高功率窄线宽脉冲激光器

aeroPULSE PS是基于NKT Photonics知名光子晶体光纤平台的工业级皮秒光纤激光器产品。提供高达40W的输出功率，同时保持线宽小于1nm，aeroPULSE产品线专为半导体检测、生物成像和材料加工应用而设计。这一系列坚固而紧凑的OEM激光器采用前沿的锁模技术，可提供短皮秒脉冲，具有长期稳定性和脉冲到脉冲稳定性，低噪声以及良好的TEMoo模式质量。作为标准，aeroPULSE PS可提供高达40W的1030nm发射功率。其他波长，包括绿光，可根据要求提供。 aeroPULSE PS激光器专为要求24×7 OEM应用而开发，产品一致性高、保证正常运行时间、低成本、易于集成。专为严格要求的材料加工和微机械应用而设计，其优异的可靠性是强制性的产品属性。aeroPULSE的每个功能都是为了在要求苛刻的应用中连续和一致地操作而设计的。 系统配置包括一个19“机架安装控制单元和一个很紧凑的激光头，可以水平或垂直安装。整个系统可以采用风冷（低输出功率），也可以采用水冷以实现高输出功率性能。该系统可以通过RS232接口进行远程控制，并集成了关键参数的大量板载数据记录。专有的制造技术确保产品质量，同时严格控制供应链保证了产品的一致。 产品特性：平均功率高达40W良好的光束指向稳定性窄线宽紧凑耐用的OEM设计低拥有成本全纤维设计，工业可靠性免维护操作通过远程诊断进行系统监控无预热时间即时开启应用：激光直接成像材料加工半导体检验谐波转换拉曼（SRS）成像OPO泵送连续谱的产生流式细胞术

一、简介 德国Xiton Photonics专注于窄线宽固体脉冲激光器及其频率变换，其深紫外激光器尤为特色。基于1064nm/1342nm的全固态DPSS调Q激光器可通过频率变换提供193nm、213nm、224nm、266nm等深紫外激光输出及355nm、447nm、532nm、671nm等常规波长输出。 多数Xiton激光器具备TEM00模式输出，保证优越的聚焦性能，适合直写等应用；单纵模或窄线宽性能是Xiton激光器的另一特征，长长度确保可用于传统上采用气体激光器的计量、全息、光刻等应用。相比传统深紫外波段的气体激光器，固态激光器体积小、寿命更长，维护成本更低。 二、产品系列 1、IXION 193深紫外激光器 IXION 193为全固化单频激光器，其线宽达到变换极限，可用于光学计量、193nm步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。型号IXION 193 SLM波长193.368nm （可选185-194nm）平均功率10mW脉冲宽度8 - 12ns单脉冲能量1.6uJ重复频率1-15kHzM21.6线宽80MHz/ 0.01pm/ 0.0027cm=1相干长度2m调谐范围80GHz/ 10pm/ 2.6cm-1 典型应用 • 光谱仪校准 • 光刻 • 干涉仪 • 193nm计量测量 • 准分子激光器种子源 2、SLM系列单纵模激光器 SLM系列提供1064nm，532，355，266，213nm 等多个波长的单纵模、窄线宽纳秒激光输出。型号SLM-213SLM-266SLM-355SLM-532SLM-1064波长213nm266nm355nm532nm1064nm平均功率100mW500mW2W4W10W脉冲宽度6-8ns8-10ns10-12ns10-15ns15-25ns单脉冲能量10uJ50uJ200uJ400uJ1mJ重复频率1-15kHz1-20kHz1-15kHz1-15kHz1-15kHzM21.61.71.51.21.2线宽80MHz80MHz60MHz60MHz40MHz相干长度1.5m1.8m2.5m2.5m3.8m脉冲抖动2.5%2.0%2.0%1.0%0.4% 典型应用 • 激光雷达 • 干涉计量 • 光刻 • 光纤布拉格光栅（FBG）制造 • 光谱仪校准 • 计量学 • 全息 3、EXCITE系列 EXCITE系列尺寸较SLM系列为小，提供266nm - 1064nm单频纳秒脉冲激光。型号EXCITE 266EXCITE 355EXCITE 532EXCITE 1064波长266nm355nm532nm1064nm平均功率150mW400mW2.5W6W脉冲宽度10-15 ns14-18 ns15-20 ns20-30 ns单脉冲能量7.5uJ20uJ125uJ300uJ重复频率1-30kHz1-30kHz1-30kHz1-30kHzM21.71.31.21.2线宽60MHz50MHz50MHz30MHz相干长度2.5m3.0m3.0m5m 典型应用 • Wafer检测 • 光致发光 • 干涉测量• 拉曼光谱• 光纤布拉格光栅（FBG）制造• 光谱仪校准• 计量学• 全息• 干涉直写4、IMPRESS 213 IMPRESS 213深紫外激光器可用于FBG刻蚀、钻石及蓝宝石打标加工等应用，213nm波长及TEM00模式使它可以用于小于微米的直写加工。固体深紫外激光器相对于氩离子激光器，具备更佳的寿命、稳定性，更低的能耗和热负荷，适用7×24工业环境运行。平均功率150mW脉冲宽度6-8ns单脉冲能量15uJ重复频率1-30kHzM21.6 典型应用• FBG刻写• 钻石打标• 波长敏感处理• 立体光刻• 半导体检测• 替代倍频氩离子激光器• 光致发光5、IMPRESS 224 IMPRESS 224提供介于213nm与266nm之间的224nm波长输出，满足部分对波长有特殊要求的应用（如增强拉曼光谱、痕量气体分析等）。平均功率300mW脉冲宽度9ns单脉冲能量30uJ重复频率0.1-30kHzM21.6 典型应用• FBG刻写• 波长敏感处理• 立体光刻• 显示面板修复• 微加工• 半导体检测• 替代倍频氩离子激光器• 光致发光6、IDOL系列 IDOL系列产生特殊的1342nm波长及其倍频（671nm）、三倍频（447nm），其中1342nm特别适合硅材料处理如隐形划片、集成电路修剪，而671nm、447nm则在显示平板修补领域有广泛应用。型号IDOL 1342IDOL 671IDOL 447波长1342nm671nm447nm平均功率4.5W2W1.5W脉冲宽度12-26 ns10-12 ns11-13 ns单脉冲能量300uJ130uJ100uJ重复频率1-50kHz1-30kHz1-30kHzM21.21.21.3 典型应用• 显示面板修补• 隐形划片• 波长敏感处理• 硅材料处理• 微加工

PEFL-EOLA 脉冲窄线宽光纤激光测风激光雷达，按照工作体制分类，可以分为相干探测和直接探测两种。Keopsys 脉冲窄线宽光纤激光器工作波长为 1550nm 人眼安全，无惧环境温度变化和振动，体积小，能耗低，使用简便稳定，非常适合于相干法多普勒频移测风。