高容量专用刻蚀系统

p　　strong美国西北大学的研究人员发现了可稳定创纪录高储电量电池性能的新方法。/strong/pp style="text-align: center "img title="1-1.jpg" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201805/insimg/e211e33e-7d72-40e5-911f-ee1ef1fbcc48.jpg"//pp style="text-align: center "电池正极结构示意图，红色为锂，绿色为氧，紫色为锰，深蓝色为铬，浅蓝色为钒。(来源：美国西北大学)/pp　　在锂锰氧化物正极基础之上，这一创新可以使span style="color: rgb(255, 0, 0) "智能手机/span和span style="color: rgb(255, 0, 0) "电动汽车/span的电量增加至span style="color: rgb(255, 0, 0) "两倍/span以上。/pp　　“span style="color: rgb(31, 73, 125) "i这一电池电极已达到某一有记载最高的过渡金属氧化物基电极的容量。它的容量已超过你现用手机或电脑的两倍。/i/span/pp style="text-align: right "span style="color: rgb(31, 73, 125) "ispan style="color: rgb(31, 73, 125) "i美国西北大学McCormick工程学院，材料科学与工程专业Jerome B. Cohen教授Christopher Wolverton/i/span”/i/span/pp　　span style="color: rgb(31, 73, 125) "i“这种电极的高容量表明其在用于电动车辆锂离子电池的目标上有了巨大提升。”/i/spanChristopher补充道。/pp　　这一研究已于5月18日在科学发展杂志上在线报道。/pp　　锂离子电池以在正负极间往复迁移锂离子的方式而工作。正极使用含有锂离子、过渡金属和氧的化合物制取。过渡金属，通常为钴，当锂离子在正负极间来回迁移时有效地储存和释放电能。正极容量因而受到参与反应的过渡金属中的电子数量的限制。/pp　　一个法国研究团队于2016年首次鉴别出大容量锂锰氧化物的性能。span style="color: rgb(32, 88, 103) "strong通过使用成本更低的锰替代传统用的钴，研究人员开发出一个成本更低廉且具有之前两倍容量的电极。/strong/span但它也并非完美无瑕。strongspan style="color: rgb(32, 88, 103) "由于电池性能在头两个循环过程中会大大削减，科学家们认为它无法应用于市场。与此同时，他们并未完全理解电池性能衰退及其拥有大容量的化学根源。/span/strong/pp　　在绘出一个综合的，原子间相接的正极图像之后，Wolverton的团队发现了材料具备高性能背后的原因：span style="color: rgb(255, 0, 0) "strong它驱使氧参与到反应过程中来。通过使用氧及过渡金属来储存与释放电能，电池具有了更大的容量来储存及利用更多的锂。/strong/span/pp　　随后，西北大学的团队将他们的研发重点转向如何稳定电池性能并阻止它的迅速衰减。/pp　　span style="color: rgb(31, 73, 125) "i“通过充电过程理论的辅助，我们运用高速计算彻底检索元素周期表，以寻找合金化该含有其它元素化合物的方法，从而去增强电池的性能。/i/span/pp style="text-align: right "span style="color: rgb(31, 73, 125) "i文章共同第一作者，Wolverton 实验室的前博士生Zhenpeng Yao”/i/span/pp　　strongspan style="color: rgb(255, 0, 0) "计算鉴别出两种可能有效的元素：钒和铬。研究团队预估将锂锰氧化物与其中的一种混合将会产生可维持正极无与伦比高性能的稳定化合物。随后，Wolverton和他的搭档将在研究室中对这些理论上的化合物进行实验检测。/span/strong/pp　　该研究作为电化学能源科学中心，这一由美国能源部科学局资助的能源前沿研究中心的一部分，受到了其基础能源科学项目(项目编码：DE-AC02-06CH11357)的支持。哈佛大学的博士后研究人员Yao，与麻省理工学院的博士后研究人员Soo Kim，均为Wolverton实验室的前成员，并作为文章的共同第一作者。/p

目前，锂离子电池电芯与模组正朝着超大容量，高度集成化方向发展，锂离子电池生产企业，系统集成商和主机厂为了获得更高的体积能量密度，正从100Ah电芯逐渐切换到200Ah以上大容量电芯，此外刀片电池，CTP，CTC技术以及4680型电池的广泛应用，对现有检测设备的测试能力提出新的极限挑战。基于联合Nissan，英国华威大学(WMG)和Element Energy参与由英国商业、能源和工业战略部主导的”英国能源存储实验室”项目，AMETEK(普林斯顿及输力强电化学)公司开发了新一代大容量动力电池评估系统。输力强分析的SI-9300R，是一套针对动力电池开发，测试，诊断和梯次利用分级筛选的一站式多通道电池评估系统，适用于多种不同类型电池的分析，并具有无与伦比的超高精度，测量和快速诊断能力。 动力电池开发-测试-分析-分级 动力电池对高比容量、快速充电和长寿命等特性的需求，使得电池测量面临着更大的挑战。在对动力电池测试设备市场深入分析，对动力电池和电动汽车生产企业需求的充分了解的基础上, Solartron Analytical开发出一整套针对动力电池开发，测量，分析和分级的系统解决方案。 SI-9300R 五大技术特点 1.超大容量电流量程：2A-300A200A连续，300A脉冲并联可达到1000A可以满足各种类型的单体动力电池及模组的测试需要，不仅可以满足传统的18650，21700等类型的圆柱型电池，同时可以满足日益增长的高容量软包及方形动力电池测试。 2.超高精度• 24-位高精度ADCs• 磁通量电流传感器-高精度低热漂移• 高精度电流电压测量：0.03%• 高精度阻抗测试：0.1%, 0.1deg可满足动力电池在开发，测试，分析，分级等复杂应用场景下的差异性测试需求3.超强能力随着对动力电池安全及性能的要求越来越高，如何在满足常规直流测试的前提下，同时实现动力电池电化学性能快速精确测量呢？交直流同步测试，一站式完成，无需切换接线，确保人机安全。集充放电技术，电化学测试技术于一身，可提供如线性循环伏安，线性扫描，恒电流，恒电压，恒功率恒电阻和HPC(高精度库伦法)等全套动力电池测试技术。 每通道标配交流阻抗功能，可完成动力电池在充放电过程中的动态EIS分析，模拟实际工况下的使用状态。每通道标配两个辅助分压功能，可同时同步监测单体电池中正负极或串联模组中的单体及总体响应。快速进行正负极或单体失效分析。 4.全新技术专利数据直存硬盘技术–保证系统的可靠性和数据安全性电网回馈式–多余电能回馈电网不会产生热能损耗体积小，节约空间通道电能共享–放电电能将用于对其他电池充电-优化电能使用，节能环保，减少碳排放。实时数据分析–测试时可进行实时DC/EIS数据分析, 实时诊断电池性能。 5.超快SoH诊断基于9300R强大的充放电仪叠加交流阻抗功能，及灵活开放的软件界面，可开发出动力电池快速SoH(健康状态)诊断功能。全球首个成功案例，输力强通过与英国华威大学合作，使用9300R ，针对NISSAN LEAF的退役动力电池模组开发出SoH专利算法，仅仅3分钟之内即可分析出电池的SoH，且其误差为+/-3%，远高于传统的直流方法。 这为动力电池梯次利用，分级筛选提供了高可靠性，巨大经济性的解决方案。 “工欲善其事，必先利其器“，输力强作为全球超高精度，超高可靠性的动力电池，研发，测试，分析和分级的领先品牌，一直持续致力于为广大科研用户提供最先进的技术解决方案。

近日，大连化物所储能技术研究部（DNL17）李先锋研究员、郑琼副研究员团队和燕山大学唐永福教授团队合作，在钠/锂离子电池电极储能机理研究方面取得新进展。　　近年来，钠离子电池作为研究热点得到了国内外广泛关注，取得了快速发展。研究发现，具有较高Na+储存性能和循环稳定性的电极材料，对于提高钠离子电池的能量密度和倍率性能十分重要。 本工作中，研究团队设计了一种珊瑚状的FeP复合材料，该材料可锚定FeP纳米颗粒，并将其均匀分散在氮（N）掺杂的三维（3D）碳骨架（FeP@NC）上。珊瑚状FeP@NC复合材料具有较短的电荷转移路径和较高的导电氮掺杂碳网络，可显著改善复合材料的电荷转移动力学。同时，由于FeP纳米颗粒周围具有高度连续的N掺杂碳骨架和弹性缓冲的石墨化碳层，基于FeP@NC复合材料的钠离子电池（SIB）表现出优异的倍率性能和循环性能，在10A/g下经10000次循环后其容量保持率为82.0%。　　更为重要的是，针对循环过程中电池容量逐渐上升的现象，研究团队结合电化学研究和原位电镜表征分析，证实了一种独特的颗粒细化在循环过程中提高容量的作用机制，这种容量提升效果在小电流下表现得更为显著。研究表明，均匀分布在氮掺杂碳基体上的FeP纳米颗粒，在第一个循环中经历了细化-复合过程，经过数次循环后呈现出全区域细化的趋势，这种细化对周围的非晶碳产生强烈的吸附作用，引起复合材料石墨化度和界面磁化强度逐渐增加，为Na+的存储提供了更多的额外活性中心，进而提高了循环容量。这种容量提升机制也可以扩展到锂离子电池（LIBs）。研究发现，在10A/g下，经5000次循环后，基于FeP@NC复合材料的LIBs的容量保持率为90.3%，超过了已报道的FeP基复合材料的容量保持率。　　该研究提出了一种在循环过程中经颗粒细化诱导提高电池容量的新策略，为设计高性能的SIBs/LIBS负极材料提供了新思路。　　相关成果以“A Coral-Like FeP@NC Anode with Increasing Cycle Capacity for Sodium-Ion and Lithium-Ion Batteries Induced by Particle-Refinement”为题，发表在《德国应用化学》（Angew. Chem. Int. Ed.）上。该工作的第一作者是大连化物所DNL17博士研究生王灿沛。上述研究工作得到国家自然科学基金、中科院青年创新促进会等项目的资助。　　文章链接：https://doi.org/10.1002/anie.202110177

圣迭戈，2009 年 12 月 4 日(美国商业新闻)- 专注于提高人类健康及其生存环境安全的全球领先公司 PerkinElmer. Inc.，今天在美国细胞生物学会 2009 年会上宣布推出多种旨在提高生命科学研究的速度与效率的新工具。这些新产品具有更高的灵敏度、精确度和易用性，可以在癌症、炎症和神经退变性疾病等几种病症的研究过程中，获得更加精确的病理结果。　　“PerkinElmer 素有参加美国细胞生物学会年会的传统，今年我们将在会上推出各种细胞信号传导解决方案”，PerkinElmer 生物研发业务总裁 Richard M. Eglen 博士说。“今年我们推出了几种用于研究细胞通路的新工具，包括多种新颖的细胞和生物化学检测工具、3D 活细胞成像工具、创新性数据管理软件以及全新的超灵敏度发光微孔板检测仪。这些工具能够帮助科学工作者提高研究的速度和效率。”　　PerkinElmer 在美国细胞生物学会年会(1121 号展台)展示的新技术包括：- 22 种全新的 AlphaScreen SureFire 检测 - 可通过“无需洗涤”细胞激酶和信号传导通路试剂盒来检测内源细胞激酶。 - 24 种全新的 AlphaLISA “无需洗涤”免疫测定试剂盒 - 可检测生物标志物，包括用于检测“非人类”靶点的四种全新小鼠专用试剂盒。 - 18 种全新的 已制备 GPCR 冷冻细胞系 - 将该公司针对多种主要病症的经过验证的细胞系产品线扩展到 64 种以上。 - 7 种全新的 LANCE Ultra TR-FRET 检测产品 - 使能够检测的激酶数增加到 300 多种。 - 12 种全新的 3H 和 125I 放射性配体 - 将我们的系列产品增加到 1,000 多种 NEN 放射性化学试剂。 - 全新的 neoliteTM 报告基因检测 - 能够提高灵敏度并延长发光检测时间。 - 全新的 TSATM 增强型生物素试剂盒 - 将组织化学检测和细胞化学检测的灵敏度增加 10 到 20 倍。 - 全新的 Volocity 5.3 - 支持实时 3D 成像，可在采集过程中显示经过充分渲染的 3D 结果。Volocity Acquisition 改进了硬件控制并新增了一些用于实验设计的选项，其功能和灵活性都得到了增强。 - 全新的 EnSpireTM 多标记微孔板检测仪具有超灵敏度的发光和温度控制功能 – 此装置经济实用，能够提供高性能的检测和方便易用的软件，适用于任何规模的实验室。 - JANUS 自动化工作站 - 一个自动化液体处理平台，它所提供的通量、微孔板容量和动态体积范围都能够满足您当前和未来的应用需求。它易于使用，灵活性强，可满足各种应用需求。 - MicroBeta2 TM 微孔板检测仪 - 将液体闪烁计数的可靠性和发光检测与微孔板检测仪的简易性相结合，从而节省时间和消耗品并减少浪费。 - UltraVIEW VoX 3D 活细胞成像系统 - 唯一的能够提供从图像采集到分析的整合型的3D 转碟系统，可针对多种应用分析。 - OperettaTM 紧凑型高内涵筛选系统 – 首个具有全部工作流设计用户界面的高内涵筛选 (HCS) 系统。 - ColumbusTM 图像数据管理系统 - 作为此高容量图像数据管理和分析解决方案的最新版本，可使用户更快地在图像与数据管理之间实现互连，并且由于完全受 Web 支持，无需安装软件即可使用。 PerkinElmer 在年会上的活动包括： PerkinElmer 的参展商展示：“在具体环境中的细胞” 12 月 7 日周一，上午 7 时到 9 时，会议中心 11 A/B 室 让我们一起探讨 PerkinElmer 产品与应用的相关知识、专业技术以及持续的创新，它们将促进细胞信号传导和转导研究不断取得新进展。期间将有一系列的短片演示，向您简要介绍针对“一应俱全”细胞生物学研究未来发展的领先解决方案。 3D 活细胞成像研讨会 12 月 7 日周一，下午 4 时，Omni San Diego Hotel 酒店，B 沙龙 在嘉宾科学家和 PerkinElmer 成像专家进行一系列简短的说明性介绍的过程中，探讨活细胞成像，并分析 3D 图像采集和分析的优点。此次研讨会将讨论和展示一些解决当今细胞成像和分析领域难题的新技术。 超越 ELISA 研讨会 12 月 7 日周一，下午 4:00 到 7:45，Omni San Diego Hotel 酒店，A 沙龙 快来参加！了解领先的研究人员是如何发现新技术对生物标记物和细胞激酶分析产生影响的。在这具有开拓意义的研讨会中，嘉宾将直接从同行那里了解改变他们研究方式的先进方法。 有关 PerkinElmer 在此次年会上所有活动的详细信息，请访问http://www.perkinelmer.com/ASCB2009。 关于 PerkinElmer, Inc. PerkinElmer, Inc. 是一家专注于提高人类及环境的健康和安全的全球领先公司。据报道，该公司 2008 年收入约为 20 亿美元，拥有 8,400 名员工，为超过 150 个国家/地区的客户提供服务，同时该公司也是标准普尔 500 指数的成员。有关其它信息，请访问 www.perkinelmer.com.cn 或致电 1-877-PKI-NYSE。

在寻找可持续能源存储技术的过程中，瑞典查尔姆斯理工大学的研究人员提出了一种新概念来制造用于钠电池的高性能电极材料。 它基于一种新型石墨烯来储存世界上最常见和最便宜的金属离子之一——钠。结果表明，容量可以与当今的锂离子电池相匹配。尽管锂离子电池在储能方面效果很好，但锂是一种昂贵的金属，其长期供应和导致的环境问题令人担忧。另一方面，钠是一种丰富的低成本金属，是海水的主要成分。这使得钠离子电池成为一种有趣且可持续的替代方案，可减少我们对关键原材料的需求。然而，钠离子电池面临的主要挑战是如何提升容量。在目前的性能水平上，钠离子电池无法与锂离子电池竞争。一个限制因素是石墨，它由石墨烯的堆叠层组成，用作当今锂离子电池的负极材料。离子通过在石墨层间进出完成储能的过程。钠离子比锂离子大并且表面特性不同，因此，它们不能有效地储存在石墨结构中。但是查尔姆斯理工大学的研究人员想出了一种新的方法来解决这个问题。“我们在石墨烯层的一侧添加了一个分子间隔物。当这些层堆叠在一起时，这些分子会在石墨烯片之间产生更大的空间并提供一个相互作用点，从而显著提高容量，”该项研究的作者说。十倍于标准石墨的能量容量通常，标准石墨中可以嵌入的钠离子容量约为每克 35 毫安时 (mAh g-1)。这不到石墨中锂离子嵌入容量的十分之一。使用新型石墨烯，钠离子的比容量为每克332毫安时——接近石墨中锂离子的容量。实验结果还显示这种新型材料还具有完全可逆性和高循环稳定性。“当我们观察到如此高容量的钠离子嵌入时，真的很令人兴奋。这项研究仍处于早期阶段，但结果非常有希望。这表明可以设计出适合钠离子电池的有序结构的石墨烯负极材料，使其容量与石墨相当，”查尔姆斯大学物理系的 Aleksandar Matic 教授说。新型石墨烯在相对的两个面上具有不对称的化学官能化，因此通常被称为 Janus 石墨烯，以古罗马的双面神 Janus 命名。Janus是罗马神话中的门神，具有两个面孔，是起源神，象征开始。之所以用Janus命名是希望这种石墨烯材料可能为高容量钠离子电池打开大门。“我们的 Janus 材料离工业应用还很远，但新的结果表明我们可以设计超薄石墨烯片——以及它们之间的微小空间——用于高容量储能。我们很高兴提出一个具有成本效益、丰富且可持续的金属纳离子电池的概念，”查尔默斯工业与材料科学系附属教授 Vincenzo Palermo 说。关于材料的更多信息：具有独特结构的 Janus 石墨烯研究中使用的材料具有独特的人造纳米结构。每个石墨烯片的上表面都有一个分子，作为钠离子的间隔物和活性相互作用位点。两个堆叠石墨烯片之间的每个分子通过共价键连接到下部石墨烯片，并通过静电相互作用与上部石墨烯片相互作用。石墨烯层还具有均匀的孔径、可控的功能化密度和很少的边缘。

仪器信息网讯 半导体产业作为现代信息技术产业的基础，已成为社会发展和国民经济的基础性、战略性和先导性产业，是现代日常生活和未来科技进步必不可少的重要组成部分。当前，全球半导体科技和产业的竞争愈演愈烈，各国围绕提升半导体领域竞争力，相继出台了一系列政策举措。半导体行业归根结底属于设备类行业，行业内素有“一代设备，一代工艺，一代产品”的说法。SEMI在SEMICON Japan 2022上发布了《2022年度总半导体设备预测报告》。报告指出，原设备制造商的半导体制造设备全球总销售额预计将在2022年创下1085亿美元的新高，连续三年创纪录，较2021创下的1025亿美元行业纪录增长5.9％。在整个制造工艺流程中，光刻和刻蚀工艺的投资最大、研发难度和技术水平最高，对应的光刻机和蚀刻机也是半导体制造中最重要的关键设备之一。针对于此，仪器信息网与电子工业出版社联合组织于5月10日-11日召开的第二届“半导体工艺与检测技术”主题网络研讨会设置了“光刻与刻蚀及其检测技术”专场，依托成熟的网络会议平台，为半导体产业从事研发、教学、生产的工作人员提供一个突破时间地域限制的免费学习、交流平台，让大家足不出户便能聆听到精彩的报告。本次会议免费参会，报名链接：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/Semicon2023/ 或扫描二维码报名光刻与刻蚀及其检测技术专场会议日程：时间报告题目演讲嘉宾专场：光刻与刻蚀及其检测技术（5月10日下午）14:00--14:30广义芯片特种紫外光刻设备研发胡松（中国科学院光电技术研究所 研究室主任/研究员）14:30--15:00海洋光学微型光谱仪在半导体领域的应用卢坤俊（海洋光学 资深技术&应用专家）15:00--15:30光刻照明系统关键技术刘俊伯（中国科学院光电技术研究所 副研究员）15:30--16:00微纳加工的干法刻蚀技术（拟）张忠山（中国科学院物理研究所 副主任工程师）嘉宾介绍:中国科学院光电技术研究所 研究室主任/研究员 胡松胡松，博士，研究员，四川省有突出贡献优秀专家，四川省学术技术带头人后备人选，博士导师，2000—2016年光电技术研究所微电子装备及生物芯片仪器研究室主任，国家专家库专家、国家02专项调研组和指南编写组专家、集成电路测试仪器与装备产业技术创新联盟专家咨询委专家，四川省重大仪器设备专家组专家，全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会副主任，全国光电测量标委会委员，中国仪器仪表学会精密机械分会理事,中国电子工业专用设备行业协会理事。 一直从事微细光学技术与专用设备研制工作。先后承担并完成三十多项国家科技攻关、中科院重大项目、国家“863”项目、国家重大科技专项、国家重大仪器装备专项、国家自然科学基金、四川省科技攻关等。获国家科技进步三等奖两项，中科院科技进步二等奖、三等奖各一项，四川省科技进步二等奖一项、三等奖二项。近年来以副总师完成国家重大仪器装备专项项目—超分辨光刻装置研制、以项目技术首席和课题负责人完成国家02专项课题—EUV极紫外光刻真空及机械系统、以项目副总师完成国家02专项项目—NA0.75ArF曝光光学系统α样机研制。主持研发单面和双面深度曝光机、无掩模光刻机、投影光刻机、纳米压印光刻机、精密工件台、生物芯片仪器等，销售超1000台（出口50多台），为我国微细加工行业的技术进步发挥了较大作用，结束芯片设备与仪器完全依赖进口且受制于人的历史。发表科技论文150余篇，作为副主编出版专著一本，授权专利50余项，指导并毕业博士生20余名、硕士生10余名。2015年被评为四川省劳动模范，或国务院政府津贴，多次被评为中科院院、分院及研究所先进工作者、优秀导师和标兵。【摘要】广义芯片包括集成电路在内所有由光刻技术制造具体一定功能和集成度的系统，如第二代第三代化合半导体，传感器（应变，光栅，光电探测器，气体传感器等），显示器件，生物芯片，发光器件，MEMS，微光学元件，分立电子器件，通迅器件等。这些广义芯片基底种类有金属、玻璃、化合物、高分子薄膜、陶瓷等，基底尺寸变化很大，光刻工艺持殊（有的要求深曝光，有的要求3D光刻，有的要求双面套刻，有的要求边缘套刻等等）。报告重点介绍针对特种广义芯片的解决方案。海洋光学 资深技术&应用专家 卢坤俊现任海洋光学亚洲公司应用工程师主管，南京农业大学生物工程本科专业，应用化学硕士学位。主要负责光谱仪相关产品的技术支持与光谱解决方案的应用开发工作，有着10年以上的环境、智能农业、化工、消费电子、半导体及生命科学领域的光谱应用背景。【摘要】 介绍海洋光学公司及工业客户合作模式，并分享海洋光学微型光谱仪在半导体膜厚测量，CMP过程膜厚测量， PECVD过程监控，Plasma Etching终点指示以及 Plasma Cleaning过程监控中的原理及应用。中国科学院光电技术研究所 副研究员 刘俊伯刘俊伯，博士，中科院光电技术研究所微电子装备总体实验室，副研究员，硕士生导师，主要从事投影光刻装备相关核心技术研究。2017 年入选西部之光人才计划，2020 年入选中国科学院青年创新促进会，获创新基金计划资助。 承担或参与国家重大科研仪器装备项目、02专项、国家重点研发计划、国家自然科学基金、四川省应用基础研究、四川省融合类研究项目等项目，重点开展光刻机投影光刻曝光系统、综合像质原位测试、全链路逆优化仿真模型等核心技术研究，在OPT EXPRESS、OPT LASER ENG 等SCI 期刊上发表论文20余篇，获发明专利授20余项。 组织团队成功研制UVSTEP系列化投影光刻装备，在军民领域实现多台套上线应用，获首届中国光学工程学会“金燧奖”。特别在压力敏传感器领域，该型投影光刻设备打破国外光刻装备“卡脖子”现状，产生较好的社会、经济效益。中国科学院物理研究所 副主任工程师 张忠山2016于苏州大学获博士学位，2016年-2018年中国科学院声学研究所博士后，现任中国科学院物理研究所副主任工程师，负责综合极端条件实验装置微纳加工平台运行 。发表文章14篇，授权专利15项。2018年入选中国科学院物理研究所“引进国外杰出人才”计划中的“关键技术人才”。正在主持国家自然科学基金项目一项，负责科学院仪器设备功能开发技术创新项目一项；除此之外，参与多项国家重大项目。

一、项目基本情况1、项目编号：招案2023-36992、采购计划备案号：420000-2023-133093、项目名称：原位刻蚀与纳微分析测试系统采购4、采购方式：公开招标5、预算金额：960(万元)6、最高限价：960(万元)7、采购需求：武汉科技大学拟采购一套原位刻蚀与纳微分析测试系统（详见招标文件第三部分 采购需求）；8、合同履行期限：供货期：合同生效后12个月内到货并完成安装、调试及验收；质保期：双束电镜主机质保期3年,其余配套设备及附件质保期1年9、本项目（是/否）接受联合体投标：否10、是否可采购进口产品：是11、本项目（是/否）接受合同分包：否12、本项目（是/否）专门面向中小微企业：否13、符合条件的小微企业价格扣除优惠为：10%二、获取招标文件1、时间：2023年09月22日至2023年09月28日，每天上午09:00至11:00，下午13:00至16:00（北京时间，法定节假日除外）2、地点：线上方式获取，无须现场领购3、方式：投标人需先在微信上关注“中世建咨”微信公众号，在主界面右下角点击“投标报名 - 购买标书”填写好相关信息后完成微信报名登记。报名时需要提供的资料：法定代表人身份证明书或授权委托书（含被授权人身份证），资料中需写明投标人名称、项目名称、项目编号、法人姓名、授权人姓名、授权有效期限。4、售价：0(元)三、对本次招标提出询问，请按以下方式联系1、采购人信息名 称：武汉科技大学地 址：湖北省武汉市青山区和平大道947号联系方式：027-688623852、采购代理机构信息名 称：上海中世建设咨询有限公司地 址：武汉市洪山区欢乐大道1号德成国贸中心（岳家嘴地铁站D出口）A座709室会议室联系方式：027-86602235-806、027-86602235-8043、项目联系方式项目联系人：张旭东、王帆、秦贝电 话：027-86602235-806、027-86602235-804

p style="text-indent: 2em "据美国《科学进展》杂志29日消息称，美国西北大学研究团队研发出一种全新材料，可用于制造性能稳定的大容量锂离子电池，从而大幅提升智能手机、电动汽车等的续航时间，甚至可以延长到目前的两倍多。/pp style="text-indent: 2em "锂离子电池已是现代高性能电池的代表，应用最为广泛，其主要依靠锂离子在正极和负极之间移动来工作。而今消费电子和动力电池对能量密度提升的需求，推动着正极材料不断进步——通常，人们采用的是锂、氧和一种过渡金属的化合物为电池正极，这其中，正是过渡金属负责储存和释放电能，其性质也是电池容量的关键。/pp style="text-indent: 2em "现阶段最常用的过渡金属是钴，而此前科学家研究发现，如果用镁取代钴，可以在提高容量的同时降低成本，但镁也有一定缺陷——电池性能退化太快，仅两轮充放电后就出现大幅下降。/pp style="text-indent: 2em "据美国西北大学官方网站介绍，此次团队研发的新材料是掺有铬和钒元素的锂镁氧化物，其用作锂离子电池的正极，电池容量出现了大幅提高，同时兼具性能稳定、不会迅速退化的优点。/pp style="text-indent: 2em "西北大学研究小组先是为锂镁氧化物材料建立了一个结构模型。该模型详细到了单个原子，团队借此分析了全部充放电过程，发现其中的氧也会参与存储电能，因而容量比以往要大。/pp style="text-indent: 2em "随后，研究人员尝试了将不同元素掺入锂镁氧化物的方案，以期计算出不同混合物各自的储能效果。最终他们发现，掺入铬和钒能在保持电池大容量的同时实现最稳定性能。/pp style="text-indent: 2em "研究人员表示，下一步他们将在实验室中检验该新材料的实际应用表现。/p

项目编号：0773-2240SHHW0019项目名称：华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目预算金额：663.0789000 万元（人民币）最高限价（如有）：663.0789000 万元（人民币）采购需求：项目名称：华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目包件1：反应离子束刻蚀系统；数量及单位：1台；简要技术参数：3、等离子体源3.1、射频发生器：最大功率300瓦，13.56MHz，带自动匹配单元；★3.2、ICP源发生器：最大功率3000瓦，2.0MHz，带自动匹配单元；包件2：感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统；数量及单位：1台；简要技术参数：★1、SiO2的标准沉积速率：≥40 nm/min；高速沉积速率：≥500 nm/min2、SiO2薄膜沉积厚度：≥6um。其余详见本项目招标文件。合同履行期限：自合同签订之日起250天内；本项目( 不接受 )联合体投标。

2015年7月9日，国家质检总局网站发布目招标公告，就国家质检总局2015年120万元以上专用仪器设备采购项目所需的货物和服务，以国内公开招标方式进行招标采购。　　本次采购的50套仪器设备中，包括8套质谱系统，此外还有数字PCR检测仪、波长色散X射线荧光光谱仪、样品前处理系统、现场微生物快速检测系统、高通量基因分析系统等一系列仪器设备。　　此次发布的招标公告共37包，其中有6包不接收进口产品投标。　　招标编号：OITC-G15026171-1包号品目号货物名称数量（套）用途简要技术要求用户单位是否允许进口产品投标11Cs-137&gamma 射线辐照装置和定位系统1检测Cs-137放射源等效活度：3.7× 1013Bq计量院否21深硅刻蚀系统1检测系统能够提供至少7路气体（SF6、CF4、CHF3、C4F8、O2、Ar、He）到刻蚀腔室计量院是318声道气体超声流量计2检测声道布置：8声道计量院是41氢原子钟2检测温度灵敏度：&le 2.0E-15/℃计量院是51参考协议分析仪1检测测试板卡多用户使用计量院是61手机综合测试仪1检测频率范围：350MHz至3.6 GHz计量院是71高精度6D姿态测量系统1检测测量距离：不小于3m计量院是81高温热膨胀仪1检测分辨率：&le 0.125 nm/digit计量院是91精密万能测长仪1检测内尺寸绝对测量：（0.8～300）mm计量院是101光学扫描仪校准标准器组1检测扫描速度：&ge 480,000次测量/秒计量院是111短波长工具显微镜1检测视场数：&ge 22mm计量院是　　备注：第1包，不接受进口产品参加投标 第2、3、4、5、6、7、8、9、10、11包，接受进口产品参加投标(进口产品指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品)。　　招标编号：0722-156FE331YNO包号品目号货物名称数量（套）用途简要技术要求用户单位是否允许进口产品投标11超高效液相-三重四级杆线性离子阱质谱联1兽药检测ESI正离子: 1pg 利血平，考察 m/z 609195，S/N 120000:1；ESI负离子: 1pg 氯霉素，考察 m/z 321152，S/N 120000:1"云南局是2超高效液相色谱-串联四极杆质谱联用仪1毒素和非法添加剂检测ESI正离子灵敏度：柱上进样，1pg 利血平，MRM分析测量m/z195（子离子）、m/z609（母离子）， 信噪比&ge 20000:1。辽宁局是3液相色谱三重四极杆质谱联用仪1食品检测ESI+灵敏度：1pg利血平直接进样，MRM分析测量609＞195m/z信噪比S/N 30000:1（RMS），需要提供原始数据，并放大噪音部分，以显示背景水平。ESI-灵敏度：1pg氯霉素直接进样，MRM分析测量312＞152m/z信噪比S/N 30000:1（RMS），需要提供原始数据，并放大噪音部分，以显示背景水平。广东局是4高分辨率液相色谱-串联质谱仪1食品检测质量数范围：m/z 10-1200 amu，保证全质量范围内均可达到超高灵敏度和稳定性ESI正离子灵敏度：1pg 利血平，MRM分析测量m/z195（子离子）、m/z609（母离子），柱上进样，信噪比&ge 80000:1。50fg和1pg利血平分别连续进样10次，峰面积CV 小于5%。需要提供原始数据，并放大噪音部分，以显示背景水平；山东局是21感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS ）1元素分析适合于复杂基质、氢氟酸及高盐度等各类样品的分析。分析的质量范围4-280 amu。仪器采集速度达到100000点/秒。四极杆跳转速度 0.6M amu/秒。新疆局是2液相-电感耦合等离子-质谱仪1食品元素分析质量范围：4－260amu或更宽丰度灵敏度： 在M＋1处优于107，在M－1处优于106。瞬时采集速度不低于10000点/秒。线性动态范围：大于 9个数量级。同位素比精度：107Ag/109Ag 同位素比， RSD ＜ 0.1％。福建局是3ICP-MS1重金属检测质量范围：2－280amu。质量校准的稳定性应优于0.05amu/8小时，不使用多点寻峰算法。线性动态范围：大于 9个数量级。同位素比精度：定义为 107Ag/109Ag 的同位素比，使用25ng/L的溶液，RSD 0.08％。宁波局是4液相-电感耦合等离子-质谱仪1重金属检测质量数范围4-256amu背景：&le 1.0 cps （在质量数9或220，测定实际背景）二价离子产率(Ce2+/Ce+)：&le 3.0 %短期稳定性(RSD): &le 3% (20 min)长期稳定性(RSD): &le 4% (2 hrs)同位素精度比：107 Ag/109 Ag 0.1%福建局是31数字PCR检测仪1生物检测采用乳液或固相方式形成数字PCR技术体系仪器可同时检测24个以上样品；山东局是41立式分布光度计1光源测量测量时灯具燃点姿态不变，灯具测量最大尺寸1600mm，最大重量50kg；广东局否　　备注：第4包，不接受进口产品参加投标 第1、2、3包，接受进口产品参加投标(进口产品指通过中国海关报关验放进中国境内且产自关境外的产品)。　　招标编号：0730-156112BJ0019包号品目号货物名称数量（套）用途简要技术要求用户单位是否允许进口产品投标11高精度有机高分子材料筛查系统1检测质量范围： m/z高端不小于2250；扫描速度：&ge 15000 amu/sec；质量稳定性：不低于0.05amu/12h检科院是21全自动样品存储管理系统1检测支持二维码或条形码或RFID射频标签；能够无缝对接FreezerPro等软件系统进行样品管理，并与其他系统进行对接和管理，具备安全和审核功能；详细的审核日志提供良好的数据可追踪性检科院是31激光共聚焦显微镜1检测固态激光器405nm 功率&ge 30mW；多线氩离子激光器（含458 nm, 488nm, 514nm激发谱线）功率&ge 25mW；固态激光器561nm 功率&ge 20mW检科院是41组合式多浓度动物口鼻吸入暴露系统1检测气溶胶发生器产生的气溶胶空气动力学直径MMAD:1 -4&mu m ，GSD:1.5-3；粉尘气溶胶粒径分布质量中值直径:1-4&mu m，几何标准差:1.5-3；质量流量：10mg～20000mg/min检科院是51应力超声测量系统1检测测量应力时材料厚度范围覆盖10~120mm；应用应力测量误差（外加负载）&le 10 Mpa；残余应力测量误差&le 0.15&sigma y (屈服强度) Mpa特检院是61慢应变速率应力腐蚀实验系统1检测最大拉伸载荷：&ge 50KN；拉伸速度范围：1 x 10-4~1x10-8mm/s；拉伸杆最大位移：&ge 40mm特检院是71&Phi 720mm大容积高压气瓶专用自动超声波探伤设备（含设备附件）2检测发射/接收板多通道转换器采样频率&ge 40 MHz；增益（或衰减）范围：＞90dB；信噪比：仪器在正常检测灵敏度条件下，轴向检测大于8 dB，周向检测应大于12 dB特检院否81管道腐蚀在线成像检测系统1检测像素间距不大于148&mu m；10mm钢板用EN463.5标准双丝像质计测试空间分辨率不低于8D；一次成像面积不小于220× 220mm；动态范围不低于14Bit；特检院是91反康普顿高纯锗谱仪1检测峰康比： 800 ：1（反康模式下）；9 X 9 英寸，能量分辨率：&le 9.5 %；3 X 3 英寸，能量分辨率：&le 7 %厦门局是　　备注：第1、2、3、4、5、6、8包如所投产品为进口产品，必须由境外投标人或在保税区注册的投标人参与投标。　　招标编号：0733-156212216201包号品目号主要产品清单11热场发射环境扫描电子显微镜21情景再现辅助设备31车辆路径跟随系统　　备注：第1、2、3包接受进口产品参加投标(进口产品指通过中国海关报关验放进中国境内且产自关境外的产品)。　　招标编号：0733-156212216301包号品目号货物名称数量（套）用途简要技术要求用户单位是否允许进口产品投标11汽车制动器惯性试验台1检测轻型车驱动电机：功率大于200kW；15～2000r/min，控制精度&le ± 1r/min，无级可调中重型汽车驱动电机：功率大于300kW；15～1200r/min，控制精度&le ± 1r/min，无级可调广西局否21抗扰度测试系统1检测测量准确度(1kHz sine)：最小± 0.05 dB江苏局是31国境口岸出入境人员及行包核与辐射有害因子2检测辐射定位精度：&le 2° 深圳局否41波长色散X射线荧光光谱仪1检测高压发生器稳定性：顺序扫描式仪器高压发生器外电源波动1%时，输出波动&le 0.00006%（固定通道仪器外电源波动1%时，输出波动&le 0.0006%）新疆局是51免疫生化一体机1检测进样方式：任选自动进样，最大样本为365个，可连续进样。免疫模块同时可容纳135个样本，不少于35个急诊位置，100个常规样本位置，可灵活满足批量样本和单个样本进样。上海局是61样品前处理系统1检测去盖和分类速度：&ge 250标本/小时（在分注样品体积为1500ul时）广东局是71全自动生化分析仪1检测实际光学检测速度：&ge 1600 Test/小时浙江局是81现场微生物快速检测系统4检测检测激发波长/发射光谱使用的激发波长为960nm-995nm，发射光谱主峰波长为525nm-575nm；山东局否91棉花大容量综合测试仪（HVI）1检测测试速度：7个半小时可测试不低于1000个样品，每个测试样品测试2个长强子样、1个马克隆子样、4个色杂子样。4个色杂子样测试中不需操作员翻样，4个色杂子样测试时间不超过15秒。中纤局是　　备注：第1、3、8包，不接受进口产品参加投标 第2、4、5、6、7、9包，接受进口产品参加投标(进口产品指通过中国海关报关验放进中国境内且产自关境外的产品)。　　招标编号：15CNIC01-5020包号品目号货物名称数量（套）用途简要技术要求用户单位是否允许进口产品投标11高通量基因分析系统1检测*技术：通过双脱氧末端终止法的金标准测序技术实现长片段的快速测序并通过片段分析技术实现基因分型。湖北局是　　备注：接受进口产品参加投标(进口产品指通过中国海关报关验放进中国境内且产自关境外的产品)。

p2020年8月7日，应用材料公司今天宣布为其大获成功的Centris® Sym3® 刻蚀产品系列再添新成员。现在，该系列产品能让芯片制造商在尖端存储器和逻辑芯片上以更加精细的尺寸成像和成型。/pp应用材料公司的Centris® Sym3® Y刻蚀系统能让芯片制造商在尖端存储器和逻辑芯片上以更加精细的尺寸成像和成型。/pp新型Centris Sym3® Y是应用材料公司最先进的导体刻蚀系统。该系统采用创新射频脉冲技术为客户提供极高的材料选择性、深度控制和剖面控制，使之能够在3D NAND、DRAM和逻辑节点（包括FinFET和新兴的环绕栅极架构）创建密集排列的高深宽比结构。/ppSym3系列成功的关键在于其独特技术特征：高电导反应腔架构能够提供特殊的刻蚀剖面控制，快速有效地排出每次晶圆工艺产生的刻蚀副产物。Sym3 Y系统采用保护关键腔体组件的专有新型涂层材料，扩大了该成功架构的优势，从而进一步减少缺陷并提高良率。/ppSym3刻蚀系统于2015年首次推出，如今已成为应用材料公司历史上最迅速大量占领市场的产品。时至今日，Sym3反应腔出货量达到了5000台大关。/pp应用材料公司的战略是为客户提供全新的材料成型和成像方法，以实现新型3D结构并开辟继续进行2D微缩的新途径，而Sym3系列正是实现这一战略的关键产品。应用材料公司采用独特的化学气相沉积（CVD）镀膜技术对Sym3系统进行协同优化，让客户能够增加3D NAND内存器件中的层数，并减少DRAM制造中四重成型所需的步骤数。应用材料公司会将上述技术与其电子束检测和审查技术一同部署，以加快研发并大规模实现行业最先进节点的产量爬坡，从而帮助客户改善芯片功耗、增强芯片性能、降低单位面积成本并加快上市时间（PPACt）。/pp应用材料公司半导体产品事业部副总裁兼总经理Mukund Srinivasan博士表示：“应用材料公司在2015年推出Sym3系统时采用了全新方法进行导体刻蚀，并解决了3D NAND和DRAM中一些最棘手的刻蚀难题。今天，在最先进的存储器和代工厂逻辑节点中，关键刻蚀和极紫外（EUV）图形化应用呈现出强劲的发展势头和增长。未来，我们将继续升级并助力业界向下一代芯片设计演进。”/pp每个Sym3 Y系统均包括多个刻蚀和等离子清洁晶圆工艺反应腔，并由智能系统控制可确保每个反应腔都拥有一致的性能，从而实现稳定的工艺和高生产力。全球多家领先的NAND、DRAM和代工厂逻辑节点客户都在使用这一新系统。/p

3月30日，武汉大学公开招标，购买扫描电镜+电子束刻蚀+能谱分析系统(进口)1套，预算500万元。 项目编号：HBT-13210048-210792　　项目名称：武汉大学扫描电镜+电子束刻蚀+能谱分析采购项目　　采购需求：　　扫描电镜+电子束刻蚀+能谱分析系统(进口)1套。　　合同履行期限：交货期为合同签订后6个月内，质保期1年。　　本项目( 不接受 )联合体投标。　　开标时间：2021年04月22日 09点30分(北京时间)

近日，光驰半导体技术（上海）有限公司投资建设的原子层镀膜与刻蚀设备项目顺利完成竣工验收。宝山高新区消息显示，原子层镀膜与刻蚀设备项目位于宝山高新区07-17地块，总投资5.48亿元，占地面积50亩，总建筑面积6.44万㎡，其中一期建筑面积约3.8万㎡，涵盖标准厂房、研发办公楼等。项目主要致力新型电子元器件及设备制造，利用全球泛半导体产业链的调整与相关前沿研发的投入与技术整合，实现电子专用设备制造产业化、规模化。光驰半导体技术（上海）有限公司，作为光驰科技（上海）有限公司全资子公司。光驰科技自2000年入驻宝山高新区南部园区。2022年，光驰科技将传统光学与半导体技术融合，于北部园区投资设立光驰半导体，进一步提升制造空间与产能，开辟光学元器件向半导体集成光学转变的新市场。项目预计达产后年产能将达到高精度原子层镀膜机120台和5台刻蚀机。2023年4月10日，光驰半导体技术（上海）有限公司半导体原子层镀膜与刻蚀镀膜项目一期正式封顶。

【期刊】Journal of Power Sources IF=9.13DOI：https://doi.org/10.1016/j.jpowsour.2021.230459 【成果简介】 锂离子电池现已广泛应用于数码产品，医疗器械，和汽车等众多领域。可是，在使用锂离子电池的过程中，锂电池的性能会随着内部结构的老化而降低。这一问题会导致使用锂离子电池的成本增高。为了更加深入地了解锂离子电池在使用过程中老化的细节。奥地利林茨大学Gramse教授课题组近日利用扫描电镜专用原位AFM探测系统AFSEM对锂离子电池老化过程中电表面的形貌和导电特性的变化进行了纳米尺度的原位研究，其成果发表在Journal of Power Sources上。 AFSEM™ —使AFM和SEM合二为一：▪ 实现AFM和SEM的功能性互补▪ 让SEM实现样品的真实三维形貌成像▪ 在扫描电镜中进行AFM原位分析▪ 无需激光和探测器，适用于任何样品表面▪ 适配SEM不妨碍正常的操作 【图文导读】图1 用不同尺度和方法来研究锂离子电池的电化学表现。A）用电化学阻抗谱（EIS），电池循环和容量测试的方法研究锂离子电池的老化问题。 B)用电化学相关有限元的方法来研究电池的EIS表现。C）用AFM，AFSEM和SEM等表征手段研究电池循环后的纳米尺度上的彼变化。图2 电化学循环次数，充电状态和循环温度对锂离子电池阻抗谱的影响。A）电池不同循环次数后阻抗谱的变化。B）充电600次后，24℃条件下的电池阻抗谱。C）不同温度下，循环100次后电池阻抗谱的研究。 图3 锂离子电池的有限元模型。A）锂离子电池的一维有限元模型。B)不同薄膜阻抗下模拟的电化学阻抗值。C)电化学阻抗模拟值随着双层电容的变化。D)不同电材料颗粒大小对电化学阻抗模拟值的影响。图4 电池经过循环后，SEM和AFSEM对电池内部结构的原位微纳表征。A）经过不同次数的循环后，石墨阳表面的电子扫描成像。B）AFSEM对不同循环次数的阳表面形貌进行原位表征。C) AFSEM对不同循环次数的阴表面形貌进行原位表征。图5 利用AFSEM多功能探针对不同老化阶段的阳材料进行表征。A）为AFSEM原子力显微镜扫描获得的形貌图。B）扫描微波显微镜对样品表征结果。C）AFSEM提供的样品纳米尺度的直流电导率测量。 【文章总结】 奥地利林茨大学Gramse教授课题组利用AFSEM对老化锂离子电池电表面进行了纳米尺度的原位分析。这是因为AFSEM可以在电子显微镜所需的真空环境下运行。在获得电子显微成像的基础上，还可以获得样品表面形貌的信息。除此之外，AFSEM的多功能探针，也可以对样品指定区域的磁性，电学，力学，热学性能进行微纳尺度的表征。

PerkinElmer 在神经科学学会年会上展出用于高级研究和开发的先进试剂、成像系统和检测系统 芝加哥，2009 年 10 月 16 日（美国商业新闻）- 专注于提高人类健康及其生存环境安全的全球领先公司 PerkinElmer, Inc.，今天在 2009 神经科学学会年会上宣布推出几款新工具，旨在促进神经系统疾病（如阿尔兹海默氏症、帕金森氏综合症、多发性硬化症和其它中枢神经系统疾病）研究的速度和效率。 &ldquo PerkinElmer 素有参加神经科学学会年会的传统，今年也不例外，&rdquo PerkinElmer 生物研发业务总裁 Richard M. Eglen 博士说。&ldquo 今年我们推出了几种细胞信号研究的新工具，包括细胞和生物化学检测工具、3D 活细胞成像工具、创新性数据管理软件以及全新的超灵敏度发光微孔板检测仪。这些工具主要用于促进科研人员提高研究的速度和效率。&rdquo 他接着说，&ldquo 在神经科学学会年会上，我们还发布了有关整合最近从GE Healthcare 收购的无形资产的信息，其中包括 3H 和 14C 目录放射化学试剂、SPA 试剂和 CytoStar-TTM 微孔板产品。这些资产充实并加强了我们的研究试剂解决方案，进一步帮助客户推进重点医药项目的研发工作，同时还显示了我们在放射化学试剂领域始终领先的地位。&rdquo PerkinElmer 在神经科学学会年会 1017 号展台展示的新技术包括： - 15 种全新的 已制备 GPCR 冷冻细胞系 - 扩展了该公司针对各种主要病症效果显著的细胞系产品线。 - 7 种全新的 LANCE Ultra 检测产品 - 将可检测的激酶数量增加到 300 多种。 - 全新的 EnSpire(TM) 多标记微孔板检测仪具有超灵敏度的发光检测和温度控制功能 &ndash 经济实用，将提供高性能的检测方案和方便易用的软件，适用于任何规模的实验室。 - 12 种全新的 3H 和 125I 放射性配体 - 将我们的系列产品增加到 1,000 多种 NEN 放射性化学试剂。 - 全新的 NeoLite 报告基因检测 - 能够提高灵敏度，延长发光检测时间。 - 全新的 TSA 增强型生物素试剂盒 - 将免疫检测的灵敏度增加 10 到 20 倍。 - UltraVIEW VoX 3D 活细胞成像系统 &ndash 唯一的 3D 转碟系统，能够针对细胞分析提供集成的图像采集。 - OperettaTM 紧凑型高内涵筛选系统 &ndash 首个具有全部可视化向导式的成像分析流程设计用户界面的高内涵筛选 (HCS) 系统。 - ColumbusTM 图像数据管理系统 &ndash 用于高容量图像数据管理和分析，为细胞研究人员提供导入、导出和管理所有细胞图像数据的高容量高性能图形数据中央服务器。 - MicroBeta2 和 MicroBeta2 LumiJETTM 微孔板检测仪 &ndash 将液体闪烁计数的可靠性和发光检测与微孔板检测仪的简易性相结合，从而节省时间和消耗品并减少浪费。 PerkinElmer 在年会的活动包括下列放射性化学试剂开放式讨论会和细胞成像研讨会，以及两个论文研读会： PerkinElmer 的放射性化学试剂开放式讨论会 10 月 19 日周一，上午 11 时到下午 2 时，Hyatt McCormick Place 的 CC10AB 室 此次开放式讨论会将探讨 PerkinElmer 对 GE 的闪烁近似检测 (SPA) 技术与 3H 和 14C 放射性化学试剂资产的整合。公司将讨论通过并入 SPA 技术试剂产生行业新发展的重要性，这些试剂产品增强了公司在业界领先的 GPCR 和激酶研究产品线，完善了我们&ldquo 一应俱全&rdquo 的研究试剂解决方案。 3D 活细胞成像研讨会 10 月 19 日周一，下午 2 时到 4 时，Hyatt McCormick Place 的 CC10CD 室 在嘉宾科学家和 PerkinElmer 的成像专家进行一系列说明性介绍过程中，探讨活细胞成像，并分析 3D 图像采集和分析的优点。此次研讨会将讨论和展示一些解决当今细胞成像和分析难题的各种新技术。 有关 PerkinElmer 在 2009 神经科学学会年会上全部活动的详细信息，请访问。 来源：PerkinElmer 关于 PerkinElmer, Inc. PerkinElmer, Inc. 是一家专注于提高人类及环境的健康和安全的全球领先公司。据报道，该公司 2008 年收入约为 20 亿美元，拥有 8,400 名员工，为超过 150 个国家/地区的客户提供服务，同时该公司也是标准普尔 500 指数的成员。有关其它信息，请访问 www.perkinelmer.com.cn 或致电 1-877-PKI-NYSE。 媒体联络 PerkinElmer, Inc. Kim McCrossen 联络电话︰+781-663-5871 版权所有 美国商业新闻 2009

离子色谱业界领导者赛默飞推出全新Thermo Scientific™ Dionex™ Aquion™ RFIC™ Reagent-Free™ 高性能离子色谱仪集成免试剂淋洗液发生（RFIC-EG）原创经典技术，给用户带来更便捷、绿色的高效色谱分析体验。系统启动快速、性能可靠稳定，适用于环境、食品安全及研究实验室等广泛领域。Dionex™ Aquion™ RFIC 系统 赛默飞三大原创经典构建AQUION RFIC高效分析1在线自动淋洗液发生技术赛默飞自1975年发明并商品化世界第一台离子色谱，始终引领IC行业创新发展，免试剂淋洗液发生（RFIC-EG）技术正是其中最为耀眼的创新技术之一，实现只用纯水即可色谱分离的“奇迹”，为客户节省实验成本并创造绿色健康的工作环境。无论何时何地何人的操作，始终如一的重现性结果！9 种阴离子混合标样，连续考察一周叠加色谱图表现出高重复性（点击查看大图） 优势?只需定期补充纯水，即可在线产生所需浓度淋洗液? 兼容KOH、NaOH、MSA 等淋洗液的梯度淋洗要求? 可降低系统噪音和基线背景，改善系统检出限和方法重现性? 搭载CR-TC连续再生捕集柱，有效去除淋洗液中的痕量阴阳离子杂质? 完全Chromeleon CDS软件控制，状态显示和诊断功能，操作简便? 与手动配制淋洗液相比，避免基线漂移，提高灵敏度和分辨率，确保一致性结果 2电解连续再生抑制器1975 年赛默飞率先研制并生产出了抑制器，由此开创了现代离子色谱时代。Dionex™ DRS 600动态再生抑制器? 可提供阴/ 阳离子两种电解膜抑制器? 抑制容量高，无需使用蠕动泵外加试剂再生? 平衡快、抗污染、重复性好、零维护和操作简单? 降低背景信号和噪音，增强分析物的信号，提高了信噪比和灵敏度 在离子色谱系统中，为准确检测待测离子，避免反离子对电导检测器的干扰，需要使用抑制器将淋洗液中的反离子除去，以达到降低基线背景和噪音，提高检测组分响应值的效果。正是由于抑制器的发明才使得离子色谱作为一种有效分析手段成为可能。 3全面高效离子色谱柱采用赛默飞自主研发和生产的高效高容量色谱柱，可满足各种分析条件下，相关组分分离要求。优势?柱效高，柱容量大。改善弱保留组分分离，对于高基浓度的体样品中痕量组分分离优势突出。? 可100% 兼容反相有机溶剂，适应pH 范围0-14。? 拓宽离子色谱应用范围，使用寿命是普通分析柱的2-4 倍。? 氢氧化物淋洗液分析柱系列，代表了离子色谱最新发展方向：具有背景低，噪音小，灵敏度高的特点，可用于梯度淋洗和二维离子色谱等。? 提供专用分析柱进行糖、氨基酸、抗生素、核酸及蛋白质、肽的分析。 高性能、全自动进样器，满足用户广泛要求专用于离子色谱的Dionex™ AS-DV 自动进样器，具备新型选取式进样和样品制备能力。可以简单、快速、自动地将准备好的样品引入到色谱仪中。通过选配不同在线样品前处理柱，可以方便、经济和有效地自动处理复杂基体样品。Thermo Scientific™ Dionex™ AS-DV 自动进样器 ? 可保证最终分析结果的准确性和重现性? 带有滤垫的样品瓶盖可以进行样品在线过滤? 旋转式进样、进样速度及进样量可调? 预留内置6通阀及10通阀位置，用于样品前处理? 有样品罩，保护样品不受外界环境污染 减少数据管理时间，专注科学实验本身变色龙（Chromeleon）色谱分析数据系统（CDS）软件提供适用于离子色谱分析的强大控制和数据处理功能，拥有人性化的设计和操作，其各项功能可使系统控制和设置变得快速而简便。运用浅显易懂的屏幕和设置向导，即可轻而易举地实现整个系统和方法的一致性。 植根中国 赋能增效，全新 Aquion™ RFIC™ 离子色谱。赛默飞邀你现场品鉴新品！会议：第十三届中国科学仪器发展年会（ACCSI 2019）时间：2019年4月18-19日地点：青岛银沙滩温德姆至尊酒店赛默飞展台：27号

p style="text-indent: 2em text-align: justify "半导体产业三大生产工艺环节分为：IC设计（电路与逻辑设计）、IC制造（前道工序）和IC封装与测试环节（后道工序）。IC制造环节又分为晶圆制造和晶圆加工两部分。晶圆加工则是指在制备晶圆材料上构建完整的集成电路芯片的过程，包含镀氧化、扩散、退火、离子注入、薄膜沉积、光刻、刻蚀、化学机械平坦化（CMP）等十余道工艺，其中最关键的三类主设备是光刻机、刻蚀机和薄膜沉积设备，价值占前道设备的近70%。光刻机已经成为最具关注的话题，其实刻蚀机同为其中重要的一环。刻蚀是在衬底上留下需要的图形电路。刻蚀分为干法刻蚀和湿法刻蚀，当前干法刻蚀是主流工艺；在干法刻蚀中，反应离子刻蚀应用最广泛。按照被刻蚀材料划分，等离子体刻蚀机分为硅刻蚀机、介质刻蚀机和金属刻蚀机；其中，介质刻蚀与硅刻蚀机分别占比49%以及48%，金属刻蚀仅占3%（数据来源：《半导体系列深度报告：刻蚀设备：最优质半导体设备赛道，技术政策需求多栖驱动》）。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "从公开信息可以看到，中国刻蚀设备的工艺节点已经达到5nm，并得到台积电的验证，追赶上主流半导体的步伐；在市场表现上看，国际大厂在中国市场的份额从最初几乎垄断到2019年下降至77%；北方华创的硅刻蚀机、金属刻蚀机，中微公司的介质刻蚀机在国内均已牢牢占据一席之地，并成功进军国际市场。/pp style="text-align: center text-indent: 2em "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202009/uepic/aa32673b-c238-4268-8a38-1f3be32fbaa5.jpg" title="1.png" alt="1.png"//pp style="text-indent: 0em text-align: center "span style="text-indent: 2em "5nm的刻蚀机照片（中微官网）/span/ph3 style="text-indent: 0em text-align: center "曾经让人“绝望”的国际巨头/h3p style="text-indent: 2em text-align: justify "2019年全球刻蚀机市场份额由三家国际厂商瓜分，来自美国硅谷的泛林半导体（Lam Research）占53%，位于日本的东京电子东京电子（Tokyo Electron）占19%，同样是美国硅谷的应用材料（Applied Materials）占18%。尽管近年来刻蚀行业的后起之秀如雨后春笋，但这三家国际巨头仍共占全球九成以上的市场份额。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "上世纪70年代，半导体产业大发展，伴随着半导体产业的快速起步发展，相应的半导体设备公司也纷纷成立。1980年泛林半导体公司成立，凭借着对先进技术和产品的单纯追求，第二年便推出了第一款刻蚀机产品—AutoEtch，并于第四年在纳斯达克上市。90年代，泛林将业务拓展到CVD和显示面板领域，反而分散了公司的业务焦点，最终却适得其反市值暴跌。痛定思痛，泛林半导体将研发重心放在刻蚀设备领域，2007年后在刻蚀设备领域终于无可撼动。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "应用材料公司成立于1967年，是全球最大的半导体设备公司。公司位于美国硅谷，拥有极强的研发能力，官方资料显示，应用材料每年在研发上投入20亿美元，团队成员中30%为专业研发人员，平均每天（包括星期六和星期日）要申请四个以上的新专利。1981年应用材料克服了超大规模集成电路离子刻蚀的技术难题，进入刻蚀设备领域，开启了现代刻蚀时代。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "1963年，久保德雄和小高敏夫在东京创立了东京电子研究所，注册资本500万日元，员工6人。1968年，东京电子与Thermco Products Corp.合并，成为日本第一家半导体制造设备厂商。1975年，东京电子决定专注于半导体制造设备。1981年，东京电子成为了最顶级半导体制造设备厂商。1989年，半导体制造设备营收额全球第一，并连续三年蝉联冠军，至1991年。虽然东京电子的成长路径远不如前两家波澜壮阔，但它们对于研发的投入绝不缩水。2018财年东京电子研发费用约1200亿日元（约合80亿人民币）。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "这些巨头都成立于上世纪60-80年代，伴随着半导体产业起步和发展而壮大，积累了强大的技术研发团队和专利壁垒，成为了刻蚀设备领域让人“绝望”的国际巨头。/ph3 style="text-indent: 0em text-align: center "美国禁运下的“成功突围”/h3p style="text-indent: 2em text-align: justify "为了阻挠中国半导体产业发展，美国对半导体关键设备实施了禁运，其中包括了等离子体刻蚀机的禁运。从此中国刻蚀机领域开始了漫漫“突围”路。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "2004年，尹志尧和16位同仁一起，从美国回到中国，在上海浦东创建了中微。尹志尧曾在硅谷Intel公司、LAM研究所、应用材料公司等电浆蚀刻供职16年。尹志尧曾发起硅谷中国工程师协会并担任主席。尹志尧在硅谷工作的时候，其团队让公司占据全球将近一半的市场，并且在半导体行业拥有多项专利。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "为追赶国际先进水平，中微公司成立后采用了全员持股的激励制度，吸引了来自世界各地具有丰富经验的半导体设备专家，形成了技术精湛、勇于创新、专业互补的国际化人才研发队伍，并始终保持大额的研发投入和较高的研发投入占比，2019年净利润同比增长108% 研发投入占营收比为21.81%。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "2007年，中微公司首台甚高频去耦合等离子体刻蚀设备Primo D-RIE研制成功。作为中微第一代电介质刻蚀产品，在同年的日本半导体博览会上发布，是12英寸双反应台多反应腔主机系统，用于65nm到16nm技术节点，可以灵活配置多大三个双反应台反应腔。每个反应腔都可以在单晶圆反应环境下，同时加工两片晶圆。刻蚀设备采用了双反应台技术增加了产能输出，可以有效降低客户的成本，相较于同类产品具有很高的性价比优势。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "2011年，中微第二代电介质刻蚀产品Primo AD-RIE刻蚀设备研制成功，可用于45nm到14nm后段制程以及10nm前段应用的开发。同时，中微通过建立全球化的采购体系，与供应商密切合作，制造出模块化、易维护、具有成本竞争优势的产品；其通过科学的方法管理库存，有效地降低了公司的运营成本。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "2013年，CCP刻蚀设备产品Primo SSC AD-RIE刻蚀设备研制成功，可用于40-7nm工艺。三代刻蚀设备，不断迭代，产品线覆盖了多个制程的微观器件的众多刻蚀应用。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "半导体设备产业的波动要大于半导体芯片产业的波动，更大于 GDP 的波动。仅靠单一的设备产品来发展的企业无法抵御市场波动带来的不确定性。为此，中微公司的半导体设备实现了多产品覆盖，2010年，首台深硅刻蚀设备产品研制成功；2012年首台MOCVD设备产品研制成功，产品覆盖集成电路、MEMS、LED 等不同的下游半导体应用市场。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "在中微的主要产品线刻蚀设备方面，国际巨头泛林科技、东京电子和应用材料均实现了硅刻蚀、介质刻蚀、金属刻蚀的全覆盖，他们占据了全球干法刻蚀机市场的90%以上份额。即便如此，中微还是在介质刻蚀领域实现了突围，将产品打入台积电、联电、中芯国际等芯片生产商的40多条生产线，并实现了量产。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "不同于中微公司从介质刻蚀机入手，北方华创选择从硅刻蚀机入手。在国家02专项的支持下，北方华创在硅刻蚀机领域不断实现突破，先进制程工艺一路上扬，28nm，22nm都实现了突破。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "国产刻蚀机的不断突破，最终使得美国在2015年解除了对中国的刻蚀机禁运。国产刻蚀设备的不断进步终于突破了美国的封锁。/ph3 style="text-align: center text-indent: 0em "“与狼共舞”勇夺“世界三强”一席/h3p style="text-indent: 2em text-align: justify "伴随着美国解除对中国的刻蚀机禁运，国产刻蚀设备也开始进入国际市场并与世界刻蚀机巨头展开了激烈的竞争。而国内市场也迎来了激烈的角逐。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "面对来势汹汹的国际半导体设备巨头，中微公司进一步加大研发投入，提前布局。在2016年成功研制出首台ICP刻蚀设备产品Primo nanova，这是中微基于ICP开发的第一代产品，适用于14-7nm工艺技术节点。可以配置多达6个刻蚀反应腔和两个可选的去胶腔。之后不断改进设备，2018年改进Primo AD-RIE并进入5nm生产线，至今仍不断引领国内半导体设备和技术的发展。目前中微公司在介质刻蚀领域在世界上已获得一席之地，成为介质刻蚀领域的世界三强企业。/pp style="text-indent: 2em text-align: justify "于此同时，北方华创也在刻蚀机领域实现了节节突破，2016年研发出了14nm工艺的硅刻蚀机。虽然金属刻蚀市场很小，但在2017年11月，北方华创研发的中国首台适用于8英寸晶圆的金属刻蚀机，也成功搬入中芯国际的产线，这个也是有重大突破意义的。/pp style="text-indent: 2em "br//pp style="text-indent: 2em text-align: justify "a href="https://www.instrument.com.cn/zc/833.html" target="_self"电子束刻蚀系统专场：https://www.instrument.com.cn/zc/833.html/a/p

刻蚀技术，是在半导体工艺，按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术。刻蚀技术不仅是半导体器件和集成电路的基本制造工艺，而且还应用于薄膜电路、印刷电路和其他微细图形的加工。刻蚀还可分为湿法刻蚀和干法刻蚀，相对应的设备分别为干法刻蚀设备和湿法刻蚀设备，其中干法刻蚀设备绝大部分为等离子体刻蚀。仪器信息网近期特对一年内的刻蚀设备的中标讯息整理分析，供广大仪器用户参考。（注：本文搜集信息全部来源于网络公开招投标平台，不完全统计分析仅供读者参考。）各月中标量占比2019年10月至2020年9月，根据统计数据，刻蚀设备的总中标数量为208台，涉及金额上亿元。2019年10月至2019年12月，平均中标量约22台每月。2020年3月份，刻蚀设备采购量降至低谷，1-3月份平均采购量只有11台，3月份只有6台，这可能是受到了疫情的影响。值得注意的是，这些刻蚀设备的采购主要来源于半导体代工企业大量集中的产线建设采购，这也造成了周期性的采购波动。主要的采购单位包括了上海华力集成电路制造有限公司、华虹半导体（无锡）有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司等集成电路代工企业，与此同时一些3月份以前招标的设备由于疫情也推迟到3月份之后公布中标。招标单位地区分布本次盘点，招标单位地区分布共涉及19个省份、自治区及直辖市。上海、北京、浙江、江苏和广东为刻蚀设备采购排名前5的地区，其中上海的中标量最多，达49台。在这些地区中，上海、浙江和江苏以企业采购为主，这主要由于这些地区是我国集成电路产业发达地区；北京和广东以高校和科研院所采购为主，主要用于科研领域。采购单位性质分布从刻蚀设备的招标采购单位来看，企业是采购的主力军，采购量占比高达59%，高校和科研院所的采购量分别占比20%和21%。值得注意的是，Lam Research International Sarl的设备更受企业青睐，中标数量高达35台，远超其他设备商。不同类型刻蚀设备占比刻蚀设备大致包括了干法刻蚀和湿法刻蚀两类，根据搜集到的中标数据可知，干法刻蚀设备在半导体刻蚀设备中占据主流、占比高达95%。硅干法刻蚀即等离子体刻蚀技术，相对于湿法刻蚀，具有更好的各向异性，工艺重复性，且能降低晶圆污染几率，因此成为了亚微米下制备半导体器件最主要的刻蚀方法。随着亚微米下制备半导体器件需求的增加，硅干法刻蚀技术也显得越来越重要。【参考文献：王晓东：干法刻蚀引领半导体微纳加工】本次光刻设备中标盘点，涉及品牌有SPTS、SCREEN.、AMAT、Oxford、北方华创、Lam Research、WONIK IPS、Tokyo Electron Limited、中微半导体、卡尔蔡司等。其中，各品牌比较受欢迎的产品型号有：牛津仪器PlasmaPro 100 Polaris单晶圆刻蚀系统PlasmaPro 100 Polaris单晶圆刻蚀系统为得到更为精湛的刻蚀效果提供了智能解决方案，在行业中能保持竞争优势。同时，这款仪器具有高效的刻蚀速率、低购置成本、专为腐蚀性的化学成分而设计、出色的刻蚀均匀性、适用于蓝宝石的静电压盘技术、蓝宝石和硅上的GaN、高导通抽气系统、可与其它PlasmaPro系统集成等优点。SPTS深硅刻蚀设备SPTS作为世界顶尖的深硅刻蚀和牺牲层刻蚀设备的供应商，SPTS能够提供一系列的解决方案来满足客户的生产和开发要求。通过一系列的技术的开发，SPTS能为客户提供一系列的先进的工艺，比如功率MOSFET和200mm和300mm晶圆上的高端封装（3D封装和芯片级封装）。这款深硅刻蚀设备的主要应用包括: MEMS，先进封装（TSV）,功率器件等等。等离子刻蚀机经济型等离子刻蚀设备EtchLab 200具备 低成本效益高的特点，并且支持揭盖直接 放置样片。EtchLab 200允许通过载片器，实现多片工艺样品的快速装载，也可以直接快速地把样品装载在电极上。RIE等离子体刻蚀设备具备占地面积小， 模块化和灵活性等设计特点。点击此处进入【等离子体/化学刻蚀设备】专场，获取更多产品信息。更多市场信息，查看专题【半导体材料、器件与设备_专题报道】更多资讯请扫描下方二维码，关注【材料说】

据泰州日报报道，靖江先锋半导体科技有限公司实现了大规格集成电路晶圆刻蚀机核心部件国产化，并将配套全球首条5纳米芯片生产线。报道指出，先锋半导体公司总经理游利介绍，喷淋盘是芯片制造设备刻蚀机的主要部件，先锋半导体产品将用于中微半导体公司生产的5纳米刻蚀机，并应用于台积电全球首条5纳米制程生产线。资料显示，先锋半导体成立于2008年，是一家从事半导体器件、集成电路专用设备及零部件、航空和高端装备精密部件研发、制造、销售、服务于一体的国家高新技术企业，产品主要应用在刻蚀机、镀膜机等集成电路装备，供应给国内外半导体行业OEM厂商，是中国半导体行业精密零部件的主要制造商。2008年成立之初，先锋半导体便与中国半导体设备知名厂商中微半导体展开合作。2018年底，中微半导体突破欧美封锁，成功研发出5纳米芯片刻蚀机，其中的主要部件喷淋盘，就是先锋半导体研发生产的。目前，先锋半导体已成为中芯国际、中微半导体、北方华创、北方微电子等国内半导体企业的重要供应商。游利表示，下一步，先锋将在半导体装备关键零部件国产化替代、本地化研发领域，坚定走“专精特新”发展之路。同时，瞄准行业前沿，用国际化的眼光对标、赶超行业先进，致力打造全球有竞争力的精密制造专家。

自美国提出终断该国企业与华为多年的芯片供应以来，研制中国自己的国产芯片提上了我国的发展日程，也是当前中国市场最为紧迫的一项技术，关于芯片技术发展的讨论不仅在专业领域盛行，也成为了普通民众议论的焦点所在。而芯片的制造离不开半导体设备，其中刻蚀设备是其中的重中之重。据了解，目前我国已经突破了刻蚀设备的技术难关，其中中微公司的5nm刻蚀设备已成功销往海外，更是进入台积电的生产线。如今最先进的芯片制造主要使用干法刻蚀技术，干法刻蚀相对于湿法刻蚀，具有更好的各向异性，工艺重复性，且能降低晶圆污染几率，因此成为了亚微米下制备半导体器件最主要的刻蚀方法。干法刻蚀的物理机制，主要包括物理溅射刻蚀、纯化学刻蚀、化学离子增强刻蚀和侧壁抑制刻蚀等。目前我国在生产用刻蚀设备领域已经逐渐实现市场上的突破，但一直以来，对科研用刻蚀设备情况缺乏调查。1月22日，科技部和财政部联合发布《科技部 财政部关于开展2021年度国家科技基础条件资源调查工作的通知（国科发基〔2020〕342号）》，全国众多高校和科研院所将各种科学仪器上传共享，对其中干法刻蚀设备的统计分析或可一定程度反映科研用刻蚀设备的市场信息。小编特对其进行分类统计，供读者一阅。各省（直辖市/自治区）干法设备分布各省（直辖市/自治区）干法刻蚀设备分布图根据统计数据，共享干法刻蚀设备的总数量为276台，涉及25省（直辖市/自治区）。北京、江苏、上海、广东为共享干法刻蚀设备最多的地区，其中北京的数量最多，达81台。北京共享科研用干法刻蚀设备数量较多，主要是由于其实力强劲的高等院校较多，其科研经费充足，可以购买更多的设备。以上四个地区的经济发展水平在全国名列前茅，而且半导体产业发达，对干法刻蚀设备的需求也更高。进一步统计发现，刻蚀设备主要分布于清华大学和中国科学院上海微系统与信息技术研究所。刻蚀设备品牌分布从刻蚀设备的整体品牌分布图可以看到，英国Oxford的刻蚀设备占比最多达22%，其次为德国SENTECH占比为7%，远低于Oxford的市场份额。需要注意的是，北方华创科技集团股份有限公司（简称“北方华创”）是由北京七星华创电子股份有限公司（简称“七星电子”）和北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司（简称“北方微电子”）战略重组而成，是目前国内集成电路高端工艺装备的先进企业，因此在统计中将北方微电子和北方华创归为一家企业。从统计结果来看，国内科研用刻蚀设备中，全球刻蚀设备巨头Lam、AMAT等占比很低，这表明工业用刻蚀设备和科研用刻蚀设备的需求不同，厂商也有所不同。刻蚀设备产地分布从刻蚀设备的产地分布可以看出，进口设备中英国设备最受国内科研用户青睐，占比达30%，但国产设备占比31%（含台湾），高于英国进口数量。统计结果表明，中国品牌包括了北方华创、中国科学院微电子研究所等约20家厂商，呈现出多强局面。本次刻蚀设备盘点中，涉及品牌有Oxford、SENTECH、北京创世维纳科技有限公司、Samco、北方华创 、北京金盛微纳科技公司、北京埃德万斯离子束技术研究所有限公司、SPTS、Gatan、北京泰龙电子技术有限公司、STS、Lam等。其中，各品牌比较受欢迎的产品型号有：等离子刻蚀机高端等离子刻蚀设备SI 500使用低离子； 能量的电感耦合等离子体用于低损伤刻: 蚀和纳米结构刻蚀。通过在广泛的温度: 范围内的动态温度控制确保了可重复且稳定的等离子刻蚀条件。深反应等离子；刻蚀（硅，III-V族半导体，MEMS）可: 采用低温工艺和室温下的气体切换工艺: 来实现。经济型等离子刻蚀设备EtchLab 200具备 低成本效益高的特点，并且支持揭盖直接 放置样片。EtchLab 200允许通过载片 器，实现多片工艺样品的快速装载，也可 以直接快速地把样品装载在电极上。RIE等离子体刻蚀设备具备占地面积小， 模块化和灵活性等设计特点.牛津Oxford等离子体刻蚀机PlasmaPro 80 RIEPlasmaPro 80是一种结构紧凑、小尺寸且使用方便的直开式系统，可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。 它易于放置，便于使用，且能确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆装卸，是研究和小批量生产的理想选择。 它通过优化的电极冷却和出色的衬底温度控制来实现高质量的工艺。这款设备具有直开式设计允许快速装卸晶圆、出色的刻蚀控制和速率测定、出色的晶圆温度均匀性，可应用于 III-V族材料刻蚀工艺、硅 Bosch和超低温刻蚀工艺、类金刚石（DLC）沉积、二氧化硅和石英刻蚀、用特殊配置的PlasmaPro FA设备进行失效分析的干法刻蚀解剖工艺，可处理封装好的芯片, 裸晶片，以及200mm晶圆、用于高亮度LED生产的硬掩模的刻蚀。

pspan style="font-family: 楷体,楷体_GB2312,SimKai "　　9月1日，昌乐县疾病预防控制中心发布采购公告，预计以248.96 万元采购微波消解器、电位滴定仪、臭氧水质分析仪、离子色谱仪、PCR 扩增仪等23套仪器设备。仪器采购参数一经公布，立即引来各潜在投标人的质疑提问。仪器信息网摘录采购方答疑文件原文，看面对“设置独家参数”的种种质疑，采购方究竟给出了什么答复?/span/ppspan style="font-family: 楷体,楷体_GB2312,SimKai "/span/pp style="line-height: 16px "　　a href="http://img1.17img.cn/17img/files/201709/ueattachment/2de026af-874c-4a2b-a044-c41e6174855e.pdf" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "昌乐县疾病预防控制中心实验室装备项目招标文件定稿0901.pdf/span/a/pp　　受昌乐县疾病预防控制中心委托，山东至信工程项目管理有限公司就昌乐县疾病预防控制中心实验室装备项目进行公开招标，于2017年09月09日10时前各潜在投标人就招标文件中的有关内容提出了一些疑问和问题，现综合进行答复。/pp　　本答疑及变更文件作为招标文件的组成部分，具有同等法律效力。/pp　　span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong一、答疑部分/strong/span/pp　　span style="color: rgb(255, 0, 0) "strong(一)离子色谱仪/strong/span/pp　strong　1、问：/strong市场上的离子色谱有进口品牌的原装进口产品、进口品牌的国内组装产品和国产品牌购买进口部件的组装产品，单独的“进口”不能准确描述，建议修改为“原装进口，非国内组装”。/pp　　strong答：/strong根据相关法律规定，本次采购所称的进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品。/pp　　strong2、问：/strong★3.2 所有的离子色谱流路均标配采用原厂PEEK材质，须包括分析泵本身及分析泵后至六通阀、色谱柱、抑制器、检测器之间的所有管路，不得国内改装。支持单泵高压二元梯度功能升级。该梯度淋洗功能须有专利文件证明或计量器具型式注册表。此指标为热电排它性且独有参数，“支持单泵高压二元梯度功能升级。该梯度淋洗功能须有专利文件证明”已经明确表明了这是一个独家参数。建议修改为：所有的离子色谱流路均标配采用原厂 PEEK /非金属材质，须包括分析泵本身及分析泵后至六通阀、色谱柱、抑制器、检测器之间的所有管路，不得国内改装。/pp　　strong答：/strong修改为★3.2 所有的离子色谱流路均标配采用原厂PEEK材质，须包括分析泵本身及分析泵后至六通阀、色谱柱、抑制器、检测器之间的所有管路，不得国内改装。投标人须提供高压二元梯度泵、三元泵或者四元泵，形成梯度洗脱流动相。/pp　　strong3、问：/strong3.3.1 流速范围：0.00-5.00mL/min，质疑：此指标非常不严谨，流速范围应该是最小流速到最大流速的范围，最小流速是0.00?建议修改为：0.001-5ml/min。/pp　　strong答：/strong修改为3.3.1 流速范围：0.001-5.00 mL/min。/pp　　strong4、问：/strong★3.3.6 二元高压梯度淋洗系统 高压梯度重复性偏差限： 0.2% 高压梯度误差限： 0.15%。质疑：此指标为美国热电排独有参数指标(热电专利，其他厂家均无法满足要求)，和“★3.2”指标相同。建议修改为：删除此条参数/pp　　strong答：/strong修改为★3.3.6 投标人须提供二元高压、三元泵或者四元泵梯度淋洗系统，高压梯度重复性偏差限： 0.2% 高压梯度误差限： 0.15% /pp　　strong5、问：/strong3.4.1 必须与自动电解连续再生微膜抑制器联用，降低系统背景，提高信噪比。质疑：此指标为美国热电排它性参数，进口品牌中只有热电使用电解连续再生微膜抑制器。建议修改为：必须与自动电解连续再生微膜抑制器联用或连续再生化学抑制器联用，降低系统背景，提高信噪比。/pp　　strong答：/strong经市场调研，满足此项要求的品牌型号已不少于3个，非排它性参数，按招标文件要求执行。/pp　　strong6、问：/strong★3.4.7 检测器耐受最大压力：10Mpa。质疑：此指标为美国热电排它性参数，没有第二家品牌满足此条招标要求。建议修改为：检测器耐受最大压力：2Mpa。/pp　　strong答：/strong修改为★3.4.7 检测器耐受最大压力：2Mpa。/pp　　strong7、问：/strong3.5 具有专利技术的原厂生产自动电解连续再生微膜抑制器：具有高容量，免维护，低背景电导，低噪声和稳定的基线。★3.5.1 原厂生产阴离子自动电解连续再生微膜抑制器:1套，不需使用蠕动泵，无需外加硫酸进行轮流再生。3.6.1 原厂生产的兼容自动电解连续再生微膜抑制器或化学连续再生微膜抑制器的高效高容量阴离子分离柱及保护柱1套，色谱柱须采用聚合物基质，耐受pH0-14的工作范围，柱交换量220μeq/根以上，可一次进样完成阴离子和溴酸根的分析。质疑：三条指标都在强调电解连续再生微膜抑制器这一进口品牌中的独家参数。建议修改为：3.5 具有专利技术的原厂生产自动电解连续再生微膜抑制器或连续再生化学抑制器：具有高容量，免维护，低背景电导，低噪声和稳定的基线。★3.5.1 原厂生产阴离子自动电解连续再生微膜抑制器或连续再生化学抑制器:1套3.6.1 原厂生产的兼容自动电解连续再生微膜抑制器或连续再生化学抑制器的高效高容量阴离子分离柱及保护柱1套，色谱柱须采用聚合物基质，耐受pH0-14的工作范围，柱交换量220μeq/根以上，可一次进样完成阴离子和溴酸根的分析。/pp　　strong答：/strong经市场调研，满足此项要求的品牌型号已不少于3个，非排它性参数，按招标文件要求执行。/pp　strong　8、问：/strong样品瓶带有样品瓶盖，自动进样器带有样品盘保护罩。质疑：进口品牌离子色谱中只有美国热电的自动进样器样品盘安装样品盘保护罩，是美国热电的独家参数。建议修改为：删除此条参数要求/pp　　strong答：/strong取消招标文件第83页第3.7.7条规定。/pp　　strong9、问：/strong3.8 在线电解淋洗液发生器：利用去离子水作为水源，在线电解产生高纯度无污染的梯度或等度淋洗液，减小基线漂移，提高峰面积和保留时间的稳定性，并保证连续运行时良好的重现性。/pp　　3.8.1 须标配有电解连续再生捕获装置，以去除淋洗液中的杂质离子，改善基线漂移。/pp　　3.8.2 梯度产生：高压梯度，可有效避免由于压力过低产生气泡的问题。/pp　　3.8.3 产生方式：在线电解，不得使用在线稀释功能。/pp　　3.8.4 在线电解淋洗液发生器须耐浓酸和浓碱。/pp　　3.8.5 最大操作压力:3000psi。/pp　　3.8.6 梯度精度 0.2%，需提供计量器具型式注册表信息或相关专利文件。/pp　　3.8.7 梯度准确度 0.15%，需提供计量器具型式注册表信息或相关专利文件。/pp　　strong质疑：/strong在线电解淋洗液是美国热电独有参数，其他进口品牌无第二家使用在线电解产生淋洗液。建议修改为：在线淋洗液发生器，可连续产生淋洗液用于样品分析。/pp　　strong答：/strong(1)投标人除提供在线电解淋洗液发生器外，也可以提供高压二元梯度泵、三元泵、四元泵，氢氧根体系流动相，以得到上述国家标准中检测项目的准确结果为最终目的。另外，投标人可以采用其他方式完成上述国家标准中的检测，须提供盖有厂家公章的样品分析方法及样品分析报告并作为验收条件。/pp　　(2)取消招标文件第83页第3.8.6条和第3.8.7条规定。/pp　　strong10、问：/strong3.10 可配电荷监测器，同电导检测器联用提高设备灵敏度和分辨率。质疑：其他进口品牌无第二家使用“电荷监测器”，是美国热电独家参数。建议：删除此条美国热电独家参数/pp　　strong答：/strong据了解，电荷监测器非独家参数，按招标文件要求执行。/pp　　strong11、问：/strong3.11 到货安装后可直接检测氯化物、氟化物、硫酸盐、硝酸盐、亚氯酸盐、氯酸盐、溴酸盐,并把该指标作为验收指标，能满足GB5749-2006的相关要求，其配套的附件、备件和消耗品必须满足这个要求。3.12 方法支持：供货厂家在国家级标准方法中有超过40个以上的方法，并在投标彩页中体现。质疑：在“3.11”条款招标要求中已经明确了“到货安装后可直接检测氯化物、氟化物、硫酸盐、硝酸盐、亚氯酸盐、氯酸盐、溴酸盐,并把该指标作为验收指标，能满足GB5749-2006的相关要求” 强制要求彩页增印40个以上方法不合招标法规定。建议修改为：方法支持：供货厂家满足国家级标准方法GB5749-2006。/pp　　strong答：/strong(1)修改为3.11 到货安装后可直接检测氯化物、氟化物、硫酸盐、硝酸盐、亚氯酸盐、氯酸盐、溴酸盐,能满足GB5749-2006的相关要求，食品《GB 5009.256-2016食品安全国家标准食品中多种磷酸盐的测定》、《GBT 20188-2006小麦粉中溴酸盐的测定离子色谱法》、《GB 500933-2010食品安全国家标准食品中亚硝酸盐与硝酸盐的测定》，并把以上指标作为验收标准。其配套的附件、备件和消耗品必须满足这个要求。/pp　　(2)修改为3.12 方法支持：方法支持：供货厂家满足国家级标准方法(包括水质《GB5749-2006》、食品《GB5009.256-2016 食品安全国家标准食品中多种磷酸盐的测定》、《GBT20188-2006 小麦粉中溴酸盐的测定离子色谱法》、《GB500933-2010 食品安全国家标准食品中亚硝酸盐与硝酸盐的测定》)/pp　　strong12、问：/strong离子色谱配置清单完全照搬美国热电ICS600，其中“变色龙7SE正式版软件”、“ASRS500 阴离子抑制器”、“CR-ATC Continuously Regenerated Anion Trap Column”和“AS-DV for 5.0 mL vials*自动进样器”等等全部是美国热电离子色谱仪的标准配置。为何会在政府公开采购中出现美国热电这一品牌的配置表格?/pp　　strong答：/strong招标文件中的配置清单仅供参考，现修改为离子色谱配置：离子色谱仪1台、配套正式版软件及其电脑、打印机1套、配套的阴、阳离子分析柱各1根、配套的阴、阳离子保护柱各1根、配套的阴、阳离子抑制器各1个、气体调节阀1个、配套的电解淋洗液发生设备1套、配套的在线阴离子电解再生捕获柱1根(如厂家有此配件)、配套的自动进样器1套、配套样品瓶1组、电源线1根、工具1套、配套滤芯200个、配套定量管1个、配套的柱温箱1个、配套氮气瓶及减压阀1套。/pp　　span style="color: rgb(255, 0, 0) "strong(二)荧光定量PCR/strong/span/pp　　strong13、问：/strong★3.1.1 六个检测通道，可实现5重 PCR，可同时检测5个靶基因，专用FRET检测通道 有动态温度梯度PCR功能，可以同时运行8个不同的温度，每个温度孵育时间相同 可独立运行，真正离线操作，无需连接电脑即可实时监控 PCR 荧光扩增曲线。质疑(1)：六通道检测，专用FRET检测通道。这条为伯乐公司独有指标，无法满足三家供应商投标。国家相关法律法规明确要求公平投标环境，所以这个专用FRET检测通道独家的手段和描述建议删除。质疑(2)：有动态温度梯度PCR功能，可以同时运行8个不同的温度，这条为伯乐公司CFX-96 touch的独有指标，无法满足三家供应商投标。国家相关法律法规明确要求公平投标环境，所以这个动态温度梯度PCR功能，可以同时运行8个不同的温度手段和描述建议删除。/pp　　建议修改为：六个检测通道，可实现5重PCR，可同时检测5个靶基因。/pp　　strong答：/strong(1)修改为★3.1.1 六个检测通道，可实现5重 PCR，可同时检测5个靶基因，支持FRET应用。/pp　　(2)经市场调研，满足“六通道检测，支持FRET应用”以及“有动态温度梯度PCR功能，可以同时运行8个不同的温度”要求的品牌型号已不少于3个，非独家参数，按招标文件及修改内容要求执行。/pp　　strong14、问：/strong★3.2.1 样品容量：96x0.2ml，可使用标准规格96孔板(12x8) 检测器：六个带有滤光片的光敏二极管。质疑：此指标为伯乐公司CFX-96排它性且独有参数，其余厂家均为CCD成像或者CMOS成像技术。此参数为排它性参数，无三家满足不符合招标法。国家相关法律法规明确要求公平投标环境，所以这个伯乐公司独家的手段和描述建议修改。建议修改为：3.2.1 样品容量：96x0.2ml，可使用标准规格96孔板(12x8) 检测器：六个带有滤光片的光敏二极管或者CCD，CMOS成像。/pp　strong　答：/strong经市场调研，满足“检测器：六个带有滤光片的光敏二极管”要求的品牌型号已不少于3个，非独家参数，按招标文件要求执行。/pp　　strong15、问：/strong★3.2.5 升降温速度：5℃/秒 动态温度梯度功能：同时运行8个不同的温度 梯度温控范围：30 -100℃ 梯度温差范围：1-24℃ 梯度温度孵育时间：相同。质疑：此指标为伯乐公司CFX-96排它性且独有参数，动态温度梯度功能：同时运行8个不同的温度，其他厂家均没有动态梯度功能。这条伯乐公司独有指标，无三家满足不符合招标法。国家相关法律法规明确要求公平投标环境，所以这个伯乐公司独家的手段和描述建议修改。建议修改为：升降温速度：5℃/秒/pp　　strong答：/strong经市场调研，满足此参数要求的品牌型号已不少于3个，非独家参数，按招标文件要求执行。/pp　　strong16、问：/strong3.2.6 温控范围 0-100℃ 温度准确性：± 0.2℃(90?C时) 温度均一性：± 0.4℃(10 秒内达到90?C)。质疑：此指标为伯乐公司排独有参数指标，无三家满足不符合招标法。国家相关法律法规明确要求公平投标环境，所以这个安捷伦独家的手段和描述建议修改。建议修改为：温控范围 37-100℃ 温度准确性：± 0.2℃(90?C时) 温度均一性：± 0.4℃(10 秒内达到)。/pp　　strong答：/strong(1)此条质疑内容表述不清，“伯乐独有”与“安捷伦独家”前后矛盾。/pp　　(2)修改为3.2.6 温控范围：4-99℃。/pp　　span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong二、变更部分/strong/span/pp　　1、本项目招标文件第三章第十三项第4条原内容为：投标人必须承诺一旦中标，所供设备及其配件到货调试获得的实际参数必须和产品说明书的参数完全一致，该参数必须优于或等同于招标文件中规定的设备及其配件的参数要求，符合上述条件视为验收合格。若采购人对中标人提供的设备性能有异议时，将强化验收措施，招标文件设备参数与技术要求中所提到的所有材料的材质和性能以及不能用现场调试的方式确定的参数，要求中标人提供相应检测报告，报告中使用的样本需与所购设备同厂家、同批次、同型号，报告书要求具有资质的国家级权威机构出具，设备调试由生产厂家工程师和采购人指定的技术人员共同参与，调试方法需征得采购人的同意，对设备在招标文件中公布的所有参数与技术要求以及该设备可用于食品和水质检测的所有项目的使用要求进行全面调试，调试过程所产生的所有费用及其用品均由中标人负责。如果设备验收不合格，采购人有权要求中标人更换符合参数要求的设备，若中标人在48小时内无法更换相关设备的，采购人有权取消中标资格，其履约保证金不予退还，给采购人造成损失的超过履约保证金，予以全额赔偿。/pp　strong　现变更为：/strong投标人必须承诺一旦中标，所供设备及其配件到货调试获得的实际参数必须和产品说明书的参数完全一致，该参数必须优于或等同于招标文件中规定的设备及其配件的参数要求，符合上述条件视为验收合格。/pp　　所有设备都要调试适用于食品、水质和其他疾控检验的所有项目的核心参数，全部符合上述验收合格条件并符合食品、水质和其他疾控检验相关国家标准的有关规定是通过验收的基本要求。定量和半定量设备的核心参数是量程(如果有)、灵敏度、准确度、重复性和分辨力(如果有) 恒温设备的核心参数是量程、温度的波动性和均匀性 PCR、微生物鉴定仪等定性检测设备的核心参数是准确性 消解设备的核心参数是消解、赶酸和单管消解容量的适用性以及设备的安全性 显微观察设备的核心参数是放大倍数和清晰度 核心参数之外的参数不排除调试验收的可能。/pp　　若采购人对中标人提供的设备性能有异议时，将强化验收措施，招标文件设备参数与技术要求中所提到的所有材料的材质和性能以及不能用现场调试的方式确定的参数，要求中标人提供相应检测报告，报告中使用的样本需与所购设备同厂家、同批次、同型号，报告书要求具有资质的国家级权威机构出具，设备调试由生产厂家工程师和采购人指定的技术人员共同参与，调试方法需征得采购人的同意，对设备在招标文件中公布的所有参数与技术要求以及该设备可用于食品和水质检测的所有项目的使用要求进行全面调试，调试过程所产生的所有费用及其用品均由中标人负责。如果设备验收不合格，采购人有权要求中标人更换符合参数要求的设备，若中标人在48小时内无法更换相关设备的，采购人有权取消中标资格，其履约保证金不予退还，给采购人造成损失的超过履约保证金，予以全额赔偿。/pp　　本答疑及变更文件共两部分，其中答疑内容共16条 变更内容1条，其他内容不变。/pp style="text-align: right "　　采购人：昌乐县疾病预防控制中心/pp style="text-align: right "　　采购代理机构：山东至信工程项目管理有限公司/pp style="text-align: right "　　2017年09月11日/p

海关总署公布2019年液相色谱仪采购项目中标公告，仪器供应商主要为青岛盛瀚、瑞士万通，累计金额共978.7万元。　　详情如下：　　采购人名称：海关总署　　采购人地址：北京市东城区建国门内大街6号　　招标人名称：海关总署物资装备采购中心　　招标人地址：北京市海淀区马甸东路9号　　项目联系人：吴先生　　联系电话：010-65195902　　01包中标结果：　　中标供应商名称:北京正信博通科技有限公司　　中标供应商地址:北京市丰台区丰葆路23号智慧广场311-312　　中标金额:4,296,000.00元　　中标内容:详见下表序号名称品牌及规格型号原产地和制造商名称数量单价（元）合价（元）备注品目1离子色谱仪11离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）盛瀚/CIC-D100青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司1台152000.00152000.00/1.1电导检测器盛瀚/ELCD青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司1个已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）/1.220位自动进样器盛瀚/SHA-1青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司1个已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）/1.3色谱控制分析工作站clarity捷克/DataApexcompany1套已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）/1.6阴离子连续自动再生抑制器盛瀚/SHY-A-6青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司1个已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）/2辅助设备价格2.1专用计算机系统Lenovo/E74中国/联想1套已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）/2.2打印机惠普/P1108中国/惠普1套已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）/2.3高容量阴离子分离柱及保护柱盛瀚/SH-AC-11（SH-G-1）青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司1支已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）/3质保期内的备品备件及专用工具费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）/4运输费、保险费及伴随费用///已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）/5安装、调试及检测费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）/6培训费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）/7技术支持与售后服务费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪1主机（含泵和六通阀）/8其它//////品目2离子色谱仪21离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）盛瀚/CIC-D100青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司3台326000.00978000.00/1.1电导检测器盛瀚/ELCD青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司3个已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）/1.2色谱控制分析工作站clarity捷克/DataApexcompany3个已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）/1.396位自动进样器Spark/SHA-16荷兰/Spark3个已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）/1.4离子色谱柱温箱盛瀚/ZWN-100青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司3个已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）/1.5阴离子连续自动再生抑制器盛瀚/SHY-A-6青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司3个已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）/1.6自动淋洗液发生器盛瀚/SHRF-10青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司3个已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）/2辅助设备价格2.1专用计算机系统Lenovo/E74中国/联想3套已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）/2.2打印机惠普/P1108中国/惠普3套已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）/2.3高容量阴离子分离柱及保护柱盛瀚/SH-AC-11（SH-G-1）青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司3支已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）/2.4单糖或多糖分析柱及保护柱Hamilton/RCX-30瑞士/Hamilton3支已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）/2.5氨基酸分析柱及保护柱Thermofisher/PA10美国/Thermofisher3支已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）/3质保期内的备品备件及专用工具费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）/4运输费、保险费及伴随费用//////5安装、调试及检测费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）/6培训费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）/7技术支持与售后服务费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）已包含在1离子色谱仪2主机（含泵和六通阀）/8其它//////品目3离子色谱仪4离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气盛瀚/CIC-D300青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2544000.001088000.00/四元梯度泵(含脱气装置和电子脉冲阻尼器)诺尔AZURA/APH64EB德国/德国诺尔2台已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/等度泵(含脱气装置和电子脉冲阻尼器)盛瀚/UC-100A青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2台已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/柱温箱盛瀚/ZWN-100青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/96位自动进样器Spark/SHA-16荷兰/SparkHolland2个已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/电导检测器盛瀚/ELCD青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司4个已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/安培检测器Antec/DECADEElite荷兰/Antec2个已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/自动淋洗液发生器盛瀚/SHRF-10青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/色谱控制分析工作站clarity捷克/DataApexcompany2个已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/辅助设备价格专用计算机系统Lenovo/E74中国/联想2套已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/打印机惠普/P1108中国/惠普2套已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/阴离子连续自动再生抑制器盛瀚/SHY-A-6青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/阳离子连续自动再生抑制器盛瀚/SHY-C-3青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/高容量阴离子分离柱及保护柱盛瀚/SH-AC-11（SH-G-1）青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/高容量阳离子分离柱及保护柱盛瀚/SH-CC-4（SH-G-1）青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/氰根分析柱及保护柱盛瀚/SH-AC-14（SH-G-1）青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/不间断电源：须提供设备2小时用电的不间断电源及控制器深圳山特/C3KS深圳/深圳山特2台已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/两年消耗品：4根蠕动泵管、2包滤芯（5个/包）、2包在线过滤器滤膜盛瀚青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2套已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/质保期内的备品备件及专用工具费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/运输费、保险费及伴随费用//////安装、调试及检测费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/培训费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/技术支持与售后服务费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气已包含在1离子色谱仪4（主机部分）含在线脱气/其它//////品目4离子色谱仪6离子色谱仪6（主机部分）盛瀚/CIC-D300青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2414000.00828000.00/四元梯度泵(含脱气装置和电子脉冲阻尼器)诺尔AZURA/APH64EB德国/德国诺尔2台已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/等度泵(含脱气装置和电子脉冲阻尼器)盛瀚/UC-100A青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2台已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/电子六通进样阀FLOM/VF-02日本/FLOM2个已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/蠕动泵kamoer/KFS-HD2B06P上海/卡川尔2套已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/在线淋洗液脱气系统；盛瀚/SHT-2青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2套已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/在线样品脱气系统盛瀚/SHT-2青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2套已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/柱温箱盛瀚/SH-ZWN青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/96位自动进样器Spark/SHA-16荷兰/SparkHolland2个已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/电导检测器盛瀚/ELCD青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司4个已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/安培检测器（含银电极及流动池测量系统）Antec/DECADEElite荷兰/Antec2个已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/自动淋洗液发生器盛瀚/SHRF-10青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/色谱控制分析工作站clarity捷克/DataApexcompany2个已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/辅助设备价格洗脱液套件盛瀚青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司4套已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/专用计算机系统Lenovo/E74中国/联想2套已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/打印机惠普/P1108中国/惠普2套已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/阴离子连续自动再生抑制器盛瀚/SHY-A-6青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/阳离子连续自动再生抑制器盛瀚/SHY-C-3青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/高容量阴离子分离柱及保护柱盛瀚/SH-AC-11（SH-G-1）青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/高容量阳离子分离柱及保护柱盛瀚/SH-CC-4（SH-G-1）青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/氰根分析柱及保护柱盛瀚/SH-AC-14（SH-G-1）青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/不间断电源：须提供设备2小时用电的不间断电源及控制器深圳山特/C3KS深圳/深圳山特2台已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/两年消耗品：4根蠕动泵管、2包滤芯（5个/包）、2包在线过滤器滤膜（10片/包）kamoer/KFS-HD2B06P上海/卡川尔2套已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/质保期内的备品备件及专用工具费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/运输费、保险费及伴随费用//////安装、调试及检测费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/培训费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/技术支持与售后服务费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪6（主机部分）已包含在1离子色谱仪6（主机部分）/其它//////品目5离子色谱仪7离子色谱仪7（主机部分）盛瀚/CIC-D300青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司1426000.00426000.00/梯度泵（包含电子脉冲阻尼器）盛瀚/UC-100A青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2台已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/电子六通进样阀FLOM/VF-02日本/FLOM2个已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/蠕动泵kamoer/KFS-HD2B06P上海/卡川尔2套已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/在线淋洗液脱气系统盛瀚/SHT-2青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司1套已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/在线样品脱气系统盛瀚/SHT-2青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司1套已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/柱温箱盛瀚/ZWN-100青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司1个已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/洗脱液套件盛瀚青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2套已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/标准曲线自动绘制系统Spark/SHA-16荷兰/SparkHolland1套已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/144位自动进样器Spark/SHA-16荷兰/SparkHolland1个已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/电导检测器盛瀚/ELCD青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/色谱控制分析工作站clarity捷克/DataApexcompany1个已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/辅助设备价格专用计算机系统Lenovo/E74中国/联想1套已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/打印机惠普/P1108中国/惠普1套已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/阴离子连续自动再生抑制器盛瀚/SHY-A-6青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司1个已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/阳离子连续自动再生抑制器盛瀚/SHY-C-3青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司1个已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/高容量阴离子分离柱及保护柱盛瀚/SH-AC-11（SH-G-1）青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司1个已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/高容量阳离子分离柱及保护柱盛瀚/SH-CC-4（SH-G-1）青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司1个已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/不间断电源：须提供设备2小时用电的不间断电源及控制器深圳山特/C3KS深圳/深圳山特1台已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/两年消耗品：4根蠕动泵管、2包滤芯（5个/包）、2包在线过滤器滤膜（10片/包）kamoer/KFS-HD2B06P上海/卡川尔1套已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/质保期内的备品备件及专用工具费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/运输费、保险费及伴随费用//////安装、调试及检测费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/培训费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/技术支持与售后服务费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪7（主机部分）已包含在1离子色谱仪7（主机部分）/其它//////品目6离子色谱仪8离子色谱仪8（主机部分）盛瀚/CIC-D300青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2412000.00824000.00/梯度泵（含脱气装置和电子脉冲阻尼器）诺尔AZURA/APH64EB德国/德国诺尔2台已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/等度泵（含电子脉冲阻尼器）UC-100A青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2台已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/柱温箱盛瀚/ZWN-100青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/96位自动进样器Spark/SHA-16荷兰/SparkHolland2个已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/电导检测器盛瀚/ELCD青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司4个已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/安培检测器Antec/DECADEElite荷兰/Antec2个已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/自动淋洗液发生器盛瀚/SHRF-10青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/色谱控制分析工作站clarity捷克/DataApexcompany2个已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/辅助设备价格专用计算机系统1套Lenovo/E74中国/联想2套已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/打印机惠普/P1108中国/惠普2套已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/阴离子连续自动再生抑制器盛瀚/SHY-A-6青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/阳离子连续自动再生抑制器盛瀚/SHY-C-3青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/高容量阴离子分离柱及保护柱盛瀚/SH-AC-11（SH-G-1）青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/高容量阳离子分离柱及保护柱盛瀚/SH-CC-4（SH-G-1）青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/氰根分析柱及保护柱盛瀚/SH-AC-14（SH-G-1）青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司2个已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/两年消耗品：4根蠕动泵管、2包滤芯（5个/包）、2包在线过滤器滤膜（10片/包）kamoer/KFS-HD2B06P上海/卡川尔2套已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/质保期内的备品备件及专用工具费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/运输费、保险费及伴随费用//////安装、调试及检测费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/培训费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/技术支持与售后服务费用/青岛/青岛盛瀚色谱技术有限公司/已包含在1离子色谱仪8（主机部分）已包含在1离子色谱仪8（主机部分）/其它//////　　02包中标结果：　　中标供应商名称:河南麦飞仪器设备销售有限公司　　中标供应商地址:郑州市金水区经三路北99号附1号2号楼10层1015号　　中标金额:5,491,000.00元　　中标内容:详见下表序号名称品牌及规格型号原产地和制造商名称数量单价（元）合价（元）备注1离子色谱仪3瑞士万通（Metrohm）930型离子色谱仪瑞士/瑞士万通4440,0001,760,0001.1离子色谱仪5瑞士万通（Metrohm）940型离子色谱仪瑞士/瑞士万通5746,2003,731,0002电脑Dell，7060MT美国/Dell9赠送赠送2.1打印机惠普HPM154a美国/HP9赠送赠送2.2UPS电源山特C1K山特9赠送赠送3质保期内的备品备件及专用工具费用瑞士万通主机随机附带瑞士/瑞士万通赠送赠送4运输费、保险费及伴随费用//赠送赠送5安装、调试及检测费用按照招标要求执行/赠送赠送6培训费用按照招标要求执行/赠送赠送7技术支持与售后服务费用按照招标要求执行/赠送赠送

3月31日消息，昨日中微公司发布其2020年年报，报告期内，中微公司实现营业收入22.73亿元，较上年增长16.76%。归属于上市公司股东的净利润4.92亿元，同比增长161.02%。扣非净利润2331.94万元，同比减少84.19%。中微公司在年报中表示，2020年归母净利润实现翻倍增长主要源于：（1）中芯国际科创板股票投资公允价值变动收益约2.62亿元；（2）公司2020年计入非经常性损益的政府补助较2019 年增加约2.26亿元。而该年扣非净利润较上年同期减少84.19%，则是由于实施股权激励产生的股份支付费用约1.24亿元（属于经常性损益）。图片来源：中微公司年报截图从营收构成来看，中微公司来自半导体设备产品销售的收入达到17.99亿元，来源于设备相关配件的营收为4.42亿元，而设备支持服务的收入则为0.33亿元。产品销售中源于刻蚀设备的收入为12.89亿元，同比增长约58.49%；源于MOCVD设备的收入为4.96亿元，同比下降约34.47%。图片来源：中微公司年报截图在年报中，中微公司就刻蚀技术的未来发展作出了分析。分析指出随着芯片制程向5纳米及更先进制程发展，当前浸没式光刻机受光波长的限制，需要结合刻蚀和薄膜设备，采用多重模板工艺，利用刻蚀工艺实现更小的尺寸。刻蚀技术及相关设备的重要性因此进一步提升。而在2D存储器件的线宽接近物理极限后，NAND闪存已进入3D时代，在其制造工艺中，增加集成度的主要方法不再是缩小单层上线宽而是增加堆叠层数。3D NAND层数增加要求刻蚀技术实现更高的深宽比。中微公司指出，为应对上述趋势，自身在刻蚀设备技术上的研发进展包括：（1）在逻辑集成电路制造环节，其开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户65 纳米到5纳米的芯片生产线上；同时，其根据厂商的需求，已开发出小于5纳米刻蚀设备，用于若干关键步骤的加工，并已获得批量订单。目前正在配合客户需求，开发新一代刻蚀设备和包括更先进大马士革在内的刻蚀工艺，能够涵盖5纳米以下更多刻蚀需求和更多不同关键应用的设备。（2）在3D NAND芯片制造环节，其电容性等离子体刻蚀设备可应用于64层和128层的量产，同时根据存储器厂商的需求正在开发新一代能够涵盖128层及以上刻蚀应用及相对应的极高深宽比的刻蚀设备和工艺。此外，电感性等离子刻蚀设备已经在多个逻辑芯片和存储芯片厂商的生产线上量产，正在进行新技术研发，以满足5纳米以下的逻辑芯片、1X纳米的DRAM芯片和128层以上的3D NAND芯片等产品的ICP刻蚀需求，并进行高产出的ICP刻蚀设备研发。在用于制造LED外延片的MOCVD设备技术上，中微公司表示，其用于Mini LED生产的MOCVD设备的研发工作进展顺利，已有设备在领先客户端开始进行生产验证；此外，制造Micro LED等应用的新型MOCVD设备也正在开发中。中微公司在年报中称，去年全年其研发投入总额为6.40亿元，其中包含股份支付费用0.49亿元。若剔除股份支付费用则全年研发投入为5.91亿元，较2019年增长39.16%，主要由于新工艺的研发，包括存储器刻蚀的CCP和ICP刻蚀设备、Mini-LED大规模生产的高输出量MOCVD设备、Micro-LED应用的新型MOCVD设备等。

近日，北京经开区企业北方华创科技集团股份有限公司（以下简称“北方华创”）正式发布应用于晶边刻蚀（Bevel Etch）工艺的12英寸等离子体刻蚀机Accura BE，实现国产晶边干法刻蚀设备“零”的突破，为我国先进芯片制造量身打造良率提升高效解决方案。　　何谓晶边刻蚀机？在器件制造过程中，由于薄膜沉积、光刻、刻蚀和化学机械抛光等工艺步骤的大幅增长，在晶圆的边缘造成了不可避免的副产物及残留物堆积，这些晶边沉积的副产物及残留物骤增导致的缺陷风险成为产品良率的严重威胁，因此，越来越多逻辑及存储芯片等领域制造商开始重点关注12英寸晶圆的边缘1mm区域，从晶圆的边缘位置着手提高芯片良率。晶边刻蚀机作为业界提升良率的有力保障，其重要性日益凸显。　　“Accura BE作为首台国产12英寸晶边刻蚀设备，其技术性能已达业界主流水平。”北方华创相关负责人表示，Accura BE通过软件系统调度优化与特有传输平台的结合，可助力客户实现较高的产能；通过选择搭配多种刻蚀气体，实现对PR（光刻胶），OX（氧化物），SiN（氮化硅），Carbon（碳），Metal（金属）等多类膜层材料的晶边刻蚀工艺全覆盖；可定制多种尺寸的聚焦环设计组合，实现对等离子体刻蚀区域的精准位置控制，从而为客户提供灵活、全面的良率提升方案；具备软件智能算法，可实施可视化的量化调节，简化维护流程，提高设备生产效率。　　首台！首套！首次！北方华创自2001年创立起就开始组建团队钻研刻蚀技术，从2005年第一台8英寸ICP刻蚀机在客户端上线，到带领国产刻蚀机从零到交付破千，北方华创历经了二十余载自主创新，不断为集成电路装备国产化进程贡献“亦庄智慧”。据了解，基于20余年在刻蚀工艺技术、等离子体控制及多材料刻蚀能力等方面的积累与创新，Accura BE刚发布上市，就已斩获逻辑及存储器领域头部客户多个订单，通过工艺调试，进入量产阶段，其优秀的工艺均匀性、传输稳定性及快速维护的能力赢得行业高度评价。

最近，中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家实验室(筹)张广宇研究组与高鸿钧研究组、王恩哥研究组合作，利用自制的远程电感耦合等离子体系统，首次成功实现了石墨烯的可控各向异性刻蚀。这种基于石墨烯的各向异性刻蚀技术是我国科学家在该研究领域中独具特色的工作，相关结果发表在【Advanced Materials (2010)】，并得到了审稿人的高度评价。　　石墨烯(graphene)，是继富勒烯、碳纳米管之后被科学家们发现的又一种新的碳元素结构形态。作为一种室温下稳定存在的二维量子体系，石墨烯打破了凝聚态物理的理论，推翻了人们以前普遍接受的严格的二维晶体无法在有限的温度下存在的科学预言，对凝聚态物理的发展产生了重大的影响。不仅如此，石墨烯表现出来的一系列独特的电学输运特性、光学耦合和其他新奇的物理特性，以及利于剪裁加工的二维特性，使其在分子电子学、微纳米器件、超高速计算机芯片、高转换效率电池、固态气敏传感器、太赫兹学等领域可能有重要的应用前景。　　然而，由于石墨烯的导带与价带之间没有能隙，做成晶体管器件时，很难实现开关特性，而且若要运用于现在普遍使用的逻辑电路，其金属性也是一个巨大的难题。如何在石墨烯中引入能隙，成为人们关注的热点问题，这也为石墨烯的制备提出了新的挑战。一般引入能隙的手段主要有：(1) 利用对称性破缺场或相互作用等使朗道能级发生劈裂，在导带与价带之间引入能隙。这主要通过掺杂、外加电场、化学势场等方式在双层石墨烯中引入对称破缺，实现人工调制能隙。(2) 利用量子限域效应和边缘效应，通过形成石墨烯纳米结构(如 nanoribbons纳米带)引入能隙，通过调节带宽，可以实现对带隙宽度的调节。(3) 利用化学气相沉积法掺杂(如B、N等)产生能隙，通过调节掺杂程度可实现对能隙的调节。(4)利用基底作用诱导(如SiC基底上的外延石墨烯)产生能隙，通过调节基底的作用程度可实现对能隙的调节。此前，张广宇研究组与高鸿钧研究组和陈小龙研究组合作，利用拉曼光谱学的手段，系统地研究了外延石墨烯与碳化硅基底之间的电荷转移机制，为未来这类样品制作电子学器件提供了技术参考依据。相关结果发表在【J. Appl. Phys. 107, 034305, (2010)】。　　基于已有的实验结果，大家一致认为这四种方法中最可行、最具应用价值的当属石墨烯的纳米结构。目前，石墨烯纳米结构的制备技术和电学性能的研究都有飞速的发展，但要实现大规模集成石墨烯纳米结构器件的应用，如何利用现有的微纳加工技术获得边缘可控的石墨烯纳米结构是亟待解决的难题。虽然国际上已有少数研究组利用金属粒子催化加氢反应或利用SiO2衬底与石墨烯的选择性反应来实现石墨烯选择性的各向异性刻蚀，但这些方法的刻蚀速率不可控，刻蚀取向不确定，且无法与传统的微纳加工技术兼容，从而无法实现石墨烯纳米结构器件的集成加工。　　张广宇等人此次实现的这种基于氢等离子体的干法刻蚀技术受等离子体强度和样品温度的调控，刻蚀速率可以精确控制在几个nm/min，且不会引入新的缺陷。由于石墨烯特殊的六角对称性，这种方法可以得到近原子级规则的Zigzag边缘结构。他们还利用这种干法刻蚀技术结合电子束光刻技术首次实现了对石墨烯纳米结构的精确加工和剪裁。这种技术的优势在于可以对石墨烯结构进行原子级尺度加工和对于石墨烯质量的保持性。这种可以沿固定晶向，得到固定的边缘结构的加工剪裁石墨烯的技术是传统技术所无法实现的，为未来大规模精确控制、加工具有确定晶向和边缘结构的石墨烯纳米结构奠定了技术基础。　　这项工作得到了中科院“百人计划”、国家自然科学基金和“973”项目的支持。　　 　　图1新鲜解理的石墨(a)表面光滑台阶清晰可见，不同功率。(b)50W和(c)100W氢等离子体刻蚀过的石墨表面，显示出了形状规则的正六边形孔。(d)刻蚀速率随温度的变化关系。(e)刻蚀速率随时间的变化关系，证明刻蚀速率可精确稳定的控制在几纳米/分钟。　　 　　图2 同样的各向异性刻蚀效应在机械剥离的石墨烯中也如此。氢等离子体刻蚀过的单层(a)、两层(b)及多层(c)石墨烯，正六边形孔洞清晰的形成于缺陷处。(d)单层及两层石墨烯刻蚀速率随温度的变化关系。(e)拉曼光谱表征，几乎看不到代表缺陷态的拉曼D峰，证明石墨烯的晶体质量并没有被温和的氢等离子体破坏。　　 　　图3 氢等离子体刻蚀出的单层正六边形孔洞边缘的扫描隧道显微镜成像(a)恒流模式高度像，(b)原子分辨像，(c)二维傅里叶变换图，显示出刻蚀得到的近原子级规则的边缘与zigzag取向2-1-10平行，且在边缘处观察到了驻波。(d)对应的结构示意图。　　 　　图4 利用电子束曝光与各向异性刻蚀方法相结合制备具有特定取向的sub-20nm石墨烯纳米带的流程图(a)。具体过程如图(b)电子束曝光和氧等离子体刻蚀得到的起始宽度为120nm的石墨烯条带，经过氢等离子体各向异性刻蚀之后细化到sub-20nm的石墨烯纳米带如图(c)。(d)石墨烯纳米带场效应晶体管器件的结构示意图，石墨烯为接触电极，(e)不同宽度的石墨烯纳米带的器件，(f)对应的转移特性曲线，证明8nm宽的石墨烯纳米带能在室温下实现2个数量级的开关比。

9月15日，中微半导体设备（上海）有限公司创始人、董事长、总经理尹志尧在公开演讲中探讨如何打造高质量、有竞争力的半导体设备公司时，表示目前半导体公司的设备主要可以分为四大类，光刻机、等离子体刻蚀机、薄膜设备、测试设备。以刻蚀机设备为例，等离子体刻蚀设备市场成长迅速，目前年市场规模超过120亿美元。并且等离子体刻蚀设备已经工厂中投入最大的部分，已经占到工厂设备成本的30%以上。尹志尧提到一定要将更大力度推动和发展半导体微观加工设备产业提到日程上来，半导体设备公司不仅是集成电路制造的供应商和产业链，也是集成电路制造的最核心部分。而大国博弈在经高科技战线上，集中在半导体设备和关键零部件的限制上。当前中微半导体开发的四类设备均达到了国际领先水平，如CCP电容性刻蚀机、ICP电感型刻蚀机、深硅刻蚀机、MOCVCD。其中，中微开发的第三代CCP高能等离子体刻蚀机，已经从过去的20:1发展到如今的60:1极高深宽比细孔。并且中微CCP刻蚀机在台湾领先的晶圆厂和存储厂，已经占据三成市场份额。中微的MOCVD设备在国际氮化镓基MOCVD市场占有率已在2018年第四季度已经达到了70%以上。尹志尧表示，十年来中国有54个公司和研究所曾宣布开发MOCVD设备，但目前只有中微一家成功，并且已经实现稳定的量产。多年来中微的MOCVD设备不断提高蓝绿光LED波长均匀性，目前LED波长片内均匀性已经做到0.71nm。如何将中微半导体做大做强，尹志尧表示中微以“四个十大”为中心，总结17年的经验与教训，继续发展科创企业的管理章法，其中包括：中微产品开发的十大原则；中微战略和商务的十大原则；中微运营管理的十大原则；中微精神文化的十大原则。在开发产品上，尹志尧表示不要老跟着外国人的设计，这样很难做出自己独有的产品，因此中微提出了甚高频去耦合反应离子体刻蚀，让高频、低频都在下电极，当前该技术已经具备一定优势。此外，中微公司还开发了CCP单台机和双台机，ICP单台机和双台机，可以覆盖90%的刻蚀应用，不仅在成本上降低30%，效率上也提升了50%。战略上，中微将通过三维成长（集成电路设备、泛半导体设备、非半导体设备），计划在未来10到15年成为国际一流的微观加工设备公司。公司运营管理上，中微通过运营KPI管理不断提升质量管理水平。截至2021年6月份，中微已经申请了1883个专利，并已获得1115个专利。尹志尧表示，尽管中微在知识产权上已经做得很全面，但也受到多次美国公司对中微发起的专利诉讼，有三次是美国公司对中微提起诉讼，一次是中微对美国公司发起的诉讼。值得注意的是，在专利诉讼中，两次获得了完全胜利，另外两次也在较大优势下达成和解。中微公司在等离子体刻蚀机的技术优势，也让美国在2015年取消了对中国的出口控制，而中微的相关产品出口环境也变得极为宽松。值得注意的是，中微实施了员工期权激励和全员持股的模式，认为这是高科技公司发展的生命线，也是社会主义集体所有制的核心。尹志尧认为，企业价格由投入的股本金带来和劳动创造的价值两部分组成，但公司80%的市值由劳动力创造。不忘初心，就是回到“资本论”，就是要解决剩余价格的合理分配问题。通过期权和股权将员工长期利益和企业绑定，使更多员工参加公司，使员工积极为公司工作，全员持股是中微赖以生存和发展的生命线。尹志尧提到，自己仅占公司1%的股份，但这并不意味着就无法将公司做好。让公司做大做强，要做到强群的总能量最大化和净能量最大化，总能量最大化即使所有阶层和所有部门人们的积极性群都发挥出来，净能量最大化即怎样使各个阶层和各个部门的能量不会在内耗中消失。最后，尹志尧表示，一家公司从初创公司做到成功，公司的文化和作风是主要应随，要建立一直领先的百年老店，初创时期，首先要有过硬的技术产品，到了大公司时期要有足够的运营能力，做到领头公司，则需要看公司的文化作风。

在锂离子电池中，过渡族金属化合物材料反常的超出理论限的额外容量现象引发了人们的广泛关注。为了揭示这一关键科学问题，多位国际能源领域权威专家都对该现象提出了不同的理论解释，如电表面电解质衍生层的形成与分解、含锂物质的氧化反应、空间电荷存储等。然而由于电材料界面处的复杂性超出常规设备的测试能力，其蕴藏的储能机制始终处于争议中。近期，青岛大学物理科学学院李强、李洪森教授与加拿大滑铁卢大学苗国兴教授、美国得克萨斯大学奥斯汀分校余桂华教授等人通力合作，利用自主构建的原位磁性监测技术（如图1所示），结合自旋电子学理论揭示了过渡族金属化合物Fe3O4的额外容量主要来源于过渡族金属Fe纳米颗粒表面的自旋化电容，并证明这种空间电荷储锂电容广泛存在于各种过渡族金属化合物中，费米面处3d电子高电子态密度发挥了关键作用（如图2所示）。该研究结论突破了人们对传统锂离子电池储能方式（Insertion、Alloying、Conversion）的认知，次在实验上直观地证实了空间电荷存储机制，并进一步明确了电子存储位置。该工作已于近期发表在期刊《Nature Materials》[1]。精彩图文展示：图1 原位观测Fe3O4锂离子电池材料在充放电过程中的磁响应，其中上图为磁化强度变化，下图为恒流充放电曲线。磁性测试出乎意料的发现在于，当电压由0.45 V降低到0.01 V时，电磁化强度缓慢降低直至放电结束。这一发现表明还原产物金属Fe颗粒可以继续参与反应，这与经典的锂电池转化反应相矛盾。有趣的是，随后充电到1.4 V时，体系磁化强度再一次增大。 图2. 自旋化电子在Fe0/Li2O界面的表面电容示意图（EF，费米能）。a、铁磁性金属颗粒表面（放电前后）的自旋化态密度示意图。b、自旋化电容模型中额外存储锂形成的空间电荷区。放电过程中还原出的Fe0纳米颗粒分布在Li2O介质中，具有大的表面/块体比率且费米面处具有高的电子态密度。大量的电子可以存储在Fe0纳米颗粒中的自旋劈裂能带中，从而产生自旋化电容。值得注意的是，本文使用的样品杆是研究人员经过多年努力自主设计的，他们将电化学工作站与综合物性测试系统（PPMS）中的振动样品磁强计选件（VSM）进行了有效结合，成功地构建了锂离子电池原位磁性测试系统来观察锂电池充放电过程中的磁响应。文中所使用的PPMS系统具有高灵敏度磁性测试等优势，可作为研究能源材料原子尺度临近范围内的原子探针，是研究杂质相和局部电子分布的全新“利器”，获取其他传统技术所不能测得的信息。图3 PPMS Dynacool系统示意图 基于该测试系统，本文研究者破解了多年争议，次在实验中揭示了电池容量会超过理论限的关键问题，不仅为设计下一代高性能储能器件提供了新方向，也为能源材料的设计制备提供了一种有力的测试分析技术。在这里我们恭喜我们的PPMS用户取得了新的突破，也祝愿他们科研事业更上一层楼！参考文献：[1] Extra storage capacity in transition metal oxide lithium-ion batteries revealed by in situ magnetometry, Nature Materials, 2020, https://doi.org/10.1038/s41563-020-0756-y

便携式水质多参数检测仪和水质多参数分光光度计的区别?便携式水质多参数检测仪和水质多参数分光光度计的区别?它们的共同点：使用范围：一、应用 ● 市政污水 ● 自来水、饮用水● 锅炉水、冷却水 ● 水处理 ● 环境监测 ● 工业过程监测二、测量模式：COD分光光度计 通过光源检测 测量模式 浓度，吸光度Abs，透光率% 便携式COD快速测定仪光源：进口冷光源（可达10万小时以上）两者都是通过光源检测，COD分光光度计 用的是氙灯， 便携式COD快速测定仪的光源是LID灯，两者及相同也不相同，总得大类来说是相同的，主要看客户自己的预算范围和精确度要求来选。因为都是分光光度的所以也都有波长测量范围：1.便携式COD快速测定仪波长测量范围：340-1100nm2.COD分光光度计波长测量范围：340–800 nm 三、显示屏的区别：便携式COD快速测定仪：七寸触摸彩屏COD分光光度计：LCD，带背光四：预存曲线：1.便携式COD快速测定仪：预存720条曲线，可进行7点拟合2.COD分光光度计：260多条五：电源：1.便携式COD快速测定仪：工作电源：AC220V±10 % / 50Hz2.COD分光光度计：使用5号电池为电源六、消解：1.COD分光光度计：需要单独购买消解仪2.便携式COD快速测定仪：内置双温区八孔消解系统七、检测装置： 1. 便携式COD快速测定仪：样品检测：旋转360°检测系统2. COD分光光度计：比色皿检测产品信息：XY-800s水质检测系统采用军用级高强度防水手提安全箱一体化设计，360°旋转检测模块，双温区消解模块，微电脑智能系统，彩色液晶触摸屏，进口光源，进口检测传感器，内置高容量锂电池，仪器性能稳定、测量准确、测定范围广、功能强大、操作简单.仪器特点：*360°旋转检测系统*双温区智能消解，同时消解多项目*进口光源，进口检测器*7英寸触摸彩色屏*内置大容量锂电池*内置热敏打印机*军用级高强度防水一体化设计 技术参数：1. 样品检测：旋转360°检测系统；2. 显示： 7英寸彩色液晶触摸屏3. 曲线校准：具有7点校正曲线功能。4. 光源：进口冷光源（可达10万小时以上）5. 检测准确度：≤±5%6. 波长测量范围：340-1100nm7. 波长准确度：±1nm8. 波长半宽：4nm9. 分辨率：0.00110. 重复性：≤±2%11. 存储：可存储40万组数据，可自由调用查看（可选配大容量储存500万组数据）12. 测量项目：COD 、氨氮、总磷、总氮、浊度、悬浮物、多项指标13. 测量范围：COD（低量程：15-150mg/L、高量程：150-2000mg/L）、氨氮（0.01-150mg/L）、总磷（0.01-2mg/L）、总氮（0.01-100mg/L）、14. 预存曲线：预存720条曲线，可进行7点拟合15. 双温区消解：双温区8孔多功能消解16. 消解温度范围：0-200℃17. 消解模块具有双保险高温过载保护；18. 专用水质消解系统，固化常规消解项目，一键式操作消解，消解完成自动报警提示。19. 打印方式：标配内置热敏打印机20. 数据传输：配备USB接口，选配：4G,WIFI,接口

p　　进一步提高电池的能量密度是动力电池发展的主题和趋势, 而关键材料是其基础. 本文从锂离子动力电池正、负极材料, 隔膜及电解液等几个方面, 对锂离子动力电池关键材料的发展趋势进行评述. 开发高电压、高容量的正极新材料成为动力锂离子电池比能量大幅度提升的主要途径 负极材料将继续朝低成本、高比能量、高安全性的方向发展, 硅基负极材料将全面替代其他负极材料成为行业共识. 此外, 本文还对锂离子动力电池正极、负极材料等的选择及匹配技术、动力电池安全性、电池制造工艺等的关键技术进行了简要分析, 并提出了锂离子动力电池研究中应予以关注的基础科学问题./ppstrong　　1 引言/strong/pp　　发展新能源汽车被广泛认为是有效应对能源与环境挑战的重要战略举措. 此外, 对我国而言, 发展新能源汽车是我国从“汽车大国”迈向“汽车强国”的必由之路 [1] . 近年来, 新能源汽车产销量呈现井喷式增长, 全球保有量已超过130万辆, 已进入到规模产业化的阶段. 我国也在2015年超过美国成为全球最大的新能源汽车产销国. 以动力电池作为部分或全部动力的电动汽车, 因具有高效节能和非现场排放的显著优势,是当前新能源汽车发展的主攻方向. 为了满足电动汽车跑得更远、跑得更快、更加安全便捷的需求, 进一步提高比能量和比功率、延长使用寿命和缩短充电时间、提升安全性和可靠性以及降低成本是动力电池技术发展的主题和趋势./pp　　近日,由中国汽车工程学会公布的《节能与新能源汽车技术路线图》为我国的动力电池技术绘制了发展蓝图. 该路线图提出,到2020年,纯电动汽车动力电池单体比能量达到350Wh/kg,2025年达到400Wh/kg,2030年则要达到500W h/kg 近中期在优化现有体系锂离子动力电池技术满足新能源汽车规模化发展需求的同时, 以开发新型锂离子动力电池为重点, 提升其安全性、一致性和寿命等关键技术, 同步开展新体系动力电池的前瞻性研发 中远期在持续优化提升新型锂离子动力电池的同时, 重点研发新体系动力电池, 显著提升能量密度、大幅降低成本、实现新体系动力电池实用化和规模化应用./pp　　由此可见, 在未来相当长的时间内, 锂离子电池仍将是动力电池的主流产品. 锂离子电池具有比能量高、循环寿命长、环境友好、可以兼具良好的能量密度和功率密度等优点, 是目前综合性能最好的动力电池, 已被广泛应用于各类电动汽车中 [2~7] ./pp　　本文简要介绍了锂离子动力电池的产业技术发展概况, 并从锂离子动力电池正、负极材料, 隔膜及电解液等几个方面, 对锂离子动力电池关键材料的发展趋势进行评述. 本文还对锂离子动力电池正、负极材料的选择及匹配技术、动力电池安全性、电池制造工艺等关键技术进行了简要分析, 并提出了锂离子动力电池研究中应予以关注的基础科学问题./ppstrong　　2 锂离子动力电池产业技术发展概况/strong/pp　　从产业发展情况来看, 目前世界知名的电动汽车动力电池制造商包括日本松下、车辆能源供应公司(AESC)、韩国LG化学和三星SDI等都在积极推进高比能量动力锂离子电池的研发工作. 综合来看, 日本锂电池产业的技术路线是从锰酸锂(LMO)到镍钴锰酸锂三元(NCM)材料. 例如, 松下的动力电池技术路线早期采取锰酸锂, 目前则发展镍钴锰酸锂三元、镍钴铝酸锂(NCA)作为正极材料, 其动力电池主要搭载在特斯拉等车型上. 韩国企业以锰酸锂材料为基础, 如LG化学早期采用锰酸锂作为正极材料, 应用于雪佛兰Volt车型, 近年来三星SDI和LG化学已经全面转向镍钴锰酸锂三元材料(表1) [8] ./pp　　img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/2d0662ae-8c3d-4524-aa6c-4ba35fb5d971.jpg" title="1.jpg"//pp　　目前国内主流动力锂电池厂商, 如比亚迪等仍以磷酸铁锂为主, 磷酸铁锂电池在得到了大规模普及应用的同时, 其能量密度从2007年的90W h/kg提高到目前的140W h/kg. 然而, 由于磷酸铁锂电池能量密度提升空间有限, 随着对动力电池能量密度要求的大幅提升, 国内动力电池厂商技术路线向镍钴锰三元、镍钴铝或其混合材料的转换趋势明显(表2)./pp　　img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/fd4ccbd7-67aa-49c0-bf98-30020d1d0ed3.jpg" title="2.jpg"//ppstrong　　3 锂离子动力电池关键材料的发展趋势/strong/pp　　锂离子电池采用高电位可逆存储和释放锂离子的含锂化合物作正极, 低电位可逆嵌入和脱出锂离子的材料作负极, 可传导锂离子的电子绝缘层作为隔膜,锂盐溶于有机溶剂作为电解液, 如图1所示. 正极材料、负极材料、隔膜和电解液构成锂离子电池的4种关键材料./pp　　3.1 正极材料/pp　　锰酸锂(LMO)的优势是原料成本低、合成工艺简单、热稳定性好、倍率性能和低温性能优越, 但由于存在Jahn-Teller效应及钝化层的形成、Mn的溶解和电解液在高电位下分解等问题, 其高温循环与储存性能差. 通过优化导电剂含量、纯化电解液、控制材料比表面 [11] 以及表面修饰 [12] 改善LMO材料的高温及储存性能是目前研究中较为常见且有效的改性方法./pp　　磷酸铁锂(LFP)正极材料有着良好的热稳定性和循环性能, 这得益于结构中的磷酸基聚阴离子对整个材料的框架具有稳定的作用. 同时磷酸铁锂原料成本低、对环境相对友好, 因而使得LFP成为目前电动汽车动力电池中的主流材料 [12~16] . 但由于锂离子在橄榄石结构中的迁移是通过一维通道进行的, LFP材料存在着导电性较差、锂离子扩散系数低等缺点./pp　　从材料制备角度来说, LFP的合成反应涉及复杂的多相反应,因此很难保证反应的一致性, 这是由其化学反应热力学上的根本性原因所决定的 [16] . 磷酸铁锂的改进主要集中在表面包覆、离子掺杂和材料纳米化三个方面.合成工艺的优化和生产过程自动化是提高LFP批次稳定性的基本解决方法. 不过, 由于磷酸铁锂材料电压平台较低(约3.4V), 使得磷酸铁锂电池的能量密度偏低,这一缺点限制了其在长续航小型乘用车领域的应用./pp　　img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/4796d208-e8dd-4b71-a5fc-296ecba8d6c1.jpg" title="3.jpg"//pp　　镍钴锰三元(NCM)或多元材料优势在于成本适中、比容量较高, 材料中镍钴锰比例可在一定范围内调整, 并具有不同性能. 目前国外量产应用的动力锂电正极材料也主要集中在镍钴锰酸锂三元或多元材料, 但仍然存在一些亟需解决的问题, 包括电子导电率低、大倍率稳定性差、高电压循环定性差、阳离子混排(尤其是富镍三元)、高低温性能差、安全性能差等 [17] . 另外, 由于三元正极材料安全性能较差, 采用合适的安全机制如陶瓷隔膜材料也已成为行业共识 [18] ./pp　　考虑到安全性等问题, 通过改进工艺(如减少电极壳的重量等)来提高电池能量密度的空间有限. 为了进一步提高动力锂离子电池的能量密度, 开发高电压、高容量的正极新材料成为动力锂离子电池比能量大幅度提升的主要途径(图2) [19,20]/pp　　3.1.1 高电压正极材料/pp　　开发可以输出更高电压的正极材料是提高材料能量密度的重要途径之一. 此外, 高电压的另一显著优势是在电池组装成组时, 只需要使用比较少的单体电池串联就能达到额定的输出电压, 可以简化电池组的控制单元. 目前主流的高电压正极材料是尖晶石过渡金属掺杂的LiM x Mn 2?x O 4 (M=Co、Cr、Ni、Fe、Cu/pp style="text-align: center "　　img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/3b01137b-1330-47a0-a313-51c9d4f2f033.jpg" title="4.jpg"//pp style="text-align: center "　　图 2 比较各种类型的高电压、高容量正极材料的体积能量密度、功率、循环性、成本和热稳定性的雷达图 [20] (网络版彩图)等)/pp　　最典型的材料是LiNi 0.5 Mn 1.5 O 4 , 虽然其比容量仅有146mAh/g, 但由于工作电压可达到4.7V, 能量密度可达到686W h/kg [20,21] . 本课题组 [22] 以板栗壳状的MnO 2为锰源, 通过浸渍方法合成了由纳米级的多面体聚集而成微米球状的尖晶石镍锰酸锂(LNMO)材料. 该结构对电解液的浸入和锂离子的嵌入和脱出十分有利,且可以适应材料在充放电过程中的体积变化, 减小材料颗粒之间的张力. 该研究还发现, 含有微量Mn 3+的LNMO电化学性能更优, 充放电循环80圈后放电比容量还能保持在107mAh/g, 容量保持率接近100%.LiNi 0.5 Mn 1.5 O 4 的比容量衰减制约了它的商业化进程,其原因多与活性材料以及集流体与电解液之间的相互作用相关, 由于电解液在高电位下的不稳定性, 如传统碳酸酯类电解液会在4.5V电压以上氧化分解, 使得锂离子电池在高电压充放电下发生气胀, 循环性能变差./pp　　因此, 高电压正极材料需要解决电解液匹配问题.解决上述问题的方法包括以下3个方面. (1) 材料表面包覆 [23~25] 和掺杂 [26~28] . 例如, Kim等 [28] 近期通过表面4价Ti取代得到LiNi 0.5 Mn 1.2 Ti 0.3 O 4 材料, 透射电子显微镜显示材料表面形成了坚固的钝化层, 因此减少了界面副反应, 30℃下全电池实验结果表明在4.85V截止电压, 200个循环后, 容量保持率提高了约75%. 然而, 单独的表面涂层/掺杂似乎不能提供长期的循环稳定性(如≥500个循环), 在应用中必须考虑与其他策略相结合. (2) 使用电解液添加剂或其他新型电解质组合 [29~31] ./pp style="text-align: center "　　img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/e33aa180-4c60-4e9a-af6d-315f29391fd1.jpg" title="5.jpg"//pp style="text-align: center "　　图 3 具有良好电化学稳定性的用于高电压LiNi 0.5 Mn 1.5 O 4 材料的LiFSA/DMC电解液体系. /ppspan style="font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "(a) LiFSA/DMC混合电解液中的组分结构示意图 (b) 两种不同配比情况下, 溶剂分子典型平衡轨迹的DFT-MD模拟 (c) 铝电极在LiFSA/DMC混合电解液中的高电压稳定性 (d) 全电池在40° C, C/5倍率下的循环性能 [31] (网络版彩图)/span/pp　　如图3所示, Yamada课题组 [31] 利用简单的LiFSA/DMC(1:1.1, 摩尔比)电解液体系实现了LiNi 0.5 Mn 1.5 O 4 /石墨全电池在40℃温度下循环100次后容量保持90%, 尽管高度浓缩的系统的离子电导率降低了一个数量级(30℃时为约1.1 mS/cm), 但依然保持了与使用商业碳酸酯电解液体系相当的倍率性能. (3) 使用具有离子选择透过性的隔膜 [32~35] . 已经证明使用电化学活性的Li 4+x Ti 5 O 12 膜 [32] 以及锂化Nafion膜与商业PP膜的复合隔膜 [33] 能够极大地改善LiNi 0.5 Mn 1.5 O 4 的循环寿命./pp　　此外, 一些由LiNi 0.5 Mn 1.5 O 4 衍生的新型尖晶石结构高电压材料如LiTiMnO 4 [36] 、LiCoMnO 4 [37,38] 等, 以及橄榄石结构磷酸盐/氟磷酸盐也被广泛研究, 如LiCoPO 4 [39] 、LiNiPO 4 [40] 、LiVPO 4 F [41] 等 [42] ./pp　　3.1.2 高容量正极材料/pp　　由于锂离子电池负极材料的比容量远高于正极材料, 因此正极材料对全电池的能量密度影响更大.通过简单的计算可知, 在现有的水平上, 如果将正极材料的比容量翻倍, 就能够使全电池的能量密度提高57%. 而负极材料的比容量即使增加到现有的10倍, 全电池的能量密度也只能提高47% [43] ./pp　　镍钴锰三元材料中, Ni为主要活性元素, 一般来说,活性金属成分含量越高, 材料容量就越大.低镍多元材料如NCM111、NCM523等能量密度较低, 该类材料体系所能达到的动力电池能量密度为120~180Wh/kg, 无法满足更高的能量密度要求. 高容量正极材料的一个发展方向就是发展高镍三元或多元体系./pp　　高镍多元体系中, 镍含量在80%以上的多元材料(NCA或NCM811)能量密度优势明显, 用这些材料制作的电池匹配适宜的高容量负极和电解液后能量密度可达到300Wh/kg以上 [44] . 但是高镍多元材料较差的循环稳定性、热稳定性和储存性能极大地限制了其应用. 一般认为当镍的含量过高时, 会引起Ni 2+ 占据Li + 位置, 造成阳离子混排, 阻碍了Li + 的嵌入与脱出, 从而导致容量降低 [20,45,46] .另外, 材料表面与空气和电解液易发生副反应、高温条件下材料的结构稳定性差和表面催化活性较大也被认为是导致容量衰减的重要原因 [20,45,47] ./pp　　解决上述问题的方法有如下3种./pp　　(1) 对材料进行有效的表面包覆或体相掺杂 [48~50] . 例如, 最近Chae等 [50] 利用湿化学法在NCM811表面包覆了一层N,N-二甲基吡咯磺酸盐,有效地阻隔了材料与电解液界面, 抑制了电解液在高镍三元材料表面的催化分解, 1C倍率下前50圈的平均库仑效率达99.8%, 容量保持率高达97.1%./pp　　(2) 开发具有浓度梯度的高镍三元体系 [51~55] . Sun课题组 [53~55] 采用共沉淀方法制备了具有双斜率浓度梯度三元材料,如图4所示, 这种材料的内部具有更高含量的镍, 有利于高容量的获得和保持, 外层有更高含量的锰, 有利于循环稳定性和热稳定性的提升. 通过Al掺杂, 具有浓度梯度的LiNi 0.61 Co 0.12 Mn 0.27 O 2 在经过3000次循环后,其容量保持率从65%大幅度提高到84%./pp　　(3) 开发与高容量正极材料相适应的电解液添加剂或新型电解液体系 [56~58] ./pp　　目前高镍多元材料量产技术主要掌握在日韩少数企业手中, 如日本的住友、户田, 韩国的三星SDI、LG、GS等. 根据不同的应用领域, 材料的镍含量在78~90 mol%, 克容量集中在190~210mA h/g. 各公司正尝试将其应用于电动汽车领域, 其中尤以特斯拉采用的镍钴铝(NCA)受到广泛瞩目. 需要指出的是, NCA和NCM811两种材料在容量、生产工艺等方面具有很多相似性, 松下18650电池正极采用NCA正极, 电池能量密度约为250Wh/kg, 但NCA材料因存在铝元素分布不均、粒度难以长大等问题, 主要应用于圆柱电池领域, 圆柱型电池在在电池管理系统方面需要的技术与成本较高./pp　　除 此 之 外 , 基 于 Li 2 MnO 3 的 高 比 容 量 (200~300mAh/g) 富 锂 正 极 材 料 zLi 2 MnO 3 · (1?z)LiMO 2(0/pp　　3.2 负极材料/pp　　锂离子电池负极材料分为碳材料和非碳材料两大类. 其中碳材料又分为石墨和无定形碳, 如天然石墨、人造石墨、中间相碳微球、软炭(如焦炭)和一些硬炭等 其他非碳负极材料有氮化物、硅基材料、锡基材料、钛基材料、合金材料等 [61] ./pp style="text-align: center "　　img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/6e6b8975-e32c-4aee-9021-c6d0edef3ad9.jpg" title="6.jpg"//pp style="text-align: center "　　图 4 Al掺杂的具有双斜率浓度梯度三元材料LiNi 0.61 Co 0.12 Mn 0.27 O 2 [54,55] ./pp span style="font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "(a) TEM EDS元素分析成像 (b) TEM 线性元素扫描分析 (c) Al掺杂和无掺杂的三元材料循环性能对比 (网络版彩图)/span/pp　　负极材料将继续朝低成本、高比能量、高安全性的方向发展, 石墨类材料(包括人造石墨、天然石墨及中间相碳微球)仍然是当前锂离子动力电池的主流选择 近到中期, 硅基等新型大容量负极材料将逐步成熟, 以钛酸锂为代表的高功率密度、高安全性负极材料在混合动力电动车等领域的应用也将更加广泛. 中远期, 硅基负极材料将全面替代其他负极材料已成为行业共识./pp　　硅基负极材料被认为是可大幅度提升锂电池能量密度的最佳选择之一, 其理论比容量可以达到4000mAh/g以上 [62,63] , 与高容量正极材料匹配后, 单体电池理论比能量可以达到843Wh/kg, 但硅负极材料在充放电过程中存在巨大的体积膨胀收缩效应, 会导致电极粉化降低首次库仑效率并引起容量衰减 [64~67] ./pp　　研究者尝试了多种方法解决该问题./pp　　(1) 制备纳米结构的材料, 纳米材料在体积变化上相对较小, 且具有更小的离子扩散路径和较高的嵌/脱锂性能, 包括纳米硅颗粒 [68~70] 、纳米线/管 [71~74] 、纳米薄膜/片 [75~77] 等./pp　　(2) 在硅材料中引入其他金属或非金属形成复合材料, 引入的组分可以缓冲硅的体积变化, 常见的复合材料包括硅碳复合材料 [78~82] 、硅-金属复合材料等 [83~85] . Cui课题组 [81] 通过先后在硅纳米颗粒表面包覆二氧化硅和碳层, 再将二氧化硅层刻蚀之后得到蛋黄蛋壳结构的硅碳复合材料, 如图5所示, 并利用原位透射电镜研究了碳壳与硅核之间的空隙对材料稳定性及电化学性能的影响. 由于蛋黄蛋壳的结构在硅和碳层之间预留了充足的空间, 使硅在嵌锂膨胀的时候不破坏外层的碳层, 从而稳定材料的结构并得到稳定的SEI膜. 在此基础上, 通过对碳包覆之后的纳米颗粒进行二次造粒,在大颗粒的表面再包覆碳膜, 最后刻蚀制备出类石榴的结构 [82] , 复合材料尺寸的增大减小了材料的比表面积, 提高了材料的稳定性, 材料的1000周循环容量保持率由74%提高到97%, 如图5所示./pp　　(3) 选用具有不同柔性、界面性质的黏结剂, 提高黏结作用 [86~88] 最近,Choi等 [88] 通过形成酯键使传统黏结剂聚丙烯酸PAA与多聚轮烷环组分PR交联结合得到具有特殊结构的双组分PR-PAA黏结剂, 如图6所示, 很大程度上提高了硅负极在充放电过程中的稳定性./pp　　(4) 采用体积变化相对缓和的非晶态硅材料, 如多孔硅材料等 [89,90] ./pp style="text-align: center "　　img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/c68c0215-a21a-4fa0-9f73-1a0fca0d02f5.jpg" title="7.jpg"//pp style="text-align: center "　　图 5 具有蛋黄蛋壳的结构的硅碳复合锂离子电池负极材料 [81,82] ./ppspan style="font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai " (a) 蛋黄蛋壳的结构合成示意图及TEM图 (b) 类石榴的结构合成示意图 (c) 硅纳米粒子、 蛋黄蛋壳结构硅碳复合材料、类石榴结构硅碳复合材料的循环性能对比 (网络版彩图)/span/pp　　应用方面, 日立Maxell宣布已成功将硅基负极材料应用于高能量密度的小型电池 日本GS汤浅公司则已推出硅基负极材料锂电池, 并成功应用在三菱汽车上 特斯拉则宣称通过在人造石墨中加入10%的硅基材料, 已在其最新车型Model 3上采用硅碳复合材料作为动力电池负极材料./pp　　3.3 电解液/pp　　高安全性、高环境适应性是锂离子动力电池对电解液的基本要求. 随着电极材料的不断改善和更新, 对与之匹配的电解液的要求也越来越高. 由于开发新型电解液体系难度极大, 碳酸酯类有机溶剂配伍六氟磷酸锂盐的常规电解液体系在未来相当长一段时间内依然是动力电池的主流选择./pp　　在此情形下, 针对不同用途的动力电池和不同特性的电极材料, 优化溶剂配比、开发功能电解液添加剂就显得尤为重要.例如, 通过调整溶剂配比含量和添加特殊锂盐可以改善动力电池的高低温性能 加入防过充添加剂、阻燃添加剂可以使电池在过充电、短路、高温、针刺和热冲击等滥用条件下的安全性能得以大大提高 通过提纯溶剂、加入正极成膜添加剂可以在一定程度上满足高电压材料的充放电需求 通过加入SEI膜成膜添加剂调控SEI膜的组成与结构, 可以实现延长电池寿命 [91] . 近年来, 随着Kim等 [92] 第一次成功地将丁二腈(SN)作为电解液添加剂来提高石墨/LiCoO 2 电池的热稳定性, 以丁二腈(SN)和己二腈(ADN) [93] 等为代表的二腈类添加剂因其与正极表面金属原子极强的络合力并能很好地抑制电解液氧化分解和过渡金属溶出的优点, 已经成为学术界和工业界普遍认可的一类高电压添加剂. 而以1,3-丙烷磺酸内酯(PS [94] 和1,3-丙烯磺酸内酯(PES) [95] 等为代表的另一类高电压添加剂,即正极成膜添加剂, 则是通过在正极表面优先发生氧化反应并在正极表面形成一层致密的钝化膜, 从而达到阻止电解液和正极活性物质接触、抑制电解液在高电压下氧化分解的效果./pp　　目前, 高低温功能电解液的开发相对成熟, 动力电池的环境适应性问题基本解决, 进一步提高电池的能量密度和安全性是电解液研发的首要问题. 中远期, 锂离子动力电池电解液材料的发展趋势将主要集中在新型溶剂与新型锂盐、离子液体、添加剂等方面, 凝胶电解质与固态电解质也是未来发展的方向. 而以固态电解质为关键特征之一的全固态电池在安全性、寿命、能量密度及系统集成技术等都具有潜在的优异特性, 也是未来动力电池和储能电池领域发展的重要方向 [96] ./pp style="text-align: center "　　img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/58812389-5862-4e1d-a7b7-b4dc7b4fc4d9.jpg" title="8.jpg"//pp style="text-align: center "　　图 6 SiMP负极PR-PAA黏结剂的应力释放机理 [88] . /ppspan style="font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "(a) 减小提起物体用力的滑轮机理 (b) PR-PAA黏结剂用于缓解因硅颗粒充放电过程中体积变化而产生应力的示意图 (c) 充放电过程中PAA-SiMP电极破碎和生成SEI膜的示意图 (网络版彩图)/span/pp　　3.4 隔膜/pp　　目前, 商品化锂离子动力电池中使用的隔膜材料主要是微孔的聚烯烃类薄膜, 如聚乙烯(polyethylene,PE)、聚丙烯(polypropylene, PP)的单层或多层复合膜.聚烯烃类隔膜材料由于其制造工艺成熟、化学稳定性高、可加工性强等优点在一段时间内仍然是商品化隔膜材料的主流, 尤其是PE的热闭孔温度对抑制电池中某些副反应的发生及阻止热失控具有重要意义.发展基于聚烯烃(尤其是聚乙烯)隔膜的高性能改性隔膜材料(如无机陶瓷改性隔膜、聚合物改性隔膜等),进一步提高隔膜的安全特性和电化学特性仍将是隔膜材料研发的重点 [18] ./pp　　最近, 本课题组 [97] 通过使用耐高温的聚酰亚胺做黏结剂将纳米Al 2 O 3 涂覆在商业PE隔膜单层表面将隔膜的热稳定性提高到了160℃. 本课题组 [98] 还在前期开发的SiO 2 陶瓷隔膜的基础上, 在其表面和孔径间原位聚合包覆上一层耐高温的聚多巴胺保护层, 如图7所示, 使隔膜在230℃高温下处理30min, 不但不收缩并且保持良好的机械性能, 可以有效保障电池安全. l’Abee课题组 [99] 以耐热性的聚醚酰亚胺树脂为基材, 将其用NMP加热溶解后重新浇铸成膜, 得到的聚醚酰亚胺隔膜, 其热稳定性可达到220℃.随着锂离子电池在电动汽车等领域的应用, 建立隔膜构造、隔膜孔径尺度与分布的有效调控方法, 以及引入电化学活性基团等使聚烯烃隔膜多功能化, 将是隔膜发展的重要方向. 针对耐热聚合物隔膜等的研发及产业化工作也将得到大力推进./pp　　综上所述，锂离子动力电池关键材料的发展趋势将如图8所示, 正极材料向高电压、高容量的趋势发展 负极则以发展硅碳复合材料为主, 通过发展新型黏结剂和SEI膜调控技术使得硅碳复合负极材料真正走向实际应用 电解液近期内将以发展高电压电解液和高环境适应性电解液材料为主, 中远期则将以固态电解质材料为发展目标 多种材料复合且结构可控的隔膜材料将是锂离子动力电池隔膜的重点发展方向./ppstrong　　4 锂离子动力电池的关键技术和基础科学问题/strong/pp　　4.1 锂离子动力电池的关键技术/pp　　锂离子动力电池是一个复杂的系统, 单一部件、材料或组分的优化未必对电池整体性能的改善有突出效果 [100] . 发展面向电动汽车的高比能量、低成本、长寿命、安全性高的动力电池, 需对锂离子动力电池体系的关键技术予以重点关注, 解决在最终应用过程中影响性能的制约因素./pp　　4.1.1 正极、负极材料等的选择及匹配技术/pp　　锂离子动力电池的寿命、安全性和成本等基本性能很大程度上取决于其电极材料体系的选择和匹配. 因此如何选择高比能量、长寿命、高安全、低成本的材料体系是当前锂离子动力电池的重要技术./pp　　4.1.2 动力电池安全性/pp　　安全性是决定动力电池能否装车应用的先决条件/pp style="text-align: center "　　img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/a49c15af-1975-4d11-bfe5-e1f5440c1331.jpg" title="9.jpg"//pp style="text-align: center "　　.图 7 包覆上耐高温聚多巴胺保护层的SiO 2 陶瓷隔膜 [98] . /ppspan style="font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "(a) 隔膜结构及合成示意图 (b) 隔膜形貌表征 (c) 隔膜热收缩性能对比(网络版彩图)/span/pp style="text-align: center "　　img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/35ce98d1-12c4-439a-b44f-0aa5561115de.jpg" title="10.jpg"//pp style="text-align: center "　　图 8 锂离子动力电池关键材料技术现状及发展趋势总结(网络版彩图)/pp　　随着锂离子电池能量密度的逐步提升, 电池安全性问题无疑将更加突出. 导致锂离子电池安全性事故发生的根本原因是热失控, 放热副反应释放大量的热及有机小分子气体, 引起电池内部温度和压力的急剧上升 而温度的急剧上升反过来又会呈指数性加速副反应,产生更大量的热, 使电池进入无法控制的热失控状态,导致电池终发生爆炸或燃烧 [101,102] . 高比能的NCM和NCA三元正极、锰基固熔体正极均较LFP材料的热稳定性差, 使人们在发展高能量密度动力电池的同时不得不更加关注安全问题 [103] . 解决电池安全性问题至少需要从两方面着手: (1) 防止短路和过充, 以降低电池热失控的引发几率 (2) 发展高灵敏性的热控制技术,阻止电池热失控的发生 [104] ./pp　　4.1.3 电池制造工艺/pp　　随着动力电池应用的不断加深, 单体电池向着大型化、易于成组的方向发展. 在这一过程中, 单体电池的制造技术尤为重要. 提高产品一致性, 从而使电池成组后的安全性、寿命更高, 使其制造成本更低将是未来锂离子电池制造工艺的发展方向. (1) 开发生产设备高效自动化技术, 研发高速连续合浆、涂布、辊切制片、卷绕/叠片等技术, 可以降低生产成本 (2)开展自动测量及闭环控制技术研发, 提高电池生产过程测量技术水平, 实现全过程实时动态质量检测, 实现工序内以及全线质量闭环控制, 保证产品一致性、可靠性 (3) 建立自动化物流技术开发, 实现工序间物料自动转运, 减少人工干预 (4) 开展智能化生产控制技术研发, 综合运用信息控制、通讯、多媒体等技术,开发有效的生产过程自动化控制及制造执行系统, 最大程度地提高生产效率, 降低人工成本./pp　　4.2 锂离子动力电池的基础科学问题/pp　　4.2.1 研究电极反应过程、反应动力学、界面调控等基础科学问题/pp　　目前, 元素掺杂、包覆等方法被广泛应用于材料改性, 但究其原因往往“知其然不知其所以然”, 如LFP可以通过异价锂位掺杂显著提高电子导电性, 但其究竟是晶格掺杂还是通过表面渗透还存在争议. 另外,一般认为LFP较低的电子导电性和离子扩散特性是导致倍率特性不佳的主要原因, 但研究表明, 锂离子在电极/电解液界面的传输也是影响LFP倍率特性的重要因素. 通过改善界面的离子传输特性, 可以获得更好的倍率特性. 因此深入研究电极上的表面电化学反应的机理, 尤其是关于SEI膜的形成、性质以及电极与电解液的相互作用等, 可以明确材料的结构演化机制和性能改善策略, 为材料及电池性能的改善提供理论指导 [6] ./pp　　4.2.2 发展电极表界面的原位表征方法/pp　　锂离子电池电极材料的性能主要取决于其组成及结构. 通过原位表征技术系统研究材料的组成-结构-性能间构效关系对深入了解电极材料的反应机理,优化材料组成与结构以提高其性能及指导高性能新材料开发与应用均有十分重要意义 [105,106] . 例如, 原位Raman光谱可以通过晶格(如金属-氧配位结构)振动实时检测材料的结构变化, 为找寻材料结构劣化原因提供帮助 [107~109] . 同步辐射技术不仅可通过研究电极材料中原子周围化学环境, 获取电极材料中组成元素的氧化态、局域结构、近邻配位原子等信息, 还可原位获得电池充放电过程电极材料的结构演化、过渡金属离子氧化态以及局域结构变化等信息, 精确揭示电池反应机理 [110,111] 固体核磁共振谱(NMR)则可提供固态材料的局域结构信息, 得到离子扩散相关的动力学信息 [112,113] ./ppstrong　　5 结论/strong/pp　　锂离子动力电池是目前最具实用价值的动力电池, 近几年在产业化方面发展迅速, 有力地支撑了电动汽车产业的发展. 然而, 锂离子动力电池仍然存在许多有待解决的应用问题, 特别是续航能力、安全性、环境适应性和成本, 需要在动力电池基础材料、电池制造和系统技术全产业链上同时进行研究. 可以预期相关技术将在近年内取得长足进步并实现规模应用.随着电动汽车的快速发展, 锂离子动力电池将迎来爆发增长的黄金期./pp style="text-align: right "　　strongspan style="font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "　　作者：刘波(厦门大学) 张鹏 赵金保/span/strong/pp　　/ppbr//p

贝克曼库尔特生命科学事业部发布新型通用高速转头-极大提高高速离心的通量和灵活性 支持多种通用离心管，用于高效离心 美国印第安纳波利斯市- 2014 年 3 月 11 日- 专为通用的锥形管而设计的JA-14.50转头正式发布，该转头可以用于Avanti J-26S、J-30I及J-E等高速离心机，大大拓展了本公司 Avanti 系列离心机产品的应用领域和使用灵活性。在具备高容量及通量的同时，该转头保持了Avanti 系列产品的精确性能，且该转头是目前市面上唯一一个可以装载实验室常用的50、15、5 和 1.5 mL锥底管及50、15 和 10 mL 圆底管，并且都能达到最高转速和离心力的高性能转头。JA-14.50 转头最高转速为 14,000 rpm，相对离心力为 35,000 xg，锥形管容量为 16 x 50 mL。JA-14.50 转子使实验室常用的50 mL锥形管在定角转头高速离心中的处理量最大化。定角转头可广泛应用于细胞、菌液的沉淀；蛋白质的分离；病毒及亚细胞组分的分离；浓缩柱的离心；相位分离和结合研究等。 Avanti 系列离心机可选用 总容量在360 mL 至 6 L的BioCertified*生物安全定角转头和水平转头，转头均经过单独认证，能够有效避免液体及气溶胶的外溢。在将装有生物危害样品的转头从离心机中拿出放至生物安全柜的过程中，过生物安全认证的双锁盖转头可以有效保证生物安全性。此外，客户也可以选择普通标准的单锁盖转头。 Avanti系列转头，包括新的 JA-14.50 转头，均带有一个可以通过磁性传感器追踪的特定ID标识，。离心系统通过采用这种自动转子识别标识方式和专利的转子动态惯性检测技术，可以确保各转头转速均不会超过所允许的最大转速。 贝克曼库尔特生命科学事业部（印第安纳波利斯市）营销经理 Randall Lockner 称道：“我们为推介 JA-14.50 转子感到自豪——其改善了工作流，节省了科学家的时间，且其在使用多种锥形管的诸多应用中均可使用。”“用户可以信赖闻名遐迩的贝克曼库尔特离心系统的质量、性能和效率。” 除了与当前型号相兼容之外，JA-14.50 也可用于Avanti J-20 和 J-25 离心机。 * BioCerti?ed 系指一个用于描述我们所提供的产品已通过独立第三方机构的检验和验证，能够有效防止微生物气溶胶外溢的术语。使用或维护不当均有可能影响密封性。Beckman Coulter 以及独具风格的标识均属于贝克曼库尔特公司的商标，且其均经过美国专利局（USPTO）注册。 欲了解更多关于贝克曼库尔特离心机或获取产品报价，敬请访问：http://www.beckmancoultercentrifugation.com/cn/。 贝克曼库尔特生命科学事业部JA-14.50 转子支持多种通用离心管，用于高效离心 关于贝克曼库尔特生命科学事业部 贝克曼库尔特生命科学事业部一直致力于改善全世界人类的健康。处于全球领先地位的贝克曼库尔特公司，为广大科研、商业实验室的生命科学研究工作者们提供先进的仪器系统、试剂和世界级的技术服务与支持，不断促进生物学科研的新技术发展。作为离心机和流式细胞仪的行业领导者，贝克曼库尔特公司长期以来一直是毛细管电泳、颗粒表征和实验室自动化的创新者，其产品主要用于最前沿的重要研究领域，包括基因组学、蛋白质组学等。欲了解更多信息，敬请访问贝克曼库尔特全球网站www.BeckmanCoulter.com和中文官方网站www.beckmancoulter.com.cn。