飞行时间二次离子质谱仪

谱育科技自主研发的TRACE 8000 化学电离飞行时间质谱仪，将高灵敏度化学电离源和高分辨飞行时间质量分析器进行结合，具有灵敏度高、分析速度快、分辨率高、测量组分种类多等突出优点；仪器具有创新的辉光放电源、高压离子漏斗和静电透镜传输技术，保证样品的电离效率和离子的传输效率，适用于走航监测、食品科学、材料分析、爆炸物和药物检测等方面的应用。产品概述性能优势分析速度快微秒级的扫描速度，可捕捉目标物质的瞬时变化，为科学研究、应急监测、生产过程的高通量监测提供有效手段。分辨率高可实现复杂混合物样品中分子量相近物质的分析识别，解决传统低分辨直接进样质谱分析定性难的问题，将“看不见”变成“看得见”，追溯物质本源。多试剂离子可选配合试剂离子快速切换系统，根据目标物质的化学特性，可选择H3O+、O2+、NO+等多种不同电离能的试剂离子进行靶向电离，适测物质涵盖醛、酮、有机硫、有机胺、卤代烃、苯系物、长短链烃类等，是优选的快速检测技术。 应用领域TRACE 8000 化学电离飞行时间质谱仪适用于走航监测和园区VOCs在线监测，可实现VOCs精准溯源及扩散预警。可对半导体生产过程中的AMC、食品生产的风味物质进行实时监控；石油化工生产过程中移动测量、定点在线监测；材料中有害成分的快速鉴定分析；人呼出气体的宽动态范围内的追踪分析。

仪器简介：LCMS-IT-TOF是岛津公司最新推出的高端质谱仪，并于2005年3月获得了著名的匹兹堡展会新产品银奖。该奖项是本届展会质谱仪整机产品得到的最高奖。这充分表明分析仪器行业对该仪器优越性能的认可。LCMS-IT-TOF的设计理念是根据现有各厂家质谱仪不能同时实现多级质谱功能和精确质量测定，即二者不可兼得的行业现状下，独创一系列关键的独特技术，实现了离子阱质谱和飞行时间质谱的完美结合。从而实现既可以做多级质谱，又能达到高质量精度的强大功能。 LCMS-IT-TOF无论是在有机小分子的结构分析和代谢组学，还是生物大分子的蛋白质组学研究，包括多肽的一级从头测序，蛋白质鉴定，转录后修饰，复杂糖蛋白的分析等，都可以发挥出巨大的应用功能。技术参数：..主要特点：高分辨率和高质量精度 二级反射器和弹道离子提取等的独特技术可以在所有检测模式下达到高分辨率和高质量精度 高通量和快速正负极性转换功能 检测速度快，正负极转换仅用100ms,实现高通量 高灵敏度 压缩离子导入技术使离子高效进入离子阱，实现高灵敏度 高校正稳定性 采用恒温控制装置，保证了高校正稳定性 真正的MSn功能 独特的离子阱导入和导出技术，使离子损耗减小到最低，可以在10级质谱仍保持高质量谱图

JMS-T100LP 是该系列产品中的最新一代产品，是一种简单、耐用且用途广泛的大气压电离- 飞行时间质谱仪。除了采用LC-MS 离子源中最广泛使用的电喷雾离子源（ESI）之外，还可配备JEOL 独特的电离技术，DART&trade （实时直接分析）和ColdSpray（冷喷雾离子源），能在各个领域提供分析解决方案。

针对挥发性有机物（VOCs）污染溯源耗时长、多组分物质实时精准分析难度大的问题，谱育科技采用双阳极空心阴极放电源及垂直引入反射式飞行时间质谱技术，研制了TRACE 7000高灵敏度、高可靠性、软电离的质子转移反应飞行时间质谱仪。TRACE 7000具有分析速度快、灵敏度高、定性能力强、测量组分种类多等突出特点，适用于走航监测和园区VOCs在线监测。产品概述性能优势检测物质种类多采用水做试剂分子，具备广谱的电离能力，可满足环境空气中绝大多数VOCs物质的监测。检出限低亚ppb级检出限，低于多数VOCs国家标准排放限值。准确的定性、定量能力软电离技术，测量空气中的痕量VOCs时，不受空气中常规组分的干扰，且不需要对样品进行预处理。目标产物以加氢的准分子离子峰为主，谱图简洁、易于识别，目标物定性、定量准确。专业化抗震设计整机通过震动测试，保证仪器的稳定性和可靠性，适用于复杂路况的走航监测。智能化操作设计采用全自动智能控制软件，中文界面，仪器状态一目了然，具备自诊断、自保护、压力和温度自补偿、一键式自动运行功能，开启无人值守时代。应用领域固定站点连续监测TRACE 7000可实时监测空气、水、固定污染源中VOCs的变化情况，以其为核心建立全覆盖的分布式监测预警系统。可实现园区重点管控因子的源头防控及敏感区域的污染预警。走航监测走航监测实时分析环境空气中VOCs的时空变化，锁定污染来源，为执法部门的决策提供准确的数据支撑。

飞行时间二次离子质谱（TOF- SIMS）是一种表面敏感的技术，提供表面分子，元素及其同位素前几个原子层的组成图像。所有元素和同位素，包括氢气都可以用飞行时间二次离子质谱分析。在理论上，该仪器可以在一个无限大的质量范围内提供很高的质量分辨率（在实践中通常是大约 10000amu）。PHI TRIFT V nano飞行时间质谱仪（三次对焦飞行时间）是一种高传输、并行检测仪器，其目的是由主脉冲离子束轰击样品表面所产生的二次离子可以得到zui佳的收集状态，并可同时用于有机和无机表面特征分析。TRIFT分析仪的工作原理会把离子在光谱仪中不断的重新聚焦。使二次离子质谱允许更多重大的实验得以进行。主离子束zui先进的设计，允许经由计算机控制去同时达到高横向分辨率的成像和高质量的图谱分辨率。PHI TRIFT V nanoTOF是第五代SIMS仪器，该仪器具有独特的专利时间飞行（TOF）分析仪，它拥有市场上TOF-SIMS仪器中zui大的角度和能量接受标准，实现了高空间分辨率质量分辨率和使用具有优良离子传输能力的三重重点半球形静电分析器。PHI TRIFT V nanoTOF还具有很高的能力，可以图像具有非常复杂的几何形状的样本而没有阴影。

PHI nanoTOF3+ 特征先进的多功能TOF-SIMS具有更强大的微区分析能力，更加出色的分析精度 飞行时间二次离子质谱仪新一代 TRIFT 质量分析器，更好的质量分辨率 适用于绝缘材料的无人值守自动化多样品分析 独特的离子束技术 平行成像 MS/MS 功能，助力有机大分子结构分析 多功能选配附件TRIFT分析器适用于各种形状的样品 宽带通能量+宽立体接收角度宽带通能量、宽立体接受角-适用于各种形貌样品分析主离子束激发的二次离子会以不同角度和能量从样品表面飞 出，特别是对于有高度差异和形貌不规则的样品，即使相同 的二次离子在分析器中会存在飞行时间上的差异，因此导致 质量分辨率变差，并对谱峰形状和背景产生影响。 TRIFT质量分析器可以同时对二次离子发射角度和能量进行 校正， 保证相同二次离子的飞行时间一致， 所以TRIFT兼顾 了高质量分辨率和高检测灵敏度优势，而且对于不平整样品 的成像可以减少阴影效应。 实现高精度分析的一次离子设备先进的离子束技术实现更高质量分辨PHI nanoTOF3+ 能够提供高质量分辨和高空间分辨的TOF-SIMS分析:在高质量分辨模式下，其空间分辨率优于500nm 在高空间分辨模式下，其空间分辨模式优于50 nm。通过结合强度高离子源、高精度脉冲组件和高分辨率质量分析器，可以实现低噪声、高灵敏度和高质量分辨率的测量 在这两种模式下，只需几分钟的测试时间，均可完成采谱分析。前所未见的无人值守TOF-SIMS自动化多样品分析 -适用于绝缘材料PHI nanoTOF3+搭载全新开发的自动化多样品分析功能，程序可根据 样品导电性自动调整分析时所需的高度与样品台偏压， 可以对包括 绝缘材料在内的各类样品进行无人值守自动化TOF-SIMS分析。 整个分析过程非常简单， 只需三步即可对多个样品进行表面或深度 分析 ：①在进样室拍摄样品台照片 ；②在进样室拍摄的照片上指定 分析点 ；③按下分析键，设备自动开始分析。 过去，必须有熟练的操作人员专门操作仪器才能进行TOF-SIMS分析 ； 现在，无论操作人员是否熟练，都可以获得高质量的分析数据标配自动化传样系统PHI nanoTOF3+配置了在XPS上表现优异的全自动样品传送系 统 ：样品尺寸可达100mmx100 mm， 而且分析室标配内置 样品托停放装置 ；结合分析序列编辑器（Queue Editor），可以实现对大量样品的全自动连续测试。采用新开发的脉冲氲离子设备获得证书的自动荷电双束中和技术TOF-SIMS测试的大部分样品为绝缘样品，而绝缘样品表面 通常有荷电效应。PHI nanoTOF3+ 采用自动荷电双束中和 技术，通过同时发射低能量电子束和低能量氲离子束，可实现对任何类型和各种形貌的绝缘材料的真正自动荷电中和，无需额外的人为操作。 *需要选配Ar离子设备 远程访问实现远程控制仪器PHI nanoTOF3+允许通过局域网或互联网访问仪器。 只需将样品台放入进样室， 就可以对进样、换样、测试和分析等所有操作进行远程控制。我们的专业人员可以对仪器进行远程诊断。*如需远程诊断，请联系我们的客户服务人员。 从截面加工到截面分析： 只需一个离子源即可完成标配离子设备FIB(Focused lon Beam)功能在PHI nanoTOF3+中， 液态金属离子具设备备 FIB功能， 可以使用单个离子设备对样品进行 横截面加工和横截面TOF-SIMS分析。通过操 作计算机， 可以快速轻松地完成从FIB处理 到TOF-SIMS分析的全过程。此外，可在冷却 条件下进行FIB加工。 在选配Ga源进行FIB加工时，可以获得FIB加 工区域的3D影像 ；Ga源还可以作为第二分析 源进行TOF-SIMS分析。 通过平行成像MS/MS进行 分子结构分析[选配]MS/MS平行成像 同时采集MS1/MS2数据在TOF-SIMS测试中，MS1质量分析分析器接收从样品表面 产生的所有二次离子碎片，对于质量数接近的大分子离子， MS1谱图难以区分。通过安装串联质谱MS2，对于特定离子 进行碰撞诱导解离生产特征离子碎片，MS2谱图可以实现 对分子结构的进一步鉴定。PHI nanoTOF3+具备串联质谱MS/MS平行成像功能， 可以同时获取分析区域的MS1和MS2数据，为有机大分子结构解析提供了强有力的工具。 多样化配置充分发挥TOF-SIMS潜力可拆卸手套箱：可安装在样品导入室可以选配直接连接到样品进样室的可拆卸手套箱。 锂离子电池和有机 OLED等容易与大气发生反应的样品可以直接安装在样品台上。此外，在 冷却分析后更换样品时，可以防止样品表面结霜。 氩团簇离子源（Ar-GCIB）：有机材料深度剖析使用氩团簇离子源(Ar-GCIB)能够有效减少溅射过程中对有机材料的破坏，从而在刻蚀过程中保留有机大分子结构信息。Cs源和Ar/O2源：无机材料深度剖析可根据测试需求选择不同的离子源提高二次离子产额，使用Cs源可增强负离子产额 ；O2源可增强正 离子产额

PHI nanoTOF3+特征先进的多功能TOF-SIMS具有更强大的微区分析能力，更加出色的分析精度飞行时间二次离子质谱仪最新一代 TRIFT 质量分析器，更好的质量分辨率 适用于绝缘材料的无人值守自动化多样品分析 独特的离子束技术 平行成像 MS/MS 功能，助力有机大分子结构分析 多功能选配附件TRIFT分析器适用于各种形状的样品 宽带通能量+宽立体接收角度宽带通能量、宽立体接受角-适用于各种形貌样品分析主离子束激发的二次离子会以不同角度和能量从样品表面飞 出，特别是对于有高度差异和形貌不规则的样品，即使相同 的二次离子在分析器中会存在飞行时间上的差异，因此导致 质量分辨率变差，并对谱峰形状和背景产生影响。 TRIFT质量分析器可以同时对二次离子发射角度和能量进行 校正， 保证相同二次离子的飞行时间一致， 所以TRIFT兼顾 了高质量分辨率和高检测灵敏度优势，而且对于不平整样品 的成像可以减少阴影效应。 实现高精度分析的一次离子枪先进的离子束技术实现更高质量分辨PHI nanoTOF3+ 能够提供高质量分辨和高空间分辨的TOF-SIMS分析:在高质量分辨模式下，其空间分辨率优于500nm 在高空间分辨模式下，其空间分辨模式优于50 nm。通过结合高强度离子源、高精度脉冲组件和高分辨率质量分析器，可以实现低噪声、高灵敏度和高质量分辨率的测量 在这两种模式下，只需几分钟的测试时间，均可完成采谱分析。前所未见的无人值守TOF-SIMS自动化多样品分析 -适用于绝缘材料PHI nanoTOF3+搭载全新开发的自动化多样品分析功能，程序可根据 样品导电性自动调整分析时所需的高度与样品台偏压， 可以对包括 绝缘材料在内的各类样品进行无人值守自动化TOF-SIMS分析。 整个分析过程非常简单， 只需三步即可对多个样品进行表面或深度 分析 ：①在进样室拍摄样品台照片 ；②在进样室拍摄的照片上指定 分析点 ；③按下分析键，设备自动开始分析。 过去，必须有熟练的操作人员专门操作仪器才能进行TOF-SIMS分析 ； 现在，无论操作人员是否熟练，都可以获得高质量的分析数据标配自动化传样系统PHI nanoTOF3+配置了在XPS上表现优异的全自动样品传送系 统 ：最大样品尺寸可达100mmx100 mm， 而且分析室标配内置 样品托停放装置 ；结合分析序列编辑器（Queue Editor），可以实现对大量样品的全自动连续测试。采用新开发的脉冲氲离子枪获得专利的自动荷电双束中和技术TOF-SIMS测试的大部分样品为绝缘样品，而绝缘样品表面 通常有荷电效应。PHI nanoTOF3+ 采用自动荷电双束中和 技术，通过同时发射低能量电子束和低能量氲离子束，可实现对任何类型和各种形貌的绝缘材料的真正自动荷电中和，无需额外的人为操作。 *需要选配Ar离子枪 远程访问实现远程控制仪器PHI nanoTOF3+允许通过局域网或互联网访问仪器。 只需将样品台放入进样室， 就可以对进样、换样、测试和分析等所有操作进行远程控制。我们的专业人员可以对仪器进行远程诊断。*如需远程诊断，请联系我们的客户服务人员。 从截面加工到截面分析： 只需一个离子源即可完成标配离子枪FIB(Focused lon Beam)功能在PHI nanoTOF3+中， 液态金属离子枪具备 FIB功能， 可以使用单个离子枪对样品进行 横截面加工和横截面TOF-SIMS分析。通过操 作计算机， 可以快速轻松地完成从FIB处理 到TOF-SIMS分析的全过程。此外，可在冷却 条件下进行FIB加工。 在选配Ga源进行FIB加工时，可以获得FIB加 工区域的3D影像 ；Ga源还可以作为第二分析 源进行TOF-SIMS分析。 通过平行成像MS/MS进行 分子结构分析[选配]MS/MS平行成像 同时采集MS1/MS2数据（专利）在TOF-SIMS测试中，MS1质量分析分析器接收从样品表面 产生的所有二次离子碎片，对于质量数接近的大分子离子， MS1谱图难以区分。通过安装串联质谱MS2，对于特定离子 进行碰撞诱导解离生产特征离子碎片，MS2谱图可以实现 对分子结构的进一步鉴定。PHI nanoTOF3+具备串联质谱MS/MS平行成像功能， 可以同时获取分析区域的MS1和MS2数据，为有机大分子结构解析提供了强有力的工具。 多样化配置充分发挥TOF-SIMS潜力可拆卸手套箱：可安装在样品导入室可以选配直接连接到样品进样室的可拆卸手套箱。 锂离子电池和有机 OLED等容易与大气发生反应的样品可以直接安装在样品台上。此外，在 冷却分析后更换样品时，可以防止样品表面结霜。 氩团簇离子源（Ar-GCIB）：有机材料深度剖析使用氩团簇离子源(Ar-GCIB)能够有效减少溅射过程中对有机材料的破坏，从而在刻蚀过程中保留有机大分子结构信息。Cs源和Ar/O2源：无机材料深度剖析可根据测试需求选择不同的离子源提高二次离子产额，使用Cs源可增强负离子产额 ；O2源可增强正 离子产额

TOF-SIMS是一种非常灵敏的表面分析技术，适用于许多工业和研究应用。该技术通过对一次离子束轰击样品表面产生的二次离子进行质量分析，并行探测所有元素和化合物，具有极高的传输率（可达到100%），只需要一次轰击就可以得到研究点的完整质量谱图，从而提供有关样品表面、薄层、界面的详细元素和分子信息，并能提供全面的三维分析。其用途广泛，包括半导体，聚合物，涂料，涂层，玻璃，纸张，金属，陶瓷，生物材料，药品和有机组织领域。全新 M6 — — 飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）先进科技M6 是 IONTOF 在 TOFSIMS 5 基础上开发的新一代高端飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）仪器，对一次离子源（LMIG）和质量分析器（TOF Analyser）进行了突破性的改进。此外，在硬件方面还增加了 MS/MS 功能选项，重新设计了加热和冷却系统；在软件方面新增了多元统计分析（MVSA）软件包。其设计保证了 SIMS 应用在所有领域的卓越性能。新的突破性离子束和质量分析器技术使 M6 成为二次离子质谱（SIMS）仪器中的耀眼光芒、工业和学术研究的理想工具。全新 M6 具有以下突出优势：1 新型 Nanoprobe 50 具有高横向分辨率 ( 50 nm)2 质量分辨率 30,0003 独特的延迟提取模式可同时实现高传输，高横向质量4 广域的动态范围和检测限5 用于阐明分子结构具有 CID 片段功能的 TOF MS/MS6 先进智能的 SurfaceLab 7 软件，包括完全集成的多元统计分析 (MVSA) 软件包7 新型灵活按钮式闭环样品加热和冷却系统，可长期无人值守运行

仪器简介：1. 适合做多层薄膜的深度分析。2. 很好的、耐用的、普通目的的二次离子质谱仪。3. 方便使用。4. 样品可以手动转换，由于分析速度快所以每天可以分析一定数量的样品。5. 我们的系统可配置快速原子枪，使我们可以轻松处理绝缘的样品。6. 我们还可以做元素成像（就象化学地图）和混合模式扫描，自动测量正、负和中性粒子。7. 我们的系统是典型的超高真空工作台，很容易满足很多其它分析的使用。结构紧凑，但不损失性能。真正的高性价比。技术参数：质量数范围：300，510或1000amu分辨率：5%的谷，两个相连的等高峰。检测器：离子计数检测器，正、负离子检测检测限：1:10E7质量过滤器：三级过滤四极杆（9mm杆）主离子枪： A，氧离子或其它气体，能量到5KeV B，Ga离子枪，能量25KeV（选配）空间分辨率：A：100～150um B: 50nm取样深度：2个单分子层（静态） 不受限制（动态）主要特点：? 高灵敏度脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围 ? SIMS 成像，分辨率在微米以下 ? 光栅控制，增强深度分析能力 ? 所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输 ? 差式泵3级过滤四极杆，质量数范围至1000amu ? 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器 ? Penning规和互锁装置可提供过压保护 ? 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件 MASsoft控制

多功能SIMS工具：高分析效率和全自动化的基准检测灵敏度IMS 7f-Auto是我们获得成功的IMS xf二次离子质谱仪（SIMS）产品系列的新型号。该仪器旨在提高高精度元素和同位素分析的易用性和生产率，已针对玻璃、金属、陶瓷、硅基，III-V和II-VI族化合物器件、散装物料、薄膜等一系列颇具挑战性的应用进行改良，可充分满足行业对高效器件开发和过程控制的要求。用于解决多种分析问题的关键分析功能IMS 7f-Auto提供了具有高深度分辨率和高动态范围的深度剖析功能。高透射质谱仪与两种反应性高密度离子源（O2+和Cs+）相结合，从而提供高溅射速率和极低的检出限。独特的光学设计可实现直接离子显微镜和扫描探针成像。 提高自动化和作业效率IMS 7f-Auto配有重新设计的同轴一次离子枪筒，可以更轻松、更快速地进行一次离子束调谐，并优化一次离子束流稳定性。新的自动化程序减少了由操作员引起的偏差并提高了易用性。带有自动装载/卸载样品架的电动储存室通过分析链和远程操作提高分析效率。 在高分析效率下实现高再现性借助新型电动储存室和样品转移，IMS 7f-Auto能够分析链式或远程模式下的多个样品。测量可以完全无人值守和自动化，具有高通量和可再现性。可实现很高的可再现性（RSD0.5％）、很低的检出限、高测试效率和高生产率（工具可每天24小时使用，几乎无需操作员干预）。

仪器简介：EQS 是差式泵式二次离子质谱（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用最新技术的SIMS 探针，便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。 技术参数：应用： 静态 /动态SIMS 一般目的的表面分析 整体的前端离子源，便于RGA和 SNMS 兼容的离子枪/ FAB 枪 成分/污染物分析 深度分析 泄漏检测 与Hiden SIMS 工作站兼容主要特点： 高灵敏度脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围 SIMS 成像，分辨率在微米以下 光栅控制，增强深度分析能力 45°静电扇形分析器, 扫描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM. 所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输 差式泵3级过滤四极杆，质量数范围至2500amu 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器 Penning规和互锁装置可提供过压保护 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件 MASsoft控制

质谱分析TOF-SIMS 中，根据分子结构反映的质谱，能更详细的对化学结构进行分析。影像分析影像的分辨率，测量时有种可供选择: 256 x 256 ,512x512, 1024x1024 ，每个像素点都存贮着质谱的信息。测量之后，任伺区域的质谱都可以在後数据处理时提取出来。深度剖析TOF-SIMS 中，经过反复测量和溅射，得到深层的结构。这段期间内，所有的质谱都会被保存，完成测量后，任意深度的质谱都可以在後数据处理时提取出来。三维剖析深度概况的数据源于在深度改变时样品结构的变化，在进行完深度分析後不仅可以拥有内部的信息，三维构筑的信息也可以得到。多功能样品处理样晶托提供了两种类型的标准样晶托，有直径25mm ，样晶在样晶托背面安装并固定( Back-mount) ，能放个样品的样品托，方便对准样晶高度。也有直接在样晶托正面安装样晶，可放置和样晶托一般大小的样晶 (100mm ，方便制样。加热冷却样品托用液氮冷却和用加热器加热样晶台，在-150t 200t 之间可控。样晶托上配有温度感应装置，当样晶在进样室开始，软件即马上显示实时温度回读。另外也可以选配比较高可达600t只做加热的样晶托。

仪器简介：全球最先进的动态TOF-SIMS系统，它使用直流主束的飞行时间分析仪，创建了成像质谱的新范式。直流一次离子束的使用允许快速成像和连续数据采集（即没有单独的蚀刻周期），同时提供高空间和质量分辨率。 独有的特点：离子束带来高分子量分析和高空间分辨率四种离子束可选择用气体团簇离子束SIMS，可以分析高达3000Da的分子量无“仅蚀刻”循环的深度剖面。快速、连续采集冷样品处理气敏和冷冻样品,可配置手套箱高级数据查看功能技术参数：腔室上最多可包括3种离子束。选择包括金，C60，气体团簇，和等离子体-每一个适合特定的样品类型或实验，如下所示。离子束能量束斑大小金25kV150nm最高的空间分辨率，导致明显的碎片。是硬质材料的理想选择。碳60 (C60)40kV300nm在任何材料上均匀溅射，碎裂度低，理想值可达1kDa。气体团簇（Ar/CO2/H2O）40kV, 70kV1um有机物的高溅射率，任何束流的最低碎片，是生物成像的理想选择。双等离子体发射源 (Ar/O2/N2/Cs)30kV300nm高亮度光源，是无机材料的理想选择。氧束提高正离子产率，Cs提高负离子产率。主要特点：深度剖面该 SIMS非常适合于样品的深度剖面分析。使用直流离子束进行分析的一个重要方面是，不需要将蚀刻离子束与分析离子束交错。为了能够在合理的时间尺度上生成3D图像，并去除受损的亚表面层，传统的TOF实验使用了交错成像和蚀刻循环，这些循环浪费了宝贵的样品。在使用C60+或（CO2）n/Arn+等连续分析离子束，分析和低损伤刻蚀是连续和并行的，因此没有数据丢失，所有材料都被采样，使我们 SIMS成为一个非常精确的深度剖面分析工具。温度和大气控制的多功能样品处理该 SIMS上的多功能样品处理系统可以分析多种样品类型。仪器配备液氮冷却装置，以便对挥发性样品进行分析——冷却装置适用于主样品阶段和样品插入锁。相反，样品台也可以加热到600 K。仪器配有手套箱，用于在干燥气体下制备和插入空气/水敏感样品，并防止冷却过程中结冰。由于小容量负载锁定和高泵送速度，样品插入很快。 半导体半导体分析的范围可以从浅结深度剖面到高分辨率3D成像。有五种不同的主离子束可供选择，可以针对不同的材料或实验类型进行定制。从 40kV C60 光束中进行选择，即使在混合材料上也能提供高分辨率成像和均匀的溅射率，是平面设备的理想选择。或 FLIG 5，超低能耗 O2/Cs 光束，具有无与伦比的电流密度，是浅结深度剖析的最佳选择。特征：IOG C60-40， FLIG 5， 深度剖析， 3D 成像 聚合物液态金属离子束会导致高水平的碎裂和对表面的损坏，然后必须通过GCIB将其去除。这会降低深度分辨率，并增加实验不必要的复杂性。GCIB是主光束，因此可确保低分段，不需要仅蚀刻循环，并保证高深度分辨率。GCIB SM 是市场上能量最高的 GCIB，能够以前所未有的速度和最小的损坏蚀刻聚合物等软质材料，从而实现比以往更大的 3D 分析量。特征：GCIB SM， 深度剖析， 3D 成像

仪器简介：二次质谱仪（SIMS）是最前沿的表面分析技术。确立于40多年前，它揭示了极表面 和近表面的原子层的化学组成。这种信息远远超过了为鉴定有机组成部分的分子结 构所需的简单元素分析。 应用： 单分子层水平表面信息　　薄膜纵剖面分析 所有元素检测　　　　　　有机物质鉴定 表面污染鉴定 高灵敏度分析　　　　　　 快速化学组分成像等表面分析领域技术参数：■ There are three modes of detection： Static SIMS (surface analysis) High energy primary ions are used to dislodge secondary ions from the surface molecular layers. These ions are analysed by mass spectrometry, producing a spectrum to identify both organic and inorganic species. -------------------------------------------------------------------------------- Imaging SIMS (spatial analysis) Scanning the focused primary ion beam over the sample surface builds up an image showing the distribution of any species.This is ideal for analysing the uniformity of coatings or the composition of small features. -------------------------------------------------------------------------------- Dynamic SIMS (depth analysis) By concentrating the primary beam into a small area, the surface layers are progressively etched away. This produces an analysis of the subsurface region, monitoring the thickness and composition of thin films.主要特点：SIMS一个主要的特征是对表面（固定SIMS）的固定区域的原位分析。扫描聚焦探测 光束（影像SIMS）生成一个表面成分图仅需几秒钟（而不是几分钟）。延展的分析 通过深度刻蚀表面而显示表层下面变化的组成（动态SIMS）。所有这些能在只需少 量而不需任何样品准备的情形下操作成功，并且具有高灵敏度，同时可使分析时间 降至最短。 Millbrook MiniSIMS是在一个紧凑的半开式可移动仪器中开发的SIMS功能技术。 仅需一个标准的主电源以供操作，放置极为方便。完全的计算机控制使得操作简 便，并且自动获得数据。通过英特网的远距离控制使您使用SIMS更为方便。 MiniSIMS使得室内表面分析仪器，在很大范围的情形下成为一种操作简便经济实 用的方式，低成本的资金和维护费用以及高的样品产出，意味着每个样品的总费用 要比使用传统的SIMS仪器减少90%

MAXIM 二次离子溅射中性粒子质谱仪可分析二次阴、阳离子动态和中性粒子，所具备的的30°接受角可形成样品粒子平面，应用于SIMS和SNMS的光学采样。 光栅控制，增强深度分析能力 所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器质量数范围： 300amu，500amu，1000amu 检测器： 离子计数探测器、正负离子探测器、107 cps 质量过滤器： 3F四级杆 杆直径： 9mm 最高加热： 250℃ 离子源： 电子轰击，可用于SNMS和RGA的单根灯丝

应用于地球科学的大尺寸几何结构离子探针IMS 1300-HR3是一款大尺寸几何结构离子探针，可为广泛的地球科学应用提供无与伦比的分析性能：使用稳定同位素追踪地质过程，矿物定年，以及确定痕量元素的存在和分布。其高灵敏度和高横向分辨率也使其成为搜索和测量铀颗粒以用于核防护目的的必要工具。高空间分辨率和高质量分辨率下的高再现性的独特组合借助新型IMS 1300-HR3，CAMECA极大地提高了已占据市场领导地位的大尺寸几何结构SIMS的性能，现可在高空间分辨率和高质量分辨率下为地球科学界提供高重现性的独特组合。该工具可充分满足高精度和高生产率的小尺度原位同位素测量的需求，并拓展了广泛的研究方向——从稳定同位素、地质年代学和痕量元素到小颗粒等等。秉承了IMS 1280-HR和之前型号的主要优点：大尺寸几何结构设计可在高质量分辨率下提供高灵敏度应用于高精度同位素测量的多功能多接收器系统用于分析正负二次离子的双一次离子源卓越的离子成像能力（探针和显微镜模式）增强型磁场控制系统实现了高质量分辨率下的高再现性远程操作、全自动化、功能强大的应用专用软件IMS 1300-HR3的改进及优点：新型射频等离子体氧源显著增加了电子束密度和电流稳定性，极大地提高了空间分辨率、数据再现性和通量。具有自动化样品高度（Z）调节功能的新型电动储存室可显著提高分析精度、易用性和生产率。用于改善光学图像分辨率的紫外光显微镜，搭配专用软件实现简单的样品导览1012 Ω电阻法拉第杯：用于测量低计数率的低噪声电测系统

TESCAN 电镜质谱 FIB-SEM-TOF-SIMS 联用系统电子显微分析是材料和生命科学微观分析中最重要的一环，而元素分析是其中最重要的表征手段之一，但标准的分析手段如能谱仪和波谱仪存在很多不足，例如因灵敏度不足、空间分辨率较差，无法进行轻元素、微量元素的分析，无法分辨同位素等等，普通的分析手段已不能满足现阶段应用的需求。TESCAN 提供的解决方案是将飞行时间二次离子质谱与 FIB-SEM 系统集成。这种组合能够为用户提供固体材料的 3D 化学表征和分子信息，高离子质量分辨率和高空间分辨率成像等，并可以进行原位 FIB 深度分析。 飞行时间-二次离子质谱（TOF-SIMS）TOF-SIMS(Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry) 是具有极高分辨率的质谱仪，工作原理是用聚焦离子束照射样品表面，从而在样品最上层的原子层激发出二次离子 (SI），再根据不同质量的二次离子飞行到探测器的时间不同来测定离子质量。与 EDX 相比，TOF-SIMS 可以实现更好的横向和纵向分辨率，还可以识别并定量样品表面层中存在的元素和分子物质，以及具有类似标称质量的同位素和其他物质等。 系统主要优势：ü 高灵敏度，Be，B和Li之类的轻元素检出限可达ppm级ü 优异的空间分辨率，横向分辨40nm，纵向分辨率15 nmü 正负离子均可检测，离子质量分辨率800ü 2维和3维快速、高离子质量分辨率和高空间分辨率成像，进行原位FIB深度分析ü 通过坐标转移，保证不同仪器分析位置的重合 应用案例：1. 轻元素及微量元素分析：Li 离子电池中 LI+ 面分布分析2. 通过低电压和小束流 FIB 逐层减薄，成功区分出厚度为 2.5 nm 的掺有 0~15% 的 In 元素的 GaN 层3. 金属复合材料中微量元素的晶界偏析测定，检出限可达 ppm 级4. 对铀矿石进行初期的同位素分析，快速得到 238U 和 235U 的分布信息 关于TESCANTESCAN发源于全球最大的电镜制造基地-捷克Brno，是电子显微镜及聚焦离子束系统领域全球知名的跨国公司，有超过60年的电子显微镜研发和制造历史，是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者，也是行业领域的技术领导者。

金铠仪器的分子束飞行时间质谱，是一款采用了分子束进样，结合光电离复合电离源及飞行时间质量分析器的质谱仪。通过将样品分子从气相转变充满空间的分子束，然后对其进行分析，适合用于探测反应过程中产生的稳定或不稳定的中间物(如:自由基、烯醇、过氧化物等)，可应用如催化反应，等离子体化学，环境化学，燃烧与热解等领域。分子束采样技术采用自由射流膨胀来提取活性物种，这种设计可在短于化学反应的时间尺度内达到无碰撞的分子流，从而“冻结”采样气体的化学成分，减少目标分子的碰撞频率，避免二次反应的发生，提供完整的无碰撞条件下的总体组分组成信息。因此，可利用分子束采样实现原位采样并尽量保持活性物种的初始状态。采用基于真空紫外VUV灯的复合电离源，电离能量可调，碎片离子少、质谱图简单，有利于被分析物的定性和定量分析，且具有优异的耐受氧化性和腐蚀性样品的能力。反射式飞行时间质量分析器，具有可检测的分子量范围大，扫描速度快，分辨率高特点。我公司同样可以根据用户需求专门开发定制满足需求的质谱产品。

仪器简介 TH-310型气溶胶飞行时间质谱仪属于国际上最新一代单颗粒气溶胶飞行时间质谱仪，2016年由武汉天虹引入国外技术生产，它汇集了多项世界领先技术，是一款具有在线采样、单颗粒测径功能的综合式质谱仪器。TH-310空气动力学透镜进样，利用双激光散射单元检测其飞行速度从而计算出颗粒的真空空气动力学直径，再由紫外脉冲激光对颗粒物进行一步解吸和离子化，最后采用双极飞行时间质谱对正负离子进行分析。 TH-310的基本功能是在线检测单个气溶胶颗粒物的粒径及其化学成分特征，延伸功能是对PM2.5进行实时在线源解析。适用范围 环境监测领域：在线及离线气溶胶污染源解析、霾的形成机理监测与研究、PM2.5单颗粒化学组分分析以及二次反应过程监测研究。 其他领域：气候变化研究、气溶胶颗粒的米散射效应研究、发动机排放研究、纳米材料及粉末产品研究。仪器特点可实现在线、离线源解析功能技术亮点：触发激光与电离激光位置紧紧相邻，且电离激光与颗粒物迎面相遇，提高打击率。快速触发，高频脉冲激光，可使整体检测速度达到100颗每秒以上。样品无需前处理，无需稀释，设备具有较宽的PM2.5浓度适用范围。PM2.5在线源解析：●使用特征离子法、类化学质量平衡法两种分析方法。使结果既与同行有可比性，又与传统源解析方法结果有联系。●类化学质量平衡法，将单颗粒数据返回至源类别层面进行拟合分析。减少气溶胶颗粒物从产生到检测过程中的二次反应的影响，也降低人为划定特征离子时产生的差别。使源解析结果更稳定、更具有代表意义。●同时考虑空气动力学透镜的传输效率、米散射效应等，将颗粒物分段进行源解析。 采集界面截图 棒状质谱仪 分粒径源解析结果设计示意图 不分段的源解析结果分析示意图技术参数

Nu 生产的飞行时间等离子体质谱仪 主要特点： 1、可获得高灵敏度的成熟离子提取和聚焦光学器件2、新型分段反应池，具有多个气体控制器，可消除干扰3、专利的物理离子束衰减器，提高质谱仪的工作动态范围4、变频离子采样，高分辨率飞行时间 (TOF) 质谱仪按应用优化灵敏度5、采用 Bradbury-Nielson 离子门，选择进入TOF的质量数范围6、可靠耐用的MagneTOF检测器，动态范围宽，可在信号超出范围时快速恢复7、快速数据采集和处理电子器件，可为关键应用提供微秒级不间断数据8、可选装全尺寸四极杆，配有专利旁路离子光学，可覆盖整个质量数范围，且无质量偏差

四极杆飞行时间质谱仪7890A-7200 (Q-TOF) GC/MS 安捷伦7200型GC/Q-TOF(气相色谱/四极杆飞行时间质谱仪)将分离功能强大的7890A GC 和高分辨率的TOF 质谱仪以及高灵敏度的四级杆相结合，全新定义了GC/MS技术，是首台集高分辨定性鉴定与高灵敏度定量分析于一身的气相/质谱系统。 四极杆飞行时间质谱仪7890A-7200 (Q-TOF) GC/MS 的功能部件&bull 三个涡轮分子真空泵&bull 旋片式前级泵&bull MS 单独加热的可拆卸 EI 或 CI 离子源&bull 可拆卸离子源 (RIS)，可在仪器中真空损失最小的情况下快速从 EI 转换到 CI 离子源&bull MS 单独加热的双曲面四极杆质量过滤器，可加热到高温，在低 温分析时通常可使污染度降到最低&bull 一个六极杆碰撞池&bull 真空绝热的飞行管，带双级离子镜&bull 高速电子设备，可提高采样速率 &bull 模数检测器&bull GC 单独加热的 GC/MS 接口，在离子源移除期间可自动收回 7200 Q-TOF 包含一个六极杆碰撞池 （覆盖有氮气），以提高离子 碎裂效率，然后进行检测量化。它还包括新的离子光学器件，可在 飞行管和检测器之前聚焦离子。此配置对于许多应用都具有优点。通过使用 MassHunter WorkStation 软件来处理数据，该软件提供了对采集数据的定量和定性分析。 四极杆飞行时间质谱仪7890A-7200 (Q-TOF) 重新定义了GC/MS技术的分析性能凭借创新的离子源设计，耐高温的石英质量过滤器，有效的碰撞池，32G/s 的数据采集速率和高温稳定ADC TOF 电子元件，安捷伦7200 Q-TOF 为结构确认分析带来高特异性的检测和很准确的分子式解析，使您信心十足地迎接很艰巨的分析挑战：如代谢组学、食品、天然产物研究、环境保护和能源研究、新型材料和法医/毒理学等。在 TOF 模式下操作时，仪器可获得高分辨率、精确的质量测量和快速完整质谱图的采集。 MS/MS 模式提供高分辨率、精确的质量测量和高灵敏度 的快速完整产物离子质谱图。这些功能使 7200 Q-TOF 成为解决复 杂的分析问题、进行未知化合物的结构解析以及非目标化合物的确认的理想工具。 四极杆飞行时间质谱仪7890A-7200 (Q-TOF) GC/MS 的工作原理 安捷伦Agilent 7200 Q-TOF 是一个正交飞行时间质谱仪。它在飞行管和检 测器之前使用四极杆和六极杆或碰撞池执行 MS/MS。样品首先通 过电子轰击 (EI) 离子源或化学电离 (CI) 离子源进行电离。电离之 后，离子将通过四极杆质量分析器，质量分析器包括四根平行双曲 面杆，通过这四根平行双曲面杆，可以根据据选定离子的质荷比 (m/z) 来过滤这些选定离子。 通过四极杆的离子随后被引导至碰撞池，该碰撞池设置为选择和碎 裂前级离子以形成产物离子。碰撞池是充满氮气的六极杆，其设计 目的是进行轴向加速，有助于进行高速 MS/MS 分析。碎裂的离子 （或产物离子）将通过切片器传送，这有助于在通过飞行管将离子 流传送到检测器之前聚焦离子流。 所应用的将离子向上传送到飞行管的加速脉冲与离子离开质量分 析器的方向成正交状态。这种几何形状可减小入口速度对飞行时间 的影响，从而提高分辨率。当离子到达飞行管末端时，它们将从反 射器或双级离子镜弹开，朝相反的路径向下回到飞行管底部。模数 检测器位于飞行管的底部。它将计算离子的数量，并将信号发送到 MassHunter 软件以进行数据收集和分析。四极杆飞行时间质谱仪7890A-7200 (Q-TOF) GC/MS 高分辨、精确质量和检测选择性安捷伦 7200 是世界上首款专门针对气质联用系统设计的 Q-TOF（四极杆飞行时间质谱）。7200 完美结合了安捷伦 7890A 气相色谱、7000B 三重串联四极杆气质联用系统和 6500 系列高分辨液相色谱/飞行时间质谱系统的成熟技术。用于气质联用系统的安捷伦 7200 Q-TOF 比四极杆和离子阱系统的灵敏度更高、检测选择性更好，还能提供精确质量信息用于目标化合物、非目标化合物或未知化合物的结构确认。安捷伦 7200 GC/Q-TOF 重新定义了气质联用技术的分析性能，可靠地解决了最棘手的分析难题。

Vitesse飞行时间等离子体质谱仪（TOF-ICP-MS）速度快，灵敏度高，选择性强——Nu Instruments宽质量数范围快速数据采集：适合于激光剥蚀成像和纳米颗粒分析灵敏度高：可分析固体样品中的微米级痕量元素特征，测定纳米颗粒物的元素组成分析物选择性强： 分段式反应池针对多元素分析进行了优化物理分辨率高：飞行时间 (TOF) 质谱仪可提供无干扰分析反应池前可选加一个全尺寸四极杆，增强干扰处理能力Vitesse是一种飞行时间电感耦合等离子体质谱仪，它为高速多元素测试应用而专门设计的终极工具，如激光剥蚀成像和纳米粒子分析。通过一系列的样品附件装置，也可以进行高速的传统ICP-MS分析。反应池前可选加一个全尺寸四极杆，用以增加所使用的化学药剂的选择性，增强干扰处理能力。从 ICP 源采样，获得全部或部分质量数范围的同时离子包，几乎不会丢失样品信息。低至 30μs 的快速读取时间，能够测定单个纳米颗粒物中的所有金属元素和大多数非金属元素。在使用最新激光剥蚀系统时，单激光点样品洗出时间为毫秒级，能够实现从微米大小的样品获得宽范围的元素信息或在几分钟内生成几平方毫米的元素图像。通过组合谱图，可获得更好的数据统计，可获得溶液样品的高度精度的元素和同位素组成。Nu Instruments成立于1995年，是电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)、辉光放电质谱(GD-MS)、同位素比质谱(IRMS)、热电离质谱(TIMS)和惰性气体的市场领导者。Nu的高端质谱仪是用于表征各种样品的同位素或元素组成的分析仪器，提供宝贵的信息，如历史，年龄，来源或纯度。Nu的创新质谱仪安装在世界各地的学术界，政府和工业研究实验室，并服务于广泛的应用，如：测定各种地质样品中的同位素比率以提供数据数据，创建生物医学或地质样品的元素图像，测量同位素比率以确定出处，食物样品的起源，测量纳米颗粒大小和确定材料的纯度。Nu于2016年加入AMETEK。Nu的总部，制造工厂和实验室位于英国北威尔士。

产品概述雪迪龙质子转移反应飞行时间质谱仪PTR-TOF是通过将质子转移离子源和飞行时间质谱结合在一起，能对痕量挥发性有机物和半挥发性有机物（VOCs/SVOCs）实现在线检测的新兴技术，可在数秒内对pptv量级的VOCs/SVOCs进行定性定量，具有响应速度快、无需前处理、灵敏度高和检出限低等优点。应用范围环境空气质量的连续实时监测（VOCs/SVOCs）；在线监测发动机的VOCs/SVOCs排放（如机动车的尾气排放）；工业生产流程（如化工厂、半导体产业等）中VOCs/SVOCs实时监控；化工厂区VOCs/SVOCs的定点或走航监测；实验室分析，如进行烟雾箱中VOCs/SVOCs及二次产物光化学过程观测等。产品特点实时在线监测，无需样品收集和预处理；高灵敏度，检出限低至pptv量级，可检测痕量污染物；响应速度快，可在（50~100）ms内快速甄别污染物；高质量分辨率, 可准确识别化学组分；无需载气，少耗材、维护成本低。

仪器简介：LCMS-IT-TOF是岛津公司最新推出的高端质谱仪，并于2005年3月获得了著名的匹兹堡展会新产品银奖。该奖项是本届展会质谱仪整机产品得到的最高奖。这充分表明分析仪器行业对该仪器优越性能的认可。LCMS-IT-TOF的设计理念是根据现有各厂家质谱仪不能同时实现多级质谱功能和精确质量测定，即二者不可兼得的行业现状下，独创一系列关键的独特技术，实现了离子阱质谱和飞行时间质谱的完美结合。从而实现既可以做多级质谱，又能达到高质量精度的强大功能。 LCMS-IT-TOF无论是在有机小分子的结构分析和代谢组学，还是生物大分子的蛋白质组学研究，包括多肽的一级从头测序，蛋白质鉴定，转录后修饰，复杂糖蛋白的分析等，都可以发挥出巨大的应用功能。技术参数：..主要特点：高分辨率和高质量精度 二级反射器和弹道离子提取等的独特技术可以在所有检测模式下达到高分辨率和高质量精度 高通量和快速正负极性转换功能 检测速度快，正负极转换仅用100ms,实现高通量 高灵敏度 压缩离子导入技术使离子高效进入离子阱，实现高灵敏度 高校正稳定性 采用恒温控制装置，保证了高校正稳定性 真正的MSn功能 独特的离子阱导入和导出技术，使离子损耗减小到最低，可以在10级质谱仍保持高质量谱图

Excitation Process激发过程离子产生和表面灵敏度一束高能初级离子轰击样品表面激发出原子和分子碎片 只一小部分激发出的粒子以离子的状态离开表面，被质量分析器探测出来对于无机材料, 原子离子百分含量 10%对于有机材料，原子和分子离子碎片百分含量可以从 .001% 到 1%只从表面2个分子层激发出的粒子可以以离子态离开表面TOF-SIMS 主要功能采集离子质谱图用于表面元素（原子离子），同位素，分子化学结构（通过分子离子碎片）的表征点或面扫描（2D成像）得到成分分布像，观察不同成分在同一条线或面的分布情况深度剖析和3D成像可以分析不同的膜层结构和成分深度分布信息：多层膜层结构表征，成分掺杂深度，扩散，吸附等表征TOF-SIMS 主要信息所有元素探测– H, He, Li, etc. （H~U)同位素的探测 – 2H, 3H, He, Li, 18O, 13C, etc.详细的分子信息 – 有机和无机分子成像 平行探测–图像中每一像素点都有对应的全质谱表面灵敏 – 样品表面 1-3 个原子 /分子层痕量分析灵敏度高 – 0.1 到 1 ppm 原子浓度快速数据采集 – 通常 1 – 15 分钟 (表面 IMS)高空间分辨率 70 nm （成像模式下） 0.5 μm （保持较好质量分辨率下） 表面物理形貌信息 离子击发出的 SEI （二次电子像） 60 nm 大的立体接收角 ~ 180o可分析所有材料 – 导体，半导体和绝缘材料

JMS-T100LP 是该系列产品中的最新一代产品，是一种简单、耐用且用途广泛的大气压电离- 飞行时间质谱仪。除了采用LC-MS 离子源中最广泛使用的电喷雾离子源（ESI）之外，还可配备JEOL 独特的电离技术，DART&trade （实时直接分析）和ColdSpray（冷喷雾离子源），能在各个领域提供分析解决方案。

PHI简介ULVAC-PHI为全球超高真空表面分析仪器供应商的ling导者，ULVAC-PHI创新的X射线光电子能谱技术（xps）、俄歇电子能谱技术（AES）、二次离子质谱技术等为客户在材料分析方面提供全面且du一无二的解决方案。所提供的仪器：X射线光电子能谱仪、俄歇电子能谱仪、动态二次离子质谱仪和飞行时间二次离子质谱仪，可解决客户端广泛的表面分析问题。主要应用在纳米技术、微机电、存储介质、生化材料、药物化学、家属、高分子、有机电子等领域。X射线光电子能谱分析（XPS）是用X射线照射固体表面，测定表面深约10nm激发的光电子能谱图，来获取表面组成及化学结合状态的分析方法。PHI X-tool产品特点：卓越的操作性并支持多国语言的分析软件： PHI X-tool软件支持简单直观的触摸屏操作，及全部的XPS测定操作； 用户可从手动操作到自动操作（自动定性、定量、分析及完成报告）； 操作性强，无论是否有经验，均可完成测定 另，采用平板电脑，实现了智能的操作环境自动测试及自动报告： 具备分析点的Auto-Z自动对中功能（高速自动的高度调整），绝缘样品的全自动中和功能 实现测定位置的设定，未知样品的测定及分析PHI独有的zui先进的硬件配置 独有的扫描微聚焦X射线源（专利），分析面积在20μm~1.4mm 采用低能电子和Ar离子同时作用绝缘体表面，实现自动电荷中和（专利） 高性能的浮动Ar离子枪实现了高速度低损伤的深度分析

原理：等离子体等离子体分析飞行时间质谱仪是一个全新的仪器，它结合了GD等离子体的溅射速度和飞行时间质谱的灵敏度，实现了高分辨率和高灵敏度条件下固体材料的快速化学深度剖析。重点应用领域： 掺杂分析（半导体、光电子、太阳能光伏、传感器、固态光源） 表面和整体污染鉴定（PVD镀层、摩擦层、） 腐蚀科学和技术（示踪物、标记监测、同位素分析） 界面监测 参数： 采集速率：每30μs一张全质谱 质量分辨率：选择高分辨率模式时，在m/z208可达5000 动态范围：107 质量准确度40ppm 灵敏度:103cps/ppm 深度分辨率：nm 正负离子模式 4个离子的灵活消隐功能 简单易用的水平样品装载 产品特点： 样品分析快速无预处理：无需超高压腔 适用于各种材料及镀层分析 全质量覆盖：可提供从H到U元素的完整质谱和分子信息，包括同位素监测 独有3D数据 ，脉冲射频模式(专利) 高深度分辨率：测试薄层可至1nm到厚层：厚层可达100μm 无需校准的半定量分析：溅射和电离过程分离，使得基体效应最小化原理图：应用实例：富含O18氧化钽的同位素分析Si PV的杂质识别 Si中B的定量掺杂 InGaN中Mg的定量分析

半导体中的四极杆SIMS掺杂物深度剖析和薄层分析CAMECA SIMS 4550为光学器件中的硅、高k、硅锗以及III-V族化合物等复合材料的薄层提供超浅深度剖析、痕量元素和组分测量等一系列扩展功能。高深度分辨率和高通量随着器件尺寸不断缩小，当今半导体的注入物剖面和层厚度通常在1-10纳米的范围内。SIMS 4550通过提供碰撞能量可从5keV降至低于150eV的氧和铯高密度一次离子束进行优化，充分满足上述应用领域的需求。灵活性CAMECA的SIMS 4550是一款动态SIMS工具，可在溅射条件（碰撞角度、能量、物种）方面提供全面的灵活性。在样品溅射过程中，通过电荷补偿（电子枪、激光）专用选项可以轻松分析绝缘材料。SIMS 4550可测量层厚度、对准度、陡度、完整性、均匀性和化学计量。样品架可容纳多种样品：几毫米的薄片至直径100毫米的样品。高精度和自动化先进的四极杆分析仪的光路、峰噪比等都是降低痕量元素检出限的关键因素。凭借先进的特高真空设计以及低至E-10mbar（E-8Pa）范围内的主室压力，SIMS 4550可为氢、碳、氮和氧提供出色的灵敏度。超稳定的离子源和电子设备确保达到较高精度以及RSD小于0.2％的测量重复性。通过易于使用的软件、预定义方案、远程操作以及故障排除，充分考虑了人为因素对精度的影响。每次测量的所有仪器参数设置都存储在数据库中。因此重复测量只需点击几下鼠标即可完成。其他自动化功能

实验室质谱仪 ProC-2 台式飞行时间质谱仪产品描述离子源采用特殊的光电离源(PI)，可以将环境气体中所有成分(氢气、氧气、一氧化碳、二氧化碳、臭氧、氮氧化物、含硫化合物、含氯化合物、碳氢化合物、多环芳烃等)电离，从而一次可以分析空气中的所有产物电离过程中几乎不产生碎片，从而可以不使用色谱分离直接对待测物进行实时分析采用高传输效率的离子透镜技术，可大大提高仪器的灵敏度，可对环境空气中ppb浓度范围的待测物进行定量检测，动态范围宽 采用离子垂直引入技术，双场反射式飞行时间质谱作为质量分析器，可获得较高的质量分辨率，可对空气中的同质体进行区分。使用的是MCP探测器，可实现106增益，能有效屏蔽脉冲干扰信号，获得高信噪比信号分析速度快(采样频率30,000Hz)，可在秒量级时间内获得所有待测物(包括不稳定自由基)的质谱图，也可获得待测物随时间变化的动态曲线，为研究实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪随时间演化的动力学过程提供支持。实验室质谱仪 ProC-2 台式飞行时间质谱仪基本性能指标的设置说明质量检测范围1-500 amu检测限1ppb质量分辨率 2500@(m/z=92)实验室质谱仪 ProC-2 台式飞行时间质谱仪产品特点 可对光、热、电诱导催化气相产物进行在线监测可探测自由基、甲醛、烯酮等不稳定中间产物(反应器选配)采样速度快(秒量级)无需色谱分离，无极性歧视可通过切换阀门，对多个反应通道进行同时监测(阀门选配)专业催化、热解产物数据库固定温度、程序升温产物在线监测可与热重、红外光谱仪联用实验室质谱仪 ProC-2 台式飞行时间质谱仪主要附件(选配)多通道切换阀门原位热催化反应器原位光催化反应器燃烧反应器流动管反应器JSR反应器气相色谱、红外、热重接口及操作软件 实验室质谱仪 ProC-2 台式飞行时间质谱仪仪应用场景热解/燃烧反应光/热催化反应低温氧化反应烘烤/热脱附实验室质谱仪 ProC-2 台式飞行时间质谱仪应用领域石油化工：乙烷脱氢、丙烷脱氢、长链烷烃裂解煤化工：合成气制烯烃、合成气制油、合成气制烷烃、天然气制烯烃环境监测：甲烷氧化、甲醛/苯系物降解、二氧化碳还原、NOx脱除大学/科研机构/实验室气固相催化反应机理研究各种催化反应卷烟加工食品加工制药工业气体化学化工化肥/合成氨发酵冶金/钢铁半导体实验室质谱仪 ProC-2 台式飞行时间质谱仪应用范例甲烷氧化偶联(OCM)反应中间体探测可对甲基自由基、过氧甲基自由基、甲醛等活泼中间体进行原位捕获和探测卷烟热解产物监测可观察热解产物在不同热解温度的分布和强度区别(m/z=162为尼古丁) 聚乙烯催化热解产物监测聚乙烯加入HZSM-5催化剂后，可观察到部分催化热解产物选择性显著增加甲醇制烯烃(MTH)产物动态监测可获得甲醛(积碳中间体)和其他产物在不同催化剂上的生成和转化过程煤热解产物监测可在线观察到大量烃类热解产物生成质谱-红外联用研究MTH反应同时获得气相脱附产物和吸附产物谱图 公司承接非标订制等其他产品我们还提供非标飞行时间质量分析器和各种催化、高/压热解反应器、光电离源、电离腔、JSR反应器、分子泵、MCP微通道板、数据采集卡等质谱仪专用备件订制服务。