤送话器（2个） 声音采集 12 单模光纤（2 12公里） 测试、传输用 13 光纤反射器（2个） 光纤中光波反射 14 信号发生器（1台） 提供信号源 15 示波器（1台） 看转化为电信号后的光信号的波形技术参数：多功能光纤干涉教学实验仪的优势 1、 实验再现的物理概念清晰 实验仪成功再现了&ldquo 白光干涉技术&rdquo ，光的干涉通过不断的完善，已经形成了传统的干涉方式，主要有：（1）迈克耳逊干涉；（2）F-P干涉；（3）M-Z干涉等。在上个世纪九十年代，出现了&ldquo 全光纤白光干涉技术&rdquo ，该技术作为一种全新的干涉方法与传统的干涉方法相比，具有更大的实用价值。但是，在全国范围内，所有的实验都未涉及&ldquo 白光干涉&rdquo 实验。&ldquo 多功能光纤干涉教学实验仪&rdquo 填补了&ldquo 全光纤白光干涉原理&rdquo 的实验空白，具有较高的学术价值和实用价值。同时，实验仪能够测量的物理量包括： （1） 光波在光纤中的传播速度 （2） 光纤等效折射率 （3） 振动速度、加速度和位移 （4） 水中声波传播特性 （5） 光纤弹光效应 （6） 光波相位调制、解调 （7） 光纤分布传感技术 （8） 振动信号频谱分析 （9） 光纤长度测量主要特点：2、 实验方式灵活 通过共享一套主机，结合不同的功能模块，能够按照需要组装不同的实验。通过该方式，能够充分发挥学生的主动性，在节约财力的情况下，完成了以往多套实验仪器设备才能完成的实验功能；同时，很好地培养了学生的主动性，一改传统实验内容过于死板，学生主动参与性不强的缺点。 3、 系统性能好不同实验通过一套系统来实现，节约了大量的财力， 4、 实验内容和方法包含的技术新颖 不同的实验内容都来自最新的专利和文章，包含的方法和内容属于新的科研成果，使得整个实验的学术水平属于国内领先水平，其中利用低频信号测试光速等实验在全国来说属于首次提出，国际上未见文献报告；保密通信利用了量子通信等先进技术，在国内也属于创新实验。 5、 实验内容贯穿理论-应用-推广应用这一过程 对明确的原理概念首先通过基础实验学习理论，通过工程应用实验学会该原理的工程应用，最后通过大型系统实验巩固物理概念、锻炼学生动手能力和拓展学生思维。通过实验学习理论知识，而不是通过学习理论知识来重复实验，是&ldquo 多功能光纤干涉教学实验仪&rdquo 开设实验的强度教学功能。 开设的实验介绍

主要特点：光干涉仪 特点： 波长范围：1064nm-1550nm 用于激光相位噪声测量、频率噪声测量和传感器 可通过前面板BNC连接器由PZ1普通型光纤拉伸器驱动

中图仪器SJ6000国产单频激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。SJ6000国产单频激光干涉仪可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。测量原理激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品特点精度高SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。功能广（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。软件强（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。SJ6000国产激光干涉仪直线导轨平行度平台平面度数控机床线性测量非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。部分技术指标主机稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50 kHz预热时间：≤ 6分钟工作温度范围：(0~40)℃存储温度范围：(-20~70)℃环境湿度：(0~95)%RH环境补偿单元空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)角度测量范围：±10°平面度测量范围：±1.5mm直线度测量范围：±3mm垂直度测量范围：±3/M mm/m便携箱尺寸：613*460*230mm标准配置重量：18kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

仪器简介：Renishaw的新型XL-80激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平，提供4 m/s最大的测量速度和50 kHz记录速率。即使在最高的数据记录速率下，系统准确性可达到±0.5ppm（线性模式）和1纳米的分辨率，这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势，帮助解决现代化机器设计问题。 系统精度比原有的对应产品ML10激光系统有所提升，在整个日常温度、气压和湿度不同工作环境下，均可达到±0.5 ppm的精度。环境读数使用XC-80智能传感系统进行读取，每7秒更新一次激光读数补偿值。还有一点很重要，与Renishaw的ML10系统一样，所有测量值均采用稳定化的氦氖激光源的波长为单位，保证能够溯源至国际公认的长度标准。此新系统可以与现有的ML10系统光学镜组完全兼容，使目前全球成千上万的ML10用户能够升级到新系统，并同时保留其在光学镜组、程序和人员培训上的原有投资。 我们还提供已更新的Renishaw软件版本（LaserXL™ 及QuickViewXL™ ），能够以用户熟悉的、易于使用的格式提供数据。Laser XL™ 能够执行循序渐进式的测量，以方便对大多数机床按标准进行检验，QuickViewXL™ 软件能够在屏幕上实时地显示激光读数。您只要看一眼Renishaw的新型XL-80激光装置和XC-80补偿器，就会注意到它们比原有的ML10和EC10小了许多。现在，二者总重仅3公斤多一点（包括连接电缆、电源和传感器），比原来减轻了70%。当然，随着激光头和补偿器尺寸减小，其他系统组件，例如三脚架和云台也相应地减小以便相配，因此整个系统（除了三脚架）的装运箱减小了许多。现在，最小的“脚轮箱”只有原来箱子的一半大一点点，却可以携带整个线性和角度测量系统，并有放置Renishaw QC10球杆仪组件的位置。这个高度便携的“检查和修正”系统总重不到15公斤，同类产品无以匹敌。为了与系统的其他组件的便携性相匹配，我们设计了新型三脚架和装运箱，仅重6.2公斤。激光头和云台体积很小，能够方便地固定在标准磁性座上，可以在不方便使用三脚架固定的应用条件下使用。XL-80激光测量系统的光束高度和光学镜组尺寸与ML10系统一样，因此也可以直接放在花岗岩工作台（不使用三脚架云台）上，进行坐标测量机的校准。Renishaw已将激光的预热时间缩短至大约仅6分钟。预热速度较同类系统快，因此用户等待时间减少了，用于测量工作的几率增加了，这对于机器校准服务商和那些需要在一个地点执行多项测量的用户而言非常重要。现在，信号增益的开启和关闭是一项标准功能，使其具有80米线性测量距离的能力。若短距离应用时，则可以提高信号强度。配上多信号连接器以提供模拟信号输出以及激光直接到PC USB连接（不需要单独的接口），现在，XL-80激光头的配置包括了过去ML10机型的激光头上原为任选的所有功能。XL-80系统具有长达3年标准的全面保修，并可以以优惠的价格选购延长保修时间为5年。对于使用ML10的老用户和使用其他厂商制造的同类系统的新客户，我们均提供一些特别优惠政策。因此，您更有理由去联络Renishaw公司在全球各地的分公司和地区经销代理，让我们为您介绍选购XL-80作为升级或作为新系统所带来的好处。技术参数：系统精度:±0.5ppm (0~40 ℃整个工作环境范围) 激光稳频精度:±0.05ppm分辨率:0.001 um最大测量速度:4.0m/sec最高采样频率:50KHz测量范围:0 - 80 metres预热时间更短:~6分钟主要特点：传承于畅销全球的ML10 Gold激光干涉仪,诞生于英国计量产品世家的又一惊世杰作,XL80激光干涉仪为业界提供了性能更为先进,应用更为广泛,更加轻巧便携的计量检测利器: 检测速度从每小时几个微米到每分钟240米(仍以分辨率0.001 um记数) 采样频率从静态到每秒50000个数据点(仍以分辨率0.001 um记数) 测量范围从数纳米的微观尺寸到80米的大尺寸测量

机械耦合传感器习惯上被用来测量振动。尽管如此，一般、持续的朝着小型化的趋势，正提出对测量系统全新的要求，该系统需通过宽的频率范围且以纳米分辨率来测量物体的移动。激光干涉振动计用于对宏观和微观物体的非接触，无反应测量，频率在0-2MHz,分辨率在纳米范围内。这些系统很适合于需要分析难以达到的物体振动的应用程序。LSV激光干涉振动计系列激光干涉振动计的设计是建立在迈克耳孙干涉仪的基础之上的，在它里面，一束相干光纤分离成两个部分的光束：参考光束和测量光束。参考光束有固定的长度。测量光束集中在测量的表面，它的长度由于测量物体的移动而改变。测量光束从被测量物体上反射出以后，两个返回的局部光束相互干涉。它们的相位差与测量物体的位移是相称的，且测量也是可变的。这个测量可以追溯到国际长度标准，因为激光频率充当直线标度。优化的光学粗糙表面激光干涉仪振动计是为测量光学粗糙表面优化了的干涉仪。他们区别于其它长度测量干涉仪的最重要的特征，是它们在测量方位上有一个集中在测量光束上的镜头。从光学粗糙表面上的反射生成一个散斑图。传感头是设计用来确保一个好的信号噪声比，即使当这样一个散斑图产生的时候。测量光束的聚焦把测量范围限制到几个mm，作为表面反射率的一个功能。尽管如此，在振动测试中这通常不是个问题，因为测定的振动幅度通常更小。正常的位移测量也可以在有效的测量范围内进行。氦氖激光器被用来当做长度和振动测量的光源，因为它们的特性例如相干性和频率的稳定性，对于度量衡是至关重要的。串联LSV振动计的测量头，通过光纤电缆耦合保持头相当小地或者免于热辐射。传感头中的考面镜可以调节，以便简化校准和提高性能。LSV系列的新特征是用一个变焦目标来聚焦测量光束，而不是以前传统的定焦镜。这使得测量头和测量点之间的距离领域自由选择在20cm到2m.这可让测量设置中有相当大的灵活性，因此测试仪器可以用于一系列不同的应用。电子估算单元的设计用来处理从测量头接收到的干涉仪信号的氦氖激光器和电子设备被封装在10英寸的估算单元里。信号处理，考面镜和可变输入放大器通过多微机系统和非常快的可编程序逻辑电路来控制。估算单元有一个模块结构，所以测量系统可以通过添加各种各样的信号处理卡灵活适应一个应用程序。两个系列LSV传感头的评估可以封装在一个19英寸的设备中。数据捕捉可以和外部事项同时进行，这通过极短的延迟时间下利用触发脉冲输入完成。这也使得目标的相位响应在一个已知的激发下测量。估算单元可以装备有不同的接口卡以适应预期的目标高速估算卡提供一个USB和一个RS232接口连接到电脑上。还有一个触发输入，外部激发源同步振动测量 。这个估算卡可以用来控制振动计的各种功能，还可以控制最大采样频率1MHz和最大数据块长32768值。用该卡进行交流的应用程序接口对用户来说是可行的。A DLL,一个矩阵实验室图书馆和相应的模块支持整合成独立申请。并行接口卡使得解调的干涉仪信号作为一个数字的平行32位字来利用。 分辨率（字的最低有效位）相当大约0.078nm。平行32位数值在一个很短的潜伏期内有效的，并且可以在扫描速度达4MHz下读出来。这个促进完全可能带宽2MHz的利用。这个情况下，振动分析系统经常提供传感器的模拟输入。模拟接口因此有一个模拟输出，用来整合成这些系统。这使得传统的振动传感器很容易被激光干涉振动计所替代。串联 LSV振动计的动态范围比传统传感器的测量范围要大的多，就像合理支出下模拟分辨率的可实现。映射在模拟输出上的测量范围因而可以在七个阶段选择，以适应不同的应用领域。这个通常用前面板上的旋钮完成，但是范围也可以通过PC界面合适的软件来转换。重置模拟信号的追加输入进一步简化使用，总的来说，模拟接口卡以最大输出率10MHz来提供16位分辨率。尽管各种各样的于激光干涉振动计有效的接口可以结合到几乎每个测量系统中，经验证明大多数应用包含PC软件的单独操作。INFAS-Vibro软件通过USB或RS232接口或与高速并行接口振动计连用的DIO卡。软件使得振动信号呈现出来，保存且处理。记录原始信号使得测量无限制地离线分析。ASCII格式化数据的可配置出口使得初始和预加工能进一步加工处理。为融合进独立的应用中，INFAS Vibro可以由一个简单的TCP-IP协议来控制。无接触机械振动的量测和分析串联LSV激光干涉振动计可以用在机械振动需要无接触地分析和测量的所有领域。它与其他振动测量方法相比的主要优势是它的非接触和无反应操作方式， 以时间范围内小于1纳米的距离分辨能力的大测量范围，通过FFT增加到频率范围小于80微微米。当然，频率范围从0Hz到电流最大2MHz.振动光谱，自然频率和振动模式也可以确定。多坐标测量和微差测量可以再多系统援助下进行。串联LSV振动计的特别说明在真空运行时可能的，但是技术上很复杂。尽管如此，经常可以看到目标通过真空室的一个窗户测量，在真空室内通过外置测量头来测量。这使得真空下测量目标变得简单。激光干涉振动计是对于要求精度，物体非接触测量的所有应用都非常宝贵的工具。非接触操作模式在无需传感器机械影响下，提供不同位置快速分析物体的方法。该系统具有高精度和高分辨率，非常广泛的频率范围等特性。由缩放目标扩大的可变测量范围，评估电子设备的不同接口和综合软件支持，使串联LSV振动计成为生产，质保，研究和发展中一个重要的测量仪器。Worldwide Technology(S.H) Co.,Ltd.WAD (H.K) Co.,LtdTel: Fax: Email:

瞬态(近红外)激光波前畸变检测干涉仪是将空间位相调制的共路剪切干涉技术与数字化波面高新计算技术相结合研制的新颖干涉系统，是浙江大学光电系现代光学仪器重点实验室、杨甬英等教授集多年基础、数年攻关完成的目前国内首台利用干涉方法仅需单幅干涉图就可以高分辨率检测各类高、低功率的脉冲激光、连续光波前畸变、检测各类高精度大口径精密表面的面形、动态检测各种流体的变化等。仪器抗噪、抗干扰性好特别适合于现场的实时检测。波前及面形的检测分辨率高，可高精度测量较大的波前畸变量，可以用于瞬态图象高速采集及检测。波前检测软件输出信息量丰富、可适用于不同波段的可见光、红外波段的检测。经权威单位与ZYGO干涉仪比对测试，近红外脉冲激光波前畸变检测的波前均方根已优于1/15波长。瞬态激光波前畸变检测干涉仪已达到国际先进、国内领先的先进水平。仪器技术指标：1、应用波长：从紫外、可见光至中远红外波段（波长可根据用户不同要求确定）；2、光束接收口径：F10mm ～用户任定口径；3、仪器精度及重复性：波前均方根优于1/15波长；4、测量范围：波前畸变检测量可达50 mm；5、可用于脉冲光、连续光、各类精密表面面形测量：测量脉冲激光的脉宽可达1ns；6、光学系统具有高激光损伤阈值；7、高分辨率数据采集系统:科学级CCD相机，空间分辨率至1024× 1024以上或用户定；8、仪器利用共路剪切干涉技术，抗振动性好,可放于任何工作台现场使用；9、光束波前诊断软件包：给出检测波前位相（可以是光束波前、面形或流体的形变等）的三维图形、等高图、波前畸变的PV 值、均方根值、波面梯度值等；给出表征光束能量分散度的Streh1比；光学系统象差的评价参数OTF和PSF；软件具有友好的图形工作界面，工作于Windows 2000以上平台，软件有各类数据图象及数据输出功能。应用范围：本仪器是动、静态皆可检测的系统，可应用于航空、航天、航海及国民经济诸多领域：1. 配备高速的CCD与图象转换系统，可以检测具有较大畸变、快速变化的气体折射率密度场、高速绕流流场，获取高速飞行体在各个瞬间状态的三维流场的相关参数。并且可以应用于流体显示技术、空气动力学方面的研究。2. 良好的抗振性特别适合于在车间、现场进行各类精密表面面形的分析测量、不同尺寸的光学元件、硅片、金属表面面形、非球面等各类元件的精密检测。3. 可以检测各类高能激光系统的静态、动态波前畸变，特别为1053nm的近红外脉冲波前检测提供一个高精度、高分辨率的检测结果。系统配备标准近红外光源，可以检测1053nm 波段的各类光学材料的透射特性参数。图2是系统软件输出界面。图3是已实际用于纳秒级高能脉冲波前检测的干涉图。图4是纳秒级高能脉冲波前重构的三维图。

产品名称：microworks X射线干涉仪Talint EDU产品型号：Talint EDU产品介绍Talint EDU是X射线Talbot Lau干涉仪的一种巧妙简化形式，包括所有必要的硬件，以正确设置和微调干涉仪，并应用相位步进程序，以获得三种成像模式：吸收、相位对比度和暗场对比度。硬件的设计使得，在按照我们的说明组装（预装）套件后，莫尔条纹将很容易在您的探测器上看到。莫尔条纹图案的进一步微调可以通过使用G1和G2支架中的微米螺钉使光栅绕光轴进行角旋转，以直接的方式进行。性能特点l 由基板定义，基板是M6的试验板，间距为25mml 光栅是使用X射线LIGA技术制造的，该技术确保了高精度和高的高宽比（纵横比）l 通过定位销固定；对称设置l 两个光栅都可以通过调节测微螺钉绕光轴旋转l 包含控制器技术参数产地：德国长度：60厘米宽度：15厘米高度：20厘米光栅开放区域G0：15毫米G1：70毫米G2：70毫米干涉仪的微调：仅调整G1和G2绕光轴的旋转角度样品放置：简单的旋转台，可在光轴内外摆动样品相位步进：闭环压电级。30nm分辨率边缘能见度：通常15%G0和G2的占空比：0.55G0和G2的基板：400µ m石墨G1占空比：0.5G1基板：200µ m硅

干涉仪和光纤拉伸器OPTIPHASE是一家超高性能干涉系统和光纤拉伸器的供应商，产品用于精密测试和测量仪器以及光纤传感系统。干涉仪内部采用的是他们自己研制的PZ1小尺寸的光纤拉伸器，内置的PZT通过前面板的BNC连接器驱动。?干涉仪特点：应用：低插入损耗激光器相位、频率噪声测试零光路失配干涉型光纤传感系统模拟BNC调制接口光路失衡干涉技术指标：?光纤拉伸器特点：高性能低成本外形小巧特有的光纤绕盘技术技术指标：期待您的咨询我们的地址：上海市闵行区都会路399号3栋2层201室电话：021-64903967联系人：龚女士15900924336期待您的咨询

仪器简介：双光束干涉仪是通过分束镜得到两束光程和强度都接近而且夹角易于调节的光束，在光束的重叠区将产生干涉条纹，用于物理/光学专业教学的演示仪器。技术参数：氦氖激光器：1.5mW 平台底板：500mm× 350mm开设实验： 1、马赫-泽德干涉实验并观察干涉仪的稳定性，了解全息光栅的制作方法 2、萨格奈特干涉实验并观察干涉仪的灵敏度 3、迈克尔逊干涉实验，估计激光器的相干长度，观察非定域干涉条纹及条纹反衬度随光程差的变化主要特点：采用铝质底板，利用便携式实验箱，摆放方便，节省空间。学生可自己动手调节光路，使学生了解各种干涉仪的原理和应用。

皮米激光干涉仪 德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上，新推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的IDS型号皮米精度位移激光干涉仪。与FPS型号干涉仪相似，IDS型号同样适用于端环境如高真空与高辐射环境并且具有高精度与高采样速率。IDS产品是适合工业集成与工业网络无缝连接的理想产品。产品在工业应用中具有广泛范围前景，包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量，实时位移测量等。 德国计量院（PTB）对IDS3010激光干涉仪的精度进行了认证。值得指出，在0-3米的工作距离内， IDS激光干涉仪的的测量数据与德国计量院激光干涉仪数据完全一致。德国计量院的认证使得IDS激光干涉仪的测量数据满足德国标准，使得IDS更加理想的成为位移台鉴定与机器加工等领域的测量工具。IDS3010激光干涉仪主机尺寸与接口IDS3010激光干涉仪应用领域IDS3010充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要，可应用于长度测量、同步辐射、精密仪器、半导体工业以及显微镜。IDS3010激光干涉仪产品特点 + 设计紧凑（50mm x 55mm x 195mm），适合工业集成+ 工业化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面+ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz+ 环境补偿单元，不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度+ 校正简单，配备可见激光（650nm）用于校正测量激光（1530nm）+ 测量精度高，探测器分辨率高达1 pm设备选件光纤式激光探头 IDS系列激光干涉仪可提供不同型号探头（探头尺寸，光斑大小不同）。探头直径范围：1.2mm – 22mm。典型准直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。低工作温度：10mK, 1E-10mBar超高真空适用, 10MGy强辐射环境适用。激光探头技术参数表激光探头型号尺寸mm (直径与长)工作距离(低反射，高反射材料）激光类型（聚焦、准直） 光斑大小D1.2/F7Ф 1.2 7.55-9 mm30-45 mm聚焦，焦距7mm70μm@7mmD4/F8Ф 4 11.56-10 mm15-30 mm聚焦，焦距8mm70μm@8mmD4/F13Ф 4 11.511-15 mm30-45 mm聚焦，焦距13mm70μm@13mmD12/F2.8Ф 12 32.32.8 mm聚焦，焦距2.8mm2μm@2.8mmM12/C1.6Ф 14 17.40-1000 mm准直1.6mmM15.5/C1.6Ф 22 20.60-1000 mm准直1.6mmM12/C7.6Ф 14 49.30-5000 mm准直7.6mm应用案例■ IDS3010在航天飞行器形变检测上的应用德国卫星制造商OHB公司（德国OHB-System 是一家专门从事小卫星系统、分系统研制工作的企业,在小型商业卫星、小型研究卫星及相关分系统的研制、制造和操作方面具有丰富的经验）采用attocube的激光位移传感器IDS3010，对三代气象卫星（MTG）柔性组合成像仪进行了高真空光-热-力学模型试验。该试验包括在仪器的不同区域，并监控其后续光学元件相对位移测量哈特曼传感器。在真空环境中通过IDS3010激光干涉仪以小于1角秒的精度对平面基准相对位置的稳定性进行了一个多星期的持续测试。为了校准IDS3010不同探头之间的距离，需要进行初步测试（每个传感器探头与用于角度计算的距离，名义上为100 mm）。为此，平面参考镜的电动框架被用来产生任意角度的运动。这些角度是由IDS3010激光干涉仪和校准的自准直仪测量得到。IDS3010激光干涉仪在±720角秒范围内表现出良好的线性（0.1%），并且非常容易校准。再与MTG柔性组合成像仪对齐之后，即在Shack-Hartmann传感器和IDS3010传感器之间执行另一个交叉校准，以补偿IDS3010传感器相对于Shack-Hartmann传感器的时钟。三代气象卫星的柔性组合成像仪（MTG-FCI）的实验装置。紫色表示激光干涉仪组件：传感器探头支架和角角锥棱镜支架。以上信息由OHB System AG提供结果此次测量的目的是在一周多的时间内连续监测参考镜相对于卫星的稳定性，精度小于1角秒。使用如上所述attocube公司的激光干涉仪得到的测试得到角度精度甚至比一个角秒还要好。理论计算表明，其测试分辨率可以到达0.021角秒（等于5.8u°），但实际读数受试验装置振动的限制。■ IDS3010激光干涉仪在自动驾驶高分辨调频连续波（FMCW）雷达上的应用自动驾驶是目前汽车工业为前沿和火热的研究，而自动驾驶尤为重要的是需要可靠和高分辨率的距离测量雷达。德国弗劳恩霍夫高频物理和雷达技术研究所（Wachtberg，D）Nils Pohl教授和波鸿鲁尔大学（Bochum，D）的研究小组提出了一种全集成硅锗基调频连续波雷达传感器（FMCW），工作频率为224 GHz，调谐频率为52 GHz。通过使用德国attocube公司的皮米精度激光干涉仪FPS1010（新版本为IDS3010）证明了测量系统在-3.9μm至+2.8μm之间达到了-0.5-0.4μm的超高精度。这种全新的高精度雷达传感器将会应用于许多全新的汽车自动驾驶领域。图一 紧凑型FMCW传感器的照片图二 雷达测距示意图，左边为雷达，右边为移目标，attocube激光干涉仪用来标定测量结果参考文献S. Thomas, et al IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019).■ IDS3010激光干涉仪在半导体晶圆加工无轴承转台形变的测量上的应用半导体光刻系统中的晶圆轻量化移动结构的变形阻碍了高通量的半导体制造过程。为了补偿这些变形，需要的测量由光压产生的形变。来自理工大学荷兰Eindhoven University of Technology 的科学家设计了一个基于德国attocube干涉仪IDS3010的测量结构，以此来详细地研究因为光压而导致的形变特性。图一所示为测量装置示意图，测量装置由5 x 5 共计25个M12/F40激光探头组成的网格，以此来实现监测纳米的无轴承平面电机内部的移动器变形。实验的目的是通过对无轴承的平面的力分布进行适当的补偿，从而有效控制转台的变形。实验测得大形变量为544nm，小形变量为110nm（如图二所示）。图一 左侧5X5排列探头测量装置示意图，右图为实物图图二 无轴承磁悬浮机台形变量的测量结果，大形变量为544nm参考文献Measuring the Deformation of a Magnetically Levitated Plate displacement sensor.■ IDS3010在X射线成像中提高分辨率的应用在硬X射线成像中，每个探针平均扫描时间的减少对于因为束流造成的损伤是至关重要的。此外，系统的振动或漂移会严重影响系统的实时分辨率。而在结晶学等光学实验中，扫描时间主要取决于装置的稳定性。Attocube公司的皮米精度干涉仪FPS3010（升之后的型号为IDS3010），被用于优化由多层波带片（MZP）和基于MZP的压电样品扫描仪组成的实验装置的稳定性的测量。实验是在德国DESY Photon Science中心佩特拉III期同步加速器的P10光束线站上进行的。Attocube公司的激光干涉仪PFS3010用来检测样品校准电机引起的振动和冲击产生的串扰。基于这些测量，装置的成像分辨率被提高到了±10nm。 图一 实验得到的系统分辨率结果参考文献Markus Osterhoff, et at. Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III 103890T (2017)■ IDS3010激光干涉仪在微小振动分析中的应用电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。全球研究机构苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙的利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上（doi:10.1038/nature25156）。研究人员通过测试了一种机械超材料的体，边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。德国attocube公司的激光干涉仪IDS3010被用于超声-空气转换器激励后的机械超材料振动分析。IDS3010能到探测到机械超材料不同位置的微小振动，以识别共振频率。终实现了11.2pm的系统误差，为声子四拓扑缘体的实验分析提供了有力的支持。图一 实验中对对机械超材料微小振动的频率分析参考文献Marc Serra-Garcia, et al. Nature volume 555, pages 342–345 (2018)■ IDS3010激光干涉仪在快速机床校准的应用德国亚琛工业大学（Rwth Aachen University，长久以来被誉为“欧洲的麻省理工”）机床与生产工程实验室（WZL）生产计量与质量管理主任的研究人员利用IDS3010让机床自动校准成为可能，这将大的提高机床的加工精度和加工效率。研究人员通过将IDS3010皮米精度激光干涉仪和其他传感器集成到机床中，实现对机床的自动在线测量。这使得耗时、需要中断生产过程、安装和卸载校准设备的手动校准变得多余。研究人员建立了一个单轴装置的原型，利用IDS3010进行位置跟踪，其他传感器如CMOS相机被用来检测俯仰和偏摆。校准结果与常规校准系统的结果进行了比较：六个运动误差（位置、俯仰、偏摆、Y-直线度、Z-直线度）对这两个系统显示出良好的一致性，值得指出的是：使用IDS3010的总时间和成本显著降低。该装置演示了自动校准机床的个原型，而且自动程序减少了机器停机时间，从而通过保持相同的精度水平提高了生产率。参考文献Benjamin Montavon et al J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)■ IDS3010激光干涉仪在工业C-T断层扫描设备中的应用工业C-T断层扫描被广泛用于材料测试和工件尺寸表征。设计一个的锥束C-T系统的挑战之一是它的几何测量系统。近，瑞士联邦计量院（METAS）的科学家将德国attocube公司的IDS3010皮米精度激光干涉仪用于X射线源、样品和探测器之间的精密位移跟踪。实验共有八个轴用于位移跟踪。除了测量位移之外，该实验装置还能够实现样品台的角度误差分析。终实现了非线性度小于0.1μm，锥束稳定性在一小时内优于10ppb的高精度工业C-T。参考文献Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU■ IDS3010激光干涉仪在增材制造3D打印方面的应用微尺度选择性激光烧结（μ-SLS）是制造集成电路封装构件（如微控制器）的一种创新方法。在大多数的增材制造中需要微米量的精度控制，然而集成电路封装的生产尺寸只有几微米，并且需要比传统的增材制造方法有更小的公差。德克萨斯大学和NXP半导体公司开发了一种基于u-SLS技术的新型3D打印机，用于制造集成电路封装。该系统包括用于在烧结站和槽模涂布台之间传送工件的空气轴承线性导轨。由于该导轨对定位精度要求很高，所以采用德国attocube公司的皮米精度干涉仪IDS3010来进行位置的跟踪。参考文献Nilabh K. Roy, Chee S. Foong, Michael A. Cullinan: "Design of a Micro-scale Selective Laser Sintering System", 27th Annual International Solid Freeform Fabrication Symposium, At Austin, Texas, USA ■ IDS3010激光干涉仪在扫描荧光X射线显微镜中的应用在搭建具有纳米分辨率的X射线显微镜时，对于系统稳定性的要求提出了更高的要求。在整个过程中实验过程中，必须确保各个组件以及组件之间的热稳定性和机械稳定性。德国attocube的IDS3010激光干涉仪具有优异的稳定性和测量亚纳米位移的能力，表现出优异的性能。IDS3010在40小时内具有优于1.25nm的稳定性，并且在100赫兹带宽的受控环境中具有优于300pm的分辨率。因此，IDS3010是对所述X射线显微镜装置中使用的所有部件进行机械控制的不二选择，使得整个X射线显微镜实现了40nm的分辨率，而在数据收集所需的整个时间内系统稳定性优于45nm。参考文献Characterizing a scanning fluorescence X ray microscope made with the displacement sensor■ 皮米精度激光干涉仪IDS3010在相位调制器的精密调制和控制上的应用相位调制器是相干合成孔径望远镜中光束合成机构的关键部件。提高相位调制器的调制精度和控制带宽有助于提高合成孔径望远镜的成像分辨率。相位调制器运动信息包括俯仰角、方位角和轴向位移3个自由度。目前3个或者多个自由度的实时测量还处于发展阶段。同时实现多自由度测量更是少之又少。来自中国科学院光电技术研究所光束控制重点实验室的方国明课题组采用德国attocube system AG公司的三轴皮米精度激光干涉位移传感器IDS3010通过获取待测目标平面内3个不共线点的位移量，而3个不共线的点可确定平面的法线，基于平面法线的性可解，从而可以获得目标的3个自由度运动信息，包括方位角、俯仰角和轴向位移。成功实现了三自由度的同时实时测量。图示： 三自由度测量原理示意图■ 皮米精度位移测量激光干涉仪助力声子四拓扑缘体观测电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙地利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上。研究人员通过测试一种机械超材料的体、边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。图示：实验装置示意图参考文献Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)■ 激光干涉仪检测纳米精度位移台误差在实际生产中的存在可能导致损失以及客户对产品信心的丢失。光学传感器可以在质量检测中帮助减少误差产生提高成品率。attocube激光干涉仪是理想的可在各个领域提供高精度探测来减少误差的一种光学传感器。作为纳米精度位移台供应商的德国attocube公司，对位移台的精密移动的测量与鉴定是一个非常重要的任务。例如，下图左，ECS3030型号的线性位移台可在真空中进行位移。ECS3030位移台的行程是20mm。技术参数要求的是可重复精度小于50nm。利用attocube激光干涉仪对位移台上样品进行测量，位移台被程序控制来回往复移动1mm,在20mm的行程内在多个不同地点进行来回往复移动。测量结果如下图中所示。通过分析，左图中的数据提取的偏差值是13.2nm，下图右数据的直方图显示标准差是13nm。因此，位移台的可重复性技术指标是合格的。通过使用attocube激光干涉仪可以实施对于纳米精度位移台ECS3030的全自动测量。这已经是德国attocube公司对于位移台的质量检测手段。并且，这样一个简便与实用的传感器可以直接集成到生产线中去提供高产出的质量检测。■ 激光干涉仪组建高精度X射线显微镜同步辐射中心具有广泛的应用领域，生物科技（蛋白质结构），医学研究（微生物），工程研究（裂纹的变化观测），先进材料（纳米结构测量）等。以上应用需要高精度去驱动聚焦镜，样品，光学狭缝等物品（下图左），这样的机械结构需要减少热漂移与定位误差。德国attocube公司的激光干涉仪具备皮米精度分辨率，激光探头可在真空环境中使用，是同步辐射研究的良好选择。在现有激光探头中，标准激光探头M12是已经被证实可以在辐射环境中使用（大10MGy)。美国布鲁克海文实验室E. Nazaretski等人结合attocube激光干涉仪与纳米精度位移台搭建了X射线扫描成像显微镜（下图中）。通过attocube激光干涉仪作为实时检测与反馈位移台移动的工具，科学家实现了0.5nm的步进扫描（下图右）。并且，在真空环境中，系统的热漂移达到了2nm/h。综上所述，高精度的X射线显微镜可以实现纳米精度扫描成像，是实现硬X射线区域光学研究的有力工具。该显微镜使得X射线荧光光谱纳米精度成为了现实。参考文献E. Nazaretski , et.al. J. Synchrotron Rad. (2015). 22, 336–341 ■ 激光干涉仪无损探测轴承误差旋转物体的运动误差分析是高精度机械工程领域的一个主要兴趣之一。如果是高速旋转的转子，甚至1纳米的误差就会产生不想要的振动与运动误差。因此，纳米精度的运动误差监测是机械工程领域前沿的重要研究课题。一个主要的难题是：如何减小运动误差？为了减小误差，先需要测量误差。德国attocube公司的激光干涉仪可以提供一个无损，紧凑并且一插即用的解决方案。通常的线性位移测量需要一个平整的表面，而旋转运动的时候，遇到的是一个曲面（右图上）。attocube激光干涉仪测量的是一个直径为10mm的电动转子。由于attocube激光干涉仪的探头具有较大的容忍角度，激光探头很容易完成了校准并开始进行测量。转子转速为2160转每秒，两个激光探头对转子的运动误差进行了测量。右图下显示的为测量结果，红色实线为平均位置，而虚线显示了误差为5微米的两个圆环。黑色实现为实际测量数据。德国attocube公司的激光干涉仪软件使用界面友好，可提供亚纳米别的运动误差校正方案。即使是新用户，对于其激光干涉仪的使用也会很快熟悉。参考文献 Review of scientific instruments, 84, 035006 (2013) ■ 激光干涉仪校正低温非线性扫描通常扫描台在室温下扫描50微米 x 50微米的范围时候不会有显著的非线性效应。但是当在低温环境（4K或更低）中，压电陶瓷本身的性能发生变化，会产生下图右中的非线性扫描现象。通过德国attocube公司的激光干涉仪，可以在低温环境下使用激光探头对扫描台的扫描运动进行实时检测（高速扫描）。结合对扫描台的施加电压进行实时反馈控制，可解决低温下非线性扫描问题。测试数据■ 实验数据，皮米精度的稳定性图1 77mm长的腔在20个小时内的实验测量数据表明数据误差范围在55pm■ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz图2 样品移动速度2米/秒，移动范围1m发表文章1. Stability investigation of a cryo soft x-ray microscope by fiber interferometry Rev. Sci. Instrum. 91, 023701 (2020) 2. Vibration-heating in ADR Kevlar suspension systems James Tuttle et al 2020 IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. 755 0120153. S. Thomas, et al IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019).4. Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)5. Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU6. Benjamin Montavon et al J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)7. In situ contrast calibration to determine the height of individual diffusing nanoparticles in a tunable confinement S. Fringes et al. J. Appl. Phys. 119 024303 (2016)8. Interferometric characterization of rotation stages for X-Ray nanotomography T. Stankevi? et al. Rev. Sci. Instrum. 88 053703 (2017)9. Measurement of forces exerted by low-temperature plasmas on a plane surface T. Trottenberg and H. Kersten Plasma Sources Sci. Technol. 26 055011 (2017)10. Mesh-type acoustic vector sensor M. K. Zalalutdinov et al. J. Appl. Phys. 122 034504 (2017)11. Markus Osterhoff, et at. Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III 103890T (2017)用户单位attocube公司产品以其稳定的性能、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定，在全球范围内有超过了130多位低温强磁场显微镜用户。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎.....国内部分用户北京大学中国科技大学中科院物理所中科院武汉数学物理所中科院上海应用技术物理研究所复旦大学清华大学南京大学中科院半导体所上海同步辐射中心北京理工大学哈尔滨工业大学中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所……国外部分用户

Vero原子力显微镜是Asylum推出的全新一代AFM，其利用正交相位差分干涉技术(QPDI)可以精确测量探针的真实位移。基于屡获殊荣的Cypher 平台打造，Vero继承了Cypher系列无与伦比的稳定性和超高分辨率；并凭着QPDI这项受专利保护的独特创新，使Vero能够获得更定量的、准确和可重复的结果。1、测量探针真实的位移QPDI直接测量真实的探针位移而不是悬臂梁角度，可提高许多AFM测量的定量化。2、改进测量灵敏度在许多悬臂梁上,QPDI可将悬臂梁检测噪声降低10倍或更多，提高了测量灵敏度。3、避免垂直和平面力之间的串扰只有QPDI测量纯粹的垂直探针位移，避免了ODB垂直和侧向偏转信号之间的大串扰。4、通过光的波长精确校准干涉检测避免了与OBD校准相关的假设和不确定性。

上海瞬渺提供的全光纤全光纤迈克逊干涉仪（Fiber Michelson Interferometer）不但可以用来作为精密的测试测量仪器，还可以应用在精密的干涉传感系统。光纤干涉仪内部采用PZ1小尺寸光纤拉伸器（参见PZ1光纤拉伸器产品资料），内置的PZT通过前面板的BNC连接器驱动。 全光纤迈克逊干涉仪标准产品的工作波长从1064nm到1550nm。每个光纤干涉仪都具有“零米”光路偏差的设计，用于方便用户根据不同的测试应用来改变光路延迟长度。标准产品的延迟光纤长度为50米，我们能够根据用户的实际要求提供各种定制的光纤干涉仪，请联系我们的销售人员。产品特点： 低插入损耗 零光路失配 BNC调制接口 裸光纤型光纤干涉仪可选（无封装）应用领域 激光器相位噪声测试 激光器频率噪声测试 干涉型光纤传感系统模拟 科研实验室应用技术指标参数单位指标产品型号MFI-10-50MFI-13-50MFI-15-50工作波长nm106413101550调制常数rad/V2.52.01.6两臂光路失配长度（无延迟）m0m0m0m两臂光路失陪长度偏差cm+/-10cm+/-10cm+/-10cm调制器接口BNCBNCBNC光纤类型HI-1060（或指定）SMF-28eSMF-28e光路接口FC/APCFC/APCFC/APC最大功率承受能力mW250250250封装尺寸(长x宽x高)mm260x160x90260x160x90260x160x90重量kg~2.7~2.7~2.7延迟光纤线圈指标可定制的延迟范围m0.5m ~1000m标准产品的延迟长度m50光纤连接器FC/APC应用举例1.激光器相位/频率噪声测试被测试的激光器经过衰减器后输入到光纤干涉仪，干涉仪的光路失配（光路差）可以由用户选择采用或者控制延迟线圈（延迟线圈）来设定。OPD-4000解调输出电压应用到PZ1光纤拉伸器的BNC接口上，作为PZ1光纤拉伸器的驱动电压。OPD-4000的相位解调输出可以选择数字信号输出或者模拟信号输出，数字信号输出通过PC进行后续处理，模拟信号通过信号分析仪进行分析。2. 激光器相位/频率噪声测试被测试的激光器经过衰减器后输入到光纤干涉仪，干涉仪的光路失配（光路差）可以由用户选择采用或者控制延迟线圈（延迟线圈）来设定。通过为PZ1型光纤拉伸器BNC接口提供控制电压保持其处于正交偏置（Quadrature Bias）。输出光信号由光接收机接收处理，输出信号进一步处理。3.光纤干涉仪传感器模拟输入光信号代表干涉型光纤传感器的光源。选择合适的延迟光纤线圈，延迟长度作为需要模拟的传感器的长度。输出光信号通过光接收器件到信号分析仪进行处理分析。订货信息：MFI-10-50： 1064nm光纤迈克逊干涉仪MFI-13-50： 1310nm光纤迈克逊干涉仪MFI-15-50： 1550nm光纤迈克逊干涉仪需要定制的光纤延迟长度或者其他的要求，请联系我们的销售人员。

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仪器简介：ESPI（Eletronic Speckle Pattern Interferometry）电子散斑干涉技术是以激光散斑作为被测物场变化信息的载体，利用被测物体在受到激光照射后产生干涉散斑场的相关条纹来检测双光束波前后之间的相位变化。电子散斑干涉技术（ESPI）是一种非接触式全场实时测量技术，可完成位移、应变、表面缺陷和裂纹等多种测试，其具有通用性强、测量精度高、测量简便等优点。Dantec Q-300 ESPI是丹迪公司研发生产的一款用于试件高灵敏度的三维位移、变形和应变分析的光学仪器。技术参数：测量维度：一维、二维、三维测量区域：最大可达200mm×300mm测量精度：位移（0.03—0.1μm可调），应变（0.005%—100%）主要特点：高速、精度高、无接触、方便使用

中图仪器SuperViewW白光干涉三维形貌测量系统基于白光干涉原理，能以3D非接触方式对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。SuperViewW白光干涉三维形貌测量系统是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）白光干涉三维形貌测量系统采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。SuperViewW白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

KALEO 多波长激光干涉仪模块姓名：沈工(Max)电话：（微信同号）邮箱：【KALEO 多波长激光干涉仪模块简介】Kaleo多波长激光干涉仪是用于光学计量的模块化系统。 它由多种相互兼容的模块组合而成，可让用户搭建一个经济有效，体积紧凑且易于使用的完整光学测试系统。该系统可适应各种测量场景，确保从研发至生产等不同阶段样品的光学品质鉴定。该系统单次采集即可获得待测样品的所有光学特征，包括：波前像差，MTF，PSF等。【关于Phasics】Phasics是一家专注于高分辨率波前传感技术的法国公司。Phasics公司凭借其在测量方面的专业经验与独特的波前测量技术为客户提供全面的高性能波前传感器。 一、 KALEO 多波长激光干涉仪模块主要特点多功能性：覆盖从紫外到红外多个波段的独立解决方案及兼容模块强大独特的波前技术：兼顾高分辨率、高动态范围及纳米级相位灵敏度操作简易：系统紧凑且便于快速对准 非准直光入射 消色差 二、KALEO 多波长激光干涉仪模块应用光学元件及光学系统计量 适配各种应用的测试场景三、KALEO 多波长激光干涉仪模块选用指南可选波前传感器型号SID4 UV / SID4 / SID4-HR / SID4-SWIR / SID4 SWIR-HR / SID4-DWIRR-Cube光源可选波长 (nm)*365 / 405 / 530 / 625 / 740 / 780 / 810 / 850 / 940 / 1050 / 1550 / 3900可选光学镜头 (F值)*0.6 / 1 / 1.6 / 2.5 / 5 / 10可选扩束系统 – 出瞳有效口径(mm)*8 / 15 / 30 / 60 / 130 参考标准镜平面镜或球面镜*更多可选套件可单独定制

仪器简介：ESPI（Eletronic Speckle Pattern Interferometry）电子散斑干涉技术是以激光散斑作为被测物场变化信息的载体，利用被测物体在受到激光照射后产生干涉散斑场的相关条纹来检测双光束波前后之间的相位变化。电子散斑干涉技术（ESPI）是一种非接触式全场实时测量技术，可完成位移、应变、表面缺陷和裂纹等多种测试，其具有通用性强、测量精度高、测量简便等优点。Dantec Q-300 TCT ESPI是丹迪公司研发生产的一款用于试件热膨胀效应的高灵敏度的三维位移、变形和应变分析的光学仪器。技术参数：测量维度：一维、二维、三维测量区域：0.7mm×1mm—40mm×50mm测量精度：位移（0.01—0.1μm可调），应变（0.005%—100%）加热装置：最高300℃，加热功率200W，加热速度30℃/min主要特点：精度高、无接触、方便使用

GEMINI-2D 干涉仪NIREOS的GEMINI-2D将您的瞬态吸收光谱仪转变为最先进的二维电子光谱仪。GEMINI-2D是一款结构紧凑、超稳定的干涉仪，可产生两束极其稳定、相位锁定、平行的飞秒激光脉冲。特点：吸收线形状的泵浦-探针（准直）几何构型。高光通量：1厘米透明孔径，不用任何光栅或输入/输出狭缝。支持各种超快放大器和光参量放大器（OPA 或 NOPA)作为输入，波长范围覆盖紫外到近红外。扫描范围和光谱分辨率自由选择，用户可以先进行快速测量，初步了解光谱特点，然后延长数据采集时间，提高信噪比和光谱分辨率。坚固耐用，工厂装配和校准后可轻松集成到任何现有的泵浦探测设备中。得益于独特的common-path几何结构设计专利，它对振动不敏感，工作非常稳定。它能够保证脉冲延迟的可控性和重复性，精度优于1阿秒。结构紧凑：尺寸仅为18 cm x 18 cm。应用：二维电子光谱（2DES）参数：版本SL光谱范围400 nm – 2300 nm (标准版)400 nm – 2300 nm (标准版)250nm – 3500nm (极宽版)250nm – 3500nm (极宽版)对称版最长时延@λ=600nm-400 fs - +400 fs-1050 fs - +1050 fs非对称版最长时延@λ=600nm-100 fs - +700 fs-100 fs - +2 ps延时稳定性≤1阿秒≤1阿秒工作模式步进扫描（用户可通过软件选择每次延迟的停留时间）步进扫描（用户可通过软件选择每次延迟的停留时间）尺寸长宽高：180mm x 180mm x 90mm长宽高：180mm x 180mm x 90mm重量2 kg2 kg二维电子光谱（2DES）是一种超快激光光谱技术，可以探测样品的电子、能量和空间分布 在选定的探测波长和固定的时间T2下，振荡瞬态信号是两个泵浦脉冲之间相对延迟T1的函数。Oscillating transient signal as a function of the relative delay T1 between the two pump pulses at a selected probe wavelengh and at a fixed population time T2.根据每个探针波长的T1函数进行傅里叶变换，就可以获得与探测波长和激发波长函数相关的二维谱图。A Forurier Transform ad a funcion of T1 for each probe wavelength allows one to retrieve the 2D maps ad a function of detection and exitation wavelengths.在三个不同布居时间T2(15 fs、45 fs和4000 fs)下，对Rhodospirillum Rubrum 样品的光收集（LH1）复合体测量得到的二维电子能谱测量的二维图。Bidimensional maps of 2D Electronic Spectroscopy measurements obtained on a Light Harvesting (LH1) complexo f a sample of Rhodospirillum Rubrum for three diferente populations time T2 (15 fs, 45 fs, 4000 fs).

仪器简介：Renishaw的新型XL-80激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平，提供4 m/s最大的测量速度和50 kHz记录速率。即使在最高的数据记录速率下，系统准确性可达到± 0.5ppm（线性模式）和1纳米的分辨率，这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势，帮助解决现代化机器设计问题。 系统精度比原有的对应产品ML10激光系统有所提升，在整个日常温度、气压和湿度不同工作环境下，均可达到± 0.5 ppm的精度。环境读数使用XC-80智能传感系统进行读取，每7秒更新一次激光读数补偿值。还有一点很重要，与Renishaw的ML10系统一样，所有测量值均采用稳定化的氦氖激光源的波长为单位，保证能够溯源至国际公认的长度标准。 此新系统可以与现有的ML10系统光学镜组完全兼容，使目前全球成千上万的ML10用户能够升级到新系统，并同时保留其在光学镜组、程序和人员培训上的原有投资。 我们还提供已更新的Renishaw软件版本（LaserXL&trade 及QuickViewXL&trade ），能够以用户熟悉的、易于使用的格式提供数据。Laser XL&trade 能够执行循序渐进式的测量，以方便对大多数机床按标准进行检验，QuickViewXL&trade 软件能够在屏幕上实时地显示激光读数。 您只要看一眼Renishaw的新型XL-80激光装置和XC-80补偿器，就会注意到它们比原有的ML10和EC10小了许多。现在，二者总重仅3公斤多一点（包括连接电缆、电源和传感器），比原来减轻了70%。当然，随着激光头和补偿器尺寸减小，其他系统组件，例如三脚架和云台也相应地减小以便相配，因此整个系统（除了三脚架）的装运箱减小了许多。现在，最小的&ldquo 脚轮箱&rdquo 只有原来箱子的一半大一点点，却可以携带整个线性和角度测量系统，并有放置Renishaw QC10球杆仪组件的位置。这个高度便携的&ldquo 检查和修正&rdquo 系统总重不到15公斤，同类产品无以匹敌。 为了与系统的其他组件的便携性相匹配，我们设计了新型三脚架和装运箱，仅重6.2公斤。 激光头和云台体积很小，能够方便地固定在标准磁性座上，可以在不方便使用三脚架固定的应用条件下使用。XL-80激光测量系统的光束高度和光学镜组尺寸与ML10系统一样，因此也可以直接放在花岗岩工作台（不使用三脚架云台）上，进行坐标测量机的校准。 Renishaw已将激光的预热时间缩短至大约仅6分钟。预热速度较同类系统快，因此用户等待时间减少了，用于测量工作的几率增加了，这对于机器校准服务商和那些需要在一个地点执行多项测量的用户而言非常重要。 现在，信号增益的开启和关闭是一项标准功能，使其具有80米线性测量距离的能力。若短距离应用时，则可以提高信号强度。配上多信号连接器以提供模拟信号输出以及激光直接到PC USB连接（不需要单独的接口），现在，XL-80激光头的配置包括了过去ML10机型的激光头上原为任选的所有功能。 XL-80系统具有长达3年标准的全面保修，并可以以优惠的价格选购延长保修时间为5年。对于使用ML10的老用户和使用其他厂商制造的同类系统的新客户，我们均提供一些特别优惠政策。因此，您更有理由去联络Renishaw公司在全球各地的分公司和地区经销代理，让我们为您介绍选购XL-80作为升级或作为新系统所带来的好处。技术参数：XL80:系统精度: ± 0.5ppm (0~40 ℃整个工作环境范围) 激光稳频精度:± 0.05ppm 分辨率:0.001 um 最大测量速度:4.0m/sec 最高采样频率:50KHz 测量范围: 0 - 80 metres 预热时间更短:~6分钟XL30:系统精度: ± 1ppm (0~40 ℃整个工作环境范围) 激光稳频精度:± 0.1ppm 分辨率:0.01 um 最大测量速度:4.0m/sec 最高采样频率:5KHz 测量范围: 0 - 30 metres 预热时间更短:~6分钟主要特点：传承于畅销全球的ML10 Gold激光干涉仪,诞生于英国计量产品世家的又一惊世杰作,XL80激光干涉仪为业界提供了性能更为先进,应用更为广泛,更加轻巧便携的计量检测利器: 检测速度从每小时几个微米到每分钟240米(仍以分辨率0.001 um记数) 采样频率从静态到每秒50000个数据点(仍以分辨率0.001 um记数) 测量范围从数纳米的微观尺寸到80米的大尺寸测量

干涉仪通常，我们不容易直接观测到1微米量级的动态现象的，此时，我们会选择光学干涉仪进行观测。例如，测量光学镜头的面精度的干涉仪，精密测量距离或位移的测长仪，需要精密测量位移变化的速度计或振动仪等，都是利用了光学干涉原理的典型仪器。市场上销售的大部分干涉测量装置是由光学干涉部分和信号解析部分组成的。 采用先进的电信号处理技术，可以同时实现高分辨率和很宽的测量范围。 但是，我们这里介绍的光学干涉装置，并不包含干涉条纹的电信号处理内容，我们重点介绍了其光学部分。因此，虽然其可观测的范围有限，但足以进行干涉计测的基础实验和理论验证。 业务范围l 通用干涉仪，如迈克尔逊干涉仪、马赫曾德干涉仪、斐索干涉仪等；l 集成光学干涉系统；l 流体可视化光学系统；l 干涉仪组件l 干涉仪相关组件接受订制特点分辨率小于1微米非接触（非破坏）测量面（2维）测量应用实例面精度测量测长仪速度计／振动仪

产品描述MicroXAM-800光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。MicroXAM的白光干涉仪可以埃级分辨率对表面进行高分辨率测量。 该系统支持相位和垂直扫描干涉测量，两者都是传统的相干扫描干涉技术（CSI）。MicroXAM进一步扩展了这些技术，它采用SMART Acquire为新手用户简化了程序设置，并且采用z-stitching干涉技术可以对大台阶高度进行高速测量。MicroXAM测量技术的优势在于测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径无关，因而能够在大视野范围内进行高分辨率测量。测量区域可以通过将多个视场拼接为同一个测量结果而进一步增加。 MicroXAM的用户界面创新而简单，适用于从研发到生产的各种工作环境。主要功能针对纳米级到毫米级特征的相位和垂直扫描干涉测量SMART Acquire简化了采集模式并采用已知最佳的程序设置的测量范围输入Z-stitching干涉技术采集模式，可用于单次扫描以及编译多个纵向(z)距离很大的表面XY-stitching可以将大于单个视野的连续样本区域拼接成单次扫描使用脚本简化复杂测量和工作流程分析的创建，实现了测量位置、调平、过滤和参数计算的灵活性利用已知最佳技术，从其他探针和光学轮廓仪转移算法主要应用台阶高度：纳米级到毫米级的3D台阶高度纹理：3D粗糙度和波纹度形式：3D翘曲和形状边缘滚降：3D边缘轮廓测量缺陷复检：3D缺陷表面形貌工业应用大学、研究实验室和研究所半导体和化合物半导体LED：发光二极管电力设备MEMS：微电子机械系统数据存储医疗设备精密表面汽车还有更多：请与我们联系以满足您的要求

激光干涉法热膨胀测试系统一、简介依阳公司在国内首次推出了最高温度范围和最高精度的激光干涉法热膨胀性能测试系统。这套测试系统采用了目前国际上最低温漂的双频外差式激光干涉仪，解决了以往必须具备苛刻隔振条件下才能进行超低热膨胀性能测试难题，而且测试温度范围覆盖了-20℃至1600℃的中温范围，完全可以满足目前绝大多数低膨胀材料热膨胀性能的高精度测量。依阳公司出品的激光干涉法热膨胀测试系统所采用的双频外差式激光干涉法是以激光波长为基准的长度测量设备，激光干涉法热膨胀性能的测量就成为一种绝对测量方法，在消除了振动、温漂、气体折射率、温度梯度和倾斜变形等一系列影响因素后，此测试系统可用于其他所有热膨胀性能测试方法和测试设备的校准。二、技术指标（1）量程：2mm（2）分辨率：±0.5nm（3）位移测量精度：±5nm（4）位移测量重复性：±3nm（5）测量温度范围：-40℃～200℃（低温下限依据所采用的油浴温度范围） 200℃～1400℃（石墨发热体通电加热）（6）试样形状：板状、棒状、块状（7）试样尺寸：截面积尺寸；厚度5mm～100mm。（8）试验气氛：100Pa以下压强气体（空气或惰性气体）（9）测试方法：ASTM E289。 三、特点1. 依阳公司出品的激光干涉法热膨胀测试系统采用了双频激光外差式干涉技术。采用这种干涉技术是因为它提供了比其他激光干涉法更高的信噪比，而且外差式干涉技术对环境幅度变化并不十分敏感，即使光强衰减90%，仍然可以得到有效的干涉信号，可以达到更好的分辨率和测量精度。从固有的测量精度上来考虑，双频或双光束干涉法要低于多光束干涉法，但双频所具有的优势就是可以明显降低测试中对试样的要求。因此，采用外差式技术，被测材料试样的加工要求相对较低、热膨胀范围和尺寸可以很宽泛，测试步骤简单而快捷，数据处理过程简单。2. 激光干涉仪的温度漂移是影响干涉仪测量精度的重要参数，依阳公司出品的激光干涉法热膨胀仪采用了具有2nm/℃的高稳定性外差式激光干涉仪，同时采用了恒温精度为±0.05℃的恒温水浴使得激光干涉仪处于一个恒温状态，有效的保证了膨胀仪的测量精度。3. 为了适用于各种材料的热膨胀性能测试，被测试样和加热装置放置在可抽气的真空箱内，并使得真空箱内处于真空状态，以避免箱内气体折射率随温度变化的波动对激光束产生影响，但如果真空度过高则会大大提高加热试样和试样温度均匀化的时间。因此，依阳公司出品的激光干涉热膨胀测试系统配备了相应的真空度控制装置，使得真空箱内的真空度始终保持在100Pa左右，这样既能消除气体折射率的影响，又能保持真空箱内气体的传热效率不会降低。4. 尽管双频激光干涉对干涉光束的轻微偏移不敏感，但为了防止由于试样和试样架上温度梯度和膨胀系数不匹配产生严重倾斜从而出现光学失准现象，依阳公司出品的激光干涉法热膨胀测试系统中配置了倾斜调整机构，可以帮助操作者完成干涉仪的精密对准。5. 为了在尽可能宽泛的温度范围内高精度的测量材料的热膨胀性能，依阳公司出品的热膨胀测试系统针对不同的温度范围采用了不同的加热方式。在200℃以下采用的是循环油浴控温方式，在200℃以上则采用了石墨发热体通电加热方式。更低的温度范围可以选择不同的循环油浴或液氮控温实现，高温可以选择达到1600℃以上的加热方式。6. 依阳公司出品的激光干涉法热膨胀性能测试系统采用了试样直立式结构，可以测量各种刚性和弹性体材料的热膨胀性能随温度的变化，试样厚度最小可以达到1mm。

SENSOFAR公司作为干涉共焦显微镜的发明者，开创性地将共聚焦和干涉技术结合在一起，设计和制造了SNEOX系列的3D光学干涉共焦显微镜。无需插拔任何硬件就可以在软件内自动实现共聚焦、白光干涉和相位差干涉模式的切换。使客户无需花费高昂的费用就能同时拥有共聚焦显微镜和干涉仪。客户即拥有共聚焦技术的超高XY轴分辨率最高0.14um,又有干涉技术的亚纳米级Z轴分辨率可达0.1nm及高达0.1%的测量重复性。SENSOFAR在1999年创立之初，就是以三维表面形貌测量为主要研发方向，通过持续不断地研发和申请专利技术，在全球范围内创造了数百种表面形貌测量应用产品，积累了最丰富的技术实力。新型SNEOX主要技术优势如下：优势1第5代干涉共焦显微镜，更加精准易用新型Sneox是sensofar公司开发的第5代干涉共焦显微镜，在性能、功能、效率和设计方面远远优于现有的共聚焦显微镜或白光干涉仪。第5代Sneox系统的诞生，使得操作更易于使用、直观且更快速。即使是初学者，只需点击一下，即可操作测量，可快速切换共焦、白光干涉和相位差干涉测量模式，满足从粗糙表面到平滑表面测量需求。优势2专利的Microdisplay共焦技术，可实现扫描头内无运动部件SENSOFAR专利设计的Microdisplay共焦技术（微型程控显示扫描共焦技术），做到了扫描头内无运动部件，解决了共聚焦扫描一直以来的问题---有部件要高速运动，实现了既能高速扫描，又能避免部件运动造成震动影响精度。优势3前所未有的扫描速度，数据采集速度高达180帧/秒新型Sneox作为第5代最新干涉共焦显微镜，通过采用新的智能和独特的算法以及新型相机（500万像素相机），达到前所未有的速度。数据采集速度达180帧/秒。标准测量采集速度比以前快5倍。典型三维图片获取时间仅需3秒。优势4测量的可追溯性每一台Sneox皆为提供准确和可追溯的测量而精心制造。系统使用符合ISO25178标准的可追溯标准进行校准，包括：纵向精度、横向尺寸、平面度误差以及偏心度。可一键实现ISO25178和ISO4287粗糙度测量，无需复杂的粗糙度参数设置。优势5三合一的3D测量技术（共聚焦、干涉、多焦面叠加）Sensofar的三合一3D测量方法—只需点击一次，系统即可切换到适合当前测量任务的最合适技术。在Sneox传感器头中配置三种3D测量技术：共聚焦测量、干涉测量、Ai多焦面叠加测量，这些都为系统的多功能性做出了重要贡献，并有助于最大限度地减少数据采集中的噪点。Sneox是所有实验室环境的理想之选,适用范围广泛，适合粗糙，到光滑及超光滑表面3D测量。优势6Sensofar最新专利的共焦技术：连续共聚焦扫描技术针对一般共聚焦设备扫描速度慢的问题，Sensofar研发了世界专利技术的连续共聚焦扫描方式，即保证了扫描精度，提高了图像支架，又将扫描速度提高了3倍。优势7Sensofar最新专利的共焦技术：融合共聚焦测量SENSOFAR还推出了独特的融合共聚焦扫描模式，将共聚焦和多焦面叠加两种模式的优势结合，实现了可测最大86度的斜率并具有纳米级Z轴精度的三维测量。融合共聚焦能提供更好的测量效果，获取更好的图像质量，同时可获得比共聚焦和多焦面叠加更可靠的数据。优势8智能噪音检测—有效提高图像质量，消除噪点Sneox使用检测算法(SND)检测那些不可靠的数据像素。与使用空间平均的其他技术相比，Sneox在不损失横向分辨率的情况下逐像素处理。优势9高性能软件分析系统SensoViewSensoView是一种交互式分析工具，2D和3D的交互式视图提供多种缩放、显示和渲染选项。提供一套全面的工具，用于3D或2D测量的初步检查和分析。可以测量关键尺寸、角度、距离、直径，并使用新的注释工具突出显示特征。可实现剖面线上多段高度差测量；可测量剖面线多段高度信息，并实时显示在剖面线测量图上。