全自动型原子力显微镜

日立高新技术集团在原有AFM系列原子力显微镜产品线的基础上， 于2016年3月8日在全球重磅推出了AFM5500M新一代全自动型原子力显微镜。这是日立高新收购精工纳米科技以来，又一款通过技术整合来提供更全面解决方案的代表性产品。　　日立AFM5500M全自动型原子力显微镜的特点有： 一、该产品和之前型号相比，新增了自动悬臂更换和自动激光调节功能。由于涉及到参数的优化，传统原子力显微镜需要高度熟练的操作者，而日立AFM5500M仅需一次点击就可以进行悬臂的更换，极大地提升了操作简便性。 二、扫描器、传感器及图像化部采用了全新技术，测定精度和自动化程度更高。 三、通过马达台坐标共享，与日立高新的经典产品扫描电镜联用，观察样品的同样位置，为科研提供更全面的解决方案。日立AFM5500M不仅适用于纳米尺度的基础研究，而且还满足工业仪表领域的需求。　　关于日立全自动型原子力显微镜AFM5500M的详细特点，请见点击：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C248662.htm关于日立高新技术公司：日立高新技术公司，于2013年1月，融合了X射线和热分析等核心技术，成立了日立高新技术科学。以“光”“电子线”“X射线”“热”分析为核心技术，精工电子将本公司的全部股份转让给了株式会社日立高新，因此公司变为日立高新的子公司，同时公司名称变更为株式会社日立高新技术科学，扩大了科学计测仪器领域的解决方案。日立高新技术集团产品涵盖半导体制造、生命科学、电子零配件、液晶制造及工业电子材料，产品线更丰富的日立高新技术集团，将继续引领科学领域的核心技术。更多信息敬请关注：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/

项目编号：[3500]FJYS[GK]2022175 项目名称：福建农林大学全自动原子力显微镜等设备采购项目 采购方式：公开招标 预算金额：14300000元 包1： 采购包预算金额：3000000元 采购包最高限价：3000000元 投标保证金：30000元 采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算（元）中小企业划分标准所属行业1-1A021099-其他仪器仪表全自动原子力显微镜1（台/套）是详见附件3000000工业 合同履行期限： 详见招标文件 本采购包：不接受联合体投标 包2： 采购包预算金额：1700000元 采购包最高限价：1700000元 投标保证金：17000元 采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算（元）中小企业划分标准所属行业2-1A021099-其他仪器仪表冷冻超薄切片机1（台/套）是详见附件1700000工业 合同履行期限： 详见招标文件 本采购包：不接受联合体投标 包3： 采购包预算金额：4800000元 采购包最高限价：4800000元 投标保证金：48000元 采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算（元）中小企业划分标准所属行业3-1A021099-其他仪器仪表透射电子显微镜1（台/套）是详见附件4800000工业 合同履行期限： 详见招标文件 本采购包：不接受联合体投标 包4： 采购包预算金额：4800000元 采购包最高限价：4800000元 投标保证金：48000元 采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算（元）中小企业划分标准所属行业4-1A021099-其他仪器仪表多功能环境场发射扫描电子显微镜1（台/套）是详见附件4800000工业 合同履行期限： 详见招标文件 本采购包：不接受联合体投标

仪器信息网讯 2021年6月25日，Park帕克原子力显微镜公司(以下简称为“Park”)宣布推出一款重量级的全新系列原子力显微镜——Park FX40！该原子力显微镜集全自动技术、安全性能、智能学习等人工智能软件一体化，并描述之为“世界首台能够自动化所有前期设置和扫描过程的智能型原子力显微镜（AFM）”，Park FX40或将为研究界带来全新体验。全新型原子力显微镜Park FX40“与Park推出的前几代AFM系列不同，Park FX40自行负责了扫描前和扫描期间的所有设置，包括自动换针、探针识别、激光校准、样品定位以及近针和成像优化等操作。”Park全球产品研发部门副总裁Ryan Yoo评论道，“Park FX40兼有最新的人工智能技术和Park领先于半导体行业且价值百万美金的自动化技术，所以可以轻松自主执行上述任务。”Park FX40中文版预告视频于近日全球首播：新的 Park FX40 原子力显微镜不仅是几十个新功能的组合和原件的再升级，它还在原有的设计基础上，进行了全面而彻底的改革，使得AFM 具备高级的自动化能力。福音来了！即便是未经专业培训的研究型科学家们也能通过该显微镜轻松快捷地完成扫图过程，而专业的研究人员更可以将选择和正确装载探针的时间节省下来，以专注于他们更擅长的领域。除此之外，Park FX40还彻底升级了AFM的许多关键方面，其中包括采用尖端的机电技术极大降噪，减少束斑大小，调整光学视野，以及多功能嵌入样品台等。“作为研发的新品，Park FX40的强大功能来源于其他AFM迄今为止从未使用过的全新技术。”Yoo补充道。“我们很高兴能成为北美第一个体验Park FX40原子力显微镜的研究所。”哥伦比亚大学机械工程系的James Home教授发言道，“这款FX40增加了许多新功能并且升级了很多特性。作为Park的长期用户，我们对此感到非常兴奋和激动。这款FX40在人工智能和自动化技术上都实现了崭新的突破。我相信它可以极大地提高我们实验室的研究水平，并且推动整个纳米计量领域的创新。”Park FX 尖端的智能系统可以让用户在初始操作时同时放置多个样品（相同或不同类型），并将根据用户的需求进行自动成像。除此之外，该显微镜还能轻松及时地获取可发布的数据，并缩短研究周期来获得科学和工程上的最终成功。这些都有助用户实现更快更准的研究。 同时，Park FX40 独特的环境传感、自我诊断系统和避免头部碰撞的智能系统确保自身能够以更佳性能持续运行。据悉，在与全球原子力显微镜应用科学家们的密切合作下，Park产品市场部过去一整年都在不懈努力，潜心研发Park FX。“我们的科学家认识到AFM可以帮助研究人员获得前所未有的科学数据，并对纳米科学创新产生不可估量的影响。” Park公司的创立者，全球CEO朴尚一博士（Dr. Sang-il Park）评论道，“一直以来，我们都秉承着一颗赤诚之心来研发超级智能自动化的 Park FX 。因为我们的终极目标是为研究人员的工作保驾护航，帮助他们发现并打开科学更深处奥秘的大门！”在半导体市场，Park一直以其先进的自动化AFM 系统而闻名。它率先将AFM 技术作为纳米级计量的主要工具，使其成为行业的主流。而Park最新推出的Park FX也将为AFM创新领域开启新的篇章。关于Park帕克原子力显微镜公司Park公司成立于1988年，是全球第一个推出商业原子力显微镜产品的上市公司。Park公司成立30多年以来，始终致力于纳米领域的形貌、力学测量和半导体先进制程工艺的计量的新技术新产品的开发。Park独创的技术包括将XY和Z扫描器分离，实现了探针与样品间的真正非接触，避免形貌扫描过程中因探针磨损带来的图像失真，能够快速成像的同时还可以大大提高测试效率，降低实验测试成本等。Park公司成立至今，致力于开发新产品和新技术，旨在为客户解决各类技术难题，以提供最完善的解决方案。其原子力显微镜以高端的产品质量和快捷优质的售后服务受到广大客户的认可。为给中国客户提供更加高效便捷的售后服务， Park公司在中国区建立了售后服务中心并配有备件仓库。

（2021年6月25日）Park帕克原子力显微镜公司(以下简称为“Park”)作为一家飞速成长的原子力显微镜公司，一直潜心于研发新科技并取得了丰硕的成果。近日Park隆重推出了一款重量级的全新型显微镜——Park FX40！该显微镜集全自动技术、安全性能、智能学习等人工智能软件一体化。这也是世界首台能够自动化所有前期设置和扫描过程的智能型原子力显微镜（AFM）。毋庸置疑，Park FX40将为研究界翻开崭新的一页！新型全自动原子力显微镜Park FX 40助力您的科学研究“与Park推出的前几代AFM系列不同，Park FX40自行负责了扫描前和扫描期间的所有设置，包括自动换针、探针识别、激光校准、样品定位以及近针和成像优化等操作。”Park全球产品研发部门副总裁Ryan Yoo评论道，“Park FX40兼有最新的人工智能技术和Park领先于半导体行业且价值百万美金的自动化技术，所以可以轻松自主执行上述任务。”新的 Park FX40 原子力显微镜不仅是几十个新功能的组合和原件的再升级，它还在原有的设计基础上，进行了全面而彻底的改革，使得AFM 具备高级的自动化能力。福音来了！即便是未经专业培训的研究型科学家们也能通过该显微镜轻松快捷地完成扫图过程，而专业的研究人员更可以将选择和正确装载探针的时间节省下来，以专注于他们更擅长的领域。“作为研发的新品，Park FX40的强大功能来源于其他AFM迄今为止从未使用过的全新技术。”Yoo补充道。除此之外，Park FX40还彻底升级了AFM的许多关键方面，其中包括采用尖端的机电技术极大降噪，减少束斑大小，调整光学视野，以及多功能嵌入样品台等。“我们很高兴能成为北美第一个体验Park FX40原子力显微镜的研究所。”哥伦比亚大学机械工程系的James Home教授发言道，“这款FX40增加了许多新功能并且升级了很多特性。作为Park的长期用户，我们对此感到非常兴奋和激动。这款FX40在人工智能和自动化技术上都实现了崭新的突破。我相信它可以极大地提高我们实验室的研究水平，并且推动整个纳米计量领域的创新。”Park FX 尖端的智能系统可以让您在初始操作时同时放置多个样品（相同或不同类型），它将根据您的需求进行自动成像。除此之外，该显微镜还能轻松及时地获取可发布的数据，并缩短研究周期来获得科学和工程上的最终成功。这些都有助您实现更快更准的研究。 Park FX40 独特的环境传感、自我诊断系统和避免头部碰撞的智能系统确保自身能够以最佳性能持续运行。在与全球原子力显微镜应用科学家们的密切合作下，Park产品市场部过去一整年都在不懈努力，潜心研发Park FX。"我们的科学家认识到AFM可以帮助研究人员获得前所未有的科学数据，并对纳米科学创新产生不可估量的影响。” Park公司的创立者，全球CEO朴尚一博士（Dr. Sang-il Park）评论道，“一直以来，我们都秉承着一颗赤诚之心来研发超级智能自动化的 Park FX 。因为我们的终极目标是为研究人员的工作保驾护航，帮助他们发现并打开科学更深处奥秘的大门！”在半导体市场，Park一直以其领先的自动化AFM 系统而闻名。它率先将AFM 技术作为纳米级计量的主要工具，使其成为行业的主流。而现在，Park最新推出的Park FX也将引领AFM创新领域开启新的自然篇章。关于帕克原子力显微镜帕克原子力显微镜是全球第一个推出商业原子力显微镜产品的上市公司。帕克公司成立30多年来，始终致力于纳米领域的形貌和力学测量以及半导体先进制程工艺的计量的新技术新产品的开发。帕克独有的技术是将XY和Z扫描器分离，实现探针与样品间的真正非接触，避免形貌扫描过程中因探针磨损带来的图像失真，快速成像还可以大大提高测试效率，降低实验测试成本。帕克公司成立至今，致力于新产品和新技术的开发，为客户解决各种技术难题，提供最完善的解决方案。Park公司的原子力显微镜以高尖端产品质量和快捷优质的售后服务受到广大客户的认可。 为了给客户提供高效便捷的售后服务，帕克公司在中国区建立有售后服务中心并配有备件仓库。

不忘初心，砥砺前行，以下按照时间轴，一起回顾Park原子力显微镜公司成长史，以及伴随世界原子力显微镜技术发展的故事。01Park公司简介 帕克原子力显微镜（Park Systems,以下称Park）是一家专门从事纳米设备测量的公司。Park致力于新技术开发，始终是纳米显微镜和计量学领域的创新者。Park在AFM技术发展中发挥着举足轻重的作用，制造和销售具有全自动化软件且使用方便的高精度原子力显微镜（AFM）。截至2021年4月20日，Park股票估值超过了一兆（万亿）韩元。朴尚一（Sangil Park)博士和他的导师Calvin Quate教授02为梦想而坚守Park原子力显微镜创始人朴尚一博士 Dr. Sangil Park1985年朴尚一博士所在的课题组（师从Calvin Quate教授）研发出世界首台原子力显微镜1988年朴尚一博士在美国硅谷创立了Park Scientific Instruments公司(PSI)1997年朴尚一博士将年销量为1200万美金的PSI以1700万美金的价格转卖给了美国测量设备公司Thermo Micro.1997年朴尚一博士回到韩国，创立PSIA公司，即为后来的Park原子力显微镜公司。Park原子力显微镜1997年4月PSIA(株)成立（资金5亿韩元）1998年7月中小企业厅风险投资企业确认1998年10月被韩国产业资源部评定为工业为主技术开发公司2000年04月韩国科学技术部颁发国家研究奖（NRL）2002年7月获得NT Mark(New Technology)新技术认证2002年消除串扰技术的发展（XE），从而提高了原子力显微镜的反馈和成像2003年4月成立美国分公司（PSIA Inc.）2003年5月被韩国科学技术部选为核心技术开发产业（Nano）2003年10月获得CE标志认证（XE-100, XE-150产品型号）2004年2月获得“工业技术奖”2004年真正非接触模式（True Non-contact Mode）实现无损样品扫描2005年1月被评为2004年韩国十大新技术企业（原子力显微镜技术）2005年7月获得ISO 14001环境管理体系认证2006年1月获得韩国高新技术认证（NEP， New Excellence Product）2007年1月成立日本分公司2007年4月法人名更改为Park Systems Corp.2007年12月被知识经济部评为"世界一流商品生产企业"2008年3月“韩美未来产品经营大奖”2008年7月获得 ISO 9001质量管理体系认证2008年8月XE-3DM：用于高分辨率3D测量的全新3D原子力显微镜2008年11月XE-Wafer: 用于在线晶圆检测和计量的自动化工业AFM2009年5月通过了Hynix海力士半导体的"Preliminary Performance Test"2009年6月荣获彼得.德鲁克创新奖2010年1月获得国家核心技术奖（工业型原子力显微镜技术）2010-11号2010年12月韩国十大新技术奖（XE-3DM技术）-知识经济部2010年12月韩国技术大赏银奖（XE-3DM技术）（经济部长奖）2011年Park NX10新品出市：全新产品系列的最优原子力显微镜2012年8月NanoKorea 2012知识经济部长奖2012年8月新加坡分公司成立2012年10月Park NX-Wafer: 全自动晶圆检测原子力显微镜2012年Park NX20新产品：用于故障分析和大型样品扫描的领先纳米计量工具2013年6月被选为 INNO-BIZ(技术创新中小企业) (13.06.20~16.06.19)2013年Park NX-HDM: 实现硬盘介质和半导体衬底的全自动化缺陷检查和亚埃米级表面粗糙度测量2014年Park SmartScan: 通过Park划时代创新自动成像技术，实现SmartScan软件的三次点击成像2015年2月与IMEC达成JPD协议以开发用于半导体制造业的纳米级原子力显微镜计量学2015年5月被选为国家产业核心技术事业项目 (2015.06~2018.05)-韩国产业通商资源部2015年8月首次在KOSDAQ（科斯达克）评估信息中获得AA等级技术评估，技术保证金2015年9月被指定为国家核心技术（原子力显微镜制造技术）- 韩国产业通商资源部2015年12月在科斯达克（KOSDAQ）上市，首次公开募股2015年6月NX-3DM:失效分析，质量监控和工艺改进的最佳原子力显微镜2015年Park NX-Hivac: 用于故障分析和气压敏感材料研究的高真空原子力显微镜2016年6月荣获第8届韩国KOSDAQ奖"最佳下一代企业奖"2016年6月被选为INNO-BIZ(技术创新中小企业) (A等级，16.06.20~19.06.19)2016年7月2016弗若斯特沙利文（Frost＆Sullivan）“全球技术支持领先奖”2016年12月产业通商资源部颁发2016年"第15届产业技术奖"2016年Park NX20 300mm: 可用于300 mm晶片圆测量和分析的自动化纳米测量工具2017年2月成立中国台湾分公司2017年3月成立欧洲分公司2017年Park NX12: 多功能原子力显微镜平台，满足纳米级测量的需求2018年5月2018年科斯达克（KOSDAQ）后起之秀企业2018年6月第十届韩国科斯达克（KOSDAQ）大赏最优秀技术企业奖2018年9月中国北京分公司成立2018年11月科学技术信息通信部，产业通商资源部颁发2018年十大纳米技术奖2018年12月入选2018年最有前途半导体技术解决方案企业2019年7月再次被选为2019年科斯达克（KOSDAQ）后起之秀企业2019年7月获NanoKorea 2019年韩国国务总理表彰奖2020年2月Park NX-TSH: 专为超大纳米平板显示器测量设计的自动化原子力显微镜2020年3月IMEC与Park公司签署第二期JDP协议合作开发用于半导体制造的纳米计量解决方案2020年5月Park原子力显微镜完成其对Molecular Vista的股权投资2021年1月2020年福布斯亚洲10亿美元200强企业榜单- Park原子力显微镜公司上榜2021年2月Park SmartLitho™ -最简易的纳米光刻和纳米操作的智能化软件2021年4月在科斯达克（KOSDAQ）突破一兆（万亿）韩元的关口03Park研发之路"前世今生"近40年间，朴尚一博士致力于原子力的发展。1985年，朴尚一博士在斯坦福大学Calvin Quate教授课题组攻读博士学位期间，亲身参与并见证了首台AFM的诞生。该成果发表在1986年3月的“物理评论快报”上，该成果的共同作者单位为Gerd Binnig(IBM公司阿尔玛登研究中心)、Christoph Gerber(IBM公司苏黎世研究实验室)、Calvin Quate教授(斯坦福大学)。1988年，朴尚一博士在美国硅谷创立了Park Scientific Instruments公司(PSI)，PSI作为全球最初的商业化AFM公司在硅谷获得了巨大成功，公司仅用三年时间，销售业绩就达到了595万美金，相比于创业之初的1988年，业绩实现了超过10倍的暴风式增长。1997年， PSI以1700万美金的收购价格被美国测量设备公司Thermo Micro全资收购。1997年，朴尚一博士回到韩国并于当年成立了PSIA公司。伴随着半导体产业的崛起，PSIA公司着力于开发适用于半导体产业的计量型原子力显微镜。1998年，PSIA公司推出了首款可以对8英寸Wafer进行缺陷检测的原子力显微镜"SM5-200"。2000年，PSIA公司根据LCD产业的需求，推出了世界上首台不用破片的大尺寸LCD产业用原子力显微镜--600X720 mm液晶显示器(LCD)。该产品首次实现了原子力显微镜检测的不破片测量，并在同年得到了三星电子的评测认可。但在2001年，由于受制于美国的贸易政策，PSIA公司不能从美国的公司采购任何主要的美国生产的产品备件，导致公司生产一度停滞。“求人不如求己！”面对美国一些贸易壁垒的经营限制条例，朴尚一博士决定借此机会让PSIA成为完全的技术独立者。在随后的漫长时间里，他致力于研发完全本土化的产品。历尽不为人知的众多曲折后，PSIA最终推出了世界上首台扫描器分离的原子力显微镜Park XE-100，并且将非接触模式的算法进行了优化升级，一举解决了传统非接触模式不能进行高分辨扫描的弊端。PSIA推出的非接触模式成像，在获得高分辨率的照片的同时，且使探针寿命得到了显著的提升，有效降低了AFM使用成本。2007年4月，PSIA正式改名为Park Systems (中文名：帕克原子力显微镜，以下称为Park)。随后Park还开发了3D原子力显微镜测量技术，升级款的原子力显微镜可以测量类似TSV样品的侧壁形貌。此项技术问世后，欧洲领先的微电子技术独立研发中心IMEC向Park抛来合作的橄榄枝，并在2015年和Park签署合作意向书，以便在半导体工艺先进制程研发领域建立长期合作伙伴关系。小结Park公司成立至今，从包括朴尚一博士在内的首次创业的几个合伙人，发展到现在拥有400人的全球公司，实现了质的蜕变。截至目前，Park公司市值已超过10亿美金，在全球建立了9个分公司和代表处，并于2017年在中国北京成立了韩国帕克服份有限公司北京代表处… … 毋庸置疑，随着市场地不断开拓，Park公司凭借着与时俱进的研发技术，已经成为业界领先的优秀企业。接下来Park即将推出一系列新品原子力显微镜，并将于2024年扩迁公司总部，以更好地推进公司的运营和发展。Park将为科学和工业实验室引入一种具有人工智能和机器人智能化的全新全自动化原子力显微镜 ，值得期待！

帕克原子力显微镜与您相约Semicon China 2019Semicon China作为中国首要的半导体行业盛事之一，将于2019年3月20日到3月22日在上海新国际博览中心隆重举行，帕克原子力显微镜公司将会亮相此次半导体的行业盛典。 日期：2019年3月20日-22日地点：上海新国际博览中心（SNIEC）展位号：E7馆 7330帕克原子力显微镜与您相约Semicon China 2019Semicon China作为中国首要的半导体行业盛事之一，将于2019年3月20日到3月22日在上海新国际博览中心隆重举行，帕克原子力显微镜公司将会亮相此次半导体的行业盛典。 日期：2019年3月20日-22日地点：上海新国际博览中心（SNIEC）展位号：E7馆 7330帕克的NX-Wafer不仅是可以用于高级5G器件设计的最佳原子力轮廓仪，还可满足VCSEL的一些应用，可提供从2寸到4，6，8，12寸的全自动化测量！帕克公司的应用专家们会在7330展位现场进行技术答疑。 恭候您的光临！帕克原子力显微镜公司帕克的NX-Wafer不仅是可以用于高级5G器件设计的最佳原子力轮廓仪，还可满足VCSEL的一些应用，可提供从2寸到4，6，8，12寸的全自动化测量！帕克公司的应用专家们会在7330展位现场进行技术答疑。 恭候您的光临！帕克原子力显微镜公司

2016年6月30日，日立原子力显微镜应用技术研讨会在上海举行，来自北京、上海、南京等地区的20多位专家学者参加了此次技术研讨会。会议前后，日立原子力显微镜应用工程师在中科院上海硅酸盐研究所对用户进行了系统的应用培训。　　此次研讨会邀请到了中科院上海硅酸盐研究所的曾华荣研究员做了题为《高分辨扫描探针压电-声学-热学显微术及其应用研究》的报告，介绍了其在铁电材料研究中对于日立高分辨型原子力SPA-400及日立环境型原子力显微镜AFM5300E的应用心得。日立高新北京分公司总经理加藤博司先生、天美公司上海分公司总经理顾家晖先生分别致辞，日立原子力显微镜全球应用中心山冈武博博士，日立高新北京分公司罗琴女士，天美公司原子力应用工程师周海鑫博士等人参与了研讨会。　　日立高新北京分公司总经理加藤博司先生在致辞中介绍了日立原子力的发展历程，并对日立原子力显微镜的发展规划向与会学者做了介绍。天美公司上海分公司总经理顾家晖先生对于日立原子力显微镜的市场发展情况进行了回顾，并对日立原子力显微镜日后的发展表达了美好的祝愿。　　中科院上海硅酸盐研究所曾华荣教授结合其在铁电畴领域的应用，对压电响应显微术、扫描探针声学显微术、扫描热学显微术、扫描热电显微术等先进探针显微术的特点进行了介绍，扫描探针压电-声学-热学联用研究的方式引起了与会学者的极大兴趣。　　日立原子力显微镜全球应用中心山冈武博博士针对日立环境可控型原子力显微镜AFM5300E的特点，介绍了AFM5300E在力学、磁学、电学等方面的应用。AFM5300E可调节密闭样品仓中的温度、湿度，并可使样品处于真空或者气氛保护条件下进行原子力测试。山冈博士将日本运用AFM5300E取得的最新科研成果向大家做了分享。　　天美公司原子力应用工程师周海鑫博士介绍了日立原子力的产品线，对于高分辨型AFM5100N、环境可控型AFM5300E以及最新发布的全自动化原子力显微镜AFM5500M的特点和应用做了详细的介绍。　　最后，日立高新电镜应用工程师罗琴女士对于日立扫描电镜-原子力的联用方案进行了介绍。日立高新在扫描电镜领域拥有丰富的经验，原子力显微镜产品线的加入实现了SEM-SPM同位置同气氛保护方面的联用，为科研工作者提供了更加丰富的科研解决方案。日立高新与天美公司会继续以支持中国科技发展为己任，不断开发高性能仪器，为广大科研工作者提供更加优质的服务。关于天美：　　天美(控股)有限公司(“天美(控股)”)从事表面科学、分析仪器、生命科学 设备及实验室仪器的设计、开发和制造及分销 为科研、教育、检测及生产提供完整可靠的解决方案。继2004年於新加坡SGX主板上市后，2011年12月 21日天美(控股)又在香港联交所主板上市(香港股票代码1298)，成为中国分析仪器行业第一家在国际主要市场主板上市的公司。近年来天美(控股)积极 拓展国际市场，先后在新加坡、印度、澳门、印尼、泰国、越南、美国、英国、法国、德国、瑞士等多个国家设立分支机构。公司亦先后收购了法国 Froilabo公司、瑞士Precisa公司、美国IXRF公司、英国 Edinburgh Instruments公司等多家海外知名生产企业和布鲁克公司Scion气相和气质产品生产线，加强了公司产品的多样化。　　更多详情欢迎访问天美(中国)官方网站：http://www.techcomp.cn

产品简介原子力显微镜利用微悬臂下方的探针和样品表面距离缩小到纳米级，探针和样品表面的分子间作用力使得悬臂受力形变。探针针尖和样品之间的作用力与距离有强烈的依赖关系，即可以通过检测悬臂受力的弯曲程度，从而获得样品表面形貌信息。不同于电子显微镜只能提供二维图像，AFM能提供真实的三维表面图。同时,AFM不需要对样品的任何特殊处理,如镀铜或碳，这种处理对样品会造成不可逆转的伤害。第三，电子显微镜需要运行在高真空条件下,原子力显微镜在常压下甚至在液体环境下都可以良好工作。这样可以用来研究生物宏观分子，电池材料，甚至活的生物组织。利用微悬臂探针结构对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征,纵向噪音水平低至0.03nm(开环)，可实现样品表面单个原子层结构形貌图像绘制。AFM最大的特点是可以测量表面原子之间的力,AFM可测量的最小力的量级为10-14-10-16N。AFM还可以测量表面的弹性,塑性、硬度、黏着力等性质,AFM还可以在真空,大气或溶液下工作,在材料研究中获得了广泛的研究。产品由本公司自主研发,稳定性强，可拓展性良好，提供定制服务 可拓展横向力显微镜 静电力显微镜 磁力显微镜 扫描开尔文探针显微镜 刻蚀和纳米操作等。该产品作为高速、高精度物质形貌表征工具,可以为高端科研与企业生产研发提供更多的选择与助力。设备性能XY方向噪音水平:0.2nm闭环 0.02nm开环。Z方向噪音水平:0.04nm闭环 0.03nm开环。XY方向非线性度:0.15% Z方向非线性度:1%图像分辨率:128x128,256x256,512x512,1024x1024，2048x2048扫描范围:最大可达100μmx100umx10 μm样品尺寸:最大可达直径15 mm,厚度5 mm全自动步进电机控制进样系统:行程30mm，定位精度50nm/步 设备特色工作模式:包括接触、轻敲、相移成像(Phase-lmaging)等多种工作模式适配环境:空气、液相多功能配置:横向力显微镜 静电力显微镜 磁力显微镜 扫描开尔文探针显微镜 刻蚀和纳米操作

世界领先的原子力显微镜制造商Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）于2021年4月20日宣布，公司股票估值超过1万亿韩元(近10亿美元)。 Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）于2015年12月17日在KOSDAQ首次公开发行了100万股股票，KOSDAQ相当于韩国的纳斯达克(NASDAQ)。自首次公开募股以来， Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）已发展成为全球原子力显微镜领域的领导者，在原子力显微镜半导体先进自动化遥遥领先，并将原子力显微镜（AFM）技术作为纳米尺度测量的首要工具带入主流。Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）创始人兼CEO Sang-il Park博士在接受采访时候表示，“Park持续收到来自世界顶尖半导体和数据储存供应商的采购订单“。Sang-il Park博士曾作为斯坦福大学课题组的小组成员参与开发了世界首台原子力显微镜，并于1988年研发了首个商业型原子力显微镜。“即使是受疫情影响的近两年Park依旧以超过20%的复合增长率快速成长，订单持续走高。” KOSDAQ的估值接近10亿美元，吸引了外国投资者的注意，他们积极购买股票，使公司的持股比例从1月的11%增加到3月的18%。不仅如此， Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）还在最新公布的2020福布斯亚洲10亿美元以下200强企业上榜，更是获得科斯达克（KASDAQ）大奖，并在富时（FTSE）小型股指数上榜。 2020年， Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）与IMEC签署了第二期JDP协议合 作开发用于半导体制造的纳米计量解决方案。不仅如此， Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）还完成了对Molecular Vista的股权投资， Molecular Vista作为一家AFM的生产商，该公司主要聚焦于基于光诱导力显微镜的纳米红外技术（IR PiFM）进行AFM红外联用的定量可视化研究工作，从而实现分子水平上探测和解析物质的红外光谱特征。 Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）总部设在韩国首尔。自成立以来，以不可忽视的实力全球化扩张，如今 Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）已成为用于工业、研究和学术纳米尺度研究的原子力显微镜(AFM)工具的首要供应商。在全球范围内应用广泛的技术研究所促进了许多领先的原子力显微镜技术的发展，包括 True Non-Contact （非接触）技术、SmartScan操作软件、可用于纳米力学分析和电气模式的PinPoint模式 最近 Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）还推出了用于纳米级光刻的智能Litho。 Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）是第一家具有里程碑意义的原子力显微镜制造公司。其基于挠性的扫描系统带来了新水平的准确性、分辨率和样品处理技术。2024年， Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）将扩大并搬迁公司总部，以推进公司的运营和技术发展。 Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）将为科学和工业实验室引入一种具有人工智能和机器人智能化的全新全自动化原子力显微镜 ，敬请期待！ 关于 Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）帕克原子力显微镜是全球第一个推出商业原子力显微镜产品的上市公司。Park（帕克）公司成立30多年来，始终致力于纳米领域的形貌&力学测量和半导体先进制成工艺的计量的新技术新产品的开发。Park（帕克）独有的技术是将XY和Z扫描器分离，实现探针与样品间的真正非接触，避免形貌扫描过程中因探针磨损带来的图像失真，快速成像还可以大大提高测试效率，降低实验测试成本。Park（帕克）公司成立至今，致力于新产品和新技术的开发，为客户解决各种技术难题，提供最完善的解决方案。Park（帕克）公司的原子力显微镜以高尖端产品质量和快捷优质的售后服务受到广大客户的认可。为了给客户提供高效便捷的售后服务， Park（帕克）公司在中国区建立有售后服务中心并配有备件仓库。

仪器信息网讯 5月16日，帕克原子力显微镜(以下称为Park Systems)上海实验室举行了开幕式。为了向客户提供更出色的产品和服务，Park Systems对2019年成立的上海实验室进行了扩建。扩建后的上海实验室占地更加广阔，设备也更加齐全，相信对于Park Systems进一步开辟中国市场将发挥重要作用。Park Systems上海实验室开幕式Park Systems中国区首席代表张菲博士介绍到场嘉宾韩国驻上海领事馆商务领事金根模先生致开幕词Park Systems全球执行副总裁Dr. Sang-Joon Cho致祝贺辞Park Systems亚太区销售经理Terry Yang部长致辞Park Systems中国区销售总裁张家荣介绍中国市场发展现状和发展蓝图Park Systems中国区销售总裁张家荣首先介绍了Park公司经历的三个冒险阶段，第一阶段是1988-1997年，当时Park Systems的创始人Sang-il Park（朴尚一博士）博士是美国斯坦福大学的研究人员之一，见证并参与了第一台原子力显微镜的发明。随后在1988年，第一台商用原子力显微镜问世，至1997年短短十年间就在全世界卖出了几千台原子力显微镜。第二阶段是1997-2022年，Sang-il Park博士回国创立Park Systems公司，并将目标转向了工业界，在经历了最初一段相对艰难的时期后，经过与IMEC的合作，最终在半导体市场取得了巨大的成功。2015年，Park Systems公司在韩国上市，直至2023年市值已经达到约1兆韩元。Park Systems在北京、上海、广州等多地布局，随着国内市场的繁荣，Park Systems公司也决定进一步地扩大上海实验室的规模。随后就在2023年，Park Systems公司进入了第三个冒险阶段，Park Systems公司推出了全自动的原子力显微镜FX40。对于国内市场而言，全新的自动化的原子力显微镜FX40必将掀起一轮新的革新。此外，Park Systems公司也在尝试结合不同的光学光学方法开发更多更好的原子力显微镜应用。Park Systems中国区售后经理张华新介绍中国区售后服务规划Park Systems中国区售后经理张华新介绍道，Park Systems售后团队的主要工作是机台的安装、培训、调试以及机台的维护保养等，目前中国区售后工程师已经突破了30人，并在武汉、合肥、北京、青岛、无锡、上海、广州等地设置了售后服务点。此外，Park Systems总部也有约10名售后工程师随时援助中国区售后团队，其中大部分都会说中文。Park Systems在国内还有充足的备件，在武汉、上海、合肥、武汉等地都有备品仓库，这些备品能够让Park Systems售后团队更快地解决客户发生的问题，特别是工业级的客户。今年Park Systems还计划在广州和青岛建立两个备件仓库，用来支援华中和华南两地。Park Systems在国内还有两个维修服务中心，这两个维修服务中心能够缩减备品返修时间，提高备品供应的效率。Park Systems在上海实验室布置了NX10和NX20两个科研型的演示机台，还新增了工业设备NX-Wafer，这些演示机台不仅具有演示作用，售后团队也可以利用演示机台进行内部培训，提高工程师的售后能力；演示机台也可以辅助售后工程师进行故障排查以及新应用和新功能的评估。Park Systems中国区销售经理魏晓冬致闭幕辞魏先生表示，Park Systems上海实验室位于上海虹桥核心区域，建筑面积接近500平米，现拥有12英寸的NX-Wafer全自动在线机台、兼容工业和科研的8英寸的NX20以及研究型的小样品机台NX10，近期还会再进驻全自动的研究型机台FX40，不久的将来Park Systems新收购的德国Accurion在线椭偏仪和主动隔振平台产品也都将亮相上海实验室。这些产品和应用方案可以给客户从购买设备之前的调研考察到售后阶段的各种应用需求提供完备的技术支持，从而帮助客户在各自的量测领域应用中解决面临的问题，提升工艺水平，提高研发效率。Park Systems中国区销售经理魏晓冬、Park Systems亚太区销售经理Terry Yang部长、Park Systems中国区首席代表张菲博士、Park Systems全球执行副总裁Dr. Sang-Joon Cho、韩国驻上海领事馆商务领事金根模先生、Park Systems中国区销售总裁张家荣、Park Systems全球市场部副总裁Jessica Kang常务、Park Systems全球技术支援部副总裁Peter Kang部长（从左至右）参加剪彩仪式Park Systems上海实验室参观

p　　strong仪器信息网讯/strong 2月27日，牛津仪器Asylum Research宣布推出新型原子力显微镜(AFM)——Jupiter XR™ AFM，这是一款能够利用单一扫描器同时提供全自动、多功能、高扫描速度和高精度的大样品AFM。/pp style="text-align: center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/fcb4ea90-3952-4695-954b-639d2f0cb1fe.jpg" title="000.jpg" alt="000.jpg" style="width: 300px height: 259px " width="300" vspace="0" height="259" border="0"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "全新大样品原子力显微镜Jupiter XR™ AFM/span/pp　　Jupiter XR™ 提供超过210 mm的样品空间，可呈现更高分辨率，更快速获得结果，用户操作更简单，并且同时满足学术研究和工业研发需求。通过Asylum Research近20年的AFM技术创新历史积累，Jupiter XR™ 将大样品原子力显微镜的性能提升至新高度。/pp　　“多年来，用户们一直期望我们能够提供一款大样品AFM，我们也非常高兴这款新推出的Jupiter从性能和易用性等多个方面都能满足用户的需求。”strong Asylum Research总裁Roger Proksch博士表示，/strong“创立至今，Asylum Research始终致力于不断推动AFM技术的极限，Jupiter XR™ 不但具备了一系列Asylum Research独特核心技术——低噪声位置传感器、Cypher AFM出色的分辨率和速度、新的纳米力学测量技术以及blueDrive™ 光热激发轻敲技术等，同时也保持了Asylum Research产品一贯的可靠性和专业的客户支持。”/pp　　Jupiter XR™ 具有可高速精准定位的210 mm样品台，可对整个样品任意位置进行精准定位 简单直观的软件操作界面，并且具备全自动的激光和探测器对准，自动智能优化成像参数，自动多点成像和分析 以及Asylum Research独特的blueDrive™ 光热激发轻敲模式，可以大大提高探针尖端寿命和测量可重复性。/pp　　与其他Asylum Research原子力显微镜系列产品一样，Jupiter XR™ 具备了广泛的应用和多样的配件体系等特点，并采用模块化设计便于将来扩展，可用于科学研究、平台实验中心、大批量工业应用和故障分析实验室等领域。无论身处怎样的研究领域，Jupiter XR™ 均可凭借其易用性、高速扫描、高性能和灵活性游刃有余。/p

项目编号：1371-2241GDGH1153项目名称：高精度自动原子力显微镜等设备采购采购方式：公开招标预算金额：2,900,000.00元采购需求：合同包1(高精度自动原子力显微镜):合同包预算金额：1,650,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1其他专用仪器仪表高精度自动原子力显微镜1(套)详见采购文件1,650,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：合同签订后120天内交付使用。合同包2(四通道耗散型石英晶体微天平分析仪):合同包预算金额：1,250,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)2-1其他专用仪器仪表四通道耗散型石英晶体微天平分析仪1(套)详见采购文件1,250,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：合同签订后120天内交付使用。

仪器信息网讯 2021年4月20日，世界知名原子力显微镜制造商Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）宣布，公司股票估值超过1万亿韩元(近10亿美元)。 Park Systems于2015年12月17日在KOSDAQ首次公开发行了100万股股票，KOSDAQ相当于韩国的纳斯达克(NASDAQ)。自首次公开募股以来， Park Systems已发展成为全球原子力显微镜领域的行业翘楚，尤其在原子力显微镜半导体先进自动化领域优势明显，并将原子力显微镜（AFM）技术作为纳米尺度测量的首要工具带入主流。Park Systems创始人兼CEO Sang-il Park博士在接受采访时候表示，“Park持续收到来自世界顶尖半导体和数据储存供应商的采购订单“。Sang-il Park博士曾作为斯坦福大学课题组的小组成员参与开发了世界首台原子力显微镜，并于1988年研发了首个商业型原子力显微镜。“即使是受疫情影响的近两年Park依旧以超过20%的复合增长率快速成长，订单持续走高。”帕克原子力显微镜创始人兼CEO Sang-il Park博士KOSDAQ的估值接近10亿美元，吸引了外国投资者的注意，他们积极购买股票，使公司的持股比例从1月的11%增加到3月的18%。不仅如此， Park Systems还在最新公布的2020福布斯亚洲10亿美元以下200强企业上榜，更是获得科斯达克（KOSDAQ）大奖，并在富时（FTSE）小型股指数上榜。2020年， Park Systems与IMEC签署了第二期JDP协议合作开发用于半导体制造的纳米计量解决方案。不仅如此， Park Systems还完成了对Molecular Vista的股权投资， Molecular Vista作为一家AFM的生产商，该公司主要聚焦于基于光诱导力显微镜的纳米红外技术（IR PiFM）进行AFM红外联用的定量可视化研究工作，从而实现分子水平上探测和解析物质的红外光谱特征。Park Systems总部设在韩国水源。自成立以来，凭借实力逐渐全球化扩张，如今 Park Systems已成为用于工业、研究和学术纳米尺度研究的原子力显微镜(AFM)工具的首要供应商。在全球范围内应用广泛的技术研究所促进了许多领先的原子力显微镜技术的发展，包括 True Non-Contact （非接触）技术、SmartScan操作软件、可用于纳米力学分析和电气模式的PinPoint模式 最近 Park Systems还推出了用于纳米级光刻的智能Litho。Park Systems是一家具有里程碑意义的原子力显微镜制造公司。其基于挠性的扫描系统带来了新水平的准确性、分辨率和样品处理技术。据悉，2024年， Park Systems将扩大并搬迁公司总部，以推进公司的运营和技术发展。 Park Systems将为科学和工业实验室引入一种具有人工智能和机器人智能化的全新全自动化原子力显微镜 ，值得期待！

原子力显微镜（AFM）的基本原理虽然不难，但是要在纳米尺度上得到可靠的的数据就要依赖周密的仪器设计，而这通常就带来了繁琐的使用界面。用户经常需要面对复杂的设定，因此他们需要AFM技术的知识储备，并且还要花费大量的测量时间。然而，复杂的仪器一定意味着难用吗？我们来找找在选择AFM的时候您需要考虑的几个方面！快速而简单的探针安装在AFM测量之前，需要安装微悬臂探针。探针悬臂非常小-通常是50到300微米长，20到60微米宽，2到8微米厚。探针安装通常需要经验：不仅操作起来费劲（并且如果安装时候掉针还会造成浪费），而且如果装得不合适还会导致激光无法对准。出现这种情况的话，用户就不得不回过头去重复探针更换的步骤，重新安装探针（或装一根新的探针），并且重新开始激光调节步骤，十分繁琐。这就是为什么探针安装的步骤应该要快速，简单和可靠。找出这样的一款现代化的AFM仪器，它能够提供解决这个问题的新颖方法。探针安装应该是快速可靠的而不是繁琐费时的。自动激光对准在探针放入仪器后，就要进行激光的对准。为了使得AFM测量准确和可靠，激光对准至关重要。糟糕的激光对准可能降低光杠杆的灵敏度，引起假像，甚至成不了像。然而，通常的手动激光对准很费时而且难操作。自动激光对准找出这样一款AFM，它能够提供完全自动化的激光对准功能。现代化的AFM仪器仅仅需要在控制软件中点击两次鼠标就能完成激光的自动对准。侧视相机监控进针过程AFM设计的一个重要难题是建立一套能控制扫描前探针靠近样品表面的系统，使得探针不会撞到表面而损坏。但是通常的进针系统，用户必须要很小心地控制，使探针安全靠近样品表面。在透明样品，暗样品，以及复杂几何结构的样品上，进针控制尤其有挑战性，其原因是探针和样品间的距离很难估计。进针过程带有很大的撞针风险。侧视相机监控探针靠近新一代的AFM集成了侧视相机，使得用户能看到探针相对于表面的准确的位置，从而安全地移动探针靠近表面。随后软件开始自动进针过程-几秒钟后就可以进入扫描的状态了。测量时间短时间对每个人都很重要。使用AFM的时候，需要花费一定的测量时间。用户操作AFM通常需要5步：1. 安装探针2. 放置样品3. 激光对准4. 移动样品到测试位置5. 进针并开始测量。对那些需要繁琐的探针更换，手动激光对准，没有侧视相机，以及缺少自动化的AFM仪器，这5个步骤至少要用去一阵子时间。再加上，如果使用者不是AFM的熟练工（事实上这很正常）或者面对各种不同类型的样品，就需要更长的时间来完成这些步骤。找出高度自动化的AFM，减少测量时间，这样您就能专注于更重要的内容。 解耦xy和z扫描器压电陶瓷必须要用这样的方式构造，使得它们能够沿x，y和z轴移动探针（或样品）。最常用的三维扫描器结构之一是管状的扫描器-主要因为它易于制造。但是它有一些缺点：由于它的几何结构，管状扫描器易于产生很多非线性，尤其是在大范围扫描时会有弧形扭曲。扫描器的弧形扭曲来源于它弯曲的运动轨迹，而这些弯曲或者弧形会体现在测得的高度图上。解耦xy和z扫描器找出具有xy和z方向解耦扫描器的AFM。这种扫描器设计，xy扫描器位于样品下而z扫描器位于扫描头上以减少扫描器之间的串扰。您需要一台满足所有上述方面的原子力显微镜吗？试试新一代AFM: 安东帕ToscaTM 400。自动化被植入到Tosca™ 400的每个操作层级，效率的提升和简化的AFM操作将令您受益。

基于多年在纳米生命科学全球领先的光镊和原子力显微镜应用经验，德国JPK公司首次将这两种技术搭建在同一个倒置光学显微镜上面，推出全球第一款商用光镊-原子力显微镜联用仪OT-AFM。OT-AFM不仅具有AFM的表面成像与测力功能，还具有光镊系统最高灵敏度的三维测力性能。集光镊三维高精度力学测量与操控和AFM高分辨率成像于一身的这套系统将开启一个全新的应用领域。这套联用系统不仅能满足最严格的机械稳定性的要求，还有非常高的灵敏性，模块化的设计。独特设计的联用平台是能将JPK光镊与AFM与细胞力谱仪集成于研究级倒置显微镜的关键所在。JPK在硬件和软件上具有非常成熟的与高端先进光学（如TIRF, Confocal，STED等）联用技术经验，我们可以很简单地将先进光学数据与光镊和AFM数据关联起来。在动态实验中，JPK AFM与光学数据同步采集而不相互干扰，因此这套联用系统能在力学测量中提供更多维度的操作空间。这套联用系统OT-AFM可以应用于许多新的研究领域，包括：细胞内相互作用；细胞与细胞或细胞与基质相互作用；免疫反应；细菌\病毒感染和纳米颗粒的摄取过程等。JPK赖以成名的光镊和AFM技术，加上与荧光技术的联用，创立了活细胞研究领域的最高标准。 JPK公司首席技术官（CTO）Torsten Jahnke博士这样描述这个令人振奋的突破：“功能化颗粒或修饰的微生物触发细胞反应是常见的方法。基于AFM的方法也可以观察细胞的结构、动力学、机械性能的变化，但是将目标物运输到细胞特点区域还是非常难以实现的。光镊能在时间和空间上精准地操控细胞或触发细胞反应，从而能显著地提高这些研究的产出效率、重复性和灵活性。我们独特的OT-AFM系统已经应用于定量研究树突状细胞（DCs）与貝有调控性的T细胞（Treg）之间信号传导对一般性T细胞（Tconv）黏附于同一树突状细胞性能的影响。” 关于JPK公司JPK 在1999 年成立于德国柏林，是一家全球领先的高科技纳米分析仪器跨国企业，其产品包括享誉全球的高分辨快速原子力显微镜、全自动力谱仪、测力型光镊、细胞力谱仪等高水平、高精度分析仪器，广泛应用于生命科学、高分子、纳米材料等高科技研究领域。JPK于2014年在中国成立“杰评科精密仪器贸易（上海）有限公司”，并设立有分析实验室、耗材备件仓库以及售后服务中心，为广大中国用户提供高效完美的测试解决方案，迅捷专业的售后服务和全方位的技术支持。 更多信息，请访问JPK公司主页或关注JPK中国官方微信号：JPK_China。

p style="text-indent: 2em line-height: 1.75em "span style="text-indent: 2em "AFM5300E是一款环境型原子力显微镜，它的环境控制单元可以使样品在大气中、真空中、溶液中等环境中进行测量。AFM5300E还具有高低温控制功能，可以检测温度对样品表面形貌和物理特性的影响。/span/pp style="text-indent: 2em line-height: 1.75em "这款仪器使用起来到底如何呢？让我们听听用户怎么说：/pp style="text-align: center text-indent: 0em line-height: normal "span style="background-color: rgb(79, 129, 189) color: rgb(255, 255, 255) "strong国年弘二/strong/span/pp style="text-align: center text-indent: 0em line-height: normal "span style="background-color: rgb(79, 129, 189) color: rgb(255, 255, 255) "strongspan style="background-color: rgb(79, 129, 189) "（日东分析中心株式会社　解决方案?服务部　技术开发组　主任技师/span/strongstrongspan style="background-color: rgb(79, 129, 189) "）/span/strong/span/pp style="text-indent: 0em line-height: normal "script src="https://p.bokecc.com/player?vid=2B466B17A1C2F6039C33DC5901307461&siteid=D9180EE599D5BD46&autoStart=false&width=600&height=490&playerid=5B1BAFA93D12E3DE&playertype=2" type="text/javascript"/script /pp style="line-height: 1.75em text-indent: 2em "span style="color: rgb(0, 0, 0) background-color: rgb(255, 255, 255) "span style="text-indent: 32px "更多产品信息请查看：AFM5300E高真空可控环境型原子力显微镜【/spana href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C244320.htm" target="_self" style="text-indent: 32px white-space: normal color: rgb(79, 129, 189) "strong产品链接/strong/aspan style="text-indent: 32px "】/span/span/pp style="line-height: 1.75em text-indent: 2em "span style="color: rgb(0, 0, 0) background-color: rgb(255, 255, 255) "AFM5500M 的操作性和测量精度大幅提高，配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换，激光对中，测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且，通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析。/span/pp style="line-height: 1.75em text-indent: 2em "span style="color: rgb(0, 0, 0) background-color: rgb(255, 255, 255) "想了解这款仪器的真实使用情况吗？让我们一起来看看吧：/span/pp style="text-indent: 0em line-height: normal text-align: center "span style="background-color: rgb(79, 129, 189) color: rgb(255, 255, 255) "strongspan style="background-color: rgb(79, 129, 189) "山腰亮子/span/strong/span/pp style="text-align: center text-indent: 0em line-height: normal "span style="background-color: rgb(79, 129, 189) color: rgb(255, 255, 255) "strongspan style="background-color: rgb(79, 129, 189) "（日华化学株式会社 研究中心 事业研究部 分析实验室 副院长）/span/strong/span/pp style="line-height: normal "script src="https://p.bokecc.com/player?vid=0248551DE2915CD19C33DC5901307461&siteid=D9180EE599D5BD46&autoStart=false&width=600&height=490&playerid=5B1BAFA93D12E3DE&playertype=2" type="text/javascript"/scriptbr//pp style="text-align: left text-indent: 2em line-height: normal "更多产品信息请查看：AFM5500Mspan style="background-color: rgb(255, 255, 255) font-family: " microsoft="" font-size:=""全自动型/spanspan style="font-size: inherit text-indent: 2em "原子力显微镜【/spana href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C248662.htm" target="_self" style="font-size: inherit text-indent: 2em "strongspan style="color: rgb(79, 129, 189) "产品链接/span/strong/aspan style="font-size: inherit text-indent: 2em "】/span/pp style="text-indent: 2em line-height: normal "a href="https://www.instrument.com.cn/Buyer/" target="_self" style="text-indent: 32px white-space: normal color: rgb(79, 129, 189) font-family: 微软雅黑 "strong仪采通/strong/aspan style="text-indent: 32px "，一键直达，快速发布采购需求/span/p

株式会社日立高新技术(社长:饭泉 孝/以下称:日立高新技术将于近期开始销售小型探针显微镜AFM100系列，该系列追求操作性并提高了处理量，可用于科学研究开发以及质量管理，包括原子力显微镜(AFM:Atomic Force Microscope / 以下称:AFM)高性能AFM100 Plus及其入门型号AFM100两种机型。AFM100系列AFM作为一种扫描探针显微镜(SPM : Scanning Probe Microscope),使用前端直径为数纳米(1纳米：百万分之一毫米)的尖锐探针扫描样品表面，可同时实现纳米级别的样品表面的形貌观察和物性映射评估。AFM已广泛应用于电池材料、半导体、高分子、生物材料等各个领域的科学研究开发和质量管理。过去，操作AFM的工序繁琐，不仅要用镊子夹住装有探针且宽度约为1mm的悬臂，将其设置在装置上，还要在悬臂前端探针扫描样本表面时进行接触状态控制和扫描速度调整等步骤。因此，从开始测量到获取数据，其间的总处理量较低。测量人员的操作熟练程度和使用感觉差异会导致测量条件设置不同，继而引发所获得的数据产生差异等问题。日立高新技术此次研发的新品，AFM100/100Plus旨在解决上述问题,推动具有高操作性的AFM装置在工业领域和科学研究开发领域实现普及。通过使用AFM100/100Plus，任何人都能轻松且稳定地获取可靠数据，从而完成从科学研究用途到质量管理中的日常作业。特别是AFM100 Plus，其用途十分广泛，可用于从观察石墨烯和碳纳米纤维等纳米材料，到超过0.1 mm的大范围3D形貌观察、粗糙度分析、物性评估等领域。产品特点：１.提高了操作性、可靠性及总处理量为简化过去操作繁琐的悬臂更换，采用新开发的预装方式*1悬臂，提高了操作性。而且，通过配备自动向导功能，还可以根据样品的表面形貌，自动设置最佳测量条件，对探针进行接触状态控制和扫描速度调整等，任何人测量都可以得到稳定的结果，从而提高了数据的可靠性。此外，该机型支持自动多点测量，只需点击一下，从测量，到图像数据分析、保存可一次性完成，大大缩短了数据测量分析时间。2.提高了与本公司SEM（Scanning Electronic Microscope）装置的亲和性　选配功能“AFM标记功能”通过采用日立高新技术自主开发的SÆMic．(SÆMic：AFM-SEM相关显微镜法)观察方法,提高了与扫描电子显微镜SEM装置的亲和性。在观察样品的同一位置时，可以充分发挥各个设备的特性，对样品进行机械特性、电气特性、成分分析等检测，易于开展多方面分析。3.实现装置的扩展性和持续性为确保用户可长期使用，该装置标配控制软件免费下载服务和能够自行诊断意外故障因素的自检功能。因此，用户只需自己动手进行软件升级，即可始终保持最新性能。日立高新技术公司今后也会继续提供以本产品为代表的创新解决方案，与客户携手创造全新社会及环境价值，为最尖端的产品制造作出贡献。*1 预装方式：在用于安装悬臂的盒式芯片上预先安装悬臂的方式。■“AFM100 Plus”相关规格项目AFM100 Plus检测系统光杠杆法 SLD（超辐射发光二极管）样品尺寸最大35mmφ、厚度10mm、选配扩展时（最大50mm方形、厚度20mm）扫描范围均为选配　XY/ Z : 20/1.5、100/15、150/5（单位 µm）　　公司介绍：日立科学仪器（北京）有限公司是世界500强日立集团旗下日立高新技术有限公司在北京设立的全资子公司。本公司秉承日立集团的使命、价值观和愿景，始终追寻“简化客户的高科技工艺”的企业理念,通过与客户的协同创新，积极为教育、科研、工业等领域的客户需求提供专业和优质的解决方案。 我们的主要产品包括：各类电子显微镜、原子力显微镜等表面科学仪器和前处理设备，以及各类色谱、光谱、电化学等分析仪器。为了更好地服务于中国广大的日立客户，公司目前在北京、上海、广州、西安、成都、武汉、沈阳等十几个主要城市设立有分公司、办事处或联络处等分支机构，直接为客户提供快速便捷的、专业优质的各类相关技术咨询、应用支持和售后技术服务，从而协助我们的客户实现其目标，共创美好未来。

仪器信息网讯 2021年12月20日， 布鲁克发布生物型原子力显微镜JPK NanoWizard V BioAFM ，这是一种新型系统，标志着生命科学原子力显微镜研究的自动化和易用性的里程碑。NanoWizard V是一种非常快速的自动化 生物型AFM，可以选择与先进的光学显微镜完全集成。它能够对从亚分子到细胞和组织的大小范围内的样品进行快速、定量的机械测量和动力学分析。系统参数的自动设置、对齐和重新调整为力学生物学动态实验的长期、自我调节实验开辟了新的可能性。NanoWizard V 生物科学原子力显微镜澳大利亚悉尼大学生物医学工程高级讲师，纳米健康网络传感器和诊断集群联合主席David Martinez Martin博士表示：“该系统承诺的速度和分辨率、易用性以及高达毫米范围的能力使其成为纳米医学和生物医学应用中 AFM 研究的改变者，”（Martinez Martin博士的研究重点是发现健康和疾病的新生物标志物，以及细胞生理学）“我们相信NanoWizard V 是最先进的生物型AFM，它在一个系统中结合了三项重大创新：快速、定量的力学生物学测量、快速扫描 AFM 以及需要最少用户输入的自动化，” 布鲁克公司生物型AFM总监Heiko Haschke博士补充道，“在过去十年中，我们在使用 PeakForce Tapping 和定量成像 (QI) 模式的定量纳米力学方面积累了丰富的经验。通过在我们新的PeakForce-QI TM模式中结合两者的最佳方面，我们使新手和专家都能够进行高分辨率、定量的力学生物学BioAFM 实验。我们希望这个新系统能够为更全面地了解动态细胞过程和相关分子机制做出重大贡献。”关于 JPK NanoWizard V BioAFMJPK NanoWizard V是布鲁克业界领先的最新一代生物型AFM。它已针对高时空分辨率进行了优化，具有大扫描区域、灵活的实验设计以及与先进光学显微镜系统的出色集成。其 PeakForce-QI 模式可实现快速灵活的定量纳米力学测量，显着扩展 AFM 在速度和分辨率方面的能力。NanoWizard V采用新颖的扫描仪和传感器技术以及先进的控制软件，包括直观的、基于工作流程的图形用户界面 (GUI)，以确保真正、易于使用的 AFM 操作。该系统包括 JPK 标志性的高速、高性能 Vortis 2 控制电子设备、先进的数字控制以及增强其多参数成像能力和数据处理程序。借助motorized mapping、 DirectOverlay、DirectTiling 和 ExperimentPlanner 功能，定位和测量可以被设置为自动运行和重新排列，确保快速的样品观察和最高的力灵敏度。结合新的自动化硬件功能和丰富的液体池和温度控制选件，JPK NanoWizard V使各种级别的用户都能够完全专注于他们的实验。因此，它是多用户环境或成像设备的理想工具。关于 JPK BioAFMJPK于2018年7月加入布鲁克公司，为布鲁克公司的全球业务和已有的仪器开发和支持带来了活细胞成像、细胞力学、粘附力、分子力测量、光阱和生物刺激-反应表征方面的深入专业知识。JPK BioAFM充分利用两段历史的优势，为生物分子和细胞成像以及单分子、细胞和组织的力测量提供显微仪器。 关于布鲁克公司布鲁克公司使科学家能够获得突破性的发现，并开发新的应用，以改善人类的生活质量。布鲁克公司的高性能科学仪器以及高价值的分析和诊断解决方案使科学家能够在分子、细胞和微观层面探索生命和材料。通过与客户的密切合作，布鲁克公司在生命科学分子研究、制药应用、显微和纳米分析、工业应用、细胞生物学、临床前成像、临床表型组学、蛋白质组学研究和临床微生物学等领域实现了创新，提高了生产力，并使客户获得成功。

新品：原子力显微镜AFM100系列AFM100系列原子力显微镜在提高操作便利性基础上，实现了更低噪音，更高分辨率和更低的漂移量，可用于科学研究开发以及质量管理。系列包括高性能AFM100 Plus及其入门型号AFM100两种机型。通过使用AFM100/100Plus，任何人都能轻松且稳定地获取可靠数据，从而完成从科学研究用途到质量管理中的日常作业。特别是AFM100 Plus，其用途广泛，可用于3D形貌观察、粗糙度分析、物性评估等领域。并可配置AFM Marking功能，实现与电子显微镜同一位置观察。 产品特点高性能：极低系统噪音，低漂移；高效率及操作简易化：Pre-mount cantilever预装探针系统，Realtune II参数自动优化，Recipe菜单化测量；电镜联用：AFM Marking功能，实现与日立电子显微镜的联用；高效的支持：自诊断功能，离线软件。 第三届原子力显微镜网络研讨会日期：8月18日时间：9:30-10:00题目：日立新一代AFM100系列原子力显微镜报告人：日立科学仪器(北京)有限公司 高级工程师 刘金荣 想了解更多产品信息，请点击链接，报名参与！https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/AFM2021.html公司介绍：日立科学仪器（北京）有限公司是世界500强日立集团旗下日立高新技术有限公司在北京设立的全资子公司。本公司秉承日立集团的使命、价值观和愿景，始终追寻“简化客户的高科技工艺”的企业理念,通过与客户的协同创新，积极为教育、科研、工业等领域的客户需求提供专业和优质的解决方案。 我们的主要产品包括：各类电子显微镜、原子力显微镜等表面科学仪器和前处理设备，以及各类色谱、光谱、电化学等分析仪器。为了更好地服务于中国广大的日立客户，公司目前在北京、上海、广州、西安、成都、武汉、沈阳等十几个主要城市设立有分公司、办事处或联络处等分支机构，直接为客户提供快速便捷的、专业优质的各类相关技术咨询、应用支持和售后技术服务，从而协助我们的客户实现其目标，共创美好未来。

|作者：彭金波1,2,† 江颖3,4,††(1 上海交通大学 李政道研究所 )(2 上海交通大学物理与天文学院 )(3 北京大学物理学院 量子材料科学中心 )(4 北京大学轻元素先进材料研究中心 )本文选自《物理》2023年第3期摘要：扫描探针显微镜主要包括扫描隧道显微镜和原子力显微镜，其利用尖锐的针尖逐点扫描样品，可在原子和分子尺度上获取表面的形貌和丰富的物性，改变了人们对物质的研究范式和基础认知。近年来，qPlus型高品质因子力传感器的出现将扫描探针显微镜的分辨率和灵敏度推向了一个新的水平，为化学结构、电荷态、电子态、自旋态等多自由度的精密探测和操控提供了前所未有的机会。文章首先简要介绍原子力显微镜的发展历史和基本工作原理，然后重点描述qPlus型原子力显微镜技术的优势及其在单原子、单分子和低维材料体系中的应用，最后展望该技术的未来发展趋势和潜在应用。关键词：扫描探针显微镜，原子力显微镜，qPlus力传感器，高分辨成像，原子分辨01原子力显微镜的诞生显微镜是人类认识微观世界的最重要工具之一。光学显微镜的诞生让人们第一次看到了细菌、细胞等用肉眼无法看到的微小物体，从而打开了崭新的世界。然而，由于光学衍射极限的限制，光学显微镜的空间分辨率一般局限于可见光波长的一半左右(约300 nm)，很难用于分辨纳米尺度下更细微的结构，更无法用于观察物质最基本的原子结构排布。要想进一步提高探测的空间分辨率，一种途径是减小探测波的波长，比如扫描电子显微镜就是利用波长更短的电子波来进行成像。另一种途径是采取近场的局域探测，比如近场光学显微镜及其他基于局域相互作用探测的扫描探针显微镜。可以想象，要想获得更高的空间分辨率，就需要对样品的探测更加局域，即“探针”尖端足够尖，最好只有探针和样品最接近的几个原子能够发生相互作用，“感受”到彼此。这种相互作用可以是电子波函数的交叠或者原子作用力等。1981年，Binnig和Rohrer发明了扫描隧道显微镜(scanning tunneling microscope，STM)，STM是基于探测针尖和样品之间的隧道电流来进行空间成像的工具。由于隧道电流正比于针尖尖端几个原子与衬底原子的电子波函数的交叠，对针尖与样品之间的距离非常敏感，因此可以获得原子级的空间分辨率。STM的发明，使得人们可以在实空间直接观察固体表面的原子结构，因此荣获1986年的诺贝尔物理学奖[1]。然而，STM依赖于隧道电流的探测，无法用于扫描绝缘样品，因此使用范围受到了极大的限制。有趣的是，在早期的STM实验中，研究人员发现当针尖和样品比较近而出现隧道电流时，会同时产生较强的相互作用力。Binnig意识到通过测量针尖与样品原子之间的相互作用力也可用来对样品表面成像。1986年，他提出了基于探测针尖和样品之间原子作用力的新型显微镜——原子力显微镜(atomic force microscope，AFM)[2]，并随后与Quate和Gerber搭建出了第一套可以工作的AFM[3]。三人于2016年获得了Kavli纳米科学奖。AFM是基于针尖与样品之间原子作用力的探测，不需要样品具有导电性，因而可以用于研究包括金属、半导体、绝缘体等多种材料体系，大大弥补了STM的研究局限。此外，AFM还可以在大气和液体环境中工作，具有很好的工况条件和生物体系兼容性。这些优势使得AFM成为纳米科学领域使用最广泛的成像工具之一。然而，AFM并不像STM那样在发明之初就获得了原子级分辨率，而是直到5年之后(1991年)，惰性固体表面的原子分辨成像才得以实现[4，5]。近年来，由于qPlus力传感器的引入，AFM的空间分辨能力得到了极大的提升。通过针尖修饰，人们可以更加容易地获得原子级成像，甚至实现氢原子和化学键的超高分辨成像。接下来，本文将简要介绍常见AFM的基本工作原理，然后着重介绍基于qPlus力传感器的AFM(简称qPlus-AFM)及其在各种体系中的应用，最后展望qPlus-AFM在物理和其他领域的潜在应用和面临的挑战。02常规AFM的原理和工作模式介绍2.1 AFM工作的基本原理目前使用最为广泛的是激光反射式AFM，其典型的结构示意图如图1(a)所示[6]。最核心的部分是力传感器，它一般是一个由微加工技术制备的可以振动的悬臂(常用的材料是硅或者氮化硅)，悬臂的末端有一个与悬臂梁一体的尖锐针尖，悬臂的背面镀有一层金属以达到镜面反射。当一束激光照射到悬臂上，光斑被反射到一个对光斑位置非常敏感的光电探测器上。当针尖扫描样品表面时，由于针尖与样品之间存在相互作用力，悬臂将随样品表面形貌的起伏而产生不同程度的弯曲形变，因而反射光斑的位置也会发生变化。通过光电二极管检测光斑位置的变化，就能获得被测样品表面形貌的信息。图1 AFM工作的基本原理[6] (a)典型激光反射式AFM的结构示意图；(b)超高真空下针尖与样品的相互作用力Fts及各成分力与针尖—样品距离z的关系2.2 原子力的分类在超高真空环境中，针尖与样品之间的相互作用力(Fts)与针尖—样品距离z之间典型的关系曲线如图1(b)所示。Fts大致可以分为长程力和短程力，长程力通常包括范德瓦耳斯力和静电力等，其衰减长度一般为几纳米或者几十纳米。短程力主要包括来自针尖和样品之间形成化学键的作用力和由于针尖—样品电子云交叠产生的泡利排斥力，其衰减长度一般约为0.1 nm左右。长程力对距离不敏感，很难分辨较小的表面起伏，要想获得较高的空间分辨率，需要让短程力的贡献占主导。在特殊的环境下，针尖和样品之间的相互作用力还包括机械接触力、毛细力、磁场力、卡西米尔力、水合力等。2.3 AFM的主要工作模式AFM有多种工作模式，通常分为静态模式和动态模式，后者包括非接触模式和轻敲模式两种(图2(a))。在静态模式下，针尖以拖拽的形式在样品表面扫描并记录表面的形貌起伏变化，因此也叫接触模式。悬臂的形变量为q=Fts/k (k为悬臂的劲度系数)，为了提高力探测的灵敏度，一般使用较软(k较小)的悬臂。为了避免较大的吸引力引起针尖发生“突跳”现象，静态模式主要工作在短程的排斥力区间(图2(b))，因此空间分辨率较高。但这种模式下针尖和样品之间的相互作用力较大，容易对较软的样品产生破坏。图2 AFM的工作模式[6] (a)接触模式、非接触模式和轻敲模式的示意图；(b)不同模式的大致工作范围(区分并不严格)；(c)悬臂在频率调制和振幅调制模式下的共振曲线。人们也经常把振幅调制模式称为轻敲模式，把频率调制模式称为非接触模式在动态模式下，悬臂被压电陶瓷励振器驱动以共振频率振动，当振幅A足够大使得回复力k∙Amax(Fts)时可以避免“突跳”现象的发生。动态模式有轻敲模式和非接触模式两种。轻敲模式类似于盲人使用手杖行走，其振幅比较大，一般从几纳米到一百多纳米，主要的力的贡献来源于针尖距离样品很近甚至接触的时候。这种模式对样品的损坏小，适用于不同的材料，是目前AFM使用最为广泛的模式。但是这种模式由于包含较多的长程力贡献，因此一般较难获得原子级分辨。此外，由于轻敲模式下振幅较大，测量振幅变化的信噪比较高，这种模式一般使用幅度调制(amplitude modulated，AM)，即以固定频率和振幅的激励信号来驱使悬臂振动，针尖和样品的作用力会引起悬臂振幅(及相对于激励信号的相位)的变化，将测量的振幅(或相位)的变化作为反馈信号可以获取样品表面的形貌信息(图2(c))。非接触模式的振幅一般是几纳米或埃的量级，针尖在振动过程中不会接触样品，因此可以避免对样品的扰动或者破坏。非接触式AFM除了可以使用AM模式外，还能以频率调制(frequency modulated，FM)模式工作。这其实与收音机的AM和FM模式原理类似，只是工作的频段不同。在FM模式下，悬臂保持相位和振幅不变，针尖和样品的作用力引起悬臂振动频率的变化，测量振动频率的变化可以得到样品表面形貌的信息(图2(c))。AM和FM模式下悬臂的共振频率变化的响应时间[7，8]分别约为τAM=Q/(πf0)，τFM=1/(2πf0)，其中Q是悬臂的品质因子，f0为悬臂的本征振动频率。由此可见，AM模式的响应时间会随Q因子的增加而线性变大，而FM模式的响应时间不受Q因子的影响。在超高真空低温环境中，悬臂的Q因子会比大气环境下增加几十倍，这使得AFM对力的敏感度及信噪比会有很大提升，但也会使得AM模式下AFM的响应时间大幅延长，导致扫描成像需要很长的时间。因此，AM模式(轻敲模式)主要被用于大气或者液体环境中。Q因子的增加对FM模式下AFM的响应时间没有影响，所以FM模式是超高真空环境下被广泛使用的工作模式，即保持高Q因子的同时还能保证较高的扫描速度。2.4 影响频率调制AFM噪音大小的因素在FM模式下，AFM直接探测的信号是针尖—样品相互作用力引起的悬臂频率偏移∆f，利用公式[9]可进一步转化为相互作用力Fts。频率偏移对应的相对噪音，因此可以用δkts的形式来表示FM模式下AFM测量中4种主要的噪音来源，分别为[10]热噪音：力传感器信号探测的噪音：AFM悬臂振荡的噪音：漂移噪音：其中kB为玻尔兹曼常数，T是温度，B是与扫描速度对应的带宽，nq是悬臂偏转信号探测的噪音密度，r 是频率的漂移速率，N是扫描图像的像素数。由上述式子可知，k越小，4种噪音都更小，因此在满足k∙Amax(Fts)的前提下，选择的k越小越好；Q越大，会使得第一和第三种噪音更小，但过大的Q会使得悬臂在FM模式下的稳定起振难以维持；振幅A越大，前三种噪音都更小，但A太大会引起短程力贡献大幅减小的问题(见下节)。03基于qPlus力传感器的非接触式AFM3.1 振幅对非接触式AFM分辨率的影响在FM模式下，AFM探测的频率偏移∆f，可以转化为权重函数w(z,A)和针尖—样品相互作用力的梯度的卷积[11]。如图3所示，w(z,A)是与振幅A和距离z相关的半椭圆，kts是力Fts与z曲线的梯度，也呈现为勺子形，只是最低点对应的距离z有所不同。可见，当振幅较大时，长程力对频率偏移的贡献占主导；随着振幅减小，短程力的贡献变大。当振幅与短程力的衰减长度(亚埃级)接近时，更容易得到原子级分辨率[10]。图3 长程力和短程力的贡献与AFM悬臂振幅A的关系[11]3.2 qPlus力传感器的发明传统AFM力传感器一般采用微加工制备的硅或者氮化硅悬臂，其劲度系数较小(约1 N/m)，力的探测灵敏度高。为了能探测短程力从而实现高空间分辨，往往需要让针尖靠近表面，从而导致“突跳”的发生。为了避免“突跳”引起的针尖损坏，需要悬臂在较大的振幅下工作。然而，大的振幅会使长程力的贡献增加，引起AFM的空间分辨率大大降低。图4 石英音叉和qPlus力传感器实物图 (a)，(b)手表中拆出来的石英音叉[12]；(c)第一代qPlus力传感器的实物图(图片来自德国雷根斯堡大学Giessibl课题组)[13]；(d)第四代qPlus力传感器的实物图(图片来自北京大学江颖课题组)[6]要想克服上述矛盾，实现在小振幅下工作的同时而不引起“突跳”的发生，则需要使用劲度系数k较大的悬臂。石英音叉是被广泛用于手表中的计时元件(图4(a)，(b))[12]，劲度系数高，可产生极高精度的振荡频率(一般为32—200 kHz)，且具有很高的Q因子。此外，其悬臂的形变可以利用石英的压电效应以电学的方式来直接探测，不需要激光系统，更容易兼容低温环境。早期，人们一般是在石英音叉的一个悬臂上粘上针尖来作为力传感器使用。然而，两个悬臂(相当于两个耦合的谐振子)由于质量和受力的不对称性导致Q因子大幅度降低，严重降低了AFM的信噪比。1996年，Giessibl将音叉的一个悬臂固定在质量很大的基底上，而在另一个自由的悬臂上粘上针尖以作为AFM力传感器，这样把两个耦合的谐振子变成单个独立的谐振子，可以保持较高的Q因子，且Q因子几乎不受针尖—样品相互作用力的影响。因此，这种力传感器被称为qPlus力传感器[13](图4(c))。目前，qPlus力传感器已经经过了四代的升级和改进，最新的版本是直接设计单个石英悬臂作为力传感器(图4(d))。表1 微加工硅悬臂力传感器与qPlus力传感器典型参数的对比[6]典型的qPlus力传感器与广泛使用的微加工硅悬臂力传感器的主要参数对比见表1。可以看到，qPlus力传感器悬臂的劲度系数高得多(一般约1800 N/m)，因此其力灵敏度一般情况下低于硅悬臂。然而，qPlus力传感器可以在非接触模式下，以极小的振幅(约100 pm)近距离扫描样品，而不会出现“突跳”现象。由于qPlus-AFM的振幅可以与短程力的衰减长度接近，因此短程力的贡献非常大，更加容易获得超高的空间分辨率。最近，田野等通过优化设计qPlus力传感器，将Q因子提升到140000以上，最小振幅小于10 pm，最小探测力小于2 pN，从而将qPlus力传感器的性能推向了一个新的水平[14]。此外，使用导电针尖，并通过单独的导线把经过针尖的电流提取出来，可以很容易地将qPlus-AFM与STM集成在一起，以同时发挥STM和AFM的功能。关于qPlus-AFM更为系统的介绍见综述[10，11]。3.3 获得超高空间分辨率的关键如前所述，针尖与样品间的相互作用越局域，空间分辨率越高。换言之，要想获得超高的空间分辨率，需要减小长程力的贡献，凸显短程力的贡献。要实现这一点，有两点非常关键：一是使用与短程力衰减长度接近的亚埃级的小振幅工作(详见3.1节)；二是让针尖更加尖锐，减少长程的范德瓦耳斯力的贡献。对于AFM成像来说，针尖末端几纳米的部分尤其是针尖末端的几个原子扮演着最重要的角色。为了让针尖末端更尖锐，常用办法是让金属针尖轻戳金属衬底或对针尖进行原子或者分子修饰，使得短程的泡利排斥力、化学键力或者高阶静电力占主导。3.3.1 短程的泡利排斥力当针尖与样品的距离足够近时，二者的电子云会发生交叠，产生很强的短程泡利排斥力。大部分时候，泡利排斥力是对固体及分子体系成像获得原子级分辨率的关键。2009年，Gross等[15]发现对针尖修饰一氧化碳(CO)分子后，可以实现对单个并五苯分子的化学键和结构(图5(a))的超高分辨成像(图5(c))，其分辨率已经超过了STM图像(图5(b))。这种超高空间分辨率的成像主要起源于CO针尖“尖锐”的p轨道与并五苯分子之间电子云交叠所导致的短程泡利排斥力。这种针尖修饰方法简单易行，成像分辨率高，使得qPlus-AFM成像技术迅速获得了广泛的应用。除了CO分子修饰外，人们还可以对针尖修饰其他种类的原子或者分子，以提高空间分辨率或者实现其他特定功能，例如Cl离子[16]和Xe分子[17]修饰的针尖以及CuO针尖[18]等。图5 基于泡利排斥力的单分子化学键成像[15] (a)并五苯分子的结构图；用 CO 分子修饰的针尖得到的 STM 图(b)和AFM图(c)3.3.2 短程的化学键力当针尖和衬底的化学活性都较强时，在近距离扫描过程中，二者可以形成局域的化学键，基于这种短程的化学键力，也可以获得超高的空间分辨率。典型的例子是半导体表面的AFM高分辨成像。例如，Giessibl等[19]发现在用AFM扫描Si(111)-(7×7)样品时，针尖会从样品上吸起一些Si团簇而被修饰，因此在扫描时容易与样品表面带悬挂键的Si原子形成共价键，而得到原子级分辨率。然而，这种成像方式对表面结构扰动较大，不适用于弱键和分子体系。3.3.3 短程的静电力通常所说的静电力主要来源于低阶静电力，比如点电荷与点电荷或者电偶极之间的静电力，其大小分别正比于r -2和r -3(r是二者作用的距离)，是较长程的相互作用力，因此空间分辨率较低。而在某些特殊的情况下，高阶静电力的贡献会起主要作用，而且是更加短程的，因此会导致分辨率的显著提升。一个典型的例子是对离子晶体(如NaCl，MgO，Cu2N等)的原子分辨成像。离子晶体表面周期性的正负电荷排布产生指数衰减的短程静电势分布[20]，针尖与离子晶体表面的短程静电力作用可以得到原子级分辨的成像[21]。图6 基于高阶静电力的水分子高分辨成像 (a)CO针尖示意图(上)及DFT计算得到的CO针尖的电荷分布(下)，呈现出明显的电四极矩特征[16]；(b)水四聚体的原子结构图(上)和AFM图(下)[16]。白色箭头和弧线分别指示水分子中氧原子和氢原子的位置；(c)Au(111)上双层二维冰的原子构型(上)和AFM图像(下)，其中可以分辨平躺(蓝色箭头)和直立(黑色箭头)的水分子[23]；(d)Au(111)表面由Zundel类型水合氢离子(黑色箭头)自组装形成的单层结构图(上)和AFM图像(下)[14]另一个例子是利用CO针尖对强极性分子的高分辨成像。彭金波等[16]利用CO修饰的针尖(图6(a)上图)扫描水分子四聚体时，发现即使在针尖距离较远时也能获得亚分子级的分辨率(图6(b))，且图像的形貌与水分子四聚体的静电势分布极其接近，从中可识别水分子OH键的取向。通过理论计算得知，CO修饰的针尖具有电四极矩(图6(a)下图)，与水分子电偶极之间存在高阶静电力相互作用，这是一种更为短程的静电力(正比于r -6)，因此能够在未进入泡利排斥区域时获得超高空间分辨。这种基于微弱的高阶静电力的成像技术可以区分水分子中氢、氧原子的位置和氢键的取向并且扰动极小。近年来，这个技术已被成功应用于亚稳态水分子团簇[16]、盐离子水合物[22]、二维冰[23](图6(c))及单层水中的水合氢离子[14]的非侵扰高分辨成像(图6(d))，将水科学的研究推向了原子尺度。04超高分辨qPlus-AFM的应用相对于传统的AFM，qPlus-AFM可以很方便地与STM集成在一起，并兼容超高真空和低温环境，而且可获得原子级甚至单个化学键级的超高空间分辨率。这些优势使得qPlus-AFM获得了广泛的应用，大大促进了表面科学和低维材料研究领域的快速发展。下面我们简要介绍qPlus-AFM在高分辨结构成像、电荷态和电子的测量、原子力的测量和操纵等方面的应用和最新进展。4.1 高分辨结构成像qPlus-AFM在高分辨结构成像方面得到了最为广泛的应用。Gross等[15]通过对AFM针尖进行CO修饰，首次实现对有机分子的化学结构的直接测量(图5)，触发了一系列后续研究，包括：分子之间的氢键相互作用[24]、分子化学键键序[25]、铁原子团簇[26]、化学反应产物识别[27]等。近年来，人们通过控制有机分子前驱体的表面化学反应可以精确制备低维纳米材料，如石墨烯、石墨烯纳米带等。STM虽然被广泛用于表征其电子态，但是难以直接确定其原子结构、局域缺陷和边界构型等。qPlus-AFM对原子结构的敏感及超高的空间分辨率，可以很好地解决这些问题。例如，Gröning等[28]利用扫描隧道谱成像观测到了石墨烯纳米带末端的拓扑末端态(图7(a)右)，并通过AFM成像确定了拓扑非平庸的石墨烯纳米带的原子构型(图7(a)左)。图7 qPlus-AFM在低维材料高分辨成像中的典型应用 (a)表面合成的石墨烯纳米带的AFM图(左)和0.25 V偏压下的dI /dV 图(右)[28]，四角较亮部分指示拓扑边缘态；(b)利用磁性针尖得到的绝缘反铁磁NiO表面的AFM图像(左)及沿[100]方向相邻两个Ni原子不同自旋取向对应的高度轮廓线(右)[34]此外，qPlus-AFM开始被用于绝缘体表面原子结构的高分辨成像，如KBr[29]，CaF2[30]等。在复杂氧化物表面方向，Diebold组观测了钙钛矿KTaO3(001)的表面重构[31]和TiO2(110)及In2O3(111)表面分子的吸附和分解[32，33]等。最近，qPlus-AFM被用于对绝缘反铁磁材料NiO的成像，而且使用磁性针尖成像时，由于超交换作用可以分辨不同Ni原子的自旋取向[34](图7(b))。4.2 电荷态和电子态的测量在电荷态测量方面，由于qPlus-AFM极高的信噪比和力灵敏度，Gross等[35]率先展示了单个原子的不同带电状态可以通过AFM直接测量(图8(a))。通过测量AFM的局域接触势差，单个原子和分子内部的电荷分布也可进行成像[36，37]。利用厚层绝缘的NaCl阻断分子与金属衬底之间的电荷转移，可对单分子进行多重电荷的充放电并控制分子间的电荷横向转移[38]。图8 AFM在电荷和电子态探测中的应用 (a)电中性和带负电的金原子的恒高AFM图(插图)及对应的频率偏移的轮廓线[35]；(b)三重激发态寿命的探测：左图为单个并五苯分子和近邻吸附的两个氧气分子的结构图(上)和AFM图(下)；右图为测量三重激发态占据比例随电压脉冲停留时间的变化，通过指数拟合可得猝灭后三重激发态的寿命仅0.58(5) μs[42]近些年，人们利用qPlus-AFM实现了对分子电子态的测量。例如，绝缘衬底上单分子的基态和激发态电子能谱被成功测量[39，40]。进一步，将AFM与纳秒电学脉冲结合，能直接对绝缘体表面上单分子在不同带电状态下电子转移的概率分布进行成像[41]。最近，qPlus-AFM被成功用于对分子自旋激发态的探测。彭金波等[42]发展了一套新颖的电学泵浦—探测AFM技术，首次实现了以原子级分辨率对单分子三重激发态寿命的探测并观测到了近邻氧气分子引起的三重态的猝灭(图8(b))。4.3 原子力的测量与操纵利用qPlus-AFM可以对原子作用力直接测量。Ternes等[43]变高度扫过表面上吸附的单原子并记录针尖—原子之间相互作用力引起的频率偏移(利用公式[9]可以将频率偏移∆f 转化成垂直作用力Fz)，直到原子发生移动，便可知移动原子所需的最小垂直作用力(图9(a))。进一步，可以将垂直作用力转化为相互作用势，将其对x坐标微分可以得到移动原子所需的最小水平作用力Fx 的大小。利用类似的方法，单个石墨烯纳米带在Au(111)表面的摩擦力已被精确测量[44]。最近，通过测量原子力曲线，人们揭示了针尖上CO分子与衬底上单个铁/铜原子的物理吸附向化学吸附的转变过程[45]。图9 qPlus-AFM在原子力测量和操纵中的应用 (a)测量移动Pt(111)表面(灰色小球)吸附的单个Co原子(红色圆球)所需的力[43]。由远及近测量沿原子上方(x方向，图(a-i))的频率偏移及垂直作用力Fz(a-ii)，直到在某个高度下开始引起原子移动(红色箭头所示)，从而可以得知移动原子所需要的最小垂直作用力(a-iii)；(b)利用AFM针尖和金刚石样品之间产生的局域强电场，通过“拉出—推离”方法耗尽NV色心附近的杂质电荷((b-i)，(b-ii))，使NV色心的自旋相干时间提升20倍(b-iii)[47]此外，qPlus-AFM也开始被尝试应用于绝缘载体中固态量子比特的操控。边珂等[46]利用金属针尖的局域强电场和激光成功诱导了金刚石氮—空位色心(NV center)的电荷态转换。进一步，郑闻天等[47]通过施加较大的偏压，在AFM针尖—样品之间产生强电场，改变电场的方向，利用“拉出—推离”方法来清除NV色心周围的未配对电子，实现了金刚石近表面电子自旋噪声的高效抑制，从而大幅提升了浅层NV色心的相干性(T2，echo时间提升20倍)及其探测灵敏度(图9(b))。05总结和展望基于qPlus力传感器的超高分辨AFM技术，有力促进了单分子、表面科学、低维材料等研究方向的发展，为人们理解物质的结构、电子态、电荷态、自旋态等提供了崭新的信息。这种超高分辨的AFM成像技术仍处于快速发展期，我们相信在接下来若干年它会成为物理、材料、化学、生物等学科领域的重要工具，并对这些领域产生深远的影响。5.1 应用展望首先，高分辨qPlus-AFM成像技术可以提供固体表面的原子结构和原子尺度电荷分布的信息。STM仅对费米能级附近的电子态或外层电子敏感，常常很难将几何结构和电子态的信息分离开，而qPlus-AFM测量的泡利排斥力对总电子态密度敏感，其中包含内层电子的信息，可以反映原子核位置。因此，STM与qPlus-AFM的结合将有助于人们更准确细致地确定材料的结构和电子态分布。另一方面，通过qPlus-AFM对静电力的探测，可实现以单个电荷的灵敏度和原子级的空间分辨率确定原子或者分子带电状态。利用开尔文探针力显微镜(KPFM)模式或者对短程静电力的成像，还可对材料表面的电荷分布进行高分辨表征，这种关于电荷的新信息将为人们在原子尺度研究各种电荷序带来巨大的便利，比如电荷密度波、高温超导中的电荷序、铁电材料中的电荷分布等。其次，qPlus-AFM也将为各种绝缘材料或者材料绝缘相研究打开全新的窗口。例如，高温超导体的母体一般是莫特绝缘体，STM很难成像。而qPlus-AFM可以用于研究高温超导体随着掺杂浓度的增加从莫特绝缘体向超导态和金属态转变的全过程，有助于理解高温超导的机制。如果将针尖进行自旋极化，还可研究各种磁性绝缘体(如NiO)或者材料绝缘相(如高温超导体的母体)的自旋分布等。此外，qPlus-AFM还将在以绝缘体为载体的固态量子比特研究中发挥独特的作用。借助qPlus-AFM强大的空间表征、操纵与局域调控能力，有望发展出表面/近表面量子比特的相干性提升、精密量子比特网络构筑、纳米尺度扫描量子传感等多种前沿技术。最后，qPlus-AFM在化学和生物领域也将发挥重要的作用。qPlus-AFM可以用来识别化学反应的产物，还可以被用于研究绝缘体(如NiO，Fe3O4)表面的化学反应及固液界面各种化学反应(如电化学过程)的机制。在生物大分子的结构成像方面，可以精准识别DNA、RNA、蛋白质分子等的构型和相互作用位点，揭示其结构与功能的关系。5.2 挑战和机遇qPlus-AFM技术本身面临的一些问题和技术瓶颈亟待解决。qPlus力传感器的悬臂劲度系数大，对力的灵敏度较低。Q因子受环境和温度影响大，从而严重影响信噪比。一种可能的途径是发展主动控制Q因子的技术[48]。qPlus力传感器共振频率低(一般约几十kHz)，成像速度慢，难以捕捉较快的非平衡态动力学过程，需要发展高速甚至超快的AFM技术。比如制备质量更小共振频率更高的AFM悬臂；或者将AFM与泵浦—探测技术相结合，将短的电压脉冲[42]或者超短的激光脉冲[49]耦合到qPlus-AFM中。利用qPlus-AFM对非平面的三维立体结构和分子的测量，还面临着挑战，发展新的算法(如利用机器学习)是一条可能的途径。此外，qPlus-AFM通常缺乏化学分辨，有时候很难仅从图像上获取样品的化学信息。一种途径是将其与具有化学分辨的光谱技术(如拉曼光谱)相结合[50]或者与磁共振技术结合。最后，qPlus-AFM面临的另一个巨大挑战是如何将其应用推广到溶液、生物体系等复杂的环境或体系中。大气溶液环境兼容的金刚石色心量子传感技术[51]可能为qPlus-AFM带来全新的应用场景和探测自由度。参考文献[1] Binnig G，Rohrer H. 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2021年8月18日，由仪器信息网(www.instrument.com.cn) 主办，纳米科学(NanoScientific) 协办的“第三届原子力显微镜网络会议”云端来袭！会议背景原子力显微镜(Atomic Force Microscopy, AFM) 是继扫描隧道显微镜（STM）之后发明的一种具有原子级高分辨仪器，自1985年商业化以来，由于AFM可以在大气和液体环境下对各种材料和样品进行纳米区域的多种物理性质进行测量，或者直接进行纳米操纵，AFM现已广泛应用于半导体、纳米功能材料、生物、化工、食品、医研究和各类纳米相关学科的科研领域中，成为纳米科学研究的基本工具。而与光镜、电镜等相比，AFM相对较低的效率（成像范围小、速度慢、不易操作），一定程度限制了该技术的更广泛推广。30余年来，随着AFM技术的不断发展，当前的AFM商业化产品已逐渐趋向更高效、操作更便捷，各AFM品牌争相推出新产品新技术不断提高AFM应用效率，帮助AFM市场份额不断攀升。近些年，AFM的市场容量的环比增长更是多年超越光镜、电镜，AFM技术表现出更强劲市场增长潜力。2021年4-6月短短两个月间，岛津、牛津仪器、日立、Park原子力显微镜等四家AFM品牌更是先后发布了4款AFM新品，从高性能、视频级、易操作、全自动化等方面将商品化AFM产品技术进一步向前推进。此背景下，2021年8月18日，“第三届原子力显微镜主题网络研讨会”将继续线上开讲。旨在利用互联网技术为原子力显微学科研及相关工作者提供一个突破时间地域限制的免费学习平台，让大家足不出户便能聆听到原子力显微学专家的精彩报告！会议概述9位知名AFM应用科研专家报告为您分享AFM技术多领域最新应用前沿3位AFM品牌企业专家代表报告为您分享AFM最新发布AFM新品技术动向12位专家在线答疑，线上面对面为您的AFM科研、应用痛点答疑解惑热点应用：水科学应用、石墨烯生长、纳米材料力学、静电性质动态测量、二维原子晶体界面调控、半导体器件失效分析、界面电荷转移反应、天然高分子溶液行为...技术前沿：便捷操作、全自动化、高速扫描、视频级、试样制备技术革命、光镜电镜衔接技术、智能化...抽奖活动：会议下半场将设置抽奖，奖品包括Kindle阅读器、现金红包等，详见文末介绍扫描二维码立即报名参会或进入会议官网报名参会：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/AFM2021/报告嘉宾（按报告顺序）江颖 北京大学物理学院量子材料科学中心博雅 特聘教授报告题目：氢敏感的原子力显微术及其在水科学的应用国家杰出青年科学基金获得者，美国物理学会会士。研究方向为表面物理和扫描探针显微学，长期致力于尖端扫描探针显微术的自主研发，以实现电子态、核量子态、振动态、光子态、自旋态等单量子态的极限探测和操控，及其在单分子和低维材料方向的应用。曾获全球华人物理与天文学会“亚洲成就奖”、日本“仁科芳雄亚洲奖”、中国科学十大进展（2次）、北京市杰出青年中关村奖、陈嘉庚青年科学奖、中国青年科技奖等奖项或荣誉。发表文章 60 余篇, 包括: Science 2 篇、Nature 5 篇、Nature 子刊10篇。担任Journal of Chemical Physics、Chemical Physics、Advanced Quantum Technologies等国际期刊杂志编委。刘金荣 日立科学仪器（北京）有限公司 高级工程师报告题目：日立新一代AFM100系列原子力显微镜日立科学仪器（北京）有限公司/精工原子力显微镜资深工程师，从事原子力显微镜应用和技术支持超过20年。苏全民 中国科学院沈阳自动化所 研究员报告题目：试样制备在显微镜技术中的使能作用——关于原子力显微镜技术的反思国家特聘专家，纳米定位和测量国家标准专家组成员，全国显微镜协会理事，于2017年全职回国，现为中国科学院自动化研究所研究员和天津大学兼职教授。回国前为美国布鲁克公司高级技术总监，领导原子力显微镜（AFM）技术和系统的研发。苏全民是53 项美国授权专利的发明人，领导布鲁克原子力显微镜的技术和产品开发，曾获 R&D 100（2002）和 Microscopy Today（2012） 年度最佳产品奖。苏全民发表了80多篇论文；并组织了“Seeing at the Nanoscale”系列国际会议，担任过各种国际会议的分会主席，如MRS ， M&M， AVS等，并在多个国际会议（IEEE, MRS，M&M，AVS等）做过大会，分会和专题特邀报告。陈强岛津企业管理（中国）有限公司 SPM产品担当报告题目：从能用到好用，从专家到傻瓜——原子力显微镜高效操作技术发展毕业于北京理工大学生命学院。具有17年操作使用原子力显微镜的经验，熟悉扫描探针显微镜的各种功能，对各类样品测试均有丰富的经验；从事原子力显微镜的技术及市场工作11年，对该仪器技术的发展及各厂商产品特点均有深入的了解。目前任岛津公司原子力显微镜的产品担当，负责该产品的技术及产品推广等工作。刘金养 福建师范大学物理与能源学院 副教授报告题目：成核点在石墨烯生长过程中的作用中科大理学博士，副教授，硕士生导师。近年来一直从事二维纳米晶体材料的设计、生长、表征、性能调控及其在光电探测方面的应用。在化学气相沉积法生长石墨烯纳米结构、新型二维纳米晶体材料及其光电探测器应用等研究开发上取得了一系列研究成果和重要进展，先后在Nature Communication， ACS Applied Materials &Interfaces, Nanoscle, Carbon, Crystal Growth & Design, Journal of Physical Chemistry C等国内外学术期刊上发表SCI论文近30篇，被Nature Communication，ACS nano，Nanoscale等引用超过300余次，单篇最高引用达48次；此外，以第一发明人申请发明专利8项，其中3项已获得授权。李慧琴 上海交通大学分析测试中心 高级工程师报告题目：原子力显微镜在纳米材料力学表征方面的应用近二十年一直从事原子力显微镜在微纳米材料方面的表征应用。主持并编写了三项关于原子力测试方法方面的国家标准（GB T 36969-2018，GB/T 31227-2014，GB/T 31226-2014）和一项国家教学仪器标准（ JY/T 0582-2020）；申请并授权了2项关于小球探针制备的发明专利；参与了多项国家自然科学基金的研究并发表了多篇关于原子力显微镜应用的论文。钱建强 北京航空航天大学物理学院教授报告题目：原子力显微镜在静电性质动态测量中的应用中国仪器仪表学会显微仪器分会理事，中国宇航学会空间遥感专业委员会委员，全国高等学校光学教学研究会理事，主要从事纳米测量方法与显微仪器技术研究。上世纪90年代初师从姚骏恩院士，研制成功国内首批激光检测原子力显微镜。近年来承担并完成国家科技支撑计划重大课题子课题、国家863、国家自然科学基金、北京市自然科学基金等项目20余项。先后研制成功基于自激励和自感知的石英音叉探针频率调制原子力显微镜，原子力显微镜液相环境频率调制成像系统，原子力显微镜高次谐波/多频激励成像系统。率先开展了基于压缩感知的原子力显微镜成像方法研究，基于小波变换的原子力显微镜高次谐波信号分析。在Nanotechnology、Ultramicroscopy、Review of Scientific Instruments等国内外学术期刊发表论文100余篇，获授权国家发明专利15项，主编并出版工信部“十二五”规划教材1部。程志海 中国人民大学物理学系 教授报告题目：氢敏感的原子力显微术及其在水科学的应用基金委优青，中国仪器仪表学会显微仪器分会理事，中国硅酸盐学会微纳米分会理事。2007年，在中国科学院物理研究所纳米物理与器件实验室获凝聚态物理博士学位。2011年8月-2017年8月，国家纳米科学中心(中科院纳米标准与检测重点实验室)，任副研究员/研究员。曾获中国科学院“引进杰出技术人才计划”（技术百人计划）和首届“卓越青年科学家”，卢嘉锡青年人才奖获得者，青年创新促进会会员并获首届“学科交叉与创新奖”等。目前，主要工作集中在先进原子力探针显微分析技术方法及其在低维材料与表界面物理等领域的应用基础研究。杨鹏 云南大学 教授报告题目：原子力显微在第十族TMDs物性研究中的应用研究兴趣集中在纳米颗粒及其自组装的光学和电学性能，原子分子操纵，人工纳米结构的电学性能，纳米电子学等。师从欧洲科学院院士Marie-PaulePileni教授，于2010年在法国居里夫人大学获得博士学位。2012年取得法国高校教师资格，并在巴黎狄德罗大学任教。美国能源部劳伦斯伯克利国家实验室访问学者。2016年作为引进人才全职加盟云南大学。承担和参与过国家自然基金、欧盟ERC、欧盟FP7、法国ANR、伯克利国家实验室项目等。部分论文发表在Nano Letters, ACS Nano, Physical Review B等国际知名杂志上。同时是国家自然基金通讯评审人，美国化学会、英国皇家物理学会旗下期刊审稿人，伯克利国家实验室分子工厂用户执委会委员、中国物理学会会员、全法中国科技工作者协会会员、全国材料新技术发展研究会理事等。陈迪 清华大学未来实验室 副研究员2021年Park AFM奖学金获奖者报告题目：从原子尺度理解固/气界面上的高温电化学反应机理本科毕业于清华大学材料科学与工程系，于麻省理工学院材料科学与工程系获博士学位，在斯坦福大学材料科学与工程系完成了博士后训练。以第一作者和共同作者的身份在Nature Catalysis, Advanced Functional Materials, Chemistry of Materials, Nature Materials, Nature Nanotechnology等杂志发表论文多篇。主要研究方向为：固态离子学；薄膜材料；高温电化学；表界面的同步辐射表征。王静禹 华南理工大学 在站博士后 2021年Park AFM奖学金获奖者报告题目：基于分子间作用力的天然高分子溶液行为研究2014年获得长沙理工大学学士学位，博士期间在华南理工大学邱学青教授的生物质资源利用团队进行学习与研究，于2020年获得化学工程博士学位，并在毕业后继续以博士后身份在该课题组开展研究工作。2018年至2020年，以联合培养博士身份赴美国威斯康辛大学-麦迪逊校区进行为期两年的交流学习。有着7年的原子力显微镜应用经验，目前的研究工作主要包括天然高分子分子间相互作用和溶液行为的基础研究及其超分子结构的精确调控。潘涛 Park原子力显微镜 高级工程师报告题目：扫描电容显微镜在FA实验室的应用资深AFM应用工程师，在AFM领域工作5年，具有丰富的AFM的样品测试经验。长期从事测量力学性能的纳米尺度表征，加入帕克（Park）公司后，主要从事原子力显微镜在计量领域的相关应用。抽奖活动抽奖规则：主持人将在会议直播中现场公布，欢迎参会关注！扫描二维码立即报名参会或进入会议官网报名参会：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/AFM2021/

2013年5月29日上午，由天美（中国）科学仪器有限公司组织的Park Systems公司XE-BIO生物型原子力显微镜专题技术研讨会在清华大学精密仪器系大楼举行，本次研讨会由天美（中国）华北区电镜销售部经理杨勇先生主持，并由来自Park Systems公司的首席科学家Dr.Sang-Jun Cho主讲了XE-BIO生物型原子力显微镜在活细胞检测方面的应用及新进展。同时邀请到了清华大学、中科院化学所、北京师范大学的各位老师和专家以及来自北京各个高校及中科院北京各个研究所的硕士、博士研究生等参加。天美（中国）科学仪器有限公司华北区电镜销售部经理杨勇先生 Dr.Cho于1998年获得了Iowa State University神经学博士学位，是Park Systems公司产品研发总监及首席科学家，在细胞的表征及检测方面有着丰富的实践经验及深厚的理论知识。本次技术研讨会上，Dr.Cho详细介绍了XE-BIO生物型原子力显微镜在细胞原位长时培养连续观测、细胞不同结构原子力显微镜表征、细胞表面离子通道扫描及监测等相关内容，并且结合具体的案例进行了分析，内容详实丰富。Park Systems公司首席科学家Dr. Cho正在演讲 演讲结束后，Dr.Cho与参会的各个老师及专家进行了现场技术性探讨。现场气氛较为热烈，各位专家和老师针对自己感兴趣的方向发表了自己的看法和提出了针对性的建议。参会老师正在专注倾听 鉴于老师们对原子力显微镜在材料方面的研究也较为感兴趣，天美（中国）科学仪器有限公司原子力显微镜技术应用工程师陈强，还针对性的讲解了Park Systems公司NX10通用型原子力显微镜在材料研究方面的应用及实例分析，老师们对于Park公司原子力显微镜的创新技术有较高认可度，反响强烈。公司介绍：　　天美(中国)科学仪器有限公司(&ldquo 天美(中国)&rdquo )是天美(控股)有限公司(&ldquo 天美(控股)&rdquo )的全资子公司，从事表面科学、分析仪器、生命科学设备及实验室仪器的设计、开发和制造及分销 为科研、教育、检测及生产提供完整可靠的解决方案。天美(中国)在北京、上海、等全国15个城市均设立办事处，为各地的客户提供便捷优质的服务。　　天美(控股)是一家从事设计、研发、生产和分销的科学仪器综合解决方案的供应商。 继2004年於新加坡SGX主板上市后，2011年12月21日天美(控股)又在香港联交所主板上市(香港股票代码1298)，成为中国分析仪器行业第一家在国际主要市场主板上市的公司。近年来天美(控股)积极拓展国际市场，先后在新加坡、印度、澳门、印尼、泰国、越南、美国、英国、法国、德国、瑞士等多个国家设立分支机构。公司亦先后收购了法国Froilabo公司、瑞士Precisa公司、美国IXRF公司和英国Edinburgh等多家海外知名生产企业，加强了公司产品的多样化。　　更多详情欢迎访问天美(中国)官方网站：http://www.techcomp.cn

产品介绍AFM5300E配置专业的真空腔体，可在环境控制条件下原位对样品微观尺度的形貌及物性进行观测分析。真空环境下可大幅降低氧化、水膜吸附等对样品真实情况的影响；真实测量特殊条件下材料的性能。让研究达到常规原子力显微镜无法企及的高度和深度。产品特点1、环境控制：具备常温大气，高真空、高低温、气氛、液相、湿度等环境功能；2、多功能配置：接触式，轻敲式，SIS（样品智能扫描）等工作模式，能进行三维形貌，电磁及机械力学性能观察分析，独有的极高分辨的SNDM（扫描非线性介电显微镜）；3、操作便捷：激光器/样品移动螺杆置于真空腔外；触点式控温台/扫描器设计；4、真空转移：一体化提供离子研磨仪、高分辨扫描电镜、可控环境原子力显微镜，使用真空转移盒可保护样品在各个设备间转移测量，避免大气暴露； 5、高分辨：真空下极高的相位及磁畴分辨能力。 公司介绍：日立科学仪器（北京）有限公司是世界500强日立集团旗下日立高新技术有限公司在北京设立的全资子公司。本公司秉承日立集团的使命、价值观和愿景，始终追寻“简化客户的高科技工艺”的企业理念,通过与客户的协同创新，积极为教育、科研、工业等领域的客户需求提供专业和优质的解决方案。 我们的主要产品包括：各类电子显微镜、原子力显微镜等表面科学仪器和前处理设备，以及各类色谱、光谱、电化学等分析仪器。为了更好地服务于中国广大的日立客户，公司目前在北京、上海、广州、西安、成都、武汉、沈阳等十几个主要城市设立有分公司、办事处或联络处等分支机构，直接为客户提供快速便捷的、专业优质的各类相关技术咨询、应用支持和售后技术服务，从而协助我们的客户实现其目标，共创美好未来。

牛津仪器Asylum Research于近日重磅推出干涉式原子力显微镜Vero，其利用正交相位差分干涉技术（QPDI）可以精确测量探针的真实位移。2024年1月9日，牛津仪器在上海演示中心举办“全新一代原子力显微镜Vero技术研讨会”，采用现场演示及线上直播的形式，为国内用户介绍AFM前沿技术进展和相关应用成果。△ 研讨会现场△ 牛津仪器MAG中国区应用经理孟丽君博士主持会议△ 牛津仪器AR中国区销售经理刘长隆先生致辞△ Asylum Research联合创始人、牛津仪器PLC首席技术官Roger Proksch博士介绍Vero AFM中的QPDI技术据Roger Proksch博士介绍，Vero基于Cypher平台打造，不仅继承了Cypher系列的高稳定性和高分辨率，并且凭着QPDI技术，能够获得准确和可重复的数据。△ 牛津仪器干涉式原子力显微镜Vero一直以来，AFM主要依赖于光杠杆检测（OBD）技术，它实际测量的是悬臂梁偏转的角度，而不是探针的位移。Vero的推出，打破了这种局面。Vero采用的QPDI技术，直接测量真实的探针位移而不是悬臂梁角度，提高了数据的可靠性；QPDI可将悬臂梁检测噪声降低10倍或更多，大大提高了测量灵敏度；QPDI测量纯粹的垂直探针位移，避免了垂直和平面力之间的串扰；通过光的波长精确校准，避免了与OBD校准相关的假设和不确定性。可以说，Vero在一定程度上修正了迄今为止压电力显微镜（PFM）领域所缺乏的结果准确性和一致性。△牛津仪器AFM高级应用科学家竺仁博士分享Vero使用体验竺博士讲到，Vero可适配不同反射镀层、不同悬臂形状、不同基片厚度的探针，其光斑尺寸小于4um，支持小探针；可基于气相和液相环境、S扫描器和ES扫描器、blueDrive等配置升级；可选择力曲线、接触模式、轻敲模式，以及衍生出来的力学、电学、磁学等模式；保留了光杠杆检测，具有摩擦力模式、测向PFM模式，可以同时采集光杠杆和QPDI信号。此外，竺博士还详细讲述了Vero扫描周期性极化铌酸锂、氧化铪、硫酸钙晶体等实际案例。△ 牛津仪器高级应用科学家刘志文博士介绍AFM技术发展趋势及应用进展刘博士表示，当前AFM朝着低噪音、高分辨、数据准确性和可重复性、扫描速度更快、操作简单、扩展性好等方向发展，而牛津仪器的产品正引领着这些方向。随后，刘博士讲述了牛津仪器低噪音AFM、高分辨AFM、粗糙度数据的准确性和可重复性、高通量（原位）AFM、微波扫描电容显微镜新技术等方面的应用案例。△ 讨论环节本次研讨会设置了讨论环节，来自上海科技大学、复旦大学、上海交通大学、苏州大学、华东师范大学等科研单位的专家学者与牛津仪器团队进行了深入的技术交流。△ Vero原子力显微镜现场演示研讨会内容结束后，牛津仪器还安排了Vero原子力显微镜的现场操作及演示，以帮助用户更好地了解Vero系统的特点及优势。牛津仪器Asylum Research专注AFM研究近25年，始终致力于推动AFM技术的极限。从解决无法精准测量力曲线弊病的MFP-1D，到快速扫描产品Cypher、全功能视频级扫描产品Cypher VRS，再到能够利用单一扫描器同时提供全自动、多功能、高扫描速度和高精度的大样品AFM Jupiter XR，牛津仪器Asylum Research一直引领着AFM市场的技术革新。Vero的问世，再次印证了牛津仪器Asylum Research在AFM领域的卓越实力。

2021年8月18日，由仪器信息网主办，纳米科学（NanoScientific)协办的“第三届原子力显微镜主题网络研讨会”在云端顺利召开。一天的听众行业分布原子力显微镜(Atomic Force Microscopy, AFM) 是继扫描隧道显微镜（Scanning Tunneling Microscopy）之后发明的一种具有原子级高分辨仪器，自1985年商业化以来，由于AFM可以在大气和液体环境下对各种材料和样品进行纳米区域的多种物理性质进行测量，或者直接进行纳米操纵，AFM现已广泛应用于半导体、纳米功能材料、生物、化工、食品、医研究和各类纳米相关学科的科研领域中，成为纳米科学研究的基本工具。本次参会听众主要包含化工、仪器仪表、能源、金属、电子电器、环境、机械等领域。听众单位性质分布本次研讨会除了邀请9位知名原子力显微镜/扫描探针研究/应用专家分享AFM技术的最新研究应用前沿，还邀请了刚刚发布AFM新品的3家AFM品牌专家代表为大家分享AFM产品的最新技术进展。参会听众约六成来自高校院所，其他较多单位性质还包括仪器厂商、工业企业、检测机构等，侧面反应这些单位对原子力显微镜仪器技术应用前沿、操作技术等更加关注。听众工作中常用仪器门类树状图一天的12个报告内容设置，主要围绕原子力显微镜/扫描探针技术，涉及热点应用领域包括水科学应用、石墨烯生长、纳米材料力学、静电性质动态测量、二维原子晶体界面调控、半导体器件失效分析、界面电荷转移反应、天然高分子溶液行为等。涉及相关技术包括便捷操作、全自动化、高速扫描、视频级、试样制备技术革命、光镜电镜衔接技术、智能化等。可以看到参会者日常常用的仪器门类，除了本次会议主题的原子力显微镜，及相关的扫描隧道显微镜、静电力显微镜、扫描离子电导显微镜外，电镜、X射线仪器、光谱等占比也较高，展现了以原子力显微镜为主要研究手段的应用领域中，应用关联性较高的一些仪器门类。经征求报告专家意见，会议12个报告中，10个报告将设置报告视频回放，详细见下表，便于广大网友温故知新。分会场视频回放链接报告题目演讲嘉宾第三届原子力显微镜网络研讨会(上)(08月18日)链接 氢敏感的原子力显微术及其在水科学的应用江颖(北京大学)链接 日立新一代AFM100系列原子力显微镜刘金荣(日立科学仪器（北京）有限公司)链接 试样制备在显微镜技术中的使能作用——关于原子力显微镜技术的反思苏全民(中国科学院沈阳自动化所)链接 从能用到好用，从专家到傻瓜——原子力显微镜高效操作技术发展陈强(岛津企业管理（中国）有限公司)/成核点在石墨烯生长过程中的作用刘金养(福建师范大学物理与能源学院)链接 原子力显微镜在纳米材料力学表征方面的应用李慧琴(上海交通大学)第三届原子力显微镜网络研讨会(下)—2021 NanoScientific Symposium China (NSSC 2021)(08月18日)链接 欢迎 致辞Keibock Lee(NanoScientific)链接 欢迎致辞张菲(北京航空航天大学)链接 原子力显微镜在静电性质动态测量中的应用钱建强(北京航空航天大学)链接 二维原子晶体界面调控的原子力显微学研究程志海(中国人民大学)抽奖活动链接 原子力显微在第十族TMDs物性研究中的应用杨鹏(云南大学)/从原子尺度理解固/气界面上的高温电化学反应机理陈迪(清华大学未来实验室)链接 基于分子间作用力的天然高分子溶液行为研究王静禹(华南理工大学化学与化工学院)链接 扫描电容显微镜在FA实验室的应用潘涛(Park原子力显微镜)会议技术交流群会议技术交流、合作：yanglz@instrument.com.cn附：会议下午场2021 NanoScientific Symposium China (NSSC 2021)抽奖活动中奖名单下午场NSSC 2021会场，共有近四百名在线网友参与了抽奖和填写调研问卷，现将获奖名单公示如下（未完成兑奖可邮件沟通：yanglz@instrument.com.cn）一等奖（kindle阅读器）获得者：电话号码 15050***549，李**二等奖，三等奖和参与奖获得者请参考下方图片：

对极限微观的不断探索源于人们原始的求知欲。国际度量衡制度的确立为我们指引了探索的方向。从米到毫米，从毫米到微米，从微米到纳米。当物质被我们不断地“劈碎”。越来越多新性质，新现象，新功能被发现。人们对自然的认识越来越深刻，对物质的操纵也越来越得心应手。 从二十世纪末开始，人类对微观的探索延伸到了纳米领域。在这个从仅比原子高一个层级的尺度范围内，物质展现了一种和宏观截然不同的状态和性质。表面效应、小尺寸效应和宏观量子隧道效应带来的是超高强度、超高导电性、超流动性、超高催化活性等等无与伦比的属性。 碳纳米管作为第一种人工合成的纳米材料，甫一问世，其超高强度就惊艳世人。它的质量是相同体积钢的六分之一，强度却是铁的10倍。 单壁碳纳米管高度（直径）测量在碳纳米管被研制出来以后，双壁碳纳米管、掺杂碳纳米管、复合碳纳米管等多种材料被源源不断制作出来。极小的尺度和样品多样性，迫切需要一种合适的检测工具。 在纳米尺度下，光学显微镜的分辨率早已鞭长莫及，电子显微镜则因为严格复杂的制样过程使测试门槛令人高不可攀，激光粒度仪对长径比过大的样品测试误差极大也不适合。这时，较合适的观测工具就是原子力显微镜。 原子力显微镜作为专门的纳米材料表征工具，天然具有高分辨率、高环境兼容性、多属性分析种种优势。 原子力显微镜观察的不同碳纳米管形态在生产中，因工艺不同，会产生长短粗细不同的碳纤维。如何有效对这些样品进行归类分析是个大问题。 不同工艺下碳纳米管分散状态借助岛津原子力显微镜配备的颗粒分析软件，则可以自动分析筛选，并对纤维的各种尺度进行统计分析。 极长和极短碳纳米管的自动分类统计同样，对于常见到的纳米材料——纳米颗粒而言，也可以依靠该软件进行统计分析。 纳米颗粒的粒径统计而且，利用原子力显微镜，还可以有效观察同样粒径下颗粒的不同形貌。例如以下两个颗粒，粒径均在100nm左右，如果用激光粒度仪测试，会被归为一类。但是用原子力显微观察，则可以发现很大的不同。 粒径近似的纳米颗粒聚集形态左侧的颗粒是单个粒子，二右侧的则是多个颗粒聚集形成的，在原子力显微镜的小范围观察图像中可以清晰分辨二者的不同。 但是，通常的原子力显微镜很难兼顾大视野和高分辨。要想同时观察统计大量颗粒，就需要用大范围观察，这样一来每个颗粒的细节分辨就难以看清。如果聚焦到一个颗粒上细致观察，则无法从整体上评估样品。 解决的办法就是提高原子力显微镜图像的分辨率。岛津推出了8192*8192点阵的高扫描能力。可以在大范围观察的同时又看清每一个小细节。 兼顾大视野和小细节的超大点阵扫描图像原子力显微镜作为人类眼睛的延伸，像一个精细的触手，细致地捕获纳米材料的形貌、机械性能、电磁学性能等等属性，使这个微乎其微的领域直观地展现在我们眼前，为我们更深更广地认识纳米材料提供了有力帮助。 文中相关仪器介绍详见以下链接：https://www.shimadzu.com.cn/an/surface/spm/index.html 本文内容非商业广告，仅供专业人士参考。

5月24 - 26日，在首届“科学仪器开发者大会”上，致真精密仪器自主研发的原子力显微镜系列产品重磅发布！此次发布的产品包括多功能原子力显微镜（AtomicaPrecision）、晶圆级原子力显微镜（Wafer Mapper-M）。该产品稳定性强、可拓展性良好、提供定制服务；可拓展横向力显微镜、静电力显微镜、磁力显微镜、扫描开尔文探针显微镜、刻蚀和纳米操作等。该产品作为高速、高精度微观形貌表征及综合物性分析工具，可以为高端科研与企业生产研发提供更多的选择与助力。“精彩花絮致真精密仪器携新品亮相展位，莅临的嘉宾们在现场通过亲自参与操作，快速了解产品的核心卖点。体验结束后，表示新产品在性能、操作便捷性等方面都有较好的感受，非常期待未来能够与致真精密仪器展开更深入的合作。致真精密仪器董事长兼首席技术官张学莹博士在大会上作了《高精度扫描探针显微镜的研制和应用》的报告，从原子力显微镜系列新品的开发背景、相关核心技术、多物性分析应用和市场前景等方面对新品进行全面讲解，详细展示了产品在纳米结构高清成像、液下生物细胞成像、高清磁畴（斯格明子）成像、铁电畴成像等方面的精彩效果，引起现场专家学者的浓厚兴趣，获得高度关注。“产品介绍致真精密仪器科研级原子力显微镜AtomicaPrecision产品介绍利用微悬臂探针结构对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征，纵向噪音水平低至0.03 nm(开环），可实现样品表面单个原子层结构形貌图像绘制。可以测量表面的弹性、塑性、硬度、黏着力、磁性、电极化等性质，还可以在真空，大气或溶液下工作，在材料研究中获得了广泛的使用。设备亮点● 多种工作模式● 适配环境：空气、液相● 多功能配置● 稳定性强● 可拓展性良好典型案例晶圆级原子力显微镜Wafer Mapper-M产品介绍利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征。样品台兼容12寸晶圆，电动样品定位台与光学图像相结合，可在300X300mm区域实现1μm的定位精度，激光对准，探针逼近和扫描参数调整完全自动化操作。可用于产线，对晶圆粗糙度进行精密测试。设备亮点● 多种工作模式● 适配环境：空气、液相● 可旋转式扫描头● 多功能配置● 稳定性强、可拓展性良好典型案例在新质生产力与大规模设备更新的推动下，国产替代的呼声愈发高涨，已成为行业发展不可逆转的潮流，致真精密仪器一直以来致力于实现高端科技仪器和集成电路测试设备的自主可控和国产替代，通过工程化和产业化攻关，已经研发了一系列磁学与自旋电子学领域的前沿科研设备，包括“原子力显微镜、高精度VSM、MOKE等磁学测量设备、各类磁场探针台、磁性芯片测试机等产线级设备、物理气相沉积设备、芯片制造与应用教学训练成套系统等”等，如有需要，我们的产品专家可以提供免费的项目申报辅助、产品调研与报价、采购论证工作。致真精密仪器拥有强大的自主研发和创新能力，产品稳定精良，多次助力中国科研工作者取得高水平科研成果。我们希望与更多优秀科研工作者合作，持续提供更加专业的技术服务和完善的行业解决方案！欢迎联系我们！除此之外，我们还可以为各位老师提供免费测试服务，有“磁畴测试”、“SOT磁畴翻转”、“斯格明子观测”、“转角/变场二次谐波”、“ST-FMR测量”、“磁控溅射镀膜”等相关需求的老师，可以随时与我们联系。

人类探索极限的脚步从未停止。为了看得更细，看得更清。列文虎克发明了显微镜，成为人类利用工具观察世界的肇始。 从此，光学成为显微镜的支配性规律。自十七世纪到二十世纪初，光学显微镜完成了几乎所有类型的研发、设计和定型。但因为衍射极限的发现，似乎提高观察的分辨率只有改进光源这一种路径。激光的发明成为光学显微镜在分辨率上最后的努力。 十九世纪初电子的发现，以及微观粒子的波粒二象性特性的揭示，成为了电子显微镜的基础。但是电子显微镜实际上可以看做光学显微镜在量子力学下的延伸。用加速电子束替代了传统光源，用磁透镜/静电透镜代替了透明介质透镜，可是几乎所有的理论结构都与光学显微镜一致。二十世纪三十年代电子显微镜被发明至今，其分辨率极致被提高到亚纳米级别，距离原子级分辨似乎只有一步之遥。 但是自然界被物理铁律支配，这一步似乎近在咫尺，但却云崖天隔。二十一世纪的电子显微镜已经进入了和二十世纪光学显微镜同样的境地，只能在不断改进各部件的精度中一丝一毫地改进图像，但无法跨越最后的鸿沟。 量子力学成为了新一代显微镜的理论基础。1981年，隧道扫描显微镜被发明，一种全新的显微镜横空出世。它不同于光学显微镜和电子显微镜，完全摆脱了对检测介质的依赖，以微粒间的作用（电、力）为检测信号，一举突破了原子级别的分辨率。随后在1985年被发明的原子力显微镜，更是将适用对象从金属和半导体拓展到所有的固体。 这是一种全新的显微方法和工具，从二十世纪八十年代末到九十年代初，全球各主要科技强国纷纷开展了扫描探针显微镜的研发。 OUR HISTORY岛津 也正是在这个时期，岛津开始涉足该领域。1991年，基于超高真空环境的隧道扫描显微镜AIS-900面世。 相对于在大气环境下的隧道扫描显微镜，真空环境是其工作环境更为简单，图像分辨率和清晰程度都更高，工作也更稳定。 虽然真空环境带来了分辨率的提高，但是同时也限制了样品的测试和操作的便利性。为此，1993年，岛津开发了兼容多种环境的WET-901，同时可以满足对大气环境、真空环境、特殊气氛、液体环境、电化学环境等不同要求。WET-901和随后的WET-9400代表着岛津敏锐地意识到，随着原子力显微镜的不断完善，微区观测技术必然会对原位分析产生重要的影响。因此，岛津持续不断地改进环境控制舱，应对不同时期科研领域的需求。 紧接着在1995年，岛津推出了成功的SPM-9500系列。二十世纪九十年代中后期是原子力显微镜大发展的时期，各种扫描模式从实验室走向实用。从1995年2001年，岛津SPM-9500系列也历经SPM-9500、SPM-9500J、SPM-9500J2、SPM-9500J3四个型号，不断吸收新的功能模式。同时，该系列具备的自动进针和头部滑动机构也在操作性上领先于其他竞争对手，这些特点使得该系列成为了一个长寿的产品。 随后的SPM-9600（2005年）、SPM-9700（2010年）、SPM-9700HT（2016年）基本都延续了SPM-9500的基本结构，通过不断改进控制器，提高分辨率，增加新功能，改善操作性。 在这个时期，商用原子力显微镜陷入了一个发展瓶颈，功能模式固化，应用领域受限，每个厂家都在不同的方向上尝试新的突破。有的厂商开始匹配半导体工业的需求，有的则在生命科学领域进行研发。 岛津也在思考什么才是原子力显微镜的发展根本？ 不识庐山真面目，只缘身在此山中。经过大量的思考和尝试，一切回归本源——分辨率。只有分辨率才是显微镜最核心的技术指标。于是在2014年推出了调频型原子显微镜SPM-8000FM并在2017年升级为SPM-8100FM。该系列最核心的技术是调频控制探针，利用频率对作用力的分辨率和反馈速度远高于振幅的特点，实现了在大气和液体环境中原子/分子级的分辨率。 利用调频模式对作用力的高分辨检测能力，还成功地将原子力显微镜的应用从固体表面观察拓展到固液界面的水合化和溶剂化作用。这项技术有助于电池和摩擦学等领域的前沿研究。 最近的十年，随着原子力显微镜对不同应用领域的拓展，新的技术和新的需求也在不断涌现。 岛津原子力显微镜将会如何应对新变化？又会开发什么新技术呢？ 一切尽在5月18日14:00由宏入微 顺手随心岛津SPM-Nanoa原子力显微镜在线发布会敬请期待！

2016年6月30日，天美（中国）科学仪器有限公司与日立高新技术公司，联合中科院上海硅酸盐研究所，共同举办日立原子力显微镜最新应用技术研讨会，期待您的莅临。　　2012年5月，日立高新科技公司全资收购精工电子有限公司子公司精工电子纳米株式会社，这其中包括了精工的原子力显微镜业务。近年来，日立高新在秉承精工原子力原有品质的基础上，积极创新，不断完善原子力产品线，相继更新了高分辨率型AFM5100N、环境可控型AFM5300E和大样品仓型AFM5400L，并在全球范围得到了市场的认可。　　2016年3月，日立高新隆重推出了最新的原子力产品AFM5500M，日立最新一代原子力显微镜AFM5500M采用了全新设计的低噪音闭环压电陶瓷扫描器，在实现200μ m大范围扫描同时也能保证较高的图像平整度，避免球面误差和正交耦合效应。AFM5500M拥有自动更换探针、自动调节激光光路、自动参数设置等一系列全新的自动化设计，极大的提高样品的测试效率，为使用者带来便捷的感官体验。　　藉此研讨会之际，我们邀请到日立原子力全球应用中心工程师山冈 武博先生，介绍日立原子力产品的最新应用和最新解决方案。会议还将邀请中科院上海硅酸盐研究所曾华荣研究员做特邀报告。会议内容详实丰富，将是一场难得的信息盛宴，相信您一定会不虚此行。会议期间还将安排仪器现场参观，以便您对日立原子力显微镜的特点有更直观、更深刻的了解。　　在此，天美公司携手日立高新共同向您发出诚挚的邀请，热忱欢迎您的莅临！ 时间： 2016年6月30日（星期四）下午14:00-18:00地点： 上海巴黎春天新世界酒店 三楼 钻石3号厅酒店地址：中国上海市长宁区定西路 1555号会议议程14:00～14:15致辞 日立高新技术公司北京分公司总经理 加藤 博司 先生天美公司上海办事处总经理 顾家晖 先生14:15～15:30 日立原子力显微镜最新应用主讲人：日立原子力显微镜全球应用中心工程师山冈 武博 博士15:30～16:00高分辨率扫描探针压电—声学—热学显微术及其应用研究主讲人：中科院上海硅酸盐研究所研究员 曾华荣 先生16:15～16:45 日立原子力产品链及AFM5500M介绍主讲人：天美公司电镜产品经理 周海鑫 博士16:45～17:15 日立FE-SEM&IM应用介绍讲解人：日立高新技术公司电镜应用工程师 罗琴 女士17:15～17:45 上海硅酸盐研究所日立AFM5300E参观18:00 晚宴关于天美：　　天美(控股)有限公司(“天美(控股)”)从事表面科学、分析仪器、生命科学 设备及实验室仪器的设计、开发和制造及分销 为科研、教育、检测及生产提供完整可靠的解决方案。继2004年於新加坡SGX主板上市后，2011年12月 21日天美(控股)又在香港联交所主板上市(香港股票代码1298)，成为中国分析仪器行业第一家在国际主要市场主板上市的公司。近年来天美(控股)积极 拓展国际市场，先后在新加坡、印度、澳门、印尼、泰国、越南、美国、英国、法国、德国、瑞士等多个国家设立分支机构。公司亦先后收购了法国 Froilabo公司、瑞士Precisa公司、美国IXRF公司、英国 Edinburgh Instruments公司等多家海外知名生产企业和布鲁克公司Scion气相和气质产品生产线，加强了公司产品的多样化。　　更多详情欢迎访问天美(中国)官方网站：http://www.techcomp.cn

• James Keerfot• Vladimir V Korolkov原子力显微镜（AFM）是一种测量探针和样品之间作用力的技术，它不仅可用于测量纳米级分辨率的表面形貌，还可用于绘制和操作可使用纳米级探针处理的一系列性能。在这里，我们只谈到了最先进的AFM在层状材料研究中的一些能力。我们希望探索的第一个例子是如何使用AFM来研究垂直异质结构中的层的注册表，这会产生许多有趣的现象[1，2]。根据层间和层内的结合、晶格周期和两个重叠薄片角度的对称性和失配，可以观察到单层石墨烯（SLG）和六方氮化硼（hBN）[3]之间的莫尔图案或扭曲控制的双层二硫化钼（2L-MoS2（0°））[4]中的原子重建等特征。在图1中，我们展示了我们的FX40自动AFM如何使用导电AFM（C-AFM）和侧向力显微镜（LFM）来测量这些特征。这两种技术都源于接触模式AFM，其中悬臂由于排斥力而产生的偏转用于通过反馈回路跟踪表面形貌。LFM测量探针在垂直于悬臂梁的方向上扫描时的横向偏转，而C-AFM绘制尖端样品结处恒定电压和力下的电流图。除了传统的形貌通道外，AFM还使用这些模式，为研究垂直异质结构中层间扭曲和应变影响的研究人员提供了“莫尔测量”。图1:Park Systems的FX40自动AFM（a）用于使用LFM（c）和c-AFM（d）测量hBN和单层石墨烯（b）之间的莫尔图案。对于具有边缘扭曲角和有利的层间结合的样品，可以测量原子重建，这是石墨上平行堆叠的双层MoS2的情况（e）。与莫尔图案一样，在这种情况下，由于重建，可以使用LFM（f）和C-AFM（g）测量不同配准的区域。除了探索层状材料的形态和注册，原子力显微镜还具有一系列功能模式，可以用纳米尺度的分辨率测量诸如功函数、压电性、铁电性和纳米机械性能等性能。在图2中，我们展示了如何使用单程边带开尔文探针力显微镜（SB-KPFM）[5]来同时绘制尖端和具有不同层厚度的MoS2薄片之间的形态和接触电势差（CPD）。MoS2薄片从聚二甲基硅氧烷（PDMS）转移到Si上，在MoS2和Si之间留下截留的界面污染气泡。通过比较形貌（见图2b）和CPD（见图2c），我们看到由于MoS2层厚度和截留的界面污染物气泡的大小，CPD发生了变化。通过从地形数据中提取相对应变的估计值，该估计值基于尖端水泡相对于平坦基底的行进距离，可以直接将CPD和一系列层厚度的应变关联起来[6]。图2:KPFM是用Multi75E探针和5V的电驱动（VAC）和5kHz的频率（fAC）在硅（天然氧化物）上的MoS2上进行的（a）。对于多层MoS2薄片，同时绘制了形貌图（b）和CPD（c），揭示了由于层厚度和捕获污染物的气泡的存在而导致的CPD对比度。通过从地形图像中提取相对应变的估计值，我们绘制了各种泡罩尺寸和MoS2厚度的相关应变和CPD（d），如图图例所示。在我们的最后一个例子中，我们将研究如何使用原子力显微镜来决定性地操纵层状材料。在图3 a-c中，我们比较了90 nm SiO2/Si中2-3层（L）石墨烯薄片在使用阳极氧化切割之前（见图3b）和之后（见图3c）的横向力显微镜图像，其中尖端使用接触模式保持接触，同时施加40 kHz的10 V AC偏压[7]。除了阳极氧化，原子力显微镜还能够对层状材料进行机械改性。图3d-f中给出了一个这样的例子，其中使用Olympus AC160探针（刚度~26N/m）将聚苯乙烯上的3L-MoS2薄片缩进不同的深度。如图3f的插图所示，压痕深度（使用非接触模式监测）与压痕力密切相关。以这种方式修改局部应变已被证明可以决定性地产生表现出单光子发射的位点[8]。图3：在接触模式（a）下，通过向探针施加AC偏压，对少层石墨烯进行阳极氧化。通过比较（b）之前和（c）之后的LFM图像来证明薄片的确定性切割。也可以在聚苯乙烯上进行几层MoS2的压痕，证明了机械操作（d）。通过非接触模式AFM监测的压痕深度显示，压痕力范围高达~7.2µN。总之，我们已经展示了AFM如何能够提供比表面形貌多得多的信息，并且可以执行的一套功能测量和样品操作过程为关联测量提供了新的机会。易于使用的功能以及使用最佳探针自动重新配置硬件进行功能测量的能力，使Park的FX40特别适合此类调查。References[1] R. Ribeiro-Palau et al. Science 361, 6403, 690 (2018).[2]Y. Cao et al. Nature 556, 80 (2018).[3] C. Woods et al. Nature Phys. 10, 451 (2014).[4]A. Weston et al. Nat. Nanotechnol. 15, 592 (2020).[5] A. Axt et al. Beilstein J. Nanotechnol. 9, 1809–1819 (2018)[6] E. Alexeev et al. ACS Nano 14, 9, 11110 (2020)[7] H. Li et al. Nano Lett., 18, 12, 8011 (2018)[8] M. R. Rosenberger et al. ACS Nano, 13, 1, 904–912 (2019)原文：Atomic force microscopy for layered materials，Wiley Analytical Science作者简介• 詹姆斯基尔福（James Keerfot）Park Systems UK Ltd, MediCity Nottingham, Nottingham, UK.弗拉基米尔科罗尔科夫（Vladimir V. Korolkov）Park Systems UK Ltd., MediCity Nottingham, UK.弗拉基米尔于2008年获得莫斯科大学化学博士学位。随后，他进入海德堡大学，专攻薄膜的X射线光电子能谱学，随后在诺丁汉大学任职，在那里他发现了自己对扫描探针显微镜（SPM）的热情，并成为SPM技术的坚定拥护者，以揭示纳米级的结构和性能。他率先使用标准悬臂的更高本征模来常规实现分辨率，而以前人们认为分辨率仅限于STM和UHV-STM。弗拉基米尔目前发表了40多篇科学论文，其中包括几篇在《自然》杂志上发表的论文。尽管截至2018年，他的专业知识为SPM技术的产业发展做出了贡献，但他的工作仍在激励和影响该领域的学术冒险。