高承载电动角位移台

天眼查显示，上海积塔半导体有限公司“晶圆承载设备及半导体机台”专利公布，申请公布日为2024年7月23日，申请公布号为CN118380367A。背景技术目前，半导体机台面临许多快恢复二极管(Fast recovery diode，简称FRD)工艺，且产品越来越薄，致使产品制程中形成的薄片只要进入半导体机台的预抽真空(XC)平台就会由于受到向下的真空压差而产生位移。因此，如何避免薄片在预抽真空平台中产生位移是当前亟需解决的问题。发明内容本申请涉及一种晶圆承载设备及半导体机台。该晶圆承载设备包括：承载平台，用于承载目标晶圆；预抽真空室，固定设置于承载平台上方；预抽真空室预抽真空后形成真空压差，对目标晶圆施加位移驱动力；承载平台表面具有预设晶圆放置区域，用于放置目标晶圆；预设晶圆放置区域上设有间隔排列的多个防滑结构，多个防滑结构与目标晶圆之间形成的摩擦力大于或等于位移驱动力。该晶圆承载设备可以抵消真空压差，不必对预设晶圆放置区进行整体打磨，即可限制目标晶圆相对承载平台发生滑动，避免因目标晶圆位移影响线宽量测结果，提升了线宽量测的准确性和可靠性，又可以节约时间和成本；同时，由于防滑结构的存在，还可以减少对目标晶圆的污染。

网络性能测试工具关于5G承载网测试背景5G时代已经来临，而业界众所周知的一句话“5G商用，承载先行”，由此可见5G承载网的重要性。承载网是基础资源，必须先于无线网部署到位，而5G典型的应用场景为：增强移动宽带：eMBB超低时延高可靠通信：uRLLC海量连接：mMTC5G应用要求承载网能够提供低时延、高带宽、高可靠性的网络，为了满足5G应用的要求，FlexE/50G PAM4/EVPN/SR/SR-TE/SR-BE/SRv6/PCEP等新技术孕育而生。解决方案针对5G承载网能提供的低时延、高带宽、高可靠性的网络，信而泰提供完整的测试解决方案： 高带宽低时延: DarYu系列X1-100G（支持100G/50G/40G/25G/10G多速率）、X1-400G（支持400G/200G/100G/50G多速率）系列测试模块是信而泰推出的面向高端路由器、高端交换机、数据中心交换机以及高性能应用层设备的测试产品，具有高性能、高密度、高速率、多速率等特点，帮助运营商、网络设备制造商及企业用户轻松应对测试业务的快速增长和未来业务发展。 高可靠：Xcompass-S系列网络损伤仪是信而泰推出的基于现场可编程门阵列（FPGA）的平台，可提供最真实且可重复的网络损伤仿真测试。具有带宽限制、延时/抖动、丢包、乱序、重复报文、物理链路损伤等典型损伤仿真功。方案优势国产高性能网络测试仪 支持大规模2-3层流量及路由交换协议仿真 单端口最多支持64K流量的独立发送统计和128K流量统计 单端口最多支持400万的离散路由插入表 支持路由、组播、接入、MPLS、VXLAN以及分段路由（SR）等协议的极限性能测试 基于FPGA的100%线速流量生成、统计与捕获功能 支持RFC2544、RFC2889、RFC3918等基准测试套件 支持中英文测试操作软件 支持中英文测试报告系统产品特点　　★基于软件的网络及应用服务性能测试工具　　★通过测试端点产生网络流量对性能进行测量　　★TCP、UDP、PING 　　★ 语音、视频、HTTP、FTP、MAIL、组播　　★支持1ms精度的分布式WLAN漫游测试◆产品组成　　X-Launch由控制端（TestConsole）和测试端点（TestPoint）组成：　　★X-Launch 控制端软件安装于Windows 7\10(64位），需要4核CPU，8 GB内存以上150 GB硬盘。　　★测试端点软件支持Linux、Windows、Android、VxWorks、各种国产OS。◆测试类型　　X-Launch持双臂测试和单臂测试两种类型。　　●双臂（Two-Arm）测试　　被测试对象（网络\设备）的两边都是X-Launch测试端点，在测试端点之间产生真实的流量对被测试对象进行性能测试。　　●单臂（One-Arm）测试　　测试端点发起应用会话对真实服务器（如网站）进行测试。在测试结构中一侧是测试发起点，另外一侧是被测试的真实服务。

近日，中共中央办公厅、国务院办公厅印发了《关于推进以县城为重要载体的城镇化建设的意见》（简称《意见》），并发出通知，要求各地区各部门结合实际认真贯彻落实。《意见》指出要科学把握功能定位，分类引导县城发展方向，支持位于城市群和都市圈范围内的县城融入邻近大城市建设发展，主动承接人口、产业、功能特别是一般性制造业、区域性物流基地、专业市场、过度集中的公共服务资源疏解转移，强化快速交通连接，发展成为与邻近大城市通勤便捷、功能互补、产业配套的卫星县城。此外，《意见》提出，培育发展特色优势产业，稳定扩大县城就业岗位。其中特别提出，提升产业平台功能，依托各类开发区、产业集聚区、农民工返乡创业园等平台，引导县域产业集中集聚发展，支持符合条件的县城建设产业转型升级示范园区，根据需要配置公共配套设施，健全标准厂房、通用基础制造装备、共性技术研发仪器设备、质量基础设施、仓储集散回收设施。鼓励农民工集中的产业园区及企业建设集体宿舍。卫星县城或将承载共性技术研发仪器设备产业，并融入临近大城市建设发展中。科学仪器产业主要服务科研院所、大学、医院、政府机构等客户。与其他产业相比，科学仪器产业其实是一个市场容量和需求量较小的行业。科学仪器固然同汽车一样是高度集成型产品（需要各种原材料和技术的集成），但单靠科学仪器产业自身，却很难像汽车一样养活或带动庞大的原材料和配件产业。换言之，科学仪器产业较难像汽车产业一样——出现由“原料—零部件—原型—批量加工”上下游聚集而成的产业聚集区。科学仪器产业的聚集，往往依附科学研究的“主产业”，比如化学、光学、生命科学等，形成伴生聚集的场景。新兴的前沿科学或创新产业往往是“嫌贫爱富”的。比如，目前热门的生物医药产业，本身是一个“既冒险又烧钱”的游戏，具有高技术、高投入、高风险、高回报的特点。在布局影响因素上呈现出“科研人才＞投融资金＞政商环境＞生物资源”的规律。因此，生物医药产业往往偏爱既有科研和人才底气又“财大气粗”担得起风险的玩家。因此，具有综合实力优势的大城市，更容易在这类产业抢夺中先发获胜。虽然在前沿产业的城市竞争中大城市占尽风头，但是如果转向科学仪器产业，城市“战局”则有可能不一样。这是因为，以科学“服务”为己任的科学仪器产业，虽然需要与主产业伴生聚集，但是不一定非要在创新中心或大城市之中。虽然作为与科研和用户强关联性的服务产业，科学仪器产业需要靠近创新中心城市和主产业，需要处于大城市区域的产业生态群落中，以便于把握科研源头的需求，也便于利用大城市的展会市场进行信息、渠道、资源的集散和前沿跟进，但是科学仪器产业并不是科研创新的直接前端，而是作为类似“助理”的角色，属于技术支持服务且具有一定的制造属性，对于城市能级的要求也较低。因此，科学仪器产业虽然需要邻近创新中心，但是可以适度空间脱离，选择周边郊区或卫星城市聚集。而这种科学仪器与主产业伴生聚集的逻辑特点，能够给作为卫星城市的县城带来以科学服务逆袭的新路径。实际上类似的案例早已出现在国外，沃尔瑟姆是位于波士顿西部约14千米的一个小镇，曾经是北美工业革命早期的重镇之一，拥有美国第一个综合纺织厂——波士顿制造公司（Boston Manufacturing Company）、美国第一辆摩托车制造商梅斯汽车公司（Metz）、美国军火公司雷神等公司，尤其以“钟表之镇”名声大噪——1854年在这里成立建厂的沃尔瑟姆钟表公司（Waltham Watch Company）是第一家用生产线制作钟表的公司，至1957年关闭时共制作了超过4000万只手表。其所生产的钟和其他精密仪器，在1876年费城大陆展览中还赢得过金牌。但是同大部分传统工业小镇一样，在20世纪中期，沃尔瑟姆因制造企业的接连倒闭而陷入困境——失业率急剧上升、房价直跌、人口流失，成为波士顿旁边一个一无所有、再普通不过的没落小镇。不过，沃尔瑟姆的故事并没有就此结束。在科学创新时代到来后，沃尔瑟姆虽然单靠自身的传统工业基础很难“出头”，但是它拥有一个最大机遇——邻近波士顿。波士顿是全美生物医药产业的领头羊，位居2019年全美生命科学领域市场第一、生命科学人才池第一。尤其是波士顿剑桥区，依托哈佛和麻省理工两大名校，在肯德尔广场区域成为“地球上最具创新性的1平方英里”，拥有渤健（Biogen）等众多生物医药巨头。在波士顿这一创新中心的产业版图上分一杯羹，成为沃尔瑟姆产业“翻盘”的机会。不过，沃尔瑟姆没有“硬碰硬”，而是在依托波士顿生物医药主产业优势的同时，巧妙地选择以科学服务业进行突破——吸引赛默飞这类的科仪企业入驻。赛默飞自身的定位就是“全球科学服务领域的领导者”，专门为医药和生物公司、医院和临床诊断实验室、大学、科研院所、政府机构等客户提供相关的科学服务，包括高端科研仪器、实验室设备、试剂、耗材、专业诊断等在内的综合解决方案。经过长期的创新发展，赛默飞几乎集齐了生命科学领域的所有先进技术和相关仪器，包括PROSIS红外传感器、BetaPlus系列穿透式定量传感器、荧光定量PCR仪、冷冻电镜等，成为世界科仪领域无人能出其右的老大。除了赛默飞，小城沃尔瑟姆还吸引来了全球最大的分析仪供应商珀金埃尔默（PerkinElmer）、全球健康诊断服务龙头艾利尔（Alere，2017年被雅培收购）等数十家科学仪器企业，成为波士顿区域著名的科学服务明星。沃尔瑟姆的成功正是科仪产业聚集规律的印证。进一步分析，沃尔瑟姆的成功更是抓住波士顿这一创新中心并以此进行产业赛道选择的成功。

天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“承载装置及半导体工艺设备”专利公布，申请公布日为2024年5月7日，申请公布号为CN117987807A。本申请公开了一种承载装置及半导体工艺设备，涉及半导体装备领域。一种承载装置，包括：承载件、第一气道和限位组件；承载件设有用于容纳晶圆的容纳槽，容纳槽的槽底面为承载面；第一气道的出气口位于承载面上，用于通气，以使晶圆悬浮；容纳槽的边缘处设有多个滑道，多个滑道围绕容纳槽的周向排布，承载件内设有多个第二气道，多个第二气道与多个滑道分别连通；限位组件包括用于与晶圆的外缘周面抵接的多个限位件，多个限位件一一对应地滑动连接于多个滑道，通过向第二气道内通气，使限位件朝向或背离容纳槽的中心可移动。一种半导体工艺设备，包括上述承载装置。本申请能够解决托盘与晶圆的间隙不重复导致晶圆的圆周膜厚不均匀等问题。

中国科学院金属研究所热结构复合材料团队采用高压辅助固化-常压干燥技术，并通过基体微结构控制、纤维-基体协同收缩、原位界面反应制备出耐超高温隔热-承载一体化轻质碳基复合材料。近日，《ACS Nano》在线发表了该项研究成果。 航天航空飞行器在发射和再入大气层时，因“热障”引起的极端气动加热，震动、冲击和热载荷引起的应力叠加，以及紧凑机身结构带来的空间限制，给机身热防护系统带来了异乎寻常的挑战，亟需发展耐超高温并兼具良好机械强度的新型隔热材料。碳气凝胶（CAs）因其优异的热稳定性和热绝缘性，有望成为新一代先进超高温轻质热防护系统设计的突破性解决方案。然而，CAs高孔隙以及珠链状颗粒搭接的三维网络结构致使其强度低、脆性大、大尺寸块体制备难，大大限制了其实际应用。国内外普遍采用碳纤维或陶瓷纤维作为增强体，以期提升CAs的强韧性及大尺寸成型能力。然而，由于碳纤维或陶瓷纤维与有机前驱体气凝胶炭化收缩严重不匹配，导致复合材料出现开裂甚至分层等问题，反而使材料的力学和隔热性能显著下降。目前，发展兼具耐超高温、高效隔热、高强韧的碳气凝胶材料及其大尺寸可控制备技术仍面临巨大挑战。 超临界干燥是碳气凝胶的主流制备技术，其工艺复杂、成本高、危险系数大。近年来，热结构复合材料团队相继发展了溶胶凝胶-水相常压干燥（小分子单体为反应原料）、高压辅助固化-常压干燥（线性高分子树脂为反应原料）2项碳气凝胶制备新技术。为了实现前驱体有机气凝胶和增强体的协同收缩，本团队设计了一种超低密度碳-有机混杂纤维增强体，其碳纤维盘旋扭曲呈“螺旋状”，有机纤维具有空心结构，单丝相互交叉呈“三维网状”，赋予其优异的超弹性。该超弹增强体的引入可大幅降低前驱体有机气凝胶干燥和炭化过程的残余应力，进而可获得低密度、无裂纹、大尺寸轻质碳基复合材料。该材料在已知文献报道的采用常压干燥法制备CAs材料领域处于领先水平，可实现大尺寸样件（300mm以上量级）的高效、低成本制备，并具有低密度（0.16g cm-3）、低热导率（0.03W m-1 K-1）和高压缩强度 (0.93MPa)等性能。相关工作在Carbon 2021，183上发表。 在此基础上，本团队以工业酚醛树脂为前驱体，采用高沸点醇类为造孔剂并辅以高压固化，促使有机网络的均匀生长及大接触颈、层次孔的生成，实现了骨架本征强度的提升，同时采用与前驱体有机气凝胶匹配性好的酚醛纤维作为增强体，通过纤维/基体界面原位反应，实现了炭化过程中基体和纤维的协同收缩及纤维/基体界面强的化学结合，最终获得了大尺寸、无裂纹的碳纤维增强类碳气凝胶复合材料。该材料密度为0.6g cm-3时，其压缩强度及面内剪切强度分别可达80MPa和20MPa、而热导率仅为0.32W m-1 K-1，其比压缩强度（133MPa g-1 cm3）远远高于已知文献报道的气凝胶材料和碳泡沫。材料厚度为7.5–12.0mm时，正面经1800°C、900s氧乙炔火焰加热考核，背面温度仅为778–685°C，且热考核后线收缩率小于0.3%，并具有更高的力学强度，表现出优异的耐超高温、隔热和承载性能。相关工作在ACS Nano 2022，16上发表。 此外，上述隔热-承载一体化轻质碳基复合材料还首次作为刚性隔热材料在多个先进发动机上装机使用，为型号发展提供了关键技术支撑。 上述工作得到了国家自然科学基金委重点联合基金、优秀青年基金、青年科学基金、科学中心以及中科院青促会会员等项目的支持。 图1. 轻质碳基复合材料表现出优异的承载能力、抗剪切能力以及大尺寸成型能力图2. 高压辅助固化-常压干燥可实现较大密度范围轻质碳基复合材料的制备，其压缩强度显著高于文献报道的气凝胶和碳泡沫

天眼查显示，上海果纳半导体技术有限公司“基片承载装置和贴膜设备”专利公布，申请公布日为2024年7月23日，申请公布号为CN118380370A。背景技术半导体加工过程中，在基片部分前道工序完成后，需要直接对基片进行贴膜封装，然后进行存储、运输或直接进入下一步的加工工序。基片贴膜封装需要保证贴膜后的基片表面无气泡，且需要保证基片的水平度。这就对基片的平整度提出了要求，只要保证基片在贴膜前的平整度，才能保证基片贴膜的质量。因此需要一种承载装置，基片放置在其上时，能够被整平。发明内容本发明公开了基片承载装置和贴膜设备，基片承载装置包括第一区域，第一区域设置有第一柔性垫，第一柔性垫包括仅供基片中间区域放置的第一放置面；第二区域，第二区域位于第一区域的外侧，第二区域设置有吸附模块。吸附模块包括第二柔性垫，第二柔性垫具有与第一放置面位于同一高度位置的第二放置面，第二柔性垫上沿厚度方向开设有多个尺寸不同的真空吸附孔；多个尺寸不同的真空吸附孔为第二柔性垫在靠近基片边缘或拐角区域提供大于第二柔性垫其他区域的吸附力。承载装置能对基片进行稳定的吸附，并在吸附过程中整平基片，以提高贴膜质量。

天眼查显示，芯恩(青岛)集成电路有限公司近日取得一项名为“晶圆承载装置和半导体检测系统”的专利，授权公告号为CN221176194U，授权公告日为2024年6月18日，申请日为2023年11月10日。 背景技术在半导体制程过程中，需要利用一种量测机台通过电容-电压特性曲线即CV特性曲线来检测晶圆的等效电容厚度(CET)、表面损伤(PDM)、表面势垒电压(VSB)、表面界面态密度(LI)等相关参数，以此来表征晶圆表面膜即介电质层的质量。晶圆检测仪(Semiconductor Diagnostics Inc，SDI)是利用电晕枪将电荷激发在晶圆即介电质层的表面，同时用非接触式振动探针来测量表面电压，并作CV特性曲线进而分析其晶圆表面膜的质量。在SDI的实际量测过程中，如图1和图2所示，电晕枪10激发出的电荷11会打在放置在承载台12上的晶圆13的表面，但在晶圆边缘14处的部分电荷11会发生偏移，导致电荷11出现在晶圆边缘14外。晶圆边缘14因电荷11丢失容易引起漏电，从而导致量测数据异常。因此，有必要提供一种新型的晶圆承载装置和半导体检测系统以解决现有技术中存在的上述问题。现有技术中的电晕枪激发出的电荷在晶圆边缘处发生偏移的侧视示意图电晕枪激发出的电荷在晶圆边缘处发生偏移的俯视示意图专利说明据专利摘要显示，本实用新型提供了一种晶圆承载装置和半导体检测系统，晶圆承载装置包括晶圆承载台和磁性件；晶圆承载台用于承载待检测晶圆；磁性件设有若干个，若干个磁性件间隔围设于晶圆承载台，磁性件由N极和S极相邻设置而成，任意一个磁性件沿顺时针围设方向或逆时针围设方向均为S极到N极排列，以使若干个磁性件形成环形磁场，待检测晶圆位于环形磁场内，磁性件利用环形磁场对电荷的洛伦兹力，使偏移于待检测晶圆的边缘外的至少部分电荷返回于待检测晶圆的表面。本实用新型避免了待检测晶圆的边缘处的电荷丢失，解决了电晕放电单元打到待检测晶圆的边缘处的电荷丢失而引起漏电，导致量测数据异常的问题。本实用新型第一种实施例中晶圆承载装置的侧视示意图本实用新型的实施例中电荷在待检测晶圆的边缘的俯视示意图

光纤通信因其具有高带宽、低损耗、重量轻、体积小、成本低、抗电磁干扰等优点，已成为现代信息社会的支柱。同时，传统的微波无线技术也展现出了有效的泛在感知与接入能力。而将上述两种技术进行有机融合，则诞生了微波光子学。微波光子学为电子传感和通信系统提供了上述优势，但与非线性光学领域不同的是，到目前为止，电光器件需要经典调制场，其变化由电子或热噪声而不是量子涨落控制。从理论到实际的量子通讯不仅需要用于量子纠缠的组件，而且还需要一个低损耗和鲁棒性很好的网络来做进一步的数据分发和传输。超导处理器与光通信网络的接口问题是量子领域的一个开放性问题，也是目前面临的大挑战。近期，奥地利科学技术研究所（位于奥地利克洛斯特纽堡）的约翰内斯芬克小组提出了一个可能的解决办法。他们通过使用纳米机械传感器将双向和芯片可伸缩转换器的超导电路集成到大规模光纤网络中开辟了一条道路（如图一所示）。文章中介绍了一种可在毫开尔文环境下工作的腔电光收发器，其模式占用率低至0.025± 0.005噪声光子。其系统是基于铌酸锂回音壁模式谐振器，通过克尔效应与超导微波腔共振耦合。对于1.48 mw的大连续波泵浦功率，演示了X波段微波到C波段电信光的双向单边带转换，总（内部）效率为0.03%（0.7%），附加输出转换噪声为5.5光子（如图二所示）。10.7兆赫的高带宽与观测到的1.1兆赫噪声光子的非常慢的加热速率相结合使量子有限脉冲微波光学转换触手可及。该装置具有通用性和与超导量子比特兼容的特点，为实现微波场与光场之间的快速、确定的纠缠分布、超导量子比特的光介导远程纠缠以及新的多路低温电路控制和读出策略开辟了道路。图一：实验装置示意图图二：转换噪声与模式布居结果在10mK温度下，实现转换的关键是：光纤与微波芯片的对准和稳定连接需要一套用于x、y和z精密移动的位移台。实验中使用了attocube公司的 ANPx101/RES/LT-linear x-nanopositioner，ANPz101/RES/LT-linear z-nanopositioner，ANPx101/ULT/RES+/HV-Linear x-Nanopositioner和ANPz102/ULT/RES+/HV-linear z-nanopositioner系列mk环境兼容的位移台。attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造商，已为全科学家生产了4000多套位移系统，用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑，体积小，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和纳米精度扫描器。图三 attocube低温强磁场位移器，扫描器，及3DR旋转台低温mK纳米精度位移台技术特点如下： 参考文献:[1] Nature Communications 11, 4460 (2020) [2] PRX Quantum 1, 020315 (2020)

10月28日，国土资源部资源环境承载力评价重点实验室第一届学术委员会在京成立。中国工程院院士、长安大学教授李佩成担任学术委员会主任，国务院参事、国土资源部原总工程师张洪涛，中国地质大学(北京)副校长雷涯邻教授担任学术委员会副主任，17位资源环境学科和相关领域的知名专家受聘担任第一届学术委员会委员。国土资源部总工程师钟自然出席会议。 　　资源环境承载力评价重点实验室由中国国土资源经济研究院和中国地质大学(北京)共同建设。会议提出，实验室要发挥两个依托单位的优势，强化整体运转功能，实行“开放、流动、联合、竞争”的运行机制，建设有特色、权威性的实验室 要加强研究顶层设计，开放研究课题设置要关注对国土资源管理工作具有全局性和关键性影响的重大宏观问题。实验室重点研究区域及国家层面土地、矿产、水等资源承载力，资源开发与环境保护耦合关系，环境恢复与补偿等社会经济发展急需解决的问题，创建相应的理论和技术方法体系 开展国土资源战略与规划研究，建立指标体系与评估方法，研究制定国土资源标准。 　　实验室主任、国土资源经济研究院副院长付英介绍说，自今年6月获批准以来，实验室开展了组织机构建设、制度建设及资源环境承载力方面的重大项目和对策研究等工作，基本形成了结构合理的研究团队。今后，实验室将在资源环境承载力评价、国土资源战略与规划相关学科领域取得集成和创新性成果，集聚和培养一批高层次人才团队，为国土资源合理开发利用和保护提供理论、技术和政策法规支撑，力争把实验室建设成为国际一流的软科学类实验室和思想库、国土资源部优秀重点实验室和国家重点实验室，成为我国创造高水平科技成果和培育优秀创新人才的孵化器。

背景介绍 载流子之间的相互作用是凝聚态物理学的热门研究和重点关注对象。调控这种相互作用的能力将有望调控复杂的电子相图。近年来，二维莫尔超晶格已经成为量子领域非常具体潜力的一个研发平台。莫尔系统通过调整层扭转角、电场、莫尔载流子浓度和层间耦合，可以实现其物理参数的高度可调。进展概述 近期，Xiaodong XU（美国华盛顿大学）的研究小组报道了光激发可以高度调整莫尔捕获载流子之间的自旋-自旋相互作用，从而产生WS2/WSe2莫尔超晶格中的铁磁有序。该研究中，作者使用了德国attocube公司提供的ANPxyz101系列兼容低温强磁场纳米精度位移台，以确保在低温强磁场环境中精确控制样品位置。文章以《Light-inducedferromagnetism in moirsuperlattices》为题，发表于Nature期刊。 图1显示了丰富的填充因子依赖的磁光响应，在填充因子为&minus 1时，RMCD显示出超顺磁样响应。当空穴掺杂明显减少（见图1e）时，一个磁滞回线开始出现, 这是铁磁性的标志。在&minus 1/3的填充因子（即每3个莫尔晶胞中有一个空穴）附近，随着激子共振激发功率的增加，在磁圆二色性信号中出现了一个明显的磁滞回线。图1. WS2/WSe2异质结中的磁圆二色性随填充因子变化。a) 器件示意图 b) PFM图像，标尺：20 nm c) 反射谱随偏置电压变化 d-e) 磁圆二色（RMCD）随填充因子变化 图2a显示了在1.6K温度与填充因子为-1/3时RMCD信号与激光功率的关系。当功率小于16 nW时，RMCD信号与磁场之间的关系消失，表现为一条无特征的直线。当功率增加到临界阈值以上时，出现一个滞回线。图2b中零磁场下RMCD信号的强度随激光功率的增加而增大，最终达到饱和。在低填充因子下，由于空穴距离更大固有磁相互作用明显较弱。因此，在分数填充因子为&minus 1/3处出现的功率依赖的RMCD响应表明，通过光学诱导的长程自旋-自旋相互作用，出现了铁磁序。磁滞回线宽度对光激发功率的依赖关系可以忽略不计，这意味着在温度远低于居里温度时，磁滞回线宽度主要由磁各向异性决定。如图2c-d所示，随着温度的升高磁滞回线宽度减小，有效的居里温度被确定为8K左右。图2. 在填充因子为-1/3的时候对光致铁磁性的观察。a-b）1.6K温度，不同激光功率下RMCD信号随磁场变化。c-d）磁滞回线宽度与温度的关系，激光功率103 nW 课题组进一步在填充因子为&minus 1/7下进行了温度与激光功率依赖性的RMCD测量（图3）。图3a显示了在不同的激光功率下的测量结果。作者定义了一个临界温度Tc，超过这个温度，RMCD的磁性响应（心跳线形状）就会消失。以253 nW光激发为例，心跳线形状保持强至约40K。为了进一步突出这一效应，图3b中绘制了提取的RMCD信号振幅与激发功率和温度的变化关系。这些数据表明，一旦光激发功率足够大，可以引入磁序，Tc可以从20K左右的调谐到45K。观察到的现象指出了一种机制，其中光激发激子促成了莫尔捕获空穴之间的交换耦合。这种激子促成的相互作用可能比莫尔捕获空穴之间的直接耦合范围更长程，因此即使在稀空穴体系中也会出现磁序。这一发现为莫尔量子物质的丰富的多体哈密顿量增加了一个动态调谐方案。图3. 利用光激发功率和填充因子调节磁态。a-d) RMCD信号强度与磁场、温度、填充因子的关系图 图a-b中填充因子为-1/7 值得指出的是，整个实验都是在低温及强磁场中进行的。这其中关键的设备就是德国attocube公司提供的ANPxyz101系列兼容低温强磁场纳米精度位移台，该位移台能够在极低温环境下提供纳米级的精确位移，成为整个变温及磁场调控过程中精确控制样品位置的关键设备。 attocube公司生产的位移器设计紧凑，体积小巧，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和扫描器，并以稳定而优异的性能，原子级定位精度，纳米位移步长和厘米级位移范围受到科学家的肯定和赞誉。产品广泛应用于普通大气环境和极端环境中，包括超高真空环境(5E-11mbar)、极低温环境（10 mK）和强磁场中（31 T）。图4 attocube低温强磁场位移器，扫描器attocube低温位移台技术特点如下：参考文献：[1]. Xiaodong XU, et al. Light-induced ferromagnetism in moiré superlattices. Nature 604, 468–473 (2022)

“要想成为科研强国，必须首先成为仪器强国。”——《人民日报》科学仪器，是科学研究和技术创新的基石，很大程度上决定基础科学研究的广度和深度。在贡献了我国1/3 GDP的工业领域，科学仪器被形象的称为先进工业的“急先锋”。因此，从某种意义上讲，科学仪器是经济社会发展和国防安全的重要保障。我国科学仪器研究起步晚，特别是在重大科学仪器的研究上核心技术薄弱，专业人才匮乏，和国外实力相差悬殊，大部分情况下都受到国外品牌的垄断和制约。2006年，为打破国外产品垄断，推动行业自主创新，助力实现重大科学仪器的“中国梦”，聚光科技（杭州）股份有限公司（以下简称“聚光科技”）集结核心技术骨干，成立了首支实验室研发团队，正式开始进军重大科学仪器领域。『从星星之火 到燎原之势 』2006~2010年，聚光科技实验室研发团队开始全面布局构筑质谱、色谱、光谱等核心技术平台，通过技术平台搭建和核心技术掌握，逐步衍生出了其他产品平台；同时，对标国际行业标杆企业，紧随脚步，不断完善并搭建公司产品体系平台。2011年，科技部正式设立“国家重大科学仪器设备开发专项” （以下简称“重大科仪专项”），体系性地推动了重大科学仪器设备国产化的工作。聚光科技积极响应这一国家科技战略，顺势而为，加大配套研发投入，先后承担并完成了十余项国家重大科学仪器设备开发专项任务，成功研制并产业化了十余款填补国内空白的重大科学仪器设备。15年来，聚光科技坚持以技术立业，不断加大研发投入，帮助了国家在重大科学仪器领域的整体技术实力提升和全产业链构建，打破了国外企业的垄断局面，掌握了质谱、色谱、光谱等二十余项新型技术平台，培养了一大批极具竞争力的科学仪器产业人才，为国家在该领域的技术和产业突破提供了有效支撑。从星星之火 到燎原之势，通过聚光科技为代表的国内优秀高端分析仪器企业的不断努力，国产重大科学仪器正迎来一个全新的发展阶段。『从掌握核心技术 到实现弯道超车 』科学技术通过服务于产业应用，才能发挥其第一生产力的作用。随着我国从“制造大国”向“制造强国”迈进，“两化”融合加速推进，产业结构和技术改造持续升级，各行业的对于重大科学仪器新的高端需求不断涌现。聚光科技一方面为了将重大科学仪器成果产业化，更好地服务科学研究和先进工业；另一方面为了使重大科学仪器更好地满足国家产业升级和持续改造的需求，服务经济社会发展 ，于2015年4月成立了杭州谱育科技发展有限公司（以下简称“谱育科技”），开启了重大科学仪器高端化、定制化的道路。从通用设备产品到深度定制产品，从掌握核心技术到实现弯道超车，谱育科技成立5年来，始终围绕“自主研发、持续创新、深度定制”的核心发展战略，积累了全面的分析技术平台和适应于各类场景的进样技术平台。针对行业客户越来越高端、多样的检测需求，谱育科技将重大科学仪器成果产业化应用到相关产业升级和发展，开拓出多个行业的引领型创新应用，适应便携检测、在线检测、移动检测、实验室自动化检测等全新的分析检测应用场景和创新产品组合。谱育科技成立5年来，创新产品广泛应用于环保/食品新型污染因子监测、医疗临床检测、生命科学研究、工业物联网、安全应急等领域，持续为不同行业客户提供全面的分析检测解决方案支撑。『 两岸猿声啼不住，轻舟已过万重山』2020年，重装上阵的聚光科技，将展现出更加勇猛开拓的姿态。在重大科学仪器领域，我们坚持以技术立业，不断加大研发投入；追逐创新之路，注定充满挑战和崎岖，但唯有踏平坎坷，才成大道。15年承载，初心如一，专注重大科学仪器研发及产业化的道路上，我们从未停止！ 心中有火，眼里有光，未来可期！

海顿科克直线传动是世界领先的直线运动产品制造商，公司最近发布了一个驱动精密显微镜窄片平台的应用，该工作平台移动的最小步长为15微米，最大推力为13N，在这个非常紧凑空间里的实现传动要求，无疑这是一个完美的机械结构，在精密的微流体或者光学仪器中经常会有这种需求。这个结构大约有22MM宽，25.2MM高，其行程最大可以达到64MM。 一个轻型的经过阳极氧化的铝合金型材做成的底座，底座两端分别安装有螺杆衬套和电机安装支架，整个结构的核心是海顿15000系列的永磁式直线步进电机，该电机已经成功应用在几千种结构应用中，该电机不需要复杂的控制设备，只需要简单的速度脉冲和方向信号。 整个结构的移动滑块是用带有自润滑效果的聚缩醛材料做成，滑块本身带有张紧弹簧，这能使滑块在运动过程中保证运动的精确性，滑块由2根涂有TFE涂层的直线滑轨做导向。滑块由KERK的螺杆驱动，螺杆由303不锈钢制成，并且由5种导程可选，分别是0.3MM,0.4MM,0.5MM,1.0MM,2.0MM,该螺杆一端固定在底座的螺杆衬套中，由于螺杆精密，所以当电机工作时，自然可以实现高精度的运动控制。 该电动载片平台结构还可以客户化定制，比如客户特定的底座，不同的行程（最高可达64MM）,传感器安装，客户化的布线等等，都可以根据客户要求定制。 更多信息请访问海顿直线电机（常州）有限公司网站http://www.haydonkerk.com.cn

关键词：低温位移台；近场扫描微波显微镜； 稀释制冷机 背景介绍扫描隧道显微镜（STM）[1]和原子力显微镜（AFM）[2]等基于扫描探针显微术（SPM）的出现使得科学家能够在纳米分辨率下去研究更多材料的物理特性及图形。以这些技术为基础的纳米技术、材料和表面科学的迅速发展，大地推动了通用和无损纳米尺度分析工具的需求。尤其对于快速增长的量子器件技术领域，需要开发与这些器件本身在同一区域（即量子相干区域）中能够兼容的SPM技术。然而，迄今为止，能够与样品进行量子相干相互作用的纳米尺度表征的工具仍非常有限。特别是在微波频率下，光子能量比光波长小几个数量，加之缺乏单光子探测器和对mK端温度的严格要求，更是一个巨大的挑战。近年来，固态量子技术飞速发展迫切需要能够在此端条件下运行的SPM探测技术。技术核心近场扫描微波显微技术（NSMM）[3]结合了微波表征和STM或AFM的优势，通过使用宽带或共振探头来实现探测。在近场模式下，空间分辨率主要取决于SPM针尺寸，可以突破衍射限的限制，获得纳米别的高分辨率图像。NSMM的各种实现方式已被广泛应用于非接触式的探测半导体器件[4]，材料中的缺陷[5]、生物样品的表面[6]及亚表面分析，以及高温超导性[7]的研究。但是在低温量子信息领域中的应用还鲜有报道。英国物理实验室NPL的塞巴斯蒂安德格拉夫（Sebastian de Graaf）小组与英国伦敦大学谢尔盖库巴特金（Sergey Kubatkin）教授小组合作开发了一种在30 mK下工作的新型低温近场扫描微波显微镜，同时，该显微镜还结合了高达6 GHz的微波表征和AFM技术，旨在满足量子技术领域的新兴需求。整个系统置于一台稀释制冷机中（如图1（b）所示），NSMM显微镜的示意图如图1（a）所示：在石英音叉上附着了一个平均光子占有率为~1的超导分形谐振器。一个可移动的共面波导被用来感应耦合到谐振器上进行微波的发射和信号的读出。整个系统的核心是德国attocube公司提供的兼容低温的铍铜材质的纳米精度位移台，该小组使用一组ANPx100和ANPz100纳米位移器将样品与针在x，y和z方向上对齐，同时使用一个小的ANPz51纳米位移器进行RF波导的纳米定位和耦合。图1.（a）NSMM显微镜的示意图。（b） 稀释制冷机中弹簧和弹簧悬挂的NSMM示意图。测量结果如图2所示，Sebastian教授演示了在单光子区域中以纳米分辨率进行扫描的结果。扫描的区域与在硅衬底上形成铝图案的样品相同。扫描显示三个金属正方形（2×2μm2）与两个较大的结构相邻，形成一个叉指电容器。叉指电容器的每个金手指有1 μm的宽度和间距，尽管在图2中，由于的形状，这些距离看起来不同。图2. 在30 mK下扫描具有相邻金属垫的交叉指电容器.（a）得到的AFM形貌图。（b） 单光子微波扫描（~1）显示了微波谐振腔的频移,微波扫描速度为0.67 μm/s.（c）高功率微波扫描结果（~270）。（d） 在调谐叉频率（30 kHz）下解调的PDH误差信号，与dfr/dz（~270）成正比。（e） 扫描获得的信噪比（SNR）作为平均光子数的函数。attocube低温位移台德国attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造公司。拥有20多年的高精度低温纳米位移台的研发和生产经验。公司已经为各地科学家提供了5000多套位移系统，用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑，体积小，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和扫描器。德国attocube公司的位移器以稳定而优异的性能、原子的定位精度、纳米位移步长和厘米位移范围深受科学家的肯定和赞誉。产品广泛应用于普通大气环境和端环境中，包括超高环境(5E-11 mbar)、低温环境（10mK）和强磁场中（31 Tesla）。图3. attocube低温强磁场纳米精度位移器，扫描器，3DR主要参数及技术特点参考文献：[1]. Binnig, G., Rohrer, H., Gerber, C. & Weibel, E. Surface studies by scanning tunneling microscopy. Phys. Rev. Lett. 49, 57 (1982).[2]. Binnig, G., Quate, C. F. & Gerber, C. Atomic force microscope. Phys. Rev. Lett. 56, 930 (1986).[3]. Bonnell, D. A. et al. Imaging physical phenomena with local probes: From electrons to photons. Rev. Mod. Phys. 84, 1343 (2012).[4]. Kundhikanjana, W., Lai, K., Kelly, M. A. & Shen, Z. X. Cryogenic microwave imaging of metalinsulator transition in doped silicon. Rev. Sci. Instrum. 82, 033705 (2011).[5]. Gregory, A. et al. Spatially resolved electrical characterization of graphene layers by an evanescent field microwave microscope. Physica E 56, 431 (2014).[6]. Gregory, A. et al. Spatially resolved electrical characterization of graphene layers by an evanescent field microwave microscope. Physica E 56, 431 (2014).[7]. Lann, A. F. et al. Magnetic-field-modulated microwave reectivity of high-Tc superconductors studied by near-field mm-wave. microscopy. Appl. Phys. Lett. 75, 1766 (1999). 更多文章信息请点击：https://doi.org/10.1038/s41598-019-48780-3

nature：二维磁性材料的磁结构与相关特性研究关键词：二维铁磁材料；低温纳米精度位移台；反铁磁态；二次谐波 近年来，二维磁性材料在国际上成为备受关注的研究热点。近日，中国与美国的研究团队合作，在二维磁性材料双层三碘化铬中观测到源于层间反铁磁结构的非互易二次谐波非线性光学响应，并揭示了三碘化铬中层间反铁磁耦合与范德瓦尔斯堆叠结构的关联。同时，研究团队发现双层反铁磁三碘化铬的二次谐波信号相比于过去已知的磁致二次谐波信号（例如氧化铬Cr2O3），在响应系数上有三个以上数量的提升，比常规铁磁界面产生的二次谐波更是高出十个数量。利用这一强烈的二次谐波信号，团队成功揭示双层三碘化铬的原胞层堆叠结构的对称性。图一 双层三碘化铬的二次谐波光学显微图 运用光学二次谐波这一方法来探测二维磁性材料的磁结构与相关特性是此实验的关键。团队利用自主研发搭建的无液氦可变温强磁场显微光学扫描成像系统，完成了关键数据的探测。值得指出的是，该无液氦可变温强磁场显微光学扫描成像系统采用德国attocube公司的低温强磁场纳米精度位移台和低温扫描台来实现样品的位移和扫描。德国attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造商。公司已为全科学家生产了4000多套位移系统，用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑，体积小，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和纳米精度扫描器。图二 attocube低温强磁场位移器、扫描器attocube低温位移台技术特点如下：参考文献:Sun, Z., Yi, Y., Song, T. et al. Giant nonreciprocal second-harmonic generation from antiferromagnetic bilayer CrI3. Nature 572, 497–501 (2019). nature：石墨烯摩尔超晶格可调超导特性研究关键词：石墨烯 超晶格 高温超导高温超导性机制是凝聚态物理领域世纪性的课题。这种超导性被认为会在以Hubbard模型描述的掺杂莫特缘体中出现。近期，美国和中国的国际科研团队合作在nature上报道了在ABC-三层石墨烯（TLG）以及六方氮化硼（hBN）摩尔超晶格中发现可调超导性特征。研究人员通过施加垂直位移场，发现ABC-TLG/hBN超晶格在20K的温度下表现出莫特缘态。进一步通过冷却操作发现，在温度低于1K时，该异质结的超导特特性开始出现。通过进一步调控垂直位移场，研究人员还成功实现了超导体-莫特缘体-金属相的转变。 图1.德国attocube公司低温mK纳米旋转台电学输运工作的测量是在进行仔细的信号筛选后，本底温度为40mK的稀释制冷机内进行的。值得指出的是，样品的面内测量需要保证样品方向与磁场方向平行，这必须要求能够在低温（40mK）环境下实现良好且工作的旋转台来移动样品，确保样品与磁场方向平行。实验中使用了德国attocube公司的mK纳米精度旋转台（如图1所示）。Attocube公司可提供水平和竖直方向的旋转台，使样品与单轴线管的超导磁场方向的夹角调整为任意角度。通过电学输运结果，证实了样品中存在超导体-莫特缘体-金属相的转变（结果如图2所示），为三层石墨烯/氮化硼的超晶格超导理论模型（Habbard model）以及与之相关的反常超导性质和新奇电子态的研究提供了模型系统。 图2. ABC-TLG/hBN的超导性图左低温双轴旋转台；图右下：石墨烯/氮化硼异质节的超导性测量测试结果，样品通过attocube的mK适用旋转台旋转后方向与磁场方向平行参考文献：Guorui CHEN et al, Signatures of tunable superconductivity in a trilayer graphene moiré superlattice, Nature, 572, 215-219 (2019) nature：分数量子霍尔效应区的非线性光学研究关键词：量子霍尔效应 四波混频 化激元设计光学光子之间的强相互作用是量子科学的一项重要挑战。来自瑞士苏黎世联邦理工学院（Institute of Quantum Electronics, ETH Zürich, Zürich,）的研究团队在光学腔中嵌入一个二维电子系统的时间分辨四波混频实验，证明当电子初始处于分数量子霍尔态时，化激元间的相互作用会显著增强。此外，激子-电子相互作用导致化子-化激元的生成，还对增强系统非线性光学响应发挥重要作用。该研究有助于促进强相互作用光子系统的实现。值得指出的是，该实验在温度低于100mK的环境下进行，使用德国attocube公司的低温mK环境纳米精度位移台来实现物镜的移动和聚焦。参考文献:Knüppel, P., Ravets, S., Kroner, M. et al. Nonlinear optics in the fractional quantum Hall regime. Nature 572, 91–94 (2019). Science：NV center在加压凝聚态系统中的量子传感研究关键词：NV色心 量子传感器压力引起的影响包括平面内部性质变化与量子力学相转变。由于高压仪器内产生巨大的压力梯度，例如金刚石腔，常用的光谱测量技术受到限制。为了解决这一难题，巴黎十一大学，香港中文大学和加州伯克利大学的研究团队研发了一款新型纳米尺度传感器。研究者把量子自旋缺陷集成到金刚石压腔中来探测端压力和温度下的微小信号，这样空间分辨率不会受到衍射限限制。为此加州伯克利大学团队采用了德国attocube公司的与光学平台高度集成的闭循环低温恒温器- attoDRY800来进行试验，其中包含了attocube公司的低温纳米精度位移台，以此来实现快速并且控制金刚石压强的移动以及测量实验。参考文献：[1] S. Hsieh et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1349-1354 (2019) [2] M. Lesik, et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1359-1362 (2019)[3] K. Yau Yip et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1355-1359 (2019)

当汽车、飞机、船舰或计算机采用一种既能作为电池又能作为承重结构的材料制造时，其重量和能源消耗将大大降低。据10日发表在最新一期《先进材料》杂志上的论文，瑞典查尔姆斯理工大学研究团队在“无质量储能”研究方面取得进展，开发出一种多功能碳纤维结构电池。这种电池可以将笔记本电脑的重量减半，使手机像信用卡一样薄，或者将电动汽车单次充电的续航里程提高70%。查尔姆斯理工大学研究员里卡乔杜里表示，他们研发出的这种结构电池由碳纤维复合材料制成，其刚度与铝相当，且能量密度足以商业化应用。结构电池是一种既能储存能量又能承载负荷的材料。让电池材料成为产品实际构造的一部分，意味着在电动汽车、无人机、手持工具、笔记本电脑和手机等产品上可以实现更小的重量。2018年，该团队首次证明，刚性和硬度都很高的碳纤维可通过化学方式储存电能，作为锂离子电池电极。这项研究引起广泛关注，也被《物理世界》杂志评为当年十大突破性成果之一。此后，研究团队进一步发展了其概念，提高了电池刚度和能量密度，在2021年将电池的能量密度提高到每千克24瓦时（Wh/kg），相当于同类锂离子电池容量的20%左右。而此次，他们将能量密度提升至30Wh/kg。尽管这仍然低于当前常用电池，但效果却大不相同。当电池成为结构的一部分，并且可以由轻质材料制成，整车重量就能大大降低。这样一来，电动汽车所需的能量就会大大减少。研究人员对电动汽车进行了计算，结果显示，如果配备新的结构电池，续航里程将比现在增加多达70%。结构电池单元的刚度也显著提高，以吉帕（GPa）为单位的弹性模量从25增加到了70。这意味着该材料可以像铝一样承载负荷，但重量更轻。研究人员表示，从多功能性角度来看，新电池的性能优于上一代电池两倍，是世界上迄今为止最好的电池。然而，在电池单元从小规模实验室制造走向大规模生产、应用于科技产品或车辆之前，还需进行大量工程工作。

日前，记者来到位于光明科学城的国家电动汽车电池及充电系统产业计量测试中心，中心内一派繁忙而有序的工作景象映入眼帘。300台套计量测试装备，可开展500余项计量参数测试，这里集中了最尖端的仪器设备和专业技术人员，他们正致力于推动新能源汽车产业高质量发展。　　步入其中，一个大型的环境模拟实验室映入眼帘，这里的温度、湿度甚至气压都可以根据需要精准调控到极寒酷暑等各种极限环境条件。一旁，一辆崭新的电动汽车正在严苛环境下接受考验，技术人员密切监控着车辆电池在高低温循环中的充放电性能表现，以及其对环境变化的响应速度和稳定性。而在另一侧的精密计量区域，一组工程师正利用高精度测量仪器对一块块锂电池模块进行细致入微的检测。　　近日，国家市场监督管理总局批准成立国家电动汽车电池及充电系统产业计量测试中心。该中心选址深圳光明，是电动汽车电池及充电系统领域全国唯一的国家级产业计量中心。中心是光明科学城入驻的科研平台之一，在建设期间，围绕电动汽车电池及充电领域深入开展计量测试技术研究，承担国家、省级科研项目27项，制定了国家及地方标准35项，制定国家计量检定规程、规范6项。在电动汽车充电桩远程计量、充电站能耗计量测试、充电桩安全敏感参数计量测试等领域产出一批首创成果，填补行业空白。　　落户光明促新能源产业高质量发展　　计量测试是产业发展的重要技术基础，与产业变革和技术进步息息相关，作为鼓励类产业被列入国家科技服务业。　　为充分发挥计量测试在服务和支撑电动汽车产业发展、提升电动汽车产业核心竞争力方面的作用，国家市场监督管理总局批准深圳市依托深圳市计量质量检测研究院正式成立国家电动汽车电池及充电系统产业计量测试中心（以下简称国家中心）。　　为何落户深圳光明？深圳市计量质量检测研究院院长刘铁东告诉记者，国家中心的成立恰逢光明区加快建设世界一流科学城的大好时机，光明科学城是世界级大型开放原始创新策源地、引领高质量发展的中试验证和成果转化基地、深化科技创新体制机制改革前沿阵地，布局建设了一批重大科学基础设施和前沿交叉研究平台，其中包含了国家电动汽车电池及充电系统产业计量测试中心。　　光明已成为大湾区重大科技创新载体布局最集中、创新动能汇聚最迅速、综合创新投入力度最大的区域。作为大湾区综合性国家科学中心先行启动区，科学城是光明区最闪亮的名片，2023年光明科学城规划布局的24个重大科技创新载体，在建和运营数达到20个。全社会研发投入首次突破100亿元，占GDP比重达到7.1%，创新动能愈加澎湃。　　刘铁东表示，国家中心的成立不仅为光明增添了又一个国家级科技创新平台，也为光明区在新能源汽车、电化学储能、新型电池材料等领域提供国家级一站式的计量测试支撑，将有力促进光明区新能源产业的高质量发展，同时与光明区相关高校、企业、研究机构充分融合，因地制宜发展新质生产力，助推世界一流科学城的建设。　　国家中心重点针对产业提质增效和可持续高质量发展中的计量测试难点和需求，构建完备的计量测试体系，提供“全溯源链、全产业链、全寿命周期”并具有前瞻性的计量测试技术服务，着力解决产业当中“测不了、测不全、测不准”的痛点、难点。　　标准引领打造“超充服务”新标杆　　4月1日起，深圳市正式实施《电动汽车超级充电设备分级评价规范》和《电动汽车集中式公共充电站设计规范》（以下统称“深圳超充标准”），这两项标准是全国首个超充设备分级评价和超级充电站设计的地方标准。　　“深圳超充标准”在行业内率先提出“超级充电设备”“全液冷超充设备”等术语定义，并明确超充设备单枪额定功率不低于480kW。光明区发展改革局相关负责人表示，光明区抢抓这一标准带来的市场机遇，认真落实市政府关于建设世界一流 “超充之城”的工作部署，结合新能源汽车产业、超级快速充电技术发展趋势以及城市规划、人口分布等实际情况，重点围绕商业综合体、市政公园、大型景区、公共机构、高铁站、公交场站、高速服务（停车）区合理布局超充站点，满足市民充电需求，同时谋划打造若干光储充检和车网互动一体化示范项目，推动充电设施接入深圳市电力充储放一张网，助力深圳市打造坚强电网。　　步入光明区长圳南北停车区的全液冷超充站，一种未来科技气息扑面而来。这处占地广阔的充电站坐落在繁忙的高速公路两侧，犹如一个新能源汽车的能量补给绿洲，镶嵌在快速流动的交通线之中。　　这个超充站是全市首座高速服务区全液冷超充站，实现1秒1公里的超快速充电速率，创新的冷却方式确保了即便在高强度连续充电下，充电桩也能保持稳定高效的性能，大大减少了充电过程中的热损耗，为市民提供极速的充电服务，切实缓解市民旅程焦虑。　　宽敞舒适的休息区内，司机们一边通过智能屏幕实时查看车辆充电进度，一边感受着这份便捷与科技带来的出行变革。司机陈先生告诉记者，光明科学城不仅追求硬件设施的卓越，更关注用户体验的极致，超充站配备先进的液冷快充技术，只需一杯咖啡的时间，就能让电动汽车“满血复活”。　　打造“超充服务”新标杆，截至目前，光明区已建成超充站24座，在建及前期项目15个。2024年，光明区将继续围绕打造世界一流“超充之城”的工作目标，依托光明区停车场资源等，发动充电设施企业投资建设超充站，至2024年底累计达到73座超充站、新增8700个普通充电桩。　　绿色发展 “超充之城”跑出加速度　　在充满活力与创新精神的光明科学城，一幅描绘未来智慧生活的“超充之城”蓝图正在细腻绘就。　　光明区以其前瞻性视野和坚定决心，积极投身于绿色产业的发展，并在此过程中扮演着“超充之城”建设的重要角色，二者相互赋能，共同描绘出一幅可持续发展的未来画卷。　　光明区扎实推进超充设施建设，组织华为、星星充电、前海奥特迅、特来电等充电设施行业头部企业研究探讨超充站建设有关要点，形成《超级快速充电设施选址建设有关要求》，指导各街道、各部门完成两批次100余处超充初步选址；组织充电设施行业头部企业与各街道、各部门建立沟通联系渠道，政府部门会同充电设施企业开展选址踏勘、评估工作，促成一批项目合作；定期组织超充建设调度会，协调解决用地性质、租期、用电报装等问题，确保项目顺利推进。　　光明区在推动“超充之城”建设的同时，也带动了相关产业的技术迭代升级和服务模式创新。目前已拥有新能源领域规上企业250余家，聚集了贝特瑞、欣旺达等一批行业龙头企业, 越来越多的优质绿色企业、产业纷至沓来。　　去年，世界500强企业法国威立雅环境集团粤港澳大湾区总部，正式落户光明科学城。未来，光明科学城将凭借威立雅在减污降碳、资源回收、数字化能源管理等方面的专业技术和知识，助力粤港澳大湾区早日实现“双碳”目标，进一步推动城市智慧能源管理建设。　　今年，国家电动汽车电池及充电系统产业计量测试中心落户光明，集聚了电动汽车计量测试领域领先的技术、人才、装备与资质，致力搭建开放、共享的公共技术平台，通过政产学研联动，在智能网联汽车、新型电池、新能源、测量人工智能、高端仪器仪表研发等领域协同创新，打造世界一流科学城的计量测试高地。　　政策方面，光明区陆续出台“8+5”产业集群专项政策、 “1151”产业空间政策、行业发展和人才政策，光明区还将在深圳市出台的《支持电化学储能产业加快发展的若干措施》的基础上，制定出台区级电化学储能、光伏储能充电等新能源领域专项扶持政策，驱动绿色循环低碳发展。同时，在马田街道打造平方公里级的新能源新型产业社区，将光明科学城全域打造成为新能源新材料、新技术新产品的应用示范场景。　　光明照耀未来。光明区还将继续发挥创新链、产业链、资金链和人才链“四链”融合发展优势，重点围绕新型储能、光伏、氢能等领域强势布局，朝着建设世界一流“超充之城”和新能源产业集聚区目标稳步迈进。

超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器 杨宏兴 1，2，付海金 1，2，胡鹏程 1，2*，杨睿韬 1，2，邢旭 1，2，于亮 1，2，常笛 1，2，谭久彬 1，2 1 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，黑龙江 哈尔滨 150080； 2 哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室，黑龙江 哈尔滨 150080 摘要 针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求，哈尔滨工业大学深入探索了传统的共 光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差 精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉仪，激 光真空波长相对准确度最高达 9. 6×10-10，位移分辨力为 0. 077 nm，光学非线性误差最低为 13 pm，最大测量速度 为 5. 37 m/s。目前该系列仪器已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测 试领域，为我国光刻机等高端装备发展提供了关键技术支撑和重要测量手段。 关键词 光学设计与制造；激光干涉；超精密高速位移测量引 言 激光干涉位移测量（DMLI）技术是一种以激光 波长为标尺，通过干涉光斑的频率、相位变化来感知位移信息的测量技术。因具有非接触、高精度、高动 态、测量结果可直接溯源等特点，DMLI 技术和仪器被广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、 精密运动测试与高端装备集成等场合。特别是在微电子光刻机等高端装备中嵌入的超精密高速激光干涉仪，已成为支撑装备达成极限工作精度和工作效率的前提条件和重要保障。以目前的主流光刻机为例，其内部通常集成有 6 轴至 22 轴以上的超精密高速激光干涉仪，来实时测量高速运动的掩模工件台、 硅片工件台的 6 自由度位置和姿态信息。根据光刻机套刻精度、产率等不同特性要求，目前对激光干涉的位移测量精度需求从数十纳米至数纳米，并将进一步突破至原子尺度即亚纳米量级；而位移测量速度需求，则从数百毫米每秒到数米每秒。 对 DMLI 技术和仪器而言，影响其测量精度和测量速度提升的主要瓶颈包括激光干涉测量的方法原理、干涉光源/干涉镜组/干涉信号处理卡等仪器关键单元特性以及实际测量环境的稳定性。围绕光刻机等高端装备提出的超精密高速测量需求，以美国 Keysight 公司（原 Agilent 公司）和 Zygo 公司为代表的国际激光干涉仪企业和研发机构，长期在高精度激光稳频、高精度多轴干涉镜组、高速高分辨力干涉信号处理等方面持续攻关并取得不断突破， 已可满足当前主流光刻机的位移测量需求。然而， 一方面，上述超精密高速激光干涉测量技术和仪器 已被列入有关国家的出口管制清单，不能广泛地支撑我国当前的光刻机研发生产需求；另一方面，上述技术和仪器并不能完全满足国内外下一代光刻机研 发所提出的更精准、更高速的位移测量需求。 针对我国光刻机等高端装备研发的迫切需求， 哈尔滨工业大学先后探索了传统的共光路双频激光干涉测量方法和新一代的非共光路双频激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差精 准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等关键技术方 面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉 仪，可在数米每秒的高测速下实现亚纳米级的高分辨力高精度位移测量，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域。该技术和仪器不仅直接为我国当前微电子光刻机研发生产提供了关键技术支撑和核心 测量手段，而且还可为我国 7 nm 及以下节点光刻机研发提供重要的共性技术储备。高精度干涉镜组设计与研制 高精度干涉镜组的 3 个核心指标包括光学非线性、热稳定性和光轴平行性，本课题组围绕这 3 个核心指标（特别是光学非线性）设计并研制了前后两代镜组。 共光路多轴干涉镜组共光路多轴干涉镜组由双频激光共轴输入，具备抗环境干扰能力强的优点，是空间约束前提下用于被测目标位置/姿态同步精准测量不可或缺的技术途径，并且是光刻机定位系统精度的保证。该类干涉镜组设计难点在于，通过复杂光路中测量臂和参考臂的光路平衡设计保证干涉镜组的热稳定性，并通过无偏分光技术和自主设计的光束平行性测量系统，保证偏振正交的双频激光在入射分光及多次反射/折射后的高度平行性［19- 20］。目前本课题组研制的 5 轴干涉镜组（图 11） 可实现热稳定性小于 10 nm/K、光学非线性误差小于 1 nm 以及任意两束光的平行性小于 8″，与国 际主流商品安捷伦 Agilent、Zygo 两束光的平行性 5″~10″相当。 图 11. 自主研制的共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图非共光路干涉镜组 非共光路干涉镜组在传统共光路镜组的基础上， 通过双频激光非共轴传输避免了双频激光的频率混叠，优化了纳米量级的光学非线性误差。2014 年，本课题组提出了一种非共光路干涉镜组结构［2，21］，具体结构如图 12 所示，测试可得该干涉镜组的光学非 线性误差为 33 pm。并进一步发现基于多阶多普勒 虚反射的光学非线性误差源，建立了基于虚反射光迹精准规划的干涉镜组光学非线性优化算法，改进并设计了光学非线性误差小于 13 pm 的非共光路干涉镜组［2-3］，并通过双层干涉光路结构对称设计保证热稳定性小于 2 nm/K［22- 25］。同时，本课题组也采用多光纤高精度平行分光，突破了共光路多轴干涉镜组棱镜组逐级多轴平行分光，致使光轴之间的平行度误差 逐级累加的固有问题，保证多光纤准直器输出光任意 两个光束之间的平行度均小于 5″。 图 12. 自主设计的非共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图基于上述高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技 术，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉仪 （图 17），其激光真空波长准确度最高达 9. 6×10-10 （k=3），位移分辨力为 0. 077 nm，最低光学非线性误差为 13 pm，最大测量速度为 5. 37 m/s（表 2）。并成功应用于上海微电子装备（集团）股份有限公司 （SMEE）、中国计量科学研究院（NIM）、德国联邦物理技术研究院（PTB）等十余家单位 ，在国产光刻机、国家级计量基准装置等高端装备的研制中发挥了关键作用。 图 17. 自主研制的系列超精密高速激光干涉仪实物图。（a）20轴以上超精密高速激光干涉仪；（b）单轴亚纳米级激光干涉仪；（c）三轴亚纳米级激光干涉仪超精密激光干涉仪在精密工程中的实际测量， 不仅考验仪器的研制水平，更考验仪器的应用水 平，如复杂系统中的多轴同步测量，亚纳米乃至皮 米量级新误差源的发现与处理，高水平的温控与隔 振环境等。下面主要介绍超精密激光干涉仪的几 个典型应用。 国产光刻机研制：多轴高速超精密激光干涉仪 在国产光刻机研制方面，多轴高速超精密激光 干涉仪是嵌入光刻机并决定其光刻精度的核心单元之一。但是，一方面欧美国家在瓦森纳协定中明确规定了该类干涉仪产品对我国严格禁运；另一方面该类仪器技术复杂、难度极大，我国一直未能完整掌握，这严重制约了国产光刻机的研制和生产。 为此，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉测量系统，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域，典型应用如图 18 所示，其各项关键指标均满足国产先进光刻机研发需求，打破了国外相关产品对我国 的禁运封锁，在国产光刻机研制中发挥了重要作用。在所应用的光刻机中，干涉仪的测量轴数可达 22 轴以上，最大测量速度可达 5. 37 m/s，激光真空 波 长/频 率 准 确 度 最 高 可 达 9. 6×10−10（k=3），位 移 分 辨 力 可 达 0. 077 nm，光 学 非 线 性 误 差 最 低 为 13 pm。 配 合 超 稳 定 的 恒 温 气 浴（3~5 mK@ 10 min）和隔振环境，可以对光刻机中双工件台的多维运动进行线位移、角位移同步测量与解耦，以满足掩模工件台、硅片工件台和投影物镜之间日益复杂的相对位置/姿态测量需求，进而保证光刻机整体套刻精度。图 18. 超精密高速激光干涉测量系统在光刻机中的应用原理及现场照片国家级计量基准装置研制：亚纳米精度激光干涉仪 在国家级计量基准装置研制方面，如何利用基本物理常数对质量单位千克进行重新定义，被国际知名学术期刊《Nature》评为近年来世界六大科学难题之一。在中国计量科学研究院张钟华院士提出的“能量天平”方案中，关键点之一便是利用超精密激光干涉仪实现高准确度的长度测量，其要求绝对测量精度达到 1 nm 以内。为此，本课题组研制了国内首套亚纳米激光干涉仪，并成功应用于我国首套量子化质量基准装置（图 19），在量子化质量基准中 国方案的实施中起到了关键作用，并推动我国成为首批成功参加千克复现国际比对的六个国家之一［30- 32］。为达到亚纳米级测量精度，除了精密的隔振与温控环境以外，该激光干涉仪必须在真空环境 下进行测量以排除空气折射率对激光波长的影响， 其测量不确定度可达 0. 54 nm @100 mm。此外，为了实现对被测对象的姿态监测，该干涉仪的测量轴 数达到了 9 轴。图 19. 国家量子化质量基准及其中集成的亚纳米激光干涉仪 结论 近年来，随着高端装备制造、精密计量和大科学装置等精密工程领域技术的迅猛发展，光刻机等高端制造装备、能量天平等量子化计量基准装置、 空间引力波探测等重大科学工程对激光干涉测量技术提出了从纳米到亚纳米甚至皮米量级精度的 重大挑战。对此，本课题组在超精密激光干涉测量方法、关键技术和仪器工程方面取得了系列突破性进展，下一步的研究重点主要包括以下 3 个方面： 1）围绕下一代极紫外光刻机的超精密高速激光干涉仪的研制与应用。在下一代极紫外光刻机中，其移动工件台运动范围、运动精度和运动速度将进一步提升，将要求在大量程、6 自由度复杂耦合、高速运动条件下实现 0. 1 nm 及以下的位移测量精度，对激光干涉仪的研发提出严峻挑战；极紫外光刻机采用真空工作环境，可减小空气气流波动和空气折射率引入的测量误差，同时也使整个测量系统结构针对空气- 真空适应性设计的复杂性大幅度增加。2）皮米激光干涉仪的研制与国际比对。2021年， 国家自然科学基金委员会（NSFC）联合德国科学基 金会（DFG）共同批准了中德合作项目“皮米级多轴 超精密激光测量方法、关键技术与比对测试”（2021 至 2023 年）。该项目由本课题组与德国联邦物理技术研究院（PTB）合作完成，预计将分别研制下一代皮米级精度激光干涉仪，并进行国际范围内的直接 比对。3）空间引力波探测。继 2017 年美国 LIGO 地面引力波探测获诺贝尔物理学奖后，各国纷纷开展了空间引力波探测计划，这些引力波探测器实质上就是巨型的超精密激光干涉仪。其中，中国的空间引力波探测计划，将借助激光干涉仪在数百万公里距离尺度上，实现皮米精度的超精密测量，本课题组在引力波国家重点研发技术项目的支持下，将陆 续开展卫星- 卫星之间和卫星- 平台质量块之间皮米级激光干涉仪的设计和研究，特别是皮米级非线性实现和皮米干涉仪测试比对的工作，预期可对空间引力波探测起到积极的支撑作用。本课题组在超精密激光干涉测量技术与仪器领域有超过 20 年的研究基础，建成了一支能够完全自主开发全部激光干涉仪核心部件、拥有完整自主知识产权的研究团队，并且在研究过程中得到了 12 项国家自然科学基金、2 项国家科技重大专项、2 项 国家重点研发计划等项目的支持，建成了超精密激光测量仪器技术研发平台和产业化平台，开发了系列超精密激光干涉测量仪，在国产先进光刻机研发、我国量子化质量基准装置等场合成功应用，推动了我国微电子光刻机等高端装备领域的发展，并将通过进一步研发，为我国下一代极紫外光刻机研 发、空间引力波探测、皮米激光干涉仪国际比对提供支撑。全文详见：超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器.pdf

8月9日，我国自主研发的质子位移损伤效应模拟试验装置（PREF）——60MeV质子加速器建成出束，首次成功储存、加速、慢引出质子到实验终端。质子位移损伤效应模拟试验装置（PREF）由中国科学院近代物理研究所承担建设，可提供10-60MeV能量段连续精确可调、高流强、高占空比、大扫描面积的高品质质子束流，是目前国内唯一的位移损伤效应模拟试验专用装置。质子位移损伤效应模拟试验装置——60MeV质子加速器全景图。受访者供图基于几代离子加速器设计、建造的技术和经验积累，近代物理研究所加速器团队首次在超小型质子同步加速器中采用了钛合金瓷环内衬极高真空室及全储能非谐振大功率电源新技术，研发了快上升全波形动态磁场补偿和全系统同步性实时测量技术，实现了加速器全过程数字模拟和束流的精准操控。同时，团队还通过工程全系统BIM（建筑信息模型）建模，严控工艺规范和流程，实现了工程质量大幅提升，为装置的高效运行打下了良好基础。据了解，该装置基于重大基础前沿研究需求而研发，将填补我国空间辐射效应试验能力缺项，成为承载我国空间科学、空间技术和国产宇航元器件发展的重要试验平台。同时，该装置的建成出束也将为我国应用加速器的进一步推广打下坚实基础。PREF质子同步环束流强曲线。受访者供图

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100g 、± 300g 、± 500g(各行业选 1 项)，精度优于 1% 载荷范围 0～100kN、0～ 500kN、0～1000kN(各行业选 1 项)，精度分别优于 1%、2%、3%。 /p p 　　 strong 1.2高性能轴承动态和渐变可靠性设计理论 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究滚动轴承渐变劣化(如疲劳和磨损等) 规律和内外部振动行为 研究渐变失效和振动效应交互影响机理，建立动态和渐变可靠性设计模型及相关理论 研究滚动轴承可靠性设计技术及试验测试装置，并开展相关试验。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 开发滚动轴承可靠性设计方法 1 套 构建滚动轴承的故障模式、失效案例、可靠性设计的数据库，覆盖疲劳、磨损、振动失效模式和可靠性设计数据 10 种以上 可靠性试验测试装置 1 套，完成 3 种典型产品的可靠性试验。 /p p 　　 strong 1.3液压元件及系统智能化基础技术 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究电液深度融合的智能液压元件及动力单元，探索液压元件内部流量、压力、温度和位移等信息的集成测量新技术 研究多液阻独立控制的离散型液压元件的强非线性控制与适应调节机制 研究液压元件及动力单元的服役性能与寿命预测、典型应用案例的安全风险评估方法。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 工业用有线或无线可编程电调制液压阀样机2 种以上，具备介质的流量、压力、温度等测量功能，综合测量精度优于 1% 液阻离散独立的智能液压阀控制器、液压阀样机及测量系统，系统控制精度优于 3% 动力单元具有在线状态监测、故障诊断、服役性能与寿命预测等功能， 故障诊断覆盖率不低于 80%。 /p p 　　 strong 1.4齿轮传动系统动力学基础理论及其健康监测 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究齿轮传动系统非线性动力学特性、几何与运动误差回溯、振动噪声预估与主动控制理论与方法 研究齿轮性能退化规律和典型损伤机理、监测信号解耦及故障诊断方法，建立多维监测参数特征与健康状态的映射关系 开发传动系统健康状态监测系统，并在风电等领域进行试验验证。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 建立齿轮传动系统动力学优化方法，完成不少于 1 种产品动力学优化 开发传动动力学仿真软件 1 套， 仿真精度不低于 85% 研制传动系统健康监测样机 1 套，故障监测准确度不低于 90%。 /p p 　　 strong 1.5新型高性能精密传动基础理论与技术 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究零隙精密传动及大速比传动新原理与新构型 研究相应的数字化设计方法、啮合副复杂曲面制造关键技术 开展传动效率、承载能力、温升、寿命等试验，并在航空等领域进行试验验证。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 开发新型精密齿轮传动装置不少于3种 其中，零隙精密传动空载回差小于 5 角秒，传动误差小于 60 角秒 在相同试验条件下，承载能力、寿命等较现有传动提高 20%。 /p p 　　 strong 1.6高功率密度微纳振动能量收集器前沿技术 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究工业振动环境下，振动摩擦、振动压电、振动电磁的高效能量收集转换方法 研究微纳振动能量收集器的先进材料和高效能量收集结构设计技术 研究能量存储及低功耗调理电路设计与系统集成技术 研制高功率密度摩擦能量收集器、压电能量收集器、电磁能量收集器原型器件， 并在工业现场无线传感网节点试验验证。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 振动频率覆盖 1Hz～500Hz，摩擦能量收集器峰值功率密度≥400μW/mm2，压电能量收集器归一化功率密度≥5μW/( mm3· g 2 )，电磁能量收集器归一化功率密度≥0.5μW/(mm3· g 2)。 /p p 　　 strong 1.7跨尺度微纳米三坐标测量基础理论与技术 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究三维纳米位移和定位的测量理论与技 术 研制高分辨力三维组合纳米测头 研究微纳三坐标测量机量值溯源技术 研究典型微型零件三维准确测量方法及技术 研制微纳米三坐标测量机样机，在精密微型零件加工和微纳制造领域进行试验验证。 /p p 　　 strong 考 核 指 标 ： /strong 微 纳 米 三 坐 标 测 量 机 量 程X× Y× Z ≥100mm× 100mm× 50mm 三维测量分辨力优于 1nm 最大允许误差(E3)(250+4.5× 10 -6L)nm 实现宽度低至 100μm的结构内尺寸及形状三维测量。 /p p 　　 span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong 2.共性关键技术类 /strong /span /p p strong 　　2.1工业机器人减速器轴承关键技术及工业验证平台 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究工业机器人减速器轴承的高精度及长寿命设计方法 研究薄壁及柔性等特殊轴承套圈批量化磨削、热处理等精密加工技术 研究工业机器人减速器轴承性能和寿命试验验证技术及装备 制定工业机器人减速器轴承试验技术规范 搭建工业机器人减速器轴承系列产品工业性验证平台，开展系列产品的寿命、摩擦力矩、振动、温升等试验， 研究成果在工业机器人上实现应用。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 开发工业机器人减速器轴承设计方法 1 套 RV 减速器轴承精度达到 P4 级、试验寿命≥6000 小时，谐波减速器轴承精度达到 P4 级，试验寿命≥8000 小时 平台具备80mm～260mm 内径轴承的寿命、摩擦力矩、振动、温升等测试能力，试验技术规范数≥1 在 5 家以上企业应用，装机系列数≥6。 /p p 　　 strong 2.2大功率风电主轴及增速箱轴承关键技术及工业验证平台 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究大功率风电主轴及增速箱轴承的长寿 命、可靠性设计分析技术 研究抗疲劳制造工艺等轴承控型控性技术 研究轴承性能和耐久性强化试验技术及装备 制定大功率风电主轴及增速箱轴承试验技术规范 建立大功率风电主轴及增速箱轴承系列产品工业性验证平台，开展寿 命、振动、温升等性能试验，研究成果在大功率风电机组上实现应用。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 开发风电主轴及增速箱轴承数字化设计软件≥1 套 4MW 以上风机主轴及增速箱轴承精度等级不低于P5，增速箱高速端轴承温度≤85℃，理论寿命、强化试验寿命≥20 年 应用企业不少于 2 家，装机不少于 10 台套 平台具备200mm～1180mm 内径轴承的寿命、振动、温升等性能测试能力，试验技术规范≥1 套。 /p p 　　 strong 2.3微小型液压元件关键技术 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究高功率密度电-机械转换器、低液动力阀口的设计和制造工艺 研究高功率密度液压泵旋转组件的设计和加工工艺 研究微小型液压阀和液压泵的性能测试方 法 在航空航天、石油装备等领域进行试验验证。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 研制不少于 4 种规格的高压微小型液压泵和液压阀样机，泵排量≤5mL/r，阀流量≤5L/min，响应时间0.5ms～1.5ms 制定微小型液压阀和液压泵性能测试规范2项 开发微小型液压阀和液压泵性能测试装备1套。 /p p 　　 strong 2.4海工装备用长寿命耐腐蚀液压元件及系统关键技术 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究海洋环境下活塞杆耐腐蚀涂层技术与工艺 研究海洋环境下长寿命液压缸密封技术 研究液压控制系统的稳定性、工况适应性等关键技术，在大型海上风机、海洋平台升降与波浪补偿装置等海工装备中验证。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 缸径 250mm～650mm，活塞杆涂层弯曲疲劳试验≥500 次(无裂纹)，中性盐雾实验时间≥5000 小时 研制 2 种以上典型海工装备用液压系统。 /p p 　　 strong 2.5高性能机械密封关键技术与工业试验平台 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究机械密封关键元件表面精密成形、智能化监控与检测技术 研究高温高压多介质机械密封试验和综合性能评估技术 研究面向油、水和气介质的机械密封元件工业试验平台。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 关键元件表面微槽深度误差不超过 5%，曲面轮廓误差≤1μm，表面粗糙度 Ra≤0.1μm 平台可进行高温高压多介质试验，具备线速度 250m/s、温度 500℃、压力25MPa、转速 50000r/min 的产品试验能力。 /p p 　　 strong 2.6高速重载锥齿轮传动关键技术 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究高速重载弧齿锥齿轮传动的动态设计理论，系统动力学仿真与结构动力学优化 研究锥齿轮复杂齿面高效切齿和精密磨齿数字化仿真技术及软件 研究锥齿轮疲劳寿命加速试验技术 在航空传动领域开展应用验证。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 开发不少于 2 类高速重载锥齿轮，转速≥8000rpm，单对齿轮功率密度≥450kW/kg 齿轮加工精度高于5级，传动效率≥96%，寿命提高 20% 开发高速重载锥齿轮数字化制造软件 1 套，高速重载锥齿轮疲劳寿命试验装备1套。 /p p 　　 strong 2.7高长径比零件高效清洁热处理技术 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究高长径比零件热处理应力/变形演变规 律、数值模拟与表面热处理强化机理及基础工艺，热处理表面强化层控制技术 研究高长径比零件高效感应热处理和真空热处理技术 开发高效清洁热处理装备，实现滚动部件等典型高长径比零件在微电子制造、航空航天等领域的应用验证。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 高长径比零件感应热处理装备 1 套，可处理零件直径 50mm～200mm、长度≥5m，可实现零件淬硬层厚度 4mm～12mm、硬度均匀性≤± 1HRC、变形量≤1mm/m 真空热处理装置 1 套，加热温度≤1150℃，有效加热区炉温均匀性≤± 5℃，压升率≤5× 10-1Pa/h，可实现零件硬度均匀性≤± 2HRC 感应和真空热处理及变形控制后的零件表面硬度均匀性≤± 1.5HRC，淬透层深度均匀性优于± 0.03mm 。 /p p 　　 strong 2.8清洁切削共性关键技术 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究高速干切工艺使能关键技术，建立基础数据库 研究微量润滑切削与低温冷却切削装置及相关功能部件 研究高稳定性清洁切削工艺技术及高生物降解微量润滑切削液 开展航空航天典型材料的清洁切削试验验证。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 高速干切工艺基础数据库涵盖多种典型材料和工艺，及其相关的百种以上工况基础数据 适用于车、铣加工工艺的低温微量润滑装置及相关功能部件不少于 6 种， 低温冷却切削装置的最低输出温度低于-190℃ 清洁切削机床周边悬浮颗粒物浓度≤.5mg/m3 切削液生物降解率≥95% 完成不少于 3 种典型材料清洁切削试验验证。 /p p 　　 strong 2.9硅基 MEMS 高深宽比结构无损测量技术 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究 MEMS 高深宽比结构三维几何特征快速无损测量原理和方法 研究测量系统设计、光学显微传感、微弱信号采集与处理、校准与误差补偿、量值溯源等关键技术 研制高深宽比三维特征尺寸快速无损测量系统，并在MEMS 工艺线试验验证。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 沟槽深宽比≥20：1，深度测量范围10mm～ 300mm，深度测量不确定度≤0.5%(k=1) 线宽测量范围2mm~30mm，线宽测量不确定度≤1%(k=1) 单点测量时间≤5s。 /p p 　　 strong 2.10硅基 MEMS 厚金属薄膜关键技术 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究硅基 MEMS 厚金属薄膜工艺兼容性，研究高质量厚金属薄膜制造工艺、薄膜特性测试技术 研究硅基厚金属薄膜 MEMS 结构释放工艺技术，研究 MEMS 继电器的高可靠设计、制造及封装等关键技术 开发硅基 MEMS 厚金属薄膜成套制造工艺技术，在航空航天重大技术装备中应用。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 硅基衬底圆片直径≥150mm，金属薄膜厚度≥5mm，薄膜厚度误差≤± 3%，薄膜应力≤150MPa MEMS 继电器负载电流≥500mA，接触电阻≤500mΩ，开关寿命≥1× 106次，成品率≥85%。 /p p 　　 strong 2.11高性能微纳温度传感器关键技术 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究耐高温柔性曲面衬底上薄膜材料热电特性、快速响应敏感单元设计技术，曲面衬底上高温温度传感器的高可靠性设计及制造关键技术 研究光学温度传感器回音壁谐振腔、模式调控、频率锁定等关键技术 研制曲面高温温度传感器和高分辨率温度传感器原型器件，并在航空航天重大技术装备中试验验证。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 曲面衬底高温温度传感器测量范围-60° C～ 1800° C，误差≤± 1.5%FS，响应时间≤10ms 高分辨率温度传 感器测量范围 20° C～40° C，分辨力≤1μK/。 /p p 　　 strong 2.12硅基 MEMS 气体传感器关键技术 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究硅基 MEMS 气体传感器芯片集成化设计技术 研究硅基 MEMS 红外光源、光学微腔、光学天线、红外探测器、温度传感器等核心部件与集成制造技术 研究标校算法、边缘计算、ASIC 芯片闭环控制、环境效应等非色散红外(NDIR)气体检测系统集成关键技术 实现传感器在流程工业中应用。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 气体传感器量程二氧化碳(0～5000ppm)、二氧化硫(0～100ppm)、氮氧化物(0～50ppm)、甲醛(0～ 100ppm)、丙酮(0～100ppm)，测量误差≤± 2%。系统芯片尺寸≤20mm× 10mm× 5mm ，长期稳定性≤1%FS/年，制定传感器规范或标准≥2 项。 /p p 　　 strong 2.13高性能磁传感器关键技术 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究并优化高性能磁传感器芯片制造工艺技术 研究高性能磁传感器的高灵敏结构设计和高可靠封装技术 研究磁编码器与转速测量涉及的 ASIC 芯片、软件算法、测控接口等 形成制程规范，在数控机床、工业机器人、伺服电机等装备应用。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 磁传感器灵敏度 100mV/V/Oe，本底噪声≤10pT/@1Hz，体积≤30mm× 30mm× 5mm，成品率≥85% 伺服电机磁绝对位置编码器精度优于 0.02° ，成套制程规范≥2 项。 /p p 　 span style=" color: rgb(0, 0, 0) " 　 strong 2.14仪表专用微控制器芯片设计及应用关键技术 /strong /span /p p strong 　　研究内容： /strong 研究数据采集、处理、存储、通信等高度集成的工业自动化仪表芯片设计技术 研究针对高度集成仪表芯片的软件可重用开发方法，开发典型功能库 研究仪表高密度集成设计等关键技术 基于上述芯片，开发核心零部件自主可控的温度、压力、流量、电动执行器等小型化仪表， 并开展应用验证。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 微控制器芯片模/数转换精度不低于 16 位， 内嵌 32 位微处理器，内嵌 HART、FF、Profibus 等通信控制器 完成不少于 100 台小型化仪表应用验证。 /p p 　　 span style=" color: rgb(0, 0, 0) " strong 2.15多参数危险气体在线分析关键技术 /strong /span /p p strong 　　研究内容： /strong 研究在线分析仪器紧凑型核心部件高密度集成技术 研究含固、液杂质的工业气体在线测量预处理技术及装置 研究一氧化碳、二氧化碳、氧气、甲烷、硫化氢、氨气等多组分气体浓度、多参量集成测量技术 研制高安全多参数小型化危险气体在线分析仪器 在典型工业过程领域开展应用示范。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 工业主要危险气体测量线性精度优于± 1%FS 温度在线测量范围 30℃～1500℃，压力在线测量范围覆盖 0～0.3MPa 在冶金、石化、化工等两类以上工业领域的爆炸性气体环境危险区域开展应用示范。 /p p 　　 strong 2.16六自由度激光自动精准跟踪测量关键技术 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究六自由度激光跟踪测量原理与方法，建立相应的数学模型，攻克目标捕获与跟踪、高精度绝对测距、高精度姿态测量、数据解算、性能校准与精度补偿等关键技术 研制六自由度激光跟踪测量原理样机，在机器人校准、飞机和燃气轮机装配等领域开展试验验证。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 最大跟踪测量半径 30m，空间坐标测量精度≤10ppm，姿态测量精度≤0.03° ，最大跟踪速度 2m/s。 /p p 　　 strong 2.17工业现场通信质量分析关键技术 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究典型工业通信协议的报文快速分析、在线通信质量评估与分析诊断技术 研究强干扰工业环境下工业通信物理层信号的多参数测量、环境干扰在线评估与分析诊断技术 研制工业现场通信质量分析仪器，在制造领域开展试验验证。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 工业通信协议分析种类≥6 种、工业以太网通信分析种类≥6 种，通信质量分析报文覆盖率≥90% 仪器具备通信物理信号的电压差、抖动、上升时间、下降时间、比特时间、传输速率、传输延迟、同步精度等指标在线监测功能，具备数据链路层时间同步与 MAC 层、传输层、网络层和应用层分析功能，具备在线设备列表拓扑监视、错误报文率和循环通信调度分析等功能。 /p p 　　 strong 2.18功能安全与信息安全融合的仪表共性关键技术 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究仪表功能安全和信息安全融合理论与方法 突破仪表冗余设计、失效诊断、故障控制、安全通信、访问控制、事件及时响应等关键技术 研制具有功能信息安全融合能力的变送器/执行器等仪表 在石油、化工、火电等 典型行业开展应用验证。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 仪表实现安全完整性等级 SIL2，信息安全等级 SL2，整体诊断覆盖率≥90%。 /p p 　　 span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong 3.应用示范类 /strong /span /p p strong 　　3.1工程机械大扭矩轮毂驱动关键技术及应用示范 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 构建大扭矩轮毂驱动系统多变工况下的载荷谱，研究驱动行星齿轮传动系统集成设计方法 研究轮毂驱动系统多体动力学及可靠性，轮毂驱动系统热平衡及传动效率 研究轮毂驱动系统零部件制造工艺与关键技术，在大型工程机械中应用示范。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 载荷谱数据库 1 个，设计分析软件 1 套 大扭矩轮毂驱动系统扭矩≥1× 106N· m ，减速比≥32，传动效率≥90%。 /p p 　　 strong 3.2铝合金承力结构件挤压铸造成形技术及应用示范 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 开发适合车辆承力结构轻量化的铝合金高性能挤压铸造成形关键技术 建立铝合金挤压铸造成形材料—工艺—组织—性能仿真模型和测试平台 建立不同重量、形状、尺寸的挤压铸造产品开发试验平台 研究典型零件轻量化结构设计、工艺优化、性能评价技术，在车辆制造领域应用示范。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 挤压铸造产品开发试验平台具备 0.05kg～ 30kg 或投影面积 10cm2～3000cm2 承力结构件的挤压铸造能力 铝合金承力结构件抗拉强度≥280MPa ， 屈服强度≥220MPa，延伸率≥8% 铸件尺寸精度≥CT6 级 形成至少5种典型承力结构件的挤压铸造成形工艺示范生产线。 /p p 　　 strong 3.3高强度铝合金大型薄壁件精密铸造技术及应用示范 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究铝合金精密铸件控形控性方法及精密铸件凝固控制技术、数字化精密铸造技术 研究铝合金高真空压铸技术 研制典型高强度铝合金大型薄壁件，在航空航天、汽车等领域应用示范。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 铝合金铸件外形尺寸≥1.5m，300℃条件下抗拉强度≥185MPa、延伸率≥5% 大型铝合金框架类铸件关键尺寸精度 CT7～8 级，内部质量达 I 类要求。铝合金真空压铸型腔真空度≤10kPa，铸件抗拉强度≥250MPa、延伸率≥10% 形成 3 种以上铝合金关键部件的生产应用示范。 /p p 　　3 strong .4高性能光栅位移传感器开发及应用示范 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究玻璃、石英、金属及陶瓷基底光栅的超长大幅面、可复制、高精度制造技术 开发超精密、大幅面、多自由度、宽温域的高性能系列光栅位移传感器 研究超高细分技术、信号处理与融合技术以及系统集成技术。完成光栅传感器的技术研发，并在精密制造和高端测量装备中应 用。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 线位移纳米光栅分辨率 0.1nm，精度 200nm， 光栅长度≥50mm 角位移光栅分辨率 0.01& quot ，精度 0.2& quot ，光栅幅面最大外径 500mm 二维光栅分辨率 1nm，精度 1μm，光栅幅面 500mm× 500mm 宽温域位移传感器温度范围-60° C～ 1000° C，测量精度 0.2mm，光栅长度 20mm 产品成品率≥90%。 /p p 　　 strong 3.5工业仪表制造过程智能标定系统开发及应用示范 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究压力和流量等仪表标定环境智能控制技术及装置 研究多批量、多品种仪表自适应装夹，仪表标定系统参数自配置，仪表参数自修正等关键技术 研制核心零部件自主可控的压力和流量等仪表制造过程批量化智能标 定系统。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 压力仪表批量标定最大允许误差 0.015%，温度补偿范围覆盖-40℃～80℃，单次温度补偿台数≥50 流量仪表标定系统最大允许误差 0.2%，单次标定台数≥10 在 2 家以上仪表制造企业开展应用示范。 /p p 　　 strong 3.6芯片封装缺陷在线视觉检测仪开发及应用示范 /strong /p p strong 　　研究内容： /strong 研究自适应多模式照明、光学自动对焦、高速图像采集与处理、精准定位与同步控制、图像配准与三维重构、复杂缺陷识别分类等关键技术，研制高灵敏度半导体芯片封装缺陷在线视觉检测仪，开展应用示范。 /p p 　　 strong 考核指标： /strong 仪器检测灵敏度优于 0.5μm，最大检测运动速度 100mm/s，缺陷检测准确率≥99% 在 2 家以上芯片生产企业开展不少于 5 套样机的应用示范。 /p p br/ /p

记者从近日召开的国家电动汽车试验示范区成立12周年座谈会上获悉，我国唯一电动汽车试验基地――国家电动汽车试验示范区迎来了新一轮发展契机，有望建设成为国家电动汽车检测试验中心，目前已被列入广东省电动汽车发展行动计划。 　　国家电动汽车试验示范区于1998年6月在广东汕头市正式启动，至今已走过12年创业历程。经过12年的不懈努力，示范区不仅全面地出色地完成国家交赋的各项科研与建设任务，而且全面地经历了电动汽车从研究、开发到产业和运行、示范、试验、检测的过程，采集了大量的技术数据，积累了丰富的经验，为我国电动汽车产业决策提供真实有效的数据依据，为我国其他城市开展电动汽车运行示范提供有益的借鉴。试验示范区建成了3个电动汽车专有的检测实验室和1个数据中心，具备了部分电动汽车的检测试验能力，成为我国目前唯一建设电动汽车检测能力的基地。 　　据了解，试验示范区至今已获取专利技术9项，参与了国家数拾项标准制定，并作为主编单位编制《电动公共汽车通用技术条件》标准，为广东省内以及外省45家电动汽车、电池生产厂家研发的电动汽车与动力电池进行检测试验，为这些厂家加速研发进程、修正技术路线和改进产品，提升技术水平发挥了积极作用。 　　试验示范区已成为电动汽车研究、开发的前沿，国内外合作交流的窗口，人才培养的平台。12年来，试验示范区同美国电动汽车(亚洲)公司中国一汽合作，开展混合动力汽车的研发，同国内相关单位合作开展纯电动汽车的研发。上万人次各级领导、国内外专家、业界人士、国际友人莅临示范区视察、考察、开展调研、学术研究和交流活动，并已成为清华大学、北京交通大学、南航大学、上海交通大学、湖南大学、长沙交通大学、中山大学、华南理工大学等本科生、研究生实习和实践基地，被誉为“世界最优秀、功能齐全的示范区”，被称为“中国电动汽车的摇篮”。 　　据国家电动汽车试验示范区主任孙兆祺和“国家863”重大项目专家王璟琳认为，面对我国经济持续快速增长所面临能源和环境问题的双重压力，特别是能源问题已逐渐成为影响国家安全的重要因素的新动态，发展节能与新能源汽车是我国国民经济可持续发展的战略需要，也是对应世界汽车工业发展的激烈竞争，提高我国汽车工业核心竞争力，建设自主创新体系的迫切需求。 　　据介绍，推广使用电动汽车有利于调整车用能源结构，实现多元化，减少(轻)对石油的依赖，乃至最终不再依赖。从能源利用率上讲，电动汽车节能作用也是显而易见，从原油到车辆车轮驱动、电动汽车能量转换率比燃油车辆高约50%，节能意义重大。从使用环节上，电动汽车的环保特性不容置疑，对环境几乎不造成污染，尤其是纯电动汽车和燃料电池电动汽车。电动汽车的推广应用是节能，改善城市空气质量，保护生态环境的必然要求。对于用户而言，电动汽车以其无排放或低排放(混合动力汽车)低噪声、安全、舒适和使用的经济性的优点，将提高人们的生活质量，提高人们环保意识起到应有的作用。 　　“广东已经明确在国家电动汽车试验示范区的基础上，建设国家电动汽车检测试验中心。这是汕头，也是试验示范区新一轮发展的战略机遇。”他们如是说。 　　他们表示，试验示范区将按汕头市委、市政府决策和要求，努力推进四大方面的工作：一是积极配合汕头市委、市政府在汕实现电动汽车产业的目标，协助即将在汕启动建设电动汽车关键零部件产业基地的民营企业，推进这朝阳产业早日建成 二是尽快落实广东省政府批转《广东省电动汽车发展行动计划》的建设内容，把落户汕头建设的国家电动汽车试验示范区建设成为国家电动汽车检测试验中心 三是利用试验示范区具备的条件、能力和12年来从事的电动汽车运行、试验、示范积累的经验，积极推进汕头市电动汽车的示范推广，希望汕头电动汽车运行示范能够形成规模化 四是按照汕头管辖的南澳县的发展思路，以保护南澳生态环境的主旨，以构建南澳原生态型产业体系为命题，以电动汽车项目为载体，发展海岛低碳经济，促进海岛经济建设，，会同有关方面就项目建设和引资工作付之积极努力。

近日从在苏州召开的“创新驱动发展成就展暨军民融合交流大会”上获悉，我国拥有自主知识产权的世界最大单台推力电动振动台在苏州问世。这台推力达到50吨的大型电动振动台由苏州东陵振动试验仪器公司独立研发，已通过中国计量科学研究院的校准验证。 　　据该公司总设计师江运泰介绍，研究团队在50吨振动台的研发过程中，相继攻克了动圈的一阶轴向共振频率控制、驱动线圈绕组冷却效果控制、内短路环冷却效果控制、功率放大器与振动台阻抗匹配等关键技术难关。与国外单台最大推力电动振动台相比，新问世的振动台在最大正弦力、最大位移、最大随机力等5项关键技术指标上领先，其他3项关键技术指标持平。 　　据了解，在产品故障失效事件中，30%的事件是由振动引起的。因此，振动试验成为预计产品的振动特性以及检验产品性能及其可靠性的必不可少的技术手段。 　　近年来，我国相继开展登月工程、大飞机工程、高铁工程等国家重点工程，对振动试验设备的推力需求不断加大，国内科研单位迫切需求大推力的电动振动试验设备。在单台50吨电动振动器问世之前，国内外为满足振动试验需求，采取两台或多台振动台并机激振的方式来解决单台振动台激振推力不足的难题。“并机系统有诸多先天性缺陷，是一种推力达不到情况下的权宜之策。”江运泰告诉《中国科学报》记者。 　　他介绍说，多台并机结构需要在多台小推力的振动台顶部附加一个大尺寸、大质量的公共台面，附加台面易引起台面振型模态的变化、大幅降低台面运动的均匀度指标等试验问题，从而使整个振动试验系统的有效推力与可靠性大幅降低。 　　该公司于2008年研制出35吨级电动振动台，打破了欧美对该设备的技术垄断与禁运封锁，成为当时世界上最先进的电动振动台。中国工程院院士王子才表示，50吨电动振动台部分指标已经达到并超过国际先进水平，“让国际为之振动”。

2012年11月15日，欧盟《官方公报》刊登一则和玩具安全指令(第2009/48/EC号指令)有关的通报。根据指令条文，欧盟国家须于2011年7月20日前实施该项指令。 　　通报列出多项安全标准的最新名称及参考编号。该等标准关乎(1)玩具的机械及物理特性 (2)玩具的易燃性 (3)供家庭使用的动态玩具 (4)电动玩具。 　　欧盟标准化机构欧洲标准委员会(CEN)及欧洲电工技术标准委员会(CENELEC)制订的安全标准，补充了玩具安全指令附件二所载的基本安全要求。于2012年11月15日发出的通报，提及由欧洲电工技术标准委员会订立的电动玩具安全标准，其参考编号为EN 62115:2005/A11:2012。这项欧洲标准列出的电力安全规定，是针对供14岁以下儿童使用，至少有1个功能依靠电力运作的玩具。 　　指令本身也对玩具的电力特性订立具体规定。根据指令，在欧盟销售的玩具和玩具零件： 　　不得由额定电压超过24伏特的直流电源或相当的交流电源驱动 　　须有妥当的绝缘装置及机械保护，以防范触电风险 　　须确保直接可触及表面的最高温度不会导致烫伤 及 　　须没有由雷射光束、发光二极管(LED)或任何其他辐射引致眼睛或皮肤受伤的风险。 　　受欧洲电工技术标准委员会新电动玩具安全标准监管的玩具，例子包括电动组装玩具、实验型玩具、电动功能玩具及视频玩具。使用电力以支援次级功能的玩具，例如内部装有电灯的娃娃屋，也落入这项标准的监管范围。 　　新电动玩具安全标准修订了欧洲标准EN 62115: 2005，只涵盖玩具的电力安全方面。非电力安全事宜，由EN 71系列监管。下列为新标准的部分重点： 　　升温及不正常运作 – 评估装有保护性电子电路的玩具：装有保护性电子电路的玩具，必须符合标准所列的要求。测试旨在检查玩具不会因为电磁现象而失灵，影响安全。 　　升温及不正常运作 – 可触及部分的升温情况：玩具若超过针对较低年龄组别的升温上限，必须附有警告字句，声明不适合较低年龄组别儿童使用。 　　关于电脑玩具的规定：玩具的使用说明应指出该玩具只能连接某一种设备，或导电部分不可被触及。导电部分和可触及部分之间的绝缘体至少须有1毫米厚度，并能承受一项1500伏电强度测试。至于连接电脑或同类装置的电脑玩具，可触及部分和导电部分之间至少须有1.5毫米的爬电距离及电气间隙。 　　使用变压器的玩具—新警告规定：使用变压器的玩具，必须附有年龄警告，例如「警告：不适合36个月以下儿童」，让消费者购买该产品时注意得到。除了年龄警告，亦应附有关于变压器的危险警告，例如「不当使用变压器可引致触电」。 　　通报列出的标准，业者可以付费购买，详情可向欧洲标准化机构(欧洲标准委员会、欧洲电工技术标准委员会)或欧盟成员国的标准化机构查询。www.cen.eu 及 www.cenelec.eu载有联络资料。

2023年6月5日，某电动汽车沿沪杭高速驶出杭州收费站时，因碰撞收费站设施后起火，造成车上4人死亡 ；2023年8月1日，在浙江义乌机场路，一辆新能源汽车在行驶过程中撞向路柱，导致车辆起火。据通报，该事故造成驾驶员死亡；仅仅一周后，另一辆电动汽车在成都市二环高架路上，因撞上道路分岔路口隔离岛，随后车辆发生严重火灾并引起爆炸，驾驶员被困在燃烧的车内无法逃生，最终丧生。 据应急管理部门统计公布的最新数据显示，仅2023年第一季度，新能源汽车自燃率就上涨了32%，平均每天就有8辆新能源汽车发生火灾（含自燃）。电动汽车自燃的原因，主要包括两种，分别是“电失控”、“热失控”。“热失控”指的是电池内部温度持续升高。导致电池出现热失控的原因有很多，例如电池材料的化学活性、电池管理软件故障、电芯或电池包遭遇外力破坏等。 新能源汽车在行驶过程中发生碰撞后，容易导致电池包和电芯变形，从而引起电池短路出现“热失控”，是目前引起新能源汽车自燃频率高的原因之一。那么，该如何从源头避免这些事故的发生呢？电动汽车产量的激增也引发了多起火灾事件的头条新闻经过事实验证热像仪在减少电动汽车火灾方面颇有成效具体是如何操作的？一起来瞧瞧1非接触检测焊接，避免电池破裂电动汽车的电池组是将所有合格的单个锂电池以串联或并联的形式焊接为电池组。但如果焊接不当，最终产品可能会出现故障。电阻和输出可能会受到影响，直接影响电池的寿命。通常，焊接由工厂工人手动检查，不过这是一种破坏性的测试方法，电池可能会破裂。现如今，检查焊接接头的一种非破坏性和非接触式方法是使用热像仪。由于焊缝显示的温度略有不同，我们可以很容易地检测到焊接不良的接头，比如接缝不平整或温度略微升高表明焊接有缺陷。这种检测方法已经在美国各行各业盛行。2迅速检测漏液，保护人员安全制造过程中随时可能发生肉眼几乎无法察觉的电池漏液，从而导致电池组损坏。泄漏的液体一旦接触到皮肤，就会带来极大危险。选择FLIR红外热像仪，即使微小规模的漏液也能检测到。使用FLIR T系列热像仪识别电池漏液当电池的密封破裂时，液体沉积在电池外层，此时可检测到温差。如图所示，高分辨率的FLIR T系列红外热像仪无需接触，即可在几秒钟内高效识别此类微小规模漏液。3大范围监测电池的微小升温变化尽管每个阶段都会进行充分测试，但偶尔仍会有故障电池进入生产线。在测试阶段中，故障电池可能会呈现出微小温差。肉眼可能无法看到，而使用FLIR热像仪则可轻松捕捉。锂电池装置呈现升温不均使用FLIR热像仪检测，其结果的温度读数可以精确到小数点后一位，能够捕捉微小温差。制造期间升温不均的另一个例子发生在组装电池组后的测试过程中。在充放电循环过程中，电池组容易发热。而在此测试阶段中，若不监测温度，电池组极有可能起火。这可以使用热电偶（一种非破坏性接触方法）来完成，但一次只能监测一个点的温度。锂着火速度极快，且一旦与水接触就会发生反应，因此若锂电池在工厂中起火，灭火将非常困难。4实时监控电池组充放电，避免火灾发生测试的最后阶段包括电池的充放电。在此阶段中，电池组的温度可能会升至高出环境温度5至6℃。我们可以使用FLIR热像仪记录锂电池组的表面温度，并在不接触电池组的情况下估计其内部温度。正在进行充放电循环的电池充电循环中的电池组在电池组充电时，我们可以透过表面清晰地看到其中的热点。这有助于我们查明潜在问题并定位问题。由此，制造商们可选择FLIR监控用红外热像仪全天候监测被测电池，以防任何电池发热引发火灾。5看透EV车内部，监控温度变化电动汽车由电池、电机和逆变器3个主要部件组成。新能源汽车组装完毕后，可在使用过程中利用红外热成像技术监测其温度变化。考虑到最近在各地电动汽车起火次数攀升，这项应用极具价值，因为它不仅为电池制造过程提供了解决方案，还能监测机器的其他部件。EV电动汽车内部图像尽管在电动汽车生产制造的过程中有很多预防方法，但FLIR红外热像仪提供的解决方案从源头减少了火灾发生的可能。未来新能源电动汽车的需求将会越来越大，为避免火灾事故的频繁发生，应严格控制动力电池的质量。事实证明，FLIR红外热像仪在动力电池的研发、制造、使用过程中都能参与！目前FLIR有多款动力电池检测相关产品正在火热开展粉丝福利活动只要你有检测需求都可参加联系我们告知需检测的设备获得免费巡检一次的机会

2016年5月，Labthink拉力机系列仪器再添新成员。MEGA1500多工位拉力试验仪和MEGA1510电子万能试验仪正式问世，在满足GB、YBB、ASTM、ISO、JIS诸多国内外标准的基础上，实现了“多工位”和“大量程”的完美结合。　　作为Labthink第二台六工位拉力机，MEGA1500的力值传感器最高规格达1000N，尚属首例。该款仪器集拉伸、剥离、撕裂、热封、粘合等多种独立测试功能于一体，其测试原理为：将试样装夹于夹具的两个夹头之间，两夹头做相对运动，通过位于动夹头上的力值传感器和机器内置的位移传感器，采集到试验过程中的力值变化和位移变化。仪器通过内置软件能自动计算试样的拉伸、撕裂、变形率等性能指标，并提供定伸应力、弹性模量、应力应变等数据分析。该仪器具有0.5级超高测试精度，用户可根据自身需求从50N、100N、200N、500N、1000N五种规格力值传感器中择一而定，配合仪器的六工位设计，即能获得精确的试验结果和高效的测试体验。　　突破不断，一直是Labthink坚守的工作信条之一。在其推动下，诞生了MEGA1510电子万能试验仪，彻底填补了Labthink万能试验机的空白。该仪器采用传统的单工位设计，在保持一贯的0.5级高精度的同时，最大承载负荷达到10000N，并增加了抗压性能检测，满足了更多大力值测试项目的需要。　　针对拉力机系列仪器，Labthink研制了百余种专用夹具以拓展设备的应用范围，上述两款仪器也同样适用，如表1。这在检测需求日趋多样化的今天来说，具有重要的实用意义。表1 MEGA1500和MEGA1510基础应用和扩展应用基础应用拉伸性能、拉伸强度与变形率、拉断力、抗撕裂性能、热封强度性能、90°剥离、180°剥离、抗压性能*扩展应用 （需特殊附件或改制）组合盖开启力ZD型瓶盖撕开力口服液盖撕开力倾斜90°输液袋盖拉拔力胶订书页撕开力胶粘物撕开力倾斜23°瓶盖拉拔力带袋输液袋盖拉拔力胶带90°剥离力黏附强度测试（硬）90°水性膏药剥离力果冻杯和酸奶杯开启力黏附强度测试（软）牙刷刷毛拉拔力软管盖剥开力导管和导管接头脱离力化妆刷刷毛拉拔力胶塞拔出力绳类拉断力保护膜分离力奶杯杯膜剥离力热封膜撕开力瓶膜45°剥离力自封袋袋口拉力离型纸分离力135°插销剥离力胶带解卷力裤型撕裂力20°斜面剥离力浮辊剥离夹具偏心夹具宽试样夹具日式夹具英式夹具容器抗压缩力*海绵抗压缩力*注：*为MEGA1510独有，其余皆为共有项目。

近期，海洋二所王春生研究员团队借助ZooSCAN浮游动物图像扫描分析系统对东海的浮游生物样品进行粒径多样性分析，获得的关键数据解释了东海西部浮游动植物生物量之间的时空不匹配现象，为进一步验证粒径多样性假说在实际生态系统或实验中的可靠性提供了方法。相关成果以“Seasonal variation in size diversity: Explaining the spatial mismatch between phytoplankton and mesozooplankton in fishing grounds of the East China Sea”为题发表于Ecological Indicators期刊（IF=4.96，中科院二区）。孙栋副研究员为论文第一作者，刘镇盛研究员和王春生研究员为论文的共同通讯作者。 研究背景东海（ECS）是中国最重要的渔场。在以往的实地研究中，一直发现东海中浮游植物的种群数量与浮游动物生物量之间没有正相关关系。这种现象称为“浮游植物和中型浮游动物之间的不匹配”或“Z/P的变异”。 在浮游生态系统中，物种之间的营养关系会受到群落粒径结构的强烈调节。标准化粒径谱（NBSS）的斜率和群落粒径多样性被认为是粒径结构框架中的两个关键参数。另外，有研究发现，水生群落中食肉动物的存在会阻碍初级生产者向植食性动物传递能量的效率，即当中型浮游动物处于较强的捕食压力下时，它们对浮游植物的控制较弱。此外，还有人认为大型的初级生产者是中型浮游动物的首选，初级生产者的粒径结构变化将影响沿海水域浮游植物和浮游动物之间的营养关系。因此，浮游动物标准化粒径谱（NBSS）的斜率、浮游动物群落粒径多样性、浮游动物食性鱼类的捕食压力及较大型初级生产者的存在都可能会造成东海出现浮游植物和中型浮游动物之间不匹配的现象。研究成果研究团队在东海西部的32个站点进行了采样（图1）。在2019年1月、4月、7月和10月进行的4个航次中，总共收集了122个中型浮游动物样本用于数据分析。 图1. 中国东海西部两个重要渔场的海流和采样站点图。在每个站点进行浮游生物采样和环境调查。箭头表示台湾暖流（TWC）和东海沿岸流（ECSCC）。 收集到的样品使用法国HYDROPTIC公司的ZooSCAN浮游动物图像扫描分析系统（图2）进行测量。在使用过程中，直接将处理好的浮游动物样品倒入ZooSCAN 11cm×24cm的扫描区域中进行扫描, 每次扫描通常测量500-4000个个体，扫描精度为4800dpi，以得到浮游动物样品的图片；之后使用仪器配套的ZooProcess软件对样品图片进行处理，得到浮游动物数量、不同浮游动物的等效球体直径（ESD）等关键生态学数据，由此计算浮游动物个体的粒径、生物量；此外，利用仪器携带的软件上的数据库，可以对被检测对象自动进行浮游动物种类分类，以便对不同类群的浮游动物进行生物学统计。图2. 浮游动物图像扫描分析系统ZooSCAN 此外，采用标准方法测得单位面积浮游动物食性鱼类的生物量（kg km-2），代表对中型浮游动物的捕食压力。测得20 μm Chl a/总Chl a的比值作为浮游植物粒径结构的代用指标，代表较大的初级生产者。使用线性混合效应模型（LMM）研究Z/P如何受到浮游动物群落粒径多样性、NBSS斜率、浮游动物食性鱼类的捕食压力以及较大的初级生产者比率的影响。以此来验证造成浮游植物和中型浮游动物之间不匹配的四个假设：（a）中型浮游动物标准化粒径谱（NBSS）更平坦的斜率提高了Z/P；（b）较高的中型浮游动物粒径多样性增强了Z/P；（c）来自浮游动物食性鱼类的更强的捕食压力降低了Z/P；（d）规模较大的初级生产者提高了Z/P。统计结果表明log2（Z/P）存在较强的季节性变化。春季中，粒径多样性是唯一重要的解释变量（p = 0.004）。夏季中，粒径多样性、NBSS斜率和浮游动物食性鱼类的生物量都是重要的解释变量（p 在ZooSCAN浮游动物图像扫描分析系统的助力下，研究团队验证了东海西部浮游植物与中型浮游动物生物量之间空间不匹配（Z/P的变异）的假设，并得出结论：除冬季外，浮游动物的粒径多样性是东海中各季节Z/P空间变化的最佳解释。该研究受到了国家重点研发计划课题（2018YFC1406304）和国家自然科学基金面上项目（42076122, 41976091）的共同资助。

压电位移台常用术语中英文对照表Absolute accuracy : Deviation between the actual position and the desired one. If a stage has to move 100µm but it moves only 99.99µm (measured through an ideal scale), then the inaccuracy is 10nm. The permanent positioning error along an axis is designated as accuracy. Absolute accuracy is aff¬ected by calibration errors, linearity errors, hysteresis, Abbe errors and positioning noise. 绝dui精度：实际位置与所需位置之间的偏差。 如果一个平台必须移动 100µm，但它仅移动 99.99µm（通过理想标尺测量），则误差为 10nm。 沿轴的泳久定位误差称为精度。 绝dui精度受校准误差、线性误差、滞后、阿贝误差和定位噪声的影响。Backlash : Backlash is a positioning error occurring upon change of direction. Backlash can be caused by insufficiently preloaded thrust or inaccurate meshing of drive components, for example gear teeth. Piezoconcept’s flexure motion translation mechanism and piezo actuator designs are inherently backlash free. 齿隙：齿隙是在运动方向改变时发生的定位误差。 齿隙可能是由于预载推力不足或驱动部件（例如齿轮齿）啮合不准确造成的。 Piezoconcept 的弯曲运动平移机构和压电致动器设计本质上是无间隙的。Bandwidth : The frequency range to which the amplitude of the stage' s motion is dropped by 3dB. It reflects how fast the stage can follow the driving signal. 带宽：载物台运动幅度下降的频率范围为3dB。 它反映了平台能够以多快的速度跟随驱动信号。Drift : A position change over time, which includes the e¬ffects of temperature change and other environmental e¬ffects. The drift may be introduced from both the mechanical system and electronics. 漂移：位置随时间的变化，包括温度变化和其他环境影响的影响。 漂移可能来自机械系统和电子设备。Friction : Friction is defined as resistance between contacting surfaces during movement. Friction may be constant or speed dependent. Because they use flexure, the nanopositioners from Piezoconcept are friction free. 摩擦力：摩擦力定义为运动过程中接触表面之间的阻力。 摩擦力可以是恒定的或取决于速度的。 因为使用柔性连接，Piezoconcept 的纳米定位器是无摩擦的。Hysteresis : The positioning error between forward scan and backward scan. A closed-loop control is an ideal solution for this problem and is done by using a network of High Resolution silicon sensor to provide feedback signals. 滞后：前向扫描和后向扫描之间的定位误差。 闭环控制是该问题的理想解决方案，它通过使用高分辨率硅传感器网络提供反馈信号来完成。Linearity error : The error between the actual position and the first-order best fit line (straight line). Our nanopositioning products are calibrated with laser interferometry and the non linearity errors are compensated down to 0.02% of the full travel.线性误差：实际位置与一阶蕞佳拟合线（直线）之间的误差。 我们的纳米定位产品使用激光干涉仪进行校准，非线性误差补偿低至全行程的 0.02%。Orthogonality error : The angular off¬set of two defined motion axes from being orthogonal to each other. It can be interpreted as a part of crosstalk. 正交性误差：两个定义的运动轴相互正交的角度偏移。 它可以解释为串扰的一部分。Position noise : The amplitude of the stage shaking when it is on a static command. It is usually measured and specified with Peak-To-Peak value. It is a combination of the sensor noise, driver electronics noise and command noise, etc. The position noise of our stages is very limited due to the very high Signal-To-Noise ratio of the Silicon HR sensors we use. 位置噪声：在静态命令下载物台晃动的幅度。 它通常用峰峰值来测量和指定。 它是传感器噪声、驱动器电子噪声和命令噪声等的组合。由于我们使用的 Silicon HR 传感器具有非常高的信噪比，我们平台的位置噪声非常有限。Range of motion : The maximum dISPlacement of the nanopositioners. 运动范围（行程）:纳米定位器的蕞大位移。Resolution : The minimum step size the stage can move. 分辨率:舞台可以移动的蕞小步长。Resonant frequency : Piezostage are oscillating mechanical systems characterized by a resonant frequency. The resonant frequency that we give is the lowest resonant frequency that can be seen on a nanopositioner. In general, the higher the resonant frequency of a system, the higher the stability and the widerworking bandwidth the system will have. The resonant frequency of a piezostage is determined by the square root of the ratio of sti¬ness and mass. 谐振频率：压电级是以谐振频率为特征的振荡机械系统。 我们给出的共振频率是在纳米定位器上可以看到的蕞低共振频率。 一般来说，系统的谐振频率越高，系统的稳定性和工作带宽就越宽。 压电级的共振频率由刚度和质量之比的平方根决定。Silicon HR sensor : Piezoconcept use temperature compensated High-Resolution silicon sensors network for reaching highest long-term stability. This measuring device is capable of measuring position noise in the picometer range and its response is not dependent of the presence of pollutants, air pressure changes like other high-end sensors can be. Si-HR 传感器：Piezoconcept 使用温度补偿高分辨率硅传感器网络，以达到蕞高的长期稳定性。 该测量装置能够测量皮米范围内的位置噪声，并且其响应不依赖于污染物的存在，应对改变气压带来的影响与其他高端传感器一样。Step response time : The step response time is the time needed by the nanopositioner to do the travel from 10% of the commanded value to 90% of the commanded value. The step response time reflects the dynamic characteristics of the system and is relatively to the installation method and load of the stage.阶跃响应时间：阶跃响应时间是纳米定位器从指令值的 10% 到指令值的 90% 所需的时间。 阶跃响应时间反映了系统的动态特性，并且与位移台的安装方式和负载有关。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。相关技术文

近日，国家标准《电动汽车非车载充电机电能计量》发布，并将于今年6月1日正式实施。加上去年发布并已于2012年11月1日开始实施的《电动汽车交流充电桩电能计量》国家标准，电动汽车两种充电方式所对应的充电设施都已建立了全国统一的电能计量标准。 　　业内专家表示，这两个标准不但能够解决目前电动汽车充电设施建设中遇到的各地标准不统一的现实问题，而且能够让电动汽车使用者明明白白进行消费，对于电动汽车的推广应用具有重要意义。 　　据《电动汽车非车载充电机电能计量》的主要起草人之一、中国计量院电磁计量所研究员王磊介绍，这两项标准为充电设施商业化运营提供了标准支撑，为规范充电机(桩)和充电计量用电能计量装置的设计、生产及验收提供了技术依据，促进了电动汽车和充电设施产业的发展和应用。 　　电动汽车是国家战略性新兴产业，而健全完善的电设施建设是电动汽车发展的重要基础，是电动汽车大规模推广应用的必要保障。电动汽车的充电方式一般有两种：直流快速充电和交流慢速充电，对应的充电设施分别为直流充电机和交流充电桩。未来电动汽车的大规模发展和运用必将促进充电设施的大面积安装与配置。根据测算，电动汽车与充电设施配置的比例将达到1：1.5。“可以预见，今后将出现大量的与居民及公共服务单位使用电动汽车充电相关的贸易结算，充电设施计量的准确与否也必将成为电动汽车消费者关心与关注的热点问题。”中国计量院电磁计量所所长贺青打了个比方，充电机(桩)就如同加油机。加油机的计量需要监管，充电机(桩)的计量同样需要监管。 　　王磊表示，充电机(桩)等充电设施的电能计量研究比普通的电能计量研究更复杂。以充电桩的计量为例，其主要是交流电计量，但由于涉及到贸易结算，所以充电桩还具有税控功能和通讯数据上传等功能。在对充电桩的电能计量进行研究时，必须将这些因素都加以考虑。 　　据了解，中国计量院对电动汽车相关研究的关注已经多年。贺青带领的团队还承担了“863”现代交通技术领域中重大项目“电动汽车关键技术与系统集成”课题“电动汽车充电设施计量技术及标准研究”。课题将解决目前电动汽车充电基础设施标准不统一和直流电能量值溯源问题，规范电动汽车直流充电机和交流充电桩产品生产，研究充电基础设施现场检定设备及方法。 　　以王磊他们即将开展的充电设施的型式评价方法研究为例，目前国内主要的充电设施生产厂家的充电设备中都装有进行直流电能、交流电能计量的仪表，这些电能表与交直流充电桩(机)是不可分割的整体。因此，仅仅对充电设施内安装的电能表进行检定及型式评价是不完全的，还必须对其中包含的计量软件及整个充电设备进行型式评价，这样才能保证作为一个独立设备的交直流充电桩(机)在使用中能够稳定可靠地工作，保证充电过程中交直流电能计量的准确可靠和计费的公平公正。 　　据贺青介绍，他们正在进行另一项重要研究——“电动汽车换电模式直流电能计量关键技术研究”。当电动汽车的电用完时，如果能像换电池一样，在专门的换电站将用完的电池卸下，重新换上一块已充满电的电池，那将极大地方便电动汽车驾驶者。但如何科学准确地计量新换上电池的电量?“这就是我们正在努力以期解决的换电模式中大电流、动态负荷带来的直流电能准确计量问题。” 　　标准的制定发布只是完成了对电动汽车充电设施计量技术研究的第一步。“我们的任务是要从标准制定、计量基标准研究、现场检定技术及方法研究、型式评价方法研究等全方面开展工作，为推动电动汽车这一新兴战略产业健康、快速、可持续发展打下坚实的基础。”贺青说。

品牌：久滨型号：JB-10名称：汽车单板侧滑试验台产品概述：　　滑板式汽车侧滑检验台是测量汽车车轮，在直线行驶过程中，车轮外倾角和前束的匹配情况，具体用侧滑量来象征。侧滑量是指汽车在没有外加转向力的条件下，低速直线行驶通过检验台时，滑板向内或向外的横向位移量与滑板的纵向长度之比值。侧滑量以m/km表示。汽车侧滑量是汽车安全检测中的重点项目之一。本设备采用高精度的传感器，精度高，可靠性好，操作方便，易于维护。工作原理：　　JB-10侧滑台主要有一块自由滑动的滑板及能反映滑板位移量的传感器组成，当被测汽车通过检验台时，侧滑力使滑板移动，带动传感器拉杆产生位移，从而产生一个相应的电压信号送入处理电路，处理电路经过信号滤波，放大，A/D转换等一系列处理，显示出汽车侧滑量。技术参数：最大承载质量：3t/10t/13t测量范围：±10m/km示值误差：不超过±0.2m/km零位误差：±0.2 m/km滑板长度×宽度：500×700（mm） 台架外形尺寸：（长×宽×高）：800×900×100（mm）引桥尺寸：800×500（mm）本产品执行标准：标准号：JT/T 507 — 2004 汽车侧滑检验台使用注意事项：1、轴重大于检验台允许轴重的汽车，请勿开上试验台。2、不要在检验台台面上进行车辆修理保养工作。3、试验台不用时，用锁止销锁住滑板。4、机械部分的连接要确保牢固可靠，左右车速台一定要平行且水平。5、电气控制箱的电源接入时，要保证相序正确，中线和地线有明显标志，切勿接错6、出于安全原因，系统控制线均采用DC12V，切勿串入强电，损坏设备。7、测试现场地面应保持清洁干燥，严禁洒水，屋顶切勿漏水。创新点：1.汽车单板侧滑试验台可打印数据 2.最大承载质量：3t/10t/13t

电动自行车强制性国标再修订，提高车辆安全我们从工业和信息化部了解到，9月19日工业和信息化部会同公安部、应急管理部等多部门，对最新修订的《电动自行车安全技术规范》进行公开征求意见。图来自网络侵删与现行的《GB 17761-2018 电动自行车安全技术规范 》标准相比，这次的“新国标”，做了以下方面的改进和提升。首先是提高防火阻燃性能，完善了电动自行车所用非金属材料的阻燃要求，限制塑料件使用比例，本征求意见稿中增加了“电动自行车在非必要条件下不应使用塑料件，使用塑料材质部件总质量不超过整车质量5.5%”的要求。其次是防范非法改装行为，明确了电动自行车控制器、蓄电池、充电器应具有互认协同功能，从技术上增加篡改难度。为了保障骑行安全，优化了电动机额定功率和最高转速的测试方法，最高设计车速不超过25km/h，还增加了北斗定位、实时通信功能。此外，为了提升产品实用性，将使用铅蓄电池的整车重量限值由55kg放宽至63kg，并且，不再强制安装脚踏骑行装置。最后，征求意见稿中明确应在产品铭牌上标明建议使用年限，该年限由生产企业自行确定。需要说明的是，只有本标准正式发布后按照新标准生产的新车需要标注建议使用年限，消费者目前已经购买和正在使用的存量电动自行车无需标注。附录：《电动自行车安全技术规范（征求意见稿）》 《电动自行车安全技术规范（征求意见稿）》编制说明

新产品和新技术体现了相关行业的技术发展趋势，定期推出一定数量的新产品和新技术是一个仪器企业创新能力的具体表现。仪器信息网“半年新品盘点”旨在将最近半年内推出的新产品和新技术集中展示给广大用户，让大家对于感兴趣的领域有总体性了解，更多创新产品和更详细内容见新品栏目。 　　试验机是测试、评定和研究材料、零部件、整机(整车)和各类工程项目的物理性能、机械(力学)性能、工艺性能、安全性能、舒适性能的试验仪器和设备，广泛应用于机械、冶金、石油、化工、建材、航空航天、造船、交通运输等领域。 　　据了解，2012年中国试验机的市场容量大约60亿元，规模以上企业约20家左右，而产值在百万元以下的企业大约有200家。2012年下半年据笔者了解公开发布试验机新品的厂商有六家，其中四家产品为传统材料试验机，推出新产品的厂商主要有MTS系统(中国)有限公司、长春机械科学研究院有限公司、上海倾技仪器仪表科技有限公司、上海衡翼精密仪器有限公司。MTS继2010年推出Criterion系列万能试验机之后，时隔两年推出了Exceed系列万能试验机，将中国试验机品牌的成本优势和MTS试验机品牌的技术优势很好地结合起来 长春机械院推出的150吨电子式试验机，将载荷和吨位提高到新的水平，目前属国内最大吨位 上海倾技采用精度更高的传感器，提高了测量结果的准确性。 　　此外，深圳三思纵横科技股份有限公司在非标试验机领域又迈出了一步，研发的三轴五面液压试验系统为国内岩石与地质结构研究提供更为可靠的测试手段 而苏州东菱振动试验仪器有限公司继续完善自己的电动振动台技术，自主研制世界首台单体50吨推力超大型电动振动试验系统，填补国产50吨电动振动台的空白。 　　试验机产品种类繁多，但是其核心技术主要体现在测量元件上，因此谁采用了新的测量元件，谁的产品就提升了档次，谁就能向市场率先推出试验机新产品 同样，谁采用了新的控制元件，提升了控制水平，如拉伸速度、应力速率、应变速率、试验频率、试验模式等，谁就掌握了市场先机 此外，试验机的测量控制软件也是高性能试验机不可或缺的技术关键，也是区分试验机档次的主要考核标准。 　　为了让读者对试验机制造企业和试验机技术有所了解，我们拟对2012年下半年部分新产品介绍如下，以飨读者。 　　材料试验机 MTS系统(中国)公司Exceed系列万能试验机(左图为E45电子万能试验机，右图为E64液压万能试验机) 　　2012年10月，笔者参加了MTS在北京的新品发布会。MTS本次发布的Exceed系列万能试验机产品属于中低端产品，主要应用在QC和QA领域。该试验机的突出特点是其同轴度可以满足脆性、航空材料的标准 控制器有两个模拟输出通道，用户可以将传感器采集到的电信号输入到所需要的系统里，不做任何线性修正，保证信号的真实性 试验机的带宽是可调的，用户可以从0.1到1000HZ根据不同的材料选择不一样的带宽 此外，MTS 耗时5年和微软公司合作研发了一款新的软件TestSuite TW，该软件也应用到了新产品Exceed系列万能试验机中。 长春机械科学研究院有限公司150吨电子式压力试验机 　　2012年10月28日，长春机械科学研究院有限公司集合公司最先进的测试软件和控制器技术的全新电子式大吨位系列试验机新产品在长春亮相。以往，由于技术原因电子式试验机能够达到的最大试验力都比较小，一般在300-500kN，不能满足更大加载试验力的需求。 　　现在，长春机械科学研究院成功研制出国内第一台1500kN电子式试验机。该试验机传动、减速均采用齿形带配丝杆副结构，效率更高，更平稳，噪音小 配置长春机械院最新研制的CLY20型电子万能试验机专用高精度负荷传感器，传感器刚度大、独有的非线性数据校正技术，确保长时工作稳定可靠性 系统采用三闭环控制，无冲击平滑转换，技术运用更成熟。该系列试验机创造了国内电子式试验设备的最大试验力记录，打破了国外企业在大吨位电子式试验设备方面的垄断局面。 上海倾技仪器仪表科技有限公司QJ211S四点静压试验机 　　上海倾技仪器仪表科技有限公司在今年11月推出了QJ211S四点静压试验机。该试验机适用于各种手机玻璃、电脑显示屏、电视屏、钢化玻璃、眼镜玻璃、有机玻璃、特种玻璃等材料的四点静压试验，配上倾技的不同夹具还可以完成材料的三点弯曲、拉伸、剪切、压缩、刺破等多种力学试验。较之前的四点弯曲试验机，该款试验机采用高精密荷重元测量及伺服电机驱动，可以得到精准的弯曲强度结果，可快速、自由调节跨距，还增加了对试验数据进行曲线编辑、叠加、分离、缩放等多项功能。 上海衡翼精密仪器有限公司HY-0230打包带拉力机 　　上海衡翼公司在今年的一月份和二月份连续推出了两款产品，一款是卧式拉力试验机HY-0530，另一款是拉力试验机HY-0350。紧接着在10月又推出了HY-0230打包带拉力机。该款仪器是为客户专门定制的，可以做2500N以内整个材料中拉伸、压缩、弯曲、剥离、刺破等试验 可以全液晶数控设定所需参数，曲线、位移、力值能动态显示在数显器上 彻底改变传统材料试验机机台笨重、操作复杂、性能单一的缺点 此外，此款机器精度高，使用年限达70年之久。 　　结构试验机 深圳三思纵横科技股份有限公司三轴五面液压试验系统 　　深圳三思纵横科技股份有限公司与徐州矿大合作开发的280项目---三轴五面液压试验系统，于2012年12月26日正式通过双方验收。　　此三轴五面液压试验系统具有三轴五面结构，可三轴同步匀速加载，五面同步加载采取联动控制。主油缸最大载荷为20000kN，侧油缸最大载荷8000kN 拥有五个载荷传感器和五个位移传感器 软件可进行相应的曲线采集和分析，生成报告预留了试样开挖空间 可扩展变形测量装置等具有冷却装置，可以超长时间做保载试验。 　　振动台 苏州东菱振动试验仪器有限公司50吨振动台 　　近年来随着我国登月工程、大飞机工程和高铁工程等国家重点工程的飞速发展，其所需要的振动试验系统的最大推力也在不断加大，现有的35吨电动振动试验系统的推力已不能满足试验需求。2011年，东菱自筹经费、自主研制世界首台单体50吨推力超大型电动振动试验系统，并于今年的9月正式亮相。 　　50吨电动振动试验系统振动台部分主要由垂直振动台和水平滑台两大部分组成，4.5m×4.0m×0.08m的水平滑台为世界目前之最 水平滑台台面使用了90个高精度T型导轨，使水平台面在运动中，不仅有了精确的运动轨迹，而且保证了其有足够的抗倾覆力矩的能力，另外T导轨油膜的设计，更使水平台面的承载能力大大提高，以至于可以达到270吨左右 垂直振动台的超大扩展台面，使50吨台体在做垂直振动试验时，承载和抗倾覆力矩的能力大大提高，且使一些大型的试件有一个可靠的载体，对于试验的可靠性更有保证。 　　延伸阅读：2012年上半年仪器新品盘点：试验机