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纳米沉积喷墨打印系统

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  • 应用 | 影响喷墨打印质量的重要参数 - 润湿性
    研究背景全反应式喷墨打印(Full Reactive Inkjet Printing, FRIJP)是采用喷墨打印机将一种或多种反应物喷到基材上,利用它们之间产生物理或化学反应以原位形成产物的一种技术。聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane, PDMS)是一种因其低成本、好的生物相容性和高的光学透明度而被广泛应用的硅酮弹性体。首次利用FRIJP成功将聚二甲基硅氧烷(PDMS)油墨打印出复杂的三维几何图形。通过使用制备的基底,可以显著提高PDMS的打印精度,打印的特征分辨率可以高达48 ± 2µ m(X,Y)。材料和方法一种市售的两组分硅酮(PolytekPlatSil71-Silliglass)被用作活性油墨的基础。PDMS油墨的两部分分别称为A(含氢化物)和B(含催化剂),反应结果如图1所示。该配方由A与B的比例为1:1(重量)组成,其中硅酮在铂催化剂的存在下发生交联。该反应不受氧气或水分的抑制,因此可以在没有控制气氛的情况下进行。 图1-PDMS在铂催化剂存在下的交联反应,硅酮氢化物键Si-H被一个额外的Si-C键取代。标记的是PDMS配方中每个组分中的化合物。用于打印的Dimatix材料打印头(DMP)(Dimatix,Fujifilm)的建议操作范围分别为粘度10-12 mPa.s和表面张力28-33 mN/m,但打印头可使用高达30 mPa.s粘度和70mN/m的表面张力。使用醋酸辛酯(octyl acetate, OA)(SigmaAldric O5500)作为粘度改性剂。喷墨打印的一个重要因素,同时也影响墨滴如何在基材形成,这就是油墨的表面张力。通过液滴形状分析仪(KRUSS DSA 100)悬滴法测试墨水的表面张力,同时用座滴法测试了制备的PDMS油墨与基底的接触角。 图2 DSA100 液滴形状分析仪结果与讨论PDMS组分、溶剂和最终油墨的粘度和表面张力值见表1。表1-油墨、溶剂和溶液的性质。通过使用无反应的稀释剂和打印头加热;达到了可打印范围内的粘度(30 mPa.s)。 采用三种材料基底物质,标准玻片、聚四氟乙烯和用1%1H、1H、2H、2H-全氟辛基三乙氧基硅烷(PFOTS)对玻璃片进行化学改性,接触角的结果如表2所示。结果表明,玻璃表面被聚四氟乙烯和PFOTS处理后的接触角都高于玻璃。对固化后的PDMS的接触角进行了分析,显示出比PTFE和PFOTS的基底上更好的润湿性。表2-座滴法测试(KRÜ SS DSA100)墨水A在不同衬底上的接触角。 当使用成型技术时,PDMS能够在大多数材料表面上铺展,但对于喷墨打印,会降低特征分辨率。通过对比三种材料基板;玻璃、聚四氟乙烯涂层玻璃和PFOTS涂层玻璃的接触角,来分析油墨在基板上的打印分辨率。从接触角和打印网络测试结果结合来看,油墨在未经处理的玻璃表面完全铺展开,液滴尺寸达到了150μm,同时玻璃表面的接触角也是最小的。PFOTS涂层玻璃和聚四氟乙烯涂层玻璃的液滴尺寸相似,分别为48 ± 2µ m和64 ± 2µ m。油墨在PFOTS涂层玻璃上的接触角最大,使得PFOTS涂层玻璃上的液滴能够更小、更圆,因此使用PFOTS衬底可以获得最好的特征分辨率。 图3-(a)将一滴墨水a和b打印到未经处理的载玻片上的结果。(b)在制备好的聚四氟乙烯涂层载玻片打印组成墨水a和墨水b的印刷网格和(c)在PFOTS涂层玻璃上的网格结论本文研究了PDMS的反应式喷墨印刷技术,并且通过优化PDMS油墨在基底上的润湿性,来获得更好的打印分辨率。在印刷过程中,油墨与印刷介质之间的润湿性能对于印刷质量和油墨的附着力具有重要影响。因此,评估油墨在印刷介质上的润湿性能对于印刷质量的控制和油墨的选择具有重要意义。本文有删减,详细信息请参考原文:C.Sturgess, C.Tuck, I. A. Ashcroft and R. D. Wildman, J. Mater. Chem. C, 2017,DOI: 10.1039/C7TC02412F.
  • 【网络讲堂参会邀请】如何沉积纳米粒子 ——纳米粒子单层膜沉积实用指南
    如何沉积纳米粒子——纳米粒子单层膜沉积实用指南 纳米颗粒的二维致密单层膜沉积是多种技术和科学研究的基础。例如,纳米粒子单层膜可以作为传感器上的功能层,也可以用来生产用于纳米球光刻的胶体掩模。但是,怎样才能高效、可靠地得到具有三维自由度的纳米颗粒溶液,并将这些颗粒限制在横跨大基底的(二维)单层中呢?传统的纳米颗粒沉积技术纳米颗粒沉积技术种类繁多。一些相对简单和快速的方法包括溶剂蒸发、浸渍镀膜和旋涂镀膜。然而,这些技术可能会浪费大量的纳米颗粒,并且无法有效控制纳米颗粒的密度和配位结构。溶剂蒸发溶剂蒸发容易产生所谓的咖啡渍圈环效应,这种效应是由马朗戈尼流动引起的。这将导致不均匀沉积,中心的纳米粒子沉积稀疏,而边缘则形成多层纳米粒子沉积。 浸渍镀膜另一方面,如果只是用纳米粒子覆盖基底,浸渍镀膜将是一种很好的技术。然而,使用这种方法沉积纳米颗粒单分子层是非常具有挑战性的。同时,浸渍镀膜需要大量的纳米颗粒,这在处理昂贵纳米颗粒材料时将成为一个大的限制因素。 旋涂镀膜旋涂镀膜也是一种很有吸引力的方法,因为它易于规模化放大,而且在半导体工业中是一种众所周知的技术。然而,使用这种方法,薄膜的质量和多个工艺参数紧密相关,如:自旋加速度、速度、纳米颗粒的大小、基材的润湿性和所用溶剂。这使得对薄膜属性的精确控制变得非常困难。而且,一般旋涂镀膜需要大量的纳米颗粒溶液。 气液界面的单层镀膜在这里,气液界面沉积纳米颗粒单层提供了一种高度可控的沉积方法,可以将其沉积在几乎任何基底上。纳米颗粒被限制在气液界面,界面面积逐渐减小,使得纳米颗粒更加紧密地聚集在一起,从而可以实现控制沉积密度的目的,因为单位区域面积沉积的纳米颗粒的数量很容易计算,这样对纳米颗粒的需求量就会大大降低。 单层薄膜形成后,可以通过简单的上下提拉基底即可将界面上的薄膜转移到基底上。 在线网络研讨会报名如果您对如何制备纳米颗粒单分子膜感兴趣,想获取更多这方面的知识,请报名参加由伦敦大学学院的Alaric Taylor博士举办的题为“纳米颗粒单分子层薄膜沉积实用指南”的网络研讨会。报告人Alaric Taylor简介:Alaric Taylor博士是伦敦大学学院工程和物理科学研究委员会(EPSRC)研究员,他在纳米光子材料的制造,尤其是通过在气-液界面开发胶体单层自组装方面有很高的造诣。 报告内容:? 详细讲解纳米颗粒沉积的具体操作? 指出需要注意的事情? 讲述纳米颗粒沉积的技巧 报告时间:2018年9月13日下午3:00(北京时间)报名联系:如需参会,请填好下列表格中的信息发送至,邮箱:lauren.li@biolinscientific.com;姓名单位邮箱电话特别提醒:因为可能会涉及电脑、系统、耳机等调试问题,建议大家提前5-10分钟进入链接。
  • 我国高分辨率OLED喷墨打印成套装备取得重大突破
    近日,季华实验室公众号发布消息称,朱云龙教授团队在高分辨率OLED喷墨打印成套装备研究中取得重大突破。OLED喷墨印刷技术与传统OLED面板蒸镀技术相比,由于其具有按需打印,材料利用率高(蒸镀工艺材料利用率15%,喷墨打印可提高到85%以上),无需高精度掩膜版、无需真空环境等优点,是制作大尺寸OLED面板最具潜力的发光层成形方法,正成为新型显示产业的一次重大技术革命,也被誉为是彻底改变目前OLED电子显示行业由“蒸镀工艺”向“喷墨打印”技术转变的颠覆性产业技术革命。然而,我国OLED喷墨打印技术面临技术瓶颈问题,核心装备一直未有突破。季华实验室朱云龙教授团队一直致力于研发高分辨率OLED喷墨打印成套装备,该团队历时3年多时间,先后突破宏量喷墨打印同步协同控制技术、大型腔体多物理场高稳定性可控技术、高精密对位系统、高精度循环供墨系统等多项关键核心技术,形成了独特的喷墨打印技术方案,成功研制了200mm×200mm OLED喷墨打印成套装备,并实现7吋137ppi基板全彩打印点亮、5吋254ppi、300ppi基板打印及UV测试,标志着我国自主装备首次实现了300ppi的高分辨率打印,性能达到国际先进水平。2023年8月,该团队研制的G4.5代高分辨率OLED喷墨打印成套装备已完成安装调试,导入试验线,目前运行稳定。该装备于近期成功实现31吋基板多色打印与图案化展示,为我国喷墨打印显示技术产业化发展提供了强有力的技术装备支撑,具有里程碑式的意义。图1. 200mm×200mm OLED喷墨打印成套装备图2. 7吋137ppi基板全彩打印及点亮测试图3. 254ppi/300ppi 基板打印及UV点亮测试图4. G4.5代高分辨率OLED喷墨打印成套装备图5. 31吋基板全彩打印点亮测试及图案化展示
  • 纳米薄膜材料制备技术新进展!——牛津大学也在用的薄膜沉积系统,有什么独特之处?
    一、纳米颗粒膜制备日前,由英国著名的薄膜沉积设备制造商Moorfield Nanotechnology公司生产的套纳米颗粒与磁控溅射综合系统在奥地利的莱奥本矿业大学Christian Mitterer教授课题组安装并交付使用。该设备由MiniLab125型磁控溅射系统与纳米颗粒溅射源共同组成,可以同时满足用户对普通薄膜和纳米颗粒膜制备的需求。集成了纳米颗粒源的MiniLab125磁控溅射系统 传统薄膜材料的研究专注于制备表面平整、质地致密、晶格缺陷少的薄膜,很多时候更是需要制备沿衬底外延生长的薄膜。然而随着研究的深入,不同的应用方向对薄膜的需求是截然不同。在表面催化、过滤等研究方向,需要超大比表面积的纳米薄膜。在这种情况下,纳米颗粒膜具有不可比拟的优势。而传统的磁控溅射在制备纯颗粒膜方面对于粒径尺寸,颗粒均匀性方面无法实现控制。气相沉积法、电弧放电法、水热合成法等在适用性、操作便捷性、与传统样品处理的兼容性等方面不友好。在此情况下,Moorfield Nanotechnology推出了与传统磁控溅射和真空设备兼容的纳米颗粒制备系统。不同条件制备的颗粒粒径分布(厂家测试数据)不同颗粒密度样品(厂家测试数据)纳米颗粒制备技术特点:▪ 纳米颗粒的大小1 nm-20 nm可调;▪ 多可达3重金属,可共沉积,可制备纯/合金颗粒;▪ 材料范围广泛,包括Au、Ag、Cu、Pt、Ir、Ni、Ti、Zr等▪ 拥有通过控制气氛制造复合纳米粒子的可能性(类似于反应溅射)▪ 的纳米颗粒层厚度控制,从亚单层到三维纳米孔▪ 纳米颗粒结构——结晶或非晶、形状可控纳米颗粒膜的应用方向:▪ 生命科学和纳米医学: 癌症治疗、药物传输、抗菌、抗病毒、生物膜▪ 石墨烯研究方向:电子器件、能源、复合材料、传感器▪ 光电研究:光伏研究、光子俘获、表面增强拉曼▪ 催化:燃料电池、光催化、电化学、水/空气净化▪ 传感器:生物传感器、光学传感器、电学传感器、电化学传感器 二、无机无铅光伏材料下一代太阳能电池的大部分研究都与铅-卤化物钙钛矿混合材料有关。然而,人们正不断努力寻找具有类似或更好特性的替代化合物,想要消除铅对环境的影响,而迄今为止,这种化合物一直难以获得。因此寻找具有适当带隙范围的无铅材料是很重要的,如果将它们结合起来,就可以利用太阳光谱的不同波长进行发电。这将是提高未来太阳能电池效率降低成本的关键。近期,牛津大学的光电与光伏器件研究组的Henry Snaith教授与Benjamin Putland博士研究了具有A2BB’X6双钙钛矿结构的新型无机无铅光伏材料。经过计算该材料具有2 eV的带隙,可用做光伏电池的层吸光材料与传统Si基光伏材料很好的结合,使光电转换效率达到30%。与有机钙钛矿材料相比,无机钙钛矿材料具有结构稳定使用寿命更长的优势。而这种新材料的制备存在一个问题,由于前驱体组分的不溶性和复杂的结晶过程容易导致非目标性的晶体生长,因此难以通过传统的水溶液法制备均匀的薄膜。Benjamin Putland博士采用真空蒸发使这些问题得以解决。使用Moorfield Nanotechnology的高质量金属\有机物热蒸发系统,通过真空蒸发三种不同的前驱体,研究人员成功沉积制备出了所需要的薄膜。真空蒸发具有较高的控制水平和可扩展性,使得材料的工业化制备成为可能。所制备的薄膜在150℃退火后,XRD图。所制备的薄膜在150℃退火后,表面SEM图 三、Moorfield 薄膜制备与加工系统简介Moorfield Nanotechnology是英国材料科学领域高性能仪器研发公司,成立二十多年来专注于高质量的薄膜生长与加工技术,拥有雄厚的技术实力,推出的多种高性能设备受到科研与工业领域的广泛好评。高精度薄膜制备与加工系统 – MiniLab旗舰系列和nanoPVD台式系列是英国Moorfield Nanotechnology公司经过多年技术积累与改进的结晶。产品的定位是配置灵活、模块化设计的PVD系统,可用于高质量的科学研究和中试生产。设备的功能和特点:▪ 蒸发设备:热蒸发(金属)、低温热蒸发(有机物)、电子束蒸发▪ 磁控溅射:直流&射频溅射、共溅射、反应溅射▪ 兼容性:可与手套箱集成、满足特殊样品制备▪ 其他功能设备:二维材料软刻蚀、样品热处理▪ 设备的控制:触屏编程式全自动控制
  • ACS Nano:原子层沉积技术助力复杂纳米结构的合成和精准调控取得新进展
    MoS2(二硫化钼),由于其优异的带隙结构(直接带隙为1.8 eV),高表面体积比和的场效应晶体管(FET,field effect transistor)性能,已成为具代表性的二维过渡金属硫族化合物(TMDC, transition-metal dichalcogenide)。使用纳米晶(Nano-Crystal,NC)修饰MoS2,即可以保持每个组成部分的立特性,同时又提供了复合材料产生的协同特性,大的扩展了MoS2材料的应用领域。控制纳米晶(NC)在 MoS2基底上的形貌,包括浓度,尺寸大小和表面体积比,对电子器件的整体性能影响是至关重要的。原子层沉积技术(ALD,Atomic layer deposition)是基于自限制的表面化学反应,对缺乏表面活化学反应基团的二维材料可实现选择性表面纳米晶修饰,其中NC大小可以通过循环次数来控制。美国斯坦福大学化学工程学院的Stacey F. Bent教授,通过使用台式三维原子层沉积系统-ALD发现了一种合成ZnO修饰MoS2基杂化纳米结构(纳米片或纳米线)的新方法。ZnO纳米晶的特性,包括浓度、大小和表面体积比,可以通过控制ZnO循环次数以及ALD磺化处理得到的MoS2衬底的性能来进行系统的合成和调控。通过材料化学成分(XPS以及 Raman),显微镜观察(TEM, SEM)和同步加速器X射线技术(GIWAXS) 分析ZnO与ALD沉积次数的相互关系,并结合量子化学计算的结果,作者阐明了ZnO在MoS2衬底上的生长机理及其与MoS2衬底性能的关系。MoS2纳米片的缺陷密度和晶粒尺寸可以由MoO3的硫化温度进行控制,ZnO纳米晶会选择性地在MoS2表面的缺陷位置处成核,且尺寸随着ALD循环次数的增加而增大。ALD循环次数越高,ZnO纳米晶的聚结作用越强,使得ZnO在MoS2衬底表面的覆盖和自身尺寸大幅增长。此外,复合结构的几何形貌可以通过改变MoS2衬底的取向进行调控,即采用MoS2的垂直纳米线(NWs,nanowires)作为ALD ZnO NCs的衬底,可以大幅改善复合结构的表面体积比。该类材料有望用于一些新拓展的领域,尤其是依赖过渡金属卤化物和NCs相互耦合结构的,如基于p−n异质结的传感器或光电器件。该工作发表在2020年的国际知名期刊ACS Nano (2020, 14, 1757−1769)上。图1. (a)ZnO@MoS2复合纳米结构示意图;(b)800°C-MoS2表面的HR-STEM图像;(c)两步合成二硫化钼的工艺,即在三个不同的退火温度下(600,800,和1000°C)下使用H2S硫化ALD 合成的MoO3;(d)600 °C-, 800 °C-, 和1000 °C-MoS2的Raman光谱图,(e)Zn 2p XPS谱图(循环次数为50次),(f)相对原子比 Zn/(Zn + Mo),(g)TEM图像,(h)表面覆盖度,(i)MoS2表面ZnO颗粒的数密度及(g)GIWAXS(grazing incidence wide-angle X-ray scattering,掠入射小角X射线散射) 图样(不同沉积次数下);(k)800 °C-MoS2 纳米线的SEM,TEM和HR-TEM图像;(l)DEZ(diethylzinc,二乙基锌)反应的量子化学计算结果,在MoS2的边缘位和基面上进行DFT分析,黄色和绿色原子分别表示S和Mo。 上述工作中作者团队采用的原子层沉积设备来自于美国ARRADIANCE公司的GEMStar系列台式三维原子层沉积系统-ALD(如图2所示),其在小巧的机身(78 * 56 * 28 cm)中集成了原子层沉积所需的所有功能,可多容纳9片8英寸基片同时沉积。全系配备热壁,结合前驱体瓶加热,管路加热,横向喷头等设计,使温度均匀性高达99.9%,气流对温度影响减少到0.03%以下。高温度稳定度的设计不仅实现在8英寸基体上膜厚的不均匀性小于99%,而且更适合对超高长径比的孔径3D结构等实现均匀薄膜覆盖,对高达1500:1长径比的微纳深孔内部也可实现均匀沉积。GEMStar系列ALD系统广泛应用于高深宽比结构沉积,半导体微纳结构制备,微纳粉末包覆等,服务于锂离子电池,超电容器,超电容器,LED等研究领域。图2. 美国ARRADIANCE公司生产的GEM-tar系列台式三维原子层沉积系统 参考文献:[1]. Il-Kwon, et al., Synthesis of a Hybrid Nanostructure of ZnO-Decorated MoS2 by Atomic Layer Deposition., ACS nano., 2020,14(2), 1757-1769.
  • 成本更低、性能更高!京东方、TCL等龙头企业大力布局喷墨印刷OLED技术—访苏州纳米所苏文明研究员
    近日,中科院苏州纳米所苏文明研究员出席了第十三届纳博会。展会现场,仪器信息网就喷墨和蒸镀OLED技术发展、行业应用、设备国产化现状等话题采访了苏文明研究员。苏文明研究员表示,印刷电子领域国内外差距并不大,部分领域处于并跑阶段......更多观点请查看视频以下是对中科院苏州纳米所苏文明研究员的现场采访视频:2022年3月1-3日,由科技部、中国科学院指导,中国微米纳米技术学会、中国国际科学技术合作协会、国家第三代半导体技术创新中心(苏州)主办,苏州纳米科技发展有限公司承办的第十三届中国国际纳米技术产业博览会(CHInano 2023)在苏州国际博览中心举行。本届纳博会为期3天,聚焦第三代半导体、微纳制造、纳米新材料、纳米大健康等热门领域,开设1场大会主报告、11场专业论坛、344场行业报告、22000平米展览、2场创新创业大赛,包括19位院士在内的300余位顶级专家、行业精英齐聚一堂,新技术、新产品、新成果集中亮相,为大家奉上一场干货满满、精彩纷呈的科技盛会,推出专业论坛、创新赛事、沉浸式游学等系列活动,全方位释放大会红利,推动产业生态建设,共绘美好发展蓝图。回望过去,寄语未来。展会现场,仪器信息网采访了15位专家、厂商代表,分别谈了各自的与会感受以及他们眼中中国半导体、MEMS、OLED、半导体设备、科学仪器、微流控、封装技术等产业的发展现状和前景展望。
  • PEJET发布PeJet 多通道微电子喷墨打印机 新品
    PeJet-ElectroJet多材料多通道微电子打印机 ? Multi-Channels Process 业内独创八通道可同时装载多种材料混合叠层打印技术 ? Multi-Materials Jettable 高性能导电材料, 电介质绝缘材料及抗刻蚀剂材料等 ? Low Cost & High Efficient Production & All in one Electronics Printer 低成本, 高的生产效率, 真正微电子打印设备创新点:1.可同时打印多种材料2.独创8通道喷墨打印3.可进行不同材料叠层打印
  • 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所550.00万元采购激光脉冲沉积
    详细信息 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所原位Mask器件级图案化分子束外延设备采购项目公开招标公告 江苏省-苏州市 状态:公告 更新时间: 2024-02-14 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所原位Mask器件级图案化分子束外延设备采购项目公开招标公告 2024年02月08日 12:18 公告信息: 采购项目名称 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所原位Mask器件级图案化分子束外延设备采购项目 品目 货物/设备/仪器仪表/其他仪器仪表 采购单位 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 行政区域 江苏省 公告时间 2024年02月08日 12:18 获取招标文件时间 2024年02月08日至2024年02月21日每日上午:9:00 至 12:00 下午:13:00 至 17:00(北京时间,法定节假日除外) 招标文件售价 ¥600 获取招标文件的地点 www.oitccas.com;北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 开标时间 2024年02月29日 13:30 开标地点 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所A415会议室 预算金额 ¥550.000000万元(人民币) 联系人及联系方式: 项目联系人 郭宇涵、王军、李雯 项目联系电话 010-68290599 采购单位 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 采购单位地址 苏州工业园区若水路398号 采购单位联系方式 俞老师、赵老师;0512-62872525 代理机构名称 东方国际招标有限责任公司 代理机构地址 北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 代理机构联系方式 郭宇涵、王军、李雯; 010-68290599, 010-68290530 附件: 附件1 1026.pdf 项目概况 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所原位Mask器件级图案化分子束外延设备采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.oitccas.com;北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层获取招标文件,并于2024年02月29日 13点30分(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号:OITC-G240661026 项目名称:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所原位Mask器件级图案化分子束外延设备采购项目 预算金额:550.000000 万元(人民币) 最高限价(如有):550.000000 万元(人民币) 采购需求: 包号 货物名称 数量 (套) 是否允许采购进口产品 采购预算 1 原位Mask器件级图案化分子束外延设备 1 否 550万元 合同履行期限:合同签订后6个月内交货 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2.落实政府采购政策需满足的资格要求: 本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目 3.本项目的特定资格要求:1) 投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定;(具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件:(一)具有独立承担民事责任的能力;(二)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;(三)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;(四)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;(五)参加政府采购活动前三年内,在经营活动中没有重大违法记录;(六)法律、行政法规规定的其他条件。)2) 投标人须在中华人民共和国境内合法注册、有法人资格并符合工商局或相关行业主管部门核准的经营范围或经营许可;3) 投标人按照招标公告要求购买了招标文件;4) 投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。5) 为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商,不得参加本项目投标;6) 投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得参加同一合同项下的政府采购活动;7)本项目不接受联合体投标 三、获取招标文件 时间:2024年02月08日 至 2024年02月21日,每天上午9:00至12:00,下午13:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外) 地点:www.oitccas.com;北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 方式:登录“东方招标平台”http://www.oitccas.com注册并购买 售价:¥600.0 元,本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间:2024年02月29日 13点30分(北京时间) 开标时间:2024年02月29日 13点30分(北京时间) 地点:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所A415会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1、投标文件递交地点:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所A415会议室 2、招标文件采用网上电子发售购买方式: 1)登陆 东方招标 平台(http://www.oitccas.com/),点击 获取采购文件 链接图标,或直接输入访问地址(http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine)完成投标人注册手续(免费),然后登陆系统寻找有意向参与的项目,已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价:每包人民币600 元。如决定购买招标文件,请完成标书款缴费及标书下载手续。 2)投标人可以电汇的形式支付标书款、保证金(应以公司名义汇款至下述指定账号)。 开户名称:东方国际招标有限责任公司 开户行:招商银行北京西三环支行 账 号:862081657710001 3)投标人应在平台上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后,标书款电子发票将发送至投标人在平台上登记的电子邮箱,投标人自行下载打印。 3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的,须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途(如未标明招标编号,有可能导致投标无效)。 4、采购项目需要落实的政府采购政策: (1)政府采购促进中小企业发展 (2)政府采购支持监狱企业发展 (3)政府采购促进残疾人就业 (4)政府采购鼓励采购节能环保产品 七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 地址:苏州工业园区若水路398号 联系方式:俞老师、赵老师;0512-62872525 2.采购代理机构信息 名 称:东方国际招标有限责任公司 地 址:北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 联系方式:郭宇涵、王军、李雯; 010-68290599, 010-68290530 3.项目联系方式 项目联系人:郭宇涵、王军、李雯 电 话: 010-68290599 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容:激光脉冲沉积 开标时间:2024-02-29 13:30 预算金额:550.00万元 采购单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 采购联系人:点击查看 采购联系方式:点击查看 招标代理机构:东方国际招标有限责任公司 代理联系人:点击查看 代理联系方式:点击查看 详细信息 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所原位Mask器件级图案化分子束外延设备采购项目公开招标公告 江苏省-苏州市 状态:公告 更新时间: 2024-02-14 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所原位Mask器件级图案化分子束外延设备采购项目公开招标公告 2024年02月08日 12:18 公告信息: 采购项目名称 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所原位Mask器件级图案化分子束外延设备采购项目 品目 货物/设备/仪器仪表/其他仪器仪表 采购单位 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 行政区域 江苏省 公告时间 2024年02月08日 12:18 获取招标文件时间 2024年02月08日至2024年02月21日每日上午:9:00 至 12:00 下午:13:00 至 17:00(北京时间,法定节假日除外) 招标文件售价 ¥600 获取招标文件的地点 www.oitccas.com;北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 开标时间 2024年02月29日 13:30 开标地点 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所A415会议室 预算金额 ¥550.000000万元(人民币) 联系人及联系方式: 项目联系人 郭宇涵、王军、李雯 项目联系电话 010-68290599 采购单位 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 采购单位地址 苏州工业园区若水路398号 采购单位联系方式 俞老师、赵老师;0512-62872525 代理机构名称 东方国际招标有限责任公司 代理机构地址 北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 代理机构联系方式 郭宇涵、王军、李雯; 010-68290599, 010-68290530 附件: 附件1 1026.pdf 项目概况 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所原位Mask器件级图案化分子束外延设备采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.oitccas.com;北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层获取招标文件,并于2024年02月29日 13点30分(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号:OITC-G240661026 项目名称:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所原位Mask器件级图案化分子束外延设备采购项目 预算金额:550.000000 万元(人民币) 最高限价(如有):550.000000 万元(人民币) 采购需求: 包号 货物名称 数量 (套) 是否允许采购进口产品 采购预算 1 原位Mask器件级图案化分子束外延设备 1 否 550万元 合同履行期限:合同签订后6个月内交货 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2.落实政府采购政策需满足的资格要求: 本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目 3.本项目的特定资格要求:1) 投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定;(具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件:(一)具有独立承担民事责任的能力;(二)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;(三)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;(四)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;(五)参加政府采购活动前三年内,在经营活动中没有重大违法记录;(六)法律、行政法规规定的其他条件。)2) 投标人须在中华人民共和国境内合法注册、有法人资格并符合工商局或相关行业主管部门核准的经营范围或经营许可;3) 投标人按照招标公告要求购买了招标文件;4) 投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。5) 为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商,不得参加本项目投标;6) 投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得参加同一合同项下的政府采购活动;7)本项目不接受联合体投标 三、获取招标文件 时间:2024年02月08日 至 2024年02月21日,每天上午9:00至12:00,下午13:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外) 地点:www.oitccas.com;北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 方式:登录“东方招标平台”http://www.oitccas.com注册并购买 售价:¥600.0 元,本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间:2024年02月29日 13点30分(北京时间) 开标时间:2024年02月29日 13点30分(北京时间) 地点:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所A415会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1、投标文件递交地点:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所A415会议室 2、招标文件采用网上电子发售购买方式: 1)登陆 东方招标 平台(http://www.oitccas.com/),点击 获取采购文件 链接图标,或直接输入访问地址(http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine)完成投标人注册手续(免费),然后登陆系统寻找有意向参与的项目,已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价:每包人民币600 元。如决定购买招标文件,请完成标书款缴费及标书下载手续。 2)投标人可以电汇的形式支付标书款、保证金(应以公司名义汇款至下述指定账号)。 开户名称:东方国际招标有限责任公司 开户行:招商银行北京西三环支行 账 号:862081657710001 3)投标人应在平台上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后,标书款电子发票将发送至投标人在平台上登记的电子邮箱,投标人自行下载打印。 3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的,须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途(如未标明招标编号,有可能导致投标无效)。 4、采购项目需要落实的政府采购政策: (1)政府采购促进中小企业发展 (2)政府采购支持监狱企业发展 (3)政府采购促进残疾人就业 (4)政府采购鼓励采购节能环保产品 七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 地址:苏州工业园区若水路398号 联系方式:俞老师、赵老师;0512-62872525 2.采购代理机构信息 名 称:东方国际招标有限责任公司 地 址:北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 联系方式:郭宇涵、王军、李雯; 010-68290599, 010-68290530 3.项目联系方式 项目联系人:郭宇涵、王军、李雯 电 话: 010-68290599
  • 哈工大郑州研究院2415.00万元采购红外热成像仪,物理气相沉积,镀膜机,原子层沉积
    详细信息 哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目公开招标公告 河南省-郑州市 状态:公告 更新时间: 2022-11-10 哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目公开招标公告 发布时间:2022-11-10 哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目公开招标公告 一、项目基本情况 1.采购项目编号:豫教招标采购-2022- 167 2.采购项目名称:哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目 3.采购方式:公开招标 4.预算金额:2415万元 最高限价:2415万元 序号 包名称 包预算 (万元) 包最高限价 (万元) 1 哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目 2415 2415 5.采购需求 (1)项目概况:根据哈工大郑州研究院需要,需对液相外延炉等仪器设备进行采购,项目已具备采购条件,现对该批次仪器设备进行公开招标。 (2)采购内容包括:DLP金刚石金属复合材料增材制造设备1套、高功率光纤激光焊接系统1套、高功率激光柔性复合加工系统1套、超高精度纳米材料沉积系统1套、液相外延炉1套、化学气相沉积镀膜机1套、示波器及探头1套、PEM电解槽1套、总线运动控制系统1套、无人机1套、红外热成像仪1套、功率与阻抗分析仪1套、立式真空热压烧结炉1套、高速摄像机1套。 (3)资金情况:资金已落实。 (4)包段划分:不分包。 (5)交货期:合同签订后6个月内。 (6)交货地点:采购人指定地点。 (7)质量标准:符合国家或行业规定的合格标准,满足采购人提出的技术标准及要求。 (8)验收标准:满足采购人的验收标准及要求。 (9)质保服务要求:国产设备三年,进口设备一年(自验收合格之日起)。 6.合同履行期限:合同签订至质保期满。 7.本项目是否接受联合体投标:否 8.是否接受进口产品:是 二、申请人资格要求 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定: (1)投标人须具有法人或者其他组织的营业执照等证明文件; (2)投标人须具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度,企业财务状况良好,没有财务被接管、破产或其他关、停、并、转情况的,须提供2021年度经审计的财务报告或其基本开户银行出具的资信证明; (3)投标人须具有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录,提供本年度任意一个月的企业完税凭证和企业社会保险缴纳证明材料; (4)投标人须具有履行合同所必需的设备和专业技术能力(自拟格式,自行承诺); (5)参加政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明(自拟格式,自行承诺); (5)其他要求:对参与投标竞争的单位,需承诺近三年来投标人、法定代表人、项目负责人无行贿犯罪记录(由投标人出具承诺,格式自拟); (7)根据财政部《关于在政府采购活动中查询及使用信用记录有关问题的通知》(财库〔2016〕125号)和豫财购〔2016〕15号的规定,对列入“失信被执行人”、“重大税收违法失信主体”和“政府采购严重违法失信行为记录名单”的潜在供应商,将拒绝其参加本项目招标采购活动; (8)单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位,不得同时参加本项目的投标【提供在“国家企业信用信息公示系统”中查询打印的相关材料并加盖公章(需包含公司基本信息、股东信息及股权变更信息)】 2.落实政府采购政策满足的资格要求:无 3.本项目的特定资格要求: 若供应商所投设备为进口设备,须具备进出口经营资格并提供《对外贸易经营者备案登记证书》。 三、获取招标文件: 1.时间:2022年11月11日至2022年11月20日(北京时间)。每天上午00:00至 12:00,下午 12:00至 23:59(北京时间,法定节假日除外。) 2.方式:供应商报名时需要将法人授权委托书、授权人身份证、被授权人身份证、营业执照副本扫描并发送至项目负责人邮箱1830331803@qq.com,对报名合格的供应商在缴费完成后,通过邮箱发送招标文件电子版。 3.售价:300元人民币 开户名称:河南省教育招标服务有限公司 账 号:371903102310201 开户行:招商银行股份有限公司郑州分行农业路支行 联系电话:扶会计18736086547。 四、投标截止时间(投标文件递交截止时间)及地点 1.时间:2022年12月1日9:00(北京时间) 2.地点:河南省教育招标服务有限公司第一开标室 五、开标时间及地点 1.时间:2022年12月1日9:00(北京时间) 2.地点:河南省教育招标服务有限公司第一开标室 六、发布公告的媒介及公示期限 本公告在河南省教育厅网站、河南省教育招标网、哈工大郑州研究院官网、中国招标投标公共服务平台发布。 七、其他补充事宜 1.本项目需要落实的政府采购政策: (1)执行《政府采购促进中小企业发展管理办法》(财库﹝2021﹞46号); (2)执行《财政部、司法部关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》(财库﹝2014﹞68号); (3)执行《三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》(财库﹝2017﹞141号); (4)执行《财政部、国家发展改革委关于印发〈节能产品政府采购实施意见〉的通知》(财库﹝2004﹞185号)、《财政部环保总局关于环境标志产品政府采购实施的意见》(财库﹝2006﹞90号);和《财政部、发展改革委、生态环境部、市场监管总局关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》(财库〔2019〕9号)。 (5)与招标人存在利害关系可能影响招标公正性的法人、其他组织或个人,不得参加投标。单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位,不得参加同一标段投标或者未划分标段的同一招标项目投标。 八、凡对本次招标提出询问,请按照以下方式联系 1.采购人信息 名称:哈工大郑州研究院 地址:河南省郑州市郑东新区龙源东七街26号 联系人:薛老师 联系方式:18860369839 2.采购代理机构信息 名称:河南省教育招标服务有限公司 地址:郑州市花园路116号河南省农科院院内西南角原农信楼 联系人:金蕾 联系方式:0371-56058516 3.项目联系方式 联系人:金蕾 联系方式:0371-56058516 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容:红外热成像仪,物理气相沉积,镀膜机,原子层沉积 开标时间:2022-12-01 09:00 预算金额:2415.00万元 采购单位:哈工大郑州研究院 采购联系人:点击查看 采购联系方式:点击查看 招标代理机构:河南省教育招标服务有限公司 代理联系人:点击查看 代理联系方式:点击查看 详细信息 哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目公开招标公告 河南省-郑州市 状态:公告 更新时间: 2022-11-10 哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目公开招标公告 发布时间:2022-11-10 哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目公开招标公告 一、项目基本情况 1.采购项目编号:豫教招标采购-2022- 167 2.采购项目名称:哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目 3.采购方式:公开招标 4.预算金额:2415万元 最高限价:2415万元 序号 包名称 包预算 (万元) 包最高限价 (万元) 1 哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目 2415 2415 5.采购需求 (1)项目概况:根据哈工大郑州研究院需要,需对液相外延炉等仪器设备进行采购,项目已具备采购条件,现对该批次仪器设备进行公开招标。 (2)采购内容包括:DLP金刚石金属复合材料增材制造设备1套、高功率光纤激光焊接系统1套、高功率激光柔性复合加工系统1套、超高精度纳米材料沉积系统1套、液相外延炉1套、化学气相沉积镀膜机1套、示波器及探头1套、PEM电解槽1套、总线运动控制系统1套、无人机1套、红外热成像仪1套、功率与阻抗分析仪1套、立式真空热压烧结炉1套、高速摄像机1套。 (3)资金情况:资金已落实。 (4)包段划分:不分包。 (5)交货期:合同签订后6个月内。 (6)交货地点:采购人指定地点。 (7)质量标准:符合国家或行业规定的合格标准,满足采购人提出的技术标准及要求。 (8)验收标准:满足采购人的验收标准及要求。 (9)质保服务要求:国产设备三年,进口设备一年(自验收合格之日起)。 6.合同履行期限:合同签订至质保期满。 7.本项目是否接受联合体投标:否 8.是否接受进口产品:是 二、申请人资格要求 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定: (1)投标人须具有法人或者其他组织的营业执照等证明文件; (2)投标人须具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度,企业财务状况良好,没有财务被接管、破产或其他关、停、并、转情况的,须提供2021年度经审计的财务报告或其基本开户银行出具的资信证明; (3)投标人须具有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录,提供本年度任意一个月的企业完税凭证和企业社会保险缴纳证明材料; (4)投标人须具有履行合同所必需的设备和专业技术能力(自拟格式,自行承诺); (5)参加政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明(自拟格式,自行承诺); (5)其他要求:对参与投标竞争的单位,需承诺近三年来投标人、法定代表人、项目负责人无行贿犯罪记录(由投标人出具承诺,格式自拟); (7)根据财政部《关于在政府采购活动中查询及使用信用记录有关问题的通知》(财库〔2016〕125号)和豫财购〔2016〕15号的规定,对列入“失信被执行人”、“重大税收违法失信主体”和“政府采购严重违法失信行为记录名单”的潜在供应商,将拒绝其参加本项目招标采购活动; (8)单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位,不得同时参加本项目的投标【提供在“国家企业信用信息公示系统”中查询打印的相关材料并加盖公章(需包含公司基本信息、股东信息及股权变更信息)】 2.落实政府采购政策满足的资格要求:无 3.本项目的特定资格要求: 若供应商所投设备为进口设备,须具备进出口经营资格并提供《对外贸易经营者备案登记证书》。 三、获取招标文件: 1.时间:2022年11月11日至2022年11月20日(北京时间)。每天上午00:00至 12:00,下午 12:00至 23:59(北京时间,法定节假日除外。) 2.方式:供应商报名时需要将法人授权委托书、授权人身份证、被授权人身份证、营业执照副本扫描并发送至项目负责人邮箱1830331803@qq.com,对报名合格的供应商在缴费完成后,通过邮箱发送招标文件电子版。 3.售价:300元人民币 开户名称:河南省教育招标服务有限公司 账 号:371903102310201 开户行:招商银行股份有限公司郑州分行农业路支行 联系电话:扶会计18736086547。 四、投标截止时间(投标文件递交截止时间)及地点 1.时间:2022年12月1日9:00(北京时间) 2.地点:河南省教育招标服务有限公司第一开标室 五、开标时间及地点 1.时间:2022年12月1日9:00(北京时间) 2.地点:河南省教育招标服务有限公司第一开标室 六、发布公告的媒介及公示期限 本公告在河南省教育厅网站、河南省教育招标网、哈工大郑州研究院官网、中国招标投标公共服务平台发布。 七、其他补充事宜 1.本项目需要落实的政府采购政策: (1)执行《政府采购促进中小企业发展管理办法》(财库﹝2021﹞46号); (2)执行《财政部、司法部关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》(财库﹝2014﹞68号); (3)执行《三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》(财库﹝2017﹞141号); (4)执行《财政部、国家发展改革委关于印发〈节能产品政府采购实施意见〉的通知》(财库﹝2004﹞185号)、《财政部环保总局关于环境标志产品政府采购实施的意见》(财库﹝2006﹞90号);和《财政部、发展改革委、生态环境部、市场监管总局关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》(财库〔2019〕9号)。 (5)与招标人存在利害关系可能影响招标公正性的法人、其他组织或个人,不得参加投标。单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位,不得参加同一标段投标或者未划分标段的同一招标项目投标。 八、凡对本次招标提出询问,请按照以下方式联系 1.采购人信息 名称:哈工大郑州研究院 地址:河南省郑州市郑东新区龙源东七街26号 联系人:薛老师 联系方式:18860369839 2.采购代理机构信息 名称:河南省教育招标服务有限公司 地址:郑州市花园路116号河南省农科院院内西南角原农信楼 联系人:金蕾 联系方式:0371-56058516 3.项目联系方式 联系人:金蕾 联系方式:0371-56058516
  • AI辅助拉曼光谱+生物打印技术,用于血液中细菌的高通量检测
    美国斯坦福大学(Stanford University)开发了用于分析血液和废水的人工智能(AI)辅助方法。微生物的可靠检测和鉴别对于医学诊断、环境监测、食品生产、生物防御、生物制造和药物开发至关重要。虽然病原体检测通常使用体外液体培养方法,但据估计,使用目前的实验室方法,可以轻松培养的细菌种类不到所有细菌种类的2%。此外,在这2%中,根据细菌种类的不同,培养过程可能需要数小时到数天不等。因而由于诊断进程缓慢,在等待细菌培养结果时通常使用广谱抗生素,导致抗生素耐药细菌数量惊人地增加。拉曼光谱是一种无标记振动光谱技术,最近已成为一种有前途的细菌种类鉴别平台。由于每个细胞种类和菌株都有独特的分子结构,因而它们具有可用于鉴别的独特的光谱指纹。与基于核酸的检测方法(如聚合酶链式反应(PCR))和基于蛋白质的检测方法(如基质辅助激光解吸/电离飞行时间质谱(MALDI-TOF)和酶联免疫分析(ELISA))相比,拉曼光谱检测技术只需很少或不需要使用试剂或标记,设备成本相对较低,并具有无扩增检测的潜力。此外,拉曼光谱检测技术是一种无损技术,首先,其激发激光功率很低,使细胞可以保持活性;其次,测量结果基本不受细胞中水分的干扰;最后,检测只需非常小的样本量。与等离子体或米式共振纳米颗粒结合,拉曼光谱信号平均可以增强10⁵-10⁶倍,最高可增强10¹⁰倍,从而实现对细胞的快速检测。由于这些优势,拉曼光谱检测技术已经成功地应用于基因分析、蛋白质检测,甚至单分子检测。最近的工作也显示了拉曼光谱检测技术在细胞鉴别方面的令人兴奋的进展,包括细菌鉴别、免疫分析和活体活检。然而,为了提高拉曼光谱检测技术的临床和工业实用性,它必须与简便的样本制备方法相结合。据悉,近期,美国斯坦福大学的一个研究项目开发了一种细菌鉴别技术,该技术结合了表面增强拉曼光谱(SERS)、机器学习和用于样本制备的生物打印方法。这项研究近期以“Combining Acoustic Bioprinting with AI-Assisted Raman Spectroscopy for High-Throughput Identification of Bacteria in Blood”为题发表在Nano Letters期刊上。拉曼光谱技术用于细菌鉴别原理示意图据参与该项目的研究人员称,传统培养方法可能需要数小时或数天,作为传统培养方法的替代方法,这种新方法可以快速、廉价、更准确地对许多不同液体进行微生物分析。斯坦福大学Fareeha Safir说:“不仅每种细菌都表现出独特的光谱特征,而且给定样本中几乎所有其他分子或细胞都是如此。样本中的红细胞、白细胞和其他成分都在发送自己的信号,因此很难从其他细胞的噪音中区分微生物的光谱信号。”要解决这个问题,研究小组需要考虑的是如何利用极少量的样本达到最好的细胞分离效果,尽可能多地去除不必要的光谱信号。为了解决这一挑战,该研究借鉴了喷墨打印技术的原理,使用了一种被称为声学微滴喷射(ADE)的技术。在使用声学微滴喷射技术时,超声波将聚焦在流体-空气界面,产生辐射压力,从而使液体表面喷射出液滴,其液滴大小与换能器的频率成反比。从细胞原液中喷射出的图案化液滴未来的即时检测技术该平台的拉曼面利用金纳米棒(GNRs)进行表面增强,将金纳米棒引入样本液体中,通过声学打印操作将细菌和金纳米棒都沉积到镀金载玻片上。声学打印平台和共聚焦拉曼装置示意图该研究团队在其发表的论文中评论道:“这项试验首次展示了利用微观生物实体和纳米颗粒进行的多组分样本的稳定而精确的高频声波打印。”此外,在该项试验中,基于拉曼光谱的分析被应用于大肠杆菌、葡萄球菌,以及小鼠红细胞样本,并使用之前从均匀细胞样本中训练的机器学习算法来鉴别不同类别样本的拉曼光谱特征。利用拉曼光谱信号鉴别用金纳米棒(GNRs)打印的细胞样本基于机器学习算法和拉曼光谱技术鉴别大肠杆菌、葡萄球菌,以及小鼠红细胞样本结果显示,该系统对细胞纯样本的分类准确率超过99%,对细胞混合样本的分类准确率为87%。此外,使用金纳米棒和不使用金纳米棒的检测结果证实,拉曼光谱信号在生物打印样本中会发生表面增强,其放大倍数高达1500倍。根据该研究团队的说法,该方法可以帮助推进基于拉曼光谱的研究、临床诊断和疾病管理,为未来的即时检测系统提供基于流体的生物标志物微创检测。该平台也可以应用于其他液体的检测,比如公共卫生监测领域的饮用水检测。研究团队成员Amr Saleh说:“这是一种创新的解决方案,有可能挽救生命。我们对该方法潜在的商业化机会感到兴奋,这可以帮助重新定义细菌检测和单细胞表征的标准。”
  • CHInano 2022 第十三届中国国际纳米技术产业博览会
    CHInano 2022第十三届中国国际纳米技术产业博览会一、大会名称第十三届中国国际纳米技术产业博览会(纳博会)The 13th CHInano Conference & Expo----CHInano 2022二、展会时间展商报到:2022年10月24日-25日(周一-周二)参会报到:2022年10月25日(周二)展览时间:2022年10月26日-28日(周三-周五)会议时间:2022年10月26日-28日(周三-周五)三、展会地点苏州国际博览中心A1&B1&C1馆A1馆为主体论坛会议场地;B1和C1展厅为产业会议及展览场地,面积为23000㎡。展厅内设置产业会议区域、展览区、路演区以及餐饮区。四、组织架构指导单位:中国科学技术协会 中国科学院主办单位:中国微米纳米技术学会 中国国际科学技术合作协会协办单位:中国半导体行业协会MEMS分会 中国材料研究学会纳米材料与器件分会 中国半导体行业协会功率器件分会承办单位:苏州纳米科技发展有限公司 苏州工业园区产业创新中心合作伙伴:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 中国半导体行业协会 中国科学院电子学研究所 中国科学院兰州化学物理研究所 苏州中科院产业技术创新与育成中心 江苏省新材料产业协会 深圳市新材料行业协会五、纳博会简介中国国际纳米技术产业博览会自2010年举办首届以来,已连续成功举办12届,共累积邀请113名国内外院士(其中诺奖3人)、98043位参展参会嘉宾、5200家参展企业,论坛报告达2153场,现场促成企业融资27.65亿元。纳博会已成为中国最具权威、规模最大、影响力最广的纳米技术应用产业国际性大会,得到了世界纳米强国的积极参与和广泛认可。同时也是企业展示、产品推广、资本合作、技术对接与交流的绝佳舞台。(www.chinanosz.com)2021年第十二届中国国际纳米技术产业博览会于2021年10月27-29日圆满举办,期间共组织了1场大会主报告,10场主题分会,2场大赛,307个行业报告。邀请诺奖1名,国内外院士11人。展区面积20000平米,展位总数560余个,现场展出2000多件纳米技术创新产品,吸引2200多家纳米技术相关企业参展、参会。大会期间嘉宾总人数达20796人,现场达成意向投资近3.4亿元,现场达成意向合作百余项。今年,CHInano 2022第十三届中国国际纳米技术产业博览会将于10月26-28日隆重举办,期间将邀请20+国内外院士出席并作报告,同期召开10+前沿会议,先进电子材料、MEMS两场创新创业大赛,展览面积增扩至23000㎡,预计现场参会参展观众22000余人。六、大会主题微纳制造(MEMS)、第三代半导体、纳米新材料、柔性印刷电子、纳米压印、喷墨打印、纳米光电子、纳米大健康、分析检测、纳米生物与医药、纳米清洁环保。七、开幕式及大会主报告本届纳博会主报告将聚焦新材料与微纳制造、第三代半导体主题,邀请能源材料、第三代半导体、微纳制造领域的国际知名科学家、企业家介绍当代纳米技术引领的新型产业发展趋势与应用前景。大会主报告是历届纳博会的重中之重,大会主报告嘉宾的报告对全国纳米产业都具有非常重要的指导意义。八、分论坛&大赛重点聚焦功能性纳米材料、微纳制造和第三代半导体、纳米健康产业领域,同期举办多场专业分论坛和专业大赛。序号会议名称主报告China MEMS 2022 中国MEMS制造大会FLEX China 2022全国柔性印刷电子研讨会第三代半导体金鸡湖高峰论坛(暂定名)第三届纳米大健康-活体测量与精准医学论坛NTAC 全球纳米压印技术与应用大会第十届半导体器件与加工工艺论坛第七届喷墨数码制造与3D打印国际会议第五届纳博会分析测试应用论坛第三届新型纤维材料与应用前沿论坛 2022纳博会知识产权论坛中国MEMS创新创业大赛中国先进电子材料创新创业大赛(会议详情请见官网:www.chinanosz.com)九、纳博会展览区展区共23000㎡,共分1个主展区+3大主题展+6个特色展团,共计650个展位。主要集中展示方向如下。纳米技术主展区:纳米新材料、纳米微球,纳米涂层,纳米复合材料、生产设备、分散技术、分析检测仪器、新型能源技术、PM2.5预防设备和耗材等。中国国际微纳制造与传感器展:MEMS加工装备、纳米压印技术、微制程技术、分析检测、MEMS器件、MEMS器件及应用,MEMS融合接合技术,下一代光刻技术。全国柔性印刷电子展:电子墨水合成、制备、表征,晶体管、薄膜太阳能电池、印刷显示(OLED、量子点、电子纸),印刷传感器,纺织电子,印刷柔性、可拉伸、可穿戴电子技术、纳米材料印刷技术等。纳米大健康展主题展:纳米抗菌消毒、空气净化与水处理、医疗产品、保健用品、生物传感器,纳米生物材料,靶向药物释放、纳米诊断试剂、纳米诊断设备、纳米探针、人工心脏等。科技部“纳米科技”重点专项展团:新型纳米制备与加工技术、纳米表征与标准、纳米生物医药、纳米信息材料与器件、能源纳米材料与技术、环境纳米材料与技术、纳米科学重大项目。PEIPC柔性电子创新应用展团:人工智能、材料科学、泛物联网、空间科学、健康科学等领域柔性电子应用。第三代半导体及应用展团:氮化镓衬底,碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)电力电子器件等设计&制造、应用。先进材料企业家俱乐部展团:光电、精密设备、高分子材料、医疗器械、光刻胶、微球材料、纳米微粒混合物等。MEMS创业大赛入选企业展团:MEMS创业大赛初审入围企业,包括MEMS设计、制造、器件、下游应用企业。先进电子材料大赛入选企业展团:先进电子材料大赛初审入围企业,包括新一代信息技术、半导体、智能制造、节能环保等领域中先进电子材料的研发、制备、量产、应用等产业链环节的企业。十、费用收取展览收费标准(提前预定展位享受会员价格):展位类型规格国内区国际区外资企业标准展位3m*3m=9㎡¥9800¥12800$4000.00光地展位36㎡起租¥980 /㎡¥1280 /㎡$400/㎡展位说明:(一)标准展位:展位三面展板、一张咨询桌、两把折椅、两支射灯、中英文楣板、一个220V电源、地毯。(二)光地:参展商自己负责展位的设计、搭建、用电设备等及由此产生的费用。(三)各论坛价格见官网:www.chinanosz.com。十一、联系人参会联系:蒋女士电话18866025960 邮箱 jiangxf@nanopolis.cn参展联系:陆先生电话15050142680 邮箱luw@nanopolis.cn
  • 原子层沉积系统研制
    table border="1" cellspacing="0" cellpadding="0" width="600"tbodytrtd width="122"p style="line-height: 1.75em "成果名称/p/tdtd width="526" colspan="3"p style="line-height: 1.75em "原子层沉积系统/p/td/trtrtd width="122"p style="line-height: 1.75em "单位名称/p/tdtd width="526" colspan="3"p style="line-height: 1.75em "中科院物理研究所/p/td/trtrtd width="122"p style="line-height: 1.75em "联系人/p/tdtd width="175"p style="line-height: 1.75em "郇庆/p/tdtd width="159"p style="line-height: 1.75em "联系邮箱/p/tdtd width="192"p style="line-height: 1.75em "qhuan_uci@yahoo.com/p/td/trtrtd width="122"p style="line-height: 1.75em "成果成熟度/p/tdtd width="526" colspan="3"p style="line-height: 1.75em "□正在研发 √已有样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产/p/td/trtrtd width="122"p style="line-height: 1.75em "合作方式/p/tdtd width="526" colspan="3"p style="line-height: 1.75em "√技术转让 √技术入股 □合作开发 √其他/p/td/trtrtd width="648" colspan="4"p style="line-height: 1.75em "strong成果简介: /strongbr/ /pp style="text-align:center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201603/insimg/1d453046-e68e-4e65-ab38-25f533935dee.jpg" title="ALD.jpg" width="350" height="261" border="0" hspace="0" vspace="0" style="width: 350px height: 261px "//pp style="line-height: 1.75em " br//pp style="line-height: 1.75em " 原子层沉积(ALD)技术,由于采取自限性的生长模式,因此可以在原子尺度上调控沉积薄膜的厚度,从而形成具有优异的台阶覆盖性和平整性,并可用于制备高深宽比材料和对多孔纳米材料进行修饰。我们自行研制的ALD系统与市场上现有商业化产品相比,具有如下特点:1)复杂完善的管路气路,在自制控制器和软件的配合下,可高度自动化完成生长过程;2)全金属密封,适于各种类型反应;3)圆筒型反应腔体,最高烘烤温度达到350℃,前驱体及载气利用率高;4)特殊设计的样品台,适用于包括粉末样品在内的各类基底;5)可选配四极质谱和石英膜厚检测仪,对反应过程实时监控。/p/td/trtrtd width="648" colspan="4"p style="line-height: 1.75em "strong应用前景: /strongbr/ ALD是一项简单和实用的技术,在微电子、太阳能电池、光子晶体以及催化等许多领域都有广泛的应用前景。我们目前研发的系统主要针对科研应用,国内每年需求量在数十台至上百台。/p/td/tr/tbody/tablepbr//p
  • 2100 | 末次盛冰期以来长江中游沉积环境驱动的地下水流系统演化
    地下水是水文循环的重要组成部分,广泛用于饮用水、工农业活动以及战略储备。然而,人类活动的加剧(如水利工程建设、地下水过度开采、农药和生活污水排放)以及天然劣质地下水在大型流域中的广泛分布,导致地下水环境恶化。因此,水资源的合理管理和水环境的有效保护至关重要,基于地下水流系统(GFS)理论,全面理解地下水流模式(即更新速率、流径及演化趋势)有助于准确评估水文通量和预测污染物分布。汉江平原是长江流经三峡后第一个接收沉积物的大型河湖盆地。复杂的沉积环境、地下水-地表水强烈相互作用以及人为改造自然环境的共同作用,形成了汉江平原独特的GFS格局。了解汉江平原地下水循环演化及其控制机制,对于促进GFS的实际应用和该地区地下水资源保护具有高度紧迫性和挑战性。基于此,在本研究中,来自中国地质大学(武汉)的研究团队在汉江平原腹地和过渡区进行了相关研究,旨在:(1)基于沉积物粒度特征、粘土孔隙水稳定同位素和古气候指标重建汉江平原第四纪含水层系统的沉积环境;(2)深入理解末次盛冰期(LGM)以来沉积环境驱动的GFS演化模式。作者于2015年和2017年在汉江平原腹地和过渡区钻了两个钻孔G01和G05,深度分别为200 m和185 m。从钻孔中收集沉积物样品,分析其粒度分布,地球化学和矿物成分。并从钻孔G01和G05中分别采集了19个和17个粘土样品,利用全自动真空冷凝抽提系统(LI-2100,北京理加联合科技有限公司)提取粘土孔隙水,并进一步分析其δ18O。江汉平原第四纪沉积相、河系和主要钻孔分布。【结果】G01(a)和G05(b)钻孔孔隙水δ18O、沉积物OSL年龄、粘土矿物和地球化学指标的垂向分布以及第四纪古气候演化阶段。古气候阶段G01和G05钻孔孔隙水δ18O值、 粘土矿物和沉积物地球化学指标。【结论】基于水文地质条件、粒度分布特征、沉积物年代学、古气候指标和现存地下水年龄等综合分析,阐明了江汉平原沉积环境驱动的GFS演化模式。该研究的主要发现总结如下:在江汉平原第四纪含水层沉积环境的演化历史中,沉积相主要为河流相、湖泊相和河湖相,由中深层含水层的粗粒相过渡到浅层含水层的细粒相。这意味着水动力条件逐渐减弱并趋于稳定。此外,湖泊相沉积层厚度向平原腹地方向增加。自LGM以来,江汉平原气候演化和沉积相之间具有一定的耦合关系。沉积环境从LGM期间深下切侵蚀环境转变为末次冰消期(LDP)快速冲填粗粒沉积物的河流相环境,然后转变为全新世暖期(HWP)具有细粒沉积物的稳定湖泊相环境。这些变化与长江水位的波动密切相关。基于江汉平原现存地下水年龄的分布,自LGM以来,GFS的演化模式可分为三个阶段。阶段I(22-13 ka B.P.),长江水位急剧下降造成的强水势差增加了地下水的驱动力,极大促进了该阶段区域GFS充分发展,其环流深度达到第四纪底部。随着阶段II地下水驱动力的快速削弱(13-9 ka B.P.),区域GFS再循环深度下降至深层含水层上部,而阶段I的区域GFS逐渐深埋于盆地中。作为阶段III(9 ka B.P.至今)稳定在低水位地下水驱动力,阶段I和阶段II的区域GFS保存在盆地深处,被认为是一个停滞系统(地下水年龄在10 -20 ka之间)。此外,区域GFS(地下水年龄为4-10 ka)和中间GFS(地下水年龄为1-6 ka)共同被认为是稳定体系。随着微地形的充分发育,垂直于河流方向的浅层地下水流形成了活跃的局部GFS(地下水年龄 100 a)。
  • 原子层沉积技术——“自下而上”精准构建和调控异质催化剂结构和性能
    引言 异质催化剂的合成通常借助于传统的湿法化学法,包括浸渍法、离子交换和沉积-沉淀法等。然而,这些方法合成的催化材料往往具有非常复杂的结构和活性位点分布不均匀等问题,这些问题会显著降低催化剂的催化性能,特别是在选择性上,阻碍了科学家们在原子水平上理解催化剂的结构-活性关系。此外,在苛刻的反应条件下通过烧结或浸出造成的活性组分的损失会导致催化剂的大面积失活。因此,亟待发展一种简便的方法来调控催化剂的活性位结构和其在原子水平上的局部化学环境,从而促进对反应机理的理解和高稳定性催化剂的合理设计。 原子层沉积(ALD, Atomic layer deposition)是一种用于薄膜生长的气相催化剂合成技术,目前已成为一种异质催化剂合成的替代方法。和化学气相沉积(CVD, Chemical vapor deposition)一样,其原理是基于两种前驱体蒸汽交替进样,并在载体表面上发生分子层面上的“自限制”反应,实现目标材料在载体表面上的沉积。通过改变沉积周期数、次序和种类等方法可以实现对催化剂活性位结构的原子精细控制,进而为研究者提供了一种 “自下而上”可控合成催化剂的新策略。 美国Arradiance公司的GEMStar系列台式原子层沉积系统(如图1所示),在小巧的机身(78 * 56 * 28 cm)中集成了原子层沉积所需的所有功能,可多容纳9片8英寸基片同时沉积。全系配备热壁,结合前驱体瓶加热,管路加热,横向喷头等设计,使温度均匀性高达99.9%,气流对温度影响减少到0.03%以下。高温度稳定度的设计不仅可在8英寸基体上实现厚度均匀的膜沉积(其厚度均匀性高于99%),而且适合对具有超高长径比孔径的3D结构进行均匀薄膜覆盖,在高达1500:1长径比微纳深孔内部也可均匀沉积。图1. 美国Arradiance公司生产的GEMStar系列台式三维原子层沉积系统 在本篇文章中,我们将介绍利用ALD方法在负载型单金属 和双金属催化剂精细设计方面的进展和ALD方法在设计高效催化剂方面的特点与优势。同时,我们也整理了利用ALD技术制备单原子和双原子结构金属催化剂的方法与策略以及利用氧化物可控沉积调控金属催化活性中心周围的微环境,从而实现提升催化剂活性、选择性和稳定性的方法。后我们也将展望ALD技术在催化剂制备领 域中应用的潜力。ALD合成负载型催化剂 近年来,研究者对各种氧化物和碳基材料基底上的金属ALD催化剂进行了广泛研究。由于高温下ALD生长的金属原子在氧化物和碳基基底上的高迁移率,沉积物通常以金属纳米粒子形式存在,而不是二维金属薄膜。如图2a所示,金属纳米颗粒的尺寸大小和负载量可以通过调整ALD循环次数和沉积温度变化来进行调控,且金属颗粒的尺寸分布通常非常狭窄。近期,中国科学技术大学的路军岭课题组使用ALD技术发展了一种双金属纳米粒子的合成新策略,即使用较低的沉积温度和合适的反应物,在负载的单金属纳米粒子表面增加二金属组分,获得原子可控的双金属纳米粒子(如图2b, PtPd双金属纳米粒子)。研究发现,在较低的温度下,金属基底会促进金属前驱体在其上的成核和ALD生长,而金属氧化物通常是惰性的,因此不能在低温下与金属前驱体反应和开始成核。图2. ALD合成(a)单金属Pt纳米粒子,(b) 双金属PtPd纳米粒子,(c)Pt 单原子催化剂在N掺杂的石墨烯上,(d)Pd单原子催化剂在g-C3N4上,(e)二聚的Pt2/石墨烯催化剂。 原子分散的金属催化剂,由于其特的催化性能和大的原子利用效率,越来越受人们的关注。使用ALD技术从气相中获得单原子催化剂具有很大的挑战性,因为ALD生长通常在高温下进行,金属的聚集会显著加剧,但考虑到ALD的自限特性,仍是有可能的。加拿大西安大略大学孙学良教授团队从事了先驱性的工作,在250℃下,对N掺杂的石墨烯表面进行五十次Pt ALD循环合成了Pt单原子催化剂(如图2c)。DFT计算表面,Pt单原子与N原子成键,其HER活性相对于商业Pt/C显著增强(~37倍)。类似的,路军岭团队通过调控石墨烯上的含氧官能团种类和数量,在150℃下对石墨烯表面进行一次Pd ALD循环(Pd(hfac)2-HCHO),合成了原子分散的Pd单原子催化剂(如图2d),没有观察到Pd团簇和纳米粒子的形成。除此之外,使用ALD技术还可以合成原子的超细金属团簇,如二聚物等。如图2d所示,路军岭团队报道了Pt2二聚体可以通过ALD技术在石墨烯载体上创建适当的成核位点 “自下而上”制备获得,即Pt1单原子沉积,并在起始位点上进行Pt原子的选择性二次组装。氧化物包覆实现金属催化剂的纳米尺度编辑 对于负载型金属催化剂来讲,其载体不仅仅是作为基底,也会通过电子转移或金属—氧化物相互作用,显著的调制金属纳米颗粒的电子性质。当氧化物层包覆在金属纳米颗粒上时,会形成新的金属-氧化物界面(如图3a),可以进一步改变金属纳米颗粒的电子性能和形貌,有望进一步提升其催化性能(如图3b)。金属纳米颗粒通常含有低配位位点(lcs)和高配位的台阶(HCSs),通过氧化物ALD沉积的选择性阻挡某些活性位点,局部改变其几何形态,影响催化过程中的化学键断裂和生成,导致不同的反应途径(如图3c)。另外,物理氧化包覆层还可以提高纳米颗粒的稳定性,在恶劣的反应条件下防止金属组分的烧结和浸出(如图3d)。在原子层面上控制氧化膜厚度,从而在高比表面材料上实现高的均匀性,使得ALD成为在纳米尺度上提高纳米金属催化剂催化性能的理想工具,且不会产生质量迁移的问题。图3. (a)ALD氧化物包覆负载型纳米离子生成新的金属——氧化物界面ALD合成,(b)ZnO包覆Pt纳米粒子催化剂显著提高催化活性,(c)ALD氧化铝包覆Pd/Al2O3显著提高催化选择性,(d)TiO2包覆层显著提高Co@TiO2催化剂催化稳定性。 总结和展望 催化剂的原子合成,是阐明催化作用的关键机制和设计先进高性能催化剂的关键。ALD特的自限制特性可实现催化材料在高比表面材料上的均匀和可控沉积,实现一步步和“自底向上”的方式在原子层面上构建复杂结构的异质催化剂材料。这些ALD催化剂具有较高的均匀性,使其相对于传统方法制备的催化剂,拥有更好的或可观的催化性能,并可作为模型催化剂有助于阐明催化剂的结构-性能关系。 参考文献:[1] Lu J. et.al, Acta Phys. -Chim. Sin. 2018, 34 (12), 1334–1357.[2] F. H. et al. J. Phys. Chem. C 2010, 114, 9758.[3] Elam, J. W. Nat. Commun. 2014, 5, 3264.[4] Liu, L. M. et al. Nat. Commun. 2016, 7, 13638.[5] You, R. et al. Nano Res. 2017, 10, 1302.[6] Huang, X. H. et al. Nat. Commun. 2017,8, 1070.[7] Elam, J. W. ACS Catal. 2016, 6, 3457.[8] Lu, J. ACS Catal. 2015,5, 2735.[9] Huber, G. W. Energy Environ. Sci. 2014, 7, 1657.
  • 第七届中国纳博会10月开幕 纳米产业已成苏州工业园区特色“名片”
    p  2016第七届中国国际纳米技术产业博览会将于10月26日-28日在苏州国际博览中心盛大举行。本届博览会主要聚焦纳米新材料、分析与检测、微纳制造、纳米生物与医药、纳米环保与清洁等领域的产品与技术,致力打造中国最具价值的纳米展场。/pp  大会主办方江苏省纳米技术产业创新中心张淑梅主任透露:2016中国纳博会展览规模达到10000㎡。俄罗斯展团、加拿大展团、伊朗展团、韩国展团、北京展团、深圳展团、台湾展团及沙特展团等超过8个国际与地区展团将携带纳米技术领域最新的产品与技术亮相纳博会。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201608/insimg/93735714-5d91-46f9-828e-452b23df480c.jpg" title="1.jpg"//pp style="text-align: center "  图为2015年CHInano开幕式& 主报告现场。/pp  据悉,本届大会共设12个论坛,包括主报告、国际纳米技术圆桌会议、中国半导体行业协会MEMS分会年会、江苏省纳米技术产业对接会、传感器与MEMS产业化国际研讨会、国际纳米制造趋势论坛、喷墨打印及3D打印技术国际研讨会、中国洁净技术高峰论坛、纳米催化技术研讨会、锂电池研讨会、专利导航产业发展国际高峰论坛、投融资论坛等。届时,邀请来自全球产业界、科研界以及政府部门中的顶尖专家分享纳米技术最新应用成果、前瞻性科研领域及各国政府纳米战略最新信息。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201608/insimg/49755e3f-94d4-4a25-a3cd-fedb0e14c98a.jpg" title="2.jpg"//pp style="text-align: center "  图为2015年CHInano展览现场。/pp  纳博会自2010年首次举办至今,已连续成功举办六届。经过六年潜心耕耘,大会逐渐成长为集专业会议、企业展览、产业投资、技术对接、产品发布会和国际活动等六大板块为一体的国际盛会。它是中国最具规模和影响力的纳米技术应用产业交流大会,也是纳米企业形象展示、产品推介、技术交流、市场拓展的最佳舞台。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201608/insimg/8e463bc9-0ddf-4cf5-b4c1-d03aab4446de.jpg" title="3.jpg"//pp style="text-align: center "  图为2015年CHInano产业对接会现场。/pp  历届纳博会以推动纳米产业领域交流合作、加快成熟技术成果转移、促进产业化规模化发展为己任,品牌效应日益得以凸显,越来越多的企业借助“纳博会”平台推出新产品。今年纳博会现场,将有数家展商携最新技术与产品亮相纳博会产品发布会,详细情况,可以关注纳博会官网。/pp  苏州工业园区是我国第一个把纳米技术应用产业作为区域战略性新兴产业的开发区,近年来集中资源、集中力量、集中政策,不遗余力地推动纳米技术应用产业发展。如今,创新资源迅速集聚——纳米技术相关高校、科研院所23个,各类研发机构51个,各类领军人才团队230个,其中国家千人计划69人 产业高地初步形成——纳米技术相关企业350余家,就业人数超2.2万人,2015年总产值逾280亿 公共服务平台体系不断完善——已建立创新研发、技术支撑、工程化、产业支撑四大类数十个公共服务中心,并规划建设国家重大科技基础设施“纳米真空互联实验站” 国际影响与品牌效应凸显——先后被授予国家纳米技术国际创新园、国家纳米高新技术产业化基地等国家级荣誉,成为全球八大纳米技术产业集聚区之一,连续举办六届“中国纳博会”,开展多元化国际合作,纳米产业已成为园区的特色“名片”和“品牌”。/pp  园区雄厚的纳米产业资源,为纳博会的迅猛发展与扩张提供了强有力的支撑 园区纳米技术企业,通过纳博会寻找到更多的合作伙伴,越来越发展壮大 加速上下游产业集聚,又为纳博会提供更多观众与展商。良性的循环,已经形成。纳博会与苏州工业园区纳米产业的明天,一定会更美好!/pp style="text-align: center "br//p
  • 基于投影微立体光刻的3D打印技术及其应用
    作者:葛锜、李志琴、王兆龙、Kavin Kowsari、张旺、何向楠、周建林、Nicholas X Fang单位:1 Southern University of Science and Technology, China2 BMF Material Technology Inc., Shenzhen, China3 Hunan University, China4 Massachusetts Institute of Technology, USA5 Singapore University of Technology and Design, Singapore1文章导读投影微立体光刻(Projection Micro Stereolithography – PμSL)是一种基于面投影光固化原理的高精度(最高可达0.6微米)增材制造(3D打印)技术。该技术可以用于制造具有跨尺度与多材料特性的高精度复杂三维结构,在力学超材料、光学器件、4D打印、仿生材料及生物医学等领域具有广阔的应用前景。南方科技大学、深圳摩方材科技有限公司、湖南大学、麻省理工学院等单位的葛锜、李志琴、王兆龙、周建林、Nicholas X Fang等作者在《极端制造》期刊(International Journal of Extreme Manufacturing, IJEM)上发表《基于投影微立体光刻的3D打印技术及其应用》综述,系统介绍了投影微立体光刻3D打印技术的研究背景、最新进展及未来展望。2研究背景增材制造,又称3D打印,是一种以数字模型文件为基础,将部件离散成二维图形或者路径,通过逐层叠加的方式构造三维物体的快速成型技术。对比于传统制造方法,3D打印因具有制造高精度复杂三维结构、节省材料、方便快捷等优点,已被应用到航空航天、生物医疗、电子、汽车等国民经济领域。自被发明以来,3D打印发展出了各种不同的技术,包括熔融沉积成型(FDM)、墨水直写(DIW)、喷墨(Inkjet)、立体光刻(SLA)、选区激光烧结/熔融(SLS/SLM)、双光子(TPP),以及基于数字光处理(DLP)的连续液体界面制造(CLIP)、大面积快速打印(HARP)、投影微立体光刻技术(PμSL)等。对比于其他3D打印技术,投影微立体光刻技术因其可同时实现高分辨率与大幅面3D打印(图1),被应用于前沿领域的复杂三维结构制造,并产生了一系列具有影响力的科研成果。南方科技大学葛锜副教授、湖南大学王兆龙助理教授与麻省理工学院Fang教授团队联合深圳摩方材科技有限公司针对投影微立体光刻3D打印技术在最近所做的相关代表性工作逐一地进行了详细介绍。图1 不同3D打印技术的打印精度与幅面范围3最新进展投影微立体光刻是一种通过将构成三维模型的二维离散图案投影到光敏树脂表面,激发局部光固化反应的方式,逐层叠加成型三维结构的3D打印技术。通过对光路系统、光源以及打印工艺的优化,最高打印精度可达到0.6微米。面投影微立体光刻因其能够快速一体化成型高精度、跨尺度、多材料复杂三维结构,在力学超材料、光学器件、4D打印、仿生材料以及生物医药方面应用广泛。深圳摩方科技有限公司将原有投影微立体光刻3D打印技术进行发展与升级(图2a),并成功地将其转化为工业级3D打印装备,实现了稳定的超高精度-大幅面3D打印(精度:2微米,幅面:50毫米×50毫米;精度:10微米精度,幅面:94毫米×52毫米幅面),用于力学超材料、生物医疗器件、微力学器件及精密结构件等工业应用(图2b-j)。图2 投影微立体光刻3D技术及其相关工业级应用。(a)高精度-大幅面投影微立体光刻3D打印技术原理;(b)-(j)工业级应用典型案例。在实现跨尺度、多材料3D打印方面,采用面投影与图形扫描技术相结合的方法实现了跨尺度3D打印(图3a),采用吹气辅助投影微立体光刻法(图3b)与流体控制法(图3c)实现了多材料三维结构的快速打印。图3 跨尺度、多材料3D打印。(a)面投影与图形扫描结合实现跨尺度3D打印;(b)吹气辅助多材料3D打印;(c)流体控制辅助多材料3D打印。在实现力学超材料方面,通过投影微立体光刻3D打印技术一次成型以拉压变形占主导的八隅体桁架结构超轻-超硬力学超材料(图4a),通过多材料投影微立体光刻3D打印技术一次成型由两种不同刚度和热膨胀系数材料构成的负热膨胀系数超材料(图4b)。图4 力学超材料。(a)超轻-超硬力学超材料;(b)负热膨胀系数超材料。在光学器件打印方面,采用面投影立体光刻灰度曝光与表面浸润相结合的方法,实现光学镜头的3D打印(图5a),以及振动辅助与灰度曝光相结合的方法,实现表面纳米级光滑度的微透镜阵列3D打印(图5b)。图5 光学器件。(a)灰度曝光与表面浸润相结合实现光学镜头3D打印;(b)振动辅助与灰度曝光结合实现微透镜阵列3D打印。在4D打印方面,通过开发形状记忆光敏树脂,实现了大变形4D打印(图6a)、多材料4D打印(图6b)、自修4D打印(图6c),4D打印超材料结构(图6d)与4D打印吸能结构(图6e)等案例。图6 4D打印。(a)大变形4D打印;(b)多材料4D打印;(c)自修4D打印 (d)4D打印超材料结构;(e)4D打印吸能结构。4未来展望尽管面投影微立体光刻3D打印技术在近年来取得了快速的发展,但仍面临着如海量的图片数据传输与存储、多材料体素打印精确控制、高精度陶瓷打印等问题,亟待解决。5作者简介葛锜博士葛锜博士,南方科技大学机械与能源工程系长聘副教授。长期从事面投影微立体光刻3D打印技术研究,主要研究领域为4D打印、多功能3D打印、软物质力学、软体机器人、柔性电子等。王兆龙博士王兆龙博士,湖南大学机械与运载工程学院助理教授,长期从事微立体光刻3D打印,光学超材料及微流与热控理论及技术研究,先后参与包括重点国际(地区)合作研究项目及国家重点研发计划在内的多项国家自然科学基金和科技部重点研发项目。目前承担湖南省优秀青年基金及广东省重点领域研发计划等多项科研项目。Nicholas X. Fang博士Nicholas X. Fang博士,麻省理工学院机械系教授,长期从事包括微立体光刻3D打印技术在内的微纳技术研究,研究领域包括纳米光学、声学超材料、微纳制造、软物质等。本篇文章来自专辑:《极端制造》2020年第2期文章
  • 宁波材料所气相沉积系统研制项目通过验收
    p  5月24日,中国科学院条件保障与财务局组织专家对中国科学院宁波材料技术与工程研究所承担的“面向半导体薄膜超高速、低温外延的中压等离子体化学气相沉积系统”和“微细球状非晶粉末制备装置”两个院科研装备项目进行了技术验收和综合验收。/pp  两个项目的技术验收会于5月24日上午举行,条件保障与财务局科技条件处高级工程师张红松首先介绍了现场测试的具体要求,并宣布了专家组名单。技术测试专家组由6位专家组成,中科院半导体所谢亮研究员和中科院沈阳金属所张海峰研究员分别担任两个项目技术验收专家组组长。项目的技术测试大纲经专家组审议通过后,专家组分别在设备现场按照测试大纲逐项进行测试,将测试结果与项目任务书比对后,专家组一致认为两套研制设备的技术指标均达到或优于实施方案的要求,同意提交综合验收专家组验收。/pp  项目的总体验收于 5月24日下午举行,张红松介绍了总体验收要求并宣布了专家组名单。专家组由8位专家组成,包括1位装备研制项目专家、6位技术专家,1位财务专家,组长由中科院微电子所夏洋研究员担任。专家组分别听取了两个项目工作汇报、使用报告、测试报告和财务报告。/pp  “面向半导体薄膜超高速、低温外延的中压等离子体化学气相沉积系统”项目研制了一套中压等离子体化学气相沉积系统,实现了硅材料的超高速、低温外延生长 并且通过在线发射光谱和激光吸收光谱的实时检测分析系统,实现了对中压等离子体沉积过程的有效控制。利用该系统,项目组研究了气体组分、沉积压力、氢气浓度等工艺参数与沉积薄膜性能之间的影响规律,为碳化硅、石墨烯等薄膜材料的低温、快速生长提供了一个研究开发平台。/pp  “微细球状非晶粉末制备装置”项目研制出了一套微细球状非晶粉末制备装置,研究了熔体温度、喷嘴直径、回转圆盘转速等工艺条件对粉末粒径、非晶度和氧含量的影响规律,开发了一套新型微细金属粉末制备的新技术,实现了平均粒径在10μm左右的高质量非晶粉末的制备。基于此装备,项目组开展了微细非晶合金粉末的吸波性能研究,为采用新型非晶软磁合金材料、设计和开发具有宽频带、强屏蔽效能的轻薄型磁屏蔽和吸波材料奠定了实验基础。/pp  专家组现场查看了研制仪器设备的运行情况,审查了相关文件档案和项目经费使用情况,经讨论,专家组一致认为,两个项目均完成了实施方案中规定的研究内容,各项技术指标达到要求,项目文件档案齐全,经费使用基本合理,同意项目通过验收。/pp  张红松对宁波材料所两个项目顺利通过验收表示祝贺,并在最后的总结中提出希望,希望项目组能够充分发挥研制装备的价值,进一步研究开发及成果转化,发挥好中科院科研装备研制项目的效能。/pcenterimg alt="" src="http://www.cnitech.cas.cn/news/news/201805/W020180528330854310154.jpg" height="375" width="500"//centerp style="text-align: center "  技术验收会现场/pcenterimg alt="" src="http://www.cnitech.cas.cn/news/news/201805/W020180528330854432504.jpg" height="375" width="500"//centerp style="text-align: center "  现场查看研制仪器设备的运行情况/pcenterimg alt="" src="http://www.cnitech.cas.cn/news/news/201805/W020180528330854493166.jpg" height="375" width="500"//centerp style="text-align: center "  现场查看研制仪器设备的运行情况/p
  • 中科院苏州纳米所钱波团队《AMT》:一种3D打印层状石墨烯气凝胶的新策略
    中科院苏州纳米所钱波团队的郭浩等人提出一种3D打印层状石墨烯气凝胶的新策略。应用3D打印定制的针对不同氧化石墨烯墨水的狭缝挤出头,并在墨水中加入叔丁醇,抑制冰晶生长,最后应用定制挤出头3D打印制备得到层状石墨烯气凝胶,实现相比同类材料更高的电导率和电磁屏蔽性能,以及高灵敏压阻传感性能。图1 3D打印层状石墨烯气凝胶及其电磁屏蔽和压力传感特性 二维材料气凝胶因其在电磁屏蔽、传感器、柔性器件、超级电容器及油污吸附等方面的应用吸引了人们广泛的研究兴趣。由于二维材料本身的各向异性特性,相比各向同性结构,层状二维材料气凝胶在特定方向展示出优异的机械、电子、热性能。然而,目前制备层状结构二维材料气凝胶的方法较少,比较常用的是定向冷冻方法,但该制备方法在尺寸和形状上尚缺乏自由度,在性能上也仍有提升的空间。同时由于,二维材料分散液具有剪切变稀的特性,在剪切力的作用下,可以实现液晶形态的取向分布,如果能充分利用这一特性,将有望通过挤出装置实现取向结构二维材料气凝胶的制备,从而提升样品制备的自由度,并进一步提升材料性能。中科院苏州纳米所钱波团队的郭浩等人针对这一问题,提出一种3D打印层状石墨烯气凝胶的新策略。为充分利用氧化石墨烯墨水的剪切变稀特性,研究团队根据不用配方墨水的剪切变稀特性定制设计并应用摩方精密nanoArch S140高精度光固化3D打印机制备了可使对应氧化石墨烯墨水实现长程有序液晶形态的狭缝挤出头,狭缝尺寸50 μm,应用该挤出头在冷冻衬底上逐层3D打印相对应墨水。由于氧化石墨烯水基墨水中的水在冷冻衬底上结晶生成大尺寸冰晶,这将破坏狭缝挤出氧化石墨烯的液晶形态,为解决这一问题,团队通过调节叔丁醇在墨水中的含量,减小了冷冻衬底上冰晶生长的尺寸,从而降低了冷冻过程对于取向结构的破坏,最终通过冷冻干燥和化学还原实现了层状结构石墨烯气凝胶的制备。图2 根据墨水的流变性能设计并打印挤出头 研究显示,通过3D打印新策略制备的石墨烯气凝胶的层状结构清晰。得益于该层状结构,本研究3D打印的石墨烯气凝胶展示出比同类石墨烯气凝胶更高的电导率(705.6 S m−1)、更高的电磁屏蔽性能(3 mm样品在X波段可实现最高电磁屏蔽能效68.75 dB),并可实现高灵敏的压阻传感性能(清晰的语音和脉搏信号传感分辨能力)。图3 通过墨水配方调控获得良好层状结构的石墨烯气凝胶图4 3D打印层状石墨烯气凝胶的电导率和电磁屏蔽性能图5 3D打印层状石墨烯气凝胶的力学和传感性能研究者相信,此项研究将为具有剪切变稀性能的材料制备层状取向结构材料提供一条新的路径,为纳米材料通过3D打印有序可控组装并实现更高的性能提供一个新的思路。相关论文在线发表在《Advanced Materials Technologies》上。苏州纳米所郭浩为本文第一作者,钱波为本文通讯作者,苏州大学石学军为本文的软件模拟提供了支持。论文信息:A New Strategy of 3D Printing Lightweight Lamellar Graphene Aerogels for Electromagnetic Interference Shielding and Piezoresistive Sensor ApplicationsHao Guo, Tianxiang Hua, Jing Qin, Qixin Wu, Rui Wang, Bo Qian, Lingying Li, Xuejun ShiAdvanced Materials TechnologiesDOI: 10.1002/admt.202101699原文链接:https://doi.org/10.1002/admt.202101699官网:https://www.bmftec.cn/links/7
  • 新芝生物助力《土壤和沉积物有机物的提取超声波萃取法》标准实施
    环境保护部《土壤和沉积物有机物的提取超声波萃取法》于2018年4月1日正式实施。 本标准规定了提取土壤和沉积物中有机物的超声波萃取法。 本标准适用于土壤和沉积物中多环芳烃、酚类、邻苯二甲酸酯类和有机氯农药等半挥发性有机物的提取。 本标准不适用于在超声波萃取条件下不稳定的有机物(如有机磷农药等)的提取。标准推荐仪器 Scientz-IID 超声波粉碎机性能特点 √ 采用PWM控制电源,工作时间、功率连续可调,适用范围更广;√ 采用7寸TFT高分辨率触摸屏显示;√ 采用精度更高更智能的中央微机集中控制;√ 样品温度自动检测显示功能、功率显示微机跟踪、故障自动报警;√ 隔音装置采用钣金、喷塑、ABS材质,模具化设计,带门锁功能; 应用领域 √ 土壤岩石样品的均质、分散和提取;√ 细胞、病毒、孢子的裂解和破碎√ 纳米材料的分散、裂解 技术参数Scientz-10T 超声波提取机 技术参数 Scientz-N 系列钟罩式冷冻干燥机性能特点 √ 本机采用国际知名品牌思科普(原丹佛斯)压缩机,制冷迅速,冷阱温度低;√ ARM9核心控制电路设计,32M内存128M FLASH;√ 控制系统自动保存冻干数据,并能以实时曲线和历史曲线的形式查看;√ 干燥室采用无色透明一次注塑成型聚碳干燥室,耐腐蚀、不易碎、无粘接、透明度高、密闭性强、样品清楚直观,可观察冻干的全过程;√ 真空泵与主机连接采用国际标准KF快速接头,简洁可靠;√ 可设定冷阱温度,低于温度设定值时开启真空泵,保护真空泵使用寿命。 应用领域 √ 土壤样品的冷冻干燥处理√ 血液、细菌和各类器官的冷冻保存√ 食品的脱水保鲜处理√ 中西药药品的脱水保存√ 出土文物、档案书籍的脱水保护 技术参数
  • 可视化技术为薄膜沉积研究降本增效
    当前,我国半导体设备依旧高度依赖于海外企业,并且在核心技术和零部件上受到一定的限制。作为半导体产业重要的一环,薄膜沉积设备可以说牵一发而动全身。而中国作为半导体设备的重要市场,随着各地半导体项目的林立,晶圆代工厂的产能扩建热潮以及自主可控进程的推进,薄膜沉积设备厂商也迎来了快速成长和突破的新黄金期。对此,仪器信息网特邀请天津中环电炉股份有限公司介绍了其薄膜沉积设备。不断加大研发投入,为用户提供试用平台据了解,薄膜沉积领域在过去一直处于国外品牌独占市场。在此背景下,天津中环集中力量,借鉴国际先进经验,结合国内特色,开发了独具特色的薄膜沉积设备。其主要薄膜沉积产品包括CVD12IIIH-3-G、双相气流二硫化钼沉积设备、等离子薄膜沉积设备PECVD12IIH-3-G、三源流化床薄膜沉积设备等,凭借优异的性能,多次帮助用户在Science等多种国际级顶级期刊发表高影响力文章及成果,更是几乎进入了目前主流实验领域全部实验和部分高难度实验。天津中环的1200℃预加热双温区PECVD集成系统目前我国总体上看在薄膜沉积设备技术还处于新兴产业,发展时间短,技术积累薄弱,专业人才稀缺。市场处于萌芽阶段,但后续市场规模和技术需要又相当高。对此,天津中环认为,必须加大投入,无论资金、技术、人力等,不加大投入一但被国外产品拉开差距,建立技术壁垒,我国该产业很难发展,以至于薄膜沉积领域科研严重受制。正是在这种不断的研发投入下,天津中环现有产品已基本达到与国际龙头企业参数一致、价格更低、操作更容易、维护更简单。国内市场已经占据较多份额,主要客户群体有中科院所、大专院校、研究所、企业研发部门和检验部门。其中73%为实验领域。目前用户主要关注产品的技术参数和实验效果,为了更好的服务用户,天津中环组织人力、物力积极筹建实验室,为客户提供设备试用平台,目前天津中环实验室已经可以完成大多数实验,并得到理想的实验结果。确保客户采购设备后能够达到使用效果。另辟蹊径,绕开壁垒,突破“卡脖子”技术在贸易战以来,全社会都关注“卡脖子”问题,而在薄膜成绩领域当然也存在一定的“卡脖子”现象。在真空领域、气体控制领域特别明显,如高真空无油泵、特种气体流量控制等方面尤为突出。据透露,天津中环在5年前就发现问题,并积极联合各相关企业进行联合开发,通过特殊的设备结构、独特的设计理念另辟蹊径的达到了与国外类似的实验结果。从根本上绕过了一定的技术壁垒。谈到未来发展趋势时,天津中环认为未来的实验室和工业领域对于薄膜沉积技术更倾向于可视化的沉积与制备,可以更加直观的发现问题和解决问题。目前沉积设备都是盲烧。无法直观的展现沉积过程与沉积状态。这大大延缓了实验进度,阻碍了科学工作者的实验思路。基于对未来发展趋势的判断,天津中环于4年前着手研发可视化烧结、沉积设备。目前已经达到8微米级别的可视化分辨率,产品在陶瓷烧结、金属冶炼熔渗、高温接触角分析等领域获得无数好评,想成了稳定销售。下一步,天津中环还将着重研发纳米级分辨精度产品,为薄膜沉积领域打开一条新路。关于天津中环天津中环电炉是一家成立于1993年的股份制企业,现有产品专利40项,于2017年成功上市,具备研发、生产、实验等能力,产品上专精于实验电炉与薄膜沉积类设备及外延产品。在近年来半导体产业热潮下,天津中环主要业绩同比上一年度提高接近30%,三年平均增长18.7%。连续8年实现销售额增长超过10%。天津中环产品主要应用于材料行业、陶瓷行业、金属冶炼、处理。生物材料以及化学化工行业。
  • 薄膜沉积工艺和设备简述
    薄膜沉积(Thin Film Deposition)是在基材上沉积一层纳米级的薄膜,再配合蚀刻和抛光等工艺的反复进行,就做出了很多堆叠起来的导电或绝缘层,而且每一层都具有设计好的线路图案。这样半导体元件和线路就被集成为具有复杂结构的芯片了。化学气相沉积(CVD)化学气相沉积(CVD)通过热分解和/或气体化合物的反应在衬底表面形成薄膜。CVD法可以制作的薄膜层材料包括碳化物、氮化物、硼化物、氧化物、硫化物、硒化物、碲化物,以及一些金属化合物、合金等。化学气相沉积是目前很重要的微观制造方法,因为它有如下的这些特点:1. 沉积物种类多: 可以沉积金属薄膜、非金属薄膜,也可以按要求制备多组分合金的薄膜,以及陶瓷或化合物层。2. CVD反应在常压或低真空进行,镀膜的绕射性好,对于形状复杂的表面或工件的深孔、细孔都能均匀镀覆。3. 能得到纯度高、致密性好、残余应力小、结晶良好的薄膜镀层。由于反应气体、反应产物和基材的相互扩散,可以得到附着力好的膜层,这对表面钝化、抗蚀及耐磨等表面增强膜是很重要的。4. 由于薄膜生长的温度比膜材料的熔点低得多,由此可以得到纯度高、结晶完全的膜层,这是有些半导体膜层所必须的。5. 利用调节沉积的参数,可以有效地控制覆层的化学成分、形貌、晶体结构和晶粒度等。6. 设备简单、操作维修方便。7. 反应温度太高,一般要850~ 1100℃下进行,许多基体材料都耐受不住CVD的高温。采用等离子或激光辅助技术可以降低沉积温度。化学气相沉积过程分为三个重要阶段:1、反应气体向基体表面扩散2、反应气体吸附于基体表面3、在基体表面发生化学反应形成固态沉积物及产生的气相副产物脱离基体表面CVD的主要有下面几种反应过程:i). 多晶硅 PolysiliconSiH4 — Si + 2h2 (600℃)沉积速度 100 - 200 nm /min可添加磷(磷化氢)、硼(二硼烷)或砷气体。多晶硅也可以在沉积后用扩散气体掺杂。ii). 二氧化硅 DioxideSiH4 + O2→SiO2 + 2h2 (300 - 500℃)SiO2用作绝缘体或钝化层。通常添加磷是为了获得更好的电子流动性能。当硅在氧气中存在时,SiO2会热生长。氧气来自氧气或水蒸气。环境温度要求为900 ~ 1200℃。氧气和水都会通过现有的SiO2扩散,并与Si结合形成额外的SiO2。水(蒸汽)比氧气更容易扩散,因此使用蒸汽的生长速度要快得多。氧化物用于提供绝缘和钝化层,形成晶体管栅极。干氧用于形成栅极和薄氧化层。蒸汽被用来形成厚厚的氧化层。绝缘氧化层通常在1500nm左右,栅极层通常在200nm到500nm间。iii). 氮化硅 Siicon Nitride3SiH4 + 4NH3 — Si3N4 + 12H2(硅烷) (氨) (氮化物)化学气相沉积CVD 设备CVD反应器有三种基本类型:◈ 大气化学气相沉积(APCVD: Atmospheric pressure CVD)◈ 低压CVD (LPCVD:Low pressure CVD,LPCVD)◈ 超高真空化学气相沉积(UHVCVD: Ultrahigh vacuum CVD)◈ 激光化学气相沉积(LCVD: Laser CVD,)◈ 金属有机物化学气相沉积(MOCVD:Metal-organic CVD)◈ 等离子增强CVD (PECVD)物理气相沉积(PVD)在真空条件下,采用物理方法,将材料源(固体或液体) 表面材料气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。物理气相沉积不仅可沉积金属膜、合金膜, 还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等。物理气相沉积技术基本原理可分三个工艺步骤:(1)镀料的气化:即使镀料蒸发,升华或被溅射,也就是通过镀料的气化源。(2)镀料原子、分子或离子的迁移:由气化源供出原子、分子或离子经过碰撞后,产生多种反应。(3)镀料原子、分子或离子在基体上沉积。物理气相沉积技术工艺过程无污染,耗材少。成膜均匀致密,与基体的结合力强。该技术广泛应用于航空航天、电子、光学、机械、建筑、轻工、冶金、材料等领域,可制备具有耐磨、耐腐蚀、装饰、导电、绝缘、光导、压电、磁性、润滑、超导等特性的膜层 。物理气相沉积也有多种工艺方法:◈ 真空蒸度 Thin Film Vacuum Coating◈ 溅射镀膜 PVD-Sputtering◈ 离子镀膜 Ion-Coating
  • Arrayjet飞行喷墨式生物芯片点样技术用于生产世界最高通量的人类蛋白质组芯片HuProt
    arrayjet advance生产服务为客户提高芯片产量的同时减少样品消耗 ultra marathon ii 在美国巴尔的摩安装后,客户对仪器非常满意。ultra marathon ii 加上jetmax 环境控制系统,实现在极低的温度下进行点样。 案例cdi实验室是一家美国蛋白质组学公司,之前采用低通量接触式的针式点样平台。他们经历了频繁的生产延误,产量降低,批间差异大,样品损失等问题。他们缺少生产高通量、高质量的蛋白芯片的技术平台。随着需求的不断增加,cdi面临有效商业化他们的产品,降低不断上升的设备维修费用的压力。 arrayjet adance 芯片点样服务arrayjet的 adance 芯片点样服务起始于2011年,非常有效的支持了cdi公司的项目。这种直接面向客户的芯片服务,客户可以直接得到arrayjet 总部75年的全面的生物芯片经验的支持,来实现他们的蛋白芯片的技术优化,转让和商业化。 实验优化人类蛋白库中的一部分人类蛋白通过arrayjet公司的ultra marathonii飞行喷墨式生物芯片点样平台点到环氧硅烷(图2)和硝酸纤维素膜上,整个点样环境通过jetmax环境控制系统控制在4°c。通过测试各种点样体积来优化最后的每个点的样品体积。14个微矩阵重复中,样品点圆形形态合格率大于99%。采用该微矩阵获得预期的表达图谱。 图2: 在环氧硅烷芯片上进行试验优化 批量点样更多来自cdi人类蛋白库的蛋白样品被点到200张环氧硅烷和硝酸纤维素玻片上,来进一步分析点样的重复性点样形态(图3)。arrayjet 的jetguard 确保在长时间点样过程中最少的样品蒸发。 图3:从人类蛋白库中纯化的一个小组的蛋白样品被点到200块相同的grace bio-lab path 硝酸纤维素膜上。 高密度点样通过功能学蛋白实验确认,我们成功的进行从针点到arrayje飞行喷墨式点样的方法学转移。我们进一步评估了ultra marathon ii飞行喷墨式点样平台进行高密度点样的能力。cdi 人类蛋白库的样品进行一个高密度的六边形矩阵喷点,来评估在不同点样基质上,芯片内和芯片间点样的重复性,以及背景信号。结果显示,芯片具有出非常好的矩阵,没有点的重叠。 全人类蛋白组芯片制备超过19000个gst融合蛋白从cdi 人类蛋白质库中纯化出来,并被重复的喷点到500张芯片上,每个点200pl 的样品 (图4)。实验成功的标准如下:?97%的样品需要被点到芯片上?圆形点数量90%?芯片内和芯片间的cv20%?具有阳性和正确的功能实验结果 图4: cdi 完整的人类蛋白库样本被喷点到grace bio-labs path 蛋白芯片玻片上。 结论通过方法学的成功转移,cdi 公司目前能生产全球最大的人类蛋白组芯片,一个批次能生产100张3.1 版本的huprot 芯片。采购ultra marathon ii飞行喷墨式点样平台让cdi能够制备蛋白组芯片和其他客户定制的芯片。通过这些芯片,客户能使用最小量的临床样品进行上万种蛋白的分子相互作用检测。arrayjet advance芯片服务和非接触压电式点样技术显著的提高大规模、高质量的蛋白芯片生产效率。环境控制单元不仅仅保证了完美的样品点形态和矩阵,同时保护了蛋白的天然构象,最终证保实验结果的一致性。 ------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------“cdi 采购ultra marathon ii 飞行喷墨式点样平台用于研发和生产huprot 蛋白芯片和杂交瘤细胞筛选项目的特定芯片。cdi正在计划在不远的将来,采用该新技术平台制备单克隆抗体芯片和膜蛋白芯片。 我们选择arrayjet 是因为我们需要实现通量5倍的提升,而且最好是一台仪器来实现这个目标。arrayjet的高科技,精确和用户友好的设计是一个明显的优势。 另一个arrayjet 公司结构的优势在于,他还通过arrayjet advance 提供内部芯片服务。我们可以通过数个月,多个项目的测试,来再次加深我们对该平台的信任, 这个平台可以在多个方面提升我们目前运营。” dr. ignacio pino, ceo, cdi laboratories“ arrayjet 的jetspyder 样品进样装置有效的减少了蛋白样品间任何的交叉污染,我们的蛋白芯片的质量有了显著的提高。此前,我们一个批次仅仅能生产150片质量合格的芯片,这个通量不能满足规模生产和目前以及未来增长的需求。arrayjet的技术平台能够快速高效的制备1000张芯片的特点对我们有很大的吸引力。”dr. heng zhu, professor, johns hopkins school of medicine
  • 中科院化学所等利用透明墨水打印出全彩结构色图案
    结构色是一种由微观物理结构与自然光之间的相互作用(如散射、干涉、衍射等)所产生的颜色。与传统的化学色相比,结构色可以完全避免染料或色素的使用,是更加环保和稳定的呈色方式。然而,人工结构色的实现,需要借助先进的微纳加工技术或组装手段对纳米生色结构进行高精度调控,成本较高且工艺复杂,较大程度上阻碍了结构色的广泛应用。此外,为了促进结构色的应用拓展,需要将结构色像素点制备成有序的图像,但结构色的像素点是由众多周期与形貌存在差异的微纳结构组成,将这些呈色物理结构精确制备并集成为特征化的彩色图像,颇具挑战性。  中国科学院化学研究所绿色印刷实验室研究员宋延林、李明珠,与复旦大学教授石磊等合作,精准控制微小液滴的成型打印(即精确调控打印基材的浸润性与微小液滴的体积来控制打印墨滴的形貌)与剖析全内反射光学微结构呈色的机理,发展出一种利用透明高分子墨水打印全彩结构色图像的方法。该方法突破了关于彩色印刷的认知(呈现不同的颜色需要不同的墨水),仅利用一种透明的高分子聚合物墨水,便实现了全色系彩色像素点的精准制备。此外,研究凭借对微观像素点空间位置的精确分布,解决了结构色难以实现棕色、白色、银色等特殊色制备的难题。科研人员探索了微结构形貌与颜色、灰度的对应规律,利用高精度喷墨打印实现墨滴精准成形,在不添加任何染料色素的前提下,打印出各种形象逼真的彩色人像图案。这种方法具有普适性,可制成透明墨水的高分子材料均可应用于这种全色系结构色图案的打印,为结构色在彩色印刷、显示、防伪及高灵敏传感等领域的应用提供了全新的思路。  近日,相关研究成果发表在Science Advances(DOI:10.1126/sciadv.abh1992)上。研究工作得到国家自然科学基金、科技部和中科院的支持。
  • 最新通知 | 关于CHInano 2023 第十三届中国国际纳米技术产业博览会
    一、大会名称第十三届中国国际纳米技术产业博览会(纳博会)The 13th CHInano Conference & Expo----CHInano 2023二、展会时间展商报到:2023年2月27日-28日(周一-周二)参会报到:2023年2月28日(周二)展览时间:2023年3月1日-3日(周三-周五)会议时间:2023年3月1日-3日(周三-周五)三、展会地点苏州国际博览中心A1&B1&C1馆A1馆为主体论坛会议场地;B1和C1展厅为产业会议及展览场地,面积为23000㎡。展厅内设置产业会议区域、展览区、路演区以及餐饮区。四、组织架构指导单位:中国科学技术协会中国科学院主办单位:中国微米纳米技术学会中国国际科学技术合作协会承办单位:苏州纳米科技发展有限公司苏州工业园区产业创新中心协办单位:中国半导体行业协会MEMS分会中国材料研究学会纳米材料与器件分会中国半导体行业协会功率器件分会合作伙伴:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所材料科学姑苏实验室中国半导体行业协会中国科学院电子学研究所中国科学院兰州化学物理研究所苏州中科院产业技术创新与育成中心江苏省新材料产业协会深圳市新材料行业协会五、纳博会简介中国国际纳米技术产业博览会自2010年举办首届以来,已连续成功举办12届,累计邀请113名国内外院士(其中诺奖3人)、98043位参展参会嘉宾、5200家参展企业,论坛报告达2153场,现场促成企业融资27.65亿元。纳博会已成为中国最具权威、规模最大、影响力最广的纳米技术应用产业国际性大会,得到了世界纳米强国的积极参与和广泛认可。同时也是企业展示、产品推广、资本合作、技术对接与交流的绝佳舞台。(www.chinanosz.com)2021年第十二届中国国际纳米技术产业博览会于2021年10月27-29日圆满举办,期间共组织了1场大会主报告,10场主题分会,2场大赛,307个行业报告。邀请诺奖1名,国内外院士11人。展区面积20000平米,展位总数560余个,现场展出2000多件纳米技术创新产品,吸引2200多家纳米技术相关企业参展、参会。大会期间嘉宾总人数达20796人,现场达成意向投资近3.4亿元,现场达成意向合作百余项。第十三届中国国际纳米技术产业博览会将于2023年3月1日-3日在苏州国际博览中心举办。期间将邀请10+国内外院士出席并作报告,同期召开10+前沿会议,先进电子材料、MEMS两场创新创业大赛,展览面积20000㎡,预计现场参会参展观众22000余人。六、大会主题微纳制造(MEMS)、第三代半导体、纳米新材料、柔性印刷电子、纳米压印、喷墨打印、纳米光电子、纳米大健康、分析检测、纳米生物与医药、纳米清洁环保。七、开幕式及大会主报告本届纳博会主报告将聚焦新材料与微纳制造、第三代半导体主题,邀请能源材料、第三代半导体、微纳制造领域的国际知名科学家、企业家介绍当代纳米技术引领的新型产业发展趋势与应用前景。大会主报告是历届纳博会的重中之重,大会主报告嘉宾的报告对全国纳米产业都具有非常重要的指导意义。八、分论坛&大赛重点聚焦微纳制造、第三代半导体、纳米健康等产业领域,同期举办多场专业分论坛和专业大赛。1.主报告2.第四届中国MEMS制造大会3.第十三届全国柔性与印刷电子研讨会4.第三届纳米大健康-活体测量与精准医学论坛5.金鸡湖高峰论坛6.NTAC 全球纳米压印技术与应用大会7.第十届半导体器件与加工工艺论坛——化合物半导体器件、光电子器件与集成技术论坛8.第五届纳博会分析测试应用论坛9.第五届低维材料应用与标准研讨会10.第三届新型纤维材料与应用前沿论坛11.第二届先进凝胶材料及产业应用论坛12.第二届纳米磁珠学术论坛13.纳博会知识产权论坛14.中国MEMS创新创业大赛15.中国先进电子材料创新创业大赛(会议详情请见官网:www.chinanosz.com)九、纳博会展览区展区共20000㎡,共分1个主展区+3大主题展+5个特色展团,共计560个展位。主要集中展示方向如下。纳米技术主展区:纳米新材料、纳米微球,纳米涂层,纳米复合材料、生产设备、分散技术、分析检测仪器、新型能源技术、PM2.5预防设备和耗材等。中国国际微纳制造与传感器展:MEMS加工装备、纳米压印技术、微制程技术、分析检测、MEMS器件、MEMS器件及应用,MEMS融合接合技术,下一代光刻技术。全国柔性印刷电子展:电子墨水合成、制备、表征,晶体管、薄膜太阳能电池、印刷显示(OLED、量子点、电子纸),印刷传感器,纺织电子,印刷柔性、可拉伸、可穿戴电子技术、纳米材料印刷技术等。第三代半导体及应用展:氮化镓(GaN)和碳化硅(SiC)、氧化锌(ZnO)、金刚石等第三代半导体衬底、外延材料,光刻胶、光掩膜版、CMP抛光材料、光阻材料、湿电子化学品等半导体材料,半导体生产、封装以及其他电子专用设备,化合物半导体射频器件、功率器件、LED照明显示等上下游产业链及创新应用。科技部“纳米科技”重点专项展团:新型纳米制备与加工技术、纳米表征与标准、纳米生物医药、纳米信息材料与器件、能源纳米材料与技术、环境纳米材料与技术、纳米科学重大项目。PEIPC柔性电子创新应用展团:人工智能、材料科学、泛物联网、空间科学、健康科学等领域柔性电子应用。纳米大健康及应用展团:纳米抗菌消毒、空气净化与水处理、医疗产品、保健用品、生物传感器,纳米生物材料,靶向药物释放、纳米诊断试剂、纳米诊断设备、纳米探针、人工心脏等。MEMS创业大赛入选企业展团:MEMS创业大赛初审入围企业,包括MEMS设计、制造、器件、下游应用企业。先进电子材料大赛入选企业展团:先进电子材料大赛初审入围企业,包括新一代信息技术、半导体、智能制造、节能环保等领域中先进电子材料的研发、制备、量产、应用等产业链环节的企业。十、费用收取展览收费标准(提前预定展位享受会员价格):展位类型规格国内区国际区外资企业标准展位3m*3m=9㎡¥9800¥12800$4000.00光地展位36㎡起租¥980 /㎡¥1280 /㎡$400/㎡展位说明:(一)标准展位:展位三面展板、一张咨询桌、两把折椅、两支射灯、中英文楣板、一个220V电源、地毯。(二)光地:参展商自己负责展位的设计、搭建、用电设备等及由此产生的费用。(三)各论坛价格见官网:www.chinanosz.com。十一、联系人参会联系:蒋女士电话18866025960邮箱 jiangxf@nanopolis.cn参展联系:陆先生电话15050142680邮箱luw@nanopolis.cn媒体联系:蒋女士电话15250038690邮箱jiangxm@nanopolis.cn
  • 首创!摩擦纳米发电机首次应用于高灵敏度质谱仪
    目前,作为一种关键的分析技术,质谱分析已经被广泛应用于生物医药、食品科学、国土安全、系统生物、药物发现等领域。质谱分析是基于质量-电荷比(m/z)的分析方法,具有高灵敏度、高准确度、普遍适用等优势。  在质谱分析中,离子化是将中性分子带上电荷的关键的第一步。现在商用的离子化方法大多依靠直流(DC)高压在离子源中将样品分子转化为气相离子。但是,在电离化过程中,离子的数量(Q)并不受电压(V)控制。因此,当前所有的离子化方法都没有实现对离子数量进行精确控制。而且,如果使用传统高压电源,绝大部分(99%)的电荷/电流以及离子是浪费掉的。因而,目前质谱分析在提高灵敏度、样品利用率以及占空比等发展方向上具有重大瓶颈。并且,传统使用的高压电源具有耗费高、难以携带、不安全等缺点。  固定电荷量的高压输出恰好是摩擦纳米发电机(TENG)的一个本质特性。在佐治亚理工学院,中国科学院北京纳米能源与系统研究所王中林院士和Facundo Fernández教授共同指导下,李安寅博士和訾云龙博士组成了跨院系合作团队,用TENG驱动离子源,实现了离子源在电荷数量、正负极性、信号长短等诸多方面的精确控制。该工作为质谱分析提供了一个全新的可控参数,也是纳米发电机在大型分析仪器首次应用。相关工作开辟了崭新的研究和应用领域,并于近日发表于最新一期的Nature Nanotechnology [1]。(图1)。  首先,该团队利用TENG成功实现了电喷雾离子化和等离子体放电离子化。由TENG提供的固定电荷量对离子化过程实现了前所未有的控制。该团队实现了纳库精度(nanoColoumb)的可控离子产生,并提出了相关的物理模型。通过TENG的驱动,离子脉冲的持续时间、频率、带电性都可以得到有效控制,并实现了最小化的样品消耗。TENG的微量电荷避免了质谱分析中DC高电压下常见的电晕放电现象,从而首次实现了超高电压(5-9千伏)纳电喷雾(nanoESI)。该方法提高在低浓度下的电喷雾离子源的灵敏度,并最大化样品的利用率。TENG驱动的离子化所实现的质谱分析被成功用于检测各种有机小分子和生物大分子,并达到了可以检测到几百个分子的灵敏度。TENG驱动的交流离子喷雾还被用于在绝缘表面进行沉积离子材料。  该研究对于质谱分析和TENG两个领域的发展都具有开创性意义。  首先,该研究首次实现了离子化过程中电荷数量的精确控制,为质谱分析带来了一个全新的可控参数,提高了分析精度,提供了分析非常少量样品的能力,为化学、生物检测的质谱方法的瓶颈难题提供了新的可能。并且,使用TENG可以使研究人员将喷雾时间与质谱分析时间同步起来,实现样品的最大化利用。  同时,TENG取代了质谱设备上原有的离子喷雾电源,为小型质谱设备实现便携化并在极端条件下(例如军事或航天上)应用提供了可能。  最后,该研究作为第一个将TENG用在设备仪器中的研究,证实了TENG作为提供高电压的一种简单、安全而有效的方法,为类似相关研究提供了思路,为TENG驱动不同仪器和过程从而实现“可控自驱动系统”奠定了基础。图1.TENG驱动离子化过程的示意图和电喷雾离子化过程的照片。长度单位:1毫米。图2.摩擦纳米发电机所产生的离子元用于分析极其微量的化学和生物样品,其精度可以达到几百个分子。  原文链接:A. Li*, Y. Zi*, H. Guo, Z.L. Wang#, F.M. Fernández#, “Triboelectric Nanogenerators for Sensitive Nano-Coulomb Molecular Mass Spectrometry”,Nature Nanotechnology, DOI: 10.1038/NNANO.2017.17 (2017).
  • 纳米盛会——第九届中国国际纳米技术产业博览会于2018年10月在苏州召开
    p style="text-align: center "img title="1.jpg" alt="1.jpg" src="https://img1.17img.cn/17img/images/201810/uepic/4897fa63-db13-464d-8582-0655af2768ab.jpg"//pp  2018年10月24日-26日第九届中国国际纳米技术产业博览会(CHInano)在苏州国际博览中心举办。大会由中国微米纳米技术学会主办,江苏省纳米技术产业创新中心、苏州纳米科技发展有限公司承办,是国内最具权威、规模最大的纳米技术应用产业国际性大会。经过八年的发展,纳博会® 已成为中国影响力最广的纳米技术交流盛会,得到了世界纳米强国的积极参与和广泛认可,是仅次于日本的国际第二大纳米博览会。/pp  CHInano2018将邀请来自世界各地的业界翘楚、著名学者以及政府机构中顶尖纳米技术专家,分享纳米技术产业上下游热门领域的最新成果、前沿信息、发展趋势。同时也将是企业展示、产品推广、资本合作、技术对接与交流的绝佳舞台。/pp  纳博会由峰会(主报告、专题技术分会、应用论坛)、展览、产品发布会三部分组成,重点聚焦纳米新材料、微纳制造、能源与清洁技术、纳米生物医药、纳米智慧生活等纳米技术上下游产业链条,打造国际纳米技术产业交流平台。/pp  CHInano 2017共吸引全球27个国家与地区的1000余家企业和机构,韩国、加拿大、日本、荷兰、伊朗五个国外展团参展参会。主报告与15个专业分论坛邀请了250位演讲嘉宾,其中院士22名,参会嘉宾3521名。展览面积13000㎡,展位384个,展商1328人,专业观展嘉宾8983人,总参会参展嘉宾13832人。在线直播了纳博会® 主报告及5个分会,实时在线观看人数达40787人。据不完全统计,现场达成合作意向近百项。超过30家国内外知名媒体报道此次盛会。/pp strong 2018年纳博会数据/strong/pp  300+行业知名企业参展 /pp  500+行业知名企业参会 /pp  250+行业大咖嘉宾助阵开幕式及论坛活动/pp  15+主题论坛及产品发布活动/pp  1.3W+专业观众/pp  200+媒体报道br//pp style="text-align: center "img title="1.jpg" alt="1.jpg" src="https://img1.17img.cn/17img/images/201810/uepic/b55dc093-ba1b-4ead-8219-bf6da8771961.jpg"//pp  strong2018年纳博会亮点/strong/pp  1、办会层次持续提升。在中科协、中科院继续作为大会指导单位、中国微米纳米学会作为主办单位的基础上,今年推动由科学技术部、中国科学院、中国工程院、中国科学技术协会、国家自然科学基金委员会联合发起成立中国国际科学技术合作协会成为主办单位之一,拟以该协会为抓手导入其在国际纳米技术领域内的资源,进一步拓展大会国际化水平。与中国科学技术协会下属的汽车行业全国性组织中国汽车工程学会达成战略合作,由该学会主办纳博会新能源汽车主题展,将新能源汽车资源进入大会。/pp  2、名企参与再创新高。本届大会获众多知名企业关注与参与,包括美国应用材料、陶氏化学、赛默飞世尔、Bruker、霍尼韦尔、柯达、牛津电子、EVG集团、圣戈班、Apple、微软、Facebook、亚马逊、大众、日立化成、松下、三星、华为、富士康、OPPO、VIVO、福耀集团、中车集团、吉利汽车、上汽集团、蔚来汽车、小鹏汽车等国内外知名企业,以及新能源汽车电池龙头上市企业欣旺达等参会参展,截至目前知名企业总数160余家,较好提升了大会品牌影响力。/pp  3、产业内涵更加丰富。聚焦第三代半导体、微纳制造(MEMS)、功能纳米材料等技术领域,召开纳博会专家委员会闭门会议、第三代半导体产业对话会,组织第七届千人技术创业大赛总决赛、展商高层与技术专家交流活动,发布苏州市纳米技术产业报告,举办纳米技术新产品发布会,多措并举持续丰富大会产业吸引力。/pp  4、产业整合初具成效。本届大会对纳米技术中下游应用端资源整合初见成效,新增新能源汽车主题展区面积达4000平方米,拟邀请蔚来汽车等30家国内知名新能源企业品牌入驻。抗菌消毒、柔性与印刷电子、3D打印与喷墨制造等主题展区面积累计达3000平方米,参展企业达到52家,促进了纳米材料、抗菌与消毒、微纳制造、柔性与印刷电子等技术领域资源的交流合作。/pp  5、品牌宣传更趋全面。打造纳米技术与应用媒体联盟,覆盖大众媒体、专业媒体、网络媒体、线上媒体、线下媒体,新华日报、人民网、科技日报、第一财经等传统媒体,中国粉体网、中国化工网、中国制造网、中国能源网、仪器信息网、分析测试百科、化工仪器网、芯榜、半导体行业联盟、石墨石墨烯咨询、集微网、华烯传媒、传感器世界、新能源汽车产业网、电池与储能、新能源100、新能源汽车产业服务网、与非网、DT新材料、新材料在在线、华强电子网、光链等专业媒体,今日头条、网易新闻、新浪、搜狐、UC资讯、凤凰资讯等网络媒体,江苏纳米创新中心微信、新浪微博、腾讯微博、纳米人微信号等自媒体,全方位、分阶段、分批次开展大会宣传。媒体信息发布的同时,更加注重借助日本纳米大会、韩国纳米大会、国际锂电池展览、新能源汽车展、石墨烯展等二十余场大型展览,开展线下宣传推广。另外还积极引入全新推广模式,利用小鱼直播、引力播、DT新材、星纳传媒等多家媒体,进行纳博会现场直播。/ppstrong  2018纳博会活动形式/strong/ppstrong  1、开幕式/strong/pp style="text-align: left "  苏州市纳米产业报告发布br//pp style="text-align: center "img title="1.jpg" alt="1.jpg" src="https://img1.17img.cn/17img/images/201810/uepic/be7128b8-aed8-4ddb-a27c-70fbaabe049c.jpg"//pp style="text-align: center "  2017年纳博会开幕式盛况/pp strong 2、主报告/strong/pp  本届纳博会® 主报告将聚焦新材料与制造主题,邀请纳米材料、第三代半导体、微纳制造领域的国际知名科学家、企业家介绍当代纳米技术引领的新型产业发展趋势与应用前景。拟邀科技部原司长靳晓明担任主持人,拟邀主报告嘉宾如下:br//ptable border="1" cellspacing="0" cellpadding="0"tbodytr class="firstRow"td width="91" valign="top" style="padding: 0px 7px border: 1px solid windowtext border-image: none background-color: transparent "p style="line-height: 37px "strongspan style="font-family: 宋体 "姓名/span/strong/p/tdtd width="292" valign="top" style="border-width: 1px 1px 1px 0px border-style: solid solid solid none border-color: windowtext windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px border-image: none background-color: transparent "p style="line-height: 37px "strongspan style="font-family: 宋体 "机构/span/strong/p/tdtd width="69" valign="top" style="border-width: 1px 1px 1px 0px border-style: solid solid solid none border-color: windowtext windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px border-image: none background-color: transparent "p style="line-height: 37px "strongspan style="font-family: 宋体 "国别/span/strong/p/tdtd width="138" valign="top" style="border-width: 1px 1px 1px 0px border-style: solid solid solid none border-color: windowtext windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px border-image: none background-color: transparent "p style="line-height: 37px "strongspan style="font-family: 宋体 "方向/span/strong/p/td/trtrtd width="91" valign="top" style="border-width: 0px 1px 1px border-style: none solid solid border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext padding: 0px 7px border-image: none background-color: transparent "p style="text-align: left line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "曹德旺/span/p/tdtd width="292" valign="top" style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent "p style="line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "福耀集团董事长/span/p/tdtd width="69" valign="top" style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent "p style="line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "中国/span/p/tdtd width="138" valign="top" style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent "p style="line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "纳米技术应用/span/p/td/trtrtd width="91" valign="top" style="border-width: 0px 1px 1px border-style: none solid solid border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext padding: 0px 7px border-image: none background-color: transparent "p style="text-align: left line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "Ray H. Baughman/span/p/tdtd width="292" valign="top" style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent "p style="line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "美国田纳西大学纳米研究学院 主席、工程院院士/span/p/tdtd width="69" valign="top" style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent "p style="line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "美国/span/p/tdtd width="138" valign="top" style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent "p style="line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "纳米材料/span/p/td/trtrtd width="91" valign="top" style="border-width: 0px 1px 1px border-style: none solid solid border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext padding: 0px 7px border-image: none background-color: transparent "p style="text-align: left line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "尤政/span/p/tdtd width="292" valign="top" style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent "p style="line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "中国工程院院士、清华大学副校长/span/p/tdtd width="69" valign="top" style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent "p style="line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "中国/span/p/tdtd width="138" valign="top" style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent "p style="line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "MEMS/span/p/td/trtrtd width="91" valign="top" style="border-width: 0px 1px 1px border-style: none solid solid border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext padding: 0px 7px border-image: none background-color: transparent "p style="text-align: left line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "许宁生/span/p/tdtd width="292" valign="top" style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent "p style="line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "中国科学院院士 、复旦大学副校长、国家重点研发计划“纳米科技”重点专项专家组组长/span/p/tdtd width="69" valign="top" style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent "p style="line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "中国/span/p/tdtd width="138" valign="top" style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent "p style="line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "第三代半导体/span/p/td/tr/tbody/tablep strong 3、展览设置/strong/pp  (一)、展览模式与规模/pp  展览会将按“展览+活动简讯+会议+路演+对接会+产品发布”相结合的模式,并结合经贸洽谈、科技交流活动,以市场化为导向,政府扶持,统一组织,突出重点和产业集群概念,吸引区内外企业参展与互动。展出面积约15000㎡,标准展位500个。br//pp style="text-align: center "img title="1.jpg" alt="1.jpg" src="https://img1.17img.cn/17img/images/201810/uepic/b6e1f627-f003-494e-baa9-7a7f1a26e717.jpg"//pp style="text-align: center "  2017年纳博会展区盛况/pp  (二)、展览构成/pp  纳米技术基础展与CHInano+主题展形式。/pp  纳米技术基础展:主要展示纳米材料、分析与检测、微纳制造技术、纳米生物与医药、纳米环保与清洁等。包含国家纳米技术国际创新园、国际团组展区、国际知名公司特装展区、国内企业展区 /pp  主题展区:纳米抗菌消毒展区、纳米技术与智慧家居展区、3D打印与增材制造展区、印刷电子展区、纳米与新能源汽车展区。/pp  CHInano+主题展之——FPE China国际柔性与印刷电子展:/pp  组织单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米科学研究所/pp  展出范围:印刷电子装置、印刷电子原材料、印刷电子加工设备、应刷电子终端应用产品等/pp  CHInano+主题展之——IDM+3D国际喷墨制造与3D打印展:/pp  组织单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米科学研究所/pp  展出范围:喷墨技术、喷墨制造与应用、3D打印相关产品与设备等/pp  CHInano+主题展之——纳米技术与新能源汽车展:/pp  组织单位:中国汽车工程学会/pp  展出范围:纳米技术与新能源汽车涂装、新型储能电池、车身轻量化等/pp  CHInano+主题展之——NAA第二届国际纳米抗菌消毒展:/pp  组织单位:中国微米纳米技术学会/pp  展出范围:纳米抗菌原材料、制备设备与分析检测仪器、纳米抗菌技术产品应用等/ppstrong  4、论坛设置:/strong/pp  2018年论坛及相关活动模式多样,形式灵活,约 10场论坛并多个同期活动,预期参会人员1600人。/pp  (一)专题技术论坛/pp  包含4个专业领域:/pp  第三届国际喷墨制造与3D打印国际会议/pp  主办单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米科学研究所/pp  论坛主席:谢永林/pp  大会简介:本届喷墨数码制造和3D打印国际会议邀请了国际国内相关研究单位专家和企业高级工程技术人员共同交流喷墨数码制造与3D打印技术和应用的最新进展和未来发展趋势。/pp  纳博会国际分析检测应用论坛/pp  主办单位: 胜科纳米、纳米所测试分析平台/pp  大会简介:论坛的宗旨是促进高精尖仪器在纳米技术和芯片领域分析检测的应用,解决纳米与芯片领域的疑难杂症,提升纳米技术领域分析检测技术水平/pp  第一届纳米碳材料应用技术前沿论坛/pp  主办单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米科学研究所/pp  大会简介:会议将汇聚碳纳米管、石墨烯、石墨炔等领域研究和产业化标杆性专家学者,分享最新进展、探讨其研发与应用中的机遇和挑战、推动其大规模产业化应用进程。/pp  (二)应用论坛/pp  第二届中澳先进技术创新论坛/pp  主办单位:江苏省产业技术研究院工业过程模拟与优化研究所/pp  大会简介:为了进一步加强领域内的交流,充分促进中澳学术交流与技术合作,东南大学-蒙纳士大学联合研究院、蒙纳士苏州研究院、东南大学以及江苏省产业技术研究院拟定于10月24-26日主办中澳先进技术创新论坛。论坛旨在探讨未来城市、能源环境、先进材料与制造、先进计算科学与工程、生命科学等先进技术发展趋势,并搭建国际交流与合作平台。20余名中澳院士专家学者将汇聚论坛并做精彩报告。/pp  第六届半导体器件加工工艺与技术研讨会/pp  主办单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米科学研究所/pp  大会简介:纳米技术是现代科学和现代技术结合的产物,纳米科学技术引发一系列新的科学技术,引领科学和产业发展的新纪元。大会邀请高校研究所及其企业著名纳米技术人才专家讲授纳米技术的前沿发展和相关专业知识,并针对半导体器件加工与工艺进行深入浅出的培训。/pp  纳博会新能源汽车论坛/pp  主办单位:中国汽车工程学会/pp  大会简介:论坛旨在为纳米材料及器件公司与汽车整车厂商之间搭建一个高水平多层次的交流平台,深化纳米技术在汽车领域的应用,特别是碳纳米纤维材料、富勒烯润滑油、石墨烯材料、多种轻型合金材料等。希望通过与国际知名汽车整车厂商的深入交流研讨,促进和扩大纳米技术企业在新能源汽车领域的深入参与和国际影响力。/pp  (三)国际对接活动/pp  投融资对接会/pp  产业对接活动/pp  1)纳米技术产业对接会/pp  2)纳米企业产品与技术发布会/pp  3)展商路演/pp  国际对接/pp  1)国际纳米技术圆桌会议/pp  2)国际-中国产业对接会/pp style="text-align: center "  日程安排br//ptable border="1" cellspacing="0" cellpadding="0"tbodytr class="firstRow" style="height: 41px "td width="99" height="41" valign="top" style="padding: 0px 7px border: 1px solid windowtext border-image: none background-color: transparent "p style="text-align: center line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "日期/span/p/tdtd width="153" height="41" valign="top" style="border-width: 1px 1px 1px 0px border-style: solid solid solid none border-color: windowtext windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px border-image: none background-color: transparent "p style="text-align: center line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "时间/span/p/tdtd width="339" height="41" valign="top" style="border-width: 1px 1px 1px 0px border-style: solid solid solid none border-color: windowtext windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px border-image: none background-color: transparent "p style="text-align: center line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "日程安排/span/p/td/trtr style="height: 40px "td width="99" height="40" valign="top" style="border-width: 0px 1px 1px border-style: none solid solid border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext padding: 0px 7px border-image: none background-color: transparent "p style="text-align: center line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "10/spanspan style="font-family: 宋体 "月span23/span日 (周二)/span/p/tdtd width="153" height="40" valign="top" style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: 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windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent "p style="line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "36m2/spanspan style="font-family: 宋体 "起租/span/p/tdtd width="110" height="25" style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent "p style="line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "¥span980 /m2/span/span/p/tdtd width="143" height="25" style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent "p style="line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "¥span1280 /m2/span/span/p/tdtd width="119" height="25" style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent "p style="line-height: 37px "span style="font-family: 宋体 "$400/m2/span/p/td/tr/tbody/tablep  展位说明:/pp  1)、标准展位:展位三面展板、一张咨询桌、两把折椅、两支射灯、中英文楣板、一个220V电源、地毯。/pp  2)、光地:参展商自己负责展位的设计、搭建、用电设备等及由此产生的费用。/pp  3)、按境内参展收费的展台不得出现境外公司的名称、商标、产品。/pp  4)、各论坛价格参见官网。/pp  纳博会工作委员会/pp  为方便服务展商报名、观众咨询,纳博会组委会特设纳博会工作委员会,就具体工作安排专门工作人员,方便大家直接对接,展位和企业活动安排所剩不多,企业参展从速!/pp /p
  • 电纺纳米纤维在创面治疗中的应用
    1.Mater. Lett.:负载磺胺嘧啶银的聚羟基丁酸-明胶纳米纤维基质的制备及其在烧伤创面治疗中的应用 ➣ 设计一种替代的伤口敷料是非常必要的,以克服诸如接触时间短、住院时间延长和防止继发感染等难题。➣ 研究者报告了负载磺胺嘧啶银(SSD)(0.2%w/v)的聚羟基丁酸(PHB)-明胶(70:30)纳米纤维基质的静电纺丝,以作为载体防止二度烧伤创面感染。➣ 纳米纤维基质具有良好的抗渗出物吸收和透氧性能。SSD的受控传输会降低敷料更换的频率。利用NIH3T3成纤维细胞评估了其生物相容性和细胞粘附。➣ 从第18天开始,体内烧伤创面支持增强的再上皮化和MMP-9的产生,显示出快速的伤口愈合趋势。➣ 作为一种替代的伤口敷料,纳米纤维支架通过降低敷料的更换频率和减少抗生素的不良反应来治疗烧伤创面。DOI:10.1016/j.matlet.2020.128541 2. ACS Biomater. Sci. Eng.:具有不同双重药物释放的多功能壳聚糖/聚己内酯纳米纤维支架,可用于伤口愈合 ➣ 第三军医大学张波设计并制备了具有多种功能的盐酸利多卡因(LID)和莫匹罗星负载壳聚糖/聚己内酯(CSLD-PCLM)支架,可用作伤口敷料。➣ 通过双喷头静电纺丝技术,支架获得了纳米纤维结构,这增强了支架与血细胞之间的界面相互作用,并显示出良好的凝血能力。➣ 负载LID和莫匹罗星的支架表现出LID的快速释放和莫匹罗星的持续释放。含有莫匹罗星的CSLD-PCLM支架具有出色的抗菌活性。此外,在全层皮肤缺损模型中,该支架显著促进了伤口愈合过程,并伴随完全重新上皮化以及胶原蛋白沉积。➣ CSLD-PCLM纳米纤维支架可以很好地满足伤口愈合过程的各种要求,是未来临床应用中很有前景的创面敷料。DOI:10.1021/acsbiomaterials.0c00674 3. Adv. Sci.:微流控3D打印技术制备立体超顺滑织物用于创面引流 ➣ 南京大学医学院赵远锦教授团队设计了一种受猪笼草超滑结构启发的,基于微流控3D打印技术的立体超顺滑织物。该织物实现了液体在三维空间、复杂维度内无损快速的运输,为提高创面引流效率提供了新的思路。➣ 研究人员利用微流控技术连续制备了SLIPS聚氨酯微纤维,通过电镜表征可以看出微纤维的表面具有较为均匀的孔洞且内部孔洞相互连通。➣ 由于液体石蜡的润滑性能,渗出物和血液可以快速无残留地通过超滑表面,织物因此可以不被杂质污染,从而降低感染的风险。此外,超顺滑织物隔离了海绵与创面,减少了海绵对组织的二次损伤,有效提升了创面修复的效果。DOI: 10.1002/advs.202000789 4. J. Photochem. Photobiol. A Chem.:具有有效光动力抗菌活性的金属-有机骨架/聚(ε-己内酯)杂化电纺纳米纤维膜 ➣ 中科院应化所栾世方通过可生物降解的PCL基质和光敏金属有机骨架(MOF)纳米晶体的共静电纺丝制备抗菌电纺垫的可行方法。➣ 将玫瑰孟加拉红(RB)一步封装到沸石咪唑酸酯骨架8(ZIF-8)中以获得光动力抗菌性RB@ZIF-8纳米粒子,然后与PCL基质共混,通过共静电纺丝制备复合聚合物纳米纤维。➣ 通过调节PCL中RB@ZIF-8的含量,在纳米纤维表面存在足够的MOF颗粒。得益于纳米纤维膜在可见光照射下产生活性氧(ROS),从而在体外对革兰氏阳性金黄色葡萄球菌和革兰氏阴性大肠杆菌(E.coli)进行剂量和时间依赖性灭活。➣ 细菌感染的伤口愈合实验表明,纳米纤维膜具有更好的修复细菌伤口感染和加速创面愈合的能力。DOI: 10.1016/j.jphotochem.2020.112626 5. Biomater. Sci.:含硫酸软骨素的镁矿化抗菌纳米纤维敷料的伤口愈合特性—共混和核-壳纳米纤维的比较 ➣ 研究了硫酸软骨素对含矿化镁的聚多巴胺交联电纺明胶纳米纤维的形态、机械性能、润湿性和生物相容性的影响。为了延长敷料的耐用性,研究者制备了以聚己内酯(PCL)和明胶为共混物或核-壳纳米纤维的复合敷料。➣ 在猪皮肤烧伤模型中,与未经治疗的烧伤相比,混合和核-壳纳米纤维敷料均显示出更好的再上皮化、伤口闭合和临床结果。➣ 活检组织的组织学研究表明,与未处理的烧伤相比,用核-壳纳米结构处理的烧伤具有平滑的再生和胶原组织。这项研究比较了复合纳米纤维的理化和生物学特性,该纤维能够加速烧伤创面愈合并具有抗菌特性,突出了它们作为伤口敷料和皮肤替代品的潜力。DOI:10.1039/D0BM00530D 6. Carbohydr. Polym.:含蜂蜜和荆芥的壳聚糖/聚乙烯醇生物纳米纤维创面愈合性能的体内评价 ➣ 构建生物支架以改善皮肤组织再生仍然是医疗保健方面的一项挑战。为了解决这一问题,研究者报告了负载蜂蜜和荆芥属植物的电纺聚乙烯醇和壳聚糖(PVA/Chit)纳米纤维垫的制备和表征,以加快伤口愈合。➣ 通过SEM和TEM检查了纳米纤维垫的形态。利用FT-IR和TGA/DTA对纳米纤维进行了物理化学和热稳定性表征,揭示了纳米纤维中蜂蜜和所需植物的存在。➣ 研究了PVA/Chit@Nep/Hon作为一种潜在的治疗药物在伤口愈合治疗中的作用。对大鼠进行了为期21天的体内伤口愈合研究,发现蜂蜜和植物掺入纳米纤维垫后,三周内伤口愈合更快,因此这种纳米纤维垫在急慢性伤口愈合应用中显示出巨大潜力。DOI:10.1016/j.carbpol.2020.116315
  • 十一种化学气相沉积(CVD)技术盘点
    CVD(化学气相沉积)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术,包括大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料。从理论上来说,它是很简单的:两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内,然后他们相互之间发生化学反应,形成一种新的材料,沉积到晶片表面上。淀积氮化硅膜(Si3N4)就是一个很好的例子,它是由硅烷和氮反应形成的。化学气相沉积法是传统的制备薄膜的技术,其原理是利用气态的先驱反应物,通过原子、分子间化学反应,使得气态前驱体中的某些成分分解,而在基体上形成薄膜。化学气相沉积包括常压化学气相沉积、等离子体辅助化学沉积、激光辅助化学沉积、金属有机化合物沉积等。不过随着技术的发展,CVD技术也不断推陈出新,出现了很多针对某几种用途的专门技术,在此特为大家盘点介绍一些CVD技术。等离子体增强化学气相沉积(PECVD)等离子体增强化学气相沉积是在化学气相沉积中,激发气体,使其产生低温等离子体,增强反应物质的化学活性,从而进行外延的一种方法。该方法可在较低温度下形成固体膜。例如在一个反应室内将基体材料置于阴极上,通入反应气体至较低气压(1~600Pa),基体保持一定温度,以某种方式产生辉光放电,基体表面附近气体电离,反应气体得到活化,同时基体表面产生阴极溅射,从而提高了表面活性。在表面上不仅存在着通常的热化学反应,还存在着复杂的等离子体化学反应。沉积膜就是在这两种化学反应的共同作用下形成的。激发辉光放电的方法主要有:射频激发,直流高压激发,脉冲激发和微波激发。等离子体增强化学气相沉积的主要优点是沉积温度低,对基体的结构和物理性质影响小;膜的厚度及成分均匀性好;膜组织致密、针孔少;膜层的附着力强;应用范围广,可制备各种金属膜、无机膜和有机膜。【市场分析】上海市采购量独占鳌头——半导体仪器设备中标市场盘点系列之CVD篇高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD)HDP-CVD 是一种利用电感耦合等离子体 (ICP) 源的化学气相沉积设备,是一种越来越受欢迎的等离子体沉积设备。HDP-CVD(也称为ICP-CVD)能够在较低的沉积温度下产生比传统PECVD设备更高的等离子体密度和质量。此外,HDP-CVD 提供几乎独立的离子通量和能量控制,提高了沟槽或孔填充能力。但是,HDP-CVD 配置的另一个显著优势是,它可以转换为用于等离子体刻蚀的 ICP-RIE。 在预算或系统占用空间受限时,优势明显。听起来可能很奇怪。但是这两种类型的工艺确实可以在同一个系统中运行。虽然存在一些内部差异,例如额外的气体入口,但两种设备的核心结构几乎完全相同。在HDP CVD工艺问世之前,大多数芯片厂普遍采用PECVD进行绝缘介质的填充。这种工艺对于大于0.8微米的间隔具有良好的填孔效果,然而对于小于0.8微米的间隙,PECVD工艺一步填充具有高的深宽比的间隔时会在间隔中部产生夹断和空洞。在探索如何同时满足高深宽比间隙的填充和控制成本的过程中诞生了HDP CVD工艺,它的突破创新之处在于,在同一个反应腔中同步地进行沉积和刻蚀工艺。微波等离子化学气相沉积(MPCVD)微波等离子化学气相沉积技术(MPCVD)适合制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量硬质薄膜和晶体。MPCVD是制备大尺寸单晶金刚石有效手段之一。该方法利用电磁波能量来激发反应气体。由于是无极放电,等离子体纯净,同时微波的放电区集中而不扩展,能激活产生各种原子基团如原子氢等,产生的离子的最大动能低,不会腐蚀已生成的金刚石。通过对MPCVD沉积反应室结构的结构调整,可以在沉积腔中产生大面积而又稳定的等离子体球,因而有利于大面积、均匀地沉积金刚石膜,这一点又是火焰法所难以达到的,因而微波等离子体法制备金刚石膜的优越性在所有制备法中显得十分的突出。微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(ECR-MPCVD)在MPCVD中为了进一步提高等离子体密度,又出现了电子回旋共振MPCVD(Electron Cyclotron Resonance CVD,简称ECR-MPCVD)。由于微波CVD在制备金刚石膜中的独有优势,使得研究人员普遍使用该方法制备金刚石膜,通过大量的研究,不仅在MPCVD制备金刚石膜的机理上取得了显著的成果,而且用CVD法制备的金刚石膜也广泛的用于工具、热沉、光学、高温电子等领域的工业研究与应用。超高真空化学气相沉积(UHV/CVD)超高真空化学气相沉积(UHV/CVD)是制备优质亚微米晶体薄膜、纳米结构材料、研制硅基高速高频器件和纳电子器件的关键的先进薄膜技术。超高真空化学气相沉积技术发展于20世纪80年代末,是指在低于10-6 Pa (10-8 Torr) 的超高真空反应器中进行的化学气相沉积过程,特别适合于在化学活性高的衬底表面沉积单晶薄膜。石墨烯就是可以通过UHV/CVD生产的材料之一。与传统的气相外延不同,UHV/CVD技术采用低压和低温生长,能够有效地减少掺杂源的固态扩散,抑制外延薄膜的三维生长。UHV/CVD系统反应器的超高真空避免了Si衬底表面的氧化,并有效地减少了反应气体所产生的杂质掺入到生长的薄膜中。在超高真空条件下,反应气分子能够直接传输到衬底表面,不存在反应气体的扩散及分子间的复杂相互作用,沉积过程主要取决于气-固界面的反应。传统的气相外延中,气相前驱物通过边界层向衬底表面的扩散决定了外延薄膜的生长速率。超高真空使得气相前驱物分子直接冲击衬底表面,薄膜的生长主要由表面的化学反应控制。因此,在支撑座上的所有基片(衬底)表面的气相前驱物硅烷或锗烷分子流量都是相同的,这使得同时在多基片上实现外延生长成为可能。低压化学气相沉积(LPCVD)低压化学气相沉积法(Low-pressure CVD,LPCVD)的设计就是将反应气体在反应器内进行沉积反应时的操作压力,降低到大约133Pa以下的一种CVD反应。LPCVD压强下降到约133Pa以下,与此相应,分子的自由程与气体扩散系数增大,使气态反应物和副产物的质量传输速率加快,形成薄膜的反应速率增加,即使平行垂直放置片子片子的片距减小到5~10mm,质量传输限制同片子表面化学反应速率相比仍可不予考虑,这就为直立密排装片创造了条件,大大提高了每批装片量。以LPCVD法来沉积的薄膜,将具备较佳的阶梯覆盖能力,很好的组成成份和结构控制、很高的沉积速率及输出量。再者LPCVD并不需要载子气体,因此大大降低了颗粒污染源,被广泛地应用在高附加价值的半导体产业中,用以作薄膜的沉积。LPCVD广泛用于二氧化硅(LTO TEOS)、氮化硅(低应力)(Si3N4)、多晶硅(LP-POLY)、磷硅玻璃(BSG)、硼磷硅玻璃(BPSG)、掺杂多晶硅、石墨烯、碳纳米管等多种薄膜。热化学气相沉积(TCVD)热化学气相沉积(TCVD)是指利用高温激活化学反应进行气相生长的方法。广泛应用的TCVD技术如金属有机化学气相沉积、氯化物化学气相沉积、氢化物化学气相沉积等均属于热化学气相沉积的范围。热化学气相沉积按其化学反应形式可分成几大类:(1)化学输运法:构成薄膜物质在源区与另一种固体或液体物质反应生成气体.然后输运到一定温度下的生长区,通过相反的热反应生成所需材料,正反应为输运过程的热反应,逆反应为晶体生长过程的热反应。(2)热解法:将含有构成薄膜元素的某种易挥发物质,输运到生长区,通过热分解反应生成所需物质,它的生长温度为1000-1050摄氏度。(3)合成反应法:几种气体物质在生长区内反应生成所生长物质的过程,上述三种方法中,化学输运法一般用于块状晶体生长,分解反应法通常用于薄膜材料生长,合成反应法则两种情况都用。热化学气相沉积应用于半导体材料,如Si,GaAs,InP等各种氧化物和其它材料。高温化学气相沉积(HTCVD)高温化学气相沉积是碳化硅晶体生长的重要方法。HTCVD生长碳化硅晶体是在密闭的反应器中,外部加热使反应室保持所需要的反应温度(2000℃~2300℃)。高温化学气相沉积是在衬底材料表面上产生的组合反应,是一种化学反应。它涉及热力学、气体输送及膜层生长等方面的问题,根据反应气体、排出气体分析和光谱分析,其过程一般分为以下几步:混合反应气体到达衬底材料表面;反应气体在高温分解并在衬底材料表面上产生化学反应生成固态晶体膜;固体生成物在衬底表面脱离移开,不断地通入反应气体,晶体膜层材料不断生长。中温化学气相沉积(MTCVD)MTCVD硬质涂层工艺技术,在20世纪80年代中期就已问世,但在当时并没有引起人们的重视,直到20世纪90年代中期,世界上主要硬质合金工具生产公司,利用HTCVD和MTCVD技术相结合,研究开发出新型的超级硬质合金涂层材料,有效地解决了在高速、高效切削、合金钢重切削、干切削等机械加工领域中,刀具使用寿命低的难高强度题才引起广泛的重视。目前,已在涂层硬质合金刀具行业投入生产应用,效果十分显著。MTCVD技术沉积工艺如下。沉积温度:700~ 900℃;沉积反应压力:2X103~2X104Pa;主要反应气体配比: CH3CN:TiCl4:H2=0.01:0.02:1;沉积时间:1一4h。金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。通常MOCVD系统中的晶体生长都是在常压或低压(10-100Torr)下通H2的冷壁石英(不锈钢)反应室中进行,衬底温度为500-1200℃,用直流加热石墨基座(衬底基片在石墨基座上方),H2通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区。MOCVD适用范围广泛,几乎可以生长所有化合物及合金半导体,非常适合于生长各种异质结构材料,还可以生长超薄外延层,并能获得很陡的界面过渡,生长易于控制,可以生长纯度很高的材料,外延层大面积均匀性良好,可以进行大规模生产。激光诱导化学气相沉积(LCVD)LCVD是利用激光束的光子能量激发和促进化学气相反应的沉积薄膜方法。在光子的作用下,气相中的分子发生分解,原子被激活,在衬底上形成薄膜。这种方法与常规的化学气相沉积(CVD)相比,可以大大降低衬底的温度,防止衬底中杂质分布截面受到破坏,可在不能承受高温的衬底上合成薄膜。与等离子体化学气相沉积方法相比,可以避免高能粒子辐照在薄膜中造成损伤。根据激光在化学气相沉积过程中所起的作用不同可以将LCVD分为光LCVD和热LCVD,它们的反应机理也不尽相同。光LCVD是利用反应气体分子或催化分子对特定波长的激光共振吸收,反应分子气体收到激光加热被诱导发生离解的化学反应,在合适的制备工艺参数如激光功率、反应室压力与气氛的比例、气体流量以及反应区温度等条件下形成薄膜。光LCVD原理与常规CVD主要不同在于激光参与了源分子的化学分解反应,反应区附近极陡的温度梯度可精确控制,能够制备组分可控、粒度可控的超微粒子。热LCVD主要利用基体吸收激光的能量后在表面形成一定的温度场,反应气体流经基体表面发生化学反应,从而在基体表面形成薄膜。热LCVD过程是一种急热急冷的成膜过程,基材发生固态相变时,快速加热会造成大量形核,激光辐照后,成膜区快速冷却,过冷度急剧增大,形核密度增大。同时,快速冷却使晶界的迁移率降低,反应时间缩短,可以形成细小的纳米晶粒。除以上提到的薄膜沉积方法外,还有常压化学气相沉积(APCVD)等分类技术。
  • 摩方精密和瑞士Exaddon AG微纳金属3D打印达成合作
    2021年12中旬,瑞士Exaddon AG公司与重庆摩方精密科技有限公司(以下简称“摩方精密”)正式签署了战略合作协议,摩方精密将为Exaddon AG在中国区的微纳金属3D打印设备提供服务和推广。 重庆摩方精密科技有限公司于2016年成立,6年来一直致力于微纳3D打印领域的技术创新和应用转化,有着专业的团队和成熟的技术,以及丰富的微纳3D打印行业资源,得到客户的广泛认可。目前,摩方精密已拥有来自全球29个国家近850家合作客户。作为微纳3D打印的龙头企业,摩方精密主营业务是基于光固化的树脂及陶瓷浆料的打印设备,而在多年的经营中发现越来越多客户提出了更多更高的需求,例如需要更加精密的金属打印能力。因此,为了更好的服务更多的中国用户,摩方精密基于6年来的经验积累,在众多金属打印设备中选择了Exaddon AG的CERES,该系统是Exaddon AG公司基于电化学沉积(Electrochemical Deposition)技术推出的微纳金属3D打印机,可以打印超高精密金属器件,该系统非常适用于生物传感、高频通讯器件、微流控、传热和微机械等领域的创新研究,也有望在工业功能性器件的生产制备中发挥巨大潜力。 CERES 3D打印系统 “摩方精密是我们在微纳3D打印这个独特领域的一个非常理想的合作伙伴,摩方精密在亚太的微纳树脂及陶瓷浆料打印市场有着特别丰富的经验和积累,他们有着非常强大的市场销售团队及优质客户群体,现在与我们微纳金属3D打印相结合,相信未来可以更好地拓展微纳3D打印的市场!”Exaddon AG公司CEO Edgar Hepp说道。关于Exaddon AG瑞士Exaddon AG公司,致力于提供高精度和创新的微纳金属3D打印解决方案,力求在创新的前沿,基于电化学沉积技术的金属微增材制造技术,CERES可以在室温下以亚微米级分辨率打印复杂的微金属结构,尺寸从1 μm到1000 μm(人类的头发一般为80~90微米),并且无需进行后处理。 关于摩方精密重庆摩方精密科技有限公司(BMF,Boston Micro Fabrication)成立于2016年,专注于高精密3D打印领域,是全球高精密3D打印技术及精密加工能力解决方案提供商。目前,摩方在新加坡、波士顿、深圳、东京和重庆均设有办事处,拥有来自全球29个国家近850家合作客户。有关BMF的更多信息,请访问www.bmftec.cn网站。
  • Nano Energy:分子层沉积技术助力铂基催化剂性能提升
    由于在氢氧化(hydrogen oxidation)和氧还原(oxygen reduction)反应中的高效催化特性,铂基催化剂被广泛地应用于质子交换膜燃料电池当中的关键组成部分,比如阴和阳。然而,当质子交换膜燃料电池在较为严苛的环境下(比如低pH环境(<1)、高的氧浓度、高湿度等)运行时,商用的铂/碳催化剂会展现出耐用性低的问题。由于Ostwald熟化效应、铂纳米颗粒的脱离、铂纳米颗粒的团聚等问题,铂/碳催化剂的活性会显著下降。因此,开发有效方案来稳固铂基催化剂从而防止其活性在燃料电池运行时的损耗,是非常重要的。 针对上述问题,加拿大西安大略大学的孙学良教授课题组,开创性地利用退火MLD(Molecular Layer Deposition,MLD,分子层沉积)夹层结构来固定铂纳米颗粒,从而实现了铂基催化剂性能的提升,相关结果刊载于Nano Energy(https://doi.org/10.1016/j.nanoen.2019.03.033)。在孙教授团队的工作中,MLD衍生层是通过三基铝和丙三醇合成在掺氮碳纳米管(nitrogen-doped carbon nanotubes,NCNT)上的,此后通过煅烧获得多孔结构。后,通过ALD工艺,铂纳米颗粒被沉积在MLD-NCNT载体之上。多孔结构有益于稳固铂纳米颗粒、避免团聚以及从载体上脱离。相较于沉积在掺氮碳纳米管(NCNT)上的铂催化剂来说,沉积在MLD-NCNT载体上的Pt催化剂展示出了显著提升的氧化还原反应活性以及耐用性。文中利用X射线吸收光谱等手段,详细揭示了增强的机制。 图1 NCNT-MLD-Pt的制备流程示意图以及出色特性(图片来源:Nano Energy:Rational design of porous structures via molecular layer deposition as an effective stabilizer for enhancing Pt ORR performance) 相较于ALD(Atomic layer deposition,ALD,原子层沉积)来说,MLD技术还比较新。MLD技术可以视为ALD技术的亚类,具有与ALD相似的气相沉积工艺,基于序列及自限制反应,在分子尺度上生长材料,目前比较多涉及的是有机聚合物或者无机-有机杂化材料。由于本质上属于ALD技术的衍生技术,因此MLD技术具备了ALD技术的主要优点:优异的三维共形性、大面积均匀性、良好的工艺重复性、膜厚或组成的控制、分子结构或官能团的裁剪,以及较低的沉积工艺温度。然而,由于MLD工艺中采用有机分子作为前驱体,有机分子前驱体的蒸汽压低、热稳定性差,因而反应活性较低。此外,MLD工艺中的有机分子前驱体存在同质官能团引起的双反应现象,会使得沉积速率变慢,甚至是发生非线性的反应生长速率。所以,利用MLD工艺沉积新材料,对于设备和工艺掌控都提出了较高的要求。 在本文当中,孙教授团队利用MLD沉积铝氧烷所用的设备是美国Arradiance公司生产的型号为Gemstar-8 的台式ALD沉积系统,此套系统直接与手套箱相联,手套箱中为氩气气氛。在本工作之前,孙教授所在课题组已经利用MLD技术合成了铝氧烷,并且将铝氧烷涂层应用于提高碳/硫阴或碱金属阳的电化学特性。制备当中,他们采用三基铝和丙三醇作为前驱体,在150 ℃的条件下将,将前驱体依次通入腔体当中。 另一方面,目前大多数无机-有机杂化物质对于空气中的湿度非常敏感,不稳定。由于Arradiance公司生产的台式ALD系列产品,非常小巧,并且非常友善周到地为用户们预留了可以与各类市场主流手套箱集成的接口,从而使得无机-有机杂化物质在制备完成后可以在惰性环境中转移至其他实验环境或是进行其他实验。 图2 Arradiance台式原子层沉积系统,设计紧凑,功能齐全,堪称“麻雀虽小五脏俱全” 图3 紧凑而友善的设计理念,使得Arradiance ALD系统可以方便地与手套箱集成,满足用户的特殊实验需求
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