精密线性位移台直线导轨

海顿科克直线传动是AMETEK集团公司下的一员，最近推出了一款全新的产品-带IDEA智能驱动器的BGS直线导轨系列，该直线导轨系统整合了直线导轨，43000系列单叠厚或者双叠厚电机，IDEA智能驱动器3大部件。所有的BGS直线导轨系统都由直线步进电机和高精密的303不锈钢螺杆来驱动，螺杆都涂有Black Ice TFE涂层，这是一种耐磨并且可以免维护的干性润滑涂层，和螺杆配套使用的是具有科克专利的消间隙螺母，螺母精密固定在滑块内部，滑块由铝合金材料制成，整个系统坚固耐用，运行平稳。BGS06直线导轨系统标准参数如下：机械参数：适配电机：43000单叠厚或者双叠厚电机最大行程：610mm最大水平负载：600N弯矩负载：Roll: 15.75 NmPitch: 10.75 NmYaw: 12.40 NmIDEA驱动控制器：方便的控制界面通过美国RoHS认证自我检错功能输入电压：12-48V最大电流：2.6A RMS电流过载能力：加速期间最高30%通讯方式：USB或者RS-485数字输入/输出：4/4BGS直线导轨高度集成所有运动控制部件，可以为OEM厂家或终端客户极大的节省空间，提高设备整体精密性，而且相比较客户单独购买电机，丝杆，导轨，驱动器等等部件自行装配也可以极大的节省成本。为了更好的满足客户的设计要求，海顿科克还可以为客户定制BGS，特殊定制部分可以包括，接线方式，行程长度，底座结构等方面，如您还有特殊要求，也可以像我们提出来，我们同样可以为您定制。 更多信息请访问海顿直线电机（常州）有限公司网站http://www.haydonkerk.com.cn

海顿科克直线传动是美国著名的AMETEK集团旗下的一家子公司，公司新近推出了一款全新的BGS04系列直线导轨，该产品是全新开模设计的产品，特别适用于高弯矩负载的应用场合，全新的结构设计使它能在高侧向负荷和高悬臂负荷的情况下，仍然能保证整个系统的定位精度和重复定位精度。BGS04直线导轨的核心传动部件是由303不锈钢制作而成科克丝杆，丝杆涂有干性润混油脂TFE涂层，和螺杆配套使用的是具有科克专利的消间隙螺母，螺母精密固定在滑块内部，滑块由铝合金材料制成，坚固耐用，整个系统的动力源可以选用海顿的28000双叠厚电机或者43000系列电机。BGS04直线导轨是专门针对重负载情况设计的新品，其能承受的的最大的水平，垂直和旋转方向的剪切力分别为6.60NM,7.70NM,7.75NM，最大的水平负载是10公斤，其传动螺杆的导程可以根据客户要求选择， 从0.635MM-25.4MM范围内可选，配合步距角为1.8度的步进电机，该直线导轨的步进步长为0.003MM-0.127MM，其行程长度从25MM-460MM可选！如果选择43000系列电机做动力源，还可以选配海顿的IDEA智能驱动器，该驱动器体积小巧，功能强大，集成安装在电机后部，几乎不占空间，使用非常方便！更多信息请访问海顿直线电机（常州）有限公司网站http://www.haydonkerk.com.cn

海顿科克直线传动是美国AMETEK集团公司的一员，是全球直线传动领域的领军型企业，最近公司新推出了带滚珠导轨的BGS直线导轨系统，BGS08是为大负载传动专门设计的，在大载荷的情况下，它可以保证整个运动的定位精度和重复定位精度。 BGS08系统其能承受的的最大的水平，垂直和旋转方向的剪切力分别为22.5NM,26.3NM,30.2NM，最大的水平负载可以达到100KG，其传动丝杆的导程范围为2.5MM-25.4MM，选配上步距角为1.8度的步进电机以后，其步进步长范围为0.0125MM-0.127MM,其整个系统的有效行程可以根据客户要求做到25MM-760MM之间。 BGS08系统头部的驱动电机是海顿的57000系列电机，传动丝杆由303不锈钢做成，表面涂有TFE涂层，TFE涂层是干性润滑油脂，免维护，和螺杆配套使用的是具有科克专利的消间隙螺母，螺母精密固定在滑块内部，滑块由铝合金材料制成，坚固耐用，另外根据客户需求，可以选配57000系列单叠厚或者双叠厚电机。 IDEA可编程驱动器也是BGS08系统的可选配部件，可以直接安装在电机后端盖上，为客户节省很多安装空间，BGS08是海顿科克全新设计的直线传动整体方案，其各种可选方案，极大的满足了客户自己的应用要求，有着极其广大的应用的前景！ 更多信息请访问海顿直线电机（常州）有限公司网站http://www.haydonkerk.com.cn

海顿科克直线传动是传动领域的知名的领军型企业，公司拥有强大的研发实力，不断的推出传动领域的新产品，近日公司又推出了一款带两个驱动滑块的RGS04系列直线导轨，该导轨应用了很多海顿科克的专利技术，并且自带了海顿科克的IDEA驱动电机(该电机自带编程功能)。RGS04直线导轨构造精巧，定位精确，是OEM厂家的首选。　　 　　该直线导轨的最大特点就是拥有两个同步运行的驱动滑块，滑块是由特殊的聚合材料做成，并且这两个滑块都带有自动磨损补偿和消间隙功能，这是海顿科克保证滑块实现精确定位的特有技术，整个直线导轨表面都涂有黑色的Kerkote的特氟伦涂层，在整个使用过程中都是免维护运行。　　该直线导轨自带了海顿的IDEA电机(也可不带)，IDEA电机是一款智能电机，是海顿的专利产品，在海顿的混合式直线步进电机上集成了驱动器，控制器，这使得电机的控制变得异常的简单，通过一根普通的数据线，就可以通过电脑对电机的运动进行编程，并且拥有强大的调试功能。　　海顿科克通过自己的强大研发技术把原本分开部件完美的结合在了一起，这给OEM厂家和和多终端客户带来了巨大好处，这省去了他们东拼西凑购买和组装各个部件的麻烦，同时也大大降低了他们的采购成本。　　RGS04系列直线导轨可以应用在科学仪器，实验室设备，半导体制造设备以及一些其他需要精确传动的地方!　　更多信息请访问海顿直线电机(常州)有限公司网站http://www.haydonkerk.com.cn

阿美特克是精密运动控制系统的全球制造商，旗下品牌海顿科克宣布推出全新EGS04精密微型导轨。EGS,全称“高效导轨系统efficient guided system”非常适用于实验室自动化系统和电子组装领域，满足其对于高速、高效点对点运动的需要。EGS底座采用RGS的螺杆支撑结构，结合低高度托架（16mm）的滚珠导轨，相较于竞品可实现更高的速度能力和更高效、更稳定的负载支撑能力。而且，相比较传统的皮带加齿轮箱设计，EGS更易于使用且体积可减小约50%。EGS提供了“栓传动 ”的设计，非常有利于系统整合，减少了多部件结合设计的许多工作，例如：额外的工程设计、多个供应商的管理以及如何集成并保证组件的精密性。EGS的其他优点：✔ 最大行程1米（40英寸），且运行速度不受影响✔ NEMA标准 Size11或 17 尺寸混合式步进电机✔ 采用螺杆驱动的机械优势✔ IDEA驱动与电机一体系列✔ 可采用的配置选项✔ 无刷伺服42mm电机✔ 不配置电机✔ 标准或长托架✔ 多种导程螺杆组件✔ 旋转编码器

海顿科克直线传动是直线传动领域的领军企业，最近公司又推出了一款180度折叠安装驱动电机的RGS导轨，这种设计可以很好的满足在狭小的空间需要精确定位的应用环境。 这种折叠式的RGS导轨包含一个传统直线系统应含的所有部件，包括一个步进电机，同步带，传动丝杆，底座支撑，导轨和负载块。在底座上还带有可以安装传感器等部件的U型槽，电机和丝杠之间的标准传动比有2：1，1：1和1：2，使用轻质铝带轮和玻璃钎维增强尼龙同步带。丝杠导程范围从0.050in/rev到1.2in/rev。当使用2：1传动比，0.050in/rev丝杠和200步每转的步进电机，位置分辨率可达到千分之0.125in。在高速应用中，1：2传动比的同步带和1.2in/rev的丝杠配合可提供的最大速度达到7in/s。 海顿科克所有的RGS和RGW直线导轨都配有带消隙螺母的负载滑块，消隙螺母可以有效的提高定位精度和重复定位精度，镁铝合金做成的花键形式的导轨和303不锈钢做成的螺杆都涂有Kerkote TFE涂层，终身免维护，该折叠式RGS导轨最大的负载能力可以达到35lbs。 更多信息请访问海顿直线电机（常州）有限公司网站http://www.haydonkerk.com.cn

海顿科克直线传动做为直线传动领域的领军型企业最近推出了全新的配28000驱动电机SRA04系列直线系统，为了减少额外直线导向机构，海顿科克的SRA系列简化了设计和制造，把所有部件都整合到了一起，整个直线系统非常紧凑，相比传统的直线结构节省了80%的空间。 整个直线导轨由一根科克的精密丝杆和铝合金的圆柱型外壳和螺母组成，丝杆被外壳紧密包裹，螺母沿着的前后滑动，螺母内部有内螺纹，和丝杆咬合，用丝杆做为传动力，Kerkote的TFE涂层，有自润滑功能的螺母和轴衬可以保证这个系统的高寿命以及零维护，在选择该直线系统时，可以选择普通的SRA系列，也可以选择带消隙螺母的SRZ系列，当垂直安装时，该系统可以同时做直线和旋转两个运动，该系统最长可以做到1.8M长。 该直线系统用海顿的28000混合式直线电机来驱动，电机有引出线或内置连接器两种选项，连接器符合ROHS且外观有锁紧装置以保证连接可靠。连接器允许最大电流3A且允许线径从22到28。 这个新产品的主要应用在一些精密的设备里面，特别是一些空间很小，但是需要精确定位的地方，比如常用分析仪器，半导体设备，包装设备等等。海顿科克强大的技术可以保证该直线系统的长寿命，高稳定性和免维护，可以大大提高生产商产品的质量和竞争力。 更多信息请访问海顿直线电机（常州）有限公司网站http://www.haydonkerk.com.cn

Haydon Kerk Pittman近期推出全新微型直线模组系列。紧凑小巧的微型直线模组可以节省大量结构空间，非常适用于小型实验室、医疗设备和舞台灯光等应用场合。微型直线模组可提供2种驱动电机选项，9种不同导程的丝杠选项，4种润滑选项，以及英制或公制标准。模组外观微型直线模组可以选配2种不同电机，分别是永磁式电机和混合式电机，见下图。永磁式电机微型模组混合式电机微型模组技术参数微型直线模组所选电机不同，电机的技术参数也不同。混合式电机微型直线模组永磁式电机微型直线模组模组尺寸微型直线模组有4种行程可选，不同的行程尺寸也会变化，具体见下图混合式电机微型模组永磁式电机微型直线模组其他特点体积小，平台稳定，定位精度高模组预留多种安装孔位，方便扩展其他组件混合式电机可配编码器关于HKPHaydon Kerk Pittman是精密运动控制领域3个世界级品牌的组合，分别是Haydon、Kerk和Pittman。作为阿美特克精密运动控制（AMS）部门成员，Haydon Kerk Pittman （HKP）供应各种精密直线和旋转运动产品，被公认为是精密梯形丝杠和消隙螺母组件、直线步进电机、直线导轨和导向系统、有刷和无刷电机以及完全定制系统的领先制造商。HKP在全球范围内为实验室自动化、医疗仪器、半导体制造、运输、楼宇自动化和工业自动化等苛刻市场提供高性能的解决方案和产品。阿美特克是电子仪器和机电设备的全球领导者，年销售额约为50亿美金。为材料分析、超精密测量、过程分析、测试测量与通讯、电力系统与仪器、仪表与专用控制、精密运动控制、电子元器件与封装、特种金属产品等领域提供技术解决方案。全球共有17,000多名员工，150多家工厂，在美国及其它30多个国家设立了100多个销售及服务中心。

海顿科克直线传动最近宣布将加快其公司旗下的KERK产品的样品生产速度，其产品包括科克的螺杆螺母组件，花键轴，直线滑轨，滑动导轨和RGS系列产品，先进的生产设备使得KERK可以在一周之内（中国地区由于运输原因时间会延长）就完成客户化定制的样品，包括样品中含有的KerkKite高分子材料部件和TFE涂层。 海顿科克美国科克制造厂最近投入了100多万美元购买最先进的生产设备，其中包括一台先进的CNC数控设备，该设备可以加工KERK所有系列的产品，专门用于制作客户定制样品，包括客户化定制消间隙螺母，科克所有系列的各种直径和各种导程的螺杆，科克的直线导轨系统等等。 海顿科克可提供的螺杆直径范围从Ø 2mm到Ø 24mm，其最大的传递负载可达225KG（使用标准材料下）,并且所有的科克产品都是免维护的。 海顿科克一直都保持着快速的交货周期，而且还在努力提高，即使是批量生产的客户化定制产品交货期也都会在4周之内（中国地区由于运输原因时间会延长），强大的客户化定制能力，产品种类的齐全，可靠的交货周期，海顿科克会是你的最好的合作伙伴! 更多信息请访问海顿直线电机（常州）有限公司网站http://www.haydonkerk.com.cn

海顿科克直线传动是直线传动领域的著名企业，最近公司又推出了一款全新的产品，那就是自带了驱动电机的科克RGS导轨，这是一个集成了导轨，步进电机和驱动器的全新产品，这个革命性的产品完全改变了以前结构复杂和接线凌乱的布局，使之成为了一个结构非常简单，而又可以精确传动的新产品！这款RGS产品的承重滑块是带消隙技术的，这可以保证传动的精度可以达到最高，同时该滑块拥有自动补偿技术，就是滑块在长时间工作中有了磨损以后，它可以自动补偿间隙，从而能够保证其运动精度不受影响！另外该滑块是由科克一种高性能的塑料聚合物，名叫Kerkite的材料制作而成，其有耐高温，耐腐蚀的特点！在导轨的其他表面都涂了TFE干性润滑剂，整个产品在其整个工作寿命内都是免维护的！电机后面自带的驱动器是海顿科克公司的专利产品，它虽然体积小巧结构简单，但是和其他单独的驱动器有着同样强大的功能，它最大可以做到64细分！该RGS导轨是海顿和科克两大公司合并以后，两个公司产品的完美结合，它使得传动控制变的更为简单，这对安装空间有着严格要求，需要精确传动的设计方案，这无疑是最好的解决办法，同时也让您的产品变的更加精密，高贵！更多信息请访问海顿直线电机（常州）有限公司网站http://www.haydonkerk.com.cn

2019年12月26日，工业和信息化部科技司发布行业标准报批公示。根据行业标准制修订计划，相关标准化技术组织已完成《智能四辊卷板机》等82项机械行业标准的制修订工作。在以上标准批准发布之前，为进一步听取社会各界意见，现予以公示，截止日期2020年1月25日。以上标准报批稿可登录《标准网》（www.bzw.com.cn）“行业标准报批公示”栏目阅览，反馈意见。公示时间：2019年12月26日—2020年1月25日82项机械行业标准名称及主要内容序号标准编号标准名称标准主要内容代替标准采标情况1JB/T13908-2020智能四辊卷板机本标准规定了智能四辊卷板机的术语和定义、型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、包装、运输与贮存。本标准适用于在冷态条件下卷制板材的智能四辊卷板机。2JB/T13914-2020智能粉末成型压力机本标准规定了智能粉末成型压力机的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本标准适用于智能粉末成型压力机。3JB/T13913-2020数控全液压模锻锤自动化生产线本标准规定了数控全液压模锻锤自动化生产线的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存、制造厂保证。本标准适用于数控全液压模锻锤自动化生产线。4JB/T13901.1-2020机械伺服数控回转头压力机第1部分：基本参数本部分规定了机械伺服数控回转头压力机的基本参数。本部分适用于机械伺服数控回转头压力机。5JB/T13901.2-2020机械伺服数控回转头压力机第2部分：技术条件本部分规定了机械伺服数控回转头压力机的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输与贮存。本部分适用于机械伺服数控回转头压力机。6JB/T13901.3-2020机械伺服数控回转头压力机第3部分：精度本部分规定了机械伺服数控回转头压力机的数控精度、工作精度。本部分适用于机械伺服数控回转头压力机。7JB/T13909-2020大型伺服数控板料折弯机本标准规定了大型伺服数控板料折弯机的术语和定义、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于开式结构的大型伺服数控板料折弯机。8JB/T13895-2020闭式多连杆冷温挤压压力机本标准规定了闭式多连杆冷温挤压压力机的型式与基本参数、技术要求、精度、试验方法、检验规则、包装、运输与贮存。本标准适用于6杆多连杆结构的闭式多连杆冷温挤压压力机。9JB/T3589-2020自动冷镦机精度本标准规定了自动冷镦机的几何精度、工作精度及其检验方法。本标准适用于自动冷镦机。JB/T3589-199110JB/T13906.1-2020热冲压高速液压机第1部分：型式与基本参数本部分规定了热冲压高速液压机的型式与基本参数。本部分适用于热冲压高速液压机。11JB/T13906.2-2020热冲压高速液压机第2部分：技术条件本部分规定了热冲压高速液压机的技术要求、试验方法、验收规则、包装、运输与贮存、保证。本部分适用于热冲压高速液压机。12JB/T13906.3-2020热冲压高速液压机第3部分：精度本部分规定了热冲压高速液压机的精度检验。本部分适用于热冲压高速液压机。13JB/T13896-2020闭式高速精密压力机可靠性评定方法本标准规定了闭式高速精密压力机可靠性验证、测定、评定时的故障分类及判定原则、抽样、试验方案、试验方法、故障检测、数据采集、可靠性评定指标、试验结果判定等。本标准适用于闭式高速精密闭式压力机的可靠性验证、测定和评定试验。14JB/T13904-2020开式高速精密压力机可靠性评定方法本标准规定了开式高速精密压力机可靠性验证、测定、评定时的故障分类及判定原则、抽样、试验方案、试验方法、故障检测、数据采集、可靠性评定指标、试验结果判定等。本标准适用于开式高速精密闭式压力机的可靠性验证、测定和评定试验。15JB/T13813.1-2020滚动功能部件可靠性与寿命第1部分：术语和符号本部分规定了以滚珠丝杠副和滚动直线导轨副为主的滚动功能部件的术语、定义和符号。本部分适用于滚珠丝杠副和滚动直线导轨副的可靠性与寿命试验及评定，其他滚动功能部件可参照使用。16JB/T13813.2-2020滚动功能部件可靠性与寿命第2部分：滚动丝杠副功能可靠性试验规范本部分规定了滚珠丝杠副在滚珠丝杠副可靠性试验装置上进行功能可靠性试验的规范。本部分适用于滚珠丝杠副公称直径25mm～63mm，有效行程2000mm的滚珠丝杠副的可靠性试验。其他滚珠丝杠副亦可参照执行。17JB/T13813.3-2020滚动功能部件可靠性与寿命第3部分：滚动直线导轨副功能可靠性试验规范本部分规定了滚动直线导轨副在直线导轨副可靠性试验装置进行功能可靠性试验的规范。本部分适用于规格15～65、长度≤3000mm、一般用途的滚动直线导轨副的可靠性试验。其他规格和长度的滚动直线导轨副亦可参照执行。18JB/T13813.4-2020滚动功能部件可靠性与寿命第4部分：滚珠丝杠副精度保持性试验规范本部分规定了滚珠丝杠副精度保持性试验的试验要求、试验条件、试验准备、试验过程及评定方法。本部分适用于公称直径25mm~63mm，有效行程≤2000mm的定位类滚珠丝杠副的精度保持性试验。其他规格滚珠丝杠副亦可参照执行。19JB/T13813.5-2020滚动功能部件可靠性与寿命第5部分：滚动直线导轨副精度保持性试验规范本部分规定了滚动直线导轨副精度性试验的试验要求、试验条件、试验准备、试验过程及评定方法。本部分适用于规格15mm～65mm，长度≤3000mm的一般用途滚动直线导轨副的精度保持性试验。其他规格和长度的滚动直线导轨副亦可参照执行。20JB/T13813.6-2020滚动功能部件可靠性与寿命第6部分：滚珠丝杠副额定动载荷及疲劳寿命试验规范本部分规定了滚珠丝杠副在试验装置上进行额定动载荷及疲劳寿命试验的规范。本部分适用于公称直径25mm～63mm，有效行程在2000mm范围内的滚珠丝杠副的额定动载荷与疲劳寿命试验。其他规格亦可参照执行。21JB/T13813.7-2020滚动功能部件可靠性与寿命第7部分：滚动直线导轨副额定动载荷及疲劳寿命试验规范本部分规定了滚动直线导轨副在滚动直线导轨副额定动载荷及疲劳寿命试验装置上进行额定动载荷与疲劳寿命试验的规范。本部分适用于导轨规格为15mm～65mm的滚动直线导轨副的额定动载荷及疲劳寿命试验。22JB/T10890.1-2020高速精密滚珠丝杠副第1部分：性能试验规范本部分规定了实验台上公称直径为25mm～63mm，螺纹有效行程在500mm～2000mm范围内高速精密滚珠丝杠副在高速运行条件下速度、加速度、温升、噪声试验的规范本部分适用于行业、制造商内部及第三方机构的符合性试验。其他规格的高速精密滚珠丝杠副及测试试验亦可参照执行。JB/T10890.1-200823JB/T10890.2-2020高速精密滚珠丝杠副第2部分：验收技术条件本部分规定了高速精密滚珠丝杠副的验收技术条件。本部分适用于公称直径在25mm～63mm，螺纹有效行程在500mm～2000mm范围内的高速精密滚珠丝杠副。24JB/T13814-2020滚珠丝杠副动态预紧转矩测试规范本标准规定了滚珠丝杠副动态预紧转矩测试的基本条件、仪器状况、测试过程及方法、测试数据处理。本标准适用于公称直径为φ16mm～φ80mm，长度为L300mm～3000mm有轴向预加载荷滚珠丝杠副的符合性试验。测定试验亦可参照执行。25JB/T13815-2020滚珠丝杠副轴向静刚度试验规范本标准规定了滚珠丝杠副轴向静刚度的测试基本条件、测试设备状况、测试过程方法、测试数据处理及结果计算。本标准适用于公称直径为φ25mm～φ63mm滚珠丝杠副。轴向静刚度Rnu，仅考虑滚道与滚珠之间的轴向变形，不考虑滚珠丝杠及滚珠螺母本身的变形。26JB/T13816-2020高速精密滚动直线导轨副性能试验规范本标准规定了高速精密滚动直线导轨副在高速运行条件下噪声、加速度及速度试验规范。本标准适用于3级精度以上、规格15～65、长度在3000mm范围内的高速精密滚动直线导轨副。其他规格的高速精密滚动直线导轨副可参照执行。27JB/T13817-2020滚动直线导轨副静刚度测试规范本标准规定了滚动直线导轨副垂直静刚度、横向静刚度、俯仰静刚度、偏摆静刚度及倾斜静刚度的测试的安装要求、加载方式、数据采集与处理、卸载方式和计算方法。本标准适用于规格为15～65的滚动直线导轨副。28JB/T13818-2020滚动直线导轨副预紧拖动力动态测量与评价方法本标准规定了滚动直线导轨副预紧拖动力动态测量的测量条件、测量方法和评价方法。本标准适用于规格为15～65的滚动直线导轨副预紧拖动力的符合性试验。测定试验亦可参照执行。29JB/T13819-2020盘式刀库可靠性试验规范本标准规定了盘式刀库进行功能可靠性试验的内容和程序。本标准适用于带自动换刀装置的盘式刀库在可靠性试验装置上用试验法测试盘式刀库的可靠性。30JB/T13820-2020链式刀库可靠性试验规范本标准规定了链式刀库进行功能可靠性试验的内容和程序。本标准适用于带自动换刀装置的链式刀库在可靠性试验装置上用试验法测试链式刀库的可靠性。31JB/T13821-2020盘式刀库性能试验规范本标准规定了盘式刀库的试验项目和试验方法。本标准适用于带刀具自动交换装置的盘式刀库在性能试验装置上用试验法测试盘式刀库的性能试验。32JB/T13823-2020滚柱导轨块本标准规定了滚柱导轨块的术语和定义、精度等级、标识符号、安装尺寸、精度检验和验收技术条件。本标准适用于高度15mm~100mm的滚柱导轨块。33JB/T13824-2020电主轴可靠性试验规范本标准规定了电主轴在进行可靠性测定、评定时的故障判断原则、抽样原则、试验方法、数据处理、结果评定。本标准适用于滚动轴承支撑的电主轴，基于轴向载荷、径向载荷和扭矩载荷的可靠性测定试验和可靠性验证试验。34JB/T13825-2020电主轴精度保持性试验规范本标准规定了电主轴在进行精度保持性测定、评定时的精度失效判断原则、抽样原则、试验方法、数据处理、结果评定。本标准适用于滚动轴承支撑的电主轴，基于轴向载荷、径向载荷的精度保持性试验。35JB/T13826-2020电主轴性能试验规范本标准规定了电主轴的性能试验的项目、试验仪器、试验要求、试验方法。本标准适用于滚动轴承支撑的电主轴。36JB/T13827-2020机械主轴可靠性试验规范本标准规定了机械主轴在进行可靠性测定、评定时的故障判断原则、抽样原则、试验方法、数据处理和结果评定。本标准适用于于滚动轴承支撑的机械主轴,基于轴向载荷、径向载荷和扭矩载荷的可靠性测定试验和可靠性验证试验。37JB/T13828-2020机械主轴精度保持性试验规范本标准规定了机械主轴在进行精度保持性测定、评定时的精度失效判断原则、抽样原则、试验方法、数据处理、结果评定。本标准适用于滚动轴承支撑的机械主轴单元，基于轴向载荷、径向载荷的精度保持性试验。38JB/T13829-2020机械主轴性能试验规范本标准规定了机械主轴单元性能试验的项目、试验仪器、试验方法。本标准适用于以滚动轴承为支撑的机械主轴。39JB/T10801.4-2020电主轴第4部分：磨削用电主轴技术条件本部分规定了磨削用电主轴设计、制造和验收的基本要求。本部分适用于滚动轴承支承的磨削用电主轴。40JB/T10801.5-2020电主轴第5部分：钻削用电主轴技术条件本部分规定了钻削用电主轴设计、制造和验收的基本要求。本部分适用于包括滚动轴承支撑和空气轴承支撑的钻削用电主轴。41JB/T10801.6-2020电主轴第6部分：雕铣用电主轴技术条件本部分规定了雕铣用电主轴设计、制造和验收的基本要求。本部分适用于滚动轴承支承的雕铣用电主轴。42JB/T13830.1-2020滚动直线导轨副钳制器第1部分：术语和符号本部分规定了滚动直线导轨副钳制器的术语、定义及标识符号。本部分适用于滚动直线导轨副钳制器。43JB/T13830.2-2020滚动直线导轨副钳制器第2部分：安装连接尺寸本部分规定了滚动直线导轨副钳制器的安装连接尺寸。本部分适用于规格为35～65滚动直线导轨副钳制器。44JB/T13830.3-2020滚动直线导轨副钳制器第3部分：验收技术条件本部分规定了滚动直线导轨副钳制器的验收要求及检验方法。本部分适用于规格为35～65滚动直线导轨副钳制器。45JB/T13831.1-2020滚动直线导轨副阻尼器第1部分：术语和符号本部分规定了滚动直线导轨副阻尼器的术语、定义及标识符号。本部分适用于滚动直线导轨副阻尼器。46JB/T13831.2-2020滚动直线导轨副阻尼器第2部分：安装连接尺寸本部分规定了滚动直线导轨副阻尼器的安装连接尺寸。本部分适用于规格为35～65滚动直线导轨副阻尼器。47JB/T13831.3-2020滚动直线导轨副阻尼器第3部分：验收技术条件本部分规定了滚动直线导轨副阻尼器的验收要求及检验方法。本部分适用于滚动导轨副阻尼器。48JB/T3848-2020闭式多工位压力机精度本标准规定了闭式多工位压力机的精度检验。本标准适用于冲压金属板料零件的闭式多工位压力机。本标准不适用于锻造用压力机及特殊结构的专用压力机。JB/T3848-199949JB/T6103.3-2020型材卷弯机第3部分：精度本部分规定了型材卷弯机的检验要求、几何精度、工作精度。本部分适用于冷态下卷弯型材的型材卷弯机。50JB/T9956.1-2020鳄鱼式剪断机第1部分：技术条件本部分规定了鳄鱼式剪断机的型式与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本部分适用于冷态状态下剪断金属废料的鳄鱼式剪断机。51JB/T13893-2020半闭式快速压力机技术条件本标准规定了半闭式快速压力机的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。本标准适用于单、双点半闭式快速压力机。52JB/T13894-2020半闭式快速压力机精度本标准规定了半闭式快速压力机的精度、允差及其检验方法。本标准适用于单、双点半闭式快速压力机。53JB/T13897.1-2020超高压充液成形设备第1部分：通用技术条件本部分规定了超高压充液成形设备的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存。本部分适用于超高压充液成形设备。54JB/T13897.2-2020超高压充液成形设备第2部分：超高压源本部分规定了超高压充液成形设备的超高压源的术语和定义、技术要求。本部分适用于超高压充液成形设备的液压超高压源。55JB/T13897.3-2020超高压充液成形设备第3部分：模具及模架联接要求本部分规定了超高压充液成形设备的模具及模架的技术要求、检验、标志、包装、运输和储存。本部分适用于超高压充液成形设备的模具及模架。56JB/T13898.1-2020多向模锻液压机第1部分：型式与基本参数本部分规定了多向模锻液压机的型式与基本参数。本部分适用于多向模锻液压机。57JB/T13898.2-2020多向模锻液压机第2部分：技术条件本部分规定了多向模锻液压机的技术要求、试验方法、检验规则、包装、运输与贮存、保证等。本部分适用于多向模锻液压机。58JB/T13898.3-2020多向模锻液压机第3部分：精度本部分规定了多向模锻液压机的精度检验。本部分适用于多向模锻液压机。59JB/T13899-2020罐车用卷板机本标准规定了罐车用卷板机的术语和定义、型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、包装、运输和贮存。本标准适用于冷态条件下卷制板材的罐车用卷板机。60JB/T13900-2020机械式粉末成型压力机技术条件本标准规定了机械式粉末成型压力机的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本标准适合于≤5000kN的机械式粉末成型压力机。61JB/T13902-2020机械压力机用离合器可靠性评定方法本标准规定了机械压力机用离合器可靠性评定的故障分类及判定规则、抽样、试验方案、试验方法、试验监测、数据采集、可靠性评定指标和试验结论。本标准适用于机械压力机用离合器的可靠性评定。62JB/T13903-2020机械压力机用气动回转接头本标准规定了机械压力机用气动回转接头术语和定义、型号与图型符号、要求、试验方式、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于以压缩空气为介质的机械压力机用气动回转接头。63JB/T13905-2020切管机用管材切断刀片本标准规定了切管机用管材切断刀片的分类、型号和规格、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于切断金属薄壁管、橡塑管、纸管等管材用的切管机用管材切断刀片。64JB/T13907-2020数控矫圆机本标准规定了数控矫圆机的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存。本标准适用于板材冷卷成形的圆形筒体的数控矫圆机。65JB/T13910.1-2020堆垛机第1部分：型式与基本参数本部分规定了堆垛机的型式、基本参数。本部分适用于金属板材开卷矫平剪切生产线上的堆垛机，其它堆垛机也可参照使用。66JB/T13910.2-2020堆垛机第2部分：技术条件本部分规定了堆垛机的技术要求、试验方法、检验规则、防锈、包装、运输和贮存。本部分适用于金属板材开卷矫平剪切、切割生产线的堆垛机。67JB/T13910.3-2020堆垛机第3部分：精度本部分规定了堆垛机的检验要求、几何精度和工作精度。本部分适用于金属板材开卷矫平剪切生产线的堆垛机。68JB/T13911.1-2020卡压式管件弯头成型机第1部分：型式与基本参数本部分规定了卡压式管件弯头成型机的型式、基本参数。本部分适用于卡压式管件弯头成型机。69JB/T13911.2-2020卡压式管件弯头成型机第2部分：技术条件本部分规定了卡压式管件弯头成型机的技术要求、试验方法、检验规则、包装、运输与贮存。本部分适用于卡压式管件弯头成型机。70JB/T13911.3-2020卡压式管件弯头成型机第3部分：精度本部分规定了卡压式管件弯头成型机的检验要求、几何精度、工作精度。本部分适用于卡压式管件弯头成型机。71JB/T13912-2020开卷线用在线针孔检测装置本标准规定了针孔检测仪的产品型号、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于加工金属薄板的开卷线用在线针孔检测装置。72JB/T13811-2020电动缸本标准规定了电动缸设计、制造和验收的基本要求。本标准适用于伺服电机驱动滚珠丝杠的电动缸。73JB/T13812-2020加工中心性能试验方法本标准规定了加工中心的性能试验条件、试验项目和试验方法。本部分适用于立式和卧式加工中心的性能试验。74JB/T13822-2020链式刀库性能试验规范本标准规定了链式刀库的试验项目和试验方法。本标准适用于带刀具自动交换装置的链式刀库在性能试验装置上用试验法测试链式刀库的性能试验。75JB/T9893-2020滚珠丝杠副滚珠螺母安装连接尺寸本标准规定了常用滚珠丝杠副的滚珠螺母安装、连接尺寸。本标准适用于机床及各类机械产品使用的下列七种结构的公制滚珠丝杠副：a)内循环滚珠丝杠副（包括浮动返向器型和固定返向器型）；b)外循环埋入式滚珠丝杠副；c)外循环凸出式滚珠丝杠副；d)外循环埋入式大导程滚珠丝杠副；e)外循环凸出式大导程滚珠丝杠副；f)外循环埋入式微型滚珠丝杠副。g)端面返向式滚珠丝杠副。其它滚珠丝杠副可参照使用。JB/T9893-199976JB/T13832-2020六轴联动数控砂带磨削机床精度检验本标准规定了六轴联动数控砂带磨削机床的精度要求、检验方法及公差。本标准适用于线性轴线行程至2000mm普通精度六轴联动数控砂带磨削机床。77JB/T13833-2020砂带磨削机床型式与参数本标准规定了各类砂带磨削机床的类型及参数。本标准适用于砂带磨削机床设计、制造。78JB/T13948-2020液压升降坝本标准规定了液压升降坝的术语和定义、分类和型号、技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存、安装、验收、安全管理和运维。本标准适用于钢质和混凝土液压升降坝。79JB/T13949-2020常压轻烃燃气系统供油装置本标准规定了常压轻烃燃气系统供油装置的术语和定义、供油流程、要求、试验方法、检验规则、质量证明文件、标志、包装、运输、贮存和使用等。本标准适用于输送介质密度不大于0.66g/cm3的常压轻烃燃气系统供油装置。80JB/T13950-2020常压液态轻烃气化装置本标准规定了常压液态轻烃气化装置的术语和定义、气化流程、要求、试验方法、检验规则、质量证明文件、标志、包装、运输、贮存和使用等。本标准适用于设计压力小于0.1MPa（表压）的液态轻烃气化装置。81JB/T13676-2020现场混装炸药车及其辅助设施大修与销毁规程本标准规定了现场混装炸药车及其辅助设施的大修与销毁的原则与要求，大修后产品的技术要求、试验方法、检验规则和大修后产品的注意事项。本标准适用于现场混装炸药车及其辅助设施大修与销毁的程序性要求。82JB/T13747-2020砂型铸造生产过程安全操作规范本标准规定了砂型铸造生产全过程的安全操作相关的术语和定义，设备，设备维护一般规定，安全防护，设备操作一般要求，型砂制备、造型、制芯，熔化和浇注，清整和修整等工序安全操作规范。本标准适用于砂型铸造（主要指粘土砂、树脂砂、水玻璃砂等）生产过程中的型砂制备、造型、制芯、熔炼、浇注、清理和打磨（铸钢件、铸铁件和铸铝件）等生产过程的安全操作及其所用主要设备的安全操作。

海顿科克直线传动一直以为都非常擅长为客户的应用定制客户化的运动解决方案，一个典型的例子就是海顿科克为客户定制的直线滑轨系统，这个系统客户要求非常高硬度，精度以及重复定位精度。 这个系统的轴向导向是一个可承受高负载和高硬度的精密滚珠导轨，整个结构都是用挤压铝型材做成，强度可靠，支撑系统地所有部件。在该设计中，驱动装置是一个混合步进电机和一根精密的KERK丝杠。该丝杆由303不锈钢挤压而成，安装在丝杠和滚珠导轨上的是一个机加工铝滑块和一个内置聚甲醛驱动螺母。 该系统可以很容易的调整以适应不同的应用场合，导轨在 &ldquo z&rdquo 向上可承受的最大负载是353 lbs (1570N)，在这个负载下能保证精度。其最大roll, pitch和yaw方向上能承受的扭矩是分别为200 in-lbs (22.65 Nm), 132 in-lbs (13.9 Nm),和 132 in-lbs (13.9 Nm)，在实际应用中能承受的负载还取决于所选用的电机和螺杆的型号，该系统设计使用的螺杆是直径为9.5MM的螺杆，其导程从0.64MM到38.10MM可选。 该系统配一个步距角为1.8度的步进电机可以实现精确的定位，当然一个有刷或者无刷的直流电机也可以用做该系统的驱动电机，特别是在需要高速度，高扭矩的应用场合中，使用有刷或者无刷电机其定位需要靠编码器，编码器也可以根据客户要求加到整个系统中。 对于一些普通的旋转编码器都不能满足其定位要求的应用，该系统依然可以整合安装更高精度的编码器。 更多信息请访问海顿直线电机（常州）有限公司网站http://www.haydonkerk.com.cn

仪器信息网讯 2013年5月15日，“第十一届中国国际科学仪器及实验室装备展览会(CISILE 2013)”在中国国际展览中心召开。本届展会由中国仪器仪表行业协会主办、北京朗普展览有限公司承办。　　新产品新技术一直是各大展会上观众最关注项目，此次展会也展出了部分让观众“眼前一亮”的产品。上海矽感率先将离子迁移谱用于农、兽药残留和非法添加物快检，湖南尚泰“非线性化学指纹图谱智能分析仪”进行真假食品药品鉴别，据介绍离子迁移谱在“地沟油”检测方面已经做了部分研究工作，取得了一些进展。TSI推出的LIBS激光诱导击穿光谱仪采用聚焦脉动激光束使固体材料蒸发产生等离子，进行OES分析，还可以检测有机元素(C、H、O、N)的含量。三种频率KQ-V3200超声波清洗器、针对饮用水、食品研发的CIC-260型离子色谱仪、KM系列万分之一天平、Series 4000系列液相、直线电机BGS08直线导轨系统也受到了广泛关注。KQ-V3200超声波清洗器　　昆山超声仪器推出的KQ-V3200超声波清洗器采用了加热与制冷二种设备自动转换，从而达到了超声液温的精确度及超声连续工作不升温。同时通过45KHZ、80KHZ、和100KHZ的三种频率设定转换和设定自动转换。让被清洗的工件得到了粗洗、清洗、精洗 使清洗槽内产生三种频率的波峰功率，使工件上的不同性质的细微污垢，顽固污垢得到全方位的彻底清洗。IMS-100离子迁移谱　　上海矽感信息科技有限公司推出的IMS-100离子迁移谱快速检测仪，采用脉冲辉光放电离子源，探测灵敏度达ppb级(克伦特罗达到1ppb，久效磷达到0.5ppb)。该产品可实现农产品和食品中农药残留、兽药残留、有害毒素、非法添加物的快速检测。非线性化学指纹图谱智能分析仪　　湖南尚泰测控科技有限公司推出的“非线性化学指纹图谱智能分析仪”吸引了很多观众的关注。据介绍，该产品的原理基于非线性化学反应理论，利用不同化学成分对非线性化学反应的不同影响、通过测定化学反应体系的非平衡信号来获取复杂样品图谱，以实现定性鉴别和定量分析。其应用主要针对食品药品加工、流通及卫生监督、技术监督、工商管理等部门对食品药品原材料、半成品和成品进行真伪鉴别与质量评价。台式LIBS激光诱导击穿光谱仪ChemReveal　　TSI推出的LIBS激光诱导击穿光谱仪ChemReveal是一种原子发射光谱仪，无需样品制备，直接分析固体样品。该产品采用聚焦脉动激光束使固体材料蒸发，从而产生等离子，以进行OES分析，光的密度与元素的密度有关。当被用作超痕量ICP的预检测手段时，LIBS的快速鉴定结果可知道该用何种溶解液和溶解时间，以及决定是否该采用超痕量元素分析。LIBS使用惰性气体扣除背景干扰可检测有机元素(C、H、O、N)的含量。CIC-260型离子色谱仪　　青岛盛翰推出的CIC-260型离子色谱仪是盛瀚针对目前国内亟须解决的饮用水安全和食品安全问题而研发的全塑化通用型、双抑制模式离子色谱仪，为用户提供饮用水中常规无机阴阳离子和消毒副产物及食品中添加剂、溴酸盐、有机酸、胺的全套解决方案。柱恒温系统与仪器一体化设计，由嵌入式自动恒温系统软件系统控制，具有两套加热系统，通过设定大功率工作模式可实现温度骤升，缩短仪器稳定时间 设定小功率工作模式，可提高柱温箱系统控温精度。全塑化流路系统，双抑制模式。　　Series 4000系列液相色谱仪　　天津兰博主要展示新品Series 4000系列液相色谱仪。据天津兰博总经理张振海介绍，“该系列液相由美国LabAlliance专为天津兰博贴牌生产，品牌名为LanBo，今年2月正式推出。”Series 4000主要有三新：新外观、新功能、新配置。外观一改原LabAlliance的风格，功能上一套系统可兼容微量、常规和制备分析，流速范围从1ul/min-20ml/min，系统耐压达10000psi。此外，该系列还提供四元高压泵，集成4泵高压梯度输液系统，提供了搞得梯度精度和分析精度。检测器也有紫外、示差、荧光、二极管阵列等多种选择。直线电机BGS08直线导轨系统　　海顿公司新推出了带滚珠导轨的BGS直线导轨系统，BGS08是为大负载传动专门设计，在大载荷的情况下，它可以保证整个运动的定位精度和重复定位精度。BGS08系统头部的驱动电机是海顿的57000系列电机，传动丝杆由303不锈钢做成，表面涂有TFE涂层，TFE涂层是干性润滑油脂，免维护，与螺杆配套使用的是具有科克专利的消间隙螺母，螺母精密固定在滑块内部，滑块由铝合金材料制成，坚固耐用，另外根据客户需求，可以选配57000系列单叠厚或者双叠厚电机。KM系列万分之一天平　　上海良平推出的KM系列万分之一天平，新一代高精度电磁平衡传感器保障高可靠和高灵敏度。全自动内部校准，可根据时间及温度变化触发校准程序。该产品还有计件、百分比、单位转换、净重配方等有趣而实用的功能。

本文作者：清华大学张书练教授1. 激光干涉仪的发展史做衣量身、体检量高都由尺子完成，这些日常的尺子的刻度是毫米。机械零件加工和检验都要用尺子，在机械制造企业，卡尺、千分尺随处可见，其精确度是0.1 μm，1 μm。1887年迈克尔逊（Michelson）和莫雷（Morley）研究以太[1]是否存在，使用了光。他们以光波长作尺子刻度测量了水平面和垂直面的光速之差，第一次否定了以太的存在。他们利用的是光的干涉现象，这就是光学干涉仪的诞生。注[1]：根据古代和中世纪科学，以太被称为第五元素，是填充地球球体上方宇宙区域的物质。以太的概念在一些理论中被用来解释一些自然现象，例如光和重力的传播。19世纪末，物理学家假设以太渗透到整个空间，以太是光在真空中传播的介质，但是在迈克尔逊-莫利实验中没有发现这种介质存在的证据，这个结果被解释为没有光以太存在。1961年研究人员发明了氦氖激光器，开始用氦氖激光器作为迈克尔逊干涉仪的光源，从而诞生了激光干涉仪。图1是迈克尔逊干涉仪简图。迈克尔逊干涉仪是普通物理的基本实验之一。但今天在科学研究和工业中应用的激光干涉仪出于迈克尔逊，但性能远远胜于迈克尔逊。图1 迈克尔逊干涉仪简图基本上，激光干涉仪都使用氦氖激光器的632.8 nm波长的光，橙红灿烂的光束射向远方，发散角可以小到0.1 mrad，光束截面的光斑均匀。氦氖激光器还可输出绿光、黄光、红外光，但只有632.8 nm波长的光适合作激光干涉仪的光源。其它类型的激光器，如半导体（LD）、固体激光器等的相干等性能都远不及氦氖激光器，研究人员多有尝试，但都没有成功。激光干涉仪有很多应用，但本质都是测量中学课本讲的“位移”，诸多应用都是“位移”的延伸和转化。激光干涉仪有两个主流类型：单频激光干涉仪和双频激光干涉仪。单频干涉仪能做的双频激光干涉仪都能做，但双频干涉仪能做的单频干涉仪不见得能做。由于历史、技术和商业原因，两种干涉仪都有着广泛应用。但在光刻机上，双频激光干涉仪独占市场。单频干涉仪不需要对市场上的氦氖激光器进行改造，直接可用。但双频激光干涉仪用的激光器需要附加技术使其产生双频（两个频率）。历史上，双频激光干涉仪测量位移的速度不及单频激光干涉仪，自发明了双折射-塞曼双频激光器，双频激光干涉仪的测量速度也达到每秒几米，与单频激光器看齐了。按产生双频的方法，双频激光干涉仪分为塞曼双频激光（国外）干涉仪和双折射-塞曼双频激光（国内）干涉仪。现在干涉仪的指标：最小可感知1 nm（十亿分之1 m），可以测量百米长的零件，且测量70 m长的导轨误差仅为几微米。2. 测量位移的干涉仪和测量表面的干涉仪？有几个概念的定义比较混乱（特别是有些研究发展趋势的报告），需要注意。一是“激光测距”和“激光测位移”没有界定，资料往往鹿马不分。二是不少资料所说“激光干涉仪”实际上包含两种不同的仪器，一种是测量面型（元件表面）的激光干涉仪，一种是测量位移（长度）的激光干涉仪。如海关的统计和一些年度报告往往混在一起。激光测距机发出的激光束是一个持续时间纳秒的光脉冲，利用光脉冲达到目标和返回的时间之半乘以光速得到距离，完全和光的干涉无关。尽管激光波面干涉仪和测量位移（长度）的干涉仪都是利用光干涉现象，但仪器的设计、光路结构、探测方式、应用场合几乎没有共同之处。激光波面干涉仪能够测量光学元件表面的形貌，光束直径要覆盖被测零件，在整个零件表面形成系列干涉条纹，根据测量条纹的亮度（也即相位）算出表面的形貌，其光束口径、零件直径可达百毫米；另一种则是测量位移（长度）干涉仪，光干涉发生在直径几毫米光路上，表现为只有光电探测器（眼睛）正对着射来的光线才能“看”到光强度的波动，由波动的整次数和（不足半波长的）小数算出被测件的位移。 3. 双频激光干涉仪的原理和构成当图1的可动反射镜有位移时，光电探测器光敏面会感受到的光强度正弦变化，动镜移动半个波长，光强变化一个周期。光电探测器将光强变化转化为电信号。如探测到电信号变化了一个周期，我们就知道动镜移动了半个波长。计出总周期数测得动镜的位移。 （1）式中：λ为激光波长，N 为电脉冲总数。今天的激光干涉仪使用632.8 nm波长的激光束，半波长即316.4 nm。动镜安装在被测目标上与目标一起位移，如光刻机的机台，机床的动板上。为了提高分辨力，半波长的正弦信号被细分，变成1 nm甚至0.1 nm的电脉冲，可逆计数器计算出总脉冲数，再由计算机计算出位移量S。也常用下式表示动镜的位移， （2）其中∆f为目标运动速度为V时的多普勒频移。式（1）和（2）是等价的，可以互相推导推出来，仅是表方式的不同。图2是今天的双频激光干涉仪框图。它由7个部分构成。图2 双频激光干涉仪原理框图（1） 双频氦氖激光器氦氖激光器上有磁体。磁体为筒形，激光器上加的是纵向磁场，称为纵向塞曼双频激光器。四分之一波长（λ/4）片把激光器输出的左旋和右旋光变成偏振态互相垂直的线偏振光。前文所说的双折射-塞曼双频激光器则是在激光器内置入双折射元件（图内未画出），并加图2所示的磁条。双折射元件使激光器形成双频，横向磁场消除两个频率之间的耦合。双折射-塞曼双频激光干涉仪不需使用四分之一波长片。双频激光器是双频激光干涉仪的核心，很大程度上，它的性能决定激光干涉仪的性能，要求波长（频率）精度高，功率大，寿命长，双频间隔（频差）大且稳定，偏振状态稳定，两频率之间不偏振耦合。这一问题的解决是作者较突出的贡献之一。（2） 频率稳定单元它的作用是保证波长（频率）这把尺子的精确性，达到10-8甚至10-9，即4.74×1014的激光频率长期的变化仅1 MHz左右。（3） 扩束准直器实际上是一个倒装的望远镜，防止光束发散。要求激光出射80 m，光束光斑直径仍然在10 mm之内。（4） 测量干涉光路测量干涉光路包括：从分光镜向右直到可动反射镜（实际是个角锥棱镜），向下到光电探测器2。可动反射镜装在被测目标上（如光刻机工作台上的反射镜），目标的移动产生激光束的频移Δf，Δf和目标速度成正比，积分就是目标走过的距离（位移或长度）。积分由信号处理单元完成。（5） 参考光路参考光路由分光镜-偏振片-光电探测器1实现，参考光路中没有任何元件移动，它测得的位移是“假位移”真噪声。噪声来自环境的扰动。信号处理单元从干涉光路的位移中扣除这一噪声。（6） 温度和空气折射率补偿单元干涉仪测量的目标位移可能长达百米，空气折射率（及改变）和长度的乘积成为激光干涉仪的最主要误差来源之一。用传感器测出温度、气压、湿度，信号处理单元计算出空气折射率引入的假位移，并从结果中扣除。（7）信号处理单元光电探测器1和2，分别把信号f1-(f2±∆f)和f1-f2的光束转化为电信号，±∆f是可动反射镜位移时因多普勒效应产生的附加频率，正负号表示位移的方向。电信号经放大器、整形器后进入减法器相减，输出成为仅含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算即可得出可动反射镜的位移量。环境温度，气压，湿度引入的折射率变化（假位移）送入计算机计算，扣除他们的影响。最后显示。相当多的应用要求计算机和应用系统通讯，实现对加工过程的闭环控制。4. 激光干涉仪的应用一般说来，激光干涉仪的主要用途是测量目标的运动状态，即目标的线性位移大小、旋转角度（滚转、俯仰和偏摆）、直线度、垂直度、两个目标在运动的平行性（度）、平面度等。无论光刻机的机台，还是数控机床的导轨（包括激光加工机床），不论是飞行物，还是静止物的热膨胀、变形，一旦需要高精度，都要用激光干涉仪测量，得到目标的运动状态。运动状态用由多个参数给出。以光刻机两维运动中的一个方向运动时为例，位移（走过的长度）、机台位移过程中的偏 转（ 角 ）、俯仰 （ 角 ）和滚转（角）都需要测出。很多类型的设备需要测量，如各类机床、三坐标测量机、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。图3（a）（b）（c）（d）（e）是几个应用的例子。美国LIGO激光干涉仪实验室宣称首次直接测量到了引力波(2016)，使用的仪器是激光干涉仪，单程臂长4 km。见图4。图3 激光干涉仪几个应用的例子来源：(a)(b)(c)由北京镭测科技有限公司提供，(d)(e)来自深圳市中图仪器股份有限公司网页图4 LIGO激光干涉仪来源：https://www.ligo.caltech.edu/image/ligo20150731c 5. 双频激光干涉仪发展存在的问题（1）国内外单频和双频激光干涉仪的进展及问题多年来，国内外在单频和双频激光干涉仪方面进步不大，特例是双折射-塞曼双频激光器的发明。由于从国外购买的激光器不能产生大间隔的双频光，原有国内双频激光干涉仪的供应商基本停产。以前作为基础研究的双折射-塞曼双频激光器被推到前台。双频激光器是干涉仪的核心技术，走在了世界前端，也解决了国内无源的重大难题。北京镭测科技有限公司的开发、纠错，终于使双折射-塞曼双频激光干涉仪实现产品化，进入先进制造全行业，特别是光刻机。北京镭测科技有限公司双折射-塞曼双频激光器达到指标：频率间隔可在1 ~ 30 MHz之间选择，功率可达1 mW。 频率差与激光功率之间没有相互影响，没有塞曼效应的双频激光器高功率和大频率差不能兼得的缺点。尽管取得进展，但氦氖激光器的制造工艺等是个系统性技术问题，需要全面改善。特别是，国外双频激光干涉仪的几家企业的激光器都是自产自用，不对外销售，因此，我们必须自己解决问题。（2）业界往往忽略干涉仪的非线性误差很长时期以来，业界认为单频干涉仪没有非线性误差。德国联邦物理技术研究院(PTB) 经严格测试发现，单频干涉仪也存在几纳米的非线性误差，甚至大于10 nm。塞曼效应的双频干涉仪也有非线性误差，也是无法消除。对此干涉仪测量误差，大多使用者是不知情的。到目前，中国计量科学院的测试得出，北京镭测科技生产的双频激光干涉仪的非线性误差在1 nm以下。建议把中国计量科学院的仪器批准为国家标准，并和德国、美国计量院作比对。非线性误差发生在半个波长的位移内，即使量程很小也照样存在。图5 中国计量科学研究院：镭测LH3000双频激光干涉仪在进行测长比对6. 双频激光干涉仪的未来挑战本文作者从事研究双折射-塞曼双频激光器起步到成批生产双折射-塞曼双频激光干涉仪，历经近40年，建议加强以下研究。（1）高测速制造业的发展很快，精密数控机床运动速度已达几m/s，有特殊应用提出达到10 m/s的要求。目前单频激光的测量速度还没有超过5 m/s。双折射-塞曼双频激光干涉仪的测速也处于这一水平，但其频率差的实验已经达到几十MHz，有待信号处理技术的跟进发展，实现10 m/s以上的测量速度。（2）皮米干涉仪市场上的干涉仪基本都标称分辨力1 nm，也有0.1 nm的广告。需要发展皮米分辨力的激光干涉仪以满足对原子、病毒尺度上的观测要求。（3）溯源前文已经提到，小于半波长的位移是把正弦波动信号电子细分得到标称的1 nm，和真实的1 nm相差多少？没有人知道，所以需要建立纳米、皮米的标准。作者曾做过初步努力，达到10 nm的纯光学信号，还需做长期艰苦的研究。（4）提高氦氖激光器寿命在未来很长一段时间，氦氖激光器仍然是激光干涉仪最好的光源，但其漏气的特点导致其使用寿命有限，替换寿命终结的氦氖激光器导致光刻机停机，会带来巨大经济损失。因此，延长氦氖激光器寿命十分有必要。没有测量就没有科学技术，没有精密测量就没有当今的先进制造，为此作者最近出版了题名《不创新我何用，不应用我何为：你所没有见过的激光精密测量仪器》的书籍，书的主标题似是铭志抒怀，而实际内容是一本地道的学术专著，书籍内容为作者的课题组近40年做出的创新成果总结。作者简介张书练，清华大学教授，博导。曾任清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室主任，清华大学光学工程研究所所长，主要研究方向为激光技术与精密测量，致力于激光器特性的研究和把这些特性应用于精密测量，是国内外正交偏振激光精密测量领域的的主要创始人。

精密位移传感器技术比较PIEZOCONCEPT 在其压电级中使用什么类型的位移传感器？为什么它优于其他传感器技术？PIEZOCONCEPT 使用单晶硅传感器，称为Si-HR 传感器。尽管它是应变仪传感器大系列的一部分，但它的性能优于其他两种常用技术（电容式传感器和金属应变仪）。这两种位置传感技术有其自身的特定缺点。 电容式传感器与 PIEZOCONCEPT 公司Si-HR 传感器的比较电容式传感器非常常用。他们提供了不错的表现，但他们对以下情况很敏感：• 气压变化：空气的介电常数取决于气压。电容测量将受到任何压力变化的影响。• 温度变化：同样的，空气的介电常数会随温度变化• 污染物的存在以上所有都会导致一些纳米级的不稳定性，因此如果您想实现真正的亚纳米级稳定性，则需要将它们考虑在内。即使可以对气压和温度进行校正，也无法校正其他因素（污染物、脱气）的影响。这解释了电容式传感器在真空环境中性能不佳的原因。此外，电容式传感器非常昂贵且体积庞大。因此，带有电容传感器的位移台不可能做的有像的 BIO3/LT3 这样薄，即使设计的好也会在稳定性方面进一步牺牲性能。因为它是一种固态技术，所以Si-HR 传感器的电阻不依赖于气压或污染物的存在。其次，温度变化会对测量产生影响（主要是因为材料的热膨胀），但这可以通过使用传感器阵列来纠正。基本上，我们为每个轴平行使用 2 个硅传感器 - 一个用于测量，另一个用于考虑由于温度变化导致的材料膨胀。金属应变计与 PIEZOCONCEPT Silicon HR 技术的比较金属应变计与我们的 Silicon HR 技术（也是应变计）之间的差异更大。金属应变计和硅传感器应变计之间存在两个巨大差异。竞争对手试图说所有的应变仪都具有相同的性能，因为它们测量的是应变。这是不正确的。半导体应变计在稳定性方面与金属应变计有很大不同。金属应变计和Si-HR 传感器（PIEZOCONCEPT 使用）之间的第yi个区别是应变系数：半导体应变仪（Si-HR）的应变系数大约是金属应变仪的 100 倍。更高的规格因子导致更高的信噪比，最终导致更高的稳定性。 更重要的是，第二个区别是金属应变计不能直接安装在弯曲本身上（即实现运动的地方）：金属应变计必须安装在某种“背衬”上。因此，它必须安装在执行器本身上，因为您没有足够的空间将其安装在挠性件上。仅在执行器上测量的问题是压电执行器有很多缺陷......存在蠕变或滞后等现象。因此，由于压电执行器的伸长不均匀，因此仅测量执行器的部分伸长率并不能精确地扣除其完全伸长率。通过对弯曲本身进行测量，我们不会遇到这种“不均匀”问题。由于上述原因，如果您比较应变计（金属）和 PIEZOCONCEPT 的Si-HR 传感器，在信噪比和稳定性方面存在巨大差异。 关于法国PIEZOCONCEPT公司 PIEZOCONCEPT 是压电纳米位移台领域的领宪供应商，其应用领域包括但不限于超分辨率显微镜、光阱、纳米工业和原子力显微镜。其产品已被国内外yi流大学和研究所从事前沿研究的知名科学家使用，在工业和科研领域受到广泛好评。 多年来，纳米定位传感器领域电容式传感器一直占据市场主导地位。但这项技术存在明显的局限性。PIEZOCONCEPT经过多年研究，开发出硅基高灵敏度位置传感器（Silicon HR）技术，Si-HR传感器可以实现更高的稳定性和线性度，以满足现代显微镜技术的更高分辨率要求。 PIEZOCONCEPT的目标是为客户提供一个物美价廉的纳米或亚纳米定位解决方案，让客户享受到市面上蕞高的定位准确性和稳定性的产品使用体验。我们开发了一系列超稳定的纳米定位器件，包含单轴、两轴、三轴、物镜扫描台、快反镜和配套器件，覆盖5-1500um行程，品类丰富，并提供各类定制化服务。与市场上已有的产品相比具有显着优势，Piezoconcept的硅传感器具有很好的稳定性、超本低噪声和超高的信号反馈，该技术优于市场上昂贵的高端电容传感器。因此，我们的舞台通过其简单而高效的柔性设计和超本低噪声电子器件提供皮米级稳定性和亚纳米（或亚纳米弧度）本底噪声。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。

HaydonKerk Pittman是全球精密运动控制方案的领军型企业，最近全新推出一款新品—MiniSlide微型直线模组。该模组具有高可配置性、易于集成、结构紧凑、稳定、高性价比等特点。如今，实验室设备和自动化设计人员比以往任何时候都更需要适合紧凑空间的复杂运动控制解决方案。所以，相应的设备制造商需要既匹配其应用又经济实惠的解决方案。针对这一痛点，HaydonKerk Pittman全新推出一款新品—MiniSlide微型直线模组。该模组充分考虑了系统的集成性，可以大大减少购买单个组件组装所带来的时间、性能、成本等问题。创新点：快速组合成X-Y运动平台MiniSlide颠覆了传统的直线模组设计思路，它除了可以单独作为一个单轴的模组使用，还可以把两个模组组合起来，形成一个X-Y运动平台，非常的简单快捷，而且有效，为实验室设备和自动化设计人员提供了一个既能节省空间，又能满足多运动方向要求的客制化解决方案。定制的选项 MiniSlide系列提供了巨大的设计灵活性，具有以下定制的选项： -驱动电机-模组行程-螺杆导程-TFL涂敷-负载滑块高级产品经理David Kosewski表示："当仪器厂家的工程师们在开发新产品的一个新的直线传动机构时，通常是通过购买一系列的运动部件将它们整合在一起，认为这是最经济的方法。在选择直线导向机构时，通常选择的是滚珠导轨。在选择直线导向机构时，通常选择的是滚珠导轨。在选择直线导向机构时，通常选择的是滚珠导轨。这些都是很好的产品，但是对大部分的应用来说，负载能力是过度的，而且非常昂贵。选择MiniSlide微型直线模组则可以解决这些问题。MiniSlide是HKP核心竞争力的结晶，是一体化集成制造的产品，包含了我们数十年解决客户运动控制需求的经验。MiniSlide是一个集合尺寸紧凑、经济性和可靠性于一体的产品。我们利用工程塑料注塑方面的经验为MiniSlide开发了一个整体的支架，它不仅是负载的载体，同时还是导杆的衬套，和螺杆的驱动螺母。通过把步进电机整合到模组中，不仅仅使得电机作为具体应用的动力源，同时也让整个模组实现超高的分辨率和重复定位精度。"应用领域非常适合用于实验室设备应用，如样品处理、光谱仪和色谱仪、分子分析仪、光学显微镜和其他检测设备。

海顿科克直线传动是设计直线运动产品的主要生产厂家，现全新推出SAA06系列电动SplineRail线性执行器。一般来说，直线运动都要求两个独立的组件来处理驱动和导向，但是海顿科克的SR滑轨将这两个机构简化结合在一个单一的，同轴机构中。 该SR滑轨采用了轴承支撑的精密冷轧科克丝杠，置于同轴铝导套内，用以驱动Kerkite聚合物材料的集成螺母套。铝型材花键提供了良好的扭转稳定性。 KerKote TFE涂层和自润滑Kerkite螺母套材料确保使用寿命长，免维护。该电动SR滑轨使用海顿Size17的单叠厚或者双叠厚直线步进电机。 当垂直安装时，该滑轨也可以用于同时提升和旋转（Z轴）。用一个电机驱动螺杆，另一个转动导轨，这样就建立了一个自动抓放机构。螺杆导程从0.05&rdquo 到1.2&rdquo 提供了宽泛的性能区间，包括不需要外部动力或刹车就可以支撑负载的自锁螺纹。海顿科克专门从事客户运动解决方案，而SR滑轨就是基于此而研制的多功能平台。 该产品可以广泛应用在医疗器械，半导体设备，科学仪器，包装机械等一系列自动化设备上，得益于海顿和科克两个产品的完美结合，大大节省了安装空间，简化了机械结构，并且产品质量优异，免维护！ 更多信息请访问海顿直线电机（常州）有限公司网站http://www.haydonkerk.com.cn

在庆祝中国共产党百年华诞之际，由国家发改委立项支持、中科院高能物理研究所承建的高能同步辐射光源（HEPS）首台科研设备于6月28日上午安装，为其提供技术研发与测试支撑能力的先进光源技术研发与测试平台（PAPS）启动试运行。其中，中科科仪控股公司中科科美研制的直线式劳埃透镜镀膜装置及纳米聚焦镜镀膜装置也于同一天正式投入使用。直线式劳埃透镜镀制装置及纳米聚焦镜镀制装置可实现各类高能物理装置聚焦镜、单色镜、劳埃镜、纳米聚焦镜等膜层制备。在两装置研制过程中，中科科美突破了多项先进制造技术：精密加工制造技术，实现大型真空腔室及复杂运动系统精密加工与装配、减震及超洁净等严苛设计指标；大型真空系统超高真空获得技术，实现结构复杂、内部零部件放气量大的大型真空腔室系统极限真空度达到10-6Pa；高精度直线运动控制技术，实现长距离导轨运行平行度达到微米量级、运动系统速率稳定性控制在千万之一以内；复杂镀膜工艺技术，实现高精度纳米量级万层镀膜工艺，膜厚精度控制在0.1纳米以内。经相关主管部门和院所专家委员会现场测试，高精密镀膜装置结构设计合理、制造工艺先进、主要性能指标达到国际同类产品水平，填补了该领域内多项国内技术空白。直线式劳埃透镜镀制装置HEPS是国家“十三五”重大科技基础设施项目之一，该项目于2019年6月29日开工建设，建设周期6.5年。建成时，HEPS将成为中国第一台高能量同步辐射光源之一，为基础科学和工程科学领域原创性、突破性创新研究提供重要支撑平台。中科科仪控股公司中科科美凭借在真空系统集成领域深厚的专业技术积淀、强大的整体方案解决能力和一站式服务能力参与到该项目中，为国家重大科技基础设施项目实施和技术攻关贡献了力量。

超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器 杨宏兴 1，2，付海金 1，2，胡鹏程 1，2*，杨睿韬 1，2，邢旭 1，2，于亮 1，2，常笛 1，2，谭久彬 1，2 1 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，黑龙江 哈尔滨 150080； 2 哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室，黑龙江 哈尔滨 150080 摘要 针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求，哈尔滨工业大学深入探索了传统的共 光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差 精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉仪，激 光真空波长相对准确度最高达 9. 6×10-10，位移分辨力为 0. 077 nm，光学非线性误差最低为 13 pm，最大测量速度 为 5. 37 m/s。目前该系列仪器已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测 试领域，为我国光刻机等高端装备发展提供了关键技术支撑和重要测量手段。 关键词 光学设计与制造；激光干涉；超精密高速位移测量引 言 激光干涉位移测量（DMLI）技术是一种以激光 波长为标尺，通过干涉光斑的频率、相位变化来感知位移信息的测量技术。因具有非接触、高精度、高动 态、测量结果可直接溯源等特点，DMLI 技术和仪器被广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、 精密运动测试与高端装备集成等场合。特别是在微电子光刻机等高端装备中嵌入的超精密高速激光干涉仪，已成为支撑装备达成极限工作精度和工作效率的前提条件和重要保障。以目前的主流光刻机为例，其内部通常集成有 6 轴至 22 轴以上的超精密高速激光干涉仪，来实时测量高速运动的掩模工件台、 硅片工件台的 6 自由度位置和姿态信息。根据光刻机套刻精度、产率等不同特性要求，目前对激光干涉的位移测量精度需求从数十纳米至数纳米，并将进一步突破至原子尺度即亚纳米量级；而位移测量速度需求，则从数百毫米每秒到数米每秒。 对 DMLI 技术和仪器而言，影响其测量精度和测量速度提升的主要瓶颈包括激光干涉测量的方法原理、干涉光源/干涉镜组/干涉信号处理卡等仪器关键单元特性以及实际测量环境的稳定性。围绕光刻机等高端装备提出的超精密高速测量需求，以美国 Keysight 公司（原 Agilent 公司）和 Zygo 公司为代表的国际激光干涉仪企业和研发机构，长期在高精度激光稳频、高精度多轴干涉镜组、高速高分辨力干涉信号处理等方面持续攻关并取得不断突破， 已可满足当前主流光刻机的位移测量需求。然而， 一方面，上述超精密高速激光干涉测量技术和仪器 已被列入有关国家的出口管制清单，不能广泛地支撑我国当前的光刻机研发生产需求；另一方面，上述技术和仪器并不能完全满足国内外下一代光刻机研 发所提出的更精准、更高速的位移测量需求。 针对我国光刻机等高端装备研发的迫切需求， 哈尔滨工业大学先后探索了传统的共光路双频激光干涉测量方法和新一代的非共光路双频激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差精 准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等关键技术方 面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉 仪，可在数米每秒的高测速下实现亚纳米级的高分辨力高精度位移测量，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域。该技术和仪器不仅直接为我国当前微电子光刻机研发生产提供了关键技术支撑和核心 测量手段，而且还可为我国 7 nm 及以下节点光刻机研发提供重要的共性技术储备。高精度干涉镜组设计与研制 高精度干涉镜组的 3 个核心指标包括光学非线性、热稳定性和光轴平行性，本课题组围绕这 3 个核心指标（特别是光学非线性）设计并研制了前后两代镜组。 共光路多轴干涉镜组共光路多轴干涉镜组由双频激光共轴输入，具备抗环境干扰能力强的优点，是空间约束前提下用于被测目标位置/姿态同步精准测量不可或缺的技术途径，并且是光刻机定位系统精度的保证。该类干涉镜组设计难点在于，通过复杂光路中测量臂和参考臂的光路平衡设计保证干涉镜组的热稳定性，并通过无偏分光技术和自主设计的光束平行性测量系统，保证偏振正交的双频激光在入射分光及多次反射/折射后的高度平行性［19- 20］。目前本课题组研制的 5 轴干涉镜组（图 11） 可实现热稳定性小于 10 nm/K、光学非线性误差小于 1 nm 以及任意两束光的平行性小于 8″，与国 际主流商品安捷伦 Agilent、Zygo 两束光的平行性 5″~10″相当。 图 11. 自主研制的共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图非共光路干涉镜组 非共光路干涉镜组在传统共光路镜组的基础上， 通过双频激光非共轴传输避免了双频激光的频率混叠，优化了纳米量级的光学非线性误差。2014 年，本课题组提出了一种非共光路干涉镜组结构［2，21］，具体结构如图 12 所示，测试可得该干涉镜组的光学非 线性误差为 33 pm。并进一步发现基于多阶多普勒 虚反射的光学非线性误差源，建立了基于虚反射光迹精准规划的干涉镜组光学非线性优化算法，改进并设计了光学非线性误差小于 13 pm 的非共光路干涉镜组［2-3］，并通过双层干涉光路结构对称设计保证热稳定性小于 2 nm/K［22- 25］。同时，本课题组也采用多光纤高精度平行分光，突破了共光路多轴干涉镜组棱镜组逐级多轴平行分光，致使光轴之间的平行度误差 逐级累加的固有问题，保证多光纤准直器输出光任意 两个光束之间的平行度均小于 5″。 图 12. 自主设计的非共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图基于上述高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技 术，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉仪 （图 17），其激光真空波长准确度最高达 9. 6×10-10 （k=3），位移分辨力为 0. 077 nm，最低光学非线性误差为 13 pm，最大测量速度为 5. 37 m/s（表 2）。并成功应用于上海微电子装备（集团）股份有限公司 （SMEE）、中国计量科学研究院（NIM）、德国联邦物理技术研究院（PTB）等十余家单位 ，在国产光刻机、国家级计量基准装置等高端装备的研制中发挥了关键作用。 图 17. 自主研制的系列超精密高速激光干涉仪实物图。（a）20轴以上超精密高速激光干涉仪；（b）单轴亚纳米级激光干涉仪；（c）三轴亚纳米级激光干涉仪超精密激光干涉仪在精密工程中的实际测量， 不仅考验仪器的研制水平，更考验仪器的应用水 平，如复杂系统中的多轴同步测量，亚纳米乃至皮 米量级新误差源的发现与处理，高水平的温控与隔 振环境等。下面主要介绍超精密激光干涉仪的几 个典型应用。 国产光刻机研制：多轴高速超精密激光干涉仪 在国产光刻机研制方面，多轴高速超精密激光 干涉仪是嵌入光刻机并决定其光刻精度的核心单元之一。但是，一方面欧美国家在瓦森纳协定中明确规定了该类干涉仪产品对我国严格禁运；另一方面该类仪器技术复杂、难度极大，我国一直未能完整掌握，这严重制约了国产光刻机的研制和生产。 为此，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉测量系统，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域，典型应用如图 18 所示，其各项关键指标均满足国产先进光刻机研发需求，打破了国外相关产品对我国 的禁运封锁，在国产光刻机研制中发挥了重要作用。在所应用的光刻机中，干涉仪的测量轴数可达 22 轴以上，最大测量速度可达 5. 37 m/s，激光真空 波 长/频 率 准 确 度 最 高 可 达 9. 6×10−10（k=3），位 移 分 辨 力 可 达 0. 077 nm，光 学 非 线 性 误 差 最 低 为 13 pm。 配 合 超 稳 定 的 恒 温 气 浴（3~5 mK@ 10 min）和隔振环境，可以对光刻机中双工件台的多维运动进行线位移、角位移同步测量与解耦，以满足掩模工件台、硅片工件台和投影物镜之间日益复杂的相对位置/姿态测量需求，进而保证光刻机整体套刻精度。图 18. 超精密高速激光干涉测量系统在光刻机中的应用原理及现场照片国家级计量基准装置研制：亚纳米精度激光干涉仪 在国家级计量基准装置研制方面，如何利用基本物理常数对质量单位千克进行重新定义，被国际知名学术期刊《Nature》评为近年来世界六大科学难题之一。在中国计量科学研究院张钟华院士提出的“能量天平”方案中，关键点之一便是利用超精密激光干涉仪实现高准确度的长度测量，其要求绝对测量精度达到 1 nm 以内。为此，本课题组研制了国内首套亚纳米激光干涉仪，并成功应用于我国首套量子化质量基准装置（图 19），在量子化质量基准中 国方案的实施中起到了关键作用，并推动我国成为首批成功参加千克复现国际比对的六个国家之一［30- 32］。为达到亚纳米级测量精度，除了精密的隔振与温控环境以外，该激光干涉仪必须在真空环境 下进行测量以排除空气折射率对激光波长的影响， 其测量不确定度可达 0. 54 nm @100 mm。此外，为了实现对被测对象的姿态监测，该干涉仪的测量轴 数达到了 9 轴。图 19. 国家量子化质量基准及其中集成的亚纳米激光干涉仪 结论 近年来，随着高端装备制造、精密计量和大科学装置等精密工程领域技术的迅猛发展，光刻机等高端制造装备、能量天平等量子化计量基准装置、 空间引力波探测等重大科学工程对激光干涉测量技术提出了从纳米到亚纳米甚至皮米量级精度的 重大挑战。对此，本课题组在超精密激光干涉测量方法、关键技术和仪器工程方面取得了系列突破性进展，下一步的研究重点主要包括以下 3 个方面： 1）围绕下一代极紫外光刻机的超精密高速激光干涉仪的研制与应用。在下一代极紫外光刻机中，其移动工件台运动范围、运动精度和运动速度将进一步提升，将要求在大量程、6 自由度复杂耦合、高速运动条件下实现 0. 1 nm 及以下的位移测量精度，对激光干涉仪的研发提出严峻挑战；极紫外光刻机采用真空工作环境，可减小空气气流波动和空气折射率引入的测量误差，同时也使整个测量系统结构针对空气- 真空适应性设计的复杂性大幅度增加。2）皮米激光干涉仪的研制与国际比对。2021年， 国家自然科学基金委员会（NSFC）联合德国科学基 金会（DFG）共同批准了中德合作项目“皮米级多轴 超精密激光测量方法、关键技术与比对测试”（2021 至 2023 年）。该项目由本课题组与德国联邦物理技术研究院（PTB）合作完成，预计将分别研制下一代皮米级精度激光干涉仪，并进行国际范围内的直接 比对。3）空间引力波探测。继 2017 年美国 LIGO 地面引力波探测获诺贝尔物理学奖后，各国纷纷开展了空间引力波探测计划，这些引力波探测器实质上就是巨型的超精密激光干涉仪。其中，中国的空间引力波探测计划，将借助激光干涉仪在数百万公里距离尺度上，实现皮米精度的超精密测量，本课题组在引力波国家重点研发技术项目的支持下，将陆 续开展卫星- 卫星之间和卫星- 平台质量块之间皮米级激光干涉仪的设计和研究，特别是皮米级非线性实现和皮米干涉仪测试比对的工作，预期可对空间引力波探测起到积极的支撑作用。本课题组在超精密激光干涉测量技术与仪器领域有超过 20 年的研究基础，建成了一支能够完全自主开发全部激光干涉仪核心部件、拥有完整自主知识产权的研究团队，并且在研究过程中得到了 12 项国家自然科学基金、2 项国家科技重大专项、2 项 国家重点研发计划等项目的支持，建成了超精密激光测量仪器技术研发平台和产业化平台，开发了系列超精密激光干涉测量仪，在国产先进光刻机研发、我国量子化质量基准装置等场合成功应用，推动了我国微电子光刻机等高端装备领域的发展，并将通过进一步研发，为我国下一代极紫外光刻机研 发、空间引力波探测、皮米激光干涉仪国际比对提供支撑。全文详见：超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器.pdf

连日来，新型冠状病毒肺炎牵动着每个人的心。抗击疫情，时间就是生命！阿美特克Haydon Kerk Pittman（HKP）电机产品应用于医疗IVD企业的PCR检测设备，全力支持此次疫情的防控和诊断。HKP的电机产品以其高精度和可靠性在医疗行业得到广泛应用，主要用于荧光定量聚合酶链反应（PCR）分析检测系统和全自动核酸提取设备中的机械部件控制，保证样本提取的精准性。疫情当前，众多医疗IVD企业的PCR检测设备纷纷投入到此次疫情防控和诊断中。作为PCR检测设备的核心供应商，HKP尽其所能全力支持并配合医疗IVD企业，以最快的响应速度、可靠的产品和专业的服务为己任，优先对疫情防控相关的医疗IVD企业提供产品，共同抗击疫情！武汉加油！中国加油！关于HKPHaydon Kerk Pittman（HKP）是精密运动控制领域3个品牌的组合，分别是Haydon、Kerk和Pittman。作为阿美特克精密运动控制（AMS）部门成员，HKP供应各种精密直线和旋转运动产品，被公认为是精密梯形丝杠和消隙螺母组件、直线步进电机、直线导轨和导向系统、有刷和无刷电机以及完全定制系统的领先制造商。HKP在全球范围内为实验室自动化、医疗仪器、半导体制造、运输、楼宇自动化和工业自动化等苛刻市场提供高性能的解决方案和产品。阿美特克是电子仪器和机电设备的全球领导者，年销售额约为50亿美金。为材料分析、超精密测量、过程分析、测试测量与通讯、电力系统与仪器、仪表与专用控制、精密运动控制、电子元器件与封装、特种金属产品等领域提供技术解决方案。全球共有18,000多名员工，150多家工厂，在美国及其它30多个国家设立了100多个销售及服务中心。

Haydonkerk Pittman最新推出了一款高效、精确、紧凑的双轴控制运动系统“Z-Theta”，该系统可以在超小空间中同时实现直线+旋转双轴运动，产品设计充分考虑了系统的集成性，与传统设计（需要多个供应商和复杂组装配件）不同，Z-Theta 是一个模块化设计的系统， 客户可以直接使用，给OEM 厂家的集成提供了极大的便利。Z-Theta双轴控制运动系统将ScrewRail花键轴、 螺杆和导轨集成在了一个细长的同轴管中，结合独特且紧凑的Haydonkerk双运动电机系统，实现了直线+旋转双轴运动。与其他方案相比，该系统减少了50%~80% 空间，更加紧凑，并且性价比更高，也更可靠。Z-Theta双轴控制运动系统 的优点：• 空间紧凑，尺寸小• 易于设备系统中集成• 模块集成化设计减少了采购成本和时间• 对于特殊应用可优化配置性能• 可兼容大部分驱动器和控制器Z-Theta双轴控制运动系统具有性能优越，使用寿命长且运行平稳、静音等优点，使得其在医疗仪器，实验室设备，机械自动化、半导体和轻工业自动化等应用中具有绝对优势。该系统支持客户个性化定制，包含多种螺杆导程、自由式或消间隙螺母、步进电机、多种分辨率的光学编码器等多种配置可选。Haydonkerk Pittman产品研发经理Join Keith Knight表示：“Z-theta 是一款高速、精确、尺寸紧凑、高性价比的双轴运动控制系统，Z-theta 双轴控制运动系统开发设计时特别考虑了实验室的自动化设备，适用于例如自动取样器、分析仪器、DNA测序仪等需要精密且高速运动的应用场景。随着实验室设备中的化学提取和分析工艺的进步，样品和流体部分的运动控制正在成为设备中越来越重要的一部分，设备体积越来越小是实验室设备发展的趋势。”Haydon Kerk Pittman在动控制应用和行业方面有丰富的经验，再加上对运动控制组件的专业了解，可以成为您下一个运动控制项目的合作伙伴。关于Haydonkerk PittmanHaydon Kerk Pittman是由精密运动控制领域3个品牌的组合，分别是Haydon、Kerk和Pittman。作为阿美特克精密运动控制（AMS）部门成员，Haydon Kerk Pittman （HKP）供应各种精密直线和旋转运动产品，被公认为是精密梯形丝杠和消隙螺母组件、直线步进电机、直线导轨和导向系统、有刷和无刷电机以及完全定制系统的领先制造商。HKP在全球范围内为实验室自动化、医疗仪器、半导体制造、运输、楼宇自动化和工业自动化等苛刻市场提供高性能的解决方案和产品。阿美特克是电子仪器和机电设备的全球领导者，年销售额约为50亿美金。为材料分析、超精密测量、过程分析、测试测量与通讯、电力系统与仪器、仪表与专用控制、精密运动控制、电子元器件与封装、特种金属产品等领域提供技术解决方案。全球共有18,000多名员工，150多家工厂，在美国及其它30多个国家设立了100多个销售及服务中心。

光机产品质量的检验方法是否正确关系产品质量的好坏，看卓立汉光光机产品出厂前如何严把质量关？卓立汉光自1999年成立以来，不断深耕细作，我们从研发生产光学精密机械产品起步，目前公司的电控位移台、手动位移台、光学调整架等产品已经形成产品系列化,规格多元化，国内多家科研单位、激光加工设备厂商、光纤设备厂商在使用我们的产品。“好光机，卓立造”我们坚持从设计、零件选型、制造、装配、检验、包装、运输、直到售后服务做好质量保证，就是要让您 “付有所值”。公司的产品出厂前均按照国家标准、行业标准、或企业标准（部分高于上述同类标准）进行检验，我们根据 ISO9001 ：2015 国际质量管理体系的要求，对于产品的技术指标负责，我们所使用的检测仪器定期送至国家计量单位进行校准。卓立汉光所使用的测量仪器和实验仪器：名称检验精度或范围厂家国别说明5维激光干涉仪长度方向：0.02μm角度：0.1＂美国成品检测三坐标测量仪（也称三次元测量仪）系统分辨率：0.078μm测量精度：2.8μm+L/300合资（瑞典）零件检测、成品检测平面度检测仪0.01～0.001mm/m中国成品检测振动频率检测仪0.06～1000Hz中国成品检测安规综合测试系统漏电流：0.01mA接地电阻：0.01Ω英国成品检测（电子类）数显测微自准直仪0.1＂中国成品检测齿轮双面啮合综合检查仪1μm中国零件检测万能工具显微镜1μm中国部分成品及零件检测洛氏硬度计20～70HRC中国部分成品及零件检测机械振动台加速度:10g；频率：10～80Hz中国成品检测高低温循环实验箱-40～150°C中国成品检测常规检测设备：包括000级大理石测试平台、万用表、示波器、光栅尺及数显表、万能角度尺、卡尺、刀口尺、卓立汉光可检测项目（部分）1、零件检测项目卓立汉光零件检测中除了常规检测手段外，针对 FA 工业品中的若干系列，如 ：CXP 系列、SIN 系列、TBR 系列、XYR 系列电动滑台，核心零件采用 ：洛氏硬度计、齿轮双面啮合综合检查仪、三坐标测量仪等进行检测，确保零件质量。检测零件检测项目检测范围检测设备常规机加工零件物理尺寸及图纸要求所有产品常规检测设备关键机加工零件有关键指标的基准面、定位面的精度等所有产品三坐标测量仪蜗轮蜗杆材料TBR系列、TBG系列等第三方检测机构蜗轮蜗杆硬度TBR系列、TBG系列等洛氏硬度计蜗轮蜗杆啮合精度限TBR系列齿轮双面啮合综合检查仪丝杠物理尺寸及图纸要求所有产品常规检测设备丝杠同轴度限CXP系列、SIN系列、XYR系列抽检三坐标测量仪、齿轮双面啮合综合检查仪导轨及轴承物理尺寸及图纸要求所有产品常规检测设备导轨及轴承基准面、定位面精度所有产品三坐标测量仪、常规检测设备常规外购零件物理尺寸及图纸要求所有产品常规检测设备关键外购零件有关键指标的基准面、定位面的精度等所有产品三坐标测量仪2、成品检验项目卓立汉光成品检测中除了常规检测手段外，针对 FA 工业品中的若干系列，如 ：CXP 系列、SIN 系列、TBR 系列、XYR 系列电动滑台，新增：微步能力、微步运动时重复定位精度、微步运动时回程间隙、静态平行度、背隙等指标的检测，确保成品更符合工业设备使用要求。检测项目直线及升降滑台旋转、摆动滑台及对位平台检测设备行程所有产品所有产品常规检测设备重复定位精度所有产品所有产品常规检测设备微步运动重复定位精度限CXP系列/激光干涉仪回程间隙所有产品所有产品常规检测设备背隙CXP系列、KA系列、PA系列TBR系列、TBG系列推力计、千分表微步运动回程间隙限CXP系列/激光干涉仪运动性能（包括速度、加速度等）标称该技术指标的产品标称该技术指标的产品常规检测设备精度（绝对定位精度）CXP系列、KA系列、PA系列限TBR系列、DDR系列激光干涉仪微步能力限CXP系列/激光干涉仪或千分表运动直线度标称该技术指标的产品/激光干涉仪或自准直仪运动平行度标称该技术指标的产品/激光干涉仪或自准直仪静态平行度标称该技术指标的产品标称该技术指标的产品千分表或三坐标检测仪俯仰CXP系列、KA系列、PA系列/激光干涉仪或自准直仪偏摆CXP系列、KA系列、PA系列/激光干涉仪或自准直仪端面（轴向）跳动/限旋转滑台千分表径向跳动/限旋转滑台千分表最大净转矩/限TBR系列扭力扳手、测试工装

近期，中国科学院沈阳自动化研究所智能检测与装备研究室IDE团队在国家重点研发计划项目的支持下，经过艰苦攻关，创新性提出了高负载大可变量程的大型圆柱度测量新方法，并依此方法研发了大型圆柱度测量仪。　　圆柱度是精密回转类零件重要的精度指标之一。目前，圆柱度测量仪大多通过接触式传感器获取被测目标信息，采用精密转台回转的方式实现测量，如英国Talyrond公司研制的最大测量直径达1.6米的1600型圆柱度测量仪。接触式传感器的可形变量极小，在圆柱度测前定心调整过程中，大偏心距累积的运动定位误差极易超出传感器的极限行程而造成传感器损坏。受被测对象的尺寸、重量及高精密转台的制造技术等因素的影响，过大的载荷将严重影响精密轴系的回转精度，所产生的随机误差难以通过算法有效补偿，无法满足大型工件的高精度测量需求。对于直径超过2米的大型轴承套圈，由于零件尺寸巨大、圆柱度测量精度要求高以及测量环境的局限性，现有的接触式传感器与转台回转的测量方式难以满足其测量要求。因此，亟需研究针对大型回转类零件圆柱度的现场快速精密测量方法及相应的评定技术。　　沈阳自动化所智能检测与装备研究室IDE团队提出的高负载大可变量程的大型圆柱度测量新方法采用具有精密、隔震等特性的气浮驱动技术，配合精密耦件，通过测前快速自适应偏置调整技术实现工件测前自动定心，采用精密测头回转的方式快速获取有效测量信息。在测量原理方面，提出了更完善的圆柱度测量模型及误差分离算法，测前定心与实际测量采用分立的运动控制系统，既解决了大型工件的载荷问题，又能够通过模型参数拟合的方式实现偏心、测量线偏置、被测圆柱轴倾斜等误差的精准分离；测量系统采用对称式双测头测量方案，综合了非接触式位移传感器安全、柔性的特点与接触式位移传感器精密、可靠的特性。本方法的提出突破了传统测量方法在大型圆柱度测量过程中的局限性，实现了大型回转类零件圆柱度测前自适应偏置调整和现场快速精密测量。大型零件圆柱度测量仪样机　　目前，该研发团队已完成大型圆柱度测量仪原理样机的研发工作，并在《光学精密工程》《中国激光》等高质量期刊发表相关论文2篇，申请发明专利4项。经过国家权威计量专家及天津计量院的检定，大型圆柱度测量仪样机的回转精度为42.6nm，Z向导轨精度139nm/100mm，最大测量直径为2500mm，且其测量范围可根据使用需求进一步拓展。这意味着该原理样机的核心技术指标已达到国内领先、国际先进水平。本项目的实施将进一步夯实我国大型轴承及以大型轴承为核心基础部件的高端装备的制造技术基础，填补直径大于2米的大型轴承圆柱度测量仪的国内空白，掌握大型圆柱度测量仪的核心技术，提高轴承及相关行业的自主创新能力，为我国高铁、风电和高档数控机床等高端装备制造业的进一步发展提供保障能力，对我国从制造大国迈向制造强国，具有重要的现实意义和巨大的社会经济效益。

近日，中国船舶集团七〇四所自主研制的超精密行星滚柱丝杠导程误差动态测量仪取得成功。经计量技术机构验证，其技术指标达到国际先进水平，七〇四所在科技自立自强的道路上，又迈出了坚实一步！超精密行星滚柱丝杠导程误差动态测量仪面临技术难题 行星滚柱丝杠是船舶、大型电站、冶金行业等领域高端装备的核心功能部件，随着所内行星滚柱丝杠产品不断推广应用，对其产品性能提出了更高的要求。 导程误差动态测量仪用于检测行星滚柱丝杠的导程误差，而行星滚柱丝杠的导程精度又直接影响丝杠螺母的直线移动位置的重复精度。 然而，国内鲜有导程误差动态测量仪，大多使用静态轮廓仪测量数据替代，难以准确描述螺纹全螺线的导程误差，且高精度轮廓仪长期依赖进口。自主研制成功 因此，为了满足行星滚柱丝杠的生产需要，针对国内导程误差动态测量仪定位精度低、自动化程度不足等难题，七〇四所自主设计并成功研制了超精密导程误差动态测量仪。 该导程误差动态仪采用空气静压导轨，是一台超精密多参数的复合动态测试仪器。技术团队在研发过程中攻克了精密气浮移动平台设计技术、精密主轴驱动技术、高同步性数据采集、浮动自适应测头设计等多项关键技术，并不断的优化设计与精密制造装配，最终获得了仪器的研发成功。 该导程误差动态测量仪导程为3000mm，测量精度优于±2μm，达到了国际先进水平。 超精密导程误差测量仪的成功研制不仅为七〇四所行星滚柱丝杠产品提供了可靠、有效的检测手段，提升了行星滚柱丝杠产品的市场竞争力，进一步推动了该产品的产业化发展，还可以作为新一代电驱化、智能化装备的核心传动部件的高精度测量设备，为其他相关企事业单位提供测量服务，进一步助力海洋强国建设。

海顿科克直线传动的IDEA驱动器现在已经能直接整合在很多电机产品上，包括混合43000直线步进电机，LRS和RGS直线导轨系统和Screwrail直线执行器，如果做为一个单独的驱动和控制器单位，IDEA驱动器可以驱动除了87000混合式电机系列之外的所有海顿的直线步进电机！ 为了方便用户使用，IDEA驱动器特意设计了一个独一无二的功能，就是用户在开始编程之前需要先输入海顿电机的品号（每个海顿电机都有一个品号），这样软件就会根据品号，自行设定电机的初始参数（默认值），有了这个功能用户就算不了解复杂的电机参数和深奥的步进电机原理也一样可以完成编程。而对于一个熟练的用户来说，软件同样也允许用户在电机的安全范围内改变电机的默认值！另外这个软件可以让用户在编程时一行一行的去调试程序，同时在正式连接到外部设备上前，输入和输出信号也可以在软件上面得到完全的模拟！ IDEA驱动器需要一个独立的能提供12-48V电压的电源提供工作电压，驱动器的输出电流为2.6A/相（峰值为3.68A/相），驱动器自身配有8个I/O端口（4个输出端口，4个输入端口），每个输入端口可以输入5-24V电压，以及最大4mA 的电流，输出信号是集电极开路信号，每个输出端口可以输出5-24V电压，以及最大200mA的电流，通过一根一端是普通USB接口，另一端是小型USB接口的数据线就可以把驱动器和电脑联接起来！ 海顿的IDEA驱动器特别适合用在机器人，精密的光学设备，以及其他安装空间有限，控制精度要求高的场合！ 更多信息请访问海顿直线电机（常州）有限公司网站http://www.haydonkerk.com.cn

压电位移台常用术语中英文对照表Absolute accuracy : Deviation between the actual position and the desired one. If a stage has to move 100µm but it moves only 99.99µm (measured through an ideal scale), then the inaccuracy is 10nm. The permanent positioning error along an axis is designated as accuracy. Absolute accuracy is aff¬ected by calibration errors, linearity errors, hysteresis, Abbe errors and positioning noise. 绝dui精度：实际位置与所需位置之间的偏差。 如果一个平台必须移动 100µm，但它仅移动 99.99µm（通过理想标尺测量），则误差为 10nm。 沿轴的泳久定位误差称为精度。 绝dui精度受校准误差、线性误差、滞后、阿贝误差和定位噪声的影响。Backlash : Backlash is a positioning error occurring upon change of direction. Backlash can be caused by insufficiently preloaded thrust or inaccurate meshing of drive components, for example gear teeth. Piezoconcept’s flexure motion translation mechanism and piezo actuator designs are inherently backlash free. 齿隙：齿隙是在运动方向改变时发生的定位误差。 齿隙可能是由于预载推力不足或驱动部件（例如齿轮齿）啮合不准确造成的。 Piezoconcept 的弯曲运动平移机构和压电致动器设计本质上是无间隙的。Bandwidth : The frequency range to which the amplitude of the stage' s motion is dropped by 3dB. It reflects how fast the stage can follow the driving signal. 带宽：载物台运动幅度下降的频率范围为3dB。 它反映了平台能够以多快的速度跟随驱动信号。Drift : A position change over time, which includes the e¬ffects of temperature change and other environmental e¬ffects. The drift may be introduced from both the mechanical system and electronics. 漂移：位置随时间的变化，包括温度变化和其他环境影响的影响。 漂移可能来自机械系统和电子设备。Friction : Friction is defined as resistance between contacting surfaces during movement. Friction may be constant or speed dependent. Because they use flexure, the nanopositioners from Piezoconcept are friction free. 摩擦力：摩擦力定义为运动过程中接触表面之间的阻力。 摩擦力可以是恒定的或取决于速度的。 因为使用柔性连接，Piezoconcept 的纳米定位器是无摩擦的。Hysteresis : The positioning error between forward scan and backward scan. A closed-loop control is an ideal solution for this problem and is done by using a network of High Resolution silicon sensor to provide feedback signals. 滞后：前向扫描和后向扫描之间的定位误差。 闭环控制是该问题的理想解决方案，它通过使用高分辨率硅传感器网络提供反馈信号来完成。Linearity error : The error between the actual position and the first-order best fit line (straight line). Our nanopositioning products are calibrated with laser interferometry and the non linearity errors are compensated down to 0.02% of the full travel.线性误差：实际位置与一阶蕞佳拟合线（直线）之间的误差。 我们的纳米定位产品使用激光干涉仪进行校准，非线性误差补偿低至全行程的 0.02%。Orthogonality error : The angular off¬set of two defined motion axes from being orthogonal to each other. It can be interpreted as a part of crosstalk. 正交性误差：两个定义的运动轴相互正交的角度偏移。 它可以解释为串扰的一部分。Position noise : The amplitude of the stage shaking when it is on a static command. It is usually measured and specified with Peak-To-Peak value. It is a combination of the sensor noise, driver electronics noise and command noise, etc. The position noise of our stages is very limited due to the very high Signal-To-Noise ratio of the Silicon HR sensors we use. 位置噪声：在静态命令下载物台晃动的幅度。 它通常用峰峰值来测量和指定。 它是传感器噪声、驱动器电子噪声和命令噪声等的组合。由于我们使用的 Silicon HR 传感器具有非常高的信噪比，我们平台的位置噪声非常有限。Range of motion : The maximum dISPlacement of the nanopositioners. 运动范围（行程）:纳米定位器的蕞大位移。Resolution : The minimum step size the stage can move. 分辨率:舞台可以移动的蕞小步长。Resonant frequency : Piezostage are oscillating mechanical systems characterized by a resonant frequency. The resonant frequency that we give is the lowest resonant frequency that can be seen on a nanopositioner. In general, the higher the resonant frequency of a system, the higher the stability and the wider working bandwidth the system will have. The resonant frequency of a piezostage is determined by the square root of the ratio of sti¬ness and mass. 谐振频率：压电级是以谐振频率为特征的振荡机械系统。 我们给出的共振频率是在纳米定位器上可以看到的蕞低共振频率。 一般来说，系统的谐振频率越高，系统的稳定性和工作带宽就越宽。 压电级的共振频率由刚度和质量之比的平方根决定。Silicon HR sensor : Piezoconcept use temperature compensated High-Resolution silicon sensors network for reaching highest long-term stability. This measuring device is capable of measuring position noise in the picometer range and its response is not dependent of the presence of pollutants, air pressure changes like other high-end sensors can be. Si-HR 传感器：Piezoconcept 使用温度补偿高分辨率硅传感器网络，以达到蕞高的长期稳定性。 该测量装置能够测量皮米范围内的位置噪声，并且其响应不依赖于污染物的存在，应对改变气压带来的影响与其他高端传感器一样。Step response time : The step response time is the time needed by the nanopositioner to do the travel from 10% of the commanded value to 90% of the commanded value. The step response time reflects the dynamic characteristics of the system and is relatively to the installation method and load of the stage.阶跃响应时间：阶跃响应时间是纳米定位器从指令值的 10% 到指令值的 90% 所需的时间。 阶跃响应时间反映了系统的动态特性，并且与位移台的安装方式和负载有关。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。相关技术文

新发布的Novodiag新冠病毒（COVID-19）检测仪器使用“样本进，结果出”的Novodiag系统，可在约一小时内快速检测出是否感染新型冠状病毒！这是一款全自动闭环系统的仪器，可以保护实验室工作人员免受潜在感染风险。仪器检测十分容易操作，专用于高风险的区域，不需要专业人员就可以操作。Q: 您是如何想到在Novodiag仪器中使用直线步进电机的？Novodiag集成了多种生物检测功能，这些功能需要仪器中具有专用运动控制结构。这些功能往常一般由操作人员执行，但是我们的目标是以自动化方式实现。在设计运动执行机构时，我们需要在特定速度和特定行程下达到特定推力，而基于步进电机的解决方案能完美实现我们的要求，我们把这些方案集成在了Novodiag仪器中。所以，我们并没有重新发明诊断过程本身（样品制备，PCR，分析）。我们的目标是让任何操作人员均可使用，并加快速度。此外，与手动操作相比，Novodiag可以处理的样本量要大得多，并且样品提取也是在仪器内完成的，大大减少了处理时间和人力成本。Q: 为什么您决定用海顿电机？自2006年以来，我一直在使用海顿的LC15电机，这是贵公司最小的直线步进电机，直径仅15毫米，并且贵公司在设计阶段的就主动和我沟通配合。海顿很早就给我提供了所有的产品信息，我无需通过其他渠道去查询类似产品。因此，当我设计运动执行结构时，Haydonkerk Pittman就已经给我提供了的答案。Q:Novodiag所使用的3种不同的海顿电机中，有2种在设计阶段需要特别注意，您能告诉我更多相关信息吗？第一种电机，G4-19000固定轴式，用于注射泵。这种应用要求电机既要能高精度运动以实现精确的微流体配给，又要保持足够的推力从低速到高速运动，以加快检测速度。我选择海顿19000电机的原因就是其能够满足上述规格，而且直径仅20毫米，此外，还能对行程进行定制，以及去掉电机后轴套以节省空间。另外市场上也没有满足以上全部标准的市场替代品，这使我更加确信选择该注射泵电机的正确性！第二种电机位于Novodiag仪器结构的中心。我们将其称为“按压电机”，是因为它将一次性样品盒压在其他平台上，比如热处理平台，为了实现该功能，需要一个高推力，高精度，高稳定性的电机，以确保所有元件能完美接触。在研发阶段，我开始意识到不仅需要的推力很大，而且需要电机长时间工作。因此，我们就该问题与Haydonkerk Pittman进行了讨论，并提出如果该电机电流增加，长时间工作，发热量增大，会发生什么。通常，我们的研发团队会通过扩展测试来解答所有这些问题，但是海顿公司认真倾听，并分享了有关电机技术的信息，提高了我们选择35000固定轴式电机的信心。最后我们的性能和寿命测试结果，也证实了，即使超出了规格书标准之外，该电机也能正常运行。另外，为了保证质量，海顿公司在产品出厂前按照我们的标准要求进行了100%的全检。这样，我们可以将电机立即安装到我们的子配件中，而无需再进行其他测试。我们不会接受其他供应商的较低级别的质量控制。由于“按压”功能的技术要求，如果没有海顿公司的帮助和支持，电机可能会成为我们设计中的一个挑战。Q:根据以往的经验，如果要改进下现有的产品，您希望从哪个方面去改进？从研发的角度来看，我只有在多次不同的测试之后，我才能对技术选择进行验证。当需要对最佳解决方案进行深入研究时，研发成本将增加，而当供应商的支持力度不足时，成本将急剧增加，而且需要对多种方案进行对比测试以最终找到最好设计。当研发过程加速时，我们非常需要从供应商处获得解决问题的方案。海顿公司很好的担任了这一角色，Haydonkerk Pittman一直是Mobidiag的财富。Q:贵公司选择供应商的主要标准是什么?作为一家体外诊断制造商，Mobidiag对所生产仪器和一次性用品有很高的质量要求。这意味着可以根据他们产品所展示的质量水平以及是否符合ISO 9001等行业标准来严格选择供应商。关于HKPHaydon Kerk Pittman是精密运动控制领域3个世界级品牌的组合，分别是Haydon、Kerk和Pittman。作为阿美特克精密运动控制（AMS）部门成员，Haydon Kerk Pittman （HKP）供应各种精密直线和旋转运动产品，被公认为是精密梯形丝杠和消隙螺母组件、直线步进电机、直线导轨和导向系统、有刷和无刷电机以及完全定制系统的领先制造商。HKP在全球范围内为实验室自动化、医疗仪器、半导体制造、运输、楼宇自动化和工业自动化等苛刻市场提供高性能的解决方案和产品。阿美特克是电子仪器和机电设备的全球领导者，年销售额约为50亿美金。为材料分析、超精密测量、过程分析、测试测量与通讯、电力系统与仪器、仪表与专用控制、精密运动控制、电子元器件与封装、特种金属产品等领域提供技术解决方案。全球共有18,000多名员工，150多家工厂，在美国及其它30多个国家设立了100多个销售及服务中心。

1.IDS3010激光干涉仪在自动驾驶高分辨调频连续波（FMCW）雷达中的应用自动驾驶是目前汽车工业为前沿和火热的研究，其中可靠和高分辨率的距离测量雷达的开发是尤为重要的。德国弗劳恩霍夫高频物理和雷达技术研究所（Wachtberg，D）Nils Pohl教授和波鸿鲁尔大学（Bochum，D）的研究小组提出了一种全集成硅锗基调频连续波雷达传感器（FMCW），工作频率为224 GHz，调谐频率为52 GHz。通过使用德国attocube公司的皮米精度激光干涉仪FPS1010（新版本为IDS3010），该雷达测量系统在-3.9 um至+2.8 um之间实现了-0.5-0.4 um的超高精度。这种新型的高精度雷达传感器将会应用于许多全新的汽车自动驾驶领域。更多信息请了解:S. Thomas, et al IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019)图1.1 紧凑型FMCW传感器的照片图1.2 雷达测距示意图，左边为雷达，右边为移目标，attocube激光干涉仪用来标定测量结果 2. IDS3010激光干涉仪在半导体晶圆加工无轴承转台形变测量上的应用半导体光刻系统中的晶圆轻量化移动结构的变形阻碍了高通吐量的半导体制造过程。为了补偿这些变形，需要的测量由光压产生的形变。来自理工大学荷兰Eindhoven University of Technology 的科学家设计了一种基于德国attocube干涉仪IDS3010的测量结构，以此来详细地研究由光压导致的形变特性。图2.1所示为测量装置示意图，测量装置是由5 x 5 共计25个M12/F40激光探头组成的网格，用于监测纳米的无轴承平面电机内部的移动器变形。实验目的是通过对无轴承平面的力分布进行适当的补偿，从而有效控制转台的变形。实验测得大形变量为544 nm，小形变量为110 nm（如图2.2所示）。更多信息请了解:Measuring the Deformation of a Magnetically Levitated Plate displacement sensor图2.1 左侧为5X5排列探头测量装置示意图，右图为实物图图2.2 无轴承磁悬浮机台形变量的测量结果，大形变量为544 nm 3.IDS3010在提高X射线成像分辨率中的应用在硬X射线成像中，每个探针平均扫描时间的减少对于由束流造成的损伤是至关重要的。同时，系统的振动或漂移会严重影响系统的实时分辨率。而在结晶学等光学实验中，扫描时间主要取决于装置的稳定性。attocube公司的皮米精度干涉仪FPS3010（升后的型号为IDS3010），被用于测量及优化由多层波带片（MZP）和基于MZP的压电样品扫描仪组成的实验装置的稳定性。实验是在德国DESY Photon Science中心佩特拉III期同步加速器的P10光束线站上进行的。attocube公司的激光干涉仪PFS3010用来检测样品校准电机引起的振动和冲击产生的串扰。基于这些测量，装置的成像分辨率被提高到了±10 nm。更多信息请了解:Markus Osterhoff, et at. Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III 103890T (2017)图3.1 实验得到的系统分辨率结果 4.IDS3010激光干涉仪在微小振动分析中的应用电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。全球研究机构苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙地利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在Nature上（doi:10.1038/nature25156）。研究人员通过测试一种机械超材料的体、边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。德国attocube公司的激光干涉仪IDS3010被用于超声-空气转换器激励后的机械超材料振动分析。IDS3010能到探测到机械超材料不同位置的微小振动，以识别共振频率。终实现了11.2 pm的系统误差，为声子四拓扑缘体的实验分析提供了有力的支持。更多信息请了解：Marc Serra-Garcia, et al. Nature volume 555, pages 342–345 (2018)图4.1 实验中对对机械超材料微小振动的频率分析5. IDS3010激光干涉仪在快速机床校准中的应用德国亚琛工业大学（Rwth Aachen University，被誉为“欧洲的麻省理工”）机床与生产工程实验室（WZL）生产计量与质量管理主任的研究人员利用IDS3010让机床自动校准成为可能，这又将大的提高机床的加工精度和加工效率。研究人员通过将IDS3010皮米精度激光干涉仪和其他传感器集成到机床中，实现对机床的自动在线测量。这使得耗时且需要中断生产过程的安装和卸载校准设备变得多余。研究人员建立了一个单轴装置的原型，利用IDS3010进行位置跟踪。其他传感器如CMOS相机被用来检测俯仰和偏摆。校准结果与常规校准系统的结果进行了比较，六个运动误差（位置、俯仰、偏摆、Y-直线度、Z-直线度）对这两个系统显示出良好的一致性。值得指出的是，使用IDS3010的总时间和成本显著降低。该装置演示了自动校准机床的个原型，而且自动程序减少了机器停机时间，从而在保持相同的精度水平下大的提高了生产率。更多信息请了解：Benjamin Montavon et al J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)图5.1 自动校准激光探头安装示意图6.IDS3010激光干涉仪在工业C-T断层扫描设备中的应用工业C-T断层扫描被广泛用于材料测试和工件尺寸表征。几何测量系统是设计的锥束C-T系统的一大挑战。近期，瑞士联邦计量院（METAS）的科学家采用德国attocube公司的IDS3010皮米精度激光干涉仪用于X射线源、样品和探测器之间的精密位移跟踪。该实验共有八个轴用于位移跟踪。除了测量位移之外，该实验装置还能够进行样品台的角度误差分析。终实现非线性度小于0.1 um，锥束稳定性在一小时内优于10 ppb的高精度工业C-T。更多信息请了解:Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU6.1激光干涉仪在系统中的测量定位示意图7.IDS3010激光干涉仪在增材制造3D打印中的应用微尺度选择性激光烧结（u-SLS）是制造集成电路封装构件（如微控制器）的一种创新方法。在大多数的增材制造中需要微米量的精度控制，然而集成电路封装的生产尺寸只有几微米，并且需要比传统的增材制造方法有更小的公差。德克萨斯大学和NXP半导体公司开发了一种基于u-SLS技术的新型3D打印机，用于制造集成电路封装。该系统包括用于在烧结站和槽模涂布台之间传送工件的空气轴承线性导轨。为满足导轨对定位精度高的要求，该系统采用德国attocube公司的皮米精度干涉仪IDS3010来进行位置的跟踪。更多信息请了解：Nilabh K. Roy, Chee S. Foong, Michael A. Cullinan: "Design of a Micro-scale Selective Laser Sintering System", 27th Annual International Solid Freeform Fabrication Symposium, At Austin, Texas, USA 7.1系统示意图，其中激光干涉仪被用作位移的测量和反馈8. IDS3010激光干涉仪在扫描荧光X射线显微镜中的应用在搭建具有纳米分辨率的X射线显微镜时，对系统稳定性提出了更高的要求。在整个实验过程中，必须确保各个组件以及组件之间的热稳定性和机械稳定性。德国attocube的IDS3010激光干涉仪具有优异的稳定性和测量亚纳米位移的能力，在40小时内表现出优于1.25 nm的稳定性，并且在100赫兹带宽的受控环境中具有优于300 pm的分辨率。因此，IDS3010是对上述X射线显微镜装置的所有部件进行机械控制的不二选择，使得整个X射线显微镜实现了40 nm的分辨率，而在数据收集所需的整个时间内系统稳定性优于45 nm。更多信息请了解：Characterizing a scanning fluorescence X ray microscope made with the displacement sensor 8.1荧光X射线显微镜的高分辨成像结果

日前，国内首台80米大长度标准装置在中国计量科学研究院建立，并通过专家验收。该装置测量范围达到80米，为测距仪、激光干涉仪等大长度仪器提供了有效检测范围的标准并保证其大长度量值的准确可靠，填补了测量范围大于50米的高精度测量仪器的国内检测空白，达到国际领先水平。　　目前，我国约有10万台手持式激光测距仪、4万台高精度全站仪和光电测距仪，这些仪器被广泛用于控制测量、精密工程测量、地震形变测量、水电水坝安全监测、核电站和高铁建设中 近600台激光跟踪仪及数量不断增加的组合式经纬仪坐标系统、雷达扫描测量系统等仪器广泛应用于国防工业、航空航天、船舶和装备制造领域，且这类仪器的数量在不断增长。但受测量范围的限制，目前国内能够满足这些仪器检测需求的大长度检测装置还几乎处于空白状态。　　为解决上述问题，中国计量科学研究院于2008年开展了此方面的研究。据项目负责人、中国计量科学研究院大长度室主任李建双介绍，该装置主要由80米精密导轨系统、大长度激光测量系统、环境温度测量系统和自动控制测量系统4部分组成，装置不确定度可达到0.1μm+2×10-7L(k=2)。　　另据介绍，导轨长度和直线度等性能指标，是评价大长度标准装置可靠性的重要指标。目前国际上，包括中国在内，仅有德国、美国、芬兰等7个国家建立了大长度标准装置。中国计量院的这套装置，在导轨长度方面仅次于日本的100米导轨，在性能指标方面则处于国际领先地位。

ALIO六轴位移台Hybrid Hexapod重新定义纳米加工和精 准对位贴合技术！自昊量光电推出以来全新的六轴位移台，ALIO Industries的Hybrid Hexapod彻底改变了6D运动的方法，并重新定义了运动控制在需要平整度和直线度加上刚度的应用中的作用，如纳米加工和精 准对位贴合技术中的应用。ALIO工业公司总裁Bill Hennessey表示:“在6自由度(6DOF)纳米技术应用领域，Hybrid Hexapod技术允许在纳米级精度的运动中提供身体所有6DOF性能的文件证明。因此，它是独 一 无 二的，这是第 一次成为可能。我们现在看到领 先技术研发人员在光学、半导体、制造、计量、激光加工和微加工领域致力于纳米应用，并取得了以前无法企及的成功。”所有的传统六足位移台运动系统都在三维空间内运行，并且在所有的六个自由度上都存在误差。然而，传统六足位移台的运动系统通常只能用单自由度的运动数据来表征。这种做法在几个自由度上留下了误差来源，特别是在平面和直线度方面，这是纳米级别的关键精度需求。所以说，一个传统的六足位移台在测量行程的平整度和直线度时，每轴会损失几十微米的精度。庆幸的是，Hybrid Hexapod完全克服了这些问题。Hennessey继续说道:“因为传统六足位移台有六个独立控制的连杆连接在一起，移动一个共同的平台，平台的运动误差将是所有连杆和关节误差的函数。众所周知，传统六足位移台在执行z轴运动时具有最 佳的精度和可重复性，因为所有连杆在相同的相对连杆角上执行相同的运动。然而，当任何其他X、Y、俯仰、偏航或摇摆运动被指令时，由于所有连杆执行不同的运动，传统六足位移台的精度和几何路径性能大幅下降。传统六足位移台的关节不精确，运动控制器无法实现正运动学和逆运动学方程，因此误差的来源更加明显。”Hybrid Hexapod由ALIO开发，旨在解决传统传统六足架设计的关键弱点，以及堆叠串行级的弱点，并在运动过程中实现纳米级的精度、可重复性和高完整性的平面和直线度。它采用了一个三脚架平行运动学结构来提供Z平面和尖 端/倾斜运动，集成了一个整体串行运动学结构来进行XY运动。一个旋转平台集成到三脚架的顶部(或下面，根据应用需要)提供360度的连续偏航旋转。在这种混合设计中，每个轴可以定制，提供从毫米到1米以上的行程范围，同时保持纳米级的精度。Hennessey总结道:“让我们看看4K镜头的制造商。典型的4K镜头需要极其高科技的材料技术，精密的组装实践，以及非常复杂的制造工艺和技术。所有方向的公差几乎为零用于制造透镜的制造过程经常会导致误差，这就是为什么它们需要不断的主动对准。 传感器和镜头对齐，多个目标沿着镜头投影到传感器，然后拍摄图像。调制传递函数(MTF)总是由主动对准装置不断监测，以保持每个MTF值在预先确定的范围内。当满足限度时，用紫外光对胶粘剂进行部分固化，然后再进行完全热固化。这确保了在对准镜头和传感器平面时的极端准确性。Hybrid Hexapod被证明是这种应用的完美选择，因为它的绝 对重复性和精度可以一次又一次地产生准确的结果。” “必须激励在可能的前沿工作的工程师提出更多要求，因为他们看到这项技术可以实现其他人无法实现的目标，具有促进创新的潜力，并且可以优化制造的效率和成本效益。Hybrid Hexapod 比传统六足位移台精度高出几个数量级，刚性提高100倍，速度提高30倍，可用工作范围是传统六轴位移台的10倍。 和传统六足设备同类型型号主要参数对比优势关于生产商：ALIO Industries 成立于 2001 年，由一支由杰出工程师组成的无与伦比的团队推动，他们痴迷于纳米级运动控制、客户成功以及尽可能突破感知界限。今天，ALIO非常重视对客户的响应。作为一家公司，我们一直专注于纳米级精度，因此我们拥有声誉、知识库和稳定性，这在需要超精确和可靠的运动控制时是无法比拟的。与 ALIO 作为您的合作伙伴，您将与一个强大、完善、财务稳定、全球认可和受人尊敬的品牌合作，为各种行业领 先客户提供服务。我们培养伙伴关系的基本含义，相信当知识在整个团队中公开共享时，结果总是更好。这也使我们能够创造性地为任何应用找到实用的运动控制解决方案。ALIO 的团队以诚实、正直和热情为特征。我们专注于成功，而不是为了现金流而出售解决方案。这就是性格！这就是为什么我们在纳米级运动控制解决方案领域享有无与伦比的声誉。上海昊量光电作为ALIO在中国大陆地区最 大的代理商，为您提供专业的选型以及技术服务。对于ALIO有兴趣或者任何问题，都欢迎通过电话、电子邮件或者微信与我们联系。 如果您对六轴位移台有兴趣，请访问上海昊量光电的官方网页：https://www.auniontech.com/details-1529.html欢迎继续关注上海昊量光电的各大媒体平台，我们将不定期推出各种产品介绍与技术新闻。关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是目前国内知 名光电产品专业代理商，也是近年来发展迅速的光电产品代理企业。除了拥有一批专业技术销售工程师之外，还有拥有一支强大技术支持队伍。我们的技术支持团队可以为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等工作。秉承诚信、高效、创新、共赢的核心价值观，昊量光电坚持以诚信为基石，凭借高效的运营机制和勇于创新的探索精神为我们的客户与与合作伙伴不断创造价值，实现各方共赢！您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息，或直接来电咨询4006-888-532。