表面形貌仪配件
表面形貌仪配件又称为光学形貌仪或三维形貌仪,它除了用于测量物件的表面形貌或表面轮廓外,具有测量晶圆翘曲度的功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。三维形貌仪主要配件应用用于太阳能电池测量用于半导体晶圆测量用于镀膜玻璃的平整度(Flatness)测量用于机械部件的计量用于塑料,金属和其他复合型材料工件的测量表面形貌仪配件特色*除了表面形貌的测量,还可以测量张量和应力(简单);*可测量晶圆的尺寸为0.5' ' 到12' ' , 最高可达45x45cm的尺寸,对于小于0.5' ' 的晶圆或样品,可配备微距镜头。*测量晶圆或其他样品的表面形貌,粗糙度和翘曲度;*克服常见干涉仪在粗糙表面(油漆)表现不足的问题;*非接触式测量