二维整体电控平移台

TSAW系列二维整体电控平移台TSAW系列电控二维整体平移台采用二维整体设计，通过步进电机控制，实现空间X Y两轴位移调整自动化。手动手轮配置电控手动均可。关键零部件：精密滚珠螺杆，弹性联轴器均为进口高品质产品，并提供整机质量保证。电机与滚珠螺杆通过弹性联轴器连接，排除空回及加工形位误差；相对运动部分采用交叉滚柱导轨滚动摩擦；安装限位开关保护产品；标准接口，方便信号传输；台面可装卡载物玻璃，底座有螺纹及通孔两种固定方式，可根据具体情况方便安装。 ■技术规格 型 号TSAW100× 100-XY-(A)行程范围(X轴*Y轴)（mm）100x 100螺杆导程(mm)4重复定位精度(&mu m)＜5； (-A＜3)8细分下分辨率(&mu m)1.25步进电机（步距角）42B(0.9° )额定工作电流（A）1.7最大负载（kg）20

仪器简介：TSAW系列电控二维整体平移台采用二维整体设计，通过步进电机控制，实现空间X Y两轴位移调整自动化。手动手轮配置电控手动均可。技术参数：型 号 TSAW100× 100-XY-(A)行程范围(X轴*Y轴)（mm） 100x 100螺杆导程(mm) 4重复定位精度(&mu m) ＜5； (-A＜3)8细分下分辨率(&mu m) 1.25步进电机（步距角） 42B(0.9° )额定工作电流（A） 1.7最大负载（kg） 20主要特点：关键零部件：精密滚珠螺杆，弹性联轴器均为进口高品质产品，并提供整机质量保证。电机与滚珠螺杆通过弹性联轴器连接，排除空回及加工形位误差；相对运动部分采用交叉滚柱导轨滚动摩擦；安装限位开关保护产品；标准接口，方便信号传输；台面可装卡载物玻璃，底座有螺纹及通孔两种固定方式，可根据具体情况方便安装。

PSAxxx-11-X系列是我公司生产的精密型电控平移台，主体材料采用经过特殊工艺制备的优质合金铝，通过我公司特有的精密磨削加工技术，保证每100mm行程范围内直线度小于10&mu m、平直度小于15&mu m，使得该系列电移台的整体质量达到国内领先水平。产品系列化程度高、通用性强、组合方便，已经广泛应用在各类科研、工业用户的精密光学实验、精密定位和精密加工等各种领域，是性价比超高的电移台产品。 ■产品特点：◆采用研磨级滚珠丝杠，可实现较高的定位精度；◆采用进口线性滑块导轨，配合我公司特有精密磨削工艺，能有效保证电移台的直线度、平直度等指标◆严格的装配工艺和检验方法，保证性能的一致性◆标准步进电机和DB9接口，可灵活选择我公司各类控制器◆具有2个机械限位开关和1个光电零位开关，保证使用安全性同时可以方便的进行定位◆具有各种行程和尺寸，产品非常丰富，采用标准安装孔位，组合方便◆电移台后部（远离电机端）配有手轮，可以进行手动调节，使用非常方便■ 产品一览表 （电控位移台尺寸图--请点击）型 号PSA050-11-xPSA100-11-xPSA200-11 -xPSA300-11-xPSA400-11-x行程（mm）50100200300400螺杆导程（mm）458细分下的分辨率(&mu m)2.53.125最大速度(mm/sec.)4050重复定位精度(&mu m)3回程间隙(&mu m)5运动直线度10&mu m10 &mu m/100mm运动平行度15&mu m15 &mu m/100mm步进电机(步距角)421.8° )57(1.8° )工作电流(A)2.4中心负载(kg)5070 ■特别说明：特殊尺寸规格接受定制,请联系我们. ■接线图■关联产品◆ 42、57步进电机◆ 专用数据连接线◆ 电控位移台控制箱

ASM13-XY-1(1A)二维组合平移台技术指标◆调整维数；XY两维◆行程: Tx,Ty：13mm组合用产品：TSM13-1（1A）精密平移台 两个

技术指标◆调整维数:XY二维◆行程: Tx,Ty:25mm 组合用产品TSM25R-1A平移台 二个特点：采用交叉滚柱轴承，高承载，负载最小10Kg,稳定性好，且间隙小。

KSAxxx-13系列精密电控平移台该系列产品特别针对工业客户研发，底板采用U型新结构，刚性高，特别适合高承载及组维使用。密封采用弹性密封带，保证平移台在运动过程中也能可靠密封。经过严格检测，关键指标达到国际同类产品水平。标配1微米分辨率进口光栅尺（根据客户需要可以选配更高分辨率的光栅尺）。■产品特点：◆配合MC600系列运动控制箱，可实现闭环控制；◆高精密滚珠丝杠驱动，超精密线性滑轨导向，有效保证了运动精度和直线性；◆关键、主要自制件采用超精密加工；◆装配工艺严格、独特，保证了产品的性能一致性；◆左右极限开关和零位开关设置，保证了产品运行安全。■ 产品一览表 型号KSA050-13-XKSA100-13-XKSA200-13-XKSA300-13-XKSA400-13-X行程(mm)50100200300400导程(mm)45闭环分辨率(&mu m)1开环分辨率(&mu m)2.53.125最大速度(mm/sec.)4050重复定位精度(&mu m)3回程间隙(&mu m)5偏摆(&Prime )15202530俯仰(&Prime )15253040运动直线度(&mu m)10121520步进电机(步距角）42(1.8° ）57(1.8° ）工作电流（A）1.72.4

PSAxxx-11-Z 系列精密电控平移台■产品特点：●标准配备有步进电机和RS232接口，配合SC300、MC系列控制器可实现自动控制●研磨级滚珠丝杠、线性滑轨、弹性联轴器等均选用进口高品质产品，提供整机质量保证；●左右极限开关和零位开关设置，保护产品，方便使用，标准接口方便信号传输；●标准孔位方便组成多维系统，方便与我公司其他产品配套；●专有直角固定块连接，有效保证垂直度。●专有失电保护装置，让您使用更放心。★如需要较大的承载,建议加装减速电机 型 号 PSA050-11-ZPSA100-11-ZPSA150-11-ZPSA200-11-ZPSA300-11-ZPSA400-11-Z中心负载5 kg10 kg最大速度40 mm/sec.50 mm/sec.其它指标同PSAXXX-11-X系列

说明：uKSA 系列超高精密电动平移台，按照行程分为50、100、150、200mm等四款产品，是卓立汉光开发的新型电移台，该系列电移台技术指标达到国际水平。 如：闭环分辨率0.1&mu m，每100mm行程，直线度、平直度小于6&mu m。该系列产品配合卓立的控制器，定位于超高精度要求的领域应用，如：超精密的激光 加工、超精密的三维扫描测量等。特点：● 铸钢底座，基准面精密磨削，保证整体性能稳定● 内置进口超高精密光栅尺，闭环分辨率可达0.1&mu m● 采用进口超高等级滚珠丝杠，可实现超高定位精度● 采用进口超高等级交叉滚柱导轨，具有超高运动性能● 标配三相步进电机，有效降低电移台运行时的振动和噪音 电机接线图 光栅尺接线图 配套产品：应用案例： TMC全功能运动控制系统MC6003P系列控制器 选型表：型号uKSA50uKSA100uKSA150uKSA200行程(mm)50100150200滚珠丝杠导程(mm)4电机型号FHB366-D(三相)闭环分辨率(&mu m)0.1最大速度(mm/s)40重复定位精度(&mu m)&le 2&le 2回程间隙(&mu m)&le 1&le 1运动直线度(&mu m)&le 6&le 10运动平直度(&mu m)&le 6&le 10自重(Kg)15182225中心负载(Kg)30

技术指标◆调整维数；XY两维◆行程: Tx,Ty：25mm组合用产品：TSM25-2（1A）精密平移台 两个

仪器简介：TSAG系列电控角位台可使其上固定的光学器件进行倾斜调整，电控角位台采用步进电机驱动，实现倾斜角度调整自动化。电控角位台手动手轮配置，电控角位台电控手动均可。技术参数：型 号 TSAG10-W TSAG15-W行程范围 ± 10° ± 15° 台面尺寸(mm) 65 x 65轴心高（mm） 75 50导轨 弧形导轨传动比 352:1 252:18细分下分辨率 0.00032° 0.00045° 重复定位精度 0.0043° 0.0047° 步进电机(步距角) 42(0.9° )额定工作电流(A) 1.7水平最大负载(kg) 4自重(kg) 0.75主要特点：TSAG系列电控角位台两台成对设计，可叠加，可单独使用。两种旋转半径精心设计，叠加后可绕一共点两维交叉旋转。 电控角位台电机与传动部通过进口高品质弹性联轴器连接，排除空回及加工形位误差；采用蜗轮蜗杆传动；相对运动部分采用弧形导轨滚动摩擦；安装限位开关保护产品；标准接口，方便信号传输。可换装伺服电机。 电控角位台台面标准安装孔位，适合组成多维电控平移台，方便与我公司其他产品配套。

TSAG系列电控角位台TSAG系列电控角位台可使其上固定的光学器件进行倾斜调整，采用步进电机驱动，实现倾斜角度调整自动化。手动手轮配置，电控手动均可。两台成对设计，可叠加，可单独使用。两种旋转半径精心设计，叠加后可绕一共点两维交叉旋转。电机与传动部通过进口高品质弹性联轴器连接，排除空回及加工形位误差；采用蜗轮蜗杆传动；相对运动部分采用弧形导轨滚动摩擦；安装限位开关保护产品；标准接口，方便信号传输。可换装伺服电机。台面标准安装孔位，适合组成多维电控平移台，方便与我公司其他产品配套。■技术规格 型 号TSAG10-WTSAG15-W行程范围± 10° ± 15° 台面尺寸(mm)65 x 65轴心高（mm）7550导轨弧形导轨传动比352:1252:18细分下分辨率0.00032° 0.00045° 重复定位精度0.0043° 0.0047° 步进电机(步距角)42(0.9° )额定工作电流(A)1.7水平最大负载(kg)4自重(kg)0.75

标准型传动采用转造级滚珠丝杠,导轨采用线性轴承,弹性联轴器等均选用高品质产品，提供整机质量保证。左右极限开关和零位光电开关设置，保护产品，方便使用。标准接口，方便信号传输。电机后部配有手轮，可进行手动调节。标准安装孔位适合组成多维电控位移台，并方便与我公司其它系列产品配套。适合载重不大，精度要求高的用户。■产品一览表 （尺寸图请点击）型 号TSA50TSA100TSA150TSA200行 程（mm）50100150200螺杆导程(mm)48细分下分辨率(&mu m)1.252.5最大速度(mm/sec)2040重复定位精度(&mu m)＜5步进电机（步距角）42（0.9° ）42（1.8° ）额定工作电流(A)1.7中心负载(kg)15107自重(kg)2.7533.33.8

仪器简介：卓立汉光研发生产的电移台包括电动平移台，电动旋转台，电控角位台，电控升降台，两维电控平移台，多维电控平移台，电移台控制箱及软件。电移台全称叫电控位移台，因其高精度、快速度、大承载、行程大、自动化而广泛应用于科研、激光应用、全自动计量检测仪器设备、工业自动化等领域；以及实现真空、污染、无菌、辐射等环境下的自动位移控制。技术参数：凯撒-KSA系列高精密电控位移台帕萨-PSA系列精密电控位移台TSA系列电控位移台RAK系列高精密电控旋转台RSA系列精密电控旋转台电控位移台组合应用客户定制系统展示位移台 电控位移台 电移台 电动位移台主要特点：电移台全称叫电控位移台，因其高精度、快速度、大承载、行程大、自动化而广泛应用于科研、激光应用、全自动计量检测仪器设备、工业自动化等领域；以及实现真空、污染、无菌、辐射等环境下的自动位移控制。电控位移系统基本由三部分组成：位移台；驱动电机；控制箱。驱动电机及控制箱主要决定驱动扭矩，分辨率，加减速度，信号处理，使用功能（如扫描，圆弧插补）等性能参数。位移台则是系统的心脏，主要技术指标如位移精度，行程，负载，稳定性，适用环境，外形尺寸均由其决定。运动控制箱 采用多种结构形式，精选优质零部件，涵盖多种精度，多种行程，多种负载，多种外形尺寸。产品适配步进电机和伺服电机（标准品配有步进电机）；可配装光栅尺进行闭环控制，提高精度；可加装防尘罩，适合多种环境。并且，本着服务用户的原则， 我们还在不断的推出更多的新产品，提供更多选择。价格面议。

ASM50-XY两维组合平移台技术指标◆调整维数:XY二维◆行程: Tx,Ty:50mm组合用产品TSM50D-1S平移台 二个特点：实现正交组合的偏大行程的手动平移,而且平台薄,减小了光路的中心高度。

技术指标◆调整维数:XY二维◆行程: Tx,Ty:75mm 组合用产品TSM75D-1C平移台 二个BP-28转接板一个

NFP-2462/3462系列多维超高精密手动平移台 说明：● NFP-2462是将单维的NFP-1462组合成XY二维的超高精密手动平移台，标准产品共3款，您也可以采购单维产品后，自行组合。● NFP-3462是在NFP-2462基础上，安装了Z轴，组合成XYZ三维的超高精密手动平移台，标准产品共3款，您也可以采购单维产品后，自行组合。 NFP-2462CC组合用产品NFP-1462C平移台两个 NFP-2462LL组合用产品NFP-1462SL平移台两个 NFP-2462RR组合用产品NFP-1462SR平移台两个 NFP-3462CCZ组合用产品NFP-1462C平移台 两个NFP-1462CZ平移台 一个NFP-462-Zkit 直角块 一个 NFP-3462LLZ组合用产品NFP-1462SL平移台 两个NFP-1462CZ平移台 一个NFP-462-Zkit 直角块 一个 NFP-3461RRZ组合用产品NFP-1461SR平移台 两个NFP-1461CZ平移台 一个NFP-461-Zkit 直角块 一个

仪器简介：TSAW系列电控二维整体平移台采用二维整体设计，通过步进电机控制，实现空间X Y两轴位移调整自动化。手动手轮配置电控手动均可。技术参数：型 号 TSAW100× 100-XY-(A)行程范围(X轴*Y轴)（mm） 100x 100螺杆导程(mm) 4重复定位精度(&mu m) ＜5； (-A＜3)8细分下分辨率(&mu m) 1.25步进电机（步距角） 42B(0.9° )额定工作电流（A） 1.7最大负载（kg） 20主要特点：关键零部件：精密滚珠螺杆，弹性联轴器均为进口高品质产品，并提供整机质量保证。电机与滚珠螺杆通过弹性联轴器连接，排除空回及加工形位误差；相对运动部分采用交叉滚柱导轨滚动摩擦；安装限位开关保护产品；标准接口，方便信号传输；台面可装卡载物玻璃，底座有螺纹及通孔两种固定方式，可根据具体情况方便安装。

二维电控平移台（载物台）上海昊量光电推出的二维电控平移台是一款体积紧凑的大行程位移平台。该平移台采用精密的交叉滚子轴承和主轴，并进行了优化设计使平移台拥有良好的线性度和平整度。且在提供大行程的同时分辨率可达到亚微米，并且该平台拥有优异的可重复性。此二维平移台有两种不同的配置，一种是封闭框架平台，一种是中空的开放式的平台。产品特点：l 优异的重复精度l 超大行程l 体积紧凑l 可选配直线电机和步进电机l 可按客户要求进行定制 主要应用：l 显微镜平台l 圆形测量对准部件产品参数： UnitsCT250B closed frame CT250B open framemax. loadKg5050max. travelmm6060min. incr. motionmm0.10.1repeatability2 encoder increments2 encoder incrementsmaterialcoated aluminiumcoated aluminium

产品说明双轴整体正交设计、精度高、厚度薄，空间利用率大幅提升；高品质滚珠丝杠驱动，满足高精度、高重复频率的使用要求；均采用精密交叉滚柱导轨，运动平稳，承载大；全闭合台面，实现各类安装孔组合，灵活应用于不同工业场合；标配二相步进电机，也可根据实际使用要求换装五相步进电机或伺服电机；垂直使用需换装抱闸电机； 精密整体二维电动平移台EPSF-N系列通过步进电机控制，可实现空间XY两轴位移调整自动化。该系列产品是OMTOOLS为解决工业生产线、自动化加工装备、自动化观测检测设备等场景中需求而开发设计的。采用交叉滚柱导轨，滚珠丝杠传动，整体式结构设计，有效提高正交度和运动精度。全闭式台面，提供丰富多样的安装孔组合，可以满足各类设备和工件等载物需求。主体材料采用高强度铝合金，表面氧化黑处理，耐磨性好，外观精美。

精密型电动整体平移台: ZT200-15×15产品型号ZT200-15×15结构描述X，Y轴行程15 mm台面尺寸90×90mm螺杆规格高研丝杆副（导程1 mm）导轨交叉滚柱导轨步进电机（1.8°）28STH51H-0674B主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载10 kg重量3.2kg精度描述分辨率2.5μ（无细分）0.125μ（20细分）**速度6mm/sec重复定位精度1.5μ**定位精度5μ直线度5μ运动平行度15μ俯仰50″偏摆25″回程间隙2μ丢步2μ可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)精密型电动整体平移台：ZT200-50×50产品型号ZT200-50×50结构描述X，Y轴行程50 mm台面尺寸155×155mm螺杆规格高研丝杆副（导程1 mm）导轨交叉滚柱导轨步进电机（1.8°）28STH51H-0674B主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载10 kg重量3.2kg精度描述分辨率2.5μ（无细分）0.125μ（20细分）**速度6mm /sec重复定位精度1.5μ**定位精度5μ直线度5μ运动平行度15μ俯仰50″偏摆25″回程间隙2μ丢步2μ可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)精密型电动整体平移台：ZT200-100×100产品型号ZT200-100×100结构描述X,Y轴行程100 mm台面尺寸300×300mm螺杆规格高精密滚珠螺杆（导程4 mm）导轨交叉滚柱导轨步进电机（1.8°）STP-42D3016主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载50 kg重量8.3kg精度描述分辨率20μ（无细分）1μ（20细分）**速度40mm /sec重复定位精度2μ**定位精度3μ直线度5μ运动平行度15μ俯仰50″偏摆25″回程间隙2μ丢步2μ可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)精密型电动整体平移台：ZT200-170×170产品型号ZT200-170×170结构描述行程170 mm台面尺寸300×300mm螺杆规格高精密滚珠螺杆（导程4 mm）导轨交叉滚柱导轨步进电机（1.8）57BYG主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载60 kg重量10.3kg精度描述分辨率20μ（无细分），1μ（20细分）**速度25mm /sec重复定位精度2μ**定位精度3μ直线度5μ运动平行度15μ俯仰50″偏摆25″回程间隙2μ丢步2μ可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)精密型电动整体旋转台：ZT300-XZ□产品特性：■标配步进电机和RS232接口，公司自主研发的ZD-KZ系列运动控制器可对其实现自动化控制■旋转轴系采用多道工艺精密加工而成，配合精度高，承载大，寿命长■采用精密研配的蜗轮蜗杆结构，运动舒适，可以任意正向和反向旋转且空回极小■设计精巧的消空回结构，可调整长期使用造成的空回间隙■特殊的结构设计保证了旋转台面极低的端跳和偏心，使旋转运动更加平稳■旋台的中心通孔与旋转中心有严格的同轴度要求，旋台的中心孔径有严格的配合公差限制，方便客户做精密定位■台面外围的刻度圈是激光刻划标尺，标尺可相对台面转动，方便初始定位和读数■步进电机和蜗杆通过进口高品质弹性联轴节连接，传动同步，消偏性能好，大大降低了偏心扰动且噪音小■可增加限位功能，增加初始零位，换装伺服电机，加装旋转编码器，接受产品的改制和量身定制产品型号ZT300-XZ结构描述角度范围绕X，Y，Z三轴360°台面尺寸150×150mm传动比180∶1驱动机构蜗轮和蜗杆机构导轨形式轴承步进电机(1.8°)57BYG主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑中心承载10kg重量10kg精度描述分辨率0.01°=36″（无细分）0.0005°=1.8″（20细分）速度25°/sec重复定位精度0.005°=18″**定位精度0.01°=36″端跳精度15μ空回0.005°=18″偏心20μ丢步0.005°=18″平行度100μ

PSAxxx-11-X系列是我公司生产的精密型电控平移台，主体材料采用经过特殊工艺制备的优质合金铝，通过我公司特有的精密磨削加工技术，保证每100mm行程范围内直线度小于10&mu m、平直度小于15&mu m，使得该系列电移台的整体质量达到国内领先水平。产品系列化程度高、通用性强、组合方便，已经广泛应用在各类科研、工业用户的精密光学实验、精密定位和精密加工等各种领域，是性价比超高的电移台产品。 ■产品特点：◆采用研磨级滚珠丝杠，可实现较高的定位精度；◆采用进口线性滑块导轨，配合我公司特有精密磨削工艺，能有效保证电移台的直线度、平直度等指标◆严格的装配工艺和检验方法，保证性能的一致性◆标准步进电机和DB9接口，可灵活选择我公司各类控制器◆具有2个机械限位开关和1个光电零位开关，保证使用安全性同时可以方便的进行定位◆具有各种行程和尺寸，产品非常丰富，采用标准安装孔位，组合方便◆电移台后部（远离电机端）配有手轮，可以进行手动调节，使用非常方便■ 产品一览表 （电控位移台尺寸图--请点击）型 号PSA050-11-xPSA100-11-xPSA200-11 -xPSA300-11-xPSA400-11-x行程（mm）50100200300400螺杆导程（mm）458细分下的分辨率(&mu m)2.53.125最大速度(mm/sec.)4050重复定位精度(&mu m)3回程间隙(&mu m)5运动直线度10&mu m10 &mu m/100mm运动平行度15&mu m15 &mu m/100mm步进电机(步距角)421.8° )57(1.8° )工作电流(A)2.4中心负载(kg)5070 ■特别说明：特殊尺寸规格接受定制,请联系我们. ■接线图■关联产品◆ 42、57步进电机◆ 专用数据连接线◆ 电控位移台控制箱

OMSDH02交叉滚柱导轨系列二维手动平移台（XY方向）产品介绍：OMSDH02交叉滚柱导轨系列二维手动平移台（XY方向），主体材料采用铝合金，灵敏度高，外形尺寸小使用交叉滚柱导轨，为分厘卡或螺纹副驱动，该系列产品具有小于2um的灵敏度。平移台采用交叉滚柱导轨结构，承载能力更大，移动的稳定性和平稳性更好。采用微分头调节，可以直接读数，使用十分方便，是最广泛应用的平移台款式之一。产品底部有安装螺孔，可以直接连接其他台面，或者转接到安装底板上再固定于光学平台或平板上使用。标准产品材料是优质航空铝，如有特殊需要也可做不锈钢材质的平移台。 产品特点：■采用交叉滚柱导轨，负载能力强，耐磨性好，保证了产品的灵敏度等关键指标■ 主体材料采用铝合金，表面发黑处理，适合于光学实验等对于手动调节精度要求较高的领域使用■ 具有分厘卡驱动方式，每种产品分为左侧、右侧、中间驱动，非常灵活方便,客户可根据需求选择■产品尺寸丰富，配套性好，交货期短，性价比高。 选型表：型号OMSDH02AEOMSDH02AFOMSDH02AGOMSDH02AHOMSDH0ABIOMSDH0ABJ 机械规格台面尺寸(mm)40X4060X6065X6580X80100X100125X125行程(mm)X轴:13X轴:13X轴:25X轴:25X轴:25X轴:25Y轴:13Y轴:13Y轴:25Y轴:25Y轴:25Y轴:25使用标准平移台X轴: SPYD40L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD60L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD65L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD80L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD100L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD125L(R)(ZL)(ZR)Y轴: SPYD40L(R)(ZL)(ZR)Y轴: SPYD60L(R)(ZL)(ZR)Y轴: SPYD65L(R)(ZL)(ZR)Y轴: SPYD80L(R)(ZL)(ZR)Y轴: SPYD100L(R)(ZL)(ZR)Y轴: SPYD125L(R)(ZL)(ZR)传动机构分厘卡导轨（导向机构）交叉滚柱导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重(kg)0.30.450.51.01.42.0 精度规格分厘卡最小读数0.01mm灵敏度2 pm平行度30 pm运动平行度10 pm偏摆(”)25选配安装底板OMLA01NAOMLA02OMLA03OMLA04负载(kg)35571520OMSDH02燕尾副导轨系列二维手动平移台（XY方向）产品介绍：OMSDH02燕尾副导轨系列二维手动平移台（XY方向），采用细牙研磨丝杠调节，结构紧凑，高度较小，可在有限的空间内安装使用，调节方便。平移台采用燕尾副导轨结构，负载能力强。产品底部有标准安装螺孔，可直接固定于光学平台或平板上使用。标准产品材料是优质航空铝，如有特殊需要也可做成不锈钢材质的平移台。 产品特点：■燕尾副导轨，大行程，负载能力强■研磨丝杠螺距小，灵敏度较高■带有刻度尺，读取数据快速便捷■具有锁紧功能，锁紧效果好，稳定性高■具有各种行程和尺寸，产品非常丰富产品选型表：型号OMSDH02AAOMSDH02ABOMSDH02ACOMSDH02AD 机械规格台面尺寸(mm)65X65行程(mm)X轴:25X轴:50X轴:75X轴:100Y轴:25Y轴:50Y轴:75Y轴:100使用标准平移台X轴:SPYB25X轴:SPYB50X轴:SPYB75X轴:SPYB100Y轴:SPYB25Y轴:SPYB50Y轴:SPYB75Y轴:SPYB100传动机构细牙研磨丝杠导轨（导向机构）燕尾副导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重(kg)0.60.70.81.0最小读数0.1mm负载5kg

OMDDH02系列大行程二维电动平移台（XZ方向）OMDDH02系列大行程二维电动平移台（XZ方向），采用精密滚珠丝杆推进，两相步进电机驱动(Z轴电机带抱闸)。标准电动平台为开环系统，可加装光栅尺，实现闭环反馈控制。采用精密直线导轨（方导轨）结构，承载能力更大，移动的稳定性和平稳性更好。二维电动台底面有安装孔，可直接用螺丝固定在各种光学平板、光学平台上面进行操作。 产品特点：U型铝合金底板精加工，表面阳极氧化处理，耐磨性好、外形美观采用进口滚珠丝杠，标配两相步进电机(Z轴电机带抱闸)，可提供较高的分辨率和定位精度；采用进口线性滑块导轨，强度更高、负载能力更强、耐用性更好；配合我公司特有的精密磨削工艺，能有效保证电移台的直线度、平直度等指标内置传感器（正负限位及零位），保证使用安全性同时可以方便的进行定位，并采用高柔线缆模组化，维护更方便具有各种行程和尺寸，产品非常丰富，采用标准安装孔位标准步进电机配有手轮，方便手动调节，可以装光栅尺，安装后闭环分辨率可达1μm OMDDH02系列小行程二维电动平移台（XZ方向）OMDDH03系列小行程二维电动平移台（XZ方向），采用精密滚珠丝杆推进，两相步进电机驱动。该系列产品主体材料采用硬质铝合金，表面黑色阳极氧化处理，耐磨性好、外型美观。产品采用交叉滚柱导轨或直线导轨，强度高、负载能力强、耐用性好，配合导轨面精密磨削技术，使该系列产品具有较高的运动精度。驱动机构采用精密滚珠丝杠（1mm 导程），标配二相步进电机（日本品牌），可提供较高的微步能力和定位精度。该系列产品非常适合集成在对空间、尺寸、重量要求较高的自动化设备、精密仪器设备中，也比较适合使用在运动范围较小、往复频率高的工业生产线中。另外平移台在通电状态下有一定锁紧能力，用户可以选配我们标准控制器对电动台进行操作，也可以自制控制器进行控制。平移台底面有安装孔，可选购我司对应型号的转接板固定在各种光学平板、光学平台上面进行操作。 产品特点U型铝合金底板精加工，表面阳极氧化处理，耐磨性好、外形美观采用小导程滚珠丝杠，标配二相步进电机，微步能力强、耐用性好采用进口交叉滚柱导轨或直线导轨，强度高、负载能力强；配合我公司特有的精密磨削工艺，能有效保证电移台的直线度、平直度等指标内置传感器（正负限位及零位），保证使用安全性同时可以方便的进行定位，并采用高柔线缆模组化，维护更方便具有各种行程和尺寸，产品非常丰富选型表：OMDDH02系列大行程二维电动平移台（XZ方向）型号OMDDH02BAOMDDH02BBOMDDH02BCOMDDH02BDOMDDH02BEOMDDH02BF 机械规格台面尺寸(mm)125X124160X160使用标准平移台X轴:100X轴:200X轴:200X轴:200X轴:300X轴:400Z轴:50Z轴:100Z轴:150Z轴:200Z轴:300Z轴:400X轴:EPSA100X轴:EPSA200X轴:EPSA200X轴:EPSA200X轴:EPSA300X轴:EPSA400Z轴:EPSA50Z轴:EPSA100Z轴:EPSA150Z轴:EPSA200Z轴:EPSA300Z轴:EPSA400传动机构精密滚珠丝杠导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重7.79.410.811.415.517.120细分开环分辨率1μm1.25μm最大速度（mm/s）4050单向定位精度（μm）≤30重复定位精度（μm）≤±3背隙（反冲间隙）（μm）≤3回程间隙（μm）≤5静态平行度（mm）≤0.1运动直线度（μm）≤20≤30运动平行度（μm） ≤30 ≤40偏摆（“）≤30≤40俯仰（“）≤35≤55 电气规格电机及步距角（゜）二相42步进电机，步距角1.8二相57步进电机， 步距角1.8电机品牌及型号雷赛驱动器品牌及型号雷赛滑台接头&光栅尺接头DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）欧姆龙EE-SX951原点传感器（内置）欧姆龙EE-SX951传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计60mA以下控制输出MPN开路集电极输出：DC5-24V 8mA以下残余电压0.3V以下（负载电流2mA时）输出逻辑限位传感器：检测（遮光）时输出晶体管ON（导通）；零位光电传感器：检测（遮光）时输出晶体管OFF（非导通）；负载10kg15kg OMDDH02系列小行程二维电动平移台（XZ方向）型号OMDDH02BGOMDDH02BHOMDDH2BIOMDDH02BJOMDDH02BKOMDDH02BL 机械规格台面尺寸(mm)60X6080X80100X100125X125行程(mm)X轴:20X轴:50X轴:100X轴:50X轴:50X轴:80Z轴:20Z轴:50Z轴:100Z轴:50Z轴:50Z轴:80使用标准平移台X轴:OMSC6020X轴:OMSC6050X轴:OMSC60100X轴:OMSC8050X轴:OMSC10050X轴:OMSC12580Z轴:OMSC6020Z轴:OMSC6050Z轴:OMSC60100Z轴:OMSC8050Z轴:OMSC10050Z轴:OMSC12580传动机构精密滚珠丝杠导轨（导向机构）交叉滚柱导轨线性滑块导轨交叉滚柱导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重1.151.351.72.33.24.2 精度规格整步分辨率（μm）520细分开环分辨率0.25最大速度（mm/s）10单向定位精度（μm）≤30重复定位精度（μm）≤±3背隙（反冲间隙）（μm）≤3回程间隙（μm）≤5静态平行度（μm）≤50运动直线度（μm）≤30运动平行度（μm） ≤25偏摆（“） ≤50俯仰（“）≤50 电气规格电机及步距角（゜）二相28步进电机，步距角1.8二相35步进电机，步距角1.8电机品牌及型号信浓，STP-28D1003信浓，STP-35D2041工作电流（A）1.31.2电机扭矩（Nm）0.07850.18驱动器品牌及型号鸣志SR2滑台接头插线端口滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.2限位传感器（内置）微型传感器原点传感器（内置）微型传感器传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出负载电源：DC5-24VOFF电源：0.5mA以下残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）：位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）；负载4kg5kg

技术指标◆调整维数:XY二维◆行程: Tx,Ty:25mm 组合用产品TSM25R-1A平移台 二个特点：采用交叉滚柱轴承，高承载，负载最小10Kg,稳定性好，且间隙小。

精密电动平移台EPSB系列产品介绍：精密电动平移台EPSB系列产品是OMTOOLS在EPSA系列产品基础上改进而成。产品采用高精密研磨滚珠丝杠、进口精密级自调心滚珠线性导轨和高品质联轴器等部件进行传动，采用大转矩、高稳定性的两相步进电机作为动力源，采用轻量化、高强度的优质铝合金作为主体材料，并结合多年积累特殊加工装配工艺制造而成。产品精度高、承载能力强，稳定性好、通用性强、组合方便，适用于各类科研、工业用户的精密光学实验、精密定位和精密加工等领域，如：高精密激光加工、高精密三维扫描测量等，是性价比超高的电移台产品。 产品特点：■特有的机加工工艺和表面阳极氧化处理，实现精度、耐磨性和外观的完美统一；■研磨级滚珠丝杠传动，传动效率高、启动力矩小、无颤动和滞后，定位和重复定位精度高；■采用进口精密级自调心滚珠线性导轨，通过轻预压装配工艺，负载能力强，运行直线度、平行度好；运行平行度和直线度≤20μm■采用标准两相步进电机驱动，转矩大、稳定性高；■标准电机配有手轮，实现手自调节一体化；■2个机械限位开关，可实现超程降速和限位保护；■1个光电零位开关，实现零位精密定位和误差校正，防止误差累积；■标准DB9接口，通用性强，也可与我公司两相步进电机控制器兼容；■采用标准安装孔位，便于仪器设备安装及多自由度模组组合；■可选配光栅尺进行闭环控制，闭环分辨率可达1μm； 命名规则：EPSB-50G-系列代码：精密电动平移台行程：50：50mm100：100mm150：150mm200：200mm300：300mm400：400mm可定制特殊规格光栅尺：选配：G代表含光栅尺 选型表：型号EPSB50EPSB100EPSB150EPSB200EPSB300EPSB400 机械规格台面尺寸(mm)125X124160X160行程(mm)50100150200300400传动机构精密滚珠丝杠?12X4精密滚珠丝杠?16X4导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）55mm66mm自重3.553.854.154.59.410.8联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）25-6-525-10-6.3520细分开环分辨率1μm最大速度（mm/s）20单向定位精度（参考值μm）≤10≤15≤20≤25≤35≤45重复定位精度（参考值μm）≤±5回程间隙（μm）≤5静态平行度（μm）≤40运动直线度（μm）≤20≤25运动平行度（μm） ≤25≤30偏摆（“）≤50≤60俯仰（“）≤50≤60 电气规格电机及步距角（゜）二相42步进电机，步距角1.8二相57步进电机，步距角1.8电机品牌及型号雷赛工作电流（A）2.54.2电机扭矩（Nm）0.61.3光栅尺品牌贵阳新天驱动器品牌及型号雷赛滑台接头&光栅尺接头两个DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）欧姆龙原点传感器（内置）欧姆龙传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V；OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）；输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）； 负载水平负载20kg30kg倒置负载10kg15kg竖直负载10kg15kg配合Z轴转接板型号OMLB01BOMLB01BOMLB02BOMLB02BOMLB03BOMLB03B最大速度为空载情况下，按照步进电机速度为300 /转理论计算和实际测量值。精密电动平移台 高精度电动位移台 电控位移平台

OMSDH02交叉滚柱导轨系列二维手动平移台（XZ方向）产品介绍：OMSDH02交叉滚柱导轨系列二维手动平移台（XZ方向），主体材料采用铝合金，灵敏度高，外形尺寸小使用交叉滚柱导轨，为分厘卡或螺纹副驱动，该系列产品具有小于2um的灵敏度。平移台采用交叉滚柱导轨结构，承载能力更大，移动的稳定性和平稳性更好。采用微分头调节，可以直接读数，使用十分方便，是最广泛应用的平移台款式之一。产品底部有安装螺孔，可以直接连接其他台面，或者转接到安装底板上再固定于光学平台或平板上使用。标准产品材料是优质航空铝，如有特殊需要也可做不锈钢材质的平移台。 产品特点：■采用交叉滚柱导轨，负载能力强，耐磨性好，保证了产品的灵敏度等关键指标■ 主体材料采用铝合金，表面发黑处理，适合于光学实验等对于手动调节精度要求较高的领域使用■ 具有分厘卡驱动方式，每种产品分为左侧、右侧、中间驱动，非常灵活方便,客户可根据需求选择■产品尺寸丰富，配套性好，交货期短，性价比高。 选型表：型号OMSDH02BEOMSDH02BFOMSDH02BGOMSDH02BHOMSDH02BIOMSDH02BJ 机械规格台面尺寸(mm)40X4060X6065X6580X80100X100125X125行程(mm)X轴:13X轴:13X轴:25X轴:25X轴:25X轴:25Z轴:13Z轴:13Z轴:25Z轴:25Z轴:25Z轴:25使用标准平移台X轴: SPYD40L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD60L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD65L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD80L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD100L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD125L(R)(ZL)(ZR)Z轴: SPYZ40L(R)Z轴: SPYZ60L(R)Z轴: SPYZ65L(R)Z轴: SPYZ80L(R)Z轴: SPYZ100L(R)Z轴: SPYZ125L(R)传动机构分厘卡导轨（导向机构）交叉滚柱导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重(kg)0.40.70.751.52.02.8 精度规格分厘卡最小读数0.01mm灵敏度2 um平行度30 um运动平行度10 um偏摆(”)25选配安装底板OMLA01NAOMLA02OMLA03OMLA04负载(kg)2.13.53.54.910.514OMSDH02燕尾副导轨系列二维手动平移台（XZ方向）产品介绍：OMSDH02燕尾副导轨系列二维手动平移台（XZ方向），采用细牙研磨丝杠调节，结构紧凑，高度较小，可在有限的空间内安装使用，调节方便。平移台采用燕尾副导轨结构，负载能力强。产品底部有标准安装螺孔，可直接固定于光学平台或平板上使用。标准产品材料是优质航空铝，如有特殊需要也可做成不锈钢材质的平移台。 产品特点：■燕尾副导轨，大行程，负载能力强■研磨丝杠螺距小，灵敏度较高■带有刻度尺，读取数据快速便捷■具有锁紧功能，锁紧效果好，稳定性高■具有各种行程和尺寸，产品非常丰富产品选型表： 型号OMSDH02BAOMSDH02BBOMSDH02BCOMSDH02BD 机械规格台面尺寸(mm)65X65行程(mm)X轴:25X轴:50X轴:75X轴:100Z轴:25Z轴:50Z轴:75Z轴:100使用标准平移台X轴:SPYB25X轴:SPYB50X轴:SPYB75X轴:SPYB100Z轴:SPYB25Z轴:SPYB50Z轴:SPYB75Z轴:SPYB100传动机构细牙研磨丝杠导轨（导向机构）燕尾副导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重(kg)0.90.951.11.3最小读数0.1mm负载5kg

光纤专用平台HFA系列产品介绍：光纤专用平台HFA系列具有可实现卓越长期稳定性的不锈钢结构，交叉滚柱导轨和精密制造的导轨参考面提供了在X和Y轴上12mm的非常直的线性行程，关于任何轴的角度偏移均优于150μrad。Z轴提供了6毫米的行程。HFA系列位移台是专为精确光纤对准而设计的。顶部安装的导轨可以实现光纤夹具稳固连接。高性能位移台具有多达6个自由度，提供了出色的光纤对准解决方案。 产品特点：• 灵敏度≤1μm• 标配测微头驱动，可选配差动测微头• 不锈钢材质，稳定性高、耐腐蚀性好• 超高精密交叉滚柱导轨，灵敏度、平直度等关键指标达到先进水平 选型表：二维高稳定性光纤专用平移台HFA-YZ系列产品型号HFA-YZY轴向调整量12mmZ轴向调整量6mm光路中心高78.7mm偏摆150μrad最大中心负载2.3kg自重0.8kg

PSAxxx-11-Z 系列精密电控平移台■产品特点：●标准配备有步进电机和RS232接口，配合SC300、MC系列控制器可实现自动控制●研磨级滚珠丝杠、线性滑轨、弹性联轴器等均选用进口高品质产品，提供整机质量保证；●左右极限开关和零位开关设置，保护产品，方便使用，标准接口方便信号传输；●标准孔位方便组成多维系统，方便与我公司其他产品配套；●专有直角固定块连接，有效保证垂直度。●专有失电保护装置，让您使用更放心。★如需要较大的承载,建议加装减速电机 型 号 PSA050-11-ZPSA100-11-ZPSA150-11-ZPSA200-11-ZPSA300-11-ZPSA400-11-Z中心负载5 kg10 kg最大速度40 mm/sec.50 mm/sec.其它指标同PSAXXX-11-X系列

二维平移光谱响应度测试探针台产品说明：TLRH系列二维平移光谱响应测试探针台是一款专用于半导体材料光电测试的系统。其功能全面，提供多种重要参数测试。系统集成高精度光谱扫描，光电流扫描以及光响应速率测试。40μm 探测光斑，实现百微米级探测器的绝对光谱响应度测量。超高稳定性光源支持长时间的连续测试，丰富的光源选择以及多层光学光路设计可扩展多路光源，例如超连续白光激光器，皮秒脉冲激光器，半导体激光器，卤素灯，氙灯等，满足不同探测器测试功能的要求。是半导体微纳器件研究的优选。产品特点：&bull 半圆形探针架，可放置6个DC探针座&bull 漏电精度100fA（吉时利2636B实测）&bull 整体位移精度3μm&bull 1微米以上电极/PAD使用&bull 兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜/金相显微镜等&bull 探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节&bull 用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统全系列 搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式通用参数：样品台尺寸8英寸样品台行程110X110mm位移精度3um漏电精度100fA线缆规格三同轴线缆探针座精度3um显微镜移动25*25mm接口方式三同轴接口背电极可以引出背电极驱动方式精密研磨丝杆位移维度XY整体位移行程X:100mm Y:100mm分辨率0.003mm直线度0.002mm驱动误差20°功能应用：&bull 光谱响应度；&bull 单色光/变功率IV；&bull 不同辐照度IT曲线；&bull 不同偏压下的IT曲线；&bull 光电流Mapping曲线测试；&bull 线性度测试；&bull 响应速率测试；&bull 瞬态光电压；&bull 瞬态光电流；产品示意图：产品选型：产品型号样品台尺寸样品台位移精度探针座位移精度漏电流精度TLRHF-044英寸3um3um100fATLRHF-066英寸3um3um100fATLRHF-088英寸3um3um100fATLRHF-1212英寸3um3um100fA实验附件及常规测试步骤：光学隔振平台(台面600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。应用领域：半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

二维平移光谱响应度测试探针台产品说明：TLRH系列二维平移光谱响应测试探针台是一款专用于半导体材料光电测试的系统。其功能全面，提供多种重要参数测试。系统集成高精度光谱扫描，光电流扫描以及光响应速率测试。40μm 探测光斑，实现百微米级探测器的绝对光谱响应度测量。超高稳定性光源支持长时间的连续测试，丰富的光源选择以及多层光学光路设计可扩展多路光源，例如超连续白光激光器，皮秒脉冲激光器，半导体激光器，卤素灯，氙灯等，满足不同探测器测试功能的要求。是半导体微纳器件研究的优选。产品特点：&bull 半圆形探针架，可放置6个DC探针座&bull 漏电精度100fA（吉时利2636B实测）&bull 整体位移精度3μm&bull 1微米以上电极/PAD使用&bull 兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜/金相显微镜等&bull 探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节&bull 用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统全系列 搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式通用参数：样品台尺寸4英寸样品台行程110X110mm位移精度3um漏电精度100fA线缆规格三同轴线缆探针座精度3um显微镜移动25*25mm接口方式三同轴接口背电极可以引出背电极驱动方式精密研磨丝杆位移维度XY整体位移行程X:100mm Y:100mm分辨率0.003mm直线度0.002mm驱动误差20°测试案列功能应用：&bull 光谱响应度；&bull 单色光/变功率IV；&bull 不同辐照度IT曲线；&bull 不同偏压下的IT曲线；&bull 光电流Mapping曲线测试；&bull 线性度测试；&bull 响应速率测试；&bull 瞬态光电压；&bull 瞬态光电流；产品示意图：产品选型：产品型号样品台尺寸样品台位移精度探针座位移精度漏电流精度TLRHF-044英寸3um3um100fATLRHF-066英寸3um3um100fATLRHF-088英寸3um3um100fATLRHF-1212英寸3um3um100fA实验附件及常规测试步骤：光学隔振平台(台面600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。应用领域：半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。