闭循环型低温真空探针台

LH-CRPS-5K 是性价比很高的一款无需消耗制冷剂，依靠制冷机提供冷源的闭循环低温探针台。此款低温探针台设计的初衷就是多功能和卓越的专业测量性能，为制冷剂获得比较困难和 追求操作便利的客户提供了一个完美的解决方案。通过闭循环制冷机降温，降温过程中不需要其 它辅助设备，只需要很少的电能即可，也不需要科研人员值守操作。丰富的选件和配置确保科研人员能够实施严苛的、富有挑战的测试测量。LH-CRPS-5K 是易捷测试探针台家族中，能实现最低温度的探针台，最低温度低于5K。 多个温度传感器分布于探针台各个位置，确保温度监视和测量的准确性和重复性。由于是二级制冷平台制冷机提供冷源，这样能保证样品温度维持在相对较高的温度，同时样品处于真空环境中，减少了凝结的可能性，在一些有机材料的严格测试要求中这一点比较重要。LH-CRPS-5K 最大可安装样品台直径102mm(4in)出厂时标准配置三同轴样品台，直径451mm(2in)

美国ARS 公司的PS-CC闭循环探针台用于样品的非破坏性检测，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。 该款探针台使用DE204、DE210或DE215系列冷头，整个测试过程中无需使用任何制冷剂（液氦/液氮）。可根据不同测试要求，选用不同型号冷头，以便样品最低温度到达13K、10K、7K或4K。所有的ARS闭式循冷头均采用高制冷量的一级冷头，该设计可使系统快速降温并最大程度降低系统热负载。气动驱动GM冷头一级制冷量高，固有振动小，是该领域的理想选择。 该系统为科研工作者提供一个大的、洁净的样品环境。真空腔由焊接不锈钢制成，防热辐射屏由镀镍的无氧铜OFHC制成。镍镀层的低辐射率和无氧铜的高热传导使得样品空间的防热辐射屏温度更低净制冷量更大。高质的真空器件至关重要，可以使样品获得更高的真空环境，更洁净的表面，更好的电接触。 ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了该产品的稳定性能，也利于系统的诊断和服务。 The above picture shows the sample space of the probe station.The above picture shows a custom sample holder and 4 DC probes. 特点备注温度范围：7K-400K10英寸不锈钢真空室8英寸镀镍无氧铜防热辐射屏2.25英寸镀金无氧铜样品台可升级4英寸样品台高纯石英观察窗蓝宝石防热辐射屏冷窗多至6个三维微操作探针臂可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器温度计安装位置：1、冷头温度计，用于诊断2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温3、样品温度计，用于精确测量样品温度4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样三级减振系统样品台综合振动 1微米样品台振动 100nm7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源可升级16:1显微观察系统规格及技术参数制冷方式闭循环制冷，无需液氦温度范围7K-400K（可选更高制冷量DE215冷头冷台温度4K,安装高温隔热台高温度可达800K）温度稳定性优于50mK泵抽真空时间机械泵约45分钟分子泵约10分钟降温时间约2到2.5小时（DE204P冷头）真空腔不锈钢真空腔直径10英寸上盖安装高纯石英窗口防热辐射屏镀镍无氧铜防热辐射屏直径8英寸上盖蓝宝石冷窗热连接至1级冷头样品台镀金无氧铜样品台2.25英寸直径样品台连接接地（标准）绝缘（可选）偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选）偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选）探针臂位移台手动驱动不锈钢焊接波纹管连接X方向（轴向）2英寸行程Y方向（横向）1英寸行程（标准） 2英寸行程（可选）Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米振动三级减振，样品台综合振动优于1微米温度计安装4个温度计，2套加热器4个温度计位置：1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊断1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温2套加热器位置：1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温显微观测系统标准7:1显微镜4.2毫米-0.61毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.024-0.08光源：环形光源分辨率：3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器可选16:1显微镜12.8毫米-0.8毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.0090-0.15光源：环形光源分辨率：2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器探针臂直流/低频探针臂微型同轴电缆接头：SMA或BNC频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆包含接地屏蔽接头三同轴电缆接头：三同轴接头频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆卡尔文探针电缆：同轴或三同轴接头：SMA/BNC/三同轴频率：0-100兆赫兹针尖材料：钨针（标准）镀金钨针（可选）铍铜镀金（可选）针尖半径：0.5微米（其他半径可选）GSG高频探针臂0-40GHz接头：K型接头电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-50GHz接头：2.4电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-67GHz接头：1.85电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖光纤探针臂紫外/可见 或 可见/红外接头：SMA905公头光纤样品端：抛光裸头尺寸：100微米-400微米单模或多模

4K闭循环低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。 PSM-4K系列低温探针台是的一款性能优越的闭循环低温探针台，其紧凑型以及低振动的设计，能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个＜5K-350K高低温真空测试环境。采用闭循环制冷，无需消耗液氦，温度4.5K。特点&bull 采用闭循环制冷，无需消耗液氦，温度4.5K。&bull 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空 的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。&bull 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足4英寸样品的测试。&bull 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性。&bull 探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA @1V@4.5K-350K。&bull 测试温度范围宽，支持4.5K-350K连续变温。&bull 独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏。参数和指标：探针台主机分类型号PSM-4K-2 PSM-4K-4温度范围4.5K--350K4.5K--350K控温稳定性+/-50mK振动＜1μm样品座类型及材料无氧铜接地镀金样品座尺寸2寸4寸可选规格绝缘样品座 （温度只能到350K）同轴样品座 （温度只能到350K） 三同轴样品座（温度只能到350K）探针臂类型直流探针臂（标准）可选规格微波探针臂、光纤探针臂可订制规格 双光纤探针臂、直流和微波组合探针臂、热电偶探针臂数量4（标准），最多可配6接头及电缆三同轴接头+极细同轴低温电缆漏电流100fA@1V 真空环境中信号频率DC--50MHz匹配阻抗50欧姆位移范围X+/- 35mm,Y+/- 12.5mm Z +/-6.5mm R+/-10°X+/- 50mm,Y+/- 12.5mm Z +/-6.5mm R+/-10°光学系统显微镜放大倍数10--180倍分辨率3微米视场22mm工作距离90--100mm真空腔材料铝合金腔体容积9L12L整体尺寸900*900*600900*900*600腔体内径 280mm 280mm视窗尺寸 50mm 100mm真空腔体窗口标准石英窗口防辐射屏窗口 红外吸收窗口真空度 5E-4 torr预留接口 2个探针臂接口&2个电学接口防辐射屏材料不锈钢冷却时间120分钟到5K150分钟到5K冷源 GM制冷机专用振动隔离桌 尺寸800*800*800900*900*800桌推 固定脚&滚轮

产品概要：此类闭循环制冷机不需要消耗液氦和液氮，CPS-50探针台的温度变化范围 5/10K 到 350，加上一个可以更换的高温样品架选件，温度变化范围可达到 20K 到 700K。每一个低温样品级都安装温度计和加热器，可以提供快速的热响应，迅速回到室温，样品更换非常方便。热辐射屏大大降低了黑体辐射，提高了制冷效率。系统采用了精心的设计来降低振动，采用各种减震装置阻止机械振动影响测量的性能，在全量程温度范围内，样品的振动小于 1um ( X, Y, Z 轴)。专用的探针根据尺寸和材料不同，分为多种类型，探针减少了热质量，优化了和器件的电接触性，每个探针都直接和冷头进行导热，这样就减小了探针对样品的热传递。基本信息：1、采用闭循环制冷机制冷，不需消耗任何液氮和液氦，基本系统温度范围：标准 10K/5K 到 350K2、高温选件温度范围：20K 到 700K3、系统冷却时间2.5 小时4、探针臂分别在防辐射屏和样品台上热沉5、探针臂传上安装温度感器进行温度监测6、控温稳定性： ±50mK7、样品更换循环时间4 小时8、低振动设计：在样品台1 μm ( X, Y, Z 轴)9、测量 DC 到 67GHz10、各种样品架适于低噪音，高频，高阻测量11、最大测试样品尺寸 51mm (2in) 直径12、最多可使用6 个探针臂13、射频探针臂可进行 3 轴调整和平面内±5 度的调整技术优势：1、快速的热响应2、可方便的更换样品3、制冷效率大大提高4、振动幅度有效降低应用方向：主要应用于样品在整个温度范围内的IV和CV曲线测试，光电测试，表征变磁环境下的磁输运特性和其他材料的研究。

Side profile of a UHV Cryogenic Probe StationHigh Conductance 8” Vacuum Pump Out Port 美国ARS公司的 PS-L-UHV探针台是专为样品的非破坏检测和最~大的真空洁净而设计，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。 液氦/液氮型和闭循环低温探针台核心部件是相同的，可共用相同的桌面、真空腔和探针臂。如果您先购买了液氦/液氮型的探针台，那么可以在之后的任何时间内升级成一个闭循环（无任何制冷剂）的系统。 该类探针台使用了ARS液氦/液氮型低温恒温器，样品温度因制冷剂不同可达~4K（液氦）或 ~77K（液氮）。 Sample space of the UHV probe station.Close-up view of the Load-lock sample holder and 4 DC probes 该系统旨在提供一个大型的，可烘烤的超高真空样品环境。真空腔由不锈钢焊接而成，防热辐射屏由裸无氧铜制成。铜的高导热性使得样品空间处有更冷的防热辐射和更大的净制冷量。高质量的焊接刀口法兰和巨大的泵出端口是至关重要的，因为这样可以实现真正的10-11 Torr的超高真空环境，并最~大程度保证了样品的洁净度。 ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了系统的稳定性能，也利于系统的诊断和售后服务。 应用案例：l 电磁特性l 微波特性 l 低频，高频特性l MEMSl 纳米电子学l 超导特性l 纳米器件光电性能l 量子点及纳米线l 单电子l 低电流物理特性 典型结构l 液氦/液氮型低温恒温器l 传输管线-标准6英尺（8英尺或者10英尺）l 流量计l 10英寸的不锈钢真空腔带5个微操作探头端口和2个备用的NW80附件端口，安装在经阳极化处理的铝台面上，由铝制支撑架支撑l 8 英寸的镀镍无氧铜防热辐射屏l 2.25英寸的无氧铜接地样品座l DC, 微波或光纤探针l 4个温度计和2个加热器用于温度控制和监视l 涡轮分子真空泵l 四通道温度控制器及与恒温器连接电缆l 7:1变焦显微镜，分辨率小于2 微米，同轴或者环形光。包括一个高分辨的24寸的宽屏液晶显示器和显微镜光源 特点备注8英寸镀镍无氧铜防热辐射屏2.25英寸镀金无氧铜样品台可升级4英寸样品台高纯石英观察窗蓝宝石防热辐射屏冷窗标配4个三维微操作探针臂,可选6-8个可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器温度计安装位置：1、冷头温度计，用于诊断2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温3、样品温度计，用于精确测量样品温度4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样样品台综合振动 1微米样品台振动 100nm7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源可升级16:1显微观察系统规格及技术参数制冷方式开环恒温器，液氦/液氮温度范围液氦~3.5K - 400K（最大流量）(可选500K,800K)液氮~77K - 400K(可选500K,800K)温度稳定性优于50mK泵抽真空时间机械泵约45分钟分子泵约10分钟降温时间约30到45分钟降温到4.5K真空腔焊接法兰，不锈钢真空腔直径11.97英寸（304mm）上盖安装高纯石英窗口防热辐射屏镀镍无氧铜防热辐射屏直径8英寸上盖蓝宝石冷窗样品台镀金无氧铜样品台2.25英寸直径样品台连接接地（标准）绝缘（可选）偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选）偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选）探针臂位移台手动驱动焊接刀口法兰的不锈钢焊接波纹管连接X方向（轴向）2英寸行程Y方向（横向）1英寸行程（标准） 2英寸行程（可选）Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米振动样品台综合振动优于1微米温度计安装4个温度计，2套加热器 4个温度计位置：1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊断1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温 2套加热器位置：1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温显微观测系统标准7:1显微镜4.2毫米-0.61毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.024-0.08光源：环形光源分辨率：3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器可选16:1显微镜12.8毫米-0.8毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.0090-0.15光源：环形光源分辨率：2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器探针臂直流/低频探针臂微型同轴电缆接头：SMA或BNC频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆包含接地屏蔽接头 三同轴电缆接头：三同轴接头频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆 卡尔文探针电缆：同轴或三同轴接头：SMA/BNC/三同轴频率：0-100兆赫兹针尖材料：钨针（标准）镀金钨针（可选）铍铜镀金（可选） 针尖半径：0.5微米（其他半径可选）GSG高频探针臂0-40GHz接头：K型接头电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖 0-50GHz接头：2.4电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖 0-67GHz接头：1.85电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖光纤探针臂紫外/可见 或 可见/红外接头：SMA905公头光纤样品端：抛光裸头尺寸：100微米-400微米

产品概要：低温探针台可以对器件进行非破坏性的测试，器件的最大尺寸可达到102mm(4inch)。一般来讲， 纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在低温探针台在进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择，从而满足不同用户的需要。基本信息：1、系统可使用液氮或液氦制冷，基本系统温度 范围：4.2/77 K to 500 K2、高温选件，温度范围可到 20K-700K3、￠5mm(0.2 in)光学样品架，可以从背面照射样品4、样品台旋转选件，旋转角度±180 度，角度分辨率5、0.1 度，可选手动或电动旋转6、测量 DC 到 67GHz7、最大测试样品尺寸 51mm 直径8、最多可使用 6 个探针臂9、探针臂上安装温度感器进行温度监测10、控温稳定性： ±50mK11、探针臂 3 轴方向可调节，并可进行面内±5°旋转技术优势：1、电缆、屏蔽和 Guard 保护进一步减少了电噪声和热辐射损失2、支持未来升级闭循环，可将温度范围扩展到 4k3、控温稳定性大大增强4、实时进行温度检测应用方向：它为材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、 high Z 测量、DC 测量、RF 测量和微波特性测量提供一个测试平台。

ARS 闭循环电磁铁探针台美国ARS 公司的PS-CC闭循环探针台用于样品的非破坏性检测，测试灵活，可提供0.6T的水平磁场并配备双极电源。该设备广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。 该款探针台使用DE204、DE210或DE215系列冷头，整个测试过程中无需使用任何制冷剂（液氦/液氮）。可根据不同测试要求，选用不同型号冷头，以便样品最低温度到达13K、10K、7K或 4K。所有的ARS闭式循冷头均采用高制冷量的一级冷头，该设计可使系统快速降温并最大程度降低系统热负载。气动驱动GM冷头一级制冷量高，固有振动小，是该领域的理想选择。 该系统配有硬涂层铝制真空罩和高抛光的无氧铜防热辐射屏。高质的真空器件至关重要，可以使样品获得更高的真空环境，更洁净的表面，更好的电接触。 ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了该产品的稳定性能，也利于系统的诊断和服务。 The above picture shows the 4 probes connected to the vacuum chamber.This is a side profile of the table top and does not show the cryocooler underneath.The above picture shows the sample space inside the probe station.应用案例：● 电磁特性● 微波特性● 低频，高频特性● MEMS● 纳米电子学● 超导特性● 纳米器件光电性能● 量子点及纳米线● 单电子● 低电流物理特性 特点备注温度范围： 7K-400K其他温区可选样品区0.6T水平磁场样品区振动优于 1微米12英寸×5英寸不锈钢真空室5.5英寸 × 2.875英寸镀镍无氧铜防热辐射屏1英寸方形镀金无氧铜样品台高纯石英观察窗蓝宝石防热辐射屏冷窗多至4个三维微操作探针臂可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器温度计安装位置：1、冷头温度计，用于诊断2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温3、样品温度计，用于精确测量样品温度4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源可升级16:1显微观察系统规格及技术参数制冷方式闭循环制冷，无需液氦温度范围7K-400K（可选更高制冷量DE215冷头冷台温度 4K,安装高温隔热台高温度可达800K）磁场范围-0.6T至+0.6T磁体型号GMW5403EG磁场方向水平方向极面76毫米水冷需求：2升/分钟，0.8bar电源：双极型电源电压±20V电流±40A高斯计：LS475DSP霍尔传感器LS HGCT-3020温度稳定性优于50mK泵抽真空时间机械泵约45分钟分子泵约10分钟降温时间约2.5小时至10K（DE204P冷头）真空腔无磁不锈钢真空腔12英寸×5英寸上盖安装高纯石英窗口防热辐射屏镀镍无氧铜防热辐射屏5.5英寸 × 2.875英寸上盖蓝宝石冷窗热连接至1级冷头样品台镀金无氧铜样品台1英寸方形接地（标准）绝缘（可选）偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选）偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选）探针臂位移台手动驱动不锈钢焊接波纹管连接X方向（轴向）2英寸行程Y方向（横向）1英寸行程（标准）Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米振动三级减震，振动小于1微米温度计安装4个温度计，2套加热器4个温度计位置：1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温1个DT-670B-SD温度计安装于样品台底部用于控温1个DT-670B-SD温度计安装于冷头位置用于诊断1个校准型CX-1070-CU-4L温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温2套加热器位置：1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温显微观测系统标准7:1显微镜4.2毫米-0.61毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.024-0.08光源：环形光源分辨率：3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器可选16:1显微镜12.8毫米-0.8毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.0090-0.15光源：环形光源分辨率：2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器探针臂直流/低频探针臂微型同轴电缆接头：SMA或BNC频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆包含接地屏蔽接头三同轴电缆接头：三同轴接头频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆卡尔文探针电缆：同轴或三同轴接头：SMA/BNC/三同轴频率：0-100兆赫兹针尖材料：钨针（标准）镀金钨针（可选）铍铜镀金（可选）针尖半径：0.5微米（其他半径可选）GSG高频探针臂0-40GHz接头：K型接头电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-50GHz接头：2.4电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-67GHz接头：1.85电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖光纤探针臂紫外/可见 或 可见/红外接头：SMA905公头光纤样品端：抛光裸头尺寸：100微米-400微米单模或多模

DCH系列高低温真空探针台产品概要DCH系列高低温真空探针台是我司自主研发的一款在极端环境下给样品加载电学信号的设备。可以实现器件及材料表征的IV/CV特性测试,射频测试,光电测试等。通过液氮或者压缩机制冷,可以在防辐射屏内营造一个稳定的测试环境。在特殊材料,半导体器件等研究方向具有广泛运用。极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试:当晶圆加热至300°C,400°C,500”C甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。技术特点防辐射屏和热沉设计 降温速度快,常温降至 77k25mins,大大提高测试效率 液氮自动控制系统,液氮流量模块和温度控制模块一起联动共同控制温度。

Avantgarde 液氮高低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。PSM-LN2系列液氮高低温探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80K-800K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电测试。特点：1.液氮高低温真空探针台，15分钟内腔体真空度可达到 10E-4torr，液氮消耗量小,降到最低温度只需0.2L液氮，使用方便快捷同时兼顾经济性。2.探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空 的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。3.独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足最大4英寸样品的测试。4.真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性5.探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA @1V@80K--800K测试温度范围宽，最大支持80K-800K连续变温。6.独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏7.上盖采用翻盖结构，换样更便捷。

低温探针台CPS-xxx-CF系列是一款成本低、稳定、可靠和方便的低温半导体测试甚至低温晶圆级别测试器件的低温探针台系统。内置振动隔离，智能热管理和工程热膨胀补偿使低温探针台系统非常适合于宽范围从纳米电子学应用（石墨烯的研究，分子电子学，量子计算等）以空间为基础的电子测试。规格：试样尺寸：25、50mm、100mm、150mm或200mm可选无冷闭式循环制冷机（S）：包括冷头、压缩机、制冷机和所需的氦气软管。 温度范围：标准10K～400K，4.2K到480k可供选择 温度精度：0.1k或更好 热探针臂和辐射屏蔽 卡盘和探针臂的温度监测辐射屏蔽和cryohead温度监测是可选的。 真空压力 窗口材料：熔融石英，定制的材料和涂料是可用的。 相机：数码相机从1像素到10像素。图像和视频采集软件以及尺寸测量能力

ARS超导磁体探针台用于强磁场条件下电子器件的非破坏性电学测试，系统高可获得9T垂直磁场，也可以加双轴矢量超导磁体。 超导磁体探针台是实验中理想的研究磁光和磁电性质的平台，它可以应用于各种不同的领域，如量子点、自旋电子器件、纳米电子学等等。ARS超导磁体探针台可以根据客户实际的实验需求进行定制。 ARS是专业的低温设备厂家，超导磁体探针台使用ARS的DE210及DE215系列制冷机，可在样品台获得低于4K的温度。ARS冷头性能优异，冷却速度快，制冷量大，冷头振动低，性能稳定，是适宜科研设备中使用的冷头。 ARS设备都采用高抛光不锈钢材料做真空罩，镀镍的无氧铜用作冷屏及其他导热材料，高质量的材料使系统可以获得更高的真空度等级以及洁净的样品环境。 ARS公司整体探针台及冷头的生产加工，确保产品性能的一致性，也利于系统的维护及售后服务。特点备注温度范围：5K-350K其他温区可选样品区3T垂直磁场可达6T样品区振动优于1微米11英寸不锈钢真空室9英寸镀镍无氧铜防热辐射屏1.75英寸镀金无氧铜样品台高纯石英观察窗蓝宝石防热辐射屏冷窗多至6个三维微操作探针臂可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源可升级16:1显微观察系统规格及技术参数制冷方式双冷头，闭循环制冷，无需液氦温度范围5K-350K（可选更高制冷量DE215冷头冷台温度4K,安装高温隔热台高温可达800K）磁场范围-3T至+3T （可选-6T至+6T，或矢量磁体）温度稳定性优于50mK泵抽真空时间约120分钟降温时间约5小时至10K（DE210S冷头）真空腔无磁不锈钢真空腔直径11英寸上盖安装高纯石英窗口防热辐射屏镀镍无氧铜防热辐射屏直径9英寸上盖蓝宝石冷窗热连接至1级冷头样品台镀金无氧铜样品台1.75英寸直径1英寸可测试范围安放2英寸样品（其他尺寸可接受定制）探针臂位移台手动驱动不锈钢焊接波纹管连接X方向（轴向）2英寸行程Y方向（横向）1英寸行程（标准）Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米振动三级减震，振动小于1微米温度计安装6个温度计，2套加热器6个温度计位置：1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温1个DT-670B-SD温度计安装于样品台底部用于控温1个DT-670B-SD温度计安装于冷头位置用于诊断1个校准型CX-1070-CU-4L温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温1个DT-670B-CU温度计安装在制冷机一级冷头用于诊断1个CX-1070-CU-4L温度计安装在磁体顶部用于检测磁体温度2套加热器位置：1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温显微观测系统标准7:1显微镜4.2毫米-0.61毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.024-0.08光源：环形光源分辨率：3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器可选16:1显微镜12.8毫米-0.8毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.0090-0.15光源：环形光源分辨率：2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器探针臂直流/低频探针臂微型同轴电缆接头：SMA或BNC频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆包含接地屏蔽接头三同轴电缆接头：三同轴接头频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆卡尔文探针电缆：同轴或三同轴接头：SMA/BNC/三同轴频率：0-100兆赫兹针尖材料：钨针（标准）镀金钨针（可选）铍铜镀金（可选）针尖半径：0.5微米（其他半径可选）GSG高频探针臂0-40GHz接头：K型接头电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-50GHz接头：2.4电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-67GHz接头：1.85电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖光纤探针臂紫外/可见 或 可见/红外接头：SMA905公头光纤样品端：抛光裸头尺寸：100微米-400微米单模或多模 案例PS-CC-SCMSuperconducting Magnet Probe Station with microscope and camera view of probe armsXYZ translation stages have hardened steel ball bearing for sooth and precise motion control, theta rotation for planarization

Lake Shore的PS-100探针台是一款经济型的多功能型桌面式低温探针台，对资金有限或刚开始进行材料测试的实验室来说是不错的选择。该系统拥有超快的交货周期，且只需要使用真空泵和制冷剂即可开始进行低温实验。 PS-100预配置用于高灵敏、高阻抗的直流测量，使其能够在各种应用中使用。它具有用于四点探测的四臂三同轴TTPX探针台配置，并在 4.2 K 至 475 K 的温度范围内提供高稳定性操作。高精度、微型操作台可确保精确的探针尖端放置，PS-100可容纳直径高达32 mm（1.25英寸）的样品。 PS-100紧凑的桌面设计非常适合学术和实验室研究，它通过使用液氦或液氮的连续流制冷系统提供高效的低温操作。通过配套的Lake Shore 336型控温仪，用户可以在监测探针臂温度的同时独立调节样品台和防辐射屏的温度。 此外，PS-100型号具有完整的热沉和辐射屏蔽功能来防止热量到达样品。将探针冷却至样品台温度，以最大限度地减少测试器件的热负载。 PS-100台式低温探针台也可现场升级。当您的研究改变或预算允许时，您可以通过从TTPX系列中选择选件来添加其他功能，如低温或高温选件、减震或背面光学接口等。 主要特征： √ 温度范围4.3 K~475 K √ 可选低温3.2 K √ 标准1.25英寸（32 mm）样品 √ 紧凑型桌面设计 √ 快速交货 √ 样品振动＜30 nm可选 √ 环形磁体选件最大0.19T 设备参数： 温度范围 安装2个探针臂 基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K 安装4个探针臂 基础温度4.325 K，控制范围4.4 K ~ 475 K 安装PS-LT低温选件 基础温度3.2 K，控制范围3.3 K ~ 475 K 温度稳定性 液氦 液氮 基础温度 (无加热控制) ±15 mK ±20 mK 10 K ±50 mK — 10 K ~ 100 K ±20 mK ±50 mK 101 K ~ 250 K ±15 mK ±50 mK 251 K ~ 350 K ±15 mK ±100 mK 351 K ~ 475 K ±50 mK ±100 mK 真空 以TPS-FRG分子泵组为标准 抽真空时间 15 min (1 × 10-3 Torr) 室温 5 × 10-4 Torr 基础温度 1 × 10-5 Torr 最高温度 5 × 10-3 Torr 循环时间 总循环 2 h 抽真空 15 min 探针台冷却 45 min 探针台升温 60 min 样品 最大尺寸 32 mm(1.25英寸)标准 样品背光接口 无 样品旋转 无 样品振动 ＜300 nm标准，＜30 nm选配PS-PVIS减震选件 探针配置 最大探针数 4 探针臂温度计 用于监视探针臂的温度 冷却探针支架 ＜35 K(样品在基础温度下) 探针支架 连接样品台热沉 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 DC/RF探针 电绝缘100GΩ用于低漏电流测量 微波探针 频率范围从DC到67GHz 光纤探针 可用于电光测量 落针范围 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求，是Lake Shore功能最多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层，以实现优异的低温性能，其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。 由于采用了分流设计，样品可在防辐射屏冷却时保持温度，与高真空选件，最大限度地减少了冷却过程中的样品冷凝，这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外，CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm（2英寸）的晶圆（最多102 mm[4英寸]可选）。该系统使用液氦或液氮运行。主要特征： √ 温度范围4.3 K~475 K√ 可选低温1.9 K/1.6 K√ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102 mm）可定制√ 样品可面内±5°旋转√ 样品振动＜30 nm可选√ 超高真空选件√ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境√ 环形磁体选件最大0.19T设备参数：温度范围最多安装6个探针臂基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K安装PS-LT低温选件基础温度1.9 K，控制范围2 K ~ 475 K安装PS-VLT-CPX极低温选件基础温度1.6 K，控制范围1.65 K ~ 400 K安装PS-LL-CPX选件（Load Lock）基础温度10 K，控制范围10 K ~ 400 K温度稳定性液氦液氮基础温度 (无加热控制)±15 mK±20 mK10 K±50 mK—10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK101 K ~ 250 K±15 mK±50 mK251 K ~ 350 K±15 mK±100 mK351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK真空以TPS-FRG分子泵组为标准PS-HV-CPX高真空选件抽真空时间30 min (1 × 10-3 Torr)10 min (1 × 10-3 Torr)室温5 × 10-4 Torr5 × 10-6 Torr基础温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr最高温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr循环时间总循环3 h抽真空0.5 h探针台冷却1.25 h探针台升温2 hLoad Lock样品更换时间1小时（配有PS-LL-CPX选件）样品最大尺寸51 mm（2英寸）标准25.4 mm（1英寸）安装PS-VLT-CPX高真空选件25.4 mm（1英寸）安装PS-LL-CPX Load Lock选件样品背光接口不可选样品旋转±5°面内旋转样品振动＜300 nm标准，＜30 nm配有PS-PVIS减震选件探针配置最大探针数6探针臂温度计用于监视探针臂的温度冷却探针支架＜20 K(样品在基础温度下)探针支架连接样品台或4K防辐射屏热沉探针臂支架连接防辐射屏热沉DC/RF探针电绝缘100GΩ用于低漏电流测量微波探针频率范围从DC到67GHz光纤探针可用于电光测量落针范围所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

大型真空高低温探针台郑科探，低温真空探针台可使物理科学家和研究员通过方便的，可重复的测量进行基础的科学研究并得到连续的结果。低温真空探针台是一个多用的灵活的研究平台，可被用于专用的或者多用的团体研究资源。典型的应用包括样品在整个温度范围内的IV和CV曲线测试，微波测试，光电测试，表征变磁环境下的磁输运特性，理解载流子浓度的霍尔效应测试，和其他材料的研究。大型真空高低温探针台郑科探真空腔体腔体材质304不锈钢上盖开启铰链侧开加热台材质304不锈钢内腔体尺寸φ160x90mm观察窗尺寸Φ70mm加热台尺寸φ60mm观察窗热台间距75mm加热台温度﹣196~350℃加热台温控误差±1℃真空度机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa允许正压≤0.1MPa真空抽气口KF25真空法兰气体进气口3mm-6mm卡套接头电信号接头SMA转BNC X 4电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V探针数量4探针探针材质钨针 探针尖10μm探针移动平台X轴移动行程30mm ±15mmX轴控制精度≤0.01mmY轴移动行程13mm ±12.5mmY轴控制精度≤0.01mmZ轴移动行程13mm ±12.5mmZ轴控制精度≤0.01mm电子显微镜显微镜类别物镜物镜倍数0.7-4.5倍工作间距90mm相机sony 高清像素1920※1080像素图像接口VGALED可调光源有显示屏8寸放大倍数19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm

CINDBEST CGO-4 | 2~6 高低温真空探针台测试系统特点/应用◆ 2至6英寸样品台◆ 高真空腔体◆ 防辐射屏设计，样品温度均匀性更好◆ 77K-675K高低温环境◆ 兼容IV/CV/RF测试◆ 外置多探针臂，移动行程大◆ 经济实用，可无缝升级极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试：当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。◆ 腔体规格：型号：CGO-2/CGO-4/CGO-6样品台尺寸：2英寸/4英寸/6英寸样品固定：弹簧压片观察窗口：2英寸/4英寸/6英寸真空度：10-6torr探针臂接口：4~6个探针臂接口其他接口：电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口制冷方式：液氮/液氦/制冷机温度范围：77K到573K/4.5K到573K温控精度：0.1K/0.01K/0.001K稳定性：±1K/±0.1K/±0.01K外形：880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高重量：约100千克/120千克◆ 光学系统：显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜放大倍率：16X-200X/20X-4000X移动行程：水平360度旋转，Z轴行程50.8mm光源：外置LED环形光源/同轴光源CCD：200万像素/500万像素/1200万像素◆ 探针臂：X-Y-Z移动行程：50mm*50mm*50mm结构：外置探针臂，真空波纹管结构移动精度：10微米/1微米线缆：同轴线/三轴线/射频线漏电精度：10pA/100fA/10fA固定探针：弹簧固定/管状固定接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子频率支持：DC-67GHZ针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米◆ 其他组件：真空组件：分子泵组/机械泵/离子泵冷源组件：50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机◆ 可选附件超高温配件显示器转接头射频测试配件屏蔽箱光学平台镀金卡盘光电测试配件高压测试配件分子泵组激光系统气敏测试配件规格及设计如有更改，恕不另行通知。

产地：美国型号：PSF-4，PSW-4；该产品是全球知名的低温探针台、样品致冷机的生产厂家。致冷机(Cryostat)是低温探针台的核心组件：使用闭循环致冷机的低温探针台(PSF-4)，无须使用液氦、液氮等冷媒，仪器使用更方便，使用成本更低；使用开循环致冷机的低温探针台(PSW-4)，仪器噪声更低，仪器的价格也更好。技术规格：制冷技术冷头：DE-204闭循环冷头致冷类型气动G-M循环冷媒无须使用冷媒温度DE-204AF 10 K - 350 KDE-204SF 4.2 K - 350 KDE-204PF 6 K - 350 K800K高温选件(基础温度+2K) - 700K450K高温选件(基础温度+2K) - 450 K稳定性0.1 K降温时间降温至20K90分钟降温至1K160分钟升温时间加热功率样品台100W，辐射壳20W升温至300K30分钟破真空1小时探针臂探针臂数量标配4套，选配6套附选端口标准为2端口测量区域2 inch X 2 inch径向移动 (X-axis)63 mm (1.13 in.)横向移动 (Y-axis)51 mm ( 2 in.)垂直方向 (Z-axis)25 mm (1 in.)移动尺度10 μm灵敏度1 μm样品距视窗距离63 mm (2.48 in.)探针直流-射频 DC-RF微波 DC-67 GHz光纤防振台振动水平 1 μm (冷头工作)高度765 mm (30.1 in.)宽度927 mm ( 36 in.)垂直移动范围737 mm (29 in.)显微镜，带有CCD相机视场4.2 - 0.61 mm工作距离89 mm数值孔径 (N.A.)0.024 - 0.08最高分辨率1 μm放大倍率和显示器的规格有关图像尺寸1280 x 1024 像素相机输出USB-2.0帧速25 fps参考用户：北京大学，清华大学，电子科技大学，东南大学，浙江理工大学等；

The above picture shows the sample space of the probe stationThe above picture shows a custom sample holder and 4 DC probes. 美国ARS 公司的PS-L型液氦/液氮型低温探针台用于样品的非破坏性检测，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。 液氦/液氮型和闭循环低温探针台核心部件是相同的，可共用相同的桌面、真空腔和探针臂。如果您先购买了液氦/液氮型的探针台，那么可以在之后的任何时间内升级成一个闭循环（无任何制冷剂）的系统。 该类型探针台使用了ARS液氦/液氮型低温恒温器，样品温度因制冷剂不同可达~4K（液氦）或 ~77K（液氮）。 该系统旨在提供一个大的、干净的样本环境。真空室由焊接不锈钢制成，辐射防护罩由镀有镍的HC铜制成。镍镀层的低发射率和铜的高导电性使得样品空间的辐射屏蔽更冷，净制冷量更大。高质量的真空元件是至关重要的，因为它允许更深层的真空水平和更清洁的样品具有更好的电接触。 ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了系统的稳定性能，也利于系统的诊断和售后服务。 应用案例：l 电磁特性l 微波特性 l 低频，高频特性l MEMSl 纳米电子学l 超导特性l 纳米器件光电性能l 量子点及纳米线l 单电子l 低电流物理特性 典型结构l 液氦/液氮型低温恒温器l 传输管线-标准6英尺（8英尺或者10英尺）l 流量计l 10英寸的不锈钢真空腔带6个微操作探头端口和2个备用的NW80附件端口，安装在经阳极化处理的铝台面上，由铝制支撑架支撑l 8 英寸的镀镍无氧铜防热辐射屏l 2.25英寸的无氧铜接地样品座l DC, 微波或光纤探针l 4个温度计和2个加热器用于温度控制和监视l LS336四通道温度控制器带与恒温器连接电缆l 7:1变焦显微镜，分辨率小于2 微米，同轴或者环形光。包括一个高分辨的24寸的宽屏液晶显示器和显微镜光源 特点备注8英寸镀镍无氧铜防热辐射屏2.25英寸镀金无氧铜样品台可升级4英寸样品台高纯石英观察窗蓝宝石防热辐射屏冷窗多至8个三维微操作探针臂可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器温度计安装位置：1、冷头温度计，用于诊断2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温3、样品温度计，用于精确测量样品温度4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样三级减振系统样品台综合振动1微米样品台振动100nm7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源可升级16:1显微观察系统规格及技术参数制冷方式开环恒温器，液氦/液氮温度范围液氦~4K - 400K(可选500K,800K)液氮~77K - 400K(可选500K,800K)温度稳定性优于50mK泵抽真空时间机械泵约45分钟分子泵约10分钟降温时间约30到45分钟降温到5K真空腔不锈钢真空腔直径10英寸上盖安装高纯石英窗口防热辐射屏镀镍无氧铜防热辐射屏直径8英寸上盖蓝宝石冷窗热连接至1级冷头样品台镀金无氧铜样品台2.25英寸直径样品台连接接地（标准）绝缘（可选）偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选）偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选）探针臂位移台手动驱动不锈钢焊接波纹管连接X方向（轴向）2英寸行程Y方向（横向）1英寸行程（标准） 2英寸行程（可选）Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米振动三级减振，样品台综合振动优于1微米温度计安装4个温度计，2套加热器4个温度计位置：1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊断1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温 2套加热器位置：1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温显微观测系统标准7:1显微镜4.2毫米-0.61毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.024-0.08光源：环形光源分辨率：3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器 可选16:1显微镜12.8毫米-0.8毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.0090-0.15光源：环形光源分辨率：2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器探针臂直流/低频探针臂微型同轴电缆接头：SMA或BNC频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆包含接地屏蔽接头 三同轴电缆接头：三同轴接头频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆卡尔文探针电缆：同轴或三同轴接头：SMA/BNC/三同轴频率：0-100兆赫兹 针尖材料：钨针（标准）镀金钨针（可选）铍铜镀金（可选） 针尖半径：0.5微米（其他半径可选）GSG高频探针臂0-40GHz接头：K型接头电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-50GHz接头：2.4电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-67GHz接头：1.85电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖光纤探针臂紫外/可见 或 可见/红外接头：SMA905公头光纤样品端：抛光裸头尺寸：100微米-400微米 典型案例PS-L Continuous flow probe station with leastomeric vibration isolators. This design features manual and motorized capabilities.

CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求，是Lake Shore功能最多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层，以实现优异的低温性能，其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。 由于采用了分流设计，样品可在防辐射屏冷却时保持温度，与高真空选件，最大限度地减少了冷却过程中的样品冷凝，这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外，CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm（2英寸）的晶圆（最多102 mm[4英寸]可选）。该系统使用液氦或液氮运行。主要特征： √ 温度范围4.3 K~475 K√ 可选低温1.9 K/1.6 K√ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102 mm）可定制√ 样品可面内±5°旋转√ 样品振动＜30 nm可选√ 超高真空选件√ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境√ 环形磁体选件最大0.19T设备参数：温度范围最多安装6个探针臂基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K安装PS-LT低温选件基础温度1.9 K，控制范围2 K ~ 475 K安装PS-VLT-CPX极低温选件基础温度1.6 K，控制范围1.65 K ~ 400 K安装PS-LL-CPX选件（Load Lock）基础温度10 K，控制范围10 K ~ 400 K温度稳定性液氦液氮基础温度 (无加热控制)±15 mK±20 mK10 K±50 mK—10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK101 K ~ 250 K±15 mK±50 mK251 K ~ 350 K±15 mK±100 mK351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK真空以TPS-FRG分子泵组为标准PS-HV-CPX高真空选件抽真空时间30 min (1 × 10-3 Torr)10 min (1 × 10-3 Torr)室温5 × 10-4 Torr5 × 10-6 Torr基础温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr最高温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr循环时间总循环3 h抽真空0.5 h探针台冷却1.25 h探针台升温2 hLoad Lock样品更换时间1小时（配有PS-LL-CPX选件）样品最大尺寸51 mm（2英寸）标准25.4 mm（1英寸）安装PS-VLT-CPX高真空选件25.4 mm（1英寸）安装PS-LL-CPX Load Lock选件样品背光接口不可选样品旋转±5°面内旋转样品振动＜300 nm标准，＜30 nm配有PS-PVIS减震选件探针配置最大探针数6探针臂温度计用于监视探针臂的温度冷却探针支架＜20 K(样品在基础温度下)探针支架连接样品台或4K防辐射屏热沉探针臂支架连接防辐射屏热沉DC/RF探针电绝缘100GΩ用于低漏电流测量微波探针频率范围从DC到67GHz光纤探针可用于电光测量落针范围所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求，是Lake Shore功能最多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层，以实现优异的低温性能，其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。 由于采用了分流设计，样品可在防辐射屏冷却时保持温度，与高真空选件，最大限度地减少了冷却过程中的样品冷凝，这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外，CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm（2英寸）的晶圆（最多102 mm[4英寸]可选）。该系统使用液氦或液氮运行。主要特征： √ 温度范围4.3 K~475 K√ 可选低温1.9 K/1.6 K√ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102 mm）可定制√ 样品可面内±5°旋转√ 样品振动＜30 nm可选√ 超高真空选件√ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境√ 环形磁体选件最大0.19T设备参数：温度范围最多安装6个探针臂基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K安装PS-LT低温选件基础温度1.9 K，控制范围2 K ~ 475 K安装PS-VLT-CPX极低温选件基础温度1.6 K，控制范围1.65 K ~ 400 K安装PS-LL-CPX选件（Load Lock）基础温度10 K，控制范围10 K ~ 400 K温度稳定性液氦液氮基础温度 (无加热控制)±15 mK±20 mK10 K±50 mK—10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK101 K ~ 250 K±15 mK±50 mK251 K ~ 350 K±15 mK±100 mK351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK真空以TPS-FRG分子泵组为标准PS-HV-CPX高真空选件抽真空时间30 min (1 × 10-3 Torr)10 min (1 × 10-3 Torr)室温5 × 10-4 Torr5 × 10-6 Torr基础温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr最高温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr循环时间总循环3 h抽真空0.5 h探针台冷却1.25 h探针台升温2 hLoad Lock样品更换时间1小时（配有PS-LL-CPX选件）样品最大尺寸51 mm（2英寸）标准25.4 mm（1英寸）安装PS-VLT-CPX高真空选件25.4 mm（1英寸）安装PS-LL-CPX Load Lock选件样品背光接口不可选样品旋转±5°面内旋转样品振动＜300 nm标准，＜30 nm配有PS-PVIS减震选件探针配置最大探针数6探针臂温度计用于监视探针臂的温度冷却探针支架＜20 K(样品在基础温度下)探针支架连接样品台或4K防辐射屏热沉探针臂支架连接防辐射屏热沉DC/RF探针电绝缘100GΩ用于低漏电流测量微波探针频率范围从DC到67GHz光纤探针可用于电光测量落针范围所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

LH-CRPS-EMHF是一款无需消耗制冷剂，依靠制冷机提供冷源的闭循环低温磁场探针台，配1T 水平磁场，实现样品面内增加磁场。此款低温探针台设计的初衷就是多功能和卓越的 专业测量性能，为制冷剂获得比较困难和追求操作便利的客户提供了一个完美的解决方案。通 过闭循环制冷机降温，降温过程中不需要其它辅助设备，只需要很少的电能即可，也不需要科 研人员值守操作。丰富的选件和配置确保科研人员能够实施严苛的、富有挑战的测试测量。LH-CRPS-EMHF可实现最大面内磁场1T 的情况下，实施C-V 、I-V、微波、及磁输运等测量测试。多个温度传感器分布于探针台各个位置，确保温度监视和测量的准确性和重复性。由于是二级制冷平台制冷机提供冷源，这样能保证样品温度维持在相对较高的温度，同时样品处于真空环境中，减少了凝结的可能性，在一些有机材料的严格测试要求中这一点比较重要。LH-CRPS-EMHF 最大可安装样品台直径，25mm(1in), 在最低温度8K 时可实现样品台，360度旋转，可测量磁场相关的各项异性参数。

KT-Z1604T探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面温度-196-350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。（可定制：）

Lake Shore的TTPX探针台是一款经济的、入门级的探针台，能够进行各种非破坏性的标准电子器件测量。紧凑的桌面设计非常适合学术和实验室研究环境。 TTPX探针台通过使用液氦或液氮的连续流制冷系统提供高效的低温操作和控制，系统在4.2 K至475 K的温度范围内运行，可扩展低至3.2 K或高至20 K~675 K的范围。该系统可容纳直径达51 mm（2英寸）的完整和部分晶圆片。各种探针、测试电缆、样品支架和选件使其能够满足多种特定的测量应用。 TTPX探针台是Lake Shore为光电材料表征而设计的高端产品，它具有背面光学接入选件和兼容的光学样品座。I-V、C-V和微波测量是TTPX的标准选件。TTPX的多功能性和经济性使其成为世界各地许多研究人员的首选工具。 主要特征： √ 温度范围4.3 K~475 K √ 可选低温3.2 K，可选高温675 K √ 标准2英寸（51 mm）样品 √ 紧凑型桌面设计 √ 样品振动＜30 nm可选 √ 环形磁体选件最大0.19T √ 允许样品背光接入 设备参数： 温度范围 安装2个探针臂 基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K 安装4个探针臂 基础温度4.325 K，控制范围4.4 K ~ 475 K 安装6个探针臂 基础温度4.35 K，控制范围4.4 K ~ 475 K 安装PS-LT低温选件 基础温度3.2 K，控制范围3.3 K ~ 475 K 安装PS-HTSTAGE高温选件 基础温度20 K，控制范围20 K ~ 675 K 温度稳定性 液氦 液氮 基础温度 (无加热控制) ±15 mK ±20 mK 10 K ±50 mK — 10 K ~ 100 K ±20 mK ±50 mK 101 K ~ 250 K ±15 mK ±50 mK 251 K ~ 350 K ±15 mK ±100 mK 351 K ~ 675 K ±50 mK ±100 mK 真空 以TPS-FRG分子泵组为标准 抽真空时间 15 min (1 × 10-3 Torr) 室温 5 × 10-4 Torr 基础温度 1 × 10-5 Torr 最高温度 5 × 10-3 Torr 循环时间 总循环 2 h 抽真空 15 min 探针台冷却 45 min 探针台升温 60 min 样品 最大尺寸 51 mm(2英寸)标准 样品背光接口 5 mm (0.2 in) 直径 样品旋转 无 样品振动 ＜300 nm标准，＜30 nm选配PS-PVIS减震选件 探针配置 最大探针数 6 探针臂温度计 用于监视探针臂的温度 冷却探针支架 ＜35 K(样品在基础温度下) 探针支架 连接样品台热沉 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 DC/RF探针 电绝缘100GΩ用于低漏电流测量 微波探针 频率范围从DC到67GHz 光纤探针 可用于电光测量 落针范围 所有探针均可在直径为25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

Lake Shore 的FWPX探针台专为需要大尺寸晶圆探测的研究人员设计，它可以容纳直径高达102 mm（4英寸）的晶圆片，并可定制容纳更大尺寸至152 mm（6英寸）的晶圆。这款通用的探针台主要是为研究者和工程师们做大样品的材料特性表征而设计，同样可以有效的测量有机材料。 FWPX探针台采用了连续流制冷系统，使用液氦或液氮来冷却晶圆片或样品。它的标准工作范围为4.5K~475K，使用低温选件可将基础低温扩展至3.5K。 FWPX探针台可进行I-V，C-V 和微波等标准测量。 FWPX探针台最多同时安装6个带有热沉的微型操纵探针臂，经过优化设计后可用于电光测试。 主要特征： √ 温度范围4.5 K~475 K √ 可选低温3.5 K √ 样品快速测量 √ 标准4英寸（102 mm）样品，6英寸（152 mm）可定制 √ 样品可面内±5°旋转 √ 样品振动＜30 nm 设备参数： 温度范围 最多安装6个探针臂 基础温度4.5 K，控制范围5 K ~ 475 K 安装PS-LT低温选件 基础温度3.5 K，控制范围4 K ~ 475 K 温度稳定性 液氦 液氮 基础温度 (无加热控制) ±20 mK ±20 mK 10 K ±50 mK — 10 K ~ 100 K ±20 mK ±50 mK 101 K ~ 250 K ±20 mK ±50 mK 251 K ~ 350 K ±20 mK ±100 mK 351 K ~ 675 K ±50 mK ±100 mK 真空 以TPS-FRG分子泵组为标准 抽真空时间 30 min (1 × 10-3 Torr) 室温下 5 × 10-4 Torr 基础温度下 1 × 10-5 Torr 最高温度下 5 × 10-3 Torr 循环时间 总循环 3.5 h 抽真空 0.5 h 探针台冷却 1.5 h 探针台升温 1.5 h 样品 最大尺寸 102 mm(4英寸)标准 样品背光接口 不可选 样品旋转 ±5°面内旋转 样品平移 在x轴和y轴上平移，用于整个102 mm的晶圆片探测 样品振动 ＜30 nm标准 探针配置 最大探针数 6 探针臂温度计 用于监视探针臂的温度 冷却探针支架 ＜30 K(样品在基础温度下) 探针支架 连接样品台热沉 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 DC/RF探针 电绝缘100GΩ用于低漏电流测量 微波探针 频率范围从DC到67GHz 光纤探针 可用于电光测量 落针范围 所有探针均可在直径为51毫米（2 英寸）的圆内落针

CRX-4K是Lake Shore公司推出的一款多功能、高性能设计的无液氦闭循环低温探针台。该系统兼顾了无液氦操作的便利性和Lake Shore产品卓越的测量性能。它使用独立的闭循环制冷机，开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。CRX-4K多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。此款探针台可提供的最低温度为4.5K，探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。双级闭循环制冷机允许样品在冷却过程中保持在较高温度，降低了样品冷凝的可能性，这是测量有机材料的关键要求。CRX-4K 可定制容纳直径达102 毫米（4 英寸）的晶圆片，并有直径 51 毫米（2 英寸）的探测区域。主要特征： √ 温度范围4.5 K~350 K√ 可选高温至675 K√ 无液氦低温操作√ 降温中尽可能减少样品冷凝√ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102mm）可选√ 环形磁场选件最大0.19T设备参数：温度范围安装2个探针臂基础温度4.5 K，控制范围5 K ~ 350 K安装4个探针臂基础温度5.5 K，控制范围6 K ~ 350 K安装6个探针臂基础温度6.0 K，控制范围6.5 K ~ 350 K安装PS-HTSTAGE选件（与样品背面偏压不兼容）基础温度20 K，控制范围20 K ~ 675 K温度稳定性基础温度 (无加热控制)未说明10 K±50 mK10 K ~ 100 K±10 mK101 K ~ 250 K±10 mK251 K ~ 350 K±20 mK351 K ~ 675 K±50 mK真空以TPS-FRG分子泵组为标准抽真空时间30 min (1×10-3 Torr)室温5 × 10-4 Torr基础温度1 × 10-5 Torr最高温度1 × 10-5 Torr循环时间总循环4 h抽真空0.5 h探针台冷却2 h探针台升温1.5 h样品最大尺寸51 mm(2英寸)样品背光接口不可选样品旋转不可选样品振动＜1 μm探针配置最大探针数6探针臂温度计用于监视探针臂的温度冷却探针支架＜20 K(样品在基础温度下)探针支架连接样品台热沉探针臂支架连接防辐射屏热沉DC/RF探针电绝缘100GΩ用于低漏电流测量微波探针频率范围从DC到67GHz光纤探针可用于电光测量落针范围所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

一、多功能手动探针台应用原理： （1）KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节。 （2）其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。 二、技术组织规格： 1．腔体材质：304不锈钢 2．上盖开启：铰链侧开 3．加热台材质：304不锈钢 4．内腔体尺寸：φ160x90mm 5．观察窗尺寸：Φ70mm 6．加热台尺寸：φ60mm 7．观察窗热台间距：75mm 8．加热台温度：-196-350℃ 9．加热台温控误差：±1℃ 10．真空度：机械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa 11．允许正压：≤0.1MPa 12．真空抽气口：KF25真空法兰 13．气体进气口：3mm-6mm卡套接头 14．电信号接头：SMA转BNCX4 15．电学性能：绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤500V漏电流≤-10次方安培 16．探针数量：4探针 17．探针材质：镀金钨针 18．探针尖：10μm 19．X轴移动行程：30mm±15mm 20．X轴控制精度：≤0.01mm 21．Y轴移动行程：13mm±12.5mm 22．Y轴控制精度：≤0.01mm 23．Z轴移动行程：13mm±12.5mm 24．Z轴控制精度：≤0.01mm 25．显微镜类别：物镜 26．物镜倍数：0.7-4.5倍 27．工作间距：90mm 28．相机：sony高清 29．像素：1920※1080像素 三、企业概括： （1）郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室及科学院校，科探仪器已经成为老师同学欢迎和信任的品牌之一。 （2）公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！ （3）目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉CVD供气系统等离子清洗机小型离子溅射仪小型蒸镀仪石英管真空封口多功能手动探针台半导体检测等。主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。 （4）公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

产品介绍高低温真空探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件因接触空气所带来的测试结果误差，是材料学、芯片、半导体器件等方向实验分析的理想选择。技术优势控温范围可达-142℃-600℃（131.15K 到 873.15K）（300℃以上需另配水冷系统）；控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃ 极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组；探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm；三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构 样品台多个尺寸可选，常规有4/6/8/12英寸。通用参数测试环境极低温测试、高温无氧化测试。常规选型测试环节晶圆测试过程中，温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，探针座位于腔体外部，可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套高低温真空探针台，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

产品介绍高低温真空探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件因接触空气所带来的测试结果误差，是材料学、芯片、半导体器件等方向实验分析的理想选择。技术优势控温范围可达-142℃-600℃（131.15K 到 873.15K）（300℃以上需另配水冷系统）；控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃ 极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组；探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm；三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构 样品台多个尺寸可选，常规有4/6/8/12英寸。通用参数测试环境极低温测试、高温无氧化测试。常规选型测试环节晶圆测试过程中，温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，探针座位于腔体外部，可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套高低温真空探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

液氮高低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。 PSM-LN2系列液氮高低温探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80K-800K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电测试。特点&bull 液氮高低温真空探针台，15分钟内腔体真空度可达到 10E-4torr，液氮消耗量小,降到温度只需0.2L液氮，使用方便快捷同时兼顾经济性。&bull 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空 的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。&bull 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足4英寸样品的测试。&bull 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性&bull 探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA @1V@80K--800K&bull 测试温度范围宽，支持80K-800K连续变温。&bull 独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏&bull 上盖采用翻盖结构，换样更便捷。参数和指标：探针台主机分类型号PSM-LN2-2PSM-LN2-2HPSM-LN2-4PSM-LN2-4H温度范围 80K--500K80K--800K80K--500K 80K--800K控温稳定性+/-50mK+/-100mk+/-50mK+/-100mk样品座类型及材料无氧铜接地镀金样品座无氧铜接地样品座 无氧铜接地样品座无氧铜接地样品座 尺寸2寸2寸4寸4寸可选规格绝缘样品座 （温度只能到400K）同轴样品座 （温度只能到400K）三同轴样品座（温度只能到400K）探针臂类型直流探针臂数量4接头及电缆三同轴接头+极细同轴低温电缆漏电流100fA@1V 真空环境中信号频率 DC--50MHz匹配阻抗 50欧姆位移范围Z +/-6.5m R+/-10°X+/- 50mm,Y+/- 12.5m X+/- 35mm,Y+/- 12.5mZ +/-6.5m R+/-10°光学系统显微镜放大倍数 10--180倍分辨率3微米视场 22mm工作距离 90--100mm真空腔材料铝合金腔体容积 4L 5.5L整体尺寸800*800*600900*900*600腔体内径 124mm155mm视窗尺寸 50mm 100mm真空腔体窗口红外吸收窗口防辐射屏窗口 N/A标准石英窗口 N/A标准石英窗口真空度 5*10E-4 torr预留接口2个探针臂接口&2个电学接口防辐射屏材料 N/A不锈钢 N/A不锈钢液氮腔体液氮容量 0.5L冷却时间60分钟到80K 80分钟到80K液氮消耗量0.2L从室温到80K0.3L从室温到80K液氮保持时间 4小时@80K 3小时@80K专用振动隔离桌尺寸 800*800*800 900*900*800桌推 固定脚&滚轮

产品介绍高低温真空探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件因接触空气所带来的测试结果误差，是材料学、芯片、半导体器件等方向实验分析的理想选择。技术优势控温范围可达-142℃-600℃（131.15K 到 873.15K）（300℃以上需另配水冷系统）；控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃ 极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组；探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm；三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构 样品台多个尺寸可选，常规有4/6/8/12英寸。通用参数测试环境极低温测试、高温无氧化测试。常规选型测试环节晶圆测试过程中，温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，探针座位于腔体外部，可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

产品介绍高低温真空探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件因接触空气所带来的测试结果误差，是材料学、芯片、半导体器件等方向实验分析的理想选择。技术优势控温范围可达-142℃-600℃（131.15K 到 873.15K）（300℃以上需另配水冷系统）；控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃ 极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组；探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm；三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构 样品台多个尺寸可选，常规有4/6/8/12英寸。通用参数测试环境极低温测试、高温无氧化测试。常规选型测试环节晶圆测试过程中，温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，探针座位于腔体外部，可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。