大气离子体电浆清洗设备

近日，小米汽车SU7正式亮相，在电池安全方面，小米采用全球最高电池安全标准，全系采用高安全的电芯。另外，小米SU7上市27分钟大定超5万台，十分火爆。*图片源自小米汽车视频号，侵删在新能源汽车行业迅猛发展的当下，800V及以上高电压平台车型的兴起，电池安全也成为汽车制造商和消费者的核心关注点。一、PET蓝膜 vs UV涂覆绝缘材料电池绝缘材料作为电池安全的重要屏障，对于电池模组性能乃至整车性能都有着关键作用。在电池生产过程中，PET蓝膜以其良好的绝缘性、化学抗性和拉伸强度备受青睐，PET蓝膜贴合一直以来都是主流的绝缘方案。然而，随着新能源汽车对电池性能的要求提高，PET蓝膜逐渐显现出其局限性，蓝膜粘接性能不足，且在高电压下容易产生击穿风险，对于电池安全而言是一大隐患。为优化单体电池乃至整个电池模组的性能，UV涂覆绝缘材料应运而生。这种材料不仅具备良好的绝缘性、耐高温性和耐腐蚀性，还具备与电池完美结合的能力，能够为电池提供更为全面的保护，有效防止短路和热失控的风险。而UV涂覆绝缘材料也因此被认为在动力电池领域具有广泛的应用前景。*图片源自网络，侵删UV涂覆绝缘材料喷涂固化后，会在电芯铝壳表面形成一层连续、致密的绝缘涂层，可以提高电芯的耐久性和稳定性，延长使用寿命。同时，为了使得UV涂覆绝缘材料可以更好地与电芯铝壳表面结合，等离子表面预处理的作用不容小觑。二、等离子表面处理在喷涂UV绝缘材料之前，通过等离子表面处理可以粗化电芯铝壳表面，提高其表面附着力，使其更有利于UV绝缘材料的涂覆和固化，有助于防止涂层在使用过程中出现脱落或剥离，进一步提高电池的安全性和可靠性。大气等离子清洗机应用案例经过等离子处理前后接触角的数据对比可以看出，电芯铝壳表面润湿性得到提高，保证后续UV绝缘材料能够更均匀地分布。大气等离子清洗机，适用于各种平面材料清洗，在动力电池领域，可搭配旋转枪头使用，有效粗化材料表面，提高表面附着力和润湿性。

P5等离子笔是一种便携手持大气冷等离子发生器，不需要外部气体供应，只需将其插电即可开始清洗！特别适用于实验室样品表面的有机污染物等离子清洗、亲水化处理和表面改性。比如扫描电镜SEM样品观测前处理等用途。创新点：1.便携性，可随身携带；2.可以用外接220V民用电，亦可使用充电宝提供电源，插电即可开始清洗；3.手持大气冷等离子发生器，无需外部气体供应；4.特别适用于实验室样品表面的有机污染物等离子清洗、亲水化处理和表面改性。【SuPro】离子清洗笔P5

等离子清洗机的清洗过程指导等离子清洗机 的清洗过程一般包括以下步骤：1. 准备工作：先将待清洗物放入等离子清洗室，并确保清洗室内没有杂物和污垢。2. 封闭清洗室：关闭清洗室的门和密封装置，确保清洗室密封。3. 抽气和抽真空：打开真空泵，将清洗室内的气体抽走，形成一定的真空度。真空度的选择根据清洗物的要求和等离子清洗机的规格来确定。4. 气体进入和等离子放电：在清洗室内引入清洗气体（如氧气、氮气等）并调整流量和压力。然后启动等离子发生器，产生等离子放电，形成气体等离子体。5. 清洗时间和功率：根据清洗物的材料和污染程度，设定适当的清洗时间和功率。清洗时间通常为几分钟到几十分钟，功率通常为几十瓦到几千瓦。6. 清洗结束和处理：清洗时间结束后，关闭等离子发生器和抽真空泵。待等离子体消失后，打开清洗室门，将清洗物取出。7. 清洗室清理和维护：清理清洗室内壁、电极和密封件，并检查设备的各种部件是否正常。需要注意的是，在进行等离子清洗时，应根据具体情况选择合适的清洗参数，如气体种类、流量、压力、功率等，在操作过程中要遵循设备使用说明书和安全操作规范，确保操作安全和清洗效果。

正在上海举行的中国半导体国际展上，盛美半导体设备(上海)有限公司展出了一台十二英寸单片兆声波清洗设备，这也是国内首台具有自主知识产权的“零损伤”兆声波半导体清洗设备。　　当今半导体清洗技术中的最大难题，是对机械损伤和不良率的控制。随着半导体芯片体积的不断缩小，影响硅片良率的粒子也越来越小，颗粒越小则越难清洗 同时，65纳米以下芯片的门电极与电容结构越来越脆弱，在清洗中避免损伤芯片微结构的难度也在不断加大。　　作为一种新兴技术，近年来兆声波清洗技术在半导体清洗设备中的应用越来越广泛。盛美半导体首席执行官王晖博士说，兆声波能量之所以可以去除颗粒，是因为兆声波会产生气穴，这些气穴能在“极表面”产生高速流体，从而推动微颗粒离开硅片表面。但这项技术的关键点在于，如何控制兆声波在硅片表面上的能量，使之既能有足够的能量产生气穴，又不会产生过多能量而破坏硅片上的微结构。　　据介绍，目前全球市场上的单片兆声波清洗设备，一般只能控制兆声波能量非均匀度在10%到20%。而由盛美半导体自主研发的SAPS兆声波技术，可以精确控制兆声波的能量，将均匀率控制在2%以内。因而盛美半导体设备公司的兆声波清洗设备使用超纯净水，在不损伤微结构的条件下，颗粒去除效率可达到98.3% 如果使用特定化学清洗液，颗粒去除效率更可高达99.2%。

h3 style="text-indent: 2em "产业链——应用单一构造复杂/h3p style="text-indent: 2em "一般来说，为保证半导体芯片的品质和高可靠性，在封装前需要引入清洗工序，半导体的清洗也是半导体生产环节中十分重要的一环。/pp半导体清洗需要通过半导体清洗设备来实现，一般半导体清洗设备由气路系统、管路系统、控制系统、照明系统等组成，其也主要应用于半导体的生产。/ppimg style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img3.qianzhan.com/news/202008/19/20200819-bfe5c8da5baa21fb.png"//pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img3.qianzhan.com/news/202008/19/20200819-f7b5a8d45c2c2201.png"//ph3 style="text-indent: 2em "产业政策——围绕半导体设备开展/h3p style="text-indent: 2em "我国对于半导体清洗设备的相关政策基本上围绕促进半导体设备技术发展与应用开展。如《中国制造2025》提出要形成集成电路专业制造设备的供货能力 《我国集成电路产业“十三五”发展规划建议》规划到2020年，我国半导体关键装备要进入国际采购体系等。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img3.qianzhan.com/news/202008/19/20200819-3890fe3b65891396.png"//ph3 style="text-indent: 2em "技术工艺——主要分为湿法和干法/h3p style="text-indent: 2em "半导体清洗工艺主要分为湿法和干法。其中湿法包括溶液浸泡法、机械刷洗法等，干法则包括等离子清洗、气相清洗等。根据半导体清洗工艺与适用场景的不同，半导体清洗设备也发展出了许多不同的种类，如单晶圆清洗设备、超声波清洗设备等等。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img3.qianzhan.com/news/202008/19/20200819-44cff3070dd9586a.png"//pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img3.qianzhan.com/news/202008/19/20200819-65526584d6553dd6.png"//ph3 style="text-indent: 2em "企业竞争——迪恩士独占鳌头/h3p style="text-indent: 2em "全球半导体清洗设备行业的龙头企业主要是迪恩士(Dainippon Screen)、东京电子(TEL)、韩国SEMES、泛林半导体等等。其中，迪恩士占据了全球半导体清洗设备45.1%的市场份额，东京电子、SEMES和泛林半导体分别占据约25.3%、14.8%和12.5%。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img3.qianzhan.com/news/202008/19/20200819-241ba3b84b410e6c.png"//ph3 style="text-indent: 2em "市场容量——市场容量不断增长/h3p style="text-indent: 2em "据SEMI数据披露，2015-2019年全球半导体清洗设备市场容量不断增长。2019年，全球半导体设备市场容量约为32.8亿美元，较2018年增长了5.81%。预计到2020年，全球半导体设备市场容量将达到36亿美元。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img3.qianzhan.com/news/202008/19/20200819-0652d8facca469a2.png"//ph3 style="text-indent: 2em "国产化分析——国产化率不断提升/h3p style="text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "近年来，我国半导体清洗设备产业迅速发展，国产化率不断提升。从2019年中国半导体清洗设备招标采购份额来看，我国半导体清洗设备的国产化率已经超过了20%。这个数值远远超过了其他大部分半导体设备的国产化率。/span/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img3.qianzhan.com/news/202008/19/20200819-c023e618d36c36ef.png"//pp style="text-indent: 2em "与此同时，我国半导体清洗设备产业也涌现出了一批优秀的龙头企业，如盛美半导体、北方华创、沈阳芯源等等，其中盛美半导体的半导体清洗设备制造技术最为靠前，其所占市场份额也远超其他国内企业。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img3.qianzhan.com/news/202008/19/20200819-b2493ac6dc065bfe.png"/img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img3.qianzhan.com/news/202008/19/20200819-38c011d5d49e20ba.png"//pp style="text-indent: 2em "以上数据来源于前瞻产业研究院《中国半导体产业战略规划和企业战略咨询报告》，同时前瞻产业研究院提供产业大数据、产业规划、产业申报、产业园区规划、产业招商引资等解决方案。/p

CIF扫描电镜等离子清洗机CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计，并可自动切换，一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。产品特点u 双等离子清洗源u 一机多用u 高效低损伤技术参数产品型号CIF-SEM法兰接口KF40工作气压0.3-3Pa等离子电源13.56MHz射频电源，射频功率5-100W可调，自动匹配器气体控制标配双路50毫升/分气体质量流量控制器（MFC），精确测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响气源选择根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择真空控制美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计， 测量范围1E-5Torr真空保证真空计和电磁阀安全互锁操控方式7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面电源/功率220V，50/60Hz，300W可选配件可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-300ml/min 质量保证二年质保，终身维护创新点：CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用双等离子清洗源设计，自动切换，一机多用，清洗快速高效、低等离子体轰击损伤，核心部件采用国际一流品牌，保证设备优异的质量和稳定性。CIF扫描电镜等离子清洗机

实验室自动玻璃清洗设备适用于制药企业、疾控系统、科研院所、环境保护、水务系统、医院、石化系统、电力系统等各类实验室，并对进样瓶、试管、烧杯、移液管、三角瓶、容量瓶等瓶皿进行快速的清洗干燥。洗瓶机的好处非常多，也在逐渐替代手工清洗，初次操作用的用户使用时要规避这几点。1. 多种不同的器皿放在一起清洗实验室自动玻璃清洗设备清洗容量很大，一次可清洗百余只瓶皿，有的用户为了省事，就将实验完成后待清洗的瓶皿，不分结构、规格，一股脑的插在篮架上，放进清洗仓进行清洗。其实这样操作是错误的。洗瓶机采用高压喷淋清洗方式洗瓶，并搭配不同形状的清洗篮架，并且每种篮架的喷头角度、口径都是不同的，清洗时只有合适的篮架，才能发挥清洗能力。如果将瓶皿不按种类和规格，一股脑往一个篮架上扣，清洗效率不仅会打折扣，而且会洗碎瓶皿。2. 玻璃器皿清洗前不需要进行预处理实验室自动玻璃清洗设备尽管是全自动的，但是针对一些残留物，还是需要进行预处理。比如，有的瓶皿种含有遇热会凝固的蛋白质，如果不将瓶皿中的蛋白质清洗干净就直接加热清洗，就会存在蛋白质凝固后粘附在器皿表面的现象，会影响瓶皿的洁净度。还有一些类似的聚合物等物质，清洗前需要简单的预处理操作。3. 清洗液随意搭配乱用全自动清洗采用的是循环喷淋的方式，普通的清洗剂一般都含有表面活性剂成分，在清洗过程中会产生大量的泡沫，这些泡沫会越洗越多，还可能会溢出，进而导致循环泵、管路等部件的损坏。专用的清洗剂不仅含有酸、碱，还含有螯合剂、络合物等多种活性物质，这些可以通过协同作用更好地溶解和分散残留物。洗瓶机厂家会根据自身设备量身定制清洗剂，并且也会通过细致的测试和评估，不会对设备产生损坏4. 随意拆机维修有的用户遇到洗瓶机故障后，就自作主张拆机维修，结果导致小问题成大问题。我们提醒用户，设备在出现问题的情况下，不能擅自拆机维修，一定要联系售后工程师，在工程师的指导下或者工程师上门来维修。实验室自动玻璃清洗设备不但很好的解决了实验室玻璃器皿的清洗难题，而且也提高了实验员的工作效率，保障了清洗人员的安全。我们在操作设备时，一定要规范操作，这样才可以保障清洗效果，提高实验效率。

p style="text-align: justify text-indent: 2em "近日，深圳市普仕曼科技有限公司发布PSM /等离子清洗机/ PR1000B新品，该设备为射流型大气低温等离子处理机(旋转型），可以针对三维物体进行均匀高效的表面清洁处理和表面活化。在表面清洗方面，可以进行粘接、锡焊、电镀前的表面处理，适用于手机盖板、摄像头模组；汽车密封条、灯罩、刹车片等；PCB板除胶、LCD屏涂覆处理等。在表面活化方面，可以进行生物材料的表面修饰，电线电缆表面喷码，塑料表面涂覆，金属基材的表面清洁活化，印刷涂布或粘接前的表面处理。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "该设备设备具有可靠的系统性能，系统设备可实行自检以及全面过程的状态及参量监测、监控，并报警保护。灵活的控制方式,可实现主机面板控制、远程控制；也可实现人工控制，或自动化在线控制方式。适合多种使用场合 ,多种喷射枪嘴选用，可适合多种的处理应用场合。/pp style="text-align:center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201906/pic/47eb032d-5c4b-42fc-8814-994df399d1de.jpg!w400x400.jpg" alt="PSM /等离子清洗机/ PR1000B"//pp style="margin: 15px 0px padding: 0px line-height: 30px background: rgb(255, 255, 255) text-indent: 0em "span style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"span style="font-family:微软雅黑"主机规格：/span/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"285/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"mm (W) × /spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"275/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"mm (H)× /spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"45/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"0mm (D )/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"br//spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"span style="font-family:微软雅黑"电源系统：/spanAC220V（± 20%）（自主研发）/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"br//spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"span style="font-family:微软雅黑"功率：/span /spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"1000/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"span style="font-family:微软雅黑"ＶＡ/span/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"(可调）/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"br//spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"span style="font-family:微软雅黑"处理直径：/span/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"30-60mm，火焰长度：15mm/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"br//spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"span style="font-family:微软雅黑"主机重量：/span/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"15/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"kg/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"br//spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"span style="font-family:微软雅黑"使用温度范围：－/span10℃~+40℃/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"br//spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"span style="font-family:微软雅黑"进/span/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"span style="font-family:微软雅黑"气压力：/span 0.3~0.5MPa/span/p

当您的仪器长期运行样品，可能会导致传输毛细管污染，典型现象是【调谐液各个离子灵敏度普遍下降，特别是低端离子】。安捷伦仪器目前有三种毛细管 ，请先辨别清楚您的毛细管是哪种，适用不同的清洗方法：如何清洗离子传输导电毛细管导电毛细管六孔导电毛细管（适用G6495/G6550仪器，9cm长）对于快速切换导电毛细管（包括上图两种），我们推荐下面步骤清洗：需要的工具：Alconox清洁粉末（随新仪器附带），100 mL量筒，天平，超声清洗仪，1mL移液枪头，18MΩ 高纯水等。清洗步骤：1. 称取一克Alconox清洁粉末置100 mL洁净的量筒中(建议使用聚丙烯量筒)， 用高纯水充分溶解。如溶解困难，可超声使溶解。2. 如果使用聚丙烯量筒的话，可以直接将毛细管放入量筒中。如果使用玻璃量筒的话，请将毛细管两头用1 mL的移液枪枪头套住，并将枪头前端剪去如下图所示。这样可以保护毛细管在超声清洗的时候不会直接碰到玻璃量筒壁，防止毛细管破碎。3. 将毛细管竖直放入充满Alconox溶液的量筒中，确保液面没过毛细管。超声清洗5min。如果液面无法没过毛细管的话，请适量添加一些高纯水。4. 拔掉移液枪枪头，用高纯水冲洗毛细管。5. 用一个1mL的移液枪头紧紧套住毛细管的一端，然后用注射器抽吸高纯水，拔掉注射器针头，通过移液枪头处冲洗毛细管内壁。反复多次，以确保清洗剂充分冲洗干净。6. 用甲醇冲洗毛细管外表面，并用甲醇置换掉毛细管内孔的水。自然晾干。重新安装毛细管，开机。如何清洗离子传输经典透明毛细管经典玻璃透明毛细管这种毛细管可以用导电毛细管的步骤进行清洗。但推荐遵循下面的步骤进行清洗。需要的工具：棉签，用于毛细管清洁的金属丝（备件号G1946-80054），色谱级甲醇或异丙醇清洗步骤：1. 用异丙醇或甲醇/水溶液湿润清洗毛细管内壁。2. 截取约50厘米长的金属丝，把两端重叠在一起，小心穿过毛细管。直到只剩最后一小圈在外面。3. 用一小团脱脂棉穿过钢丝圈。注意，注意棉花团不要太大，必须保证其可以顺利穿过毛细管。否则金属丝可能被拉断而棉花团堵塞在毛细管内，很难去除。4. 用异丙醇或甲醇/水溶液润湿小棉花团，然后小心的慢慢拉金属丝，使棉花团穿过毛细管。5. 如果发现棉签很脏，可以重复1-2次，直到棉签完全干净为止。6. 重新安装毛细管，开机。使用异丙醇润滑毛细管外表面，会使毛细管更容易插入。后注：对于六孔导电毛细管 ，是有方向性的，标有黑色圆环一端是前端；其他毛细管在新毛细管安装时无方向性，但对于日常清洗毛细管时，建议拆下来时哪一端在前，安装时也要相同方向。收看安捷伦售后直播 学习工程师视角的“冷知识”

2021年6月7日，上海芯物科技有限公司12吋中试生产线工艺设备搬入仪式在新傲工厂举行，盛美半导体设备（上海）股份有限公司首台清洗设备入驻芯物科技！据国家智能传感器创新中心负责人在致辞时介绍，12英寸先进传感器特色工艺研发中试平台超过80%的设备均采用国产设备，为国产装备提供验证平台，加速传感器产业链国产化，实现自主可控。盛美半导体董事长 王晖 先生王晖先生在致辞时说：“能够获得和芯物科技一起成长的机会，我代表盛美向芯物科技表示衷心的感谢！在这个充满机会与挑战的时代，期待未来和芯物科技一起，开发一些全球领先的差异化特色工艺和设备，把中国的MEMS做到世界前列！”设备搬入合影盛 美 前道刷洗设备盛美本次进驻芯物科技的设备为前道刷洗设备，该设备采用单片腔体对晶圆正背面依工序清洗，可进行包括晶圆背面刷洗、晶圆边缘刷洗、正背面二流体清洗等清洗工序。设备占地面积小，产能高，稳定性强，多种清洗方式灵活可选，且可用于芯片制造的中前段至后段各道刷洗工艺。据了解， 盛美主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备等。公司坚持差异化竞争和创新的发展战略，通过自主研发的单片兆声波清洗技术、单片槽式组合清洗技术、电镀技术、无应力抛光技术和立式炉管技术等，向全球晶圆制造、先进封装及其他客户提供定制化的设备及工艺解决方案，有效提升客户的生产效率、提升产品良率并降低生产成本。

不锈钢等离子清洗效果评估|钢板表面油脂污染情况检测方案测试说明客户：德国Relyon Plasma公司样品：不锈钢板测量设备：析塔清洁度仪FluoScan 3D污染物：福斯溶剂型防锈油Fuchs Anticorit MKR 4目标采用荧光法测量不锈钢表面污染情况，检查等离子清洗的效果及其影响参数。操作过程首先，将不锈钢板放在60°C的超声波清洗槽中，使用碱性清洗剂清洗15分钟，然后用去离子水彻底冲洗并干燥不锈钢板。随后，在不锈钢板上滴一滴Anticorit MKR 4防腐蚀油，并用实验室用布擦拭。然后，使用析塔FluoScan 3D清洁度检测仪，采用荧光法，高分辨率扫描钢板，检测钢板上的防腐蚀油分布。荧光法是一种对油膜厚度敏感的测量，测试结果以RFU（相对荧光单位）显示，RFU值越低，表面越干净。等离子清洗对于等离子体清洗，手持等离子体设置piezobrush PZ3被连接到析塔SITA FluoScan 3D（自动检测清洁度的测试台）的移动轴上，使得可以通过自动化进行等离子清洗处理。piezobrush PZ3在测试板上以编程的移动路径移动，同时等离子体以恒定的移动速度开启，并与钢板表面保持恒定的距离。为了说明速度（清洗时间）的影响，首先以2.5mm/s的速度进行处理，然后在清洗时间一半的位置上，以5mm/s的速度进行处理。测量结果图1：未清洗的不锈钢板上的荧光测量结果图2：等离子清洗后的不锈钢板上的荧光测量结果结论荧光测量的结果表明，使用等离子清洗的两个区域比钢板的其他部分干净很多。清洗时间越长，清洗效果越好。荧光法适用于在等离子清洗后轻松和快速地监测清洗结果，通过测量可以确定影响等离子清洗的参数，达到最佳的清洗效果，同时降低成本。使用析塔FluoScan 3D清洁度仪自动检测测量零件清洁度，高分辨率扫描零件，最终以图像化呈现零件污染程度不同的区域。析塔FluoScan 3D自动表面清洁度检测仪广泛运用在不同的清洗工艺（水基、溶剂、激光、等离子.....），可以灵活应用在实验室或生产车间。翁开尔是德国析塔中国独家代理商，欢迎致电咨询析塔自动清洁度检测系统。

采用进口品牌高性能真空干泵产生一个洁净的 50 Pa的真空压强，通常抽真空时间小于2-3分钟。采用高品质恒功率RF射频电源，确保工艺重复性。感应射频放电模式也大幅降低等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于对温度或轰击敏感的TEM或SEM生物样品进行清洗、表面活化、亲水化等用途。触摸屏自动控制，即插即用。创新点：1.采用高性能无油隔膜泵，抽真空及等离子处理过程中不会产生二次有机污染物；2.采用ICP远程离子源，使等离子体严格束缚于离子源表面，达到样品表面起清洗作用的是氧活性原子及臭氧分子；3.清洗或活化过程是纯化学反应过程（没有物理溅射作用）；即与样品表面有机污染物（碳氢化合物）发生化学反应，生成CO2，CO，H2O并被真空泵组抽出；最终实现样品表面有机污染物清洗之目的。【SuPro】离子清洗仪IC150

p 集微网消息，随着集成电路制程工艺节点越来越先进，对实际制造的几个环节也提出了新要求，清洗环节的重要性日益凸显。随着线宽微缩，晶圆制造的良率随着线宽缩小而下降，而提高良率的方式之一就是增加清洗工艺，在80-60nm制程中，清洗工艺大约100多个步骤，而到了20-10nm制程，清洗工艺上升到200多个步骤以上。/ppimg style="max-width:100% max-height:100% " src="http://s.laoyaoba.com/jwImg/news/2020/07/01/15935879448673.jpeg"//pp 对于未来的先进产线而言，为了避免利润损失，增加清洗设备的数量是必然选择。strong众所周知，全球清洗设备呈现寡头垄断的格局，但是有一家来自中国的本土设备企业，凭借着差异化技术优势正逐渐在市场中崭露头角，甚至有望打破现有清洗设备市场格局，它便是盛美半导体。/strong/ph3国产清洗设备市场机遇/h3p 近年来，在全球半导体产业重心持续向中国大陆转移的背景下，中国半导体设备企业也正迎来自己的“高光时刻”。据SEMI预计，2019-2020年韩国、中国大陆、中国台湾将分列世界前三大设备市场，2020年中国大陆有望升至全球最大设备市场。/ppimg style="max-width:100% max-height:100% " src="http://s.laoyaoba.com/jwImg/news/2020/07/08/15941727255385.jpeg"//pp style="text-align: center "盛美半导体设备（上海）股份有限公司董事长王晖/pp strong“这几年中国半导体产业的发展可以说是突飞猛进。尤其是在新建产线方面，包括长江存储、合肥长鑫、中芯国际、华虹华力都有多个晶圆厂正在扩建中，同时还有积塔半导体、士兰微、粤芯等也在新建产线中，所以我觉得现在国内的市场环境特别好。尤其是对于已经有十几年技术储备的盛美半导体来说，我们正赶上一个快速发展的好时期。”/strong盛美半导体设备（上海）股份有限公司董事长王晖博士在接受集微网记者采访时说道。/pp 实际上，除了全球半导体整体市场增长的带动，清洗机设备市场规模增长的驱动力，主要体现在技术进步的两个方面：一方面是随着芯片的制程逐渐缩小，清洗成为生产芯片过程中重复次数最多的步骤；另一方面是随着存储器从2D向3D转变，此时清洗效果不能仅仅停留在表面，还需要在无损情况下清洗内部聚合物残留、污染物及颗粒。/pp 根据TMR统计数据，预计2020年全球清洗机设备市场规模将达到35-40亿美元，2015-2020年的年均复合增速达6.8%。毫无疑问，国内的清洗设备市场必将面临更大的发展机会。/pp strong正如王晖博士所说，国内设备企业一定要牢牢抓住中国半导体产业的发展机遇，不仅要将市场做大，也要将中国的半导体设备做强，不断提升自己的核心技术水平，同时保护好自身的知识产权，敢于用法律手段维护自身的知识产权。/strong/ph3差异化路线打开市场/h3p 由于半导体设备行业具有高资本密集、高专利壁垒、初期高投入低回报的特点，使得新玩家很难切入其中。尤其是在全球清洗设备市场中，前三名日本Screen（迪恩士）、日本Tokyo Electron（东京电子）和美国Lam Research（泛林）合计占据着近80%的市场份额。此时，新玩家要想打破寡头垄断格局，必须要有独一无二差异化的技术和市场优势。/pp 为此，strong盛美半导体从一开始切入清洗设备市场便决定要走差异化路线，从而与国际厂商竞争/strong。经过二十多年的技术储备，如今的盛美半导体已成长为国内清洗设备的“领头羊”，公司研发团队先后开发出了SAPS、TEBO、Tahoe等全球领先的半导体清洗技术及设备。/pp 据王晖介绍，2009年，盛美半导体第一个兆声波清洗技术SAPS取得突破后，便进入SK海力士无锡生产线测试，而这也是国产设备第一次进入国际知名厂商；2015年，公司研发团队又开发出TEBO无损伤兆声波清洗技术；2018年，盛美半导体再下一城，发布了Tahoe高温硫酸清洗设备。/pp strong“目前在国内的国产清洗设备市场中，盛美半导体占据着80%左右的市场份额，我们是目前国内市场份额最大、产品最全的清洗设备企业。”/strong王晖告诉集微网记者。/pp 值得一提的是，盛美半导体并没有停止自己的发展脚步，除了相继研发出SPAS、TEBO、Tahoe等全球领先的半导体清洗技术以外，还推出了三款半关键清洗设备：单片背面清洗设备、槽式自动清洗设备、单片刷洗设备。另外研制出的镀铜设备也已进入产业链前道和后道，抛光设备已进入后道，未来会切入前道，并继续向5nm、3nm等先进制程工艺探索。/pp 与此同时，由湿法设备切入干法设备已从王晖的规划变为现实。他表示，盛美半导体刚刚发布了一款干法设备——立式LPCVD炉管设备。目前立式炉管设备全球市场规模有将近17亿美元，且只有东京电子、日立国际、北方华创等极少数国内外厂商有能力生产这一设备。/ph3进军全球市场寻求突破/h3p 半导体产业是一个高度全球化的产业，世界上现在没有任何一个国家可以凭借自己的力量建立一条先进的半导体生产线，即便是美日韩等半导体强国。/pp strong“之所以说半导体产业是一个全球化产业，是因为整个设备和生产线的体量是有限的，如果只能局限在某个区域或者某一个国家，那它的产量和利润就都是有限的，根本无法去支撑企业庞大的研发费用。”/strong王晖解释道。/pp 王晖认为，在全球化的趋势下，不论是国内的设备企业还是国外的设备企业，都需要共同维护全球化的概念。只有将国内的设备市场开放给国外的设备企业，同时国内的设备企业也有机会进军国外市场，才能保证全球设备产业的健康、持续发展。/pp 而strong在全球化的市场竞争格局中，针对国内设备企业，王晖建议一定要注意几点：一是要尊重国外企业的知识产权（IP），同时也要发展和保护自己的核心IP；二是要保证企业的毛利率在40%-45%之间，如果能够在45%以上更好，但如果毛利率低于30%，则意味着企业基本没有研发能力。/strong/pp 对于盛美半导体而言，公司未来的发展目标一定是向国际市场进军。据集微网了解，2019年年底，盛美半导体宣布上海临港研发及生产中心项目正式启动，而临港项目也是盛美半导体全球化发展布局中非常重要的一环。strong预计到2022年左右，临港项目能正式建成，届时它将提供盛美半导体未来接近100亿元设备生产的能力。/strong/pp 2017年，盛美半导体登陆纳斯达克交易所，成为国内首家赴美上市的半导体设备企业。现在，盛美半导体正推动公司在国内科创板上市。王晖表示，进军科创板将使盛美半导体更加深植于中国市场，与中国半导体业共同成长，未来也会保持在中美双边的上市架构，服务好中国及全球客户，为他们提供差异化半导体加工工艺解决方案，也为科创板及纳斯达克的盛美股民创造长期的回报价值。/p

CIF透射电镜样品杆清洗机CIF透射电镜（TEM）样品杆清洗机采用双等离子清洗源设计，自动切换，一机多用，清洗快速高效。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。产品特点u 双等离子清洗源u 一机多用u 快速高效低损伤 技术参数产品型号CIF-TEM真空泵Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泵入口压力1.0个大气压（0psig），出口压力1.4个大气压（6.5psig）抽速60L/min，极限真空3.3 x 10-1 mbarKF16入口接口等离子电源13.56MHz等离子射频电源，射频功率5-100W可调两种等离子体清洗源，原位等离子源和远程等离子源，自动匹配器清洗室清洗室尺寸(长X宽X高)150X150X150mm清洗数量可同时清洗3支TEM样品杆适配品牌THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷欧路JEOL气体控制标配双路50毫升/分气体质量流量控制器（MFC），精确测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响气源选择根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择真空控制美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计， 测量范围1E-5Torr真空保证真空计和电磁阀安全互锁操控方式7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面电源220V，50/60Hz，300W质量保证二年质保，终身维护创新点：CIF透射电镜（TEM）样品杆清洗机采用双等离子清洗源设计，自动切换，一机多用，清洗快速高效、低等离子体轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。核心部件采用国际一流品牌，保证设备优异的质量和稳定性。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。CIF透射电镜样品杆清洗机

piezobrushPZ3高效便携式手持等离子体发生器piezobrush PZ3 是一款小体积紧凑型手持等离子体发生器，适用于实验室开发以及小批量产品的研发和组装加工。piezobrush PZ3的最大功耗为18瓦，凭借压电直接放电技术（Piezoelectric Direct Discharge Technology – PDD技术）可以产生温度低于50摄氏度的冷活性等离子体。PZ3的核心部件是来自TDK电子集团的CeraPlas™ ，用来产生常压冷活性等离子体的高压放电组件。等离子体能高效加工活化材料表面，同时还可以杀菌消毒和祛除异味。 应用领域》 接合技术 》 生产流程的开发和优化 》 实验室的研发设备 》 微生物、微流体以及食品生产 》 医疗和牙科技术 》 原型和样品模型制造 》 小批量生产加工潜在用途》 各种基础材料表面的活化加工处理 》 提高材料表面润湿性 》 优化黏合、喷漆、印刷以及涂层处理工艺 》 塑料、玻璃、陶瓷、金属、半导体、天然纤维以及复合材料的表面加工处理 》 精细清洁 》 杀菌消毒和祛除异味piezobrushPZ3的技术参数供电电源：AC110-240/50-60Hz最大功耗：18W重量：110g产品组成：手持式设备带电源线，集成风扇音量：45dB等离子体温度：不超过50℃加工处理速度：5cm2/s加工处理距离：2–10mm加工处理宽度：5–29mm可替换模块为了取得最好的加工处理效果，不同类型的材料表面需要使用相应的模块组件进行活化加工处理。我们目前为piezobrushPZ3手持式等离子体发生器提供两种不同的可替换模块组件。piezobrushPZ3所产生的冷活性等离子体是基于压电直接放电技术（Piezoelectric Direct Discharge Technology – PDD技术）中的高强度电场放电形成的。因此，待处理材料表面的电导率是选择相应可替换模块组件的重要参考。标准模块近场模块标准模块是专门为非导电材料（例如塑料、陶瓷以及玻璃等）表面加工处理设计的。为了获得最好的加工处理效果，推荐的使用距离为1–5毫米。如果加工材料表面产生不受控制的偏移或者翻转，等离子体加工设备将自动切断电源并关闭。在这种情况下，材料表面将会部分导电，因此后续的加工处理请使用近场模块进行操作。近场模块用于处理（部分）导电材料例如金属、碳纤维强化聚合物、铅玻璃以及导电塑料等。如果是带有导电涂层的材料或是产品中带有导电组件的情况下，也建议使用近场模块以获得最佳的加工处理效果。只有当近场模块足够接近待处理的导电材料表面时（也可以穿透所覆盖的薄绝缘涂层），才会激发点燃等离子体。当距离在几毫米的范围内，近场模块和待处理材料表面之间可以看见紫光，表明加工处理正在进行。系统会自动识别当前所使用的模块类型，并相应地调整加工处理参数。液晶显示为了更好的控制等离子体的各种加工处理过程，piezobrush PZ3配备了一块液晶显示屏用来显示和调用各种不同的功能：过程控制： 》 秒表：用来测量时间 》 定时器：具有自动结束功能的定时功能 》 节拍器：在设定的加工处理间隔以后，会给予声音反馈功耗设置：多级可调的等离子体功率piezobrushPZ2和piezobrushPZ3的对比piezobrush PZ3被认为是piezobrush PZ2的后继产品。下表简单介绍了两个产品各自的优点。piezobrushPZ2带内置电源的手持式设备可更换的喷嘴无法进行过程控制 piezobrushPZ3 带内置电源的手持式设备 可更换的压电模块 过程控制：秒表、定时器以及节拍器 110-240V/ 50-60Hz供电电源110-240V/ 50-60HzMax.30W功耗Max18W170g重量110g57dB噪音水平45 dB不超过50℃等离子体温度不超过50℃4cm2/s加工处理速度5cm2/s2–10mm使用距离2 – 10mm20mm最大使用宽度29mm标准、近场和混合喷嘴/模块标准、近场氩气、氦气和氮气工作气体/ 创新点：piezobrush® PZ3被认为是piezobrush® PZ2的后继产品。下表简单介绍了两个产品各自的优点。piezobrush® PZ2带内置电源的手持式设备，可更换的喷嘴，无法进行过程控制piezobrush® PZ3 带内置电源的手持式设备，可更换的压电模块，过程控制：秒表、定时器以及节拍器relyon手持式等离子清洗机PZ3

盛美半导体官方消息显示，1月8日，盛美半导体首台应用于大功率半导体器件制造的新款12英寸单晶圆薄片清洗设备已通过厦门士兰集科量产要求，提前验收。该设备于2020年5月20日作为首批设备之一搬入工厂，从正式装机到应用于产品片生产，只用了18天的时间，原定一年的验证期仅用6个月即顺利完成验收。图片来源：盛美半导体设备图片来源：盛美半导体设备据悉，盛美新款12英寸单晶圆薄片清洗设备，是一款高产能的四腔体系统，用于超薄片的硅减薄湿法蚀刻工艺，以消除晶圆应力、并进行表面清洗等。该系统的传输及工艺模块为超薄硅片的搬送及工艺处理提供了有效的解决方案，基于伯努利效应，该系统在传输与工艺中，与晶圆表面完全无接触，消除由接触带来的机械损伤，提高器件的良率。通过不同的设定，该系统可适用于Taiko片、超薄片、键合片、深沟槽片等不同厚度的晶圆；通过采用不同的化学药液组合，该系统可拓展应用于清洗、光刻胶去除、薄膜去除和金属蚀刻等工艺。此前，盛美半导体设备董事长王晖曾表示：“为了争夺市场份额，功率设备制造商需扩大MOSFET 和IGBT的产能，包括增加晶圆减薄设备，同时兼顾利用有限的工厂面积。为此，我们开发了一个四腔系统，与目前市场上的一腔或两腔系统相比，它能提供更高的产能，降低成本（COO）、增加效益。此外，我们提供了一套专用的非接触式传输与工艺系统，以防止这些薄至50微米的易碎晶圆在背面减薄与清洗过程中受到损坏，从而提高器件良率。”此次盛美半导体12英寸单晶圆薄片清洗设备的快速投入量产使用并提前成功验收是盛美与国内量产客户团队的紧密合作成果。据了解，作为盛美半导体2020年推出的重要新产品之一，该设备的顺利验收对推动该设备在功率器件新兴市场的推广具有重要意义。盛美半导体设备公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备等。公司坚持差异化竞争和创新的发展战略，通过自主研发的单片兆声波清洗技术、单片槽式组合清洗技术、电镀技术、无应力抛光技术和立式炉管技术等，向全球晶圆制造、先进封装及其他客户提供定制化的设备及工艺解决方案，有效提升客户的生产效率、提升产品良率并降低生产成本。

无锡中科光电技术有限公司总经理 万学平 　　近年来，每逢国家重大活动及国际赛事，就有一批环境监测科技人员利用先进的雷达激光立体监测技术，为活动和赛事提供环境检测服务——他们来自无锡中科光电技术有限公司。　　中科光电成立于2011年8月，由聚光科技（杭州）股份有限公司和中国科学院安徽光学精密机械研究所刘文清院士团队共同发起创建。截至目前，他们的客户已遍布全国33 个省直辖市的环保、气象、科研高校系统，激光雷达的国内市场份额已经达到60%以上。产品先后获得了3 项江苏省高新技术产品、江苏省专精特新产品、国家专利优秀奖等多项荣誉。在经过各项国家级、省级、市级重大科技项目的参与过程中，中科光电的激光雷达产品系列，取得了阶段性的进展，并先后参与了2013 年南京亚青会、2014 年南京青奥会、2015 年青运会、2015 年乌镇物联网大会、2016 年上合组织政府首脑理事会、2016年G20 峰会、2017 北京一带一路大会等空气质量保障工作。为活动保障工作准确判断污染的时间、程度、评估大气污染类型，预判污染物的走向及污染过境时的大气整体状况提供了详实的第一手信息。专业专注是中科光电最主要的企业基因　　在企业化发展过程中，他们始终坚持产学研一体化，将物联网技术与立体监测技术相结合、将大气环境科学与仪器工程相结合，共同联合开发生产了多波长颗粒物激光雷达、高能扫描颗粒物激光雷达、臭氧激光雷达、多轴差分紫外光谱仪、激光测风雷达、激光温湿雷达、立体走航监测车等多款立体监测产品。　　相比于国内外同类激光雷达，中科光电的产品具备特有的技术优势。多波长激光雷达为豪焦级激光器，激光能量高，在重污染天气状况下，能够穿透霾层探测高空8~10km 范围内的污染物分布信息、监测边界层完整的变化过程，同时多波长设计，可有效获取颗粒物的尺度分布信息，全粒径响应，实现更细小颗粒物的占有比，适用于中国目前典型的细粒子环境污染现状。此款雷达是国内首款多波长激光雷达，也是引领环境监测部门对雷达应用需求的创新产品。高能扫描颗粒物激光雷达为国内首台基于快速扫描振镜的产品，能够同时获得区域内垂直（0-270o）、水平（0-360o）立体监测数据，为说清区域内污染排放特征、污染源分布等提供重要信息。同时，也是国内首台在时速120km/h 范围内仍然能边走边测的车载遥感监测设备，可针对污染源进行快速溯源、应对污染突发事件、对污染团进行追踪监测。臭氧探测激光雷达采用一体化结构设计技术，能够有效保护光路稳定、抑制灰尘累积、降低光损耗、保证产品稳定性能。该产品可同时监测颗粒物后向散射系统及臭氧浓度的时空分布，是国内首台颗粒物和臭氧时空分布信息能够同时监测的激光雷达设备，可有效监测臭氧的空间变化过程及臭氧与细粒子之间的转化过程。　　无锡中科光电针对跨区域环境污染现象、污染来源无法说清、预警预报不精确等地方重大环境管理需求，在立体监测装备的支撑下，开发形成了多套应用解决方案，如：车载快速溯源解决方案、车载遥感监察解决方案、立体网格化监测解决方案、区域环境质量保障解决方案、大气监测超级站解决方案、城市与区域立体监测解决方案等，为地方政府与环境管理部门提供大气环境综合分析与监控预警应急决策一体化的整体支撑服务。坚守创新做细分行业的“隐形冠军”　　在细分领域专注专业地工作，是中科光电支持的发展之路。　　作为科技型企业，“ 技术创新”是企业的灵魂，是企业发展、立足生存的根本。一是对原有激光雷达技术进行优化，提升产品质量，不断推进产品零部件国产化率，降低成本，改变国内高端设备依靠进口的市场格局；二是加大研发投入、关注客户实际需求，对现有技术与新技术、新需求进行结合，赋予产品更强大、更丰富的功能，提高产品性价比，为客户创造更大的价值空间；三是满足日益国际化的竞争趋势，保持对国际、国内科技前沿的紧密关注，对公司的发展战略方向持续性提出质疑并快速反应，开发生产环境监测领域立体监测技术新产品；四是坚持产品创新与应用创新全面发展，加强企业先进制造水平，提升高端的供给能力，坚持以服务改善空气质量为导向，将中科光电打造成有内涵、有竞争力的国有科技型企业，在环境立体监测这一细分领域做大做强，为实现“中国蓝”贡献自己的力量，也能够早日走向国际，彰显中国智造的力量。不忘初心引领“智慧环保”前行　　目前国内立体监测激光雷达产品的种类还比较单一，其中颗粒物激光雷达相对成熟，但大气成分监测激光雷达（O3、SO2、NOX、CO、VOCS）、气象激光雷达（风、温、湿、水汽）技术还处于起步和筹划阶段。中科光电已经做好了针对以上产品的应用扩展研究计划和产品开发计划，该系列产品将如中科光电的颗粒物激光雷达一样引领行业市场发展。　　激光雷达目前还没有正式的国家规范标准，很多单位对于激光雷达的性能校验也一直存在着疑问。为了保持激光雷达的有效探测距离及探测精度、保证激光雷达的稳定性及准确性，保证雷达数据的有效性和一致性，我们将与中科院安光所刘文清院士团队共同设计相关的技术规范标准，并积极推进相关管理部门及行业用户的认可。为立体监测行业的发展贡献一份力量。　　统一产品运营维护标准、提供高端运营维护服务，是中科光电目前正在部署的发展战略。他们将运用信息化系统管理，调配专业的环境工程服务人才组成客服团队，实现售前、售中监控，售后定期维护的全过程服务，使客户服务成为公司强有力的竞争王牌。　　我国全指标、多样化的大气环境监测工作起步较晚，大多数情况，监测数据开发利用不足，缺少针对性强的监测数据分析，从而找不出存在的主要环境问题、对区域环境质量的变化解释不清。对监测站汇总数据进行特色加工形成监测报告，站在全局的角度思考，找出环境存在的问题，分析环境问题形成的原因，针对存在的问题提出相应的合理可行的建议，是中科光电未来三年发展的业务方向之一。中科光电正在并将持续组建专业化、标准化的环境咨询服务队伍，为各有关部门提供定制化的综合数据分析服务，共同研究、探索各监测数据间的相关性，扩展监测数据的应用价值，构建成熟的数据分析模型，使得综合分析业务成为可以效仿的工作形式，给各级地方政府当“ 参谋”、做“ 大气环境医生”，为地方空气质量达标与持续改善提供更有力的支撑。图为中科光电大气环境立体走航观测车为“一带一路”空气质量做保障

作为半导体制造与先进封装领域领先的晶圆工艺解决方案供应商盛美半导体设备(ACM)宣布，已收到全球主要半导体制造商的Ultra C SAPS前道清洗设备的DEMO订单。预计该设备将于 2022 年一季度在客户位于中国地区的工厂进行安装调试。“这个订单表明盛美有很大机会赢得该全球性半导体公司在华工厂的信任，”盛美半导体设备董事长王晖博士表示，“这家制造商选择评估盛美的 SAPS 技术，旨在提升其研发能力和生产工艺能力。我们相信，这台设备成功通过评估后，我们与这家客户以及该区域内的其他主要客户会有更多的业务与合作机会。”盛美的专利空间交变相位移 (SAPS™ )晶圆清洗技术，运用了兆声波的交替相位变化以控制兆声波发生器与晶圆之间的间距。与先前的兆声波晶圆清洗系统所采用的固定式兆声波发生器不同，SAPS 技术在晶圆旋转时会往复移动，因而即使晶圆有翘曲，所有点接收到的兆声波能量也是均匀的。SAPS 工艺的清洗效率比传统兆声波清洗工艺高，不会造成额外的材料损耗，也不会影响晶圆表面粗糙度。该设备兼容了无损兆声波清洗功能，对结构性图形清洗表现更好。现已证明，对19纳米及以下的小颗粒均有显著清洗效果。

伴随社会经济的快速发展，大气环境污染问题日益严峻，导致本应在不同阶段出现的环境问题在短期内集中体现和爆发出来，各种污染物相互耦合叠加，并逐渐呈现区域性和复合型污染的新特点。面对我国严峻的环境污染问题，采用先进的环境监测技术，以科学的方法、准确的数据表征我国当前环境质量现状和变化趋势，及时跟踪污染源变化，实现环境质量预报和预警是必然的选择。　　近年来一些新的环境监测技术和设备不断出现，相关科研机构与仪器企业也加大了环境监测新技术、新方法、新装备的研发力度。其中，针对区域性大气复合污染的大气环境立体监测技术这几年逐渐获得业界认可，而这一技术的标杆企业及相关设备的供应商正是无锡中科光电技术有限公司(以下简称为：中科光电)&mdash &mdash 中科光电成立于2011年，在仪器行业算是后起之秀。随着大气立体监测技术获得认可及被广泛应用，中科光电2013销售额达到近3000万元，同比增长将近200%。大气立体监测技术将在环境监测体系中起到怎样的作用，是否仍然具有巨大的市场潜力?仪器信息网近日采访了无锡中科光电技术有限公司总经理万学平。无锡中科光电技术有限公司总经理万学平　　环境监测技术新思想　　万学平讲到，我国城市空气污染状况主要由近地面空气质量监测网提供，目前的空气质量评价指标仅包括SO2、NO2、CO、O3、PM2.5和PM10最基本的污染表征数据，监测方法除常规点式空气质量监测技术外，卫星雷达遥感离地面5km内误差较大、探空气球及飞机受时间空间限制，现有的表征手段及评价指标不能提供足够的信息来确定污染物的动态时空演化过程和变化趋势，因而难以揭示污染的形成、来源、输送影响等根本问题，缺乏对污染浓度水平的必要了解和预见能力，不能够为环境污染源解析及预警预报提供有效数据支撑，亦不能为政府决策者制定污染控制策略提供必要的依据。　　&ldquo 大气立体监测技术&rdquo 将地基遥感监测技术与常规近地面监测技术、星载机载监测技术有效结合，建立地空天一体化监测网络，形成立体监测数据平台，在时间与空间纬度上综合分析本区域污染形成过程、污染表现特征、污染输送来源，同时利用环境要素与气象要素探空数据同化污染预报模式系统，提升预报预测准确度。对污染防控措施的执行效果以及善环境的进展进行评价。　　万学平表示，作为中国科学院安徽光学精密机械研究所的产业化单位，在所领导、老师的大力支持下，中科光电成功产业化了针对颗粒物和气体成分分析的大气颗粒物监测激光雷达(以下简称：激光雷达)与多轴差分吸收光谱仪等环境要素地基遥感设备 通过国内外技术引进与合作，成功产业化了温湿度雷达、风廓线雷达等气象要素地基遥感设备 同时在整体解决方案层面，公司把仪器工程、环境科学和气象科学紧密结合，形成一套数据应用服务业务模式，推动环保技术的应用研究和业务发展。以地基遥感设备为核心，应用大气立体监测技术构建&ldquo 地空天一体化环境监测解决方案&rdquo 正是中科光电的核心业务方向。　　环境监测技术产业化　　万学平坦言，作为支撑大气立体监测技术的核心组成部分，国内地基遥感探空技术与产品的产业化任重而道远，就拿颗粒物激光雷达来说，虽然产品本身具有高时空分辨率、高灵敏度等优势，也在国内如奥运会空气安保等重大活中得到了充分应用，但是最初的市场调研及市场开拓，在付出汗水、收获喜悦的同时，也掺杂着艰辛。最初大家都是把激光雷达看做是科学研究工作中才会用到的设备，激光雷达复杂、抽象的数据难以得到合理应用，很少会被考虑应用于常规监测工作。在激光雷达产业化之初，中科光电研发团队走访了全国主要的环境监测站和气象观测部门，在了解业务部门需求之后，历时两年时间，公司研发团队将激光雷达的可靠性和稳定性进行了很大的提升，并开发出了一套适合业务部门的激光雷达应用软件。该软件可实时生成图片、量化报表等监测结果，实现多参数联合分析，省去了大量人工分析数据的工作。安全、可靠、省时、省力的激光雷达系统逐渐得到了用户的认可，通过协助环境监测管理部门与气象业务部门建立业务分析模型，让用户感觉到这才是他们想要的产品、是环境监管部门日常业务工作的有效辅助工具。　　市场和企业发展有着较大潜力　　历经近三年的不懈努力，中科光电大气环境立体监测技术设备及解决方案已逐步打开国内市场，公司核心产品激光雷达已处于国内市场的领先地位，打破了国外昂贵进口设备的垄断地位，为实现民族环保产业的发展贡献着自己的力量。对于中科光电的自身发展，万学平表示：&ldquo 目前我们的成绩，主要是来自于正确的定位和富有创业激情的技术团队，中科光电自成立以来定位于区域性大气立体监测，发展、推广环境立体监测技术和解决方案，可以说是选对了方向，以刘文清院士为首席科学家的技术支撑团队，为我们奠定了非常好的技术基础。&rdquo 　　&ldquo 中科光电2013年销售额接近3000万元，2014年目标是6000万元，我们希望通过三到五年发展，中科光电销售额能达到2-3亿元，并成为立体监测领域标杆性企业。我们未来的业务模式会以自主研发生产为主，并引进高端监测设备，逐步巩固提升大气立体监测整体解决方案的能力、区域性立体监测的布局到整体的建设、后期的综合数据分析服务等。我们的发展会以业务部门需求为导向，把自己的核心业务做专做精。&rdquo 　　站在新时代的前端，中科光电将秉承&ldquo 协同，创新，责任，客户&rdquo 的核心价值观和&ldquo 让客户信赖，受社会尊敬，令员工自豪&rdquo 的企业愿景，超越自我，永不停歇。为国家大气环境环保事业做出贡献!重拾碧水蓝天，实现中国环境梦!采访编辑：魏昕

日前，由“国产科学仪器腾飞行动”项目组联合仪品汇举办的大规模“好仪器”免费试用活动正在如火如荼地进行中，当前正处于试用用户审核阶段。　　自11月1日仪品汇官网开通用户申请报名渠道，到11月11日报名截止，共收到来自全国各地用户的338份试用申请。“好仪器”免费试用得到了广大用户的关注与认可。　　据项目组统计，此次报名参与“好仪器”免费试用活动的用户主要以生产型企业和商业检测机构为主，高校、科研院所和政府检测机构中也有不少用户申请了本次试用活动，试用用户单位分布十分广泛。　　在所提供的八类前处理设备中，清洗/消毒设备当仁不让地成为了用户热抢的“香饽饽”，申请试用的用户人数遥遥领先。此外，纯化设备、天平、粉碎设备以及液体处理设备等也受到了众多用户的“追捧”，纷纷呈现出供不应求的状态。　　本次参与免费试用活动的仪器均为入选第二届“国产好仪器”产品，由12家国产科学仪器厂商倾情提供，共计14款产品型号，67台仪器，总价值267万元。如下所示：序号单位名称试用仪器类型试用仪器名称1昆山市超声仪器有限公司清洗/消毒设备KQ-250DE 数控超声波清洗器2上海舜宇恒平科学仪器有限公司天平、电子天平、分析天平AE224触摸式彩屏电子分析天平3济南盛泰电子科技有限公司纯化设备盛泰STEHDB-106蒸馏仪4天津语瓶仪器技术有限公司清洗/消毒设备Q720实验室洗瓶机5天津语瓶仪器技术有限公司清洗/消毒设备Acide1000自动酸逆流清洗仪6郑州克莱克特科学仪器有限公司自动进样器（多功能）克莱克特AS-2912自动进样器7上海伍丰科学仪器有限公司自动进样器（多功能）伍丰Arcus 5自动进样器8北京鼎昊源科技有限公司粉碎设备TL2010S中通量组织研磨仪9天津市恒奥科技发展有限公司混合/分散设备恒奥HBM-400B拍击式均质器10北京同信天博科技发展有限公司液体处理设备同信天博ALSP-01自动液体样品处理平台11上海思达分析仪器有限责任公司顶空进样器思达HS-16A全自动顶空进样器12上海和泰仪器有限公司纯化设备Master-Q去离子纯水机13北京格瑞德曼仪器设备有限公司粉碎设备臼式研磨仪MG10014北京格瑞德曼仪器设备有限公司粉碎设备行星式球磨仪BM4 由于提供免费试用的仪器台数有限，项目组根据申请先后顺序、用户试用意愿以及就近原则等筛选出部分典型用户进行仪器试用，共计50余家用户单位获得本次免费试用名额。 当前，仪器企业和试用用户的对接正在紧张的筹划安排中。对接成功后，各大仪器厂商将如期为试用用户发放心仪的“好仪器”，供用户免费体验。　　“好仪器”免费试用活动本着“用户说好才是真的好”的原则，让“国产好仪器”接受广大用户的实际使用检验，以国产科学仪器良好用户口碑来树立“国产好仪器”的品牌形象。更多活动信息，请随时关注“国产好仪器专题网站”和仪品汇活动页面。 活动详情请查看：重磅：第二届“国产好仪器”免费试用活动即将启动 国产科学仪器腾飞行动介绍　　“国产科学仪器腾飞行动”由中国仪器仪表行业协会为指导，仪器信息网主办，中国仪器仪表学会、北京科学仪器装备协作服务中心、全国实验室仪器及设备标准化技术委员会单位支持，我要测、仪品汇网协办。腾飞行动旨在扭转用户对国产科学仪器的偏见，筛选和扶持一批优秀的科学仪器产品和企业，解决用户对国产科学仪器选购难的问题 组织优秀的国产科学仪器产品进行大规模的国内外用户推广及海外拓展，在用户中，树立优秀的科学仪器企业品牌形象 与政府采购单位及高端实验室等开展多方合作，促进国产科学仪器与用户单位深入合作，向政府建言献策等，从而帮助国产厂商找到和解决问题所在，提升市场占有率。　　第二届国产好仪器项目介绍　　第二届国产好仪器项目作为腾飞行动的核心子项目，坚持“自愿”、“免费”的方式，征集企业参与国产好仪器筛选全流程 并增添“用户推荐”的新渠道，最广泛地征集潜在优秀的国产样品前处理设备代表。国产好仪器坚持以“用户说好才是真的好”为宗旨，收集大量用户对每一台仪器长时间使用后的真实体验，用户从5个维度“需求满足度、质量满意度、推荐意愿度、仪器性价比、售后服务满意度”对其所使用的仪器进行综合评价，从而筛选出优秀的国产样品前处理设备代表。首届“国产好仪器(2013-2014)”持续近2年，吸引近200万次的用户关心和支持，从8000多份调研问卷中甄别出近3000位入围仪器用户的使用体验和反馈，最终筛选出70台优秀国产科学仪器代表。

2013年10月10日由中国颗粒学会气溶胶专业委员会、中国科学院地球环境研究所和宁波诺丁汉大学共同主办的大气科学及污染控制技术国际会议暨第七届大气细与超细粒子研讨会在宁波诺丁汉大学顺利召开。来自中国大陆、香港、台湾与新加坡的众多国内外专家学者汇聚一堂，共同探讨大气细与超细粒子的新方向与新方法，灰霾的形成机理、细粒子的流行病学研究等方向已经成为该领域的研究热点。会议现场禾信公司宣传片亮相大会现场　　禾信公司作为该会议赞助商，并特邀做了《在线单颗粒气溶胶质谱仪在大气污染源解析中的应用》的专题报告。在线单颗粒气溶胶质谱仪首先获得每一个颗粒物的正负离子成分信息和粒径大小。在线软件ART-2a根据颗粒物质谱特征对颗粒物进行分类。然后将时间、粒径、成分等信息进行合并，通过每一类的因子，调取源谱库进行源对比。最后获得源分配饼图等信息，可达1小时的高时间分辨率。利用在线源解析(质谱直接测量法)技术开展快速精准的在线源解析工作，能为政府及时了解污染现状及来源提供技术支撑 为重点城市、重点行业、重点企业的污染状况监测提供技术支撑 在AQI接近临界点时，为政府及时采取有效控制措施提供科学依据 为产业结构调整等治理措施提供科学依据 为环境管理部门检验治理成效提供技术支撑 为环保精细化管理提供科学依据 在环境应急、污染投诉排查时快速找到污染源。　　关于广州禾信分析仪器有限公司　　禾信公司成立于2004年，是集质谱仪器研发、制造、销售及技术服务为一体的国家级火炬计划重点高新技术企业。注册资金4000万元，场地6000平方米。　　通过多年努力，掌握高分辨垂直引入式飞行时间质谱分析器、电喷雾离子源、电子轰击离子源、真空紫外光电离源、大气压基质辅助激光解析离子源、大气压差分真空接口、膜进样以及质谱专用高速数据采集卡等，具有自主知识产权的质谱核心技术和飞行时间质谱仪器全套装配工艺 通过ISO9001:2008质量管理体系认证。在国内率先实现质谱仪器产品自主正向开发。产品研发得到国家“863”计划、国家重大科学仪器设备开发专项、国家火炬计划以及多项省市级科技攻关重点项目的支持。　　禾信公司向环境监测、气象、工业生产、医药等领域提供商品化质谱仪器以及技术服务。近年来，质谱仪器销售额连创新高实现数量级增长，入选2012年中国优秀创业投资项目。2012年实现首台质谱仪器出口美国。

能见度检测设备-一款交通大气中皆可使用的能见度传感器#2022已更新【品牌型号：天合环境TH-N50】短时强降雨会造成多种安全隐患，特别是会大大降低能见度，造成交通问题。强降雨前会使得路面湿润，导致汽车的轮胎与地面的摩擦减小，尤其是冰雪天，加剧交通隐患。【设备名称】：大气能见度测量仪【能见度定义】：大气能见度定义为具有正常视力的人在当时的天气条件下还能够看清楚目标轮廓的最大地面水平距离。【功能介绍】：大气能见度测量仪发射端通过红外led光源发射红外光，红外光源透过一定体积的空气，由空气中的气体分子，气溶胶粒子、雾滴等引起红外光源散射，能见度测量仪接收端通过接收红外光源散射光的强度来确定能见距离，同时仪器可对能见度连续测量输出。【检测原理】：35°前向散射原理，测量更准确。【整体外观】：整体环抱式一体化设计使内部电缆的布局更趋合理。【测量元件】：光学部件镜头，红外led光源。【硬件防护设计】：①、采用了光学部件镜头朝下并带有防护罩，有效防止降水、飞沫或尘埃进入镜头，减少探头表面的污染，这种设计提供了精确的测量结果并减少了维护的需要。②、探头的防护罩为铝合金材料，表面涂有防腐蚀的玻璃纤维涂层。③、能见度仪的过电压和电磁保护装置能保证传感器的长时间安全运行。④、红外LED光源，增加滤光设计、抗光源干扰。⑤、低功耗，内部电路抗干扰设计。⑥、仪器的直流供电电路具有防反接和自恢复保险双重设计。【设备清单】：大气能见度测量仪1台+2个抱箍。【安装注意事项】：①、将能见度传感器安装到距离地面大约2米的地方。②、保证能见度下方不要有别的物体，干扰测试。③、理想安装场地应距大型建筑物或其它会产生热量及妨碍降雨的设施至少100米，而且也要避免树荫的影响。④、场地应无干扰光学测量的障碍物、反射面和明显的污染源。⑤、选择合适地点安装设备，设备提供安装抱箍，利用抱箍将设备安装到75mm立杆上，为避免光源干扰，发射端务必在南侧。【供电方式】：10-30vdc宽压供电。【测量范围】：默认0-500000m。【测量误差】：≤1KM±2%；±10%1KM。【分辨率】：1m【更新间隔】：20s【平均无.故障时间】：（MTBF）大于18000小时【工作环境温度】：-40~60℃【工作相对湿度】：不大于95%（30℃）【重量】：小于10kg【功耗】：0.5w【红外光波长】：870nm【信号输出方式】：RS485，标准modbus-rtu协议【可测能见度数据种类】：①、实时能见度数值②、能见度10min平均值③、能见度1min平均值【光学镜头洁净等级】：可实时读取红外光发射端、接收端的镜头洁净度，清洁度等级1-5，5代表清洁度最高，当清洁度小于3时需要现场清理光学镜头。【能见度常识】：1.能见度20-30公里能见度极.好视野清晰2.能见度15-25公里能见度好视野较清晰3.能见度10-20公里能见度一般4.能见度5-15公里能见度较差视野不清晰5.能见度1-10公里轻雾能见度差视野不清晰6.能见度0.3-1公里大雾能见度很差7.能见度小于0.3公里重雾能见度极差8.能见度小于0.1公里浓雾能见度极差

实验室是科学研究的重要场所，承担着推动科学进步和社会发展的重要责任。实验室全自动清洗机已经是欧美等发达国家的标配设备，很多海外归来的科研人员刚回到国内时对于国内实验室没有清洗机的情况一时都难免有些不适应。习惯了机洗很难适应手洗，就像人们用惯了洗衣机后很难再退回到所有衣服都要手洗的时代一样。科技在发展，时代在进步。相信国内实验室瓶皿清洗也终将告别手洗时代迎来机洗普及的新时代。值此国家鼓励各行各业大力淘汰落后设备落后产能之际，也为实验室瓶皿的自动化清洗带来了新的发展契机。机洗相比于手洗，有着其他自动化设备一样的天然优势。优势1. 清洗量大且不知疲累试想下，如果当天的实验多且瓶皿用量大，负责清洗瓶皿的人员内心是不是早已崩溃？做了一天的实验心神基本已被耗尽，兢兢业业终于完成了，本该迎来好好休息的时刻，面前却是堆积如小山的瓶宝子们，不洗到腰酸背痛眼冒金星怎能结束呢？崩个小溃是不是很正常。机器的最大特点之一就是不像人类一样容易感知到疲累。人类能够承受的极限，在机器这里也只是轻松拿捏。回到上述情境，实验室里有一台全自动清洗机，在实验结束时，只需把瓶瓶罐罐们好好安放进去，然后关上门启动清洗程序，就可以高枕无忧了。该休息休息，该放松放松。在不久的将来，实验室里还可以有一台智能化的清洗机。实验结束后，只需给一道指令，就会有机器人帮忙摆放瓶皿，帮忙启动清洗，洗好了再帮忙取出......最大化地保护科研人员的体力与精力，是不是很值得期待？优势2. 不仅能洗还能洗的很好像人一样，想要把事情做好，只有力气是远远不够的，还要有一颗聪明的大脑。实验室清洗机二者兼备，既有稳定的清洗力输出，也有非常好的清洗效果可以呈现。主控板相当于清洗机的大脑，各种各样的电路就像人的神经网络一样，操控着清洗机可以根据不同类型的瓶皿和不同种类的污染物输出对应的清洗流程。和人类清洗不同的是，每次输出的清洗结果都可以保质保量，不会受到今天心情不好、状态欠佳、漏掉了一步等等不确定因素的人为干扰。更不会出现前面的瓶子洗的挺干净，后面累了就随便洗洗的状况，让SOP形同虚设。怎么才能洗的更好呢？这就要从洁净度上做些文章了。清洗标准达到ppb级，同样是人工清洗难以企及的高度。优势3. 无后顾之忧长期的人工清洗会造成一些不大受欢迎的“并发症”出现。例1：瓶皿上出现划痕，在制药等对于精度要求高的实验中，微量药液吸入划痕中，都可能导致含量测量的极大误差，不仅影响实验结果，还造成贵重瓶皿的低级浪费。例2：瓶皿破损，导致人员受到不同程度的伤害，还伴有感染风险的发生，如果情况严重，会超出实验室能够承担的责任范畴。上述情况在应用实验室清洗机后都可以避免。清洗过程中将无瓶皿受损风险，无人员伤害风险出现，消除瓶皿清洗的后顾之忧。白小白实验室清洗机兼具以上优点，是实验室清洗的新选择。在此次设备更新产能升级的政策激励下，希望每一个实验室都能拥有一台全自动清洗机，希望拥有清洗机的实验室，可以拥有一台更加优质的清洗机。上海汉尧自去年开始成为白小白上海、浙江、江苏地区制药行业总代理商。汉尧一直专注于为中国的生物制药/食品/化工实验室行业用户提供高品质的产品和技术服务，秉持一贯的服务宗旨，践行“诚信、利他、感恩”的价值观，以客户满意度为前提，提供周到的服务，与我们的客户和合作伙伴共同成长的同时，努力为社会创造更多价值。

大气颗粒物来源广泛，化学组分复杂，与痕量气态污染物如二氧化硫、氨等互相转化，造成大气复合污染的复杂状况。传统的大气颗粒物和气体组分多遵循采样-运输-实验室分析的流程，时间周期长，消耗人力物力较多。一些不稳定的物质在周期中容易挥发或者发生反应，导致检测结果不能准确地反映实时污染物组分浓度，造成测量误差。　　因此，对颗粒物化学成分和痕量污染气体开展准确、实时、长期的监测、是治理大气颗粒物的先决基础。　　聚光科技（杭州）股份有限公司（以下简称“聚光科技”）联合北京大学最新推出基于离子色谱法的WAGA-100大气颗粒物水溶性离子成分在线分析仪，可实现对大气中多种水溶性离子的自动准确测量。 WAGA-100大气水溶性离子在线分析仪可测气体组分NH3、HCl、HONO、HNO3和SO2可测颗粒物组分F-、Cl-、NO2-、NO3-、SO42-、Na+、NH4+、K+、Mg2+、Ca2+等WAGA大气颗粒物水溶性离子成分在线分析仪原理图关键技术　　1）湿式平行板溶蚀器技术　　它的基本工作原理是：选择能吸收被测组分的吸收剂涂渍于溶蚀器内壁，或让吸收剂以一定流速流过溶蚀器内壁，利用气体和气溶胶扩散系数的差异，使气体分子扩散到管壁被吸收剂吸收，而气溶胶不受影响一直通过扩散管，从而有效地分离气态污染物和气溶胶。湿式平行板溶蚀器工作原理示意图　　2）蒸汽喷射-撞击式采样技术　　基于蒸汽喷射的气溶胶采样技术原理是气溶胶颗粒在水蒸气的作用下长大，经过一个水汽分离装置后，水溶性组分进入溶液并进一步分析。该技术解决了传统膜采样法时间周期长、颗粒物成分变化等问题，应用于组分在线监测，可以实时、准确的获知颗粒物化学成分信息。 基于蒸汽喷射的气溶胶收集技术示意图　　3）微差压全自动液面探测技术　　基于微压差的自动化液面探测技术可以连续自动的输出收集液容积，适用于无人值守的在线监测仪器，结构简单，灵敏度高。 微差压全自动液面探测技术示意图　　4）针对自动在线分析的智能化软件系统　　聚光科技WAGA-100大气水溶性离子在线监测系统将采样、分析、检测单元、数据处理单元等集成在分析仪内部；通过内置程序控制电磁阀的开关和设定流量，根据时序控制不同采样流程状态下泵的工作状态和频率，减少仪器使用及维护的工作量；通过定时循环自动触发下一流程，实现流程的循环和连续在线测量，减少人工维护，实现高度自动化控制。产品特点　　痕量气体和颗粒物组分的自动监测　　适用于大流量的平行板溶蚀器设计　　高效颗粒物捕集装置　　联合北京大学研制，经十余年研发和应用验证　　全自动化控制，可长时间无人值守　　数据自动分析和上传应用案例 2017.04.17 凌晨5：00WAGA仪器在现场捕捉到颗粒物较高的硝酸盐和硫酸盐含量 2008.10.20~2008.11.09基于该技术现场监测的PM2.5水溶性离子成分和气体浓度的变化趋势

《Deutsche Standards 2010》（译：德意志楷模2010）现将德国Elma列为&ldquo 市场*&rdquo 重要一员。德意志经济与技术部秘书长Rainer Brü derle说，《德意志楷模2010》里面列举的这些*企业正是应当获得&ldquo 市场*&rdquo 的荣誉。作为德国经济的内在动力，&ldquo 市场*&rdquo 通过不断的研发创造、明确的市场导向和*的企业员工给德国的经济发展注入了了内在核心和发动机。Rainer Brü derle非常感谢这些&ldquo 市场*&rdquo 在经济危机的严峻形势下，依然保持了旺盛的发展力，并推动了德国经济的持续快速增长。德国Elma从1947年成立之初就始终致力于超声波清洗工业的创新。公司不断投入的研发都是为了向客户提供*的超声波清洗解决方案而努力。Elma超声波清洗器以卓越的清洗、脱气、萃取等性能，和专业的降噪能力，体现着ELMA公司专业生产清洗设备的实力。 具体以例为证，Elma拥有的*Sweep微变频率技术就是为绝对均匀分布超声波而发明，以完全消除清洗盲点。它使达到更加卓越的清洗效果成为可能，并*化保护被清洗物品不受损害。目前Sweep技术、degas脱气技术，甚至Elma产品的外形尺寸都是业界热衷效仿的对象，但是绝对的研发提供绝对的品质，也只有Elma成为世界上*超声波清洗设备当之无愧。&ldquo *创新型企业奖&rdquo （Elma, 2009）可以从一个侧面反映Elma产品的绝对*。 德祥作为Elma产品在中国的独家总代理，为您提供全面的产品支持和服务。 德祥网站：http://www.tegent.com.cn 联系方式：021-52610159/52610099 传真：021-52610122电子邮箱： alan_yang@tegent.com.cn联系地址：上海市静安区北京西路1068号银发大厦18楼欢迎随时来电来信咨询！更多产品请登陆德祥官网：www.tegent.com.cn德祥热线：4008 822 822邮箱：info@tegent.com.cn

1、语瓶制药工业和生命科学工业清洁系统是用于清洁关键部件的特殊清洁系统，如发酵罐、大气球瓶、大型玻璃制品、灌装和包装机部件、搅拌机、漏斗、托盘、盒子，压片工具及其他生产药品、诊断、化妆品和食品的物品。2、目的：实现清洗工作标准化，便于进行重复验证和清洗记录保存。同一批次清洗的器具具有很好的洁净均一性，不会存在手工清洗有个别器皿不符合实验要求导致实验失败的现象，节省实验员的时间。3、仪器结构：外壳材质，304不锈钢，内腔材质，316L不锈钢；清洗容积：1050 L4、双-循环泵结构设计，循环量：800L/min/泵，总循环量：1600L/min；循环泵采用软起动控制，防止器皿在水泵启动瞬间被冲击5、水源类型：自来水、纯化水、冷凝水、注射水水流量计内置管路，实时计算进水量内腔水槽配有低液位和高液位报警装置，为清洗用水安全提供保障6、安全保护系统：关门防夹手、双手关门、水加热过温保护，热空气加热过温保护，水泵过温保护，风机过温保护、漏水实时监测保护、漏电保护、7、运行状态指示灯，置于机器顶部，通过绿色、黄色、红色实时显示运行机器状态8、清洗符合EN ISO15883标准、制造商通过ISO9001、ISO14001、ISO45001认证9、清洗验证：语瓶公司通过ISO9001认证，以高度的质量意识保证系统的开发和建设，根据cGMP和GAMP指南的控制技术受控过程符合FDA指令、IQ/OQ和FAT/SAT、作为工厂验收（FAT）的一部分，根据URS/FS，根据标准语瓶协议检查清洗设备是否符合要求。训练有素的语瓶专业人员可以建立、连接和投入使用清洁系统，进行校准，并进行安装和操作鉴定/功能鉴定（IQ/OQ），并在性能鉴定（PQ）中提供支持。提供打印机，打印清洗数据、提供USB接口，自动存储清洗数据，U盘导出清洗数据，以及审计追踪操作记录的需要10、CE/FDA 21 CFR PART 11:电子记录11、干燥系统：双压缩风机烘干系统，热风循环量不低于145m3/h/风机，风机功率：700w，干燥空气通过注射清洗栏架直达器皿内部干燥空气通过注射清洗栏架直达器皿内部，温度可调（室温-120℃），干燥时间（0-300分钟），具有双重喷淋热交换系统，进行蒸汽冷凝12、外部尺寸：长*宽*高：1965*1316*1895mm创新点：1、针对GMP清洗领域，全面符合制药、生物制药领域的清洗要求2、无论是清洗验证，还是机器所用材料，均符合FDA制药要求3、内腔容积1050升，最大满足车间大型器具的清洗4、全自动升降玻璃门，可实时观察内腔清洗状态5、国际先进水平6、在水泵循环量、内腔焊接要求、喷淋臂转速监测、管道压力检测监测、FDA对材质的要求等均是创新设计语瓶GMP清洗机Poseidon Ⅰ

年底将至，一批批大气预浓缩系统接连不断地安排出库，这可忙坏了乐氏科技的售后服务工程师们，刚从上一家客户企业回来又马不停蹄到奔赴下一家企业，赶着给客户做设备安装、调试及培训。今天，我们的工程师们又来到了江西省环境监测中心。 (江西省环境监测中心办公楼）江西省环境监测中心响应国家政策，对本土企业发展扶持，优先选择国产品牌，服务于监测中心大气环境实时监测的工作中。乐氏旗下的昂泰克公司凭借产品质量、创新技术、完善的服务体系和业内经验，在诸多竞争对手中击败对手、脱颖而出。应用现场，工程师们在认真负责地调试设备，详细解答客户提出的技术问题。通过与客户以前购买过的其它同类设备检测数据的比对，客户对我们自主研发的Ontech850高精度静态稀释仪和Ontech830自动清罐仪给予了积极肯定和高度的认可。 (Ontech 830\850设备调试中） 产品特点：1、动静态一体结构设计，软件控制切换，既可以用于实验室钢罐静态稀释节省标气，又可以用于在线动态稀释，一机多用功能，应用范围广；2、静态部分单次稀释可达一万倍，无需二级稀释，更快更便捷；3、稀释完成后自动打印配气信息标签，可直接置于苏玛罐标签袋，方便智能；4、机身集成智能微电脑+触摸屏，支持电脑+触摸屏双重控制，能适应各种操作习惯；5、新一代智能软件系统，可人性化帮助计算标气使用量，图形化界面显示，内部高温伴热，温度可调。 产品特点：1、 抽拉式管道，每次可以清洗8个6升、3升(或更小)罐。支持15L采样罐和各种规格的Tedlar气袋的清洗；2、 配置灵活，可选配内置、外置泵、单、双泵、热温箱；3、新一代智能软件系统，可一键完成清罐操作，支持定时启动、自动检漏、内置多种清洗方法、可编辑多条清洗序列；4、高度集成化，将电脑微机、内置泵、清罐管路、压力传输模块集于一身。

8月24日晚间，至纯科技发布公告称，拟公开发行不超11亿元可转债，用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目、至纯北方半导体研发生产中心项目、集成电路大宗气体供应站及配套项目以及补充流动资金或偿还银行贷款。关于，单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目，至纯科技称，本项目目标主要是顺利实现高阶半导体湿法清洗设备工艺模块的研发以及产业化。项目实施是公司顺应芯片制造技术发展，满足客户14nm及以下工艺节点需求，推动芯片制造过程中高和极高深宽比清洗工艺技术研发水平，保持公司在半导体清洗技术方面保持行业领先的重要举措。同时，本项目实施后，通过对单片式腔体等半导体零部件的自主研发，采购成本将有大幅度降低，能够促进产品交付周期进一步缩短，有助于公司获取更多的订单项目的生产成本降低，为公司增加新的盈利增长点，经济效益得到进一步提升。 至纯北方半导体研发生产中心项目方面，主要系，近年来公司订单增长较快，尽管公司一直在不断提高生产效率，但生产处于饱和运行状态。随着公司的逐步发展、新产品的不断开发和市场不断开拓，预计未来公司仍将保持较快增长势头，现有的生产能力将难以满足客户的订单需求，企业必须开拓新场地，从而解决发展壮大的瓶颈问题。因此，北方生产基地的建设，有助于提高公司产能规模，满足市场增长和产业结构优化的需求，缓解制约公司发展的瓶颈问题，为公司持续快速发展奠定基础。至纯科技表示，集成电路大宗气体供应站及配套项目将基于公司在大宗气站建设相关的技术和经验积累，为上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司12英寸集成电路研发制造生产线，建造大宗气体供应站及其配套设施。本项目的实施将有利于丰富公司的产品种类，为公司创造新的业务增长点，增强与集成电路领域客户的粘性，优化下游客户结构，同时有利于提升我国电子大宗气体的技术水平，加速国产替代进程。而且可以进一步丰富公司的产品种类，优化产品结构。还能够与公司现有高纯工艺系统实现协同效应，可进一步提升公司在高纯工艺系统的市场竞争力，同时为公司创造新的业务增长点。 此外，至纯科技计划将本次募集资金3.3亿元用于补充流动资金或偿还银行贷款，以满足公司流动资金需求，从而提高公司的抗风险能力和持续盈利能力。

为了保证G20峰会期间天蓝水清，长江三角洲区域内的其他城市近期开始出台一系列举措，减少空气污染。前不久，在中科光电全公司员工的不懈努力下，大气环境立体综合观测车项目在杭州市环境监测中心中标，我们用强大的技术力量实时监测杭州的空气质量，助力“G20蓝”。怪不得小编发现最近无锡的天气简直傲娇到了一定的境界，蔚蓝的天空、翠绿的柳树、清澈的湖面，隔着屏幕都能闻到清新的空气，名副其实的“G20蓝”令人心旷神怡。改装这台立体综合观测车的初衷，是为了掌握G20峰会前、中、后期杭州市区域大气质量动态特征。有效获取杭州及周边省市区域污染物传输机理，研究大气污染物的时空演变规律，支撑杭州市环境监测中心做好G20峰会期间杭州市空气质量监控、预警、评估、减排防控工作。细说下来，这台观测车不仅可以：获取杭州市及周边地区污染物的输送强度、沉降规律。掌握“G20前期”首要污染物的主要来源及形成机理，做好减排评估。监控“G20期间”杭州市大气质量动态，切实做好预警评估。衡量“后G20时期”杭州市区域大气污染物的排放特征。还可以实现：走航立体观测，能够对重点排放区域进行扫描监测，绘制扫描路径上污染物的排放强度和空间分布。还可以获取走航路径中的垂直风场、温湿度场数据。典型过程的强化观测，立体走航观测车搭载的立体观测设备在极短的时间里就可以观测到污染过程，并能准确地发现污染物所在的高度，及时获取“污染团”移动的速度与方向等第一手资料。与预警预报模式的交互反馈，基于观测数据建立重污染过程中气象变量，构建与近地面PM变化的关键函数，与现有的预期警预报体系进行交互，解决未来6小时内的空气污染预警难题。废话不多说，小编先给这高颜值的雷达改装车上一波美照有没有被这低调有内涵的改装车帅倒？这非一般的改装车搭载了扫描气溶胶激光雷达、多普勒风廓线激光雷达、多轴差分吸收光谱仪、微波辐射计等，能走航立体监测杭州市及周边地区细颗粒物、SO2、NO2、风速风向等时空分布信息。我们中科光电将使出洪荒之力协助杭州市站，做好空气质量监测的工作，让蓝天白云为G20峰会添彩。

国林科技（300786）在互动平台上表示，公司半导体清洗专用臭氧设备首台套已于2022年下半年交付给客户，目前正处于产品验证阶段，公司正在与其他客户进行技术交流和对接。