测试测试用探针台样品台

IV测试，QE测试用探针台各种规格探针台，少阴影探针配置。适用不同种类太阳电池。

IV测试，QE测试用探针台各种规格探针台，少阴影探针配置。适用不同种类太阳电池。

探针台综合测试系统特点：最大可支持32寸样品的测试；专为各种直流/高压测试设计；操作方便快捷；模块化设计，方便后续升级；可接受定制；可兼容多种不同类型显微镜；探针台综合测试系统产品规格样品台尺寸8inch/ 12inch/32inch等水平旋转360度样品固定真空吸附，中心吸附，多圈吸附等显微镜类型单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜选配件隔振台（光学平台），屏蔽箱，探针座、探针夹具，真空泵等

科研小型气敏测试真空探针台高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户，可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度，从而减少设备的配置预算。对于真空度有更高要求的用户，可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配更高真空度的泵组，以满足测试要求。 为了减少泵组的振动，我们还专门为用户设计了隔振器，地衰减泵组工作时产生的振动，以确保系统的稳定，减少探针的漂移。度科研小型气敏测试真空探针台真空腔体类型高温型室温到350℃高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 低温7℃/min温控仪温度显示7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

SZT-C型快速恒压四探针测试台产品介绍 图1.1 SZT-C型测试台结构示意图 SZT-C型快速恒压四探针测试台，主要有载物台（180mmX180mm净载物面结）、双轨垂直导向单元、测试压力调节单元、探头快速升降扳手(顶部戴红套部分)、探头连接板等单元！二、 使用方法2.1放置样品：将测试台上部操作扳手向上向后、向上升起测试台探头，如图1.1，将样品放在探头下方测试台板上，然后将测试台上部操作扳手向前向下，压下探头。如图1.2！2.2压力调整：在探头压下的状态下，可根据样品厚度及压力要求，调节测试台导轨支架中部螺杆上的螺母（先松开锁紧螺帽），观察探头探针压下程度，调节测试压力！（弹簧压缩量0～20mm,探针缩进量0～4mm,对应探头压力0～2.0K公斤），调好后，锁紧锁紧螺帽。如图 2.1和2.2.图2.1 测试压力调整螺母示意图

产品介绍TLRH系列精密型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密高稳定探针台，其较高的位移调节精度及优异的漏电精度控制，已成为包括场效应管在内的多端器件IV测试的理想之选。技术优势.模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；. 最大可用于12寸以内样品测试 .探针台整体位移精度高达3um，样品台精密四维调节；. 兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试；. 满足1um以上电极/PAD使用 . 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内） . 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计 . 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；. 配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。精密型基础测试探针台图片详细模块配置及参数说明选型表相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。

产品介绍TLPH系列精密型光电测试探针台是基于TLRH系列升级激光显微镜而来，实现高分辨率成像的同时兼顾外引激光光路，实现光电流与IV的双功能检测，是光电芯片/器件测试的理想之选。技术优势. 模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；. 最大可用于12英寸以内样品测试 . 探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节；. 激光显微镜，5档物镜转盘，可引入激光完成光电流测试；. 满足1μm以上电极/PAD使用 . 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内） . 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计 . 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；. 配显微镜三维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。模块介绍详细模块介绍及参数说明选型表相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。

全自动磁场探针台-半导体磁性芯片测试可提供管理员、设备工程师、操作员三种用户权限、工艺配方可编辑,创建、删除、修改等操作由用户自定义、用户可以选择报警处理方式，并且可以对历史报警进行查询、系统自动记录工艺过程中的重要参数,并且可以生成可参考的记录、具备数据管理功能,可自动提取回线信息,如翻转磁场、翻转电压等、磁阻、RV特性测量功能。全自动磁场探针台-半导体磁性芯片测试具备脉冲幅值自动标定功能 SOT-MRAM器件翻转概率、误码率、循环特性测测量功能,可进行VCMA测试、系统具备翻转动态测量功能。全自动磁场探针台-半导体磁性芯片测试适用磁存储、磁传感等磁性芯片。 全自动磁场探针台-半导体磁性芯片测试样品兼容性高:最大12吋；精度:2 μm；样品台:X:200 mm/sY:200 mm/s Z轴全行程37mm,角度调整范围士5，满足高达150°C测试需求具备机械臂品圆转移组件具备空中对针与探卡支持功能，可自动清针。

产品简介TLRB系列标准型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而开发设计的一款高性价比探针台系统，其功能齐全，满足常规IV电学测试需要，广泛应用于芯片、半导体材料/器件等光电相关领域。产品优势结构紧凑，功能实用，高性价比 最大可用于12英寸以内样品测试 满足1μm以上电极/PAD使用 兼容高倍率电子显微镜/体视显微镜，可360°旋转及微调升降 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内） 精密丝杆/燕尾传动机构，线性移动，无回程差设计 模块化设计，可据应用需要增减相应模块，性价比高。模块介绍通用参数常规选型相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验等。

CH-12 综合性分析探针台测试系统 最大可用于12英寸以内样品测试；操作便捷，功能其全，高效精准 ；可满足晶片测试、光电器件测试、PCB/IC测试、射频测试、高压大电流测试等 CINDBEST CH-8|8"~12" 综合性分析探针台测试系统 特点/应用 ◆ 最大可用于12英寸以内样品测试◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动◆ 大手柄驱动，操作舒适，无回程差设计◆ 针座平台快速、微调升降功能◆ 可搭配多种类型显微镜◆ 晶片测试、光电器件测试、PCB/IC测试、射频测试、高压大电流测试等◆ 结构模块化设计，可无缝升级◆ 探针台可根据客户要求定制。 台体规格 型号：CH-8/CH-12 样品台尺寸：8英寸/12英寸 水平旋转：可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 X-Y移动行程：8英寸*8英寸/12英寸*12英寸 X-Y移动精度：10微米/1微米 样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 针座平台：U型针座平台，最多可放置10个探针座 平台升降：可快速升降6mm/可微调升降25mm 背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 外形尺寸：840mm长*600mm宽*700mm高/950mm长*700mm宽*700mm高 重量：约100千克/150千克 光学系统 显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 放大倍率：16X-200X/20X-4000X 移动行程：X-Y轴行程2英寸*2英寸/水平360度旋转，Z轴行程50.8mm 光源：外置LED环形光源/同轴光源 CCD：200万像素/500万像素/1200万像素 定位器 X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm 移动精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 吸附方式：磁力吸附/真空吸附 线缆：同轴线/三轴线 漏电精度：10pA/100fA/10fA 固定探针：弹簧固定/管状固定 接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 针尖材质：钨钢/铍铜 可选附件： 加热台、显示器、转接头、射频测试配件、屏蔽箱、光学平台、镀金卡盘、光电测试配件、高压测试配件、显微镜快速倾仰装置、激光系统、探针卡夹具。

全自动磁场探针台Spin Tester M可提供管理员、设备工程师、操作员三种用户权限、工艺配方可编辑,创建、删除、修改等操作由用户自定义、用户可以选择报警处理方式，并且可以对历史报警进行查询、系统自动记录工艺过程中的重要参数,并且可以生成可参考的记录、具备数据管理功能,可自动提取回线信息,如翻转磁场、翻转电压等、磁阻、RV特性测量功能。具备脉冲幅值自动标定功能 SOT-MRAM器件翻转概率、误码率、循环特性测测量功能,可进行VCMA测试、系统具备翻转动态测量功能。适用磁存储、磁传感等磁性芯片。 样品兼容性高:最大12吋；精度:2 μm；样品台:X:200 mm/sY:200 mm/s Z轴全行程37mm,角度调整范围士5，满足高达150°C测试需求具备机械臂品圆转移组件具备空中对针与探卡支持功能，可自动清针。

产品简介：Magic-P300e是工程级探针台。配备精密晶圆校准，应用在三温低漏电流DC和高频/射频测试产品特点：精确测量的屏蔽环境全屏蔽室和外壳，降低且最小化AC和频谱噪声，确保低噪声的探测测试低漏电测量能力 精确的定位和移动精密且完全保护的三轴探针操纵手臂显微镜 XYZ针座，提供大范围行程和精确移动应用在同时探测多个操纵手臂的精确精细Z移动

MPI TS200- 半自动探针台产品描述：1. 单机多应用设计适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP) 2. 工效学设计 方便单手操作的快速释放拖移气浮载物台设计坚固可承载多达10根DC 或4根RF微定们器在工作台三段式工作台快升把手设计 (contact - separation- loading)，实现高重现性3. 弹性选配与升级性 另有多种晶圆载物台可做升级，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、影像镜头、电磁屏蔽箱等可搭载，以完全支援您的应用需求MPI探针台系统是由来自于Cascade和安捷伦等公司的专家们研发和设计，专业提供探针台及所有相关直流/射频附件以及相关半导体测试整体解决方案。得益于其极高的性价比，广受国内外用户的好评。TS150,TS200,TS300是常用的手动式探针台，简单，直观，方便， 并确保 高度准确的测量。以下是MPI探针台的特点： Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用新的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动（其他品牌无法同时X/Y移动，只能选一个方向移动）。b. Platen Lift技术-三段平面式升降及下针：影响探针台测试结果很大程度上取决于探针与样品的接触。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁（其他厂家是两段），不仅实现了1um重复性，同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验，方便了用户的操作。c.温控触屏设计：MPI手动探针台可以选配各类样品台，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸样品台，及加热样品台（200℃/300℃）。并且配备智能化触摸屏，可以随时快速调节样品台加热问题，实时显示温度变化。高精度、便捷的温度控制功能，便于客户进行实验设计和测试。d. Microscope bridge mount：MPI探针台具备了Microscope bridge mount，方便用户自行购置并升级显微镜。这点也是其他探针台所不具备的。对于这类的用户而言，如果今后要升级显微镜，只能从探针台原厂购买。但是其实探针台厂家往往并不制造光学显微镜。而MPI则更多的为客户考虑，把显微镜的选择权交在客户手里。这也是MPI设计了Microscope bridge mount的初衷。 e. 所有核心部件均自行生产：诸如主机台，直流/射频探针座，直流/射频线缆及探针等核心部件均为MPI公司自行生产。很多探针台厂商的射频探针也都是从MPI购买的。此外，MPI探针台的产品线也非常丰富，拥有手动、半自动、全自动、射频/微波、高功能等所有探针台系列。

Agilent 4155C HP 4155C半导体测试仪含探针，探台洗个头涨价洗个车涨价做个美甲涨价只剩下我不涨价，还想尽一切办法给你们优惠 HP 4155C半导体测试仪含探针，探台品牌：安捷伦/Agilent型号：4155C类型：参数分析仪结构：台式TB店铺：东莞市天兴电子科技 Agilent 4155C 半导体测试仪含探针 探台Agilent 4155C半导体参数分析仪是一款经济高效、适用于先进器件表征的实验室用台式解决方案。41501B Expander 可将仪器的测量范围扩展至 1A/200V，并为 4155C 添加低噪声接地单元和双脉冲发生器。您还可以通过 PC 使用 Desktop EasyEXPERT 软件控制 4155B/C 或 4156B/C 参数分析仪。随 4155C/4156C 一起提供的新版 Keysight Desktop EasyEXPERT 软件也可控制 Keysight 4155B/C 和 4156B/C 参数分析仪。 Agilent 4155C 半导体测试仪含探针 探台主要特性经济高效、精确的实验室用台式参数分析仪4x 中等功率 SMU、2xVSU 和 2xVMU填空式前面板操作包括 Desktop EasyEXPERT 软件，可在 PC 上通过 GUI 对仪器进行控制测量能力10 fA 和 0.2 mV 测量分辨率QSCV、强化测试模式、旋钮扫描和待机功能可选的 41501B 可提供 +/- 200 V 和 +/- 1 A 大功率 SMU、脉冲发生器功能 41501BDesktop EasyEXPERT 软件提供直观、面向任务的参数测试方法配有 80 多个预定义、用户可修改的应用测试自动将数据保存到硬盘或任何网络硬盘通过 Desktop EasyEXPERT 软件进行离线数据分析和应用测试开发 东莞市天兴电子科技有限公司，型号齐全货源充足、库存雄厚，15年实体经营，保障品质，本公司产品原装进口，购买的产品均享有原厂质保，终身售后服务。天兴还经营二手仪器仪表。针对客户的生产计划可以提供销售、租赁、租赁转销售等灵活的业务；支持以旧换新、以租代购。回收闲置、库存、二手仪器。每月的第三周举行zui红一周优惠促销活动。不定时低价出售库存产品。

产品介绍TLRH系列精密型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密高稳定探针台，其较高的位移调节精度及优异的漏电精度控制，已成为包括场效应管在内的多端器件IV测试的理想之选。技术优势.模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；. 最大可用于12寸以内样品测试 .探针台整体位移精度高达3um，样品台精密四维调节；. 兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试；. 满足1um以上电极/PAD使用 . 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内） . 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计 . 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；. 配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。精密型基础测试探针台图片详细模块配置及参数说明选型表相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。

产品简介：Magic-X300e是环闭高精准度半自动探针台，可进行DC至射频，微波和光电探测，以及超导磁量测。产品特点：用在晶圆测试的混合应用设计DC到RF，微波光电和磁性测量芯片设计验证范围广泛从摄氏-60到300度 准确定位和移动精密全防护三轴探针机械手臂显微镜 XYZ平台提供大行程范围和精确的移动用于同时探测多个机械手臂的精密压板精细Z轴移动 人体工程学设计和覆盖制冷器空间布置减少了楼地板占用面积隔振集成系统

TLRB系列标准型基础测试探针台产品简介TLRB系列标准型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而开发设计的一款高性价比探针台系统，其功能齐全，满足常规IV电学测试需要，广泛应用于芯片、半导体材料/器件等光电相关领域。TLRB系列标准型基础测试探针台产品优势结构紧凑，功能实用，高性价比 最大可用于12英寸以内样品测试 满足1μm以上电极/PAD使用 兼容高倍率电子显微镜/体视显微镜，可360°旋转及微调升降 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内） 精密丝杆/燕尾传动机构，线性移动，无回程差设计 模块化设计，可据应用需要增减相应模块，性价比高。TLRB系列标准型基础测试探针台模块介绍图TLRB系列标准型基础测试探针台通用参数常规选型相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验等。

表面综合分析测试探针台产品简介整体集成度高，且测试方便简单，底座行程大，弥补了基础型的缺陷，可以满足多种测试应用，且可以升级射频探针台；优点：高性价比，应用面广，稳定性高；应用：一般用在高校/研究所科研实验是居多，以及科研型单位研发部；表面综合分析测试探针台产品优势两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，且方便放置探针卡集成4路吸附开关，方便吸附；可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；1微米以上电极/PAD使用；可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机；有效像素2000万，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像，也可以连接电脑；HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900；选用2X，5X，10X,20X，50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm，45mm，34mm 30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm，精度1um；整体交叉滚珠导轨，超高精度，超高稳定性；最大电压 1400V，阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程；位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；整体位移精度1um；表面综合分析测试探针台模块介绍表面综合分析测试探针台通用参数样品台尺寸4英寸样品台行程XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调 整体位移精度1μm（可定制）光学放大倍数270倍高清（体式显微镜）漏电精度100fA针座精度3μm（可升级1μm/0.5μm）接口形式BNC/三同轴接口背电极可引出背电极针座数量标配2个（可升级到6个）产品应用多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等产品示意图谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

表面综合分析测试探针台产品简介整体集成度高，且测试方便简单，底座行程大，弥补了基础型的缺陷，可以满足多种测试应用，且可以升级射频探针台；优点：高性价比，应用面广，稳定性高；应用：一般用在高校/研究所科研实验是居多，以及科研型单位研发部；表面综合分析测试探针台产品优势两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，且方便放置探针卡集成4路吸附开关，方便吸附；可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；1微米以上电极/PAD使用；可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机；有效像素2000万，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像，也可以连接电脑；HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900；选用2X，5X，10X,20X，50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm，45mm，34mm 30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm，精度1um；整体交叉滚珠导轨，超高精度，超高稳定性；最大电压 1400V，阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程；位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；整体位移精度1um； 表面综合分析测试探针台模块介绍表面综合分析测试探针台通用参数样品台尺寸8英寸样品台行程XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调 整体位移精度1μm（可定制）光学放大倍数270倍高清（体式显微镜）漏电精度100fA针座精度3μm（可升级1μm/0.5μm）接口形式BNC/三同轴接口背电极可引出背电极针座数量标配2个（可升级到6个）产品应用多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等产品示意图谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

表面综合分析测试探针台产品简介整体集成度高，且测试方便简单，底座行程大，弥补了基础型的缺陷，可以满足多种测试应用，且可以升级射频探针台；优点：高性价比，应用面广，稳定性高；应用：一般用在高校/研究所科研实验是居多，以及科研型单位研发部；表面综合分析测试探针台产品优势两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，且方便放置探针卡集成4路吸附开关，方便吸附；可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；1微米以上电极/PAD使用；可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机；有效像素2000万，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像，也可以连接电脑；HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900；选用2X，5X，10X,20X，50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm，45mm，34mm 30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm，精度1um；整体交叉滚珠导轨，超高精度，超高稳定性；最大电压 1400V，阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程；位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；整体位移精度1um；表面综合分析测试探针台模块介绍表面综合分析测试探针台通用参数样品台尺寸6英寸样品台行程XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调 整体位移精度1μm（可定制）光学放大倍数270倍高清（体式显微镜）漏电精度100fA针座精度3μm（可升级1μm/0.5μm）接口形式BNC/三同轴接口背电极可引出背电极针座数量标配2个（可升级到6个）产品应用多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等产品示意图谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

表面综合分析测试探针台产品简介整体集成度高，且测试方便简单，底座行程大，弥补了基础型的缺陷，可以满足多种测试应用，且可以升级射频探针台；优点：高性价比，应用面广，稳定性高；应用：一般用在高校/研究所科研实验是居多，以及科研型单位研发部；表面综合分析测试探针台产品优势两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，且方便放置探针卡集成4路吸附开关，方便吸附；可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；1微米以上电极/PAD使用；可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机；有效像素2000万，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像，也可以连接电脑；HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900；选用2X，5X，10X,20X，50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm，45mm，34mm 30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm，精度1um；整体交叉滚珠导轨，超高精度，超高稳定性；最大电压 1400V，阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程；位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；整体位移精度1um；表面综合分析测试探针台模块介绍表面综合分析测试探针台通用参数样品台尺寸12英寸样品台行程XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调 整体位移精度1μm（可定制）光学放大倍数270倍高清（体式显微镜）漏电精度100fA针座精度3μm（可升级1μm/0.5μm）接口形式BNC/三同轴接口背电极可引出背电极针座数量标配2个（可升级到6个）产品应用多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等产品示意图谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

1. 产品概述：探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量，旨在确保产品质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台通常由载物台（样品台）、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等部分组成，其核心部件包括x-y工作台，该工作台的结构对探针台的性能和使用体验有重要影响。2 设备用途/原理：晶圆检测：在半导体制造过程中，探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测，确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。芯片研发和故障分析：探针台可用于芯片研发过程中的原型验证和性能评估，帮助工程师及时发现和解决潜在问题，优化芯片设计。同时，它也可用于芯片的故障分析，定位问题区域。封装检测：在封装工艺之前，探针台用于对芯片进行CP测试（Chip Probing Test），确保封装前的芯片性能符合标准。其他应用：探针台还广泛应用于光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等领域。3. 设备特点 1 高精度定位：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够精确地将探针定位到芯片上的指定测试点，并实现稳定的接触，确保测试的准确性和可靠性。 2 多功能性：探针台支持多种测试需求，包括电压、电流、电阻、频率、温度等参数的测量，以及小电流量测、电容量测、高压量测、R/F量测、I/O点量测等。 3 高效测试：探针台支持多点测试，能够同时测试芯片上的多个测试点，提高测试效率。此外，一些先进的探针台还具备自动化功能，能够自动完成测试序列，进一步减少人工干预。4 设备参数可移动压板，高度调节 40 mm，接触/分离行程 200 μm，重复精度± 1 μm具有可调摩擦力和阶段锁定的卡盘阶段，独特的Z轴卡盘调整和90毫米的拉出磁性定位器具有 1 μm 特征分辨率和 3 个带精密滚珠轴承的线性轴包括匹配的电缆和基材射频卡盘 ±3 μm 表面平面度独特的 200 μm 压板接触/分离行程，精度≤± 1 μm，可实现可重复接触

MPI TS2000-IFE 是一个自动化探针台，可以从使用一开始或在测试领域内任何需要时转换为带有 Waferwallet MAX 的全自动探针台。主要应用在负载拉动、RF、mmW、硅光子学、设计验证（产品工程）或在定义的测试环境中测试 MEMS 和其他传感器。MPI 同时推出用于太赫兹应用的 200 毫米自动探针台系统MPI 提供其200 mm TS2000-IFE THZ-Selection 自动探针台系统。THZ-Selection 是一种专用的射频、毫米波、太赫兹和负载牵引探针台，在 -60 至 300 oC 的宽工作温度范围内不会影响测量方向性。它基于 MPI 最通用的 200 毫米平台 - TS2000-IFE 系列。200 毫米晶圆的自动化在片测试探针台系统常用来执行以下操作：无需额外的 S 波段波导，尤其是在亚太赫兹或太赫兹范围内。最小化负载牵引应用的信号路径并提供最宽的调谐范围和最高GAMMA。切换频段时操作简单方便。MPI 专有的 IceFreeEnvironment 技术允许 THZ-Selection 在微定位器和探针卡的帮助下在负温度下运行。该测试系统能够通过具有可编程微观运动的集成探针控制提供晶圆级可靠性。主动隔振缓冲了测试过程中振动误差的发生。这些功能支持自动化测试，没有任何错误余地，并且具有可验证的准确性。

产品简介TLRB系列标准型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而开发设计的一款高性价比探针台系统，其功能齐全，满足常规IV电学测试需要，广泛应用于芯片、半导体材料/器件等光电相关领域。产品优势结构紧凑，功能实用，高性价比 最大可用于12英寸以内样品测试 满足1μm以上电极/PAD使用 兼容高倍率电子显微镜/体视显微镜，可360°旋转及微调升降 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内） 精密丝杆/燕尾传动机构，线性移动，无回程差设计 模块化设计，可据应用需要增减相应模块，性价比高。模块介绍通用参数常规选型相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱

Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用非常新的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动（其他品牌无法同时X/Y移动，只能选一个方向移动）。Platen Lift技术-三段平面式升降及下针：影响探针台测试结果很大程度上取决于探针与样品的接触。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁（其他厂家是两段），不仅实现了1um重复性，同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验，方便了用户的操作。温控触屏设计：MPI手动探针台可以选配各类样品台，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸样品台，及加热样品台（200℃/300℃）。并且配备智能化触摸屏，可以随时快速调节样品台加热问题，实时显示温度变化。高精度、便捷的温度控制功能，便于客户进行实验设计和测试。Microscope bridge mount：MPI探针台具备了Microscope bridge mount，方便用户自行购置并升级显微镜。这点也是其他探针台所不具备的。对于这类的用户而言，如果今后要升级显微镜，只能从探针台原厂购买。但是其实探针台厂家往往并不制造光学显微镜。而MPI则更多的为客户考虑，把显微镜的选择权交在客户手里。这也是MPI设计了Microscope bridge mount的初衷。 所有核心部件均自行生产：诸如主机台，直流/射频探针座，直流/射频线缆及探针等核心部件均为MPI公司自行生产。很多探针台厂商的射频探针也都是从MPI购买的。此外，MPI探针台的产品线也非常丰富，拥有手动、半自动、全自动、射频/微波、高功能等所有探针台系列。

v 探针台主要应用于晶圆、芯片、器件、封装等半导体制程测试环节v 样品尺寸：碎片~12英寸v 自动化：手动、半自动、全自动v 测试环境：高低温、磁场、真空探针台类型：分析探针台、直流、射频、高压、毫米波、太赫兹、硅光测量、芯片级测量、定制化等

Avantgarde 室温真空探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个室温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于室温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。PSV系列室温真空探针台是一款专门针对室温真空电测环境开发的探针台，能够对2寸、4寸晶圆片进行重复非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量和RF测量。特点1.真空腔极限真空度能够达到5E-4 mbar，通过真空泵连接KF25法兰抽真空。2. 样品座可以放置最大4英寸的晶圆样品，探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。探针臂可在X-Y-Z-R范围内进行四维调节，能满足最大4英寸范围内全部位置的扎针测试。3.真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性。4.直流探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，使用4200实测漏电流小于100fA @1V。5.独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏。6.可选微波探针臂，最高频率可达到110GHz。

PXB-S系列探针台 PXB-S系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜和体式显微镜●载物台可Z轴升降●载物台Theta可粗调360°, 微调±7 °●载物台XY移动分辨率为1um。●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●显微镜支架万向杆PXB-S系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试 ●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-M系列探针台 PXB-M系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台可Z轴升降●载物台Theta可粗调360°, 微调±7 °●载物台XY移动分辨率为1um●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降PXB-M系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD& TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-E系列探针台 PXB-E系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台气浮快速移动●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降●Platen 三阶抬杆， 微调移动行程为40mm，抬杆重复性精度为2umPXB-E系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析 ●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-BE系列探针台PXB-BE系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台气浮快速移动， 三档控制，X轴独立控制，Y轴独立控制，XY同步控制，XY同步控制●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降●Platen 二阶抬杆， 微调移动行程为60mm，抬杆重复性精度为1um●配置独立控制压力阀PXB-BE系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-BET系列探针台 PXB-BET系列高低温探针台主要特点●搭配高低温系统， 最大范围-65℃到300℃●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台气浮快速移动， 三档控制，X轴独立控制，Y轴独立控制，XY同步控制，XY同步控制●可选配高压高流测试环境●装片拉出装置， 定位锁住●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降●Platen 二阶抬杆， 一次性行程为6mm， 抬杆重复性精度为1um， 四点同步●配置独立控制气流阀PXB-BET系列高低温探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试 PXB-D系列探针台PXB-D系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜，体式显微镜 ●载物台气浮快速移动 ●可选配高压高流测试环境●platen上下结构，可正反面同时扎针 ●载物台双面镂空，可替换，一个镂空夹具，一个 载物台（两个吸附孔）●背置式直筒显微镜，zoom为0.58-7.5x ●Platen 微调行程为40mm，移动分辨率为1um， 四点同步PXB-D系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●PCB领域检测分析 PXB-W系列探针台PXB-W系列探针台主要特点●可选配110Ghz，220Ghz等测试环境 ●搭配高低温系统，最大范围-65℃到300℃ ●可选直筒显微镜，体式显微镜或金相显微镜 ●载物台气浮快速移动，三档控制，X轴独立控制， Y轴独立控制，XY同步控制，XY同步控制 ●装片拉出装置，定位锁住 ●稳定型显微镜桥架，移动分辨率为2um，显微镜 气动升降 ●Platen 二阶抬杆，一次性行程为6mm，抬杆重复 性精度为1um，四点同步 ●配置独立控制气流阀PXB-W系列探针台应用领域●Microwave probing 微波量测(高频测试)PXB-PL系列探针台 PXB-PL系列探针台(定制型)针对PCB&LCD&OLED&MINI-LED研发的测试探针台主要客户：英业达，沪利，深南电路，美维，奥克斯，大金，龙腾光电，群策等PXB-VL系列探针台 PXB-VL系列探针台产品简介PXB- VL高低温真空探针台是我司自主研发的一款在极端环境下给样品加载电学信号的设备。可以实现器件及材料表征的IV/CV特性测试，射频测试 ，光电测试等。通过液氮或者压缩机制冷 ，可以在防辐射屏内营造一个稳定的测试环境。在特殊材料 ，半导体器件等研究方向具有广泛运用。一般用于相关单位实验室。 PXB-SA系列探针台PXB-SA系列探针台产品简介PXB-SA 系列探针台是一款在非真空条件下实现高低温环境的测试探针台。该产品采用气冷制冷 ，自动控温 ，设备配置非常丰富。自带屏蔽暗室 ，一方面可以屏蔽无线电磁干扰 ，另外一方面也可以保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜。该产品多数用于相关单位实验室。PXB-SA系列探针台产品优势可搭配高低温温控系统,温度范围为-60-300℃可实现半自动测试微腔屏蔽

产品说明：Magic-X30a是环闭高精准度全自动探针台，可进行DC至RF，微波和光电探测，以及超导磁量测。产品特点：用在晶圆测试的混合应用设计DC到RF，微波光电和磁性测量芯片设计验证范围广泛从-60到300摄氏度准确定位和移动精密全防护三轴探针机械手臂显微镜 XYZ平台提供大行程范围和精确的移动用于同时探测多个机械手臂的精密压板精细Z轴移动 人体工程学设计和覆盖自动晶圆装载，测试操作更有效率也更安全制冷器空间布置减少了楼地板占用面积隔振集成系统

MPT系统专业提供探针台及所有相关直流/射频附件以及相关半导体测试整体解决方案。得益于其极高的性价比，广受国内外用户的好评。FAPS150,FAPS200,FAPSS300是常用的自动式探针台，简单，直观，方便， 并确保 高度准确的测量。 Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用先进的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动。