通用质量流量控制系统

cole-parmer通用质量流量控制系统cole-parmer通用质量流量控制系统仅一种命令模块即可用于多达四个质量流量控制器–– 通过 RS-232 接口或因特网本地配置并直接操作多达四个控制器––一体化批处理、累加器或带多达八个继电器的定时器功能可控制外部系统设备或警报器––控制器具有出色的重复性，可降低所有过程中依赖多个 设备的质量偏差1. 质量流量命令模块型号配有菜单驱动软件，可对参数进行编程。装置表面的四个按钮可控制所有功能。该设计具有灵活性，适用于设置并监控过程控制参数。读出器可显示在任何 13 种不同质量或体积流量装置内的流速/总流量；可在单个视图内显示多达四个控制器的流量。本地显示器可显示流量、设定点、阀门和警报器状态及累加器数据。对于基本过程监控或控制，每个控制器信道均配有两个可用的常开 (NO) 或常闭 (NC) 继电器。对于更为先进的控制，通过多达 96 步的用户自定义系列程序，使用批处理程序执行高达 16 步的定制程序或定时器程序，从而对流量进行直接控制。选择带有 RS-232 接口或以太网接口的型号。除了综合本地显示器外，可通过 RS-232 接口将数据下载到计算机中，便于进行分析。控制器输入数量RS-232 接口以太网接口货号货号432681-2232681-252. 质量流量控制器流量计可在流量范围内进行四点校准。该设计具有很强的重复特性，因此该控制器十分适用于多个控制器的变化性会对过程质量产生影响的应用。控制器与带有 8-ft 长扁平电缆（带有集成多针 D-分接头（附带）的命令模块相连。使用自恢复保险丝可保护每个控制器，防止短路或极性反接。控制器的触液材料为 316 SS 和 Viton O 型圈。随机配备：每个控制器装置均随附制造商提供的 NIST 可溯源校准报告。cole-parmer通用质量流量控制系统规格及订购信息流速压降（最大流量）空气/N2/COO2H2HeCO2货号货号货号货号货号0 - 10 sccm32668-00————0 - 100 sccm32668-06————0 - 200 sccm1.0 psi32668-08————0 - 500 sccm———32677-1032678-100 - 1 sL/min32668-1232669-1232676-1232677-1232678-120 - 5 sL/min1.1 psi——32676-16——0 - 15 sL/min2.2 psi32668-20————

一、操作便捷性：1、方便的气路快速连接口，简化了流量控制系统与其他设备的链接。2、配置有三种接口（宝塔式接口、双卡套式接口、KF接口），方便组合多种连接方式。 二、控制智能化：采用数显流量显示仪，配合质量流量控制器，采集数据并控制流量。具有控制精度高，重复性好，响应速度快，稳定可靠等特点（气体质量流量控制器） 。 三、使用安全性：1、采用单向阀技术，使气体流量在可控压力范围内控制，保证安全。2、采用混气灌装置，使气体可以在充分混合后导入工作室内，确保不会泄漏。 四、周边拓展性：1、该气体质量控制系统可配我公司生产的真空/气氛管式电炉及真空/气氛箱式电炉使用。2、该气体流量控制系统可以与我公司生产的真空控制系统组合使用。3、可为用户定制多路气路产品。

一、操作便捷性：1、方便的气路快速连接口，简化了流量控制系统与其他设备的链接。2、配置有三种接口（宝塔式接口、双卡套式接口、KF接口），方便组合多种连接方式。 二、控制智能化：采用数显流量显示仪，配合质量流量控制器，采集数据并控制流量。具有控制精度高，重复性好，响应速度快，稳定可靠等特点（气体质量流量控制器） 。 三、使用安全性：1、采用单向阀技术，使气体流量在可控压力范围内控制，保证安全。2、采用混气灌装置，使气体可以在充分混合后导入工作室内，确保不会泄漏。 四、周边拓展性：1、该气体质量控制系统可配我公司生产的真空/气氛管式电炉及真空/气氛箱式电炉使用。2、该气体流量控制系统可以与我公司生产的真空控制系统组合使用。3、可为用户定制多路气路产品。液晶触摸屏控 制工艺流程一目了然 人机交互更加轻松 气体泄漏报警系统 实验操作更加安全。

一、操作便捷性：1、方便的气路快速连接口，简化了流量控制系统与其他设备的链接。2、配置有三种接口（宝塔式接口、双卡套式接口、KF接口），方便组合多种连接方式。 二、控制智能化：1、采用玻璃转子流量控制器，能直观地设定气体流量，方便使用（气体浮子流量控制系统）。2、采用数显流量显示仪，配合质量流量控制器，采集数据并控制流量。具有控制精度高，重复性好，响应速度快，稳定可靠等特点（气体质量流量控制器） 。 三、使用安全性：1、采用单向阀技术，使气体流量在可控压力范围内控制，保证安全。2、采用混气灌装置，使气体可以在充分混合后导入工作室内，确保不会泄漏。 四、周边拓展性：1、该气体质量控制系统可配我公司生产的真空/气氛管式电炉及真空/气氛箱式电炉使用。2、该气体流量控制系统可以与我公司生产的真空控制系统组合使用。3、可为用户定制多路气路产品。产品用途：该系列产品配合真空气氛管式电炉一起使用，方便快捷，准确记录气体累积流量，供企业实验室，大专院校，科研院所等单位选用。设备为用户提供具有可控气氛的实验环境，并可根据客户需求定制非标产品。

气体质量流量控制器（Mass Flow Controller)/气体质量流量计（Mass Flow Metre)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，特别是对于微小质量流量的测量和控制。D600系列数字型气体质量流量计/控制器精度高、重复性好、稳定性高、工作压力范围宽，广泛应用于能源、电力、化工、医疗、半导体等各个领域。 【气体流量计产品特点】◆ 本地高清晰中文液晶显示；◆ 适用极低的流量，精确测量各种量程的流量，最低量程0~5 SCCM( 标准毫升/分钟）；◆ 数字、模拟量输入输出；◆ 可连接上位机软件控制运行；◆ 极低的零漂和温漂；◆ 多气体、多量程、高精度，响应时间短；◆ 多种可量程可供选择： 流量规格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM； （0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100）SLM【注】SLM和SCCM都常常是气体质量流量单位。SLM（Standard Liter per Minute）是表示每分钟标准升。SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）是表示每分钟标准毫升。【气体质量流量计参数】产品名称 气体质量流量控制器,气体质量流量计 适用介质 洁净、干燥的气体（不能含水汽、油） 量程范围（N2) (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；（0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100）SLM 公称压力 0～10MPa 环境温度 5～65℃ 测量精度 ±1.0% 响应时间 1秒 壳体材质 不锈钢； 供电方式 外供7～16VDC（带电源适配器）； 输出信号 4～20mA；0～5V；RS232/RS485 差压范围 0.05～0.3MPa； 表头显示 累积流量；瞬时流量；工作模式；阀控状态 连接方式 卡套连接Φ3,Φ6,Φ8,Φ10【气体质量流量计原理】气体质量流量计由质量流量计传感器、分流器通道、流量控制调节阀、放大控制电路组成。被测气体分成两个层流区，一个通过主流量管道，另一个通过毛细管。独特的设计确保两个管路里的流体都是层流状态，因此两个管路的流量比是恒定的。工作时，毛细管上两个精确的温度感应绕组被加热，当有流量时，被加热的气体从上游到下游流动，在两个感应绕组之间产生了温差，温差与电阻的变化成比例关系。用惠斯顿电桥来测量温度感应绕组的温度变化差值。惠斯顿电桥的输出通过ADC(模数转换)转换成12位的数字信号。微处理器和非易失性存储器存储了所有的标定数据，直接控制操作比例电磁阀。这个数字闭环控制系统不断的比较当前的流量值与设定值，如果与设定值偏离，通过调整阀门进行修正，PID算法运算实现高精确度的控制。根据被测气体的流量大小输出0… 5VDC或者4… 20mA信号。【生产能力】年产一万套【公司网站】 【厂家热线】，西安上太仪表感谢您关注本公司产品！依托古都西安坚实的工业基础、强大的科研能力，汇集西部人才，上太人以“严谨、务实、创新”为理念，为客户奉献行业精品。我们郑重承诺，本公司产品从出厂之日起12个月三包，出现非人为损坏质量问题，本公司负责包修、包换、包退，并提供终身维护服务。

☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。协议简单可靠，兼容性强，易于组网。配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小，工作压力范围宽。☆阀体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。线路板、阀体、弹簧片、精密电阻和resistor等为重要零部件，均执行严格 的入厂标准。☆可任意角度安装。☆兼容数字和模拟控制及显示，使用方便。易于与电气或自动控制系统配合。 配合MT-52或51系列流量显示仪，可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量。型式批准证书：2013F53-11 执行Q/CYHMT0001-2014企业标准 许可证编号：京制01050063号

1、 可应用于虑罐型呼吸器或者过滤芯的评价——仪器和传感器的校准——PPE渗透研究——空气采样器的评价2、 生物圈研究——小动物生活环境的控制——植物生长研究3、 环境舱设计——产品的环境安定性研究——微平衡环境4、 气溶胶发生5、 干燥剂性能测试 流量、温度和相对湿度可以通过直接对数的电位计旋钮调整并控制在实验所需的条件。空气流量通过数字式质量流量控制器进行测量和控制，温、湿度传感器可以准确测量实际状态下的温、湿度，电信号从传感器反馈回控制电路板形成闭环控制。在有水分蓄积时，本仪器可以触发加热器同时加湿空气流，从而获得并保持所需要的温度和湿度，除校准之外完全实现自动控制，无需任何调节操作。所有参数均可在数字仪表面板轻松读取，也可以通过带状记录仪进行监控。配合冷凝单元一起使用可以获得比室温更低的温度。

Porter 气体质量流量控制器 Porter 气体质量流量控制器 无需等待即可读数，在 1/16 DIN 装置内响应快且精度高––插拔式接线板电气连接––远程模拟 I/O 功能在经济适用的质量流量控制方面，MPC 系列质量流量控制器代表了一种独特的理念。前面板具有易于使用的功能，并配有大型数字显示屏，便于读取设定点、流速和总流量。警报器、批量控制、累加器和设定点均可编程，有助于提高多用性。流量控制器具有远程模拟输入和输出功能。MicroFlow硅微电机传感器使用 MEMS 和薄膜技术制造而成。因此传感器的速度极快，精度极高，且热式质量流量传感器不会受到压力和温度波动的影响。通过前面板或外部输入对多达四个设定点进行编程。空气、氮气、氩气及二氧化碳测定值均为标准值。随机配备：面板安装支架和配套电连接器。

MC 气体标准质量流量控制器产品介绍： MC 气体标准质量流量控制器全球控制响应很快、很稳定的质量流量控制器，可测量并控制低至2.5微升的流量，依照用户应用需求量身定制阀门孔径以确保达到很好工作效果。所有气体的满量程流量在0.5 SCCM和 5000 SLPM之间（ H2 为 10,000 SLPM）监测四个变量： 质量流量、体积流量、压力和温度控制三个变量之一：质量流量、体积流量或压力预加载98 多种气体校准且可供用户选择本地、模拟或数字控制，包括工业协议技术参数：稳态控制范围：满量程的0.01% – 100%NIST 可追溯校准标准精度：读数的 ±0.6% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准高精度：读数的 ±0.5% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准重复性：±（读数的0.1% + 满量程的0.02%）典型控制响应时间：快至 30 ms预热时间：1秒兼容气体：98+ 纯气体和混合非腐蚀性气体工作温度：–10°C 至 +60°C满量程工作压力：160 PSIA (11 barA)

苏州爱拓利电子设备有限公司（爱拓利AITOLY）是一家质量流量计和控制器的专业研发制造商。爱拓利专注于微小流量测量与控制，拥有完全自主知识产权的传感器、高精度比例阀等，研发生产的质量流量计及流量控制器，在工业和科学领域已稳定运行十数年。爱拓利公司现主推MFC330和MFC300两个系列热式气体质量流量计MFM，流量控制器MFC。MFC330系列使用毛细管柱传感器，其传感器、比例阀等核心器件均为自主研发，具有稳定性高、抗腐蚀、高精度、高重复性等特点。MFC300系列使用MEMS传感器原理，该系列产品具有响应速度快、无需预热、精确度高等特点 另有皂膜气体流量标准装置，应用于计量院及第三方检定单位。Aitoly 气体质量流量计广泛应用于科研院所、半导体、光伏、真空镀膜、分析仪器、生物工艺和生物反应、环境保护、石化、食品、工业自动化及军工等行业。

质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量，该产品是基于业内先进的微机电（MEMS）流量芯片技术，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、紧凑型可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。产品支持数字型和模拟型两种，模拟型产品采用0～5V模拟信号输入输出，数字型产品采用RS485通讯。产品特点精度高，响应快长期稳定性，良好的重复性温度压力影响小兼容多种信号输出方式产品应用半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业；分析检测仪器、医药、环保和真空等领域；稀释设备，便携分析仪，生物发酵流量过程控制；分析检测仪器、医药、环保和真空等领域。

公司简介：厚礼博精密仪器（北京）有限公司是全球热式质量流量控制器（MFC）制造商HORIBA STEC的全资子公司，以研发、生产、销售热式质量流量控制器为主业的高新技术企业。公司采用HORIBA STEC的技术，以日本品质、中国制造为宗旨，研发、生产、销售具有国际标准并符合国内市场的质量流量控制器。产品广泛应用于太阳能光伏、分析仪器、光纤、真空镀膜等领域，同时在石油化工、热处理、冶金、食品制药等领域也有充分的运用。 2011年1月30日 合资公司成立公司名称 北京堀场汇博隆精密仪器有限公司2019年9月19日 变更为外国独资公司(STEC 100%出资) 变更公司名称 厚礼博精密仪器（北京）有限公司

概要30A气体质量流量控制器采用毛细钢管传热和温差量热原理测量气体的质量流量，其中质量流量控制器可以对气体的质量流量进行精确的控制，由于温差量热只和气体的质量流量相关，所以气体的温度和压力变化不会影响到测量值。本型号产品满量程可以再5sccm-30SLM的范围内任意定制。特点稳定性和可靠性高 ±0.2%F.S的高重复精度 可应用大多数腐蚀性气体同类产品尺寸最小 安装尺寸国际兼容 不受温度及压力变化影响 满量程可在5sccm-30SLM范围任意定制标定标准标定气体：氮气（N2） 标定温度：温度273.15K（0 oC） 标定压力：101325pa(760mm Hg)输入输出信号0~5.00V（输入阻抗大于100KΩ）输出电流不大于3mA流量规格0~5，10，20，50，100，200，300，500，1000 sccm0~1, 2 ,3 ,5 ,10, 20, 30 SLM注：满量程流量不限于此处列出的规格，可再满量程5sccm-30SLM范围内任意选择,列如:123sccm质保与服务我公司承诺对产品的质保期为壹年，再您收到产品壹年内，如果按照说明书要求使用，遵守安全注意事项，并且产品没有损坏，改装或翻新，若有任何故障和问题，我公司负责免费维修或更换产品部件。再质保期外，我们提供终生维修和维护服务，但适当收取维修和维护的成本费，维修和维护后，维修部分的部件同样质保壹年。我公司有专业的售后工程师可以帮助您解决关于安装和使用等各方面的问题，并提供产品的使用培训。规格参数功能质量流量计，质量流量控制器流量规格（N2）标定0~5，10，20，50，100，200，300，500，1000 sccm流量规格（N2）标定0~1, 2 ,3 ,5 ,10, 20, 30 SLM精度±1%F.S调节阀类型常闭式线性±1%F.S重复精度±0.2%F.S响应时间≤2ses输入输出信号0~5.00V（输入阻抗大于100KΩ）输出电流不大于3mA电缆接头DB15pin(针型)工作环境温度5~45℃工作压差范围0.1-0.5Mpa对外单点泄漏率≤1X10-8pa.m3/s(He)耐压3Mpa介质接触材质316,316L,密封填料介质接触材质氟橡胶,硅橡胶,丁晴橡胶,聚四氟乙烯,金属密封密封材料丁晴橡胶NBR,三元乙丙橡胶EPDM,氯丁橡胶CR,硅橡胶VMQ,氟橡胶FKM管道接头尺寸VCR型接头 1/4管道接头尺寸(公制)Φ3 Φ6 Φ8 Φ10 Φ12管道接头尺寸(英制)1/8 ,1/4 ,1/2供电电源要求+15VDC(50mA) -15VDC(200mA)工作环境湿度＜80RH重量0.9KG尺寸127X28X100mm

本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量， 所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

苏州爱拓利电子设备有限公司（爱拓利AITOLY）是一家质量流量计和控制器的专业研发制造商。爱拓利专注于微小流量测量与控制，拥有完全自主知识产权的传感器、高精度比例阀等，研发生产的质量流量计及流量控制器，在工业和科学领域已稳定运行十数年。

仪器简介：质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。技术参数： 满量程流量范围（N2）5SCCM～10SLM控制范围2～100％F.S.阀类型（及阀初始状态）电磁调节阀（常闭）准确度± 1.5％F.S.线性± 1％F.S.重复精度± 0.2％F.S.响应时间电特性: 10 sec 气特性: ≤ 4 sec工作温度范围5～45℃工作压差0.1～0.5MPa耐压3MPa漏气率1× 10-8atm.cc/sec He密封材料氟橡胶、氯丁橡胶电插头形式DB15 pin(Female)接头选择VCR 1/4&rdquo 或&phi 4hose、&phi 6hose Swagelok 1/4&rdquo 或&phi 6、&phi 3抗电磁干扰CE重量1.1Kg主要特点：★高性能价格比、普通型产品 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★7B型的更新换代型 ★管状分流，使用寿命长

产品特性： ◆无可移动部件 ◆支持多种通讯协议 ◆容易安装及维护 ◆高精度、高稳定性、非常低的零漂 ◆可测多种气体 ◆一体液晶显示和按键操作 ◆内置温度和压力传感器 ◆同时显示气体瞬时流量和累积流量技术参数： ——分析仪器——干刻（RIE/DRIE） 流量规格：0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM0~1、2、5、10、20、30、50SLPM ——生物技术——气相色谱分析 ——激光焊机 ——过程自动化 准确度：±0.5%F.S. ——真空镀膜——燃料电池 重复精度：±0.2%F.S. 产品尺寸： 流量测量范围：2%~100%F.S. 使用温度：-20~65℃ 使用湿度： 0~98%（⽆ 凝露） Max耐压：3MPa 响应时间： 1s 供电电压：15~40VDC 功率： 5W 通讯方式：RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA 气路部件材质：SUS304、SUS316L 密封件材质：氟橡胶 气路接头：快拧、快插、卡套、VCR外接显示器尺寸： 电气连接：DB9 产品造型：气体质量流量控制器（MFC）与气体质量流量计（MFM），MFC是带有控制气体质量流量的装置，而MFM是不具有控制气体质量流量功能的装置，无锡爱拓利电子科技有限公司作为气体质量流量控制器厂家，生产和出口流量控制器,热式流量计,气体流量计,质量流量计,质量气体流量计,氧气流量计,气体涡轮流量计,罗茨流量计,旋进旋涡流量计等产品，欢迎新老客户来电咨询！

仪器简介：用 途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。 标 准: 气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为： 标准温度&hellip &hellip &hellip &hellip &hellip &hellip 0℃（273.15K） 标准压强&hellip &hellip &hellip &hellip &hellip &hellip 101325Pa 输入和输出: 输入电源&hellip &hellip &hellip &hellip &hellip &hellip +15V,50mA -15V,200mA 输入设定电压&hellip &hellip &hellip &hellip 0～+5.00V 输出电压检测&hellip &hellip &hellip &hellip 0～+5.00V技术参数：满量程流量范围（N2）5SCCM～30SLM控制范围2～100％F.S.阀类型（及阀初始状态）电磁调节阀（常闭）准确度&le 10SLM± 1％F.S.＞10SLM± 2％F.S.线性&le 10SLM± 0.5～1％F.S.＞10SLM± 2％F.S.重复精度± 0.2％F.S.响应时间&le 2sec工作温度范围5～45℃工作压差&le 10SLM0.1～0.5MPa＞10SLM0.1～0.3MPa耐压3MPa漏气率1× 10-9SCCSHe密封材料氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶接头选择VCR1/4&rdquo 或&phi 4hose、&phi 6hoseSwagelok1/8&rdquo 、1/4&rdquo 或&phi 3、&phi 6mm电插头形式DB15 pin(Male)抗电磁干扰CE重量0.95Kg主要特点：★高精度，快响应型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头，国际标准机械接头 ★国际兼容

仪器简介：质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。标 准: 气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为： 标准温度&hellip &hellip &hellip &hellip &hellip &hellip 0℃（273.15K） 标准压强&hellip &hellip &hellip &hellip &hellip &hellip 101325Pa输入和输出: 输入电源&hellip &hellip &hellip &hellip &hellip &hellip +15V,50mA -15V,200mA 输入设定电压&hellip &hellip &hellip &hellip 0～+5.00V 输出电压检测&hellip &hellip &hellip &hellip 0～+5.00V技术参数：满量程流量范围（N2）5SCCM～20SLM控制范围2～100％F.S.阀类型（及阀初始状态）电磁调节阀（常闭）准确度&le 10SLM± 1％F.S.＞10SLM± 2％F.S.线性&le 10SLM± 0.5～1％F.S.＞10SLM± 2％F.S.重复精度± 0.2％F.S.温度系数Zero: ≤±0.05% F.S./℃ Span: ≤±0.1% F.S./℃ 响应时间≤1.5 sec工作温度范围5～45℃工作压差&le 10SLM0.1～0.5MPa＞10SLM0.1～0.3MPa耐压3MPa漏气率1× 10-9SCCSHe密封材料氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶接头选择VCR1/4&rdquo 或&phi 4hose、&phi 6hoseSwagelok1/8&rdquo 、1/4&rdquo 或&phi 3、&phi 6mm电插头形式DB15 pin(Male)抗电磁干扰CE重量1.2Kg主要特点：★高精度，快响应型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头，国际标准机械接头 ★国际兼容

上海欧格斯特气体技术中心提供超纯环境、流量控制、压力控制、真空获得等解决方案。气体质量流量计和控制器数字质量空气流量传感器、控制器和流量计当你需要精确的，高可靠性的气体流量测量和控制时，请选择斯亚乐公司100系列产品。配合其先进的传感器，阀门，线性层流器技术，使得简单易用的流量控制器性能又再上一台阶。 提供气体稳定控制，灵活性高，独立性强。兼备气体切换和使用手操器操作设置.如有疑问请在此联系我们。

GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜最大可以承重1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。 产品型号GSL-LCD(控制面板为触摸屏）技术参数功能双通道三通道四通道五通道质子流量控制器工作温度：5~45oC 最大压力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 线性: ±（0.5-1.5）%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.流量范围:一路:1~199 SCCM二路:1~499 SCCM注意：其他流量范围的可定制，需额外费用工作温度：5~45 oC最大压力: 3x106 Pa精度: ±1.5% FS线性: ±（0.5-1.5）%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.流量范围:一路: 0~100 SCCM二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用工作温度: 5~45 oC最大压力:3x106 Pa精度: ±1.5% FS线性: ±（0.5-1.5）%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.流量范围:一路: 0~100 SCCM二路: 1~199 SCCM三路: 1~199 SCCM四路: 1~499 SCCM注意：其他流量范围的可定制，需额外费用工作温度: 5~45 oC最大压力: 3x106 Pa精度: ±1.5% FS线性: ±（0.5-1.5）%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.流量范围:一路: 0~100 SCCM二路: 1~199 SCCM三路: 1~199 SCCM四路: 1~499 SCCM五-九路可按照客户要求定制产品规格外形尺寸：600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)输入电源AC 220V/50Hz单相功 率23WPLC触摸屏各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制机械压力表有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)针 阀316 不锈钢通气管道内部连接管道为1/4”不锈钢管外部通气管道为1/4”聚四氟管混气罐Φ80X120mm截止阀及配件316不锈钢针阀Φ1/4” 不锈钢管

本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量， 所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

产品介绍 D07-11质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。D07-11产品是七星流量计研发的高压产品，*高耐压10MPa。特点• 高耐压性• 橡胶密封、模拟电路的MFC• 采用DB15型电插头，国际标准机械接头• CE认证，国际兼容D07-11质量流量控制器技术参数项目D07-11CD07-11CMD07-11E流量规格( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM准确度±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)±1 .5% F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)线性±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)重复精度±0.2 %F.S±0.2 %F.S±0.2 %F.S响应时间电特性: 10 sec气特性: ≤ 4 sec≤10 sec电特性: 10 sec气特性: ≤ 4 sec最大工作压力10 MPa-1 MPa气压降-＜ 0.02 MPa-工作压差范围≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa＞10SLM (0.2 ~ 0.6) MPa-≤10SLM (0.1 ~ 0.5) MPa＞10SLM (0.1 ~ 0.3) MPa耐压10 MPa10 MPa3 MPa工作环境温度5 ℃ ~ 45 ℃5 ℃ ~ 45 ℃5 ℃ ~ 45 ℃输入输出信号0 V ~ +5.00 V(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)0 V ~ +5.00 V(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)0 V ~ +5.00 V(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)电源+15 V 50 mA-15V 200 mA+15 V 50 mA-15 V 50 mA+15 V 50 mA-15V 200 mA重量1.2kg1 kg1.2kg全国包邮，价格优惠，含税运， 产品规格不同，型号不同价格就不同，价格根据需求面议

SKRG系列MFC流量规格10SCCM-1000SCCM1SLM-1000SLM控制阀类型常闭关闭时流量≤2% F.S.流量控制范围2-100% F.S.流量精度±1.0%S.P(≥30% F.S.)±0.30%F.S.(30% F.S.)线性≤±0.5% F.S.重复性≤±0.3% F.S.零点漂移0.6%F.S./年工作环境温度10~45℃温度系数≤±0.05%F.S./℃响应时间1s(依据量程不同有所差异)量程段电磁式工作压差10CC-10SLM0.05-0.35MPa20SLM-50SLM0.2-0.45MPa100SLM-300SLM0.3-0.45MPa400SLM-1000SLM0.35-0.5MPa最大工作压力0.6MPa漏率橡胶 :1x10-9Pa.m3/sec( He )金属:1x10-11Pa.m3/sec( He )通讯方式数字: RS485/DeviceNET/EtherCAT/Profibus 模拟: 0-5V DC(4-20mA)内部接触表面Ra0.4标准接头VCR: 1/4"、1/2"Swagelok: 1/4"、3/8"、1/2"、Φ6、Φ8IGS: 1.125in、1.5in (C-Seal、W-seal)SKRG一般镀膜系列MFC系列旗舰产品采用了最新的温度补偿算法，参照SEMIE18-91标准进行了高低温测试，有效保障了较广温度范围的测控精度，减小了环境温度引起的测量控制偏差。高精度的设定点流量有效保障了全量程内MFC的流量精确测控，为先进工艺制程提供了有效保障。采用了最新开发的“自适应 PID控制算法”。它可对所有设定点实现1秒以内的响应速度。自适应 PID 控制算法可根据不同的工况自行整定PID参数，实现客户对快速响应与低超调量的要求。

AFC 132 QC HEPA 高效过滤器器件质量控制测试系统一、工作原理该空气过滤器测试系统旨在满足EN1822-4附录E“0.3微米至0.5微米粒径颗粒的效率泄漏测试”的要求。该标准的这一部分与由于其几何设计而无法扫描的过滤元件有关，在这种情况下，确定整体过滤效率对于质量控制来说是足够的。与替代的油雾测试程序相比，这种方法对有缺陷的过滤器件提供了更可靠且更快速的结果。此外，在测试过程中因测试受到的气溶胶负载要少得多。所需的测试气溶胶是由特殊的气溶胶发生器（ATM 221）使用标准的DEHS测试液产生的。为了上游浓度测量，使用第二个光学粒子计数器和串联的自调节稀释系统（DIL 540/C）。另外一台光学粒子计数器测定下游颗粒数浓度。得到的整体过滤器效率与名义过滤器效率进行比较，给每个测试的过滤器一个最终的“通过”或“失败”结果。二、特殊优势&bull 目标过滤器效率和压力降的自由配置&bull 为不同的小型HEPA过滤器元件定制过滤器夹具，易于更换（5分钟）&bull 紧凑的测试系统设计&bull 高度自动化，最小化操作员干扰&bull 为24小时/7天的生产而设计&bull 快速测试时间（30秒），用于每个过滤器的短测试时间&bull 生产中使用的安全特性&bull 可追溯的测试数据处理和文档化三、应用&bull 不可扫描的HEPA过滤器元件的效率测试&bull 根据EN1822-4附录E&bull 确认名义HEPA过滤器等级&bull 适用于集成过滤器生产控制AFC 132 / QC HEPA测试设置四、软件所有使用的气溶胶仪器的控制，包括数据采集，都由最先进的AFCWin软件支持。它可靠地引导操作员完成整个测试程序，并最终生成测试报告。所有测试都存储在数据库中，这使得在过滤器生产过程中可追溯质量保证。&bull 两种基本的人机界面操作模式 &bull a) 触摸屏操作&bull b) 使用键盘/鼠标的标准操作&bull 自动测试程序和测试协议 &bull a) 通过/失败的分级计数效率测量 &bull b) 差压测量&bull 集成的自动测试系统自检程序（测试系统OK / NOK）&bull 用于服务、校准、维护的手动控制和数据记录器&bull 过滤器样品、测试结果的数据库系统&bull 通过剪贴板和动态数据交换到Excel的数据传输&bull 网络集成能力AFCWin操作界面五、技术数据&bull 流量：7…35 l/s（25…126 m³ /h）&bull 最大过滤器夹具尺寸：300*300*300mm&bull 测试周期时间：30s&bull 过滤器截面积：客户自定义&bull 面速度：客户自定义&bull 差压：3000 Pa ±1%FS&bull 气候传感器：温度、相对湿度、大气压&bull 测试气溶胶 ：DEHS&bull 气溶胶发生器：ATM 221 &bull 气溶胶稀释系统：DIL 540/C （3 x 1:100/1:10）1:10 ... 1:100.000 &bull 带真空泵的颗粒计数器：&bull 4通道 0.3/0.5/0.7/1.0 μm 或 &bull 4通道 0.1/0.2/0.3/0.5 μm 或 &bull 8通道 0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/ 0.7/1.0 μm 或&bull 按照客户的需求进行配置&bull 电源：3x 400VAC，50/60Hz，16A&bull 尺寸（高x宽x深）：1500 x 2000 x 1000 mm&bull 重量：约600 kg

仪器简介：特 点: ★高耐压性 ★橡胶密封、模拟电路的MFC★采用DB15型电插头，国际标准机械接头★CE认证，国际兼容用 途:质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。 技术参数：产品型号D07-11C产品类型高耐压型,抗电磁干扰流量量程5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm, 1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm产品精度 ±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)重复精度±0.2% FS线性±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)响应时间电特性: 10sec 气特性:≤4sec工作温度范围(5~45)°C耐压10MPa密封材料氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon输入输出信号0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)电源±15V电气连接D sub 15 pins Male工作压差范围(0.2～0.6) MPa （10slm＜F.S.）,(0.2～0.8) MPa （F.S.≤10slm）漏率1×10-10atm?cc / sec He（1×10-11 Pa?m3 / sec He）标准接头形式双卡套1/8”(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ3(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,双卡套1/4”抗电磁干扰CE重量1Kg

MFC300_RS232 气体质量流量控制器型号：MFC300_RS232MFC300产品采用单电源供电(15~40VDC)；可模拟量和数字通讯（CAN、RS485、RS422、RS232）显示和控制气体流量或流速；也可以直接连电脑通讯，并通过数字通讯改变控制流量或通讯设置；也可以与本公司的MFC控制器—MCL300配套使用；具有多气体测量，高精度，高稳定性，非常低零漂特性。本产品在性能、安装和维护方面也具有其独特的优越性，可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。 ◆无可移动部件◆支持多种通讯协议◆容易安装及维护◆高精度、高稳定性、非常低的零漂◆可控多种气体◆可配控制器◆可控制气体瞬时流量和累积流量机械尺寸：技术指标：流量规格：0~5,10,50,100,200,300,500sccm,1L,2L,3L,4L,5L显示精度：0.1sccm准 确 度：±0.5％F.S.线 性 度：±1％F.S.重复精度：±0.5％F.S.响应时间：＜1S工作压差：0~1MPa 耐压：1.1MPa环境温度：0~65℃电气连接：DB9输出信号：模拟、RS232、RS485、RS422、CAN（数字协议带电气隔离）电 源：15~40VDC标准气路接头：M8*1、4mm快拧、6mm快拧气路管径：3~3.2mm、4mm、6mm可测量气体种类：Air、He、Ar、N2、O2、H2、NO、CO、CH4、NH3、N2O、NO2、CO2 电气连接：DB9产品选型：配套产品：MCL300是一款面向MFC300(气体质量流量控制器）的专用控制及显示仪表，可以同时控制及显示16台MFC300，可以对MFC进行流量、流量累积量的控制及显示。可以实现对气体流量的自动或手动输出和气体流量累积量的手动及循环输出，可以满足绝大部分用户对气体的流量及流量累积量操控要求。

产品介绍 DS300质量流量控制器优势• 控制精度高，精度可达±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。• 响应速度快，响应时间≤ 0.5sec。• 采用基于压力原理的流量传感器技术，使产品具有压力不敏感特性，能够适用较大的气源压力波动。• DS300采用有效的机械加工技术与表面处理技术解决深小孔不能或者很难电抛光(EP)的难题，实现孔径相对较小(孔径1mm)、深径比相对较大(10)的不锈钢小孔、深盲孔以及交叉孔的表面电化学抛光处理，完全符合SEMI标准要求。DS300质量流量控制器技术参数DS300C型号DS300C阀类型常闭流量规格(N2)(0～30,50,100,200,300,500) SCCM(0～1,2,3,5,10) SLM准确度±1% S.P. (≥10% F.S.) ±1% F.S. (＜10% F.S.) 线性±0.5% F.S.重复精度±0.2% F.S.响应时间≤ 0.5sec 进口压力240～450KPa 流量规格≤5SLM350～450KPa 流量规格＞5SLM出口压力≤1.2KPa 流量规格≤5SLM≤13.3KPa 流量规格＞5SLM温度系数零点：≤±0.02% F.S./℃；调节时：≤±0.1% F.S./℃耐压3 MPa漏率1×10-11 Pam3 / sec He密封材料金属密封最大工作压力0.45MPa工作环境温度（10～45）℃输入信号数字：RS485 或 DeviceNet模拟：(0～5)VDC输出信号数字：RS485 或 DeviceNet 模拟：(0～5)VDC零漂在没有零点校正时＜0.6%F.S./年电源±8～±16 VDC (双极) 或 +14～+28 VDC (单极)表面化学成分Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃）表面粗糙度Ra 5μinch标准接头形式VCR1/4阳接头；1.125″C型密封接头；1.125″W型密封接头；Compression Fittingφ6电源接头形式D型9针阳接头；D型15针阳接头；DeviceNet接头重量1.2Kg全国包邮，价格优惠，含税运， 产品规格不同，型号不同价格就不同，价格根据需求面议

国内专业生产和代理的流量控制器供应商，能保证货期短，相同型号价格低，买不买都可以来找我咨询下，欢迎围观朋友圈BythewayJack不止是产品还有服务，到时候您比比价格，看看品质，您再选择。Whisper系列低压损气体质量流量控制器，适用于在几乎没有可用系统压力的情况下控制质量流量和体积流量。低压损将保证对系统产生极小影响，实现接近大气压力条件下的流量控制并缩短系统响应时间。我们将根据您的应用参数，为您定制阀门和PID调节功能，确保产品能够在保持低压损的同时实现快速、稳定的控制。多功能 - 监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER&trade 气体编辑器确定自己的气体组成。连接 - 利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。耐用 - MCW系列低压损气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。性能指标精度± 0.8 %R.D and ± 0.2 %F.S重复度 ±（ 0.2 % R.D+0.02%F.S ）控制范围0.5–100% F.S控制响应时间（T63，用户可调）小阀门：30ms；R阀门：150ms显示响应时间127ms；用户可调工作精度 ± 0.75°C工作温度-10–60°C压力精度± 0.75 % R.D（＞1 Atm）/ ±0.1 PSIA（＜1Atm）预热时间＜1 S电气参数模拟通讯 4–20 mA； 0–5 V；1–5 V； 0–10 V数字通讯RS-232 ； RS-485 ； Modbus RTU (RS-232 / RS-485), Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus电气接口6 pin locking； 8 pin mini-DIN； DB-9；DB-15电 源 12 - 30 VDC ； 1A；2A；250 mA (如果配备 4–20 mA，则为290 mA )

仪器简介：质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。主要特点：★高性能价格比、普通型产品★橡胶密封、模拟电路的MFC★7A型的更新换代型★管状分流，使用寿命长技术参数：产品型号D07-7B产品类型普通型流量量程5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm产品精度±1.5％F.S.重复精度±0.2% FS线性±1％F.S.响应时间电特性: 10sec 气特性:≤4sec工作温度范围(5~45)°C耐压3MPa密封材料氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene输入输出信号0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)电源+15 V 50 mA -15V 200 mA阀类型常闭温度系数- 无 -零点飘移指标- 无 -电气连接D sub 15 pins Female工作压差范围(0.1～0.5) MPa漏率1×10-8atm?cc / sec He（1×10-9 Pa?m3 / sec He）标准接头形式双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头重量1.1Kg