压电马达微米级位移平台

初来乍到，先问候各位大侠好！http://simg.instrument.com.cn/bbs/images/brow/em09511.gif 我这里在做金属微孔，加工完成后的微孔孔径为5-10个微米左右的，直径3mm的范围内有300个孔左右，现在想买个显微镜来看微孔测量孔径，不知道用哪种显微镜好啊？价格适中，能清晰看到微孔形状，能测量孔径 以前一直用扫描电镜在外面做测试的，但是测试费用好贵，每次又要排很长的队；一般的光学显微镜又看不清楚，也不好测量孔径的。 想请教一下论坛里的各位大哥大姐们，谁给建议一下？如果有做仪器的，能达到要求也可以直接和我联系QQ:1726430109，邮箱：brakeqiang@yahoo.cn 下面是以前扫描电镜做的几张照片：http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/07/201207301835_380672_2577690_3.jpghttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/07/201207301836_380673_2577690_3.jpg

[color=#ff0000]摘要：气动马达作为一种将压缩空气的压力能转换为旋转机械能的装置，其运行的关键是要进行驱动气体压力的控制。本文介绍了目前气动马达压力控制装置的技术现状，特别指出了现有技术中使用电空变换器存在的不足，介绍了电空变换器的更新换代产品——电气比例阀。本文对这两种新旧技术进行了详细比较，新一代的电气比例阀技术更能满足今后气动马达对小型化、集成化、智能化、精细化、高寿命和高可靠性等方面的需求。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align] 气动马达也称为风动马达，是指将压缩空气的压力能转换为旋转的机械能的装置。气动马达一般作为更复杂装置或机器的旋转动力源，它的作用相当于电动机或液压马达，即输出转矩以驱动机构作旋转运动。气动马达的主要特点有： （1）使用空气作为介质，无供应上的困难，用过的空气不需处理，放到大气中无污染 压缩空气可以集中供应，远距离输送。操纵方便，维护检修较容易。 （2）气马达具有结构简单，体积小，重量轻，马力大，操纵容易，维修方便。 （3）可以无级调速，只要控制进气阀或排气阀的开度，即控制压缩空气的流量，就能调节马达的输出功率和转速。即通过调节气源压力或者改变气流量，也可通过同时调节两者来实现。 （4）能够正转也能反转。大多数气马达只要简单地用操纵阀来改变马达进、排气方向，即能实现气马达输出轴的正转和反转，并且可以瞬时换向。在正反向转换时，冲击很小，而且不需卸负荷。 （5）工作安全，不受振动、高温、电磁、辐射等影响，适用于恶劣的工作环境，在易燃、易爆、高温、振动、潮湿、粉尘等不利条件下均能正常工作。 从上述气动马达的特点可以看出，气动马达运行的关键是压力控制。目前气动马达常用的压力控制装置如图1所，其中主要包括电空变换器（E/P或V/P转换器）和增压器，由此构成压力的开环控制，通过电流或电压信号输入就可以进行气动马达的调节。[align=center][color=#ff0000][img=气动马达常用压力控制装置结构示意图,500,359]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211301217044251_5561_3221506_3.jpg!w690x496.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#ff0000]图1 气动马达常用压力控制装置结构[/color][/align] 如果增加传感器（如旋转编码器）和PLC控制器，由此可构成闭环控制回路，传感器检测气动马达的转速等参量，PLC控制器通过检测传感器信号并与设定值比较可进行气动马达高精度的自动控制。另外，整个控制装置还可以通过增加双向阀来实现气动马达的正反转自动控制。 在图1所示的气动马达压力控制装置中，所用的电控变换器（电气转换器）是一种比较传统的压力调节装置，目前正逐渐被电气比例阀所代替。图2所示为这两种压力调节装置的对比。[align=center][color=#ff0000][img=电气比例阀和电气转换器比较表,690,520]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211301217340426_2793_3221506_3.jpg!w690x520.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#ff0000]图2 电气比例阀和电气转换器特性对比表[/color][/align] 从上述对比可以看出，电气比例阀采用了更新的技术，与传统的电气转换器相比具有更优异的性能，电气比例阀正在快速对电气转换器形成升级替换，特别是随着电气比例阀的价格逐渐降低，已逐渐成为电气压力控制领域内主要产品。 另外，由于电气比例阀内置了压力传感器和PID控制器，为很多压力和流量控制应用场合提供了极其丰富的拓展应用，即采用电气比例阀可很方便的与其他物理量（如温度、位移、出力等）的探测和控制组成更复杂的串级控制回路，实现更多工业应用领域中的精密控制功能。 特别是采用电气比例阀与超高精度PID控制器结合形成的串级控制回路，可实现超高精度定位、超低速度运转和细小载荷的控制。[align=center][/align][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]

得到了如附件所示的晶体（大小约10微米，1微米厚），长在硅片上。手头有其单晶结构。如何确定各个面的晶面指标？注：为有机晶体。论文急用，期待您的帮忙！谢谢！！我的email：lirjin at iccas.ac.cn [img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2007/08/200708202141_61460_1748765_3.jpg[/img]

三维显微激光拉曼光谱仪三维显微激光拉曼光谱仪装置Nanofinder30 　Nanofinder30 三维显微激光拉曼光谱仪装置是日本首创,世界最初的分析装置。它能在亚微米到纳米范围内,测定物质化学状态的三维图像。它由共焦激光显微镜,压电陶瓷平台(或电动扫描器)和光谱仪组成。并能自选追加原子力显微镜和近场表面增强拉曼测定的功能。 最新测量数据[ 变形Si的应力测定]PDF刊登 用二维的平面分析来评价变形Si。空间分辨率130nm, 变形率0.01%(0.1cm偏移)。 半导体/电子材料(异状物,应力,化学组成,物理结构)薄膜/保护膜(DLC,涂料,粘剂)/界面层,液晶内部构造结晶体(单壁碳纳米管,纳米晶体)光波导回路,玻璃,光学结晶等的折射率变化生物学(DNA, 蛋白质, 细胞 组织等) 以亚微米级分辨率和三维图像,能分析物质的化学结合状态空间分辨率200nm(三维共焦点模式),50nm(二维TERS模式)能同时测定光谱图像(拉曼/萤光/光致荧光PL),共焦显微镜图像,扫描探针显微镜图像(AFM/STM)和近场表面增强拉曼图像(SERS)能高速度,高灵敏度地测定样品(灵敏度:与原来之比10倍以上)不需要测定前样品处理,在空气中能进行非破坏测定全自动马达传动系统的作用,测定简单 共焦显微镜模式不能识别结晶缺陷,然而光致荧光(PL)模式却能清楚地测到结晶缺陷 共焦激光显微镜模式的形状测定 光谱窗 560 nm 用光致荧光(PL)模式测到的结晶缺陷的光谱图像(560nm的三维映像) 用AFM和共焦显微拉曼法同时测定CNT,能判定它的特性 (金属,半导体)和纯度。 同时测定单壁碳纳米管(CNT)的原子力显微镜(AFM) 形貌图像和拉曼光谱图像的例子 :拉曼光谱: 激光488nm,功率1.5mW,曝光时间2 sec,物镜100×Oil, NA=1.35, 积分时间100 sec (AFM和拉曼图像测定时) AFM形貌图像(右上)表示了单壁碳纳米管混合物的各种形状结构。图像中用数字1到8来表示其不同形状。数字1-6测得了拉曼光谱(上图所示),判定为半导体CNT。但7-8测不到拉曼光谱,所以不是半导体CNT,而可能是金属CNT(可用He-Ne激光633nm验证)。最上面表示了RBM(173cm-1), G-band(1593cm-1)及D-band(1351cm-1)的拉曼光谱图像 综合激光器和光谱分析系统的长处,坚固耐用的复合设计,卓越的仪器安定性,是纳米技术测定装置中的杰出产品。 ※日本纳米技术2004大奖“评价和测量部门”得奖. ※日本第16届中小企业优秀技术和新产品奖 “优良奖”得奖. 光学器件配置图Nanofinder30 [img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2008/12/200812071751_122565_1634361_3.jpg[/img][img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2008/12/200812071751_122566_1634361_3.jpg[/img][~122567~][~122568~]

不知大家注意过没有，有些光学仪器在移动或碰撞时，吸光度，透过率会发生改变。这是为什么？答案是：这些仪器的光学部件没有安装在光学平台上或者是质量不好的光学平台上。什么是光学平台？说的简单些，就是可以承载光学器件，例如光源，反射镜，单色器和检测器的一块平整，结实的金属台子。为了保证平稳，一般采用三个支撑柱来固定（三点形成一个面）。见下图所示：http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/02/201502021620_533917_1602290_3.jpg这种平台的平板，在高级仪器里，是由铸铝锻压而成，这种工艺一方面可以加强台子的密度比重而不会产生形变，防止光路产生扭曲；另一方面，由于使用了铝制材料，则可以减轻仪器的自身重量。例如我下面所例如的仪器，是将4厘米厚的铝板材锻压成为2厘米厚的铝平台；这样集密度大及质量轻于一体。见下图：http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/02/201502021627_533919_1602290_3.jpg大家从上图不难看出，包括光源，原子化器，单色器，检测器均安装在红色框框里的铝合金的光学平台上。如此，即使仪器不是安放在水平面很平的台面上，也不会影响光轴的走向，即光轴与平台保持平行状态。如此则保证了测试的精度。但是反观有些厂家的仪器，为了图省钱和省事，其仪器的光学平台就是用一圈角铁支撑着一块1,2毫米的铁板上而已。这种结构的平台是不能防震和移动时保证光轴不位移的要求的。因此，版友们在采购仪器时，一定要问清你们欲购买仪器的光学平台是什么结构的，以免上当。