质谱机械泵分子涡轮泵

一台热电Trace1300 的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质联用仪[/color][/url]，分子涡轮泵坏了，坏的过程经历几个阶段，请大神解疑答惑。1. 第一次是做样分析的时候，质谱端Vacuum灯一直闪烁，发现分子涡轮泵和机械泵均停止了工作。然后我把质谱端电源断开后再通电，分子涡轮泵和机械泵均恢复正常，真空度一会就达到60mtor。2. 正常工作一个星期左右，质谱端Vacuum灯又一直闪烁，发现分子涡轮泵和机械泵再次停止了工作。这次我放空关机后，把机械泵泵油更换新的，换下来的泵油也就一点点黄。然后再正常开机，分子涡轮泵和机械泵均恢复正常，抽完真空后，真空度也达到约60mtor。3.正常工作约2天左右，质谱端Vacuum灯又一直闪烁，发现分子涡轮泵和机械泵还是停止了工作。这次没辙了，也不敢再断电重启MS，直接关机待修了。呼唤厂家工程师上门。昨天开机后，机械泵启动几分钟后停止工作，分子涡轮泵一直不工作了。请问，这个分子涡轮泵故障的原因有哪些？换一个新的要10多万大洋[img]https://simg.instrument.com.cn/bbs/images/default/em09509.gif[/img]急急急！

【问题】有没有人知道安捷伦[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质联用[/color][/url]分子涡轮泵开机不运行什么情况啊？开机一会还会停掉。【回复】可能是大漏或者分子泵故障可能性高，或者是放空阀没关，或是侧版松了，也可能是机械泵的泵油不够了。

仪器型号 岛津QP2020 分子泵型号nEXT200/200D一开始是仪器报错 分子涡轮泵无法达到所需要的真空度，于是找了第三方维修。然后第三方维修人员说控制器坏了于是又换了一个控制器。现在维修好的泵已经装上机了但是出现了新的问题，测试分子涡轮泵的供电是24v没问题，泵上的灯也是亮的，但是在软件界面点击启动泵始终没有反应，像是接收不到负责启动的信号，又换了一个接收器还是这样。想问问一般的分子涡轮泵和质谱之间需要有什么特殊的协议让他识别吗，还是需要给分子涡轮泵的主板写一个特殊的程序，又或者是仍存在其他问题？

求助各位前辈，我们的安捷伦5977气质昨天晚上还好好的，第二天一来质谱就停电了，可是其他仪器是正常的，再开质谱分子涡轮泵转速是零，机械泵也是正常的，请问有神马解决办法？非常感谢！

小白求助，各位大佬最近遇到一些问题【仪器型号】岛津 [size=16px]GC:[/size]GC-2010Plus MS:GC/MSQP20201.有一段时间发现[font=宋体]经常性报错[/font][font='Times New Roman',serif]CAR1 purge leaks[/font][font=宋体]，往常报此错误一般解决方案是更换进样口隔垫，但是报错频繁2.有一天发现[font=宋体]“[/font][font='Times New Roman',serif]AOC time out [E4011]”[/font][font=宋体]、“涡轮分子泵[/font][font='Times New Roman',serif]1[/font][font=宋体]未准备好”“[/font][font='Times New Roman',serif][112f] [/font][font=宋体]载气不足，真空自启动顺序停止[/font][font='Times New Roman',serif] Line1[/font]”，[font=宋体]怀疑是外部机械泵密封性下降、漏油漏气导致，遂修了机械泵3.机械泵修好后发现，启动泵一段时间确实正常起转，高低真空度也能下降，并且有时候能下降到标准范围，但是一段时间之后就会提示“[font='Times New Roman',serif][0dbb][/font][font=宋体]涡轮分子泵[/font][font='Times New Roman',serif]1[/font][font=宋体]未准备好[/font]”请问：1.这种情况是不是可以确定涡轮分子泵需要更换了2.是否是我们以前的操作流程出现问题，有哪些操作可能导致这个问题（比如样品不纯或是什么其他的的）[/font][/font]

因为放假三天，就把仪器停掉了！结果今天上班的时候按往常开机，一开始还有听到机械泵运转的声音，过了一会，去看仪器的真空状况，发现分子涡轮泵的转速降下来，真空有大漏，心里想不可能的啊！放假只是关机没有放空啊！重新开机没有听到机械泵的声音！ 心想不会机械泵坏了吧！果然机械泵没有在工作！单独接电源，泵的风扇也不转了，这个泵去年才跟Agilent换过的啊！怎么就罢工了呢！平时工作得好好的！难道一关机就出现这样的情况[em0803]仪器已经过了保修期了！换个泵肯定要上W了！

开机时质谱的机械泵不转，能听到电机马达的声音，有那些原因导致机械泵不转？

我们的仪器机械泵预抽真空之后，涡轮分子泵一直启动不了。岛津工程师来了之后检查了电路板都没问题，换了涡轮分子泵的电源还是不行。泵里面的扇叶看着也正常。但就是启动不了，有没有什么好的解决方法。工程师说1.这个泵他们也拆不了，修不了。2. 目前这个泵已经停产，还不能返场维修，新型号的很贵。不知道有没有可替代的便宜点的泵呀，或者大家有没有什么好的建议，谢谢各位大佬。[img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/05/202405281044127599_6361_3176091_3.png[/img][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/05/202405281044130364_8889_3176091_3.png[/img][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/05/202405281044126822_7116_3176091_3.png[/img]

涡轮分子泵是高或者超高真空泵，可以提供无油的超高真空度，因此是质谱仪的重要组成部分，想要更好的使用质谱仪，就不得不了解涡轮分子泵工作原理的基础及合适的（前级）泵的择。第一台涡轮分子泵是在1955年发明的。当时，Willi Becker博士在Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik GmbH（现在的Pfeiffer Vacuum）已经任职13年，担任技术实验室负责人。他关注的问题是如何防止扩散泵中的油回流到泵壳中。为此，他将一个旋转风扇轮作为挡板。通过这种方式，气体粒子沿压力梯度方向流动，没有明显的传导损失。在这相反方向，倒流的油分子被旋转的风扇轮反射。这阻止了分子到达高真空一侧。在进一步的研究中，贝克尔博士注意到，这种设计不仅减少了扩散泵油回流的问题，同时还产生了较低的总压力。然后，他应用了一个转子-定子组合和多个串联的泵级。在这种设计中，他使用了左右两侧对称流模式--一个由皮带驱动的转子，速度达到16,000转/分钟。该泵重62公斤，抽速为900立方米/小时，在1956年获得专利，是今天所有涡轮分子泵的先驱。1958年，在比利时纳穆尔举行的国际真空大会上，该泵首次被展示。如果没有这项发明，我们的现代生活将是不可想象的--因为没有涡轮分子泵，半导体生产的许多制造步骤以及无数的真空镀膜工艺将不可能实现。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323927.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]* 威利-贝克尔博士，1958年在阿瑟-普发真空技术有限公司（今天的普发真空）的实验室里[color=#222222]工作原理和压缩比[/color]涡轮分子泵是如何工作的？从快速旋转的叶片到被抽气的气体分子的动量转移是转子和定子叶片排列的泵送作用的基本原理，如图1。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323928.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img] 图1 涡轮分子泵的工作原理[color=#222222]撞击到叶片上的分子被吸附在那里，并在短时间内再次离开叶片。叶片速度v被叠加到分子热运动速度c。分子热运动速度c是分子离开泵的速度。分子流动必须在泵中占主导地位。否则，叶片传递的速度分量将通过与其他分子的碰撞而丢失。因此，平均自由路径T必须大于通道高度h。在泵送气体的过程中，动能泵中会出现背压，导致倒流。S[/color] [font=&][color=#222222]0 [/color][/font] [color=#222222]表示没有前级压力的抽速。它随着前级压力的增加而减少，在最大压缩比K时达到0值。[/color]压缩比K0，可以根据Gaede来估计。对于视觉密集型叶片结构，Gaede的公式适用。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323929.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图2 转子和定子叶片的排列方式Gaede的公式[align=center][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323930.png?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][/align]其中： p[size=11px]V[/size] = 前级真空压力 p[size=11px]A[/size] = 吸气压力 v = 叶片速度[font=微软雅黑, &][size=14px] = 平均分子热运动速度[/size][/font] L = 通道长度 h = 通道高度 g = 用于指定平均冲击距离的系数，是通道高度的倍数（1g3)在图中用v-cos α替换公式v，用b替换L，用t-sin α替换h，我们可以得到[font=微软雅黑, &][size=14px][size=18px] [/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px] [/size][/size][/font]根据Gaede的估计，假设叶片是视觉密集的，因此满足cos α = t/b的条件（见图1）。对于较大的叶片间距，这意味着压缩量减少。[font=微软雅黑, &][size=14px][size=18px] [/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px] [/size][/size][/font][font=微软雅黑, &][size=14px]几何比率取自图1。因子g在1到3之间[2]。K[size=11px]0 [/size]因此，随着叶片速度v和 [/size][/font][font=微软雅黑, &][size=14px] aaan的增加呈指数增长。[/size][/font][font=微软雅黑, &][size=14px][size=18px] [/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px] [/size][/size][/font]R 是通用气体常数。T 是热力学温度和。M 是分子质量。因此，氮气的压缩比要比氢气的压缩比高得多。抽气速度的计算抽气速度S [size=11px]0 [/size]与吸气面积A和叶片的平均圆周速度v，即旋转速度成正比。如果考虑到叶片角度α，就可以得到这个结果。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323931.png?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][font=微软雅黑, &][size=14px][color=#222222]图3 的Y轴上画出了以[/color][i]l[/i][color=#222222]s[/color][font=&]-1[/font][color=#222222] cm-2为单位的比抽速，X轴上画出了循环频率f和叶片的外半径（Ra）和内半径（Ri）的平均叶片速度v=π-f-（Ra+Ri） 。从X轴上的一个选定点垂直向上移动，与曲线的交点显示了该速度下泵SA的最大特征泵送速度。乘以输入盘的叶片面积：[i]A[/i]=（Ra2-Ri2）π ，就可以得到抽气速度。[/color][/size][/font][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323932.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图3 涡轮泵的具体泵送速度[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323933.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图4｜泵送速度是相对分子量的函数[color=#222222]图3中输入的点是根据所示的Pfeiffer Vacuum泵的测量值确定的。远高于曲线的点在实际上是不可能的。以这种方式确定的泵送速度还不能说明轻质气体的数值，例如氢气（图4）。如果涡轮分子泵是为低极限压力而设计的，就会使用不同叶片角度的泵级，并对氢气的最大泵速进行分级优化。这样就能同时为氢气（约1000）和氮气提供足够的压缩比的泵。由于空气中的氮气分压很高，压缩比应该在10的9次方左右。对于由转子和定子盘组成的纯涡轮分子泵，由于其分子流的要求，前级真空压力需要达到约10[/color][font=&][color=#222222]-2[/color][/font][color=#222222] hPa（图5）。[/color][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323934.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图5｜抽速与抽气压力的关系[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323935.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图6｜霍尔韦克级的工作原理[color=#222222]霍尔韦克级的特殊功能[/color]Holweck级（图6）是一个多级Gaede分子泵，有一个螺旋形的泵通道。由于转子的旋转，进入泵通道的气体分子在泵通道的牵引方向上得到一个速度。由于转子和分离分隔Holweck级的挡板之间存在间隙，因此会出现回流损失。为了尽量减少回流，间隙的宽度必须保持较小。圆柱形套筒（1）被用作霍尔韦克平台的转子，它在定子（2）的螺旋通道中旋转。如果定子被安排在转子的外部和内部，两个霍尔韦克级可以很容易地被整合到一个泵中。这样，被泵送的气体颗粒首先通过转子外侧的定子通道，然后再通过转子内侧的定子通道向上输送。从那里，它们通过一个收集通道，到达前级泵。现代涡轮分子泵有时有几个这样的"折叠式"霍尔韦克级，其泵送速度S [size=11px]0[/size]是相同的。[font=微软雅黑, &][size=14px] [/size][/font]这里，b - h是通道的横截面，v - cos α是通道方向的速度分量。随着通道长度L和速度v - cos α[align=center][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323936.png?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][/align]压缩比就会增加。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323937.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图7｜纯涡轮分子泵和涡轮拖动泵的压缩比今天，涡轮泵配备了Holweck级，是为了使极限压力在0.5-5hpa之间，以隔膜泵为前级建立起涡轮分子泵系统，这些被称为涡轮拖动泵。由于涡轮泵的高压缩比，只需要很小的泵送速度就可以为Holweck级产生低的本底压力。因此，排气通道--特别是通道高度和到转子的间隙--可以保持得非常小，分子流可以保持在1 hPa范围内。氮气的压缩比同时增加了所需的10的3次方数量级。在图9中，我们可以看到压缩比曲线向更高压力的方向移动了大约10的2次方。在为高气体吞吐量而设计的涡轮分子泵中，在气体吞吐量、前真空兼容性和颗粒容忍度之间做出了妥协。在这种情况下，Holweck级的间隙距离尺寸要大一些。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323938.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图9｜纯涡轮分子泵和涡轮拖动泵对氢气的压缩比[font=&]选择正确的前级泵[/font]涡轮分子泵和前级泵的压缩在获得最低的压力范围方面起着重要作用。这对于氢气等轻质气体来说尤其如此。在以前的超高真空应用中，前级泵已经能够提供10-2hPa左右的低压。涡轮分子泵的压缩比可以在此基础上确定。旋片泵、多级罗茨泵或泵站等前级泵可以提供这样的低前级压力。尽管旋片泵是比较经济的选择，但当涡轮泵关闭时，有油倒流的风险，特别是在错误操作的情况下。干式前级泵甚至泵站，能产生很低的前级真空，其价格要高得多，而且需要相对较大的空间，这在许多应用中是一个不利因素。这里最理想的解决方案是使用一个小型的、低成本的干式前级泵。大多数涡轮分子泵是全能型的。除了良好的压缩性能，它们还提供大的泵送速度和高的气体吞吐量。然而，在极少数超高真空应用中，高气体吞吐量根本没有发挥任何作用。相反，泵送速度和对轻质气体的出色压缩比才是最重要的。涡轮分子泵的霍尔韦克级为最大压缩值进行了优化，这不可避免地减少了泵的气体吞吐量。然而，这对上述应用来说是次要的。然而，备用泵和涡轮分子泵的总压缩比的很大一部分可以转移到涡轮泵上的事实是非常有利的。因此，带有压缩优化的霍尔韦克级的涡轮分子泵可以在明显高于前级压力的情况下排气，以达到相同的极限压力。因此，在使用带有压缩优化的霍尔韦克级的涡轮分子泵时，一个小型隔膜泵就足以产生超高真空（见图9，表1）。[font=微软雅黑, &][size=14px][font=&][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323939.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][/font][/size][/font][font=&][/font][font=微软雅黑, &][size=14px][font=&]表1｜使用Hipace300H和不同的前级泵所能达到的极限压力[/font][/size][/font] [img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323940.gif?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][align=left]这种优化的涡轮分子泵具有很高的真空兼容性，因此隔膜泵毫无疑问仍然可以在间歇模式下运行。只有当前级的真空压力达到一个不允许的高值时，才需要开启它。众多的应用表明，隔膜泵的运行时间不到总时间的10%。除了由此带来的能源节约外，前级泵较低的热辐射和最终在实验室中几乎无噪音的运行也不应被低估。[/align][align=left]此外，为了保持极低的压力（见图9和表1），通常连接在涡轮分子泵下游的离子捕集泵就不再需要了。[/align][align=left]因此，通过现代涡轮分子泵中Holweck级的智能互连，可以大大增加压缩比，特别是对轻质气体。简单、小型的前级泵可用于在低UHV范围内产生非常低的压力。与过去使用的选择相比，这是一个非常大的优势。然而，同样重要的是指出这些解决方案的局限性。高压缩比的涡轮泵不太适合大气体负荷。[/align]激光平衡技术[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323941.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]2021年，Pfeiffer真空公司已经推出了激光平衡技术。最后，小析姐分享给大家几个涡轮分子泵在使用小tips：1、为防止涡轮分子泵返油，开机前先将前级泵抽至2托，然后再启动涡轮分子泵。2、在涡轮分子泵与前级泵之间可串入一只挡油阱以防止机械泵油蒸汽的返油。3、不能在前级泵工作时（前级管路接通）和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。4、选择系统前级泵大小时，应使涡轮分子泵的前级泵保持在分子流状态下。5、不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运行。6、分子泵入口应装设防护网，以免异物进入泵内损坏转子和定子叶片。7、规范使用涡轮分子泵，可有效提升真空泵的使用效率，延长使用寿命

我们买的是热电的VG PQ Excell型的质谱仪,我想咨询各位前辈在更换大机械泵泵油时要不要把真空和电源断掉,在真空状态下大机械泵是不运转的,各位前辈能否给传一个详细更换泵油的操作过程

十一放假期间 AGILENT 6410 关机时正常，开机时发现机械泵正常运转，分子涡轮泵不转动，不知道啥原因？检查机械泵泵油，开关机程序都是按照操作文件执行的，没有问题，咨询工程师说分子涡轮泵的使用年限为3-5年，可能是自然磨损，搞不懂？

请问大家安捷伦的机械泵都怎么维护？我们的是1290-6460 机械泵每周都打开振气阀 振气半小时，安捷伦工程师说振气是为了让泵油回流，但今天振气是发现泵上边盒子里油较多，不往回流。怎么个情况？是否正常

今天在上报仪器配件计划时，想起去年1月份单位进的Agilent 6890GC 5975MSD仪出现的一起故障。当时该机上电启动后，表头压力一直降不下来，涡轮泵转速显示零点几，就依次检查机械泵，泵油，放空口，柱子，各接口密封，未发现异常，因该机从安装到这次故障不到2年，当时没有怀疑涡轮泵会出问题，就又反复检查，仍没发现问题，就联系厂家，后来厂家维修工程师说是涡轮泵故障，无法修复，只能更换，要7万块，事后被领导狠狠剋一顿，扣了奖金。现在想来，这事故来的很突然，没有征兆，让人疑惑。平时使用中，因一周一次分析，我们就一周连续开机3天，停4天。一般的检查维护就按教程执行和记录，不知学友们有否这方面的经验给予指导？

请问5975质谱机械泵的泵油多就换一次阿？以前换过几次，发觉倒出来的油微微带有点茶色，是应该在此之前就换呢，还是还能熬段时间？谢谢。

安捷伦5975CMS能不关MS直接加机械泵泵油吗（二级泵送扩散泵，不是分子泵）？机械泵早就有点漏油，但漏的慢，今天一看得加油了，能如上操作吗？

请问正常Ms的涡轮分子泵配置是66L 小泵还是 300L大泵 有什么区别？我主要应用在高分子材料定性上，还有少量入场检测

向大家请教一下，一般在电镜上用的涡轮泵大概是什么价格？有用国产的嘛？特别是用剑桥/LEO系列的朋友，你们的真空系统用的是涡轮泵吧？是否都需要用机械泵做前级泵？[em54]

最近发现API4000的分子涡轮泵Q0和Q3的涡轮泵又发热了，温度在60℃左右。不知道大家的仪器分子涡轮泵的都有多少度啊？温度过高都怎么处理的啊？前面我也遇到温度比较高的情况。基本上涡轮泵的温度较高，多半是由于仪器真空度不够，分子涡轮泵负荷过重导致的。处理方法：1、更换机械泵泵油，提高一级真空度，使涡轮泵的负荷降低，使用时间也可以延长； 2、清洗或更换机械泵与四级杆之间的密封圈，及涡轮泵与四级杆间的密封圈，增加气密性，提高真空度； 3、物理冷却，除了用空调降低室温，可用风扇吹吹，降低温度，涡轮泵的使用时间也可以延长。不知道大家都怎么处理这类问题啊？交流交流。

2、压缩比　　涡轮分子泵的压缩比是指前级管道（排气口处）的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同，泵对各种气体的压缩比也不同。泵对氢的压缩比很小，一般为1000 左右，这样一来如果前级管道中氢的压力为1×10- 7Torr（13.33 μPa），那么进气口处氢的压力则小1000倍，即为1×10- 10 Torr（13.33 nPa），由于氢是超高真空系统中主要的残余气体，所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。?　　涡轮分子泵对于大分子量的气体，如对那些碳氢化合物分子的压缩比是相当大的，一般高于1012。这个比值根据不同泵，以及不同分子量而不同，由于前级泵的不同和其它因素，涡轮分子泵的前级管道中的碳氢化合物的分压力在10- 4 Torr（13.33 mPa）～10- 6 Torr（133.3 μPa）之间，在这种条件下，在泵的入口处碳氢化合物的分压力将低了1012 倍，即为10- 16 Torr（13.33 fPa）或更低。这样几乎是无限小的压力，已超出了可测量的范围，即使最灵敏的质谱仪也难以测出。

质谱机械泵稍有泄漏，现在想补些泵油，为了节省时间，能不能在不关质谱的情况下打开加油口进行添加泵油？

我用的气质联用仪比较多一点，知道MS的分子涡轮泵不能频繁开和关，否则容易损坏涡轮分子泵。最近在用液质，是API-2000的串联三重四级杆的LCMSMS，上次仪器出状况的时候，AB SCIEX工程师过来维修的时候，可能因为维修需要，工程师一会儿开MS电源，一会儿关电源，来回好几次，我知道MS电源同时也管着两个涡轮分子泵的电源，这样不会造成对涡轮泵的损坏吗？但是机械泵是一直开着的，我有问过一下工程师，他说机械泵一直开着，可以开关MS电源。有木有液质高手给我解解疑惑呀？我个人的见解是，只要关了MS电源后，涡轮泵静止下来没有转动了，再开启MS电源抽真空应该是没事的，大家是什么看法？讨论一下

这两天要做样，今天下午准备开机，出现了两个问题1.开机后，没过一会，分子涡轮泵停了，工作站显示的02.发现放置机械泵的托盘内全是油，油窗口油面比上次关机时下降很多。机械泵底座与泵身后面黑色部分间有很多油？不知大家有没有遇到过这种情况。

安捷伦5975C，昨天下午仪器在待机情况下涡轮泵和前级泵都停下来了，离子源和四级杆温度也降下来了，由于临近下班时才发现，于是先把仪器关机今天早上上班再检查。起初以为是哪里大漏导致真空达不到，仪器自己放空了。先是检查前级泵泵油，油位在最低位以上，泵油颜色也正常，接口也很紧，应该没什么问题。接着想要打开质谱真空仓检查，发现侧板还吸得挺紧的（感觉不太像是大漏吧），拧松放空阀卸掉真空（放空完顺手拧紧），打开侧板发现真空仓里面有些细小的金属粉末，立马意识到情况不妙，这是哪里来的呢？！先用镜头纸小心将颗粒物清扫出真空仓外吧，OMG！！！我的分子涡轮泵发生什么事了？！先上图吧，那个伤心。。。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/05/201505122122_545756_2905367_3.jpg请问各位版友，涡轮泵的扇叶是打到哪里了吗？怎么会打成这样？真空仓里面的金属粉应该是扇叶上磨出来的吧？仪器上次维护清洗离子源是去年的12月底，一直正常使用没什么问题，怎么突然就这样了？现在的情况是这样，我把真空仓清理干净试着重新开机，前级泵运行正常能把侧板吸住，仪器也有自检（嘀一声），但是涡轮泵没有运转，速度一直都是0.1，然后大概5分钟之后，涡轮泵长时间没有启动，仪器自动把前级泵也关闭了。这种情况感觉涡轮泵应该是挂彩了吧，下午联系了安捷伦的工程师也说可能是涡轮泵坏了，请大家帮忙分析一下故障的原因吧，仪器应该是06-08年买的（具体记不清了），期间也没坏过什么部件。前级泵和涡轮泵都是普法的，上一张涡轮泵外观图http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/05/201505122221_545765_2905367_3.jpg还有联系了安捷伦维修报价，G3170-67000 New-HiPACE 80 Turbo Pump Service Kit 3万3千多（不含税），这个价格怎样，有没有被坑了？

实验室液质泵噪音太大 担心影响分析结果 大家质谱涡轮泵噪音都这么大么？还是有其他好的解决办法。请各位赐教！！

虽然我们5973有离子规，但一直没有用，前几天两次自动放空，经检查发现机械泵泵油的液面低于最低限（因漏油所致），怀疑是漏油后导致低真空度不够，从而使涡轮泵关闭。机械泵加油后，开机，当涡轮泵转速达到100%后开启高真空规，发现一个问题，真空度逐渐达到5.6Xe-6，之后真空度逐渐下降，稳定在1.8Xe-5。不知大家的真空度都是多少？我们是大泵。真空度下降是因为机械泵还是涡轮泵的问题，本想先换个机械泵试试，因电源插头不一样，需要拆线才行，嫌麻烦，没试，如果再出现自动放空的话，就得换泵试了。