多量程纳米显微成像系统

2015年Anasys发布了最新一代产品nanoIR2-s，在广受欢迎的第二代纳米红外光谱系统的基础上增加了散射近场光学成像和光谱功能（s-SNOM）。实现了同一平台兼具AFM-IR和s-SNOM两种技术。仪器的空间分辨率达到10nm，广泛用于各种聚合物、有机无机复合材料、生物样本、半导体、等离子体、纳米天线等。纳米红外&散射近场光学成像和光谱系统(nanoIR2-s)AFM-IR &s-SNOM l AFM-IR 消除分析化学研究人员的担忧--与FTIR光谱完全吻合，没有吸收峰的任何偏移l s-SNOM使用金属镀层AFM探针代替传统光纤探针来增强和散射样品纳米区域内的光辐射，空间分辨率由AFM针尖的曲率半径决定l 专利技术实现智能的光路优化调整，无需担心光路偏差拖延你的实验进度l 最准确的定性微区化学表征，得到美国国家标准局NIST, 橡树岭国家实验室等美国权威机构的认可l 简单易用的操作，被三十多位企业用户和近百位学术界所选择l 基于DI传承的多功能AFM实现纳米热学，力学，电学和磁学测量：l 纳米热分析模块（nanoTA, SThM）l 洛仑兹接触共振模块（LCR）l 导电原子力显微镜镜（CAFM）l 开尔文电势显微镜（KPFM）l 磁力显微镜（MFM）l 静电力显微镜（EFM）10纳米空间分辨率化学成像和光谱石墨烯等离子体 高分辨率成像 石墨烯表面等离子体的近场相位和振幅成像；优于10nm的光学成像PTFE的nano FTIR光谱显示相干分子振动时域图（上图）,和相应的近场光谱（下左图）。pNTP分子层的近场光谱（图下右）。

首创、独有的纳米红外功能和性能Bruker公司推出的Dimension IconIR是一款集合了纳米级红外光谱（nanoIR）技术和扫描探针显微镜（SPM）技术的系统。它整合了数十年的技术创新和研究成果，可以在单一平台上提供无与伦比的纳米级红外光谱、物理和化学性能表征。该系统具有超高的单分子层灵敏度和化学成像分辨率，在保留DimensionIcon最佳的AFM测量能力的同时，还提供了极大的样品尺寸灵活性。Dimension IconIR利用Bruker独有的PeakForce Tapping纳米级物性表征技术和专利的纳米红外光谱技术，使得它能够在纳米尺度下对样品进行纳米化学、纳米电学和纳米力学的关联性表征。只有Dimension IconIR具备：与FTIR完全吻合的红外光谱，优于10 nm的空间分辨率和单分子层灵敏度的高性能纳米红外光谱化学成像可与Peakforce Tapping纳米力学和纳米电学属性表征相关联高性能的AFM成像功能和极大的样品尺寸灵活性广泛适用的应用配件和AFM功能模式专利技术保证真实的红外吸收光谱AFM-IR通过采集样品的热膨胀信号（PTIR）还原样品的红外吸收光谱。由于检测区域的热膨胀只与样品在该波长下的吸收强度有关，而常规的傅里叶红外光谱（FTIR）检测的也是样品在该波长下的吸收强度，因此AFM-IR获得的红外吸收光谱与传统的红外吸收光谱高度吻合。红外吸收成像除采集指定区域的红外吸收光谱外，Dimension IconIR同时提供了固定红外脉冲波长，检测样品表面某一区域在该波长下吸收强度的功能。在该工作模式下，Dimension IconIR会将红外脉冲激光固定在研究者所选的波长，用AFM探针扫描需要检测的表面，记录探针针尖在每个位置检测到的红外吸收强度，并同时给出AFM形貌和该波长下的红外吸收成像。专利保护的接触共振技术专利保护的共振增强技术将测量灵敏度提高到单分子层级别，达到最高的光谱检测灵敏度。因为基于原子力系统的红外技术是以探针来检测样品表面在红外激光作用下的机械振动，随着厚度的减小，这种位移量变得极其微小，超出了原子力显微镜的噪音极限。我们利用专利保护的可调频激光优化脉冲信号频率，使之与探针和样品的接触共振频率吻合，那么这种单谐振子共振模式就能把微弱信号放大两个数量级。。智能光路优化调整，保证实验效率红外激光和AFM联用系统的最大挑战在于光路的优化，为了得到最佳的信号，在实验过程中光斑中心应该始终跟随探针针尖位置并保持良好的聚焦。但是在调频过程中，激光光束的发射角度会随着波长的变化而改变，进而改变光斑位置，聚焦状态也会变化。布鲁克采用全自动软件控制automatic beam steering和自动聚焦系统来修正光斑位置的偏移和聚焦，大大改善了传统联用系统需要手动调节的不便和低效率。同时全自动动态激光能量调整保证信号的稳定性，避免红外信号受激光不均匀功率的影响。

SKYSCAN 2214 是布鲁克推出的新纳米断层扫描系统，是显微 CT 技术领域的先行者，在为用户带来了终级分辨率的同时,提供非常好的用户体验。SKYSCAN 2214 的每个组件都融入的新的技术，使其成为当今市场上性能很强、适用性很广的系统。■多用途系统，样品尺寸可达300mm，分辨率（像素尺寸）可达 60 纳米■金刚石窗口x射线源，焦斑尺寸500nm■创新的探测器模块化设计，可支持 4 个探测器、可现场升级。■全球速度很快的 3D 重建软件（InstaRecon）。■支持精确的螺旋扫描重建算法。■近似免维护的系统，缩短停机时间并降低拥有成本。地质、石油和天然气勘探■常规和非常规储层全尺寸岩心或感兴趣区的高分辨率成像■测量孔隙尺寸和渗透率，颗粒尺寸和形状■测量矿物相在3D空间的分布■原位动态过程分析聚合物和复合材料■以500 nm 的真正的 3D 空间分辨率解析精细结构■评估微观结构和孔隙度■量化缺陷、局部纤维取向和厚度电池和储能■电池和燃料电池的无损 3D 成像■缺陷量化■正负极极片微观结构分析■电池结构随时间变化的动态扫描生命科学■以真正的亚微米分辨率解析结构，如软组织、骨细胞和牙本质小管等■对骨整合生物材料和高密植体的无伪影成像■对生物样品的高分辨率表征，如植物和昆虫

布鲁克Hysitron PI 88是布鲁克公司生产的新一代原位纳米力学测试系统，其最大特点是系统设计高度模块化，后期可在已有系统上自行配置并拓展其他功能。该系统通过视频接口将材料的力学数据（载荷-位移曲线）与相应SEM视频之间实现时间同步，允许研究者在整个测试过程中极其精确地定位压头并对变形过程成像。解决了传统纳米压痕方法，只能通过光学显微镜或原位扫描成像观察压痕前后的形貌变化，因无法监测中间过程，而最终对载荷-位移曲线上的一些突变无法给出解释甚至错误解释的问题。PI 88安装于SEM，可以精确施加载荷，检测位移，在电镜下进行压痕、压缩、弯曲、划痕、拉伸和疲劳等力学性能测试；此外，通过升级电学、加热模块，还可研究材料在力、电、热等多场耦合条件下结构与性能的关系。

SkyScan 2214多量程x射线纳米ct系统，X射线源电压最高可达160kV。最多可提供四个探测器，CMOS探测器用于高能量快速扫描，3个CCD探测器用于各种情形下的高分辨率扫描。高能量与高分辨的完美结合，使其能够灵活地适用于各种类型、各种大小的样品，并实现纳米级分辨率的样品扫描，为不同领域材料的3D成像和精确建模提供独一无二地解决方案，广泛应用于油气开采，复合材料，燃料电池，电子产品等领域。SkyScan 2214高分辨三维X射线显微成像系统可对直径为30cm，长度40cm样品的内部结构进行3D无损检测与重建，对样品的细节检测能力（标称分辨率）最高可达60纳米。 特点介绍： ●最大程度上保护样品：无需制备样品，无损三维重现● 对样品的细节检测能力（分辨率）最高可达：60nm● 最大样品直径：30cm； 最大样品长度：40cm●自动可变扫描几何系统：根据用户设定的放大倍率，仪器可自动优化扫描几何，找到最快的测试方案，用最短时间，得到高质量数据●全新的160kV超高强度开放式微焦斑X射线光源，提供更高的光通量和更好的光束稳定性，20-160kV连续可调，完全免维护● 配备多探测器：600万像素CMOS探测器适用于高能量X射线，800/1100万像素CCD探测器更适合高分辨测试模式 了解更多应用方向，请致电束蕴仪器（上海）有限公司~

SKYSCAN 2214 是布鲁克推出的新纳米断层扫描系统，是显微 CT 技术领域的先行者，在为用户带来了终级分辨率的同时,提供非常好的用户体验。SKYSCAN 2214 的每个组件都融入的新的技术，使其成为当今市场上性能很强、适用性很广的系统。■多用途系统，样品尺寸可达300mm，分辨率（像素尺寸）可达 60 纳米■金刚石窗口x射线源，焦斑尺寸500nm■创新的探测器模块化设计，可支持 4 个探测器、可现场升级。■全球速度很快的 3D 重建软件（InstaRecon）。■支持精确的螺旋扫描重建算法。■近似免维护的系统，缩短停机时间并降低拥有成本。地质、石油和天然气勘探■常规和非常规储层全尺寸岩心或感兴趣区的高分辨率成像■测量孔隙尺寸和渗透率，颗粒尺寸和形状■测量矿物相在3D空间的分布■原位动态过程分析聚合物和复合材料■以500 nm 的真正的 3D 空间分辨率解析精细结构■评估微观结构和孔隙度■量化缺陷、局部纤维取向和厚度电池和储能■电池和燃料电池的无损 3D 成像■缺陷量化■正负极极片微观结构分析■电池结构随时间变化的动态扫描生命科学■以真正的亚微米分辨率解析结构，如软组织、骨细胞和牙本质小管等■对骨整合生物材料和高密植体的无伪影成像■对生物样品的高分辨率表征，如植物和昆虫

产品简介：布鲁克的海思创TI 980 TriboIndenter同时具有最高的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。基于海思创几十年的技术创新，它为纳米力学表征带来了更高水平的性能、功能和易用性。TI 980达到了一台优异纳米力学测试仪器所需的所有要求，实现了控制上突出的先进性和高效性，试验上的灵活度与可实现性，测量稳定性，以及系统设计的模块化。产品参数：TI 980xSol环境控制腔与载台环境控制腔实现了定量纳米力学性能和纳米摩擦学特征随着温度、气氛和湿度的变化。nanoECR纳米压痕测试的原位导电特性可以和纳米力学性能,材料形变行为和接触电阻等同步研究。xProbe基于MEMS传感器的探针可以实现原子力显微镜级别的超低力和位移噪音水平。iTE专利的原位薄膜力学性能分析包提供了排除基底效应影响的薄膜和多层膜结构的定量力学性能。3D OmniProbe和多量程NanoProbe通过扩展力和位移测量量程实现微米尺度的力学和摩擦学特性表征。同步拉曼光谱原位研究力学性能和摩擦学特性与材料结构和化学成分的相关性。模量成像动态扫描纳米压痕模式提供材料表面的定量、高分辨模量分布。荧光显微镜联用集成荧光显微镜可实现荧光共定位纳米力学测试等。电化学模块实现氧化和还原环境下的原位定量纳米力学和纳米摩擦学行为研究。自动探针更换模块按钮操作的自动探针更换模块。样品台多尺度的磁性、机械和真空固定方式可以固定几乎所有待测样品，包括300mm晶圆。TriboAE TM声音传感器能通过针尖原位监测纳米压痕过程中的断裂和形变产生的声音信号。Tribolmage TM纳米尺度划痕/磨损的实时表征。产品特点：简洁、高速的自动控制针尖面积函数自动校正 传感器自动校正 压针和光学系统校正自动测试程序快速、多样品自动测试功能实现高通量表征 智能化自动程序确保用户选择正确的针尖 高分辨多尺度成像结合全尺寸样品的光学搜索，极大简化测试流程实现真正纳米尺度表征从微米到几个纳米的多尺度测量 纳牛级别的力噪音水平和小于90%原子直径的位移测量能力，实现几乎任何材料的定量表征 系统可实现超过6个数量级的力测量和10个数量级的位移测量 力和位移噪音水平保证在客户现场安装时实现精准控制测试过程实现最大精度、可信度和重复性的真正定量纳米力学和纳米摩擦学表征 特殊的力和位移反馈控制方法用于海思创的传感器-专门针对海思创传感器物理特性开发的力与位移反馈控制算法 每隔0.013毫秒实现一次完整反馈控制，使得系统能测量快速瞬态过程，并对其作出反馈，真正实现用户的测试意图-每隔0.013毫秒实现一次完整的感知-分析-控制的循环，使得系统能对瞬态过程进行测量与反馈，以此重现用户定义的测试方式强大的测试模块配置

Queensgate生产高速、高精度的压电式平台和皮米级分辨率的电容式传感器，用于最苛刻的纳米定位应用。专门从事要求高性能、高负载和高速的定制解决方案，通常适用于要求很高的环境。提供OP400物镜定位器和NanoScan SP纳米定位平台系列产品。最佳步进稳定及定位性能高通量筛选和分析是生物和材料科学成像的支柱。因此，OP400和SP系列的设计考虑到了速度，产品在全行程范围内可提供快速性能以及市场上较快的步进整定时间。这意味着高分辨率的长距离z–stacking在速度上迈入了新的领域。高速扫描会导致振荡，进而影响图像质量和z-stacking，甚至对纳米定位系统造成损坏。Queensgate产品具有高谐振频率；与Queensgate专有的数字控制技术结合，系统可以在没有振荡风险的情况下以同类最佳速度运行。有了Queengate的专业技术，不再需要由于系统不稳定或牺牲z-stack采集速度，而舍弃每个stack开始的图像。速度不会影响性能。SP系列有 400nm 和 600nm 行程范围可选，拥有同级较短行程产品相当或更优越的性能。OP400的线性度是典型压电式物镜定位器的两倍，同时具有良好的线性度和可重复性。这两种产品在实验中都具有极高的轴向分辨率，提供亚纳米分辨率。生物科学家认为，显微镜z轴的机械分辨率显然会高于其成像技术的光学分辨率。根据不同的分析方法，可检测或成像低至0.7nm的形态变化，是半导体或冶金样品表面检测的理想选择。这一系列操作都是通过集成的超灵敏电容式传感器实现的，无论移动速度或系统温度如何，传感器都能提供最高的定位灵敏度。轻松集成，助力实验成功尽管纳米定位设备的性能在市场上有很大优势，但相对于其系统的其他组件来说，用户几乎不需要校准这些纳米设备。产品的最高速度设置可与重达500g的物镜兼容，并为专业物镜提供二次校准。Queensgate的NPC控制器系列可完成其余工作。用户有理由相信Queensgate能够提供适合其实验需求且开箱即用的产品。 OP400和SP系列不仅易于设置，而且能够与各类显微镜兼容。OP400可兼容任何螺纹尺寸的显微镜鼻轮和物镜，包括32mm宽视场系统。NanoScan SP系列与所有的Prior Scientific倒置步进、直线电机平台兼容，也可兼容尼康，奥林巴斯和其他主流显微镜制造商的电动平台，以及东海希多和Okolabs的培养箱。此外，系统还可用于增强Prior的硬件PureFocus 850快速自动对焦系统的性能，为长时间延时实验提供 +/- 50nm 的聚焦稳定性。应用 共聚焦，超分辨，电生理，形貌测量等要求样品绝对稳定性的显微镜应用。

SKYSCAN 微纳米ct/高容量三维X射线显微镜, 该探测器具有600万像素，视野范围大，输出速度快，15秒内即可提供高清晰度图像，是快速CT的理想之选。即使是大尺寸样品，也能在数分钟内完成扫描。 高分辨率X射线三维成像系统具有较低的拥有成本。不同于落地式系统，台式SKYSCAN 高分辨率X射线三维成像系统在寸土寸金的实验室中占地面积较小。它无需冷水机或其它压缩机，只需一个简易的家用电源插座。它采用封闭式X射线源，无需维护，不存在其它隐藏成本。 达到真正的4D效果检测~ 特点介绍：节省空间的台式系统与最低安装要求家用电源插头，无水或压缩空气，免维护封闭式X射线源大的样品室，以适应样品样品尺寸可达 ?300 mm和高500 mm ,扫描体积 ?250 mm和高250 mm 130 kV 反射式X射线源，带 6 Mpix平板探测器通过更大、密度更高的材料传输支持自动选择最优能量设置的8位滤波更换器像素尺寸 3 μm (小样本)综合3D套件软件1)重构，2)通过面和体渲染可视化，3)分析 可根据不同需求订制了解更多应用方向，请致电束蕴仪器（上海）有限公司

neaSCOPE纳米光谱与成像系统neaSCOPE是德国neaspec公司推出的全新一代散射式近场光学显微镜（简称s-SNOM），加载了全新技术，拓展了产品功能，以满足客户多样的实验需求。基于化的散射式核心设计技术，neaSCOPE大地提高了光学分辨率，并且不依赖于入射激光的波长，能够在可见、红外和太赫兹光谱范围内，提供优于10 nm空间分辨率的光谱和近场光学图像。neaSCOPE同时支持s-SNOM功能与纳米红外（FTIR）、针增强拉曼（TERS）、超快光谱（Ultrafast）和太赫兹光谱（THz）进行联用，实现高分辨光谱和成像。由于其高度的可靠性和可重复性，neaSCOPE已成为纳米光学领域热点研究方向的选科研设备，在等离子激元、二维材料声子化、半导体载流子浓度分布、生物材料红外表征、电子激发及衰减过程等众多研究方向得到了许多重要科研成果。设备特点：行业的针增强技术，高质量的纳米分析实验数据。功能多样、可靠性高，已得到大量发表文章的印证，在纳米光学领域有很深的影响力，是国内外实验室的头号选择。软件使用方便，提供交互式用户引导功能，新用户也能快速上手。流程化的软件界面，逐步引导用户轻松完成实验操作。采用模块化设计，针对用户的实验需求量身定制配置，同时兼顾未来的升需求，无需重复购置主机。s-SNOM基本原理：一个被照明的颗粒会在其周围形成增强的光场，而这个近场会被其附近的样品改变，这种近场互相作用会导致在远场接受到的散射光带有样品局部的光学性质。当一束激光（可见，红外、太赫兹）聚焦到一个标准金属涂层AFM针上时，会在针点形成一个比激发波长小几千倍，尺寸只由针曲率半径决定的纳米焦点。这个纳米焦点别用来局部探测样品，通过记录探针扫描样品过程中的散射光可以获得近场光学成像。设备型号：所有产品都包含支持红外、太赫兹和可见光波长范围的纳米尺度成像和光谱的化订制AFMIR-neaSCOPE基于AFM 针的激光诱导光热膨胀（PTE+）的纳米红外成像和光谱。VIS-neaSCOPE+s局部电磁场偏振分辨的近场成像（振幅和相位）。IR-neaSCOPE+s探测商用AFM针的弹性散射光，实现纳米红外成像和光谱。cryo-neaSCOPE+xs低温环境下的纳米尺度光学成像和光谱THz-neaSCOPE+xs纳米尺度太赫兹(THz)近场成像和光谱平台IR-neaSCOPE+fs10fs 时间分辨率和 10nm 空间分辨率的超快泵浦光谱。IR-neaSCOPE+TERsnano-FTIR与nano-PL和TERS相结合，突破性的纳米尺度光谱探测技术。Comparison Table参考不同型号功能，选择适合您研究需求的neaSCOPE。标准原子力显微镜功能光热膨胀功能轻敲式原子力红外吸收光谱散射式近场光学成像与光谱近场透射模式纳米傅里叶红外光谱与成像近场泵浦-探测高速全息成像纳米太赫兹时域光谱针增强拉曼/纳米光致发光开尔文探针力、导电力、压电力、探针力显微功能Available for all room-T systems共聚焦显微功能Upgrade Available

——纳米力学和纳米摩擦学测试系统，加速纳米力学研究进入更高阶段。布鲁克的海思创TI 980 TriboIndenter同时具有良好的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。基于海思创几十年的技术创新，它为纳米力学表征带来了更高水平的性能、功能和易用性。TI 980达到了一台优异纳米力学测试仪器所需的所有要求，实现了控制上突出的先进性和高效性，试验上的灵活度与可实现性，测量稳定性，以及系统设计的模块化。先进的Performech II控制模块和电子设计高性能的高速闭环控制业界噪音控制集成的带输入/输出信号的多参数控制五百倍于前代产品的力学测试速度多维度测量耦合充分优化各个传感器的特质适用不同测量需要，通过多维传感器的选择实现不同测量间的无缝耦合多种有效的测试模块配置，包括纳米/微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速力学性能成像等。丰富的系统控制和数据分析软件TriboScan(TM) 10提供了创新性的控制功能，包括XPM超快纳米压痕，SPM+原位扫描探针显微镜成像，动态表面搜索，全自动系统校准和创新的测试程序。Tribo iQ (TM)提供了强大的数据处理、分析和画图功能，并具有可编程数据分析模块和自动生成的定制测试报告功能。极大的灵活性和具有前瞻性的表征潜质布鲁克纳米压痕仪Ti 980提供了多级别的防护罩提供了超强环境隔绝能力，并具有用于将来的升级可扩展接口样品台提供了机械、磁性和真空固定方式，适用于各种样品。始终处于材料研究和开发的最前沿海思创从1992年起就在全球范围内处于纳米力学和纳米摩擦学表征的位置。通过与研究人员和工程师的持续合作，布鲁克理解您的独特需求，通过创新的技术帮助您解决当下和将来面临的材料挑战。海思创TI 980 TriboIndenter是这些努力的集大成者。它提供了卓越的性能，能满足您持续更新的材料表征需求。简洁、高速的自动控制——系统自动校正使得每次测试都无懈可击针尖面积函数自动校正传感器自动校正压针和光学系统校正自动测试程序快速、多样品自动测试功能实现高通量表征智能化自动程序确保用户选择合适的针尖高分辨多尺度成像结合全尺寸样品的光学搜索，极大简化测试流程低的噪音水平，实现真正纳米尺度表征从微米到几个纳米的多尺度测量纳牛级别的力噪音水平和小于90%原子直径的位移测量能力，实现几乎任何材料的定量表征系统可实现超过6个数量级的力测量和10个数量级的位移测量力和位移噪音水平保证在客户现场安装时实现最快的反馈控制速率布鲁克纳米压痕仪Ti 980精确控制测试过程实现精度、可信度和重复性的真正定量纳米力学和纳米摩擦学表征特殊的力和位移反馈控制方法用于海思创的传感器-专门针对海思创传感器物理特性开发的力与位移反馈控制算法每隔0.013毫秒实现一次完整反馈控制，使得系统能测量快速瞬态过程，并对其作出反馈，真正实现用户的测试意图-每隔0.013毫秒实现一次完整的感知-分析-控制的循环，使得系统能对瞬态过程进行测量与反馈，以此重现用户定义的测试方式强大的测试模块配置，放大化您的表征潜能自下而上的先进设计提供了世界zui xian jin的纳米力学测试系统实现最丰富的潜在测试能力Performech II高级控制模块精确控制纳米力学测试过程力和位移噪音水平实现测量精度和重复性超快反馈控制算法提供整个测试过程的精确控制专为各种不同测试而开发的一整套高性能传感器多达24个通道的数据采集能力，每个通道都能同时达到1.2MHz采样率多个测试头的耦合——一整套传感器适用于各种测试任务任意两个测头之间无缝连接标配二维传感器和nanoDMA III传感器实现系统的多种测试功能和高性能多种有效的测试模块配置纳米压痕：硬度，模量，蠕变，应力弛豫，断裂韧性、高速力学性能成像纳米摩擦：薄膜结合力，摩擦系数，抗划擦性能，磨损扫描探针显微镜成像：形貌和梯度成像，纳米级别定位精度，摩擦力成像动态纳米压痕：随着深度连续测量硬度和模量，存储模量，损失模量，损耗角正切布鲁克纳米压痕仪Ti 980nanoDMA III：动态纳米压痕布鲁克的nanoDMA III是强大的动态纳米压痕技术。它提供了弹/塑性和粘弹性随着压入深度、频率和时间的变化关系。全面表征各种材料的普适性方法，从较软的聚合物到硬质镀层都能适用；集成直流和交流调制使得从初始接触点开始就能实现纳米尺度动态性能的可靠、定量表征；原位参考频率法校正温漂使得长时间测试的精度大大提高。XPM：快速力学性能成像不论是测量分辨率和精度，还是测量速度，XPM都是纳米力学测试的业界新标杆。有了XPM，原来可能需要一整年才能获得的数据，现在只需要一个下午就能获得。这些性能是通过以下三个技术实现的。1）高带宽静电激励传感器；2）快速控制和数据采集电子系统；3）自上而下的原位扫描探针显微镜成像。这些技术联用能实现每秒六次纳米压痕测试，从而获得全面的定量纳米力学性能图谱以及性能分布的统计数据。更少时间测量更多参数超高速定量力学性能测量（每秒6次测量）快速、高分辨空间硬度和模量分布统计一分钟内可靠完成针尖函数自动校正；比传统纳米压痕测试快500倍的数据采集速率 xSol 环境控制腔及载台，可实现极端环境条件下高通量测量。SPM+实现纳米力学测试前后的准确原位成像布鲁克首创的扫描纳米压痕技术使用同一根探针实现样品表面形貌成像和纳米压痕测试。这种方法实现了定位精度，并且可以在纳米压痕测试后立即对样品塑性形变进行成像，加快测试速度。高定位精度（+/-10nm）——可以从64x64到4096x4096范围内设定扫描分辨率，可以对各种高长宽比的特征形貌进行不同X-Y分辨率成像，纳米力学性能成像分辨率和调色板，可以和摩擦力成像，nanoDMA III，nanoECR和xSol环境控制腔等联用强大的系统控制和分析TriboScan 10：强大的测试灵活性提供了无限的测试可能性将布鲁克纳米压痕全套测试技术集成到一个直观的软件内，基于标签页架构的软件设计使得用户可以方便的使用软件功能，灵活的测试过程分段定义方法提供了适用于所有测试模式的优异控制TriboIQ: 可编程数据分析程序易用的操作界面，从简单到复杂的可定制数据分析包直观的数据组织和分析流程，简单点击即可生成数据报告直观可自定义的数据处理和分析模块开放式架构使得多用户合作更加容易海思创TI980升级选项xSol环境控制腔与载台环境控制腔实现了定量纳米力学性能和纳米摩擦学特征随着温度、气氛和湿度的变化。nanoECR纳米压痕测试的原位导电特性可以和纳米力学性能，材料形变行为和接触电阻等同步研究。xProbe基于MEMS传感器的探针可以实现原子力显微镜级别的超低力和位移噪音水平。iTF专利的原位薄膜力学性能分析包提供了排除基底效应影响的薄膜和多层膜结构的定量力学性能。3D OmniProbe和多量程通过扩展力和位移测量量程实现微米尺度的力学和摩擦学特性表征。NanoProbe同步拉曼光谱原位研究力学性能和摩擦学特性与材料结构和化学成分的相关性。模量成像动态扫描纳米压痕模式提供材料表面的定量、高分辨模量分布。荧光显微镜联用集成荧光显微镜可实现荧光共定位纳米力学测试等。电化学模块实现氧化和还原环境下的原位定量纳米力学和纳米摩擦学行为研究。自动探针更换模块按钮操作的自动探针更换模块。样品台多尺度的磁性、机械和真空固定方式可以固定几乎所有待测样品，包括300mm晶圆。TriboAE&trade 声音传感器能通过针尖原位监测纳米压痕过程中的断裂和形变产生的声音信号。TriboImage&trade 纳米尺度划痕/磨损的实时表征。

产品简介 普识纳米RJ系列科研型显微成像（Mapping）拉曼光谱仪标配显微镜使用，通过智能的成像和数据采集方法，通过快速探查整个样品区域，准确找到需要找寻的目标，简便地呈现直观信息并获取高质量的化学成像，加速推进新老用户的科学研究。 普识纳米RJ系列具有高分辨率高深制冷高灵敏度的特性，在弱信号长时间积分探测具有绝佳效果，是针对科研应用开发的高分辨率实验室分析级拉曼光谱仪，主要适用于高校、科研单位、企业拉曼研发等场景 。不同的性能配置，模块化的设计，方便客户根据需要自由选择和迭代升级。 除满足高性能的常规拉曼分析外，PERS-RJ系列配套使用厦门大学研发的超高灵敏度的增强试剂，还可用于痕量甚至超痕量级拉曼增强（SERS）技术的开发和应用研究，拓宽拉曼光谱技术在实验检测中的应用产品优势外观简单，轻松便携： 整机一体化设计，美观、耐用，轻便、小巧，方便携带，适用于实验室，现场等多种场合。宽光谱范围： 光谱范围最高可覆盖至8000cm-1。光纤耦合，采样更方便： 灵活的光纤探头可在不同位置进行测量。制冷CCD，信噪比更佳： 高品质制冷CCD，灵敏度高，提供了系统所需的高信噪比。建模简单： 只需按照软件的日式逐步操作即可。PERS-SR530技术参数探头光纤配置 光谱范围 200cm-1-8000cm-1波长分辨率 2cm-1 波长稳定性 0.1nm/℃(标准)激发波长 532±0.5nm，线宽＜0.08nm激光功率稳定性 ≤3% P-P(@2hrs)激光器使用寿命 10000.00hrs 或1年电源电压 100-240VAC@50/60Hz输出功率 0~500mW可调积分时间 4ms-20S工作/储存温度 0-45℃工作/储存湿度 5%-80%

产品简介：布鲁克Hysitron TI Premier高精度纳米力学测试系统是布鲁克公司研制的自动化、高通量测试仪器，通过纳米级位成像，可实现压痕、划痕和磨损过程的纳米尺度原位可视化表征。Hysitron（海思创）应用其工艺技术“三板电容传导”，从源头上保证了仪器稳定性和灵敏度。使用Hysitron（海思创）纳米力学材料检测系统通过探针可以获得材料微区的硬度、弹性模量、摩擦系数、磨损率、断裂刚度、失效、蠕变、粘附力（结合力）等力学数据。后续可选择升级模块有高温台、电学性能测试、湿度控制模块、冷台、与拉曼连用等。不仅在微纳米水平上开展力学行为特性的研究，还可以进行纳米尺寸上的机械加工。产品参数：TI Premier纳米压痕正常负载范围： 75 nN至10 mN（可选 30 mN）正常位移范围:0.2 nm至5μmNanowear正常负载范围:100nN至1 mN磨损盒尺寸:4µ m - 60µ m原位SPM成像成像力： ＜100 nN最大扫描体积 ：＞60 µ m x 60 µ m x 4 µ m电动平台行程：50mm x 150 mm分辨率 50 nm纳米刮痕通过法向力和侧向力/位移监测，量化耐刮性/损伤性、薄膜附着力和摩擦系数xSol环境控制腔与载台400°C和600°C阶段，用于在非环境温度和可定制气氛下进行材料研究nanoDMA III动态力学分析，能够连续测量作为接触深度、频率和时间函数的弹塑性和粘弹性特性nanoECR原位导电纳米压痕，以关联纳米机械性能、材料变形行为和电接触电阻xProbe刚性探针MEMS换能器，可提供通常与AFM相关的超低力和位移噪声基底多量程纳米探针力和位移测试范围扩大的传感器，用于深度感应微压痕模量成像动态扫描纳米压痕模式提供材料表面的定量、高分辨模量分布电化学模块实现氧化和还原环境下的原位定量纳米力学和纳米摩擦学行为研究样品台多尺度的磁性、机械和真空固定方式可以固定几乎所有待测样品TriboAE&trade 声音传感器能通过针尖原位监测纳米压痕过程中的断裂和形变产生的声音信号产品特点：含针对特定应用的特性分析包准静态纳米压痕软件包优化薄膜和非均质材料的纳米力学表征和非均质材料动态特性分析软件包准静态和动态机械性能从超软到超硬的各种材料进行表征高温特性分析软件包研究机械性能和随时间变化的随温度变化的变形行为多种长度秤组件纳米和微米长度尺度上的深度传感压痕

多量程X射线纳米CTSkyScan 2211多量程X射线纳米CT系统可涵盖范围广的样品的对象尺寸和空间分辨率。它可为油气勘探、复合材料、燃料电池、电子组装等许多应用带来不一样的材料三维成像和精确建模机会。技术规范：X射线源：20… 190kV，4/10/25 W，亚微米焦点尺寸，5档滤线器；开放（泵送）X射线源（带双级电子光学器件）；靶材—钨（标准）；铜、钼、银（可选）X射线探测器： 300万像素CMOS平板探测器 1920×1536像素 1100万像素冷却式CCD探测器 4032×2670像素重建图像格式：平板：1920×1920×1160像素（中心位置）3776×3776×1160像素（两个偏移位置） CCD：4032×4032×2272像素（中心位置）8000×8000×2272像素（两个偏移位置）重建速度：1分12秒：针对600次投影进行2K×2K×1K重建 11分：针对1319次投影进行4K×4K×2K重建样品对象定位：直接驱动空气轴承带集成式微定位平台 使用压电式驱动器（5.5毫米行程）细节探测能力：100纳米扫描容积： 直径204毫米，长度200毫米，重量25千克辐射安全：在距离仪器表面10厘米的任何一点上＜0.5 μSv/h （在190 keV、4 W条件下于目标上测得）电源：100-130V或200-240 V AC，50-60 Hz， 2.5 kW + 1.5 kW（压缩机）（65 A峰值电流）系统随附闭环水冷器和无油空压机及必要的粒子过滤器和干燥机。

产品简介普识纳米SR530科研型显微成像拉曼光谱仪可配置显微镜使用，通过智能的化学成像和数据采集方法，通过快速探查整个样品区域，准确找到需要找寻的目标，简便地呈现直观信息并获取高质量的化学成像，加速推进新老用户的科学研究。 PERS-SR530系列科研型拉曼光谱仪是针对科研应用开发的高分辨率实验室分析级拉曼光谱仪，主要适用于高校、科研单位、企业拉曼研发等场景 。不同的性能配置，模块化的设计，方便客户根据需要自由选择和迭代升级。 除满足高性能的常规拉曼分析外，PERS-SR系列配套使用厦门大学研发的超高灵敏度的增强试剂，还可用于痕量甚至超痕量级拉曼增强（SERS）技术的开发和应用研究，拓宽拉曼光谱技术在实验检测中的应用产品优势外观简单，轻松便携： 整机一体化设计，美观、耐用，轻便、小巧，方便携带，适用于实验室，现场等多种场合。宽光谱范围： 光谱范围最高可覆盖至4000 。光纤耦合，采样更方便： 灵活的光纤探头可在不同位置进行测量。制冷CCD，信噪比更佳： 高品质制冷CCD，灵敏度高，提供了系统所需的高信噪比。建模简单： 只需按照软件的日式逐步操作即可。PERS-SR530技术参数探头光纤配置 激发端：105 μm VIS-NIR 接收端：200 μm VIS-NIR光谱范围 200cm-1-3200cm-1波长分辨率 10cm-1 波长稳定性 0.1nm/℃(标准)激发波长 785±0.5nm，线宽＜0.08nm激光功率稳定性 ≤3% P-P(@2hrs)激光器使用寿命 10000.00hrs 或1年电源电压 100-240VAC@50/60Hz输出功率 0~500mW可调积分时间 4ms-20S工作/储存温度 0-45℃工作/储存湿度 5%-80%

SKYSACN 3d纳米x射线显微镜ct - 一款用于显微样品三维成像的实验室级超高分辨率CT扫描仪,可对直径为30cm，长度40cm样品的内部结构进行3D无损检测与重建，对样品的细节检测能力（标称分辨率）最高可达60纳米。利用 X 射线无损成像的特性提供样品内部结构的三维图像，并且无需对相关区域进行切割或切片。 ▼维护成本低,开放管，只需要更换灯丝。 SkyScan 2214采用了布鲁克独家所有的自动可变扫描几何系统，不但样品到光源的距离可调，探测器到光源的距离也可调。因此，可变几何系统能在空间分辨率、可扫描样品尺寸、扫描速度、图像质量之间找到完美的平衡。相比于传统的探测器-光源固定距离模式，在分辨率不变的情况下，扫描速度可提高2-5倍，同时保证得到相同的甚至更好的图像质量。而且这种扫描几何的改变，无需人工干预，软件会自动根据用户选定的图像放大倍数，自动优化扫描几何，以期在最佳分辨率、最短时间内得到高质量数据。SkyScan 2214配备了分层重构软件InstaRecon，得益于其独特的算法，重建速度比常规Feldkamp算法快10-100倍，适用于更大规模数据的成像处理。 了解更多应用方向，请致电束蕴仪器（上海）有限公司

首创、独有的纳米红外功能和性能Bruker公司推出的Dimension IconIR是一款集合了纳米级红外光谱（nanoIR）技术和扫描探针显微镜（SPM）技术的系统。它整合了数十年的技术创新和研究成果，可以在单一平台上提供无与伦比的纳米级红外光谱、物理和化学性能表征。该系统具有超高的单分子层灵敏度和化学成像分辨率，在保留DimensionIcon最佳的AFM测量能力的同时，还提供了极大的样品尺寸灵活性。Dimension IconIR利用Bruker独有的PeakForce Tapping纳米级物性表征技术和专利的纳米红外光谱技术，使得它能够在纳米尺度下对样品进行纳米化学、纳米电学和纳米力学的关联性表征。只有Dimension IconIR具备：与FTIR完全吻合的红外光谱，优于10 nm的空间分辨率和单分子层灵敏度的高性能纳米红外光谱化学成像可与Peakforce Tapping纳米力学和纳米电学属性表征相关联高性能的AFM成像功能和极大的样品尺寸灵活性广泛适用的应用配件和AFM功能模式专利技术保证真实的红外吸收光谱AFM-IR通过采集样品的热膨胀信号（PTIR）还原样品的红外吸收光谱。由于检测区域的热膨胀只与样品在该波长下的吸收强度有关，而常规的傅里叶红外光谱（FTIR）检测的也是样品在该波长下的吸收强度，因此AFM-IR获得的红外吸收光谱与传统的红外吸收光谱高度吻合。红外吸收成像除采集指定区域的红外吸收光谱外，Dimension IconIR同时提供了固定红外脉冲波长，检测样品表面某一区域在该波长下吸收强度的功能。在该工作模式下，Dimension IconIR会将红外脉冲激光固定在研究者所选的波长，用AFM探针扫描需要检测的表面，记录探针针尖在每个位置检测到的红外吸收强度，并同时给出AFM形貌和该波长下的红外吸收成像。专利保护的接触共振技术专利保护的共振增强技术将测量灵敏度提高到单分子层级别，达到最高的光谱检测灵敏度。因为基于原子力系统的红外技术是以探针来检测样品表面在红外激光作用下的机械振动，随着厚度的减小，这种位移量变得极其微小，超出了原子力显微镜的噪音极限。我们利用专利保护的可调频激光优化脉冲信号频率，使之与探针和样品的接触共振频率吻合，那么这种单谐振子共振模式就能把微弱信号放大两个数量级。。智能光路优化调整，保证实验效率红外激光和AFM联用系统的最大挑战在于光路的优化，为了得到最佳的信号，在实验过程中光斑中心应该始终跟随探针针尖位置并保持良好的聚焦。但是在调频过程中，激光光束的发射角度会随着波长的变化而改变，进而改变光斑位置，聚焦状态也会变化。布鲁克采用全自动软件控制automatic beam steering和自动聚焦系统来修正光斑位置的偏移和聚焦，大大改善了传统联用系统需要手动调节的不便和低效率。同时全自动动态激光能量调整保证信号的稳定性，避免红外信号受激光不均匀功率的影响。

原子力显微镜（工业型）产品简介基于专利的、源自德国的主动式针尖技术，百及纳米科技开发了下一代工业智能型原子力显微镜系统，针对工业领域应用提供快速、智能的样品形貌表征，适用于工业型检错、质量评定和量化测量等，尤其适用于检测大尺寸晶圆或光学晶圆。系统集成了大尺寸样品位移台、全自动光学导航系统和配套自动控制软件，可对大尺寸样品进行的光学成像定位，根据光学成像结果自动标定多个准确测量区域，并根据缺陷/待测结构的特点进行模式识别，智能选取原子力显微镜测量参数，在样品多个位置间自动移动，进行可重复的高分辨率测量，生成检测书面报告，整个过程无需人工参与，实现对大尺寸样品形貌的智能化、自动化的高速、高质量纳米级测量。产品特点： 顶级自动化功能、测量过程无需激光调节、即插即用式针尖更换方案、快速自动进针， 针对高深宽比的沟槽或孔洞结构，采用特制的长针尖提供微纳米结构的三维形貌准确测量， 可升级至多针尖并行测量模式，大幅提高微纳结构表征的范围和效率， 可升级为基于针尖光刻的微纳米结构高性能加工系统，大气环境下快速直写5nm以下结构。功能指标样品尺寸100 mm x 100 mm (4英寸) 至 300 mm x 300 mm (12英寸)成像分辨率优于1 nm (水平方向：0.3 nm, 垂直方向：0.2 nm)样品台定位精度运动精度优于1nm，重复精度优于10nm，采用闭环回路定位准确控制。单场扫描范围 (X, Y, Z)35μm x 35μm x 10μm （备选: 100μm x 100μm x 30μm）测量模式1. 非接触式（形貌、相位、误差） 接触式&力曲线2. 扩展模式(导电探针(C-AFM)、开尔文探针力显微镜 (KPFM)、磁力显微镜 (MFM)、扫描针尖光刻 (SPL)等)

3D Nanoimaging三维纳米成像（3D Nanoimaging）和单分子跟踪系统（升级Olympus 共焦显微镜）Overview在过去的几年里，人们已经设计了几种方法来使用光学显微镜（STED，PALM，STORM）获得具有纳米分辨率的细胞特征图像。这些方法虽然功能强大，但在检测图像中稀疏的纳米结构时效率很低。同时，它们也不足以探测纳米级三维结构中亚秒级的化学反应动力学，这些结构是不断移动和改变形状的。在纳米成像方法达到超分辨率的情况下，激光束不会像光栅图像那样按照预定的模式扫描样品。相反，激光扫描成像基于反馈算法，在扫描过程中，根据待成像物体的形状连续地调整和确定激光束跟随的路径。该算法将激光光斑移动到离物体表面一定距离的位置，由于激光光斑的位置和离物体表面的距离是已知的参数，所以利用这些参数来重建物体的形状。三维细胞结构可以在几秒钟内分辨率达到20-40纳米，精度为2纳米。How it work? 使用SMT（Single-Molecule Tracking）纳米成像的操作顺序很简单：首先，获取感兴趣区域的共焦图像；然后，用户识别要成像的对象。SMT纳米成像通过开关激活，激光束位于距离物体中心100-200纳米的位置。当激光光斑接近待成像表面时，荧光量增加。然而，荧光强度的增加取决于距离以及荧光团的浓度和它们各自的量子产率。为了将距离效应与浓度效应分开，点的位置被迫垂直于表面振荡。也就是说，荧光强度在振荡过程中发生变化（图1）。Figure 1. 调制跟踪技术示意图。束点围绕物体以圆形轨道运动，其与物体表面的距离以设定的频率周期性地变化；通常，对于每个轨道，振荡次数在8到32之间，取决于物体的大小。这些半径的小振荡被用来计算轨道的调制函数，从中可以确定光斑与表面的距离。 调制函数定义为由于表面的局部荧光而使交替部分与平均部分之比。实际上，调制是PSF的空间导数与强度的比值。调制函数随着离表面距离的函数呈准线性增加，这一特性允许它用于确定沿轨道激光光斑离表面的距离。通过这种方法，计算并重建物体的横向形状。Tracking MethodologyXY-axis using galvo-controlled mirrors Z-axis using piezo-controlled stageMaximum Resolution20 nm ± 2 nmData Acquisition Frequency32 to 256 KHzCircular Orbit Frequency2 KHzDetectorInternal PMT of FV1000/FV1200Detection ElectronicsISS Photon Counting UnitComputer3 GHz, 4GB RAM, 200 GB hard drive, 27" monitor (minimum specifications shown)Acquisition and Analysis SoftwareSimFCS by Globals Unlimited 下面是纳米成像单元及其与FV1000共焦显微镜的连接示意图。开关盒允许用户在标准操作模式下操作FV1000，或激活纳米成像系统。在纳米成像操作中，FV1000的振镜通过国际空间站提供的电子设备进行控制。该信号由FV1000的内部探测器收集并转移到ISS光子计数数据采集单元。使用FV1000的振镜在XY平面上跟踪分子，并通过压电控制级在z轴上跟踪分子。仪表控制、数据采集和显示在单独的计算机上完成。右侧部分包括仪器组件（PC、控制电子设备、扫描仪和激光发射器）。示意图的左侧部分包括ISS随升级包提供的组件. 可参看文献： Nanometer-scale Imaging by the Modulation Tracking MethodLanzano, L., Digman, M.A., Fwu, P., Giral, H., Levi, M., Gratton, E.J Biophotonics, 2011, 4(6), 415-24. Measurement of Distance with the Nanoscale Precise Imaging by Rapid Beam Oscillation MethodLanzano, L., Gratton, E.Microsc Res Tech, 2012, 75(9), 1253-64. Real-time Multi-Parameter Spectroscopy and Localization in Three-Dimensional Single-Particle TrackingHellriegel, C., Gratton, E.J R Soc Interface, 2009, 6, Suppl 1:S3-14. Real-time Nanomicroscopy Via Three-Dimensional Single Particle TrackingKatayama, Y., Burkacky, O., Meyer, M., Bráuchle, C., Gratton, E., Lamb, D.C.Chemphyschem, 2009, 10(14), 2458-64. Distance Measurement by Circular Scanning of the Excitation Beam in the Two-Photon MicroscopeKis-Petikova, K., Gratton, E.Microsc Res Tech, 2004, 63(1), 34-49.

产品详情Nano Indenter G200X可提供纳米级的力学测试功能，简单易用，能够精确进行各种力学定量分析。G200X系统中配置了高精度纳米马达样品台、最 大的样品安装系统和高分辨率光学显微镜。InView软件、InQuest控制器和InForce驱动器让KLA全线压痕产品系列具有一致的卓 越性能。 G200X系统可选功能包括连续刚度测量(CSM)、扫描探针显微成像、划痕测试、动态力学分析频率扫描，、IV电压电流特性测试、超高速压痕测试和冲击测试等等。主要功能电磁驱动器可轻松实现载荷和位移的宽动态范围的控制高分辨率光学显微镜与精密XYZ 移动系统结合，实现高精度观察与定位测试样本。便捷的样本安装台与多样本定位设置功能实现高通量测试。高度模块化设计，设备提供扫描探针成像功能、划痕及磨损测试功能、高温纳米力学测试功能、连续刚度测试(CSM) 和高速3D及4D力学图谱等模块化升级选件。直观的用户操作界面便于快速的进行测试设置；仅需点击几下鼠标即可完成复杂测试的参数设置。实时高效的实验控制，简单易用的测试流程开发和测试参数设置。全新的InView软件，提供用于分析数据的Review软件和生成各种综合性测试报告的 InFocus软件。独 家发明并获得美国R&D奖的材料表面力学图谱功能和高速测试功能，极大的提高了定量数据的可靠性。InQuest高速数字控制器，数据采集速率最 高可达100kHz，时间响应常数最快为20µ s。主要应用高速硬度和模量测量 (基于Oliver-Pharr 模型)高速材料表面力学特性分布测量ISO 14577 标准化硬度测试薄膜及涂层测试界面附着力测量断裂韧性测量粘弹性测量,储能模量和损耗模量及损耗因子扫描探针显微成像（3D 成像）定量划痕和磨损测试高温纳米压痕测试IV电学测试行业分布高校、科研实验室和研究所半导体芯片行业PVD/CVD 硬质涂层（DLC、TiN)MEMS：微机电系统/纳米级通用测试陶瓷与玻璃金属与合金制药膜层材料与油漆复合材料电池与储能汽车与航空航天应用硬度与模量测试 (Oliver-Pharr模型)在薄膜的工艺控制和制造过程中，表征其力学性能至为重要，其中包括汽车行业的涂层质量，以及半导体制造中的前道和后道工艺控制等。G200X纳米压痕仪可在宽泛材料上测量硬度和模量，对从超软凝胶类样品到硬质涂层等各种材料提供解决方案。更快，更好和更具成本效益的解决方案为生产线提供可靠的品质控制及保障。高速材料力学性能图谱功能对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能会有很大差异。 G200X系统能够在X轴和Y轴方向上各提供 100 毫米的样品台移动，并在Z轴方向上提供25毫米的移动，在大面积样本区域下轻松表征不同厚度，宽度，长度的样本。可升级选件NanoBlitz 力学形貌图谱和断层谱图 软件能够快速输出力学性能的彩色分布图。ISO 14577 硬度测试Nano Indenter G200X 包括预先内置的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577 标准测量材料硬度。该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、仪表硬度、维氏硬度和归一化压痕功。界面附着力测试膜层材料的界面粘附性的测量对于帮助用户了解薄膜的失效模式至关重要。内应力的存在常常会导致镀层样品的薄膜分层现象，Nano Indenter G200X系统可以通过膜层界面的断裂及黏附特性和残余应力等性能的测试，实现对多层界面的性能评估。断裂韧性测试断裂韧性反映了结构阻止宏观裂纹失稳扩展能力，是结构抵抗裂纹脆性扩展的参数。低断裂韧性值意味着样品存在的缺陷。G200X特有的刚度成像功能可以轻松地对材料的断裂韧性进行评估。（刚度分布测量需要连续刚度测量和NanoVision选件）粘弹材性测试聚合物是结构异常复杂的材料，力学性能易受其化学特性、加工工艺和热力学历史的影响。力学性能取决于母链的类型和长度、支化、交联、应变、温度和频率等，而这些因素通常是相互关联的。G200X可在特定测试环境中对相关聚合物样本进行力学测试，为聚合物高分子材料设计参数决策提供了有价值的数据信息。/p纳米压痕测试所需样本尺寸小，样本制备要求简单，可高效简化这种特定环境的测量。Nano Indenter G200X 系统还可以通过与材料充分接触的同时激发高频振动来测量聚合物样品的复合模量和粘弹性。扫描探针显微成像 (3D 成像)Nano Indenter G200X 系统提供两种扫描探针显微成像方式，用户可利用三维成像来表征断裂韧性研究中产生的裂纹长度等。 Nano Indenter G200X 与NanoVision选件结合，可提供高达1nm步进的横向分辨率的高精度PZT样品台，实现高精度定位，100µ m x 100µ m的最 大横向扫描范围。Nano Indenter G200X测试平台标准的高精度X/Y 纳米马达台与Inview 软件及扫描测量选件结合，可提供500µ m x 500µ m的最 大横向扫描范围。定量划痕和磨损测试G200X 系统可以对多种材料进行划痕和磨损测试。在涂层和薄膜经过化学机械抛光 (CMP) 和引线键合等的多种工艺处理的时候，其强度及其对基材的附着力会备受考验。在加工工艺中，材料是否能抵抗塑性变形并保持完整而不从衬底上起泡非常重要。理想情况下，介电材料具有高硬度和高弹性模量，因为这些参数有助于了解材料在制造工艺中的性能变化。产品优势NanoIndenter G200X纳米级力学测试平台，简单易用，能够快速准确的提供各种定量的力学测试结果。G200X系统能够轻松表征广泛的材料力学性能，从硬质涂层到超软聚合物样品，并针对不同应用提供综合全面的纳米力学测试升级选件和解决方案。

产品简介普识纳米SR532科研型成像显微拉曼光谱仪（带制冷台）是一款带制冷型532nm拉曼，制冷最低可到-50℃，可配置显微镜使用，对比常规便携式拉曼光谱，通过智能的化学成像和数据采集方法，通过快速探查整个样品区域，准确找到需要找寻的目标，简便地呈现直观信息并获取高质量的化学成像，加速推进新老用户的科学研究。 PERS-SR320R系列科研型拉曼光谱仪制冷型拉曼是针对科研应用开发的高分辨率实验室分析级拉曼光谱仪，主要适用于高校、科研单位、企业拉曼研发等场景 。不同的性能配置，模块化的定制型设计，方便客户根据需要自由选择和迭代升级。 除满足高性能的常规拉曼分析外，PERS-SR系列配套使用厦门大学研发的超高灵敏度的增强试剂，还可用于痕量甚至超痕量级拉曼增强（SERS）技术的开发和应用研究，拓宽拉曼光谱技术在实验检测中的应用。产品优势532nm制冷型拉曼光谱，可拥有更加优异的信噪比。配合独创壳层隔绝表面增强技术，信号放大至百万倍级别。外观简单，轻松便携： 整机一体化设计，美观、耐用，轻便、小巧，方便携带，适用于实验室，现场等多种场合。宽光谱范围： 光谱范围最高可覆盖至8000cm-1（模块化的光谱范围）。光纤耦合，采样更方便： 灵活的光纤探头可在不同位置进行测量。制冷CCD，信噪比更佳： 高品质制冷CCD，灵敏度高，提供了系统所需的高信噪比。建模简单： 只需按照软件的日式逐步操作即可。PERS-SR530R技术参数探头光纤配置 光谱范围 200cm-1-8000cm-1制冷载物台：可至-30℃波长分辨率 3.4-16cm-1 波长稳定性 0.1nm/℃(标准)激发波长 532±0.5nm，线宽＜0.08nm激光功率稳定性 ≤3% P-P(@2hrs)激光器使用寿命 10000.00hrs 或1年电源电压 100-240VAC@50/60Hz输出功率 0~500mW可调积分时间 4ms-20S工作/储存温度 0-45℃工作/储存湿度 5%-80%

Vista-IR 高分辨纳米红外成像与光谱系统 ——10nm以下空间分辨红外成像与光谱采集傅立叶变化红外光谱(Fourier Transform infrared spectroscopy, FTIR)广泛应用于各种化学分析，尤其是聚合物和有机化合物分析，为现代化学提供了重要的分析手段。然而常规的傅立叶红外光谱仪由于受到光学衍射极限的限制，其空间分辨率也越来越无法满足科研人员在纳米尺度下对于样品化学分析及成分鉴定。在这一背景下，美国Molecular Vista应运而生，推出了全新一代纳米红外成像与光谱系统Vista-IR！Vista-IR纳米红外依托于原子力显微镜平台，利用专利的光诱导力显微镜（Photo-induced Force Microscope, PiFM)技术，结合波长可调的红外光源，从而实现10nm以下空间分辨红外成像与光谱采集，无需远场光学接收器及干涉仪。Vista-IR纳米红外所采集的PiFM红外光谱与标准FTIR光谱高度吻合，这使得科研人员可以将PiFM纳米红外光谱与FTIR红外光谱图库中的数据进行对比分析。样品为聚醚砜薄膜(Polyethersulfone, PES film)NanoIR 纳米红外成像与光谱案例光诱导力显微镜突破性的采用检测探针与样品之间的偶极交互(dipole interaction)，使其不受到样品横向热膨胀对于空间分辨率带来的负面影响。因此，基于光诱导力显微镜的纳米红外能真正意义上的实现10nm以下空间分辨纳米红外成像！下图PS-PMMA嵌段共聚物纳米红外成像与光谱案例，红色和绿色分别代表PMMA与PS的分布情况。摘自“Nanoscale chemical imaging by photoinduced force microscopy，Sci. Adv. 2016”基于光诱导力显微镜的纳米红外不仅适合有机高分子材料，也适合无机材料。下图为不同Si/Al比的ZSM-5沸石分子筛的纳米红外骨架振动峰在1100cm-1处的蓝移及劈裂情况，以及通过碳氢化合物在1480cm-1的C=C伸缩振动峰来反映ZSM-5参与甲醇制碳氢化合物（MTH)催化反应后结焦的分布情况。摘自“Nanoscale infrared imaging of zeolites using photoinduced force microscopy，Chem. Commun. 2017”

洞察纳米世界的利器 ：纳米级光学成像 + 高光谱扫描您手边纳米研究神器：无标记识别 + 纳米表征 + 映射产品介绍 Cytoviva超分辨率荧光显微成像系统技术最初源于美国国防部和美国宇航局共同开发空中成像技术。Cytoviva已经发展成为一个专有技术，并将其专利整合到的显微成像系统中，可以在纳米尺度进行材料的光谱定量分析和活细胞的观察。并在2006和2007连续两年获得著名的R＆D 100奖的获奖荣誉，2007获得了Nano50TM奖，源于它对纳米科学研究的杰出的贡献。 2005年进入市场以来，Cytoviva在全球范围内已有几百台的装机，包括美洲、亚洲到欧洲国家重点实验室、学术科研机构和独立的工业实验室。 Cytoviva超光谱成像系统配合cytoviva显微镜系统，可以广泛应用于量化细胞和组织中的纳米材料。该系统捕获扫描范围内近红外（400-1000nm）内每个像素的光谱信号。先进的分析软件可以提供的扫描材料的详细光谱信息。 CytoVivac超光谱成像系统配合CytoViva纳米显微镜可以同时提供材料及生物样品的光谱分析和图像数据。该系统在可见-近红外光谱范围内（VNIR）进行数据采集。Cytoviva HSI有着广泛的应用研究范围：纳米药物递送、纳米毒理学、纳米材料、细胞生物学、病理学、病毒学、植物学等等。光谱分析方法支持非荧光、荧光标记的成分在活细胞、组织和纳米材料等不同样本中的观察分析。 Cytoviva技术正迅速成为纳米材料和生命科学研究的实验室标准。Cytoviva能提供您所需要的实验结果。为客户采集到真实，定量的研究数据提供了一套无缝的解决方案。 产品特点● 无需荧光标记● 纳米尺度样品光学图像表征（20-50nm）● 纳米高光谱表征● 映射多种环境中纳米尺度样品应用方向● 药物递送，纳米药物研发及临床试验● 外泌体研究，肿瘤早期诊断、研究及治疗● 食品及组织中细菌检测● 脑疾病研究：Alzheimer’s Disease,AD ；帕金森● 纳米乳剂● Liposomes● 免疫组化，组织切片直接观察，纳米级表征● 病毒、病原体检测与表征● 高分子材料检测与表征● 小分子材料检测与表征● MOF 材料检测与表征● 纳米尺寸材料检测与表征● 表面等离激元（单分子发光）● 环境污染治理● 稀土材料、上转换纳米材料表征● 复合纳米材料研究● 生物燃料研发组合光谱成像技术 多功能集成显微镜系统可同时提供宽场成像模式（反射，透射，明场，暗场，偏振光和荧光），以及高光谱显微成像模式（拉曼，荧光，光致发光，透射和反射）；又保证了无论在哪种成像模式之间切换都不需要移动样品，确保呈现同一区域的所有多模态图像信息。 拉曼系统内置四个光栅，用于优化光谱分辨率，可配备最多 3 个激光器（从蓝色到 NIR+），用于实现 Raman，PL 以及 FL 高光谱成像。检测器从普通 CCD 到 EMCCD 根据不同需求可供选择。

百及纳米ParcanNano 高速原子力显微镜AFM系统 产品简介公司以全球独家专利的探针技术为核心竞争力，技术源自于德国伊尔默瑙工业大学 Rangelow 教授，致力于主动式探针技术在微纳米结构制备和表征方面的研发，及其相关设备的产业化。 本款扫描探针显微镜使用主动式智能探针，集传感器、驱动器和可功能化的探针于一身，实现自激发和自传感，无需复杂的激光校准，是取代现有 AFM 激光传感的巨大改进，具有极高性价比优势。该系统可在大气、液态及真空环境下实现对微纳米结构的高速、高效表征，成像精度达到 0.3 nm 的极限精度。 产品拥有像美国麻省理工学院、加州伯克利国家实验室、荷兰德尔夫特大学和清华大学等国内外知名科研客户，以及韩国三星、荷兰 ASML 等高端工业客户。扫描示例：

HI8734哈纳HANNA便携式多量程TDS测定仪HI8734哈纳HANNA便携式多量程TDS测定仪由上海晖望工贸有限公司销售。产品概述：总固体溶解度【TDS】：0.0 to 199.9 mg/L（ppm）、0 to 1999 mg/L（ppm）、0.00 to 19.99 g/L（ppt）HANNA的四环总固体溶解度电极，只需一支电极即可完成多量程测量，电极采用PVC材质，适用于野外测量新款外观设计，超大屏幕显示，四量程快速手动选择；仪器采用单点校准，自由选择和设定校准点人性化操作界面，操作简单、便捷；自动温度补偿，确保在不同环境下，测量精度和准确；采用*的微电脑技术，适用于在恶劣的环境下也可提供实验室级别的测量结果，良好性价比。技术参数：技术指标HI8734测量范围【TDS】0.0 to 199.9 mg/L（ppm）、0 to 1999 mg/L（ppm）、0.00 to 19.99 g/L（ppt）解析度0.1 mg/L (ppm)、1 mg/L (ppm)、0.01 g/L (ppt)精度@ 20°C/68°F±1% F.S.（忽略温度探头误差）校准模式手动单点校准（依据水样预测数据，选择比较相近的标准缓冲液）温度补偿手动温度补偿0 to 50°C；补偿系数?＝2％/°C其他标配电极HI76301D定制四环电导率-EC电极；DIN接口，1米线长电源模式9V电池适用环境0 to 50°C (32 to 122°F)， RH max 95%【无冷凝】尺寸重量主机尺寸：145 x 80 x 36 mm (5.7 x 3.1 x 1.4”)；主机重量：230 g (8.1 oz)

激光共聚焦显微镜在样品表面同时逐点或多点扫描成像。使您可以在 x、y 和 z 轴上获得高对比度与高分辨率的光学切片。能够为生命科学领域的定量成像提供出色的图像质量。主要特点：l 高分辨率：XY方向上的分辨率可达到200nm，Z向分辨率可达330nml 多通道信号检测：支持多通道同时扫描以及分时扫描l 高分辨率：可达8192 x 8192l 超强适配性：采用了标准显微镜镜体，并支持已有显微镜的升级。主要技术参数：CM4000系列共焦显微成像系统激光光源405 纳米（50mW）；488 纳米（50mW）；561 纳米（50mW）；640 纳米（50mW）；模拟/TTL电平调制；强度可调（0-100%）；单模光纤，FC/PC 连接器。分辨率XY方向上的分辨率可达到200nm，Z向分辨率可达330nm扫描参数双轴XY高速光学扫描振镜扫描像素： 8192 x 8192 pixels扫描速度： 4fps（512x512，双向），24fps（512 x 32，双向）扫描模式X-Y，X-Z，Y-Z，X-Y-Z，X-Y-Z-T

SKYSCAN 2214 是布鲁克推出的新纳米断层扫描系统，是显微 CT 技术领域的先行者，在为用户带来了终级分辨率的同时,提供非常好的用户体验。SKYSCAN 2214 的每个组件都融入的新的技术，使其成为当今市场上性能很强、适用性很广的系统。■多用途系统，样品尺寸可达300mm，分辨率（像素尺寸）可达 60 纳米■金刚石窗口x射线源，焦斑尺寸500nm■创新的探测器模块化设计，可支持 4 个探测器、可现场升级。■全球速度很快的 3D 重建软件（InstaRecon）。■支持精确的螺旋扫描重建算法。■近似免维护的系统，缩短停机时间并降低拥有成本。地质、石油和天然气勘探■常规和非常规储层全尺寸岩心或感兴趣区的高分辨率成像■测量孔隙尺寸和渗透率，颗粒尺寸和形状■测量矿物相在3D空间的分布■原位动态过程分析聚合物和复合材料■以500 nm 的真正的 3D 空间分辨率解析精细结构■评估微观结构和孔隙度■量化缺陷、局部纤维取向和厚度电池和储能■电池和燃料电池的无损 3D 成像■缺陷量化■正负极极片微观结构分析■电池结构随时间变化的动态扫描生命科学■以真正的亚微米分辨率解析结构，如软组织、骨细胞和牙本质小管等■对骨整合生物材料和高密植体的无伪影成像■对生物样品的高分辨率表征，如植物和昆虫

中图仪器SuperViewW纳米深度光学3D表面轮廓显微仪基于白光干涉原理，用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。工作原理SuperViewW纳米深度光学3D表面轮廓显微仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。测量原理照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条文出现的位置解析出被测样品的相对高度。SuperViewW纳米深度光学3D表面轮廓显微仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

在材料生产检测领域中，纳米材料表征共聚焦显微镜用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。它基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像。产品功能(1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；(2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量；(3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能；(4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；(5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；VT6000纳米材料表征共聚焦显微镜在陶瓷、金属、半导体、芯片等材料科学及生产检测领域中具有广泛的应用。应用领域对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：性能特色1、高精度、高重复性1）以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统，保证仪器的高测量精度；2）隔震设计能够消减底面振动噪声，仪器在嘈杂的环境中稳定可靠，具有良好的测量重复性。2、一体化操作的测量分析软件1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；6）可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前工作。4、双重防撞保护措施除软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，保护仪器，降低人为操作风险。VT6000纳米材料表征共聚焦显微镜显微成像主要采用3D捕获的成像技术，使其具有较高的三维图像分辨率。横向分辨率更高，所展示的图像形态细节更清晰更微细，能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。应用场景1、镭射槽测量晶圆上激光镭射槽的深度：半导体后道制造中，在将晶圆分割成一片片的小芯片前，需要对晶圆进行横纵方向的切割，为确保减少切割引发的崩边损失，会先采用激光切割机在晶圆表面烧蚀出U型或W型的引导槽，在工艺上需要对引导槽的槽型深宽尺寸进行检测。2、光伏在太阳能电池制作工程中，栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力，直接影响着太阳能电池的性能。VT6000可以对栅线进行快速检测。此外，太阳能电池制作过程中，制绒作为关键核心工艺，金字塔结构的质量影像减反射焰光效果，是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力，能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。3、其他部分技术指标型号VT6100行程范围X100mmY100mmZ100mm外形尺寸520*380*600mm仪器重量50kg测量原理共聚焦光学系统显微物镜10× 20× 50× 100×视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm高度测量宽度测量XY位移平台负载10kg控制方式电动Z0轴扫描范围10mm物镜塔台5孔电动光源白光LED恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

仪器简介： CSPM5500是本原纳米仪器有限公司于2008年8月研制成功的新一代扫描探针显微镜,其功能齐全、性能优越、运行稳定、使用方便，非常适合用户开展纳米研究工作。 技术参数：(1)国际主流的研究级专业仪器，集成原子力显微镜(AFM)，横向力显微镜(LFM)，扫描隧道显微镜(STM) (2)分辨率： 原子力显微镜：横向0.2nm，垂直0.1nm（以云母晶体标定） 扫描隧道显微镜：横向0.1nm，垂直0.01nm（以石墨晶体标定） (3)高精度计量型仪器，采用NanoSensors提供的可溯源于国际计量权威机构Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)的标准样品进行校准 (4)一键式快速全程全自动进样，无需手动预调，行程大于30mm，可容纳超大样品 (5)两级可读数样品调节机构，可对样品进行精确的检测区域定位 (6)一次扫描技术，图像分辨高达4096×4096物理象素，微米级扫描即可得到纳米级的实际信息 (7)先进PID反馈算法实现快速高精度作用力控制，确保系统在高速扫描中稳定成像，实际扫描速度提升一个数量级 (8)系统采用10M/100M快速以太网(Fast Ethernet 10/100)或USB 2.0与计算机连接 (9)主控机箱前面板具有16×4液晶显示屏，系统当前状态实时显示 (10)具备实时在线三维图像显示功能，便于用户在检测过程中随时直观获得样品信息主要特点：(1) 标准配置： 原子力显微镜(AFM)：包括接触、轻敲、相移成像(Phase Imaging)等多种工作模式 横向力显微镜(LFM)：具有摩擦力回路曲线、摩擦力载荷曲线、摩擦力恒载荷曲线等摩擦学性能分析测量功能 扫描隧道显微镜(STM)：包括恒流模式、恒高模式、I-V曲线、I-Z曲线等 曲线测量分析功能：力-距离曲线、振幅-距离曲线、相移-距离曲线等(2)选配功能： 纳米加工：包括图形刻蚀模式、压痕/机械刻画、矢量扫描模式、DPN浸润笔模式等； 磁力显微镜/静电力显微镜； 环境控制扫描探针显微镜； 液相扫描探针显微镜； 导电原子力显微镜； 扫描探针声学显微镜； 扫描开尔文探针显微镜； 扫描电容显微镜； 压电力显微镜