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晶圆测量晶圆制备系统

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  • 我国突破12英寸二维半导体晶圆批量制备技术
    7月4日,《科学通报》以《模块化局域元素供应技术批量制备12英寸过渡金属硫族化合物》为题,在线发表了松山湖材料实验室/北京大学教授刘开辉、中国科学院院士王恩哥团队,松山湖材料实验室/中国科学院物理研究所研究员张广宇团队及合作者最新研究成果。该研究提出模块化局域元素供应生长技术,成功实现了半导体性二维过渡金属硫族化合物晶圆批量化高效制备,晶圆尺寸可从2英寸扩展至与现代半导体工艺兼容的12英寸,有望推动二维半导体材料由实验研究向产业应用过渡,为新一代高性能半导体技术发展奠定了材料基础。二维半导体是一种新兴半导体材料,具有优异的物理化学性质,以单层过渡金属硫族化合物为代表。与传统半导体发展路线类似,晶圆材料是推动二维半导体技术迈向产业化的根基。如何实现批量化、大尺寸、低成本制备二维半导体晶圆是亟待解决的科学问题。针对二维半导体晶圆的尺寸放大与批量制备核心科学问题,研究人员提出了一种全新的模块化局域元素供应生长策略,实现了二维半导体最大到12英寸晶圆的批量化制备。为了解决批量化制备的难题,研究人员在单层过渡金属硫族化合物制备过程中,实验设计将所需的多种前驱体与生长衬底以“面对面”模式组装构成单个生长模块。过渡金属元素与硫族元素按精确比例局域供应至生长衬底,实现单层过渡金属硫族化合物晶圆的高质量制备。多个生长模块可通过纵向堆叠组成阵列结构,实现多种尺寸晶圆薄膜的低成本批量化制备。该研究成果为二维半导体晶圆的大尺寸、规模化制备提供了一种全新的技术方案,有望推动二维半导体走向产业应用。值得一提的是,松山湖材料实验室在前沿科学研究和创新样板工厂两大核心板块都布局了二维半导体方向的研究。近3年来,该实验室针对二维半导体晶圆制备和规模化器件构筑取得系列进展,在国际上引起广泛关注。
  • 电镜学堂丨扫描电子显微镜样品要求及制备 (一) - 常规样品制备
    这里是TESCAN电镜学堂第6期,将继续为大家连载《扫描电子显微镜及微区分析技术》(本书简介请至文末查看),帮助广大电镜工作者深入了解电镜相关技术的原理、结构以及最新发展状况,将电镜在材料研究中发挥出更加优秀的性能!样品制备对扫描电镜观察来说也至关重要,样品如果制备不好可能会对观察效果有重大影响。通常希望观察的样品有尽可能好的导电性,否则会引起荷电现象,导致电镜无法进行正常观察;另外样品还需要有较好的导热性,否则轰击点位置温度升高,使得试样中的低熔点组分挥发,形成辐照损伤,影响真实的形貌观察。如果要进行EDS/WDS/EPMA定量检测,还需要样品表面尽可能平整。第一节 常规样品制备样品制备主要包括取样、清洗、粘样、镀膜处理几个步骤。§1. 取样在进行扫描电镜实验时,在可能的条件下,试样应该尽量小,试样有代表性即可。特别在分析不导电试样时,小试样能改善导电性和导热性能。另外,大试样放入样品室会有较多气体放出,特别是多孔材料,不但影响真空度,还大幅度增加抽真空的时间,可能也会引入更多的污染。因此对于多孔材料在放入电镜前,可以在不损伤样品的前提下,对样品进行一定的热处理,比如电吹风吹,红外灯烘烤,或者放入烘箱低温加热一段时间,将其空隙的气体排出,以减小进入电镜后的抽真空时间。对于薄膜截面来说最好能够进行切割、镶嵌、抛光等处理。在镶嵌时最好能将试样一分为二,将要观察的膜面朝里然后对粘,然后再进行镶嵌、抛光处理。这样做的好处是避免在抛光过程中因为膜面和镶嵌料之间的力学性能有一定的差异,而引起薄膜的脱落或者出现裂纹和缝隙,如图4-1。对粘后的膜面两面力学性能一样,会改善此种情况。 图4-1 单膜面力学性能不对称引起的损伤对于比较软的样品在制截面时,一般不要用剪刀直接剪断,直接剪断的截面经过了剪切的拉扯,质量较差。可以考虑用锋利的刀片切断,比如手术刀片等。或者在将试样浸泡在液氮中进行冷冻脆断。在冷冻脆断前可以先切一个小缺口,这样冻硬的样品可以顺着切口用较小的力就可发生断裂。有条件的话可以考虑用截面离子束抛光或者FIB抛光。对于粉末样品来说,取样要少量,否则粉末堆叠在一起会影响导电性和稳定性。粉末样品团聚严重的话,可以考虑将粉末混合在易挥发溶剂中(如纯水、乙醇、正己烷、环己烷等),配成一定浓度的悬浊液,用超声分散,然后取小滴滴在试样座或者硅片、铜(铝)导电胶带上。此时不要使用碳导电胶带,因为碳导电胶带不够致密,会使得样品嵌入在空隙中影响观察。等待溶剂挥发干燥后,粉体靠表面吸附力粘附在基底上,如图4-2。 图4-2 粉末超声分散制样不过值得注意的是溶剂的选择,溶剂不能对要观察的试样有影响,否则会改变试样的初始形貌而使得图像失真。如图4-3,高分子球样品在用水稀释分散后仍为球形,而用无水乙醇分散后,形貌发生了变化。 图4-3 水(左)和乙醇(右)稀释分散对形貌的影响§2. 清洗试样尽可能保证新鲜,避免沾染油污。特别是不要直接用手直接接触试样,以免沾染油脂。清洁不仅仅是针对试样的要求,同样还包括了样品台。样品台要做到经常用无水乙醇进行清洗。§3. 粘样试样的粘贴应该尽量保持平稳、牢固,并尽可能减少接触电阻,以增加导电性和导热性。特别是对于底面不平整的试样,最好用银胶进行粘贴,让银胶填满缝隙以保证平稳。如果要进行EBSD测试,最好也用银胶。EBSD采集要经过70度的倾转,重力力矩较大,而导电胶带有一定的弹性,可能会因为重力缘故而逐步拉伸,导致样品漂移。此外,平时大多数试样都是采用碳导电胶带进行粘贴,不过如果要进行极限分辨率的观察,最好也用银胶,以进一步增加导电性。我们粘贴样品的目的是使得样品要观察的表面要能和样品台底座之间具有导电通路,而不是仅仅认为表面导电就好。样品表面导电性再好,如果没有导电通路和样品台联通的话,仍然会有荷电。特别是对于不规则样品,更要注意粘贴时候的导电通路。如图4-4,左边与中间的表面并未和样品台导通,属于不合理的粘贴,而右边形成了通路,是合理的粘贴方式。 图4-4 合理(右)与不合理(左、中)的粘贴对于很多规则样品,比如块体或者薄片样品,也存在很多不合理的粘贴方式。很多人认为试样有一定的导电性,就将试样直接粘在导电胶带上,如图4-5左。样品表面和样品台之间依然会出现没有通路的情况,有时即使样品导电性好,可能也会因为有较大的接触电阻使得图像有微弱的荷电或者在大束流工作下有图像漂移。而图4-5右,则是开始将导电胶带故意留一段长度,将多余的长度反粘到试样表面去。这样使得不管样品体内导电性如何,表面都能通过导电胶带形成通路。而且即使样品整个体内都有较好的导电性,连接到表面的导电胶带相当于一个并联电路,并联电路的总电阻总是小于任何一个支路的电阻,所以无论试样的导电性任何,都应习惯性的将一段导电胶带连接到表面,以进一步减小接触电阻,增强导电性。 图4-5 将导电胶带延伸到试样表面的粘贴 对于粉末试样的粘贴,也是要少量,避免粉末的堆叠影响导电性和导热性。粉体可以取少量直接撒在试样座的双面碳导电胶上,用表面平的物体,例如玻璃板或导电胶带的蜡纸面压紧,然后用洗耳球吹去粘结不牢固的颗粒,如图4-6左。如果粉末量很少,无法用棉签或药勺进行取样,也可将碳导电胶带直接去粘贴粉末,如图4-6右。 图4-6 粉末试样的粘贴方法§4. 镀膜对于导电性不好的试样,我们通常可以选择镀膜处理。通常情况我们选择镀金Au膜,如果对分辨率有较高的要求,可以选择镀铂Pt、铬Cr、铱Ir。如果要对样品进行严格的EDS定量分析,则不能镀金属膜,因为金属膜对X射线有较强的吸收,对定量有较大影响,此时可选用蒸镀碳膜。现在的镀膜设备一般都能精确控制膜厚,通常镀5nm的薄膜就足够改善导电性,对于有些特殊结构的试样,比如海绵或泡沫状,表面不致密,即使镀较厚的导电层,也难以形成通路。所以我们镀膜尽量控制在10nm以下,如果镀10nm的导电膜仍没有改善导电性,继续增加镀膜也没有意义。一般镀金的话在10万倍左右就能看见金颗粒,镀铂的话可能需要放大到20万倍才能看见铂颗粒,而镀铬或者铱则需要放大到接近30万倍。所以对于导电性不好的试样来说,可以根据需要选择不同的镀膜。镀膜之后,由金属膜代替试样来发射二次电子,而一般镀的金、铂都有较高的二次电子激发率,在镀膜之后还能增强信号强度和衬度,提升图片质量。只要镀膜不会掩盖试样的真实细节,完全可以进行镀膜处理,而不用纠结于一定要不镀膜进行观察,除非有特别不能镀膜的要求。当然,对于要求倍数特别高或者严格测量的一些观察要求,则要谨慎镀膜处理。毕竟在高倍数下,镀膜会掩盖一定的形貌,或者使测量产生偏差。如图4-7,左边是镀金处理的PS球在SEM下的测量结果,右边是TEM直接拍摄的结果,可以发现SEM的测量结果大约在195nm左右,而TEM的测量结果在185nm左右,这就是因为给PS球镀了5nm金而引起直径扩大了10nm左右。 图4-7 PS球在SEM下镀膜观察和TEM直接观察的对比除了不导电样品需要镀膜,对于一些导热性不佳的试样,有时也需要镀膜。电子束轰击试样时,很多能量转变成热能,使得轰击点温度升高,升高温度表达式为ΔT(K) = 4.8 × VI / kd其中,V为加速电压、I为束流、d为电子束直径,k为试样热导率。对于导热性差的试样,k较低,ΔT有时能接近1000K,很容易对试样造成损伤。比如有时候对高分子样品进行观察时,会发现样品在不断的变化,其实是样品受到电子束轰击造成了辐照损伤损伤,如图4-8。而经过镀膜后,可以提高热导率,降低升温程度,避免样品受到电子束辐照损伤。 图4-8 电子束辐照损伤【福利时间】每期文章末尾小编都会留1个题目,大家可以在留言区回答问题,小编会在答对的朋友中选出点赞数最高的两位送出本书的印刷版。【奖品公布】上期获奖的这位童鞋,请后台私信小编邮寄地址,我们会在收到您的信息并核实后即刻寄出奖品。 【本期问题】如果要对样品进行严格的EDS定量分析,可以镀金属膜吗,为什么?(快关注“TESCAN公司”微信公众号去留言区回答问题领取奖品吧→)简介《扫描电子显微镜及微区分析技术》是由业内资深的技术专家李威老师(原上海交通大学扫描电镜专家,现任TESCAN技术专家)、焦汇胜博士(英国伯明翰大学材料科学博士,现任TESCAN技术专家)、李香庭教授(电子探针领域专家,兼任全国微束分析标委会委员、上海电镜学会理事)编著,并于2015年由东北师范大学出版社出版发行。本书编者都是非常资深的电镜工作者,在科研领域工作多年,李香庭教授在电子探针领域有几十年的工作经验,对扫描电子显微镜、能谱和波谱分析都有很深的造诣,本教材从实战的角度出发编写,希望能够帮助到广大电镜工作者,特别是广泛的TESCAN客户。这里插播一条重要消息:TESCAN服务热线 400-821-5286 开通“应用”和“维修”两条专线啦!按照语音提示呼入帮你更快找到想要找的人 ↓ 往期课程,请关注“TESCAN公司”微信公众号查看: 电镜学堂丨扫描电子显微镜的基本原理(一) - 电子与试样的相互作用电镜学堂丨扫描电子显微镜的基本原理(二) - 像衬度形成原理电镜学堂丨扫描电子显微镜的基本原理(三) - 荷电效应电镜学堂丨扫描电子显微镜的结构(一) - 电子光学系统电镜学堂丨扫描电子显微镜的结构(二) - 探测器系统
  • 268万!南京农业大学园艺学院氮素连续流动分析仪及样品制备系统等采购项目
    项目编号:ZF20220131项目名称:南京农业大学园艺学院氮素连续流动分析仪及样品制备系统等采购项目预算金额:268.0000000 万元(人民币)采购需求:包件一:氮素连续流动分析仪及样品制备系统 预算金额:人民币50万元;超高速冷冻落地式离心机 预算金额:人民币55万元包件二:全自动轮转式半薄切片机 预算金额:人民币35万元包件三:高效液相色谱仪 预算金额:人民币30万元包件四:EAG昆虫触角电位测量系统 预算金额:人民币48万元包件五:自定位手持式三维激光扫描仪 预算金额:人民币50万元投标人的投标报价超过预算金额的将作无效投标处理。采购需求:1)本项目分为五个包件,投标人可对其中一个或多个包件进行报价,须对所投包件中所有内容进行报价。2)本项目同一家投标人不限定中标包件数。包件一:氮素连续流动分析仪及样品制备系统、超高速冷冻落地式离心机包件二:全自动轮转式半薄切片机包件三:高效液相色谱仪包件四:EAG昆虫触角电位测量系统包件五:自定位手持式三维激光扫描仪(具体内容详见招标文件第三部分 采购需求)项目地点:招标人指定地点(南京农业大学)。是否专门面向中小企业采购:否,本项目面向大、中、小、微型企业,事业法人等各类供应商采购。本项目是否接受进口产品响应:包件五不接受进口产品,其他包件均接受进口产品。(进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自境外的产品)。合同履行期限:合同签订后120天内到货完成安装调试并验收合格。本项目( 不接受 )联合体投标。
  • 安捷伦推出新型快速制备纯化系统
    2011 年 3 月 15日,北京 — 安捷伦科技公司(纽约证交所:A) 今日推出了 Agilent 971-FP Flash LC纯化系统,这是一款为药物化学工程师量身打造的个人快速制备纯化色谱仪,能够对新合成的化合物进行快速、简单以及可靠的纯化。  该仪器具有新的软件界面,操作简单方便,且易于跟踪样品。“Guide Me”向导简化了系统设置,还免去了大量繁琐的方法开发设置。“Six-Clicks”触摸屏对话框进一步提高了分离的便利性,以前繁琐的步骤如今变得简单便捷。化学工程师通过该新系统能够利用薄层色谱结果来优化快速制备的分离方法,甚至还可以在运行过程当中进行更改,进一步缩短方法开发的时间。  Agilent 971-FP 快速制备纯化系统的设计, 旨在短短几分钟内从几十克目标化合物中以最大回收率和纯度获得毫克级样品。仪器的若干特征的设计都是为了确保珍贵样品的回收率。  脉冲式氙灯比标准紫外检测器的预热时间减少了大约十分钟,从而提高了效率。独特的气泡探测器能够降低溶剂灌注时间,进一步加快分析速度。  安捷伦液相分离事业部市场经理 Helmut Schulenberg-Schell 说:“我们非常高兴能够为药物化学工程师提供与分析液相色谱和气相色谱相同水平的质量和售后支持的Flash LC色谱。今后,我们用于药物发现的产品系列里又增加了一名优秀成员。”  有关 Agilent 971-FP 快速制备纯化系统(Flash LC)的更多信息,请访问 www.agilent.com/chem/flash:cn 。  关于安捷伦科技公司  安捷伦科技公司(NYSE : A)是世界领先的测量仪器公司,同时也是化学分析、生命科学、电子测量和通讯领域的技术引领者。公司现有 18500 名员工,为超过 100 个国家的客户提供服务。安捷伦科技公司在2010财年的净收入为54亿美元。有关安捷伦科技公司的更多资讯请访问公司官网www.agilent.com.cn。
  • 日提取通量超10万 这款高通量自动样本制备系统已驰援全国30余城
    p style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "span style="text-indent: 2em "目前,华大智造/spanstrong style="text-indent: 2em "MGISP-960/strongspan style="text-indent: 2em "和/spanstrong style="text-indent: 2em "MGISP-100/strongspan style="text-indent: 2em "两款自动化样本制备系统均已获得NMPA认证。其中,MGISP-960的通量已从原有的96样本/60分钟升级为192样本/80分钟,可满足复工期间更高通量筛查的紧急需求。/span/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/8265429d-5b16-49a4-8d6b-adef65a2f2a7.jpg" title="1 华大智造.jpg" alt="1 华大智造.jpg"//pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "除装备武汉“火眼”实验室,确保每天万人份的检测能力之外,华大智造高通量自动化样本制备系统已驰援全国30余个城市及地区的医疗机构和疾控中心,在新冠病毒检测一线已贡献日均超过10万样本的理论提取通量,成为各地疫情防控的重要力量。/pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "接下来,我们将走进部分医疗机构和疾控中心,为大家呈现华大智造高通量自动化样本制备系统的应用情况(以下排序不分先后)。/pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong1 span style="text-indent: 2em "武汉火眼实验室/span/strong/span/pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "作为武汉及湖北地区抗击疫情战役的“前哨”,由华大基因担任运营的新型冠状病毒应急检测实验室——“火眼”实验室具备每天万人份的检测能力。/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 392px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/b31feacc-0026-49f6-a2a3-35ac7368eda6.jpg" title="2 火焰实验室77a927a65c3a1c83d5f0e4bd43b31835.jpg" alt="2 火焰实验室77a927a65c3a1c83d5f0e4bd43b31835.jpg" width="600" height="392" border="0" vspace="0"//pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "为整体提升大规模样本检测速度,“火眼”实验室装备了大量华大智造MGISP-100及MGISP-960自动化样本制备系统进行核酸提取,并配套病毒RNA的提取试剂和耗材。/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 370px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/f9b1464c-0d20-43a4-b4d1-381e296fb2ba.jpg" title="3 火焰实验室d1.jpg" alt="3 火焰实验室d1.jpg" width="600" height="370" border="0" vspace="0"//pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "截至2月11日11点,“火眼”实验室运营团队已累计接收样本超过1.5万人份,还可进一步承担规模更大的复产复工人员的科学排查工作,同时能根据武汉及湖北地区疫情防控需求高效运转,确保万人份/天的检测能力,甚至更高。/pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong2 span style="text-indent: 2em "湖北省孝感CDC/span/strong/span/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 445px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/b65c7c43-3612-4884-b827-97f2834f07de.jpg" title="4湖北省孝感CDC.jpg" alt="4湖北省孝感CDC.jpg" width="600" height="445" border="0" vspace="0"//pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "湖北省孝感市毗邻武汉,同为疫情“重灾区”,在疫情防控过程中也面临着诸多挑战。为迅速响应新冠病毒病例应隔尽隔、应收尽收及应治尽治的防控措施,孝感疾控中心在第一时间紧急部署了三台华大智造MGISP-960高通量自动化样本制备系统,以全面加速当地病毒样本检测,满足更大排查范围及县市医院的病毒筛查工作。/pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "目前,孝感疾控中心在使用后表示提取非常顺利。/pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong3 span style="text-indent: 2em "湖北省黄冈CDC/span/strong/span/pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "为防止疫情进一步扩散,黄冈市政府在前期确定的全市13家定点医院和29个发热门诊的基础上,紧急征用了黄冈版“小汤山医院”——大别山区域医疗中心,并将其改造成1000多张床位的疫情隔离点。/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 360px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/7d1f10a6-d8ba-48ff-9a57-366c9bd0a75e.jpg" title="5 湖北省黄冈CDC2a190.jpg" alt="5 湖北省黄冈CDC2a190.jpg" width="600" height="360" border="0" vspace="0"//pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "为助力黄冈CDC加速完成新冠病毒样本检测,尽快缓解当地疫情紧急情况,华大智造快马加鞭将MGISP-960高通量自动化样本制备系统送往前线,并及时完成安装上机,为疑似病例筛查检测提供了强大的工具支持与保障。br//pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong4 span style="text-indent: 2em "湖北省荆州CDC/span/strong/span/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 298px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/dec0bbe3-9b7f-4af9-9497-a26debabd750.jpg" title="6 湖北省荆州CDCf0929bcb.jpg" alt="6 湖北省荆州CDCf0929bcb.jpg" width="600" height="298" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 342px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/85075bdc-b446-4974-b21c-ab75615501d0.jpg" title="7 湖北省荆州CDCda.jpg" alt="7 湖北省荆州CDCda.jpg" width="600" height="342" border="0" vspace="0"//pp style="text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "/spanspan style="text-indent: 2em "湖北省荆州市也是本次疫情的“重灾区”,为了快速有力地控制疫情扩散蔓延,荆州CDC加急安装了华大智造MGISP-100自动化样本制备系统,并积极召集医护人员完成简单易学的培训工作,为接下来的疫情防控增添更多力量。/spanbr//pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong5 span style="text-indent: 2em "北京华大医检所/span/strong/span/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 450px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/5035b05d-6a63-45eb-b0a7-fbea22d082f2.jpg" title="8 北京华大医检所e.jpg" alt="8 北京华大医检所e.jpg" width="600" height="450" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 399px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/aeadce62-c23d-4b7a-819a-7732da682dbc.jpg" title="9 北京华大医检所f.jpg" alt="9 北京华大医检所f.jpg" width="600" height="399" border="0" vspace="0"//pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "目前,北京华大医检所已安装多台MGISP-960高通量自动化样本制备系统,旨在承接北京当地部分样本检测,助力北京疫情防控工作。/pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong6 span style="text-indent: 2em "贵州省贵航贵阳医院/span/strong/span/pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "贵航贵阳医院是贵州省第一批开展新型冠状病毒感染的肺炎核酸筛查检测定点机构之一,每天有大批量的标本需要检测,应对急剧增加的样本量,负责检测的检验人员加班加点完成每日所有样本检测,每日工作时长达到10余个小时。/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 450px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/0efcb3e2-d352-40a3-8e43-fa3d80f655bb.jpg" title="10 贵州省贵航贵阳医院931bf4d.jpg" alt="10 贵州省贵航贵阳医院931bf4d.jpg" width="600" height="450" border="0" vspace="0"//pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "为满足大规模人群、高通量筛查的紧急需求,减少常规检测方法的局限性,保障检测人员的人身安全,该院加急装备了华大智造MGISP-960高通量自动化样本制备系统。常规新型冠状病毒核酸检测96个标本需要6个小时左右,而通过MGISP-960进行全自动核酸提取,可在1个小时左右完成这项工作。/pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "除具有自动化、操作简单等优势外,该设备还能保证强大拓展性、安全环保、高纯度、高得率、无污染且结果稳定等优点,真正做到一站到位,安全防控。/pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong7 span style="text-indent: 2em "江苏省无锡“火眼”实验室/span/strong/span/pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "为最大限度降低企业复工人员感染新冠病毒风险,防止疫情扩散,尽早实现企业有序开工,无锡市在疫情防控中加强了科技创新,并在惠山生命园成立了无锡“火眼”——新型冠状病毒核酸筛查检测专项实验室,以便顺利开展新冠病毒核酸筛查检测服务。/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 450px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/4865d3d0-29f0-46ef-9f7f-317eaeb379bc.jpg" title="11 江苏省无锡“火眼”实验室69d.jpg" alt="11 江苏省无锡“火眼”实验室69d.jpg" width="600" height="450" border="0" vspace="0"//pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "与武汉“火眼”实验室一样,无锡“火眼”实验室也采用了华大智造MGISP-960高通量自动化样本制备系统,并于2月12日起对复工企业人员开通新型冠状病毒核酸筛查检测服务,预计最大日检测量可达5000份,为企业尽早复工复产服务,也为复工人员加强一道健康“防护盾”。br//pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong8 span style="text-indent: 2em "助力山西疾控迅速提升核酸检测能力/span/strong/span/pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "山西省牢牢把握疫情防控主动权,精准施策,有针对性地迅速提升检测能力,全覆盖筛查重点人群,紧急为省CDC以及太原、大同、晋中、晋城、运城市CDC,配置安装了华大智造MGISP-960高通量自动化样本制备系统,加速了重点地区重点人群的核酸检测工作。/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 558px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/4e9b3048-4e6d-46e3-bcee-b88ea968d815.jpg" title="12 助力山西疾控迅速提升核酸检测能力.jpg" alt="12 助力山西疾控迅速提升核酸检测能力.jpg" width="600" height="558" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 378px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/1d7f232e-f60d-4af2-8ccf-36b8b0a9374b.jpg" title="13 助力山西疾控迅速提升核酸检测能力8eb23.jpg" alt="13 助力山西疾控迅速提升核酸检测能力8eb23.jpg" width="600" height="378" border="0" vspace="0"//pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "除以上城市外,华大智造高通量自动化制备系统也已经用于天津、深圳、南京、青岛、恩施、佛山等30余个城市及地区,助力当地疫情防控。随着疫情进入攻坚阶段,为实现“早发现、早隔离、早诊断、早治疗”,华大智造全员加班加点,只为在第一时间将自动化设备送往疫情一线,尽快完成安装调试并投入使用。/pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "我们深知,每一个待检样本的背后,都是宝贵的生命。我们敬畏每一个生命,并致力于通过生命科技来造福人类。这也是华大智造从研发,到生产,再到服务等各环节工作人员无畏病毒,坚守一线的动力。/pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "br//pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "strongspan style="color: rgb(255, 0, 0) "附:华大智造高通量自动化样本制备系统/span/strong/pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "为实现病毒核酸自动化提取,华大智造提供MGISP-100及MGISP-960两种自动化样本制备系统(两款设备均已获得NMPA认证),同时可配套病毒RNA的提取试剂和耗材。/pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "其中,MGISP-100自动化样本制备系统可提取8-32样本/40-80分钟,每次可减少医务人员约2个小时的手工操作时间,适用于医院等中小型研究实验室。/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 442px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/3e8053d8-1007-4267-ad3d-7b6386d07db6.jpg" title="640.jpg" alt="640.jpg" width="600" height="442" border="0" vspace="0"//pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "MGISP-960是高通量自动化样本制备系统,自动化程度更高,可提取36-192样本/80分钟,一人可同时操作三台,大大提升人工效率,适用于企业、临检、医院等领域的中高通量用户,并可适配目前主流的新型冠状病毒核酸检测试剂盒(荧光PCR法),以及第三方磁珠提取试剂盒和文库构建流程。/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 459px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/6d424072-cac1-4a87-b770-8b79abeb23d3.jpg" title="641.jpeg" alt="641.jpeg" width="600" height="459" border="0" vspace="0"//pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "此外,自动化样本制备系统中,还配置了紫外和HEPA高效空气过滤系统,可用于每天杀菌消毒和清洁,大大减少了医务人员的病毒感染风险。/pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em "br//pp style="text-indent: 2em margin-top: 10px margin-bottom: 10px line-height: 1.5em text-align: right "投稿来自:华大智造/p
  • 大尺寸单晶石墨烯制备获突破
    2月28日,《自然—通讯》杂志在线发表了中科院金属所沈阳材料科学国家(联合)实验室成会明、任文才团队在石墨烯制备方面取得的一项新突破,他们通过金属外延生长方法,制备出了具有非常优异场发射效应的毫米级单晶石墨烯及其薄膜。  石墨烯优异的电、光、强度等众多优异性质使其在电子学、自旋电子学、光电子学、太阳能电池、传感器等领域有着重要的潜在应用,但大规模高质量制备技术是制约其进入实际应用的瓶颈之一。  目前制备高质量石墨烯的方法,有胶带剥离法、碳化硅或金属表面外延生长法和化学气相沉积法(CVD),前两种方法效率低,不适于大量制备。而迄今由CVD法制备的石墨烯,一般是由纳米级到微米级尺寸的石墨烯晶畴拼接而成的多晶材料。  对于以金属基体生长的石墨烯,通常以腐蚀金属基体的方法来进行转移,不仅存在金属残存、转移过程破坏石墨烯结构的问题,而且污染环境、成本高、不适合贵金属基体。  成会明等采用贵金属铂生长基体,以低浓度甲烷和高浓度氢气通过常压CVD法,成功制备出了毫米级六边形单晶石墨烯及其构成的石墨烯薄膜。通过该研究组发明的电化学气体插层鼓泡法,可将铂上生长的石墨烯薄膜无损转移到任意基体上。  该方法操作简便、速度快、无污染,并且适于钌、铱等贵金属以及铜、镍等常用金属上生长的石墨烯的转移,金属基体可重复使用,可作为一种低成本、快速转移高质量石墨烯的普适方法。  该方法转移的单晶石墨烯具有很高的质量,将其转移到Si/SiO2基体上制成场效应晶体管,测量显示该单晶石墨烯室温下的载流子迁移率可达7100 cm2 V-1 s-1。  金属基体上大尺寸单晶石墨烯及其薄膜的多次重复生长,为石墨烯基本物性的研究及其在高性能纳电子器件、透明导电薄膜等领域的实际应用奠定了材料基础。
  • 上海微系统所等制备出石墨烯基量子电阻标准芯片
    电阻标准是电学计量的基石之一。为了适应国际单位制量子化变革和量值传递扁平化趋势,推动我国构建电子信息产业先进测量体系,补充国家量子化标准,开展电学计量体系中电阻的轻量级量子化复现与溯源关键技术研究至关重要。与传统砷化镓基二维电子气(2DEG)相比,石墨烯中的2DEG在相同磁场下量子霍尔效应低指数朗道能级间隔更宽,以其制作的量子霍尔电阻可以在更小磁场、更高温度和更大电流下工作,易于计量装备小型化。此外,量子电阻标准的性能通常与石墨烯的材料质量、衬底种类和掺杂工艺相关。如何通过克服绝缘衬底表面石墨烯成核密度与生长调控的瓶颈,获得高质量石墨烯单晶,并以此为基础,优化器件结构和工艺,开发出工作稳定且具有高比对精度的量子电阻标准芯片至关重要。近日,中国科学院上海微系统与信息技术研究所报道了采用在绝缘衬底表面气相催化辅助生长石墨烯,成功制备高计量准确度的量子霍尔电阻标准芯片的研究工作。相关研究成果以“Gaseous Catalyst Assisted Growth of Graphene on Silicon Carbide for Quantum Hall Resistance Standard Device)”为题,发表于期刊《Advanced Materials Technologies》上。研究人员首先采用氢气退火处理得到具有表面台阶高度约为0.5nm的碳化硅衬底,然后以硅烷为气体催化剂,乙炔作为碳源,在1300°C条件下,生长出高质量单层石墨烯。该温度条件下衬底表面台阶依然可以保持在0.5nm以下。采用这种方法制备的石墨烯可以制成量子电阻标准器件,研究团队直接将该量子电阻标准器件集成于桌面式量子电阻标准器,在温度为4.5K、磁场大于4.5T时,量子电阻标准比对准确度达到 1.15×10-8,长期复现性达到3.6×10-9。该工作提出了适用于电学计量的石墨烯基工程化、实用化的轻量级量子电阻标准实现方案,通过基于其量值的传递方法,可以满足不同应用场景下的电阻量值准确溯源的需求,补充国家计量基准向各个行业计量系统的量传链路。中科院上海微系统与信息技术研究所是该研究工作第一完成单位,陈令修、王慧山和孔自强为共同第一作者,通讯作者为上海微系统所的王浩敏研究员和中国计量科学研究院的鲁云峰研究员。该研究工作得到了国家重点研发计划、国家自然科学基金项目、中科院先导B类计划和上海市科委基金的资助。论文链接:https://doi.org/10.1002/admt.202201127
  • 上海微系统所制备出微型光电一体化集成钻石量子磁传感器
    近日,上海微系统所传感技术国家重点实验室采用微纳加工技术制备了一种基于氮空位(NV)色心的微型光电一体化集成钻石量子磁传感器。相关研究成果于2022年5月9日以“Amicrofabricatedfiber-integrated diamond magnetometer with ensemble nitrogen-vacancy centers”为题发表在当期的Applied Physics Letters上。 钻石,不仅可以作为珠宝装饰品,更是具有极高研究价值的新型量子材料。氮空位缺陷——NV色心,是钻石晶体结构中最常见的点缺陷,由氮原子取代碳原子和相邻空穴而形成,利用其在磁场中的量子顺磁共振效应及荧光辐射特性可以进行精密磁测量。NV色心在常温下也具有稳定的量子态,可以在非制冷的室温下工作。同时,钻石量子磁传感器以其高空间分辨率、高灵敏度、高生物兼容性等技术优势,在近场微观磁共振、磁异常探测、生命科学等领域具有重要的应用前景。 小型化、集成化、便携化是钻石量子传感器取得实际应用的重要条件。该团队基于晶圆级微机电工艺平台,利用标准微纳加工技术,制备出钻石量子磁传感器的核心——钻石芯片。芯片内部集成了微波辐射结构,实现了原位微波量子态操控。采用金属热压键合技术实现了钻石单晶与硅晶圆的异质集成,确保了机械稳定性。钻石芯片耦合带有梯度变化折射率透镜的光纤模块,实现了“光进光出”的工作模式,大大缩小了探头尺寸,实现了钻石磁强计探头的高集成度。并进一步指出,采用双频共振技术可以同时进行磁场和温度场的同步实时测量,不仅通过温漂抑制提高了磁场测量的信噪比,还确保了传感器的温度稳定性。 该团队提出的制备工艺可以在晶圆级进行拓展,具有批量化制备的潜力,为建立高一致性、高灵敏度的可穿戴传感器阵列提供了可能性。目前钻石量子磁传感器整体尺寸仅有20×15×1.5 mm3,灵敏度达到2.03nT/√Hz。同时,该钻石磁传感器可以对小于0.5 mm(甚至更小)的目标区域进行近距离测量,具有在心磁、脑磁等弱磁信号探测场景的应用潜力,为后续实用化的可穿戴生物磁传感器提供了良好的研究基础。 该论文的第一作者单位和通讯单位为中科院上海微系统所,第一作者为博士研究生谢非,通讯作者为武震宇研究员和陈浩副研究员。该工作得到中国科学院战略性先导科技专项(XDC07030200)、国家重点研发计划(2021YFB3202500)、中科院科研仪器装备研制(YJKYYQ20190026)等项目的支持。 论文链接:https://doi.org/10.1063/5.0089732
  • 易被忽视的重要技术:关于原子力显微镜样品制备技术的反思
    基于探针,电子束和光谱的成像技术在近二十年都取得了变革性的进展。技术进展主要聚焦在显微镜核心技术本身。以原子力显微镜为例,对于技术进展的关注侧重于成像模式,成像速度以及物理,化学测量的关联成像等,往往不包括试样制备因素。2021年8月18日,中国科学院沈阳自动化所苏全民研究员将在仪器信息网主办的“第三届原子力显微镜”主题网络研讨会中,线上为大家分享“试样制备在显微镜技术中的使能作用—关于原子力显微镜技术的反思”。图自Hui, F., Lanza, M.*, “Scanning probe microscopy for advanced nanoelectronics”, Nature Electronics 2, 221-229 (2019)本次报告,苏全民研究员将聚焦于各种显微镜试样制备技术的对比,并以一些试样制备为使能的技术革命为例来阐述其作用。在原子力显微镜领域中,一个普遍认识是试样无须特殊处理和制备。在适当成像模式和探针控制条件下,原子力显微镜成像的结果便是试样纳米尺度本征物性的表征。报告将力图证明正是因为缺乏试样制备的技术,原子力显微镜技术在揭示试样纳米尺度的本征性能这一核心应用目标上落后于其他显微镜技术。作为纳米尺度3维形貌的工具,原子力显微镜成功的成为其他技术的标定标准。AFM试样无须特殊制备就能够定量表征试样的本征几何形貌。但在使用AFM进行纳米物性测量时, 无论探针和试样的表面吸附,表面畸变层等都有可能导致探针相互作用的复杂化,产生非本征作用。在许多应用中,非本征作用的贡献可能大于试样本征物理和化学性能的贡献。报告将进一步分析 “非本征作用” 的物理机制,进而探讨试样制备和环境控制的重要性并展望如何通过试样制备更好的揭示各类试样纳米尺度的本征物性,使试样制备在原子力显微镜领域中也起到使能作用。报告时间:2021年8月18日上午10:00--10:30即刻报名占座:https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/AFM2021/报告人简介苏全民,国家特聘专家,纳米定位和测量国家标准专家组成员,全国显微镜协会理事,于2017年全职回国,现为中国科学院自动化研究所研究员和天津大学兼职教授。回国前为美国布鲁克公司高级技术总监,领导原子力显微镜(AFM)技术和系统的研发。苏全民是53 项美国授权专利的发明人,领导布鲁克原子力显微镜的技术和产品开发,曾获 R&D 100(2002)和 Microscopy Today(2012) 年度最佳产品奖。苏全民发表了80多篇论文;并组织了“Seeing at the Nanoscale”系列国际会议,担任过各种国际会议的分会主席,如MRS , M&M, AVS等,并在多个国际会议(IEEE, MRS,M&M,AVS等)做过大会,分会和专题特邀报告。或扫码报名占座关于“第三届原子力显微镜网络会议”日程
  • 电镜学堂丨扫描电子显微镜样品要求及制备 (二) - 特殊试样处理&试样放置
    Hello,好久不见距离上次更新已有时日,这段时间小编没密集更新是因为知道大家在忙着立新年flag!但2018年的计划一定不能少的是跟随tescan电镜学堂持续输入电镜知识,稳定输出科研成果! 这里是TESCAN电镜学堂第7期,将继续为大家连载《扫描电子显微镜及微区分析技术》(本书简介请至文末查看),帮助广大电镜工作者深入了解电镜相关技术的原理、结构以及最新发展状况,将电镜在材料研究中发挥出更加优秀的性能!第二节 特殊试样的处理对于一些特殊的试样,除了常规制样方法外,可能还需要一定的特殊处理。§1. 金相试样金相试样要经过严格的抛光程序,为了在电镜下观察能有更好的衬度,需要进行一定的腐蚀处理。不同的金属需要不同的腐蚀剂以及腐蚀时间,这需要去慢慢摸索。腐蚀不能过度,否则表面会有太多的腐蚀坑,此外,腐蚀剂要清洗干净。§2. 生物试样对于生物样品,为了保证在电镜样品室的高真空下不发生变形而保持原貌,需要对试样进行一系列的处理,需要经过清洗、固定、脱水、干燥等步骤。① 清洗:试样取材好后可用生理盐水或缓冲液清洗,或用5%的苏打水清洗;用超声震荡或酶消化的方法进行处理。② 固定:常用戊二醛及锇酸双固定。③ 脱水:样品经漂洗后用逐级增高浓度的酒精或丙酮脱水,然后进入中间液,一般用醋酸异戊酯作中间液。④ 干燥:可用空气干燥法、临界点干燥、冷冻干燥等方法。§3. 石墨烯试样石墨烯是近年特别火热的样品,不过利用扫描电镜进行石墨烯的观察需要一定的技巧,否则难以有很好的说服力。理论上石墨烯厚度非常小,在扫描电镜下难以有很好的衬度。而那些铺展的很平整,却有着很好的明暗衬度的试样,本人觉得只能算是石墨薄片而不能算石墨烯。扫描电镜分辨率还不足以观察到石墨烯的碳原子结构,也没有探测器能证明其碳结构,不过扫描电镜可以定性判断其膜层的厚薄,当然这需要特殊的制样。我们可先对硅片这种平整基底镀上一层较厚的金膜,然后将石墨烯分散镀金硅片上。我们对镀金的形貌有着非常清晰的认识,如果表面有一层石墨烯的话,金膜就会像蒙了一层纱一样。石墨烯膜层越薄,金颗粒越清楚;反之如果金颗粒越不清楚,则膜层越厚;当完全看不见金颗粒时,则膜层已经相当厚,完全不算是石墨烯了,这点可以通过蒙特卡罗模拟来得到印证。之所以选择先镀金,就是让被覆盖的与未被覆盖的区域进行一个对比,这样可以定性判断石墨烯的膜厚。图4-9 石墨烯分散在硅片和镀金硅片上的对比如图4-9,左边四张图片是石墨烯直接分散在硅片上,因为没有参照物,只能判断出不同区域的厚薄,而这些厚薄是否能达到石墨烯要求的水准则难以判断;而右边六张图片是分散在镀金硅片上的图片,我们很容易通过与空白处金颗粒的对比来大致判断其膜层厚度是否符合石墨烯的要求。第三节 试样的放置问题 试样在放入电镜室中需要满足一定的几何条件。首先,一次性放置多个样品时,尽量保持高度一致。遇到高度不等的情况,可以将较矮的样品放置在加高台上,如图4-10。将不同高度的样品垫平。 图4-10gm-163-r样品台其次,样品如果表面凹凸不平,如断口材料或楔形样品,在放置样品的时候尽量将要观察的区域的朝着eds或etd的方向,避免在电镜观察时,因为观察面背向探测器而有强烈的阴影或者没有eds信号。还有,对于截面样品观察,有时候并非在90度的绝对垂直下效果最好。特别是对于一些膜面质量不是很好有点撕裂的薄膜,有时候倾转一点的角度,在非正入射的条件下有更好的立体感和景深,有时候更能观察到膜面和基体的结合情况。不过在进行测量的时候要记住需要进行倾斜修正。如图4-11上图,在正90度下虽然能观察到膜面,但是膜面质量的好坏及整体情况却无法判断,而在70度下则能看出膜层的整体情况。将倍数放大后,也可看到70度下有更好的景深和立体感,也更有助于进行膜面和基底结合的判断。 图4-11 膜的截面在90度和70度倾转下的对比再如图4-12,试样为两层同样成分的薄膜,如果在正90度下进行观察,膜之间的界线很不明显,而如果旋转到55度,可以发现膜在断裂过程中有发生“错位”地方,这个角度的观察使得对膜层的观察更加清楚。图4-12 双层膜的截面在90度和55度倾转下的对比特别是一些半导体的截面样品,时常都是先在非正入射的情况下进行观察,再转到90度的情况下进行测量。?福利时间每期文章末尾小编都会留1个题目,大家可以在留言区回答问题,小编会在答对的朋友中选出点赞数最高的两位送出本书的印刷版。?奖品公布上期获奖的这位童鞋,请后台私信小编邮寄地址,我们会在收到您的信息并核实后即刻寄出奖品。 【本期问题】截面样品观察,是否一定是在90°的绝对垂直下效果最好,为什么?(快去留言区回答问题领取奖品吧→)简介《扫描电子显微镜及微区分析技术》是由业内资深的技术专家李威老师(原上海交通大学扫描电镜专家,现任TESCAN技术专家)、焦汇胜博士(英国伯明翰大学材料科学博士,现任TESCAN技术专家)、李香庭教授(电子探针领域专家,兼任全国微束分析标委会委员、上海电镜学会理事)编著,并于2015年由东北师范大学出版社出版发行。本书编者都是非常资深的电镜工作者,在科研领域工作多年,李香庭教授在电子探针领域有几十年的工作经验,对扫描电子显微镜、能谱和波谱分析都有很深的造诣,本教材从实战的角度出发编写,希望能够帮助到广大电镜工作者,特别是广泛的TESCAN客户。这里插播一条重要消息: TESCAN服务热线 400-821-5286 开通“应用”和“维修”两条专线啦!按照语音提示呼入帮你更快找到想要找的人 ↓ 往期课程,请关注“TESCAN公司”微信公众号查看:电镜学堂丨扫描电子显微镜的基本原理(一) - 电子与试样的相互作用电镜学堂丨扫描电子显微镜的基本原理(二) - 像衬度形成原理电镜学堂丨扫描电子显微镜的基本原理(三) - 荷电效应电镜学堂丨扫描电子显微镜的结构(一) - 电子光学系统电镜学堂丨扫描电子显微镜的结构(二) - 探测器系统电镜学堂丨扫描电子显微镜样品要求及制备 (一) - 常规样品制备统
  • 119万!国检验检疫科学研究院QuEChERS制冷全自动样品制备系统等设备采购
    1.项目编号:0706-224100004N003项目名称:中国检验检疫科学研究院全自动物种信息鉴定分析一体机设备采购项目预算金额:48.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):48.0000000 万元(人民币)采购需求:名称数量简要技术需求交货期是否接受进口产品全自动物种信息鉴定分析一体机1套可视化的高通量测序数据分析;单分子测序及数据分析;基于测序的物种来源鉴定分析。2个月否2.项目编号:0706-224100004N002项目名称:中国检验检疫科学研究院QuEChERS制冷全自动样品制备系统设备采购项目预算金额:44.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):44.0000000 万元(人民币)采购需求:名称数量简要技术需求交货期是否接受进口产品QuEChERS制冷全自动样品制备系统1台主要用于食品、农产品农药残留检测时,利用QuEChERS方法对不同种类样品进行提取和净化处理合同签订后4周否3.项目编号:0706-224100004N005项目名称:中国检验检疫科学研究院微生物快速检测仪设备采购项目预算金额:27.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):27.0000000 万元(人民币)采购需求:名称数量简要技术需求交货期是否接受进口产品微生物快速检测仪1套1.用于微生物预培养,包括为微生物快速生长提供预置培养基、温度、搅拌等条件 2.用于核酸快速检测和数据云传输和管理;3.用于进行现场离心、涡旋、移液等前处理。签订合同后七个工作日否合同履行期限:签订合同后七个工作日本项目( 不接受 )联合体投标。
  • 151万!合肥工业大学扫描电镜、分析及半制备液相色谱系统、旋转流变仪设备采购项目
    项目编号:HFUT-DX-2022-002/ZB202201677项目名称:合肥工业大学扫描电镜、分析及半制备液相色谱系统、旋转流变仪设备采购项目预算金额:151.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):151.0000000 万元(人民币)采购需求:合肥工业大学扫描电镜、分析及半制备液相色谱系统、旋转流变仪设备采购项目,详见采购需求。合同履行期限:合同签订后,120个日历日内完成供货、安装和调试。本项目( 不接受 )联合体投标。
  • 安光所孙敦陆研究员团队在2.7~3微米中红外晶体制备及激光性能研究方面取得新进展
    近期,中国科学院合肥物质院安光所孙敦陆研究员课题组在2.7~3微米波段中红外晶体制备及激光性能研究方面取得一系列新进展,相关研究成果分别以《Ho,Pr:YAP晶体的热学、光谱及~3微米连续激光性能》、《Er:YGGAG晶体的结构、光谱与激光性能》和《LD侧面泵浦YSGG/Er:YSGG/YSGG晶体实现28.02瓦的2.8微米连续激光》为题发表在光学领域国际知名期刊Optics Express上,第一作者分别为乔阳博士研究生、陈玙威博士研究生和张会丽副研究员。2.7~3微米中红外激光处于水分子的强吸收带,在生物医疗、光学遥感及非线性光学等领域有着广泛的应用前景。稀土离子Ho3+(钬离子)通过5I6至5I7的辐射跃迁,可产生3微米附近波段中红外激光。然而,Ho3+的激光下能级5I7的荧光寿命较长,容易产生自终止效应,不利于实现激光上、下能级之间的粒子数反转。针对这一问题,我们提出提高激活离子Ho3+的掺杂浓度,同时共掺适量能级耦合离子Pr3+(镨离子),以降低Ho3+激光下能级寿命,抑制自终止效应。采用熔体提拉法,成功生长出了4 at.% Ho3+、0.1 at.% Pr3+共掺YAP晶体,系统开展了晶体结构、晶体质量、热学、光谱及其激光性能的研究。由于退激活离子Pr3+的掺入,其激光下能级寿命由5.391毫秒降至1.121毫秒,同时激光上能级寿命变化较小,表明共掺Pr3+能够有效抑制自终止效应,有利于降低激光阈值、提高激光性能。采用1150纳米拉曼光纤激光器端面泵浦,在Ho,Pr:YAP晶体上实现了最大平均功率502毫瓦的~3微米连续激光输出,相应的斜效率为6.3%。与Ho:YAP晶体相比,其激光阈值降低,最大输出功率及效率均得到了提高。目前,LD泵浦Er:YSGG晶体的中红外脉冲激光已高达数十瓦,而连续激光输出功率仅有瓦级,采用连续LD侧面泵浦有望进一步提高连续激光输出功率。由于在激光运转过程中,激光增益介质内部会产生温度梯度,导致产生各种热效应,限制了激光输出功率和效率的提高。我们通过在Er:YSGG晶体棒的两端键合高热导率的未掺杂YSGG晶体作为端帽,以改善热效应。采用978纳米LD侧面泵浦YSGG/Er:YSGG/YSGG键合晶体,实现了最大平均功率28.02瓦的~2.8微米连续激光输出,这是目前报道的在氧化物晶体中获得最高功率的~2.8微米连续激光输出,相应的斜效率和光-光转换效率分别为17.55%和12.29%。其最大功率和斜效率均高于相同泵浦条件下的未键合Er:YSGG晶体,表明键合可有效改善热效应,提高激光性能。实验测试并理论计算了LD侧面泵浦未键合Er:YSGG晶体和YSGG/Er:YSGG/YSGG键合晶体在不同泵浦功率下的热焦距,结果表明,YSGG/Er:YSGG/YSGG键合晶体更适于在高泵浦功率下工作。以上研究工作得到了国家自然科学基金、替代专项、安徽省自然科学基金和合肥物质院院长基金的支持。
  • 透射电镜样品制备技术之生物样品制备流程
    透射电镜样品制备技术之生物样品制备流程透射电镜常用的50-100 kV电子束来说,样品的厚度控制在10~100 nm为宜。由于电镜产生的电子束穿透能力很弱,需要把标本切成厚度小于0.1 µ m以下的薄片才适用,这种薄片称为超薄切片(Ultrathin sectioning)。常用的超薄切片厚度是50-70 nm,也可进行冷冻超薄切片。超薄切片技术是为透射电子显微镜观察提供薄样品的专门技术,研究材料类、生物类样品的基本技术,尤其是观察细胞、组织、器官等的超微结构以及亚细胞结构常用的技术。也是电镜细胞化学、免疫电镜等技术的关键性技术。它在生物学的发展过程中占据重要的地位,目前各种细胞、组织的超微结构知识几乎都是由它提供的。冷冻超薄切片机 Leica EM UC7制备流程取材→固定→脱水→包埋(渗透、包埋、聚合)→超薄切片→电子染色(生物类)取材→清洗→包埋(渗透、包埋、聚合)→超薄切片→电子染色(材料类)生物样品超薄切片要求:(1)细胞的细微结构保存良好,没有明显的物质凝聚、丢失、添加等人工效应;(2)切片厚度50-100 nm为宜:太薄反差低;太厚反差好,但结构重叠,电子束不能穿透;(3)切片应耐电子束的强烈照射,不变形不升华;(4)切片能够适当被染色,保证一定的反差;(5)切片均匀,无皱褶、刀痕,无染色剂或其他化学物质的沉淀。取材目地和要求(1)新鲜。(材料离体后1-5 min内进入固定液,避免细胞自溶和结构变化)(2)体积小。(厚度1 mm,长度宽度均5 mm,固定液渗透能力有限,组织太大会导致无法固定充分)(3)机械损伤小。(动作轻巧,器械锋利,避免对组织的挤压和推拉,建议用剃须刀片、手术刀片、手术剪刀。)(4)低温操作,器械、容器、固定液均需预冷(降低酶的活性,减少组织自溶)。(5)取材部位准确,且注意材料的方向性和定位。固定目的和要求:终止组织细胞的生化过程同时把它们的超微结构改变控制在最小范围内,并保护这些结构在后续的脱水、包埋等过程中不被破坏;将蛋白、离子等内容物保留在原位,以便后续的研究。固定液:固定剂+缓冲液(1)破坏细胞的酶活性系统(2)稳定细胞物质成分,并保存之(3)接近细胞生活状态的渗透压,使细胞不收缩或膨胀(4)在组分的分子之间建立交联,提供骨架稳定细胞器的空间构型(5)提供一定的电子反差固定剂:戊二醛(C5H8O2):渗透性好,保存蛋白质、酶活性,稳定糖元,无电子染色作用,固定脂类和膜差。可长时固定(低温可达半年)。锇酸(OsO4):强氧化剂,固定脂类、膜结构,有电子染色作用;破坏酶活性。多聚甲醛:优良地保存酶活性,用于细胞化学。缓冲液:仿效细胞外液成分,对细胞富有生理保护。维持稳定的pH值;提供适当的渗透压;提供适当的离子成分使样品不抽提,不沉淀。固定方法:常用双固定法,用戊二醛对样品前固定,漂洗后使用锇酸对样品进行后固定。影响因素: 1.pH值:动物组织7.2-7.4,植物6.8-7.0,高度含水组织8.0-8.4 2.缓冲液类型:磷酸缓冲液、二甲砷酸盐缓冲液等,0.05-0.1 mol/L 3.渗透压:KCl, NaCl, 蔗糖调节 4.固定剂浓度:戊二醛2-6%,四氧化锇1-2% 5.材料大小:0.5-1 mm³ 操作步骤:戊二醛固定液:有细胞壁的样品5%,无细胞壁样品3%。加入缓冲体系,确保生物样本内外渗透压,避免细胞萎缩或吸涨。切取一小块组织,置入预冷的戊二醛固定液(3-5%)中,4℃预固定20分钟后,捞出置于洁净的保鲜膜或培养皿上(已滴有预冷的固定液),在固定液中用将组织切成2-5 mm长, 2-3 mm宽, 1 mm厚的细条,移入盛有预冷的戊二醛固定液的离心管中,4 ℃固定过夜。1.植物细胞的细胞壁和液泡会阻碍固定液迅速渗入。植物材料内部存有的空气,往往使材料漂浮于固定液面之上,由此影响到植物组织的固定效果。组织放入戊二醛固定液后,可用真空泵抽出组织内部的气体,使材料沉入固定液中。2.动物样本的取材,可将动物麻醉或急性处死后切取组织。或者采用原位固定、流灌固定后再切取所需组织。3.细胞培养的样品,轻微并短暂离心,倒净培养液后,加入预冷的固定液,4℃固定10 min后,低温6000 rpm/min离心5 min(离心力不可过大,离心时间不可过长,避免机械挤压),去上清,滴加新鲜固定液并重悬,4℃固定过夜。脱水用适当的有机溶剂取代组织和细胞中的游离态水分,使之能与包埋剂混合。要求:脱水要彻底;更换液体动作要迅速;脱水时间不宜过长;固定后的样品要充分漂洗。脱水剂:乙醇、丙酮、环氧丙烷等。步骤:逐级梯度脱水30%→50%→70%→80%→90%→95%(以上步骤每次15-20 min)→100%(2-3次,每次15 min)→100%丙酮(20 min) 包埋1.渗透:用包埋剂或混合液逐渐取代组织内的脱水剂(或前介质),使细胞内外所有的空隙被渗透液填充,使包埋剂逐步渗透到组织细胞内部,以便与细胞外的包埋剂同时聚合。包埋剂:聚合有良好的切割性能,软硬度易调节粘度低,易渗透;溶于脱水剂;电子透明度好,并具有一定的反差,聚合要充分、均匀,聚合温度要尽可能低;本身无结构,热稳定性好,可耐电子束轰击;来源丰富,且各批号性能尽可能一致;切片易染色,且对人体无害。常用Epon 812、Spurr、LR white等步骤:逐级梯度渗透,脱水剂:包埋剂3:1 → 1:1 → 1:3 →纯包埋剂2.包埋:将渗透好的样品块放入到适当的包埋模具中,灌装上纯包埋剂包埋。3.聚合:加温聚合形成固体基质,牢固地支撑整个细胞结构或组织,制成适于机械切割的固体包埋块,利于切片。步骤:37℃(12 h)→45 ℃(12-48 h)→60 ℃(24-48 h)超薄切片制刀:常用玻璃刀、钻石刀。刀上要装水槽,并注入槽液。槽液要求:不与材料发生化学反应,干净无杂质;液面与刀口基本平行;低粘度,蒸发量小;有一定的表面张力,有利于漂浮切片。常用的槽液:双蒸水、二甲基亚砜(DMSO)、甘油水溶液等。修块:除去组织周围多余的包埋介质和不感兴趣的部分,以提供较大的有效观察面积。并修成一定形状、大小的包埋块截面,便于连续切片。可手工、机械修块。切片:装块→装刀→对刀→加水→切片→捞片注意事项:对刀是关键;槽液用新鲜溶液;温度20~25℃,相对湿度60%;室内无空气流动,清洁,防止震动;刀槽密封,否则漏水。电子染色利用高密度的重金属染色剂(铅、铀)与细胞某些微细结构或成分结合,以增加样品局部的电子散射能力,提高电镜图像反差的方法。染色实质上是增大电子密度,电镜图像灰度不同。电子显微镜图片均为黑白灰,无彩色。常用染色剂:醋酸铀:主要染核酸、核蛋白、细胞核、结缔组织。要避光,有微弱的放射性柠檬酸铅:主要染膜结构、脂类、核酸。易与CO2反应成沉淀,染色中应避免。步骤:单染:铅盐单染,铀盐单染。双染色:醋酸双氧铀染色→漂洗→柠檬酸铅染色→漂洗→干燥。双染色较为常用。材料样品取材后可用丙酮清洗样品表面,直接包埋(渗透、包埋、聚合),超薄切片、电子染色(锇酸熏染)。
  • 岛津推出《制备纯化系统应用文集》
    高效液相色谱是实验室常用的分离分析手段,用于复杂样品中目标组分的分离和定量分析。按照样品分离的目的和规模区分,高效液相色谱分为分析型和制备型。制备型高效液相色谱不仅是要获得样品分离的高效液相色谱图,更为重要的是在分离过程中对样品中的目标组分或目标化学物进行收集,获得达到一定纯度要求的馏分,以备后续研究或生产使用。 岛津公司作为全球著名的分析仪器厂商,进入中国市场30多年来一直关注着国内外各行业的发展与需求动向。从20世纪60年代研制HPLC至今,岛津液相色谱经历了从常规液相色谱到超快速液相色谱,再到超高效液相色谱的一系列发展,同时兼顾分析型和制备型液相色谱不断创新, 目前制备液相色谱系列有高通量质谱引导型制备液相色谱,大规模制备液相色谱, 半制备液相色谱,以及循环制备液相色谱等,配合岛津高灵敏的紫外检测器、 二极管阵列检测器以及LCMS-2020质谱检测器,操作简便并有多种收集模式和最大收集通量的馏分收集器,为相关行业的研究及生产使用提供合用的配置和解决方案。 近日推出的《岛津制备纯化系统应用文集》,以岛津制备液相/液质色谱用户工作数据和分析中心合作研究数据为依据,来源包括上海化工研究院,浙江省食品药品检验研究院,中国科学院上海有机化学研究所,华东理工大学,上海中医药大学,常州大学,江苏恩华药业股份有限公司,罗氏研发(中国)有限公司,上海药明康德新药开发有限公司,上海泰禾化工有限公司等相关企事业、高校、科研院所、研究机构等单位的天然产物、合成化合物、药物、农药等样品的制备分离,共收录整理应用文章14篇,提供了全面解决方案以供相关用户参考使用。 本文集所含文章目录如下:1 质谱引导型制备液相色谱用于中药有效成分制备分离2 质谱引导型制备液相色谱对化学合成药品的分离纯化3 质谱引导型制备液相色谱在新药研发中的应用4 质谱引导型制备液相色谱分离氘代结晶紫和去甲氘代结晶紫5 质谱引导型制备液相色谱对两种染料的制备分离6 LC-20AP制备液相色谱在合成异构体分离中的应用7 LC-20AP制备液相色谱进行药物稳定性考察的研究8 LC-20AP制备液相色谱对原料药中相关杂质的制备分离9 LC-20AP制备液相色谱对多肽样品的分离纯化10 LC-20AP制备液相色谱对中药有效成分提取物的制备分离11 LC-20AP制备液相色谱对合成氟化物的分离纯化12 二极管阵列检测器在制备液相色谱中的应用13 收集时间程序在合成农药的微量杂质制备中的应用14 Crude2Pure系统在有机合成化合物纯化中的应用 有关详情,请您向&ldquo 岛津全球应用技术开发支持中心&rdquo 咨询。 咨询电话:021-22013542 关于岛津 岛津企业管理(中国)有限公司是(株)岛津制作所为扩大中国事业的规模,于1999年100%出资,在中国设立的现地法人公司。 目前,岛津企业管理(中国)有限公司在中国全境拥有13个分公司,事业规模正在不断扩大。其下设有北京、上海、广州、沈阳、成都分析中心;覆盖全国30个省的销售代理商网络;60多个技术服务站,构筑起为广大用户提供良好服务的完整体系。 岛津作为全球化的生产基地,已构筑起了不仅面向中国客户,同时也面向全世界的产品生产、供应体系,并力图构建起一个符合中国市场要求的产品生产体制。 以&ldquo 为了人类和地球的健康&rdquo 为目标,岛津人将始终致力于为用户提供更加先进的产品和更加满意的服务。 更多信息请关注岛津公司网站www.shimadzu.com.cn/an/ 。
  • Nature Nanotechnology :大面积可控单晶石墨烯多层堆垛制备技术新突破
    多层石墨烯及其堆垛顺序具有特的物理特性及全新的工程应用,可以将材料从金属调控为半导体甚至具有超导特性。石墨烯薄膜的性质相对于层数及其晶体堆垛顺序有很大变化。例如,单层石墨烯表现出高的载流子迁移率,对于超高速晶体管尤为重要。相比之下,AB堆垛的双层或菱面体堆垛的多层石墨烯在横向电场中显示出可调的带隙,从而产生了高效的电子和光子学器件。此外,有趣的量子霍尔效应现象也主要取决于其层数和堆垛顺序。因此,对于大面积制备而言,能够控制石墨烯的层数以及晶体堆垛顺序是非常重要的。 近日,韩国基础科学研究所(IBS)Young Hee Lee教授和釜山国立大学Se-Young Jeong教授在期刊《Nature Nanotechnology》以“Layer-controlled single-crystalline graphene film with stacking order via Cu-Si alloy formation” 为题报道了采用化学气相沉积的方法来实现大面积层数及堆垛方式可控的石墨烯薄膜的突破性工作。为石墨烯和其他2D材料层数的可控生长迈出了非常重要的一步。 文章提出了一种基于扩散至升华(DTS)的生长理论,实现层数可控生长的关键是在铜箔基底上先可控生长SiC合金,具体来讲(如图1所示),先在CVD石英腔室内原位形成Cu-Si合金,之后将CH4气体引入反应室并催化成C自由基,形成SiC,随后温度升高至1075℃以分解Si-C键,由于蒸气压使Si原子升华。因此,C原子被留下来形成多层石墨烯晶种,在升华过程中,这些晶种横向扩展到岛中(步骤III),并扩展致边缘。在给定的Si含量下注入不同浓度稀释的CH4气体,可以控制Si-Cu合金中石墨烯的层数。图1e显示了在步骤II中引入不同稀释浓度CH4气体时C含量的SIMS曲线,在较高CH4气体浓度下,C原子更深地扩散到Cu-Si薄膜中,形成较厚的SiC层,然后生长较厚的石墨烯薄膜。由此实现可控的调节超低限CH4浓度引入C原子以形成SiC层,在Si升华后以晶圆尺寸生长1-4层石墨烯晶体。   图1. 不同生长过程中的光学显微镜结果,生长示意图及XPS能谱和不同生长步骤中Si和C含量的二次离子质谱SIMS曲线 随后,为了可视化堆垛顺序并揭示晶体取向的特电子结构,进行了nano-ARPES光谱表征,系统研究了单层,双层,三层和四层石墨烯的能带结构(图2a-d),随着石墨烯层数增加,上移的费米能逐渐下移。另外,分别根据G和2D峰之间的IG/I2D强度比和拉曼光谱二维模式的线形来确定石墨烯薄膜的层数和堆垛顺序。IG/I2D随着层数增加而增加(从0.25到1.5),并且2D峰发生红移(从2676 cm-1到2699 cm-1)。后,双层、三层和四层石墨烯的堆垛顺序通过双栅器件的电学测量得到了确认(图2i-k)。在双层石墨烯(图2i)中,沟道电阻(在电荷中性点处)在高位移场下达到大值,从而允许使用垂直偶电场实现带隙可调性。在三层器件上进行了类似的测量(图2j),与AB堆垛的双层相反,由于导带和价带之间的重叠,沟道电阻随着位移增加而减小,这可以通过改变电场来控制,从而确认了无带隙的ABA-三层石墨烯。在四层器件中也观察到了类似的带隙调制(图2k),确认了ABCA堆垛顺序。 图2. 不同层数的石墨烯样品的nano-ARPES,拉曼及电学输运表征 本文通过在Cu衬底表面上使用SiC合金实现了可控的多层石墨烯,其厚度达到了四层,并具有确定的晶体堆垛顺序。略显遗憾的是本文并没有对制备的不同层数的石墨烯样品进行电导率,载流子浓度及载流子迁移率的标准测试。值得指出的是,近期,西班牙Das-Nano公司基于THz-TDS技术研发推出了一款可以实现大面积(8英寸wafer)石墨烯和其他二维材料100%全区域无损非接触快速电学测量系统-ONYX。ONYX采用一体化的反射式太赫兹时域光谱技术(THz-TDS)弥补了传统接触测量方法(如四探针法- Four-probe Method,范德堡法-Van Der Pauw和电阻层析成像法-Electrical Resistance Tomography)及显微方法(原子力显微镜-AFM, 共聚焦拉曼-Raman,扫描电子显微镜-SEM以及透射电子显微镜-TEM)之间的不足和空白。ONYX可以快速测量从0.5 mm2到~m2的石墨烯及其他二维材料的电学特性,为科研和工业化提供了一种颠覆性的检测手段。ONYX主要功能:→ 直流电导率(σDC)→ 载流子迁移率, μdrift→ 直流电阻率, RDC→ 载流子浓度, Ns→ 载流子散射时间,τsc→ 表面均匀性ONYX应用方向:石墨烯光伏薄膜材料半导体薄膜电子器件PEDOT钨纳米线GaN颗粒Ag 纳米线
  • 高通量组合薄膜制备及原位表征系统
    table border="1" cellspacing="0" cellpadding="0" width="600"tbodytrtd width="122"p style="line-height: 1.75em "成果名称/p/tdtd width="526" colspan="3"p style="line-height: 1.75em "高通量组合薄膜制备及原位表征系统/p/td/trtrtd width="122"p style="line-height: 1.75em "单位名称/p/tdtd width="526" colspan="3"p style="line-height: 1.75em "中科院物理研究所/p/td/trtrtd width="122"p style="line-height: 1.75em "联系人/p/tdtd width="175"p style="line-height: 1.75em "郇庆/p/tdtd width="159"p style="line-height: 1.75em "联系邮箱/p/tdtd width="192"p style="line-height: 1.75em "qhuan_uci@yahoo.com/p/td/trtrtd width="122"p style="line-height: 1.75em "成果成熟度/p/tdtd width="526" colspan="3"p style="line-height: 1.75em "√正在研发 □已有样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产/p/td/trtrtd width="122"p style="line-height: 1.75em "合作方式/p/tdtd width="526" colspan="3"p style="line-height: 1.75em "√技术转让 √技术入股 □合作开发 √其他/p/td/trtrtd width="648" colspan="4"p style="line-height: 1.75em "strong成果简介: /strongbr/ /pp style="text-align:center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201603/insimg/981cbfad-b9ec-4aa9-875a-12197e3c1fb1.jpg" title="LIBE-STM.jpg" width="350" height="321" border="0" hspace="0" vspace="0" style="width: 350px height: 321px "//pp style="line-height: 1.75em " br//pp style="line-height: 1.75em " 随着“材料基因组计划”的兴起,人们对新的实验手段,特别是高通量高空间分辨率的材料制备和性能测试方法提出了迫切的要求。正是针对于此,我们开发了这套“高通量组合薄膜制备及原位表征系统”,基于完全自主知识产权的新型生长机理制备高通量组合薄膜。同时,通过结合特殊设计的扫描隧道显微镜,可实现对所制备薄膜的原位超高分辨表征。尚在研发中,主要技术指标待测。/p/td/trtrtd width="648" colspan="4"p style="line-height: 1.75em "strong应用前景: /strongbr/ 应用前景尚不明确。/p/td/trtrtd width="648" colspan="4"p style="line-height: 1.75em "strong知识产权及项目获奖情况: /strongbr/ 发明专利:201510446068.7、201510524841.7/p/td/tr/tbody/tablepbr//p
  • 从制备到分析,科晶联盟携全套解决方案亮相材料大会
    7月8日,科晶联盟携全套材料样品制备和分析产品亮相2021年中国材料大会。“中国材料大会”是中国材料研究学会的最重要的系列会议,去年由于疫情取消,今年材料大会的参会人数再攀新高,总人数超过了12000人,可谓是材料界在2020年疫情过后的一场盛会。科晶联盟由深圳科晶、合肥科晶、沈阳科晶三家公司组成。在这场时隔两年的盛会中,科晶联盟全面展示了材料制备和加工设备产品线的多个型号产品,覆盖了混料球磨、压片、烧结、熔炼、切割、磨抛、清洗、镀膜、电池研究设备。双罐高速三维摆震球磨机曲线金刚石线切割机小型5英寸快速退火炉本次展会,科晶也带来了一些新品。最新的小型桌面曲线切割机可以实现各种异形切割。用户可在计算机上画成各种图形,设备即可根据图形加工。振动抛光机可用于消除抛光之后的表面应力,做一些测试。最新的20000转旋涂仪可用于溶胶凝胶法制备薄膜。此外,科晶还展出了最新的CMP(化学机械抛光机)。16工位高通量电动无油压机(左)和8通道管式炉(右)此外,科晶与上海大学材料基因组工程研究院联合研发了全流程高通量合金制备与表征系统。据介绍,这是国际和国内首套全流程块体合金高通量制备和表征设备,包括十余种配料、混料、压制、熔炼、热处理、成分分析、硬度测试等覆盖各工序的材料制备和表征设备,以及高通量线切割、镶嵌和研磨抛光等制样设备,整体实验效率可提高10-20倍以上。该高通量材料制备与表征设备已在上海大学、鞍钢北京研究院等高校和企业投入使用,助力低成本加速材料研发。高温蠕变测试仪除了材料样品制备外,目前科晶也涉足材料分析测试领域。科晶开发了高温蠕变剪切应力测试仪,可针对金属或陶瓷材料在高温下对其进行拉伸蠕变剪切测试,分析材料的力学性能。这款产品具有小型化和高温的特点,可升温到1350℃,升降温速率可设定。目前,科晶已经开发出硬度测试、X射线荧光光谱分析、热重分析等产品。据介绍,科晶不仅是一家立足新材料研发的仪器设备公司,也是一家晶体材料和靶材公司。科晶产品应用到先进关键战略材料如3D打印材料、石墨烯,超导材料、新型能源材料、新一代生物医用材料、电子陶瓷和人工晶体、稀土功能材料、先进半导体材料以及现代航空、高铁、汽车等交通业用的高温合金、轻合金材料,科晶始终重视研发,不断推陈出新,以半导体行业为例,产品包括半导体材料、清洗、退火、晶体生长设备。
  • 上海微系统所在大尺寸石墨烯制备及导热应用方面取得进展
    制备决定未来,石墨烯材料的可控制备是石墨烯行业的基础,更是石墨烯在下游应用中充分发挥其性能优势的关键。在批量制造石墨烯材料的过程中,精确控制石墨烯片层厚度、横向尺寸和化学结构等参数已成为石墨烯在热管理、新能源、纤维等领域应用的瓶颈。鳞片石墨剥离技术是发展最为成熟的石墨烯规模化制备技术,该方法已实现石墨烯片层厚度和化学结构的精确控制,但在横向尺寸调控方面仍然面临挑战,典型的石墨烯横向尺寸分布在几百纳米到几个微米以内。单一石墨烯片的的横向尺寸越大,所组装构建的宏观结构在导热、导电和力学等性能方面具有更大的提升潜力和空间。因此,亟待发展横向尺寸在几十微米、甚至几百微米的大尺寸石墨烯材料规模化高效可控制备技术,而实现这一目标必须从制备机理上进行创新和突破。近期,针对传统技术利用长时间、强氧化剂环境氧化剥离石墨存在的剪切破碎严重、横向尺寸难保持等关键科学问题,中科院上海微系统所丁古巧课题组在前期独创的“离域电化学解理” 方法(Chemical Engineering Journal 428 (2022): 131122. 10.1016/j.cej.2021.131122)和“预解理再剥离”技术(Carbon 191 (2022): 477. 10.1016/j.carbon.2022.02.001)基础上,提出了 “氧化新鲜石墨烯网络结构”新策略,该策略首先利用离域电化学法深度解理石墨获得多孔的石墨烯网络结构,然后对获得的石墨烯多孔网络结构进行氧化剥离,由于多孔网络结构为氧化剂的输运提供了高速通道,实现了氧化剂当量和氧化剥离时间的同步大幅减小(图1a),氧化剂当量从通常报道的2-5减少至1,氧化时间从通常的3-5 h下降到1 h,为大尺寸石墨烯材料的制备提供了新的思路。图1. (a) “氧化石墨烯网络结构”策略示意图;(b)大尺寸氧化石墨烯横向尺寸及分布;(c)大尺寸氧化石墨烯的晶格结构分析;(d, e)“氧化新鲜石墨烯网络”策略的优势。该方法在不引入后续筛选处理的情况下实现了大尺寸高晶格质量氧化石墨烯的高效制备。将石墨剥离过程中横向尺寸保持率提高到文献报道最好水平的1.5-2倍,将氧化石墨烯的平均尺寸极限从~120 μm提升到~180 μm(图1b)。需要特别指出的是,结构表征数据表明所制备的水相可分散大尺寸氧化石墨烯具有完全不同于传统氧化石墨烯的晶格结构,也不同于一般的石墨烯,是介于氧化石墨烯和高质量石墨烯之间的一种特殊结构石墨烯材料。氧化剂当量和氧化时间同时减少不仅抑制了石墨/石墨烯碎裂,还在很大程度上保留了石墨原料的sp2结构,在剥离形成的石墨烯片中形成了 “晶区网络包围非晶区岛”的特殊晶格结构(图1c)。更重要的是,机理研究还发现深度预解理石墨结构并保持其“新鲜性”对于石墨烯横向尺寸保持至关重要,传统方法在预解理和氧化剥离体系之间切换时引入的洗涤干燥等过程不可忽视。现有预解理方法很难将石墨解理成石墨烯网络结构,而且溶液体系切换不可避免的片层“回叠”效应在很大程度上破坏了新构建的氧化剂输运通道。相反,“离域电化学解理”体系很好地匹配了氧化剥离体系,从根本上避免了不同体系切换造成的不良影响,是“氧化新鲜石墨烯网络结构”策略成功的关键。进一步的物性结果(图2)表明,大尺寸高质量石墨烯具有良好水相分散性,可组装形成层状结构宏观膜。与绝缘的传统氧化石墨烯膜不同,在不经还原处理情况下大尺寸高质量石墨烯宏观膜表现出良好导电性,电导率达到305.3 S m-1。同时,相对于小尺寸氧化石墨烯,大尺寸高质量石墨烯构建的宏观膜具有优异的力学性能,杨氏模量达到21.2 GPa,拉伸强度达到392.1 Mpa,分别是小尺寸石墨烯膜的~3倍和~5倍。更重要的是,大尺寸高质量石墨烯在构建石墨烯导热厚膜方面表现出明显优势,制备的100 μm石墨烯厚膜导热系数达到1576.1±26.7 W m-1 K-1,超过此前文献报道水平,充分体现了大尺寸石墨烯的导热优势。图2.大尺寸氧化石墨烯膜的显微结构(a)、导电性能(b)、力学性能(c-f)和导热性能(g-j)优势。上述工作大幅突破了氧化石墨烯的平均横向尺寸极限,同时拓展了氧化石墨烯的物性空间,形成了水相可分散大尺寸高质量氧化石墨烯的可规模化制备技术,从材料层面为石墨烯基器件热管理体系、力学增强结构、导电复合材料的性能突破和应用升级提供了新的解决方案。相关研究成果近期以“Oxidating Fresh Porous Graphene Networks toward Ultra‐Large Graphene Oxide with Electrical Conductivity”为题在线发表于Advanced Functional Materials (IF=19.924,10.1002/adfm.202202697)。论文第一作者为中科院上海微系统所张鹏磊博士,通讯作者为中科院上海微系统所丁古巧研究员、何朋副研究员。相关工作得到国家自然科学基金(51802337, 11774368 and 11704204)等资金支持。论文链接 https://onlinelibrary.wiley.com/doi/pdf/10.1002/adfm.202202697
  • 祝贺碳中和背景下生态系统多要素观测技术学术交流会圆满成功!
    2021年9月7日,碳中和背景下生态系统多要素观测技术学术交流会在线上成功举办。来自北京大学、中国林科院、中国科学院、中国农业大学、中央民族大学、北京林业大学、东北林业大学、西南大学、南京信息工程大学、武汉大学、复旦大学、同济大学、新疆大学、西北农林科技大学、成都理工大学、华东师范大学、南京农业大学等近200余个单位的专家学者及业务人员参加了此次会议,直播间访问次数达5000余次。9月7日9:00会议开始,北京理加联合科技有限公司孙宝宇总经理为会议致开幕辞,欢迎前来参会的各位老师,并预祝本次研讨会圆满成功。在上午的报告中,中国科学院青藏高原研究所旭日 研究员、中国科学院水利部成都山地灾害与环境研究所魏达 研究员、中国科学院地理科学与资源研究所汪金松 博士、内蒙古农业大学张欣 博士、北京理加联合科技有限公司孙宝宇 总经理分别介绍了高寒生态系统氮循环与气候变化、基于观测的青藏高原陆地生态系统碳通量、增温对高寒草甸温室气体通量的影响、基于碳同位素分析兴安落叶松天然林碳释放主要途径及其成因、生态系统碳循环测量技术及应用介绍。在下午的报告中,北京理加联合科技有限公司郑宁 博士、中国农业科学院邵长亮 研究员、中国林业科学研究院原文文 博士、中国气象局气象探测中心张晓春 正高级工程师、国家海洋环境预报中心吕洪刚 高级工程师、北京理加联合科技有限公司丰怀泽 植被遥感工程师分别就温室气体通量观测及其研究进展、蒙古高原通量观测、华北典型森林生态系统温室气体通量观测研究、GB/T 34286-2017《温室气体 二氧化碳测量 离轴积分腔输出光谱法》GB/T 34287-2017《温室气体 甲烷测量 离轴积分腔输出光谱法》内容简介、中国近海大气温室气体观测与分析、SIF:不止于空中的通量塔等方面进行了详细地介绍。本次交流会充分利用互联网平台,采用线上直播形式,各位老师通过共享屏幕、语音及文字对话等方式,快速进行问题答疑。培训过程中大家专心听讲,面对其中的难点,积极参与线上交流,学习氛围良好,互动热烈。此次线上会议还有直播抽奖环节,共抽取一等奖(1名)二等奖(3名)三等奖(5名)气候变化是人类面临的全球性问题,由此产生的极端气候事件频发,影响日渐深重。2021年两会上,“碳达峰”、“碳中和”被首次写入政府工作报告,这是我们应对气候变暖的国际行动的一部分。面对碳中和的需求,减排(减少CO2排放)和增汇(增加CO2吸收)是两条根本的途径,我们应在尽可能减排的同时大力采取增汇措施。相信通过此次交流会的学习,参会的老师和同学对SIF植被遥感、湍流涡动通量、多通道土壤呼吸等为代表的天空地一体化温室气体监测技术有了更深的了解。如您有任何需要,欢迎随时联系我们,北京理加联合科技有限公司将竭诚为广大科研工作者服务。
  • 圆满结业 | 华龛生物【百亿量级】干细胞生产制备-实操训练营
    百亿量级干细胞生产制备实操训练营华龛生物首期“百亿量级干细胞生产制备”实操训练营,于2023年8月24日在华龛生物国际合作与技术应用中心圆满结业。来自海内外多家干细胞企业的20余位技术精英,深度参与了3场培训。根据不同阶段、不同需求定制化的课程,帮助大家答疑解惑,获得了一致好评。培训背景Training Background近年来,干细胞治疗技术研究成果众多,但产业化发展仍受到干细胞生产质效掣肘,“如何实现全封闭、自动化、大规模的细胞生产”,成为产业发展亟须攻克的难题。为帮助众多客户突破瓶颈,经历5年积累,华龛生物带来了完善、成熟的【百亿量级】干细胞生产制备工艺——基于3D TableTrix 微载体、3D FloTrix 系列自动化生物反应器及细胞收获系统等原研产品,建成自动化、连续、密闭式百亿量级干细胞制备工艺管线。以此工艺生产制备干细胞治疗产品,能够避免开放式操作所带来的污染风险,显著降低细胞生产制备过程中的耗材、人力、时间成本。在满足干细胞质量及安全性符合临床应用标准的基础上,更能满足临床应用和商业化过程中对于细胞产量的需求——细胞放大培养13天即可达到百亿数量。凭借众多”实绩“,华龛生物【百亿工艺】广受青睐。为让更多干细胞企业能够亲身体验华龛生物百亿干细胞生产技术,本期训练营应运而生。培训实况Training Live本期训练营,特分为全程培训和主课培训两种模式进行。通过理论讲解与实际操作结合的方式,全面系统的让大家了解完整工艺流程和每个产品。华龛生物技术应用工程师从实验室建设规划开篇,主要为大家讲解了工艺流程中每一台设备的工作原理和操作方法。建立基础后,迎来了本次课程最重磅部分——真细胞、真机、真工艺进行一次百亿MSC培养,从5L逐步放大至15L,再到细胞收获和分装。让大家参与、见证,在一间30m2的实验室内,仅2名操作人员是如何完成百亿量级干细胞生产的。实操包括了从vivaSPIN自动化生物反应器、vivaPREP PLUS细胞收获系统、vivaPACK/FILL细胞灌装系统、vivaEXO外泌体收获系统等一系列设备的安装和参数设置,以及系统运行时的调控操作,通过实际践行工艺要点,多维度、全方位的巩固基础、积累经验。培训收获Training Harvest来自大陆、台湾地区以及韩国的客户,对华龛生物产品的了解处于不同阶段,但通过参与此次培训都有所收获。已经订购相关产品的客户,通过更为专业全面的指导,帮助他们快速了解产品使用方法,掌握要点和技术细节,在后续工作中更快上手;正在深入了解阶段的客户,眼见为实,见证了如何实现全封闭生产、如何有效提升人效比、如何完成单批次百亿细胞的清洗分装;韩国和台湾地区的客户,不仅亲历了微载体温和降解,实现细胞完全收获的系统流程,更跟踪观察细胞完成持续传代,4天增殖到10倍以上,仍保持>90%活率,还可实现外泌体的大量收获等全面成果。共创未来此外,大家通过参观华龛生物3D细胞智造体验平台,对华龛生物3D培养技术的发展、布局以及未来的规划有了更多了解。也借此机会,共同探讨行业发展趋势,畅想未来智慧细胞工厂。本期培训客户合影以华龛生物发展历程为缩影,得见产业上下方兴未艾之势。大家对细胞与基因治疗发展与应用前景充满信心,也相信华龛生物将持续以3D细胞规模化智造技术赋能细胞与基因治疗产业,与大家携手并进,将先进的技术研发成果转化落地为成熟临床治疗产品,惠及更多患者。
  • 2021 电镜样品制备技术研讨会于7 月15 日在沪召开
    仪器信息网走进高校系列活动第一站:华东理工大学2021年7月15日,由仪器信息网、华东理工大学分析测试中心联合主办的2021电镜样品制备技术研讨会,在华东理工大学分析测试中心顺利召开。会议围绕不同种类样品制备的新技术、新方法、新成果展开研讨。会议采取线下举办线上进行同步直播方式,线下线上共吸引600余位行业从业者报名参会交流。仪器信息网作为联合主办方全程报道本次会议。会议现场华东理工大学分析测试中心副主任吴婷老师(左一)主持会议华东理工大学分析测试中心主任黄永民教授致辞黄主任在致辞中代表分析测试中心对会议的成功召开表示热烈祝贺。对本次会议组织者仪器信息网工作人员、分析测试中心老师表示衷心的感谢,同时对与会专家的到来表示热烈的欢迎,并祝愿大会成功召开。华东师范大学电镜中心 倪兵老师报告题目:微小生物电镜样品制备技术电镜技术已经运用于生命科学各个领域,但不同生物样品电镜制样方法不同,同一样品不同研究目的制样方法也不同。微小生物小于500微米,能独立完成运动、营养、生殖和调节等生命活动体,包括细菌、单细胞动植物以及较小的多细胞生物个体等,倪老师以微小生物为对象,做电镜样品的不同制备技术分享报告。上海精准医学研究院 常海双老师报告题目:多元化制样技术在生物电镜领域的应用随着生命科学研究的进展,学者对细胞超微结构的研究越来越深入,对电镜图像的要求也越来越高。常老师报告中系统的介绍了生物样品的电镜制样技术,包括电镜负染色技术,投入式冷冻制样技术,细胞组织的常规化学固定制样技术,高压冷冻制样技术,免疫电镜技术等,使大家对生物样品的电镜制样技术有一个整体的了解和认识。上海交通大学医学院 雷绘敏老师报告题目:激光共聚焦细胞样品制备及关键技术要点激光共聚焦显微镜的样品制备过程不难掌握,但有些实验中经常会出现检测不到荧光,或者细胞定位与文献不符等情况而拿不到理想的结果,导致一遍又一遍的重复实验,费时费力。然而,在样品制备过程中从细胞种板或爬片开始到固定-通透-封闭-敷抗体等一系列步骤皆有需要注意的操作要点,本次报告雷老师主要就激光共聚焦样品制备过程的小经验做会议分享。 上海交通大学分析测试中心 王戈老师报告题目:超薄切片制备技术的研究及应用通过对超薄切片制备技术的研究,将其主要分为常温湿切、冷冻干切干捞、冷冻干切湿捞、常温干切四类,针对生物、高分子、无极纳米材料等不同类型不同特点样品及后期测试需求进行超薄切片制备方法建立,以尽可能原位的处理原则达到对各类样品最真实的形态学表征。华东理工大学 唐静老师报告题目:透射电镜常见样品制备案例分析电子显微镜是各类材料表面形貌和内部组织结构表征的重要工具,广泛应用于材料、化学化工、生物医学等各个领域。但由于透镜的工作原理,它通常适合检测非常薄的样品,厚度一般需要小于200纳米。唐静老师针对常见的透射电镜样品,如粉末、溶液或乳液以及需要观测内部结构信息的高分子块体、纤维、薄膜以及大颗粒样品,阐述了这几类样品的制备方法,并重点分享材料类样品超薄切片的制备经验。本次会议还得到了上海泰坦科技股份有限公司、华仪行(北京)科技有限公司等仪器企业的倾情支持,通过现场互动,向广大电镜从业工作者展现科学仪器最新的产品与应用成果上海泰坦科技股份有限公司华仪行(北京)科技有限公司报告嘉宾合影关于仪器信息网走进高校和科研院所系列活动:2021年,仪器信息网推出走进高校和科研院所系列活动,针对不同领域内的热点、难点,组织开展线下科学仪器新技术新应用系列交流活动,同时,仪器信息网借助网络讲堂直播平台同步直播,从而促进行业用户仪器应用水平的提升和技术交流。现面向高校、科研院所等单位征集有意向联合主办活动的合作单位,共同为行业用户搭建技术交流平台,促进行业发展。扫码提交合作意向或点击链接提交:http://bluemoon88.mikecrm.com/7u830Nk联系我们:刘经理 13621138972 liuhg@instrument.com.cn魏经理 13552834693 weihh@instrument.com.cn关于仪器信息网:仪器信息网是中国第一家科学仪器专业门户网站。自1999年开通以来,一直“以信息化带动中国科学仪器行业的健康快速发展”为宗旨,以“互动、创新、整合”为服务理念,致力于为科学仪器行业提供专业化的信息服务和网络应用技术服务。网站拥有一支高度专业的技术服务团队,其中具有博士、硕士学历员工占30%以上。通过二十余年的辛勤耕耘和大量的基础工作,仪器信息网已经发展成为中国科学仪器行业最重要的媒体之一。开设的特色栏目有:“选仪器”、“网络讲堂”、“资讯中心”、“仪器社区”、“仪器直聘”、“市场研究”、“行业应用”、“仪课通”、“仪采通”等,并通过手机站、仪器信息网APP、官方微信等构建科学仪器行业最大的移动交流平台。此外,仪器信息网每年还联合相关协会、学会举办一次“中国科学仪器发展年会(ACCSI)”,并组织多个小型专业交流活动。 关于华东理工大学分析测试中心:华东理工大学分析测试中心(以下简称“中心”)是全国高校中实现大型仪器专管共用的最早单位之一,具有CMA(检验检测机构资质认定)及NTC(全国分析测试人员能力培训委员会)的资质,以分析测试为主,实现教学、科研三结合的重要实践基地。“中心”现设有波谱、色谱、光谱、元素及电镜五个分析研究室,涉及材料、环境、应用化学、生物化工、化学工程等领域,大型仪器设备总值近8000余万元。中心在确保为本校教学、科研服务的前提下,本着科学、公正、准确、高效的宗旨,利用先进的分析测试仪器,面向社会提供分析测试服务。
  • 显微拉曼光谱在测量晶圆(多晶硅薄膜)残余应力上的应用
    在半导体生产过程中,退火、切割、光刻、打线、封装等多个生产工序都会引入应力,而应力分为张应力和压应力;应力也分有益的和有害之分。应变 Si(strained Silicon 或 sSi)是指硅单晶受应力的作用,其晶格结构和晶格常数不同于未应变体硅晶体。应变的存在,使 Si 晶体结构由立方晶体特征向四方晶体结构特征转变,导致其能带结构发生变化,从而最终导致其载流子迁移率发生变化。研究表明,在 Si 单晶中分别引入张应变和压应变,可分别使其电子迁移率和空穴迁移率有显著的提升因而,从 Si CMOS IC 的 90nm 工艺开始,在 Si 器件沟道以及晶圆材料中引入应变,提高了器件沟道迁移率或材料载流子迁移率,从而提升器件和电流的高速性能。多晶硅薄膜是MEMS(micro-electro-mechanical systems)器件中重要的结构材料,通常在单晶硅基底上由沉积方法形成。由于薄膜与基底不同的热膨胀系数、沉积温度、沉积方式、环境条件等众多因素的综合作用,多晶硅薄膜一般都存在大小不一的拉应力或者压应力。作为结构材料多晶硅薄膜的材料力学性能在很大程度上决定了MEMS器件的可靠性和稳定性。而多晶硅薄膜的残余应力对其断裂强度、疲劳强度等力学性能有显著的影响。表面及亚表面损伤还会引起残余应力,残余应力的存在将影响晶圆的强度,引起晶圆的翘曲如图1所示。所以准确测量和表征多晶硅薄膜的残余应力对于生产成熟的MEMS器件具有重要的意义。图 1 翘曲的晶圆片图 2 Si N 致张应变 SOI 工艺原理示意图,随着具有压应力 SiN 淀积在 SOI 晶圆上,顶层 Si 便会因为受到 SiN 薄膜拉伸作用发生张应变应力的测试难度非常大。由于MEMS中的多晶硅薄膜具有明显的小尺度特征,准确测量多晶硅薄膜的残余应力并不是一件容易的事情。目前在对薄膜的残余应力测量中主要采用两种方法:一种是X射线衍射,通过测量薄膜晶体中晶格常数的变化来计算薄膜的残余应力,这种方法可以实现对薄膜微区残余应力的准确测量,但测量范围较小,且对试样的制备具有较高的要求,基本不能实现在线薄膜残余应力测量。另外一种就是显微拉曼谱测量法,该方法具有非接触、无损、宽频谱范围和高空间分辨率等优点。通过测量薄膜在残余应力作用下引起的材料拉曼谱峰的移动可推知薄膜的残余应力分布。该方法可以实现对薄膜试件应力状况的在线监测,是表征薄膜材料尤其是MEMS器件中薄膜材料残余应力的一种重要方法。用于力学测量的一般要具有高水平的波长稳定性的紫外或可见光激发光源,并具备高光谱分辨率(小于 1cm-1)的显微拉曼光谱系统。1. 测量原理1.1. 薄膜残余应力与拉曼谱峰移的关系拉曼谱测量薄膜残余应力的示意图如图2所示。激光器发出的单色激光(带箭头实线)经过带通滤波器和光束分离器以后经物镜汇聚照射到样品表面‚激光光子与薄膜原子相互碰撞造成激光光子的散射。其中发生非弹性碰撞的光束(带箭头虚线)经过光束分离器和反射滤波器后,汇聚到声谱仪上形成薄膜的拉曼谱峰。拉曼散射光谱的产生跟薄膜物质原子本身的振动相关,只有当薄膜物质的原子振动伴随有极化率的变化时,激光的光子才能跟薄膜物质原子发生相互作用而形成拉曼光谱。当薄膜存在拉或压的残余应力时,其原子的键长会相应地伸长或缩短,使薄膜的力常数减小或增大,因而原子的振动频率会减小或增大,拉曼谱的峰值会向低频或高频移动。此时,拉曼峰值频率的移动量与薄膜内部残余应力的大小具有线性关系,即Δδ=ασ或者σ=kΔδ,Δδ是薄膜拉曼峰值的频移量,σ是薄膜的残余应力,k和α称为应力因子。图 3 拉曼测量系统示意图图 4 拉曼光谱测试晶圆的示意图2. 多晶硅薄膜残余应力计算对于单晶硅,激光光子与其作用时存在3种光学振动模式,两种平面内的一种竖直方向上的,这与其晶体结构密切相关。当单晶硅中存在应变时,这几种模式下的光子振动频率可以通过求解特征矩阵方程ΔK- λI = 0获得。其中ΔK是应变条件下光子的力常数改变量(光子变形能)λi(i= 1 ,2,3)是与非扰动频率ω0和扰动频率ωi相关的参量(λi≈ 2ω0(ωi-ω0)),I是3×3单位矩阵。由于光子在多晶硅表面散射方向的随机性和薄膜制造过程的工艺性等许多因素的影响,使得利用拉曼谱法测量多晶硅薄膜的残余应力变得更加复杂。Anastassakis和Liarokapis应用Voigt-Reuss-Hill平均和张量不变性得出与单晶硅形式相同的多晶硅薄膜的光子振动频率特征方程式。此时采用的光子变形能常数分别是K11=-2.12ω02 K12=-1.65ω02 K33=-0.23ω02是光子的非扰动频率。与之相对应的柔度因子分别是S11= 6.20×10-12Pa-1S12=-1.39 ×10-12Pa-1S33= 15.17 ×10-12Pa-1对于桥式多晶硅薄膜残余应力的分析,假定在薄膜两端存在大小相等、方向相反(指向桥中心)的力使薄膜呈拉应力。此时,拉曼谱峰值的频移与应力的关系可以表达为Δω =σ(K11+2 K12)(S11+2 S12)/3ω0代入参量得Δω =-1.6(cm-1GPa-1)σ,即σ=-0.63(cmGPa)Δω (1)其中σ是多晶硅薄膜的残余应力,单位为GPa;Δω是多晶硅薄膜拉曼峰值的频移单位为cm-1。3. 应力的拉曼表征桥式多晶硅薄膜梁沿长度方向的拉曼光谱峰值频移情况如图3所示。无应力多晶硅拉曼谱峰的标准波数是520 cm-1,从图3可以看出,当拉曼光谱的测量点从薄膜的两端向中间靠拢时,多晶硅的峰值波数将沿图中箭头方向移动,即当测量位置接近中部时,多晶硅薄膜的峰值波数将会逐渐达到最小。图中拉曼谱曲线采用洛伦兹函数拟合获得。通过得曲线的洛伦兹峰值的横坐标位置,就可以根据式(1)得到多晶硅薄膜的残余应力分布情况,如图4所示。由于制造过程的偏差,多晶硅薄膜的实际梁长L=213μm。图 5 多晶硅薄膜的拉曼谱峰值频移,随着应力增大,谱峰向左漂移。图 6 多晶硅薄膜的拉曼谱峰频移和残余应力分布从图6可以明显看出,多晶硅薄膜的拉曼谱峰值频移在它的长度方向上大致呈对称分布,也就是说,多晶硅薄膜的残余应力在其长度方向上呈对称分布。通过计算可知,在多晶硅薄膜的中部存在很大的拉伸残余应力(拉曼谱峰值向低波数移动),达到0.84 GPa。4. 应力的拉曼扫描成像某半导体晶圆厂家,采用奥谱天成Optosky的ATR8800型共聚焦显微拉曼光谱扫描成像仪(www.optosky.com),测试晶圆的应力分布情况,经过数据处理后,测得了整个晶圆圆盘的应力分布。图 7 奥谱天成生产的ATR8800型共聚焦显微拉曼光谱扫描成像仪,焦距为760mm,分辨率达到0.5cm-1图 8 ATR8800共聚焦显微拉曼光谱仪的工作界面图 9 ATR8800共聚焦显微拉曼光谱仪的工作界面图 10 共聚焦显微拉曼光谱扫描成像仪测得晶圆应力分布,红色的应力越大,蓝色的应力较小。5. 总结与讨论拉曼光谱具有无损、非接触、快速、表征能力强等特点,能够清晰地表征出晶圆的应力与应力分布,为半导体的生产、退火、封装、测试的工序,提供一种非常好的测量工具。奥谱天成致力于开发国际领 先的光谱分析仪器,立志成为国际一 流的光谱仪器提供商,基于特有的光机电一体化、光谱分析、云计算等技术,形成以拉曼光谱为拳头产品,光纤光谱、高光谱成像仪、地物光谱、荧光光谱、LIBS等多个领域,均跻身于世界前列,已出口到全球50多个国家。◆ 承担“海洋与渔业发展专项资金项目”(总经费4576万元);◆ 2021福建省科技小巨人科技部;◆ 刘鸿飞博士入选科技部“创新人才推进计划”;◆ 国家高新技术企业;◆ 刘鸿飞博士获评福建省高层次人才B类;◆ 主持制定《近红外地物光谱仪》国家标准;◆ 国家《拉曼光谱仪标准》起草单位;◆ 福建省《便携式拉曼光谱仪标准》评审专家单位;◆ 厦门市“双百人才计划”A类重点引进项目(最 高等级);◆ 国家海洋局重大产业化专项项目承担者;◆ “重大科学仪器专项计划”承担者。
  • 超高品质单晶生长!高温可达3000℃,可胜任高熔点、高挥发性材料制备的高性能激光浮区法单晶炉LFZ
    激光浮区技术(LFZ),在过去的几十年里,作为一种简单、快速、无需坩埚的生长高质量单晶材料的方法,在高熔点材料的单晶生长领域取得进展。 LFZ与常规光学浮区技术OFZ大的区别是用于加热和熔化的光辐照源不同。OFZ通常是使用椭球镜将卤素灯或者氙灯光源聚焦到生长棒来实现晶体生长。LFZ则是采用激光作为加热光源进行晶体生长,由于激光光束具有能量密度高的特点,因此可实现高饱和蒸汽压、高熔点材料及高热导率材料等常规浮区法单晶炉难以胜任的单晶生长工作。 随着技术的不断迭代,2020年Quantum Design Japan公司和日本理化研究所Yoshio Kaneko教授密切合作,联合设计开发了新一代高性能激光浮区法单晶炉LFZ,该系统采用了5束激光光路的设计方案,保证了激光辐照强度均匀分布在原材料的环向外围,并提供高功率分别为1.5 kW和2 kW两种规格的系统。此外,在新一代高性能激光浮区炉LFZ的光路设计中,采用了Yoshio Kaneko教授的温度梯度优化设计,能有助于改善晶体生长过程中的剩余热应变弛豫;除此之外,该系统还采用了Yoshio Kaneko教授的温度反馈控制闭环设计方案,实现了温度的实时监控与自动调节。实例讲解:1. 磁性材料Bi2CuO4 传统的磁性记忆合金依赖于双磁态,如铁磁体的自旋向上、自旋向下两种状态。增加磁态数量,且采用无杂散场的反铁磁材料,有望实现更高容量存储。近一篇发表于Nature Communications期刊题为Visualizing rotation and reversal of the Néel vector through antiferromagnetic trichroism的工作表明磁电共线反铁磁Bi2CuO4中不仅具有四个稳定的Néel矢量方向,还存在引人注目的反铁磁三色现象,即在可见光范围内的磁电效应使得吸收系数随光传播矢量和Néel矢量之间的角度变化而取三个离散值。利用这种反铁磁三色性,该工作可实现可视化的场驱动Néel矢量的旋转甚至反转[1],为电场调控和光学读取的高密度存储器设计提供可能性。 在该篇工作中看,磁性材料Bi2CuO4的制备使用了Quantum Design LFZ1A 激光浮区法单晶炉。该材料表面张力较低,熔融区难以控制,早期研究多采用较快的生长速度,但生长速度过快往往会导致微裂隙的存在而影响样品品质。在此,利用LFZ1A,通过精细调节生长条件,实现了高质量单晶的生长,从而实现了更精细的磁电性质测量。 在晶体生长的初几个小时,为稳定熔融区域,激光电流手动调节在26.9 - 27.4 A范围,随后,便可以切换到自动恒温模式下,生长速度控制在2.0 mmh-1,进料棒和籽晶棒反向旋转10 rpm,实现晶体的超过24 h的稳定生长,而不需要其他的手动操作。晶体生长在流动的纯氧气氛中进行。图1. Bi2CuO4的磁性测量。SQUID面内面外磁化率的测量都表明材料是TN=44K发生了反铁磁转变。单晶棒非常容易从Z平面解理开,插图显示解理面非常光亮,表明了样品的质量很高[1]。 2. 烧绿石Nd2Mo2O7 烧绿石Nd2Mo2O7中,Mo子晶格呈现出自旋倾斜、近乎共线铁磁排布,其标量自旋手性诱导出巨大的拓扑霍尔效应,可应用于霍尔效应传感器。Nd2Mo2O7是一种高挥发性材料,单晶合成需要被加热到1630℃,MoO2等成分高度挥发,并在生长石英管内壁沉积,导致光源辐照受阻,进而导致熔融区域温度降低,生长不稳定。得益于LFZ设备高精度和快速响应的温度控制系统,在熔融区域失稳前,迅速增加激光功率,激光光通量密度比卤素灯高几个量,因而可以迅速将温度提升到1100℃,促进沉积到石英管内壁上的MoO2的再挥发,当沉积与再挥发达到平衡时,激光加热功率稳定下来,终实现晶体的稳定生长。 近发表在Physical Review B期刊题为Robust noncoplanar magnetism in band-filling-tuned (Nd1−xCax)2Mo2O7的工作中,Max Hirschberger等人通过Ca2+取代Nd3+来调控化学势,实现了对Mo子晶格倾斜自旋铁磁稳定性的调控[2]。 他们先利用Quantum Design LFZ制备了一系列不同组分的厘米尺寸单晶(Nd1−xCax)2Mo2O7(x=0.01, 0.03, 0.05, 0.07, 0.10, 0.15, 0.22, 0.30和0.40)。在氩气氛下,生长温度控制在1630-1700℃,生长速度为1.8-2 mm/h。对不同组分单晶的磁性研究证明了在x≤0.15时倾斜铁磁态以及自旋倾角具有稳定性。而在x=0.22以上,Mo-Mo和Mo-Nd磁耦合变号,自旋玻璃金属态取代倾斜的铁磁态。图2, (Nd1−xCax)2Mo2O7不同组分磁化曲线和相图。左图:x=0.01, 0.22和0.40的三个组分单晶的场冷曲线,可以清晰的判断出倾斜铁磁态和自旋玻璃态的转变温度。右图:不同组分获得的转变温度总结的相图,包括有倾斜铁磁态、自旋玻璃态和顺磁态[2]。高品质数据的采集得益于高质量的单晶样品和的成分控制。 3. 高熔点材料SmB6 SmB6是早发现的重费米子材料之一,其研究已经有五十多年的历史。随着拓扑领域的发展,近几年人们发现SmB6是一种拓扑近藤缘体。它的电缘性来自于强关联的电子相互作用,不仅如此,它的缘态存在能带反转,具有拓扑非平庸属性,表面会出现无能隙拓扑表面态。由于体态完全缘,这个表面态可以用来做新型二维电子器件[3]。 对SmB6拓扑和低温性质的准确探索,离不开高质量的材料,但因为该材料的高熔点(2350℃),很难通过常规手段获得。而Yoshio Kaneko等人应用Quantum Design LFZ实现了高品质SmB6的生长。生长条件:1标准大气压的氩气氛,气体流速2000 cc/m,生长速率20 mm/h。图3. SmB6单晶形貌图和劳厄衍射图。SmB6单晶表面如镜面般光亮,晶体(111)面的劳厄斑体现了很好的三重对称性,佐证了样品的高品质,适用于拓扑性质的精细测量[4]。 总结 综上,Quantum Design新一代高性能激光浮区法单晶炉(LFZ)与传统浮区法单晶生长系统相比,特的激光光路可实现更高功率、更加均匀的能量分布和更加稳定的性能。LFZ将浮区法晶体生长技术推向一个全新的高度,可广泛应用于制备红宝石、SmB6等高熔点材料,Ba2Co2Fe12O22等不一致熔融材料,以及Nd2Mo2O7、SrRuO3等高挥发性材料,为凝聚态物理、化学、半导体、光学等多种学科领域提供了丰富的高品质单晶储备,使得更精细的单晶性质测量和表征成为可能。图4. 新一代高性能激光浮区法单晶炉LFZ外观图(左)和原型机中被五束激光加热的原料棒(右)。 参考文献: [1]. K. Kimura, Y. Otake, T. Kimura, Visualizing rotation and reversal of the Neel vector through antiferromagnetic trichroism. Nat Commun 13, 697 (2022).[2]. M. Hirschberger et al., Robust noncoplanar magnetism in band-filling-tuned (Nd1−xCax)2Mo2O7. Physical Review B 104, (2021).[3]. N. Kumar, S. N. Guin, K. Manna, C. Shekhar, C. Felser, Topological Quantum Materials from the Viewpoint of Chemistry. Chem Rev 121, 2780-2815 (2021).[4]. Y. Kaneko, Y. Tokura, Floating zone furnace equipped with a high power laser of 1 kW composed of five smart beams. Journal of Crystal Growth 533, 125435 (2020).
  • “中压制备色谱仪器售后培训班-上海站”圆满成功
    为了更好的服务客户, 2013年6月27日-28日博纳艾杰尔科技有限公司特派技术人员到上海分公司,针对中压制备方面的用户进行专业技术培训。此次培训为用户解析了CHEETAH MP系列中压快速纯化制备系统的内部结构,介绍了设备维护、操作技巧等相关知识,并当场进行了实际样品演示。培训内容十分精彩,参会人员都认真听讲并积极进行提问。  此次培训用户反映很好,参会人员均可实地操作,从而对博纳艾杰尔中压制备产品和技术有了新的了解跟肯定,博纳艾杰尔技术工程师根据客户反映,现场进行试验分析。会后,参加培训人员均表示已掌握了相关操作方法,并能分析处理操作过程中出现的问题,极大多数客户反映这次培训对自己帮助很大。符合这次培训的目的和要求,此次培训会议圆满成功。   特邀讲师-北京协和医学研究院刘前(讲课题目-TLC板到中压色谱方法转换及经验分享) 上机操作前,博纳艾杰尔纯化部主管王洪宇为参会人员进行详细讲解 参会人员对会中相关问题进行讨论
  • 材料基因研究仪器——高通量连续组分外延薄膜制备及原位局域电子态表征系统
    p  strong仪器信息网讯/strong 材料对于推动生产力发展和社会进步起着举足轻重的作用。关键材料的研发周期更是直接决定了相关领域的发展进程。材料基因组技术的出现为快速构建精确的材料相图,缩短材料的研发周期带来了希望。/pp  中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家研究中心技术部电子学仪器部郇庆/刘利团队一直致力于科研仪器装备的自主研发 超导国家重点实验室金魁/袁洁团队专注于基于高通量组合薄膜技术的新超导体探索和物理研究。两团队经多年合作成功研制并搭建了一台高通量连续组分外延薄膜制备及原位局域电子态表征系统。作为目前国际上最先进的第四代高通量实验设备,审稿人和项目验收专家组均给予了高度评价,认为该设备实现了研究应用和核心技术上的创新突破,解决了现有技术的诸多缺陷和不足,将成为材料基因研究的重要工具,并有望在推动多个领域的前沿研究中发挥重要作用。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202002/uepic/042ce1da-8ab9-46b9-8bb1-eb602327463f.jpg" title="组合激光分子束外延-扫描隧道显微镜联合系统:(a)三维设计图;(b) 实物照片.jpg" alt="组合激光分子束外延-扫描隧道显微镜联合系统:(a)三维设计图;(b) 实物照片.jpg"//pp style="text-align: center "组合激光分子束外延-扫描隧道显微镜联合系统:(a)三维设计图;(b) 实物照片/pp  该系统采用的关键技术为研发团队首次提出,核心部件均自主研发,具备多项独特优点:/pp  1)采用专利的旋转掩膜板设计,避免累积误差和往复运动的问题,大大提高了系统运行精度和稳定性 /pp  2)特殊设计的STM扫描头能够实现大范围XY移动( 10 mm)和高精度定位(定位精度优于 1 μm) 3)完备的传递设计可实现样品、针尖、靶材的高效传递,并易于未来功能扩展。/pp  该仪器研发历时4年多,设计版本多达50多个,并完成了全面的性能测试。他们利用自研系统制备了高质量的梯度厚度FeSe样品,得到可靠的超导转变温度随厚度的演变关系。在HOPG样品、金单晶样品、BSCCO样品以及原位生长FeSe样品表面均获得了高清原子分辨图像,并测量了BSCCO样品局域超导能隙扫描隧道谱。目前,该系统已用于研究高温超导机理问题和新型超导材料探索。/pp  组合薄膜制备技术作为材料基因组核心技术之一经历了三个发展阶段,即共磁控溅射技术、阵列掩膜板技术和组合激光分子束外延技术。目前,组合薄膜生长往往采用往复平行位移掩膜板的方式,这样不可避免造成累积误差,直接影响到薄膜制备过程中组分控制的精度。此外线性掩膜板反复变向及加减速操作也会加速机械部分磨损,降低系统稳定性。另一方面,目前对组合薄膜高通量快速表征技术也存在不足,很多传统方法无法直接用于组合薄膜表征。以扫描隧道显微镜(STM)为例,其对样品表面清洁度具有很高的要求,通常需要原位解理或制备样品 此外,有限的样品移动范围和不具备精确定位功能限制了STM在组合薄膜表征上的应用:大多数商业化STM样品移动范围一般仅为数毫米且不具备定位功能。对于连续组分薄膜性质的研究来说,实际的测量位置与样品组分是一一对应的,失去了位置坐标就失去了组分的信息。因此,发展更加精确的高通量薄膜制备和原位表征手段十分必要,并对包括超导材料在内的多个前沿研究领域具有重要意义。/pp  /ppbr//p
  • 中国科大制备出高效稳定的钙钛矿单晶LED
    近日,中国科学技术大学物理学院、中科院强耦合量子材料物理重点实验室及合肥微尺度物质科学国家研究中心教授肖正国研究组,在制备高效稳定的钙钛矿单晶LED领域取得重要进展。该研究利用空间限制法生长出高质量、大面积、超薄的钙钛矿单晶,并首次制备出亮度超过86,000 cd/m2、寿命达12500 h的钙钛矿单晶LED,向钙钛矿LED应用于人类照明迈出了重要一步。2月27日,相关研究成果以Highly bright and stable single-crystal perovskite light-emitting diodes为题,发表在Nature Photonics上。金属卤化物钙钛矿因发光波长可调、发光半峰宽窄、可低温制备等特性成为新一代LED显示与照明材料。目前,基于多晶薄膜的钙钛矿LED(PeLED)的外量子效率(EQE)已超过20%,可媲美商用有机LED(OLED)。近年来,多数报道的高效率钙钛矿LED器件的寿命在数百到数千小时不等,落后于OLED。离子移动、载流子注入不平衡、运行过程产生的焦耳热等因素均影响器件稳定性。此外,多晶钙钛矿器件中严重的俄歇复合也限制器件亮度。针对上述问题,肖正国课题组利用空间限制法在衬底上原位生长钙钛矿单晶,通过调控生长条件,引入有机胺和聚合物,有效提升了晶体质量,进而制备出高质量的MA0.8FA0.2PbBr3薄单晶【最小厚度仅为1.5 μm、表面粗糙程度小于0.6 nm、内部荧光量子产率(PLQYint)达到90%】。以薄单晶作为发光层制备的钙钛矿单晶LED器件的EQE达到11.2%、亮度超过86,000 cd/m2、寿命达12500 h,初步达到商业化门槛,成为目前稳定性最好的钙钛矿LED器件之一。该工作展示了使用钙钛矿薄单晶作为发光层是解决稳定性问题的可行方案,以及钙钛矿单晶LED在人类照明和显示领域的广阔前景。研究工作得到国家自然科学基金和中国科大的支持。空间限制法生长单晶示意图(a)、单晶的显微镜图(b)、钙钛矿单晶LED的器件结构(c)、钙钛矿单晶LED性能表征(d-f)。
  • 无掩膜直写光刻系统助力范德华异质结构器件制备,室温下展现隧穿磁阻率!
    论文题目:Room-Temperature and Tunable Tunneling Magnetoresistance in Fe3GaTe2‑ Based 2D van der Waals Heterojunctions发表期刊:ACS Applied Materials & Interfaces IF: 9.5DOI: https://doi.org/10.1021/acsami.3c06167【引言】 基于范德华 (vdW) 异质结构的磁隧道结 (MTJs)具有原子尺度上清晰且锐利的界面,是下一代自旋电子器件的重要材料。传统的Fe3O4、NiFe和Co等材料所制成的MTJ相关器件在10-80K温度下的磁阻率仅为0.2%-3.2%,主要是因为在制备过程中界面处会受到不可避免的损伤。寻找拥有清晰且完整界面的垂直磁各向异性(PMA)的铁磁性晶体就成为了发展MTJ相关器件的关键。二维过渡金属二硫属化物是一种具有清晰的界面二维铁磁材料,近年来成为制备MTJ相关器件的明星材料。然而,在已报道的研究中,尚未有在室温下还展现出一定隧穿磁阻率的相关研究。【成果简介】 近日,华中科技大学相关团队利用小型台式无掩膜直写光刻系统- MicroWriter ML3制备出了基于垂直范德华结构的室温条件下的MTJ器件。器件的上下电极为Fe3GaTe2,中间层为WS2。非线性I-V曲线显示了Fe3GaTe2/WS2/Fe3GaTe2异质结构的隧穿输运行为。在10K的温度下,其隧穿磁阻率可达213%,自旋极化率可达72%。在室温条件下,所制备器件的隧穿磁阻率仍可达11%,此外,隧穿磁阻率可以通过外加电流进行调控,调控范围为-9%-213%,显示出了自旋滤波效应。相关工作以《Room-Temperature and Tunable Tunneling Magnetoresistance in Fe3GaTe2‑ Based 2D van der Waals Heterojunctions》为题在SCI期刊《ACS Applied Materials & Interfaces》上发表。 文中所使用的小型台式无掩膜直写光刻系统- MicroWriter ML3具有结构小巧紧凑(70 cm x 70 cm x 70 cm),无掩膜直写系统的灵活性,还拥有高直写速度,高分辨率等特点,为本实验提供了方便高效的器件制备方案。 小型台式无掩膜直写光刻系统- MicroWriter ML3【图文导读】图1. Fe3GaTe2/WS2/Fe3GaTe2异质结构的MTJ器件结构及表征。(a)Fe3GaTe2/WS2/Fe3GaTe2异质结构的MTJ器件结构的示意图。(b)Fe3GaTe2/WS2/Fe3GaTe2异质结构的MTJ器件各部分的AFM表征。(c)MTJ器件的刨面图。图2. Fe3GaTe2霍尔器件的磁传输特性。(a)利用MicroWriter ML3无掩模光刻机制备的Fe3GaTe2霍尔器件的AFM表征结果。(b)Rxx随温度的变化。(c)不同温度下,Rxy随磁场的变化。图3. Fe3GaTe2/WS2/Fe3GaTe2异质结构的MTJ器件的电磁输运特性。(a)在10K和300K的温度下的I-V曲线。(b)在温度为10K和电流为10nA的条件下,电阻和隧穿磁阻率随磁场的变化。图4. 在10K到300K的温度范围内的磁输运测量结果。(a)隧穿磁阻率在不同温度下的结果。(b)隧穿磁阻率随温度的变化。(c)自旋极化率随温度的变化。图5. 论文中制备的器件与其他论文中器件的自旋极化率比较。【结论】 论文中,华中科技大学相关团队利用小型台式无掩膜直写光刻系统- MicroWriter ML3 制备了基于Fe3GaTe2/WS2/Fe3GaTe2异质结构的MTJ器件。该器件在10K的温度下,隧穿磁阻率高达213%,自旋极化率为72%。与已报道的MTJ器件相比,论文中所制备的器件在室温下的隧穿磁阻率仍可达11%,为自旋电子器件的发展提供了一种可能。此外,在论文中还可以看出,小型台式无掩膜直写光刻系统-MicroWriter ML3得益于其强大的光刻和套刻能力,可以十分方便地实现实验中所设计图形的曝光,是各学科科研中制备各类微纳器件的得力助手。
  • 国内首套超高真空无液氦低温STM与样品制备联合系统成功落户复旦大学物理学院
    近日,由美国RHK公司研发的超高真空无液氦低温STM系统与样品制备联合系统在复旦大学物理学院顺利完成安装使用。 图1 RHK超高真空无液氦低温STM系统该多功能联合系统兼备了样品制备、处理与表征于一体,同时配有高精度的原为CCD,可实现2um的空间分辨,满足特殊用户对二维材料等体系的原位快速寻找和测试。除此之外,该联合系统中的样品制备与处理部分,可实现样品原位高温烘烤,电子束轰击(配有Ar枪),可配备XPS、LEED等表征测量选件,同时Manipulator可原位加热(高于1000K)和低温(低于100K)处理样品,并配有使用不同构型的多个sample holders。该系统样品生长部分可以扩展多个生长源,可实现MBE 分子束蒸发,热蒸发等多种模式选择。 该联合制备表征系统中STM表征部分,除兼具RHK PanScan Freedom-LT之前已有的优异的隔振性能和无液氦制冷的操作简便性外,还新研发推出了可在低温扫描头温度屏蔽罩外侧加装原位低温样品储藏架,可长时间不间断低温(低于40K)存储特殊低温需要的样品。图2 超高真空无液氦低温STM与样品制备联合系统现场安装调试图3 RHK公司 Adam先生向用户现场介绍并进行讨论RHK公司产品以其技术创性和稳定性、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多表面科学、低温、真空等研究领域著名科学家和研究组的认可和青睐。相关产品及链接:1、 RHK无液氦UHV LT STM/ AFM-qPlus系统:http://www.instrument.com.cn/netshow/C205015.htm2、 RHK 超高真空扫描探针显微镜系统:http://www.instrument.com.cn/netshow/C44442.htm3、 UHV PAN式低温扫描探针显微镜系统:http://www.instrument.com.cn/netshow/C159540.htm4、 R9扫描探针显微镜控制器:http://www.instrument.com.cn/netshow/C159539.htm5、 R9plus扫描探针显微镜控制器:http://www.instrument.com.cn/netshow/C44532.htm
  • 北京佳仪分析设备有限公司成功中标中科院高能物理研究所循环制备型高效液相色谱仪采购
    北京佳仪分析设备有限公司成功中标中科院高能物理研究所循环制备型高效液相色谱仪采购项目我司于近日成功中标中科院高能物理研究所循环制备型高效液相色谱仪采购项目。日前,我司参加了中科院高能物理研究所委托东方国际招标有限责任公司招标循环制备型高效液相色谱仪采购项目的投标并成功中标。在评标期间,本着公平公正的原则,我司与另一投标商分别在客户处进行样品分离纯化实验,经过结果对比,再次证明我司仪器的循环功能是独一无二的。这种开创性的循环功能使液相色谱内部形成一个闭合的回路,样品可以在这个回路中反复过柱,在节省溶剂的同时达到了其他液相色谱无法达到的纯化效果。同时,由于该仪器使用绝无仅有的独特的管路设计(日本专利号2006-138699),可以有效的防止哪怕最微小的扩散回流物质对于溶剂或样品的污染,这是其他液相色谱所无法比拟的。从我司提供给评标专家组百余篇世界各国学者使用我司仪器在其研究领域发表的文章及国内对应领域客户名单中可以看出,我司仪器有着广泛的应用性,特别是在富勒烯研究领域,更被默认为行业标准配置仪器。我们相信,随着我国科研水平的日益提高,业界对高端仪器设备的需求会逐渐增大,我司仪器会在更多的领域做出更大的贡献。最后,我司特向在此期间给予技术支持和分析指导的北京大学施祖进教授和中科院化学所王春儒研究员表示感谢!
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