质谱机械泵分子涡轮泵

上海伯东代理德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 700 成功应用于宁波某研究所磁控溅射（Megnetron Sputtering）系统.宁波某研究所磁控溅射（Megnetron Sputtering）系统用于光刻胶片上溅金属铬,铜,钛.其中材料生长腔工作真空度要求 E-7 hPa,能做到4英寸片,3靶位,可实现编程镀膜.材料生长腔对涡轮分子泵的要求较高,老师在考量了德国普发 Pfeiffer Hipace 700 涡轮分子泵和爱德华 Edwards STP603 分子泵后,因为对分子泵的压缩比要求较高,最终选择了德国普发 Pfeiffer 分子泵

伯东公司Pfeiffer 德国普发涡轮分子泵PVD镀膜设备行业应用镀膜原理：PVD即物理气相沉积，是当前国际上广泛应用的先进的表面处理技术。在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基材上。它具有沉积速度快和表面清洁的特点，特别具有膜层附着力强、绕性好、可镀材料广泛等优点。PVD镀膜技术广泛应用于电子产品门窗五金、厨卫五金、灯具、海上用品、首饰、工艺品，及其它装饰性制品的加工制造。

分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称，是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵的正确使用和及时保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。

脉冲激光沉积（Pulsed Laser Deposition, PLD），是一种利用激光对物体进行轰击，然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上, 得到沉淀或者薄膜的一种手段. PLD 系统由多个真空腔体组成，整个系统需要超高真空且不能引入任何杂质，对环境的清洁度要求较高，必须配备无油干泵和分子泵抽真空。由于各个辅助腔体体积较小, 因此特别适合使用 pfeiffer Hicube 系列分子泵组. 伯东公司销售维修的 Pfeiffer 分子泵组因其结构紧凑体积小，清洁无油（前级泵配备干泵）、抽速快、极限真空度高达10-11mbar等优点一经上市好评如潮。

油式旋片真空泵是一种十分成熟可靠的真空泵，通常也被叫做油泵、机械泵、旋片泵等，其价格便宜真空度好，广泛应用于热处理、镀膜、质谱仪器、样品前处理、冷冻干燥、手套箱、泄露检测等对油蒸汽不太敏感的应用，同时，还常常被用作分子泵的前级泵。

在使用真空技术装备实验室和分析系统时，高灵敏度和绝对的可靠性至关重要。在实验室里的洁净室条件和严格空间限制下进行测量和研究，导致对设备的需求增加。在真空环境中的分析大幅提高了结果的质量，因此成为现代实验室技术中首选的测量和分析方法之一。对实验室中理想真空泵的要求相对较高。除了紧凑的设计，低噪声排放和高压力稳定性同样重要。必须能够在高真空和超高真空条件下执行决定性的精确分析程序。而且，所有的解决方案必须可灵活定制，以满足相关应用的不同挑战。

放射性环境下的应用：对于在放射性环境或高磁场下的应用，会很快损坏到各种电子部件。对于经常靠近试验安装的涡轮分子泵，普发真空开发了拥有外部电子组件和电缆长达 1,000 m 的解决方案。对于机身装备了电子装置的现代化前级泵而言，有相同型号可用。对于 ACP 系列的泵，电子装置可选装于离泵最远达 100 米的地方。根据最近几年的经验，对于一系列的研发应用，普发真空 ACP 系列的多级罗茨泵与 HiPace 涡轮分子泵的组合都是理想的解决方案。这一泵组合相比于其它方案拥有的明显优势包括：■ 绝对无氟，因此无工艺污染的危险■ 极少需要维护■ 节能且节约成本■ 工作音量小■ 最终压力极低

涡轮机油，也称透平油或者汽轮机油，主要用于发电厂蒸气轮机、水电站水轮发电机及其它需要深度精致润滑油的润滑场合。 涡轮机油（也称透平油或者汽轮机油），汽轮机"turbine"一词的英文译音；汽轮机油与其它润滑油的主要差别在于更好的抗氧化安定性和抗乳化性能，主要用于发电厂蒸气轮机、水电站水轮发电机及其它需要深度精致润滑油的润滑场合，透平油就是汽轮发动机用的一种机油，适合高速机械润滑用,主要起到润滑\散热\冷却调速的作用。 按照GB11120涡轮机油标准要求，测量涡轮机油的色度是采用GB/T6540这个标准的。石油产品色度仪SD6540就是按照标准GB/T6540和SH/T0168这个标准来设计制作的，25个色号进行石油产品的色度的检测。

普发真空解决方案的优势一览：HiPace 30 涡轮分子泵■ 市场上最小的大功率涡轮分子泵■ 易于集成到小型分析系统中■ 低重量，非常适合移动使用■ 较长的保养间隔保证了较长的寿命周期HiPace 300 涡轮分子泵■ 特别适用于高真空和超高真空应用■ 非常高的压缩率，尤其适用于小分子气体■ 与隔膜泵结合使用也能实现最好的结果■ 间歇式运行可以节省超过 90％ 的能量，而不会损失任何动力SplitFlow™ 涡轮分子泵■ 由于结构紧凑，所以需要最小的空间■ 对所有气体均具有高抽速和最大压缩比■ 通过监控所有运行数据来最大限度地提高运行可靠性DuoLine 旋片泵■ 可选的免维护磁耦合可实现更长的使用寿命■ 优化的泵冷却增加了使用寿命和应用范围■ 通过液压控制的高真空安全阀实现高运行可靠性■ 由于占地面积小且真空连接布置经过优化，可轻松地进行系统集成MVP 隔膜泵■ 绝对干燥的无油真空■ 低振动和低噪音水平■ 紧凑型设计■ 运行可靠性高，隔膜寿命长?■ 隔膜和阀门更换方便，从而使维护很方便

由于高质量要求，BGC 选择普发真空作为其惰性气体质谱仪生产线真空设备的合作伙伴。这些系统对所需的真空解决方案寄予很高的要求，因为它们在技术上很成熟，具有体积小、便于携带的特点。最重要的是要完成所需的 UHV，其极限底压要求为较低的1· 10-9 至中等 1· 10-10 hPa 范围。间或，抽吸系统也必须能够处理样品装载过程中遇到的更大气体负荷。由于 BGC 和普发真空曾经长期密切合作过，普发真空非常了解 BGC 研究的要求和领域。得益于这一条件，再加上与研究所的密切合作，从而可以开发出定制、独特的真空解决方案。普发真空的解决方案对于这种应用，稀有气体样品制备作业线和惰性气体质谱仪均需要UHV 系统。这种真空水平已经通过使用涡轮分子泵系统、离子和非蒸散型吸气泵以及应用低温分离技术获得了。为完全满足客户对样品制备作业线的要求，普发真空 HiCube Eco系统被选作主要泵系统。这个解决方案的决定性参数是：■ 紧凑的尺寸■ 简化布线和控制■ 能够远程安装控制单元■ 能够操作冷阴极真空计■ 无与伦比的低能耗（高真空模式下为 20 W）■ 高性价比将普发真空 HiCube Eco 集成到样品制备作业线底盘特别方便。显示控制单元可以轻松地从泵组拆除，并安装在样品制备底盘的顶部附近，以使控制单元在该系统中的定位更合人体工程学，更方便操作人员。而且，HiCube Eco 标准配置的 MVP 015-2 隔膜泵为客户及其应用提供额外的好处。只要 HiCube Eco 中的 HiPace 80 涡轮分子泵处于低功耗状态，隔膜泵将就会进入睡眠模式，自动关闭。因此，这种泵的有效性不是体现在组件的操作和记录时间上。这样提高了隔膜的寿命并节省电力，两者均降低了系统的运行成本。此功能还降低了系统的整体噪声和振动。虽然涡轮分子泵系统通常处于待机模式下，但需求增加时，它能够快速、可靠地响应。凭借该解决方案，普发真空完全符合伯克利地质年代学中心的高要求，并成功进行了密切、可靠的合作。

涡轮机油主要用于涡轮机及其联动机组的滑动轴承、减速齿轮、调速器和液压控制系统的润滑。随着电力工业的发展，超临界汽轮机、燃气轮机､、燃气-蒸汽联合循环机组获得应用，设备工况愈为苛刻，操作温度大幅提高，导致涡轮机油快速氧化，出现油泥、漆膜沉积，造成伺服阀门堵塞和轴瓦温度波动。涡轮机油的旋转氧弹时间的测定是采用SH/T0193标准设计制作的，自动旋转氧弹仪SH0193C 就是严格按照这个标准设计制作的

2011 年年中，普发真空向EADS Astrium空间运输公司提供了国际空间站（ISS）的一项实验所需的涡轮分子泵和真空计。该涡轮分子泵以 HiPace 80 型号为基础，通过与客户合作开发的一项创新工艺，对包含真空计在内的设备进行了改装，以适应空间的特殊环境。涡轮分子泵和真空计将用于 Columbus 欧洲研究实验室的MSL-EML 模块中（材料科学实验室 - 磁悬浮装置）。计划将在这里对材料试样进行失重条件下的无容器熔化基础实验。此次研究的主要目的旨在高效地生产性能更佳的材料。该项目实施后，它将成为国际空间站上使用的第二台普发真空涡轮分子泵。2001年，一款经过特殊设计的Compact Turbo 型号产品已被用于 Columbus 模块中，用来研究等离子晶体。

上海伯东某科研客户需要搭配一套低温阻抗测试系统, 系统在充入低温气体前，需要把腔体真空度抽至1E-3Pa，系统腔体体积为10L左右, 并稳定在这个真空度保持30min。 经过计算，推荐老师采用Hipace 80 分子泵搭配MVP 015-2隔膜泵的分子泵组Hicube 80 Eco，这套分子泵组可以保证系统真空度不低于1E-3Pa。系统采用PKR 251全量程真空规测量真空度，真空规通过数据线直接连接到分子泵组，在泵组显示器上直接显示真空度。

随着风力发电在全球的逐渐普及，风力涡轮机叶片在使用中损坏的案例越来越多。为了防止这种情况发生，著名的韩国标准科学研究院（Korea Research Institute of Standards and Science，简称KRISS）已在致力于开发出一系列用于检测风力涡轮机叶片的质量和运行情况的标准化测试。热像仪在这些质量测试中发挥关键作用。对FLIR Systems红外热像仪的初次体验，就让他们体会到热成像在这方面应用中的广阔前景。

随着风力发电在全球的逐渐普及，风力涡轮机叶片在使用中损坏的案例越来越多。为了防止这种情况发生，著名的韩国标准科学研究院（KoreaResearch Institute of Standards and Science，简称KRISS）已在致力于开发出一系列用于检测风力涡轮机叶片的质量和运行情况的标准化测试。热像仪在这些质量测试中发挥关键作用。对FLIR Systems红外热像仪的初次体验，就让他们体会到热成像在这方面应用中的广阔前景。

Aston™ 质谱分析仪通过在故障前, 提前更换或使干泵离线, 可以减轻灾难性的真空损失, 从而提高生产线产量.数据驱动干泵故障预测. 通过测量进入 (进气) 和排出 (排气) 干泵的气体的分子类型和合格性 (分压), 可以模拟破坏性腐蚀或沉积物堆积. 仅气体压力和体积仅部分指示气流的腐蚀性或堵塞性. 至关重要的是流经干泵的气体成分. Aston™ 质谱分析仪通过对干泵暴露在气体浓度下的情况进行建模, 并将模型与实际泵故障相关联, 可以以高置信度预测干泵的预期运行寿命.

水环真空泵在各个行业的应用：在电力行业中的应用：冷凝器抽真空、真空吸水、烟气脱硫、飞灰输送、涡轮机密封管排气、真空排气、排出地热气。在石油化工行业中的应用：气体回收、气体回收、燃气升压、强化的石油回收、气体收集、原油稳定化、原油真空蒸馏、排气压缩、蒸汽回收/气体升压、过滤/除腊、尾气回收、聚酯生产、PVC生产、包装、循环气压缩、变压吸附（PSA）、生产、乙炔与氢气等易燃易爆气体压缩、原油减压蒸馏中的塔顶真空系统、真空结晶与干燥、真空过滤、各种物料的真空输送。

MIT 的普发真空解决方案一览：隔膜泵在 MIT，隔膜泵用作涡轮分子泵的前级泵。由于其紧凑性，普发真空的隔膜泵是集成到系统中的最佳选择。该产品优势明显：■ 绝对干燥的无油真空■ 隔膜使用寿命长■ 低振动和低噪音水平■ 高操作可靠性■ 易于维护，因为膜和阀门更换简单■ 由于使用了双电压电机或直流驱动器，可在全球范围内使用涡轮分子泵普发真空的涡轮分子泵在 MIT 产生所需的超高真空条件。凭借其高性能和可靠性以及极好的经济性和效率，它们是满足离子束机器要求的最佳解决办法。其优势包括：■ 经验证的轴承系统实现了高可靠性■ 设计、技术组件和泵速度等级的差异实现了灵活性■ 高度发达的泵设计实现了高压缩性能和高效率■ 低能耗■ 很长的保养间隔周期质谱仪在 MIT，普发真空的 PrismaPlus 质谱仪用于在真空系统中进行残余气体分析。高灵敏度、稳定性和智能处理的结合使 PrismaPlus成为最佳解决方案。优势一览：■ 模块化设计实现了最佳适应性■ 紧凑的尺寸和高性能■ 通过各种接口实现了方便的系统集成■ 通过以太网联网■ 高测量速度、稳定性和分辨率测量设备MIT 使用普发真空的 ActiveLine 和 DigiLine 高精度真空计测量仪器。它们具有模拟和数字两种输出。它们非常适合离子束系统的要求，并具有许多优势：■ 磁性杂散场最小■ 轻松集成■ 耐用且易于维护

风力涡轮机由于其工作环境，需要做耐腐蚀、耐摩擦、抗冰等处理，这些功能的实现都离不开各种特殊涂层。在选择涂层时，除了要满足上述功能外，涂层的附着强度也非常重要。本文测量了两种不同涂层的附着强度̷̷

风力涡轮机由于其工作环境，需要做耐腐蚀、耐摩擦、抗冰等处理，这些功能的实现都离不开各种特殊涂层。在选择涂层时，除了要满足上述功能外，涂层的附着强度也非常重要。本文测量了两种不同涂层的附着强度

创新概念SplitFlow™ 是由普发真空开发的利用一个模块去实现涡轮牵引泵的功能，从而为系统制造商提供了最大的灵活性。该泵的开发要求在单一真空系统内结合了精确的几何适应性和优异的性能。尤其是在不断增加的复杂性和台式装置趋势方面，这种概念完全符合市场要求和客户需要。除了纯粹的几何适应性以外，还需要满足特定的真空技术参数。例如，通过结合不同的抽气原理（例如，结合涡轮分子泵和霍尔威克压力级），允许的前真空压力将明显提高，同时压缩性能将提高几个数量级。通过巧妙地设计转子几何形状，可以产生多达三个不同的泵级，它们的定向方式只会部分地相互影响。这样的布置使得可以代替两台离散式高真空泵和一台机械前级泵。这样的设计甚至可以实现完全整合到分析仪器的真空室中。这需要系统制造商和真空供应商从一开始就进行密切合作。设计阶段完善建议非常重要。取决于系统的配置，结果往往可以为真空系统减少大约50%的空间，而且节省成本超过50%。通过取消离散式抽吸装置、采用标准泵批量生产的研究结果，如今可以达到超过100,000小时MTTF（平均无故障时间）的泵可靠性。通过优化的轴承技术可以实现高度的可靠性，这种技术采用无需维护的磁悬浮轴承和精确球轴承在两侧定位快速旋转的转子，从而可以有效减震。泵补充配套有相应的电子驱动单元以及一系列的附件。对于涡轮分子泵的计算机控制一体化，提供标准化的界面。由于其特殊布局，这些泵只需要一个空气冷却系统，这意味着，可以省去附加的水冷却和其他装置费用。

不一样的真空泵能够适用于不一样的技术种类，比如水环真空泵适用于真空浓缩、真空脱干等；往复式真空泵适用于真空水蒸气蒸馏、真空过虑等；骨架密封机械设备真空泵（包含旋片泵泵、旋片泵、定片泵）适用于真空干躁、真空表层的镀膜等；罗次真空泵适用于真空运输、真空冶炼厂等；螺杆真空泵适用于隔膜真空泵清理的真空加工工艺全过程。

普发真空提供针对烘烤高真空应用的塑料或其他材料进行定制的完整系统。超高真空烘烤系统具有以下特点：具有电抛光内表面的圆柱形不锈钢室能够通过内置的冷却盘管和制冷/加热循环器加热到所需的运转温度。室门配备了一个氟橡胶(FPM) 制成的双密封胶圈，能够在不更换密封胶圈的前提下轻松开关不锈钢室。双密封胶圈通过粗抽泵排空气体以减少渗透。不锈钢室上的所有其它法兰都采用了 CF 法兰(ConFlat® ) 以减少渗透。CF 法兰密封由金属制成，最常用的密封材料是铜。CF 法兰通过将钢刀口施加到平的铜垫片上进行密封。法兰的轴环周围使用螺丝钉。整个不锈钢室被包围在一个特殊的兼容净室的隔热层内 (RRK 7)。尽可能表面积最小的自定义夹紧工具能够被设计成不同的组件形状。为了测量高达 5 · 10-9 mbar 的压力，使用了一个冷阴极测头和一个 Pirani 元件 (PKR 261) 进行测量。通过 HiPace 系列涡轮分子泵或 HiPace M 系列磁悬浮涡轮分子泵可以形成高真空，涡轮分子泵利用一个超高真空闸阀安装在不锈钢室上。在这一应用中可以在 ACP 系列的隔膜泵和多级罗茨泵之中选择一种作为干式前级泵。

真空泵的作用是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。 实验室真空泵的使用越来越广泛，大多数实验室设备都会配上真空泵，因为真空泵不是一个单一的设备，它可以和其他的仪器配套使用。比如真空抽滤、微生物检测、废液抽取、旋转蒸发仪、真空干燥箱、冻干机等设备。 真空泵是每个实验室的辅助设备。不同仪器设备对真空泵的要求也不一样。下面介绍下实验室常用真空泵的类型。

普发真空的优化方案普发真空以其 DuoLine 系列双级旋片泵和大受欢迎的 HiPace 系列涡轮分子泵为飞轮质量储能系统提供符合要求的理想方案。其中 Duo 3 的特别版带有创新的直流电驱动器，在市场上脱颖而出。这种泵采用 24 V 直流电供电，可在 -20 ° C 至 +60 ° C 范围内工作，用于移动飞轮应用极为理想，因而可直接用于该领域。此外，普发真空的真空泵和真空计应用在全世界的飞轮系统中。能量储存的先锋依靠普发真空储能研发领域的法国先锋 Levisys 从一开始就信赖普发真空为其试验和研发提供的方案。这家创业公司研发生产了首台 10?kW 固定飞轮储能系统，并将其应用在法国电气工程巨头 Engie Ineo 位于 Toulouse 的生产现场。公司建立了所谓的 SmartGrid 智能电网，并使用固定飞轮系统均衡供能偏差。通过这种方法，为生产现场的常规供能提供了新的电能储存途径。它填补了使用至今的锂离子电池储能设备的不足。通过最初的测试阶段后，在 2016年将再加装 9 台固定飞轮储能系统，容量达到 100 kWh 。Levisys 的固定飞轮质量储能系统采用了 DuoLine 旋片泵、HiPace 涡轮分子泵以及真空计，以获取并测量所需的真空环境。对于真空设备的要求很高：其工作必须可靠，结构紧凑，以适合固定飞轮系统内部有限的空间，而且输入功率也必须低。

无油真空泵可应用于下列各项工作中：1、自动包装线上的真空吸拉列开袋、装料。2、印刷机械上的纸张真空吸送。3、各种液体注入瓶内的高效率真空灌装。4、各种塑料制品的真空吸塑成形。

在制冷行业，尤其是中央空调等大型的制冷设备，一般均采用涡旋式风冷冷水机组。在涡旋式风冷冷水机组的生产过程中，在充入制冷剂之前，为了保证机组内部管路的密闭，要通过多次氦检、卤素检测等。这个过程，需要多次、反复的使用到真空泵组和氦质谱检漏仪。这种涡旋式风冷冷水机组内部的腔体比较大，管路比较多。在正常使用的时候，都要充入上百公斤，甚至几百公斤的制冷剂。为了提高效率，要求真空泵组的抽气速度要高。由于生产环节恶劣，要求真空泵组能在恶劣的环境下，长期、稳定的工作。上海伯东代理的德国普发 Pfeiffer 阿尔卡特（adixen）真空泵组，以抽气速度高、性能稳定、对恶劣环境适应强等特点，在制冷行业中应用广泛。

许多种类岩石，特别是那些粘土含量高的，在短期潮湿和风干反复作用下，就容易发生崩解剥落现象，本实验就是用人为的机械方式模拟岩石天然的湿润及干燥过程，经过两个标准循环之后，对于较坚硬的岩石也可经三次或多次标准循环，岩石试样表现出的抵抗软化及崩解的能力，我们称之为岩石的耐崩解性。

采用德国LaVision的Imager Pro X4M CCD相机和蔡司ZEISS 50mm f/2 Makro 镜头，测量了亚音速高马赫数跨音速涡轮叶栅尾流的2D2C速度矢量场并和五孔探针的测量结果进行了对比分析。

岛津GCMS-QP2020搭载全新高效大容量的涡轮分子泵，采用离子源和质量分析器分别排气的差动式真空系统，大大缩短仪器抽真空的时间，可进一步提升仪器性能，并可保证在任何载气条件下的最佳质谱状态。自动方法创建功能“Smart SIM”可依据保留时间自动生成最佳SIM分析方法，简化方法开发，减少分析时间，提高实验效率，对地下水中痕量SVOCs分析 ，Smart SIM分析方法可实现高灵敏度、高精度分析，提高实验室的检测能力。