压电马达微米级位移平台

美国Micronix 公司成立于2006 年，总部位于美国加州圣塔安那市，专注于微米和纳米定位机构的生产和研发，主要产品包括压电马达微位移平台，步进电机驱动位移台和直线电机驱动位移台。产品种类丰富，满足不同客户的需求， 特别是生物医学领域得到广泛应用。可以提供整套的解决方案，所有位移机构都有配套的控制系统。压电马达微米级位移平台特点： 超大行程 超高稳定性 超高精密，纳米级精度 可以使用在真空和无磁的环境中（需要发货前特殊处理）

“55mm 系列”— Linear55-x-Slim (闭环控制)低温 压电运动- 线性位移系列纳米级压电位移台Linear55-x-Slim主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 55*55*10.5 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 2500 g & 3 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 30 mm&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 0.1 um纳米级压电位移台Linear55-x-Slim⼆ 维尺⼨ Linear55-x-Slim, SpeciÞ cation*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。 可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 55.× 55 mm × 10.5 mm2 质量130 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 -2 pins，传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程30 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载2500 g14 最⼤ 推⼒ 3 N传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程30 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um

XY压电位移平台系统是一套纳米级高精度电动载物台系统，可以适配各大品牌的大部分正置或倒置显微镜，可选不同样式的样品托板适配各种培养皿，使用压电陶瓷闭环电机驱动进口静音滑轨，运行顺滑稳定而且低噪音。功能特点超高精度，步长分辨率达50nm，重复定位精度±0.2微米； 顺滑静音，压电陶瓷电机搭配进口滑轨，噪音低； 适配性强，匹配各大品牌主流显微镜 功能特点闭环定位，可用电脑软件显示和控制定位 扩展性强，提供完整SDK开发包，可二次开发

德国PI压电纳米位移台应用领域扫描显微镜测量技术测试程序和质量保证光子光纤定位带电容式传感器，实现亚纳米分辨率电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。自动配置和快速部件更换机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。零间隙柔性铰链导向带来高导向精度柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对振动和冲击不敏感。它们真空兼容，可在很广的温度范围内工作。直接位置测量带来最大精度运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现优异的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

产品描述PS3100-300UA系列为XYZ轴运动纳米位移台。XYZ轴设计为300微米大行程运动双向运动，方便样品移动，可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。由于FEA的优化这款平台提供动态性能和出色的引导精度。 即使在非常紧凑的包装中实现高质量负载，也可以实现这一点。 本系列系列专为大承载动态应用领域设计。压电平台由集成在带有内部杠杆传动装置的壳体中的执行器组成。 压电平台通过四个对角孔固定在基板上。特别注意因平台为XY叠加结构，压电平台的固定孔为最下端的压电平台，切勿锁定上方的运动平台，否则导致柔性机构的损坏。产品特性—XYZ位移300μmx300μmx80μm（闭环）—多种负载安装孔位—大承载设计—XY双向驱动带来更高动态特性选配功能—可定制孔位及转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—4通道驱动控制应用领域—精密加工领域—测量、计量—光学镜片调整与对准—图像处理与扫描 结构原理 堆叠形式 典型应用PS3L100-300UA系列技术参数

德国PI位移平台I的压电挠性位移台将亚纳米分辨率和导向精度与最小串扰相结合。这使其特别适合于计量学，超分辨率显微镜，干涉测量或半导体芯片生产检查系统中的应用。压电挠性位移台可用于毫秒级的定位和动态扫描，在高达6个自由度的情况下可达几百赫兹。专有的传感器设计，无摩擦的挠性导轨和长寿命的PICMA压电执行器的独特结合，带来了出色而坚固的机械性能。压电运动控制器支持定位和扫描性能优化，并且可以轻松地通过数字或模拟接口进行集成，并进行舒适的编程。多轴压电挠性位移台PI的多轴压电挠性位移台可在多达6个轴上以亚纳米级的精度进行定位和扫描，包括尖端，倾斜和偏航运动。版本范围从紧凑的立方体设计到大孔径和薄型。XYZ扫描仪是定位技术的方位工具。应用包括样品调整，技术，光学计量，光纤定位和光子学以及原子力显微镜。所有压电纳米定位系统均已出厂校准，并随测量记录一起提供。 XYZ紧凑型压电立方体P-616NanoCube纳米定位器紧凑的并联运动压电系统，用于纳米定位和光纤对准P-611.3NanoCubeXYZ压电系统紧凑的多轴压电系统，用于纳米定位和光纤对准P-363 PicoCube XY（Z）压电扫描仪高动态纳米定位系统，用于扫描探针显微镜P-313 PicoCube XY（Z）压电扫描仪皮克计精度高带宽，用于扫描探针显微镜带有孔的XYZ压电位移台P-733.3 XYZ压电纳米定位器高精度XYZ光圈扫描仪P-561• P-562• P-563 PIMars纳米定位台高精度纳米定位器，最多可容纳3个轴P-517• P-527多轴压电扫描仪高动态纳米定位仪/扫描仪，具有直接位置测量功能Z /尖端/倾斜压电挠性位移台P-541.2• P-542.2 XY压电平台大口径薄型XY纳米定位系统P-541.Z• P-541.T压电Z平台/ Z和倾斜/倾斜平台薄型，大光圈P-518• P-528• P-558压电Z / Tip / Tilt平台大光圈高动态6轴压电位移台P-587 6轴精密压电位移台长行程，直接位置测量P-562.6CD PIMars 6轴纳米定位平台具有6个自由度的高精度纳米定位器 用于显微镜的PIFOC物镜和PInano样品扫描仪PIFOC和PInano系列的压电挠性位移台和物镜扫描仪在定位和扫描任务方面具有很高的动态性。标准产品提供了适用于XY样品平行于和垂直于光轴定位以及物镜Z聚焦的解决方案。平台也可以在系统中方便地与控制器，所有必需的连接电缆和软件一起使用。像所有压电系统一样，显微镜载物台和扫描仪也已通过测量记录进行了预校准。 XY压电挠性位移台高精度的2轴纳米定位系统集成了PICMA压电执行器，以实现最大的可靠性。通过使用高质量的纳米计量传感器，可以实现具有佳稳定性的可重复，无漂移的定位。用于小负载的2轴压电扫描仪经常用于扫描和跟踪过程。它们的快速步进运动提高了光学系统的分辨率。这些包括相机技术中的成像过程和图像识别，例如用于生物识别或文档存档。 紧凑型XY压电位移台P-611.XZ• P-611.2 XZ和XYZ纳米定位器用于纳米定位的紧凑型两轴压电系统P-620.2 – P-629.2 PIHera XY压电平台行程范围可变的高精度XY纳米定位器XY压电挠性位移台P-612.2 XY压电纳米定位系统紧凑，带光圈P-541.2• P-542.2 XY压电平台大口径薄型XY纳米定位系统P-733.2 XY压电纳米定位器高精度XY光圈扫描仪PI P-734.2CLP-734 XY压电扫描仪具有最小跳动和清晰光圈的高动力系统PI P-763P-763紧凑型XY纳米定位系统光圈清晰低剖面，经济高效的压电扫描仪，用于生物识别：CCD芯片可在两个轴上动态移动，以提高像素分辨率P-713 XY压电扫描仪具有成本效益的低矮OEM系统P-545.xR8SPInanoXY（Z）压电系统用于高分辨率显微镜的廉价纳米定位系统P-545.xC8SPInanoCap XY（Z）压电系统电容位置测量，用于超高分辨率显微镜P-545.3D8SPInanoTrak压电跟踪系统快速XY（Z）平台用于高动态显微镜 德国PI位移平台

PIMars纳米定位平台 应用领域扫描显微镜掩模/晶圆定位干涉测量测量技术生物技术扫描和筛选带电容式传感器，实现亚纳米分辨率电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。自动配置和快速部件更换机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。适用于复杂真空应用压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。 PIMars纳米定位平台PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。 零间隙柔性铰链导向带来高导向精度柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对震动和冲击不敏感不敏感。它们真空兼容，可在很广的温度范围内工作。 并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

Thorlabs 6轴挠性位移台MAX683，纳米定位Thorlabs的NanoMax? 6轴纳米定位挠性位移台采用平行的挠性设计确保精确平滑的连续运动，摩擦几乎可以忽略。对于复杂的多轴定位应用，平行挠性位移台将三个以上自由度集成在单个小型装置中，明显比按序堆叠位移台的设计具有好的性能。非常适合光纤耦合系统，或需要亚微米分辨率的应用。同时我们提供带或不带预配置压电驱动器（开环/闭环）、差分或步进电机驱动器的版本。位移台的标称载物台高度为112.5 mm(4.43英寸)，匹配高度为112.5 mm的5轴位移台套件。我们也提供转接板，用于将3轴和4轴挠性位移台的载物台高度从62.5 mm提升到112.5 mm，从而兼容我们的NanoMax?6轴位移台。我们的6轴NanoMax位移台作为功能强大的纳米定位工具还有2个创新点：一是公共旋转支点，二是将所有调节器直接耦合到底座的专有设计，以尽量减少系统中不必要的运动。公共旋转点如下图所示，每个NanoMax 6轴位移台在移动平台前都有不锈钢探针，标记所有旋转轴的公共支点。所有旋转轴具有公共支点，可以减少系统的对准时间，因为这样在调整θx、θy和θz时不需要补偿横向运动。如果移动平台开始平移，支点也会相对底座移动，保持支点和移动平台的相对位置。可拆下的不锈钢探针顶部标记了所有旋转轴的公共支点点P是所有三个旋转轴（偏转、俯仰和摆动）的公共支点。Thorlabs NanoMax? 6轴挠性位移台MAX603D，纳米定位精密驱动NanoMax?6轴位移台提供预配置差分测微头驱动器或步进电机驱动器的位移台，即开即用。NanoMax 6轴位移台的模块化设计允许在任何时候拆卸和更换驱动器。驱动器都直接耦合到底座，以尽量减少系统中不必要的运动。这种特性非常适合需要亚微米级分辨率的应用。对于纳米定位应用，我们有内置压电驱动器的版本包括开环和闭环。压电选项开环或闭环的压电选项让这些位移台实现纳米级的分辨率。内置于位移台的压电驱动器具有30 μm的行程，可使用多种开环或闭环压电控制器控制。将这些位移台与NanoTrak控制器(K-Cube、台式或机架系统模块)耦合时，系统具有强大的自对准功能，能够维持光通量，并消除由于热漂移或其它外力引起的耦合效率损耗。这些压电位移台包含6根PAA100驱动电缆，在闭环系统的情况下，包含6根PAA622反馈变换器电缆。具有开环压电驱动器的位移台没有应变仪位移传感器，非常适合需要定位分辨率低至20 nm的应用。带闭环压电驱动器的版本内部有应变仪位移传感器，可提供与压电元件的位移呈线性比例的反馈电压信号。这种反馈信号将分辨率提高到5 nm，可用于补偿所有压电元件中固有的迟滞、蠕变和热漂移，使这些位移台成为需要纳米级分辨率应用的好的选择。请注意，压电机制利用与测微计驱动器的接触来移动顶部平台。不管出于任何原因，如果位移台在拆除测微计驱动器的情况下工作，必须在压电驱动器运行之前安装盲塞。配件的简易对准我们提供多种配件来安装产品，比如显微物镜、准直器、波导、光纤等更多产品。这些配件可以通过中心键槽在6轴位移台的顶部平台上轻的松实现对准。顶部平台的中心键槽便于快速重新配置系统，同时还能在整个实验中维持配件的对准。Thorlabs NanoMax? 6轴挠性位移台MAX603D，纳米定位产品特性与参数X轴、Y轴和Z轴行程为4 mm(0.16英寸)θx、θy、θz(摆动、俯仰和偏转)行程为6°(105 mrad)公共支点，实现所有旋转自由度，简化对准，减少串扰平行挠性设计，确保平滑连续的运动和长期的稳定性顶板带凹槽，确保多轴位移台配件的对准压电选项提供z高1 nm的分辨率高刚度挠性设计： X轴和Z轴：1 N/μm Y轴：0.5 N/μm共振频率高：130 Hz(±10%)一体式单移动平台设计所有调节器都耦合到底座，将串扰降到z低模块化设计，便于交换驱动器维护成本低，降低总持有成本不带驱动器带步进电机驱动器带差分驱动器

NanoMax&trade 6轴挠性位移台，纳米定位特性X轴、Y轴和Z轴行程为4 mm(0.16英寸)θx、θy、θz(摆动、俯仰和偏转)行程为6°(105 mrad)公共支点，实现所有旋转自由度，简化对准，减少串扰平行挠性设计，确保平滑连续的运动和长期的稳定性顶板带凹槽，确保多轴位移台配件的对准压电选项提供最高1 nm的分辨率高刚度挠性设计：X轴和Z轴：1 N/µ m Y轴：0.5 N/µ m共振频率高：130 Hz(±10%)一体式单移动平台设计所有调节器都耦合到底座，将串扰降到最低模块化设计，便于交换驱动器维护成本低，降低总持有成本Thorlabs的NanoMax&trade 6轴纳米定位挠性位移台非常适合光纤耦合系统，或需要亚微米分辨率的应用。每个装置在X轴、Y轴和Z轴的行程为4 mm(0.16英寸)，在θx、θy和θz的行程为6°(105 mrad)，最大负载能力为1 kg(2.2 lbs)。我们提供带或不带预配置压电驱动器、差分或步进电机驱动器的版本。位移台的标称载物台高度为112.5 mm(4.43英寸)，匹配高度为112.5 mm的5轴位移台套件。我们也提供转接板，用于将3轴和4轴挠性位移台的载物台高度从62.5 mm提升到112.5 mm，从而兼容我们的6轴位移台。平行的挠性设计确保精确平滑的连续运动，摩擦几乎可以忽略。对于复杂的多轴定位应用，平行挠性位移台将三个以上自由度集成在单个小型装置中，明显比按序堆叠位移台的设计具有更好的性能。更多信息，请看设计特性标签。 我们的6轴NanoMax位移台作为功能强大的纳米定位工具还有2个创新点：一是公共旋转支点，二是将所有调节器直接耦合到底座的专利设计，以尽量减少系统中不必要的运动。NanoMax 6轴位移台，带步进电机驱动器预配置DRV208步进电机驱动器，用于自动对准提供内部带闭环或开环的压电元件，或没有压电元件的版本选用的压电驱动器行程为30 µ m模块化设计便于拆卸和更换驱动器所有调节器都耦合到底座，将串扰降到最低Thorlabs带步进电机驱动器的NanoMax 6轴位移台在X轴、Y轴和Z轴的行程为4 mm(0.16英寸)，θx、θy和θz(摆动、俯仰和偏转)的行程为6°(105 mrad)。驱动器的双向重复性为5.0 µ m。霍尔效应限位开关提供高重复性，非常适用于电机归位。这一点对于依赖高重复性零点的自动对焦应用很关键。这些位移台重复性高，步进尺寸小，非常适合高精度自动光纤耦合系统或常规应用。附带驱动器的模块化设计便于随时更换；更多详情以及我们所有兼容的驱动器信息，请看驱动标签。每个位移台还包含六根PAA613 3 m延长电线，用于步进电机驱动器。除了以上特性，MAX682(/M)和MAX683(/M) NanoMax位移台分别整合了开环和闭环压电驱动器，行程为30 µ m。开环设计内部没有应变式传感器。压电驱动器X轴、Y轴和Z轴的理论分辨率为1.0 nm，θx、θy和θz旋转轴的理论分辨率为0.018 µ rad。使用闭环系统时会产生反馈回路，适用于补偿所有压电元件固有的滞后、蠕变和温度漂移。这些压电位移台还包含6根PAA100驱动电缆，在闭环系统的情况下，则为6根PAA622反馈变换器电缆。

P79系列Z向样品升降压电扫描台为一维Z轴微动平台，它的移动范围可达210μm，定位分辨率可达3nm。P79平台可对样品进行Z轴快速精密的聚焦调节，阶跃时间达毫秒量级。主要用于配套宏动XY轴运动扫描平台或压电马达平台使用，在宏动平台进行样品位置的粗调后，再通过P79压电扫描台进行样品位置的调整，定位精度达纳米量级。 两款规格型号、开环/闭环可选 P79系列Z向扫描台具有两种Z向行程范围可供选择，分别为110μm及210μm，可根据调整的运动范围进行选择。另外，P79系统可提供开环及闭环版本。开环版本定位速度更快，且分辨率高；对于有定位精度及稳定性需求的应用，可以选择配置SGS闭环传感器，装配在平台适合的位置，提供高分辨率、快速响应的传感电压信号给压电控制器。全桥设计避免了温度的漂移，确保了定位精度。 特性 • 一维Z向运动，行程210μm • 承载2kg • 通孔尺寸：128.5×86.5mm • 开环、闭环可选 • 闭环重复定位精度高

高精度显微镜载物台/显微镜平移台美国ASI公司高精度显微镜载物台普遍适用于市面上大部分的正置/倒置显微镜。可以供手动平台、电动平台、压电与步进电机混合运动平台、手动与压电集成平台。显微镜载物台平台每个轴都采用闭环反馈控制，可以提供更高的分辨率和可重复性。显微镜载物台的Z轴采用压电陶瓷平台，可提供纳米级的定位精度，行程从150μm-500μm可选。1）显微镜载物台适配倒置显微镜平台以下列表中的平台适用于市面绝大部分的显微镜平台，可兼容的显微镜型号如下：&bull Leica – DMI3000, DMI4000, DMI5000, DMI6000, DMIRB, DMIRBE, DMIRE, DMIRE2&bull Nikon – Diaphot Eclipse TE2000, Eclipse Ti&bull Olympus – BX50WI, BX51WI, BX61WI, IX70, IX71, IX81&bull Zeiss – Axiovert 200, Axio Observer产品图片描述行程MS-2000FT是一款提供XY方向精确定位的载物台。该平台经过特殊设计，利用十字滚珠滑块，高精度丝杠和零间隙微型齿轮直流伺服电机驱动可提供高分辨率和重复精度的平稳运动。并且该平台可与ASI的任何Z轴平台匹配使用提供X,Y,Z的精确定位。X轴 120mm Y轴75mm详细参数见数据单1MS-2000 XY平台是专用于显微镜平台的XY轴定位的平台，该平台采用闭环反馈直流伺服电机驱动，可提供高分辨率和和高重复精度的定位，并可以与任何ASI的Z轴平台组成三维定位系统X轴 120mm Y轴110mm详细参数见数据单2MS-2500XY是一款大行程、超薄的 XY定位平台，X轴运动行程可达250mm，X轴和Y轴采用闭环直流伺服电机驱动，并带有手动操纵杆进行大范围移动，并可以ASI的Z轴产品配合使用。控制灵活可以通过USB和RS-232串口控制该平台，并提供软件包X-Y轴 250mmx75mm详细参数见数据单3 PZM-2000 是一款在Z轴提供精确定位的平台。可以直接配合显微镜上原始的OEM手动平台使用，可提供100-500μm不同的行程。载物台的顶板可以接受适用于任何样品的标准K尺寸载玻片插件，即载玻片，皮氏培养皿，多孔板等。Z：150μm 300μm 500μm详细参数见数据单4PZ-2000 XYZ是一款提供X,Y,Z三维定位的平台，其中X,Y方向采用闭环反馈的直流伺服电机驱动，Z轴采用压电平台提供纳米级别分辨率，行程150μm；300μm；500μm可选。X-Y轴120mmx110mmZ：150；300；500μm详细参数见数据单5PZ-2000FT是一款平顶三维定位平移台，三个维度都采用闭环反馈，可实现高分辨率和和重复定位精度。Z轴采用压电平移台，可实现纳米分辨率定位，载物台的顶板可以接受适用于任何样品的标准K尺寸载玻片插件，即载玻片，皮氏培养皿，多孔板等X-Y轴120mmx110mmZ：150；300；500μm详细参数见数据单6US-2000是一款经过特殊设计的可实现高稳定、高分辨率及可重复性，应用于超分辨显微镜。该平台可适配ASI任何Z轴定位的平台。如果对定位精度要求较高，平台和可匹配压电平台用于Z轴聚焦。X-Y轴 50x50mm 至120mmx75mmZ轴 150；300；500μm详细参数见数据单72）显微镜载物台适配正置显微镜平台以下平台包含不同维度的平台，及压电与步进电机结合的平台，并匹配市面上的立式显微镜，主要型号如下：&bull Leica – Aristoplan, DM4000, DM4500, DM5000, DM6000, DMLB, DMRB, DMRP, DMRXP&bull Nikon – Eclipse 80i, Eclipse 90i, Eclipse 800, Eclipse 1000&bull Olympus – AX70, BX41, BX50, BX51, BX60, BX61&bull Zeiss – AxioImager, Axiolab, Axioplan, Axioplan II, Axiophot I, Axiophot II, Axioskop, Axioskop II, Axioskop FS II产品图片描述行程FPT-2000聚焦平台是一款经过特殊设计是用来提供高分辨率和重复精度的X,Y,Z三个维度的定位， 该平台采用闭环反馈避免由改变方向和多次步进造成的空回和丢步。X-Y轴120mmx75mmZ轴12mm or 25mm详细参数见数据单8MS-2000是一款质量较轻的平台。经过专项设计，在保证平台精度的前提下质量只有常规平台的3/4，可更快达到热平衡。通过高精度旋转编码器闭环反馈。 可通过操作杆或者通过USB或RS-232串口通过控制器控制平台移动。此外该平台可适配ASI任何Z轴平台，组成三维定位系统。X-Y轴100mm x 100mm详细参数见数据单9MS-2000S小型位移平台可提供X和Y两个方向的精确定位，分别可提供100x100mm的行程，但平台尺寸仅为20x23x162.5px，采用闭环反馈设计，分辨率可达到亚微米。 X-Y轴100mm x 100mm详细参数见数据单10MS-4400是专门为大型立式显微镜设计的一款三维精密定位位移平台。可适用于Leica DMR-series, the Nikon Eclipse 80i, the Olympus BX series, and the Zeiss Axioplan, Axioskop 2, and Axio Imager等显微镜。该平台采用闭环设计，配备手动操纵杆，可轻松操纵平台移动。并可匹配ASI推出的所有Z轴平台。X-Y轴100mm x 100mmZ轴12mm or 25mm详细参数见数据单11MS-9500是一款225mmx125mm大行程的位移平台，可一次扫描八个25x75mm的载玻片，同时可提供较高的分辨率和可重复精度。X-Y轴225mm x 125mm详细参数见数据单12 PZMU-2000是精确的Z轴压电定位平台，AU-PZMU-2000包括ASI经过验证的压电Z顶板，该顶板安装在独立的外壳中。 该系统可以安装在任何水平表面上，或直接安装在立式显微镜的手动XY平台上。AU-PZMU-2000接受适用于任何样品的标准K尺寸载玻片，例如载玻片，皮氏培养皿，多孔板等Z轴150μm，300μm，500μm详细参数见数据单13PZU-2000是一款步进电机与压电平台结合的精密定位系统，其中XY轴采用闭环反馈伺服电机精确控制，Z轴为压电平台，可提供纳米级的分辨率，已经不同行程可选。X-Y轴120mm x 110mmZ轴150μm，300μm，500μm详细参数见数据单143）显微镜载物台Z轴压电平移台产品图片描述行程IPZ-3000FT系列平台是压电定位平台，提供Z方向精确定位，适用于大多数具有标准的K-尺寸（110x160mm）开口的显微镜载物台。IPZ-3000FT可用于安装多种样品架，用于固定小碗、载玻片、小腔体等。Z轴150μm，300μm，500μm详细参数见数据单15Z-INSERT的优点在于可以适用于任何标准K型框架的大多数的电动载物台，该平台提供了一个127.5x85mm的通光孔，可以接受任何具有SBS标准尺寸的微孔板。该平台与以下类型平台兼容：ASI – MS-2000 Flat Top XY/XYZ motorized stage (a special version is needed for non-flat top stage)Marzhauzer – Scanning Stage SCAN IM 120×80Prior – K type FrameLudl – BioPrecison2Zeiss – K type FrameNikon – Ti XY motorized stage (requires the Nikon Adapter plate, in order to reduce the aperture)Olympus – IX3-SSU (requires the Olympus adapter plate, in order to reduce the aperture)Leica – Regular 3-plate stageZ轴100μm；200μm；300μm；500μm详细参数见数据单16Z-INSERT K-TYPE是Z-INSERT的精简版本，平台的长和宽与K型样品架（160x110mm）完全相同，平台拥有83.6x54mm的开口，可以与大多数拥有K型框架的倒置、正置显微镜兼容。Z轴100μm；200μm；300μm详细参数见数据单17Z-INSERT-INC是Z-INSERT的特殊版本，带有嵌入式的环境腔，为满足长时间的活细胞成像提供适宜的环境，CO2输入可以连接各种调节器（例如Okolab, Tokai Hit, Pecon），并可以灵活拆卸腔体盖。Z-INSERT-INC位移台具有Z-INSERT的所有优点，这意味着它可以直接安装在第三方制造商提供的大多数电动位移台上Z轴100μm；200μm；300μm；500μm详细参数见数据单18Z-INSERT NIKON 是Z-INSERT的特殊版本，它可以直接用在NIKON Ti XY电动平台上，它提供标准的K型开口（160x110mm），并与我们提供的K型样品架相匹配。Z轴100μm；200μm；300μm；500μm详细参数见数据单194）显微镜载物台物镜扫描台产品图片描述行程F-POM是一款压电驱动的物镜扫描台，可提供500μm行程。Z轴150μm；300μm；500μm详细参数见数据单20FOCHS.100 是一款专用于显微镜物镜高速定位的压电平台，其采用管状设计，可提供100微米行程，被广泛用于Z轴聚焦、激光加工和自动聚焦等。平台安装环可以简单更换，可适配：RMS、M25, M26, M27 和 M32 的物镜Z轴100μm详细参数见数据单21FOC是专用于显微镜精密定位的平台，可提供100,200,300μm不同行程，采用硅闭环反馈，可提供皮米量级分辨率。其安装环易更换可匹配不同类型物镜，Z轴100μm；200μm；300μm详细参数见数据单225）显微镜载物台大型位移平台除了标准的用于生物学的位移平台外，ASI公司也推出来一些特殊领域使用的大型位移平台，和龙门自动平台，例如：用于工业检测的大型显微镜Nikon L200 / 300系列或Olympus MX51 / 61系列产品图片描述行程M系列是大行程二维位移平台，满足半导体检测及其它需要大型程平台的应用。该平台可提供150mm；200mm；250mm；300mm不同的行程。X-Y轴150mmx150mm；200mmx200mm；250mmx250mm；300mmx300mm详细参数见数据单23GTS系列龙门位移平台提供三维闭环平台，可提供不同行程，标准品XY方向可提供380mm，Z轴可提供100mm，并可以根据应用选择不同行程的平台。X-Y轴380 mm x 380 mmZ轴100mm详细参数见数据单24MS-8000是与大型工业检查显微镜配合使用的。例如Nikon L200 / 300系列或Olympus MX51 / 61系列。平台中空设计允许底光照明，平台可提供玻璃盖板或者其它材质载物台，包含用于检测的镜片真空吸盘。详细参数见数据单256）显微镜载物台精密旋转平台PRS-1000是一款可提供连续旋转的平台，超薄的设计可以使该平台集成到MS-2000系列XY平台上，组成多维运动平台。标准版本具有直径为95mm的通孔，可以使用任何ASI的C大小的插件。该平台也可用于真空应用。详细参数见数据单267）显微镜载物台手动平台MIC-2500是一款为匹配压电扫描平台而设计的手动平台，该平台配置千分尺手动旋钮，可提供25mm的行程，并可安装XYZ三轴压电平移台。详细参数见数据单278）显微镜载物台手动压电混合定位平台（压电平台型号选择与配置请联系工程师）压电平台可以与配套的手动位移平台使用，也可以提供完全的混合集成定位平台用于倒置光学显微镜（蔡司，奥林巴斯，尼康，徕卡），混合定位系统，由手动位移平台和压电平台组成，其中手动位移平台通常适配市面上大部分的光学显微镜，可提供X，Y两个维度的移动，行程可达到25mm，可进行位移粗调，压电平台进行亚纳米分辨率的精确定位与扫描。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学 、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息，或直接来电咨询4006-888-532。

德国PI六轴六足纳米位移台 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91六轴六足位移台六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小，用于全天候应用的重型精密轴承。绝对编码器绝对编码器提供明确的位置信息，帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位，提高了操作过程中的效率和安全性。六轴六足位移台无刷直流电机(BLDC)无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触，可无磨损地平稳运行，因此能够实现较长的使用寿命。六轴六足位移台应用领域科研和工业. 用于天文学、光学定位、航空航天。 科研和工业. 用于天文学、光学定位、航空航天。

显微镜载物台（电动/压电）姓名：李工(William)电话：（微信同号）邮箱：昊量光电设备有限公司推出的平台专业设计普遍适用于市面上大部分的正置/倒置显微镜。可以供手动平台、电动平台、压电与步进电机混合运动平台、手动与压电集成平台。平台每个轴都采用闭环反馈控制，可以提供更高的分辨率和可重复性。Z轴采用压电陶瓷平台，可提供纳米级的定位精度，行程从150μm-500μm可选。昊量光电设备有限公司可适用于显微镜的平台主要有以下几种产品。1）倒置显微镜平台以下列表中的平台适用于市面绝大部分的显微镜平台，可兼容的显微镜型号如下：Leica – DMI3000, DMI4000, DMI5000, DMI6000, DMIRB, DMIRBE, DMIRE, DMIRE2Nikon – Diaphot Eclipse TE2000, Eclipse TiOlympus – BX50WI, BX51WI, BX61WI, IX70, IX71, IX81Zeiss – Axiovert 200, Axio Observer产品图片描述行程AU-MS-2000FT是一款提供XY方向精确定位的载物台。该平台经过特殊设计，利用十字滚珠滑块，高精度丝杠和零间隙微型齿轮直流伺服电机驱动可提供高分辨率和重复精度的平稳运动。并且该平台可与ASI的任何Z轴平台匹配使用提供X,Y,Z的精确定位。X轴 120mm Y轴75mm详细参数见数据单1AU-MS-2000 XY平台是专用于显微镜平台的XY轴定位的平台，该平台采用闭环反馈直流伺服电机驱动，可提供高分辨率和和高重复精度的定位，并可以与任何ASI的Z轴平台组成三维定位系统X轴 120mm Y轴110mm详细参数见数据单2AU-MS-2500XY是一款大行程、超薄的 XY定位平台，X轴运动行程可达250mm，X轴和Y轴采用闭环直流伺服电机驱动，并带有手动操纵杆进行大范围移动，并可以ASI的Z轴产品配合使用。控制灵活可以通过USB和RS-232串口控制该平台，并提供软件包X-Y轴 250mmx75mm详细参数见数据单3 AU-PZM-2000 是一款在Z轴提供精确定位的平台。可以直接配合显微镜上原始的OEM手动平台使用，可提供100-500μm不同的行程。载物台的顶板可以接受适用于任何样品的标准K尺寸载玻片插件，即载玻片，皮氏培养皿，多孔板等。Z：150μm 300μm 500μm详细参数见数据单4AU-PZ-2000 XYZ是一款提供X,Y,Z三维定位的平台，其中X,Y方向采用闭环反馈的直流伺服电机驱动，Z轴采用压电平台提供纳米级别分辨率，行程150μm；300μm；500μm可选。X-Y轴120mmx110mmZ：150；300；500μm详细参数见数据单5AU-PZ-2000FT是一款平顶三维定位平移台，三个维度都采用闭环反馈，可实现高分辨率和和重复定位精度。Z轴采用压电平移台，可实现纳米分辨率定位，载物台的顶板可以接受适用于任何样品的标准K尺寸载玻片插件，即载玻片，皮氏培养皿，多孔板等X-Y轴120mmx110mmZ：150；300；500μm详细参数见数据单6AU-US-2000是一款经过特殊设计的可实现高稳定、高分辨率及可重复性，应用于超分辨显微镜。该平台可适配ASI任何Z轴定位的平台。如果对定位精度要求较高，平台和可匹配压电平台用于Z轴聚焦。X-Y轴 50x50mm 至120mmx75mmZ轴 150；300；500μm详细参数见数据单72）正置显微镜平台以下平台包含不同维度的平台，及压电与步进电机结合的平台，并匹配市面上的立式显微镜，主要型号如下：Leica – Aristoplan, DM4000, DM4500, DM5000, DM6000, DMLB, DMRB, DMRP, DMRXPNikon – Eclipse 80i, Eclipse 90i, Eclipse 800, Eclipse 1000Olympus – AX70, BX41, BX50, BX51, BX60, BX61Zeiss – AxioImager, Axiolab, Axioplan, Axioplan II, Axiophot I, Axiophot II, Axioskop, Axioskop II, Axioskop FS II产品图片描述行程AU-FPT-2000聚焦平台是一款经过特殊设计是用来提供高分辨率和重复精度的X,Y,Z三个维度的定位， 该平台采用闭环反馈避免由改变方向和多次步进造成的空回和丢步。X-Y轴120mmx75mmZ轴12mm or 25mm详细参数见数据单8AU-MS-2000是一款质量较轻的平台。经过专项设计，在保证平台精度的前提下质量只有常规平台的3/4，可更快达到热平衡。通过高精度旋转编码器闭环反馈。 可通过操作杆或者通过USB或RS-232串口通过控制器控制平台移动。此外该平台可适配ASI任何Z轴平台，组成三维定位系统。X-Y轴100mm x 100mm详细参数见数据单9MS-2000S小型位移平台可提供X和Y两个方向的精确定位，分别可提供100x100mm的行程，但平台尺寸仅为20x23x162.5px，采用闭环反馈设计，分辨率可达到亚微米。 X-Y轴100mm x 100mm详细参数见数据单10AU-MS-4400是专门为大型立式显微镜设计的一款三维精密定位位移平台。可适用于Leica DMR-series, the Nikon Eclipse 80i, the Olympus BX series, and the Zeiss Axioplan, Axioskop 2, and Axio Imager等显微镜。该平台采用闭环设计，配备手动操纵杆，可轻松操纵平台移动。并可匹配ASI推出的所有Z轴平台。X-Y轴100mm x 100mmZ轴12mm or 25mm详细参数见数据单11AU-MS-9500是一款225mmx125mm大行程的位移平台，可一次扫描八个25x75mm的载玻片，同时可提供较高的分辨率和可重复精度。X-Y轴225mm x 125mm详细参数见数据单12 AU-PZMU-2000是精确的Z轴压电定位平台，AU-PZMU-2000包括ASI经过验证的压电Z顶板，该顶板安装在独立的外壳中。 该系统可以安装在任何水平表面上，或直接安装在立式显微镜的手动XY平台上。AU-PZMU-2000接受适用于任何样品的标准K尺寸载玻片，例如载玻片，皮氏培养皿，多孔板等Z轴150μm，300μm，500μm详细参数见数据单13AU-PZU-2000是一款步进电机与压电平台结合的精密定位系统，其中XY轴采用闭环反馈伺服电机精确控制，Z轴为压电平台，可提供纳米级的分辨率，已经不同行程可选。X-Y轴120mm x 110mmZ轴150μm，300μm，500μm详细参数见数据单143）Z轴压电平移台产品图片描述行程IPZ-3000FT系列平台是压电定位平台，提供Z方向精确定位，适用于大多数具有标准的K-尺寸（110x160mm）开口的显微镜载物台。IPZ-3000FT可用于安装多种样品架，用于固定小碗、载玻片、小腔体等。Z轴150μm，300μm，500μm详细参数见数据单15Z-INSERT的优点在于可以适用于任何标准K型框架的大多数的电动载物台，该平台提供了一个127.5x85mm的通光孔，可以接受任何具有SBS标准尺寸的微孔板。该平台与以下类型平台兼容：ASI – MS-2000 Flat Top XY/XYZ motorized stage (a special version is needed for non-flat top stage)Marzhauzer – Scanning Stage SCAN IM 120×80Prior – K type FrameLudl – BioPrecison2Zeiss – K type FrameNikon – Ti XY motorized stage (requires the Nikon Adapter plate, in order to reduce the aperture)Olympus – IX3-SSU (requires the Olympus adapter plate, in order to reduce the aperture)Leica – Regular 3-plate stageZ轴100μm；200μm；300μm；500μm详细参数见数据单16Z-INSERT K-TYPE是Z-INSERT的精简版本，平台的长和宽与K型样品架（160x110mm）完全相同，平台拥有83.6x54mm的开口，可以与大多数拥有K型框架的倒置、正置显微镜兼容。Z轴100μm；200μm；300μm详细参数见数据单17Z-INSERT-INC是Z-INSERT的特殊版本，带有嵌入式的环境腔，为满足长时间的活细胞成像提供适宜的环境，CO2输入可以连接各种调节器（例如Okolab, Tokai Hit, Pecon），并可以灵活拆卸腔体盖。Z-INSERT-INC位移台具有Z-INSERT的所有优点，这意味着它可以直接安装在第三方制造商提供的大多数电动位移台上Z轴100μm；200μm；300μm；500μm详细参数见数据单18Z-INSERT NIKON 是Z-INSERT的特殊版本，它可以直接用在NIKON Ti XY电动平台上，它提供标准的K型开口（160x110mm），并与我们提供的K型样品架相匹配。Z轴100μm；200μm；300μm；500μm详细参数见数据单194）物镜扫描台产品图片描述行程F-POM是一款压电驱动的物镜扫描台，可提供500μm行程。Z轴150μm；300μm；500μm详细参数见数据单20FOCHS.100 是一款专用于显微镜物镜高速定位的压电平台，其采用管状设计，可提供100微米行程，被广泛用于Z轴聚焦、激光加工和自动聚焦等。平台安装环可以简单更换，可适配：RMS、M25, M26, M27 和 M32 的物镜Z轴100μm详细参数见数据单21FOC是专用于显微镜精密定位的平台，可提供100,200,300μm不同行程，采用硅闭环反馈，可提供皮米量级分辨率。其安装环易更换可匹配不同类型物镜，Z轴100μm；200μm；300μm详细参数见数据单225）大型位移平台除了标准的用于生物学的位移平台外，ASI公司也推出来一些特殊领域使用的大型位移平台，和龙门自动平台，例如：用于工业检测的大型显微镜Nikon L200 / 300系列或Olympus MX51 / 61系列产品图片描述行程AU-M系列是大行程二维位移平台，满足半导体检测及其它需要大型程平台的应用。该平台可提供150mm；200mm；250mm；300mm不同的行程。X-Y轴150mmx150mm；200mmx200mm；250mmx250mm；300mmx300mm详细参数见数据单23GTS系列龙门位移平台提供三维闭环平台，可提供不同行程，标准品XY方向可提供380mm，Z轴可提供100mm，并可以根据应用选择不同行程的平台。X-Y轴380 mm x 380 mmZ轴100mm详细参数见数据单24MS-8000是与大型工业检查显微镜配合使用的。例如Nikon L200 / 300系列或Olympus MX51 / 61系列。平台中空设计允许底光照明，平台可提供玻璃盖板或者其它材质载物台，包含用于检测的镜片真空吸盘。详细参数见数据单256）精密旋转平台PRS-1000是一款可提供连续旋转的平台，超薄的设计可以使该平台集成到MS-2000系列XY平台上，组成多维运动平台。标准版本具有直径为95mm的通孔，可以使用任何ASI的C大小的插件。该平台也可用于真空应用。详细参数见数据单267）手动平台MIC-2500是一款为匹配压电扫描平台而设计的手动平台，该平台配置千分尺手动旋钮，可提供25mm的行程，并可安装XYZ三轴压电平移台。详细参数见数据单278）手动压电混合定位平台（压电平台型号选择与配置请联系工程师）压电平台可以与配套的手动位移平台使用，也可以提供完全的混合集成定位平台用于倒置光学显微镜（蔡司，奥林巴斯，尼康，徕卡），混合定位系统，由手动位移平台和压电平台组成，其中手动位移平台通常适配市面上大部分的光学显微镜，可提供X，Y两个维度的移动，行程可达到25mm，可进行位移粗调，压电平台进行亚纳米分辨率的精确定位与扫描。

LS-1730产品描述 LS-1730的尺寸为30 x 17 x 8.5mm，行程范围为21mm。概观运动行程[mm]21尺寸[mm]30 x 17 x 8.5重量[g]21力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1740产品描述 LS-1740的尺寸为40 x 17 x 8.5mm，行程范围为26mm。概观运动行程[mm]26尺寸[mm]40 x 17 x 8.5重量[g]26力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1720产品描述 LS-1720的尺寸为20 x 17 x 8.5mm，行程范围为12mm。概观运动行程[mm]12尺寸[mm]20 x 17 x 8.5重量[g]13力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

单模光纤耦合器OMGH05A产品特点： 材质：6061T4铝合金 产品介绍：OMTOOLS单模光纤耦合器OMGH05A能够实现激光束到裸露单模光纤的有效单模耦合。它提供了高单模耦合效率所必需的亚微米定位分辨率。将聚焦激光束定位到光纤端面上所需的精细平移和聚焦，由固定光纤卡盘的三轴定位器提供-用于平滑XY调节的M5X0.25调节螺钉以及带有用于Z轴轴向运动的带有M16X0.75 螺纹的滚花旋钮。对耦合到单模光纤进行优化所需的亚微米分辨率，由使用M5X0.25调节螺钉来旋转透镜/光纤支架组件的动态倾斜位移台提供。与定位器跳动可能会超出光纤未对准公差范围的传统耦合器不同，微调的倾斜调整仅仅会引入光束的二阶平移。耦合器的光轴高度固定在标称的76mm，并且它们在基座上有螺纹孔和通孔，可方便地安装在OMTOOLS平台和面包板上。 型号位移轴行程范围光轴高度调节螺纹OMGH05AXYZθxθyX±1.6，Y±1.6，Z±3.676M5x0.25M16X0.75 单模光纤耦合器OMGH06A产品特点：材质：6061T4铝合金 产品介绍：OMTOOLS单模光纤耦合器OMGH06A能够实现激光束到裸露保偏光纤的有效单模耦合。与OMGH05A相比，这款耦合器增加了一个用于定向保偏光纤的旋转卡盘安装座。它提供了高单模耦合效率所必需的亚微米定位分辨率。将聚焦激光束定位到光纤端面上所需的精细平移和聚焦，由固定光纤卡盘的三轴定位器提供-用于平滑XY调节的M5X0.25调节螺钉以及带有用于Z轴轴向运动的带有M16X0.75 螺纹的滚花旋钮。对耦合到单模光纤进行优化所需的亚微米分辨率，由使用M5X0.25调节螺钉来旋转透镜/光纤支架组件的动态倾斜位移台提供。与定位器跳动可能会超出光纤未对准公差范围的传统耦合器不同，微调的倾斜调整仅仅会引入光束的二阶平移。耦合器的光轴高度固定在标称的76mm，并且它们在基座上有螺纹孔和通孔，可方便地安装在OMTOOLS平台和面包板上。 型号位移轴行程范围光轴高度调节螺纹OMGH06AXYZθxθyθzX±1.6，Y±1.6，Z±3.676M5x0.25M16X0.75

长行程压电纳米位移台基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术，具有纳米级重复定位精度，可实现数百mm的运动行程。该促动器结构紧凑，具有较高的保持力与长期的稳定性，能够实现跨尺度的纳米定位和复杂的轨迹运动。支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。 技术特点：超长行程：36mm高分辨率：传感器分辨率为1.2nm超高精度：重复定位精度小于5nm运动速度：可达10mm/s高稳定性：保持力可达8N超高真空兼容性；运动模式：支持开环与闭环轻量化、结构紧凑，高可靠性模块化设计，摩擦单元可替换应用领域：扫描电镜（SEM）样品操纵主动光学超分辨成像样品移动大范围电子束直写（EBL）微纳装备及制造集成电路制造与检测高真空样品精度对准及调姿纳米聚焦与扫描显微及纳米CT

单轴长行程压电纳米位移台基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术，具有纳米级重复定位精度，可实现数百mm的运动行程。该促动器结构紧凑，具有较高的保持力与长期的稳定性，能够实现跨尺度的纳米定位和复杂的轨迹运动。支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。技术特点：长行程：16mm高分辨率：传感器分辨率为1.2nm超高精度：最小步长2nm运动速度：可达10mm/s高稳定性：保持力可达8N超高真空兼容性；运动模式：支持开环与闭环轻量化、结构紧凑，高可靠性模块化设计，摩擦单元可替换应用领域：扫描电镜（SEM）样品操纵主动光学超分辨成像样品移动大范围电子束直写（EBL）微纳装备及制造集成电路制造与检测高真空样品精度对准及调姿纳米聚焦与扫描显微及纳米CT

具有自主知识产权的真空预载气浮支承技术，能获得稳定的气膜间隙 高承载和刚度，负载能力80kg 先进的制造装调工艺，轴跳和端跳均优于0.05um，机械性能突出 多读数头误差反馈补偿技术，获得稳定的0.1”分度精度；采用压电马达驱动，实现纳米级控制，驱动分辨率0.001”，能实现任意角度分度；高可靠性驱动控制系统，稳定运行的保证 各项参数可根据用户需求定制。ZT320型高精度转台实物使用全组合法测试转台角定位精度角定位精度测试数据，优于0.1角秒参数值台面直径320mm承载能力80kg最大转速3rpm回转精度50nm控制分辨率0.001角秒有效行程360度定位精度0.1角秒

中图仪器CP系列微米到纳米尺度表面形貌接触式台阶测量仪用于测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数，是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。CP系列微米到纳米尺度表面形貌接触式台阶测量仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。工作原理测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能CP系列微米到纳米尺度表面形貌接触式台阶测量仪配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；2.超微力恒力传感器1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。在太阳能光伏行业的应用台阶仪通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。针对测量ITO导电薄膜的应用场景，CP200台阶仪提供如下便捷功能：1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；部分技术参数型号CP200测量技术探针式表面轮廓测量技术探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)样品R-θ载物台电动，360°连续旋转单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

“55mm 系列”— Linear55-x-Slim (闭环控制)低温 压电运动- 线性位移系列纳米级压电位移台Linear55-x-Slim主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 55*55*10.5 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 2500 g & 3 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 30 mm&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 0.1 um纳米级压电位移台Linear55-x-Slim⼆ 维尺⼨ Linear55-x-Slim, SpeciÞ cation*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。 可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 55.× 55 mm × 10.5 mm2 质量130 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 -2 pins，传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程30 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载2500 g14 最⼤ 推⼒ 3 N传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程30 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um

LS-1780产品描述 LS-1780的尺寸为80 x 17 x 8.5mm，行程范围为51mm。概观运动行程[mm]51尺寸[mm]80 x 17 x 8.5重量[g]51力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1760产品描述 LS-1760的尺寸为60 x 17 x 8.5mm，行程范围为41mm。概观运动行程[mm]41尺寸[mm]60 x 17 x 8.5重量[g]41力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

Lxxx.indus 系列压电线性运动位移台极简工业风的运动模块多自由度纳米级运动也可以搭积木&bull 超安静运动，20 kHz驱动频率；&bull 极紧凑外形设计；&bull 内置集成光学位置传感器；&bull 30, 60, 100, 150 & 200 mm多行程可选；&bull 高负载，支持多种拼接案例；&bull 闭环控制 空间传感分辨率 2 nm；&bull 最小步伐优于 10 nm；&bull 可提供多轴堆叠安装转接件；&bull 支持无磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件；&bull 控制器和Lab系列线性台，旋转台和摇摆台通用L030.indus尺寸：63 mm x 24 mm x 14 mm行程：30 mmL060.indus尺寸：105 mm x 24 mm x 16 mm行程：60 mmL100.indus尺寸：180 mm x 24 mm x 17 mm行程：100 mmL150.indus尺寸：300 mm x 36 mm x 16.5 mm行程：150 mmL200.indus尺寸：295 mm x 80 mm x 20 mm行程：200 mm压电陶瓷位移台线性运动，兼容无磁高真空——详细参数：压电陶瓷位移台线性运动，兼容无磁高真空——尺寸图：L030.indusL060.indusL100.indusL150.indusL200.indus

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1780产品描述 LS-1780的尺寸为80 x 17 x 10mm，行程范围为51mm。概观运动行程[mm]51尺寸[mm]80 x 17 x 10重量[g]51力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

MacroBlock三轴挠性平台 Related Products 特性挠性设计确保了连续平稳的移动紧凑型设计：桌面到移动载物台的高度：62.5毫米桌面到配件光轴的距离：75毫米无滑动配件避免摩擦挠性设计避免了油脂的使用，并且增强了长期稳定性MicroBlock&trade 三轴移动平台提供的连续平稳移动使得该装置几乎适用于所有的微定位应用。新颖的挠性设计可以产生三个互相垂直的线性移动自由度，从而避免了传统轴承传递平台的静摩擦和摩擦造成的严重的限制。润滑剂是定位装置偏移的主要来源之一，套嵌式挠性平台允许该平台在不需要任何润滑剂的情况下无限制的使用。延伸到平台顶部安装面的中间的键槽允许系统在保证准直的前提下快速重装。Thorlabs还为该MicroBlock系统提供了很多配件。MBT616平台具有紧凑的差动调节器，在300微米的微调范围内提供了50纳米的精度（理论值）。 MBT602平台是经济型的三轴挠性平台，包括一个节距为0.5毫米的翼形螺钉调节器。带固定差分调节器的3轴NanoMax平台 Related Products 特性每轴的行程为4毫米挠性设计，确保无摩擦的平滑连续运动紧凑型设计：157.4毫米x160.4毫米x62.5毫米（6.2英寸x6.31英寸x2.46英寸），包含驱动器在内增强的长期稳定性所有调节器都固定在底板上，消除串扰包含压电电缆和反馈电缆NanoMax平行挠性平台当MAX300系列平行挠性平台应用于亚微米精度的对准应用时，其优势是显而易见的。使用传统的多轴层叠式平台时，接触两个驱动器中任何一个不以底座为参考的驱动器都会在装置内产生不必要的运动。相反，把NanalMax系列平台的每个驱动器都直接耦合到平台底座上，将会消除这些不利影响。 Common SpecificationsTravel4.0 mmLoad Capacity (Max)2.2 lbs (1 kg)Coarse Adjustment Range0.5 mm/revFine Adjustment50 µ m/rev (300 µ m Range)Piezo Specifications (MAX314 and MAX315 Only)Piezo Voltage Range0 - 75 VPiezo Range20 µ mPiezo Resolution (Theoretical)20 nm (5 nm with Strain Gauge)Piezo Bidirectional Repeatability200 nm Open Loop,5 nm Closed LoopPiezo Absolute On-Axis Accuracy1.0 µ m精密差分驱动器差分驱动器提供4毫米的粗调行程和300微米的细调行程，其分辨率为每转50微米。在精密行程调整器上的刻度为要求绝对定位的应用提供了一个清晰的参考点。配件的简易对准顶部平台的中心键槽能在保持配件对准的前提下实现快速的系统重新配置。多种配件可供选择，用于安装显微物镜，准直镜，波导和光纤等。如果需要安装偏离中心的元件，可将带槽顶板替换为带有1/4英寸-20（M6）和#8-32（M4）阵列安装孔的RB13P1转接板（参见本页面上方的图）。另外，还提供多种转接板，可将NanoMax系列平台安装到一系列Thorlabs旋转平台和大行程线性平台上。总之，这些特性使得MAX300挠性平台成为需要高稳定性和高重复性的对准应用的坚实工作平台。3轴NanoMax平台，带差分驱动和闭环压电驱动器Zoom 闭环压电驱动器 20微米压电驱动行程 5纳米细调分辨率MAX341采用直接嵌入在平台主体内部的闭环压电驱动器，能提供20微米的行程和5纳米的定位分辨率（闭环控制）。它有三个应变计位置传感器，将提供与压电元件的位置成线性关系的反馈电压信号。该信号可以用来补偿迟滞、蠕变和压电元件本身存在的热漂移。如果用闭环控制器（比如BPC203，MPZ601，或者TPZ001和TSG001结合）驱动，压电驱动器就能以闭环模式控制，可以把定位精度从20纳米提高到5纳米。此外，迟滞、蠕变和压电器相关的漂移能通过闭环控制来监测和补偿。此外，当平台与NanoTrak控制器（BNT001 ，MNA601，或者TNA001）耦合使用时，系统变为一个功能强大的自动对准装置，它既能保正光通量，又能消除热漂移和其它外部压力引起的耦合效率的降低。3轴NanoMax平台，差分驱动，压电驱动器Zoom 开环压电驱动器 20微米压电驱动行程 20纳米细调分辨率MAX315采用开环压电驱动器（该驱动器直接集成在平台主体内），提供20微米的行程和20纳米的定位分辨率。兼容的控制器有MDT693A，BPC203，MPZ601，和TPZ001。此外，当平台与NanoTrack控制器（BNT001，MNA601，或TNA001）结合使用时，系统变为一个功能强大的自动对准装置，既能保正光通量，又能消除热漂移和其它外在压力引起的耦合效率的降低。带螺纹孔的顶板Zoom这种顶板可替代标准的带槽顶板。它有许多13个1/4英寸-20（M6）和12个8-32（M4）的安装孔阵列，能将通用的配件和组件转接到平台上。带步进电机的三轴NanoMax平台 Related Products 特性每轴的行程为4毫米挠性设计，确保无摩擦的平滑连续运动紧凑型设计增强的长期稳定性所有调节器都连接到一个共同的底面和侧面内附压电和反馈电缆NanoMax平行挠性平台拥有专利的MAX300系列平行挠性设计的优势是显而易见的，特别是在要求亚微米或更高分辨率的对准应用中。通常，在多轴层叠式平台中，接触两个驱动器中任何一个不以底座为参考的驱动器都会在装置内产生不必要的运动。把每个NanalMax系列平台驱动器直接耦合到平台底座上，将会消除这些不利影响。Item #MAX300 SeriesTravel4.0 mmStepper Motor TypeDRV001Backlash7 µ mMax Acceleration4 mm/sec2Max Velocity2.5 mm/secMin Achievable Incremental Movement60 nmBidirectional Repeatability500 nmAbsolute On-Axis Accuracy1.0 µ mHome Location Accuracy± 1.5 µ m步进电机驱动器与MAX341和343平台一起出售的DRV001控制器具有60纳米的步长和高达4毫米/秒的速度，同时还提供500纳米的双向重复性。带陶瓷头高精度限位开关为电机复位提供了高重复性。这对依赖于高重复的零点定位的自动对准应用非常重要。闭环内置压电驱动器MAX341和MAX342采用直接嵌入在平台主体内部的压电驱动器，提供20微米的行程和20纳米的定位分辨率。MAX341还有三个应变计位移传感器，提供与压电元件的位移成正比的电压信号。这个信号用于补偿迟滞，蠕变，和所有压电元件固有的热漂移。如果用闭环控制器（如BPC203，MPZ601，或TPZ001和TSG001 组合）驱动，压电驱动器能用反馈模式控制，将定位精度从20纳米提高到5纳米。此外，还能通过闭环控制监测和补偿迟滞，蠕变和压电陶瓷相关的热漂移。把附加的压电扩展器和DRV001步进电机驱动器组成一个系列的模块设计，能增加压电陶瓷的移动量。此外，当平台与BNT001，MNA601或者TNA001NanoTrak控制器结合使用时，这个系统将成为一个强大的自动准直器，既能保证光通量，又能消除温度漂移或其它外在压力引起的耦合效率降低。配件的简易对准顶部平台的中心键槽能在保持配件对准的前提下实现快速的系统重新配置。多种配件可供选择，用于安装显微物镜，准直包，波导和光纤等。如果需要安装偏离中心的元件，可将带槽顶板替换为带有1/4英寸-20（M6）和#8-32（M4）阵列安装孔的RB13P1转接板（参见本页面上方的图）。另外，还提供多种转接板，用于将NanoMax系列平台安装到一系列Thorlabs旋转平台和大行程线性平台上。总之，这些特性使得MAX300挠性平台成为需要高稳定性和高重复性的对准应用的坚实工作平台。带移动平台的压电控制器 Related Products 该MDT630A是一个预配置的、压电型运动控制系统，配有驱动电子设备，用户界面软件，3轴挠性平台，精密手动调节器和连接到系统需要的所有缆线。该压电控制器是我们的流行MDT693A三通道压电驱动器，它具有以下特性： 高输出电压（3至150伏）高电流驱动能力（60 毫安）高精度，低噪声输出单个通道控制或主扫描控制图形用户界面软件 请注意，MDT693A可通过开关选择输入电压为115或230 V，并附带一根美制电源线。带差分测微头驱动的三轴滚动支座底板 Related Products 特性高负载能力：9.7磅（4.4千克）所有磨损面都采用硬化钢构造带凹槽的顶板确保配件的对准提供多种配件左手系或右手系的版本可供选择可升级到压电辅助的测微头Item #RB13DTravel X-Y-Z1/23 (13 mm)BearingsCross RollerMax Load9.7 lbs (4.4 kgs)Coarse Adjustment Range13 mm TravelCoarse Adjustment Pitch0.5 mmFine Adjustment Range300 µ m TravelFine Adjustment Pitch0.05 µ mX-Y-Z整体设计相比与其它的模块化设计，该产品提供了更紧凑的平台，使得该三轴移动平台能在13毫米的行程范围内满足许多定位应用的要求。相比于层叠式单轴平台构造的移动平台，整体钢构造设计可提高产品的使用寿命和热稳定性。兼容全系列的NanoMax&trade 和 MicroBlock&trade 挠性平台配件可移动的载物台在三个正交方向的行程均为13毫米，沟槽状的顶板使其能够与全系列的光学配件相连。该紧凑型平台的载物台高度与Thorlabs的载物台高度为62.5毫米的挠性移动平台匹配。使用这个标准的载物台高度，可以将行程更长的平台集成到基于Thorlabs通用的挠性底座平台，如 MicroBlock 和NanoMax 系列，建立的光学系统中。差分测微头用于RB13D的TDRV304差分测微头利用独特的机制，将外部旋钮相对较大的位移转换成中心细调主轴相对较小的位移。这种设计另外的好处就是具有一致的平滑感，且不受负载的影响。提供有两个大的旋钮，一个用于粗调，另一个用于差分调节，因此增加该单元的整体灵敏度。粗调旋钮提供13毫米的总位移、1微米的分辨率，而微分旋钮提供300微米的总位移、50纳米的分辨率。可更换的顶板可用上面提到的RB13P1转接板替换RB13平台的顶板。这种可供选择的安装板有大量的1/4英寸－20（M6 x 1.0）和#8-32（M4 x 0.7）的安装孔，使得RollerBlock平台可用于通用的面包板类应用中。定制配置对于需要精确控制的应用，可用压电辅助差分测微头(DRV517)取代手动驱动器。除了上文所述的标准测微头调节器，这种驱动可提供30微米的行程，分辨率为10纳米。我们也提供左手系配置，或者不带驱动器的版本，用户可以自己安装第三方的驱动器。带差分测微头驱动的三轴滚动支座底板Zoom结合了钢质和铝质构造的RollerBlock&trade 移动平台是一系列光电子应用的理想选择。交叉滚珠轴承设计提供了9.7磅（4.4千克）的垂直负载，同时仍能保持由高精度驱动器提供的亚微米级的分辨率。带螺纹孔的顶板Zoom这种顶板可替代标准的带槽顶板。它有许多13个1/4英寸-20（M6）和12个8-32（M4）的安装孔阵列，能将通用的配件和组件转接到平台上。带测微头驱动的RollerBlock三轴移动平台 Related Products 特征高负载能力所有磨损面都采用硬化钢构造提供多种配件左手系或者右手系可供选择可升级成压电驱动的测微头Item #RB13MTravel1/2&Prime (13 mm)BearingsCross RollerMax. Load9.7 lbs (4.4 kgs)Standard Micrometer13 mm travel (10 µ m Graduations)带有手动测微头的RollerBlock&trade XYZ移动平台结合钢和铝构造的RollerBlock&trade 移动平台广泛适用于光电系统，交叉的滚动轴承设计使得其垂直负载能力达9.7磅（4.4千克），高精度的驱动器使精度达到亚微米级。小心地放置RollerBlock&trade 中的交叉滚动轴承，保证轴承表面不受污染。与使用表面外露轴承的底座相比，这大大提高了产品的使用寿命。 xyz整体设计相比与其它的模块化设计，该产品提供了更紧凑的平台，在整个13毫米的行程范围内，能够实现较好的定位特性。相比于层叠式单轴平台构造的移动平台，整体钢构造设计可提高产品的使用寿命和热稳定性。兼容全系列的NanoMax&trade 和 MicroBlock&trade 挠性平台配件可移动的载物台在三个正交方向的行程均为13毫米，沟槽状的顶板使其能够与全系列的光学配件相连。该紧凑型平台的载物台高度与Thorlabs的载物台高度为62.5毫米的挠性移动平台匹配。使用这个标准的载物台高度，可以将行程更长的平台集成到基于Thorlabs通用的挠性底座平台，如 MicroBlock 和NanoMax 系列，建立的光学系统中。可更换的顶板可用上面提到的RB13P1转接板替换RB13平台的顶板。这种可供选择的安装板有大量的1/4英寸－20（M6 x 1.0）和#8-32（M4 x 0.7）的安装孔，使得RollerBlock平台可用于通用的面包板类型的应用中。定制Thorlabs提供左手系构造的平台，或者不带驱动器的版本。光纤发射系统：基本解决方案 Related Products Zoom 特性125至400微米裸光纤的理想选择压力可变的压臂4毫米行程调节范围包括300微米的细调，分辨率为50纳米（理论值）适合任意RMS螺纹物镜不含物镜MBT612具有高分辨率的差分调节器，是将自由空间激光优化耦合入单模光纤的理想选择，即使是在可见波长光纤模场直径仅为3微米时。它可最大程度地将自由空间激光的耦合优化为单模光纤，即使是光纤的模场直径仅为3微米的可见光。光缆应力消除的加入可防止系统的意外损坏，该特性可节省大量时间。该预设置好的光纤发射系统是理想的入门套件，可快速适应许多应用。提供的额外附件可大大增强该平台多用途的灵活性。Zoom特性125至400微米裸光纤的理想选择压力可变的压臂4毫米行程调节范围包括300微米的细调，分辨率为50纳米（理论值）适合任意RMS螺纹物镜不含物镜MBT612发射系统具有高分辨率的差分调节器，是将自由空间激光优化耦合入单模光纤的理想选择，即使是在可见波长光纤模场直径仅为3微米时。它可最大程度地将自由空间激光的耦合优化为单模光纤，即使是光纤的模场直径仅为3微米的可见光。光缆应力消除的加入可防止系统的意外损坏，该特性可节省大量时间。该预设置好的光纤发射系统是理想的入门套件，可快速适应许多应用。提供的额外附件可大大增强该平台多用途的灵活性。Zoom 特性带有快速释放压块的顶部装载光纤旋转器360° 旋转，精度为2° 4毫米行程调节范围包括300微米的细调，分辨率为50纳米（理论值）适合任意RMS螺纹物镜不含物镜MBT621发射系统具有我们的高分辨率驱动器，是将自由空间激光优化耦合入单模光纤的理想选择，即使是在可见波长光纤模场直径仅为3微米时。旋转式光纤架可提供平稳的转动，其摆动可以忽略。当使用保偏光纤时，该系统提供一种简单的方法优化通过PM光纤耦合的信号的消光比。提供的额外附件可大大增强该平台多用途的灵活性。光纤发射系统：专业解决方案 Related Products 特性挠性设计确保平滑，无摩擦地连续移动紧凑型设计：包括驱动器157.4毫米x160.4毫米x62.5毫米（6.2英寸x 6.31英寸 x 2.46英寸）增强的长期稳定性调节器皆固定在底座，消除了串扰NanoMax平行挠性平台3轴NanoMax挠性平台是光纤耦合应用的理想选择。该完整的光纤输入系统可满足很多最普遍的实验室应用的需求。下文详细介绍了每种输入系统。有关这些套件所包含的平台的更多具体细节请查看NanoMax三轴挠性平台的介绍。 配件易对准 顶部平台的中心键槽可快速重新配置系统而保持配件对准。提供各种各样的附件，可安装显微镜物镜、准直设备、波导、光纤以及其他设备。此外，多重转接板可将NanoMax系列平台安装到各种其他的Thorlabs旋转和长行程线性平台上。MAX300挠性平台的这些特点使其成为要求高稳定性和重复性的对准应用的可靠平台。用于裸光纤的单模光纤发射系统Zoom特性适合裸光纤，透镜光纤，带涂覆层光纤独特的，可变的，六角形安装架，适合Ø 125微米至Ø 2毫米的光纤压力可变的夹钳臂平移调节范围是4毫米包括300 微米精调，分辨率为50纳米适合任意RMS螺纹物镜 Included with the MAX350DMAX313D3轴挠性平台，带固定差动驱动AMA009固定角度支架HCS010RMS显微物镜安装座HFF001可变V形槽光纤夹具HFS001应力释放缆线裸单模光纤的MAX351光纤输入系统具有高分辨微分调节器，适合将自由空间激光优化为单模光纤，即使是光纤的模场直径只有3 µ m的可见光。可快速释放的光纤固定器有6个安装面，每个面可接合一个不同尺寸的光纤。增加光缆应变消除有助于防止系统意外损伤，该特点可节省大量时间。该预先安装好的系统是一个理想的输入装置，可快速适合许多应用。X，Y和Z轴之间耦合，使调节过程中的稳定性最大当对准应用要求亚微米的分辨率，或者更好分辨率时，我们具有专利的MAX300系列平行挠性移动设计的优点就非常明显。对于多轴堆叠式平台，触动2个驱动中不是参考&ldquo 地面&rdquo 的任一个都将导致装置的不必要的移动。NanoMax&trade 系列平台的任一个驱动直径参照平台底座，即可消除该负面影响。固定的微分驱动提供4毫米粗调和300微米的细调（每次转动的分辨率为50纳米）。粗移和精移轨道上刻有标度，是要求绝对位移应用的清晰的参考点。 FC连接跳线到Grin透镜的单模光纤发射系统Zoom特性用于FC连接的单模光纤跳线适合直径为1毫米至3毫米的Grin透镜3轴平移的调节范围为4毫米包括300微米细调，分辨率为50纳米 MAX355D附带组件MAX313D3轴挠性平台，带差分驱动AMA009固定角度支架HGI003GRIN透镜固定架HFB004FC连接光纤固定架HFS001应力释放缆线该系统由我们的MAX313D三轴挠性平台配合FC适配器和Grin透镜架组成。对于光纤输入系统，使用嵌套式挠性板替代传统的线性轴承具有很多优点。首先，挠性机制可得到近乎完美的平滑连续移动。其次，该平台结构不需要润滑油。传统轴承的较小瑕疵，或者润滑油里的污染物都能产生局部粗糙的斑点，导致斑点处的移动分辨率显著降低。无需润滑剂也可最大程度减小平台蠕动。带快速释放光纤旋转器的保偏光纤发射系统Zoom特性4毫米行程高分辨率差分调节器高精密光纤旋转器，360° 的离心率为10微米（中心偏移量）适合任意带RMS螺纹的物镜 MAX361D附带组件MAX3133轴挠性平台，带有差分驱动AMA009固定角度支架HCS010RMS显微物镜安装座HFR007快速释放光纤旋转器MAX361D光纤发射系统是为保偏裸光纤设计的，由最高性能的挠性平台和3个高分辨率双平台测微头构成。这样的组合能真正达到亚微米定位控制所要求的高分辨率和高稳定性。该系统的HFR007光纤旋转器刻有分度为5° 的刻度。此外，快速释放光纤压块可快速便捷地顶部装载光纤。HFR007增加了优化PM光纤消光比所需的旋转自由度。使用我们最新一代的3轴移动平台，新的MAX361保偏光纤输入系统相对线性轴承的设计，以及其他不太先进的3轴挠性平台具有大量改进。该底座式移动台使用我们具有专利的高稳定挠性设计，具有独特的特点，即3个调节器都坚固地连接到平台主结构的固定部件上。同类产品或者由3个层叠式的独立平台构成，或至少设计成三个驱动器中的两个随平台的可移动部件平移的单个集成系统。当驱动器被操作者的手接触时，这种3个驱动器中有2个&ldquo 浮动&rdquo 的设计会引起有害的移动（以串扰的形式）。这种机械系统噪声使其不能达到真正的纳米定位。自动对准单模裸纤发射系统Zoom特性裸纤，带透镜光纤或套管光纤的理想选择独特可变六角形安装架适合Ø 125微米至Ø 2毫米的光纤压力可变的压臂4毫米平移调节范围包括300 微米细调，分辨率为50纳米适合任意RMS螺纹物镜 MAX373D包含的组件MAX311D带差动驱动的3轴挠性平台，和带反馈的内部压电驱动AMA009固定角度支架HCS010RMS显微物镜安装座HFF001可变V形槽光纤夹具HFS001应力释放缆线MAX373D光纤发射系统具有高分辨率差分调节器，是将自由空间激光优化耦合入单模光纤的理想选择，即使是在可见波长光纤模场直径仅为3微米时。可快速释放的光纤安装架有六个安装面，每个面可安放一根不同尺寸的光纤。光缆应力消除的加入可防止系统的意外损坏，该特性可节省大量时间。该预设置好的光纤输入系统是理想的入门套件，可快速适应许多应用。采用内部闭环压电驱动器进行自动对准MAX373D利用3个应变位移传感器产生电压信号，该电压与压电元件的位移成线性关系。利用该电压信号，可弥补压电元件固有的磁滞，蠕变或热漂移效应。此外，位移传感器与我们的NanoTrak&trade 自动对准系统一起使用，可精确地优化光学系统的耦合效率。一旦对准，在随后的操作过程中，位移传感器可用来稳定系统的位置。参考上面的NanoTrak标签可知NanoTrak应用背后的理论。光纤对准套件我们供应平台和NanoTrak控制器，及其所有缆线。MAX373DK1和MAX373D1/M都是完全自动对准套件，并带有用于红外波长的铟镓砷（InGaAs）探测器。 硅探测器是单独用于可见光波长。对于不需要自动对准的应用，平台的压电驱动器可由我们的BPC20X系列台式压电控制器控制。

阿米精控电容式微位移传感器基于电容电极间均匀电场变化时电容值的变化量来实现纳米级位移的精确测量。该系列产品可实现非接触测量，保证了极高的测量分辨率、线性度以及高测量带宽，满足各种应用场景下纳米级的测量需求，能在恶劣的环境条件下工作。 可根据需求任意组合搭配：单通道、三通道、六通道。技术特点：百微米至数千微米级测量范围超高精度（皮米级极限分辨率）、高线性度、低漂移高带宽高动态测量可针对真空及空间等特殊环境定制 应用领域：压电微位移振动台电子显微镜微调精密位移测量规格参数：型号PC06-12X-XXPC10-12X-XXPC20-25X-XX量程100um200um2000um分辨率2Hz0.02nm0.03nm0.31nm25Hz0.04nm0.08nm0.77nm1kHz0.14nm0.26nm1.93nm2kKz0.39nm0.72nm3.52nm线性度0.15%0.15%0.15%默认带宽2kHz2kHz2kHz重复性0.21nm0.39nm3.3nm主轴误差分析仪 主轴误差分析仪分局GB标准测量和分析主轴误差运动。这些误差会影响工件制造、精密主轴回转运动、精密主轴测量的相关精度。 主轴误差分析仪测量主轴或旋转轴在工作速度下的运动。然后，它会分析并报告降低零件质量的错误运动，这些测量有助于排出故障，防止不必要的主轴重建，提高零件质量，减少废品。系统组成：高分辨率电容式位移传感器精密球形或圆柱形目标坚固的传感器安装硬件数据采集组件用于误差运动分析的专有软件 应用领域：精密回转仪器测试 回转表面检测 功能作用：预测并防止零件错误：表面光洁度、圆等验收前对机器性能进行鉴定/测试找出加工错误的根本原因技术特点：超高精度检测高动态具体测量：径向误差运动轴向误差运动跳动规格参数：性能最大转速无限制最小转速无限制通道/组件1~5动态/旋转轴向√径向跳动√圆度/同步√粗糙度/异步√径向旋转误差√总误差√

六轴六足位移台 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91六轴六足位移台六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小，用于全天候应用的重型精密轴承。绝对编码器绝对编码器提供明确的位置信息，帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位，提高了操作过程中的效率和安全性。六轴六足位移台无刷直流电机(BLDC)无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触，可无磨损地平稳运行，因此能够实现较长的使用寿命。六轴六足位移台应用领域科研和工业. 用于天文学、光学定位、航空航天。 科研和工业. 用于天文学、光学定位、航空航天。

六维光纤专用位移台HFA-ZYZR系列 产品特点：材质：不锈钢 产品介绍：OMTOOLS 六维光纤专用位移台HFA-XYZR系列产品是红星杨科技多年积累经验研发生产的光纤专用位移平台，在光纤调整领域广泛应用，采用精密交叉导轨，整体不锈钢材料。整体刚性较高，能够有效的避免震动干扰，在使用时能保持较高的稳定性。交叉滚珠导轨和精密制造的导轨参考面提供了在X和Y轴上12mm的非常直的线性行程，关于任何轴的角度偏移均优于150μrad。Z轴提供了6毫米的行程。HFA-XYZR系列位移台是专为精确光纤对准而设计的,具有多达6个自由度，提供了出色的光纤对准解决方案。 选型表：产品型号HFA-XYZRL(左手)/HFA-XYZRR(右手)X轴向调整量12mmY轴向调整量12mmZ轴向调整量6mm绕X轴倾斜调整量±10°绕Y轴倾斜调整量±5°绕Z轴倾斜调整量±5°偏摆150μrad光路中心高98mm承重2.3kg