温控探针台探针外部移动

产品简介 Instec的真空型台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。功能特点 桌上型温控探针台，占地面积小可编程控温，涵盖-190℃~1000℃（具体由型号而定）适用 10 mm ~ 300 mm 晶圆和器件可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK*可做定制或改动，详询上海恒商温控参数 温度范围涵盖 -190℃~1000℃（具体由型号而定）加热块材质铝合金 或 银 或 陶瓷传感器/温控方式100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）最小加热/制冷速度±0.01℃/min温度分辨率0.01℃ RTD传感器0.1℃ 热电偶传感器温度稳定性±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）软件功能可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数 探针默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针探针座可从外部XYZ移动的探针臂粗调模式+微调模式，微调行程20mm点针从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置探针接口默认为BNC接头，可选三同轴接口样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口光学参数 适用光路反射光路窗片可拆卸与更替的窗片最小物镜工作距离25 mm *截面图中WD上盖窗片观察窗片范围φ50mm，大视角±40° *截面图中θ1负温下窗片除霜吹气除霜管路结构参数 适用样品10 mm ~ 50 mm 直径 （标准）*可定至300mm的样品台面样品腔高6 mm探针座可从外部XYZ移动的探针臂粗调模式+微调模式，微调行程20mm气氛控制气密腔，可充入保护气体 *另有真空腔型号外壳冷却可通循环水，以维持外壳温度在常温附近台体尺寸/重量1060 mm x 600 mm x 213.2 mm / 20kg选型表 TP102SV-PS温度范围 -40℃ ~ 180℃，真空腔HCP422V-PS温度范围 -190℃ ~ 600℃（负温需配液氮制冷系统），真空腔HP1000V-PS温度范围 35℃ ~ 1000℃，真空腔定制型号按客户需求定制，适用300mm晶圆样品

Instec来自液晶先驱院校美国科罗拉多大学的精密温控装置与液晶检测设备" _ue_custom_node_="true" 功能特点 可编程精密控温。可独立控制，也可从上位机软件控制软件可拓展性强，可提供LabView等语言的SDK#温度# 可选100℃ /200℃ / 400℃ / 600℃#温度# 可选 -190℃ / -40℃ / 常温 / 其他#腔体密封性# 可选 气密腔室 / 真空腔室#样品观察# 可选 透射光观察 / 反射光观察 / 无#样品区# 可选22x22mm / 35x35mm / 其他#台面电位# 可选 电接地 / 电悬空#电测试接口# 可选 BNC/电悬空BNC/Triaxial三同轴#探针类型# 可选 弯针探针 / 直针探针#探针支架# 可选 杠杆式 / 磁吸式#探针移动性# 可选 探针外部移动 / 探针开盖移动#霍尔效应测试# 可用非磁性材料制作，用于霍尔测试可做改动或定制，详询上海恒商另有可升至1000℃以上的超高温探针台，详询上海恒商 " _ue_custom_node_="true" 技术参数 通用性能温度分辨率0.001℃温度稳定性±0.05℃(at 100℃) 可提升稳定性控温速度±0.1℃/小时温度传感器100Ω铂质RTD温控方式开关式PID 可升级为LVDC式PID结构尺寸物镜距离8 mm样品腔高度2.5 mm 具体由探针决定样品观察范围26.5 mm 反光孔径腔室接口快速接头 (气密型号)KF16 (真空型号)*其他技术参数请参考 具体型号的彩页介绍 " _ue_custom_node_="true" 配置列表 标准温控探针台√mK2000温度控制器 软件免费，控制线有多种接口供选√选配件液氮制冷系统 包含液氮泵与液氮罐，使样品降至负温外壳水冷配件 用常温水或冰水循环防止外壳过热安装支架 把台体固定在使用平台上，防止滑动温控联动显微镜相机 温度-图像联动工作，附软件线性可变直流电源(LVDC) 装在温控器里，抑制电噪音 真空系统(真空腔型号适用) 真空泵、真空计、真空管路*注：产品有多种配置变化，详询上海恒商 " _ue_custom_node_="true" 杠杆式探针支架.vs.磁吸式探针座 杠杆式探针支架，对样品点针更准确，点针力度更大，电接触性更好。磁铁吸式探针座则通过底部的磁铁吸附于探针台外壳底座上，探针移操作方便。 欲咨询产品请访问本公司官网联系我们 本公司为美国Instec中国区总代理、瑞典FLCE(FLC Electronics)中国区代理，不经过中间商直接与原厂接触，能提供优惠的价格。

产品简介INSTEC HCP421V-MPS 通用迷你温控探针台真空型mini台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。功能特点mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备，可编程控温，涵盖-190℃~400℃，适用 10 mm ~30 mm 晶圆和器件，可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用，独立的四个探针（可升级至七个臂），可从设备外部移动探针进行点针，可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK，模块化设计，可自由组合。温控参数&bull 温度范围：-190℃~400℃（负温需配液氮制冷）&bull 加热块材质：银&bull 传感器/温控方式：100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）&bull 最大升温速率：30℃/min&bull 最小温控速度：±0.01℃/min&bull 温度分辨率：0.01℃ RTD传感器&bull 温度稳定性：±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）&bull 软件功能：可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数&bull 探针：默认为铼钨材质的弯针探针&bull 探针座：可从外部XYZ移动的探针臂&bull 点针：从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置&bull 探针接口：标准BNC接头，可选三同轴接口&bull 样品台面电位：标准电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口光学参数适用光路：反射光路窗片：可拆卸与更替的窗片最小物镜工作距离：12 mm上盖窗片观察：窗片范围φ50mm，最大视角±50°负温下窗片除霜：吹气除霜管路结构参数&bull 适用样品：30 mm&bull 样品腔高：8 mm&bull 探针座：可从外部XYZ移动的探针臂&bull 调节精度 ：10um&bull 气氛控制：真空腔，也可充入保护气体&bull 外壳冷却：可通循环水，以维持外壳温度在常温附近

产品简介INSTEC HCP421V-MPS 通用迷你温控探针台真空型mini台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。功能特点mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备，可编程控温，涵盖-190℃~400℃，适用 10 mm ~30 mm 晶圆和器件，可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用，独立的四个探针（可升级至七个臂），可从设备外部移动探针进行点针，可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK，模块化设计，可自由组合。温控参数&bull 温度范围：-190℃~400℃（负温需配液氮制冷）&bull 加热块材质：银&bull 传感器/温控方式：100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）&bull 最大升温速率：30℃/min&bull 最小温控速度：±0.01℃/min&bull 温度分辨率：0.01℃ RTD传感器&bull 温度稳定性：±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）&bull 软件功能：可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数&bull 探针：默认为铼钨材质的弯针探针&bull 探针座：可从外部XYZ移动的探针臂&bull 点针：从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置&bull 探针接口：标准BNC接头，可选三同轴接口&bull 样品台面电位：标准电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口光学参数适用光路：反射光路窗片：可拆卸与更替的窗片最小物镜工作距离：12 mm上盖窗片观察：窗片范围φ50mm，最大视角±50°负温下窗片除霜：吹气除霜管路结构参数&bull 适用样品：30 mm&bull 样品腔高：8 mm&bull 探针座：可从外部XYZ移动的探针臂&bull 调节精度 ：10um&bull 气氛控制：真空腔，也可充入保护气体&bull 外壳冷却：可通循环水，以维持外壳温度在常温附近

产品简介 TP102SG-PM可单独使用，也可搭配显微镜/光谱仪使用，是一款基于帕尔贴半导体温控片（TEC）的温控探针台，无需液氮制冷耗材即可达到 -30℃，同时允许光学观察和样品气体环境控制。热台上盖与底壳构成一个气密腔，可往内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜。此外另有真空腔型号TP102V-PM提供。功能特点 迷你温控探针台，可用于 显微镜/光谱仪TEC半导体温控片，降温时无需液氮制冷耗材，适合长时间实验-30℃~160℃ 可编程控温（无需制冷耗材）40 mm x 40 mm加热区可充入保护气体的气密腔（另有真空腔型号）BNC接口四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于pA级测试可选增设腔内接线柱（样品接电引线）可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK*可做定制或改动，详询上海恒商温控参数 温度范围-30℃ ~ 160℃传感器/温控方式100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）加热/制冷速度±0.01℃/min~+60℃/min (37℃时),~+60℃/min (37℃时)温度分辨率0.01℃温度稳定性±0.05℃软件功能可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数 探针默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针探针座杠杆式探针支架，点针力度更大，电接触性更好点针手动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置探针接口默认为BNC接头，可选三同轴接口*可增设腔内接线柱（样品接电引线）样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口光学参数 适用光路反射光路 *另有透射光路型号窗片可拆卸与更替的窗片物镜工作距离8.5 mm *截面图中WD透光孔台面默认无通光孔，可增设通光孔以支持透射光路上盖窗片观察窗片范围φ38mm，视角±60.7° *截面图中θ1负温下窗片除霜吹气除霜管路结构参数 加热区/样品区40 mm x 40 mm样品腔高6.3 mm *样品厚度由探针决定放样打开上盖后置入样品再点针，关上盖后无法移动探针气氛控制气密腔，可充入保护气体 *另有真空腔型号外壳冷却通循环水，以维持外壳温度在常温附近安装方式水平安装 或 垂直安装台体尺寸/重量200 mm x 145 mm x 30 mm / 1500g

MPI TS200- 半自动探针台产品描述：1. 单机多应用设计适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP) 2. 工效学设计 方便单手操作的快速释放拖移气浮载物台设计坚固可承载多达10根DC 或4根RF微定们器在工作台三段式工作台快升把手设计 (contact - separation- loading)，实现高重现性3. 弹性选配与升级性 另有多种晶圆载物台可做升级，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、影像镜头、电磁屏蔽箱等可搭载，以完全支援您的应用需求MPI探针台系统是由来自于Cascade和安捷伦等公司的专家们研发和设计，专业提供探针台及所有相关直流/射频附件以及相关半导体测试整体解决方案。得益于其极高的性价比，广受国内外用户的好评。TS150,TS200,TS300是常用的手动式探针台，简单，直观，方便， 并确保 高度准确的测量。以下是MPI探针台的特点： Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用新的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动（其他品牌无法同时X/Y移动，只能选一个方向移动）。b. Platen Lift技术-三段平面式升降及下针：影响探针台测试结果很大程度上取决于探针与样品的接触。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁（其他厂家是两段），不仅实现了1um重复性，同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验，方便了用户的操作。c.温控触屏设计：MPI手动探针台可以选配各类样品台，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸样品台，及加热样品台（200℃/300℃）。并且配备智能化触摸屏，可以随时快速调节样品台加热问题，实时显示温度变化。高精度、便捷的温度控制功能，便于客户进行实验设计和测试。d. Microscope bridge mount：MPI探针台具备了Microscope bridge mount，方便用户自行购置并升级显微镜。这点也是其他探针台所不具备的。对于这类的用户而言，如果今后要升级显微镜，只能从探针台原厂购买。但是其实探针台厂家往往并不制造光学显微镜。而MPI则更多的为客户考虑，把显微镜的选择权交在客户手里。这也是MPI设计了Microscope bridge mount的初衷。 e. 所有核心部件均自行生产：诸如主机台，直流/射频探针座，直流/射频线缆及探针等核心部件均为MPI公司自行生产。很多探针台厂商的射频探针也都是从MPI购买的。此外，MPI探针台的产品线也非常丰富，拥有手动、半自动、全自动、射频/微波、高功能等所有探针台系列。

CT-6高低温探针台 最大可用于12英寸以内样品测试采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜 CINDBEST CT-6 | 6"~12" 高低温探针台测试系统 特点/应用 ◆ 最大可用于12英寸以内样品测试◆ 采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜◆ 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量◆ 可升降调节适合加装探针卡◆ 可搭配多种类型显微镜◆ 结构模块化设计，可无缝升级◆ 探针台可根据客户要求定制。 高低温探针台 ◆ 台体规格： 型号：CT-6/CT-8/CT-12 样品台尺寸：6英寸/8英寸/12英寸 水平旋转：可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 X-Y移动行程：6英寸*6英寸/8英寸*8英寸/12英寸*12英寸 X-Y移动精度：10微米/1微米 样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 针座平台：U型针座平台，最多可放置6~12个探针座 平台升降：可快速升降10mm/可微调升降10mm 背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 温度范围：负80°到正400° 温控精度：0.01°/0.1°/1° 重量：约120千克/150千克 ◆ 光学系统： 显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 放大倍率：16X-200X/20X-4000X 移动行程：水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸，Z轴行程50.8mm 光源：外置LED环形光源/同轴光源 CCD：200万像素/500万像素/1200万像素 ◆ 定位器： X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm 移动精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 吸附方式：磁力吸附/真空吸附 线缆：同轴线/三轴线 漏电精度：10pA/100fA/10fA 固定探针：弹簧固定/管状固定 接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 针尖材质：钨钢/铍铜 ◆ 可选附件 加热台、显示器、转接头、射频测试配件、屏蔽箱、光学平台、镀金卡盘、光电测试配件、高压测试配件、显微镜快速倾仰装置、激光系统、探针卡夹具。

带有冷却风扇的强制空气冷却，可快速降低温度! 耐热性达到300°C，带有耐热探针，可使用30分钟。MTP-100是一台带有温控平台的双针探针机。样品可以在不同的温度下通电和测量。安全罩的上部有一个耐热的玻璃窗。样品也可以在显微镜下观察。特点。带有温控台通过改变样品的温度来实现载流的测量。在安全罩的上部装有一个耐热玻璃窗。样品也可以在显微镜下观察，等等。由于温度的变化，涂在玻璃基底上的有机材料的电阻变化。测量基本信息[规格。温控板尺寸：110 x 110毫米。温度控制范围：室温+10℃至350.0℃。温升率：0.05-3℃/秒。降温速度：0.05-1.5℃/秒。冷却系统：通过冷却风扇强制空气冷却。探头部分：用于高温的开放式探头（耐高温300℃30分钟）。安全罩：穿孔金属，开孔率为40%或以上。机身尺寸：W440 x D200 x H230毫米。■温度控制电脑：操作系统：Windows 10，1个USB接口。电源：AC100V 50/60Hz

简介：位移探针台可以在测试准备和测试过程中精确移动探针位置，实现微米级别的电极接触；同时探针前端可调整角度和长度，从而适应样品范围更加广泛。用途：1.用于光刻器件的高低温光电测试；2.用于IV、介电常数、霍尔效应、射频、低温电路等测试；3.可拓展低温温控和真空管路模块，实现液氮温度测量。制冷方式：液氮温度范围（℃）：-196到600℃显示精度（℃）：0.1控温精度：0.1℃样品区域：30*35mm最大加热速率：50℃/min最大冷却速率：-40℃/min正面观察窗口大小：φ41mm探针类型：探针后端XYZ轴方向位置可调，位移精度1um，位移范围±6mm探针材质：钨钢或铍铜（探针针尖1um）探针数量：四个（可拓展为6个）外观尺寸：410*410*80mm腔体净重：10Kg备注：探针前端水平角度和长度可调

Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用非常新的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动（其他品牌无法同时X/Y移动，只能选一个方向移动）。Platen Lift技术-三段平面式升降及下针：影响探针台测试结果很大程度上取决于探针与样品的接触。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁（其他厂家是两段），不仅实现了1um重复性，同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验，方便了用户的操作。温控触屏设计：MPI手动探针台可以选配各类样品台，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸样品台，及加热样品台（200℃/300℃）。并且配备智能化触摸屏，可以随时快速调节样品台加热问题，实时显示温度变化。高精度、便捷的温度控制功能，便于客户进行实验设计和测试。Microscope bridge mount：MPI探针台具备了Microscope bridge mount，方便用户自行购置并升级显微镜。这点也是其他探针台所不具备的。对于这类的用户而言，如果今后要升级显微镜，只能从探针台原厂购买。但是其实探针台厂家往往并不制造光学显微镜。而MPI则更多的为客户考虑，把显微镜的选择权交在客户手里。这也是MPI设计了Microscope bridge mount的初衷。 所有核心部件均自行生产：诸如主机台，直流/射频探针座，直流/射频线缆及探针等核心部件均为MPI公司自行生产。很多探针台厂商的射频探针也都是从MPI购买的。此外，MPI探针台的产品线也非常丰富，拥有手动、半自动、全自动、射频/微波、高功能等所有探针台系列。

公司主要经营产品：霍尔效应测试仪、探针台系列、显微镜系列：三维视频显微镜、超长工作距离视频显微镜、测量显微镜、红外/近红外显微镜、传统光学显微镜(体式、生物、偏光、荧光、金相、相衬、比对等常用教学及教研类显微镜)、光学产品组件、工业科研无损检测设备及光学自动一体化系统集成项目。测试噪声小于5E-13A 可扩展上下双透视窗口用于光电测试 可扩展凹视镜 。观察窗口可下凹，使物镜离样品更近，方便观察。 加热台材质纯银块，导热更好，不易氧化专业检测设备生产研发经验，实力见证品牌国内家专业研发探针台设备厂家，有强大技术研发实力已与国内2000多所高校和研究院合作，为您提供*价值的技术解决方案*信赖的检测设备服务商涉及光学、电学、电子、材料、生物、医学等各检测领域拥有国内专业的技术研发团队在探针台电学量测方面拥有近十年的经验小型真空探针台KT-Z4019MRL4T小型真空探针台KT-Z4019MRL4T参数真空腔体类型高温型室温到350℃高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 最大值 低温7℃/min温控仪温度显示7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

PXB-S系列探针台 PXB-S系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜和体式显微镜●载物台可Z轴升降●载物台Theta可粗调360°, 微调±7 °●载物台XY移动分辨率为1um。●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●显微镜支架万向杆PXB-S系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试 ●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-M系列探针台 PXB-M系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台可Z轴升降●载物台Theta可粗调360°, 微调±7 °●载物台XY移动分辨率为1um●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降PXB-M系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD& TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-E系列探针台 PXB-E系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台气浮快速移动●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降●Platen 三阶抬杆， 微调移动行程为40mm，抬杆重复性精度为2umPXB-E系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析 ●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-BE系列探针台PXB-BE系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台气浮快速移动， 三档控制，X轴独立控制，Y轴独立控制，XY同步控制，XY同步控制●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降●Platen 二阶抬杆， 微调移动行程为60mm，抬杆重复性精度为1um●配置独立控制压力阀PXB-BE系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-BET系列探针台 PXB-BET系列高低温探针台主要特点●搭配高低温系统， 最大范围-65℃到300℃●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台气浮快速移动， 三档控制，X轴独立控制，Y轴独立控制，XY同步控制，XY同步控制●可选配高压高流测试环境●装片拉出装置， 定位锁住●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降●Platen 二阶抬杆， 一次性行程为6mm， 抬杆重复性精度为1um， 四点同步●配置独立控制气流阀PXB-BET系列高低温探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试 PXB-D系列探针台PXB-D系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜，体式显微镜 ●载物台气浮快速移动 ●可选配高压高流测试环境●platen上下结构，可正反面同时扎针 ●载物台双面镂空，可替换，一个镂空夹具，一个 载物台（两个吸附孔）●背置式直筒显微镜，zoom为0.58-7.5x ●Platen 微调行程为40mm，移动分辨率为1um， 四点同步PXB-D系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●PCB领域检测分析 PXB-W系列探针台PXB-W系列探针台主要特点●可选配110Ghz，220Ghz等测试环境 ●搭配高低温系统，最大范围-65℃到300℃ ●可选直筒显微镜，体式显微镜或金相显微镜 ●载物台气浮快速移动，三档控制，X轴独立控制， Y轴独立控制，XY同步控制，XY同步控制 ●装片拉出装置，定位锁住 ●稳定型显微镜桥架，移动分辨率为2um，显微镜 气动升降 ●Platen 二阶抬杆，一次性行程为6mm，抬杆重复 性精度为1um，四点同步 ●配置独立控制气流阀PXB-W系列探针台应用领域●Microwave probing 微波量测(高频测试)PXB-PL系列探针台 PXB-PL系列探针台(定制型)针对PCB&LCD&OLED&MINI-LED研发的测试探针台主要客户：英业达，沪利，深南电路，美维，奥克斯，大金，龙腾光电，群策等PXB-VL系列探针台 PXB-VL系列探针台产品简介PXB- VL高低温真空探针台是我司自主研发的一款在极端环境下给样品加载电学信号的设备。可以实现器件及材料表征的IV/CV特性测试，射频测试 ，光电测试等。通过液氮或者压缩机制冷 ，可以在防辐射屏内营造一个稳定的测试环境。在特殊材料 ，半导体器件等研究方向具有广泛运用。一般用于相关单位实验室。 PXB-SA系列探针台PXB-SA系列探针台产品简介PXB-SA 系列探针台是一款在非真空条件下实现高低温环境的测试探针台。该产品采用气冷制冷 ，自动控温 ，设备配置非常丰富。自带屏蔽暗室 ，一方面可以屏蔽无线电磁干扰 ，另外一方面也可以保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜。该产品多数用于相关单位实验室。PXB-SA系列探针台产品优势可搭配高低温温控系统,温度范围为-60-300℃可实现半自动测试微腔屏蔽

科研小型气敏测试真空探针台高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户，可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度，从而减少设备的配置预算。对于真空度有更高要求的用户，可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配更高真空度的泵组，以满足测试要求。 为了减少泵组的振动，我们还专门为用户设计了隔振器，地衰减泵组工作时产生的振动，以确保系统的稳定，减少探针的漂移。度科研小型气敏测试真空探针台真空腔体类型高温型室温到350℃高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 低温7℃/min温控仪温度显示7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

桌面式小型探针台 ， 高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户，可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度，从而减少设备的配置预算。对于真空度有更高要求的用户，可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配更高真空度的泵组，以满足测试要求。桌面式小型探针台 参数真空腔体类型加热型350℃ 或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃腔体材质304不锈钢腔体内尺寸φ90x40mm腔体上视窗尺寸Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）腔体抽气口KF16腔体进气口公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选腔体出气口公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质304不锈钢样品台尺寸26X26mm样品台-视窗 距离30mm（可选凹视窗间距15mm）样品台测温传感器A 级PT100铂电阻样品台温度室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃）样品台测温误差±0.2℃样品台变温速率高温10℃/min 低温5℃/min 最大值温控仪温度显示7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温）温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100热电阻 （可选 K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可定做6探针）探针材质镀金钨针探针尖10μm探针移动平台X轴移动行程12mm ±6mmX轴控制精度≤5μmY轴移动行程12mm ±6mmY轴控制精度≤5μmZ轴移动行程12mm ±6mmZ轴控制精度≤5μm数码显微镜显微镜类别物镜放大+电子放大显微镜放大倍数100倍显微镜工作间距50-150mm相机分辨率1080P 60帧 相机信号输出HDMI输出+USB输出LED可调光源LED光源显示屏5寸 屏幕一体机

四探针三维样品台，主要用于搭载测试样品，可以三维移动、电性能测试、光电性能测试、光化学测试等。在进行太阳能光电转换实验时， 为了测试实验样品的转化效率，需要在照射的同时测定样品的各项参数，因为常规的万用表测量自身测量原理的局限性，在对半导体材料测量时不能够得到准确的数据。而采用四探针法测量时，配合相应的光电测试系统，得出的、稳定、准确的测试数据。探针平台技术参数平台型号AULTT-FTVMAULTT-FTVAAULTT-FTLMAULTT-FTLM样品放置面垂直垂直水平水平操作模式手动电动，PC控制手动电动，PC控制位移距离50mm50mm50mm50mm平台规格220*190*328mm210*210*278mm166*166*108mm210*210*120mm应用样品垂直放置光束水平照射样品垂直放置光束水平照射样品水平放置，光束由上向下照射样品水平放置，光束由上向下照射 1.AULTT-FTVM手动平台此款探针平台分为手动平台和自动平台，手动平台采用微分头进行手动调整操作。A.三维平台为三个位移平台及直角固定块组合而成，用于接收水平光源照射。B.每个位移台面可移动±25mm的距离，移动精度为0.02mm，可精确对准光源发射点。C.位移台采用丝杆传动，并用2根优质钢导轨作为稳定装置，移动稳定无颤动。D.探针组件固定后可调节位置，可适应边长25mm-45mm的被测样本。E.探针固定到绝缘针套内，保证“被测样本-探针-数据收集”整个测量环节内没有外部干扰，测量信号纯净。F.探针与针套不采用粘合剂固定，如需更换探针简单方便。G.采用正规厂商生产的尖头弹簧探针，表面镀铜工艺，确保接触信号良使用长久。 2.AULTT-FTVA自动平台适用于水平光束照射的自动平台采用步进电机作为驱动，除拥有手动平台的特点外还有以下特点。A.采用步进电机驱动，步进角为1.8°，保证了位移的精确度。B.拥有单独的控制器与位移平台连接，控制平台的运动，并可根据使用需要变更运动速度，最大速度可达到10mm/s。C.采用半闭环控制系统，可根据电机运动状态计算位移状态，可实现较精确的位移操作，重复定位精度可达到±5μ。D.拥有上位机软件，可在PC端对平台进行远距离控制。 3.AULTT-FTLM手动平台适用于光束垂直照射的探针平台同样分为手动平台和自动平台，手动平台的X、Y轴平移采用微分头进行精细调整，升降台采用螺杆调整。A.三维平台为两个位移平台及一个垂直升降台组成，用于接收垂直光源照射。B.每个位移台面可移动60mm的距离，移动精度为0.02mm，可精确对准光源发射点。C.垂直升降台行程为60mm-120mm，采用剪形支撑结构，可承载较大载荷，使用安全可靠。D.位移台采用丝杆传动，并用2根优质钢导轨作为稳定装置，移动稳定无颤动。E.探针组件固定后可调节位置，可适应边长25mm-45mm的被测样本。F.探针固定到绝缘针套内，保证“被测样本-探针-数据收集”整个测量环节内没有外部干扰，测量信号纯净。G.探针与针套不采用粘合剂固定，如需更换探针简单方便。H.采用正规厂商生产的尖头弹簧探针，表面镀铜工艺，确保接触信号良使用长久。 4.AULTT-FTLM自动平台适用于垂直光源的自动平台采用步进电机进行驱动，除拥有手动平台的特点外还有以下特点。A.位移平台采用步进电机驱动，步进角为1.8°，保证了位移的精确度，可达到±10μ。B.垂直升降台由原来的手动升降方式也更改为电机驱动的升降方式，可精确的调整升降高度，精度为5μ，重复定位精度可达到±10μ。C.拥有单独的控制器与位移平台连接，控制平台的运动，并可根据使用需要变更运动速度，最大速度可达到10mm/s。D.采用半闭环控制系统，可根据电机运动状态计算位移状态，可实现较精确的位移操作，重复定位精度可达到±5μ。E.拥有上位机软件，可在PC端对平台进行远距离控制。

产品简介 HCP621G-PM可单独使用，也可搭配显微镜/光谱仪使用。其可在 -190℃ ~ 600℃ 范围内控温，同时允许探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个气密腔，可往内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。此外另有真空腔型号HCP421V-PM提供。功能特点 迷你温控探针台，可用于 显微镜/光谱仪-190℃~600℃ 可编程控温（负温需配液氮制冷系统）28 mm x 30 mm加热区可充入保护气体的气密腔（另有真空腔型号）BNC接口四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于pA级测试可选增设腔内接线柱（样品接电引线）可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK*可做定制或改动，详询上海恒商温控参数 温度范围-190℃ ~ 600℃（负温需配液氮制冷系统）传感器/温控方式100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）加热/制冷速度+80℃/min （100℃时），-50℃/min （100℃时）加热/制冷速度±0.01℃/min温度分辨率0.01℃温度稳定性±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）软件功能可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数 探针默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针探针座杠杆式探针支架，点针力度更大，电接触性更好点针手动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置探针接口默认为BNC接头，可选三同轴接口*可增设腔内接线柱（样品接电引线）样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口非磁性改造台体可改用非磁性材质制造，用于变温霍尔效应探针测试光学参数 适用光路反射光路 *另有透射光路型号窗片可拆卸与更替的窗片物镜工作距离8.5 mm *截面图中WD透光孔台面默认无通光孔，可增设通光孔以支持透射光路上盖窗片观察窗片范围φ38mm，大视角±60.7° *截面图中θ1负温下窗片除霜吹气除霜管路

MPI TS2000是全球范围内公认的 探针系统的自然演变，其专用设计可满足高级半导体测试市场的需求。该系统与所有MPI系统附件完全兼容，主要设计用于解决故障分析，设计验证，IC工程，晶圆级可靠性以及对M MEMS，高功率，RF和mmW 器件测试的特殊要求。TS2000可用于环境和/或仅高温操作模式，速度极快,高可达10 Dies / second（取决于终配置），这使其成为分立RF器件进行生产前电气测试的理想选择。 特点:大探针台TS2000系列提供了易于使用的大型探针台板，以容纳多达12个DC或4个RF MicroPositioner。集成了负载拉力调谐器或更大面积的MicroPositioners,使得TS2000系统成为RF和mmW测量的理想选择。简易晶圆装载 宽大的前门通道可轻松装载/卸载100、150、200毫米的晶片，晶片碎片，甚至小至5×5毫米的IC。AUX卡盘都位于前面，可以很方便地进行装卸。没有推出阶段允许采用简单的自动化方法来进行RF校准和探针卡清洁。集成硬件控制面板智能硬件控制面板完全集成到探针系统中，并基于数十年的经验和客户互动而设计，以提供更快，更安全，更便捷的系统控制和测试操作。键盘和鼠标的位置非常重要，可以在必要时控制软件，并且还可以控制Windows基于仪器。晶圆和辅助夹具的真空控制面板位于右前侧，以便在装卸过程中轻松检修。热卡盘集成可以使用完全集成的触摸屏显示器来操作热吸盘（从20°C或从环境温度到高300°C），该触摸屏显示器放置在操作员面前的便利位置，以实现快速操作和即时反馈。探针卡和微型定位器–同时许多单探针，用于4.5英寸x 11英寸探针卡的薄型探针卡座以及较低的板到卡盘距离非常适合与主动探针同时进行探测，使该系统成为设计验证 和/或 故障分析 工作的理想选择 。整合式DarkBoxTS2000-D就是已经集成了DarkBox的TS2000！该系统专为各种测量仪器的佳占位面积，嵌入式互锁，LED照明和标准化接口面板而设计，是受光和激光安全保护的测试环境的。易于从背面板上进行访问，从而使重新配置或初始设置变得非常快捷和方便。仪器集成可选的仪器架可缩短电缆长度，并提高 RF和mmW?应用中的测量动态性和方向性。隔振TS2000结合了两种类型的隔振解决方案，可以在不同的实验室测试环境中更好地运行。总占地面积可比或小于行业中常用的独立振动台。软件套件SENTIOMPI自动工程探针系统由独特且革新性的多点触摸操作SENTIO控制软件套件 –简单直观的操作节省了大量的培训时间，“滚动”，“缩放”，“移动”命令模仿了现代智能移动设备，使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。在活动应用程序与其余APP之间的切换仅需简单的手指操作即可。对于RF应用，无需切换到另一个软件平台– MPI RF校准软件程序QAlibria 与SENTIO完全集成 –为了遵循单一操作概念方法而易于使用。

MPI TS3000自动探针系统MPI的TS3000是一个300毫米自动测头系统，专门用于产品工程， 故障分析， 设计验证， 晶圆级可靠性 以及 RF和mmW?应用。TS3000功能集提供：高温度范围-60… 300°C佳的灵活性具有特定设计的电缆接口的与功能测试仪的小电缆距离，可实现更好的测量方向性非常小的压板到卡盘高度可实现佳mmW和内部节点探测非常小的系统占地面积，在内部集成了热力系统的冷却器两者的结合使TS3000探针台成为MPI公司和产品工程市场所独有的。IceFreeEnvironment™ 结合了MPI的IceFreeEnvironment™ ，TS3000可以在-60… 300°C的宽温度范围内对300mm的晶片进行MicroPositioners和/或探针卡的测试，并具有在胶片框架上进行探测的附加功能。探针悬停控制™ MPI探针悬停控制PHC™ 允许轻松手动控制探针与晶片的接触和分离。分离距离可以通过测微计反馈精确控制，以实现探针到晶圆/焊盘的定位。易用性通过大程度减少关键设置和测头更换操作中的错误，确保了安全的操作。大探针台板TS3000提供了易于使用的大型探头压板，以便以小的压板到卡盘高度容纳多达12倍的DC或4倍的RF微定位器。集成了负载拉力调谐器或更大面积的MicroPositioners，使得TS3000系统成为RF和mmW测量的理想选择。探针压板被主动冷却以避免热漂移，尤其是在300°C时。简易晶圆装载双前门通道和独特的卡盘设计使150、200、300毫米晶片，晶片碎片甚至小至5×5毫米IC的装卸程序变得轻松。AUX卡盘都位于前面，可以很方便地进行装卸。没有推出阶段允许采用简单的自动化方法来进行RF校准和探针卡清洁。集成硬件控制面板智能硬件控制面板完全集成到探针系统中，并基于数十年的经验和客户互动而设计，以提供更快，更安全，更便捷的系统控制和测试操作。关键位置处的键盘和鼠标可以在必要时控制软件，并且还可以控制Windows 基于仪器。 热卡盘集成由于集成了智能冷却器，TS3000系列提供了优化的占地面积，可节省实验室中的宝贵空间。MPI和ERS共同设计了 新型300 mm Thermal?ChuckAirCoolPRIME??技术 系列，提供了无与伦比的热灵活性，将浸泡时间减少了60％，并且提供了市场上种类多的热学产品。减少转换时间，改善电气性能，在惰性气体气氛下更轻松地进行测试以及现场可升级性是AirCool的附加价值PRIME热卡盘系统。可以使用完全集成的触摸屏显示器来操作热力系统，该触摸屏显示器放置在操作员面前的便利位置，以实现快速操作和即时反馈。ERS获得专利的AC3冷却技术公司这些卡盘结合了获得专利的AC3冷却技术和自我管理系统，可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment™ ，与市场上的其他系统相比，可大幅减少30％至50％的空气消耗。探针卡和微型定位器–同时单探头，用于4.5“ x 11”探头卡的薄型探头卡座以及较低的板到卡盘距离是同时使用被动/有源高阻抗探头进行探测的理想选择，尤其是在负温度下；使系统成为 设计验证 和/或 故障分析 工作的理想选择。安全测试管理（STM）系统独特的STM系统可防止在测试过程中打开门–测量结果很安全。在负吸盘温度期间，任何情况下都无法意外打开任何系统门。此外，智能的露点控制程序可避免冷测试期间的积聚。系统自动监视CDA或氮气的流量。如果流量中断或流量不足，则STM™ 会自动将卡盘转换为安全模式-尽快将卡盘加热至露点以上。MPI STM™ 的功能是通过自动保持安全的测试环境，使TS3000的测量更加安全，可靠和方便。仪器集成可选的仪器架可缩短电缆长度，并提高 RF和mmW?应用中的测量动态性和方向性。软件套件SENTIOMPI自动工程探针系统由独特且革新性的多点触摸操作 SENTIO控制?软件套件 –简单直观的操作节省了大量的培训时间，“滚动”，“缩放”，“移动”命令模仿了现代智能移动设备，使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。在活动应用程序与其余APP之间的切换仅需简单的手指操作即可。对于RF应用，无需切换到另一个软件平台– MPI RF校准软件程序QAlibria 与SENTIO完全集成–为了遵循单一操作概念方法而易于使用。

大型真空高低温探针台郑科探，低温真空探针台可使物理科学家和研究员通过方便的，可重复的测量进行基础的科学研究并得到连续的结果。低温真空探针台是一个多用的灵活的研究平台，可被用于专用的或者多用的团体研究资源。典型的应用包括样品在整个温度范围内的IV和CV曲线测试，微波测试，光电测试，表征变磁环境下的磁输运特性，理解载流子浓度的霍尔效应测试，和其他材料的研究。大型真空高低温探针台郑科探真空腔体腔体材质304不锈钢上盖开启铰链侧开加热台材质304不锈钢内腔体尺寸φ160x90mm观察窗尺寸Φ70mm加热台尺寸φ60mm观察窗热台间距75mm加热台温度﹣196~350℃加热台温控误差±1℃真空度机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa允许正压≤0.1MPa真空抽气口KF25真空法兰气体进气口3mm-6mm卡套接头电信号接头SMA转BNC X 4电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V探针数量4探针探针材质钨针 探针尖10μm探针移动平台X轴移动行程30mm ±15mmX轴控制精度≤0.01mmY轴移动行程13mm ±12.5mmY轴控制精度≤0.01mmZ轴移动行程13mm ±12.5mmZ轴控制精度≤0.01mm电子显微镜显微镜类别物镜物镜倍数0.7-4.5倍工作间距90mm相机sony 高清像素1920※1080像素图像接口VGALED可调光源有显示屏8寸放大倍数19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm

MPI TS 2000(8寸)Wafer 测试系统 MPI TS2000 是全球范围内成熟的探头系统的自然演变, 具有满足高级半导体测试市场要求的专用设计。该系统与所有 MPI 系统附件完全兼容, 主要用于解决故障分析、设计验证、IC工程、晶圆级可靠性以及 MEMS、高功率、射频和 mmW 设备测试的特殊要求. 可用于环境和/或仅高温运行模式的 TS2000 速度快, 速度高达 10 Dies/second (取决于最终配置), 这使得它成为在离散 rf 器件上进行预生产电气测试的理想选择, 例如。 探针座放置平台 TS 2000 系列提供大型、易于访问的探针平台, 可容纳多达 12x DC 或4倍射频微定位器。负载拉调谐器或更大面积的微定位器的集成使 TS 2000 系统成为射频和 mmW 测量的理想选择。 样品chuck快速移动、装载 较大的前门通道可方便地装载/卸载100、150、200 mm Wafer、晶圆碎片, 甚至小至 5x5 mm IC。 AUX 卡盘都位于前面, 可以非常方便地加载/卸载。允许使用简单的射频校准和探头卡清洗自动化方法。 测试控制面板 智能硬件控制面板完全集成到探头系统中, 并基于数十年的经验和客户互动进行设计, 以提供更快、更安全、更方便的系统控制和测试操作。键盘和鼠标的位置, 以控制软件, 如有必要, 还将控制基于 windows的检测。真空控制面板的晶片和 AUX 卡盘可以找到在右侧的前面, 以便于访问在装卸过程中。 温控系统 热卡盘 (从20°C 或环境到 300°C) 可通过使用完全集成的触摸屏显示屏进行操作, 该触摸屏放置在操作员前面的方便位置, 可实现快速操作和即时反馈。 探头卡和微型定位器– 同时多探头、4.5 "x 11" 探头卡的低姿态支架和较低的卡盘到卡盘距离是使用有源探头，是同时探测的理想选择, 使系统成为设计验证和/或故障分析工作的理想选择。 屏蔽系统? TS 2000-D 是简单的 TS 2000 与已经集成的暗盒! 该系统的占地面积、嵌入式联锁、Led 照明和各种测量仪器的标准化接口面板而设计, 是照明和激光安全防护测试环境的优先选择。 从后面板轻松访问, 使重新配置或初始设置快速和非常方便。?? 仪器集成 可选的仪器架减少了电缆长度, 并提高了射频和 mmW 应用中的测量动态和方向性。 周边附件： CCD、防震平台、屏蔽罩、Laser mark、探针卡、BNC转接头、RF探针、有源探针、高压探针、真空泵

一、多功能手动探针台应用原理： （1）KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节。 （2）其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。 二、技术组织规格： 1．腔体材质：304不锈钢 2．上盖开启：铰链侧开 3．加热台材质：304不锈钢 4．内腔体尺寸：φ160x90mm 5．观察窗尺寸：Φ70mm 6．加热台尺寸：φ60mm 7．观察窗热台间距：75mm 8．加热台温度：-196-350℃ 9．加热台温控误差：±1℃ 10．真空度：机械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa 11．允许正压：≤0.1MPa 12．真空抽气口：KF25真空法兰 13．气体进气口：3mm-6mm卡套接头 14．电信号接头：SMA转BNCX4 15．电学性能：绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤500V漏电流≤-10次方安培 16．探针数量：4探针 17．探针材质：镀金钨针 18．探针尖：10μm 19．X轴移动行程：30mm±15mm 20．X轴控制精度：≤0.01mm 21．Y轴移动行程：13mm±12.5mm 22．Y轴控制精度：≤0.01mm 23．Z轴移动行程：13mm±12.5mm 24．Z轴控制精度：≤0.01mm 25．显微镜类别：物镜 26．物镜倍数：0.7-4.5倍 27．工作间距：90mm 28．相机：sony高清 29．像素：1920※1080像素 三、企业概括： （1）郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室及科学院校，科探仪器已经成为老师同学欢迎和信任的品牌之一。 （2）公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！ （3）目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉CVD供气系统等离子清洗机小型离子溅射仪小型蒸镀仪石英管真空封口多功能手动探针台半导体检测等。主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。 （4）公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

一、多功能手动探针台应用原理： （1）KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节。 （2）其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。 二、技术组织规格： 1．腔体材质：304不锈钢 2．上盖开启：铰链侧开 3．加热台材质：304不锈钢 4．内腔体尺寸：φ160x90mm 5．观察窗尺寸：Φ70mm 6．加热台尺寸：φ60mm 7．观察窗热台间距：75mm 8．加热台温度：-196-350℃ 9．加热台温控误差：±1℃ 10．真空度：机械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa 11．允许正压：≤0.1MPa 12．真空抽气口：KF25真空法兰 13．气体进气口：3mm-6mm卡套接头 14．电信号接头：SMA转BNCX4 15．电学性能：绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤500V漏电流≤-10次方安培 16．探针数量：4探针 17．探针材质：镀金钨针 18．探针尖：10μm 19．X轴移动行程：30mm±15mm 20．X轴控制精度：≤0.01mm 21．Y轴移动行程：13mm±12.5mm 22．Y轴控制精度：≤0.01mm 23．Z轴移动行程：13mm±12.5mm 24．Z轴控制精度：≤0.01mm 25．显微镜类别：物镜 26．物镜倍数：0.7-4.5倍 27．工作间距：90mm 28．相机：sony高清 29．像素：1920※1080像素 三、企业概括： （1）郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室及科学院校，科探仪器已经成为老师同学欢迎和信任的品牌之一。 （2）公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！ （3）目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉CVD供气系统等离子清洗机小型离子溅射仪小型蒸镀仪石英管真空封口多功能手动探针台半导体检测等。主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。 （4）公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

RF探针座 RF探针座适宜配合高频探针使用， 森东宝科技CB-100以及CB-200均可做射频探针座. RF探针座参数 型号：CB-100-RF ◆ 台湾原装进口◆ 磁力开关底座◆ X-Y-Z 方向的移动行程为12mm◆ 100牙/英寸◆ 移动精度：0.7微米◆ 射频探针调节机构◆ 多点探头调水平旋钮,可以+-10°调节，精度0.1度◆ 建议搭配高频探针使用（40GHZ-110GHZ)◆ 尺寸：94x75x95 mm (W x D x H)◆ 重量 : 750 grams 型号：CB-200-RF ◆ 台湾原装进口◆ 磁力开关底座◆ X-Y-Z 方向的移动行程为20mm◆ 100牙/英寸◆ 移动精度：0.5微米◆ 射频探针调节机构◆ 多点探头调水平旋钮,可以+-10°调节，精度0.1度◆ 建议搭配高频探针使用（40GHZ-110GHZ)◆ 尺寸：112mm(W)x86mm(D)x108mm(H)◆ 重量 : 720 grams

手动探针台 测试探针台半导体领域探针台 在集成电路的研发、生产制造、实效分析过程中，经常要量测内部的电参数，由于制成的越来越低，没有办法用简单的万用表、示波器的表笔来探测信号。手动分析探针台能很好的帮助工程人员实现微小位置的电学参数测试。Advanced在中国推出手动分析探针台近10年历史，销售实绩800多台，并且以每年的销量稳居行业销量榜首。行业知名客户有：友达光电、华映光电、奇美光电、群创光电、飞兆半导体、德州仪器、华虹集成、华为、电子五所、航天808所、航天201所、中科院微电子所、苏州中科院纳米研究所、复旦大学、上海交通大学、西安电子科技大学、温州大学、福州大学、厦门大学等等……手动探针台 测试探针台手动探针台 测试探针台型号： PW-600/PW-800规格：chuck尺寸150mm（200mm）X,Y电动移动行程150mm（200mm）chuck粗调升降8mm，微调升降30mm可搭配MOTIC金相显微镜或者AEC实体显微镜针座摆放个数6～8颗显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“可搭配Probe card测试适用领域：6寸/8寸Wafer、IC测试之产品手动探针台 测试探针台型号： PW-400 规格：chuck尺寸100mmX,Y移动行程100mmchuck Z轴方向升降10mm（选项）搭配AEC实体显微镜针座摆放个数2～4颗适用领域：4寸Wafer，如晶圆厂、LED、学术单位等 RF高频探针台 手动探针台 测试探针台东、南、西、北测试臂搭配美国GGB高频测试头DC~10/40/50/67GHZ （GSG,GS,SG）Pitch 100～1500um探针材料：BeCu/Tungsten

产品简介：该款探针台可精确控制探针臂和探针的移动，通过搭配探针座、显微镜和源表等，来完成探针台的测试，精确下针，输入、输出测试电信号，漏电流50fA；精确度高，稳定性好，皮实耐用；适合高校/研究所研发用。主要配置：- 6"真空吸盘- 漏电流：50fA- X/Y平台行程：100X100mm- Z轴分辨率：1um- 显微镜&CCD: 放大倍数300x，更大倍数可订制- CCD相机：2.1M像素+液晶显示屏- LED环形照明（带亮度调节）- 探针座：磁性底座- 探针臂：三轴或同轴线缆- 探针：金钨合金- 真空泵：低噪音真空泵其他选项：- 防震桌- 暗箱（屏蔽箱）- 加热台- 转接头插线板- ......

叉指微电极因其微小的电极间距结构可用于各种小型化传感器。对于传统分析检测，包括色谱法、光谱法、质谱等方法，大多都需要昂贵的仪器和多种操作步骤，使得许多实际问题仍面临困难。开发高灵敏度、低成本，小型化的传感器尤为重要。本文综述了叉指微电极的研究进展，介绍了基于叉指微电极的传感器在各领域的广泛应用。小型真空探针台郑科探 KT-Z4019MRL4T是一款高性价比配置的真空高低温探针台，功能，价格较低等特点。高温400℃ 低-196℃ 测试噪声小于5E-13A 可扩展上下双透视窗口用于光电测试 可扩展凹视镜。公司致力于各类探针台，（包括手动与自动探针台、双面探针台、真空探针台、）、显微镜成像、光电一体化的技术研发，拥有国内专业的技术研发团队，在探针台电学量测方面拥有近十年的经验团队。微电容单通道叉指电极高低温探针台微电容单通道叉指电极高低温探针台KT-Z4019MRL4T真空腔体类型高温型室温到400℃高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 低温7℃/min温控仪温度显示 7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

随着新兴太赫兹应用的大量扩展，如高速5G通信，卫星，非侵入性光谱，安全和监视，医疗和保健设备以及短程汽车雷达，对精确，可靠和可重复测量数据的需求比以往变得更加重这些THzMPI TS150-THZ 工程探针台系统是一种专用的，经济高效的手动探头系统，专为基板和亚太赫兹150 mm晶圆的精密分析而设计。该系统非常稳定，具有大型探头压板和低调设计。这些基本元件中的每一个都需要支持各种RF和mmW应用，例如高达110 GHz的宽带，高达1.1THz的带状解决方案，负载牵引和RF噪声。单机多应用设计无缝集成各种宽带、差分、毫米波或宽带频率扩展器和自动阻抗调谐器全新设计的扩展器、调谐器集成，可实现非常大的动态测量极大的机械稳定性和重复性，实现方便和安全的操作人体工程学设计方便单手操作的，快速移动气浮式样品台设计坚固且空间充足的工作台，可乘载大型微定位器和毫米波模块扩展器三段式工作台快升把手设计 (contact - separation - loading)，实现接触、分离和加载的高性能弹性选配与升级可选振动隔离支持大型自动阻抗调谐器专用光学元件，用于缩短电缆和波导的长度，实现非常大的测量方向性各种夹头选件，印刷电路板和各种附件，如DC / RF /毫米波定位器 直流、射频和THZ微定位器的探针板设计 MPI探针悬停控制TM配有悬停高度（50、100或150μm）， 便于探针与Pad的对准。 世界上数一数二极精确的接触/超大行程控制， 精度为1um,便于测量的重复性和精确性无缝集成任何扩频器，以在200毫米晶片上获得 非常佳测量方向性陶瓷辅助夹头 用于测试单个集成电路的专用ERS热夹头

室温手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测，用于室温下的芯片、晶圆和器件的非破坏性测试。 PSM系列室温手动探针台是一款高品质的探针台能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。科学的桌面设计是学术和实验研究的选择。特点&bull 稳定的双位移调节系统，可以调节样品座和探针臂的位移。&bull 样品座可以放置8英寸的晶圆样品，采用多孔分区控制气体吸附固定。&bull 移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±100mm的移动行程，使得样品测试和换样更加便捷。滑台采用磁力吸附固定。&bull 可安装6个探针臂。&bull 探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调，操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针可以扎到样品的任意位置。&bull 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内。&bull CCD放大倍数为180倍，工作距离为100mm。型号分类：型号PSM-2PSM-4PSM-6PSM-8样品座尺寸2英寸4英寸6英寸8英寸参数和指标： 样品座卡盘尺寸：2/4/6/8英寸，可定制材质：无氧铜镀金样品固定方式：多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道滑台X-Y移动行程：2/4寸: X-Y轴±50mm；6/8寸: X-Y轴 ±100mm读数精度：10μm探针臂固定方式：磁铁吸附XYZ微调移动行程：XYZ-13mm微调可分辨精度：10μm探针臂数量：可安装6个探针臂（左右各3个）电学线缆：三同轴线缆漏电流：100fA探针类型：直流探针光学系统显微镜放大倍数：10-180倍显微镜工作距离：90-100mm显微镜分辨率：3μm（可选1μm）光源类型：兼配同轴和环形光源可加选件光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤

高温探针台 型号技术参数CJ-4CJ-6CJ-8台 体尺寸4英寸6英寸8英寸水平旋转可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置X-Y移动行程4英寸*4英寸6英寸*6英寸8英寸*8英寸X-Y移动精度10微米/1微米样品固定真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环针座平台最多可放置4个探针座最多可放置6个探针座最多可放置8个探针座背电极测试样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极温控系统温度范围室温到300度室温到400度室温到600度温控精度1度/0.1度/0.01度稳定性±1度/±0.1度显微镜显微镜类型单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜放大倍率16X-200X/20X-4000X移动行程X-Y轴行程2英寸*2英寸/水平360度旋转，Z轴行程50.8mm光源外置LED环形光源/同轴光源CCD200万像素/500万像素/1200万像素探针座X-Y-Z移动行程12mm*12mm*12mm移动精度10微米/2微米/0.7微米/0.5微米吸附方式磁力吸附/真空吸附探针夹具线缆同轴线/三轴线漏电精度10pA/100fA/10fA固定探针弹簧固定/管状固定接头类型BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子探针针尖直径0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米材质钨钢/铍铜外形400mm长*400mm宽*600mm高580mm长*480mm宽*600mm高840mm长*600mm宽*700mm高重量约30千克约60千克约100千克可选附件水冷装置屏蔽箱高压测试配件显示器光学平台显微镜快速倾仰装置转接头镀金卡盘激光系统射频测试配件光电测试配件探针卡夹具根据客户要求定制

Avantgarde 室温手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测，用于室温下的芯片、晶圆和器件的非破坏性测试。PSM系列室温手动探针台是一款高品质的探针台能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。科学的桌面设计是学术和实验研究的最佳选择。特点:1.稳定的双位移调节系统，可以调节样品座和探针臂的位移。2.样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品，采用多孔分区控制气体吸附固定。3.移动样品座下面的滑台，可以实现最大X-Y轴±100mm的移动行程，使得样品测试和换样更加便捷。 滑台采用磁力吸附固定。4.最多可安装6个探针臂。5. 探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调，操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针 可以扎到样品的任意位置。6.探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内。7. CCD最大放大倍数为180倍，最大工作距离为100mm。