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快速热化学气相沉积系统

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快速热化学气相沉积系统相关的方案

  • 微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统中真空压力控制装置的国产化替代
    目前微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统中的真空压力控制装置普遍采用美国MKS公司的控制阀和控制器。本文介绍了采用MKS公司产品在实际应用中存在控制精度差和价格昂贵的现象，介绍了为解决这些问题的国产化替代方案，介绍了最新研发的真空压力控制装置国产化替代产品，并验证了国产化替代产品具有更高的控制精度和价格优势。
  • 天津兰力科：稀土化学沉积数据库系统设计与应用研究
    在科技日新月异的今天，新材料的发展水平已经成为衡量一个国家高科技水平和综合国力强弱的重要标志，化学镀是在材料领域中发展起来的一类新兴技术，化学沉积钻基合金不需要电流，可在各种基体材料上沉积以及具有优异的磁学性能，但它存在镀液稳定性差、沉积速度和均镀能力不理想等问题。由于稀土元素在电镀、表面化学热处理中能有效提高镀液稳定性、沉积速度和渗速，可以改善材料的可焊性、硬度和耐磨性等功能特性作用，所以展开了稀土元素介入化学沉积钻基合金的尝试。稀土元素介入化学沉积钻基合金是一个具有良好发展前景的研究方向，为了加速其实际应用的步伐，对在试验过程中获得大量数据，以中文VisualFoxPro6.O为工具，开发出化学沉积数据库系统应用软件。该软件系统分别建立了镀覆工艺、显微硬度和磁学性能三个数据库。以此为基础，开发了六个应用模块，分别为文件管理模块、编辑处理模块、数据管理模块、图片管理模块、打印管理模块、退出系统模块。通过该软件，我们可以方便的管理所有的试验数据。根据试验数据，用数值分析的方法进行数据处理，拟合出试验数据的近似函数表达式。用正交表对基础配方进行分析，得到最佳配方，并进行相应方差分析 用样条函数和最小二乘法分析镀覆工艺试验数据，绘制出三次样条函数和三次近似多项式的图形，获得化学沉积速度最大时各因素浓度所在的区间。本文的研究是对试验数据处理的一种探讨，为稀土化学沉积数据库系统的建立探索出一条途径，为获得最佳的钻基合金镀层性能奠定了基础，具有较大的理论和现实意义。
  • 电化学原子力显微镜（EC-AFM）实时监测铜在金表面的电沉积
    近年来，对电化学过程的理解如电沉积（也称电镀）在各种科学技术中的作用变得非常凸显，包括括微电子、纳米生物系统、太阳能电池、化学等其他广泛应用。〔1，2〕电沉积是一种传统方法，利用电流通过一种称为电解质的溶液来改变表面特性，无论是化学的还是物理的，使得材料可适合于某些应用。基于电解原理，它是将直流电流施加到电解质溶液中，用来减少所需材料的阳离子，并将颗粒沉积到材料的导电衬底表面上的过程[3 ]。此项技术会普遍增强导电性，提高耐腐蚀性和耐热性，使产品更美观。良好的沉积主要取决于衬底表面形貌〔4〕。因此，一项可以在纳米等级上测量，表征和监测电沉积过程的技术是非常必要的。有几种方法被应用到了这种表面表征。例如像扫描电子显微镜（SEM）和扫描隧道显微镜（STM）。这些技术可以进行纳米级结构的测量，但是，其中一些为非实时下的，一些通常需要高真空，而另一些则由于其耗时的图像采集而不适用于监测不断变化的过程。[2，5] 为了克服这些缺点，电化学结合原子力显微镜（通常称为EC-AFM）被引入进来。 这种技术允许用户进行实时成像和样品表面形貌变化的观测，并可以在纳米级的特定的电化学环境下实现。[ 6 ]在此次研究中，成功地验证了铜颗粒在金表面的沉积和溶解。利用Park NX10 AFM在反应过程中观察铜颗粒的形态变化，并在实验过程中使用恒电位仪同时获得电流-电压（CV）曲线。
  • 稀土元素对钴-镍-硼合金化学沉积的影响
    研究了稀土元素铈、镧、钇对化学镀钴-镍-硼合金沉积速度的影响。稀土元素的加入增大了合金层的沉积速度,其中,钇的作用最为明显。 只做学术交流，不做其他任何商业用途，版权归原作者所有！
  • 氦质谱检漏仪脉冲激光沉积系统 PLD 检漏
    脉冲激光沉积系统 PLD脉冲激光沉积系统 Pulsed laser deposition 是制备高通量多晶薄膜, 外延薄膜和多层异质结构和超晶格结构的物理气相沉积设备, 通常需要保证本底真空度达到 10-8mbar, 同时高真空环境对系统配置的 RHEED 及温控系统等关键设备的寿命也至关重要.
  • 利用地蒽酚气相沉积法讨论MS成像在工业化产品领域的应用
    地蒽酚通过气相沉积法降低了杂质的影响，增强了染料的离子强度，同时提高了MS图像的对比度。通过这种方式也能够确认气相沉积法对地蒽酚的有效性，因此，将讨论在利用iMLayer实施的CHCA、DHB、9-AA 3种标准气相沉积方法中新追加地蒽酚气相沉积法。
  • 【PalmSens4电化学应用】电沉积氧化对乙酰氨基酚，用于尼古丁和乙基香兰素β-D-葡萄糖苷的智能便携式比率检测
    对乙酰氨基酚氧化物（PA ox）的电沉积，用于尼古丁（NIC）和乙基香兰素β-D-葡萄糖苷（EVG）的智能便携式比率检测。在丝网印刷碳电极（SPCE）上电沉积PA氧作为新的固定状态比率参考探针。将便携式电化学工作站与智能手机相结合，作为智能便携式电化学传感平台。
  • MA-3000直接燃烧法在环保行业测定沉积物中总汞的应用
    MA-3000直接燃烧法在环保行业测定沉积物中总汞的应用沉积物中的汞是嵌入水生生态系统底层的汞。汞通过火山活动和岩石随时间的矿物风化以及工业和城市资源（如燃煤发电厂或危险废物焚烧）自然进入水体。释放到空气中的汞最终可能会沉入水中或被冲入水中，在那里它沉积在湖底、河床、湿地和潮间带上，并与底部基质融为一体。沉积物汞可被微生物转化为甲基汞，这是一种剧毒化学物质，会在鱼类、贝类和吃鱼的动物体内积聚。汞对自然生态系统和人类都是危险的，因为它具有剧毒，特别是因为它能够破坏中枢神经系统。汞对子宫内和儿童早期的人类发展构成特别威胁。因此，为了防止汞中毒或评估污染问题的可能性，有必要准确量化沉积物中的总汞。NIC公司 MA-3000是一款专用的直接汞分析仪，通过热分解、金汞齐化和冷原子吸收光谱有选择地测量几乎任何样品基质(固体、液体和气体)的总汞。MA-3000提供快速测试的结果，没有任何繁琐、耗时和复杂的样品制备过程。这是一个理想的解决方案，以满足当今实验室对简单，快速和准确的汞测量的需求.
  • HJ 805 土壤和沉积物 多环芳烃的测定?气 相色谱-质谱法
    中国环境保护标准HJ 805-206规定了测定土壤和沉积物中多环芳烃的方法，该标准适用于土壤和沉积物中16种多环芳烃的测定。本文使用珀金埃尔默Clarus SQ8 GC/MS测定土壤中多环芳烃。本套系统符合HJ805-206方法设定的性能指标。文中所示目标化合物的线性、结果重现性、回收率和检出限均良好，表明该仪器配置具有优异的检测性能，完全可以满足方法需要。
  • 微波提取-固相萃取净化-气相质谱法测定土壤和沉积物中的多氯联苯
    多氯联苯，通常简称PCBs，是12种优先控制的有机污染物之一，曾在世界范围内被广泛生产和使用。由于多氯联苯的物理、化学性质比较稳定，在使用过程中不易分解，因此大多数都被排放到环境中，环境中残留的多氯联苯通过挥发、扩散质流产生转移，污染大气、地表水体和地下水，并可通过生物富集和食物链使其在人体内富集，最终危害人体健康。因此，建立完善的土壤中多氯联苯监测分析方法，对了解和治理多氯联苯的污染现状具有重要的意义。微波萃取技术通过微波反应器发射微波能，使原料中的化学成分迅速溶出的技术。与传统提取方法相比，具有节省溶剂、快速、回收率高、绿色环保、批处理量大等明显优势。本实验参考标准方法HJ743-2015、HJ922-2017，使用ETHOS UP微波萃取仪提取土壤和沉积物中的多氯联苯，可在40min内完成44个土壤样品的提取，SPE1000八通道全自动固相萃取净化，并用气质联用仪进行检测。
  • 粉末工程的革命—粉末型原子层沉积（PALD）设备选型
    原子层沉积技术（ALD）是一种自限制性的化学气相沉积手段，通过将目标反应拆解为若干个半反应，实现表面涂层的原子层级厚度控制。利用该技术制备的涂层具有：共形，无针孔，均匀的特点，对于复杂的表面界面以及高纵深比样品有较好的沉积效果。
  • 原子层沉积技术——精准、逐层“3D打印”催化剂！
    原子层沉积技术(ALD)，亦称原子层外延技术(ALE)，是一种基于有序、表面自饱和反应的化学气相薄膜沉积技术。由于ALD沉积的绝大多数金属和氧化物材料本身就是某些反应中的催化剂，因此ALD在催化领域的应用也很早就引起了人们的关注。此外，作为一种自下而上的新方法，ALD独有的三维共形性、高均匀性、原子级精准控制和低生长温度等特点，如同“3D”打印一般实现了高均一性催化剂的精细可控合成。
  • 稀土La对化学沉积Co-Ni-B合金镀层的改性作用
    为了得到性能优良的钴基软磁薄膜，利用等离子发射光谱仪、电子能谱仪、显微硬度计等考察和分析了引入稀土金属La时化学沉积Co—Ni—B的合金镀层成分、显微硬度和磁性能。 只做学术交流，不做其他任何商业用途！版权归原作者所有！
  • 堇青石基质混合装置消除选择性催化还原（SCR）加料系统中沉积能力的光学研究
    采用LaVision公司的高速阴影成像测试系统和Artium Technologies的 PDI-200相位多普勒粒子干涉仪，对堇青石基质混合装置中的液滴喷射形态和液滴粒径速度进行了测量，并研究了堇青石基质混合装置消除选择性催化还原（SCR）加料系统中沉积的能力。
  • 离子色谱测定海洋沉积物孔隙水中氯离子含量
    海底沉积物孔隙水中阴阳离子浓度异常作为地球化学异常的一种，已经成为重要的天然气水合物勘查识别技术[1-31。大量研究表明，海洋沉积物孔隙水中ci一质量浓度异常和 S02一质量浓度梯度已成为两项最为重要的识别天然气水合物的地球化学指标〔4-61。目前，对海洋沉积物孔隙水中常见阴阳离子含量的分析已经作为一种常规方法，应用于中国海域天然气水合物的地球化学勘查与研究工作中
  • 睿科仪器：土壤与沉积物中二氯酚残留的解决方案
    本文参考《HJ 703-2014 土壤和沉积物 酚类化合物的测定 气相色谱》，建立了利用全自动固相萃取仪（Fotector Plus）结合气相色谱-质谱联用检测沉积物中酚类化合物残留量的方法。在100mL二氯甲烷-正己烷（2+1）提取后，Fotector Plus全自动固相萃取仪净化，自动完成 SPE 柱活化、样品上样、淋洗、收集等步骤，收集液再氮吹浓缩、溶剂转换、定容后，用GC-MS检测。1.AutoEVA-60同时处理60个样品，提高实验室样品前处理的效率，针的液面追随系统能够让你的浓缩过程省时、省气；2.Fotector Plus能够自动的完成整个固相萃取流程，从活化到上样，清洗样品瓶，洗脱一步到位，省时省事；3.Fotector Plus采用全自动操作，固相萃取过程中可以排除操作带来的误差，能够获得手动固相萃取无法达到的RSD水平。4.Fotector Plus 能够实现高通量处理，对于上样体积大于80mL的样品，最多一天能够处理90个样品，对于1000mL的水样，最多一天能够处理60个样品，真正为批量检测提供帮助.5.利用Reeko Fotector Plus全自动固相萃取系统能够很好的重现《HJ 703-2014 土壤和沉积物 酚类化合物的测定 气相色谱》，回收率与RSD符合HJ 703-2014的允许差要求，符合HJ 703-2014中对分析结果的质量控制的要求。
  • 利用原子层沉积系统ALD沉积不同薄膜材料获得周期有序微格结构
    通过高分子网状模板沉积不同薄膜材料（Au, Cu, Ni, SiO2, poly(C8H4F4)）获得周期有序微格结构，其密度在0.5 mg/cm3 to 500 mg/cm3之间。以压力法测得杨氏模量和强度，并且进行了密度定标。在低相对密度的情况下，观察到与微格材料无关的５０％或更高的压力应变恢复。一个分析模型的预测了在可恢复性“伪超弹性”与不可恢复塑性形变之间的转换关系，并适合所有研究材料。此次研究的材料在储能应用，可展开结构，声，冲击，振动阻尼研究方面有着很高的关注度。
  • 原子层沉积在微电子方面的应用
    自摩尔定律问世以来，微电子器件的特征尺寸一直在不断缩小，以提高集成电路的集成度和性能。由于短沟道效应的限制，鳍式场效应晶体管和环栅场效应晶体管等非平面型器件已逐渐被半导体行业所采用。为了满足制造具有这些复杂结构的芯片的要求，ALD因其可以在三维结构上生长高度均匀的保形薄膜的特点，已被广泛用于集成电路先进制程中的关键步骤。ALD技术在很大程度上依赖于所涉及的表面化学，它可以显著影响沉积膜的特性，如膜厚、形貌、组分和保形性。此外，ALD前驱体对薄膜沉积也起着至关重要的作用。ALD前驱体通常为金属有机化合物，前驱体的挥发性、热稳定性和自限制反应性会显著影响薄膜的ALD生长行为。因此，全面了解ALD的表面化学机制和前驱体化学结构设计是进一步开发和利用ALD技术的关键。在本文中，作者等人对原子层沉积的最新进展进行了详细介绍。
  • 上海伯东普发涡轮分子泵组脉冲激光沉积系统应用
    脉冲激光沉积（Pulsed Laser Deposition, PLD），是一种利用激光对物体进行轰击，然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上, 得到沉淀或者薄膜的一种手段. PLD 系统由多个真空腔体组成，整个系统需要超高真空且不能引入任何杂质，对环境的清洁度要求较高，必须配备无油干泵和分子泵抽真空。由于各个辅助腔体体积较小, 因此特别适合使用 pfeiffer Hicube 系列分子泵组. 伯东公司销售维修的 Pfeiffer 分子泵组因其结构紧凑体积小，清洁无油（前级泵配备干泵）、抽速快、极限真空度高达10-11mbar等优点一经上市好评如潮。
  • 天津兰力科：铝基体上电沉积聚苯胺膜及其耐蚀性
    探讨了电化学方法在Al 基体上沉积聚苯胺膜的控制工艺, 研究了聚苯胺膜的耐蚀性。结果表明, Al 基体上沉积一层Ni 后, 可用电化学方法沉积聚苯胺膜。循环伏安法的扫描电位上限、恒电流法的电流密度、恒电位法的电位范围和电解质的酸度均影响苯胺的聚合速度和聚苯胺膜的物理性能。动电位极化曲线表明, 在0.5 mol/LNaCl 溶液中, 用各种电化学方法沉积聚苯胺膜的Al 样品, 其点腐蚀电位比无膜时有所升高。Al 基体表面覆盖导电聚苯胺膜以后, 其耐蚀性能得到提高。
  • 中科院南京地理与湖泊研究所冯慕华团队揭示水华暴发对淡水沉积物有机质矿化的激发效应
    淡水生态系统的富营养化已成为全球关注的重要环境问题，水华暴发不仅会释放有毒物质危害水生生态系统，还会促进藻类碎屑向沉积物-水界面的沉降。藻类碎屑的累积会提高水体中藻源性有机质（AOM）的水平，在水华导致的厌氧沉积环境中，AOM会参与并影响到沉积物有机质（SOM）的生物地球化学循环。沉积物有机质矿化是氮磷营养盐和溶解性无机碳循环的主要驱动力，促进了湖泊生态系统的物质和能量循环，不同的矿化途径的相对强度不仅影响着微量元素的生物地球化学循环，也影响着沉积物-水界面有机质的矿化和营养盐的利用及再生。水华暴发导致的藻屑堆积会向沉积物-水界面输送大量新鲜和不稳定的有机碳，极有可能会改变本土SOM的矿化作用。较难分解的有机质矿化可能受不稳定组分或生物理化性质的分解影响，这个过程被称为“激发效应”。为了研究藻屑堆积对SOM矿化作用的激发效应，冯慕华团队在富营养化程度较高的于桥水库采集了沉积物柱状样品，结合室内培养实验、袋式培养实验以及Picarro-在线培养系统(CS-RECO1000, Cen-Sun, China)，开展了深入的研究。
  • 烧蚀复合防热材料高温热物理性能新型测试方法的初步研究
    本文针对高温下存在热化学反应的烧蚀防热材料，提出一种新型测试方法——恒定加热速率法，以期准确测试烧蚀防热材料的高温热物理性能，由此得到烧蚀防热材料在热化学反应过程中的热导率、热扩散率和比热容随温度的变化曲线。
  • 应对土壤和沉积物中苯胺和联苯胺类化合物的测定分析解决方案
    目前，我国生态环境部发布标准HJ 1210-2021《土壤和沉积物13种苯胺类和2种联苯胺类化合物的测定 液相色谱-三重四极杆质谱法》，为环境介质中土壤和沉积物中苯胺类和联苯胺类化合物的测定提供技术保障和法规依据。本文针对该标准，PerkinElmer公司采用QSight LC-MS/MS液质联用系统，成功建立了土壤和沉积物中15种苯胺类和联苯胺类化合物的分析方案，根据保留时间及离子比率进行快速准确定性，其检出限完全满足标准中的检测限量要求，轻松应对日常检测分析要求。
  • 利曼中国：水系沉积物、土壤、淤泥中汞含量的测定
    方法简介准确测定水系沉积物和淤泥当中的汞含量对于如何采取适当和安全的方式处理这类物质已显得尤为重要。Hydra-C 直接固体测汞仪以其快速、简单、方便的分析特点而无需样品前处理环节，大大提高了工作效率，并完全避免了有毒有害化学品废弃物的产生。Hydra-C 固体测汞仪严格依照美国环保署U.S. EPA Method 7473 方法开发设计。
  • 土壤与沉积物中多氯联苯解决方案
    本文参考《HJ 743-2015 土壤和沉积物 多氯联苯的测定 气相色谱/质谱法》，建立了利用全自动固相萃取仪（Fotector Plus）结合气相色谱/质谱检测沉积物中多氯联苯的方法。在100mL丙酮-正己烷（1+1），使用索氏抽提提取后，使用Auto EVA-08IR浓缩至1mL后 Fotector Plus全自动固相萃取仪净化，自动完成 SPE 柱活化、样品上样、淋洗、收集等步骤，收集液再氮吹浓缩、溶剂转换、定容后，用GC/MS检测。1. Auto EVA-08IR能够自动浓缩并红外定容，针的液面追随系统能够让你的浓缩过程省时、省气；2. Fotector Plus能够自动的完成整个固相萃取流程，从活化到上样，清洗样品瓶，洗脱一步到位，省时省事；3. Fotector Plus采用全自动操作，固相萃取过程中可以排除操作带来的误差，能够获得手动固相萃取无法达到的RSD水平；4. Fotector Plus 能够实现高通量处理，最多一天能够处理180个样品，真正为批量检测提供帮助；5. 利用Reeko Fotector Plus全自动固相萃取系统能够很好的重现《HJ 743-2015 土壤和沉积物 多氯联苯的测定 气相色谱/质谱法》，回收率与RSD符合HJ 743-2015的允许差要求，符合HJ 743-2015中对分析结果的质量控制的要求。
  • 等离子增强原子层沉积系统沉积高均匀性和高保型性介电薄膜
    ★超薄，纳米尺度介电薄膜与金属／金属性薄膜是MEMS/NEMS器件、其它IC部件，传感器，光学器件或催化剂关键部件★IC业中的高精度30器件， 如高深宽比沟槽与穿透性硅通孔， ALO工艺是唯可以在这些器件上实现高保形，平整，无缺陷，无针孔的薄膜材料。★可规模化生产的ALO工艺， 几种金属／金属性材料与介电材料： Pt, Ir, Ru, Cu, Ag, Au, TiN, AIN, TiAIN, ln203与Al203.★沉积工艺可选：传统热ALO或者等离子增强ALD。
  • 土壤与沉积物中酚类化合物残留的解决方案
    本文参考《HJ 703-2014 土壤和沉积物 酚类化合物的测定 气相色谱》，建立了利用全自动固相萃取仪（Fotector Plus）结合气相色谱-质谱联用检测沉积物中酚类化合物残留量的方法。在100mL二氯甲烷-正己烷（2+1）提取后，Fotector Plus全自动固相萃取仪净化，自动完成 SPE 柱活化、样品上样、淋洗、收集等步骤，收集液再氮吹浓缩、溶剂转换、定容后，用GC-MS检测。1.AutoEVA-60同时处理60个样品，提高实验室样品前处理的效率，针的液面追随系统能够让你的浓缩过程省时、省气；2.Fotector Plus能够自动的完成整个固相萃取流程，从活化到上样，清洗样品瓶，洗脱一步到位，省时省事；3.Fotector Plus采用全自动操作，固相萃取过程中可以排除操作带来的误差，能够获得手动固相萃取无法达到的RSD水平。4.Fotector Plus 能够实现高通量处理，对于上样体积大于80mL的样品，最多一天能够处理90个样品，对于1000mL的水样，最多一天能够处理60个样品，真正为批量检测提供帮助.5.利用Reeko Fotector Plus全自动固相萃取系统能够很好的重现《HJ 703-2014 土壤和沉积物 酚类化合物的测定 气相色谱》，回收率与RSD符合HJ 703-2014的允许差要求，符合HJ 703-2014中对分析结果的质量控制的要求。
  • 天津兰力科：模板法电化学共沉积Ni2Mo 合金纳米线的研究
    使用多孔阳极氧化铝模板, 电沉积制备了Ni2Mo 合金纳米线。用扫描电镜(SEM) 和表面能谱(XPS) 表征沉积物形貌和组成, 用伏安法研究了Ni2Mo 合金纳米线的沉积条件及催化性能。结果表明, Ni2Mo 合金纳米线的直径在20～30 nm 之间。Ni2Mo 共沉积的伏安图上在- 1. 4 V(vs AgPAgCl) 左右出现一个扩散电流平台。光电子能谱(XPS) 表明, Ni2Mo 合金纳米线的共沉积电位出现在- 1. 4 V 以后, 大于这个电位钼以低价氧化物存在。Mo2Ni 离子浓度比大于2 时扩散电流平台消失。柠檬酸盐浓度达到2～3 倍镍盐浓度时, 扩散电流平台趋于稳定。在较优条件下电沉积的Ni2Mo 合金纳米线显示较高的析氢催化活性。
  • 粉末原子层沉积的应用
    粉末技术经过多年的发展，已经形成多样化的制备及加工技术。其中，表面包覆技术作为提升粉末物理化学性能的重要手段，长期以来一直缺乏有效的精密手段。与传统的表面改性不同，粉末原子层沉积技术PALD 是真正可以实现原子级/分子层级控制精度的粉末涂层技术，并保持良好的共形性。
  • 原子层沉积（ALD）在半导体先进制程的应用
    原子层沉积（ALD）是一种可以将物质以单原子膜的形式，一层一层镀在基底表面的先进沉积技术。一个ALD循环包括两个先后进行的半反应。在一定的真空环境下，前驱体和共反应物交替地通入反应腔体，饱和吸附并在衬底表面发生化学反应形成单原子层。每个半反应间通入惰性气体进行清洗，确保完全除去过量的反应物和生成的小分子副产物。理论上，经过一个循环工艺，基底表面便镀上了一层单原子膜。通过增加循环次数，原子层将依次沉积在表面上，形成薄膜。
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