压电马达微米级位移平台

压电位移台常用术语中英文对照表Absolute accuracy : Deviation between the actual position and the desired one. If a stage has to move 100µm but it moves only 99.99µm (measured through an ideal scale), then the inaccuracy is 10nm. The permanent positioning error along an axis is designated as accuracy. Absolute accuracy is aff¬ected by calibration errors, linearity errors, hysteresis, Abbe errors and positioning noise. 绝dui精度：实际位置与所需位置之间的偏差。 如果一个平台必须移动 100µm，但它仅移动 99.99µm（通过理想标尺测量），则误差为 10nm。 沿轴的泳久定位误差称为精度。 绝dui精度受校准误差、线性误差、滞后、阿贝误差和定位噪声的影响。Backlash : Backlash is a positioning error occurring upon change of direction. Backlash can be caused by insufficiently preloaded thrust or inaccurate meshing of drive components, for example gear teeth. Piezoconcept’s flexure motion translation mechanism and piezo actuator designs are inherently backlash free. 齿隙：齿隙是在运动方向改变时发生的定位误差。 齿隙可能是由于预载推力不足或驱动部件（例如齿轮齿）啮合不准确造成的。 Piezoconcept 的弯曲运动平移机构和压电致动器设计本质上是无间隙的。Bandwidth : The frequency range to which the amplitude of the stage' s motion is dropped by 3dB. It reflects how fast the stage can follow the driving signal. 带宽：载物台运动幅度下降的频率范围为3dB。 它反映了平台能够以多快的速度跟随驱动信号。Drift : A position change over time, which includes the e¬ffects of temperature change and other environmental e¬ffects. The drift may be introduced from both the mechanical system and electronics. 漂移：位置随时间的变化，包括温度变化和其他环境影响的影响。 漂移可能来自机械系统和电子设备。Friction : Friction is defined as resistance between contacting surfaces during movement. Friction may be constant or speed dependent. Because they use flexure, the nanopositioners from Piezoconcept are friction free. 摩擦力：摩擦力定义为运动过程中接触表面之间的阻力。 摩擦力可以是恒定的或取决于速度的。 因为使用柔性连接，Piezoconcept 的纳米定位器是无摩擦的。Hysteresis : The positioning error between forward scan and backward scan. A closed-loop control is an ideal solution for this problem and is done by using a network of High Resolution silicon sensor to provide feedback signals. 滞后：前向扫描和后向扫描之间的定位误差。 闭环控制是该问题的理想解决方案，它通过使用高分辨率硅传感器网络提供反馈信号来完成。Linearity error : The error between the actual position and the first-order best fit line (straight line). Our nanopositioning products are calibrated with laser interferometry and the non linearity errors are compensated down to 0.02% of the full travel.线性误差：实际位置与一阶蕞佳拟合线（直线）之间的误差。 我们的纳米定位产品使用激光干涉仪进行校准，非线性误差补偿低至全行程的 0.02%。Orthogonality error : The angular off¬set of two defined motion axes from being orthogonal to each other. It can be interpreted as a part of crosstalk. 正交性误差：两个定义的运动轴相互正交的角度偏移。 它可以解释为串扰的一部分。Position noise : The amplitude of the stage shaking when it is on a static command. It is usually measured and specified with Peak-To-Peak value. It is a combination of the sensor noise, driver electronics noise and command noise, etc. The position noise of our stages is very limited due to the very high Signal-To-Noise ratio of the Silicon HR sensors we use. 位置噪声：在静态命令下载物台晃动的幅度。 它通常用峰峰值来测量和指定。 它是传感器噪声、驱动器电子噪声和命令噪声等的组合。由于我们使用的 Silicon HR 传感器具有非常高的信噪比，我们平台的位置噪声非常有限。Range of motion : The maximum dISPlacement of the nanopositioners. 运动范围（行程）:纳米定位器的蕞大位移。Resolution : The minimum step size the stage can move. 分辨率:舞台可以移动的蕞小步长。Resonant frequency : Piezostage are oscillating mechanical systems characterized by a resonant frequency. The resonant frequency that we give is the lowest resonant frequency that can be seen on a nanopositioner. In general, the higher the resonant frequency of a system, the higher the stability and the wider working bandwidth the system will have. The resonant frequency of a piezostage is determined by the square root of the ratio of sti¬ness and mass. 谐振频率：压电级是以谐振频率为特征的振荡机械系统。 我们给出的共振频率是在纳米定位器上可以看到的蕞低共振频率。 一般来说，系统的谐振频率越高，系统的稳定性和工作带宽就越宽。 压电级的共振频率由刚度和质量之比的平方根决定。Silicon HR sensor : Piezoconcept use temperature compensated High-Resolution silicon sensors network for reaching highest long-term stability. This measuring device is capable of measuring position noise in the picometer range and its response is not dependent of the presence of pollutants, air pressure changes like other high-end sensors can be. Si-HR 传感器：Piezoconcept 使用温度补偿高分辨率硅传感器网络，以达到蕞高的长期稳定性。 该测量装置能够测量皮米范围内的位置噪声，并且其响应不依赖于污染物的存在，应对改变气压带来的影响与其他高端传感器一样。Step response time : The step response time is the time needed by the nanopositioner to do the travel from 10% of the commanded value to 90% of the commanded value. The step response time reflects the dynamic characteristics of the system and is relatively to the installation method and load of the stage.阶跃响应时间：阶跃响应时间是纳米定位器从指令值的 10% 到指令值的 90% 所需的时间。 阶跃响应时间反映了系统的动态特性，并且与位移台的安装方式和负载有关。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。相关技术文

很多人都做过CT检查，但您知道“工业CT”吗？在高精尖领域，很多精密部件都需要这类仪器来检测内部质量。要做这类产品的“把关人”可并不容易，安徽一家做特种电源的专精特新企业解决了这一难题，一起来看一看他们的绝活。放好检测物品后，工作人员将沉重的铅门关好，迅速撤离以避免遭遇辐射。铅门背后就是释放辐射的主角——微焦点X射线源，它被称为“工业CT”，可以对新能源汽车、芯片、半导体等领域的精密部件进行无损扫描，检测其内部是否有缺陷。合肥博雷电气有限公司副总经理 高龙：X射线可以实现电池内部所有的缺陷检测，确保动力电池装上车时零缺陷。由于技术受制于人，一段时间以来，国内相关设备的检测精度约为五微米，但对于芯片、半导体等精密制造行业，如果小于五微米的瑕疵没被发现，就会影响产品的性能和质量。市场的号角已经吹响，合肥博雷电气有限公司董事长刘凯带领企业加快研发速度。就在上个月，他们成功研制出国内第一台160千伏的微焦点X射线源，将检测精度缩小到了两微米。合肥博雷电气有限公司董事长 刘凯：特别是在芯片领域，两微米以下的缺陷检测能大大提高芯片生产的成品率。从五微米到两微米，技术突破的关键之一，在于使高电压输出稳定的微焦点X射线。由企业自主研发的变压器解决了这一难题。但这种变压器的生产并不容易，即使在工业自动化普及的当下，其绕线工艺也只能由手工完成。合肥博雷电气有限公司总工程师 印长豹：必须通过手工才能控制最关键的一些参数，一毫米的误差可能会导致整个产品失效。经过精确的缠绕，他们的变压器电压最高可达到350千伏，相当于城市居民用电的一千多倍。本期专精特新绝活：做好“把关人”，守好品质门。突破封锁勇争锋，潜心修炼匠人心；跨越高压电源技术坎 ，焕发精密制造生命力。

近日，中国科学院物理研究所微米X射线三维断层成像仪采购项目发布中标公告，卡尔蔡司以475.6万元中标。一、项目编号：TC220805G（招标文件编号：TC220805G）二、项目名称：中国科学院物理研究所微米X射线三维断层成像仪采购项目三、中标（成交）信息供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元) 卡尔蔡司（上海）管理有限公司 微米X射线三维断层成像仪（X射线显微镜） Zeiss Xradia 515 Versa X射线显微镜 1 4756000 四、招标技术规格1.1 设备用途：设备可对对各类锂电池材料（软包电池，电池极片）、金属材料、油气地质及半导体样品(失效分析)进行高分辨无损三维成像及组织表征。设备采用闭管透射式X射线源、独特的二级放大架构、独有的衬度技术、配合机器的三维数据采集、控制、重构及可视化软件以三维立体图像及二维虚拟切片的形式，清晰、准确、直观地展示各类样品内部的亚微米级及以上的组织形貌（包括样品内部组织结构、内部孔隙、微裂纹等均可清晰展示）。1.2 工作条件：（1）电源：单相 220V（±5%）、50Hz、15A（2）温度：10～25℃, 温度波动＜2℃（3）环境湿度：≤70%，无凝结*2.1 分辨率2.1.1 最高空间分辨率：最高三维空间分辨率≤700nm，需提供标样的测试结果，否则视为不响应；2.1.2 最小可实现的体素（Voxel Size）≤300 nm，需提实际样品的测试切片照片，否则视为不响应；2.1.3 能够满足大样品高分辨得测试需求，须具备对锂电池材料中的软包电池实际样品局部进行高分辨率扫描成像，针对≥5cm 宽的软包电池样品的中心位置，可实现≤ 1μm 的体素分辨率的扫描成像能力，以满足采购人单位的科研需求。2.2 三维组织表征及重构2.2.1 无损伤地对样品进行三维组织表征，可获得样品的三维组织形貌及不同角度、不同位置的虚拟二维切片组织形貌信息。不需制样或只需简单制备，不需真空观察环境，不会引入人为缺陷；#2.2.2 能够自动对样品多个(20)不同区域进行 3 维成像扫描和重构；#2.2.3 具有吸收衬度和可调节相位传播衬度两种衬度模式，可以对包括高原子序数和低原子序数在内的各种材料都能获得高衬度图像。能够清楚区分样品内的不同组织；2.2.4 支持纵向拼接技术，通过纵向拼接扫描结果获得更高视野的数据；具有支持宽视场模式的物镜探测器，具备更宽的视野；*2.2.5 2000 张投影，重构 1k × 1k × 1k 图像的时间少于 5 分钟；2.2.6 支持 180°+Fan 扫描模式，从而实现快速扫描成像。2.3 光源与滤色片及支架*2.3.1 高功率微焦点 X 射线源：采用密封式透射 X 射线源，功率≥10W，机器可以不间断连续扫描样品时间达 1 周以上（即 7 x 24 小时）。在用户日常使用过程中无需更换光源灯丝。最大电压≥155kV，最低电压≤30kV，连续可调；2.3.2 配备滤色片转换支架，包含不低于 10 个适用于不同能量段扫描的滤片。2.4 探测器*2.4.1 探测器规格为高对比度平板探测器或更高级的探测器系统，可实现二维有效探测面积≥200mm×200mm，需提供测试方案和样品测试结果，否则视为不响应。像素数量≥2000（长）×2000（宽）；2.4.2 具备大视场≤0.4X 光学放大模式，能够实现大视野宽场模式；2.4.3 探测器可移动范围不小于 290mm。2.5 样品台及样品室#2.5.1 全电脑软件控制高精度 4 轴数控可编程马达样品台，具备超高的样品移动精度；#2.5.2 样品台 X 轴运动范围 50mm；Y 轴运动范围 100mm；Z 轴运动范围 50mm；2.5.3 样品台旋转运动范围：360 度旋转；*2.5.4 样品台最大承重≥10kg（X 射线能穿透的情况下）；*2.5.5 样品台可承受样品尺寸≥100 cm2；*2.5.6 为了防止 X 射线辐射泄漏、保护仪器操作人员，设备须采用全封闭式铅房设计，样品室内配备可见光相机，确保操作人员无需通过观察玻璃窗即可监控和操作样品；*2.5.7 系统具备样品自动防撞装置，系统通过快速获取样品轮廓信息，设定硬件工作极限位置，防止因为操作不当样品和探测器、源相撞，避免损坏硬件和样品。2.6 仪器控制与数据采集、重构、可视化及分析系统*2.6.1 具备三维数据采集及控制软件，可编程软件系统，支持三维重构，具备快速抓拍功能；2.6.2 全数字化仪器控制，计算机控制工作站；2.6.3 支持原始数据查看，图像标准特征显示（如亮度、对比度、放大等）、注释、测量等；2.6.4 可以进行基本图像测量，如图像计算、滤镜等；#2.6.5 具备快速三维数据重构软件，软件界面友好，采用先进的解析算法以保证重构时间快；2.6.6 具备三维数据可视化软件，展示三维重构结果，包括虚拟断层，着色、渲染、透视等，并实现基本分析功能和注释；#2.7 数据处理工作站不低于以下配置Microsoft Windows10 Pro 操作系统Dual Eight Core CPUCUDA-enabled 3D GPU12 TB（4×3 TB）硬盘容量，RAID-532GB 内存可刻录式光驱24寸液晶显示器。2.8 样品座及标样2.8.1 对中和分辨率测试标样；2.8.2 针钳式样品座；2.8.3 夹钳式样品座；2.8.4 夹持式样品座；2.8.5 高铝基座样品座；2.8.6 高精度针钳式样品座。2.9 其他硬件2.9.1 人体工学操作台；2.9.2 四门式防辐射安全屏蔽罩，配备辐射安全连锁装置和“X-ray on”指示器；2.9.3 大移动范围、高精度花岗岩工作台。2.10 可扩展功能与双束系统、场发射电镜的数据相互关联，可将 CT 所获得的数据文件格式如 CZI, RAW，TIFF，VTK，DICOM 等格式的二维图像和 TXM 3D X-ray volumes 体量数据，导入到电镜或者双束系统的软件中，实现亚微米级到纳米级的数据关联以及数据处理。

“坐标”这个概念源于解析几何，其基本思想是构建坐标系，将点与实数联系起来，进而可以将平面上的曲线用代数方程表示。坐标的概念应用到工业生产中解决了大量实际问题，例如，坐标测量机可采集被测工件表面上的被测点的坐标值，并投射到空间坐标系中，构建工件的空间模型等诸多案例。坐标测量机还被用于产品质量控制，测量磨损，制造精度，产品形貌，对称性，角度等工业产品参数，因此需要非常高的移动精度，才能确保测量的准确性。德国attocube公司推出的IDS3010皮米精度位移测量激光干涉仪就是辅助坐标测量机提高测量精度的有力手段。图1 皮米精度位移测量激光干涉仪IDS3010IDS3010皮米精度位移测量激光干涉仪是如何帮助坐标测量机实现高精度的呢？图2 IDS3010激光干涉仪集成到坐标测量机探测臂上通常坐标测量机要求探测臂位移精度高于1微米，现在坐标测量机位移反馈大多是通过玻璃分划尺来实现的。玻璃分划尺是常用的一种位置测量的方法，分划尺在坐标测量机上位于龙门处，一般情况下，采用玻璃分划尺探测的不是探测臂本身，而是坐标测量机龙门处的位置变化。实际上， 坐标测量机的探测臂与龙门之间有一定长度的距离，它们的位置变化会因存在例如振动、位置差等而有所不同，因此只凭借龙门处位置变化来判断真实的位移反馈是不准确的，影响到实际样品的测量精度。图3 IDS3010激光干涉仪集成到坐标测量机上。坐标测量机通过干涉仪探头的配合，可反馈探测臂的位移。德国attocube公司的IDS3010皮米精度位移测量激光干涉仪通过非接触式方法测量，可以直接测量探测臂的运动，避免龙门处探测误差，实现高精度测量。如图3，激光探头位于坐标测量机侧边，M12/C7.6激光探头出射的激光可以被探测臂上的反射镜（直径3mm）反射回激光探头，IDS3010干涉仪通过分析干涉信号从而进行位置测量。探测臂能够移动0.8米距离，移动精度达到10微米。干涉仪能够实时测量该探测臂的位移以及振动等信息。图4 IDS3010实时位置测量软件WAVE测量数据。扩展图为中间区域的数据放大。IDS3010配置的软件WAVE可以实时观测与保存测量数据。如图4，坐标测量机的运动数据被测量并记录。图中所示，前15秒与终10秒间的数据是0.8m距离的往复运动。中间时间的数据看似没有变化，但通过WAVE软件的放大功能，我们发现中间时间的探测臂其实进行了10微米的步进运动。同时，通过WAVE软件我们也可以观测到步进运动的详细变化过程。每一个步进大约2秒，在运动初始的时候位移有超过，在大约0.4秒的短时间内位移被调整为10微米的步进长度。而在步进的末尾，也有小幅的位置噪音，该噪音一般是由于振动引入。这对于探测样品位移以及振动信息具有重大意义。IDS3010技术特点：IDS3010皮米精度位移测量激光干涉仪具有体积小、适合集成到工业应用与同步辐射应用中的特点，同时，测量精度高，分辨率高达1 pm，是适合工业集成与工业网络无缝对接的理想产品。除与坐标测量机结合使用外，在工业中的其他应用实例也非常广泛，包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量等等。+ 测量精度高，分辨率高达1 pm+ 测量速度快，采样带宽10MHz+ 样品大移动速度 2m/s+ 光纤式激光探头尺寸小，灵活性高+ 兼容超高真空，低温，强辐射等端环境+ 其可靠与稳定+ 环境补偿单元，不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度+ 多功能实时测量界面，包含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、Biss-C等界面相关产品及链接：1、皮米精度位移激光干涉器attoFPSensor：http://www.instrument.com.cn/netshow/C159543.htm2、EcoSmart Drive系列纳米精度位移台：http://www.instrument.com.cn/netshow/C168197.htm3、低温强磁场纳米精度位移台：http://www.instrument.com.cn/netshow/C80795.htm

主题：Next Level of Precision: Customized Motion & Sensing Solutions[报告简介]德国attocube公司致力于提供超高精度与稳定性的纳米位移解决方案。其提供的多种压电定位器，非常适合各种端环境。另外与基于光纤式的皮米精度激光干涉仪相结合，为先进的纳米定位系统奠定了基础，并实现了亚纳米精度的位移控制精度。我们将展示：☛ 为显微镜应用定制的亚纳米位移解决方案☛ 为端环境中的亚纳米应用及反馈解决方案☛ 如何结合位移和传感解决方案，实现限纳米位移精度 您将收获：☛ 对实现真正纳米精度和度的关键问题的详细见解☛ attocube以应用为中心的工程研发流程概述☛ 现场问答环节，与attocube工程师讨论您的具体需求问题[注册链接]欢迎点击此链接https://app.livestorm.co/attocube-systems-ag/next-level-of-precision-customized-motion-and-sensing-solutions?type=detailed观看讲座。[主讲人介绍][报告时间]开始： 2021年7月28日 15:00（CST）结束： 2021年7月28日 15:30（CST） 2021年7月28日 15:30（CST） 2021年7月28日 15:30（CST）请点击注册报名链接，预约参加在线讲座（北京时间21:00开始）[更多相关报告]1. ON-Demand: Moiré excitons in 2D semiconductor heterostructures2. Online DEMO: Nano-precise optical displacement measurement (on-demand)3. Online DEMO: Nano-precise positioning with multi-axis piezo stages (on-Demand)4. Online Demo: Standardized Calibration of CNC Machines & CMMs (on-demand)5. Online Demo: Standardized Calibration of CNC Machines & CMMs6. Online DEMO: Nano-precise positioning with multi-axis piezo stages7. Online DEMO: Nano-precise optical displacement measurement8. Moiré excitons in 2D semiconductor heterostructures[技术线上论坛]http://www.qd-china.com/zh/n/2004111065734

ALIO六轴位移台Hybrid Hexapod重新定义纳米加工和精 准对位贴合技术！自昊量光电推出以来全新的六轴位移台，ALIO Industries的Hybrid Hexapod彻底改变了6D运动的方法，并重新定义了运动控制在需要平整度和直线度加上刚度的应用中的作用，如纳米加工和精 准对位贴合技术中的应用。ALIO工业公司总裁Bill Hennessey表示:“在6自由度(6DOF)纳米技术应用领域，Hybrid Hexapod技术允许在纳米级精度的运动中提供身体所有6DOF性能的文件证明。因此，它是独 一 无 二的，这是第 一次成为可能。我们现在看到领 先技术研发人员在光学、半导体、制造、计量、激光加工和微加工领域致力于纳米应用，并取得了以前无法企及的成功。”所有的传统六足位移台运动系统都在三维空间内运行，并且在所有的六个自由度上都存在误差。然而，传统六足位移台的运动系统通常只能用单自由度的运动数据来表征。这种做法在几个自由度上留下了误差来源，特别是在平面和直线度方面，这是纳米级别的关键精度需求。所以说，一个传统的六足位移台在测量行程的平整度和直线度时，每轴会损失几十微米的精度。庆幸的是，Hybrid Hexapod完全克服了这些问题。Hennessey继续说道:“因为传统六足位移台有六个独立控制的连杆连接在一起，移动一个共同的平台，平台的运动误差将是所有连杆和关节误差的函数。众所周知，传统六足位移台在执行z轴运动时具有最 佳的精度和可重复性，因为所有连杆在相同的相对连杆角上执行相同的运动。然而，当任何其他X、Y、俯仰、偏航或摇摆运动被指令时，由于所有连杆执行不同的运动，传统六足位移台的精度和几何路径性能大幅下降。传统六足位移台的关节不精确，运动控制器无法实现正运动学和逆运动学方程，因此误差的来源更加明显。”Hybrid Hexapod由ALIO开发，旨在解决传统传统六足架设计的关键弱点，以及堆叠串行级的弱点，并在运动过程中实现纳米级的精度、可重复性和高完整性的平面和直线度。它采用了一个三脚架平行运动学结构来提供Z平面和尖 端/倾斜运动，集成了一个整体串行运动学结构来进行XY运动。一个旋转平台集成到三脚架的顶部(或下面，根据应用需要)提供360度的连续偏航旋转。在这种混合设计中，每个轴可以定制，提供从毫米到1米以上的行程范围，同时保持纳米级的精度。Hennessey总结道:“让我们看看4K镜头的制造商。典型的4K镜头需要极其高科技的材料技术，精密的组装实践，以及非常复杂的制造工艺和技术。所有方向的公差几乎为零用于制造透镜的制造过程经常会导致误差，这就是为什么它们需要不断的主动对准。 传感器和镜头对齐，多个目标沿着镜头投影到传感器，然后拍摄图像。调制传递函数(MTF)总是由主动对准装置不断监测，以保持每个MTF值在预先确定的范围内。当满足限度时，用紫外光对胶粘剂进行部分固化，然后再进行完全热固化。这确保了在对准镜头和传感器平面时的极端准确性。Hybrid Hexapod被证明是这种应用的完美选择，因为它的绝 对重复性和精度可以一次又一次地产生准确的结果。” “必须激励在可能的前沿工作的工程师提出更多要求，因为他们看到这项技术可以实现其他人无法实现的目标，具有促进创新的潜力，并且可以优化制造的效率和成本效益。Hybrid Hexapod 比传统六足位移台精度高出几个数量级，刚性提高100倍，速度提高30倍，可用工作范围是传统六轴位移台的10倍。 和传统六足设备同类型型号主要参数对比优势关于生产商：ALIO Industries 成立于 2001 年，由一支由杰出工程师组成的无与伦比的团队推动，他们痴迷于纳米级运动控制、客户成功以及尽可能突破感知界限。今天，ALIO非常重视对客户的响应。作为一家公司，我们一直专注于纳米级精度，因此我们拥有声誉、知识库和稳定性，这在需要超精确和可靠的运动控制时是无法比拟的。与 ALIO 作为您的合作伙伴，您将与一个强大、完善、财务稳定、全球认可和受人尊敬的品牌合作，为各种行业领 先客户提供服务。我们培养伙伴关系的基本含义，相信当知识在整个团队中公开共享时，结果总是更好。这也使我们能够创造性地为任何应用找到实用的运动控制解决方案。ALIO 的团队以诚实、正直和热情为特征。我们专注于成功，而不是为了现金流而出售解决方案。这就是性格！这就是为什么我们在纳米级运动控制解决方案领域享有无与伦比的声誉。上海昊量光电作为ALIO在中国大陆地区最 大的代理商，为您提供专业的选型以及技术服务。对于ALIO有兴趣或者任何问题，都欢迎通过电话、电子邮件或者微信与我们联系。 如果您对六轴位移台有兴趣，请访问上海昊量光电的官方网页：https://www.auniontech.com/details-1529.html欢迎继续关注上海昊量光电的各大媒体平台，我们将不定期推出各种产品介绍与技术新闻。关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是目前国内知 名光电产品专业代理商，也是近年来发展迅速的光电产品代理企业。除了拥有一批专业技术销售工程师之外，还有拥有一支强大技术支持队伍。我们的技术支持团队可以为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等工作。秉承诚信、高效、创新、共赢的核心价值观，昊量光电坚持以诚信为基石，凭借高效的运营机制和勇于创新的探索精神为我们的客户与与合作伙伴不断创造价值，实现各方共赢！您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息，或直接来电咨询4006-888-532。

精密位移传感器技术比较PIEZOCONCEPT 在其压电级中使用什么类型的位移传感器？为什么它优于其他传感器技术？PIEZOCONCEPT 使用单晶硅传感器，称为Si-HR 传感器。尽管它是应变仪传感器大系列的一部分，但它的性能优于其他两种常用技术（电容式传感器和金属应变仪）。这两种位置传感技术有其自身的特定缺点。 电容式传感器与 PIEZOCONCEPT 公司Si-HR 传感器的比较电容式传感器非常常用。他们提供了不错的表现，但他们对以下情况很敏感：• 气压变化：空气的介电常数取决于气压。电容测量将受到任何压力变化的影响。• 温度变化：同样的，空气的介电常数会随温度变化• 污染物的存在以上所有都会导致一些纳米级的不稳定性，因此如果您想实现真正的亚纳米级稳定性，则需要将它们考虑在内。即使可以对气压和温度进行校正，也无法校正其他因素（污染物、脱气）的影响。这解释了电容式传感器在真空环境中性能不佳的原因。此外，电容式传感器非常昂贵且体积庞大。因此，带有电容传感器的位移台不可能做的有像的 BIO3/LT3 这样薄，即使设计的好也会在稳定性方面进一步牺牲性能。因为它是一种固态技术，所以Si-HR 传感器的电阻不依赖于气压或污染物的存在。其次，温度变化会对测量产生影响（主要是因为材料的热膨胀），但这可以通过使用传感器阵列来纠正。基本上，我们为每个轴平行使用 2 个硅传感器 - 一个用于测量，另一个用于考虑由于温度变化导致的材料膨胀。金属应变计与 PIEZOCONCEPT Silicon HR 技术的比较金属应变计与我们的 Silicon HR 技术（也是应变计）之间的差异更大。金属应变计和硅传感器应变计之间存在两个巨大差异。竞争对手试图说所有的应变仪都具有相同的性能，因为它们测量的是应变。这是不正确的。半导体应变计在稳定性方面与金属应变计有很大不同。金属应变计和Si-HR 传感器（PIEZOCONCEPT 使用）之间的第yi个区别是应变系数：半导体应变仪（Si-HR）的应变系数大约是金属应变仪的 100 倍。更高的规格因子导致更高的信噪比，最终导致更高的稳定性。 更重要的是，第二个区别是金属应变计不能直接安装在弯曲本身上（即实现运动的地方）：金属应变计必须安装在某种“背衬”上。因此，它必须安装在执行器本身上，因为您没有足够的空间将其安装在挠性件上。仅在执行器上测量的问题是压电执行器有很多缺陷......存在蠕变或滞后等现象。因此，由于压电执行器的伸长不均匀，因此仅测量执行器的部分伸长率并不能精确地扣除其完全伸长率。通过对弯曲本身进行测量，我们不会遇到这种“不均匀”问题。由于上述原因，如果您比较应变计（金属）和 PIEZOCONCEPT 的Si-HR 传感器，在信噪比和稳定性方面存在巨大差异。 关于法国PIEZOCONCEPT公司 PIEZOCONCEPT 是压电纳米位移台领域的领宪供应商，其应用领域包括但不限于超分辨率显微镜、光阱、纳米工业和原子力显微镜。其产品已被国内外yi流大学和研究所从事前沿研究的知名科学家使用，在工业和科研领域受到广泛好评。 多年来，纳米定位传感器领域电容式传感器一直占据市场主导地位。但这项技术存在明显的局限性。PIEZOCONCEPT经过多年研究，开发出硅基高灵敏度位置传感器（Silicon HR）技术，Si-HR传感器可以实现更高的稳定性和线性度，以满足现代显微镜技术的更高分辨率要求。 PIEZOCONCEPT的目标是为客户提供一个物美价廉的纳米或亚纳米定位解决方案，让客户享受到市面上蕞高的定位准确性和稳定性的产品使用体验。我们开发了一系列超稳定的纳米定位器件，包含单轴、两轴、三轴、物镜扫描台、快反镜和配套器件，覆盖5-1500um行程，品类丰富，并提供各类定制化服务。与市场上已有的产品相比具有显着优势，Piezoconcept的硅传感器具有很好的稳定性、超本低噪声和超高的信号反馈，该技术优于市场上昂贵的高端电容传感器。因此，我们的舞台通过其简单而高效的柔性设计和超本低噪声电子器件提供皮米级稳定性和亚纳米（或亚纳米弧度）本底噪声。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。

生命科学研究过程离不开各类科学仪器的帮助，仪器信息网特别策划话题：“生命科学技术平台经验分享” ，邀请高校、科研院所公共技术平台的老师分享技术心得和经验，方便生命科学领域研究人员了解相关技术进展，学习仪器使用方法。本篇为深圳湾实验室生物影像平台助理工程师黄诗娴供稿。本文详述了转盘共聚焦显微镜的技术原理和优势、历史沿革、功能和主要应用。点击图片了解更多技术1987年，BIO-RAD公司推出了第一台商业化的共聚焦显微镜。随着激光器技术等各类技术的快速发展，共聚焦显微成像技术更加成熟完备，开始广泛应用于生命科学、材料科学等各个方面。传统的激光点扫描共聚焦显微镜使用逐点扫描，虽然隔绝了非焦平面的杂散光信号，提高了成像分辨率及信噪比，但是成像速度较慢。其光电倍增管检测器PMT的光电转换效率也比较低，需要较强的激发光。为了解决快速变化过程的共聚焦检测问题，实现活细胞长时间成像，发展了转盘共聚焦显微镜（Spinning-disk Confocal Microscopy，SDCM），解决了传统激光点扫描共聚焦显微镜成像速度相对较慢以及光毒性较高的问题。转盘共聚焦显微镜历史沿革和技术优势转盘共聚焦显微镜的概念最早是在1968年由Petrán提出的，在20世纪90年代由日本Yokogawa Electric公司发明了其核心技术：双转盘专利技术。双转盘装置包含了两个同轴排列的转盘，上转盘是带有微透镜阵列的转盘，下转盘是放置在物镜像平面上的带有约20000个阿基米德螺旋状针孔的Nipkow转盘，针孔及微透镜的位置是一一对应的，两个转盘的间距为微透镜的焦距。显微镜工作时，入射光经过微透镜阵列聚焦到Nipkow转盘针孔上，经针孔隔除杂散光后照射在样本上，无需移动载物台或使用扫描振镜，双转盘可进行多点同步扫描，旋转双转盘即可实现对样本的完整扫描，大大提高了采集速度。使用微透镜阵列聚焦激发光，照明光的透射率从使用单Nipkow转盘的4%-6%增加到40%-60%，进一步降低激发光的强度，即使是荧光蛋白表达量非常低的活细胞也可以轻松成像。Yokogawa Electric公司设计了转盘式显微镜目前最先进的共聚焦扫描单元（Confocal Scanner Unit ，CSU）（图1），其CSU-X1转盘最高旋转速度为每分钟10000转，理论上最大帧率高达每秒2000帧。较慢的CSU-W1转盘转速也有4000转，成像速度最大可达200帧/秒，非常适用于快速变化过程检测。图1：Yokogawa转盘共聚焦扫描单元结构示意图（图片来源：Carl Zeiss Microscopy Online Campus）转盘共聚焦显微镜的主要优势之一是使用面阵相机进行成像。激光点扫描共聚焦系统的PMT检测器的量子效率较低，通常为30%-40%，而SDCM使用EMCCD或背照式sCMOS等相机作为探测器，可以具有更高的量子效率，从而降低激发光功率，大大降低了对样品的光漂白和光损伤。为了让相机尽可能多地收集光子，获取高质量图像，应选择高灵敏度的相机。EMCCD相机低噪声、高灵敏，曾经是转盘共聚焦显微系统的第一选择。而如今背照式sCMOS的量子效率可高达95%，且具有与EMCCD相当的灵敏度，其被使用率开始逐渐高于EMCCD相机。此外，背照式sCMOS具有低噪声、高帧率、高动态范围、高分辨率、大靶面的特点，而且功耗更低、集成度更高，成本更低。因此，在未来的发展中，背照式sCMOS有望成为更加主流的图像传感器，应用于各类显微成像技术中。总而言之，转盘共聚焦显微镜因为双转盘技术和高量子效率相机的组合，可以高速运行并且具有非常高的信噪比。转盘共聚焦显微镜主要功能及应用转盘共聚焦显微镜因其成像速度快，层切能力好等特点，常用于多通道荧光成像、拼图及三维成像，如多荧光通道全脑片成像，斑马鱼、透明化小鼠等大组织厚样本三维拼图成像等。转盘共聚焦显微镜可以配置单相机或多相机，配置多个激光器及对应的滤光片组，快速成像多个荧光标记的样本。通过移动电动载物台实现多视野拼图成像，为避免出现拼痕，需做好仪器放大倍数校正、阴影校正及光照均匀度校正等，同时配置合适的拼图软件模块，得到所需大图。通过上下移动物镜或者压电陶瓷载物台实现Z stack三维扫描，结合三维重构软件模块，得到所需三维图像或最大投影图等。因转盘共聚焦显微镜成像采集速度快及光毒性低等优点，非常适合于活细胞成像及活细胞长时程成像，检测信号快速变化过程及信号长时间变化过程，满足细胞动力学、发育生物学等多方面的研究需求。活细胞成像需在显微镜上配置细胞培养装置，提供适宜的培养环境。配置使激光器照明和相机成像达成微秒级别同步的实时控制器，以降低光漂白和光毒性，使细胞在复杂的试验中保持健康的状态。仪器在进行XYT、XYZT成像，甚至是结合多视野、拼图、超分辨的时间序列成像时，需要配置超稳定的锁焦系统使样本始终处于聚焦状态，如Olympus的Z轴漂移补偿系统IX3-ZDC2，Nikon的完美聚焦系统PFS等。进行多视野的时间序列成像时，需要配置高精度的电动载物台，或确保载物台位移精度在可接受范围内。当载物台位移精度较低时，移动到每个成像视野会有较明显的位置偏差，导致成像结果视频中观察的样本出现肉眼可见的抖动现象，高倍镜成像时会更加明显，影响数据查看及成像分析。同时结合相应的分析软件，获得所需活细胞及时间序列的成像分析结果。高内涵细胞成像与分析系统大多使用转盘共聚焦显微成像技术。高内涵细胞成像与分析系统需同时具备自动化高速显微成像功能及自动化图像定量分析功能，可对多个样品快速成像，并从图片中提取大量的数据信息。转盘共聚焦显微成像技术既可以快速地获取多孔板大量的图像数据，并且相较于宽场荧光显微镜而言具有更高的图像分辨率及信噪比，可以提供全自动、高速和高分辨率成像筛选的多种解决方案，能满足药物发现和高通量生物学中多种需求。此外，使用转盘共聚焦显微成像技术还能进行z轴扫描获取三维图像，例如对类器官、组织或3D肿瘤球等三维样本成像，从而进一步分析更多的生理学相关问题。转盘共聚焦显微镜上可以添加各类功能扩展模块，例如超分辨成像模块和光刺激模块等。可以在转盘共聚焦显微镜上添加超分辨成像模块，如Olympus的超分辨技术OSR，是对共聚焦荧光显微镜截止频率附近逐渐减弱的高频信号，进行空间放大的空间频率滤波器，称为OSR滤波器。SpinSR10的SoRa转盘中，在50um针孔盘下添加了微透镜阵列，进一步缩小光斑，提升3~6倍的照明亮度。其可对细胞内深达100微米的区域进行成像，使用常规荧光染料即可在120 nm的分辨率下，采集到各种活细胞样品亚细胞结构的超分辨率图像。还可以在转盘共聚焦显微镜上添加光刺激或光操作实验模块，可进行荧光漂白后恢复FRAP、荧光漂白后缺失FLIP、荧光漂白后定位FLAP、光活化与光转换PA&PC等实验。下一篇作者将根据深圳湾实验室生物影像平台管理经验介绍生物影像平台设备管理心得及未来可提升空间，敬请期待！作者简介黄诗娴，深圳湾实验室生物影像平台助理工程师，南方医科大学生物医学工程硕士，主要负责管理激光共聚焦显微镜、活细胞成像系统、玻片扫描系统等显微成像设备，负责相关设备的管理维护、培训考核、开放共享、成像技术开发等工作。会议预告：12月20-22日生物显微技术大会火热报名中点击图片报名报名链接：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/swxw2023/

日前，由国家自然科学基金委员会、厦门大学、厦门市科技局共同承办的第五届纳米/微米工程及分子系统国际年会在厦门开幕。来自美、日、德、英、法、中等十几个国家的300余名专家学者共聚一堂，就微米、纳米及分子系统学术界前沿问题和成果展开深入探讨和交流。　　纳米技术无疑是人类科学技术史上的一场革命，虽然它目前还仅仅处在一些原理和关键技术的基础研究阶段，但参加第五届纳米/微米工程及分子系统国际年会的科学家们却坚信，这一技术必将渗透到人类生活的方方面面，让人们的生活变得更加美好。　　本次年会共收录论文330余篇。期间，还将举行第一届MEMS传感器应用国际比赛，来自全球7个国家的17所高校的学生们将把一些美妙的微纳米科技想法变为具体实物，接受专家学者的评判。　　作为每年一度的国际学术盛会，纳米/微米工程及分子系统国际年会由美国电气电子工程师协会主办，旨在推动最新研究成果的共享，促进跨领域学科信息的互通，从而增进相关技术领域的交流与发展。　　厦门大学是中国较早从事微米纳米科研工作的单位之一。上世纪90年代，厦门大学在厦门市政府以及著名校友中国台湾新竹高科技工业园区创始人何宜慈，国际传感器学会原会长、美国凯斯西储大学葛文勋教授等的大力支持下筹建萨本栋微机电研究中心，为厦门大学及中国南方省区从事微纳米科技研究提供了重要的技术平台。厦门大学校长朱崇实表示，厦门大学从成立之日起，就把国家和人民的需求放在自己最关注的位置上。近年来，学校紧紧抓住中国创新型国家建设的重大战略机遇，着力增强自主创新能力，取得一系列高显示度的科研成果，加快了微纳米科技基础研究和应用开发的步伐。

7月28日，清源创新实验室公开招标购买原子力显微镜、激光拉曼光谱仪，预算480万元。　　项目编号：[350500]FJHDCG[GK]2021001　　项目名称：清源创新实验室原子力显微镜、激光拉曼光谱仪设备货物类采购项目　　采购方式：公开招标　　预算金额：4800000元　　包1：　　合同包预算金额：1850000元　　投标保证金：0元　　采购需求：(包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等)品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算（元）1-1A02100301-显微镜原子力显微镜1（台）是1 扫描器：▲1.1 XYZ 三轴闭环扫描器：XY方向扫描范围≥90微米；Z方向扫描范围≥9微米；扫描器Z方向实际测试噪声水平：小于0.03 nm （RMS）；XY方向实际测试噪声水平：≤0.1nm （RMS）。1.2 具备探针扫描的扫描器，扫描过程中样品为静止状态。1.3 进针方式：智能自动进针方式，采用马达加压电陶瓷自动探测的智能进针模式，以保护探针及样品。▲1.4 具备快速扫描模式，可实现≥50Hz的扫描速度。2 样品台：★2.1 样品台尺寸≥200mm；能放置最大样品高度≥15mm；样品台自动移动XY行程≥160x150mm。要求样品台可真空吸附样品，并且可360度旋转。3 控制器：3.1 控制器内置≥三个锁相放大器3.2 每条扫描线可获得更多的数据点(≥ 16,000)3.3 最少有8通道同时成像；8个通道可同时获得≥5000×5000数据点。4 功能模式▲4.1 提供智能扫描模式：要求采用以正弦波驱动压电陶瓷管做力曲线的皮牛级力作反馈进行表面成像，且力曲线频率≥2000Hz。用户只需要选择扫描范围，系统就能够在扫描过程自动调节“接触力”，“电路增益”，“扫描速度”和“扫描管的量程范围”。 ▲4.2 提供扭转共振模式：要求使用具有双压电陶瓷的探针支架来实现扭矩共振模式，监测悬臂梁扭矩共振扭转幅度或扭矩共振相移信号。4.3 提供压电力显微镜模式：具备形貌，面外和面外压电力信号同时实时扫描成像功能，不需要在单条线扫描两次。可以加载最高电压≥10V。5 其他配件★5.1要求辅助光学显微镜具备缩放功能，视野单边长度可调节范围≥200微米至1200微米。单视野最大范围≥1mm*1.4mm，以便于大范围观察样品并定位到扫描区域。5.2 提供一体式落地式的隔音减震系统。5.3 提供≥150根探针。5.4 提供原子力显微镜专用镊子一套。5.5 提供标准光栅样品一个。5.6提供高性能工作站一个。5.7除现场安装调试培训以外，质保期内提供两个培训名额前往厂家国内实验室参加培训，培训时间≥4天。　　合同履行期限： 详见招标文件　　本合同包：不接受联合体投标　　包2：　　合同包预算金额：2950000元　　投标保证金：0元　　采购需求：(包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等)品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算（元）2-1A02100404-光学式分析仪器激光拉曼光谱仪1（台）否1. 总体性能：可以实现深紫外244nm、紫外325nm、可见532nm拉曼的原位表征，可以得到较高的分辨率以及低波数拉曼，同时配置了分子筛合成以及催化反应原位拉曼光谱池。2. 光谱仪：光谱仪采用三联光谱仪，可以自由切换单光栅或者三光栅模式，单光栅具有高灵敏度，三光栅具有较高的分辨率和低波数性能。光谱仪焦距≥500mm，最佳分辨率≤0.005nm，具有电动狭缝和2个检测器接口。3. 光谱范围：整体拉曼光谱范围为50-4000cm-1，其中244nm拉曼低波数可以低至100 cm-1。4. 拉曼光谱光谱分辨率：≤0.21 cm-1（1800 gr/mm, 10 μm slits, at 500 nm)。5. 光谱灵敏度：8 mW 244nm激发时，特氟龙拉曼信号＞ 10000 counts/s，10 mW 325nm激发时，特氟龙拉曼信号＞ 8000 counts/s。6. 光谱重复性：≤0.004 nm。7. 光栅：至少应提供9块光栅，刻线为2400、1800、1200 各三块，其闪耀波长为240nm、300nm、500nm，闪耀波长附近的效率均大于70%。8. 探测器：应配备紫外增强科研级探测器，可以制冷至-70℃，200-800 nm区间量子效率大于50%，244 nm处量子效率大于65%；分辨率≥1024×255，像素尺寸为≥26μm×26μm；FVB模式下，最快采集速度为75谱/秒。9. 显微镜：三目系统，目镜为10x，具有视频辅助，用于样品定位、成像，视频为500万像素彩色相机。10. 物镜：配有50x、15x、5x 物镜，其中15x为长工作距离物镜，工作距离大于15 mm，适用于原位表征，且其为深紫外优化设 计的，波长范围190-1100nm，透过率大于80%。11. 显微共聚焦组件：具有共焦组件，可以通过软件切换针孔，针孔具有50um、100um。用以确保收集焦点附近的信号。12. 空间分辨率：使用50x物镜时，XY方向分辨率≤0.5 um，Z方向分辨率≤0.3um。13. 激光器配置：（1）244 nm激光器：最高功率100 mW。偏振比＞100:1，光束直径(1/e2)0.6-0.9 mm，发散角0.5 -0.85mrad，相干长度＞1m，寿命3000 h以上，功率稳 定 性≤±1.0% (in 0.5 hours)；（2）325 nm激光器，最高功率35 mW。TEM00模式，偏振比＞500:1，光束直径(1/e2)＜1.2mm，发散角＜0.5 mrad，寿命2000 h，功率稳 定 性≤±2.0% (@25℃，in 4 hours)；（3）532 nm激光器：最高功率150 mW。TEM00模式，线宽＜0.01pm，偏振比＞100:1，光束直径(1/e2) 0.7±0.05mm，发散角＜1.5 mrad，寿命10000 h，功率稳 定性≤±2.0%。14. 电动平台：通过电动平台可以实现样品观察、定位、以及扫描成像功能。（1）X-Y方向上重复定位精度≤±0.7μm，负载能力≥100N，X-Y扫描范围≥114mm×75mm，分辨率≤0.01μm；（2）Z方向重复定位精度≤±0.7μm，负载能力≥140N，分辨率≤0.02μm。15. 原位池：配置四个原位池，可以通过原位拉曼软件控制反应条件以及自动化采集。（1）原位高温高压水热反应原位池：最高温度250℃；（2）高通量原位合成反应模块，可以进行12通道原位合成表征；（3）气固反应高温高压原位池：反应最高温度500℃，最高压力0.6 MPa；（4）原位液固拉曼反应池，可以进行液固相反应条件下的原位拉曼。16. 自动气路：配置四路自动气路，四路气体可以在0-200sccm范围内（或者根据需求更改）通过软件进行任意调节，并且可以进行任意比例混合，同时可以和原位池进行同步温度、流量的控制，预留升级接口和阀门。　　合同履行期限： 详见招标文件　　本合同包：不接受联合体投标　　开标时间：2021-08-24 09:30(北京时间)

一、项目基本情况项目编号：1297-2343020081B3/05(Z20230231)项目名称：同济大学材料科学与工程学院X射线微米CT（X射线显微镜）采购项目预算金额：1720万元（人民币）最高限价（如有）：1720万元（人民币）采购需求：序号产品名称数量简要技术规格备注1X射线微米CT（X射线显微镜）1套详见招标文件第八章预算：人民币1720万元整，投标报价超预算作废标处理合同履行期限：合同签订之日起200个工作日内完成并验收合格交付使用。本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目为机电产品国际招标项目，相关法规与政策均按照《机电产品国际招标投标实施办法(试行)》执行3.本项目的特定资格要求：1）按招标文件第一册第四章格式IV-9要求提供的资格证明文件；2）投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明；3）投标人须在投标截止日期前在国家商务部指定的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com)上完成有效注册（由于机电产品交易平台的注册审核需要一定时间，如投标人在决定参加本项目投标后请尽早登录该网站查询自身是否已经处于有效注册状态，以免因临近投标截止时间再来办理注册事宜而影响正常投标）。4）是否接受联合体投标：不接受5）未领购招标文件是否可以参加投标：不可以三、获取招标文件时间：2023年02月18日 至 2023年02月24日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：上海市普陀区中山北路2130号1706室方式：法人授权委托书原件（或法人授权委托书原件的扫描件）、营业执照副本原件（或加盖公章的复印件）及汇款凭据。 报名电话：025-83609978（南京）/021-52181959（上海） 报名邮箱：jshc9999@163.com 本公司对公支付宝报名付款码见附件：（转账时请务必备注公司名称+81B3/05）售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2023年03月13日 15点00分（北京时间）开标时间：2023年03月13日 15点00分（北京时间）地点：上海市普陀区中山北路2130号1706室开标大厅五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜1.本项目为国际公开招标，招标公告以机电产品招标投标电子交易平台为准；七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名称：同济大学地址：上海市杨浦区四平路1239号联系方式：陈老师 137641843802.采购代理机构信息名称：江苏省华采招标有限公司地址：上海市普陀区中山北路2130号1705室1706室联系方式：章月华、胡晓秀 联系电话：025-83603368（南京），021-52181959（上海）3.项目联系方式项目联系人：章月华、胡晓秀电话：025-83603368（南京），021-52181959（上海）附件：江苏省华采招标有限公司-收款码.pdf

近日，中国科学技术大学微纳光学与技术课题组王沛教授和鲁拥华副教授在大量程纳米位移光学感测研究方面取得重要进展。课题组利用光学超表面(metasurface)设计了一种简捷的光场偏振态空间编码，结合精巧的光学系统设计，发展了一种大量程(百微米量级)、高灵敏(亚纳米)、简捷实用的位移感测技术。该研究成果10月12日以“Ultrasensitive and long-range transverse displacement metrology with polarization-encoded metasurface”为题发表在《科学进展》上。 　　纳米精度的高灵敏位移测量对于半导体制造、精密加工和先进成像等领域都具有关键性作用。以半导体制造为例，不同层光刻图案的叠对误差对提升产品良率具有重要的作用。一般要求叠对误差测量技术(overlay metrology)的精度优于光刻线条宽度的五分之一。因此，对于10纳米以下节点的半导体制造工艺必须发展纳米及亚纳米的位移感测技术。 　　以往的研究表明，利用纳米光学天线的定向散射光场可以实现亚纳米位移感测的技术指标。课题组在先前的研究中也分别提出了硅纳米天线对(OE, 26 : 1000-1011, 2018)、表面等离激元天线对(PRL, 124, 243901, 2020)的技术方案。但是基于光学天线散射的感测方法通常只有百纳米的量程，且存在信噪比低的问题，给叠对误差测量等位移感测的实际应用带来较为苛刻的限制。 　　在这项研究工作中，课题组利用光学超表面独特的位相和偏振调控能力，将空间位置信息编码在光场的偏振取向上，并通过精巧的光学系统设计让光场两次经过超表面结构，从而将超表面相对于光束的横向位移信息转化为读出光强信息。由于超表面结构可以在亚波长精度上调控光场的偏振和位相分布，从而可以极大提高偏振空间编码的梯度，进而提高位移感测的灵敏度。 　　实验测试证明，这一偏振编码超表面系统的位移感测精度可以达到100皮米(图1)。进一步，课题组通过移相方法实现了测量范围的周期性延拓，并消除了感测灵敏度的“死区”，偏振编码超表面系统的感测量程可以拓展到200微米以上。 　　与基于光学天线散射的纳米位移感测技术不同，这项研究工作在保持亚纳米的位移感测精度的同时，极大地拓展了感测的量程，而且，通过光强读出位移信息，具有可工程化、简单可靠且精度高的特点，为其在叠对误差测量等位移感测领域的实际应用带来便捷。 图1 偏振编码超表面位移感测系统示意图和实验测试结果 　　光电子科学与技术安徽省重点实验室的臧昊峰、席铮特任教授和张植宇为该论文的共同第一作者，鲁拥华副教授和王沛教授为共同通讯作者。该工作得到了科技部重点研发项目、国家自然科学基金区域创新发展联合基金和先进激光技术安徽省实验室主任基金的经费资助。

p　　非织造布静电驻极设备，俗称无纺布加静电设备。经驻极处理的熔喷非织造布，因带有持久的静电，可依靠静电效应捕集微细尘埃，因此具有过滤效率高、过滤阻力低等优点。以“静电空气过滤网”为代表， 采用突破性携带静电的滤材，有效阻隔空气中大于0.1微米的颗粒污染物，如粉尘、毛屑、花粉、细菌等，同时超低阻抗确保节能。目前熔喷无纺布行业静电驻极设备已在各个无纺布生产厂家和设备制造厂家受到了广泛的应用。/pp　　而无纺布静电驻极设备运行过程中极易发生放电打火现象，传统的高压电源放电时可能将无纺布击穿，造成肉眼可见的孔洞；而高压电源的拉弧保护重启时间又会影响到无纺布带电的均匀性，造成部分产品带电不合格。/pp　　为了妥善解决上述问题，2003年威思曼高压电源有限公司就开始与海南欣龙专为这一应用展开了合作。经过不断的研发、改进，相继推出了了DL系列熔喷无纺布行业静电驻极设备专用的高压电源DL60P300、DL60P600、DL60P1200，以及DA100P2系列高压电源。值得骄傲的是，DL系列产品通过了欧盟CE认证，目前已经出口67个国家和地区。/pp style="text-align: center "img title="熔喷无纺布行业静电驻极设备专用高压电源_meitu_1.jpg" style="max-height: 100% max-width: 100% " alt="熔喷无纺布行业静电驻极设备专用高压电源_meitu_1.jpg" src="https://img1.17img.cn/17img/images/202004/uepic/01fa7d30-936a-40af-bd2c-f6d2ba8a555b.jpg"//pp style="text-align: center "strong熔喷无纺布行业静电驻极设备专用高压电源(电压60KV~100KV / 功率2000W)/strong/pp　　威思曼DL系列高压电源，储能小，放电打火时不会对无纺布造成伤害 纳秒级拉弧响应能力确保电源在20ms内快速重启，使带电效果均匀。而且，该系列产品是高性能标准2U(19英寸)机箱式高压电源，可提供最大输出60KV、100kV，最大功率2kW。采用数字化控制方式，可满足客户的多种控制功能需求，纳秒级拉弧响应能力确保电源无故障运行。该系列产品功能齐全，输出范围宽，还可通过软件加入自定义功能。/pp　　因为拥有出色的高压电源研发团队，完善的高压电源研发软件、测试软件，高电压绝缘技术、完善的谐振技术、超前的数字化技术等，使得威思曼公司在提供标准化的高压电源产品外，还具有针对不同应用领域需求、为客户量身定制满足其需求的高性能高压电源的能力。/pp　　strong附录：/strong/pp　　威思曼高压电源有限公司(www.wismanhv.com)是直流高压电源和一体化X射线源供应商，同时提供标准化产品和定制设计服务。产品广泛应用于医疗、工业、半导体、安全、分析仪器，实验室以及海底光纤等设备。集设计、生产和服务为一体的工厂分布于美国、英国及中国等地，并且销售中心遍布于欧洲、北美洲以及亚洲。/ppbr//p

原子力显微术（AFM）作为一种表征手段，已成功应用于研究各个领域的表面结构和性质。随着人们对多功能和更高精度的需求，原子力显微技术得到了快速发展。目前，原子力显微镜针对不同的研究对象，搭配特定的应用功能模块可以研究材料的力学、电学以及磁学等特性。其中压电力显微术（PFM）已被广泛应用于研究压电材料中的压电性和铁电性。1. 压电材料与铁电材料压电材料具有压电效应，从宏观角度来看，是机械能与电能的相互转换的实现。当对压电材料施加外力时，内部产生极化现象，表面两侧表现出相反的电荷，此过程将机械能转化为电能，为正压电效应。与之相反，若给压电材料的施加电场，材料会产生膨胀或收缩的形变，此过程将电能转化为机械能，为逆压电效应。铁电材料同时具备铁电性和压电性。铁电性指在一定温度范围内材料会产生自发极化。铁电体晶格中的正负电荷中心不重合，没有外加电场时也具有电偶极矩，并且其自发极化可以在外电场作用下改变方向。并非所有的压电材料都具有铁电性，例如压电薄膜 ZnO。压电铁电材料广泛应用于压电制动器、压电传感器系统等各个领域，与我们的生活息息相关，还应用于具有原子分辨率的科学仪器技术，例如在原子力显微镜中扫描的精度在很大程度上取决于内部压电陶瓷管扫描器的性能。2. PFM工作原理原子力显微镜是一种表面表征工具，通过检测针尖与样品间不同的相互作用力来研究样品表面的不同结构和性质。针尖由悬臂固定，激光打在悬臂的背面反射到位置敏感光电二极管上，由于针尖样品间作用力发生变化会使悬臂产生相应的形变，激光光束的位置会有所偏移，通过检测光斑的变化可获得样品的表面形貌信息。 图1 压电力显微术工作原理PFM测量中导电针尖与样品表面接触，样品需提前转移到导电衬底上，施加电压时可在针尖在样品间形成垂直电场。为检测样品的压电响应，在两者之间施加AC交流电场，由于逆压电效应，样品会出现周期性的形变。当施加电场与样品的极化方向相同时，样品会产生膨胀，反之，当施加电场与样品的极化方向相反时，样品会收缩。由于样品与针尖接触，悬臂会随着样品表面周期性振荡发生形变，悬臂挠度的变化量与样品电畴的膨胀或收缩量直接相关，被AFM锁相放大器提取，获得样品的压电响应信号。3． PFM的测量模式图2 压电力显微术的三种测量模式PFM目前有三种测量模式，分别为常规的压电力显微术、接触共振压电力显微术和双频共振追踪压电力显微术。常规的压电力显微术在测量过程中针尖的振动频率远小于其自由共振频率，将其称为Off-resonance PFM。这种模式得到的压电信号通常较小，一般需要施加更高的电压，通常薄层材料的矫顽场较小，有可能会改变样品本身的极性，不利于薄层材料压电响应的测量，存在一定的局限性。此时获得的振幅值正比于压电系数，利用针尖的灵敏度可直接将振幅得到的PFM 信号转换为样品的表面位移信息，获得材料的压电系数。接触共振的压电力显微术测量称其为contact-resonance PFM，可以有效放大信号，针尖的振动频率为针尖与样品接触时的接触共振频率，一般是针尖自由共振频率的3-5倍。此时无需施加很高的外场就能得到较强的PFM信号，不会改变样品的极化方向。此时测得 PFM 压电响应信号比常规FPM测量的响应信号幅值放大了 Q 倍（Q为共振峰品质因子），计算压电系数时需考虑放大的倍数。但此技术也存在一定的局限性，针尖的接触共振频率是在某一位置获得的，接触共振频率取决于此位置的局部刚度。在扫描的过程中，针尖与样品之间的接触面积会发生变化，引起接触共振频率的变化，若以单一的接触共振频率为针尖的振动频率会使得信号不稳定，测得的振幅信号在共振频率处放大，其余地方信号较弱，极大的影响压电系数的定量分析，得到与理论值不符的压电系数。与此同时PFM信号易与形貌信号耦合，产生串扰。双频共振追踪压电力显微术（DART-PFM）可以有效避免压电信号与形貌的串扰。在这项技术中，通过两个锁相放大器分别给针尖施加在接触共振峰两侧同一振幅位置的频率，当接触共振频率变化时，振幅会随之变化，锁相放大器中的反馈系统会通过调节激励频率消除振幅的变化，由此获得清晰的形貌和压电信号。此时在量化压电系数时需要额外的校准步骤确定振幅转化为距离单位的值，目前一般是通过三维简谐振动模型去校准修订得到压电材料的压电系数。 4. PFM的表征与应用PFM测量中可获得样品的振幅和相位图。图中相位的对比度反映样品相对于垂直电场的极化方向，振幅信息显示极化的大小以及畴壁的位置。一般来说，材料的压电响应是矢量，具有三维空间分布，可分为平行和垂直于施加外场的两个分量。图3 BFO样品的PFM表征图[1]若样品只存在与电场方向平行的极化响应，PFM所获得的振幅和相位信息可直接反映样品形变的大小和方向，若样品畴极化方向与外加电场相同，相位φ=0；若样品畴极化方向与外加电场相反，则相位φ=180°。此时垂直方向的压电响应常数可直接由获得的振幅与施加的外场计算出来，在共振频率下可以定量测量。值得说明的是，PFM获得的压电响应常数很难与块体材料相比较，因为样品在纳米尺度的性质会与块体材料有显著的不同。若样品具有平行和垂直于电场的压电响应，在施加电场时，样品的形变出现面内和面外两个方向。利用Vector PFM可以同时获得悬臂的垂直和横向位移，可以将得到的信号矢量叠加，获得样品的三维PFM图像。压电力显微术不仅可以成像，还能用于研究铁电材料的电滞回线，并且可以对铁电材料进行写畴。铁电材料的相位和振幅与施加的电压呈函数关系，测得的电滞回线和蝴蝶曲线可以用于判断铁电材料的矫顽场，矫顽场是铁电材料发生畴极化反转时的外加电压。一般的电滞回线的获取需要施加大于±10V的直流偏压，但值得注意的是较高的直流电压会增加针尖与样品间的静电力贡献，静电力信号有可能超过压电响应信号，从而掩盖畴极化反转信号。图4 SS-PFM的工作原理图开关谱学压电力显微术(SS-PFM)可以有效减小静电力的影响，原理如图4所示与普通PFM在测量电滞回线时线性施加DC电压的方式不同，SS-PFM将DC电压以脉冲的形式初步增加或减小，每隔一定的时间开启和关闭DC电压，并且持续施加AC交流电。其中DC用于改变样品的极化，AC交流电用于记录DC电压接通和关闭时的压电信号。图为研究二维异质材料MoS2/WS2压电性能时利用SS-PFM测得的材料特性曲线。 图5 二维异质材料MoS2/WS2的材料特性曲线[2]铁电材料与普通压电材料最大不同是在没有外加电场时也具有电偶极矩，并且其自发极化可以在外电场作用下改变方向，因此可利用是否能够写畴来区分铁电材料。知道压电材料的矫顽场之后可以对样品进行局部极化样品进行写畴，畴区可以自定义，正方形、周期阵列型或者更加复杂的图案。最简单的写畴是先选择一10×10μm正方形区域，其中6×6μm区域施加正偏压，4×4μ区域施加负偏压，获得回字形写畴区域，在相位图中可以清晰的看到所写畴区。图6 Si掺杂HfO2样品的回字形写畴区域[3]5. 注意事项在PFM测量中首先要保证在样品处于电场之中，在样品的前期准备时需将样品转移至导电衬底，并确定针尖和放置样品的底座可以施加电信号，此时才能保证施加电压时在针尖在样品间具有垂直电场。在PFM测量中静电效应的影响也不容忽略，导电针尖电压的电荷注入可诱导静电效应并影响材料的压电响应，导致PFM振幅和相位信息与特性曲线失真。尽管静电效应在 PFM 测试中无可避免，但可以使用弹簧常数较大的探针或者施加直流偏压来尽量减小其中的静电影响。此外针尖的磨损也会极大的影响PFM测量。由于针尖与样品间相互接触，加载力不宜过高，过高会损坏样品表面，保持恒定适中的加载力。此外使用较软的针尖在扫描过程中可以保护针尖不受磨损，并且保护样品。PFM测量中常用的针尖为PtSi涂层的导电针尖，以获得较稳定的PFM信号。参考文献[1] HERMES I M, STOMP R. Stabilizing the piezoresponse for accurate and crosstalk-free ferroelectric domain characterization via dual frequency resonance tracking, F, 2020 [C].[2] LV JIN W. Ferroelectricity in untwisted heterobilayers of transition metal dichalcogenides [J]. Science (New York, NY), 2022, 376: 973-8.[3] MARTIN D, MüLLER J, SCHENK T, et al. Ferroelectricity in Si-doped HfO2 revealed: a binary lead-free ferroelectric [J]. Adv Mater, 2014, 26(48): 8198-202.作者简介米烁：中国人民大学物理学系在读博士研究生，专业为凝聚态物理，主要研究方向为低维功能材料的原子力探针显微学研究。程志海：中国人民大学物理学系教授，博士生导师。2007年，在中国科学院物理研究所纳米物理与器件实验室，获凝聚态物理博士学位。2011年-2017年，在国家纳米科学中心纳米标准与检测重点实验室，任副研究员/研究员。曾获中国科学院“引进杰出技术人才计划”和首届“卓越青年科学家”、卢嘉锡青年人才奖等。目前，主要工作集中在先进原子力探针显微技术及其在低维量子材料与表界面物理等领域的应用基础研究。

光纤通信因其具有高带宽、低损耗、重量轻、体积小、成本低、抗电磁干扰等优点，已成为现代信息社会的支柱。同时，传统的微波无线技术也展现出了有效的泛在感知与接入能力。而将上述两种技术进行有机融合，则诞生了微波光子学。微波光子学为电子传感和通信系统提供了上述优势，但与非线性光学领域不同的是，到目前为止，电光器件需要经典调制场，其变化由电子或热噪声而不是量子涨落控制。从理论到实际的量子通讯不仅需要用于量子纠缠的组件，而且还需要一个低损耗和鲁棒性很好的网络来做进一步的数据分发和传输。超导处理器与光通信网络的接口问题是量子领域的一个开放性问题，也是目前面临的大挑战。近期，奥地利科学技术研究所（位于奥地利克洛斯特纽堡）的约翰内斯芬克小组提出了一个可能的解决办法。他们通过使用纳米机械传感器将双向和芯片可伸缩转换器的超导电路集成到大规模光纤网络中开辟了一条道路（如图一所示）。文章中介绍了一种可在毫开尔文环境下工作的腔电光收发器，其模式占用率低至0.025± 0.005噪声光子。其系统是基于铌酸锂回音壁模式谐振器，通过克尔效应与超导微波腔共振耦合。对于1.48 mw的大连续波泵浦功率，演示了X波段微波到C波段电信光的双向单边带转换，总（内部）效率为0.03%（0.7%），附加输出转换噪声为5.5光子（如图二所示）。10.7兆赫的高带宽与观测到的1.1兆赫噪声光子的非常慢的加热速率相结合使量子有限脉冲微波光学转换触手可及。该装置具有通用性和与超导量子比特兼容的特点，为实现微波场与光场之间的快速、确定的纠缠分布、超导量子比特的光介导远程纠缠以及新的多路低温电路控制和读出策略开辟了道路。图一：实验装置示意图图二：转换噪声与模式布居结果在10mK温度下，实现转换的关键是：光纤与微波芯片的对准和稳定连接需要一套用于x、y和z精密移动的位移台。实验中使用了attocube公司的 ANPx101/RES/LT-linear x-nanopositioner，ANPz101/RES/LT-linear z-nanopositioner，ANPx101/ULT/RES+/HV-Linear x-Nanopositioner和ANPz102/ULT/RES+/HV-linear z-nanopositioner系列mk环境兼容的位移台。attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造商，已为全科学家生产了4000多套位移系统，用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑，体积小，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和纳米精度扫描器。图三 attocube低温强磁场位移器，扫描器，及3DR旋转台低温mK纳米精度位移台技术特点如下： 参考文献:[1] Nature Communications 11, 4460 (2020) [2] PRX Quantum 1, 020315 (2020)

纳米压痕仪您可以使用安东帕的多功能压痕仪精确得到薄膜、涂层或基体的机械特性，例如硬度和弹性模量。仪器可以测试几乎所有材料，无论是软的、硬的、易碎的还是可延展的材料。也可以在纳米尺度上对材料的蠕变、疲劳和应力 - 应变进行研究。载荷范围大：从纳米到宏观尺度安东帕的纳米压痕仪的载荷范围大，因此几乎提供市面上最多的功能且适用性最强的解决方案。这些专用的压痕测试仪涵盖纳米、微米和宏观尺度，可用于研究无数种材料，包括金属、陶瓷、半导体和聚合物等。纳米压痕测量纳米压痕测量让您能获得材料的机械性能，如硬度、弹性模量或蠕变。在压痕测试过程中，会持续记录载荷和位移，并在仪器的实时提供载荷和位移曲线。直接得到硬度和弹性模量与传统的微米硬度测试仪相反，安东帕压痕仪不仅能够得到样品的硬度，也能够基于高精度的仪器化压入测试 (IIT) 技术得到样品的弹性模量。独特的表面参比技术真正使安东帕压痕仪远远优于其他同类仪器的设计特性是其独特的表面参比系统。我们的仪器设计结合了涵盖整个压痕仪的顶表面参比技术，对大量的压痕测试提供一致的参比。高框架刚度得益于安东帕独特的表面参比技术，纳米压痕仪的将框架距离减至最小，提供极高的框架刚度，从而直接结果就是非常高的测量精度。原子力显微镜：Tosca 系列安东帕Tosca 系列以独特的方式将先进技术与高时效操作相结合，使这款 AFM 成为非常适合科学家和工业用户等群体的纳米技术分析工具。有两种不同的型号可供选择：Tosca 400 或 Tosca 200，前者适合大样品，属于高端 AFM，后者适合中型样品以及预算有限的用户。两者提供的性能、灵活性和质量水平相同。采用模块化理念，为未来的发展做好准备现在你获得的这款仪器已经可以满足未来的需求。其设计为为不远的将来能够扩展多种功能和可能性。可以在当前系统中添加新功能和模式。设计稳固，适用于工业应用安东帕 AFM 的设计专注于工业应用。仪器的机械和电子元件已经通过耐久性测试进行了全面检查。所有关键部件都必须通过这些测试，以确保能够在运行现场多年无故障运行。 紧凑型仪器，体积小巧仪器的两大部分——主机和控制器——在实验室空间和功能方面都做了优化。安东帕的 AFM 集先进的自动化与高精度于一体，同时只需要很少的空间。例如，压电陶瓷 驱动器仍留有充足空间用于安装其他模式或模块的电子扩展卡。 切尽在掌控安东帕 AFM 简化了与仪器的交互，操作非常简单。您只需将样品放在样品台上，安装悬臂梁，然后关闭仓门即可。其余的活动（比如样品定位、接触过程等等）均由软件来执行和控制。 数秒中内即可更换悬臂梁压电陶瓷驱动器 设计精巧，您可以使用我们的悬臂梁更换工具，非常轻松、快速地更换悬臂梁。只需将压电陶瓷驱动器放入工具中，然后向内或向外滑动悬臂梁。无需用镊子将悬臂梁放入压电陶瓷驱动器中，并且能保证悬臂处于最佳放置。

nature：二维磁性材料的磁结构与相关特性研究关键词：二维铁磁材料；低温纳米精度位移台；反铁磁态；二次谐波 近年来，二维磁性材料在国际上成为备受关注的研究热点。近日，中国与美国的研究团队合作，在二维磁性材料双层三碘化铬中观测到源于层间反铁磁结构的非互易二次谐波非线性光学响应，并揭示了三碘化铬中层间反铁磁耦合与范德瓦尔斯堆叠结构的关联。同时，研究团队发现双层反铁磁三碘化铬的二次谐波信号相比于过去已知的磁致二次谐波信号（例如氧化铬Cr2O3），在响应系数上有三个以上数量的提升，比常规铁磁界面产生的二次谐波更是高出十个数量。利用这一强烈的二次谐波信号，团队成功揭示双层三碘化铬的原胞层堆叠结构的对称性。图一 双层三碘化铬的二次谐波光学显微图 运用光学二次谐波这一方法来探测二维磁性材料的磁结构与相关特性是此实验的关键。团队利用自主研发搭建的无液氦可变温强磁场显微光学扫描成像系统，完成了关键数据的探测。值得指出的是，该无液氦可变温强磁场显微光学扫描成像系统采用德国attocube公司的低温强磁场纳米精度位移台和低温扫描台来实现样品的位移和扫描。德国attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造商。公司已为全科学家生产了4000多套位移系统，用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑，体积小，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和纳米精度扫描器。图二 attocube低温强磁场位移器、扫描器attocube低温位移台技术特点如下：参考文献:Sun, Z., Yi, Y., Song, T. et al. Giant nonreciprocal second-harmonic generation from antiferromagnetic bilayer CrI3. Nature 572, 497–501 (2019). nature：石墨烯摩尔超晶格可调超导特性研究关键词：石墨烯 超晶格 高温超导高温超导性机制是凝聚态物理领域世纪性的课题。这种超导性被认为会在以Hubbard模型描述的掺杂莫特缘体中出现。近期，美国和中国的国际科研团队合作在nature上报道了在ABC-三层石墨烯（TLG）以及六方氮化硼（hBN）摩尔超晶格中发现可调超导性特征。研究人员通过施加垂直位移场，发现ABC-TLG/hBN超晶格在20K的温度下表现出莫特缘态。进一步通过冷却操作发现，在温度低于1K时，该异质结的超导特特性开始出现。通过进一步调控垂直位移场，研究人员还成功实现了超导体-莫特缘体-金属相的转变。 图1.德国attocube公司低温mK纳米旋转台电学输运工作的测量是在进行仔细的信号筛选后，本底温度为40mK的稀释制冷机内进行的。值得指出的是，样品的面内测量需要保证样品方向与磁场方向平行，这必须要求能够在低温（40mK）环境下实现良好且工作的旋转台来移动样品，确保样品与磁场方向平行。实验中使用了德国attocube公司的mK纳米精度旋转台（如图1所示）。Attocube公司可提供水平和竖直方向的旋转台，使样品与单轴线管的超导磁场方向的夹角调整为任意角度。通过电学输运结果，证实了样品中存在超导体-莫特缘体-金属相的转变（结果如图2所示），为三层石墨烯/氮化硼的超晶格超导理论模型（Habbard model）以及与之相关的反常超导性质和新奇电子态的研究提供了模型系统。 图2. ABC-TLG/hBN的超导性图左低温双轴旋转台；图右下：石墨烯/氮化硼异质节的超导性测量测试结果，样品通过attocube的mK适用旋转台旋转后方向与磁场方向平行参考文献：Guorui CHEN et al, Signatures of tunable superconductivity in a trilayer graphene moiré superlattice, Nature, 572, 215-219 (2019) nature：分数量子霍尔效应区的非线性光学研究关键词：量子霍尔效应 四波混频 化激元设计光学光子之间的强相互作用是量子科学的一项重要挑战。来自瑞士苏黎世联邦理工学院（Institute of Quantum Electronics, ETH Zürich, Zürich,）的研究团队在光学腔中嵌入一个二维电子系统的时间分辨四波混频实验，证明当电子初始处于分数量子霍尔态时，化激元间的相互作用会显著增强。此外，激子-电子相互作用导致化子-化激元的生成，还对增强系统非线性光学响应发挥重要作用。该研究有助于促进强相互作用光子系统的实现。值得指出的是，该实验在温度低于100mK的环境下进行，使用德国attocube公司的低温mK环境纳米精度位移台来实现物镜的移动和聚焦。参考文献:Knüppel, P., Ravets, S., Kroner, M. et al. Nonlinear optics in the fractional quantum Hall regime. Nature 572, 91–94 (2019). Science：NV center在加压凝聚态系统中的量子传感研究关键词：NV色心 量子传感器压力引起的影响包括平面内部性质变化与量子力学相转变。由于高压仪器内产生巨大的压力梯度，例如金刚石腔，常用的光谱测量技术受到限制。为了解决这一难题，巴黎十一大学，香港中文大学和加州伯克利大学的研究团队研发了一款新型纳米尺度传感器。研究者把量子自旋缺陷集成到金刚石压腔中来探测端压力和温度下的微小信号，这样空间分辨率不会受到衍射限限制。为此加州伯克利大学团队采用了德国attocube公司的与光学平台高度集成的闭循环低温恒温器- attoDRY800来进行试验，其中包含了attocube公司的低温纳米精度位移台，以此来实现快速并且控制金刚石压强的移动以及测量实验。参考文献：[1] S. Hsieh et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1349-1354 (2019) [2] M. Lesik, et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1359-1362 (2019)[3] K. Yau Yip et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1355-1359 (2019)

2007年，费业泰被授予国际测量与仪器委员会“终身贡献奖” 神舟浴火腾飞升空，蛟龙耐寒深潜入海，高度精密的仪器在热胀冷缩时会产生什么变化?如何才能保证它们正常运转?我国高新技术领域的每一项重大突破，都离不开精密仪器学科的支撑。　　在我国精密仪器领域，很多知名专家自称“费家军”，因为他们有着共同的导师——我国现代精度理论及工程应用的奠基人、合肥工业大学教授费业泰。在把60年人生奉献给精密仪器事业后，今年2月26日，费业泰教授在合肥逝世，享年82岁。　　60年努力，奠基我国现代精度理论及工程应用　　“精度”与“误差”这对反义词，是人类科学研究中不可回避的问题。而费业泰一辈子的工作，正是不断消除误差，追求越来越高的精度。　　1955年，费业泰在合肥工业大学留校任教，同年6月加入中国共产党，1959年来到新开办的精密仪器专业。那时，新中国工业建设刚刚起步，我国对精度与误差的研究几近空白，机械工业总是难逃噪音大、震动大、能耗大的“傻大粗”模式。　　现在精度测量以微米为标准，而当时的标准是毫米甚至厘米，相差千倍、万倍，为了改变这一切，费业泰养成了没日没夜工作的习惯。由于精密仪器特别敏感，为了确保实验质量，多年来，费业泰在忙碌一天后，晚上仍会趁夜深人静继续待在实验室。　　经过长期的研究，费业泰提出了精度误差理论，半个多世纪来，这一理论在我国社会主义现代化建设的各个领域中得到了广泛应用，并成为我国精度评定的基本方法以及精密仪器学科的理论基础。　　航天器在太空中飞行，向阳与背阳的两面温度相差数百摄氏度，由于膨胀系数标准有误，用什么材料才能确保卫星正常使用，一直长期困扰我国航空业的发展。九十年代末，时任我国某型卫星研制部门负责同志找到了费业泰。　　在大量实验的基础上，费业泰发现原有的检测方法和计算标准存在较大误区，于是创新膨胀系数的检测和制定方法，不仅成功解决了精密仪器的稳定问题，还依此提出了全新的热误差理论体系。　　在我国精密机械领域，曾一度陷入加工设备每个部件都要高精度的误区。这不仅大大提高了成本，而效果也并不稳定。针对这一情况，费业泰在我国率先提出“最好的部件在一起不一定能有最好的性能”这一理念，找到了误差传递的规律，并利用这一规律提出了新的方法，不再要求每个部件均为高精度，而是通过不同部件之间的最优组合，保证机械设备的高精度。这一方法成为我国最新精度理论的重要内容。　　60年来，费业泰承担并完成了40余项高水平科研项目，发表过320余篇论文，获得9项省部级奖励，是安徽省五一劳动奖章获得者，为我国重点科研项目解决了大量实践难题，被称为我国精度理论的开拓者。2007年，费业泰被国际测量与仪器委员会(ICMI)授予终身贡献奖。　　2010年，费业泰入选“感动工大十大人物”　　潜心钻研，淡泊名利拒绝美国抛出的“橄榄枝”　　《误差理论与数据处理》是费业泰的9本专著之一，他的学生、合肥工业大学仪器科学与光电工程学院院长于连栋教授介绍，该书1981年被列为国家重点教材，成为我国精密仪器学科理论的开拓之作。30多年来，该书再版7次，被全国200余所高校采用，很多年轻一代的杰出青年、长江学者，都是读着它迈进了精密仪器科学的殿堂。　　“做科研不能带有一点功利心。”合肥工业大学仪器科学与光电工程学院苗恩铭教授至今牢记着费业泰的教导。　　其实热误差理论，费业泰早在1980年代就已经发现并进行总结，但很长一段时间内，热误差的研究一直是领域内的“冷门”，甚至其理论的科学性也受到质疑。　　如今苗恩铭率领的热误差研究团队，在全国已处于领头羊的位置，但最初这个研究之“冷”，曾让他想到放弃。　　“科研不能追名逐利，什么方向热门做什么，你在科学的路上走不远。”费业泰的一再告诫，让苗恩铭坚持了下来。如今，热误差理论，已经成为精密仪器学科典型的三个学科方向之一。而热误差理论研究团队，也不断在我国重大项目中建功立业。　　费业泰的老伴郭子顺还记得，1989年费业泰在美国西雅图华盛顿大学做客座教授时，他所负责的波音公司一项科研项目原计划要做9个月，但在他的努力下仅用时6个月。费业泰的出色表现引起了美国方面的兴趣，向他抛出橄榄枝，表示如果他愿意留下，就可以拿到绿卡。但费业泰毫不犹豫地拒绝了，甚至放弃了应得的3个月优厚报酬，毅然提前回国。　　虽然淡薄名利，但费业泰对国内相关产业的发展一直十分关注。　　“中国数控机床的落后，让老先生一直耿耿于怀。”苗恩铭说，费业泰在1980年代发现热误差后，研究了国际上近30年来数控机床精度的发展，预测未来机床如果要提高精度，必须利用其材料结构的热特性来设计。　　当时费业泰找了很多国内大型企业，建议企业进行相关研发提高产品精度，但当时普通数控机床很好卖，他的建议被一一拒绝。1990年代中期，费业泰受邀到日本作学术报告，他的理论引起现场日本、德国专家的注意，并特意向他请教。2005年，日本企业生产了第一台热亲和数控机床，现在这种机床已经成为全世界最著名的数控机床之一。　　“现在很多国内企业产品卖不出去，又去模仿，但只能模仿个外形，其实它的核心思想是我们这边出来的，但是当年国内却没有人相信。”苗恩铭说。　　2013年，80岁的费业泰仍坚持工作　　教书育人，言传身教关注每个学生前行　　为了保证人才培养质量，费业泰不但对学生因材施教，还始终坚持在科研一线，用自己的言行给学生们做好榜样。　　“费老师知道每个学生的特点，哪怕我们毕业了，他还会一直关注着。” 于连栋说，费老师去世后，有同学在微信群里晒出老师以前寄来的信，老人家对这位学生从专业方向到人生道路，都给出了言辞真切的建议，让人十分感动。　　费业泰一生严谨，今年48岁、早已是博士生导师的胡鹏浩教授回忆起恩师的严谨时说：“怕挨训、被训怕了，但总是被训得心服口服。”　　2003年的暑假期间，时任学院副院长的胡鹏浩去找费业泰汇报工作，因穿着随意让老师很不高兴。　　最初胡鹏浩不以为然，他觉得不是工作日，也不在正式场合，穿着随便一些无所谓，但老师的反问让他意识到自己的不足：“老师说，如果现在学院有急事，需要你立即送一份材料到教育主管部门，你觉得你现在的穿着合适吗?这就是费老师的做事风格。”　　“我参加工作后，学校安排我授课，但费老师坚持让我再等一年，用一年的时间备课。” 费业泰的学生、合肥工业大学仪器科学与光电工程学院副院长夏豪杰副教授说，费老师认为“照本宣科是没有质量的授课”，只有精心准备，才能真正传授给学生知识。　　除了专业知识和严谨的科研态度，费业泰带给学生的，还有做人的道理。　　2004年，胡鹏浩评上了教授，但费业泰却说其实不希望他这么早获评，随后老先生的一席话让胡鹏浩非常感动。　　“他说虽然我评上教授，但知识的宽度和广度沉淀不够，可能会碍于面子，到哪都端着架子，不懂的也不好意思问，时间一长，就会越来越空。”胡鹏浩说，从那时起，他不管到哪，遇到不懂的就会直接问，　　2011年夏天，77岁高龄的费业泰在北京进行完一项国家专项答辩后，急着赶回合肥，由于北京暴雨，等到23点仍然不能起飞，临时也买不到火车票。　　“下着大雨，他跑到火车站，没有票又回到机场，这么大年纪，我看着很心疼，就劝他住一晚明天再走，他却坚持要当天回去。”当时随行的夏豪杰说，当天老人家等到凌晨4点，才得到登机的通知。　　早上7点，费业泰带着一身疲惫抵达合肥，随后立即赶到办公室时，这时夏豪杰才发现，费业泰坚持赶回来的原因，只是答应给一位研究生修改论文。　　“费教授辛勤工作60年，精于专业，一心教书育人，忠诚于人民的教育事业，是一位有理想信念、有道德情操、有扎实知识、有仁爱之心的好老师。”合肥工业大学党委副书记周军说。　　2013年，80岁的费业泰仍坚持工作　　2013年，费业泰与学生们在桃李园合影

8月6日，摩方精密受邀赴杭州参加为期三天的“微纳传感技术与检测创新论坛（2022）暨第七届中国微米纳米技术应用创新大会”。作为一种各类产业赖以生存和发展的“工业基石”，微纳传感器是指基于MEMS工艺的，能把被测物理量转化为电信号输出的器件，通常由敏感元件和传输原件组成。该技术近年来被广泛应用于通讯电子、仪器仪表、医疗卫生、航空航天等诸多领域，已成为推动和支撑实体经济深度融合的基础产品。本届创新大会旨在促进微系统领域学科交叉融合，推进高校—研究所—企业—政府互动机制建立，建设学术—技术—产品—用户—金融等产业创新链、产业链、资金链的生态，打造产业共性技术支撑平台，为推进智能微系统技术产品在医疗健康、汽车电子、消费终端、物联网+等领域的规模运用助力。摩方精密专业的技术团队和雄厚的技术实力，使得公司在本次大会上表现颇为亮眼。 摩方精密参加此次学术论坛，充分表明了公司投身创新领域研究工作的决心和信心，摩方精密将通过优秀科技成果的研发和转化，以实际行动促进微纳传感技术的产业化应用，推动微纳传感领域的技术创新。

关键词：低温位移台；近场扫描微波显微镜； 稀释制冷机 背景介绍扫描隧道显微镜（STM）[1]和原子力显微镜（AFM）[2]等基于扫描探针显微术（SPM）的出现使得科学家能够在纳米分辨率下去研究更多材料的物理特性及图形。以这些技术为基础的纳米技术、材料和表面科学的迅速发展，大地推动了通用和无损纳米尺度分析工具的需求。尤其对于快速增长的量子器件技术领域，需要开发与这些器件本身在同一区域（即量子相干区域）中能够兼容的SPM技术。然而，迄今为止，能够与样品进行量子相干相互作用的纳米尺度表征的工具仍非常有限。特别是在微波频率下，光子能量比光波长小几个数量，加之缺乏单光子探测器和对mK端温度的严格要求，更是一个巨大的挑战。近年来，固态量子技术飞速发展迫切需要能够在此端条件下运行的SPM探测技术。技术核心近场扫描微波显微技术（NSMM）[3]结合了微波表征和STM或AFM的优势，通过使用宽带或共振探头来实现探测。在近场模式下，空间分辨率主要取决于SPM针尺寸，可以突破衍射限的限制，获得纳米别的高分辨率图像。NSMM的各种实现方式已被广泛应用于非接触式的探测半导体器件[4]，材料中的缺陷[5]、生物样品的表面[6]及亚表面分析，以及高温超导性[7]的研究。但是在低温量子信息领域中的应用还鲜有报道。英国物理实验室NPL的塞巴斯蒂安德格拉夫（Sebastian de Graaf）小组与英国伦敦大学谢尔盖库巴特金（Sergey Kubatkin）教授小组合作开发了一种在30 mK下工作的新型低温近场扫描微波显微镜，同时，该显微镜还结合了高达6 GHz的微波表征和AFM技术，旨在满足量子技术领域的新兴需求。整个系统置于一台稀释制冷机中（如图1（b）所示），NSMM显微镜的示意图如图1（a）所示：在石英音叉上附着了一个平均光子占有率为~1的超导分形谐振器。一个可移动的共面波导被用来感应耦合到谐振器上进行微波的发射和信号的读出。整个系统的核心是德国attocube公司提供的兼容低温的铍铜材质的纳米精度位移台，该小组使用一组ANPx100和ANPz100纳米位移器将样品与针在x，y和z方向上对齐，同时使用一个小的ANPz51纳米位移器进行RF波导的纳米定位和耦合。图1.（a）NSMM显微镜的示意图。（b） 稀释制冷机中弹簧和弹簧悬挂的NSMM示意图。测量结果如图2所示，Sebastian教授演示了在单光子区域中以纳米分辨率进行扫描的结果。扫描的区域与在硅衬底上形成铝图案的样品相同。扫描显示三个金属正方形（2×2μm2）与两个较大的结构相邻，形成一个叉指电容器。叉指电容器的每个金手指有1 μm的宽度和间距，尽管在图2中，由于的形状，这些距离看起来不同。图2. 在30 mK下扫描具有相邻金属垫的交叉指电容器.（a）得到的AFM形貌图。（b） 单光子微波扫描（~1）显示了微波谐振腔的频移,微波扫描速度为0.67 μm/s.（c）高功率微波扫描结果（~270）。（d） 在调谐叉频率（30 kHz）下解调的PDH误差信号，与dfr/dz（~270）成正比。（e） 扫描获得的信噪比（SNR）作为平均光子数的函数。attocube低温位移台德国attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造公司。拥有20多年的高精度低温纳米位移台的研发和生产经验。公司已经为各地科学家提供了5000多套位移系统，用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑，体积小，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和扫描器。德国attocube公司的位移器以稳定而优异的性能、原子的定位精度、纳米位移步长和厘米位移范围深受科学家的肯定和赞誉。产品广泛应用于普通大气环境和端环境中，包括超高环境(5E-11 mbar)、低温环境（10mK）和强磁场中（31 Tesla）。图3. attocube低温强磁场纳米精度位移器，扫描器，3DR主要参数及技术特点参考文献：[1]. Binnig, G., Rohrer, H., Gerber, C. & Weibel, E. Surface studies by scanning tunneling microscopy. Phys. Rev. Lett. 49, 57 (1982).[2]. Binnig, G., Quate, C. F. & Gerber, C. Atomic force microscope. Phys. Rev. Lett. 56, 930 (1986).[3]. Bonnell, D. A. et al. Imaging physical phenomena with local probes: From electrons to photons. Rev. Mod. Phys. 84, 1343 (2012).[4]. Kundhikanjana, W., Lai, K., Kelly, M. A. & Shen, Z. X. Cryogenic microwave imaging of metalinsulator transition in doped silicon. Rev. Sci. Instrum. 82, 033705 (2011).[5]. Gregory, A. et al. Spatially resolved electrical characterization of graphene layers by an evanescent field microwave microscope. Physica E 56, 431 (2014).[6]. Gregory, A. et al. Spatially resolved electrical characterization of graphene layers by an evanescent field microwave microscope. Physica E 56, 431 (2014).[7]. Lann, A. F. et al. Magnetic-field-modulated microwave reectivity of high-Tc superconductors studied by near-field mm-wave. microscopy. Appl. Phys. Lett. 75, 1766 (1999). 更多文章信息请点击：https://doi.org/10.1038/s41598-019-48780-3

超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器 杨宏兴 1，2，付海金 1，2，胡鹏程 1，2*，杨睿韬 1，2，邢旭 1，2，于亮 1，2，常笛 1，2，谭久彬 1，2 1 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，黑龙江 哈尔滨 150080； 2 哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室，黑龙江 哈尔滨 150080 摘要 针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求，哈尔滨工业大学深入探索了传统的共 光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差 精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉仪，激 光真空波长相对准确度最高达 9. 6×10-10，位移分辨力为 0. 077 nm，光学非线性误差最低为 13 pm，最大测量速度 为 5. 37 m/s。目前该系列仪器已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测 试领域，为我国光刻机等高端装备发展提供了关键技术支撑和重要测量手段。 关键词 光学设计与制造；激光干涉；超精密高速位移测量引 言 激光干涉位移测量（DMLI）技术是一种以激光 波长为标尺，通过干涉光斑的频率、相位变化来感知位移信息的测量技术。因具有非接触、高精度、高动 态、测量结果可直接溯源等特点，DMLI 技术和仪器被广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、 精密运动测试与高端装备集成等场合。特别是在微电子光刻机等高端装备中嵌入的超精密高速激光干涉仪，已成为支撑装备达成极限工作精度和工作效率的前提条件和重要保障。以目前的主流光刻机为例，其内部通常集成有 6 轴至 22 轴以上的超精密高速激光干涉仪，来实时测量高速运动的掩模工件台、 硅片工件台的 6 自由度位置和姿态信息。根据光刻机套刻精度、产率等不同特性要求，目前对激光干涉的位移测量精度需求从数十纳米至数纳米，并将进一步突破至原子尺度即亚纳米量级；而位移测量速度需求，则从数百毫米每秒到数米每秒。 对 DMLI 技术和仪器而言，影响其测量精度和测量速度提升的主要瓶颈包括激光干涉测量的方法原理、干涉光源/干涉镜组/干涉信号处理卡等仪器关键单元特性以及实际测量环境的稳定性。围绕光刻机等高端装备提出的超精密高速测量需求，以美国 Keysight 公司（原 Agilent 公司）和 Zygo 公司为代表的国际激光干涉仪企业和研发机构，长期在高精度激光稳频、高精度多轴干涉镜组、高速高分辨力干涉信号处理等方面持续攻关并取得不断突破， 已可满足当前主流光刻机的位移测量需求。然而， 一方面，上述超精密高速激光干涉测量技术和仪器 已被列入有关国家的出口管制清单，不能广泛地支撑我国当前的光刻机研发生产需求；另一方面，上述技术和仪器并不能完全满足国内外下一代光刻机研 发所提出的更精准、更高速的位移测量需求。 针对我国光刻机等高端装备研发的迫切需求， 哈尔滨工业大学先后探索了传统的共光路双频激光干涉测量方法和新一代的非共光路双频激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差精 准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等关键技术方 面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉 仪，可在数米每秒的高测速下实现亚纳米级的高分辨力高精度位移测量，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域。该技术和仪器不仅直接为我国当前微电子光刻机研发生产提供了关键技术支撑和核心 测量手段，而且还可为我国 7 nm 及以下节点光刻机研发提供重要的共性技术储备。高精度干涉镜组设计与研制 高精度干涉镜组的 3 个核心指标包括光学非线性、热稳定性和光轴平行性，本课题组围绕这 3 个核心指标（特别是光学非线性）设计并研制了前后两代镜组。 共光路多轴干涉镜组共光路多轴干涉镜组由双频激光共轴输入，具备抗环境干扰能力强的优点，是空间约束前提下用于被测目标位置/姿态同步精准测量不可或缺的技术途径，并且是光刻机定位系统精度的保证。该类干涉镜组设计难点在于，通过复杂光路中测量臂和参考臂的光路平衡设计保证干涉镜组的热稳定性，并通过无偏分光技术和自主设计的光束平行性测量系统，保证偏振正交的双频激光在入射分光及多次反射/折射后的高度平行性［19- 20］。目前本课题组研制的 5 轴干涉镜组（图 11） 可实现热稳定性小于 10 nm/K、光学非线性误差小于 1 nm 以及任意两束光的平行性小于 8″，与国 际主流商品安捷伦 Agilent、Zygo 两束光的平行性 5″~10″相当。 图 11. 自主研制的共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图非共光路干涉镜组 非共光路干涉镜组在传统共光路镜组的基础上， 通过双频激光非共轴传输避免了双频激光的频率混叠，优化了纳米量级的光学非线性误差。2014 年，本课题组提出了一种非共光路干涉镜组结构［2，21］，具体结构如图 12 所示，测试可得该干涉镜组的光学非 线性误差为 33 pm。并进一步发现基于多阶多普勒 虚反射的光学非线性误差源，建立了基于虚反射光迹精准规划的干涉镜组光学非线性优化算法，改进并设计了光学非线性误差小于 13 pm 的非共光路干涉镜组［2-3］，并通过双层干涉光路结构对称设计保证热稳定性小于 2 nm/K［22- 25］。同时，本课题组也采用多光纤高精度平行分光，突破了共光路多轴干涉镜组棱镜组逐级多轴平行分光，致使光轴之间的平行度误差 逐级累加的固有问题，保证多光纤准直器输出光任意 两个光束之间的平行度均小于 5″。 图 12. 自主设计的非共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图基于上述高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技 术，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉仪 （图 17），其激光真空波长准确度最高达 9. 6×10-10 （k=3），位移分辨力为 0. 077 nm，最低光学非线性误差为 13 pm，最大测量速度为 5. 37 m/s（表 2）。并成功应用于上海微电子装备（集团）股份有限公司 （SMEE）、中国计量科学研究院（NIM）、德国联邦物理技术研究院（PTB）等十余家单位 ，在国产光刻机、国家级计量基准装置等高端装备的研制中发挥了关键作用。 图 17. 自主研制的系列超精密高速激光干涉仪实物图。（a）20轴以上超精密高速激光干涉仪；（b）单轴亚纳米级激光干涉仪；（c）三轴亚纳米级激光干涉仪超精密激光干涉仪在精密工程中的实际测量， 不仅考验仪器的研制水平，更考验仪器的应用水 平，如复杂系统中的多轴同步测量，亚纳米乃至皮 米量级新误差源的发现与处理，高水平的温控与隔 振环境等。下面主要介绍超精密激光干涉仪的几 个典型应用。 国产光刻机研制：多轴高速超精密激光干涉仪 在国产光刻机研制方面，多轴高速超精密激光 干涉仪是嵌入光刻机并决定其光刻精度的核心单元之一。但是，一方面欧美国家在瓦森纳协定中明确规定了该类干涉仪产品对我国严格禁运；另一方面该类仪器技术复杂、难度极大，我国一直未能完整掌握，这严重制约了国产光刻机的研制和生产。 为此，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉测量系统，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域，典型应用如图 18 所示，其各项关键指标均满足国产先进光刻机研发需求，打破了国外相关产品对我国 的禁运封锁，在国产光刻机研制中发挥了重要作用。在所应用的光刻机中，干涉仪的测量轴数可达 22 轴以上，最大测量速度可达 5. 37 m/s，激光真空 波 长/频 率 准 确 度 最 高 可 达 9. 6×10−10（k=3），位 移 分 辨 力 可 达 0. 077 nm，光 学 非 线 性 误 差 最 低 为 13 pm。 配 合 超 稳 定 的 恒 温 气 浴（3~5 mK@ 10 min）和隔振环境，可以对光刻机中双工件台的多维运动进行线位移、角位移同步测量与解耦，以满足掩模工件台、硅片工件台和投影物镜之间日益复杂的相对位置/姿态测量需求，进而保证光刻机整体套刻精度。图 18. 超精密高速激光干涉测量系统在光刻机中的应用原理及现场照片国家级计量基准装置研制：亚纳米精度激光干涉仪 在国家级计量基准装置研制方面，如何利用基本物理常数对质量单位千克进行重新定义，被国际知名学术期刊《Nature》评为近年来世界六大科学难题之一。在中国计量科学研究院张钟华院士提出的“能量天平”方案中，关键点之一便是利用超精密激光干涉仪实现高准确度的长度测量，其要求绝对测量精度达到 1 nm 以内。为此，本课题组研制了国内首套亚纳米激光干涉仪，并成功应用于我国首套量子化质量基准装置（图 19），在量子化质量基准中 国方案的实施中起到了关键作用，并推动我国成为首批成功参加千克复现国际比对的六个国家之一［30- 32］。为达到亚纳米级测量精度，除了精密的隔振与温控环境以外，该激光干涉仪必须在真空环境 下进行测量以排除空气折射率对激光波长的影响， 其测量不确定度可达 0. 54 nm @100 mm。此外，为了实现对被测对象的姿态监测，该干涉仪的测量轴 数达到了 9 轴。图 19. 国家量子化质量基准及其中集成的亚纳米激光干涉仪 结论 近年来，随着高端装备制造、精密计量和大科学装置等精密工程领域技术的迅猛发展，光刻机等高端制造装备、能量天平等量子化计量基准装置、 空间引力波探测等重大科学工程对激光干涉测量技术提出了从纳米到亚纳米甚至皮米量级精度的 重大挑战。对此，本课题组在超精密激光干涉测量方法、关键技术和仪器工程方面取得了系列突破性进展，下一步的研究重点主要包括以下 3 个方面： 1）围绕下一代极紫外光刻机的超精密高速激光干涉仪的研制与应用。在下一代极紫外光刻机中，其移动工件台运动范围、运动精度和运动速度将进一步提升，将要求在大量程、6 自由度复杂耦合、高速运动条件下实现 0. 1 nm 及以下的位移测量精度，对激光干涉仪的研发提出严峻挑战；极紫外光刻机采用真空工作环境，可减小空气气流波动和空气折射率引入的测量误差，同时也使整个测量系统结构针对空气- 真空适应性设计的复杂性大幅度增加。2）皮米激光干涉仪的研制与国际比对。2021年， 国家自然科学基金委员会（NSFC）联合德国科学基 金会（DFG）共同批准了中德合作项目“皮米级多轴 超精密激光测量方法、关键技术与比对测试”（2021 至 2023 年）。该项目由本课题组与德国联邦物理技术研究院（PTB）合作完成，预计将分别研制下一代皮米级精度激光干涉仪，并进行国际范围内的直接 比对。3）空间引力波探测。继 2017 年美国 LIGO 地面引力波探测获诺贝尔物理学奖后，各国纷纷开展了空间引力波探测计划，这些引力波探测器实质上就是巨型的超精密激光干涉仪。其中，中国的空间引力波探测计划，将借助激光干涉仪在数百万公里距离尺度上，实现皮米精度的超精密测量，本课题组在引力波国家重点研发技术项目的支持下，将陆 续开展卫星- 卫星之间和卫星- 平台质量块之间皮米级激光干涉仪的设计和研究，特别是皮米级非线性实现和皮米干涉仪测试比对的工作，预期可对空间引力波探测起到积极的支撑作用。本课题组在超精密激光干涉测量技术与仪器领域有超过 20 年的研究基础，建成了一支能够完全自主开发全部激光干涉仪核心部件、拥有完整自主知识产权的研究团队，并且在研究过程中得到了 12 项国家自然科学基金、2 项国家科技重大专项、2 项 国家重点研发计划等项目的支持，建成了超精密激光测量仪器技术研发平台和产业化平台，开发了系列超精密激光干涉测量仪，在国产先进光刻机研发、我国量子化质量基准装置等场合成功应用，推动了我国微电子光刻机等高端装备领域的发展，并将通过进一步研发，为我国下一代极紫外光刻机研 发、空间引力波探测、皮米激光干涉仪国际比对提供支撑。全文详见：超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器.pdf

超精密机床基础部件与应用技术的突破，能为制造业的生存和发展提供强大技术支撑。然而此前我国的超精密机床及关键基础部件主要依赖进口。轴类零件外圆圆度加工方面，国内外基本是靠超精密的外圆磨床实现。以磨削直径100毫米、长300毫米的轴芯为例，我国的外圆磨床大概能够磨到1至2微米的水平，而国外可达到0.3至0.5微米的水平。为破解机床和关键部件“卡脖子”技术难题，国防科技大学教授戴一帆科研团队历时5年，提出轴类零件外圆圆度确定性修形加工工艺技术，使轴芯加工圆度精度提升到0.1微米，并成功研制出超精密空气静压主轴，近日经中国计量科学研究院测试，该静压主轴相关参数达到国际先进水平，这将使我国超精密加工精度有效提升。像铁锹整地那样研磨超精密零件我国超精密机床及关键基础部件此前主要依赖进口，最大的技术难题在于缺少加工核心零件的“工作母机”。所谓“工作母机”，就是制造机器和机械的机器，又称工具机，包括车床、磨床、刨床、钻床等，是制器之器、工业自强之基。一般的机械加工是将机床精度“复印”到零件的过程，也就是说，没有精度高的机床就加工不出精度高的零件。没有精度高的零件，也就组装不出精度高的部件和机床。没有制造高精度零件的工作母机，就限制了整个超精密机床行业的发展。戴一帆科研团队长期从事现代光学制造技术研发，他们发现光学零件的最终制造精度远超出所使用的加工设备精度，而光学制造的基本原理是逐步将误差高点去除的一种精度进化加工原理，团队尝试将这种“精度进化”原理的加工方法用于机械零件高精度加工，最终通过加工原理的创新提出轴类零件外圆圆度确定性修形工艺技术，突破高精度“工作母机”的限制。芯轴多传感器在位测量。国防科技大学 供图确定性修形工艺是如何工作的？“好比使用铁锹平整一块地，就是将看上去凹凸不平的地方铲去适量的土，如此反复直到获得非常平整的地。”戴一帆说，这个过程依靠的是成套数字化设备，比如采用了高精度圆度仪获取圆柱形貌；发明了专用的控时磨削机床实现材料去除量的数字化精确可控；采用专用计算机程序计算获得磨削工具需要在特定空间位置停留的精确时间。机械取代有经验的工人师傅借助新工艺，戴一帆科研团队突破了基于精度进化原理的控时磨削加工技术，形成了圆柱类零件在位加工检测一体工艺方法，成功研制出超精密空气静压主轴。中国计量科学研究院测试结果显示，该空气静压主轴径向跳动小于15纳米、端面跳动小于15纳米。这个跳幅相当于头发丝直径的六千分之一。如果是地球这么大一根主轴的话，回转运动造成的振幅不会超过1米。测试结果还显示，空气静压主轴径向静刚度大于200N/μm、轴向静刚度大于200N/μm。通俗地说，就是主轴可以在20公斤的重力载荷下纹丝不动，变形量不会超过1微米，即头发丝直径的百分之一。对比代表美国超精密领域最高水平Precitech公司的产品手册，上述技术指标与其相当甚至更高。当前，国内外可将轴类零件外圆圆度加工研磨到零点几微米的水平，如果再要提升只能靠手工研磨修整。“我们的新技术可以摆脱对极其有经验人工师傅的依赖，能很容易地按照现代工业化的模式组织生产，促进超精密基础部件的大批量、高效率生产和应用。”戴一帆表示，超精密机床基础部件与应用技术的突破，将为制造业的生存和发展提供强大技术支撑，完善高端机床产业链配套，大幅增强高性能功能部件竞争力，促进高端精密与超精密机床方面实现国产化。他补充说，这些突破还将有效解决探测制导关键零部件超精密加工面临的超精密装备和核心工艺难题，进一步助力国防领域高端核心零件超精密加工批量化生产，实现科研成果向生产力和战斗力的快速转化。系列成果获得了湖南省十大技术攻关等项目的支持。相关成果先后发表于Materials、Micromachines等期刊上，戴一帆为通讯作者。为支撑超精密加工，促进精密测量技术发展和应用，助力制造业高质量发展，仪器信息网联合哈尔滨工业大学精密仪器工程研究院，将于2023年12月14-15日举办第二届精密测量技术与先进制造网络会议，邀请业内资深专家及仪器企业技术专家分享主题报告，就制造中的精密测量技术等进行深入的交流探讨。点击图片直达会议页面

大昌华嘉商业（中国）有限公司将于2012年4月13日在上海举办美国麦奇克微米级粒度仪用户培训。此次培训将由大昌华嘉公司应用专家进行仪器操作和维护技巧的演示及培训，欢迎新老客户届时光临。 大昌华嘉商业（中国）有限公司科技事业部专业提供分析仪器及设备，独家代理众多欧美先进仪器，产品范围包括：颗粒，物理，化学，生化，通用实验室的各类分析仪器，在中国的石油，化工，制药，食品，饮料，农业科技等诸多领域拥有大量用户，具有良好的市场声誉。大昌华嘉在中国设有多个销售，服务网点，旨在为客户提供全方位的产品和服务。 美国麦奇克有限公司（Microtrac Inc.）是世界上最著名的激光应用技术研究和制造厂商，其先进的激光粒度分析仪已广泛应用于水泥，磨料，冶金，制药，石油，石化，陶瓷，军工等领域，并成为众多行业指定的质量检测和控制的分析仪器。 培训内容： 粒度分析原理仪器结构特点日常操作SOP实验案例分析维护与保养问题交流讨论 备注：1.时间：2011年4月13日9：002.具体地址：上海市虹梅路1801号凯科国际大厦2208室 实验室3.此次培训大昌华嘉公司负责提供相关的培训资料、场地、仪器和工作餐，其他住宿、交通等生活费用自理。 回执单姓名 性别 人数 单位名称 详细地址 邮政编码 电话 传真 E-mail 您希望通过培训，能够解决您的什么问题？ 您购买的仪器型号及时间 备注：请填写并E-mail确认联系人：市场部 胡小姐联系电话：400-821-0778邮箱：joyce.hu@dksh.com

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currentcolor windowtext windowtext currentcolor border-style: none solid solid none border-width: medium 1px 1px medium padding: 0px 7px " width="482" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"凌云光技术集团有限责任公司/span/p/td/trtr style=" height:25px"td style="border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width="132" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"联系人/span/p/tdtd style="border-color: currentcolor windowtext windowtext currentcolor border-style: none solid solid none border-width: medium 1px 1px medium padding: 0px 7px " width="168" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"霍秋宝/span/p/tdtd style="border-color: currentcolor windowtext windowtext currentcolor border-style: none solid solid none border-width: medium 1px 1px medium padding: 0px 7px " width="161" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"联系邮箱/span/p/tdtd style="border-color: currentcolor windowtext windowtext currentcolor border-style: none solid solid none border-width: medium 1px 1px medium padding: 0px 7px " width="153" height="25"p style="line-height:150%"a href="mailto:qiubaohuo@lusterinc.com"span style=" line-height:150% font-family:宋体 color:windowtext text-underline:none"qiubaohuo@lusterinc.com/span/a/p/td/trtr style=" height:25px"td style="border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width="132" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"成果成熟度/span/p/tdtd colspan="3" style="border-color: currentcolor windowtext windowtext currentcolor border-style: none solid solid none border-width: medium 1px 1px medium padding: 0px 7px " width="482" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"□正在研发 □已有样机 □通过小试 □通过中试 √可以量产/span/p/td/trtr style=" height:25px"td style="border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width="132" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"合作方式/span/p/tdtd colspan="3" style="border-color: currentcolor windowtext windowtext currentcolor border-style: none solid solid none border-width: medium 1px 1px medium padding: 0px 7px " width="482" height="25"p style="line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"□技术转让 □技术入股 √合作开发 □其他/span/p/td/trtr style=" height:132px"td colspan="4" style="border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width="614" height="132"p style="line-height:150%"strongspan style=" line-height:150% font-family: 宋体"成果简介：/span/strong/pp style="line-height:150%"strongspan style=" line-height:150% font-family: 宋体"/span/strong/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/adb81df1-6867-4892-acb8-9d50b6c971c0.jpg" title="15.png" style="width: 300px height: 330px " width="300" vspace="0" hspace="0" height="330" border="0"//pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/2a943a07-2426-44b4-b288-b8e6ac67f195.jpg" title="16.png" style="width: 300px height: 319px " width="300" vspace="0" hspace="0" height="319" border="0"//pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/0e7cd376-4ddc-44e3-a639-7aa5b31e5688.jpg" title="17.png" style="width: 400px height: 233px " width="400" vspace="0" hspace="0" height="233" border="0"//pp style="text-align:center line-height:150%"strong /strong/pp style="text-align:center line-height:150%"strong /strong/pp class="MsoListParagraph" style="margin-left:24px line-height:150%"strongspan style=" line-height:150% font-family:宋体"1.span style="font:9px ' Times New Roman' " /span/span/strongstrongspan style=" line-height:150% font-family:宋体"关键技术研发成果/span/strong/pp style="margin-left:24px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"?/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"自主研发高性能大面阵相机、高速线阵相机、高亮度光源，实现高速高精度图像采集；/span/pp style="margin-left:24px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"?/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"工业视觉检测算法取得突破，实现高速高精度智能化检测；/span/pp style="margin-left:24px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"?/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"新一代混合分布式处理架构和开放式算法平台开发成功；/span/pp style="margin-left:24px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"?/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"首创基于工业大数据互联的质量管理数据信息系统和数据库；/span/pp style="margin-left:24px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"?/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"开发完善了以视觉质量检测仪为核心的行业质量检测工艺，形成国家标准。/span/pp class="MsoListParagraph" style="margin-left:24px line-height:150%"strongspan style=" line-height:150% font-family:宋体"2.span style="font:9px ' Times New Roman' " /span/span/strongstrongspan style=" line-height:150% font-family:宋体"仪器研发成果/span/strong/pp class="MsoListParagraph" style="margin-left:30px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family: Wingdings"Ø span style="font:9px ' Times New Roman' " /span/spanspan style="text-decoration:underline "span style=" line-height:150% font-family:宋体"印刷视觉质量检测仪/span/span/pp class="MsoListParagraph" style=" text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"采用高速线阵相机和专用高亮度光源，采用全新架构的PrintingPLUS 5.0软件平台，优化高速算法，实现了高精度高速检测。/span/pp class="MsoListParagraph" style="margin-left:30px text-indent:0 line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"?/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"可检点状缺陷尺寸≥/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"0.1mm/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"× 0.1mm且反差≥40DN的点缺陷；/span/pp style="margin-left:30px text-indent:0 line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"?/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"可检块状缺陷尺寸≥/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"0.15mm/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"× 0.15mm且反差≥10DN的块状缺陷；/span/pp style="margin-left:30px text-indent:0 line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"?/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"可检线状缺陷宽度≥/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"50/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"μm且反差≥10DN的运动方向线缺陷；/span/pp style="margin-left:30px text-indent:0 line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"?/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"检测速度/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"300m/min/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"。/span/pp class="MsoListParagraph" style="margin-left:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family: Wingdings"Ø span style="font:9px ' Times New Roman' " /span/spanspan style="text-decoration:underline "span style=" line-height:150% font-family: 宋体"LCD/span/spanspan style="text-decoration:underline "span style=" line-height:150% font-family:宋体"视觉质量检测仪/span/span/pp class="MsoListParagraph" style="margin-left:28px text-indent:0 line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"解决了2%低对比色斑缺陷检测，接近人眼极限，实现了高动态范围检测。/span/pp style="text-indent:23px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"?/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体" 可检缺陷尺寸≥26μm× 26μm(1/3子像素)且对比度≥15％；/span/pp style="text-indent:23px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"?/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体" 可检色斑缺陷尺寸≥2mm× 2mm且对比度≥2％。/span/pp class="MsoListParagraph" style="margin-left:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family: Wingdings"Ø span style="font:9px ' Times New Roman' " /span/spanspan style="text-decoration:underline "span style=" line-height:150% font-family: 宋体"PCB/span/spanspan style="text-decoration:underline "span style=" line-height:150% font-family:宋体"视觉质量检测仪/span/span/pp class="MsoListParagraph" style="margin-left:28px text-indent:0 line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"实现了10μm检测精度。/span/pp style="text-indent:23px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"?/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"可检测幅面/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"26”/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"× 30”；/span/pp style="text-indent:23px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"?/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"可/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"检最小线/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"密度1.2mil；/span/pp style="text-indent:23px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"?/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"可检出20%最小线宽，6μm /span/pp style="text-indent:23px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"?/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"检测速度/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"200/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"面/小时 /span/pp style="margin-left:38px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"?/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"可检短路、断路、线宽违规、线距违规、缺口、毛刺、残铜、针孔、元件多/缺、位置错误；可检孔偏、孔破、孔缺失以及凹陷缺陷。/span/pp class="MsoListParagraph" style="margin-left:24px line-height:150%"strongspan style=" line-height:150% font-family:宋体"3.span style="font:9px ' Times New Roman' " /span/span/strongstrongspan style=" line-height:150% font-family:宋体"仪器应用成果/span/strong/pp class="MsoListParagraph" style="margin-left:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family: Wingdings"Ø span style="font:9px ' Times New Roman' " /span/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"印刷视觉质量检测仪/span/pp class="MsoListParagraph" style=" text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"2016/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"年与浙江诚信包装材料有限公司签订了6台的销售合同，销售总额超过230万元。该系列设备在印刷行业得到广泛应用，在国内印刷龙头企业如浙江诚信、北京联宾、黄山永新及国际知名企业如CCL、ESSEL等实现成功推广，2017年产值过亿元。/span/pp class="MsoListParagraph" style="margin-left:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family: Wingdings"Ø span style="font:9px ' Times New Roman' " /span/spanspan style=" line-height:150% font-family: 宋体"LCD/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"视觉质量检测仪/span/pp style="margin-left:2px text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"与无锡夏普元器件有限公司、群创光电南京有限公司、友达光电厦门有限公司、深圳市德普特电子有限公司分别签订了21台、6台、12台和30台的销售合同，销售总额超过5000万元。/span/pp class="MsoListParagraph" style="margin-left:2px text-indent:21px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"本成果已进入LCD行业国内外龙头企业如夏普、群创、JDI、天马等，用于苹果IPhone、小米、华为、VIVO、OPPO手机屏幕检测。/span/pp class="MsoListParagraph" style="margin-left:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family: Wingdings"Ø span style="font:9px ' Times New Roman' " /span/spanspan style=" line-height:150% font-family: 宋体"PCB/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"视觉质量检测仪/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"已实现产品化，并与广东省梅州市领先的线路板企业兴成线路板有限公司签订3台销售合同，用于精密线路板的蚀刻质量检测。/span/p/td/trtr style=" height:75px"td colspan="4" style="border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width="614" height="75"p style="line-height:150%"strongspan style=" line-height:150% font-family: 宋体"应用前景：/span/strong/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"1/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"、3款仪器分别应用于软包装印刷品及标签印刷品检测、LCD检测、PCB检测，即工业生产中的印刷、LCD和PCB行业。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"2/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"、市场预测：/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"（1）印刷市场——体量巨大，需求旺盛，国内市场超30亿/span/pp class="MsoListParagraph" style="text-indent:23px line-height:150%"span style=" line-height: 150% font-family:宋体"全球印刷企业超过25万家，其中软包装企业超过5万家，标签企业超过3万家；中国具有一定规模（产值500万以上）的软包装彩印企业超过1万家。中国内地有6046家，其中不干胶企业有3000～4000家。/span/pp class="MsoListParagraph" style="text-indent:23px line-height:150%"span style=" line-height: 150% font-family:宋体"软包国内市场需求，整体市场容量1.5万台，产值8000万以上企业1300家，需求4500套以上；标签中国需求，保守估计未来5年行业检测设备需求量在1500台以上。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"（2）LCD市场——势在必行，增长迅猛，需求2000套以上，超20亿/span/pp class="MsoListParagraph" style="text-indent:23px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"LCD/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"平板显示器行业的发展来自四大驱动力：智能手机、平板电脑、液晶显示器、液晶电视。/span/pp style="text-indent:23px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"行业市场前景：全球规模超过1300亿美元，行业年增率为8%；中国显示屏企业是未来全球行业领导者，全球80%的后加工在中国；17亿智能手机，市场需求2000套。/span/pp style="text-indent:23px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"（3）PCB市场分析——生产必备，替代进口，国内市场超20亿/span/pp class="MsoListParagraph" style="margin-left:2px text-indent:21px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"PCB AOI/spanspan style=" line-height:150% font-family: 宋体"对于主流工艺在2/spanspan style=" line-height:150% font-family: 宋体"~/spanspan style=" line-height:150% font-family: 宋体"5mil/spanspan style=" line-height:150% font-family:宋体"的产品为必备的检测设备，市场规模巨大。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"从历史数据和行业发展情况估计，中国市场每年有400～800台PCB AOI需求的规模:设备市场规模约3～6亿元；服务市场：20%设备售价，以5～8年寿命计，规模约5亿元。/span/p/td/trtr style=" height:72px"td colspan="4" style="border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width="614" height="72"p style="line-height:150%"strongspan style=" line-height:150% font-family: 宋体"知识产权及项目获奖情况：/span/strong/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family: 宋体"1. /spanspan style=" line-height:150% font-family: 宋体"整机和核心关键技术拥有自主知识产权。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family: 宋体"2. /spanspan style=" line-height:150% font-family: 宋体"专利情况：已授权或受理的专利137件（专利名称、专利号见附件2）。/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family: 宋体"3. /spanspan style=" line-height:150% font-family: 宋体"国家、部委、省、市专项计划或国家、部委、省、市奖励：/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"（1）2015年“LCD TFT点灯视觉质量检测仪”获中国光学工程学会科技创新产品二等奖；/span/pp style="text-indent:28px line-height:150%"span style=" line-height:150% font-family:宋体"（2）2016年“印刷视觉质量检测仪”获中国光学工程学会科技创新产品三等奖/span/p/td/tr/tbody/tablepbr//p

海顿科克直线传动是世界领先的直线运动产品制造商，公司最近发布了一个驱动精密显微镜窄片平台的应用，该工作平台移动的最小步长为15微米，最大推力为13N，在这个非常紧凑空间里的实现传动要求，无疑这是一个完美的机械结构，在精密的微流体或者光学仪器中经常会有这种需求。这个结构大约有22MM宽，25.2MM高，其行程最大可以达到64MM。 一个轻型的经过阳极氧化的铝合金型材做成的底座，底座两端分别安装有螺杆衬套和电机安装支架，整个结构的核心是海顿15000系列的永磁式直线步进电机，该电机已经成功应用在几千种结构应用中，该电机不需要复杂的控制设备，只需要简单的速度脉冲和方向信号。 整个结构的移动滑块是用带有自润滑效果的聚缩醛材料做成，滑块本身带有张紧弹簧，这能使滑块在运动过程中保证运动的精确性，滑块由2根涂有TFE涂层的直线滑轨做导向。滑块由KERK的螺杆驱动，螺杆由303不锈钢制成，并且由5种导程可选，分别是0.3MM,0.4MM,0.5MM,1.0MM,2.0MM,该螺杆一端固定在底座的螺杆衬套中，由于螺杆精密，所以当电机工作时，自然可以实现高精度的运动控制。 该电动载片平台结构还可以客户化定制，比如客户特定的底座，不同的行程（最高可达64MM）,传感器安装，客户化的布线等等，都可以根据客户要求定制。 更多信息请访问海顿直线电机（常州）有限公司网站http://www.haydonkerk.com.cn

台阶仪（Profiler），又名探针式表面轮廓仪，用于样品表面从微米到纳米尺度的轮廓测量，是微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学等领域不可缺少的关键测量设备。长期以来，此类仪器被美国Bruke、美国KLA、日本Kosaka三家厂商垄断，国内尚无厂商可提供同类产品。直到2022年6月，松山湖材料实验室精密仪器研发团队自研的台阶仪出货交付，实现了国产化台阶仪零的突破！自研的台阶仪2020年冬，实验室组织走访调研半导体行业相关企业，了解到企业进口台阶仪受到一定限制，不少企业明确提出对国产化台阶仪的需求。为了满足在当前国际竞争形势下的行业共性需求，避免关键设备被“卡脖子”的风险，精密仪器研发团队当即研讨立项，将国产化台阶仪开发提上日程。团队负责人许智指出，台阶仪的研发，需要“四个超”：超精细的运动控制，超精密位移传感，超低噪声信号采集，超高平整度零部件等关键技术。精密仪器研发团队在这些方面均有丰富的经验积累和扎实的技术储备，基于此前自主研发的系列化压电驱动纳米位移台产品和扫描探针显微镜制备技术，项目组快速完成方案设计，并开始功能样机、工程样机的迭代开发。回望研发过程，可谓“一波三折”，研发团队感慨道。由于疫情，人员封控，物流暂停，供应商供货延期，芯片价格又逐日飙升，研发进度受阻。面对接踵而至的难题，团队加班加点攻关抢进度，终于在今年6月研发成功。订单交付当天，团队所有人都有一种难以言表的满足感。研发人员调试样机到深夜精密仪器研发团队台阶仪项目组至此，国产化台阶仪迈出了里程碑式的一步。科技创新的重要性不言而喻，用于科技创新的仪器设备同样重要，团队负责人许智谈到，关键测量仪器设备实现国产化，最关键之处就在于实现了自主可控。据了解，现已交付的台阶仪可满足企业实际使用的指标要求，且对比同类进口设备，成本降低了约30%。项目组研制了三种不同测试需求的型号，可供客户根据需要选择相应配置，并配套自研软件实时显示测量图表数据。目前，团队正在与十余家有相关需求的企业、科研院所洽谈合作中。精密仪器研发团队松山湖材料实验室精密仪器研发团队以自主知识产权的技术为核心，开展精密科研仪器和工业自动化设备的产业转化。桌面式扫描电子显微镜、大行程纳米位移台等产品为国内唯一量产。等离子体化学气相沉积系统、扫描隧道显微镜系统等产品达到国际一流、国内领先水平。团队产业化公司东莞市卓聚科技2020年落户松山湖国际创新创业社区，销售额当年破百万元，2021年销售额超千万元。在松山湖材料实验室的支持下，精密仪器研发团队以国家战略为导向，以市场需求为目标，力争成为有担当、有作为的尖端仪器产业化队伍。

沈阳科晶将于10月20-22日在郑州黄河迎宾馆参加“中国微米纳米技术学会第二十届学术年会暨第九届国际会议”，沈阳科晶将在现场布置展位，诚挚欢迎各位莅临参观。

2022年7月27日至29日，重庆摩方精密科技有限公司赴广州参加了为期三天的中国微米纳米技术学会第五届微流控技术应用创新论坛。论坛作为微流控技术领域的重量级盛会，已成功举办了四届，在生化分析、疾病诊断、微创外科手术、环境检测、司法鉴定和食品卫生监督等诸多行业都产生了深远的影响。本届论坛旨在总结国内外微流控技术的发展和应用的进展，探索科研发展过程中的技术瓶颈，碰撞科技创新的火花，搭建了一个以分享新技术、展示新产品、探讨新思路为主题的微流控技术应用交流平台。参与论坛的不但有国内相关行业的重量级嘉宾，还有上百位来自相关行业的杰出企业代表，摩方精密作为微纳3D打印行业的龙头企业，很荣幸受邀参加了此次论坛。7月28日上午，摩方精密技术经理彭瑛博士带来了题为《PμSL微尺度3D打印技术及其在微流控芯片中的应用》的专题报告。面投影微立体光刻（PμSL: Projection Micro Stereolithography）技术，是一种面投影光固化3D打印技术，该技术适用于制作微尺度的复杂三维结构，也因其具有高分辨率、高精度、跨尺度加工、适用材料广、加工效率高、加工成本低等诸多特点，有着目前极少能实现超高打印精度、高公差加工能力，被认为是目前最具潜力的微纳加工技术之一。因此，PμSL在微流控领域也将拥有良好的应用前景和广阔的发展空间。彭瑛博士的精彩报告引起了在场专家学者的热烈反响，得到了业内人员高度关注，也纷纷表示出进行进一步深入了解的意向。此次参会，摩方精密通过与优秀人才、企业的沟通与交流，充分展示了企业形象，体现了企业先进的发展理念、雄厚的技术实力和丰硕的科研成果。

p style="text-indent: 2em "激光粒度仪在粉体、乳液、液体雾滴的测量中有着广泛的应用，样品池则是关键的零部件之一，对激光粒度仪的粒度检测能力有重要的影响。时随境迁，在如今的科研工作和工业生产中，测量亚微米颗粒的需求越来越多，提升亚微米颗粒的测量能力是激光粒度测试技术的重要研究方向。那么常见的激光粒度仪用样品池都有哪些种类？怎样的样品池最有助于激光粒度仪测量亚微米级颗粒呢？/pp style="text-indent: 2em "（1）传统样品池/pp style="text-indent: 2em "传统样品池由两块互相平行的平板玻璃组成，待测颗粒悬浮于两块玻璃之间。其结构如下图所示：/pp style="text-indent: 2em text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201807/insimg/47b9ccda-c182-4fd4-9143-b0cf03ab95db.jpg" title="1.png"//pp/pp style="text-indent: 0em text-align: center "（传统样品池结构图）/pp style="text-indent: 2em "样品池垂直于入射光，由于悬浮介质多为液体，而液体的折射率大于空气，当散射角大于一定范围时，由于全反射的作用，散射光不能出射到空气中，从而限制了仪器对亚微米颗粒的测量能力。/pp style="text-indent: 2em "（2）梯形样品池/pp style="text-indent: 2em "用一块梯形玻璃代替了传统样品池右侧的平板玻璃，其结构如下图所示：/pp style="text-indent: 0em text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201807/insimg/149ae414-cd61-4974-a297-86a864eb9da7.jpg" title="2.png"//pp/pp style="text-indent: 0em text-align: center "（梯形样品池结构图）/pp style="text-indent: 2em "这种样品池结构只需一束照明光，且小角度散射光从梯形玻璃的平面出射，大角度散射光则从玻璃的斜面出射，避免了全反射的发生。但是，从平面出射的小角度散射光与斜面出射的超大角度散射光在空间上部分叠加，相互干扰。/pp style="text-indent: 2em "（2）三角形样品池/pp style="text-indent: 2em "用一块三角形玻璃代替了传统样品池右侧的平板玻璃，其结构如下图所示：/pp style="text-indent: 0em text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201807/insimg/be92b18a-dfa0-4afb-bc7e-9a99d307e6b9.jpg" title="3.png"//pp/pp style="text-indent: 0em text-align: center "（三角形样品池结构图）/pp style="text-indent: 2em "该方法突破全反射限制机理，与梯形样品池的散射机理相同，但是其玻璃厚度过大。/pp style="text-indent: 2em "（4）柱面镜样品池/pp style="text-indent: 2em "入射光沿着两块玻璃之间的狭缝入射，散射光则从玻璃出射。其结构如下图所示：/pp style="text-indent: 0em text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201807/insimg/20702fb4-dc04-4cb8-b91c-786f9ad31bbb.jpg" title="4.png"//pp/pp style="text-indent: 0em text-align: center "（柱面镜样品池结构图）/pp style="text-indent: 2em "该方法使４５° ～１３５° 的散射光能够出射到空气中，胶合在右侧平板玻璃上的柱面镜对相同散射角的出射光起聚焦作用，但是这种方法在小角度散射光的接收方面存在一定困难。/pp style="text-indent: 2em "（5）环形样品池/pp style="text-indent: 2em "环形样品池的透明池壁和池内的液体柱组成一个透镜组。针孔的中心和主探测器的中心对于该透镜组互为物像关系。由于该透镜组在平行于纸面的方向具有聚焦能力，而在垂直于纸面的方向不具有聚焦能力，因此在该透镜组的前面增加一个平凸柱面透镜，以实现垂直于纸面方向光线的聚焦，从而使针孔以及探测器中心相对于平凸柱面透镜也呈物像关系。其结构如下图所示：/pp style="text-indent: 0em text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201807/insimg/3aac82b4-aa81-4526-94be-fd5a39e400d0.jpg" title="5.png"//pp/pp style="text-indent: 0em text-align: center "（环形样品池结构图）/pp style="text-indent: 2em "环形样品池相比于传统样品池，具有更宽的散射角接收范围，理论上具有更小的测量下限与较高的小颗粒测量灵敏度。环形样品池法相比于其他扩展散射角的方法，理论上在０° ～１８０° 的范围内，散射光都能从池壁出射，巧妙地规避了传统方法中全反射的影响，不存在不同照明光束的数据拼接问题，也不存在不同出射面出射的散射光之间的相互干扰问题，且结构非常简单。与传统样品池测量结果的对比表明，环形样品池方法能够使仪器的测量下限接近静态光散射方法的理论极限。/pp style="text-indent: 2em "环形样品池在激光粒度仪亚微米颗粒的粒度检测中，具有独到的优势，基于环形测量池的激光粒度测试方法对亚微米颗粒具有测量下限低、测量精度高、分辨率高和可靠性高的特点，堪称是亚微米粒度检测中的“环形天使”，这样的样品池，你的激光粒度仪拥有了吗？/p

仪器信息网、中国电子显微镜学会联合报道：2021年10月15-17日，由中国电子显微镜学会主办、南方科技大学承办的“2021年全国电子显微学学术年会”在东莞市举办。大会共设置十个分会场：1）显微学理论、技术与仪器发展；2）原位电子显微学表征；3）功能材料的微结构表征；4）结构材料及缺陷、界面、表面，相变与扩散；5）先进显微分析技术在工业材料中的应用；6）扫描探针显微学（STM/AFM等）；7）扫描电子显微学（含EBSD）；8）低温电子显微学表征；9）生命科学显微成像技术研究；10）中国电子显微镜运行管理开放共享实验平台。10月17日，第八分会场（低温电子显微学表征）、第九分会场(生命科学显微成像技术研究）、第十分会场（全国电镜运行管理开放共享科研平台）分别围绕电镜在生命科学、生物学与医学、材料与能源等领域的应用，以及电镜平台管理等热点议题邀请领域内知名专家分享经验。以下是各分会场部分专家的精彩报告内容：报告人：西安交通大学教授 张磊报告题目：《基于冷冻电子显微学的水环境微观体系结构与功能机制研究》张磊教授通过三维结构重构，对水环境物质单物体形貌、多物体相互作用进行了表征，实现了结构均一样品（稳态）的原子分辨率和结构动态性样品（瞬态）的纳米分辨率。在生命物质结构与功能机理研究方面，基于冷冻透射电子显微学技术，结合分子动力学模拟方法，探明重要生物大分子及其复合物原子分辨率结构，揭示功能作用物理机理，筛选特异分子药物。报告人：南方科技大学助理教授 张晴报告题目：《超低剂量冷冻电镜实现敏感金属钾与其SEI的原子尺寸成像》传统钾离子电池面临着材料选择照搬锂电、研究方向单一、未能发挥钾电特点及优势等问题，而固态电解质膜（SEI）是反映电极材料与电解液适配性的关键，但缺乏有效手段深入探究机理。张晴通过使用超低剂量冷冻电镜首次成功获得了电子极度敏感的钾金属与钾基SEI高分辨图像，得到了钾基SEI代表性结构模型和化学组分信息，为优化钾电池电解液选择，实现商业化提供了见解和指导。报告人：浙江工业大学教授 朱艺涵报告题目：《低剂量电子显微技术在材料科学中的应用》在电子辐照下，金属有机框架（Metal-Organic Frameworks,MOFs）和共价有机框架(Covalent Organic Frameworks, COFs)的结构是不稳定的，辐照损伤的机理十分复杂。朱艺涵教授通过低剂量电子显微技术得到了的MOFs和COFs的高分辨成像，并探索了MOFs材料在能源等领域的应用。报告人：中国科学院物理研究所研究员 王雪锋报告题目：《冷冻电镜观察金属锂电池》王雪锋研究员通过冷冻电镜研究锂离子电池和金属锂电池等辐照敏感材料，得到了纳米和微米尺度的结构、成分和分布信息，发现金属锂沉积经历了非晶到结晶转变，为制备高性能锂电池提供了策略、指导和依据；同时通过冷冻电镜结合聚焦离子束等先进表征手段系统性研究了全固态电池的界面问题。报告人：浙江大学研究员 张岩报告题目：《Insights into lipid regulation of GPCR signaling》张岩在报告中提出，研究发现胆固醇稳定存在于GPCR-G复合物的冷冻电镜结构中；磷脂PI4P在5-ht1A受体功能中起关键作用；脂质不仅提供膜环境，而且调节受体活性。报告人：中国科学院生物物理研究所研究员 张名姝报告题目：《基因编码的超分辨成像探针》张名姝研究员报告中提到，超分辨荧光成像揭示了生物分子纳米尺度的精确结构和动态定位，而光电关联成像整合目标分子的特异定位和细胞环境的超微结构；发展了新探针技术，从而不断提高活细胞成像的时空分辨率，实现厚组织样品高精度光电关联成像以及双色超分辨成像；最后介绍了关于红色超分辨成像探针和双色光电关联探针的最新进展。报告人：北京大学工程师 刘轶群报告题目：《双束扫描电镜在生命科学应用详解》刘轶群使用双束扫描电镜针对不同课题，选择不同工作距离、拍照电压、束流以及制样条件的组合，完成更大尺度的三维重构；通过多种电镜结合应用，实现了如利用三维光电关联获得样品三维结构及目的蛋白定位、用APEX标记确定目的蛋白定位、使用免疫电镜确定目的蛋白定位等应用。报告人：西安交通大学医学部教授级高级工程师 陈明霞报告题目：《温度对电镜生物样品的影响》陈明霞报告中讲解了生物医学电镜样品制备中的透射电镜超薄切片技术，并研究了温度对细胞结构的影响，对于样品在戊二醛内结冰样品、直接进入液氮样品、未在戊二醛固定液内结冰样品的可用性进行了探讨。报告人：中山大学副教授 卫斌报告题目：《二维材料结构相变与亚稳相的原位研究》卫斌副教授对二维材料相变与亚稳相——二碲化钼从2H到1T’的相变、硒化镓相变与高温亚稳相、硒化铟中亚稳相进行了系统性的研究。报告人：哈尔滨工业大学（深圳）高级工程师 高尚报告题目：《EDS和EBSD的测试技术进展》高尚从扫描电镜的发展方向，谈到了电镜分析的技术限制、SDD探测的普及和几何优化、窗口优化等。随着显微分析技术的进展，SDD探测器及CMOS探测器在拓展技术适用范围的同时，降低了对测试条件的要求，并且在微观和宏观尺度上拓宽了表征范围，使得EDS和EBSD具有更高的分辨率，更快的速度和更高的效率。伴随着EDS和EBSD变得日益强大，扫描电镜可以同时具备成分、结构和成像功能，更全面地反应样品的微观特征，变得更为强大。报告人：西安交通大学工程师 张杨报告题目：《FIB-球差电镜在材料学科中的应用》张杨分享了西安交大分测中心电镜实验室的情况、FIB在材料研究中的应用、球差电镜在材料研究中的应用、电镜管理实践及规划四部分内容。报告中还分享了电镜在压电薄膜——柱状有序结构、功能氧化物薄膜-纳米共存相、弯曲氧化物薄膜、热电半导体点缺陷-置换原子等案例中的应用。报告人：浙江大学副研究员 王晋报告题目：《扫描电镜原位力学表征测试方法》王晋报告中介绍了开发的基于SEM原位一体化表征平台，通过高通量表征与大数据集成，探索从案例式研究向机器学习数据挖掘的材料研究途径；发展了先进的高温力学耦合的表征方法，借助科学手段和定量化数据，促进材料的研发水平。颁发优秀报告奖（部分合影）10月17日，随着第八分会场（低温电子显微学表征）、第九分会场(生命科学显微成像技术研究）、第十分会场（全国电镜运行管理开放共享科研平台）的报告接近尾声，2021年全国电子显微学学术年会也即将圆满结束。【系列报道】：2021年全国电子显微学学术年会生命科学与电镜平台专场集锦（上）【系列报道】：2021年全国电子显微学学术年会生命科学与电镜平台专场集锦（中）【点击报道专题链接】——2021年全国电子显微学学术年会专题