六维超高精密手动位移台

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六维超高精密手动位移台相关的厂商

  • 西安市高精密仪表厂为集体所有制企业创立于1988年,公司主要生产温度、压力等显示测试仪表,是国内最早生产精密压力表和活塞式压力计的厂家之一,1994年被评为国家二级计量单位,目前在职员工124人,残疾人8人,高级工程师20人。 西安市高精密仪表厂成立之初一直秉承材料,工艺,人员三优原则,不因市场竞争而改变三优原则,材料精挑细选,工艺精益求精,人员工匠之心,打造高质量的压力温度计量仪器。其中精密压力表悬浮结构获得国家发明专利(高精度高稳定性且不怕摔为主要特点)。 西安市高精密仪表厂因坚守三优原则在市场获得了较高的评价和口碑,在未来的发展中,西安市高精密仪表厂会坚守这份初心,用产品说话,用质量说话,在所属领域用最好的产品回馈客户。
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  • 普爱纳米位移技术(上海)有限公司是德国跨国公司Physik Instrumente(PI)GmbH & Co.KG在中国设立的独资子公司。 PI-纳米位移和定位领域的市场领导者。哪里需要挑战极限位移,哪里就会有PI! 40多年来,PI的产品一直以高品质和创新技术而著称。在提供最佳产品质量的同时,PI更为用户提供创新的技术服务和最佳的解决方案。从精密加工到数字与模拟控制电路,从亚纳米级的电容位置传感器到独创的PICMA 压电陶瓷促动器,PI已掌握全套关键技术,强大的技术实力推动着微米纳米定位技术不断地向前沿发展,也使得PI成为全球众多高科技企业、著名实验室的合作伙伴。 PI为用户提供各种不同类型的压电纳米定位系统和电机微米定位系统的解决方案,并可根据用户需求,提供各种OEM产品和定制产品。PI的产品包括,六自由度并联机器人,压电纳米定位台,压电偏转镜,PIFOC 显微物镜定位器,以及直线与旋转定位台等。今天,无论是在计量、显微,生命科技,还是激光技术,精密加工技术;无论是半导体科技,数据存储技术,还是光电子/光纤,天文等领域,PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用,也赢得了越来越广泛的赞誉。 具体产品信息请参见PI公司官方网站:www.pi-china.cn www.pi.ws
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  • 400-860-5168转6002
    吉泰精密仪器(沈阳)有限公司是一家从事超微压力、洁净气流、空调密封性测试、洁净室高效过滤器检漏系统等测试的高精密测试仪器研发、销售为一体的创新型企业; 公司不断的加大人才和技术投入,通过持续实现相关领域的技术突破,研发多系列精密测试仪产品。公司相继上市了气溶胶光度计、气溶胶发生器、超精密空调管道漏风量测试仪等产品,产品不仅大量应用于国内相关领域,还在亚洲、欧美等国家和地区占有一定市场。 公司产品面向新能源、生物医药、工程建设、手机电脑等消费电子产业、半导体芯片、航空航天、船舶重工业及科研高校等众多行业;我们将不断创新和研发新技术、新产品;将高标准、高技术的产品和售后服务奉献给广大用户!
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六维超高精密手动位移台相关的仪器

  • NFPG系列超高精密手动角位移台 设计思路: ● 采用进口弧形交叉滚柱导轨● 主体材料为304不锈钢● 采用分厘卡驱动,灵敏度高,灵活性好● 径跳、端跳等关键指标,达到国际水平示意图:
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  • NFP-x462系列产品是我公司新开发的台面为65× 65mm,行程为25mm的超高精密手动位移台,该系列产品主体材料采用不锈钢,导轨为进口超高精度交叉滚柱导轨,配合我公司特有的精密磨削技术,使该系列产品具有超高精度和可达1&mu m的灵敏度,并且运行平顺,无跳动现象。全系列产品均采用分厘卡驱动。此系列产品,特别适合于超高精度的手动调整领域,尤其是光纤耦合或光波导器件、DPSS激光器部件的精密调整。 ■ 产品特点:◆采用经过特殊工艺制备的不锈钢作为主体材料,保证产品的稳定性和耐用性,不锈钢表面做亚光处理,特别适合于在高洁净和稳定性要求的领域,如:光纤、半导体器件调整或真空中使用◆使用进口超高精度交叉滚柱导轨,配合我公司特有的精密磨削技术,保证了产品的灵敏度、平直度等关键指标,达到国际水平◆全系列采用分厘卡驱动,能够准确定位◆单维产品分为左侧、右侧、中心驱动,并有可竖直方向使用的产品,可以灵活地组合为2~3维产品,并配有组合所需的直角固定块和底板◆同国外同类产品相比,具有超高性价比! ■ 产品一览表: 型号NFP-1462CNFP-1462CZNFP-1462SRNFP-1462SL行程(mm)25灵敏度(mm)0.001台面尺寸(mm)65× 65导轨高精度交叉滚柱直线度(&mu m)3导轨驱动位置中央驱动型竖直使用型右侧驱动型左侧驱动型负载(Kg)72.577
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  • NFP-x561系列产品是我公司新开发的整体式超高精密手动位移台,该系列产品主体材料采用不锈钢,导轨为进口超高精度交叉滚柱导轨,配合我公司特有的精密磨削技术,使该系列产品具有超高精度和可达1&mu m的灵敏度,并且运行平顺,无跳动现象。全系列产品均采用分厘卡驱动。此系列产品,特别适合于超高精度的手动调整领域,尤其是光纤耦合或光波导器件、DPSS激光器部件的精密调整。■ 产品特点:◆灵敏度可达1&mu m◆采用经过特殊工艺制备的不锈钢作为主体材料,保证产品的稳定性和耐用性,不锈钢表面做亚光处理,特别适合于在高洁净和稳定性要求的领域,如:光纤、半导体器件调整或真空中使用◆使用进口超高精度交叉滚柱导轨,配合我公司特有的精密磨削技术,保证了产品的灵敏度、平直度等关键指标,达到国际水平◆全系列采用分厘卡驱动(除NFP-2561T/TL外),能够准确定位◆NFP-x561系列提供3~6维的整体式调整方案◆同国外同类产品相比,具有超高性价比!
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六维超高精密手动位移台相关的资讯

  • 新品解析:超高精密3D打印系统S240
    近期,BMF摩方公司面向全球市场发布第二代超高精密微立体光刻3D打印系统microArch™ S240,该款新机在深圳研发生产,现已开启全球预售。microArch™ S240一直以来,摩方超高精密3D打印系统,以其超高分辨率和微尺度加工能力闻名于业界。那么,microArch S240作为第二代机型,拥有哪些特点呢?首先,S240保持了第一代S140打印机在高精密方面的特点——10μm打印精度,±25μm加工公差。同时,为了更进一步满足客户在精密结构件加工尺寸、加工效率及加工材料等方面的需求,S240具备更大的打印体积(100mm×100mm×75mm),打印速度提升最高10倍以上,能够生产更大尺寸的零部件,或实现更大规模的小部件产量。在打印材料方面,S240支持高粘度陶瓷(≤20000cps)和耐候性工程光敏树脂、磁性光敏树脂等功能性复合材料,极大满足了工业领域制造对产品耐用的需求,也为科研领域开发新型功能性复合材料提供支持。microArch™ S240使microArch S240超高精密3D打印机成为理想的科研和工业生产设备,其附加特性包括:①先进的薄膜滚刀涂层技术允许更高的打印速度,使打印速度最高提升10倍以上;②能够处理高达20000cps的高粘度树脂,从而生产出耐候性更强、功能更强大的零部件;③能够打印工业级复合聚合物和陶瓷光敏材料,包括与巴斯夫合作开发的全新功能工程材料。microArch S240技术原理microArch S240基于BMF摩方的专利技术——面投影微立体光刻技术(PμSL)构建,并融入了摩方自主开发的多项专利技术。摩方PμSL是一种微米级精度的3D光刻技术,这一技术利用液态树脂在UV光照下的光聚合作用,使用滚刀快速涂层技术大大降低每层打印的时间,并通过打印平台三维移动逐层累积成型制作出复杂三维器件。因其复杂精密零部件快速成型的特点,摩方PuSL技术成为众多领域原型器件开发验证和终端零部件小批量制备的最佳选择。这些领域包括:电子通讯、微电子机械系统、医疗器械、生物科技和制药、仿生材料、微流控、微观力学等众多领域。“microArch S240 是摩方的一款面向工业批量生产的超高精密3D打印机。”摩方首席技术官夏春光博士说道,“它不但解决了市场上高精密3D打印技术慢的缺陷,同时还极大放宽了精密3D打印对材料的要求,比如拓宽了树脂的粘度范围,树脂中添加纳米颗粒等。因此它极大的推动了高精密3D打印从科研向工业的扩展。”
  • 超高精密3D打印系统S240
    BMF摩方公司面向全球市场发布第二代超高精密微立体光刻3D打印系统microArch™ S240,该款新机在深圳研发生产,现已开启全球预售。microArch S240一直以来,摩方超高精密3D打印系统,以其超高分辨率和微尺度加工能力闻名于业界。那么,microArch S240作为第二代机型,拥有哪些特点呢?首先,S240保持了第一代S140打印机在高精密方面的特点——10µm打印精度,±25µm加工公差。同时,为了更进一步满足客户在精密结构件加工尺寸、加工效率及加工材料等方面的需求,S240具备更大的打印体积(100mm×100mm×75mm),打印速度提升最高10倍以上,能够生产更大尺寸的零部件,或实现更大规模的小部件产量。在打印材料方面,S240支持高粘度陶瓷(≤20000cps)和耐候性工程光敏树脂、磁性光敏树脂等功能性复合材料,极大满足了工业领域制造对产品耐用的需求,也为科研领域开发新型功能性复合材料提供支持。技术原理 microArch S240技术原理microArch S240基于BMF摩方的专利技术——面投影微立体光刻技术(PµSL)构建,并融入了摩方自主开发的多项专利技术。摩方PµSL是一种微米级精度的3D光刻技术,这一技术利用液态树脂在UV光照下的光聚合作用,使用滚刀快速涂层技术大大降低每层打印的时间,并通过打印平台三维移动逐层累积成型制作出复杂三维器件。因其复杂精密零部件快速成型的特点,摩方PuSL技术成为众多领域原型器件开发验证和终端零部件小批量制备的最佳选择。这些领域包括:电子通讯、微电子机械系统、医疗器械、生物科技和制药、仿生材料、微流控、微观力学等众多领域。“microArch S240 是摩方的一款面向工业批量生产的超高精密3D打印机。”摩方首席技术官夏春光博士说道,“它不但解决了市场上高精密3D打印技术慢的缺陷,同时还极大放宽了精密3D打印对材料的要求,比如拓宽了树脂的粘度范围,树脂中添加纳米颗粒等。因此它极大的推动了高精密3D打印从科研向工业的扩展。”microArch S240 附加特性 使microArch S240超高精密3D打印机成为理想的科研和工业生产设备,其附加特性包括: 先进的薄膜滚刀涂层技术允许更高的打印速度,使打印速度最高提升10倍以上;能够处理高达20000cps的高粘度树脂,从而生产出耐候性更强、功能更强大的零部件;能够打印工业级复合聚合物和陶瓷光敏材料,包括与巴斯夫合作开发的全新功能工程材料。官网:https://www.bmftec.cn/links/4
  • 突破精密制造的瓶颈——Pμ SL超高精密3D打印机
    用于精密原型件、功能部件制造的摩方PμSL技术3D打印机,是一种无需模具的精密自由成型增材制造方法。可以替代传统精密注塑成型进行小批量生产,快速实现原型、功能件验证。摩方PμSL超高精密3D打印机拥有全球领先的超高打印精度(2μm/10μm/25μm),高精密的加工公差控制能力(±10μm/±25μm/±50μm),配置韧性树脂、硬性树脂、耐高温树脂、生物树脂等打印材料,使得摩方3D打印系统可直接成型精密塑料结构件和功能器件,无需再经过抛光、打磨、喷涂等后处理工艺。以下为部分工业案例分享:01大型连接器 打印设备 S240 打印材料 HTL 特 点 整体大小:模型整体尺寸为80*75*5 mm³,其上含有2864个异形pin孔结构,孔最小特征为0.15 mm模型采用20μm层厚打印,细节尺寸的公差在±25μm内;其精度可媲美精密注塑02内窥镜端座 打印设备 P140 打印材料 HTL 特 点 整体结构一次成型,无需组装包含多处薄壁结构,包括长度4mm,壁厚70μm的3条管道结构快速成型,可实现短时间内小批量定制样件细节公差保持在±0.025mm03CPU插座 打印设备 S140 打印材料 HTL 特 点 总共2170个梯形截面的小孔,小孔边长为0.3-0.65mm每个小孔中均含有微小的突变台阶结构样件细节公差保持在±0.025mm04微流控芯片模具 打印设备 S240 打印材料 HTL 特 点 整体尺寸:88 × 35 × 1.6 mm³含有外凸的管道结构,凸出高度为0.06mm,管道宽度为0.2mm能达到很好的表面质量和很低的表面粗糙度官网:https://www.bmftec.cn/links/4

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  • 【原创大赛】高精密恒温恒湿空调箱外包服务怎么选择

    【原创大赛】高精密恒温恒湿空调箱外包服务怎么选择

    高精密恒温恒湿空调箱外包服务怎么选择[size=13px][b] 实验室有些试验需要在恒定的温湿度下操作,这就是要有一个恒温恒湿室,希望能精密的控制温度和湿度,并且恒温恒温室内任何一个点都要是稳定的温湿度,素衣要求比较严格,一般的设备达不到这么精密,维修维护的成本也高,过了保质期怎么办,这是我们现在最头疼的事情。[/b][/size] 最开始公司想在本市找一个空调维修的售后部门来做我们的精密空调的维护保养和故障维修服务,但是他们看了之后,很多配件和他们常用的型号都不对,也比一般空调复杂,可以接受空调维护,比如清洗外机,清洗过滤网等,他们不愿意包维修,说维修要单独购买配件,价格较高,报价太多,我们也承受不了。最后公司临高决定,还是和厂家联系,让他们报价,包给他们算了,因为他们在外地,唯一要求是要24小时内给与反应,维修速度和效率要快。把这个要求转达给厂家,厂家很快发来了报价单,分为两种包的方式。[table][tr][td][align=center]序号[/align][/td][td][align=center]项目[/align][/td][td][align=center]规格型号[/align][/td][td][align=center]数量[/align][/td][td][align=center]单价[/align][align=center](人民币元)[/align][/td][td][align=center]总价[/align][align=center](人民币元)[/align][/td][td][align=center]备注[/align][/td][/tr][tr][td][align=center]1[/align][/td][td][align=center]一年小包[/align][/td][td][align=center]JOV[/align][/td][td][align=center]1台[/align][/td][td][align=center]¥15000.00[/align][/td][td][align=center]¥15000.00[/align][/td][td]a)免无限次人工费,配件另算b)每年巡检4次,遇到紧急情况24小时内到达现场,[/td][/tr][tr][td][align=center]2[/align][/td][td][align=center]一年大包[/align][/td][td][align=center]JOV[/align][/td][td][align=center]1台[/align][/td][td][align=center]¥25000.00[/align][/td][td][align=center]¥25000.00[/align][/td][td]无费用 每年定期到现场巡检4次,遇到紧急情况24小时内到达现场[/td][/tr][/table]接下来有采购部和他们先谈价格,经过采购的努力,最终确定价格[table][tr][td][align=center]序号[/align][/td][td][align=center]项目[/align][/td][td][align=center]规格型号[/align][/td][td][align=center]数量[/align][/td][td][align=center]单价[/align][align=center](人民币元)[/align][/td][td][align=center]总价[/align][align=center](人民币元)[/align][/td][td][align=center]备注[/align][/td][/tr][tr][td][align=center]1[/align][/td][td][align=center]一年小包[/align][/td][td][align=center]JOV[/align][/td][td][align=center]1台[/align][/td][td][align=center]¥13000.00[/align][/td][td][align=center]¥13000.00[/align][/td][td]a)免无限次人工费,配件另算b)每年巡检4次,遇到紧急情况24小时内到达现场, [/td][/tr][tr][td][align=center]2[/align][/td][td][align=center]一年大包[/align][/td][td][align=center]JOV[/align][/td][td][align=center]1台[/align][/td][td][align=center]¥23000.00[/align][/td][td][align=center]¥23000.00[/align][/td][td]无费用 [align=center]每年定期到现场巡检4次,遇到紧急情况24小时内到达现场[/align][/td][/tr][/table] 因为采购部门这方面也不懂具体细节方面由我去谈,然后由我决定是大包还是小包,首先我要求看一下他们维护和维修都有哪些项目[img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/09/202009241445268873_2060_2154459_3.png[/img]然后明确哪些方面他们是免责的对下列条款不管大包还是小包他们不负责1.高精密空调的耗材,易磨损配件2.高精密空调如外壳掉漆,刮花3.我们实验室自己之前换过的其他品牌的配件4.违规操作造成的损坏5.发生过火灾或水淹的高精密空调外机或内机最后双方确定并同意以上这些情况下高精密空调如果要维修需要另外报价付钱。最后他们又提出两个补充;1.签合同前要去实验室检查一下仪器,如果有主要配件损坏或者近期内肯定会坏掉,要先维修再签合同。2.如果关键部件损坏,而他们仓库有没有这种配件,需要进口,这些维修时间要延长到15天,并且运费要我们另外付款。最后经过商议,我们公司同意我提出的意见,1签订大包合同,高精密空调全包。2.不统一第二项不同要求,要他们在仓库一定要合理备件,不接受15天维修情况,不接受国外订货我们付运费。3.仪器故障要能及时维修,24小时到现场,最迟3天内必须维修完成,包括换配件。4.所有配件都要有备货,不能我们报修了才采购配件。最后交流后,双方各退一步,签订了合同。

  • 【原创大赛】【仪器故事】纺织品恒温室高精密空调检查,查什么?

    【原创大赛】【仪器故事】纺织品恒温室高精密空调检查,查什么?

    纺织品恒温室高精密空调检查,查什么? 纺织品检测实验室,有一个标准环境是必须配备的,就是恒温恒湿环境,一般的要求是达到三级大气压的标准要求,需要的温度20±2℃,相对湿度65%±3%;一般需要专业恒温恒湿设施才能达到这个标准要求,这样的恒温恒湿室从装修到设备都是很专业级的。 恒温恒湿室,其主要控制系统就是高精密恒湿恒湿机系统,它的运作是通过三个相互联系的系统:制冷剂循环系统、空气循环系统、电器自控系统。其中电器自控系统是对压缩机、风扇、电加热器,加湿器等供应电源自动控制部分,自动运行压缩机(降温、除湿),加湿器,电加热(升温)等元件,实现恒温恒湿的自动控制。高精密恒湿恒湿机制冷原理为蒸发器中的液态制冷剂吸收空气的热量并开始蒸发,最终制冷剂与空气之间形成一定的温度差,液态制冷剂亦完全蒸发变为气态,后被压缩机吸入并压缩,气态制冷剂通过冷凝器吸收热量,凝结成液体。通过膨胀阀节流后变成低温低压制冷剂进入蒸发器,完成制冷剂循环过程。 高精密恒湿恒湿机和简单空调机原理差不多,但又不一样,是更精密的控制室内的温度和湿度,内部构造比一般空调复杂,又因一般恒温恒湿室都是24小时不间断的作业,那么其内部零件的损耗和磨损也是比较严重的,特别是每年的七八月份是一年气温最高的时候,因为室内外温度的温差大,湿度相差也大,所以这两个月是高精密空调故障频发期,一般这两个月我们都会出钱要求仪器供应商每个月来巡检一次,以防止仪器故障,出现不必要的麻烦。纺织品恒温室高精密空调巡检,要查什么呢,现在厂家工程师来了,但我们却不知道要检查什么项目,为了搞清楚决定跟着看看,大家也一起来看看,看看恒温恒湿高精密空调‘体检’要查什么?[img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/09/201809130921542347_8583_2154459_3.jpg!w690x920.jpg[/img][img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/09/201809130922129361_1495_2154459_3.jpg!w690x920.jpg[/img][img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/09/201809130921407887_946_2154459_3.jpg!w690x920.jpg[/img][img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/09/201809130922037357_2092_2154459_3.jpg!w690x920.jpg[/img][img=,690,1226]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/09/201809130921326497_9234_2154459_3.jpg!w690x1226.jpg[/img] 厂家工程师一般首先看温湿度历史记录,曲线图,没有异常就开始检查主机过滤网,这个是每次巡查都要清洗的,然后再看风机的皮带磨损情况,接着就是风机电压电流;制冷系统主要就是高压低压,膨胀阀,冷凝器和过滤器,最后就是外机,外机是每次都会清洗,一般巡查没有提示故障的话,清洗一下外机就算差不多结束工作了。加湿系统主要就是看漏不漏水,加湿灌脏不脏等,整个过程一般2-3个小时就可以完成一台高精密空调的全部巡检。 其实仪器的没有故障之前的检查是很有必要的;不仅仅是为了各种规定要求,主要目的就是做一个维护和保养,仪器故障前的检查,成本低,这个是隐形成本控制;并且可以避免突然地仪器故障造成工作的耽误和业务的损失,仪器的状态也会更好,比如清洗过滤网,检查电压,电容等,能初步判定精密空调配件磨损程度,预计故障的可能,更重要一点是安全检查,仪器24小时运转,晚上没有人值班,如果因为仪器故障,短路出现事故就得不偿失了,虽然不一定能完全杜绝这样的现象,但排查还是可以发现一些隐患的,一些建议性的意见还是要引起注意的。

  • 电动针阀和手动可变泄漏阀在超高真空度PID自动精密控制中的应用

    电动针阀和手动可变泄漏阀在超高真空度PID自动精密控制中的应用

    [size=16px][color=#000099]摘要:超高真空度的控制普遍采用具有极小开度的可变泄漏阀对进气流量进行微小调节。目前常用的手动可变泄漏阀无法进行超高真空度的自动控制且不准确,电控可变泄漏阀尽管可以实现自动控制但价格昂贵。为了实现自动控制且降低成本,本文提出了手动可变泄漏阀与低漏率电控针阀组合的解决方案,结合真空压力PID控制器可实现超高真空度自动控制。[/color][/size][align=center][size=16px][/size][/align][size=16px][/size][align=center][color=#000099]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/align] [b][size=18px][color=#000099]1. 问题的提出[/color][/size][/b][size=16px] 超高真空一般是指10-7Pa~10-2Pa范围的真空度,相应的超高真空技术应用也十分广泛,特别是对于芯片级原子钟(CSACs)、电容膜片规(CDGs)、显微镜、质谱仪和和新型金属有机化学[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]沉积(MOCVD)等需要超高真空环境的设备,其真空度控制的稳定性通常非常重要。[/size][size=16px] 超高真空度控制的基本原理如图1所示,可采用开环和闭环两种控制形式,基本控制原理是固定真空泵的抽速,通过调节进气流量来实现不同真空度的控制。对于超高真空控制,要求进气量非常微小,所以一般采用可变泄漏阀(varible leakage valve)进行调节进气量。[/size][align=center][size=16px][color=#000099][b][img=01.超高真空度控制系统结构示意图和各种可变泄漏阀,650,493]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304272211542322_7977_3221506_3.jpg!w690x524.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#000099][b]图1 超高真空度控制的基本原理和各种可变泄漏阀[/b][/color][/size][/align][size=16px] 如图1所示,目前常用的可变泄漏阀有手动和自动两种形式,但在实际应用中存在以下两方面的问题:[/size][size=16px] (1)手动可变泄漏阀只能组成开环控制回路,需要人工调节泄漏阀开度并同时观察真空计读数进行超高真空度控制。这种开环控制方法很难实现真空度的稳定,气源和真空腔体内稍有扰动就会带来严重的波动,另外就是在多个真空度点控制时很难操作和控制。[/size][size=16px] (2)自动可变泄漏阀是在手动泄漏阀上配置了一个电子致动器和PID控制器,与真空计可构成闭环控制回路,可实现超高真空度的精密控制,但存在的问题是价格昂贵,自动可变泄漏阀要比手动泄漏阀贵三倍左右。[/size][size=16px] 针对目前可变泄漏阀具体使用中存在的上述问题,本文提出了如下解决方案。[/size][size=18px][color=#000099][b]2. 解决方案[/b][/color][/size][size=16px] 解决方案的基本思路是采用价格相对较低的手动可变泄漏阀以提供微小的很定进气流量,然后再配备低漏率的电控针阀对此微小进气流量进行电动调节,以实现最终超高真空度的自动控制,由此构成的超高真空度控制系统结构如图2所示。[/size][align=center][size=16px][color=#000099][b][img=02.手动泄漏阀和电动针阀组合式超高真空度控制系统结构示意图,600,267]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304272212262679_3036_3221506_3.jpg!w690x308.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#000099][b]图2 手动泄漏阀和电动针阀组合式超高真空度控制系统结构示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 由图2所示的控制系统可以看出,整个系统由手动泄漏阀、电控针阀、真空计和PID真空压力控制器构成,并形成闭环控制系统。在具体控制过程中,首先将手动泄漏阀调节到某一固定位置使其保持恒定的微小进气流量,真空压力控制器根据采集到的真空计信号与设定值比较后对电控针阀进行动态调节。由于电控针阀自身有很小的真空漏率,所以电控针阀的开度变化相当于是对手动泄漏阀进气流量的进一步调节,由此电动针阀与手动泄漏阀配合可实现对进入腔体的流量进行调节而最终实现超高真空度的控制。[/size][size=16px] 在图2所示的控制系统中,真空计采用了组合式皮拉尼真空计,真空度测试范围可以从一个大气压到5×10-8Pa,全量程真空度对应的模拟信号输出为0~10V。此真空计信号可以直接被真空压力PID控制器接收,PID控制器具有24位AD、16位DA和0.01%最小输出百分比技术指标,并带有程序控制和RS485通讯功能,可很好的进行超高真空度的全量程自动控制。[/size][size=16px] 此解决方案除了可以满足小型真空腔室的超高真空度控制之外,也可以用于较大腔室的控制,所需的只是改变手动可变泄漏阀开度大小。[/size][align=center][size=16px][color=#000099]~~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#000099][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#000099][/color][/size][/align]

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