定量气体分析质谱仪

基于20多年稀有气体质谱仪的经验，Thermo Scientific开发了系列新一代多接收稀有气体质谱仪。它结合创造性的新特征和经过实践验证的成熟的同位素质谱技术，开发了Helix MC Plus、Helix SFT和ARGUS VI三款先进的静态真空稀有气体质谱仪，是多接收静态惰性气体质谱迈进的重要一步。Thermo Scientific HELIX SFT质谱是为氦同位素同时分析及高精度跳峰分析而设计的高分辨、多接收系统，可以同时测定3He和4He，也可以用跳峰模式测量任何稀有气体同位素。 主要特点 该系统可同时测量氦同位素，无需跳峰扫描，减少了分析时间，获得了更高的精度和产出效率； 丰度灵敏度：由于HELIX SFT独特的设计，质量4对质量3的贡献小于1ppb； 体积：HELIX SFT的内部体积约1400cc，这是当前技术的重要提升； 分辨率：低质量数接收器，通常用来测定3He，其分辨率大于700，这保证了3He 能够和两个干扰峰HD和H分开； 1010Ω/1011Ω/1012Ω/1013Ω放大器拥有不同的动态范围范围使大部分分析都能在长寿命的法拉第接收器上进行。

基于20多年稀有气体质谱仪的经验，Thermo Scientific开发了系列新一代多接收稀有气体质谱仪。它结合创造性的新特征和经过实践验证的成熟的同位素质谱技术，开发了Helix MC Plus、Helix SFT和ARGUS VI三款先进的静态真空稀有气体质谱仪，是多接收静态惰性气体质谱迈进的重要一步。Thermo Scientific Helix MC Plus质谱是专为微量样品稀有气体分析而设计的高分辨磁质谱，可实现氖、氩、氪、氙惰性气体中任何五个同位素的同时检测。主要特点： 该系统可测量氖、氩、氪和氙的同位素。同时多达5个同位素的多接收测量无需跳峰，减少了分析时间，获得了更高的精度和产出效率； 可以进行跳峰测量，如氦同位素； 接收器动态范围：考虑到CFM接收器结合了法拉第和CCD，能够获得更大样品浓度范围的测量能力； 分辨率：标准分辨率接收器750(10%峰谷)能够解决标准碳水化合物干扰，而 1500（10%峰谷）分辨的高分辨接收器能够使得很多科学问题得到解决； 1010Ω/1011Ω/1012Ω/1013Ω 放大器拥有不同的动态范围范围使大部分分析都能在长寿命的法拉第接收器上进行。

产品简介：NGX-600是一台全自动、高精度的质谱仪，具有全面的多接收能力，可以高分辨率地测量稀有气体同位素比率。它配备有高灵敏度的“Nier”型气源和小体积静态真空计。探测阵列由可以定制组合的法拉第杯和离子计数电子倍增器组成。NGX标配了ATONA放大器。设计特点：- 紧凑设计- 大半径的磁场确保其有更佳的离子传送、质量分辨率和稳定性- 可旋转离子焦平面使接收器焦平面和离子轨迹垂直，不论接收器和离子焦平面的初始相对位置如何，均可确保更佳的峰平坦度- 专利（专利号GB2552233）的新一代电子校正ATONA放大器，用于全部法拉第杯- 小体积设计- 新一代高灵敏度离子源- 高质量分辨率，可以排除有机物基质干扰，从HD中分辨3He，从双电荷40Ar中分辨20Ne。- 全面的多接收能力，可选配置实现同时测定氙的9种同位素。一台仪器适用于多种稀有气体。应用领域：地质年代学、天体化学和热年代学等研究领域中稀有气体 He、Ne、Ar、Kr 和 Xe 的同位素分析。

Thermo Scientific Delta V Advantage新一代同位素比质谱仪凝聚了我们在质谱仪领域里50年以上的经验。同位素比质谱仪的基础原理是把任何类型的无机或有机化合物转换成为单纯的气体。作为DELTA V Advantage 的进样系统，有广泛的样品预处理设备和接口可供选择。它可以与元素分析仪、GasBench、气相色谱或液相色谱等装置联用，用于测定C、N、S、H、O等多元素的稳定同位素比值，可用于食品安全、农业、环境、地质、海洋等领域，进行食品真实性鉴定、原产地判别以及环境污染物溯源等研究。赛默飞世尔为实践中在每个应用中可能遇到的各种各样的样品的 全自动分析提供应用气相色谱，液相色谱和元素分析仪的完整分析方案。该仪器具有以下特点： 极好的扩展性，可以与各种外围设备联用，确保高度自动化和高性能在保证卓越的线性和稳定性的同时，展示了最好的灵敏度结构紧凑，坚固耐用

Thermo ScientificTM TSQ QuantivaTM 三重四极杆质谱仪结合Active Ion Management（主动离子管控，AIM）技术，具有无与伦比的检出限和定量下限，对于复杂基体和难于分析的样品，能够提供无与伦比的超低浓度水平定量。这款质谱仪与具有特殊应用功能的软件相结合，保证了样品分析的最大通量。其开创性的软件和硬件开发使得操作更加简单，结果更加准确可靠。为面临最困难定量任务挑战的科研人员提供无与伦比的灵敏度、分析速度以及动态范围。仪器结果的可靠性以及简便的操作性，使用户可以把时间精力集中在科研上，而无需担心方法的开发和实验操作。 TSQ Quantiva 质谱仪具有极佳的定量性能，阿克级的灵敏度，前所未有的适用性和耐用性。离子光学系统- 主动离子管控（Active Ion Management, AIM）Ion Max NG 离子源电动离子漏斗技术带中性离子的离子束传输组件四极杆设计 -- HyperQuad四极杆

灵敏度和稳定性：同时兼顾TSQ Altis三重四极杆质谱仪及领先行业的定量软件、UHPLC系统和卓越的样品制备设备，可帮助研究人员解决目标物定量分析的稳定、可靠和灵敏关键性挑战。TSQ Altis质谱仪的主要优点包括：1. 满足从简单到复杂基质中所有分子类型的分析的极高灵敏度。2. 出色的仪器稳定性确保在提高数据可靠性的同时不损失仪器正常运行时间。3. 超快的选择反应监测（SRM）能够在更短时间内增加分子定量的数量。4. 与专业应用软件紧密集成，提高了所有应用领域的工作效率。5. 简单易用，帮助专业和非专业级水平的用户获得高质量的数据，并提高分析结果的可靠性。

英国Hiden公司的QGA定量气体分析质谱仪是为在常压附近连续定量分析气体/蒸气的而设计。QGA配有专业版定量气体分析软件，提供了多种气体实时定量分析的功能。操作界面简单方便，使得用户非常容易去设置，减少了编辑程序的麻烦。设置简单、操作方便 图形、数据实时显示 本底自动校正 16种气体的定量分析 数据以原始数据、%或ppm形式输出 智能谱库扫描功能 准确的碎片峰形记录 自动减去重叠谱 数据输入外部气体分析器，例如一个CO分析器，能自动积分分析质谱数据 多路气体分析可自动顺序测量能连接多达80路气流（需选配多路取样阀）

新一代的QGA 2.0质谱仪采用了全新的外观和内部设计，以更小的体积和重量，呈现出更加美观的外观。其更快的扫描速度和更高的灵敏度使其能够实现每秒1000次的测量速度，并覆盖了从100ppb到100%的扫描范围。 便捷简化 – 一键启动操作先进卓越 – 全新电子学部件设计多功能应用 – 兼容多种进样口精心优化 – 专为氢气分析而优化高效速度 – 每秒高达1000次测量直观易用 – QGA 2.0 定量分析软件紧凑轻巧 – 实验台占地面积减小了42%轻盈便携 – 重量减轻了26%可持续环保 – 制造过程中使用更少，更环保的材料

HPR20 QIC TMS瞬变过程气体分析质谱仪是为在常压附近快速反应的气体分析而设计的系统。配置0.9m长度的石英毛细进样管，是理想的气体瞬变过程分析质谱仪。0.9m长的高效、柔韧、加热(直到200℃)石英惰性毛细管（QIC) APSI-MS 软离子化技术，选择性分析复杂气体和蒸汽 多离子源选择和快速响应的优化泵结构 脉冲离子记数器，可检测连续7个数量级的动态范围 ppm,%定量分析方法 提供两组外部参数显示信号；可选配16组 扩展余地宽 质量数范围： 1～50、100、200 、300、500、1000amu 响应速度： ＜150ms，200毫秒内对于5个数量级气体组成变化做出反映 扫描速度： 100amu/s 取样压力： 100mbar～2bar 标准配置 1mbar～30bar 选配 检测浓度： 5ppb～100% 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5% 测量速度： 500点/秒

仪器简介：qRGA托卡马克装置残余气体分析质谱仪专为阈值电离质谱(TIMS)模式下操作，核聚变系统燃料输送进行分析而设计的质谱仪。 通过控制TIMS模式提供的电子发射能量，能对D2 和4He的同位素进行分析检测。 主要特点：实时定量分析 ppm级检测水平 在常规质量分析和TIMS模式下操作 电子能量分辨率为0.1 eV 辐射屏蔽和磁屏蔽，低耗费运行 技术规格：质量数范围：1～200 amu 软离子化： 0～150eV 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5%

仪器简介：HPR20 QICPlus是在HPR20 QIC基础上发展的全自动定量分析在线质谱仪系统,包括HPR20 QIC的所有功能技术参数：质量数范围： 1-50，1-200，1-300，1-500，1-1000 amu四极杆种类： RGA，3次过滤四极杆气体取样管： 内置石英玻璃毛细管，外部为不锈钢套。 加热温度至200℃。2米长气体流量： 1-20sccm，可调节进样压力： 压力恒定状态：100mbar－2bar（标准配置） 压力不断变化：100mbar－2bar，需选配FCI自动流动控制阀 2-30bar，定做装配方式： 台式或车载（选配）检测极限： 0.1-1 ppm RGA HAL系列四极杆（标准配置） 5ppb 3F系列四极杆 （选配）最小扫描步阶： 0.01amu多路进样阀： 多至80路。加热与否均可（此项为选配）主要特点：四组份气体传送和预混合面板，用于调配校准气体双气路进样口，低死体积阀门，自动/手动切换： 校准气体－零气体－样品气体，确保样品气体正向流动进样过滤器 (5µ m)，高传输、低死体积，方便清洁定量气体分析软件，利用标气进行自动定量气体分析校准矩阵倒置算法用于组份浓度计算，数据可显示为：％，ppm

仪器简介 英国Hiden公司的HAL 201 RC超高真空残余气体分析四极质谱仪专为检测超高真空容器中的存在组分而设计，针对真空诊断进行精确的分析。 离子源为镀金离子源，适合应用在总压小于5 x 10-10mbar的领域，其系统与EPIC离子/分子分析质谱仪完全兼容。 主要特点：镀金离子源，以减少离子源脱气 氧化物涂层双铱丝的离子源 双法拉第/ Channeltron电子倍增器检测器 技术规格：质量数范围： 200，300 amu扫描速度： 100amu/s 最小扫描步阶：0.01amu 灵敏度： 0.1 ppm～1ppm 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5% 最小检测分压：5 x 10-14 mbar 最大工作压力：1 x 10-4 mbar

MS GAS-100气体分析质谱仪用于对气体和挥发物质，包括同位素、溶剂和可挥发有机物进行复杂的精确分析。 系统组成：质谱分析模块：由开放/封闭版电子碰撞离子源，两个独立灯丝和一个四级质朴分析器组成。质量范围分为1-100、1-200和1-300 amu。系统中应用两种检测器：法拉第检测器：灵敏度低于10ppm次级电子倍增检测器（SEM）：灵敏度低于100ppb高效真空泵系统：真空室内置加热元件；专用汽水分离模块；双泵抽真空模块，包括前级隔膜泵和涡轮分子泵。恒温加热元件可以去除真空室中的杂质。汽水分离模块中的电子控制斯特林制冷器可以高效抑制水分子背景，从而显著提高离子源寿命。这一模块可以连续运行数周。温度可以由用户自定义，从而监测特定的挥发物质，如乙醇等。进样单元：模块化设计，可互换渗透膜探头或针阀进样器。渗透膜探头允许溶解物质通过，既可以测量液态样品，也可以测量环境气体。针阀进样器适用于直接测量气态样品中的挥发物质。真空压传感器：测量真空室中的总压力和进样单元中的压力，确保不会损坏质谱分析器。集成触屏监控器：可手动控制加热/制冷温度，开闭进样器、分流阀和安全阀。可通过预设程序进行自动测量。控制软件：操作设定质谱仪、获取测量数据、编写用户自定义测量程序用于测量特定的物质。应用领域： 气体和液体样品的气体交换，如藻类光合作用（CO2、O2）、生物燃料研究（H2、乙醇、烃类）一台仪器即可进行多种气体和挥发物质的长期监测两种进样单元，即可测量气体也可测量液体模块进样设计，多种接口可选，可以进行整株植物或细胞悬液的气体交换分析固氮生物研究（N2）18O2标记光呼吸研究同位素分布分析气体污染研究（CH4，H2S，NOx，SO2，CS2，CO等）水污染研究（可溶性有害气体、挥发性有机物等） 技术参数：分析气体种类：气体：CO2、O2、H2、N2、C2H4、CH4、H2S、NOx、SO2、CS2、CO等挥发性有机物：乙醇、烃类、苯、甲苯、丙酮等 质谱分析器：残余气体分析器（RGA）质量范围：1-100 amu、1-200 amu、1-300 amu离子源：开放或封闭版电子碰撞离子源，两个独立灯丝（灯丝材料：yttriated iridium）检测器：法拉第检测器：灵敏度10ppm次级电子倍增检测器（SEM）：灵敏度100ppb响应时间：20秒真空系统：前级隔膜泵和涡轮分子泵进样器：渗透膜探头（PDMS）或针阀进样器加热系统：100W恒温加热元件，最高温度90℃制冷系统：电子控制内置斯特林制冷汽水分离模块，最低温度-80压力传感器：高真空压传感器用于测量真空室中总压力；进样器压力传感器用于保护质谱分析器触控屏：系统控制并显示实际读数BIOS：可升级固件通讯端口：千兆以太网，TCP/IP协议外部工作站：预装专用软件，操作设定质谱仪、获取测量数据、编写用户自定义测量程序用于测量特定的物质尺寸：54.5×72×45.5cm重量：65kg供电：110-230V交流电应用案例：配合FMT150藻类培养与在线监测系统测量蓝藻Synechocystis 6803光补偿点（测量O2）。配合专用测量室和FluorCam便携式叶绿素荧光成像系统，测量整株番茄的光合作用（测量CO2），同时与Li6400测量数据进行对比，可见MS GAS-100的稳定性和重复性要远远高于Li6400。 产地：欧洲 参考文献：1. Zav?el T. et al, 2016, A quantitative evaluation of ethylene production in the recombinant cyanobacterium Synechocystis sp. PCC 6803 harboring the ethylene-forming enzyme by membrane inlet mass spectrometry. Bioresource Technology, 202:142-1512. Zav?el T., ?erveny J., Knoop H., Steuer R., 2016, Optimizing cyanobacterial product synthesis: Meeting the challenges. Bioengineered, 7(6): 490-496.

仪器简介：HALO 201 MBE 分子束外延残余气体分析四极质谱仪用于泄漏探测、趋势分析、真空诊断的过程监测和残余气体的精确分析。该分子束外延特定分析质谱仪由兼容性材料组成，并能在分子束外延环境中长期使用。 主要特点：钼铜布线增加MBE环境下系统的寿命 抗污染离子源护罩 双法拉第/ channelplate电子倍增器 技术规格：质量数范围： 1～300 amu 扫描速度： 100amu/s 最小扫描步阶：0.01amu 灵敏度： 0.1 ppm～1ppm 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5% 最小检测分压：2 x 10-13 mbar 最大工作压力：1 x 10-4 mbar Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)

在线质谱仪 参数如下：配置包括：1 减压装置：1米长不锈钢取样毛细管，外置加热套，最高加热温度200℃可调，双级降压；2 真空系统：涡轮分子泵作为主抽泵，前级泵为无油隔膜干泵，配全量程真空计检测真空度，真空系统由液晶显示屏显示和控制，真空度可以在液晶显示屏上显示；3 质谱室：不锈钢材质，外配加热套，最大可烘烤温度为200℃；4 质量分析器：开放式离子源，配双灯丝，可检测1-100/1-200/1-300质量数气体；5 软件：多通道检测气体，可实现定性和定量分析，适用于Windows 7/10系统；6 两个独立显示温控仪，控制取样管和质谱室的加热；技术参数：1 质量数范围： 1-100/1-200/1-300；2 离子源：开放式离子源，含2根灯丝；3 最大测量通道：128个；4 最小检测极限: 优于1ppm5 检测器最大烘烤温度：300℃6 质谱仪响应时间：小于200ms7 扫描时间：1ms-16s/amu8 通讯方式：TCP/IP Ethernet；9 腔体烘烤最大温度： 200℃10 高真空泵：涡轮分子泵，抽速67L/S11前级泵：无油隔膜干泵，抽速1m3/h12真空计：皮拉尼和冷阴极复合真空规，测量范围大气压到5x10-9hPa13 主机尺寸不大于400mmX 620mmX400mm

QGA配有专业版定量气体分析软件，提供了多种气体实时定量分析的功能。操作界面简单方便，使得用户非常容易去设置，减少了编辑程序的麻烦。应用： 催化研究反应动力学热分析质谱气体纯度分析多组分气体分析 环境气体分析 燃烧研究 CVD / MOCVD 发酵过程分析 氢气在线监测技术规格： 质量数范围：1～200 amu(标准配置) 1-300amu可选 响应速度： 300毫秒内对于气体浓度的变化做出反映 取样压力：100mbar～2bar 标准配置；1mbar～30bar 选配 检测浓度： 1 ppm～100% QGA专业定量分析软件 多种气体或蒸汽的定量气体分析 智能谱库扫描功能 建立气体/蒸汽谱分析计算并自动减去重叠谱 谱图模拟器动态快速显示用户控制的变化 可从外部输入触发信号，自动开始分析 能够读取多种输入，如温度和压力 数据输入外部气体分析器，例如一个CO分析器，能自动积分分析质谱数据 多路气体分析可自动顺序测量能连接多达80路气流（需选配多路取样阀）

仪器简介：英国Hiden公司的QIC 20 小型在线气体分析质谱仪是一台完备的台式气体分析系统，用于监测气体和过程分析，便于生产、研究使用。应用： 过程监测 在线分析 污染物研究 CVD / MOCVD 环境气体分析 热分析质谱 催化剂研究/ 反应动力学技术参数： QIC 直接进样，对气体、蒸气的响应时间 1～20 sccm / min连续进样 取样压力：100 mbar ～ 2 bar（可选配10mbar－2bar） 高压取样接口至30 Bar（选配） 灵敏度高 (0.1ppm标配，可选配至 5 ppb) 质量数：1-200amu标配。可选配50amu，100amu，300amu,510 amu。主要特点： 高效、柔韧、加热(直到200℃)惰性石英毛细管（QIC) 惰性毛细管避免了气体与毛细管发生物理或化学反应 自动流量控制，以恒定离子源压力 液氮低温板（选配），增强对可凝结的背景气体的抽吸 软离子化技术，有利于分析复杂有机物 稳定性(24h以上，峰高变化小于±0.5% ) 通过RS232、RS485或以太网连接计算机，由 MASsoft 软件控制 定量分析方法

SHP8400PMS-I 防爆型过程气体质谱分析仪，将前沿的在线质谱分析技术与针对性的行业解决方案相结合，实现过程气体的实时、在线分析。通过多通道采样实现多点监测，提供多组分、多流路同时分析。该款质谱分析仪适用于易燃易爆环境和复杂工况环境下的过程气体多组分同时分析，满足长期不间断在线分析和多路不同样品监测的需求。设备简介： SHP8400PMS-I防爆型在线工业质谱仪可用于危险及复杂工况环境下的气体成分快速在线分析，具有防爆、防水、防尘等防护功能。仪器可实现高精度多组分同时检测，提供精准的定性定量测试，并可与生产反应调控过程关联。高精度流体控制◆仪器内置温度补偿型全自动高精度电子流体控制系统，当样气状态改变时，自动进行流量调节，避免了样气压力、温度波动对数据准确性的影响，保证长期连续监测过程中数据的一致性。高稳定质量分析◆72小时内质量轴偏差优于0.1amu，是连续稳定监测的可靠保证。可靠的长期稳定性◆连续36天监测空气中Ar的含量，大标准偏差优于0.4，满足长期连续监测的实际需要。智能在线监控◆在线监控真空度、气路温度、分子泵状态等系统运行参数，如有异常情况出现，立即报警或停机，大程度保障运行安全。精益管理解决方案降低投资成本◆单台质谱仪轻松取代多台气相色谱仪，不仅降低设备投资费用，减少了占地面积，也节省了分析小屋的成本。◆多个工艺气流的各种气体分析数据由一台质谱仪提供，简化了与控制系统的连接，也更为高效。减少运行成本◆质谱仪运行无需载气、助燃气、色谱柱等，避免了气相色谱仪的高维护成本和气体消耗。 在线质谱分析控制原理示意图

先进半导体应用的原位过程控制上海伯东日本 Atonarp Aston™ Impact 和 Aston™ Plasma 是超紧凑型质谱仪, 适用于先进半导体工艺（如沉积和蚀刻）所需的定量气体分析.分子测量快速，灵敏度达到十亿分之一 检测残留气体 / 冷凝物污染.提高产量提供化学特定的可操作见解, 尽可能地提高产量提高安全性监测爆炸性气体. 检查排放和减排效果.Aston™ 质谱仪解决了关键的原位计量问题• 提高吞吐量: 端点检测而不是基于时间的流程• 提高产量: 以十亿分之一的灵敏度测量沉积和蚀刻工艺期间的工艺气体 / 副产物Aston™ 质谱仪先进工艺的优势ppb 级灵敏度的高速采样非常适合高纵横比的 3D 结构耐腐蚀性气体坚固紧凑易于集成到工具平台中沉积应用中: 实时过程气体监控，以驱动自动化工具调整以实现过程控制, 沉积步骤之间的终点检测, 实现层的化学计量工程蚀刻应用中: 以 ppb 为单位测量的工艺气体和副产品, 启用端点腔室清洁Atonarp Aston™ 技术参数类型Impact-300Impact-300DPPlasma-200Plasma-200DPPlasma-300Plasma-300DP型号AST3007AST3006AST3005AST3004AST3003AST3002质量分离四级杆真空系统分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵检测器FC /SEM质量范围2-2852-2202-285分辨率0.8±0.2检测限0.1 PPM工作温度15-35“℃功率350 W重量15 kg尺寸299 x 218 x 331 LxWxH(mm)400 x 240 x 325 LxWxH(mm) Aston™ 质谱仪半导体制造应用先进的工艺原子层沉积 (ALD)化学气相沉积 (CVD)原子层蚀刻 (ALE)腔室管理干净的终点检测指纹识别和匹配 Sub-fab 安全性, 可持续性和节省优化过程安全监控干泵保护减排管理沉积化学气相沉积钨TEOS蚀刻介电,导电,金属高纵横比 1% 开放区域检测EUV/光刻SnH4 蚀刻光掩模蚀刻自主过程控制模型驱动的实时过程监控若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

上海伯东日本 Atonarp Aston™ 过程质谱仪应用于半导体光刻技术 EUV 极紫外光源卤化锡原位定量EUV 极紫外光刻技术越来越多地用于支持 10nm 工艺技术的关键尺寸图案形成. 管理这些价值超过 2亿美元光刻机的正常运行时间和生产量对晶圆 Fab 厂的经济至关重要. 上海伯东日本 Atonarp Aston™ 过程质谱分析仪通过快速, 可操作, 高灵敏度的分子诊断数据实现了更佳的反射板镀锡层清洁, 并且 Aston™ 过程质谱的实时氢气 H2 监测也降低了每个 EUV 工具的氢气消耗.随着工艺几何尺寸的不断缩小, 半导体工艺制造商面临着新的挑战. 在先进的极紫外 EUV 光刻技术中, 13.5nm 波长的光源是通过二氧化碳 CO2 激光器蒸发熔融锡 Sn 液滴, 从而产生等离子体. 大批量生产的关键挑战包括控制蒸发锡再沉积引起的光学污染所造成的缺陷.光源产生的一个副产品是 EUV 光源反射光学元件上的锡 Sn 碎片, 该反射光学元件聚焦等离子体发出的 EUV光. 收集镜涂层表面上的锡沉积导致 EUV 镜的反射率降低. 沉积锡厚度约为 1nm（只有几个原子层）会使收集镜反射率降低多达10%, 通常被视为收集镜寿命规范. 这种污染增加了提供足够的 EUV 功率以形成晶圆所需的时间, 因此降低了光刻产量, 并可能影响光刻图案的定义. 解决措施包括使用氢等离子体 (结合磁场) 以锡烷气体 SnH4 的形式化学去除锡, 然后从真空室排气, 并防止锡进一步再沉积.上海伯东 Aston™ 过程质谱 EUV 极紫外光源卤化锡原位定量解决方案在反射板清洁期间, 需要实现现场测量, 快速, 准确地测量锡 SnH4 端点, 确保以省时的方式清除锡沉积物, 通过使用 Aston™ 过程质谱仪可以测量 H2 大气中 0.01-1 ppm 浓度下的微量 SnH4. 此外, Aston™ 还可以监测 EUV 工具前端的气体成分.Aston™ 过程质谱价值在于通过监测从 EUV 腔室中抽空所有锡原子的效率和优化氢气 H2 流量, 实现终点检测. 通过尽可能地减少气体流量, 可以降低每分钟 100 标准升的高纯度氢气消耗量.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

Hiden公司的TGA-MS热重分析质谱仪是将热重分析耦合到Hiden质谱仪上的一整套接口系统。能够充分利用进样毛细管快速响应和低死体积的优点，配合上最受欢迎的TGA设备。 最小化的死体积 毛细管加热，无冷凝环节 接触界面皆为惰性材料 高性能气体处理方式 可使用混合气体系统（H2、He） 流速与TGA匹配

基于20多年稀有气体质谱仪的经验，Thermo Scientific开发了系列新一代多接收稀有气体质谱仪。它结合创造性的新特征和经过实践验证的成熟的同位素质谱技术，开发了Helix MC Plus、Helix SFT和ARGUS VI三款先进的静态真空稀有气体质谱仪，是多接收静态惰性气体质谱迈进的重要一步。Thermo Scientific Helix MC Plus质谱是专为微量样品稀有气体分析而设计的高分辨磁质谱，可实现氖、氩、氪、氙惰性气体中任何五个同位素的同时检测。主要特点： 该系统可测量氖、氩、氪和氙的同位素。同时多达5个同位素的多接收测量无需跳峰，减少了分析时间，获得了更高的精度和产出效率； 可以进行跳峰测量，如氦同位素； 接收器动态范围：考虑到CFM接收器结合了法拉第和CCD，能够获得更大样品浓度范围的测量能力； 分辨率：标准分辨率接收器750(10%峰谷)能够解决标准碳水化合物干扰，而 1500（10%峰谷）分辨的高分辨接收器能够使得很多科学问题得到解决； 1010Ω/1011Ω/1012Ω/1013Ω 放大器拥有不同的动态范围范围使大部分分析都能在长寿命的法拉第接收器上进行。

针对生物发酵尾气分析需求，SHP8400PMS过程气体质谱分析仪配置多通道采样系统，高稳定性四级杆质量分析器，耐水、耐氧性双灯丝离子源等进口关键部件。整个仪器精度高、漂移小 、响应快、维护少并且可以实现多个生物反应器发酵尾气实时、连续、精确的全组分气体分析 ，是提供发酵尾气监测的理想工具。详细信息 SHP8400PMS 过程气体质谱分析仪依托多年研发应用经验，以实时、高精度、在线监测多路生物过程气体为目标，配置16通道采样系统，具有指纹谱图库的电子轰击离子源，经典、成熟的四极杆质量分析器，性能稳定，使用寿命长的法拉第检测器等。另有专业设计的发酵尾气预处理系统，保证分析结果准确的同时确保了仪器不受溢罐等特殊情况的伤害。更高的投资回报率◆一台过程质谱多可同时分析15台发酵罐尾气组分，台均投入费用少；◆快速在线气体分析（每个取样点快30秒），准确反映工艺动态，给工艺优化提供强有力支撑；◆高稳定性，3-6个月的标定间隔，可长时间稳定运行；◆全组分分析，自动生成摄氧率（OUR）、二氧化碳释放率（CER）、呼吸商（RQ）等数据和曲线；◆自动化程度高，维护需求少，运营成本低；16通道采样系统◆每一通道均为独立进气和独立排气，彻底摒除通道间干扰◆连续流动式取样，保证气体的实时更新◆可控温的进气管路，有效防止过程气体在采样过程中冷凝全组分气体分析◆SHP8400PMS可实现气体全组分分析，除了提供N 2 、O 2 、C O 2 、A r等无机气体的监测结果，也能实现甲醇、乙醇、甲烷等有机气体的实时分析。高精度流量控制◆仪器内置温度补偿型全自动高精度电子流量控制系统，当样气状态改变时，自动进行流量调节，避免了样气压力、温度波动对数据准确性的影响，保证长期连续监测过程中数据的一致性。高稳定质量分析◆72小时内质量轴偏差优于0.1am u，是连续稳定监测的可靠保证。全中文在线质谱分析工作站◆采用新一代Fluent Ribbon用户界面，在提供丰富信息的同时，降低操作难度，易于用户掌握。质谱仪在线监控示意图 在线气体前处理系统◆针对生物过程设计的多通道样气在线处理系统，具备除尘、除湿、除泡沫、控温及调压等功能，保证样气的真实快速传输和质谱仪的长期稳定运行。 完美兼容各种发酵控制系统和工艺分析软件◆软件的数据存储格式和内部交换格式均采用通用的工业标准，与其他软件系统完美兼容。 SHP9000PA在线监控及工艺分析软件◆中文软件界面，适用于工业生产以及实验室多参数过程监控，可根据用户工艺流程定制工艺画面，通过实时数据的采集即时掌握整个工艺流程的概况。◆支持各类工业P LC ，数据采集装置以及本公司在线质谱仪等各类在线分析仪器。自动生成摄氧率（OUR）、二氧化碳释放率（CER）、呼吸商（RQ）等数据和曲线，提供趋势图，柱状图等显示监测数据或历史数据，可更直观地对参数进行分析处理，用户可轻易发现参数之间的相关性，同时按要求格式保存输出。◆可输出控制信号，具有报警功能。

产品简介：NGX-600是一台全自动、高精度的质谱仪，具有全面的多接收能力，可以高分辨率地测量稀有气体同位素比率。它配备有高灵敏度的“Nier”型气源和小体积静态真空计。探测阵列由可以定制组合的法拉第杯和离子计数电子倍增器组成。NGX标配了ATONA放大器。设计特点：- 紧凑设计- 大半径的磁场确保其有更佳的离子传送、质量分辨率和稳定性- 可旋转离子焦平面使接收器焦平面和离子轨迹垂直，不论接收器和离子焦平面的初始相对位置如何，均可确保更佳的峰平坦度- 专利（专利号GB2552233）的新一代电子校正ATONA放大器，用于全部法拉第杯- 小体积设计- 新一代高灵敏度离子源- 高质量分辨率，可以排除有机物基质干扰，从HD中分辨3He，从双电荷40Ar中分辨20Ne。- 全面的多接收能力，可选配置实现同时测定氙的9种同位素。一台仪器适用于多种稀有气体。应用领域：地质年代学、天体化学和热年代学等研究领域中稀有气体 He、Ne、Ar、Kr 和 Xe 的同位素分析。

原理：等离子体分析飞行时间质谱仪结合了辉光放电等离子体的溅射速度和时间飞行质谱的快速以及高灵敏度，实现了高分辨率和高灵敏度条件下固体材料的快速化学深度剖析。应用领域：● 掺杂分析（半导体、光电子、太阳能光伏、传感器、固态光源）● 表面和整体污染鉴定（PVD 镀层、摩擦层、电气镀层、光学镀层、磁性镀层）● 腐蚀科学和技术（示踪物、标记监测、同位素标记）● 界面监测技术参数：● 采集速率：每30μs一张全质谱● 质量分辨率：选择高分辨率模式时，在m/z 208可达 5000● 动态范围：107● 质量准确度：40 ppm● 灵敏度：103 cps/ppm● 深度分辨率：nm● 正负离子模式● 4个离子的灵活消隐功能● 简单易用的水平样品装载产品特点：● 样品分析快速无预处理：无需超高压腔● 适用于各种材料及镀层分析● 全质量覆盖：可提供从 H 到U元素的完整质谱和分子信息，包括同位素监测● 3D 数据，脉冲射频模式● 高深度分辨率：测试薄层可至 1nm● 薄层到厚层：层厚可达 100μm● 无需校准的半定量分析：溅射和电离过程分离，降低基体效应

英国Hiden公司的SpaciMS空间分辨质谱仪世界上第一台商业的空间分辨质谱仪，可以进行径向和轴向的物质检测和温度分布绘图，具有极高空间和时间的分辨率，可以排除温度和气流的干扰。16路进气口，连接到hiden的质谱可以自动、快速地绘制温度和气体分布谱图。 SPACI-MS进样系统最初是由橡树岭国家实验室（Oak Ridge National Laboratory）和Cummins, Inc.的研究者们构思和发展起来的，用于柴油催化反应器的狭小空间内的动态采样。 定量分析反应器内的瞬态和分布 高时间分辨和最小的扰动 对反应器内气体成分可3D成像16路气体进样系统 软件控制样品蒸汽位置 Z轴可控制进样 内置热耦测量样品温度 轴向驱动： 0~300mm 空间分辨： 0.1mm

Thermo Scientific Delta V Advantage新一代同位素比质谱仪凝聚了我们在质谱仪领域里50年以上的经验。同位素比质谱仪的基础原理是把任何类型的无机或有机化合物转换成为单纯的气体。作为DELTA V Advantage 的进样系统，有广泛的样品预处理设备和接口可供选择。它可以与元素分析仪、GasBench、气相色谱或液相色谱等装置联用，用于测定C、N、S、H、O等多元素的稳定同位素比值，可用于食品安全、农业、环境、地质、海洋等领域，进行食品真实性鉴定、原产地判别以及环境污染物溯源等研究。赛默飞世尔为实践中在每个应用中可能遇到的各种各样的样品的 全自动分析提供应用气相色谱，液相色谱和元素分析仪的完整分析方案。该仪器具有以下特点： 极好的扩展性，可以与各种外围设备联用，确保高度自动化和高性能在保证卓越的线性和稳定性的同时，展示了最好的灵敏度结构紧凑，坚固耐用

完整设计的 QMS 403 A?olos Quadro 可与 TGA、STA、DSC、DIL 系统联用QMS 403 A?olos Quadro 四级杆质谱是一款紧凑型的新型质谱仪，带有可加热的毛细管入口系统，既可用于常规气体分析，更是特别适合于热分析挥发性分解产物的分析。这套系统的优化设计使其可以连接到不同仪器，如 DSC、TGA、DIL。优化的气流设计有利于联用• 单步减压• 300°C 加热（可选350°C）可以有效降低整个气体传输管线上的局部“冷点”• 加热腔体，可以便捷、精确调节石英玻璃毛细管入口到 QMS 的距离• 设计灵活，可以进行标准热分析测量，也可以与 TGA、MS（GC-MS）、MS-FTIR 同步测量• 结实耐用、维护便捷，具有高灵敏度（可检测 μg 级别失重）• TGA-MS 可以在湿度气氛下测试• 带有预过滤器的双曲面四级杆系统可以改进高质量数（大分子）的传输，也有利于改进低质量数（如 H2、He）的检测灵敏度• 配备分立二发射极和集成式法拉第杯的 SEM 具有高的动态范围，和长的使用寿命• 可以三维形式呈现 MS 信号和热分析数据• 通过 Proteus 软件进行操作和数据分析 完善的加热传输系统和单步减压设计，可以实现无冷凝的气体传输加热至较高温度的气体传输系统，以及无减压孔的设计，可以有效避免分解产物的冷凝，保证了高的检测灵敏度，便于定量分析所识别的气体。带毛细管的入口系统还可以用于其他来源的气体（非热分析系统产生的逸出气体）分析。NETZSCH 热分析设计NETZSCH 热分析设备在设计阶段就考虑到了联用分析的可行性，在过去 40 多年中，每一次开发新产品都会考虑并优化气体传输路径：从炉体出气口、到适配器和毛细管、再到达 QMS 进气口。如今，由于冷凝导致的气体损失几乎完全被消除，只需很小的载气流量就可以将气体产物完全带出，对样品释放的挥发产物稀释程度最小，从而可以确保 TGA/STA/DIL- QMS 403 A?olos Quadro 联用系统具有高的检测灵敏度。 QMS 403 A?olos Quadro 联用的应用分解 ①脱水 ②稳定性 ③残余 ④溶剂热解气固反应 ①燃烧 ②氧化 ③ 腐蚀 ④吸附 ⑤ 脱附 ⑥催化组分分析 ①聚合物含量 ②成分计算 ③粘结剂烧失 ④脱蜡 ⑤灰分蒸发 ①蒸气压 ②升华QMS 403 A?olos Quadro - 技术参数（持续更新中）质量范围：1u ～ 300u, 可选配 512u，带自动调谐功能离子源：Cross beam El阴极/灯丝：两个涂覆 Y2O3 的铱阴极检测器：带分立二次发射极和集成式法拉第杯的 SEM真空系统：带 4 级隔膜泵的涡轮分子泵（无油）毛细管：石英玻璃（最高 300°C），可选不锈钢（最高 350°C），带加热线圈，方便更换可控温度的适配连接头：毛细管与 QMS 入口系统加热最高温度 300°C（可选350°C）减压方式：单级，从 103mbar 到 5x10-6mbar，无孔锥QMS 测量模式：模拟扫描、柱状图扫描、多离子跟踪QMS 403 A?olos Quadro - 软件功能Proteus 软件能够控制 QMS 403 A?olos Quadro 和热分析仪，这两种方法的操作控制和数据采集都通过同一个软件实现。单独编辑定义热分析相关参数（如温度程序、升温速率等）和质谱相关参数（如质量数范围、扫描方式等）同步开始或停止联用测试在 Proteus 软件中分析 MS 结果以 3D 图形式显示温度、TGA/DSC 曲线、质量数轨迹图之间的关系，包括峰值确定、不同配色主题与表面视角质谱数据可导出成 NIST 格式，便于在 NIST 数据库进行检索识别QMS 403 A?olos Quadro - 应用实例Nd2(SO4)3*5H2O 逸出气体分析29.53 mg 的 Nd2(SO4)3*5H2O 在氮气气氛、10 K/min 升温速率下加热至 1400°C。MID 曲线包括水、氧与二氧化硫三种气态产物，与 TG 曲线上的相应失重台阶对应的很好。硅晶 - 有机污染下图实例使用综合热分析仪 STA449F1 Jupiter 与四极质谱仪 QMS 403 D A?olos 相联用，对硅晶片上的微量有机污染物进行了鉴定。测量使用 1.6g 的大体积样品，放到氧化铝坩埚（5ml）中，在混合空气气氛下、以 10K/min 的升温速率加热至 800°C。由于有机成分的释放，使得样品在 700°C 之前出现了两个非常小的质量失重台阶（0.002% 和 0.008%）。作为演示，下图仅示出核质比 m/z 15, 51 和 78。硅晶的 STA-MS 测量：500-800℃之间的失重台阶产生 m/z 15, 78, 51钴酸锂正极材料 -- 热稳定性（QMS）钴酸锂被广泛地用作锂离子电池的正极材料。在设计内在更安全、更高效的电池系统时，该正极材料的热稳定性也是一个重要因素。在本例中，经过脱锂的钴酸锂材料从纽扣电池中取出，放入 NETZSCH STA449F1 Jupiter 与 QMS 403 Aeolos Quadro 联用设备中进行分析。正极材料在升温过程中显示有几个离散的分解台阶。在联用质谱的帮助下，可以很容易地理解材料的分解路径，以及正极材料经过循环后的深层结构变化。

微分电化学质谱（Differential Electrochemical Mass Spectrometry DEMS）是将电化学和质谱技术相结合而发展起来的一种现代电化学现场测试手段；它可现场检测电化学反应中的挥发性气体产物及动力学参数，中间体及其结构的性质等；当电极反应产物为共析出时，DEMS技术可同时确定每种产物的法拉第电流随电极电位或时间的变化。 Hiden现在发布了世界上首款商业化的电化学质谱仪DEMS，结合了电化学半电池实验和四极质谱仪的差分电化学质谱（DEMS），可以进行实时原位分析电化学反应中的挥发性反应物、中间体、反应产物。当电极反应产物为共析出时，该质谱DEMS可同时确定每种产物的含量随电极电位或时间的变化。DEMS质谱仪是带有一个电化学半电池、气体过滤膜系统、快速隔离阀系统、真空系统的四极质谱仪。 特点：1.商业化电化学质谱仪2.实时原位分析3.定性和定量分析 参数：1. 质量数范围：50，200 ，300 amu2. 分辨率： 1 amu3. 灵敏度：0.1 ppm 或者5 ppb（三重过滤四极杆）4. 用户可涂覆的铂碳电极，额外的4个电极接口，可更换的纳米膜5. 软离子化技术

仪器简介： MIMS利用装有气体过滤膜系统的取样探针或循环水取样器从液体中直接将溶解在其中的气体吸入质谱仪真空分析室，经过离子化，由质谱仪检测器得出气体组成和含量信息。数据由操作软件在电脑上得到。快速隔离阀门可以在取样探针和循环水取样器的薄膜出现损坏，液体进入取样管路时候，快速关闭，防止液体进入真空分析室，从而保护质谱仪。技术参数： &bull 质量数范围： 1-200amu 或300 amu &bull 检测极限： 0.1ppm 或 5ppb &bull 最小扫描步阶：0.01amu &bull 检测器： 法拉第/电子倍增检测器 &bull 定量数据输出：ppm，ppb，% &bull 软离子化技术 &bull Windows操作软件对自动进行数据收集、显示、分析主要特点： 应用 &bull 江、河、湖、海的水质分析 &bull 地下水污染研究 &bull 甲烷生产控制 &bull 微生物/ 酶活性研究 &bull 环境监测 &bull 电化学反应 &bull 土壤成分分析 &bull 发酵过程分析