二维压电马达线性平移台

ASM13-XY-1(1A)二维组合平移台技术指标◆调整维数；XY两维◆行程: Tx,Ty：13mm组合用产品：TSM13-1（1A）精密平移台 两个

技术指标◆调整维数:XY二维◆行程: Tx,Ty:25mm 组合用产品TSM25R-1A平移台 二个特点：采用交叉滚柱轴承，高承载，负载最小10Kg,稳定性好，且间隙小。

TSAW系列二维整体电控平移台TSAW系列电控二维整体平移台采用二维整体设计，通过步进电机控制，实现空间X Y两轴位移调整自动化。手动手轮配置电控手动均可。关键零部件：精密滚珠螺杆，弹性联轴器均为进口高品质产品，并提供整机质量保证。电机与滚珠螺杆通过弹性联轴器连接，排除空回及加工形位误差；相对运动部分采用交叉滚柱导轨滚动摩擦；安装限位开关保护产品；标准接口，方便信号传输；台面可装卡载物玻璃，底座有螺纹及通孔两种固定方式，可根据具体情况方便安装。 ■技术规格 型 号TSAW100× 100-XY-(A)行程范围(X轴*Y轴)（mm）100x 100螺杆导程(mm)4重复定位精度(&mu m)＜5； (-A＜3)8细分下分辨率(&mu m)1.25步进电机（步距角）42B(0.9° )额定工作电流（A）1.7最大负载（kg）20

仪器简介：TSAW系列电控二维整体平移台采用二维整体设计，通过步进电机控制，实现空间X Y两轴位移调整自动化。手动手轮配置电控手动均可。技术参数：型 号 TSAW100× 100-XY-(A)行程范围(X轴*Y轴)（mm） 100x 100螺杆导程(mm) 4重复定位精度(&mu m) ＜5； (-A＜3)8细分下分辨率(&mu m) 1.25步进电机（步距角） 42B(0.9° )额定工作电流（A） 1.7最大负载（kg） 20主要特点：关键零部件：精密滚珠螺杆，弹性联轴器均为进口高品质产品，并提供整机质量保证。电机与滚珠螺杆通过弹性联轴器连接，排除空回及加工形位误差；相对运动部分采用交叉滚柱导轨滚动摩擦；安装限位开关保护产品；标准接口，方便信号传输；台面可装卡载物玻璃，底座有螺纹及通孔两种固定方式，可根据具体情况方便安装。

技术指标◆调整维数；XY两维◆行程: Tx,Ty：25mm组合用产品：TSM25-2（1A）精密平移台 两个

美国Micronix 公司成立于2006 年，总部位于美国加州圣塔安那市，专注于微米和纳米定位机构的生产和研发，主要产品包括压电马达微位移平台，步进电机驱动位移台和直线电机驱动位移台。产品种类丰富，满足不同客户的需求， 特别是生物医学领域得到广泛应用。可以提供整套的解决方案，所有位移机构都有配套的控制系统。压电马达微米级位移平台特点： 超大行程 超高稳定性 超高精密，纳米级精度 可以使用在真空和无磁的环境中（需要发货前特殊处理）

ASM50-XY两维组合平移台技术指标◆调整维数:XY二维◆行程: Tx,Ty:50mm组合用产品TSM50D-1S平移台 二个特点：实现正交组合的偏大行程的手动平移,而且平台薄,减小了光路的中心高度。

技术指标◆调整维数:XY二维◆行程: Tx,Ty:75mm 组合用产品TSM75D-1C平移台 二个BP-28转接板一个

NFP-2462/3462系列多维超高精密手动平移台 说明：● NFP-2462是将单维的NFP-1462组合成XY二维的超高精密手动平移台，标准产品共3款，您也可以采购单维产品后，自行组合。● NFP-3462是在NFP-2462基础上，安装了Z轴，组合成XYZ三维的超高精密手动平移台，标准产品共3款，您也可以采购单维产品后，自行组合。 NFP-2462CC组合用产品NFP-1462C平移台两个 NFP-2462LL组合用产品NFP-1462SL平移台两个 NFP-2462RR组合用产品NFP-1462SR平移台两个 NFP-3462CCZ组合用产品NFP-1462C平移台 两个NFP-1462CZ平移台 一个NFP-462-Zkit 直角块 一个 NFP-3462LLZ组合用产品NFP-1462SL平移台 两个NFP-1462CZ平移台 一个NFP-462-Zkit 直角块 一个 NFP-3461RRZ组合用产品NFP-1461SR平移台 两个NFP-1461CZ平移台 一个NFP-461-Zkit 直角块 一个

压电二维纳米位移台，XYMF-133-100A平移台实现了在XY二维空间上的准确定位，具有分辨率高，行程大（XY轴行程±50mm），带有高精度及高分辨率的位置反馈。操作简单，定位准确，能在真空下使用等优点，可应用于需要纳米精度运动操作及定位的各个领域。压电二维纳米位移台使用压电陶瓷驱动，运动无需润滑，百分百真空兼容，并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到亚纳米级。步进和扫描双模式工作，并且在宏观行程范围内同样达到亚纳米分辨率的定位。支持开环闭环控制。 尺寸参数外形尺寸（长*宽*高）133.0*133.0*26.1mm台面平面度10 μm总重量653.8g运动参数X轴±50mmY轴±50mm运动速度上限3mm/s材料机身铝合金/驱动PZT压电陶瓷/驱动机构铍青铜/导线屏蔽线，铜线/运动控制闭环位置传感器分辨率2nm开环运动分辨率0.05nm负载垂直运动方向负载20N沿运动方向负载4N操作环境操作温度0~60℃操作湿度温度达到40℃时，相对湿度95%。（非冷凝）/是否适用真空是其它控制类型开环/闭环/驱动电压上限125V 以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的压电二维纳米位移台 XYMF-133-100A平移台的介绍，了解更多直接咨询：原文： 随着微电子、纳米科技和人工智能等领域的进一步发展，精密定位不仅在实验室用途广泛，工业界的应用也越来越多。该团队在以往研究基础上，发展出一系列具有自主知识产权的超精密定位产品，填补了国产空白。一个火柴盒大小、外壳包覆金属的小方块，通过电压控制能够实现纳米级别的精密位移，可以用于对精密度要求超.高的科学实验、精密制造和半导体工业等领域。日前，在松山湖材料实验室高.端科研设备产业化团队的实验室内，团队负责人许智展示了该团队拥有核心技术的压电驱动纳米位移台。 安徽泽攸科技有限公司为您提供压电旋转纳米位移台RF-5950A的参数、价格、型号、原理等信息，压电旋转纳米位移台RF-5950A产地为安徽、品牌为泽攸科技，型号为旋转纳米位移台，价格为面议，更多相关信息可来电咨询，公司客服电话7*24小时为您服务

技术指标◆调整维数:XY二维◆行程: Tx,Ty:25mm 组合用产品TSM25R-1A平移台 二个特点：采用交叉滚柱轴承，高承载，负载最小10Kg,稳定性好，且间隙小。

精密整体二维电动平移台EPSD系列产品介绍：精密整体二维电动平移台EPSD系列采用二维整体式设计，通过步进电机控制，可实现空间XY两轴位移调整自动化。该系列产品是OMTOOLS为解决工业生产线、自动化加工装备、自动化观测检测设备等场景中对整体式二维平面运动的需求而开发设计的整体式二维电动平移台。该系列产品采用交叉滚柱导轨及直线滑块导轨，滚珠丝杠传动，采用整体式结构设计，有效提高正交度和运动精度。中心设计有通光孔，通光孔也可另配玻璃、荧光板，实现透射、反射、散射等扫描对位观测要求，也可配铝合金盖板等直接装设备和工件等。主体材料采用高强度铝合金，表面氧化黑处理，耐磨性好，外观精美。 产品特点：■双轴整体正交设计、精度高，结构紧凑■进口高品质滚珠丝杠驱动，满足高精度、高重复频率的使用要求■采用精密交叉滚柱导轨配合高精密滑块导轨，运动平稳，承载大■中心设计有通光孔，通光孔也可另配玻璃或铝合金盖板，可灵活应用于不同工业场合■标配二相步进电机，也可根据实际使用要求换装五相步进电机或伺服电机■垂直使用需换装抱闸电机 命名规则:EPSD-20系列代码：精密整体二维电动平移台XY行程：20：20mm×20mm50：50mm×50mm100：100mm×100mm150：150mm×150mm200：200mm×200mm 选型表：型号EPSD20EPSD50 EPSD100EPSD150EPSD200 机械规格台面尺寸(mm) 125x125200x200250x250400x400450x450行程(mm)X轴：20 Y轴：20X轴：50 Y轴：50X轴：100 Y轴：100X轴：150 Y轴：150X轴：200 Y轴：200中心开口尺寸(mm)42X4290X90140x140250x250300x300极限行程时通光尺寸(mm)30x3065x6590x90125x125200x200传动机构研磨丝杆?6X1研磨丝杆?8X2研磨丝杆?8X2研磨丝杆?10x2研磨丝杆?10x2导轨（导向机构）交叉滚柱导轨交叉滚柱导轨+线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）60.58484103103自重 2.58.511.123.927.0 精度规格分辨率（μm）51010101020细分下的分辨率0.250.50.50.50.5最大速度（mm/s）55555单向定位精度（μm）≤20≤25≤30≤50≤50重复定位精度（μm）≤±5≤±5≤±8≤±10≤±10回程间隙（μm）≤5静态平行度（mm）≤0.1运动直线度（μm）≤15≤20≤25≤30≤35运动平行度（μm）≤15≤20≤25≤30≤35偏摆（“）≤30≤50≤50≤60≤65俯仰（“）≤35≤50≤50≤60≤65电气规格电机及步距角（゜）二相28步进电机，步距角1.8二相42步进电机，步距角1.8二相57步进电机，步距角1.8电机品牌及型号信浓雷赛工作电流（A）1.32.54.2电机扭矩（Nm）0.07850.61.3驱动器品牌及型号雷赛滑台接头&光栅尺接头两个DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）NPN-PCB-3L-20S-3308 NPN-PCB-3L-50S-6508NPN-PCB-1L-2508原点传感器（内置）NPN-PCB-3L-20S-3308NPN-PCB-3L-50S-6508NPN-PCB-1L-2508传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V；OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）；输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）； 负载水平负载10kg20kg20kg30kg30kg倒置负载3kg8kg8kg10kg10kg竖直负载3kg8kg8kg10kg10kg最大速度为空载情况下，按照步进电机速度为300 /转理论计算和实际测量值。

仪器简介：TSAW系列电控二维整体平移台采用二维整体设计，通过步进电机控制，实现空间X Y两轴位移调整自动化。手动手轮配置电控手动均可。技术参数：型 号 TSAW100× 100-XY-(A)行程范围(X轴*Y轴)（mm） 100x 100螺杆导程(mm) 4重复定位精度(&mu m) ＜5； (-A＜3)8细分下分辨率(&mu m) 1.25步进电机（步距角） 42B(0.9° )额定工作电流（A） 1.7最大负载（kg） 20主要特点：关键零部件：精密滚珠螺杆，弹性联轴器均为进口高品质产品，并提供整机质量保证。电机与滚珠螺杆通过弹性联轴器连接，排除空回及加工形位误差；相对运动部分采用交叉滚柱导轨滚动摩擦；安装限位开关保护产品；标准接口，方便信号传输；台面可装卡载物玻璃，底座有螺纹及通孔两种固定方式，可根据具体情况方便安装。

光纤专用平台HFA系列产品介绍：光纤专用平台HFA系列具有可实现卓越长期稳定性的不锈钢结构，交叉滚柱导轨和精密制造的导轨参考面提供了在X和Y轴上12mm的非常直的线性行程，关于任何轴的角度偏移均优于150μrad。Z轴提供了6毫米的行程。HFA系列位移台是专为精确光纤对准而设计的。顶部安装的导轨可以实现光纤夹具稳固连接。高性能位移台具有多达6个自由度，提供了出色的光纤对准解决方案。 产品特点：• 灵敏度≤1μm• 标配测微头驱动，可选配差动测微头• 不锈钢材质，稳定性高、耐腐蚀性好• 超高精密交叉滚柱导轨，灵敏度、平直度等关键指标达到先进水平 选型表：二维高稳定性光纤专用平移台HFA-YZ系列 产品型号HFA-YZY轴向调整量12mmZ轴向调整量 6mm光路中心高78.7mm偏摆150μrad 最大中心负载2.3kg自重0.8kg

OMDDH02系列大行程二维电动平移台（XZ方向）OMDDH02系列大行程二维电动平移台（XZ方向），采用精密滚珠丝杆推进，两相步进电机驱动(Z轴电机带抱闸)。标准电动平台为开环系统，可加装光栅尺，实现闭环反馈控制。采用精密直线导轨（方导轨）结构，承载能力更大，移动的稳定性和平稳性更好。二维电动台底面有安装孔，可直接用螺丝固定在各种光学平板、光学平台上面进行操作。 产品特点： U型铝合金底板精加工，表面阳极氧化处理，耐磨性好、外形美观采用进口滚珠丝杠，标配两相步进电机(Z轴电机带抱闸)，可提供较高的分辨率和定位精度；采用进口线性滑块导轨，强度更高、负载能力更强、耐用性更好；配合我公司特有的精密磨削工艺，能有效保证电移台的直线度、平直度等指标内置传感器（正负限位及零位），保证使用安全性同时可以方便的进行定位，并采用高柔线缆模组化，维护更方便具有各种行程和尺寸，产品非常丰富，采用标准安装孔位标准步进电机配有手轮，方便手动调节，可以装光栅尺，安装后闭环分辨率可达1μm OMDDH02系列小行程二维电动平移台（XZ方向） OMDDH03系列小行程二维电动平移台（XZ方向），采用精密滚珠丝杆推进，两相步进电机驱动。该系列产品主体材料采用硬质铝合金，表面黑色阳极氧化处理，耐磨性好、外型美观。产品采用交叉滚柱导轨或直线导轨，强度高、负载能力强、耐用性好，配合导轨面精密磨削技术，使该系列产品具有较高的运动精度。驱动机构采用精密滚珠丝杠（1mm 导程），标配二相步进电机（日本品牌），可提供较高的微步能力和定位精度。该系列产品非常适合集成在对空间、尺寸、重量要求较高的自动化设备、精密仪器设备中，也比较适合使用在运动范围较小、往复频率高的工业生产线中。另外平移台在通电状态下有一定锁紧能力，用户可以选配我们标准控制器对电动台进行操作，也可以自制控制器进行控制。平移台底面有安装孔，可选购我司对应型号的转接板固定在各种光学平板、光学平台上面进行操作。 产品特点U型铝合金底板精加工，表面阳极氧化处理，耐磨性好、外形美观采用小导程滚珠丝杠，标配二相步进电机，微步能力强、耐用性好采用进口交叉滚柱导轨或直线导轨，强度高、负载能力强；配合我公司特有的精密磨削工艺，能有效保证电移台的直线度、平直度等指标内置传感器（正负限位及零位），保证使用安全性同时可以方便的进行定位，并采用高柔线缆模组化，维护更方便具有各种行程和尺寸，产品非常丰富选型表：OMDDH02系列大行程二维电动平移台（XZ方向）型号OMDDH02BAOMDDH02BBOMDDH02BCOMDDH02BDOMDDH02BEOMDDH02BF 机械规格台面尺寸(mm)125X124160X160使用标准平移台X轴:100X轴:200X轴:200X轴:200X轴:300X轴:400Z轴:50Z轴:100Z轴:150Z轴:200Z轴:300Z轴:400X轴:EPSA100X轴:EPSA200X轴:EPSA200X轴:EPSA200X轴:EPSA300X轴:EPSA400Z轴:EPSA50Z轴:EPSA100Z轴:EPSA150Z轴:EPSA200Z轴:EPSA300Z轴:EPSA400传动机构精密滚珠丝杠导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重7.79.410.811.415.517.120细分开环分辨率1μm 1.25μm最大速度（mm/s）4050单向定位精度（μm）≤30重复定位精度（μm）≤±3背隙（反冲间隙）（μm）≤3回程间隙（μm）≤5静态平行度（mm）≤0.1运动直线度（μm）≤20≤30运动平行度（μm） ≤30 ≤40偏摆（“）≤30≤40俯仰（“）≤35≤55 电气规格电机及步距角（゜）二相42步进电机，步距角1.8二相57步进电机， 步距角1.8 电机品牌及型号雷赛驱动器品牌及型号雷赛滑台接头&光栅尺接头DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）欧姆龙EE-SX951原点传感器（内置）欧姆龙EE-SX951传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计60mA以下控制输出MPN开路集电极输出：DC5-24V 8mA以下残余电压0.3V以下（负载电流2mA时）输出逻辑限位传感器：检测（遮光）时输出晶体管ON（导通）；零位光电传感器：检测（遮光）时输出晶体管OFF（非导通）；负载10kg15kg OMDDH02系列小行程二维电动平移台（XZ方向）型号OMDDH02BG OMDDH02BHOMDDH2BIOMDDH02BJOMDDH02BKOMDDH02BL 机械规格台面尺寸(mm)60X6080X80100X100125X125行程(mm)X轴:20

OMSDH02交叉滚柱导轨系列二维手动平移台（XZ方向）产品介绍：OMSDH02交叉滚柱导轨系列二维手动平移台（XZ方向），主体材料采用铝合金，灵敏度高，外形尺寸小使用交叉滚柱导轨，为分厘卡或螺纹副驱动，该系列产品具有小于2um的灵敏度。平移台采用交叉滚柱导轨结构，承载能力更大，移动的稳定性和平稳性更好。采用微分头调节，可以直接读数，使用十分方便，是最广泛应用的平移台款式之一。产品底部有安装螺孔，可以直接连接其他台面，或者转接到安装底板上再固定于光学平台或平板上使用。标准产品材料是优质航空铝，如有特殊需要也可做不锈钢材质的平移台。 产品特点：■采用交叉滚柱导轨，负载能力强，耐磨性好，保证了产品的灵敏度等关键指标■ 主体材料采用铝合金，表面发黑处理，适合于光学实验等对于手动调节精度要求较高的领域使用■ 具有分厘卡驱动方式，每种产品分为左侧、右侧、中间驱动，非常灵活方便,客户可根据需求选择■产品尺寸丰富，配套性好，交货期短，性价比高。 选型表：型号OMSDH02BEOMSDH02BFOMSDH02BGOMSDH02BHOMSDH02BIOMSDH02BJ 机械规格台面尺寸(mm)40X4060X6065X6580X80100X100125X125行程(mm)X轴:13X轴:13X轴:25X轴:25X轴:25X轴:25Z轴:13Z轴:13Z轴:25Z轴:25Z轴:25Z轴:25使用标准平移台X轴: SPYD40L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD60L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD65L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD80L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD100L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD 125L(R)(ZL)(ZR)Z轴: SPYZ40L(R)Z轴: SPYZ60L(R)Z轴: SPYZ65L(R)Z轴: SPYZ80L(R)Z轴: SPYZ100L(R)Z轴: SPYZ125L(R)传动机构分厘卡导轨（导向机构）交叉滚柱导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重(kg)0.40.70.751.52.02.8 精度规格分厘卡最小读数0.01mm灵敏度2 um平行度30 um运动平行度10 um偏摆(”)25选配安装底板OMLA01NAOMLA02OMLA03OMLA04负载(kg)2.13.53.54.910.514OMSDH02燕尾副导轨系列二维手动平移台（XZ方向）产品介绍：OMSDH02燕尾副导轨系列二维手动平移台（XZ方向），采用细牙研磨丝杠调节，结构紧凑，高度较小，可在有限的空间内安装使用，调节方便。平移台采用燕尾副导轨结构，负载能力强。产品底部有标准安装螺孔，可直接固定于光学平台或平板上使用。标准产品材料是优质航空铝，如有特殊需要也可做成不锈钢材质的平移台。 产品特点：■燕尾副导轨，大行程，负载能力强■研磨丝杠螺距小，灵敏度较高■带有刻度尺，读取数据快速便捷■具有锁紧功能，锁紧效果好，稳定性高■具有各种行程和尺寸，产品非常丰富产品选型表： 型号OMSDH02BAOMSDH02BBOMSDH02BCOMSDH02BD 机械规格台面尺寸(mm)65X65行程(mm)X轴:25X轴:50X轴:75X轴:100Z轴:25Z轴:50Z轴:75Z轴:100使用标准平移台X轴:SPYB25X轴:SPYB50X轴:SPYB75X轴:SPYB100Z轴:SPYB25Z轴:SPYB50Z轴:SPYB75Z轴:SPYB100传动机构细牙研磨丝杠导轨（导向机构）燕尾副导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重(kg)0.90.951.11.3最小读数0.1mm负载5kg

产品说明双轴整体正交设计、精度高、厚度薄，空间利用率大幅提升；高品质滚珠丝杠驱动，满足高精度、高重复频率的使用要求；均采用精密交叉滚柱导轨，运动平稳，承载大；全闭合台面，实现各类安装孔组合，灵活应用于不同工业场合；标配二相步进电机，也可根据实际使用要求换装五相步进电机或伺服电机；垂直使用需换装抱闸电机； 精密整体二维电动平移台EPSF-N系列通过步进电机控制，可实现空间XY两轴位移调整自动化。该系列产品是OMTOOLS为解决工业生产线、自动化加工装备、自动化观测检测设备等场景中需求而开发设计的。采用交叉滚柱导轨，滚珠丝杠传动，整体式结构设计，有效提高正交度和运动精度。全闭式台面，提供丰富多样的安装孔组合，可以满足各类设备和工件等载物需求。主体材料采用高强度铝合金，表面氧化黑处理，耐磨性好，外观精美。

技术指标◆调整维数；XY两维◆行程: Tx,Ty：25mm组合用产品：TSM25-2（1A）精密平移台 两个

二维电控平移台（载物台）上海昊量光电推出的二维电控平移台是一款体积紧凑的大行程位移平台。该平移台采用精密的交叉滚子轴承和主轴，并进行了优化设计使平移台拥有良好的线性度和平整度。且在提供大行程的同时分辨率可达到亚微米，并且该平台拥有优异的可重复性。此二维平移台有两种不同的配置，一种是封闭框架平台，一种是中空的开放式的平台。产品特点：l 优异的重复精度l 超大行程l 体积紧凑l 可选配直线电机和步进电机l 可按客户要求进行定制 主要应用：l 显微镜平台l 圆形测量对准部件产品参数： UnitsCT250B closed frame CT250B open framemax. loadKg5050max. travelmm6060min. incr. motionmm0.10.1repeatability2 encoder increments2 encoder incrementsmaterialcoated aluminiumcoated aluminium

美国Micronix 公司成立于2006 年，总部位于美国加州圣塔安那市，专注于微米和纳米定位机构的生产和研发，主要产品包括压电马达微位移平台，步进电机驱动位移台和直线电机驱动位移台。产品种类丰富，满足不同客户的需求， 特别是生物医学领域得到广泛应用。可以提供整套的解决方案，所有位移机构都有配套的控制系统。压电马达微米级位移平台特点： 超大行程 超高稳定性 超高精密，纳米级精度 可以使用在真空和无磁的环境中（需要发货前特殊处理）

高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台产品负责人：姓名：李工(Maple)电话：（微信同号）邮箱： 昊量光电推出全新一代高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台，在保证纳米级精度（双向线性可重复性30nm）的前提下可以达到80kG（可选）的中心负载。 10 多年来，ALIO 一直专注于纳米精密运动和可重复性。由 ALIO 引入的 Nano Point Precision™ 6-D 和 True Nano™ 概念现已被 NIST 采用，并被认为是未来运动系统测量和量化的标准方法。 Nano Point Precision 6-D 包括移动工作台的所有 6 个误差自由度：它允许您根据精确点（在 3D 空间中）指示“精度数字”，并用于许多应用，从激光处理到计量。ALIO 生产一系列线性运动控制解决方案，这些解决方案的设计和制造符合可保证其性能的标准。该公司的机械轴承台可以以任何空气轴承台无法复制的精度水平运行。 在用户群体中，ALIO 提供了超精确且具有成本效益的运动控制解决方案，即使对于苛刻的应用也是如此。该公司由一支无与伦比的杰出工程师团队组成，他们痴迷于纳米级运动控制，并尽可能突破感知界限。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 带有交叉滚子轴承的整体式 XY 系统 凭借纳米直线度和纳米平面度，您可以放心，您的精度是 True Nano。该系列位移台还提供中间开口和 50 毫米至 450 毫米的行程。标准的双向可重复性小于 50 纳米，但对于更苛刻的计量和生产需求，可以提供双向可重复性为 10 纳米配置（可选）。 纳米精度由 NIST 可追溯数据保证，而不是由数据表中指示的数字保证。 也可提供不对称版本（不同的 X 和 Y 行程）。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 带有伺服电机 CM的直线工作台 由 ALIO 设计的带有伺服电机的直线工作台是希望在不牺牲 True Nano 精度的情况下限制成本的客户的理想解决方案。带有 CM 伺服电机的工作台仍然具有 ALIO 6-D 精度，但由于力较小，它们适用于所有需要低水平加速度和力的应用。该系列中的板使用集成在其他 ALIO 产品中的相同精密防滑轴承。可提供从 25 毫米到 400 毫米的行程。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 定制化需求 ALIO 真正定制其核心运动控制解决方案的能力使其与替代解决方案提供商区别开来，通过精确匹配 OEM 客户的需求以及推动纳米精密应用的极限，提供显着的附加值。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 详细参数请下载数据单

精密型电动整体平移台: ZT200-15×15产品型号ZT200-15×15结构描述X，Y轴行程15 mm台面尺寸90×90mm螺杆规格高研丝杆副（导程1 mm）导轨交叉滚柱导轨步进电机（1.8°）28STH51H-0674B主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载10 kg重量3.2kg精度描述分辨率2.5μ（无细分）0.125μ（20细分）**速度6mm/sec重复定位精度1.5μ**定位精度5μ直线度5μ运动平行度15μ俯仰50″偏摆25″回程间隙2μ丢步2μ可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)精密型电动整体平移台：ZT200-50×50产品型号ZT200-50×50结构描述X，Y轴行程50 mm台面尺寸155×155mm螺杆规格高研丝杆副（导程1 mm）导轨交叉滚柱导轨步进电机（1.8°）28STH51H-0674B主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载10 kg重量3.2kg精度描述分辨率2.5μ（无细分）0.125μ（20细分）**速度6mm /sec重复定位精度1.5μ**定位精度5μ直线度5μ运动平行度15μ俯仰50″偏摆25″回程间隙2μ丢步2μ可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)精密型电动整体平移台：ZT200-100×100产品型号ZT200-100×100结构描述X,Y轴行程100 mm台面尺寸300×300mm螺杆规格高精密滚珠螺杆（导程4 mm）导轨交叉滚柱导轨步进电机（1.8°）STP-42D3016主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载50 kg重量8.3kg精度描述分辨率20μ（无细分）1μ（20细分）**速度40mm /sec重复定位精度2μ**定位精度3μ直线度5μ运动平行度15μ俯仰50″偏摆25″回程间隙2μ丢步2μ可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)精密型电动整体平移台：ZT200-170×170产品型号ZT200-170×170结构描述行程170 mm台面尺寸300×300mm螺杆规格高精密滚珠螺杆（导程4 mm）导轨交叉滚柱导轨步进电机（1.8）57BYG主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载60 kg重量10.3kg精度描述分辨率20μ（无细分），1μ（20细分）**速度25mm /sec重复定位精度2μ**定位精度3μ直线度5μ运动平行度15μ俯仰50″偏摆25″回程间隙2μ丢步2μ可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)精密型电动整体旋转台：ZT300-XZ□产品特性：■标配步进电机和RS232接口，公司自主研发的ZD-KZ系列运动控制器可对其实现自动化控制■旋转轴系采用多道工艺精密加工而成，配合精度高，承载大，寿命长■采用精密研配的蜗轮蜗杆结构，运动舒适，可以任意正向和反向旋转且空回极小■设计精巧的消空回结构，可调整长期使用造成的空回间隙■特殊的结构设计保证了旋转台面极低的端跳和偏心，使旋转运动更加平稳■旋台的中心通孔与旋转中心有严格的同轴度要求，旋台的中心孔径有严格的配合公差限制，方便客户做精密定位■台面外围的刻度圈是激光刻划标尺，标尺可相对台面转动，方便初始定位和读数■步进电机和蜗杆通过进口高品质弹性联轴节连接，传动同步，消偏性能好，大大降低了偏心扰动且噪音小■可增加限位功能，增加初始零位，换装伺服电机，加装旋转编码器，接受产品的改制和量身定制产品型号ZT300-XZ结构描述角度范围绕X，Y，Z三轴360°台面尺寸150×150mm传动比180∶1驱动机构蜗轮和蜗杆机构导轨形式轴承步进电机(1.8°)57BYG主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑中心承载10kg重量10kg精度描述分辨率0.01°=36″（无细分）0.0005°=1.8″（20细分）速度25°/sec重复定位精度0.005°=18″**定位精度0.01°=36″端跳精度15μ空回0.005°=18″偏心20μ丢步0.005°=18″平行度100μ

二维平移光谱响应度测试探针台产品说明：TLRH系列二维平移光谱响应测试探针台是一款专用于半导体材料光电测试的系统。其功能全面，提供多种重要参数测试。系统集成高精度光谱扫描，光电流扫描以及光响应速率测试。40μm 探测光斑，实现百微米级探测器的绝对光谱响应度测量。超高稳定性光源支持长时间的连续测试，丰富的光源选择以及多层光学光路设计可扩展多路光源，例如超连续白光激光器，皮秒脉冲激光器，半导体激光器，卤素灯，氙灯等，满足不同探测器测试功能的要求。是半导体微纳器件研究的优选。产品特点：&bull 半圆形探针架，可放置6个DC探针座&bull 漏电精度100fA（吉时利2636B实测）&bull 整体位移精度3μm&bull 1微米以上电极/PAD使用&bull 兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜/金相显微镜等&bull 探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节&bull 用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统全系列 搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式通用参数：样品台尺寸8英寸样品台行程110X110mm位移精度3um漏电精度100fA线缆规格三同轴线缆探针座精度 3um显微镜移动25*25mm接口方式三同轴接口背电极可以引出背电极驱动方式精密研磨丝杆位移维度XY整体位移 行程X:100mm Y:100mm分辨率0.003mm直线度0.002mm驱动误差20°功能应用：&bull 光谱响应度；&bull 单色光/变功率IV；&bull 不同辐照度IT曲线；&bull 不同偏压下的IT曲线；&bull 光电流Mapping曲线测试；&bull 线性度测试；&bull 响应速率测试；&bull 瞬态光电压；&bull 瞬态光电流；产品示意图：产品选型：产品型号样品台尺寸样品台位移精度探针座位移精度漏电流精度TLRHF-044英寸3um3um100fATLRHF-066英寸3um3um100fATLRHF-088英寸3um3um100fA TLRHF-1212英寸3um3um100fA实验附件及常规测试步骤：光学隔振平台(台面600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。应用领域：半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

XYMF-133-100A平移台实现了在XY二维空间上的准确定位，具有分辨率高，行程大（XY轴行程±50mm），带有高精度及高分辨率的位置反馈。操作简单，定位准确，能在真空下使用等优点，可应用于需要纳米精度运动操作及定位的各个领域。压电二维纳米位移台使用压电陶瓷驱动，运动无需润滑，百分百真空兼容，并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到亚纳米级。步进和扫描双模式工作，并且在宏观行程范围内同样达到亚纳米分辨率的定位。支持开环闭环控制。 以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的压电三轴纳米探针台的介绍，了解更多直接咨询：原文： 随着微电子、纳米科技和人工智能等领域的进一步发展，精密定位不仅在实验室用途广泛，工业界的应用也越来越多。该团队在以往研究基础上，发展出一系列具有自主知识产权的超精密定位产品，填补了国产空白。一个火柴盒大小、外壳包覆金属的小方块，通过电压控制能够实现纳米级别的精密位移，可以用于对精密度要求超.高的科学实验、精密制造和半导体工业等领域。日前，在松山湖材料实验室高.端科研设备产业化团队的实验室内，团队负责人许智展示了该团队拥有核心技术的压电驱动纳米位移台。安徽泽攸科技有限公司为您提供压电旋转纳米位移台RF-5950A的参数、价格、型号、原理等信息，压电旋转纳米位移台RF-5950A产地为安徽、品牌为泽攸科技，型号为旋转纳米位移台，价格为面议，更多相关信息可来电咨询，公司客服电话7*24小时为您服务

艾博纳全自动二维样品转移台是由来自石墨烯诺奖组的研发经验并投入商业使用的基于真空吸附固定且具备快速温控与Xbox无线手柄控制的二维样品转移装置。与半自动相比，全自动二维样品转移台能够实现自动化对样品的定位和搬运，使得测试更加高效。本设备配备进口XYZ方向三轴平移台、高精度电 动旋转台可达0.001度转角、纳米级别电动升降台， 2560*1080高灵敏度CMOS显微相机，控制机箱系统三轴电动电机控制集成。通过纳米级的位置控制将二维材料从生长基底转移到目标基底，精确定位在所 需位置，为用户提供了卓越的操作体验和图像展示效果。

二维高稳定性光纤倾斜位移台HFA-T系列产品特点：材质：304不锈钢 产品介绍：OMTOOLS 二维光纤倾斜位移台HFA-T系列产品是多年积累经验研发生产的光纤专用位移平台，在光纤调整领域广泛应用，采用精密的100 TPI调节螺钉，整体不锈钢材料。整体刚性较高，能够有效的避免震动干扰，在使用时能保持较高的稳定性。关于任何轴的角度偏移均优于150μrad。最小的平移提供了光纤的两轴（θy θz）角度对准。倾斜平台安装在三维高稳定性光纤专用平移台HFA-XYZ系列的顶部，以实现五个自由度。光纤和设备支架安装到倾斜平台顶部的导轨上。 选型表：产品型号HFA-TLHFA-TR绕Z轴倾斜调整量±5°±5° 绕Y轴倾斜调整量±5°±5°光路中心高78.1mm78.1mm分辨率5"5"负载2.2kg2.2kg自重0.3kg0.3kg

光纤专用平台HFA系列产品介绍：光纤专用平台HFA系列具有可实现卓越长期稳定性的不锈钢结构，交叉滚柱导轨和精密制造的导轨参考面提供了在X和Y轴上12mm的非常直的线性行程，关于任何轴的角度偏移均优于150μrad。Z轴提供了6毫米的行程。HFA系列位移台是专为精确光纤对准而设计的。顶部安装的导轨可以实现光纤夹具稳固连接。高性能位移台具有多达6个自由度，提供了出色的光纤对准解决方案。 产品特点：• 灵敏度≤1μm• 标配测微头驱动，可选配差动测微头• 不锈钢材质，稳定性高、耐腐蚀性好• 超高精密交叉滚柱导轨，灵敏度、平直度等关键指标达到先进水平 选型表：二维高稳定性光纤专用平移台HFA-YZ系列光路中心高78.1mm偏摆150μrad最大中心负载2.3kg 产品型号HFA-YZY轴向调整量12mmZ轴向调整量 6mm光路中心高78.7mm偏摆150μrad 最大中心负载2.3kg自重0.8kg 三维高稳定性光纤专用平移台HFA-XYZ系列产品型号 HFA-XYZL（左手）/ HFA-XYZR（右手）X轴向调整量12mmY轴向调整量12mm Z轴向调整量6mm光路中心高77.6mm偏摆150μrad最大中心负载2.3kg 五维高稳定性光纤专用平移台HFA-XYZT系列产品型号HFA-XYZTL（左手）/ HFA-XYZTR（右手） X轴向调整量12mmY轴向调整量12mmZ轴向调整量6mm绕Y轴倾斜调整量±5°绕Z轴倾斜调整量±5°

二维平移光谱响应度测试探针台产品说明：TLRH系列二维平移光谱响应测试探针台是一款专用于半导体材料光电测试的系统。其功能全面，提供多种重要参数测试。系统集成高精度光谱扫描，光电流扫描以及光响应速率测试。40μm 探测光斑，实现百微米级探测器的绝对光谱响应度测量。超高稳定性光源支持长时间的连续测试，丰富的光源选择以及多层光学光路设计可扩展多路光源，例如超连续白光激光器，皮秒脉冲激光器，半导体激光器，卤素灯，氙灯等，满足不同探测器测试功能的要求。是半导体微纳器件研究的优选。产品特点：&bull 半圆形探针架，可放置6个DC探针座&bull 漏电精度100fA（吉时利2636B实测）&bull 整体位移精度3μm&bull 1微米以上电极/PAD使用&bull 兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜/金相显微镜等&bull 探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节&bull 用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统全系列 搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式通用参数：样品台尺寸4英寸样品台行程110X110mm位移精度3um漏电精度100fA线缆规格三同轴线缆 探针座精度3um显微镜移动25*25mm接口方式 三同轴接口背电极可以引出背电极驱动方式精密研磨丝杆位移维度XY整体位移行程X:100mm Y:100mm分辨率0.003mm直线度0.002mm驱动误差20°测试案列功能应用：&bull 光谱响应度；&bull 单色光/变功率IV；&bull 不同辐照度IT曲线；&bull 不同偏压下的IT曲线；&bull 光电流Mapping曲线测试；&bull 线性度测试；&bull 响应速率测试；&bull 瞬态光电压；&bull 瞬态光电流； 产品示意图：产品选型： 产品型号样品台尺寸样品台位移精度探针座位移精度 漏电流精度TLRHF-044英寸3um3um100fATLRHF-066英寸3um3um100fATLRHF-088英寸3um3um100fATLRHF-1212英寸3um3um100fA实验附件及常规测试步骤：光学隔振平台(台面600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。应用领域：半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

ASM50-XY两维组合平移台技术指标◆调整维数:XY二维◆行程: Tx,Ty:50mm组合用产品TSM50D-1S平移台 二个特点：实现正交组合的偏大行程的手动平移,而且平台薄,减小了光路的中心高度。